-
2005
Алтухов, Андрей Александрович
В настоящее время основные усилия разработчиков направлены как на создание высококачественных и совершенных многослойных эпитаксиальных гетероструктур, включающих кремний, силициды и фториды, так и на поиск, разработку и оптимизацию новых конструкций полупроводниковых микроэлектронных приборов, реализуемых на основе таких гетероструктур
-
2005
Леонов, Леонид Борисович
На этом этапе динамка уменьшения линейных размеров элементов микросхем являлась приоритетной и была реализована на высоком технологическом и аппаратном уровне [1-12
-
2005
Гришко, Анна Сергеевна
В связи с выше изложенным, нецланарная технология изгоговления полупроводниковых приборов и интегральных схем, с возможностью перехода к нанотехнологиям, представляется перспективной областью развития
-
2005
Миркурбанов, Халит Абдулгазизович
В связи с изложенным, назрела необходимость перехода на обработку одиночных подложек больших диаметров 150, 200 и 300 мм в невскрываемых реакторах с жестко контролируемыми параметрами газового потока и температурой по подложке. Это позволит выполнить требования к качеству, включая минимизацию числа структурных дефектов в подложке и ЭС. Необходимо
-
2005
Трофименко, Кирилл Андреевич
Перспективным материалом для изготовления ГПП является политетрафторэтилен (ПТФЭ), который обладает высокими диэлектрическими свойствами, химической стойкостью к агрессивным химическим средам и широким диапазоном рабочих температур. Важным недостатком, не позволяющим в полной мере применять ПТФЭ в качестве основы для гибких печатных плат, является
-
2005
Анненков, Александр Николаевич
Целями данной работы являются разработка технологии и внедрение в массовое производство радиационно стойких, быстродействующих крупногабаритных сцинтилляционных кристаллов вольфрамата свинца и кристаллических элементов из них для применения в экспериментах на ускорителях с высокой светимостью
-
2005
Андреев, Валерий Георгиевич
Несомненно, реологические свойства ферритовых дисперсных систем отличаются от свойств материала частиц, образующих эти системы. В частности, способность к необратимой деформации формовочных масс (пластичность) является важнейшим технологическим свойством, в то время как частицы ферритов обладают хрупкостью. Отличие обусловлено тем, что деформация
-
2005
Петрова, Ольга Борисовна
Ьп203 • ЗВ203 (где Ьп = Ьа, N(1), х 1л1203 • ЗВ20з (Ьп= Ьа, N<3, СМ; х = 1,7 ), х; Ьп'203 • х2 Ьп"203 • ЗВ203 (Ьп'= Ьа, вс!; Ьп"= Се, N(3, вс1, Ег, Dy
-
2005
Климов, Кирилл Игоревич
Достоверность и обоснованность полученных результатов? подтверждается! удовлетворительным согласием: теоретических оценок и экспериментальных результатов
-
2005
Пасюта, Вячеслав Михайлович
В классе ПИ особое место занимают жесткоцепные ПИ, которые отличаются наивысшей термостабильностью среди известных полимеров. Одним из наиболее перспективных ПИ для использования в МСТ является жесткоцепный ПИ ДФ-оТД, который является диэлектриком с высокой термостойкостью (температура, при которой потеря массы составляет 5%, равна 560°С) и
-
2005
Конюшкин, Василий Андреевич
Для получения активных центров, работоспособных при комнатных температурах, наиболее перспективными оказались фториды щелочных и щелочноземельных металлов (особенно ЫР
-
2005
Соловьев, Юрий Владимирович
Для работы полупроводниковых ЗУ при большом уровне входной импульсной и средней мощностей в качестве входных и выходных каскадов необходимо применять многодиодные конструкции. Однако, в коротковолновой области миллиметрового диапазона (А=3 мм) одной из основных проблем при создании мощных полупроводниковых устройств, является сложность монтажа в
-
2005
Залкинд, Яков Григорьевич
В производстве МСТ (и, конкретнее, МЭМС) применяется сочетание различных технологий обработки полупроводниковых материалов, металлов, полимеров и т.д., в том числе сложных методов получения объемных деталей (ЛИГА-технология, Зшай-С^-технология, методы получения многослойных поликремниевых слоев и т.д
-
2005
Курбатов, Олег Константинович
Для совершенствования производства больших интегральных схем (БИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС) также применяется вакуумно-технологическое оборудование, в котором используются методы литографии: ультрафиолетовый, электронно-лучевой, ионно-лучевой, рентгеновский и синхротронный. Имеется вакуумно-технологическое оборудование для
-
2005
Белов, Алексей Николаевич
Одним из перспективных направлений является создание упорядоченных массивов нанокристаллов различных материалов в нанопористых матрицах, поскольку подобные структуры наиболее эффективно могут быть использованы для целей интегральной микро- и наноэлектроники. Подходящей матрицей для их формирования является пористый анодный оксид алюминия. В
-
2005
Севостьянов, Александр Сергеевич
Для висмутсодержащих гетеросистем перспективным методом ЖФЭ является градиентная жидкофазная кристаллизация (ГЖК) или зонная перекристаллизация градиентом температуры (ЗПГТ). Параметры технологических процессов этого метода достаточно полно отражены в[11,12,6
-
2004
Арапкина, Лариса Викторовна
Кислород образует в кремнии твердый раствор типа внедрения (находится в междоузлиях) и в этом состоянии практически не проявляет электрической активности. Концентрация межузельного кислорода в монокристаллах кремния, полученных методом БЗП, достигает ~1016 см 3, а методом Чохральского ~1018 см 3. В последнем случае концентрация кислорода
-
2004
Голубченко, Надежда Владимировна
Влияние примесей на электрофизические свойства соединений А4В6, в том числе PbSe, широко обсуждаются в литературе. Однако влияние примесей различной химической природы и концентрации на кинетику и механизмы окисления слоев, процессы образования диэлектрических оксидных слоев и свойства окисленных структур практически не описаны в литературе
-
2004
Александров, Дмитрий Викторович
В России и за рубежом работы в области получения, исследования и возможностей применения в машиностроении и в электронной технике защитных тонкопленочных покрытий на основе нитридов элементов III и IV групп Периодической системы постоянно проводятся в Московском государственном институте стали и сплавов (Технологический университет); Московском
-
2004
Ануфриева, Ирина Викторовна
Достаточно отметить, что в настоящее время более 20 зарубежных фирм разрабатывают и выпускают на мировой рынок около 40 моделей безмасляных форвакуумных насосов [1
