автореферат диссертации по электронике, 05.27.07, диссертация на тему:Разработка средств термостабилизации воздуха в чистых производственных помещениях

московский государственный институт элехтроннии техники. ( технически! университет )

На правах рукописи

Для служебного пользования

Экз.» £5

Уда 628.8:621.3049.7702

Калинина ирина серазжовна

разработка средств термистабилюацш виздуха в чисшх производственных нсмыценшх

Специальность 0b.27.07 - иоирудование производства

электронной техники

АВ'1'иРЕ5ЕРАТ

диссертации на соискание ученой степеьи кандидата технических наук

Москва, 1993

/ ; - . -> *

|„ гз. сн

Работа выполнена в Московском институте электронной техники

доктор технических наук, npoijaccop Ушаков В.И.

Официальные оппоненты доктор технических наук, npoijöccop Волков В.А. кандидат технических наук, вице-президент НПК НЦ Попов A.A.

Ведущая организация - НИЙТТ

Защита диссертации состоится " /У " & 1993 г.

К 053.02.06 в Московском институте электронной техники по адоесу: 103498, Москва,ШТ.

С диссертацией можно ознагоняться в библиотеке! ШЭТ.

Научный руководитель

часов на заседании специализированного совета

Автореферат разослан

Ученый секретарь специализированного совета

кандидат технических наук, доцент Виноградов Б.Г.

ОБЩАЯ ХАРАКТБРШТИКА РАБОТЫ ■ д

Актуальность работы характеризуется стремительным распространением и модернизацией прецизионно-стерильных технология во всех отраслях промышленности, реализация которых возможна только в чистых производственных помещениях (ЧПП). В настоящее время в СНГ функционируют около 7-ми тысяч ЧПП всех классов (в соответствии со стандартом США 209Д), а всего в мире их насчитывается приблизительно 30 тысяч.

Одними из основополагающих характеристик функционирования ЧПП 1-100 являются тепловлакностные параметры прецизионных систем кондиционирования воздуха в рециркуляционных контурах (РК), делящихся по классификации автора на замкнутые, разомкнутые и комбинированные. В соответствии с ОСТП 14.330287 "Изделия электронной техники. Общие технические требования электронное гигиены к чистым помещениям" для ЧПП указанных классов, где выполняются процессы литографии и размножения шаблонов, требуется постоянная температура 22°С с точностью ее поддержания до ¿Р,05°С (т.е. 5 сантиградусов). Однако, как показал анализ зарубежных и отечественных данных по этой проблеме, эти требования не выполняются. По этой причине .одновременно с другами обстоятельствами, предприятия несут эгромные убытки из-за большого количества бракованных интегральных Ьхем (ИС).

В диссертации поставлена задача-исследовать и устано-зитъ закономерности колебаний температуры воздуха в ЧШ1 высоких классов и предложить реальные пути его термоствбили-зации.

ЦЕПЬЮ РАБОТЫ является теоретическое и экспериментальное ^следование тепловых режимов ЧПП классов 1-Ю0 и разработка

способов термостабилизации в них воздуха во все периоды года с учетом технологических характеристик формирования послойных структур ИС.

НАУЧНЫЕ ПОЛОЖЕНИЯ ДИССЕРТАЦИИ:

1. Современные системы кондиционирования и фильтрации воздуха (СКФВ) в ЧПП не обеспечивают технологические требования обработки полупроводниковых пластин из-за несовершенства систем первичной и вторичной обработки воздуха.

2. Теплообмен воздуха в рециркуляционных контурах определяется внешними (теплопередача через полы и стены) и внутренними (теплоотдача от оборудования, приборов и людей) факторами,причем количественные характеристики теплового процесса являются функцией конфигурации каналов, составляющих рецкон-туры.

3. Тепловое воздействие кондиционируемого воздуха на технологические процессы формирования заданных структур НС проявляется индивидуально и в масштабе реального времени происходит скачкообразно.

4. Наиболее рациональнам и эффективным способом термоста-Силизэции воздуха является способ его локальной тепловой обработки в зоне проведения маршрутного процесса на пластине, причем составной частью теплообмена является теплообмен металлической части линии с воздухом.

НАУЧНАЯ НОВИЗНА ИССЛЕДОВАНИЯ заключается в следующем:

I. Установлено, что современные СКФВ не обеспечивают заданные требования технологической экологии производства ПС, и з первую очеродь тепловлакностных параметров, из-за устаревших и непригодных для процнзионио-стерилыых технологий

данных по разбивке всего года на периода. Предложена новая шкала периодов - жаркий, теплый, умеренный и холодный.

2. На основания статистического анализа функционирования СКЗВ установлено, что системы первичной обработки воздуха имеют среднюю минимальную точность поддержания выходных тепло-влажностных параметров ¿2.3-3,?°С, а максимальную ±4,3-5,4^. Это послу кило основанием для вывода о применении вторичной обработки воздуха в ЧПП всех классов.

3. Углубленный анализ изменения тепловлажностных параметров во всех элементах рецконтуров современных конструкций ЧПП показал, что достижение в них абсолютной термостабилизации невозможно из-за большого количества факторов теплофизической обстановки. Дано решение задачи о распределении тепловых потоков в замкнутых рециркуляционных контурах и выяснены их тепловые режимы.

4. Для прецизионных процессов на примере комплекса операций фотолитографии ИС ДОЗУ 1Мбит исходя из маршрутных карт технологии обработки пластин выявлены закономерности тепловых взаимоотношений между воздухом и металлическими частями технологических линий.

5. Теоретически обоснованы и предложены новые способы термостабилизации воздуха в зонах прецизионных процессов, основой которых является оптимальный объем указанных зон и рациональное регулирование тепловых потоков: воздух зоны -пластина.

Объекты исследования. Объектам исследования служили действующие ЧПП заводов "Ангстрем", "Микрон", МИЭТ, "Протон", "Интеграл", а также опытно-промышленные ЧПП НИШ1.

-6- д

Методика исследования. Дифференциальные уравнения нестационарного теплообмена мевду движущимся воздухом и оборудованием, используемым для обработки полупроводниковых пластин, интегрировались применением методов линеаризации Чарно-го и преобразованиями Грина. Методами термодинамического анализа изменения параметров однофазных двухкомпоневтных газовых смесей определены закономерности и выведены расчетные зависимости для определения изменения температуры воздуха при скатил воздуха вентиляторами.

Использованием данных экспериментов на девствующих и опытно-промышленных Ч1Ш, а также экспериментальных данных автора определены закономерности отклонений температуры воздуха на протяжении года.

Практическая ценность работы состоит в том, что предложенные расчетные формулы тепловых режимов локальных объемов ЧПП, полученные на основе установленных закономерностей и выведенных аналитических зависимостей, а также разработанные алгоритмы и програша теплового расчета использованы в про-ектно-технологическях организациях при проектировании и реконструкции ЧПП.

Реализация результатов исследование

Предлокенные расчетно-методические материалы по термо-стабилизацаи воздуха в локальных объемах ЧШ применены:

1. Для проектирования новых ЧПП высоких классов в составе строящихся предприятий ГосНШШ.

2. При модернизации и строительстве нового технологического корпуса завода "Ангстрем".

3. При модернизации ЧПП технологического центра МИЭТ.

- 7 - .

Апробария работы Д

Результаты исследований доложены на технических советах энерго-механических служб и отделов НИИФП и НИИТМ, на кафедрах "Технической механики" (ШЭТ) и "Вентиляция, отопление и кондиционирование воздуха" (ШСИ), на научно-технических конференциях "Экология шкроэлектроникя-90" (1990), "Достижения и перспективы технологической экологии микроэлектроники в чистых производственных помещениях (1992), на научно-методических семинарах лаборатории экологии микроэлектроники (ШЭТ) и лаборатории чистых помещений ГОВДТ.

Публикации

По тема диссертационной работы опубликовано 8 статей, 3 тезиса и 4 брошюры.

Объем работы

Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, общих выводов, перечня использованной литературы и приложения. Общий объем диссертации составляет 177 страниц машинописного текста, включая 4Ь рисунков, 16 таблиц и приложение на 3 страницах.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы диссертации, сформулирована цель исследования, приведены основные положения, выносимые на защиту.

Первая глава посвящена анализу состояния вопрооа по проблеме поддержания параметров микроклимата в ЧПП. Ка основе анализа обоснована цель работы и' сформулированы задачи исследования.

Прецизионно-сгерильные и филигранно-ювелирные техноло-

-8- д

гаи, а точнее некоторые процесса, в сравнении с современными технологиями, возникли еще в прошлом веке - производство оптических приборов, стерилизация во время хирургических операций, поддержание постоянных параметров воздуха в помещениях Палат мер и весов и т.д. По состоянию на конец 1992 года вышеуказанные технологии используются более чем в 20 отраслях промышленности, причем преимущественно в приоритетных отраслях, характеризуя этим их господствущее значение и определяя с этих позиций весь научно-промышленный потенциал государств и стран.

В нашей стране промышленная экология прецизионно-сте-рильных технологий в ЧПП начала бурно развиваться в начале пятидесятых годов текущего столетия и в настоящее время при некотором общем отставании от Японии, США и ФРГ она имеет по отдельным показателям результаты мирового уровня.

Существенный вклад в эту новую фундаментально-прикладную науку внесли системно-комплексные исследования Самсоно-ва Н.С., Дьякова Ü.H., Яковлева А.Т., Попова A.A., Лернера М.Д., Безручко С.М. и других специалистов НПК НЦ.

Концептуальные проблемы экологии микроэлектроники и стратегии их выполнения разработала группа ученых, руководимая профессором ШЭТ, докторш технических наук Ушаковым В.И.

Значительный вклад в развитие теории функционирования ЧПП внесли профессор Гревцев Н.В., профессор Гребенкин В.З., профессор Волков В.А., профессор Редин В.М., к.т.н. Николаевский Е.В., к.т.н. Каракеян В.И., к.т.н. Шнкин М.Л., к.т.н. Люкшин Ю.А., Муравин И.А. и др.

Из зарубежных ученых следует отметить труда Хаякавы И. (Япония), Цайтюры (ФРГ), Цейнера (ФРГ).

На основании анализа указанных работ и статистических данных по эксплуатации ЧПП сделан вывод о несовершенстве поддержания на заданном уровне всех экологических параметров, и в том числе одного из главных - температуры воздуха.

Экология прецпзпонно-стерилышх технологий к настоящему времени прочно заняла свое место как новая фундаментально-прикладная наука, представлявдая в некотором роде очередной поступательный таг ряда научных отраслей,как производство, использование, обработка газов и жидкостей. Составной частью исследований газов являются проблемы теории и практики тепло-влакностных характеристик воздуха.

Принятые во всех странах генеральные схемы кондиционирования и фильтрации воздуха (СКФВ) в ЧПП обычно состоят из двух больших объектов: системы обычного кондиционирования ■ воздуха СКВ (первичная обработка) и системы прецизионного кондиционирования воздуха в РК СПКВ (вторичная обработка). В состав СПКВ входят процессы обработки црецизионно-кондициони-руемого воздуха в локальных объемах, называемые системами локально-прецизионной доводки (СЛПД) тепловлажностных и гидродинамических параметров воздуха или системами отключатель-ного доведения температуры, давления, относительной влажности, влвгосодеряиния и концентрации аэрозольных частиц до требований, предписываемых условиями технологии производства ИЗ.

Анализ всех существующих основных аэродинамических схем СКФВ показал, что самым слабым местом о точки зрения поддержания постоянства параметров воздуха является граница между первичной и вторичной обработкой. Самые совершенные современные СКВ (т.о. первичные) гарантируют проектную точ- . ность поддержания постоянства термодинамических параметров:

- 10 - д

температура ±2-3^; относительная влажность ±15$; влагосодер-аание ¿5-7 г/кг, а по данным эксплуатации эти параметры отклс няются от проектных в 2-3 раза.

Это является прямым доказательством невозможности использования для ЧПП только первичной обработки. Являясь ее составной частью и последовательным продолжением, вторичная обработка непосредственно в рецконтурах ЧПП необходима вследствие того, что СПКВ допускает неприемлемые отклонения на входе в ЧПП.

Отмечены архитектурно-строительные и технологические особенности зданий предприятий, выпускающих ИЗ и процесса производства ИС, а также приведена классификация ЧПП и типы РК и показано, что наиболее сложным является замкнутый РК, применяемый в ЧПП высоких классов и включающий в себя элементы всех других контуров.

Вторая глава посвящена исследованию тепловых режимов РК ЧПП.

Для расчета был принят реальный замкнутый РК ЧПП, схема которого приведена на рис.1. Весь РК был разбит на восемь последовательных элементов, начиная от вентилятора (В), далее воздуховод приточный (ВП), буферный объьм (БО), финишный фильтр (ОФ), подфальшпольное пространство (ПйПП), вытяжной воздуховод (ВВ).

После анализа каждого элемента для него решалась задача определения изменения температуры по его длине. Исследования велись в соответствии с направлением движения воздуха в РК. Выявлено, что в наибольшей степени на изменения температуры влияют приточный и вытяжной воздуховода (ВП и ВВ), объем чпп и кд. Причем весь объем ЧПП был разбит на 3 зоны:

А/УУЧ ЛЛАЛЛЛ7

РбО-ЗЙ!

V Ф4= V V *

Чистая Зонц

'0///л 'ехнологическая'

Занэ удоля-скогоай ъЬ*о

I 1 V

ПФПП

ТО

Рис. I. Схема замкнутого рециркуляционного контура ЧПП кл. 1-100

В - вентилятор, ВП а ВВ - приточный и вытяжной воздуховоды соответственно, ВЭ - буферный объем, ФФ - финишный фильтр, ФП - фзльшпол, ПФПП - подфальшпольное пространство

чистая, технологическая и зона удаляемого воздуха.

Давление Р , удельный объем V и температура воздуха, подвергающегося воздействию вентилятора, изменяются. Перед вентилятором давление и температура уменьшаются, так как вследствие сопротивлений во всасывающей части вентагрегата происходит процесс расширения воздуха, который можно принять за адиабатический.

Пусть давление и температура воздуха после кондиционера Р0 и Т0 , общее сопротивление всасываыцей части вентилятора то при таких условиях давление воздуха перед вентилятором будет

а температура при адиабатическом расширении сделается равной

Г)

или

При этом состоянии воздух поступает в вентилятор,

I

где подвергается политропичаскому сштию при показателе

пЪлитропы И?& . Понимая, что полное изменение статического давления в вентиляторе равно дР-дР^+дР^, где дР^ -падение давления в приточной части воздуховода находим, что давление воздуха после вентилятора будет равно

При адиабатическом сжатии температура этого воздуха га,

Г> О

откуда р р

При политропическом сжатии температура воздуха на выходе из вентилятора будет выше. Если отклонения процесса сжатия от адиабаты определяется адиабатическим к.п.д. вентилятора

1Цдд, то температура воздуха найдется обычным путем из уравнения

Тяла, -Т| Ш

АЛ' ТЛ-Т1 ' .

0ткуда р 0,2.86 ,Р1Х0'286

. к

а-

-14- д

Если оценка процесса сжатия в вентиляторе дается не адиабатическим к.п.д., а значением показателя политропы И . то можно использовать зависимость

. & к -I

или ке определить из уравнения

Т,-Т1(%) " <г)

Если вентилятор работает только при сопротивлениях в

напорной части воздуховода, то АР4 = 0:ьРглРй',Р^РоЛй *Т0 . рЛ .0,286

т = То!(тЛ -а^дд^ (3)

3

ЧА

Если же сопротивления имеются только во всасыващей части воздуховода, то Л Ро =01А Р=аР1 ! Ра= Ра

зла

Т - ^ сГАЛМРп/ (4)

'а,

Формулы (1-4) позволяют рассчитать все изменящиеся термодинамические параметры воздуха за счет расширения и сжатия. Для подтверждения результатов расчета по этим формулам была выполнена экспериментальная проверка. Установлено, что во всасывающей части РК ряда ЧПП температура воздуха изменяется в среднем на 2,3-3,4%. В нагнетательных частях этих же систем температура изменяется на 1,2-1,7°С.

Физико-техническими особенностями процессов, характеризующих теплообмен воздуховодов с округа идей средой, являются такие факторы, как непостоянство теплофизических характеристик окружающей среды по длине воздуховодов, возникновение ряда нестационарных, сопутствующих теплообмену процессов в воздухе, окружающей среде п на поверхности раздела -стенках воздуховодов и т.д.

Для воздуховодов замкнутого РК ЧПП, схема которого приведена на рис. I, была составлена система дифференциальных уравнений нестационарного теплообмена мзвду движущимся воздухом и воздуховодами.

Система уравнений сохранения массы, движения и энергии, ' уравнения состояния реального газа по длине РК ЧПП может быть записана в виде:

£ - коэффициент .сжимаемости.

Таким образом, рассматриваемая задача свг тся к отысканию решения системы

в области

удовлетворяющей начальным условиям

где а о

н

Т(х,о)=Т(х)

и'Граничным условиям при

Учитывая различную конфигурацию каналов, по которым дви-

Д

кется воздух, дальнейшее преобразование системы приводит к обычному уравнению распределения температур по экспоненциальному закону, которое мокно' получить ¡га уравнения теплового баланса

Третья глава посвящена натурным исследованиям и расчетным методикам режимов ЧПП.

Тепловой расчет должен, сопрововдаться аэродинамическим . расчетом, который заключается в определении гидравлических потерь в отдельных элементах, их суммы и определения по ним характеристик вентиляторов КД с учетом всех особенностей, обусловленных требованиям к параметрам воздуха.

Расчет гидравлического режима рециркуляционного контура ЧПП, приведенного на рис. I начинается с. определения суммарной потери давления во всей рециркуляционной системе ЧШ от

Окончательно, для расчета предлагается принять формулу^ учитывающую нагрев воздуха.в вентиляторе:

выхода воздуха из ВД и до входа в него составляет Р= РП*РВ « где Рп - потери давления в приточной •нети сиотеш и - потерн давления в вытяжной части

еасгеьш

здесь и Р(1ФПП - галера в буферном объема БО и под-

польной пространстве ПШП;

^»П ~ потери в финишных фильтрах Ф£ и фальшполе ФП. Из всей системы наиболышй интерес кредставдяег участок, включащий финишные фильтры $5, собственно ЧШ и фалыапол СП, ибо именно на нем происходят основные аэродинамические процессы. В ЧШ должно быть избыточное давление для воспрепятствования поступления загрязненного воздуха из сменных помещений. ;

Рчпп 1 ^а " Рн > Реп

Рд - давление в точке А; - то же в смежных помеще-

ниях.

Примем давление воздуха в подфальшпольном пространстве равным да членив в смежных помещениях, тогда

Рчпп = Реп + ~ ^ПЧ-ПП + Ри

здесь ^ - избыточное давление воздуха в ЧПП.

- 19 - ■ Д

Зависимость мевду сопротивлением фильтра и расходом воздуха в системе:

где , V - плотность и скорость воздуха; Н - высота слоя фильтра и диаметр волокон; - плотность упаковка или относительная плотность фильтру, пцей .среды, численно равная объему волокон в единице объема средакоэффициент лобового сопротивления; ^ - вязкость воздуха; | - поправка на взаимное влияние волокон в слое фильтра. Для расчета следует принимать рабочую площадь Гр = РЧ[)П-р^ где - площадь, которую занимают монтахно-конструктор- ■

скиз элементы. С учетом изложенного:

айр* б^нгсл^д^а

Обозначив отношение площади перфорации СП и площади ЧПП через коэффициент перфорации ^п " п /Рмпп » имея в виду, что условием обеспечения избыточного давления в ЧПП должно быть .

д Р<^п- Рчпп+ Рп+пп » и рассматривая гидравлическое сопротивление фальшпола как сопротивление плоской перфорированной решетки (без акцента на рисунок отверстий) .чаменяя скорость воздуха его расходом, можно записать

Л Рсрп= ^чпп ~ ^а+ПП

/р( рчгп^п)1 '•

где I- §п ; • ^ - коэффициент ско-

рости истечения воздуха из отверстий; &0 - коэффициент за-

поляеяия сечения отверстий в ФП; - коэффициент,

учитывающий влияние толщины Ш, форму входной кромки отверстий и условия протекания воздуха через отверстия; -коэффициент трения на всей глубине отверстий.

Подсчеты для нормальных условия работы ЧИП (температура 22°С, относительная влажность 42^) и минимальной скорости 0,35 м/о показывают, что для получения ¿Р<рп более 20 Па, а следовательно, и для выполнения условия Рчпп^ Р^п или Рчпп?Р1Ж1П необходимо значение 0,27.

Для расчетов удобно использовать графический метод, обеспечиванций наглядность всех элементов системы и их гидравлических сопротивлений. На рис.2 представлен график для условий ЧПЛ в период после смены фильтровальных ячеек.

Оценку всей системы по аэродинамическому фактору удобно производить по общему перепаду давления системы Р = Рп + Ре> взятому из графика и разности расходов & = &ц , где

- начальный расход в системе (посла смены фильтровальных ячеек). По этим характеристикам мокно определять зону промышленного использования вентиляторов кондиционеров-доводчиков, учитывая при этом их нагрузку по параметрам тепло-влакностной доводки с соблюдением точности поддержания,

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И. ВЫВОД!

Научные вуводы и практические рекомендации по работе сведены к следующему:

I. Установлено, что по эксплуатационном параметрам системы обработки кондициинируемого воздуха на предприятиях

I

го

^ 9 0.7 5,7 V

Рис.2 График изменения да-ленил ло элементам рециркуляционного контура ЧШ

- 22 - Д

микроэлектроники необходимо делить на две части (первичная и вторичная), т.к. первичная, применяемая в обычных условиях, по своей точности поддержания температуры (2-4°С) не удовлетворяет основной технологии.

2. Разработана классификация РК ЧПП всех клае«ов, в основу которой положены гидродинамические характеристики движения воздуха по элементам ЧПП; предложено считать три типа РК -замкнутый, комбинированный, разомкнутый.

3. Разработана методика гидродинамического расчета элементов РК на основе анализа гидравлических сопротивлений проточных элементов ЧПП. Предложен метод графо-аналитичеекого расчета элементов ЧПП на основе гидравлических сопротивлений потоков геометрической формы каналов и длины элементов.

4. Установлено, что тепловые режимы ЧПП определяются внешними и внутренними факторами, причем изменение температуры носит знакопеременный характер от ее нормального значения. Закономерности изменения температур по длине элементов являются функцией длины и внешней тепловой обстановки.

5. Показано, что самыми сложными температурными режимами обладают замкнутые рециркуляционные контуры в ЧПП классов 1-100. Дан тепловой анализ всех элементов (8 элементов), причем высота ЧПП от фальшпола до финишных фильтров разделена на три зоны: чистую, технологическую и удаляемого воздуха. Даны детальные термогидродинаыические характеристики каждому элементу и выведены формулы для определения температуры в каждом из этих элементов и во всем рециркуляционном контуре.

6. Доказано, что наиболее'оптимальным путем термостабилизации воздуха в технологических зонах ЧПП являются устранение

д .

тепловых воздейотвий, иоходящих от а) воздуха, б)металлических частей уздов, на которых обрабатываются пластины.

Даны рекомендации по выбору и совершенствованию методов подбора материалов для мест, где устанавливается пластина в определением тепло- и температуропроводноети и предложена рекомендации по ведению процессов нанесения металлических материалов на металлические в определенных температурных режимах.

7. Разработана и предложена программа машинного расчета температурных режимов движения воздуха в каналах. Показано, что комплексны! расчет прецизионного теплового кондиционирования возможен в ЧПП всех классов и вспомогательных участков.

ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ ОПУБЛИКОВАНО В РАБОТАХ

1. Калинина И.С., Каракеян В.И., Личу Н.4. Вопросы прецизионных тепловых процессов в ЧПП. Под ред. Ушакова В.И., МЮТ.1990. 96 е.

2. Калинина И.С. Теоретические основы расчета рециркуляционных контуров ЧПП. Под ред. Ушакова В.И., МИЭТ, 1992.'йЬ с.

3. Калинина И.С., Красников Д.В., Особенности создания преци-' эионных тепловых режимов в ЧПП предприятий, производящих ИС. Под ред. Ушакова В.И., МИЭТ, 1992, 87 е.

4. Красников Д.В., Калинина И.С. Особенности подготовки технологических вод для предприятий электронной техники. Под ред. Ушакова В.И., М.: МЮТ, 1992 , 65 о.

Ь. Ушаков В.И., Калинина И.С., Каракеян В.И. Особенности теплового расчета рециркуляционных контуров ЧПП/.Тезисы докладов

к 3-ей Всесоюзной научно-техническоП конференции "Экология «

- 24 - Д

микроэлектроники-90", М.: МЮТ, 1990, с.61 - 63.

6. Ушаков В.И., Долгушев А.И., Калинина И.С., Личу Н.ф. Влияние температуры на разнородные материалы в прецизионных процессах / Тезисы докладов с 3-й Всесоюзной научно-технической конференции "Экология микроэлектроники-90", М.: МЮТ, 1990, с. 65 - 66.

7. Ушаков В.И., Долцушев А.И., Калинина И.С., Оценка работы центральных кондиционеров для нужд чистых производственных помещений / Тезисы докладов к 3-й Всевоюзной научно-технической конференции "Экилигия микроэлектроники - 90", М.: МЮТ, 1990, с. .63 - 64. \ 8..Ушаков В.И., Каракеян В.И., Чамов А.Н., Долгушев А.И., ^ Рябышвнков A.C., Калинина И.С. Расчвт концентрации льии в чистых помещениях/ Известия выеших учебных заведений. Строительство и архитектура W 3, 1991, с.23

9. Калинина И.С., Каракеян В.И., Долгушев А.И., Ушаков В.И. Принципы формирования локальных объемов в ЧПП/ Производственно-техническая экология в микроэлектронике, М.: МЮТ, 1991, с. 5'- 10

10. Калинина И.С., Редин В.М., Ушаков В.И. Пути обеспечения термостатирования окружающей среды в ЧПП/ Производственно -техническая экология в микроэлектронике, М.: МЮТ»- 1991,

с. Ii30-I57.

11. Калинина И.С., Ушаков В.И., Редин В.М. Температурно -градиентные характеристики полупроводниковых пластин / Произ-

• водственно - техническая экология в микроэлектронике, М.: МЮТ, 1991, с. 150-166. -

12. Калинина И.С., Красников Д.В., Ушаков З.И. Расчет гидравлического режима чистых помещений /Сборник докладов к 1У-ОЙ научно-технической конференции Содружества Независимых Государств и зарубежных стран "Достижения и перспективы технологической экологии микроэлектроники в чистых производственных помещениях" М.: МИЭТ, 1992, с.24.

13. Ушаков В.И., Рябышенков A.C., Калинина И.С. Расчет автоматических'конденсатоотводчиков для компрессорных установок / Сборник докладов к 1У-оГ: научно-технической конференции Содружества Независимых Государств и зарубежных стран " "Достижения и перспективы технологической экологии микроэлектроники в чисткх производственных помещениях"М.: МИЭТ,15Э2, с.212.

14. Калинина U.C., Красников Д.В., Кузьмин A.B. Расчет систем прецизионной фильтрации воздуха в чистых производственных помещениях / Сборник докладов к 1У-сй научно-технической конференции Содружества Независимых Государств и зарубежных стран "Досткжениея и перспективы технологической экологии микроэлектроники в чистых производственных помещениях" М.: МГОТ, 1992, с.14

15. Калинина И.С., Рябьюенков A.C., Ушаков В.И. Расчет пылевых концентраций в чистых производственных помещениях

/ Сборник докладов к 1У-0Й научно-технический конференции Содружества Независимых Государств и зарубежных стран "Достижения и перспективы технологической экологии микроэлектроники в чистг.гх производственных помещениях"М.:МГОТ, 1992, с.34

16. Ушаков В.П., Калинина И.С. Экологическое обеспечение прсцессов микросварки и пайки в чистых помещениях микроэлектроники / Сборник докладов к международной научно- технической

Д

конференции "Маркетинг, технология и оборудование микро-сварки и пайки в производстве изделий электронной техники", Воронеж, 1992.

17. Погалов А.И., Кузнецов O.A., Миррахматов С.Ш.,Калинина И.С. Исследование прочности паяного соединения / Сборник докладов к ыевдународной научно-технической конференции "Маркетинг, Технология и оборудование микросварки и пайки в производстве изделий электронной техники" Воронеж, 1992.

Зак 9 тира- 85 З-н.Т'Ю/дСП Бесплатно

Отпечатано в типографии ЫИЭТ