-
2009
Бритков, Олег Михайлович
МЭМС представляют собой множество микроустройств самых разнообразных конструкций и назначения, производимых с использованием как оригинальных, так и модифицированных групповых технологий изготовления изделий микроэлектроники
-
2009
Симакин, Сергей Борисович
В процессе ионно-плазменной обработки необходимо иметь информацию о начальных стадиях зарождения пленки, образовании сплошного слоя, о составе растущего слоя, а в случае травления — о переходе от одного слоя к другому и об окончании процесса
-
2009
Козлов, Владимир Валентинович
Синтез функциональных углеродного нанокристаллического материала и металлоуглеродных нанокомпозитов с помощью термообработки является экономически эффективным методом, так как он основан на принципе самоорганизации, и малого количества наночастиц достаточно для получения выгодных свойств благодаря их высокой удельной поверхности
-
2009
Ермошин, Иван Геннадьевич
Изготовление объемных монокристаллов нитридов группы III является сложным процессом. Высокие температуры плавления и высокие парциальные давления азота препятствуют применению традиционных способов получения кристаллов, которые применяются для кремния или GaAs. В связи с этим, до сих пор безуспешны попытки получения больших кристаллов нитрндов
-
2009
Кулебякин, Алексей Владимирович
Первые монокристаллы кубических твердых растворов на основе диоксида циркония и гафния, получившие позднее название фианитов, были получены в начале 70-х годов XX века [4]. Благодаря уникальному сочетанию свойств, таких как высокий коэффициент преломления, большая твердость, тугоплавкость, ионная проводимость фианиты нашли применение во многих
-
2008
Лыков, Павел Андреевич
Выбор метода выращивания монокристаллов из расплавов определяется возможностью получать кристаллы необходимых размера и качества, а также технологичностью процессов кристаллизации. Ниобат бария-стронция является твердым раствором с широкой областью гомогенности, что вызывает сложности получения кристаллов заданного состава и высокого оптического
-
2008
Митченко, Иван Сергеевич
Основные положения, выносимые на защиту: модель, описывающая влияние технологических факторов на процессы зарождения и роста пленок аморфных и кристаллических алмазоподобных материалов, основанная на результатах квантово-химических расчетов
-
2008
Трепов, Дмитрий Александрович
В течение более чем 30 лет в промышленности для классификации чистых помещений применялся Федеральный стандарт США 209Е, последняя редакция которого опубликована в 1992 году. Этот стандарт был официально аннулирован 29 ноября 2001 года Администрацией общих служб правительства США. В качестве его замены были предложены стандарты ISO 14644-1 для
-
2008
Данилкин, Евгений Викторович
При переходе на пластины большего диаметра многие проблемы, особенно связанные с однородностью, приобретают качественно новый аспект. Некоторые эффекта, которые не проявляются на пластинах меньшего размера, становятся критичными; на пластинах диаметром 300 мм. Например, при травлении STI структур В: плазме GI2/O2/N2 в реакторе высоко плотной
-
2008
Буздуган, Алексей Анатольевич
Другой особенностью.развития .современной.,наиоэлектррь^ж-.является следующий, момецг.:.Планируемое.-.- дальнейшее , .:разэитие.5:.^е^рлоп-р5еского прогресса -.по пути. самоо.рганизации:,в;.данное! время^и, в, ближайшее будущее является. весьма - .сложной,, задачей.для . реш1изации,^ее,. ,в. .промышленных масштабах,,.,Поэтому, проблема
-
2008
Савенко, Алексей Юрьевич
Ранее указанные особенности наноразмерных ионных пучков открывают новые возможности в достижении конечного результата по отношению к широкой гамме материалов электронной техники с обеспечением требуемых точностных параметров обработки и препарирования объектов микро- и нанотехники. С учётом общих тенденций внедрения процессов создания
-
2008
Шаповалов, Виктор Иванович
К началу 90-х годов пленки оксидов переходных металлов составили отдельный класс материалов со свойствами (изолирующими, ферромагнитными, сегнето-электрическими, фотохромными и др.), благодаря которым они нашли широкое применение в электронике, оптике и других областях
-
2008
Бузынин, Александр Николаевич
Проблема выбора подложек и буферных слоев является также крайне актуальной для получения совершенных слоев азотосодержащих соединений АШК приборного качества. В настоящее время наиболее распространенным материалом подложек для роста эпитаксиальных слоев СаИ являются сапфир и карбид кремния. Низкое кристаллическое совершенство слоев ваМ, связанное
-
2008
Мьо Хейн Зо
Поэтому появилась настоятельная необходимость рассмотрения процесса с единых позиций, которые бы способствовали разработке методик оптимизации конструктивно-технологических параметров и управления процессом нанесения полимерных покрытий
-
2008
Ушков, Александр Викторович
Можно констатировать, что одна лишь энергетика поглощает большую часть выпускаемых промышленностью датчиков давления. Энергетические возможности тепло-, гидро- и атомных электростанций определяются давлением пара или воды на лопасти турбин, под действием давления по каналам и трубопроводам на тысячи километров транспортируются вода, нефть и газ
-
2008
Ветров, Владимир Алексеевич
Отсутствие миниатюрных низковакуумных насосов обусловлено сложностью применения на миниатюрном уровне принципов действия традиционного оборудования вакуумной техники и трудностью масштабирования существующих конструкций насосов. Среди возможных средств, реализующих принципы низковакуумной откачки, предлагаются спиральные, перистальтические
-
2008
Муратов, Дмитрий Геннадьевич
-
2008
Силаев, Иван Вадимович
Недостатком таких плоских планарных конструкций приборов является ряд электрофизических эффектов, возникающих при приложении к прибору прямого и обратного напряжения. При протекании рабочего тока его плотность выше у одного из электродов, чья площадь меньше из-за фасок и охранных колец по краям полупроводниковой пластины. Для эффективного отвода
-
2008
Стратейчук, Диана Михайловна
Однако преимущества этого метода могут быть реализованы только при решении ряда технологических проблем, касающихся в частности, обеспечения чистоты конечного продукта, управляемого формирования пленок требуемого состава и структуры, разработки контролируемого процесса активации фоточувствительности поликристаллических пленок
-
2008
Корнилов, Денис Юрьевич
В последние годы отмечается быстрый рост научного, промышленного и коммерческого интереса к новому классу материалов, появление которого отразило стремление к миниатюризации в практике построения различных объектов. Эти материалы, обладающие необычной атомно-кристаллической решёткой, получили название — наноструктурных материалов (НСМ). К этому
