автореферат диссертации по электронике, 05.27.07, диссертация на тему:Разработка методов расчета и оптимизация вакуумных диффузионных насосов

РГ6 од

- 3 СЕЙ №

На правах рукописи УДК 533.563.5;621.527

Садыков Камиль Самигуллович

РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ РАСЧЕТА И ОПТИМИЗАЦИЯ ВАКУУМНЫХ ДИФФУЗИОННЫХ НАСОСОВ

(специальность: 0b.27.07 - оборудование производства электронной техники"

диссертации ка соискание ученой степени доктора технических наук

Автореферат

/

У"

Москва - 1997

Работа выполнена в АО "Еакуумыаш"

Официальные оппоненты: доктор технических наук, профессор,

лауреат государственной премии МИНАЙЧЕВ Виктор Егорович

доктор технических наук, профессор КРЮКОВ Алексей Павлович

доктор технических наук, профессор 0ДИН0К0В Вадим Васильевич

Ведущее предприятие - Институт теплофизики СО РАН

Защита состоится 16 сентября 1997 г. в 10.00 на заседании диссертационного совета Д 063.68.02 в Московском Государственном институте электроники и математики (Т.У) по адресу: 109028, Москва, Б.Трехсвятительский пер., дом 3/12.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке института Автореферат разослан с^Со^лЯ

Ученый секретарь

диссертационного совета /^У'Су¿4/} В.И.ЖУКОВ

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБСТЫ

Актуальность темы. Вакуумные паромаеляные диффузионные насоск применяются в производстве газоразрядных, генераторных и сверхвысокочастотных приборов, телевизионных и рентгеновских трубок, в технологических установках по нанесению тонких пленок, ионного внедрения, плазмохимического травления, электроннолитографических и обеспечивающих получение элементов электронных схем субмикронных размеров, т.е. в широком спектре производства электронной техники. Число технологи -ческих процессор производства электронной техники,реализуемых в условиях вакуума,постоянно растет.

Щименение диффузионных насосов в составе оборудования производства электронной техники обусловлено совокупностью характеризующих их эксплуаташонных достоинств. Сни являются наиболее дешевым средством откачки, надежны в эксплуатации , не имеют резко выраженной селективности при откачке газовых смесей, характеризуются постоянством быстроты откачки в широком диапазоне давлений, чем обуславливается их способность быстро восстанавливать в технологическом объеме требуемый вакуум даже в случае резко меняющихся газовых нагрузок.

Рост области применения, а также ужесточение технологических требований в традиционных технологиях,вызывает повышение требований к современным диффузионным насосам. Что, в свою очередь,приводит к необходимости постановки новых задач, решение которых дало бы возможность на основе перспективных методов проектирования разрабатывать вакуумные диффузионные насосы, которые отличались бы высокой эффективностью работы, оптимальными техническими характеристиками в широком диапазоне изменения откачных параметров.

Создание комплекса эффективных методов расчета и оптимизации вакуумных диффузионных насосов является актуальной проблемой, поскольку ее реализация позволяет поднять научно-технический уровень разработок вакуумных насосов, обеспечить поиск принципиально новых конструктивных решений и получить народнохозяйственный эффект за счет увеличения удельных откачных параметров, снижения материалоемкости, габаритных размеров, трудозатрат на проектирование, изготовление и доводку основных узлов проточной части и насоса в целом.

Цель и задачи работы. Цель работы - создание методов расчета и оптимизация вакуумных диффузионных насосов, обеспечивающих, с учетом ужесточения требований к насосам, улучшение их основных характеристик, определение и формализация новых конструктивных решений с внедрением их в промышленное производство. Достижение поставленной цели потребовало выполнить »омпле*гс научных исследований для решения следующих задач: дальнейшее развитие теоретических основ течения рабочего пара в проточной части, смешения откачиваемого газа с рабочим паром, возникновения и существования обратного потока рабочей жидкости; анализ елияния различных факторов на основные характеристики и разработка практических рекомендаций для конструирования насосов; разработка методов расчета геометрических и режимных параметров с различными конструктивными схемами; создание теоретических принципов и методов оптимизации диффузионных насосов; внедрение результатов исследований в промышленность.

Научная новизна работы состоит в том, что:

-предложены и экспериментально проверены-модели смешения откачиваемого газа с рабочим паром в проточной части насоса;

- теоретически и экспериментально исследовано течение рабочего пара в паропроводе, соплах и струях насоса;

- созданы методы расчета отдельных элементов и насоса в' целом;

- получены экспериментальные результаты для коррекции известных методов расчета течения газа на входе в насос и течения обратного потока рабочего пара;

- разработана методика определения теплофизических сеойств паров нефтепродуктов с применением концепции точечной псевдокомпоненты;

- впервые предложена методика масс-спектрометрического исследования остаточной среды на входе в насос с применением ее лазерной ионизации;

- предложены и обоснованы новые перспективные направления в конструировании проточной части диффузионных насосов.

Практическая ценность. Разработанный комплекс методов расчета дал возможность развить теорию диффузионных насосов

на качественно новой базе: детальном изучении процессов,происходящих в насосах. Применение разработанных методов расчета позволяет проектировать насосы с улучшенными характеристиками. Уменьшение производственных и эксплуатационных; затрат, учитывая масштабы производства и применения диффузионных насосов,приводит к положительному экономическому эффекту.

Методы исследований. Теоретическое исследование течения откачиваемого газа во входном канале насоса, смешение откачиваемого газа с рабочей струей во входной ступени и расчет обратного потока проведены на основе метода Монте-Карло. Течение рабочего пара в сопле, струе, смешение рабочего пара с откачиваемым газом в промежуточных ступенях проведено на основе двумерных уравнений газовой динамики. Течение пара в паропроводе и смешение в эжектор-ной ступени - на основе одномерных уравнений газовой динамики.

Адекватность созданных в работе моделей определялась экспериментальными исследованиями, проведенными в лабораторных и производственных условиях, а также при сравнении с достоверными данными, полученными в известных обоснованных работах.

Экспериментальные методы изучения течения потоков рабочего пара и откачиваемого газа, а также состояния остаточной среды проведены с использованием пневмометрического, термо-анемометричесного, электронно-пучкового, масс-спектрометри-ческого с лазерной ионизацией методов. Применялись также традиционные методы измерения параметров Еакуумных насосов.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались:

На Всесоюзном симпозиуме "Состояние и перспективы разработки и произЕоцства новых вицоб вакуумного оборудования". Казань, 1981. Ка Всесоюзной научно-технической конференции "Состояние и перспективы развития вакуумной техники".Казань, 1991. На 8 и II Всесоюзной конференциях по динамике разреженных газов. Москва, 1985 и Ленинград, 1991. На I Всесоюзном семинаре "Оптические методы исследования потоков". Новосибирск, 1989. На 17 Международном симпозиуме по динамике разреженного газа. Аахен, 1990. На 2 и 3 Европейской вакуумной конференциях. Триест, 1990 и Вена 1991. На II Международной вакуумной конференции. Кельн, 1989. На Всероссийских

научно-технических конференциях "Вакуумная наука и техника". Гурзуф, 1994, 1995. На Международной научно-технической конференции "Состояние и перспективы развития вакуумной техники". Казань, 1996.

Публикации. По теме диссертации имеется 45 публикаций, в том числе 16 статей, 16 тезисов-докладов на международных, всесоюзных, всероссийских и отраслевых конференциях, 13 изобретений .

На защиту выносится: Т. Методика определения теплофизических свойств паров нефтепродуктов с применением концепции точечной псевдокомпа-' ненты,

2. Методика описания течения паров минеральных вакуумных масел в паропроводах, соплах и в струях при давлениях ниже 100 Па.

3. Результаты теоретического и экспериментального изучения смешения откачиваемого газа с рабочим паром в условиях паромасляного вакуумного насоса.

4. Результаты теоретического и экспериментального исследования течения откачиваемого газа во входном канале диффузионного вакуумного насоса,

5. Результаты исследования обратного потока рабочей жидкости и состояния остаточной среды на входе диффузионного насоса.

6. Принципиально новые технические решения по созданию будущих поколений диффузионных насосов и агрегатов с улучшенными характеристиками, отвечающими требованиям, предъявляемым к технологическому вакуумному оборудованию электронной и смежных отраслей промышленности.

7. Новые разработки технологического и аналитического оборудования, выполненные на базе последних моделей диффузионных насосов.

Объем работы. Общий объем работы составляет 329 страниц. Титульный лист, содержание, список основных условных обозначений, шесть глав и введение занимают 293 страницы и включают в себя 106рисунков и 16 таблиц. Список использованной литературы из 250 наименований (из них 53 на иностранных языках1) изложен на 2.7 странице машинописного текста.

СОДЕРМНИЕ РАБОТЫ

Во введении дана классификация струйных вакуумных насосов, место и значение диффузионных насосов в сравнении- с другими вакуумными насосами, освещена актуальность темы, в виде аннотации излагается содержание диссертации. ■

В главе I приводится обзор литературы относящейся к истории и тенденциям развития диффузионных насосов, исследованию диффузионных насосов, исследованию теплообмена в испарителях при низких давлениях, исследованию смешения сверхзву -ковых недорасширенных струй в затопленном пространстве и в спутной струе, к исследованию проводимости каналов в молекулярном режиме течения газов. Глава заканчивается обоснованием направления исследования.

В главе 2 исследуются теплофизические- свойства паров минерального вакуумного масла БМ-1. Приводятся результаты исследования физико-химических свойств 9 фракций этого масла, разогнанных в колбе Кляйзена методом молекулярной дистилляции. Определение зависимости давления от температуры пара производилось динамическим методом на экспериментальной установке, состоящей из эбулиометра, диффузионного и механи -ческого насосов, датчиков давления и температуры, натекателя. Измерение давления производилось с помощью вакуумметра ВДГ-1. Температуры равновесия измерялись при помощи хромель-копелевых термопар, установленных на выходе из насоса Котре-ля. Результаты измерений представлены в виде уравнения Ка-лингерта-Девиса: ¿^Р-А-В/(Т-^5)т^ А, В -коэффициенты, постоянные для определенного интервала температур. Свойство сходимости в общем полюсе прямых , полученных

для каждой из исследованных фракций, позволяет, связав дав -ления с линией ИТК.(истинных температур кипения), получить удобное аналитическое выражение для описания смеси-континуума. Для целей газодинамического расчета целесообразно в ка -честве аргумента распределения состава на кривой ИТК принять молекулярную массу точечного псевдокомпонента. В результате такого подхода получено выражение, связывающее давление насыщения пара с температурой и молекулярной массой:

о)

где к(м)- параметр, зависящий от молекулярной ыассы пара М .

На примере масла ВМ-1, дается методика построения Н-5 диаграммы сложной смеси углеводородов. Значения энтропии' 5" и энтальпии И на правой пограничной кривой определены из уравнения: Н +6 - в'+дС/Т ; здесь одним штрихом обозначены параметры на левой пограничной кривой. В результате дифференцирования соотношения (I) и применения уравнения Клапейрона-Клаузиуса получена формула для определения теплоты парообразования

где ^ - универсальная газовая постоянная.

При построении" изобар перегретого пара значения энтальпии для расчетных температур брались по линии насьщения.

Произведена оцзнка следующих теплофизических характеристик паров масла ВМ-1: показателя адиабаты 3? , коэффициента динамической вязкости ^ и числа Прандтля Рг . Показатель адиабаты с учетом уравнения Майера определяется из соотношения д£= Ср/(Ср-%) > где /Р - газовая постоянная, Ср - средняя изобарная теплоемкость перегретого пара, определяемая по диаграмме. С учетом изменения молекулярной массы фракций и их теплоемкостей получено, что значение меняется от 1,0055 до 1,0087.-Значения З£3 (замороженного), соответствующего состоянию пара, когда колебательные степени свободы не возбуждены, либо заморожены,' полученные для исследованных фракций, изменяются от 1,022 до 1,054. Основываясь на установленном выше факте о том, что лмасло ВМ-1 является однородной нафтенопарафиновой жидкостью, показано, что для описания кинетических процессов в газовой фазе целесообразно применение модели Сюзерленда взаимодействия молекул. В этом случае коэсМзициэнт динамической вязкости выражается в виде:

,А/ , ^-кт^т+И,)

где Б9Н /Г , <¡>¿4 - постоянная Сюзерленда, б"- диа-

метр столкновения молекул. При определении числа Прандтля

Р/~« Ср/'/д коэффициент теплопроводности Д связывается с _// в вице ЛзуГу// , ¿V - изохорная теплоемкость. Ееличина фактора Эйкена ^ определена с использованием литературных данных, посвященных анализу результатов расчета интегралов столкновения для модели Сюзерленда. Получено, что для исследуемых фракций значение числа Рг меняется от 0,906 до 0,866.

В главе 3 рассматриваются течения рабочего пара и откачиваемого воздуха в элементах проточной части диффузионного насоса. Приводятся результаты экспериментального исследования давления и температуры в паропроводах диффузионных насосов Н-1С-2, Н-0,5 ;л бустерного насоса БН-3. Измерение полных давлений пара в паропроводах производилось при помощи трубок Пито и микроманометра СМ-2. Температуры измерялись при помоги хромель-копелевых термопар и потенциометра постоянного тока ПП-63. Были определены зависимости давления от высоты паропровода.- Получено, что по высоте паропровода давление падает от 20% до 35% в зависимости от подводимой мощности нагревателей. Спрзделено также, что температура и давление пара прямо пропорциональны подводимой мощности. Обнаружено, что в фракционирующих насосах температура масла в различных бойлерах разная и уменьшается от центра к-периферии.

Степень сухости рабочего пара на входе в сопло определена в экспериментальном насосе с диаметром условного прохода 400 мм. Б паропроводе насоса был установлен пароперегреватель-калориметр, состояний из двух нагревательных элементов, приемников температур, расположенных в промежутках мезяду ними, и корпуса, служащего магистралью отбора. Расчет степени сухостиХ проводился по формуле

здесь 7^7« Тез ~ температура торможения, индексы 1,2,3 относятся к входному, центральному и выходному сечениям калориметра, Ср -изобарная теплоемкость. Определенные таким образом степени сухости на входе в сопло менялись в зависимости от модности нагревателя насоса от 0,923 до 0,961.'

Расчет течения паров масла в соплах в одномерном приближении проводится с использованием И-4 диаграммы. Проведенные вычисления по равновесной схеме показали, что, если пары на

входе в сопло находятся во влажном состоянии, то течение в сопле происходит с испарением, и вблизи критического сечения может произойти переход в однофазную область. Поскольку время релаксации фазовых превращений является конечной величиной, то теории, основанной на равновесной термодинамике, может оказаться недостаточно для полного описания процесса. С целью определения характера процесса расширения влажного пара масла в сопле проведен анализ механизма испарения для случая течения капель в свободно-молекулярном режиме и в режиме со скольжением ( Кр> 1, К,пв11г"к , где 6 -длина свободного пробега молекулы пара, Гк - радиус капли). Используя модель Кнудсена-Ленгмюра, из баланса числа молекул, конденсирующихся на капле, и число молекул, испаряющихся с поверхности, получено выражение для уменьшения размера капли в единицу времени Г , _

рп Г у ЛЯГТГ\

** "Я '^ШтГ^ .

здесь индексом "К " отмечены параметры конденсата, индексом "'Г1 " параметры пара, £ - плотность, £ - сжимаемость жидкости. Значение коэффициента испарения е£/ найдено из рассмотрения квазистационарного процесса по аналогии с коэффициентом конденсации, определенным Р.Булером. Оцзнки показали, что в рассмотренных условиях испарение происходит равновесно, и согласно схеме течения, изложенной выше, пар в сверхзвуковой части сопла должен быть перегретым. Отсюда следует, что для расчета сверхзвуковых течений паров минеральных масел можно пользоваться моделью гомогенной среды, используя уравнения состояния совершенных газов: /?= Х1$Т/Р-Р& Т

Рассматривается течение пара в сверхзвуковом осесимметричном коническом сопле в приближении пограничного слоя и с учетом возмущений в ядре течения. Невязкое ядро потока в сопле рассчитывается по уравнениям Эйлера при помощи численного метода. Уравнения ламинарного пограничного слоя в координатах, расположенных вдоль меридионального сечения поверхности сопла и по нормали к ней, записаны в виде:

ди

У (S)

д(гсРи) , д(гъ_р£) п

здесь xty и up - продольная и поперечная координаты и составляющие скорости по ним, t% - текущий радиус сопла,индекс е относится к параметрам на внешней границе пограничного слоя. Применив к (2) преобразования Степанова-Манглера, получены уравнения, соответствующие плоскому случаю. С учетом близости числа Рг к единице принято Рр * I. Тогда, как известно, для теплоизолированной стенки существует интеграл уравнения энергии h0* h +

» Const Произведя в первых двух уравнениях новой системы преобразования К.Стиартсо-на, получены уравнения, полностью соответствующие плоскому течению несжимаемой жидкости.

Для расчета течения в пограничном слое сопла применяются известные автомодельные решения при степенном задании скорости на внешней границе пограничного слоя:

Ue = CXm; СП7 - Const

Сценка изменения скорости в изоэнтропкческом ядре сопла показала, что зависимость L/e = J(¿¡¡}X) не линейна, а является монотонно возрастающей вогнутой функцией. После преобразования координат получается линейная зависимость вида:

величина О1 находится из условия постоянства производной

/77 .J^. -Const (3)

Показано, что уравнение (3) при О = 1,3 выполняется с достаточной для практических расчетов точностью. Расчет сопла при заданных условиях на входе, геометрии и условиях на стенке ведется методом последовательных приближений, практическое применение которого показало его сходимость. Расчеты, проведенные для паров масла BM-I, выявили слабую зависимость результатов от ¿е в пределах от 1,0055 до 1,054.

Экспериментальное исследование течения паров масла BÜ-I в сверхзвуковых конических соплах производилось на установке, состоящей из одноступенного эжекторногс насоса, насоса предварительной откачки, коорцинатника со сменными приемниками давления и измерительного колпака. Были исследованы два сопла с полууглом раскрытия cL а 22,5°. Диаметры критических сечений сопел составляли'45 мм и 62 мм. Давления измерялись при помощи трубок Пито и вакуумметра ВДГ-1. Измерение давлений производилось методом газовой подушки. Сравнение расчетных и экспериментальных данных автора пс полному давлению показали их хорошее соответствие.

В литературе имеются некоторые экспериментальные и теоретические данные о сверхзвуковых струях паров минеральных масел истекающих из сверхзвуковых сопел. В настоящей работе исследуются струи, истекающие из звукоЕых сопел. Экспериментальное исследование проводилось на вакуумной газодинамической установке ВС-2 института теплофизики СО РАН. Для измерения параметров в потоке пара использовались пневмометрическая, термоанемомегрическая и электронно-пучковая методики. В экспериментах использовалось коническое звуковое сопло с диаметром критического сечения 10 мм и полууглом конуса 45°. Измерение давлений производилось при помощи трубок Пито и вакуумметра.ВДГ-1 по методу газовой подушки. По измерениям с помощью термоанемометра определялись относительные значения вели-, чины jJU . В эксперименте с термоанемометром использовался прибор TM-IM. Для исследования паров вакуумных масел применена методика измерения плотности по регистрации оптического излучения, возбужденного электронным пучком. Вследствие трудностей, вызванных тарировкой величины сигнала от плотности в статических условиях, для расшифровки сигнала использованы определенные из измерений давления Ро значения плотностей на начальном участке струи. Были записаны спектры масел BM-I и ВМ-3 с помодыо светосильного спектрографа ДШС-32, с разрешением 0,1 нм. Зарегистрированное свечение образует сплошной неразрешенный спектр с заметной интенсивностью в области длин волн Д = 370 520 нм. Заметного различия в поведении спектров масел BM-I и ВМ-3 не наблюдается. Ширина спектров зависит от условий, в которых они были получены: в форкамере они

максимальны и уменьшаются в струе со стороны красной границы по мере удаления от сопла и, следовательно, охлавдения пара. Приводятся результаты измерений значений Р, , , ? , полученных с применением описанных методик по оси струи, а также значения Р4' и фи , измеренные в поперечных сечениях струи. В результате измерений получены данные, полностью характеризующие струю за звуковым соплом.

Проведено исследование проводимости входных каналов диффузионных насосов. Экспериментальные исследования проводились в вакуумной камере диаметром I м и длиной 1,4 м. Исследовались проводимости и распределение давлений в нескольких сечениях каналов цилиндрической и фасонной формы. В качестве приемников давления использовались трубка Пито и два специально спроектированных приемника закрытого типа. Результаты экспериментов сравниваются с результатами расчетов, полученных обычной процедурой Монте-Карло.' Экспериментальные проводимости представлены в виде коэффициента Клаузинга как отношение проводимости канала к максимально возможной проводимости отверстия. В расчетах коэффициент Клаузинга представляется в виде вероятности прохождения молекулы, запущенной во входном сечении, до заданного выходного сечения. Среднее значение экспериментального коэффициента Клаузинга составляет величину <■=0,5, расчетное в случае диффузионного и зеркального отражения составляет соответственно К = 0,42 и К = 0,55. Отсюда следует вывод о том, что характер столкновения молекул со стенкой находится ыеншу диффузным и зеркальным, и,варьируя величиной коэффициента отражения,можно добиться совпадения расчетных и экспериментальных данных.

В четвертой главе исследуется смешение откачиваемого газа со струями рабочего пара во входной, промежуточных и выходной ступенях насоса.

Экспериментальное исследование смешения во входной ступени проводилось в описанной выше вакуумной камере диаметром 1м, которая дополнительно включала в себя парогенератор и исследуемую проточную часть входной ступени. Исследование распределения концентрации откачиваемого газа (воздуха) в струе масляного пара осуществлялось с помощью пневмометрических зондов. При выборе зондов был учтен опыт их использования при

исследовании проводимости. В результате экспериментальных исследований показано, что распределение парциального давления откачиваемого газа в струе масляного пара зависит от режима работы ступени.

При расчете смешения описание течения в струе масляного пара проводится по уравнениям Эйлера. Течение откачиваемого газа описывается методом Монте-Карло. В сечении входа насоса моделируется поток молекул в соответствии с максвелловским распределением молекул по скоростям и равномерным распределениям начальных координат движения по площади этого сечения. Параметры, определяющие траекторию движения молекул, вычисляются исходя из стандартных процедур метода Монте-Карло. При попадании молекулы в струю, траектория отдельной молекулы является совокупностью отрезков прямой линии между двумя последовательными столкновениями пробной молекулы и молекул рабочего пара. При этом используется модель твердых шаров, с изотропным рассеянием в центре масс.

При сравнении расчетных и экспериментальных распределений концентрации получено удовлетворительное совпадение. Сравнение экспериментальной и расчетной быстрот действия,проведенное через коэффициент Нс ,дает различие данных в 5,7%.

Расчет смешения в промежуточных ступенях ведется в постановке истечения сверхзвуковой осесимметричной струи масляного пара в спутную сверхзвуковую струю паро-воздушной смеси..

Применяются параболизированные уравнения Навье-Стокса

записанные в следующем виде:

д(9и*) , Ш*} _ л дх ду ' и

где X , у - координаты; и , 6 - составляющие скорости; _// - коэффициент динамической вязкости; $ - плотность; Р - давление; С^ _ массовая концентрация; 2т1 - число Шмидта

Переходя к новым переменным X и В с помощью преобразования

; с нх}-е(х)

где у- р(/) и у*А(х) - границы расчетной области, диффузионные уравнения представляются в общем виде

Для решения систем параболических уравнений'типа (5) применяется двухслойная неявная шеститочечная разностная схе-. ма. Решение ведется методом прогонки с иттерациями.

Аппробация расчетной методики осуществлена по литературным данным расчетов, проведенных по полным уравнениям Кавье-Стокса.

Вследствие больших сложностей при описании течения в вы-ходной-эзкекторной ступени насоса, вызванной прежде всего тем, что в слое.смешения течение осуществляется в переходном от ламинарного к турбулентному режиме, расчет ведется в одномерной постановке. Вместо неравномерных потокое рабочего пара, откачиваемого газа и смеси 'в рассмотрение введены эквивалентные им по интегральным характеристикам (расход, полная энтальпия и полный импульс) одномерные 'конические потоки..Применение канонических потоков позволяет, используя аппарат газодинамических функций, произвести преобразования и получить расчетные соотношения, являющиеся основными для камеры смешения. Для их решения необходимы дополнительные зависимости, которые получаются из рассмотрения течения на начальном участке камеры смешения при критических режимах работы эжектора. Законы сохранения для начального участка имеют вид:

ш

где , ^ , H - расход, полная энтальпия смешиваемых

и несмеииваемых частей потоков, индекс "С" относится к парогазовой смеси, образованной в начальном участке эжектора. При записи соотношений (6) принято следующее допущение: вниз по течению от первой точки соприкосновения возникает зона смешения, ширина которой возрастает в направлении течения, вне этого слоя смешение потоков отсутствует. В результате преобразований получены расчетные соотношения для начального участка. На основе полученных уравнений эжекпии проведены расчеты для определения влияния конденсации на характеристики эжектороЕ-. Показано преимущество эжекторов, работающих без конденсации в камере смешения. '

В пятой главе рассматривается проблема обратного потока рабочей жидкости и возможность исследования остаточной среды на входе в'насос, с применением лазерной ионизации среды.'

В результате экспериментального исследования, проведенного с применением весовой методики измерения обратного потока, показано, что основной зоной возникновения обратного потока является зона конденсации рабочей струи входной ступени. Показано также, что дополнительный нагрев сопла входной ступени с целью исключения конденсации пара на ее поверхности, позволяет снизить на'20$ величину обратного потока. Следовательно максимально возможная эмиссия с сопла за счет испарения конденсата не может превышать 20$, что значительно меньше, литературных данных.

Расчет обратного потока ведется с применением метода Чонте-Карло. Участок поверхности струи разбивается на л одинаковых по ширине колец,' входная плоскость насоса также разбивается- на л колец и определяется плотность потока пара по кольцам от каждого слоя. Связывая" плотность струи получаемой из газодинамического расчета струи с плотностью в каждом из слоев получается приближение к реальной эмиссии молекул со струи. Имеется удовлетворительное согласие расчетных и экспериментальных результатов по распределению обратного потока во входном сечении насоса.

В связи с ужесточением требований по обратному потоку к диффузионным паромасляным насосам возникает необходимость в качественном и количественном изучении состояния остаточной среды на входе в насос. Традиционные методы изучения обратного

потока как масс-спектрометрический с электронной ионизацией, предназначенный для качественного, изучения остаточной среды и весовой, предназначенный для измерения обратного потока, не позволяют'достичь прогресса в улучшении характеристик насосов, первый - из-за фрагментации тяжелых молекул углеводородов при ионизации электронным ударом, второй - из-за нереально больших времен экспозиции. В связи с этим проведены исследования возможности применения масс-спектрометрии с ионизацией среды лазером и интерпретации данных как в качественном, так и в количественном аспектах.

С целью определения оптимального источника ионизации экспериментально получен спектр поглощения в сверхзвуковой струе паров масла BM-I. Зондирующий све-товой поток формировался дейтериевой лампой ДДС-ЗО и кварцевой оптической системой, часть элементов которой одновременно яелялись окнами вакуумной камеры. В результате зондирования осуществлена регистрация поглощения в диапазоне от 200 цо 400 нм по однолучевой схеме с помощью монохроматора спектрометра СДЯ-1 . Получено, что минимум пропускания расположен в диапазоне спектра 220 т- 280 нм. Предполагая, что эффективность ионизации паров масла пропорциональна коэффициенту поглощения в данной спектральной точке, можно принять, что для ионизации паров масла BM-I целесообразно использование мощных источников, обеспечивающих излучение в диапазоне 220 * 280 нм. Наиболее подходящими источниками, очевидно, являются эксимерные лазеры на га-логенидах благородных газов.

Экспериментальная установка, предназначенная для фотоионизации остаточной среды состоит из иссле,дуемого объема, откачиваемого последовательно паромасляным насосом НВДМ-160 с азотной ловувкой, диффузионного насоса H-IC-2, установленного на Еыходе насоса НВДМ-160,и форвакуумного насоса НВР-5ДМ. В" форвакуумную линию обеспечивалось постоянное натекание воздуха, давление в форвакуумной линии составляло величину Р = 2 * 2,5 Па. Давление в исследуемом объеме составляло р ss 1,33-10"® Па. Для фотоионизации применялись эксимерные лазеры KrF и XeF . Излучение' фокусировалось в вакуумную камеру цилиндрической линзой. Сбьзм, в котором происходит фотоионизация составляет величину V => 0,038 см . Ионы

вытягиваются полам на дефлектор в направлении меньшего габарита объема ионизации. Регулировка плотности мощности осуществлялась щелевой диафрагмой, установленной перец цилинцри -ческой"линзой. Исключение шумовых ионов обеспечивалось за счет диафрагмирования излучения и установленных под углом 30° к'оси входного и выходного окон оптической' системы. Время-пролетный анализатор собран так, что ион проходит через три пространства, отделенные друг от друга металлическими стеклами. В первой зоне напряженность поля S = 320 В/см, во второй Е = 8 В/см, в третьей - дрейфовой зоне - поле отсутствует. Сигнал с анода подавался либо на осциллограф,либо на строби-руемкй вольтметр со сканированием.

В масс-спектре, полученном при фотоионизации с помощью ХеF лазера с длиной волны Л » 351 нм присутствует практически только один пик'на 218±2 а.е.м., который сохраняется и при увеличении обратного потока с ^ ='5<Ю~^ мг/ч-см^ до

= 5-10"^ с пропорциональным изменением сигнала. В масс-спектре , полученном с помощью Кр Р лазера с длиной волны Л я 248,5 нм, присутствует -гораздо больше пиков. Причем в отличие от ионизации с помощью XeF лазера масс-спектр существенно меняется: с увеличением плотности мощности появляются пики в области легких масс. Из анализа спектров следует, что пики, которые могут быть идентифицированы -как углеводороды появляются на массе около 220-- а. е. м. С целью проверки предположения о возможном прохождении через криогенную ловуш* ку легколетучих фракций рабочей жидкости диффузионного насоса с наименьшей молекулярной массой определялась молекулярная масса проб, взятых с различных участков паромасляного агрегата. Выяснилось, что наименьшая молекулярная масса исследованных- проб соответствовала фракции обратного потока и составляло величину 407 а.е.м. То есть принятое предположение не оправдывается. Поэтому принимается предположение о том,что и в случае лазерной ионизации происходит фрагментация молекул тяжелых углеводородов, но в значительно меньшей степени. Полученные результаты могут составить основу количественного метода определения величины обратного потока, поскольщ' отсутствие такого метода задерживает развитие паромасляньгх насосов в сторону уменьшения обратного потока ниже величины

В шестой главе рассмотрены примеры практического использования результатов проведенных исследований.

Приведены конструкции паромасляных насосов и агрегатов, предложенные на основе проведенных исследований и защищенные авторскими свидетельствами. Предложены конструкции насосов отличающихся:

- тем, что в сопле входной ступени выполнены сквозные каналы, сообщающие пространство мевду маслоотражателем и соплом с пространством между соплами входной и последующей ступени, а в маслоотражателе выполнены отверстия смещенные относительно сквозных каналов, выполненных в сопле, с образованием оптически непрозрачной конструкции;

- тем, что в сопле эжектсрной ступени насоса установлено центральное тело, выполненное в виде полого тонкостенного конуса, открытого со стороны камеры смешения и снабженного тонкостенными пилонами обтекаемой формы, посредством которых конус установлен в сопле и сообщен с зоной подвода пассивной среды;

- тем, что с целью расширения диапазона рабочих давлений, нижняя часть корпуса насоса выполнена в виде сильфона с устройством регулирования его длины;

- тем, что с целью повышения экономичности насоса, стенки кипятильника выполнены гофрированными, а нагреватель размещен в этих графах;

- тем, что с целью улучшения технических характеристик путем стабилизации процесса кипения,нагреватель размещен в рабочей жидкости, а слой капилярного материала,выполненного в виде пористого теплопроводного покрытия, нанесенного на поверхность нагревателя;

- тем, что с целью более полного обезгаживания конденсата, осуществлено профилирование нижней части паропровода, установленного с образованием постоянного зазора между профилированными поверхностями корпуса и паропровода;

- отличающиеся тем, что с целью сокращения времени выхода на рабочий режим, повышения быстроты действия насоса посредством дополнительного подогрева паропровода, на внутреннюю поверхность паропровода и сопел,выполненных из теплоизоляционного материала, нанесено электропроводное покрытие, имеющее переменную толщину;

- тем, что, с целью улучшения технических и эксплуатационных характеристик, начальный участок эжеигорной ступени выполнен также из материала с низкой теплопроводностью, при этом верхний край проставки выполнен на уровне выходного сечения сопла нижней ступени;

- тем, что, с целью повышения быстроты действия насоса и уменьшения обратного потока паров рабочей жидкости, в подсо-пёльнике активного сопла выполнены дополнительные сопла в виде полукольцевнх отверстий и имеющими расширяющуюся к низу коническую форму.

Предложены также конструкции затворов и ловушек отличающиеся:

- тем, что,с целью повышения быстродействия и уменьшения габаритов вакуумного агрегата, тарелка затвора жестко закреплена на маслоотражателе со стороны впускного канала, а маслоотражатель подпружинен со стороны последнего и установлен с возможностью возвратно-поступательного перемещения посредством привода затвора;

- тем, что, с целью повышения проводимости ловушек, корпус выполнен в виде трубы с косыми срезами на концах, снабжен резервуарами для хладогента, размещенными в области входного отверстия и соединенными между собой трубками с установленными на них улавливающими элементами, при этом охлавдаемые трубчатые элементы, связанные с источником хладогента, уста-" новлены со стороны входного отверстия и соединены с резервуаром для хладогента;

- тем, что, с целью уменьшения обратного потока и снижения металлоемкости, резервуар с хладогентом установлен внутри корпуса насоса, при этом корпус выполнен цельным.

Рассмотрена проблема оценки технического уровня подготавливаемых к промышленному производству пароструйных вакуумных насосов. При оценке насосов по быстроте действия возникает несовпадение количественных показателей для одного и того же изделия в случае испытаний по методикам различных стандартов, также имеются расхождения характеристик насосов мевду приводимыми-в зарубежных информационно-рекламных каталогах и паспортах на конкретное изделие. Существует также несоответствие по величине быстроты действия по диапазону рабочих дав-

лений, вызванная идеализацией реальной зависимости 5 где 5 - быстрота действия, Р - рабочее давление. Сравнение насосоа по предельному остаточному давлению также затруднительно, поскольку эта характеристика больше, чем другие зависит от условий проведения испытаний. Показано, что объективная оценка технического уровня зависит от используемой методики испытаний, достоверности и формы представления количественных характеристик в различных информационных материалах.

Даются примеры использования результатов при разработке паромасляных насосов. Вследствие перехода отечественной промышленности на выпуск бустерных насосов серии НВШ появились трудности с заменой старых насосЬв серии Ш-4500 на новые, 2НЕЕМ-400 габаритные размеры которых превышают установочные объемы в технологических линиях. Несоответствие этих размеров вызывали необходимость замены технологического оборудования. Затраты на такую замену могут быть равноценны затратам по созданию новой технологической линии. Выходом из ситуации является создание нового насоса с характеристиками 2НВБМ-400, и по габаритным размерам, позволяющим замену насоса БН-4Ь00. Для проведения расчетов была проведена оценка теплофизических свойств масла Ш-3, применяемого для бустерных насосов, по методике, описанной в главе 3. Входная ступень рассчитывалась по уравнениям (4) в постановке истечения струи в затопленное пространство. Расчет смешения во второй и третьей ступенях велся в постановке смешения двух коаксиальных сверхзвуковых потоков. Задача была сведена к расчету ступеней существующего насоса 2НВБМ-400 с целью определения возможности укорочения ступеней при сохранении и незначительном изменении диаметральных размеров проточной части. Как показали расчеты, достижение необходимой степени сжатия, при сохранении коэффициента эжекции может быть осуществлено и при меньшей длине ступени.

В состав отечественных вакуумных технологических установок традиционно входят откачные системы состоящие из механического, бустерного и диффузионного насосов. В практике зарубежных фирм традиционной является система из двухступенчатого механического и. диффузионного насоса с расширенным до I Па

диапазона рабочих давлений. Преимущества последней системы налицо - резко сокращаются эксплуатационные и капитальные затраты. С целью восполнения пробела в парке отечественных средств откачки был разработан ряд диффузионных насосов с расширенным диапазоном рабочих давлений. Разработка дается на примере насоса НБДМ-400Б. С учетом хорошо разработанной технологии производства в качестве базы для разработки выбран серийный насос НВДМ-400. Расчет входной ступени велся с применением метода Монте-Карло. Расчет второй и третьей ступени велся по соотношениям (4) в постановке смешения двух сверхзвуковых потоков. Предварительные расчеты показали, что достижение указанного диапазона в трехступенчатом насосе затруднено, требовалось включение в схему дополнительной промежуточной ступени. Эжекторная ступень рассчитывалась с применением уравнений эжекции. Потребная мощность нагревателя определялась по известным из описанного выше расчета параметрам пара в результате совместного решения уравнений теплового баланса и теплопередачи. Расчет показал, что для планируемого расширения диапазона рабочих давлений откачиваемого газа необходимо значительное повышение подводимой мощности. При внешнем нагревателе это затруднительно и нерационально, т.к. при увеличении мощности значительно возрастают и тепловые потери. Более целесообразно в данном случае использование нагревателя, целиком размещенного в слое рабочей жидкости. Для обеспечения предельного остаточного давления необходимо осуществление фракционирования рабочей жидкости. При использовании внутреннего нагревателя практически невозможно сохранить существующую систему фракционирования с традиционными фракционирующими кольцами. Для решения указанных задач бьша предложена, защищенная авторским свидетельством России, конструкция отличающаяся от известных тем, что, с целью улучшения откачных характеристик и расширения диапазона откачки, котлы выполнены выступающими верхней частью под днищем насоса, расположены один в .другом, а нагреватели размещены в каждом котле, причем внешний котел разделен пороговой перегородкой на две части, в одной из которых установлен нагреватель и на уровне днища насоса выполнено отверстие для слива конденсата рабочей жидкости, а в другой установлен нагреватель,

внутренний котел и каналы для сообщения котлов /43/.

Применение диффузионных насосов для откачки средств электроники, разработанных с применением результатов настоящей работы, показано на примере гелиевого течеискателя MT-I и системы откачки большего цветного телевизионного экрана БЦ1Э "АРГ0-ТВ4".

Целью создания течеискателя MT-I было обеспечение возможности проверки герметичности изделий с газовыми нагрузками, в несколько раз превышающими нагрузки серийных течеискателей. Поставленная задача решалась во-первых тем, что в качестве средства высоковакуумной откачки применялся специально созданный диффузионный насос с воздушным охлаждением НСБДМ-63В с быстротой действия не менее 150 л/с, и во-вторых тем,что здесь впервые в практике отечественного строительства течеискателей применена схема противотока. Разработанный диффузионный насос также позволил на порядок улучшить чувствительность течеискателя за счет того, чти нестабильность быстроты откачки гелия была уменьшена в четыре раза по сравнению с серийными течеис-кателями.

Расчет смешения откачиваемого газа с рабочим паром Еелся по соотношениям, описанным выше, и имел целью получение оптимальных по коэффициенту эжекши ступеней при обеспечении заранее выбранных степеней сжатия. В результате расчета было выяснено, что длина сверхзвуковых струй при откачке воздушно-гелиевой смеси долэкна быть больше, а сами струи плотнее для предотвращения обратной диффузии легких молекУ^ гелия, но не настолько, чтобы полностью исключить такую диффузию s случае работы насоса в режиме противотока.

С целью улучшения откачннх характеристик насоса, включающих уменьшение рремечи рыхода насоса на рабсчи« режим, повышение предельного остаточного давления и быстроты действия насоса на внутренней поверхности днища, выполнен выступ, расположенный в рабочей жидкости, а нагревательны? элемент -цилиндрический ТЭК - расположен внутри выступа. Конструкция данного насоса защищена авторским свидетельством /44/.

При создании системы откачки большого телевизионного экрана "АРГС-ТБ4", предназначенного для получения цветных изображений на экрано размером до 50 с контрастом изображения ас 100:1 и четкостью изображения до 1000 строк, необходимо

было обеспечить быстроту откачки не менее 165 л/с г диапазоне 2,66.10"^ f 1,3.I0~~ lia. Добавочными требованиями были: установка на выходе из диффузионного насоса форбаллона, позволяющего работать, с выключенным механическим насосом в течение 20 мин. л минимальное время запуска насоса, не более 15 мин.

Разработанный насос НСБДМ-IOQB полностью соответствует поставленным требованиям. Уменьшение времени выхода насоса на режим обеспечивалось за счет применения дополнительного форсажного ТЭЬа и позднег--. bv-лючония зентклятсра.

Применение результатов данной работы е составе оборудования ,п?сйзводстг:а электронной техники дается на примере универсальной --Ракуумнор установки, предназначенной для исследований р области создания л~'крыт;;й. Для уменьшения неблагоприятного влияния органических соединений применялся диффузионный насос НСВДМ-160, заправленный пслифениловым эфиром, а в высоксваку-умной линии мавду диффузионным насосом и откачиваемой полостью электронной пушки (применялась дифференцированная от«ач*а эми-торной камеры и какала олектронко-оптической системы^ устанавливались угловые азотные ловушки защищенные авторским свидетельством /41/.

РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ И ьЫЬОДЫ

На основе анализа требований, предъявляемых к современному вакуумному технологическому оборудованию электронной промышленности, в состав:? даннл-й работы выполнен комплекс теоретических и экспериментальных исследований, направленных на улучшение параметров диффузионных насосов, которые продолжают в большинстве случаев оставаться осноеным промышленным средством создания высокого вакуума. Развития и совершенствование насосов возможно лишь на базе адекватной теории. В соответствии с этим основные результаты работы состоят в следующем:

I. Разработана методика построения диаграммы "энтальпия-энтропия" паров многофрикционных рабочих тел типа нефтяных масел на основе экспериментальных данных о свойствах узких фракций. Для масла BM-I построена диаграмма "энтальпия-энтропия" и определена связь состава смеси, температуры и давления для фазового равновесия. Показано, чтс расширение паров при сверхзвуковом течении должно происходить с испарением, а для расчетов сверхзвуковых потоков можно пользоваться моделью

однофазной среды.

2. Произведена оценка газокинетических свойств паров масел ВМ-1 и ВМ-3. Определены показатели адиабаты, число Пранд-тля, коэффициент динамической вязкости и коэффициент самодиффузии. Показано, что показатель адиабаты и число Прандтля исследованных тел весьма близки к единице.

3. Проведены гидродинамические и тепловые испытания серийных насосов. Экспериментальные результаты позволили провести расчетный анализ течения в паропроводах насосоЕ.

4. Разработана методика, создана экспериментальная установка и проведены исследования течения паров масла в конических сверхзвуковых соплах для диапазона чисел Яе =9.10^*2.10^. Разработан метод расчета течения в соплах с учетам возмущения и влияния вязкости. Экспериментальные и теоретические данные сходятся с точностью до 85$.

5. Впервые для исследования струй паров минеральных масел одновременно использованы пне Биометрическая, термоанемо-метрическая и электронно-пучковая диагностики. Установлено , что указанные средства диагностики дают достаточно полную информацию о струях. В частности, электронно-пучковая диагностика может быть использована для получения качественной картины распределения плотности и диффузии компонентов из окружающего пространства.

6. Получены экспериментальные данные по проводимости и распределению откачиваемого газа во входном канале диффузионного насоса. Показано, что реальный характер столкновения молекул со стенкой находится между диффузным и зеркальным.

7. Экспериментальные исследования распределения концентрации откачиваемого газа во входной ступени насоса позволили скорректировать расчетный метод смешения сверхзвуковой паровой струй с откачиваемым газом. Показано, что распределение концентрации откачиваемого газа в струе масляного пара зависит от режима работы ступени и может быть описано с точностью до 90%.

8. Предложена расчетная модель для расчета смешения в промежуточных ступенях, базирующаяся на использовании парабо-лизированных уравнениях Навье-Стокса. Конкретные результаты получены для случая смешения двух сверхзвуковых каоксиальных струй.

9. Получены уравнения эжекции, предназначенные для расче-

та еыходной эжектсрной ступени. Проведен расчет влияния конденсации на характеристики эжектора,в результате которого по-казанр, что конденсация ухудшает характеристики эжектора: быстроту действия на 5,3$, степень сжатия на 83,3% и выходное давление на 82,4$.

10. ПроЕедены комплексные исследования обратного потока рабочей жидкости. Выяснено влияние различных режимных конструктивных факторов на величину обратного потока. Эксперимен -тальные данные сравниваются с расчетными, полученными с применением метода Монте-Карло. Расхождение результатов не превышает 20%.

11. Показана возможность применения.лазерной ионизации для масс-спектрометрического анализа состава остаточной атмосферы в объеме, откачиваемом диффузионным насосом. Зависимость сигнала от величины обратного потока позволяет интерпретировать результат для определения величины обратного потока.

12. Предложены принципиально новые технические решения по созданию диффузионных насосов с улучшенными характеристиками, а также эффективных устройств задержки обратного потока паров рабочей жидкости. В частности, диапазон рабочих давлений серийных диффузионных насосов расширен на порядок р сторону высоких давлений, высота бустерного насоса Ду 400 уменьшена на 278 мм, при сохранении технических характеристик, нестабильность быстроты откачки гелия насосом с воздушным охлавдением ■ от среднего значения уменьшена в 4 раза. Впервые создан отечественный диффузионный насос, позволяющий использовать его

в схеме противотока течеискателя.

13. Разработано, изготовлено и внедрено в промышленность оригинальное оборудование с использованием нового поколения диффузионных насосов в том числе:

а) масс-спектрометрический течеискатель MT-I;

б) телевизионная проекционная установка "АРГС-ТВ4";

в) универсальная исследовательская установка для создания покрытий.

Основное содержание диссертации опубликовано в работах:

1. Сэдыкое К.С. О влиянии конденсации на характеристики эжекторных ступеней паромасляных насосов // Тез.докл. Бсесогозн.симпоз. "Состояние и перспективы разработки и производства новых видов вакуумного оборудования" Казань. 1981. Вып. I. С.48-49.

2. Садыков К.С., Жаринов В.Г. Экспериментальное исследование течения в соплах эжекторных ступеней паромасляных насосов // Тез.докл.Бсесогазн.симпоз. "Состояние и перспективы разработки и производства новых еидов вакуумного оборудования". Казань. 1981. Вып. I. C.50-5I.

3. Садыков К.С., Жаринов В.Г. Экспериментальное исследование распределения параметров в паропроводах паромасляных насосов // Научн.-техн.реф.сб. "Химическое и нефтяное машиностроение". M.:ПИНТИхимнефтемаш, 198I. № I. С.23-25.

4. Жаринов Б.Г., Садыков К.С. К расчету течения паров вакуумных масел I/ ИФЖ. 1981. Т.40. № 5. С.915.

5. Садыков К.С., Артемьева Б.П., Кучерявая Н.П. Исследование свойств вакуумного масла BM-I // Научн.техн.реф.сб. "Химическое и нефтяное машиностроение". М.: ЦИНТИхимнефтемаш, 1983. № б. С.17-18.

6. Садыков К.С. Диаграмма энтальпия-энтропия паров вакуумного масла BM-I // Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Общая и ядерная физика. 1985. Вып. I (301. С.31-36.

7. Садыков К.С. Исследование течения паров вакуумного масла EM-I в конических сверхзвуковых соплах // Сборник: Газодинамика процессов струйной вакуумной откачки. Новосибирск: Ин-т теплофизики, 1985. C.II6-I27.

8. Булгаков A.B., Николаев Г.Ф., Приходько В.Г'., Садыков К.С. Структура струи паров вакуумного масла, истекающей из звукового сопла У/ Сборник: Газодинамика процессов струйной вакуумной откачки. Новосибирск: Ин-т теплофизики, 1985.

С.127-136.

9. Садыков К.С. Процесс испарения вакуумного масла в сверхзвуковом сопле // Тез.докл.УШ Всесоюзн.конф. по динамике разреженных газов. M. I9Ö5. С.81.

10. Садыков К.С., Рахимзянов P.A. Исследование сверхзвуковых течений паров углеводородных смесей // Тезисы докладов

П Республиканской научно-техн.конференции по механике машиностроения. Брежнев. 1987. С.56.

11. Курашов В.И., Садыков К.С., Шмелев И.Ф. Высоковакуумные струйные и турбомолекулярные насосы. Особенности вакуумных характеристик и проблема выбора // Вопросы атомной науки и техники. С.: Общая и ядерная физика. 1988. Вып. 4 (44). С.19-26.

12. Курашов Б.И., Садыков К.С. Тенденции развития высоковакуумных струйных диффузионных насосов // Вопросы атомной науки и техники. С.: Общая и ядерная физика. 1988. Бып. 4 (44). С.38-44.

13. Магарил Я.Ф., Курашов Б.И., Балеев P.C., Садыков К.С. Современное состояние и перспективы использования алюминия в вакуумной технике // Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Ядерно-физические исследования. 1989. Ьып.З (3). С.40-44.

14. Паклин Б.Л., Ребров А.К., Садыков К.С., Фигуров С.А. Смешение неоднородных газов в струе в режиме рассеяния // Тез.докл. X Всесоюзн.конф. по динамике разреженных газов. М. 1989. С.2.36.

15. Sadj'kov К. 5., Fig':rov S.A. Trvestigatioa of älff-xef.or. puiips // Voolc of atstraci; of the 11 th Tnter.'iatÄ.onfil Yacuurr. Cor-gress. T(olu, п>С. 1989. Р.ЗЮ.

16. Садыков К.С., Фигуров С.А. Поглощение УФ излучения в сверхзвуковой струе вакуумного масла // Тезисы докладов I Всесоюзного семинара по оптическим методам исследования потоков. Новосибирск: Ин-т теплофизики, 1989. C.I30-I3I.

17. Фигуров С.А., Садыков К.С. Вакуумная экспериментальная газодинамическая установка // Информационный листок

№ 88-45. Казань: Тат.lfiTH. 1989.

18. Садыков К.С., Фигуров С.А. Некоторые особенности истечения паров минерального вакуумного масла // Вычислительные методы в физической газовой динамике. Казань: КГУ, 1989. С.126-132.

19. Курашов В.И., Садыков К.С., Кеменов Б.Н., Грошков A.B. Проблемы оценки технического уровня пароструйных вакуумных насосов // Химическое и нефтяное машиностроение. 1990. № II. С.8-10.

20. Паклин Б.Л., Гебров А.К., Садыков К.С., Фигурсв С.А. Исследование входного канала диффузионного нассса // ИФЖ.

1990. Т.58. № 5. С.794-799.

21. Sadykov K.S., Figurov S.A., Naumochkin К.К. Residual atmosphere composition at the input of the oil-vapour Vacuum assemblies // Book of abstracts of the 2 nd European Vacuum Conference. Triest, Italy. 1980. P.106

22. Садыков К.С., Фигуров С.А., Дубинский М.А. Оптические свойства сверхзвуковой струи паров вакуумного масла BM-I//' Вопросы атомной науки и техники. Серия: Ядерно-физические исследования. Вып. 2 (КМ. 1990. С.3-5.

23. Paklin B.L., Eebrov А.К., Sadykov K.S., Pigurov S.A. Direct statistical simulation of molecular flux interaction with a free jet //Book of abstracts of the 17 th International Symposium on RGD Aahen, FRG. 1990.P.332-334

24. Sadykov K.S., Pigurov s.A. Investigation of the Backstreaming measuring possibility in a High vacuum diffusion pump by measure of en electron beam // Book of abstracts of the 3 rd European vacuum conference. Wien Austria.

1991. P.106.

25. Sadykof K.S., Pigurov S.A. Investigation of the diffusion pumps // Vacuum 1990. v.41. 7-9. Р.20б1-20бЗ

26. Садыков К.С., Фахрутдинов И.Х., КрупноЕ А.П., Газитсв С.М, Краснов С.И., Федосов А.А. Разработка специального бус-терного насоса Ду 500 // Тез.докл.Всесоюзн.научно-техн. конф. "Состояние и перспективы развития вакуумной техники": Казань. 1991. Ч. 2. С.42-43.

27. Садыков К.С., Бурова В.И., Захрутдинов Н.Х., Фигуров С.А. Разработка диффузионных паромасляных насосов Ду 63 и Ду 100 с воздушным охлавдением // Тез.докл.Всесоюзн. научн.-техн.конф. "Состояние и перспективы развития вакуумной техники". Казань. 1991. 4. 2. С.44-45.

28. Садыков К.С., кринов В.А., Фахрутдинов Н.Х.,Крупное А.П., Курашев Л.И., Дубакина Л.И., Г'авриличева Т.Б. Разработка ряда буферизованных паромасляных насосов // Тез.докл. Всесоюзн.научн.-техн.конф. "Состояние и перспективы развития вакуумной техники". Казань. 1991. Ч. 2. С.46-47.

29. Садыков К.С., Фигуров С.А. Об одном методе диагностики обратного потока из паромасляных насосов // Тез.докл.

Всесоюзн.научн.-техн.конф. "Состояние и перспективы развития вакуумной техники". Казань. 1991. Ч. I. C.II7-II8.

30. Ребров А.К., Садиков К.С., Фигуров С.А., Краснов С.П., Федосов A.A. Сквозной расчет диффузионного вакуумного насоса// Тез.докл. XI Ьсесоюзн.конф. по динамике разреженных газов. Ленинград. 1991. С.208.

31. Садыков К.С. Паромасляные вакуумные насосы и агрегаты предприятия. "Ъакууммаш" // ьакуумная техника. 1993. № 3-4. С.10-13.

32. Садыков К.С., Шмелев И.®. Струйный вакуумный насос : A.C. 1536077 СССР // Б.К. 1990. № 2.

33. Садыков К.С., Шмелев И.Ф. Пароструйный эжектор: A.C. 14463^9 СССР //Б.И. 1988. № 47.

34. Садыков К.С., ФигуроЕ С.А. Ьакууманый пароструйный насос: A.C. 1629531 СССР // Б.И. 1991. №4.

35. Садыков К.С., Коршунова Г.£>., 5игуроЕ O.A. Пароструйный вакуумный насос: A.C. I6I8905 СССР // Б.И. 1991. р I.

36. Сэдыкое К.С., Магарил Я.Ф. Вакуумный пароструйный насос: A.C. 1700265 СССР // E.H. 1991. № 47.

37. Магарил Я.Ф., Садыков К.С. Вакуумный пароструйный насос: A.C. 1629630 CCCF // B.L. 1991. № 7.

38. Садыков К.С., Фигуров С.А. Вакуумный агрегат. A.C. 1638374 СССР // Б.И. 1991. J» 12.

39. Садыков К.С., Уйгуров С.А. Пароструйный вакуумный насос.-A.C. I740Ü00 // Б.И. 1992. № 22.

40. Садыков К.С., Фигурой С.А. ьакуумнаый пароструйный насос: A.C. 1728538 СССР // Б.И. 1992. № 15.

41. СацыкоЕ К.С., Фигуров С.А., Маясов В.В. Вакуумная лоэуш-wa. A.C. I6879I9 СССР //Б.И. 1991. № 40.

42. лаворонкоЕ ь.А., Фахрутдинов п.Х., Садыков К.С., Диуль-ский М.А. Диффузионный насос: A.C. 1828953 Р.Ф.//1993. №

43. Садыков К.С,, Фигуров С.А., Бурова ъ.К. Вакуумный пароструйный насос. A.C. I800I4T CCCF // Б.И. 1993. № 9.

44. СадыкоЕ К.С. Новые разработки в области вакуумных паро-масляных насосов АО "Вакууммаш" // Тезисы докл.научно-