автореферат диссертации по электронике, 05.27.03, диссертация на тему:Типоряд многоканальных волноводных технологических CO2-лазеров

Предисловие.

Глава 1. Исследование и разработка многолучевого технологического СОг-лазера МТЛ

1.1. Физико-технические основы создания С02-лазеров с диффузионным охлаждением, возбуждаемых разрядом переменного тока.

1.2. Разработка конструкции многолучевого технологического СОг-лазера с накачкой разрядом переменного тока

1.2.1. Принципы и схемы конструктивных решений МЛЛ диффузионного охлаждения. Общий конструктив лазера МТЛ-2.

1.2.2. Блок генерации.

1.2.3. Источник электропитания.

1.2.4. Системы охлаждения и газообеспечения.

1.2.5. Микропроцессорная система автоматического управления.

1.2.6. Согласование источника электропитания с блоком генерации.

1.3. Исследование характеристик и оптимизация работы лазера МТЛ

1.3.1. Экспериментальная методика и схемы измерений.

1.3.2. Оптимизация прозрачности резонатора.

1.3.3. Основные проблемы выбора параметров газовой смеси. Особенности плазмохимических реакций.

1.3.4. Исследование пространственных и временных характеристик излучения.

1.3.5. Измерение распределения плотности мощности излучения в фокальном пятне. Оценка энергетической расходимости.

1.4. Факторы, влияющие на ресурс и работоспособность блока генерации. Проблема торцевого уплотнения газоразрядных трубок.

Выводы к главе 1.

Глава 2. Исследование путей повышения мощности излучения MJIJI. Разработка и исследование моделей MTJI-4, TJI-6, М-20. Технологические применения многоканальных ССЬ-лазеров Введение.

2.1. Разработка и исследование многолучевых лазеров МТЛ-4, ТЛ

2.1.1. Исследование факторов, влияющих на повышение удельной и средней мощности излучения лазеров типа MTJI.

2.1.2. Разработка конструкции лазера МТЛ

БГ, внешний коллиматор, ИЭП, агрегатные системы).

2.1.3. Лазер ТЛ-6.

2.2. Типоряд многоканальных лазеров МТЛ. Сверхмощный лазер М-20 для обработки колес железнодорожного транспорта.

2.3. Технологические применения лазеров типа МТЛ

Введение.

2.3.1. Исследование профиля распределения мощности излучения лазера МТЛ.

2.3.2. Упрочнение поверхности инструмента из быстрорежущих сталей с помощью непрерывного излучения СО2-лазера.

2.3.3. Разработка процесса лазерной закалки червяка лифтовой лебедки.

Выводы к главе 2.

Глава 3. Исследование и разработка методов повышения качества излучения многолучевых С02-лазеров. Синхронизация двумерного набора излучателей Введение.

3.1. Метод пространственной фокальной фильтрации.

3.2. Синхронизация на основе эффекта Тальбо.

3.3. Схемы с внутрирезонаторным формированием однолепесткового распределения.

3.4. Метод "генератор-усилитель".

Выводы к главе 3.

Глава 4. Исследование и разработка одномодовых многоканальных С02-лазеров со средней мощностью излучения до 1 кВт (модели TJI-500, TJI-1000) Введение.

4.1. Исследование и разработка технологических лазеров TJI-500, ТЛ-1000.

4.2. Разработка, исследование и внедрение лазерной установки "Геном-4" для реваскуляризации миокарда.

4.3. Модернизация лазеров ТЛ-500, ТЛ-1000.

Выводы к главе 4.

Потребности науки и промышленности в последние два десятилетия стимулировали создание мощных технологических С02-лазеров, а на их основе и лазерных технологических комплексов и других систем, предназначенных для использования в процессах лазерной обработки материалов (сварки, резки, термообработки), в лазерной локации, лазерной медицине и других областях.

В мировом производстве технологических коммерческих лазеров мощностью 1 кВт и более на сегодняшний день основную долю составляют С02-лазеры. В 80-90х гг. усилиями ряда научно-исследовательских организаций России ("Исток", НИЦТЛ РАН - ныне ИПЛИТ РАН, ИПМРАН, СО РАН) также создан довольно широкий спектр лазерных технологических установок со средней мощностью излучения более 1 кВт.

Наибольшее внимание уделялось быстропроточным электроразрядным и электроионизационным лазерам; очевидные же достоинства лазеров с диффузионным охлаждением, такие, например, как простота изготовления и эксплуатации, надежность и экономичность, недостаточно использовались при выборе конкретного типа лазера при создании технологических установок.

В настоящее время предложена следующая классификация технологических С02-лазеров в соответствии с методами накачки и охлаждения рабочей смеси: 1) лазеры с диффузионным охлаждением активной среды; 2) электроразрядные быстропроточные лазеры с поперечной и аксиальной прокачкой газа; 3) газодинамические лазеры. В свою очередь, каждый из этих классов разбивается на подклассы в зависимости от способов и методов создания инверсной населенности, стабилизации газового разряда, регенерации активной среды. Все они с присущими им конструктивными особенностями и спецификой физических процессов составляют свои направления в физике и технике мощных С02-лазеров.

Предметом исследований настоящей работы являются лазеры с диффузионным охлаждением рабочей среды, возбуждаемые емкостным разрядом переменного тока.

Под диффузионными лазерами понимаются лазеры, в которых охлаждение активной среды и стабилизация электрического разряда осуществляется за счет диффузионных процессов. Выделяющееся в разряде тепло отводится к стенкам лазерной трубки посредством молекулярной диффузии, а контракции разряда препятствует амбиполярная диффузия разрядов.

В газоразрядных лазерах с медленной прокачкой газа и охлаждением рабочей среды путем теплопроводности через ограничивающие разрядный объем стенки - так называемых лазерах с диффузионным охлаждением -величина мощности излучения, снимаемая с единицы длины активной среды, ограничивается теплопроводностью самой среды и для удобной и распространенной трубчатой геометрии составляет максимум 50-100 Вт/м, причем в широком диапазоне величин не зависит от диаметра трубки. Поэтому, например, для получения средней мощности излучения «1 кВт необходимо набрать общую длину разрядной области «20 м. Примером таких конструктивных решений могут служить лазеры "Кардамон" (Россия) и "Arrow" (Германия). Существенный недостаток таких лазеров с последовательным расположением разрядных трубок, даже со сверткой всей конструкции тем или иным способом - достаточно большие габариты установки (при мощности «1 кВт - длина 4-6 м), а также технические трудности обеспечения стабильности оптического резонатора.

В 1972 г. была предложена (патент Франции) схема параллельного расположения трубок малого диаметра внутри общего резонатора волноводного типа, образованного всего двумя плоскими зеркалами. Такое конструктивное решение позволило приступить к созданию многолучевых лазеров (МЛЛ) большой мощности.

Анализ возможностей МЛЛ показал, что при прочих достоинствах диффузионных лазеров они имеют ряд дополнительных преимуществ по сравнению с быстропроточными лазерами:

• высокую стабильность параметров излучения (мощность, расходимость, угловое положение оси диаграммы направленности);

• низкие весогабаритные характеристики и рекордное значение удельного энергосъема с единицы конструктивного объема блока генерации (БГ);

• возможность создания практически любой конфигурации распределения плотности мощности излучения на поверхности обрабатываемого изделия.

Одним из основных недостатков МЛЛ является сравнительно большая апертура выходного излучения при относительно высокой расходимости, которая определяется малым диаметром отдельной трубки излучателя, а не диаметром всей сборки, вследствие несинхронизированного режима работы отдельных трубок излучателя. Это может приводить к дополнительным трудностям при транспортировке излучения и невозможности его острой фокусировки. Однако, как будет показано в работе, сложности транспортировки широкоапертурного излучения могут быть преодолены применением компактизатора излучения специальной конструкции. Получение же излучения с малой угловой расходимостью связано с необходимостью синхронизации отдельных излучателей МЛЛ, некоторые аспекты которой также рассматриваются в данной работе. Следует отметить, что МЛЛ дают наиболее однородный профиль плотности излучения на обрабатываемом изделии, что ставит их вне конкуренции в процессах лазерной термообработки.

Многолучевая схема технологического лазера была реализована в Институте проблем механики АН СССР в 1978 г., когда был создан образец лазера типа "Иглан" с возбуждением активной среды разрядом постоянного тока.

В 1974 г. в ФИАЭ им. И.В.Курчатова был предложен (опубликован в 1978 г.) другой вариант МЛЛ, в котором для возбуждения активной среды использовался емкостной безэлектродный разряд переменного тока с частотой ±=10 кГц. Новый метод накачки оказался чрезвычайно перспективным для применения в МЛЛ, позволив потенциально получить сразу ряд преимуществ по сравнению с разрядом постоянного тока: ликвидировать потери в активных балластных сопротивлениях, устранить внутренние электроды, снизить величину рабочего напряжения, упростить конструкцию газоразрядного блока, увеличить удельный энергосъем с единицы длины и объема конструкции.

В дальнейшем проводилось изучение физических процессов в многолучевых лазерах с накачкой разрядом переменного тока, анализировались системы формирования излучения МЛЛ, велись работы по увеличению мощности излучения. Экспериментальная часть этих исследований выполнялась в ФИАЭ им. И.В.Курчатова и НИЦТЛ РАН главным образом в модельных условиях на одиночных разрядных трубках и на макетах МЛЛ в режиме коротких (< 1 с) цугов, поэтому большая часть инженерно-физических проблем выбора и обоснования технических решений к конструкции, а тем более ее разработка, в них не затрагивались.

Существенное продвижение в создании промышленных многолучевых лазеров было сделано в начале 80-х годов в НИЦТЛ РАН, где были созданы экспериментальные образцы установок типа МКТЛ-2, ЛДМ-2. В то же время в ФИАЭ им. И.В.Курчатова велись работы по изучению физических процессов, протекающих в лазерах данного типа; были заложены теоретические и экспериментальные основы по улучшению качества излучения МЛЛ за счет синхронизации отдельных излучателей; были созданы ряд экспериментальных установок типа МКТЛ с уровнем мощности до 3 кВт, а в последние годы и установка МКТЛ-10 с уровнем мощности 10 кВт, работающая в цуговом режиме.

Учитывая потребности науки и промышленности в создании лазерных технологических комплексов (ЛТК) на основе лазеров диффузионного охлаждения, обладающих вышеперечисленными основными преимуществами по сравнению с другими типами С02-лазеров, актуальность создания таких систем не вызывала сомнения. Кроме того, требовали рассмотрения, исследования и решения такие вопросы, как:

• создание надежного экономичного автоматизированного технологического СС>2-лазера;

• изучение физических и технических факторов, влияющих на мощностные характеристики излучения;

• разработка способов повышения вышеуказанных факторов;

• исследование плазменно-химических процессов в активной среде, влияющих на стабильность и долговечность работы лазера;

• исследование и экспериментальная проверка способов повышения качества излучения МЛЛ, расширяющих их возможности в практическом применении;

• разработка принципов специализации этих систем для конкретных задач науки и промышленности.

На решение этих актуальных проблем, привлекающих внимание ряда научных групп, разработчиков и многочисленных потребителей ЛТК как в стране, так и за рубежом и направлены исследования, результаты которых изложены в диссертации.

Целью работы явились поиск новых решений и разработка типоряда мощных волноводных многоканальных технологических С02-лазеров (МТЛ), исследование свойств их излучения и поиск путей улучшения его качества; разработка лазерных систем с параметрами, отвечающими конкретным задачам применения лазеров в науке, в наукоемких технологиях, медицине и других областях.

В процессе выполнения работ были поставлены и решены следующие конкретные задачи:

• разработка концепции типоряда многолучевых технологических С02-лазеров уровня мощности до 10 кВт, предназначенных для работы в условиях промышленного производства с использованием в ЛТК поверхностной обработки изделий;

• разработка принципиальных конструктивных решений основных узлов газоразрядного блока; создание специализированного источника электропитания переменного тока повышенной частоты; выбор параметров рабочей среды и условий накачки, обеспечивающих работу с высоким КПД при малых расходах рабочей смеси; отработка элементной базы системы охлаждения, газообеспечения и управления;

• исследование параметров излучения, оптимизация резонаторов и создание новых оптических схем с целью повышения мощности излучения;

• синхронизация МТЛ с целью повышения качества излучения, экспериментальная реализация наиболее оптимальных схем синхронизации для излучателей промышленных лазеров;

• исследование и разработка одномодового волноводного МТЛ со средней мощностью излучения до 1 кВт для задач прецизионной лазерной резки; разработка и создание на базе одномодового МТЛ лазерной медицинской установки для реваскуляризации миокарда сердца, проведение исследования на биотканях и живых организмах.

Научная новизна и значимость проведенных исследований: разработка и создание оригинального типоряда многолучевых С02-лазеров с диффузионным охлаждением и возбуждением рабочей среды разрядом переменного тока с уровнем мощности до 10 кВт; экспериментальная проверка различных схем синхронизации излучения МЛЛ; практическая демонстрация широких возможностей данного типа лазеров на примере созданных устройств для поверхностной обработки изделий, прецизионной лазерной резки, созданной опытной медицинской установки для реваскуляризации миокарда сердца.

Практическое значение работы: результаты исследований и разработанные принципы реализованы при создании типоряда промышленных многолучевых С02-лазеров, воплощенного в модели МТЛ-2, МТЛ-4, ТЛ-6 с выходной мощностью до 6 кВт, и мощных волноводных лазеров моделей ТЛ-500, ТЛ-1000, "Геном-4" с выходной мощностью до 1 кВт; продемонстрированы возможности существенного улучшения качества излучения промышленных МЛЛ за счет синхронизации 2-мерных решеток отдельных излучателей либо за счет использования принципа последовательного обхода излучением всех трубок, работающих в волноводном режиме, и получения одномодового излучения с высокими характеристиками; созданные модели промышленных МЛЛ успешно используются в промышленных процессах поверхностного термоупрочнения, прецизионной резке различных материалов, в медицине (кардиохирургии).

На диаграмме (рис. 1.1) приведены технологические ниши по направлениям использования мощных технологических СЮ2-лазеров, разработанных и выпускаемых в России, среди которых и указаны модели типоряда многоканальных волноводных технологических С02-лазеров МТЛ.

На защиту выносятся:

1. Типоряд технологических многоканальных волноводных С02-лазеров со средней мощностью излучения до 6 кВт.

2. Принципы, критерии и методы выбора параметров накачки, оптимизации резонаторов, состава газовой рабочей среды мощных технологических многоканальных волноводных С02-лазеров.

3. Экспериментальные методы синхронизации многолучевых промышленных С02-лазеров с двумерными пространственными решетками по схеме пространственного фильтра (фокального и афокального), схеме Тальбота, схеме генератор-усилитель с подавлением боковых лепестков в дальней зоне излучения и получения средней мощности генерации 500 Вт при 98% содержании энергии в центральном максимуме при дифракционной расходимости, определяемой всей апертурой сборки.

4. Технологические модели одномодового волноводного С02-лазера (ОВЛ) со средней мощностью излучения 500-1000 Вт, генерирующие в непрерывном и импульсно-периодическом режимах.

5. Экспериментальная лазерная установка "Геном-4" для реваскуляризации миокарда сердца, исследование режимов ее работы по перфорации глубоких каналов в различных материалах и биотканях "in vitro".

В первой главе рассмотрены физико-технические основы создания волноводных С02-лазеров с диффузионным охлаждением рабочей среды, возбуждаемых разрядом переменного тока звуковой частоты. На основе общих принципов конструирования промышленных и

Ризл., кВт

Рис. 1.1. Параметры лазерного излучения ( мощность и интенсивность излучения в зоне лазерной обработки материала), требуемые для различных видов обработки, и соответствующие им российские технологические ССЬ-лазеры лазеров исследован, разработан и создан базовый образец типоряда МТЛ, лазер МТЛ-2. Дано описание конструкции, принципов работы; приведены основные характеристики узлов и систем установки: блок генерации излучения, источник электропитания, система охлаждения и газонапуска, микропроцессорная система автоматического управления. Исследованы и оптимизированы основные характеристики лазера. Обсуждены основные факторы, влияющие на ресурс блока генерации.

Во второй главе исследованы пути повышения мощности излучения многоканальных технологических С02-лазеров типа МТЛ. Подробно исследованы причины, влияющие на повышение удельной мощности излучения и КПД лазерного излучателя. На основе полученных результатов разработаны и испытаны модели МТЛ-4 и ТЛ-6 со средней мощностью излучения 4 и 6 кВт соответственно. Последней моделью серии типоряда для термической лазерной обработки является проект сверхмощного лазера М-20 для обработки колес железнодорожного транспорта. Приведено несколько примеров технологических применений лазеров МТЛ в условиях промышленного производства.

В третьей главе экспериментально исследован вопрос повышения качества излучения многолучевых СОг-лазеров с использованием различных методов синхронизации двумерного набора излучателей. Рассмотрены такие методы, как метод пространственного фильтра, метод Тальбота, метод "генератор-усилитель", использующие "компьютерную оптику", позволяющую достаточно простыми технологическими приемами обеспечить необходимый сдвиг фаз на оптических элементах. Во всех экспериментах получена высокая средняя мощность излучения Р=500 Вт в синхронизованном режиме генерации двумерного набора излучателей промышленных лазеров типа МТЛ-2 с расходимостью, близкой к дифракционной, определяемой всей апертурой сборки, причем в центральном максимуме в фокальной плоскости может быть сосредоточено до 90% энергии излучения.

В четвертой главе приведены результаты исследования и разработки одномодовых однолучевых многоканальных волноводных С02-лазеров со средней мощностью излучения до 1 кВт (модели ТЛ-500, TJI-1000). Эти системы имеют излучатели с параллельно расположенными разрядными трубками, излучение с помощью системы зеркал обегает все трубки последовательно. Такие схемные решения излучателей MTJI являются альтернативными схемам синхронизации для получения высокого качества излучения до мощностей »2 кВт, но существенно более просты.

Приведены примеры технологического применения этих лазеров в лазерных комплексах для прецизионной резки неметаллов и тонколистовых металлов.

Особое место занимает применение этих лазеров в установках для трансмиокардиальной лазерной реваскуляризации миокарда (ТЛМР), когда с помощью достаточно энергетичного лазерного импульса за короткое время (<0.1 с) в стенке левого желудочка пробивается несколько десятков сквозных каналов, которые очень быстро улучшают кровоснабжение поврежденной сердечной мышцы. Операция малоинвазивна для пациента, производится на работающем сердце, она достаточно коротка (не более 30 мин) и существенно дешевле, чем подобная операция по аортокоронарному шунтированию. В мировой практике выполнено уже около 3000 операций на единственной в мире установке "Heart Laser" фирмы PLC (USA). За последнее время на экспериментальной отечественной установке "Геном-4", разработанной на базе вышеуказанных моделей, проведено уже более 15 успешных операций на пациентах.

Апробация работы. По теме диссертации опубликовано 40 печатных работ, в том числе 5 авторских свидетельств и патентов. Основные результаты доложены на II (Звенигород, 1985) и III (Шатура, 1989) Всесоюзных конференциях "Применение лазеров в народном хозяйстве", Всесоюзном семинаре "Лазерная техника и технология" (Вильнюс, 1988),

III Национальной конференции "Лазеры и их применения" (Пловдив, Болгария, 1988), XIV Международной конференции по когерентной и нелинейной оптике (КиНО'91; Ленинград, 1991), 9 Международном симпозиуме "Gas Flow and Chemical Lasers (Heraclion, Crete, Greece, 1992),

IV Российской национальной конференции "Лазерные технологии '93" (ILLA'93; Шатура, 1993), Международном симпозиуме "High Power Lasers and Laser Applications V" (Vienna, Austria, 1994), V Международной конференции "Лазерные технологии '95" (ILLA'95; Шатура, 1995), Международном симпозиуме "Photonics West '98" (San Jose, USA, 1998), на научных семинарах НИЦТЛ РАН и других организаций.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ

1. Проведен комплекс теоретически расчетных и экспериментальных исследований, направленных на создание типоряда промышленных технологических волноводных многоканальных СОг-лазеров с мощностью излучения от 0,5 до 6 кВт и полным техническим КПД, превышающим 10 %.

2. В процессе выполнения диссертационной работы был решен целый ряд обеспечивающих задач научного, научно-прикладного и технического планов:

- исследованы параметры излучения многоканальных волноводных технологических СОг-лазеров, возбуждаемых разрядом переменного тока звуковой частоты, найдены оптимальные режимы генерации, оптимизированы энергетические характеристики излучения;

- исследованы и выбраны оптимальные параметры резонаторов многоканальных С02-лазеров, получено уникально-однородное распределение плотности мощности излучения ("супергаусс") на обрабатываемом изделии;

- исследована фазировка излучения двумерных пространственных решеток излучателей многоканальных технологических С02-лазеров с использованием схемы пространственного фильтра (фокального и афокального), схемы Тальбота, схемы "генератор-усилитель". Достигнута средняя мощность излучения 500 Вт. При этом за счет применения компьютерной оптики до 98 % мощности излучения сосредоточено в центральном максимуме распределения интенсивности излучения в дальней зоне при дифракционной расходимости («0.3 мрад), определяемой всей апертурой решетки лазерных излучателей. Показано, что синхронизация многоканальных лазеров по схеме "генератор-многоканальный усилитель" наиболее перспективна с точки зрения практического применения. В качестве задающего генератора можно использовать синхронизированный многоканальный лазер. Как показывают оценки, в усилителе, содержащем 4 блока с 61 активным элементом длиной «2 м в каждом блоке, можно получить мощность излучения более 10 кВт;

- исследованы и созданы многоканальные однолучевые одномодовые волноводные технологические С02-лазеры с высоким качеством излучения со средней мощностью 500 и 1000 Вт, работающие в непрерывном и импульсно-периодическом режимах. Исследованы теоретически и экспериментально выходные параметры излучения, оптимизированы резонаторы таких лазеров.

3. В результате проведенных исследований разработаны отдельные узлы многоканальных С02-лазеров: излучатели для лазерной термообработки, сварки и прецизионной резки различных материалов, медицинских применений (в кардиохирургии), специализированный инверторный источник электропитания с частотой до 20 кГц и мощностью до 60 кВт, системы охлаждения а газообеспечения, система автоматического управления; и как основной результат разработан и создан типоряд технологических многоканальных волноводных С02-лазеров с мощностью излучения до 6 кВт, а именно: модели МТЛ-2, МТЛ-4 для лазерной термообработки, модель ТЛ-6 для лазерной термообработки и сварки, модели ТЛ-500, ТЛ-1000 с однолучевым выходом для прецизионной резки и сварки. На базе волноводного лазера мощностью до 1 кВт разработана и создана экспериментальная лазерная медицинская установка "Геном-4" для проведения операций по реваскуляризации миокарда, прошедшая успешные клинические испытания и получившая на международной выставке-ярмарке "ИННОВАЦИИ-98" по конкурсу научно-технических разработок золотую медаль и диплом I степени.

4. Разработанные лазеры применены и внедрены в следующих областях: лазер MTJI-2 внедрен с 1994 г. на Карачаровском механическом заводе г. Москва) и Могилевском лифтостроительном заводе (г. Могилев) для лазерной закалки червяка лифтовой лебедки; лазер МТЛ-2,5 внедрен в 1994-97 гг. на Коломенском предприятии "Российский потенциал" (г. Коломна, Московская область) для лазерного упрочнения штампов и пресс-форм заводов Московской области по производству кирпича; лазер МТЛ-2 применяется с 1995 г. в ОАО ВНИИИТнефть (г. Самара) для термообработки резьб насосно-компрессорных и бурильных труб; лазер МТЛ-2 применяется с 1996 г. в НИЦТЛ РАН и МГТУ им. Н.Э.Баумана для упрочнения инструмента из быстрорежущих сталей; лазер МТЛ-4 применяется с 1994 г. в НИЦТЛ РАН и ЦНИИ КМ "Прометей" для модификации поверхности и наплавки композитных материалов на стали и сплавы на основе меди, алюминия, титана; лазерная установка "Геном-4" с 1997 г. применяется в Научно-исследовательском центре сердечнососудистой хирургии им. А.Н.Бакулева для проведения операций по реваскуляризации миокарда, успешно прооперированно 16 пациентов.

5. Ряд результатов диссертационной работы защищен следующими патентами:

- лазер МТЛ-2, многоканальный газоразрядный лазер: Патент СССР N 4861003125 (089953) ES HOJS 3/03, A.c. N 178536 РФ 1990;

- способ получения мощного синхронизованного излучения в многоканальном лазере и устройство для его осуществления: Патент России N205527, 1996;

- лазер ТЛ-500, блок генерации многоканального лазера: Заявка N 96113587 от 19.07. 1996;

- оборудование для технологии, устройство для лазерной обработки: A.C. N 135842, 8.09.1987;

- технология, способ закалки концевого режущего инструмента с помощью непрерывного излучения технологического лазера: Патент России N 2092385, 1996.

В заключение хочу выразить глубокую благодарность профессору В.Я.Панченко и профессору В.С.Голубеву.

Хочу также поблагодарить сотрудников отдела мощных технологических лазеров и лаборатории волноводных лазеров и других подразделений института, принимавших непосредственное участие в данной работе. Особенно хочу поблагодарить моих коллег с.н.с. Е.В.Зеленова, с.н.с. М.Г.Галушкина, выполнивших основные теоретические расчеты, а также инженеров Э.Н.Егорова и А.В.Соловьева за проведение экспериментальных и внедренческих работ.

Выражаю глубокую благодарность академику Л.А.Бокерия за постановку задачи по проблеме ТМЛР и предоставленную возможность проведения клинических испытаний нашего оборудования.

Наконец, с большим удовольствием выражаю признательность моему сыну Владимиру за неоценимую помощь при оформлении диссертации.

Заключение

1. Технологические лазеры: Справочник /Под ред. Г.А. Абильсиитова. М.: Машиностроение, 1991. Т. 1.

2. Алейников B.C., Беляев В.П., Печенин и др. Лазерная установка "Кардамон" // Электронная промышленность. 1981. № 5-6. С. 39-51.

3. Диффузионный С02-лазер "Arrow". Техническое дписание (Германия). 1991.

4. Lavari В., Crancon J.P. Патент Франции N 2092912, N 2108912, кл. HOIS 3/00, 1972.

5. Козлов Г.И., Кузнецов В.А., Масюков В.А. Мощный многолучевой газоразрядный С02-лазер непрерывного действия // Письма в ЖТФ. 1978. Т. 4. С. 129-132.

6. Козлов Г.И., Кузнецов В. А. Многолучевой непрерывный газоразрядный С02-лазер "ИГЛАН-3" // Квантовая электроника. 1985. Т. 12. С. 553-558.

7. Абалиев А.Э., Гуревич Л.О., Гутман М.Б. и др. Многоканальный С02-лазер "ИГЛАН-ЗМ" мощностью 4 кВт // Тез. докл. Всесоюз. конф. "Применение лазеров в народном хозяйстве", Звенигород (17-20 мая 1985 г.) М.: Наука, 1985. С. 4-5.

8. Козлов Г.И., Кузнецов В.А. Многолучевой технологический С02-лазер непрерывного действия мощностью 10 кВт "ИГЛАН-10" // Квантовая электроника. 1989. Т. 16, № 7. С. 1360-1363.

9. Антюхов В.В., Глова А.Ф., Качурин О.Р., Лебедев Ф.В. Многолучевой волноводный С02-лазер, возбуждаемый разрядом переменного тока // Квантовая электроника. 1980. Т. 7, № 12. С. 425-429.

10. Антюхов В.В., Глова А.Ф., Бондаренко А.И. и др. Мощный многолучевой волноводный С02-лазер, возбуждаемый разрядомпеременного тока // Квантовая электроника. 1980. Т. 8, № 10. С. 22342237.

11. Антюхов В.В., Бондаренко А.И., Барсуков С.С. и др. Многоканальный С02-лазер для технологии // Тез. докл. на Всесоюзном совещании по применению лазеров в технологии машиностроения. Звенигород, 1982. С. 15-17.

12. Бабанов И.В., Глова А.Ф., Лебедев Е.А. Характеристики многоканального С02-лазера "МКЛ-10". Препринт ИАЭ N 5503/1 У. 1992. 15 с.

13. Бабанов И.В., Глова А.Ф. Лебедев Е.А. и др. Мощный многоканальный С02-лазер "МКЛ-10" // Тез. докл. III Всесоюз. конф. "Применение лазеров в народном хозяйстве" (4-8-дек. 1989, Шатура). Шатура, 1989. С. 46-47.

14. Абильсиитов Г.А., Велихов Е.П., Голубев B.C., Лебедев Ф.В. Перспективные схемы и методы накачки мощных С02-лазеров для технологии // Квантовая электроника. 1982. Т. 8. № 12. С. 17-25.

15. Баркалов А.Д., Гаврилюк В.Д., Гладуш Г.Г. и др. Механизм протекания переменного тока в молекулярном газе // Теплофизика высоких температур. 1978. Т. 16. № 2. С. 265-267.

16. Баркалов А.Д., Гладуш Г.Г., Глова А.Ф. и др. Теоретическое и экспериментальное исследование емкостного разряда переменного тока при средних давлениях // Теплофизика высоких температур. 1980. Т. 18. №3. С. 483-388.

17. Антюхов В.В., Глова А.Ф., Лебедев Ф.В. Динамические характеристики диффузионного разряда переменного тока // Теплофизика высоких температур. 1984. Т. 22. № 4. С. 793-796.

18. Антюхов В.В., Глова А.Ф., Качерин О.Р. и др. Коэффициент усиления и параметр насыщения волноводного С02-лазера с продольнымемкостным разрядом переменного тока // Квантовая электроника. 1985. Т. 12. №5. С. 1102-1105.

19. Грановский B.JI. Электрический ток в газе. Установившийся ток. М.: Наука, 1971.

20. Антюхов В.В., Глова А.Ф., Качюрин O.P. и др. Волноводный лазер на С02, возбуждаемый емкостным разрядом переменного тока. Препринт ИАЭ-3935/14. 1984. 32 с.

21. Антюхов В.В. Мощные многолучевые волноводные лазеры на СО2 с возбуждением емкостным разрядом переменного тока: Дис. . канд. физ.-мат. наук. ИАЭ, Москва, 1986.

22. Глова А.Ф. Свойства излучения мощных волноводных лазеров на С02: Дис. . д-ра физ.-мат. наук. Троицк, 1994.

23. Абильсиитов Г.А., Голубев B.C. Основные проблемы лазерной технологии и технологических лазеров. Препринт НИЦТЛ АН СССР № 1. 1981.39 с.

24. Абильсиитов Г.А., Голубев B.C., Проблемы и тенденции развития лазерной технологии обработки материалов // Всесоюз. конф. "Применение лазеров в народном хозяйстве (17-20 мая 1985 г., Звенигород). М.: Наука, 1986. С. 3-23.

25. Голубев B.C., Лебедев Ф.В. Инженерные основы технологических лазеров / Под ред. А.Г. Григорьянца. М.: Высшая школа, 1987. Кн. 1. 192 с.

26. Бондаренко А.И. Разработка и реализация принципов конструирования промышленных С02-лазеров на примере типоряда ТЛ-1.5,-2.5,-4: Дис. . канд. техн. наук. НИЦТЛ РАН, Шатура, 1998.

27. Александров А.Г., Васильцов В.В., Зеленов Е.В., Курушин Е.А. Об удельных выходных характеристиках многолучевых С02-лазеров типа МТЛ // Тез. докл. на Всесоюзном семинаре "Лазерная техника и технология". Вильнюс, 24-28 октября, 1988. С. 127-128.

28. Абильсиитов Г.А., Бондаренко А.И., Васильцов В.В., Куприн O.A., Леонов П.Г., Лисин A.A. Многоканальный газоразрядный лазер. Патент СССР N 4861003125 (089953) ES HOJS 3/03, АС N 1785396 РФ 1990.

29. Адаме М. Введение в теорию оптических волноводов. Пер. с англ. М.: Мир, 1984. 512 с.

30. Dednan J.J.et al. // Appl. Opt. 1973. V. 12. P. 1026.

31. Ананьев Ю.Л. Оптические резонаторы и проблемы расходимости излучения. М.: Наука, 1979. 362 с.

32. Конюхов В.К. Подобные газовые разряды для С02-лазеров // ЖТФ. 1970. Т. 11, N8. С. 1649-1655.

33. Танеев В.Б., Гришаев H.H., Казанцев В.Г., Леонов П.Г. Источник питания технологических лазеров с накачкой разрядом переменного тока частотой 20 кГц // Электротехника. 1987. N 11. С. 54.

34. Аннотационный отчет №14 договора N 7-04-87 от 21.05 1990.

35. Лабунцов В.А., Тугов Н.М. Динамические режимы эксплуатации тиристоров. М.: Энергия, 1977.

36. Бальян Р.Х., Сивере М.А. Тиристорные генераторы и инверторы. Л.: Энергоиздат, 1982. 223 с.

37. Булатов О.Г., Царенко А.И. Тиристорно-конденсаторные преобразователи. М.: Энергатомиздат, 1982.

38. Иухин Е.М., Зеленов В.Е. Защита полупроводниковых преобразователей. М.: Энергоатомиздат, 1982.

39. Донской A.B., Кулик В.Д. Теория и схемы тиристорных инверторов повышенной частоты с широтным регулированием напряжения. Л.: Энергия, 1980.

40. Иванов A.B., Ройзейман П.С., Бобков B.C. Коэффициент полезного действия резонансного инвертора при частотном регулировании // Электротехническая промышленность. Сер. Преобразовательная техника. 1982. Вып. 1. С. 18-20.

41. Баркович Е.О., Иквенский Т.В., Иоффе Ю.С. и др. Тиристорные преобразователи повышенной частоты для электро-технологических установок. 2-е изд. Л.: Энергоатомиздат, 1983.

42. Булатов О.Г., Царенко А.И., Поляков В.Д. Тиристорно-конденсаторные источники питания для электротехнологии. М.: Энергоатомиздат, 1988.

43. Качалов И.Р., Семененко В.А. и др. Применение в технологических процессах полупроводниковых преобразователей частоты // Тез. докл. на Всесоюз. научно-технической конф. Уфа: НТО "Машинпром", 1980.

44. Качалов И.Р. Применение автономных полупроводниковых преобразователей частоты // Межвузовский научный сборник N 13. Уфимский авиационный институт, 1984. С. 87-97.

45. Абильсиитов Г.А., Голубев B.C., Гонтарь В.Г. и др. Препринт N 6 НИЦТЛ АН СССР. МНТК. Троицк, 1984.

46. Абильсиитов Г.А., Гонтарь В.Г., Ефимов С.А. и др. Препринт № 12 НИЦТЛ АН СССР. МНТК, Троицк, 1985.

47. Абильсиитов Г.А., Голубев B.C., Гонтарь В.Г. и др. Принципы построения оптимальных систем технологическими С02-лазерами. Препринт НИЦТЛ АН СССР № 38. 1987.

48. Диагностика плазмы / Под ред. Р. Хаддлстоуна и С. Леонарда. М.: Мир, 1967. С. 515.

49. Линовский И.М., Розанов Г.Г., Сурменко Л.А. Метод измерения распределения интенсивности излучения в фокальном пятне оптического квантового генератора//ГТЭ. 1974. № 4. С. 159-160.

50. Rigrod W.W. // J. Appl. Phys. 1965. V. 36. P. 2487.

51. Дубовский П.Е., Лошнова Э.Н., Пономарев Д.И., Соболев Н.И. Препринт №206 ФИАН. Москва, 1984.

52. Marcatili E.A.J., Schmelter R.A. Hollow metallic and dielectric waveguides for long distance transmission and lasers // Bell. Syst. Techn. J. 1964. V. 43. P. 1783-1809.

53. Leakmann K.D., Steier W.H. Waveguide: characteristic modes of hollow rectangular dielectric waveguides // Appl. Opt. 1976. V. 15. № 9. P. 2029.

54. Дубовский П.Е., Лошнова Э.Н., Пономарев Д.И., Соболев Н.И. //Квантовая электроника. 1985. Т. 12. С. 1476.

55. Александров А.Г., Васильцов В.В., Зеленов Е.В., Курушин Е.А. Об удельных выходных характеристиках многолучевых С02-лазерах типа МТЛ // Тез. докл. на Всесоюзном семинаре "Лазерная техника и технология". Вильнюс, 24-28 октября, 1988. С. 127-128.

56. Васильцов B.B. Многоканальные промышленные С02-лазеры НИЦТЛ РАН // Тез. докл. на Российской национальной конф. "Лазерные технологии '93м (ILLA'93) 14-16 апр., Шатура, 1993. С. 12.

57. Васильцов В.В. Многоканальные промышленные С02-лазеры НИЦТЛ РАН // Известия Академии наук. Сер. физ. 1993. Т. 57. № 12. С. 150159.

58. Очкин В.Н., Шубина H.A. Влияние добавок паров воды на процессы в плазме газового разряда лазера на С02 // Химия высоких энергий. 1972. Т. 6. № 1.С. 26-30.

59. Волченок В.И., Комаров В.Н. Влияние добавок водорода и ксенона на химический состав плазмы волноводных С02 лазеров // Химия высоких энергий. 1984. Т. 18. N 5. С. 477-479.

60. Soulhas D., Grudjian A. Measurment and theoretical confirmation of Xe exchanged C02 laser output power // Appl. Opt. 1981. V. 20, № 18. Pp. 3097-3098.

61. Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов. М.: Наука, 1980.416 с.

62. Елецкий A.B., Смирнов Б.М. Газовые лазеры. М.: Атомиздат, 1971.

63. Соболев H.H., Соповинов В.В. Оптические квантовые генераторы на С02 // УФН. 1967. Т. 91. Вып. 3. С. 425-454.

64. Мейтланд А., Данн Н. Введение в физику лазеров. М.: Наука, 1978.

65. Degen J.J. The waveguide laser: A review // Appl. Phys. 1976. V. 11. P. 1-13.

66. Смирнов A.C. Приэлектродные слои в емкостном ВЧ-разряде //ЖТФ. 1984. Т. 54. Вып. 1. С. 61-65.

67. Александров А.Г., Васильцов В.В., Зеленов Е.В., Курушин Е.А. Об удельных выходных характеристиках многолучевых С02-лазеров типа МТЛ //Тез. докл. на Всесоюзном семинаре "Лазерная техника и технология". Вильнюс 24-28 октября, 1988. С. 127-128.

68. Абильсиитов Г.А., Бондаренко А.И., Васильцов В.В., Голубев B.C., Гонтарь В.Г., Забелин A.M., Низьев В.Г., Якунин В.П. Промышленные технологические лазеры НИЦТЛ АН СССР // Квантовая электроника. 1990. Т. 17. №6. С. 672-677.

69. Абильсиитов Г.А., Бондаренко А.И., Васильцов В.В., Куприн O.A., Леонов П.Г., Лисин A.A. Многоканальный газоразрядный лазер. Патент СССР N 4861003125 (089953) ES HOJS 3/03, АС N 1785396 РФ 1990.

70. Abilsiitov G.A., Vasiltsov V.V., Golubev V.S., Zelenov Ye.V., Kurushin Ye.A., Lisin A.A., Safonov A.N., Filimonov D.Yu. High-power industrial AC-excited multichannel C02 lasers // Proc. SPIE. 1993. V. 2109. P. 40.

71. Vasiltsov V.V., Golubev V.S., Kurushin Ye.A. Concept of technological high-power multichannel waveguide diffusion cooling C02 lasers with electrodeless sound frequency AC-dischrge // Proc. SPIE. 1994. V. 2206. P. 273-278.

72. Vasiltsov V.V., Zabelin A.M., Golubev V.S., Panchenko V.Ya. Highpower industrial C02 lasers based upon new concepts of gas discharge and optical schemes // Proc. SPIE. 1994. V. 2206. P. 293.

73. Водоватов A.A., Чельный A.A., Вейко В.П., Либенсон М.Н. Лазеры в технологии. М.: Энергия, 1975. 216 с.

74. Duley W.W. Laser processing and analysis of materials // Plenum Press. New York and London, 1983. 463 p.

75. Рыкалин H.H., Углов A.A., Зуев И.В. и др. Лазерная и электроннолучевая обработка материалов: Справочник. М.: Машиностроение, 1995. 496 с.

76. Андрияхин В.М. Процессы лазерной сварки и термообработки. М.: Наука, 1988. 176 с.

77. Абильсиитов Г.А., Андрияхин В.М., Сафонов А.Н., Модификация поверхностей материалов с помощью лазерного излучения // Известия АН СССР, Сер. физ. 1983. Т. 47, № 8. С. 1468-1478.

78. Григорьянц А.Г., Сафонов А.Н. Методы поверхностной лазерной обработки. М.: Высшая школа, 1987. 191 с.

79. Леонтьев П.А., Хан М.Г., Чеканова Н.Т. Лазерная поверхностная обработка металлов и сплавов. М.: Металлургия, 1986. 141 с.

80. Андрияхин В.М., Васильев В.А., Садунов В.К., Чеканова Н.Т. Влияние схемы упрочнения гильз цилиндров лазерным излучением на износостойкость // Металловедение и термическая обработка металлов. 1982. № 9. с. 41-43.

81. Григорьянц А.Г., Сафонов А.Н., Шибаев В.В. Получение износостойких хромоникелевых и хромборникелевых покрытий при помощи лазерного излучения // Известия вузов. Машиностроение. 1982. №3. С. 87-92.

82. Григорьянц А.Г., Сафонов А.Н., Шибаев В.В. Влияние режимов порошковой лазерной наплавки на условия формирования и размеры наплавленных валиков // Сварочное производство. 1983. № 6. С. 11-13.

83. ГригорьянцА.Г., Сафонов А.Н., Шибаев В.В. и др. Исследование процесса лазерной наплавки чугунных и хромборникелевых порошковна железоуглеродистые сплавы // Электронная обработка материалов. 1984. №2. С. 36-39.

84. Сафонов А.Н., Григорьянц А.Г., Тарасенко В.Н. и др. Исследование структуры сталей при упрочнении и легировании поверхности непрерывными лазерами // Известия вузов. Машиностроение. 1984. № 5. С. 94-98.

85. Сафонов А.Н., Грезев А.Н. Трещинообразование сплавов, наплавляемых с помощью лазера // Сварочное производство. 1986. № 3.С. 6-8.

86. Бородина Г.Г., Крапошин B.C., Курочкин Ю.В., Степанов В.В. Влияние лазерного упрочнения поверхности на усталостную прочность стали // Поверхность. Физика, химия, механика. 1986. № 1. С. 123-127.

87. Терегулов Н.Г., Соколов Б.К., Варбанов Г. Лазерные технологии на машиностроительном заводе. Академия наук Республики Башкортостан, Уфа, 1993.

88. Грипичицкий О.Р. Исследование термоупрочнения и износостойкости стали 45, обработанной излучением мощного многолучевого С02-лазера // Поверхность. Физика, химия, механика. 1987. N 1. С. 68-73.

89. Соболь Э.Н., Кокора А.Н. Расчет толщины закаленного слоя при лазерной термообработки стали без оплавления поверхности //Инженерно-физический журнал. 1989. Т. 56. № 4. С. 632-639.

90. ЮО.Андрияхин В.М., Чеканова Н.Т. О некоторых видах покрытий, используемых при обработке металлов излучением лазера // Поверхность. Физика, химия, механика. 1983. № 2. С. 145-149.

91. Андрияхин В.М., Майоров B.C., Якунин В.П. О поглощательной способности покрытий для лазерной термообработки черных металлов // Физика и химия обработки материалов. 1984. № 5. С. 89-93.

92. Никаноров В.И., Мульченко Б.Ф. Полимерные покрытия для лазерного упрочнения деталей // Автомобильная промышленность. 1986. № 7. С. 32.

93. Денисов С.Ю., Зеленов Е.В., Сафонов А.Н., Тарасенко В.М., Филимонов Д.Ю., Щербакова Е.А. Особенности формирования структуры излучения при фокусировке излучения многоканального лазера // Квантовая электроника. 1991. Т. 18. № 5. С. 648-650.

94. Сафонов А.Н., Зеленцова Н.Ф., Митрофанов A.A., Васильцов В.В., Ильичев И.Н. Упрочнение поверхности инструмента из быстрорежущих сталей с помощью непрерывных С02-лазеров // Сварочное производство. 1996. № 8. С. 18-21.

95. Сафонов А.Н., Васильцов В.В., Ильичев И.Н. Разработка процесса лазерной закалки червяка лифтовой лебедки. В печати.

96. Басков А.Ф., Васильцов В.В., Гуляева Т.В., Коган Я.Д., Лахтин Ю.М., Сафонов А.Н., Тарасова Т.В. Обработка хромистых коррозионных сталей излучением С02 лазера // Защита металлов. 1986. Т. 22. № 3. С. 354-359.

97. Григорьянц А.Г., Фромм В.А., Савчук А.И., Васильцов В.В., Кашин В.Е. "Устройство для лазерной обработки" Авторское свидетельство № 1358242, 8.09. 1987.

98. Ю.Карлов Н.В. Лекции по квантовой электронике. М.: Наука, 1983.111 .Никаноров В.И, Мульченко Б.Ф, Ройтенберг Д.И. Технология автомобилестроения. 1982. N 5. С. 20.

99. Бураков В.А, Варавка В.Н, Буракова И.М. Структурные особенности упрочнения сталей в условиях скоростной лазерной закалки // Известия вузов. Машиностроение. 1985. № 10. С. 113-118.

100. З.Дьяченко B.C. Структура быстрорежущих сталей в белых зонах,формирующихся под действием импульсного лазерного излучения // Доклады Академии наук СССР. Металлы. 1988. № 1. С. 89-94.

101. Григорьянц А.Г, Сафонов А.Н. Основы лазерного термоупрочнения сплавов. М.: Высшая школа, 1988. 159 с.

102. Коваленко B.C., Верхотуров А.Д, ГоловкоА.Ф, Подчерняева И.А. Лазерное и электроэрозионное упрочнение материалов. М.:Наука, 1986. 276 с.

103. Артингер И, Корах М, Ольшанский H.A. Местное оплавление поверхности инструментальных сталей электронным лучом // Periodica Polytechnika. 1983. Vol. 27. № 1-2. С. 11-22.

104. Сафонов А.Н, Микулынин Г.Ю. Лазерные технологические комплексы. М.: ВНТИЦЕНТР, 1993. 72 с.

105. Сафонов А.Н. Применение лазерной техники в народном хозяйстве. М.: ВНТИЦЕНТР, 1992. 77 с.

106. Григорьянц А.Г, Алексенко С.И, Сафонов А.Н. Исследованиемикроструктуры и механических характеристик стали 40X10С2М после лазерной обработки // Физика и химия обработки материалов. 1991. №3. С. 101-107.

107. Андрияхин В.М., Васильев В.А., Седунов В.К., Чеканова Н.Т. Влияние схемы упрочнения гильз цилиндров лазерным излучением на износостойкость // Металловедение и термическая обработка металлов. 1982. № 9. С. 41-43.

108. Качурин О.Р., Лебедев Ф.В., Напартович А.П. Свойства излучения набора С02-лазеров в режиме фазовой синхронизации // Квантовая электроника. 1988. Т. 15. № 9. С. 1808-1812.

109. Бондаренко А.В., Глова А.Ф., Лебедев Ф.В. и др. // Квантовая электроника. 1988. Т. 15. № 5. С. 877-878.

110. Антюхов В.В., Даньщаков Е.В., Елин Н.Н. и др. Условия устойчивой когерентной генерации двух С02-лазеров с неустойчивым резонатором // Квантовая электроника. 1989. Т. 16. № 12. С. 24622468.

111. Bourdet G.L., Muller G.M., Mutlof and Yinet J.V. CW injection phase locking in homogeneously broadened media. Phase locking and tunability of C02 waveguide lasers // Appl. Phys. В 43. 1987. P. 273-279.

112. Марченко Н.Н. Самовоспроизводящиеся поля // Квантовая электроника. 1981. Т. 8. № 5. С. 1027-1036.

113. Collay A.D., Abramski К.М., Beker H.J., Hall D.R. Two dimensional high power C02 waveguid laser arrays // Conference on Lasers and ElectroOptics (CLEO). May 2-7, 1993. P. 72.

114. Baker H.J., Hall D.L. et al. Propagation characteristics of coherent array beams from carbon dioxide waveguide lasers // IEEE J. of Quant. Electr. 1996. V. 32. №3. P. 24-32.

115. Bourdet G. Les Lasers A CO2 De Moyenne Puissance Application A La Metrogogie dimensionnelle Optiques Adaptative. Universite Paris Nord, Report Department de Physique des Lasers Infra-Range, 1997. P. 229.

116. Басов Н.Г., Беленов Э.М., Летохов B.C. Дифракционная синхронизация оптических квантовых генераторов // ЖТФ. Т. ХХХУ. 1965. №6. С. 1098-1105.

117. Глова А.Ф., Дрейзен Ю.А., Качурин О.Р. и др. Фазовая синхронизация двумерного набора волноводных С02-лазеров // Письма в ЖТФ. 1985. Т. 11. Вып. 4. С. 249-252.

118. Лиханский В.В., Напартович А.П. Излучение оптически связанных лазеров // УФН. Т. 160. Вып. 3. С. 101-143.

119. Александров А.Г., Ангелуц А.А., Васильцов В.В., Зеленов Е.В., Курушин Е.А. Синхронизация излучателей многоканального лазера с помощью пространственного фильтра // Квантовая электроника. 1990. Т. 17. № 11. С. 1462-1463.

120. Vasiltsov V.V., Zelenov Ye.V., Kurushin Ye.A., Filimonov D.Yu. Synchronization of high-power C02-lasers // Proc. SPIE. 1993. V. 2109. P. 207-114.

121. Васильцов B.B., Зеленов E.B., Александров А.Г., Ангелуц А.А., Петрухин А.П. Способы получения мощного синхронизованного излучения в многоканальном лазере и устройство для его осуществления. Патент России № 2055427, 1996. Приоритет 21.05.92.

122. Talbot H.F. Theory of sound waves // Phil. Mag, (9). P. 401-423. 1836.

123. Ананьев Ю.А. Оптические резонаторы и лазерные пучки. М.: "Наука", 1990.216 с.

124. Антюхов В.В., Глова А.Ф., Качурин О.Р. и др. // Письма в ЖЭТФ. 1986. Т. 44. С. 63.

125. Голубенцов А.А., Лиханский В.В. // Квантовая электроника. 1990. Т. 17. С. 592.

126. Гончарский А.В. и др. Введение в компьютерную оптику. М.: Изд-во МГУ, 1991.

127. Гончарский А.В. и др. Дифракционные оптические элементы для задач лазерной технологии // Тез. докл. II Всесоюзной конф. "Применение лазеров в народном хозяйстве", Шатура, 1989.

128. K.Manes, Industrial Laser Handbook, 1992-93 Ed. Pp. 55-66. SpringerVerlag, 1992.

129. Vasiltsov V.V., Zelenov Ye.V., Kurushin Ye.A. et al. "Technological single-mode C02 lasers ecsitation AC discharge with power 500 W" // J. Izvestiya Akademii Nauk, Phys. (Russia). 1993. V. 57. № 12. Pp. 123126.

130. Vasiltsov V.V., Galushkin M.G., Golubev V.S., Panchenko V.Ya., Roshin A.P., Soloviev A.V. High power waveguide industrial C02 lasers // Proc. SPIE. 1995. V. 2713. Pp. 76-84.

131. Васильцов В.В., Забелин A.M., Панченко В.Я., Рощин А.П., Сафонов А.Н. Блок генерации излучения многоканального лазера. Заявка № 96113587 от 19.07.96.

132. Landremean R., Nawarawong W., Laughlin H. et.al. Direct CO2 laser revascularization of the myocardium // Lasers Surg. Med. 11. 35. 1991.

133. Deckbaum L., Cardiovascular applications of laser technology // Laser Surg. Med. 15. 315. 1994.

134. Fundamentals of TMR and the Heart Laser, TMR Clinical Reports. V. 2. Issue 6. Fall 1994.

135. Successes Mount as Transmyocardial Revascularization Population Quadruples, TMR Clinical Reports. V. 2. Issue 2. Fall 1994.

136. Cardiology: When Hope Fails, Photonics Finds Way, Photonics Spectra. P. 116. August 1997.

137. A.J.Wilch, M.Motamedy, S.Rastegar, J.L.Lesartier and D. Jausen. Photochemistry and Photobiological. V. 53. N 6. P. 815-823. 1991.

138. Study compares use of C02, holmium and excimer lasers for TMR, Internet,http//pslroup.com/dg/cf3.

139. Jansen E.D., Frenz M., Kadipasaoglu К. et.al. Laser-tissue interaction during transmyocardial laser revascularization // From Biomedical Optics (V. 5. № 1). OE Report, № 152. P. 9-12 BIOS'96 (Proc. SPIE. V. 2671) August 1996.

140. Whittaker P. J. Clinical Laser Medicine & Surgery, 1997. V. 15. № 6. P. 261-267.

141. Tuchin V.V. Laser Phys. 1993. V. 3. P. 767-820.

142. Walsh Y.T., Deutsch Т.Е. Pulsed C02 laser ablation of tissue effect of mechanical properties // IEE Trans. Biomed. Eng. 30 (36). 1195. 1989.

143. Vincent J.G., Bardos P. et al. Europen J. of Cardio-Thoracic Surgery, February, 1997. Pp. 1-7.

144. Забелин A.M., Зеленов E.B., Сафонов A.H. Электроразрядный многотрубчатый лазер с диффузионным охлаждением газовой смеси // Патент N 2097889, регистрация 27.11.1997, по заявке N96105178 приоритет от 15.03.1996.