-
1998
Михальцов, Евгений Петрович
-
1998
Беликов, Aндрей Иванович
Большинство используемых в ВТО механизмов не соответствуют новым требованиям по потоку генерируемых микрочастиц. Как показывает практика, используемые в механизмах пары трения при работ? выделяют в вакуумную среду значительные потоки части износа, достигающие 2000 шт/с и более. А получившие в последнее время распространение
-
1998
Суворинов, Александр Владимирович
Важнейшей мерой обеспечения надежности и повышения процента выхода годных микросхем является диагностический контроль, дающий информацию о месте, природе и причинах возникновения неисправностей. При этом особое значение имеет функциональная диагностика ИС, поскольку ошибки проектирования стоят в ряду основных проблем, ограничивающих дальнейшее
-
1998
Тупик, Виктор Анатольевич
-
1998
Колтович, Валерий Александрович
Узким местом технологии ультразвукового плющения являются вопросы проектирования ультразвуковых колебательных систем, стабильность работы которых оказывает существенное влияние на точность лент и энергосиловые характеристики обработки, а также измерительных средств для контроля параметров ультразвукового плющения
-
1998
Кундас, Семен Петрович
Ускорение и повышение эффективности научно-исследовательских и оиытно-конструкторских работ в этом направлении может бить достигнуто применением методов математического и компьютерного моделирования, позволяющих осуществлять всесторонние исследования названных процессов при минимальных затратах времени и материальных средств, и на их основе
-
1997
Пасков, Василий Викторович
Целыо работы являются разработка и исследование всепогодных технологических схем централизованного снабжения производств электронной техники и жилых зданий, позволяющих оптимизировать
-
1997
Булыгина, Екатерина Вадимовна
Как показывает практика, усилия, предпринимаемые для предотвращения попадания микрочастиц на предварительно очищенную поверхность изделий, не гарантируют их отсутствия на поверхности в момент обработки, т.к. между очисткой и обработкой изделие подвергается воздействию потоков МДЧ, например, во время откачки вакуумной камеры. Поэтому перспективным
-
1997
Карпович, Святослав Евгеньевич
Однако интенсивное увеличение объемов производства ИС и БИС при дальнейшем повышении их степени интеграции, увел1гчение процента выхода годных и снижение стоимости становится невозможным без оснащения производства высокопроизводительным прецизионным технологическим оборудованием
-
1997
Березин, Андрей Сергеевич
В первой главе дан краткий литературный обзор проблЕ технологической экологии производства СБИС, перечислены основные пу решения этих проблем и дана их оценка. Особое внимание уделено требование технологической экологии субмикронного производства к специально!» технологическому оборудованию
-
1997
Масычев, Виктор Иванович
Скорость напева и производительность термических операций зависит от скорости распространения тепла в объем материала. При этом величина нагреваемого объема, максимальное приращение температуры и температурный профиль регулируются лазерной мощностью, распределением мощности по сеченшо пучка и временем нагрева. Часто для уменьшения градиента
-
1997
Меркушев, Олег Михайлович
Дальнейшему прогрессу в решении проблемы препятствует отсутствие математических моделей, методик проектирования и развитых на их базе инженерных методов расчета н конструирования "чистых" узлов технологического оборудования и роботов-манипуляторов
-
1997
Садыков, Камиль Самигуллович
Щименение диффузионных насосов в составе оборудования производства электронной техники обусловлено совокупностью характеризующих их эксплуаташонных достоинств. Сни являются наиболее дешевым средством откачки, надежны в эксплуатации , не имеют резко выраженной селективности при откачке газовых смесей, характеризуются постоянством быстроты откачки в
-
1997
Кухарев, Сергей Анатольевич
Результаты исследований положены в основу проекта по разработке высокоскоростной установки глубинной химико-термической обработки, внедрение которой в производство позволит значительно повысить производительность процесса химнко-Терынческой обработки и заменить в ряде случаев дорогостоящей и длительный про
-
1996
Белоусов, Вячеслав Михайлович
Одним из перспективных направлений в технологии создания изделий электронной техники с высокой степенью интеграции является внедрение новых и перспективных технологий, в частности, электроннолучевой термообработки полупроводниковых структур, что доказано в ряде отечественных и зарубежных исследований. Однако до последнего времени использование
-
1995
Михайлов, Валерий Павлович
Наиболее ответственной в производстве ИМС является литографическая операция, которая может повторяться по 10-15 и более раз при изготовлении одного кристалла ИМС и которая во многом определяет точность воспроизведения топологического рисунка и, в конечном итоге, качество получаемой структуры и производительность процесса производства Ю.!С в целом
-
1995
Ухов, Андрей Александрович
Ва второц главе рассматриваются фотоэлектрические средства размерного контроля элементов фотошаблонов интегральных с*ем (ИС). Обоснован выбор телевизионных методов, как наиболее универсальных на сегодняшний день по своим функциональным возможностям н удовлетворяющих по точности и быстродействию
-
1993
Калинина, Ирина Серафимовна
Одними из основополагающих характеристик функционирования ЧПП 1-100 являются тепловлакностные параметры прецизионных систем кондиционирования воздуха в рециркуляционных контурах (РК), делящихся по классификации автора на замкнутые, разомкнутые и комбинированные. В соответствии с ОСТП 14.330287 "Изделия электронной техники. Общие технические
-
1993
Батраков, Василий Борисович
Одним из выходов из сложившейся ситуации является разработка и применение новых развивающихся методик проектирования, позволяющих генерировать множество различных технических решений и проводить. целенаправленный их поиск и еьйор, исходя из технического й'з
-
1991
Марущенко, Сергей Григорьевич
В этих условиях растровая электронная микроскопия обеспечивает чрезвычайно широкие возможности получения информации о параметрах БИС, а электронно-лучевой контроль возник как наиболее эффективный метод для выполнения этой задачи. До недавнего времени такое техническое средство в большей степени представляло собой набор изолированных приборов, а не
