автореферат диссертации по электронике, 05.27.03, диссертация на тему:Разработка и исследование адаптивных биморфных зеркал для управления излучением промышленных CO2 и мощных фемтосекундных лазеров

Введение.

Глава 1. Управляемый корректор на основе биморфного пьезоэлемента.

1.1. Методы и устройства управления излучеиием лазеров (обзор).И

1.1.1. Требования к корректорам волнового фронта.

1.1.2. Типы корректоров волнового фронта.

1.1.2.1. Зеркала с локальной функцией отклика.

1.1.2.2. Корректоры с модальной функцией отклика.

1.1.3. Гибкие зеркала на основе биморфного пьезоэлемента.

1.2.Принцип действия и оптимизация биморфных зеркал.

1.2.1. Уравнение деформации многослойного биморфного зеркала.

1.2.2. Оценка деформации поверхности биморфного зеркала.

1.2.3. Максимизация чувствительности деформации.

1.2.4. Температурная зависимость кривизны поверхности.

1.2.5. Резонансная частота зеркала.

1.2.6. Функции отклика электродов.

1.3.Экспериментальное исследование управляемых гибких зеркал.

1.3.1. Разработка и изготовление экспериментальных биморфных зеркал.

1.3.2. Исследование характеристик биморфных корректоров.

1.3.3. Зеркало с пьезокерамической подложкой

1.3.4. Охлаждаемое биморфное зеркало для мощных СО2 лазеров.

1.3.5. Сферическое биморфное зеркало.

1.3.6. Грибовидное биморфное зеркало.

1.3.7. Зеркала для мощных фемтосекундных лазеров.

1.3.1. Корректор и генератор аберраций проходящего излучения.

Адаптивная линза.

Глава 2. Формирование и управление излучением промышленных СО2 лазеров с помощью гибких зеркал.

2.1. Основные источники аберраций излучения технологических СО2 лазеров.

2.2. Внутрирезонаторная коррекция и формирование излучения (обзор).

2.3. Режим квази-модуляции добротности в СО2 лазере.

2.3.1. Промышленный СО2 лазер ТЛ-5 с поперечной прокачкой и с неустойчивым резонатором.

2.3.2. Экспериментальное исследование излучения лазера с внутрирезонаторным охлаждаемым биморфным зеркалом.

2.4. Формирование заданных распределений интенсивности.

2.4.1. СО2 лазер с быстрой аксиальной прокачкой.

2.4.2. Формирование супергауссовых TEMqo мод при помощи биморфного зеркала.

2.4.3. Результаты численного анализа с учетом усиления активной среды для конкретных параметров лазерного резонатора.

2.4.4. Результаты эксперимента.

Глава 3. Формирование и коррекция излучения мощных фемтосекундных импульсно-периодических лазеров.

3.1. Адаптивная оптика для титан:сапфировых лазеров (обзор).

3.1.1. Титан:сапфировые лазеры: их свойства и применение.

3.1.2. Коррекция волнового фронта излучения.

3.1.3. Формирование импульсов излучения.

3.2. Коррекция излучения мощного титанхапфирового лазера.

3.2.1. Лазерный комплекс АТЛАС на основе титанхапфирового лазера: параметры, особенности и недостатки.

3.2.2. Исследование аберраций и динамики флуктуаций аберраций волнового фронта излучения.

3.2.3. Формирование распределения интенсивности с помощью биморфного зеркала.

3.2.4. Коррекция волнового фронта излучения.

3.3. Адаптивная оптическая система для оптимизации фокусировки излучения на основе эволюционного генетического алгоритма.

Лазерная физика как направление науки стремительно развивается, начиная с 60-х годов. Сначала решались задачи создания новых лазерных систем, исследования новых активных сред и оптических резонаторов, а также получения максимальной выходной мощности. На этапе, когда лазеры начали активно применять в различных областях науки и на производстве, в том числе и в технологии обработки материалов, существенными оказались требования к качеству излучения. Для решения многих практических задач большим препятствием является различного рода нестабильности и неоднородности выходного лазерного излучения, вызванные наличием оптических неоднородностей в активной среде, термодеформацией оптических элементов внутри и вне резонатора, а также неоднородностями, возникающими в среде распространения излучения. Роль аберраций в неустойчивых резонаторах была всесторонне проанализирована в работах Ю.А.Ананьева [1,2], в которых была продемонстрирована зависимость волнового фронта выходного излучения от оптических неоднородностей активной среды в приближении геометрической оптики.

Различные подходы были предложены для повышения качества излучения, среди них оптимизация и применение новых типов резонаторов [1,3,4], сложные оптико-механические системы, киноформные элементы [5] и др. Однако оказалось, что коррекция лазерного пучка лишь с помощью формирующей оптики не позволяет достичь требуемых технологическим процессом параметров излучения на обрабатываемой поверхности. В этом случае возможно формирование требуемых распределений пучка непосредственно внутри резонатора. В ряде случаев это может быть сделано соответствующим изменением формы поверхности зеркал резонатора, т. е. использованием деформируемого адаптивного зеркала. Впервые описание численного моделирования таких систем приведено в работах [6-9]. Первые эксперименты по коррекции излучения СОг лазеров при помощи адаптивных зеркал были проведены в конце 70-х - в начале 80-х годов [10-14]. В подавляющем большинстве экспериментов использовались электроразрядные СО2 лазеры с телескопическими резонаторами. При этом основной целью работ было увеличение либо полной мощности выходного излучения, либо концентрация мощности в пределах малой диафрагмы. Одновременно изучалась и возможность компенсации статических искажений, искусственно введенных в резонатор лазера [11-13]. Полученные результаты свидетельствовали о больших потенциальных возможностях адаптивной оптики для управления параметрами резонатора и для формирования выходного излучения. Однако, в начале 80-х годов эти работы были прерваны, и практически отсутствовали какие-либо публикации по данной теме.

В настоящее время активное создание и внедрение современных лазеров и лазерных комплексов в технологические процессы и исследования взаимодействия сверхмощного излучения с веществом сделало проблему управления и формирования излучения лазеров методами адаптивной оптики чрезвычайно актуальной. Например, для того, чтобы взаимодействие излучения мощного фемтосекундного лазера с веществом происходило в релятивистком режиме, необходимо иметь плотности мощности более чем 21 2

1(Г Вт/см [14]. Такой плотности мощности нельзя добиться без коррекции сильно искаженного волнового фронта, характерного для мощных титанхапфировых лазеров. Адаптивные оптические системы, разработанные для военных и астрономических целей [16,17], оказываются довольно сложными, дорогими и, следовательно, недоступными для широкого применения в лазерной физике и технологии. Однако на основе развития электронных, оптических и информационных технологий стало возможным разрабатывать новые типы недорогих элементов адаптивной оптики: корректоры, датчики волнового фронта и электронные системы управления. Этим проблемам были посвящены два Международных семинара по адаптивной оптике для промышленности и медицины, проведенные в Шатуре (Россия, 1997 г.) [18] и Durham (Великобритания, 1999 г) [19]. Основное внимание уделялось формированию и управлению излучением технологических лазеров, исследованию новых, адаптивных резонаторов. Также выявлен целый ряд новых потенциальных применений адаптивных оптических систем в медицине, связи и др.

Ключевым элементом адаптивной системы является корректор волнового фронта или деформируемое адаптивное зеркало, которое определяет структуру и возможности всей адаптивной системы [20]. Гибкие зеркала на основе биморфного пьезоэлемента [21] являются наиболее подходящими корректорами из-за 1) возможности эффективно воспроизводить аберрации волнового фронта низких порядков с помощью небольшого количества электродов, 2) широкого диапазона деформации поверхности, 3) простоты изготовления и 4) низкой стоимости [22,23]. Первая экспериментальная работа, проведенная совместно ИПЛИТ РАН и МГУ им. М.В.Ломоносова с биморфным зеркалом в эксимерном лазере, показала эффективность и перспективность применения такого типа зеркала для внутрирезонаторного формирования и управления пространственными характеристиками выходного лазерного излучения [24]. Следующие работы подтвердили эффективность применения такого типа зеркал в лазере на парах меди [25], твердотельном лазере[26] и технологическом СО: лазере [27].

Особенности параметров излучения различных типов лазеров требует конкретного подхода при разработке гибких зеркал для управления излучением. Для формирования излучения мощных СОг лазеров требуются термостабильные охлаждаемые зеркала, диапазон деформации поверхности которых должен быть сравним с длиной волны излучения А,=10.6 мкм. Охлаждаемые биморфные зеркала способны выдерживать лучевую нагрузку более чем 1 кВт/см [28]. В лазерах видимого и ближнего инфракрасного диапазона длин волн появляется возможность более эффективно воздействовать на волновой фронт с тем, чтобы корректировать и формировать излучение вне лазерного резонатора. Однако препятствием для широкого использования биморфных зеркал являются проблемы температуростабильности поверхности и увеличения чувствительности деформации. Поэтому оптимизация параметров биморфных зеркал является актуальной задачей.

Целью настоящей диссертационной работы являются:

• Разработка, создание, исследование и оптимизация многослойных охлаждаемых и неохлаждаемых биморфных зеркал, применяемых для управления параметрами лазерного излучения;

• Развитие методов и средств формирования и управления излучением мощных промышленных лазеров с использованием гибких биморфных зеркал, расположенных внутри и вне оптического резонатора;

• Создание систем управления излучением промышленных СО2 лазеров на основе охлаждаемых биморфных зеркал; экспериментальное исследование параметров излучения мощных промышленных СО2 лазеров, включающих в составе оптического резонатора гибкое биморфное зеркало;

• Разработка систем коррекции излучения мощных твердотельных лазеров; проведение экспериментов по формированию и коррекции излучения мощных фемтосекундных лазеров с помощью биморфных корректоров, расположенных вне оптического резонатора.

Диссертация состоит из введения, трех глав, заключения и списка литературы.

Выводы к главе 3:

1. Впервые в мощном фемтосекундном лазере показана возможность формирования и коррекции излучения с помощью двух биморфных зеркал вне оптического резонатора. В титан:сапфировом лазерном комплексе мощностью излучения 8 ТВт при длительности импульсов 150 фс получена плотность излучения 4х1019 Вт/см2 на фокусируемой плоскости. Это сопровождалось увеличением фактора Штреля излучения с 0.1 до 0.8.

2. Реализована адаптивная оптическая система с 31 элементным биморфным зеркалом для оптимизации фокального пятна мощного титан-сапфирового лазера с импульсами с энергией 0.5 мДж и длительностью 5 фс на основе эволюционного генетического алгоритма, получено повышение качества фокусировки в 12 раз.

Заключение

В заключении сформулируем основные результаты, полученные в диссертационной работе:

1. Разработаны охлаждаемые и неохлаждаемые управляемые зеркала на основе биморфного пьезоэлемента для управления излучением мощного лазера. Экпериментально исследованы и оптимизированы характеристики биморфных зеркал (функции отклика, частотный диапазон работы, чувствительность, температурная стабильность поверхности, гистерезис и др.). Впервые предложено и изготовлено биморфное зеркало с пьезокерамической подложкой. Исследование показали, что величина термодеформации поверхности такого зеркала при изменении температуры на 1°С в 4 раза меньше, чем у обычного биморфного зеркала со стеклянной подложкой и 18 раз меньше, чем у зеркала с медной подложкой.

2. Предложен и реализован корректор и генератор аберраций проходящего излучения, на его основе разработана адаптивная линза, корректирующая и воспроизводящая дефокусировку, астигматизм и кому.

3. Впервые получен режим модуляции добротности в промышленном 5-киловаттном СС>2 лазере с непрерывной накачкой и неустойчивым резонатором в диапазоне частот следования импульсов до 7.6 кГц с помощью внутрирезонаторного охлаждаемого биморфного зеркала. При этом превышение пиковой мощности уровня средней мощности составляла 3 раза.

4. Экспериментально показана возможность формирования заданных распределений интенсивности в одномодовом С.02 лазере с быстрой аксиальной прокачкой рабочей смеси с помощью внутрирезонаторного охлаждаемого деформируемого зеркала. Реализована генерация излучения с супергауссовым 4 и 6 порядков распределением интенсивности, в которых получено повышение выходной мощности в 1.2 раза и пиковой интенсивности излучения в дальней зоне в 1.6 раз по сравнению с исходным гауссовым распределением.

5. Впервые в мощном фемтосекундном лазере показана возможность формирования и коррекции излучения с помощью двух биморфных зеркал вне оптического резонатора. В титанхапфировом лазерном комплексе мощностью излучения 8 ТВт при длительности импульсов 150 фс получена плотность излучения 4х1019 Вт/см2 на фокусируемой плоскости. Это сопровождалось увеличением фактора Штреля излучения с 0.1 до 0.8.

6. Реализована адаптивная оптическая система с 31 элементным биморфным зеркалом для оптимизации фокального пятна мощного титан-сапфирового лазера с импульсами с энергией 0.5 мДж и длительностью 5 фс на основе эволюционного генетического алгоритма, получено повышение качества фокусировки в 12 раз.

1. Ананьев Ю.А. Оптические резонаторы и проблемы расходимости лазерного излучения. М.: Наука, 1979. - 328 С.

2. Ананьев Ю.А.// Квантовая электроника. Под ред. Н.Г.Басова, 1971. №6. -С. 3.

3. Голубев B.C., Лебедев Ф.В. О стабильности излучения быстропроточных газоразрядных технологических С02-лазеров. Обзор. //Квант, элекгр. -1985. Т. 12. - №4. - С. 663-671.

4. A.M.Zabelin, A.V.Korotchenko. СО2 laser resonator: some new aspects in the design. //In Laser Resonators II, Alexis Kudryashov, Editor. Proc. SPIE. -1999. V. 3611. -P. 317-322.

5. Коронкевич В.П., Ленкова Г.А., Михальцева И.А. и др. Киноформные оптические элементы: методы расчета, технология изготовления, практическое применение.//Автометрия. 1985. - № 1. - С. 4-25.

6. Oughstun К.Е. Intracavity adaptive optic compensation of phase aberrations. I: Analysis.// J. Opt. Soc. Amer. 1981. - V. 71. - P. 862-872.

7. Oughstun K.E. Intracavity adaptive optic compensation of phase aberrations. II: Passive cavity study for a small Neq resonator.//J. Opt. Soc. Amer.-1981.- V. 71. P. 1180-1192.

8. Oughstun K.E. Intracavity compensation of quadratic phase aberrations.//J. Opt. Soc. Am. 1982. -V. 72, Noll. - P. 1529.

9. Ковальчук Л.В., Родионов А.Ю., Шерстобитов В.Е., Численное моделирование внугрирезонаторной адаптивной системы.//Квант, электр. 1983. - Т. 10, №8. - С. 1564.

10. Anafi D., Spinhirne J.M., Freeman R.H., Oughstun K.E. Intracavity adaptive optics. 2: Tilt correction performance.//Appl. Opt.-1981 .-V. 20,- P. 1926-1932.

11. Spinhirne J.M., Anafi D., Freeman R.H. Intracavity adaptive optics. 3: Hsuria performance//Appl. Optics. 1982. - V. 21. - P. 3969-3983.

12. Freeman R.H., Freiberg R.J., Garsia H.R. Adaptive laser resonator.//Opt. Lett. 1978. - V 2, - No3. - P. 61.

13. G.Mourou, Ch.P.J.Barty, M.D.Perry. Ultrahigh-intensity lasers: Physics of the extreme on a tabletop. //Physics Today. 1998. -P. 22-28.

14. J.H.Hardy. Adaptive Optics for Astronomical Telescopes. Oxford University Press, New York, 1st ed. 1998.

15. P.L.Wizinovich, D.S.Acton, O.Lai et all, Performance of the W.M.Keck observatory natural guide star adaptive optics facility: the first year at the telescope. //Proc. SPIE. 2000. - V. 4007. - P. 2-13.

16. Program of the 1st International Workshop on Adaptive Optics for Industry and Medicine, Shatura, Russia. 9-13 June 1997.

17. Adaptive Optics for Industry and Medicine. //Proc. of the 2nd Int. Workshop on Adaptive Optics for Industry and Medicine, 12-16 July 1999, Durham, England, Ed. Gordon D. Love. World Scientific. - 2000.

18. Воронцов M.A., Шмальгаузен В.И. Принципы адаптивной оптики. Москва, Наука. - 1985,- 336 С.

19. Kokorowsky S. Analysis of adaptive optical elements made from piezoelectric bimorphs.//J. Opt. Soc. Am. 1979. - V. 69. No 1. - P. 181-187.

20. Воронцов M.A., Кудряшов А.В., Шмальгаузен В.И. Гибкие зеркала для адаптивных систем атмосферной оптики. Теоретический анализ.//Изв. вузов: Радиофизика. 1984. - Т. 27, № 11. - С. 1419-1430.

21. М.А.Воронцов, С.А.Гнедой, А.В.Кудряшов, В.В.Самаркии, В.И.Шмальгаузен, В.П.Якунин. Управляемые зеркала на основе полупассивных биморфных пьезоэлементов. //Препринт НИЦТЛ АН. Шатура. - 1987. - №29. - 29 С.

22. Гнедой С.А., Кудряшов А.В., Самаркин В.В., Шмальгаузен В.И., Якунин В.П. Управление параметрами излучения лазера на парах меди с помощью внутрирезонаторного адаптивного зеркала. //Квант, электр. 1989. - Т 16, №9. - С. 1837-1839.

23. Аббас А., Капцов Л.Н., Кудряшов А.В., Чистяков И.М. Коррекция тепловой линзы твердотельного лазера с помощью гибкого биморфногозеркала.//Квант, электр. 1989. - Т 16, №10. - С. 2080-2082.

24. Гнедой С.А., Забелин A.M., Коротченко А.В., Кудряшов А.В., Самаркин В.В. Технологический С02 лазер с адаптивным зеркалом./Тез. докл. III Всесоюзн. конф. Применение лазеров в народном хозяйстве, Шатура.-1989. -С. 217-218.

25. Воронцов М.А., Изаксон Г.М., Кудряшов А.В. и др. Адаптивное охлаждаемое зеркало для резонатора технологического лазера.//Квант, злектр.- 1985. Т. 12, № 7. - С. 1337-1338.

26. Тараненко В.Г., Шанин О.И. Адаптивная оптика. Мл Радио и связь. - 1990. - 111 С.

27. Freeman R.H., Pearson J.E. Deformable mirrors for all seasons and reasons. //Appl. Optics. 1982,- V. 21, No4, P. 580-588.

28. Рябова H.B., Захаренков В.Ф. Активная и адаптивная оптика в крупногабаритных телескопах. //ОМП. 1992. - №6. - С. 5-32.

29. Николаев П.В., Смирнов А.В. Модальные корректоры волнового фронта. //ОМП. 1987. - №11. - С. 47-53.

30. Тараненко В.Г., Горохов Ю.Г., Романюк Н.С. Зеркала для адаптивных оптических систем.//Зарубежная радиоэлектроника. 1982. - №8. - С. 19-43.

31. Harvey J.E., Callahan G.M. Wave front error compensation capabilities of multi-actuator deformable mirrors.//Proc. SPIE. 1978. - V. 141. - P. 50-57.

32. Харди Дж.У. Активная оптика для управления световым пучком.//ТИИЭР.-1978. Т. 66, № 6. - С. 31-85.

33. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука. - 1973. -703 С.

34. Галушкин М.Г., Голубев B.C., Завалов Ю.Н., Завалова В.Е., Панченко В.Я. Оптические неоднородности активной среды мощных технологических С02 лазеров с быстрой аксиальной прокачкой.//'Квант, электр. 1997. - Т. 24, №3. - С. 223-226.

35. Wittrock U. High power rod, slab, and tube laser.//Solid State Lasers, NATO ASI Series B: Physics (Plenum, New York 1993). V. 317. - P. 45-66.

36. Черткова И.А., Чесноков С.С. Минимизация фазовых искажений лазерного пучка распространяющегося в конвективных потоках.//Опт. атмосферы. -1990. Т. 3, №2. - С. 123-129.

37. Герасимов В.Б., Давыдов А.В., Кудряшов А.В. Самаркин В.В. и др. Управляемое растровое регрорефлекторное зеркало./Тез. докл. 6 Всесоюзн. конф. Оптика Лазеров, Л. 1990. - С. 446.

38. Robertson H.J., Crana R., Hemstreet H.S. Active optical system for spaceborn telescope.//NASA CR-6627, Oct. 1966. Perkin-Elmer Corp., Norwalk, Conn.

39. Хоувелл B.E. Последние достижения в области оптического контроля больших космических телескопов.//Космическая оптика. М.: Машиностроение, 1980. - С. 156-168.

40. Yellin М. Using membrane mirror in adaptive optics.//Proc. SPIE. 1976. - V. 75. - P. 97-102.

41. Гроссо Ф., Еллин M. Мембранное зеркало как элемент адаптивной оптической системы./'/Адаптивная оптика. Под ред. Д.Фрида.-М, Мир.-1980.-С.428-447.

42. Krishnamoorthy R., Bifano Т., Sandri G. Statistical performance evaluation of electrostatic micro actuators for a deformable mirror.//In Microelectronic structures and MENS for optical processing.- Proc. SPIE. 1996. - V. 2881. - P. 26-34.

43. Vdovin G.V. Adaptive mirror micromachined in silicon./Thesis Delft UniV. of Technology. Delft: Delft UniV. Press, The Netherlands, 1996. - 136 P.

44. Vdovin G.V., Sarro P.M. Flexible mirror micromachined in silicon.//Appl. Optics. 1995. - V. 34. - P. 2968-2972.

45. Poster H., Scott R., Crane R. at al. New development in nterferometry.//Appl. Optics. 1969. - V. 8, No 3. - P. 521-556.

46. Henderson W.D., Sunn S.V. System performance of a large deformablte mirror using differential ball screw actuators.//Proc. SPIE.- 1979,- V. 179,- P. 51-60.

47. Андрианова И.И., Заславская В.Р., Смирнов В.А. и др. Пьезокерамический модулятор света.//ОМП. 1982. - №10. - С. 30-31.

48. Тарананко Б.Г. Быстродействующие адаптивные зеркала и их эффективность при компенсации случайных фазовых возмущений.//Изв. вузов: Физика.-1985. Т. 28, № 11. - С. 106-117.

49. Everson J.H., Aldrich R.E., Cone М. at al. Device parameters and optical perfomance of stacked actuator deformable mirror.//Proc. SPIE. 1980. - V. 228. - P. 34-40.

50. Freeman R.H., Garcia H.R. High-speed deformable mirror system.//Appl. Optics. 1982. - V. 21, No 4. - P. 589-595.

51. Albertinetti N.P., Aldrich R.E., Everson J.H. at al. Deformable mirrors with bimorph actuators.//Proc. SPIE. 1979. - V. 179. - P. 28-31.

52. Пирсон Дж., Хансен С. Экспериментальные исследования адаптивной оптической системы с деформируемым зеркалом.//Адаптивная оптика. Под ред. Д.Фрида. М.: Мир. - 1980. - С. 203-226.

53. Garcia H.R., Brooks L.D. Characterisation techniques for deformable metal mirrors.//Proc. SPIE. 1978. - V. 141. -P. 47-81.

54. Наумов А.Ф. Корректоры волнового фронта на основе жидкокристаллических транспорантов.// В сб. Голографические методы в науке и технике, Л. ЛФТИ. 1985. - С. 216-221.

55. Компанец И.Н. Управляемые транспоранты.//Зарубежн. Радиоэлектроника.- 1982. №4. - С. 46-76.

56. Fuschetto A., Three-actuator deformable water cooled mirror.//Proc. SPIE. -1979. V. 179. - P. 17-27.

57. Андронов В. П., Кирчин Г. В., Либик Л. П. Исследование возможности создания зеркала с переменной кривизной поверхности././ОМП. 1982. - №5.- С. 17-19.

58. Steinhaus E, Lipson I. Bimorph piezoelectric flexible mirror.//J. Opt. Soc. Am.- 1979. V. 69, No 3. - P. 478-481.

59. Halevi P. Bimorph piezoelectric flexible mirror grafical solution and comparison with experiment.//J. Opt. Soc. Am. - 1983. - V. 73, Nol. - P. 110-113.

60. Roddier F. A new concept in adaptive optics: curvature sensing and compensation.//Appl. Optics. 1988. - V. 27. - P. 1223-1225.

61. Schwartz C., Ribak E., Lipson S.G. Bimorph adaptive mirrors and curvature sensing. //J. Opt. Soc. Am. A. 1994. - V. 11, No 2. - P. 895-902.

62. Roddier F. The problems of adaptive optics design.//In Adaptive Optics for Astronomy, NATO ASI series Kluwer Academic, The Netherlands. 1991. - P. 89111.

63. Bryant J.J., О'Byrne J.W., Minard R.A., Fekete P.W. Low order adaptive optics at the Anglo-Australian telescope.//Proc. Adaptive Optics Topical Meeting, Garching. 1995. - P. 23-28.

64. Тимошенко С.П., Войновский-Кригер С. Пластинки и оболочки. М.: Госфизматиодат. 1963. - 635 С.

65. В. И. Б лох. Теория упругости. Из-во Харьковского университета, Харьков. -1964. - 483 С.

66. R.C.Wetherhold. Composites Engineering Handbook, chapter 5. Marcel Dekker, Inc. - 1997.

67. R.M.Jones. Mechanics of composite materials. McGraw-Hill. - 1975.

68. J.M.Whitney. Structural Analysis of Laminated Anisotropic Plates. Technimic Publishing Company Inc. 1987.

69. M.R.Steel, F.Harrison, and P.G.Harper. "The piezoelectric bimorph:An experimental and theoretical study of its quasistatic response". //J.Phys. D: Appl. Phys. 1978. - V. 11. - P. 979-989.

70. Ikeda, T.Sato, Comparison of deformability between multilayered deformable mirrors with a monomorph or bimorph actuator. //Applied Optics. 1986. - V. 25. - P. 4591-4597.

71. Фесенко Е.Г., Данцигер А.Я., Разумовская O.H. Новые пьезокерамические материалы. Изд. Ростовского Университета. - 1983. - 160 С.

72. Физические величины: Справочник / А.П.Бабичев, Н.А.Бабушкина, А.М.Братковский и др.; Под ред. И.С.Григорьева, Е.З.Мейлихова. М.; Энергоатомиздат. -1991. - 1232 С.

73. W.C.Young. Roark's formulas for stress and strain. McGraw-Hill, 6th edition. -1989.

74. Ни Р.Н., Stone J., Stanley Т. Application of Zernike polynomials to atmospheric propagation problems. //J. Opt. Soc. Am. A. -1989,- V. 6, NolO. -P. 1595-1608.

75. Лехницкий С.Г. Анизотропные пластинки. М.: Гостехиздат. - 1957. - 463 С.

76. Тимошенко С.П. Курс теории упругости. -К.: Наукова думка. 1972. - 508 С.

77. Бутковский А.Г. Структурный метод для систем с распределенными параметрами.//Автоматика и телемеханика. 1975. - №5. - С. 5-27.

78. Гонткевич B.C. Собственные колебания пластинок и оболочек. К.: Наукова думка. - 1964,- 228 С.

79. Абрамовиц М., Стиган И. Справочник по специальным функциям. М.: Наука. - 1979.- 832 С.

80. Скучик Е. Простые и сложные колебательные системы.-М.: Мир.-1971 .-558 С.

81. Амбарцумян С.А. Теория анизотропных пластин. М.: Наука. -1987,- 360 С.

82. Ouartz&Silica PZ ceramics specification form. France. - 1998.

83. Physik Instrumente products catalog. http://www.physikinstrumente.com

84. Свойства элементов. Справочник под ред. М.Е.Дрица. Москва, Металлургия.- 1985,- 672 С.

85. Справочник оптика-технолога. Под ред. С.М.Кузнецова. Ленинград, Машиностроение. - 1983.- 414 С.

86. A.Alexandrov, A. Kudryashov, A. Rukosuev, V. Samarkin, V. Zavalova. Low cost adaptive system with bimorph mirror conjugated by Shack-Hartmann wavefront sensor. /X Conf. on Laser Optics. St.Petersburg, Russia. Presentation WeCl-plO. 26-30 June 2000.

87. М.А.Воронцов, А.В.Корябин, В.И.Шмальгаузен. Управляемые оптические системы. М.: Наука. - 1988.

88. Глозман И.А. Пьезокерамика. М.: Энергия.- 1967. - 272 С.

89. Желудев И.С. Основы сегнетоэлектричества. М.: Атомиздат. -1973. - 472 С.

90. Воронцов М.А., Кудряшов А.В., Назаркин С.И. и др. Гибкое зеркало для адаптивных систем формирования световых пучков.//Квант, электр. 1984.- Т. И, №6. С. 1247-1249.

91. V.V.Samarkin. Deformable active mirrors for astronomical and technological applications. /NATO Advanced Study Institute "High angular resolution in astrophysics", Les Houches, France. April 9-19, 1996.

92. V.V.Samarkin. Computer controlled active mirrors and lens for industrial applications. /I International Workshop "Adaptive Optics for Industry and Medicine", Shatura, Russia. 9-13 June 1997.

93. Бородина И.Б., Воронцов М.А. Влияние термодеформаций зеркал резонатора на пространственную структуру излучения. Методы компенсации.// Опт. атмосферы. 1988. - Т. 1, №2. - С. 79-85.

94. А.V.Kudryashov, V.V.Samarkin. Bimorph mirrors for correction and formation of laser beam. //Adaptive Optics for Industry and Medicine, Ed. G. Love. World Scientific. - 2000. - P. 193-199.

95. Воронцов M.A., Корябин А.В., Полежаев В.И., Шмальгаузен В.И. Адаптивное внутрирезонаторное управление модовым составом излучения твердотельного лазера.//Квант, электр. 1991.- Т.18, № 8. - С. 904-905.

96. Аббас А., Капцов JI.H., Кудряшов А.В., Черезова Т.Ю. Управление параметрами излучения твердотельного технологического ИАГ лазера методами адаптивной оптики. 1. Резонатор лазера с адаптивным зеркалом.//Квант, электр. 1992. - Т. 19, №6. - С. 576-578.

97. Osternik L.M., Foster J.D. Thermal effects and transverse mode control in a Nd:YAG laser.//Appl. Opt. Lett. 1968. - V. 12, No 4. - P. 128-131.

98. Капцов Л.Н., Кудряшов А.В., Самаркин В.В., Селиверстов А.В. Управление параметрами излучения твердотельного технологического ИАГ лазера методами адаптивной оптики. 2. Сферическое адаптивное зеркало.//Квант, электр. 1992. - Т.19, №6. - С. 579-580.

99. Dainty J.С., Koryabin A.V., Kudryashov A.V. Low order adaptive optical system with bimorph deformable mirror.//Appl. Optics. 1998. - V. 37. - P. 4663-4668.

100. A.V.Kudryashov, V.B.Kulakov, Ye.V.ICotsuba, V.Ya.Panchenko, V.V.Samarkin. Computer controlled active mirrors and lens for non-astronomical applications. /IX Conference on Laser Optics, St.Petersburg.- June 22-26, 1998.

101. A.V.Kudryashov, V.B.Kulakov, Ye.V.ICotsuba, V.Ya.Panchenko, V.V.Samarkin. Low cost adaptive optical devices for multipurpose applications. //Proc. SPIE. 1999. - V. 3688. -P. 469-475.

102. Katsuaki Akaoka, Sayaka Haryama, Kazuyoku Tei et all. Closed loop wavefront correction of Ti:sapphire Chirped Pulse Amplification laser beam. // Proc. SPIE. V. 3265. - P. 219-225.

103. F.Druon, G.Cheriaux, J.Faure et all, Wave-front corection of femtosecond terawatt lasers by deformable mirrors. //Opt. Letters. 1998.- V. 23, No.13. -P. 1043-1045.

104. D.Meshulach, D.Yelin, and Y.Siberberg. Adaptive ultrashort pulse compression and shaping. / ./Opt. Comm. 1997. - V. 138. -P. 345-348.

105. Anatoly Efimov and David H.Reitze. Programmable dispersion and pulse shaping in a 26-fs chirped-pulse amplifier. //Opt. Letters. 1998. - V. 23. -P. 1612-1614.

106. Erik Zeek, Kira Maginnis, Sterling Backus et all. Pulse compression by use of deformable mirrors. //Opt. Letters. -1999.- V. 24. -P. 493-495.

107. Witte K.J., Basko M., Baumhacker H. Experiments with ASTERIX and ATLAS. //Fusion Eng. Des. 1999. - V. 44. -P. 147.

108. S.Sartania, Z.Cheng, M.Lenzner, G.Tempea, Ch.Spielmann, F.Krausz and IC.Ferencz. Generation of 0.1 TW 5-fs optical pulses at a 1-kHz repetition rate. //Opt. Letters. -1997. V.22, No20. - P. 1562-1564.

109. Абильсиитов Г.А., Велихов Е.П., Голубев B.C. и др. Мощные газоразрядные С02 лазеры и их применение в технологии. -М., Наука. 1984. - 105 С.

110. Абильсиитов Г.А., Артамонов А.В., Велихов Е.П. и др. Стационарный технологический С02 лазер мощностью 10 кВт. //Квант, электр. 1980, Т.7, №11. - С.2467-2471.

111. Абильсиитов Г.А., Антонова Л.И., Артамонов А.В. и др. Оптимизация технологического С02 лазера замкнутого цикла мощностью 10 кВт. //Квант, электр. 1979. - Т.6, №1. - С.204-209.

112. Басов Н.Г., Бабаев И.К., Данилычев В.А. и др. Электроионизационый С02 лазер замкнутого цикла непрерывного действия.// Квант, электр. 1979. -Т.6, №4. - С. 772-781.

113. Абильсиитов Г.А., Голубев B.C., Дробязко С.В. и др. Мощный газовый технологический электроразрядный лазер, работающий на смеси воздух -С02. //Изв. АН СССР, сер. Физическая. 1983. - Т.47, №8. - С.1513-1518.

114. Генералов Н.А., Зимаков В.П., Косынкин В.Д. Быстропроточный технологический С02 лазер комбинированного действия. // Квант, электр. -1982. Т. 9, №8. - С. 1549-1557.

115. Абильсиитов Г.А., Голубев B.C., Лебедев Ф.П. Проблемы создания промышленных технологических лазероа мощностью 1-10 кВт. //Изв. АН СССР, сер. Физическая. 1983. - Т.47, №8. - С. 1497-1506.

116. A.M.Zabelin, A.V.Korotchenko. С02 laser resonator: some new aspects in the design" in Laser Resonators II, Alexis Kudryashov, Editor. Proc. SPIE. -1999. -V. 3611.- p. 317-322.

117. М.Г.Галушкин, В.С.Голубев, В.В.Дембовецкий, Ю.Н.Завалов, В.Е.Завалова. Влияние радиальной неоднородности активной среды на мощность излучения непрерывного С02-лазера с быстрой аксиальной прокачкой. Квант, электр. 1996. - Т. 23, №8. - С. 695-698.

118. Аверин А.П., Басов Н.Г., Глотов Е.П. и др. Универсальный технологический электроионизационный С02 СО лазер. // Изв. АН СССР, сер. Физическая. - 1983. - Т.47, №8. - С. 1519-1526.

119. Елов В.В, Куклин В.А., Лешенюк Н.С., Невдах В.В. Исследование активной среды быстропроточного технологического С02 лазера замкнутого цикла. //Квант, электр. 1982. - Т.9, №8. - С. 1558-1565.

120. Артамонов А.В., Герасимов В.Ф., Зыбина Л.А. и др. Исследование оптических неоднородностей активной среды быстропроточного С02 лазера со смешением.// Квант, электр. 1982. - Т.9, №9. - С. 1915-1918.

121. Бельдюгин И.М., Зельдович Б.Я., Золотарев М.В., Шкуиов В.В. Лазеры с обращающими волновой фронт зеркалами (обзор). //Квант, электр. 1985, Т.12, №12. - С. 2394-2431.

122. AuYeng J., Fekete D., Pepper D., Yariv A. Theoretical and experimental investigations of the modes of optical resonators with phase-conjugate mirrors. //IEEE J. of Quantum Electronics. 1979, V.QE-15, NolO. - P. 1180-1188.

123. Belanger P.A., Hardy A., Siegman A.E. Resonant modes of optical cavities with phase-conjugate mirrors.//Applied Optics.- 1980,- V.19, No4.- P. 602-609.

124. Зельдович Б.Я., Пилипецкнй Н.Ф., Шкуиов В.В. Обращение волнового фронта. -М., Наука. 1985. - 247 С.

125. Адаптивная оптика. Под ред. Витриченко Э.А.- М., Мир. 1980. 456 С.

126. Бородина И.А., Воронцов М.А., Панченко В.Я. Методы компенсации термодеформации зеркал неустойчивых резонаторов с помощью управляемых оптических элементов. //Оптика атмосферы. -1989. -Т.2, № 4. С. 369-374.

127. Oughstun К.Е. Intracavity adaptive compensation of phase aberration. Ill: Passive and active cavity study for a large Neq resonator. //J. Opt. Soc. Amer.1983. V.73, N3. - P. 282-302.

128. Oughstun K.E. Spinhirne J.M., Anafi D. Intracavity adaptive compensation of phase aberration. IV: Comparison of theory and experiment.//Applied Optics.1984. V.23, N10. - P. 1529-1541.

129. Fox A.G., Li T. Resonant modes in a maser interferometer. //Bell. Syst. Tech. J. 1961. - V.40, N2. - P. 453-488.

130. Гнедой С.А., Кудряшов А.В., Самаркин В.В., Якунин В.П. Исследование возможности управления мощностью генерации технологического С02 лазера внутрирезонаторным адаптивным зеркалом. // Квант, электр. 1989. - Т. 16, №9. - С.1839-1840.

131. Забелин A.M., Коротченко А.В., Самаркин В.В. Исследование качества излучения промышленного С02 лазера мощностью 5 кВт с устойчиво-неустойчивым резонатором. //Тезисы Межд. конф. Лазерные технологии 95, Шатура. 24-26 июня 1995.

132. Olsen F.O. Development and test of industrial beam analysing systems for C02 lasers. //Kick-off Meeting CHOCLAB II, Erice, Italy. 24 March 2000.

133. V.S.Kovalenko, O.V.Lavrinovich. Laser machining of ceramic materials. // Proc. VI Intern. Conf. on Production Engineering, Osaka, Japan. Nov. 10 -13, 1987.

134. А.Г.Валиулин, С.Г.Горный, А.М.Григорьев и др. Исследование газолазерной резки металлов с целью получения деталей: с высокими характеристиками точности воспроизведения контура. Санкт-Петербург. Издательство СПбГТУ. - 1999. - 36 С.

135. Лопота В.А., Горный С.Г., Иванова И.И., Штернин Л.А. Эффективность обработки материалов при разных условиях взаимодействия излучения СО2 лазера с поверхностью. /'/Поверхность. -1983. № 11. - С. 123-130.

136. Григорьянц А.Г. Принципы лазерной обработки материалов. Москва, Машиностроение. -1989.

137. Веденов А.А., Гладуш Г.Г. Физические процессы при лазерной обработке материалов. -Москва, Энергоиздат. 1985.

138. Stephan Geiger, Peter Urbanek. Decoration of glass using laser technology. //Laser und Optoelektronik. 1989. - V. 21 (1). - P. 43-46.

139. Технологические лазеры. Справочник под ред. Г.А.Абильсиитова. т. 1. -М: Машиностроение. 1991. - С.

140. A.V.Kudryashov, V.V.Samarkin. Control of high power CO2 laser beam by adaptive optical elements. //Opt. Comm. -1995. V.118/ - P. 317-322.

141. Bowers M.S. Diffractive analysis of unstable optical resonators with super-gaussian mirrors. / / Opt. Letters. 1992. - V. 17. - P. 1319-1321.

142. Silvestri S. De, Magni V., Svelto O., and Valentini G. Lasers with super-gaussian mirrors.//IEEE J. Quantum Electron. 1990. - V. 26. - P. 1500-1509.

143. Y.Takenaka, M.Kuzumoto, K.Yasui, S.Yagi, M.Tagashira. High power and high focusing cw CO2 laser using an unstable resonator with a phase unifying output coupler. //IEEE J. Quantum Electron. 1991. - V. 27. - P. 2482-2487.

144. M.G.Galushkin, V.P.Yakunin, V.V.Samarkin, V.E.Zavalova. Investigation of beam quality of high power CO2 laser with unstable resonator and variable reflectivity mirror. //Proc. SPIE. 1998. - V. 3688, P. 48-53.

145. Belanger P.A., Lachance R.L. and Pare C. Super-Gaussian output from a C02 laser by using a graded-phase mirror resonator. // Opt. Letters. 1992. - V. 17. - P. 739-741.

146. Pare C., Belanger P.A. Custom laser resonators using graded-phase mirrors: circular geometry.//IEEE J. Quantum Electron. -1994. -V. 30. -P. 1141-1148.

147. Belanger P.A., Pare C. Optical resonators using graded phase mirrors.// Opt. Letters. 1991. - V. 16. - P. 1057-1059.

148. R. van Neste, C.Pare, R.L.Lachance, P.-A.Belanger. Graded-phase mirror resonator with a super-Gaussian output in a CW-CO2 laser.//IEEE J. Quantum Electron. 1994. - V. 30. - P. 2663-2669.

149. Cherezova T.Yu., Chesnokov S.S., Kaptsov L.N., Kudryashov A.V. Doughnut-like laser beam output formation by intracavity flexible controlled mirror.// Opt. Express. 1998. - V. 3, No3. - P. 180-189.

150. Ю.Н.Завалов, Л.H.Капцов, АЛ>.Кудряшов, В.В.Самаркин, Т.Ю.Черезова, С.С.Чесноков. Формирование заданного распределения интенсивности излучения в непрерывном технологическом СО2 лазере. // Квант, электр. -1999. -Т.27, №1. С.57-58.

151. T.Yu.Cherezova, S.S.Chesnokov, L.N.Kaptsov, A.V.Kudryashov, V.V.Samarkin. Intracavity activc minor for formation of the specified laser output. /Conf. on Adaptive Systems and Technology, Denver, USA. 21-22 July 1999.

152. T.Yu. Cherezova, S.S.Chesnokov, L.N.Kaptsov, V. Samarkin, A.Kudryashov. Active Laser Resonators Computer Simulation and Practical Realization. // CLEO/Europe, Nice, France. -10-15 Sept. 2000.

153. B.C.Голубев, Ф.В.Лебедев. Инженерные основы создания технологических лазеров. -М., Высшая Школа. 1988.

154. Джерард А., Берг Дж. М. Введение в матричную оптику. М.: Мир. -1978 - 341 С.

155. Справочник по лазерам. Под ред. A.M. Прохорова. М.: Мир. - 1979.— Т.2, 350 С.

156. Haferkamp Н., Schmidt Н., Seebaum D., Homburg A. Beam delivery using adaptive optics for material processing applications with high power C02 lasers. //Int. Symp. Optica. tools for Manufacturing and Advanced Automation, Boston, MA. Sept. 1993.

157. Staupendahl G. Universal modulator for laser radiation and its applications.//Laser und Optoelektronik. 1991. - V. 23. - P. 126-133.

158. S.A.Gnedoy, V.V.Samarkin, V.P.Yakunin. Beam characteristics of C02 laser with controllable output mirror././ Proc. SPIE. 1994. -V. 2257. -P. 144-147.

159. V.V.Samarkin, O.A.Novodvorsky, R.Ya.Sagdeev, V.P.Yakunin. Investigation of industrial C02 laser beam characteristics with intracavity modulator. //Proc. SPIE. 1996. - V. 2713. - P. 85-87.

160. М.Г.Галушкин, В.С.Голубев, Ю.Н.Завалов, В.Е.Завалова, В.Я.Панченко. Оптические неоднородности активной среды мощных технологических С02 лазеров с быстрой аксиальной прокачкой. //Квант, электр. -1997. Т. 24, №3. - С. 223-226.

161. О.Звелто. Принципы лазеров. M.: Мир. -1990.

162. M.Lax, G.P.Agrawal, М.Belie, B.J.Coffey, W.H.Louisell. Electromagnetic-field distribution in loaded unstable resonators. //J. Opt. Soc. Am. A. -1985. -V. 2, No 5. P. 731-742.

163. Li Т. Diffraction loss and selection of modes in maser resonators with circular mirrors.// The Bell Syst. Tech. J. 1965. - V. 44. - May. - P. 917-932.

164. U.Keller, Ultrafast Solid-State Lasers. /CLEO-Europe, Nice, France, CMB3. 10-15 Sept. 2000.

165. С.А.Ахманов, В.А.Выслоух, А.С.Чиркин. Оптика фемтосекундных лазерных импульсов. М.: Наука. - 1988. - 312 С.

166. G.Mourou and D.Umstadter. //Phys. Fluids В. 1992. - V. 4. -P. 2315.

167. G.Pretzler, A.Saemann, A.Pukhov at all. Neutron Production by 200 mj ultrashort laser pulses. //Physical Review E. 1998. - V. 58. No.l. - P. 1165.

168. Т.В.Кононенко, В.И.Конов, С.В.Гарнов и др. Сравнительное исследование абляции материалов фемтосекундными и пико-наносекундными лазерными импульсами. //Кванп. электр. -1999. Т. 28, №2. - С. 167-172.

169. Momma С., Chichkov B.N., Nolte S. at all.//Optics Comm. -1996. P. 101.

170. O.Albert, L.Sherman, G.Mourou et all. Smart microscope: an adaptive optics learning system for aberration correction in muliphoton confocal microscopy. /'/Opt. Letters. 2000. - V. 25, Nol. - P. 52-54.

171. P.Jagourel et all. Adaptive optics components in LASERDOT. /./Proc. SPIE.- 1991. V. 1543. - P. 76.

172. O.Albert, H-W.Wang, D.Liu, G.Mourou, Z.Chang. Producing focused intensity of 3xl018 W/cm2 with a 1 kHz laser. / CLEO-Europe 2000, CtuCl, Nice, France. 10-15 Sept. 2000.

173. D.Goldberg. Genetic Algorithms in Search, Optimization, and Machine Learning. Addison-Wesley, Reading, Mass. - 1989.

174. E.Treacy. //IEEE J. Quantum Electron. 1969. - V. QE-5. P. 454.

175. R.L.Fork, O.E.Martinez, and J.P.Gordon.//Opt.Letters.- 1984,- V.9.-P.150.

176. E.Mayer, J.Mobius, A.Euteneur, W.Ruhle, and R.Szipocs. //Opt. Letters.-1997. V. 22. P. 528.

177. A.M.Weiner and J.P.Hertage. //Rev. Phys. Appl. 1987. - V.22. - P. 1619.

178. A.Efimov, C.Schaffer, and D.H.Reitze. //J.Opt.Soc. Am. B. 1995. - V. 12. P. 1968.

179. A.M.Weiner, D.E.Leaird, J.S.Patel, and J.R.Wullert.// Opt. Letters.- 1990.- V. 15. P. 326.

180. C.W.Hillegas, J.X.Tull, D.Goswami, D.Strickland, and W.S.Warren. //Opt. Letters. 1994. - V. 19. P. 737.

181. D.Meshulach, D.Yelin, and Y.Siberberg. Adaptive real-time femtosecond pulse shaping. //J. Opt. Soc. Am. B. 1998,- V. 15. -P. 1615-1619.

182. G.Pretzler, E.E.Fill. X rays from optical-field ionized plasmas at low density. //Opt. Letters. 1997. - V. 22. - P. 733-735.

183. G.D.Tsakiris, R.Fedosejevs, X.F.Wang. Interaction of TW laser pulses with high density gas jet targets near the threshold for -relativistic self-focusing. //In Superstrong Fields in Plasma, Proc. First Int. Conf., Varenna, Italy- 1997.

184. C.Gahn, G.D.Tsakiris, A.Pukhov et all. Multi-MeV Electron Beam Generation by Direct Laser Acceleration in High-Density Plasma Channels. //Phys. ReV. Letts. 1999. - V. 83, No23. - P. 4772-4774.

185. G.Mourou, D.Umstadler. Development and applications of compact high-intensity lasers. //Phys. Fluids B. 1992. - V. 7. - P. 2315-3225.

186. H.Baumhacker, K.J.Witte, A.Kudryashov, V.Samarkin, A.Roukosuev. Use of 2 deformable mirrors in the 8-TW TiS-laser ATLAS.// X Conf. on Laser Optics, St.Petersburg, Russia. -26-30 June 2000.

187. C.P.J.Barty, G.Korn, F.Raksi et all. Regenerative pulse shaping and amplification of ultrabroadband optical pulses.//Opt. Letters.- 1996.-V.21.-P. 219.

188. M.Lenzner, Ch.Spielmann, E.Wintner, F.Krausz and A.F.Schmidt. //Opt. Letters. -1995. V. 20.- P. 1397.

189. R.Szipocs, K.Ferencz, Ch.Spielmann,and F.Krausz. //Opt. Letters. -1994. -V. 19. P. 201.

190. G.Tempea, Ch.Spielmann, K.Ferencz, and F.Krausz. Dispersion control over 150 THz with chirped mirrors. //Opt. Letters. 1998. - V. 23. P.

191. T.Baeck and H.-P.Schwefel. //Evol. Computationl. -1993. V. 1.

192. T.Baumert, T.Brixner, V.Seyfried et all. Femtosecond pulse shaping by an evolutionary algorithm with feedback. //Appl. Phys. B. 1997. - V. 65. - P. 779782.1. РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК

193. ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ ЛАЗЕРНЫХ И ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

194. ШИТ РАН 140700 Московская обл. г. Шатура, ул. Святоозерская, I. Тел: (09645) 2-59-95 Факс: (09645) 2-25-32 E-mail: centcrfr7jlaser-nictl.msk.su N 11033

195. УТВЕРЖДАЮ" Дирекюр ИПЛИТ РАН, ' ^ член-корреспондент РАН, / '' профёссоп В^^Яаргченко1. АКТоб использовании результатов диссертационной работыг.Шатура 01.11.2001 г.

196. Настоящим актом удостоверяется, что результаты диссертации снс ИПЛИТ РАН

197. Российской Академии наук в лазерном технологическом комплексе для прецизионной резкиметаллических листов на базе одномодового ССЬ лазера ТЛ1.5.

198. Охлаждаемое биморфное зеркало устанавливается перед фокусирующим объективом и служит для управления размером и положением фокального пятна на поверхности обрабатываемого материала в переделах всей области перемещения объектива.2001

199. Главный конструктор ИПЛИТ РАН к.т.и. А.И. Бондаренко

200. СОГЛАСОВАНО" Директор ИПЛИТ РАН Член-корреспондент РАН,

201. УТВЕРЖДАЮ" Президент ЗАО "Технолазер" A.M. Забелинищ .нченкоиi \ \ 1-

202. СОГЛАСОВАНО" Директор ИПЛИТ РАН Член-корреспоидент РАН,пи2001 г.и