автореферат диссертации по транспорту, 05.22.09, диссертация на тему:Выпрямители тяговых подстанций постоянного тока на циклостойких диодах высоких классов

ВВЕДЕНИЕ

I. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ВОПРОСА, ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ . М

1.1. Пути совершенствования полупроводниковых преобразователей электрифицированных линий

1.2. Эксплуатационные режимы работы преобразователей электрифицированных линий и транспорта

1.3. Вопросы использования мощных полупроводниковых диодов высокого класса в преобразователях тяговых подстанций

1.4.0сновные задачи исследования г. ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ И ХАРАКТЕРИСТИК ТАБЛЕТОЧНЫХ

ДИОДОВ ПРИ ИХ ИСПОЛЬЗОВАНИИ В ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ ЭЛЕКТРИФИЦИРОВАННЫХ линий

2.1. Анализ параметров и характеристик полупроводниковых приборов высоких классов в таблеточном исполнении

2.2. Определение эффективности использования систем "прибор - охладитель" в преобразовательных секциях с естественным воздушным охлаждением . ^

2.3. Способы получения предельных нагрузочных характеристик диодов преобразовательных секций с принудительным и естественным воздушным охлаждением . . 5&

2.4. Выводы.

3. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ТЯГОВЫХ ПОДСТАНЦИЙ ЭЛЕКТРИФИЦИРОВАННЫХ ЛИНИЙ НА МОЩНЫХ ДИОДАХ

ТАБЛЕТОЧНОГО ИСПОЛНЕНИЯ

3.1. Особенности выбора числа параллельно соединенных 1 диодов преобразовательной секции . ТН

3.2. Уточненный расчет числа последовательно соединенных диодов преобразовательной секции . Е

3.3. Расчет и проверка параметров устройств распределения и снижения обратных напряжений в модернизированной преобразовательной секции

3.4. Использование нелинейных ограничителей для защиты диодов от коммутационных перенапряжений

3.5. Выводы

4. ОСОБЕННОСТИ ЭКСПЛУАТАЦИИ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ

ЦИКЛОСТОЙКИХ ДИОДОВ ВЫСОКИХ КЛАССОВ

4.1. Модернизированные преобразователи тяговых подстанций электрифицированных линий железных дорог и метрополитенов и их основные технические характеристики

4.2. Исследование параметров и в.а.х.диодов опытных модернизированных преобразователей с принудительным и естественным воздушным охлаждением

4.3. Анализ работы и оценка состояния надежности модернизированных преобразователей . {Ц

4.4. Пути повышения надежности эксплуатируемых преобразователей на таблеточных диодах высоких классов . Н

4.5. Выводы . /

5. ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКИЕ ПОКАЗАТЕЛИ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА

МОЩНЫХ ДИОДАХ ВЫСОКИХ КЛАССОВ .'

-4Стр.

5.1. Основные технические показатели преобразователей на мощных диодах высоких классов

5.2. Экономическая эффективность при внедрении модернизированных преобразователей . \Ю

5.3. Основные технико-экономические преимущества применения полупроводниковых преобразователей на циклостойких диодах высоких классов . 475"

5Л. Выводы . . т

В соответствии с Основными направлениями экономического и социального развития СССР на I98I-I985 годы и на период до 1990 года, утвержденными ХХУ1 съездом КПСС, основной задачей транспорта является полное и своевременное удовлетворение потребностей народного хозяйства и населения в перевозках, повышение эффективности и качества работы транспортной системы.

В этих целях пятилетним планом экономического и социального развития железнодорожного транспорта на I98I-I985 годы предусмотрена большая программа развития материально-технической базы и улучшения эксплуатационной работы железных дорог на основе интенсификации производства, внедрения новой техники, прогрессивной технологии и автоматизированных систем управления /1 /. Программой предусматривается осуществление комплекса мероприятий по техническому перевооружению и дальнейшему увеличению провозной и пропускной способностейгрузонапряженных железнодорожных линий.

Непрерывный рост грузонапряженности электрифицированных железнодорожных линий и линий метрополитенов предъявляет все более высокие требования к бесперебойности работы устройств тягового электроснабжения. Ускорение научно-технического прогресса и перевод экономики на интенсивный путь развития ставит задачу более рационального использования производственного потенциала страны и экономии всех видов ресурсов, особенно топливно-энергетических /2/. Вскрытие имеющихся резервов экономии энергоресурсов и рациональное их использование на электрифицированных линиях железных дорог и метрополитенов позволит частично компенсировать растущую потребность в них.

Очень важным в решении этой проблемы в условиях ежегодного прироста грузооборота железнодорожного транспорта и увеличения размеров движения на метрополитенах является экономия электроэнергии на тягу поездов. Необходимо отметить, что удельный вес потребляемой электроэнергии на тягу поездов в общем ее расходе на железнодорожном транспорте составляет 81%, на метрополитенах - более 15% /2,3 /.

Протяженность электрифицированных железных дорог постоянного тока составляет 57,8% общей протяженности электрифицированных линий, расход электроэнергии на тягу поездов в 1982 г. достиг 27,0 млрд. кВт.ч. В связи с этим дальнейшее повышение надежности и экономичности тяговых подстанций постоянного тока и, главным образом, основного его элемента - преобразователя является одной из главных задач. Уменьшение потерь электроэнергии на тяговой подстанции постоянного тока, увеличение ее коэффициента полезного действия (к.п.д.) и использование в полной степени таких преимуществ полупроводниковых преобразователей, как их надежность, экономичность, простота обслуживания позволяет существенно повысить технико-экономические показатели системы тягового электроснабжения.

В настоящее время на тяговых подстанциях постоянного тока эксплуатируют несколько типов преобразователей с принудительным и с естественным воздушным охлаждением на базе диодов штыревой конструкции В200 и BJI200, значительная часть которых работает уже 10 лет и более. Используемые диоды, на базе которых созданы преобразователи, имеют ограниченную циклостойкость, что приводит к росту их отказов в процессе эксплуатации.

На полупроводниковые преобразователи тяговых подстанций железных дорог постоянного тока и метрополитенов приходится существенная доля потерь электроэнергии. Это вызывает необходимость развертывания работ по совершенствованию эксплуатируемых и созданию новых преобразователей.

Дальнейшее совершенствование преобразователей должно идти по пути применения новых типов трансформаторов и 12-фазных схем выпрямления, более мощных циклостойких приборов таблеточного исполнения, замены принудительного воздушного охлаждения диодов на естественное. Использование мощных циклостойких приборов таблеточного исполнения позволит увеличить срок службы преобразователей, повысит их нагрузочную способность и надежность, уменьшит потери электроэнергии и даст возможность использовать такие выпрямители в более широком диапазоне Тяговых нагрузок.

В первую очередь должны быть модернизированы (путем замены диодов штыревой конструкции на таблеточные высоких классов) те преобразователи, у которых наблюдается повышенная интенсивность отказов диодов. Как правило это преобразователи, срок службы которых более 8-10 лет.

В качестве основной задачи диссертационной работы является совершенствование преобразователей тяговых подстанций электрифицированных линий железных дорог постоянного тока и линий метрополитенов на основе использования более мощных таблеточных диодов высоких классов с повышенной циклостойкостью.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, выводов. . ::

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. Исследованиями установлено, что дальнейшее улучшение технических показателей полупроводниковых преобразователей электрифицированных линий железных дорог и метрополитенов возможно на основе использования мощных циклостойких таблеточных диодов высоких классов.

2. Определены типы мощных таблеточных диодов и охладителей к ним, необходимые для создания новых и модернизации существующих преобразователей с принудительным и естественным воздушным охлаждением.

3. С помощью методов математической статистики исследованы в.а.х.таблеточных диодов, получены усредненные и граничные значения параметров диодов, рассчитаны мощности потерь в них, определены обратные токи диодов и выявлен характер изменения обратных в.а.х,при различных температурах. Эти данные необходимы для определения основных технических характеристик и расчетов к.п.д., экономии электроэнергии и экономической .эффективности модернизированных преобразователей.

Получены зависимости, позволяющие рассчитывать температуру структуры диода по измеренным температурам его анодного и катодного выводов, что значительно упрощает и сокращает время определения нагрузочной способности преобразовательной секции.

5. Получено уточненное выражение для определения тепловых потерь, рассеиваемых охладителем в режиме естественного охлаждения. Найденные значения тепловых сопротивлений и мощностей потерь применяемых систем "прибор-охладитель" послужили основой для определения основных параметров и определения допустимых перегрузок и переработок электроэнергии модернизированных преобразователей.

6. Предложена уточненная методика определения числа параллельно "Q " и последовательно "S " соединенных диодов в преобразовательной секции. Показано, что оценку выбранного значения числа "ft" следует производить по амплитуде тока через диод при аварийных режимах работы преобразователей. Получены соотношения между возможной амплитудой внешних перенапряжений и допустимой неравномерностью ее распределения между диодами, позволяющие выбрать число "S" в секции. Выведена расчетная формула для определения сопротивления шунтирующих резисторов Rui.

7. Разработана методика расчета амплитуд перенапряжений, появляющихся при аварийных режимах работы модернизированных преобразователей по схеме звезда-две обратные звезды. Установлено, что при существующих параметрах (?вСв-цепей преобразовательных секций в режиме к.з на шинах выпрямленного тока возможно возникновение перенапряжений, которые превышают повторяющееся напряжение таблеточных диодов. Для защиты диодов от пробоя предложено использовать нелинейные ограничители напряжения - варисторы, подключаемые параллельно каждому ряду диодов.

8. Анализ эксплуатационных данных по изменению основных параметров таблеточных диодов модернизированных преобразователей, проводившийся в течение ряда лет, показал стабильность таких параметров, как обратный ток и установившееся тепловое сопротивление структура-корпус диодов. Установлено, что основным параметром, определяющим изменение вольт-амперных характеристик таблеточных диодов в эксплуатации, является прямое падение напряжения Uo.c . С помощью зависимостей изменения величины Uo.c от переработки электроэнергии рассчитано уменьшение нагрузочной способности преобразователей с принудительным воздушным охлаждением при длительной его эксплуатации.

9. Оценка и анализ основных показателей надежности модернизированных преобразователей выявили необходимость проведения на линиях железных дорог разработанного комплекса технических мероприятий, направленного на улучшение эксплуатационной работы этих преобразователей.

Выявлено, что снижение надежности работы преобразователей происходит из-за поставки заводом-изготовителем некачественных диодов. Рекомендовано осуществлять проверку диодов на соответствие номиналу обратного тока на заводе МЭЗ ЦЭ МПС.

10. Анализ основных характеристик преобразователей на цикло-стойких таблеточных диодах высоких классов показал их преимущество по сравнению с эксплуатируемыми преобразователями на диодах В200 и BJI2Q0.

Экономия электроэнергии на тяговой подстанции составляет в среднем 145 тыс.кВт.ч в год, а экономический эффект от внедрения 140 модернизированных преобразователей с принудительным и естественным воздушным охлаждением достигает 1,82 млн,руб. за срок их службы. Экономия электроэнергии на тяговой подстанции линий метрополитена составляет в среднем 25 тыс.кВт.ч в год, а экономический эффект от внедрения одного преобразователя - 4 тыс. руб за срок его службы.

1. Основные направления экономического и социального развития СССР на I98I-I985 годы и на период до 1990 года. Политиздат, 1981, 95 с.

2. Никифоров Б.Д., Поплавский А.Н. Экономное использование энергетических ресурсов важнейшая задача пятилетки. - Вестник ВНИИЖТ, 1981, № 2, с. 1-6

3. Метрополитены в СССР в 1980 г. Серия "Метрополитены. Эксплуатация и технические средства". ЦНИИТЭИ МПС, 1981, вып. I, с. 10-11

4. Полупроводниковые преобразовательные агрегаты тяговых подстанций /С.Д.Соколов, Ю.М.Бей, Я.Д.Гуральник, Ю.Г.Чаусов М.: Транспорт, 1979, 264 с.

5. Монтаж, наладка и эксплуатация полупроводниковых преобразователей тяговых подстанций /С.Д.Соколов, Я.Д.Гуральник, А.М.Со-лянников, О.Г.Чаусов. М.: Транспорт, 1972, 192 с.

6. Соколов С.Д., Перова Н.А., Глухов И.Г. Выпрямитель улучшенной конструкции с естественным воздушным охлаждением на лавинных вентилях и его нагрузочная способность. М.: Труды ВНИИЖТ, 1974, вып. 520, с. 74-83

7. Бобров Е.Г., Соболев Ю.В., Соколов С.Д. Повышение эффективности полупроводниковых выпрямительных агрегатов тяговых подстанций. Вестник ВНИИЖТ, 1975, № I, с. 1-5.

8. Бобров Е.Г., Соболев Ю.В., Соколов С.Д. Исследование перенапряжений в схемах полупроводниковых выпрямительных агрегатов тяговых подстанций. Труды УО ВНИИЖТ, 1975, вып. 19, с.45-54,

9. Электроснабжение метрополитенов. Устройство, эксплуатация и проектирование. /A.M.Колузаев, Л.С.Едигарян, Д.Г.Ермолов и др. М.: Транспорт, 1977, с. 70-185

10. Полупроводниковые выпрямители с испарительным охлаждением. Дэнки Тэцудо, 1974, т. 28, № I, 84 с.

11. Бардин В.М. Критерии усталостной прочности силовых вентилей. -В сб.: Преобразовательная полупроводниковая техника.-Саранск: 1970, с. 45-50

12. Бардин В.М. Надежность силовых полупроводниковых приборов. -М.: Энергия, 1978, 95 с.

13. Матвеев Л.А. Исследование режимов работы силовых кремниевых преобразователей в системах электроснабжения трамвая и троллейбуса. Дисс.канд.техн.наук. - М.: 1975, 161 с.

14. Калашников Б.Г. Исследование старения кремниевых выпрямителей тяговых подстанций городского электрифицированного транспорта и разработка методов оценки качества вентилей. Дисс. . канд.техн.наук. - М.: 1975, 209 с.

15. Петров И.В. Исследование старения припоев силовых кремниевых вентилей при импульсных нагрузках. Труды ВНИИЖТ, 1969, вып. 397, с. 144-151

16. Голованов В.А., Капустин Л.Д., Хомяков Б.И. Эксплуатация силовых преобразователей электроподвижного состава. М.: Транспорт, 1979, 207 с.

17. Соболев Ю.В., Бобров Е.Г. О сроке службы диодов полупроводниковых выпрямителей тяговых подстанций электрических железных дорог. Межвузовский сборник трудов. Полупроводниковая техника в устройствах электрических железных дорог, ЛИИЖТ, 1981, с. 3-7

18. Бобров Е.Г., Соболев Ю.В. Тепловое старение диодов и надежность выпрямителей тяговых подстанций. Труды ВНИИЖТ, 1980, вып. 624, с. 4-II

19. Соболев Ю.В., Бобров Е.Г. Исследование закономерностей процессов старения диодов выпрямителей тяговых подстанций. -Труды ВНИИЖТ, 1980, вып. 624, с.17-23

20. Соболев Ю.В. Определение отбраковочной нормы теплового сопротивления диодов. Труды ВНИИЖТ, 1980, вып. 624, с. 23-30

21. Челноков В.Е. Состояние и перспективы электроники силовых полупроводниковых приборов. В сб.: Полупроводниковые приборы и их применение. -М.: "Сов.радио", 1971, вып. 25, 472 с.

22. Сахаров Ю.В., Животова Н.М. Состояние производства силовых полупроводниковых приборов за рубежом. Э.П. Преобразовательная техника, 1973, вып. 3(38), с. 33-37

23. Электроника, 1975, № 13, с. 24-40

24. Диоды таблеточные на токи 320 . 1600 А. Каталог 05.04.18-79. М.: Информэлектро, 1980, 17 с.

25. Охладители серии OA и ОМ для полупроводниковых приборов таблеточного исполнения. Каталог 05.20.01-81. - М.: Информэлектро, 1981, 15 с.

26. Осипов Ю.В. Исследование и разработка силовых блоков мощных полупроводниковых преобразователей с испарительным охлаждением. Дисс. . канд.техн.наук. Саранск, 1979, 183 с.

27. Диоды таблеточные серии ДЛ123, Д133, ДЛ133, Д143, Д253 на токи 320-1600 А. Каталог Ж.05.10.01-80. - М.: Информэлектро, 1981, 7 с.

28. Чебовский О.Г., Моисеев Л.Г., Сахаров Ю.В. Силовые полупроводниковые приборы (справочник). М.: Энергия, 1975, 512 с.

29. Бардин В.М., Моисеев Л.Г. и др. Аппаратура и методы контроля параметров силовых полупроводниковых вентилей. М.: Энергия, 1971, 184 с.

30. Соколов С.Д., Степанец В.А. Вентили высоких классов в преобразовательных агрегатах тяговых подстанций. Труды ВНИИЖТ, 1976, вып. 551, с. 136-143

31. Исаев И.П., Брунштейн Д.П. Методика анализа технологической и эксплуатационной стабильности силовых полупроводниковых вентилей. М.: Электричество, 1964, № 12, с. 6-II

32. Статистические методы обработки эмпирических данных. М.: Издательство стандартов, 1978, 231 с.

33. Шор Я.Б., Кузьмин Ф.И. Таблицы для анализа и контроля надежности. -М.: Советское радио, 1968, 288 с.

34. Исакеев А.И., Киселев И.Г., Филатов В.В. Эффективные способы охлаждения силовых полупроводниковых приборов. Л.: Энерго-издат, 1982, 136 с.

35. Степанец В.А. Вентили высоких классов в преобразовательных агрегатах с естественным воздушным охлаждением. М.: Труды ВНИИЖТ, 1979, вып. 618, с. 25-30

36. Рабинерсон А.А., Ашкинази Г.А. Режимы нагрузок силовых полупроводниковых приборов. М.: Энергия, 1976, с. 45-70

37. Соболев Ю.В. Прибор для измерения тепловых сопротивлений диодов. Труды ВНИИЖТ, 1980, вып. 624, с. II-I7

38. Дульнев Г.Т. Теплообмен в радиоэлектронных устройствах. М.: Госэнергоиздат, 1963, с. 83-87

39. Соколов С.Д., Шевейко И.А., Степанец В.А. и до. Агрегаты с естественным воздушным охлаждением на вентилях таблеточной конструкции. М.: Труды ВШИТ, 1979, вып. 618, с. 30-36

40. Мирошниченко Р.И. Режимы работы электрифицированных участков. -М.: Транспорт, 1982, с. 64-135

41. Сопов В.И. Технико-экономическое обонование номинальных единичных мощностей и количества выпрямительных агрегатов на тяговой подстанции электрических железных дорог. Дисс. . канд. техн.наук. Омск, 1970, 248 с.

42. Параметры и системы охлаждения полупроводниковых преобразователей тяговых подстанций /С.Д.Соколов, В.И.Иванов. -М.: Труды ВНИИЖГ, 1971, вып. 446, 56 с.

43. Тиристоры (Технический справочник). М.: Энергия, 1971, с. 62-70

44. Давидов П.Д. Анализ и расчет тепловых режимов полупроводниковых приборов. М.: Энергия, 1967, 144 с.

45. Параллельное включение диодов и тиристоров в преобразователях электроподвижного состава /Л.А.Мугинштейн, О.А.Некрасов, Ю.В.Иванов/ М.: Труды ВНИИЖТ, 1976, вып. 561, с.П-17

46. Силовые кремниевые вентили. Каталог 05.03.51-70. - М.: Ин-формэлектро, 1970, 52 с.

47. Полупроводниковые выпрямители /Под ред. Ф.И. Ковалева и Г.П. Мостковой/. М.: Энергия, 1978, с. 265-384

48. Давыдова И.Н., Попов Б.И., Эрлих В.М. Справочник по эксплуатации тяговых подстанций и постов секционирования. М.: Транспорт, 1978, с. 24-25

49. Соколов С.Д., Фирсова Л.Д., Руднев В.Н., Кишиневский Р.Н. Полупроводниковые выпрямители тяговых подстанций. М.: Транспорт, 1968, с. 30-50

50. Соколов С.Д., Степанец В.А. Распределение напряжения между последовательно соединенными вентилями. М.: Труды ВНИИЖТ; 1976,вып. 551, с. 65-71

51. Болдырев Е.А. Переходные электрические процессы при восстановлении обратного напряжения на последовательно соединенных кремниевых вентилях . М.: Электричество, 1966, № 12,с. 66-71

52. Болдырев Е.А. Ограничение обратных напряжений на последовательно соединенных вентилях. М.: Электричество, 1971, № 3, с. 59-63

53. Гринштейн Б.И., Жмуров В.П. Анализ послекоммутационных процессов в мощном высоковольтном полупроводниковом преобразователе. -М.: Электричество, 1979, № II, с. 31-35

54. Кузьмин В.А., Мустафа Г.М., Миносян В.Л. Моделирование переходного процесса выключения тиристора на ABM. М.: ЭП. Преобразовательная техника, 1978, № 3(98), с. 7-9

55. Гринштейн Б.И., Жмуров В.П. и др. Расчет послекоммутационно-го периода в трехфазном мостовом полупроводниковом преобразователе при применении вентилей с лавинными характеристиками. -М.: Электричество, 1970, № 2, с. 32-36

56. Травнин Л.В. Состояние производства и уровень научных исследований в области высоковольтных тиристорных блоков за рубежом.1. М.: 1971, 109 с.

57. Теумин И.И. Справочник по переходным электрическим процессам. -М.: Связьиздат, 1951, с. 318-393

58. Засорин С.Н., Карш Н.А. и др. Ионные и электронные преобразователи. -М.: Трансжелдориздат, 1961, с. 35-77

59. Караченцев А.Я., Поташев Ю.Н. Высоконелинейные оксидно-цинковые варисторы. "Электронная техника". Сер. 5, Радиодетали, 1973, вып. 4(33), с. 37-43

60. Долгих В.А., Караченцев А.Я. и др. Характеристики новых типов ограничителей напряжения оксидно-цинковых варисторов. -Электротехническая промышленность. Преобразовательная техника, 1975, вып. 8(67), с. 5-6

61. Авдеенко Б.К., Бронфман А.И. и др. Керамические резисторы с высоким коэффициентом нелинейности на основе окиси цинка. -Электричество, 1976, № 9, с. 61-63

62. Бронфман А.И. Режимы работы вентильных разрядников при грозовых перенапряжениях. Л.: Энергия, 1977, 120 с.

63. Варисторы постоянные СН2-2А, СН2-2Б, СН2-2В, СН2-2Г. Технические условия ТУП-80, 1980, 17 с.

64. Новиков М.Н., Егоров В.В. Электрические и тепловые характеристики варисторов. Депонент ЦНИИТЭИ, № 1080/80. -М.: 1980, с. 4

65. Соколов С.Д., Степанец В.А., Санников Ю.Г. Полупроводниковые выпрямители на вентилях высоких классов для тяговых подстанций постоянного тока. Вестник ВНИИЖТ, 1976, № I, с.10-13

66. Соколов С.Д., Перова Н.А., Козлов Б.И. Надежность полупроводниковых выпрямителей тяговых подстанций. Труды ВНИИЖТ, 1970, вып. 420, с. 33-46

67. Иванов В.И. Системы охлаждения полупроводниковых преобразователей устройств электрической тяги. М.: Транспорт, 1978,с. II5-I20

68. Соколов С.Д. Максимальное значение к.п.д преобразовательного агрегата. Труды ВНИИЖТ, 1976, вып. 551, с. 9-14

69. Определение экономической эффективности новой техники, изобретений и рационализаторских предложений. Методичевкие указания. Минск, Полымя, 1979, 144 с.

70. Государственный комитет СССР по ценам. Изменение средних оптовых цен (тарифов). Справочники № 1-5. М.: Прейскурантиздат, 1981, с. 1876. la modernisation des sous- station n ifie. die Rait \Ш} Ns 1557, с JS

71. Lauienseau La modeJtds>aiion des sous,--station a couzani coniinu 1500V d^ia S.M.C.F. n Rev. qen. chemin S fa." /978,97c.7&. ВачсШ N. Se&MujUbL 6tuchzichiergeiHt felt.cliz Speis>unfy \fon 6shornftUinen.;/ Siemens Zeitshiiflj c.15-17.

72. P. Sa&r^oe/t. Weich^LchlexsioitlDnen jut Babnen. „B^own Bove^c шЬ&ет^п" тЬВЛЫ^Н^ЯН-БОГ

73. Shlmizu Ка$>иот1} Ono Нагио. Recent silicon rtciiji&c

74. DC tai^way su6s>+ation and its selection fl Full JtchOj /976,43, HCS} c,231-2^38f. 6ai Ko8aLjashi/ ^oshito ShUano, Oc^awu Tana«a; Jii-isirui faKushcma^Seicln' MiUumoto. Разрсхдстка мощных полупроводниковых п^оЪразо&атемнi окла

75. Ж^аемык посредством кипения и конденсации тепло-носитем. ^пиц^бцси'Эеики гихо",/974,т.48,/ю? с.225--гзэ

76. Я2. Watanafic MolL, Kuwaha&a Макoto, Recent tac^way saltation equipment. , Hd&chL Ri\i."l31&,Z7fN% c.3<-36 '