автореферат диссертации по электронике, 05.27.07, диссертация на тему:Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения

РГБ ОД

1 о в;)

На правах рукописи

Василенко Николай Васильевич

ПОСТРОЕНИЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА ОСНОВЕ ВОЛНОВОГО ДВИЖЕНИЯ

Специальность 05.27.07 - Оборудование производства

электронной техники

Автореферат диссертации на соискание.ученой степени доктора технических наук

Москв 2000

Работа выполнена в Сибирской аэрокосмической академии им. М.Ф. Решетнева

Официальные оппоненты:

Лауреат Государственной премии СССР, заслуженный деятель науки и техники РСФСР, доктор технических наук профессор А.Т.Александрова

Доктор технических наук, профессор Е.А.Деулин Доктор технических наук, профессор В.А.Глазунов

Ведущая организация: НПО «Полюс» (г. Москва)

Защита диссертации состоится 28 марта 2000 г. в 10 часо! на заседании диссертационного совета Д 063.68.02 в Московскоу государственном институте электроники и математик! (техническом университете) по адресу: 109028, г. Москва Б. Трехсвятительский пер., 3/12.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Московского государственного института электроники ! математики (технического университета)

Автореферат разослан " февраля 2000 г.

Ученый секретарь диссертационного совета Д 063.68.02

кандидат технических наук, доцент ( ^^^ Жуков В.И.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность работы

Электронная техника - новое и интенсивно развивающееся научное направление, вызванное к жизни повышением эффективности современного производства.

Вакуумные исполнительные системы стали реальностью сегодняшнего дня в современном технологическом производстве. Их широкое использование в электронной технике - задача настоящего и ближайшего будущего, которая не может быть решена с использованием классических механизмов - зубчатых, червячных, винтовых передач. Элементная база вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники должна удовлетворять следующим требованиям: малый вес и габариты, возможность работы в условиях вакуума с перепадом температур от 0°С до +800°С, а также стойкость против различного вида излучений. Этим требованиям наиболее полно удовлетворяют исполнительные системы, построенные на волновых резьбовых, волновых реечных механизмах и шариковых передачах. Поэтому синтез и анализ вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волновых резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач, является задачей актуальной и своевременной.

Цель работы.

Основной задачей теоретических и экспериментальных исследований явилось создание элементной базы вакуумных исполнительных систем (ИС) на основе волновых резьбовых, реечных и шариковых передач и на их основе ИС с заданными параметрами работоспособности.

Методы исследований.

Теоретические исследования проводились на основе законов теоретической механики, теории механизмов и машин, теории точности, вакуумной техники и динамики твердого тела с несколькими степенями свободы с использованием аналитических I численных методов решения, на основе положений молекулярно-

яеханической теории трения.

При проведении экспериментальных исследований фименялись методики прямых и косвенных измерений методом тензометрии, с последующей обработкой результатов методами $ероятностей и математической статистики. Теоретические ^следования, обработка результатов экспериментов выполнялись ; использованием ЭВМ.

Научная новизна. Получена математическая модель формирования слоя конденсата в произвольной точке подложки. Разработаны математические модели формирования показателей эаботоспособности волновых резьбовых, реечных механизмов и париковых передач, позволяющие на этапе проектирования эценить кинематическую погрешность, люфт, к.п.д. и напряженно-деформированное состояние элементов, а также интенсивность изнашивания сопрягаемых элементов, которая, в свою очередь, зависит от правильного выбора материалов, смазок и диффузионного насыщения поверхности трения металлами.

На основании теоретических и экспериментальных исследований резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач разработаны конструкции исполнительных систем для оборудования электронной техники. Новизна предложенных технических решений подтверждена 70 авторскими свидетельствами на изобретения и патентами РФ.

Достоверность результатов. Достоверность проведенных теоретических исследований обеспечивается строгим математическим обоснованием предлагаемых подходов и методов, а также экспериментальными исследованиями опытных образцов исполнительных систем оборудования электронной техники (ЭТ).

Практическая ценность. Результаты исследований и разработок переданы для использования и внедрены в исполнительных системах вакуумных роботов и манипуляторов (НПО ПМ г. Красноярск), в конструкциях манипуляторов перегрузчиков с волновыми реечными поступательными приводами (НИИ ПОЛЮС), с шариковыми зубчато-торцевыми

передачами для преобразования движения в вакууме в исполнительных системах карусельного типа, отвечающих требованиям высокой кинематической точности и воспроизводимости перемещений, а также используются в учебном процессе по курсу "Детали машин и основы конструирования" в МИЭМ (г. Москва), в КГТУ и САА г. Красноярск).

Использование полученных результатов легло в основу ряда разработок автора, внедренных на предприятиях МЭП, MOM, МОП и АН РФ. Экономический эффект от внедрения результатов работы составил более 3,3 млн. рублей.

Теоретическое обобщение вопросов, связанных с синтезом и анализом вакуумных исполнительных систем электронной техники на основе волновых резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач, широкое внедрение технических решений исполнительных систем вносит значительный вклад в ускорение научно-технического прогресса РФ.

На защиту выносится:

1. Четырехуровневый синтез-анализ вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники, включающих в себя синтез-анализ собственно систем, исполнительных устройств, узлов и деталей.

2. Математическая модель формирования слоя конденсата на подложке.

3. Математические модели работоспособности волновых, резьбовых механизмов и шариковых передач, позволяющие на этапе проектирования оценить кинематическую погрешность, люфт, к.п.д. и напряженно-деформированное состояние элементов исполнительных систем, устройств и деталей.

4. Результаты теоретических и экспериментальных исследований волновых резьбовых передач, реечных механизмов, шариковых зубчато-торцевых передач.

5. Принцип проектирования узлов трения, работающих в вакууме.

6. Комплекс алгоритмов и программ машинного расчета и

методика конструирования исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волновых резьбовых передач, реечных механизмов и шариковых передач.

7. Использование результатов работы при создании оборудования ЭТ на различных предприятиях Российской Федерации.

Апробация работы.

Основные положения диссертационной работы доложены на Всесоюзной научно-технической конференции «Научные основы автоматизации производственных процессов, управление качеством в машиностроении и приборостроении», г. Москва,

1979 г.; на Всесоюзной научно-технической конференции «Теория систем и разработка АСУ», г. Кировокан, 1979 г.; на VI Всесоюзной научно-технической конференции по управляемым и автоматическим приводам и передачам гибкой связью, г. Одесса,

1980 г.; на Всесоюзной научно-технической конференции «Повышение долговечности и надежности машин и приборов», г.Куйбышев, 1983 г.; на Всесоюзной научно-технической конференции «Повышение эксплуатационных свойств деталей машин и инструментов механической обработкой на предприятиях Сибири и Дальнего Востока», г. Иркутск, 1983 г.; на Всесоюзной научно-технической конференции «Робототехника и автоматизация производственных процессов», г. Барнаул, 1983 г.; на республиканской научно-технической конференции «Повышение надежности и снижение металлоемкости зубчатых передач и редукторов общего машиностроительного применения», г. Харьков, 1983 г.; на V Всесоюзной научно-технической конференции «Физика и техника высокого и сверхвысокого вакуума», г. Ленинград, 1985 г.; на Республиканской научно-технической конференции «Совершенствование методов расчета, конструирования и технологии производства спироидных, гипоидальных и червячных передач и редукторов», г. Устинов, 1986 г.; на Республиканской научно-технической конференции «Совершенствование методов расчета, конструирования и зубообработки цилиндрических и конических зубчатых,

спироидных, гипоидных и червячных передач», г. Ижевск, 1989 г.; на Всесоюзном совещании Госкомобразования СССР «Интеграция образования, науки и производства как фактор повышения качества подготовки специалистов», г. Днепропетровск, 1989 г.; на Всесоюзном семинаре «Рациональная эксплуатация режущего инструмента в условиях гибких производственных систем (ГПС) станков с числовым программным управлением (ЧПУ)», г. Москва: 1989 г.; на II научно-технической конференции «Устройства и системы автономных объектов», г. Красноярск, 1990 г. (СО АН СССР); на II Международном симпозиуме по акустической эмиссии. Университет Фукуоки, 1992 г.; на IV Международной конференции по неразрушающему контролю, Бостон, США, 1991 г.; на II Международной конференции по неразрушающему контролю трубопроводов, Москва, 1991 г.; на Международной конференции «Неразрушающий контроль и диагностика свойств композитов и изделий из них», г. Рига, 1991 г.; на Международной конференции «Мониторинг и прогнозирование технического состояния установок и структур», Фаэнца, Италия, 1992 г.; на 12-ой всеобщей конференции по физике конденсированного вещества, Прага, Чехо-Словакия, 1992 г.; на 13-й Международной конференции по неразрушающему контролю, Сан-Паулу, Бразилия, 1992 г.; на Европейской конференции по дифракционным методам анализа порошковых материалов, Енсхеде, Нидерланды, 1992 г.; на Международном симпозиуме по неразрушающему контролю и измерениям механических напряжений, Токио, Япония, 1992 г.; на научно-технических конференциях «Вакуум-94», «Вакуум-95», Гурзуф; на семинарах кафедр «Прикладная механика» и «Технологические системы электроники» МГИЭМ, 1998, 1999 гг.

Публикации.

По теме диссертации опубликовано 23 статьи, сделано 37 докладов на Международных, Всесоюзных конференциях и конференциях стран Содружества Независимых Государств, издано 9 учебных пособий и один учебник для специальности "Электронное машиностроение", удостоенный премии

Травительства РФ в области науки и техники за 1997 г.

Новизна предложенных технических решений защищена 70 шторскими свидетельствами СССР и патентами РФ.

Объем работы.

Диссертационная работа состоит из введения, 5 глав, общих выводов, списка литературы из 526 наименований и приложения, содержащего описание экспериментальных стендов и установок, программы машинного расчета и акты, подтверждающие практическое использование результатов работы.

Общий объем работы 430 стр., из которых основная часть доставляет 356 стр., приложение 74 стр.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обосновывается актуальность решаемой в диссертационной работе проблемы, сформулированы цель работы, научная новизна и основные положения, которые выносятся на защиту.

В первой главе на основе анализа тонкопленочных структур электронной техники установлено, что требуемая неравномерность пленок должна быть не хуже 1% с одновременным повышением равномерности эффективной толщины по всей поверхности пленки на подложках больших и сверхбольших диаметров. Управление геометрической и эффективной толщиной пленок, возможно, несколькими способами и, в частности, изменением закона перемещения подложек относительно испарителя. Закон движения подложек определяется применяемой механической системой и выбирается еще на этапе проектирования установки. В настоящее время в вакуумном напылительном оборудовании используются механические системы, обеспечивающие неподвижное положение, планетарное и азимутальное вращения, линейное перемещение подложек. При эксплуатации установок с данными механическими системами закон движения подложки в процессе осаждения пленок остается неизменным, т.к. даже варьирование скоростей

перемещения подложки не приводит к изменению траектории ее движения. Это не позволяет компенсировать флуктуации плотности потока массы и энергии, которое практически всегда имеет место в процессе осаждения пленок и не позволяет управлять ростом пленки непосредственно при ее получении.

Изменение траектории движения подложки, эффективное управление процессом осаждения пленки или целенаправленное ее формирование может быть осуществлено за счет вращательно-поступательного перемещения (ВПП) подложки с переменной скоростью, изменение которой согласовано с пространственно-временными характеристиками потока испаряемого вещества. В процессе такого движения подложки возможно управлять распределением конденсата по ее поверхности. При этом требуется смоделировать процесс вакуумного осаждения вещества и разработать новые приводы ВПП.

Вопросам распределения конденсата по поверхности подложек посвящены работы Архипова В.А., Данилина B.C., Ковалева JI.K., Путиловского Ф.Д., Шалочкина Б.А. и др. Созданию новых приводов движения и комплексной автоматизации производства изделий электронной техники посвящены работы Шаумяна ГА., Волчкевича Л.И., Александровой А.Т., Бушенина Д.В., Камышного Н.И., Деулина Е.А., Шувалова С.А., Крайнева А.Ф., Амосовой Э.П., и др. Однако решения вопросов о распределении конденсата при ВПП подложки и примеров создания вакуумного механизма ВПП не имеется. Поэтому практически реализация установок вакуумного напыления, использующих принцип ВПП подложек, сдерживается отсутствием теоретических разработок, моделирующих процесс осаждения вещества при ВПП подложки и механических систем (манипуляторов) ВПП.

Для реализации принципа ВПП подложек необходимо осуществить ввод в вакуумный объем 2-х движений -вращательного и поступательного, а также разработать собственно механизм ВПП. В настоящее время, наряду с традиционными вводами движения, используются герметичные волновые зубчатые и резьбовые передачи (ВЗП и ВРП), осуществляющие не только

герметизацию, но и преобразование вводимого в вакуум движения. На основе использования в качестве вводов движения ВЗП и ВРП предложено схемное решение вакуумного манипулятора ВПП (см. рис.1). Механизм ВПП можно компоновать на основе традиционных видов передач. Однако, как показал анализ, такие механизмы не вполне удовлетворяют требованиям управляемого формирования слоя конденсата. В них большое количество кинематических пар, значительны поверхности, находящиеся в вакууме. Массы перемещаемых узлов таких механизмов весьма велики. Большая их инерционность не позволит гибко реагировать на флуктуации потока вещества. Поэтому, необходимо создание нетрадиционного и компактного механизма ВПП. По нашему мнению, из всего разнообразия известных и новых видов передач могут быть использованы в качестве механизмов ВПП шариковые зубчато-торцевые передачи (ШЗТП).

Многие вопросы конструирования и расчета передач с шариковыми промежуточными телами решены Беляевым В.Г., Павловым Б.И., Беляевым А.Е., Нечаевым А. И., Ан-И-Каном, Гуриным В.В., Морозовым А.Н. Кунделем В.Н. и др. Однако не использованы все кинематические возможности таких передач, не имеется комплексной программы исследований по их использованию в экстремальных условиях. Известные методики прочностного расчета ШЗТП нуждаются в уточнении. Создание же механизмов на основе ШЗТП, позволяющих изменять скорость и траекторию движения подложек в потоке испаренного вещества с известными пространственно-временными характеристиками может открыть новые возможности в управлении процессом получения пленок с заданными свойствами.

В главе также проведен анализ современного сверхвысоковакуумного автоматизированного технологического оборудования, в котором применяются исполнительные и передаточные механизмы, построенные на базе волновых резьбовых передач. Показано, что наряду с ужесточением требований по качеству технологической среды, повысились требования и к исполнительным механизмам, в частности по точностным параметрам. Установлено, что кинематическая

погрешность находится в пределах ± 0,01 мм, люфты и вибрации отсутствуют. Механизмы обеспечивают до 106 циклов нагружения при работе в вакууме.

Для систематизации имеющегося материала по волновым передачам были рассмотрены результаты работ Цейтлина Н.И., Гинзбурга Е.Г., Шувалова С.А., Иванова М.Н., Деулина. Е.А. и др.

Во второй главе проведены теоретические исследования процесса вакуумного осаждения вещества при ВПП подложки, дана оценка кинематических возможностей 1ИЗТП, ее несущей способности и точности.

Исходными предпосылками при получении модели, характеризующей процесс осаждения вещества при ВПП подложки, являлись следующие предположения: поток испаряемого вещества и, связанная с ним толщина осажденного слоя конденсата на поверхности неподвижной подложки, подчиняются закону Кнудсена; временная нестабильность испарителя достаточно мала и поэтому скорость осаждения вещества в любой точке подложки считалась постоянной во времени; миграция атомов по поверхности подложки и вторичное их испарение с поверхности подложки незначительны. С учетом приведенных предпосылок была получена математическая модель, которая определяет толщину слоя конденсата в произвольной точке с координатами р, ср на поверхности подложки, совершающей ВПП. Данная модель имеет вид

т

= Уй11» \г---—^-¥, (1)

где Уо - скорость осаждения вещества в центре напыления; Ьо -расстояние между испарителем и подложкой; п - показатель степени (для элементарного точечного испарителя п=3/2; для элементарного поверхностного испарителя п=2); С - время напыления; V - скорость линейного перемещения подложки; ю -частота вращения подложки.

Для экспериментального подтверждения модели были проведены исследования на установке с непрерывным лазерным

испарением. В результате сравнения (см. рис. 2.) -экспериментального (I) и теоретического (II) распределения слоя конденсата на подложке диаметром 134 мм получено, что погрешность расчета по модели (I) составляет 11%. Можно считать, что модель (1) достаточно надежно отражает физику процесса осаждения веществ при ВПП подложки.

По модели (1) были рассчитаны процессы осаждения вещества на поверхность подложки и в случае равномерного ВПП (У=сопз1, со=сопзг) и в случае неравномерного ВПП (У^согЫ,

СО=СОП51).

Процесс конденсации вещества в случае равномерного ВПП рассматривался при следующих параметрах: испаритель поверхностный (п=2); Ь<з=40 мм; радиус подложки {1=50 мм; со=3,14 рад/с; У=0,5 мм/с; У0=0,1 мкм/с; время напыления Т=100 с. Расчет показал, что по сравнению с неподвижным положением подложки, для которой неравномерность толщины слоя конденсата достигает при тех же параметрах Д6=84%, равномерное ВПП уменьшает неравномерность до 66%. Дальнейшего повышения равномерности осаждаемого слоя конденсата при ВПП с постоянными скоростями не наблюдалось.

Расчет толщины слоя конденсата (см. рис. 3) при замедленном неравномерном ВПП подложки (У^сог^) проводился при перечисленных выше параметрах. Оказалось, что такое ВПП обладает более эффективным воздействием на неравномерность осажденного слоя вещества, чем равномерное ВПП. В процессе неравномерного ВПП, по сравнению с равномерным, происходит перераспределение осаждаемого вещества в пределах поверхности подложки. За счет этого неравномерность слоя конденсата достигла Л5=±5...±2%. Следует отметить, что неравномерность слоя конденсата ±2% достигнута при небольшом расстоянии между испарителем и подложкой - К/Ьо=1,25 (Ьо=40 мм). В стационарном же состоянии для достижения той же неравномерности при одинаковых размерах подложки соотношение ИЛ^О, 145 (Ьо=349 мм). При уменьшении расстояния Ьо возрастает скорость осаждения и производительность процесса,

а требуемый вакуумный объем уменьшается.

Дальнейшее повышение равномерности распределения конденсата при неравномерном ВПП подложки не наблюдается, и это связано с тем, что при малом расстоянии между подложкой и испарителем большую роль оказывает изменение пространственной кривизны потока испаряемого вещества. Для исключения такого влияния, напыление необходимо осуществлять частью потока вещества, что достигается применением диафрагмы.

Расчет процесса осаждения при применении диафрагмы проводился по модели (1) с перечисленными выше параметрами, а отверстие в диафрагме принято равным с1о "2,5 мм, расстояние между диафрагмой и испарителем Ьг)=Ю мм. Результаты расчета приведены на рис. 4а (I - слой конденсата за один проход; II - слой конденсата за пять проходов). Достигнутая неравномерность слоя конденсата составила ±0,7%, а расчетный коэффициент использования испаряемого материала - 12,4%. При осаждении пленок диафрагмированным потоком вещества и соответственным подбором скоростного закона ВПП подложки обеспечивается требуемое соотношение потоков массы и энергии в данную зону подложки, т.е. производится управляемое формирование слоя конденсата. Корректировкой геометрической толщины осуществляется повышение равномерности распределения эффективной толщины (свойств) пленки на всей поверхности подложки.

Результаты анализа расчетов процесса осаждения вещества при ВПП подложки позволили выявить требования по точности к механизму ВПП подложек: при Л5=±0,5% точность позиционирования смещения подложки - АЬ=±20 мкм, неравномерность вращательного движения - Лф2=±10...±20 угловых минут. В качестве механизма ВПП предлагается использовать двухстепенную ШЗТП с переменным межцентровым расстоянием.

Для оценки несущей способности и долговечности рабочих профилей ШЗТП уточнена контактная задача о "близком" внутреннем касании шара и сферы (гнезда обоймы), в результате получены численные значения коэффициента напряжений Кн

Камера (Q1^ Испарится! №

Диафрагму'R

I I \

1 I \

' I \

Подложка \

ёи

Атмосфера

Рис. I. Схемное решение автоматизированного манипулятора для обеспечения вращительно-поступательного перемещения подложки

5-й ход 3-й ход t •*> 1-й ход j N

а)

мкм 0,5

0,4

0,3

0

б)

0,9 0,8 0

г4

R

37 42 47 52 57 62 мм

Рис. 2. Распределение конденсата

МКМ 1,0

0,9

0,8

0,7

V

V=a/t P"N

Ill

Рис.3. Слой конденсата при неравно- « Р мерном ВПП подложки: I - а=16,, А8=±5%; И - а =18, Л5=±2%\ III - а= =20, Л£=±4,6%

л

\ v1

\

10 20 30 4 0 r

Рис.4. Распределение слоя конденсата при осаждении вещества через отверстие в дифрагме

Рис. 5. Шариковая зубчато-торцевая передача с ВПП ведомого звена

(рис. 6), учитывающего погрешность, которую дает теория Герца при прочностном расчете "близкого" контакта шара и гнезда обоймы. В дальнейшем проведенный совместный анализ прочностного и гидродинамического расчета контакта шарика с гнездом обоймы, а также прочностного расчетов контакта шарика с желобом колеса позволил рекомендовать с целью повышения несущей способности и долговечности, новый исходный контур для нарезания ШЗТП.

С целью прогнозирования изменения параметров кинематической точности ШЗТП была получена математическая модель следующего вида

Рис. 6. Значения коэффициента Рис. 7. Профиль желоба

напряжения колеса ШЗТП

Рис. 8. Влияние зазора на точность ШЗТП

( ?>! л

<р 1

Лсоз/^СОБ-- +Л, сов^, +Асо5/ЗСО5~ътфх -ак (р г —---, (2)

ДсОБ/ЯсОБ

зт^, -Дсоз/^эт—соб^Р,

где фг - угловое положение колеса ШЗТП; ф] - угловое положение обоймы ШЗТП; р - угол контактной нормали к контактирующим профилям; ~ радиус делительной окружности обоймы; а^ -межосевое расстояние ШЗТП; Д^Иг+Лж-бш+Дг+Дж+Аш - суммарный зазор в зацеплении; Яг - радиусы профилей желоба колеса и гнезда обоймы; с1ш - диаметр шарика; Аг, Дж, Аш - соответственно, величины эксплуатационного износа гнезда обоймы, желоба колеса и шарика ШЗТП. Расчеты по модели (2) позволили установить, что наибольшее влияние на погрешность углового положения ведомого колеса ШЗТП оказывают суммарный зазор в зацеплении (см. рис. 8), а также погрешность межосевого расстояния и погрешность расположения сферических гнезд обоймы. Проведенная экспериментальная проверка полученной модели прогнозирования изменения показателей кинематической точности выявила, что расхождение теоретических и экспериментальных данных составило не более 25%.

Проведенные теоретические исследования позволили разработать инженерную методику расчета ШЗТП, включающую проектный и проверочный расчеты. В проектном расчете первоначально определяется расчетный диаметр шарика из условия контактной прочности сферического гнезда обоймы.

8,55Л"И , . <1Ш ш

лпп. \

180 г* /

к, (3)

где Т1 - крутящий момент на обойме ШЗТП; Кн - коэффициент напряжений (см. рис. 6); Р - допускаемое давление в контакте; Ъш -число шариков в передаче.

В дальнейшем определяется минимальный делительный диаметр обоймы ШЗТП. По известным диаметрам шарика и делительной окружности обоймы в проектном расчете

• «

Я = 4,3 Ю-5-—(4)

определяются остальные геометрические и кинематические характеристики ШЗТП.

Следует отметить, что, как показали экспериментальные исследования, наименее прочным и недолговечным элементом ШЗТП является сферическое сочленение шар-гнездо обоймы. Поэтому прочностной расчет гнезда обоймы по зависимости (3) является необходимым, но не достаточным условием обеспечения заданной долговечности работы ШЗТП. Вследствие этого требуется проверочный расчет ШЗТП, который заключается в определении ресурса работы передачи, по формуле

где и - передаточное отношение ШЗТП; [А] - величина допустимого износа, определяемая по зависимости (2), или толщина пленки твердосмазочного покрытия при работе в вакууме; а>1 - частота вращения обоймы ШЗТП; 1х=1г+1ш+1ж -суммарная интенсивность изнашивания элементов зацепления (гнезда, шарика, желоба).

Третья глава посвящена разработке математической модели формирования показателей точности волновых резьбовых передач. В качестве них были использованы кинематическая погрешность, которая характеризует точность выполнения технологических операций и люфт в резьбовом зацеплении.

Для определения максимального значения ожидаемой кинематической погрешности ДБг применялся закон распределения линейной функции случайных аргументов.

Выражение математической модели кинематической погрешности имеет вид

(5)

/=1

где А, - постоянные коэффициенты; Б^ - независимые случайные векторы; - погрешности изготовления и сборки деталей, которые совершают вращательные движения.

В качестве независимых случайных векторов

рассматривались: зазор в резьбовом зацеплении, величина контактных обмятий шероховатости элементов зацепления, радиальная жесткость генераторов волн, радиальная податливость жесткого элемента, осевая деформация гибкого элемента, технологическая ошибка изготовления. При этом было принято допущение, что генератор волн, установленный по скользящей посадке в гибкую оболочку, не имеет торцевого биения и это не оказывает влияния на кинематическую погрешность ВРП из-за того, что гибкая оболочка жестко закреплена одним концом во фланце. Поэтому эта погрешность не учитывалась при составлении математической модели.

Найдено математическое ожидание суммы векторов и выявлено долевое влияние составляющих показателей на кинематическую погрешность.

Установлено, что влияние зазора в резьбовом зацеплении составляет 67%, величина контактных обмятий 1%, радиальная податливость жесткого элемента 2%, осевая деформация гибкого элемента 6%, технологическая ошибка 20%.

Проведенная оценка математической модели потребовала решения дополнительных задач, в частности, теоретически определить зазор в зацеплении ВРП.

Для определения зазора рассмотрено положение витков ненагруженной ВРП, найдено расстояние между ними и определено место контакта криволинейных поверхностей. Задача решалась с применением методов дифференциальной геометрии. В результате решения получено уравнение для определения расстояния между винтовыми поверхностями, имеющими различные углы подъема.

Анализ результатов расчета уравнения, произведенный на ЭВМ в интервале 0<ср<360° с шагом 1° для передачи М60х1,0, показал, что минимальное расстояние между винтовыми поверхностями наблюдается в четырех асимметричных зонах и теряется при некоторых значениях предельного угла, центр зоны контакта изменяется в зависимости от выбранной радиальной деформации. Разность зазоров составляет 10 мкм на дуге до 14-17

градусов в обе стороны от центра зоны контакта, затем увеличивается до 20 мкм с последующим резким увеличением их.

Установлено, что зазор в зацеплении ВРП зависит от величины радиальной деформации гибкого элемента и осевой нагрузки, это вызвало необходимость расчета влияния величины радиальной деформации гибкого элемента на изменение угла профиля, который был решен с применением теории пространственного зацепления. Показано, что деформированная поверхность ВРП представляет архимедову винтовую поверхность с определенной взаимосвязью углов профиля от деформации. В результате расчета с помощью ЭВМ установлено, что изменение величины радиальной деформации на искажение угла профиля гибкого винта влияет незначительно, в пределах от 0,04 до 0,1 %. При оценке влияния осевой нагрузки на кинематическую погрешность ВРП, установлено, что осевая нагрузка в значительной степени оказывает влияние на погрешность положения ведомого элемента, действуя на витки гибкого элемента и отжимая их радиально к центру. В связи, с этим была решена задача по определению усилий в зацеплении.

В результате получено уравнение, характеризующее осевую нагрузку с учетом того, что витки гибкого элемента при их деформации поворачиваются на некоторый угол <р. Показано, что при действии осевой нагрузки, жесткость генераторов волн также влияет на кинематическую погрешность ВРП.

При исследовании радиальной жесткости использованы зависимости, предложенные Левиной З.М. и Спришевским А.И., по которым определены контактные сближения в трех конструкциях (кулачкового, роликового, дискового) генераторов волн. Установлено, что наименьшую кинематическую погрешность имеет ВРП с дисковым генератором волн. Эффективным приемом повышения кинематической точности является использование специальных генераторов волн, регулирование величины радиальной деформации в которых осуществляется за счет радиального, радиально-осевого или радиально-окружного перемещений разрезных кулачков,

эксцентричных осей или эксцентричных дисков (рис. 9).

-4 г Ттэ

_ чреа.Л

Рис. 9. Схемы специальных регулируемых генераторов волн; при радиально-осевом (а), радиальном (б) и радиально-окружном (в) перемещениях дисков: 1 - шток; 2 - вал; 3,4- диски; стрелками указано направление перемещения дисков, штока и вала

Для уменьшения кинематической погрешности ВРП на теле гибкого элемента выполнена вторая смещенная нарезка, которая позволила выбрать зазоры, обеспечила авторегулирование в зацеплении, а применение второго сдвоенного генератора сделало систему более жесткой. Однако это потребовало решить задачу о месте расположения второй нарезки на теле гибкого элемента в зависимости от напряженного состояния его.

Используя оболочечную модель, разработанную Г.Б.Иосилевичем, составлено условие совместности перемещений оболочки и контактного слоя с учетом площади контакта Б резьбы гибкого и жесткого элементов:

г+к1>

"-II

г <р

р^ р+р' эннр

р%т(р-р со%(р

рг+2р'г-р'

2 , ,2 Р +Р

сИк1(р,

(6)

где р - радиус-вектор резьбы гибкого элемента; Ь - глубина вхождения резьбы гибкого элемента; г - радиус резьбы жесткого элемента; ср - угол зацепления резьбы.

Решая уравнение совместности перемещений, получено дифференциальное уравнение второго порядка с постоянными коэффициентами и правой частью:

= (7)

¿2г й2г 2

где X - податливость конструктивного слоя; А - постоянный

коэффициент; \у - прогиб оболочки под действием генератора

волн; q(Z) - распределенная нагрузка; а - половина угла профиля.

Решая это уравнение и используя числовые данные, с помощью ЭВМ определено напряжение в гибкой оболочке, а также графики, характеризующие зависимость кинематической погрешности от напряжения в гибком элементе.

В результате расчетов установлено, что вторую нарезку необходимо располагать в том месте, где напряжения от действия генератора волн и осевой нагрузки стремятся к нулю, т.е. Ь»2й, где Ь - расстояние между венцами резьб на теле гибкого элемента; с1 -средний диаметр тела гибкого элемента (рис.10).

Проведенный анализ математической модели формирования погрешности как случайной величины показал, что наибольшее влияние на точность перемещения ведомого звена ВРП оказывает зазор в зацеплении и технологические погрешности изготовления и сборки. Проведенные мероприятия по устранению и уменьшению этих погрешностей позволили создать ВРП с кинематической погрешностью ведомого звена ±5 мкм, что удовлетворяет эксплуатационным требованиям рассматриваемого сверхвысоковакуумного оборудования.

Четвертая глава посвящена разработке теоретических основ расчета геометрических и кинематических параметров ВРМ (волнового реечного механизма) (рис. 11). Базовый вариант механизма для теоретических исследований выбран при рассмотрении составленной классификационной схемы возможных исполнений ВРМ.

На рис. 12 представлена картина взаимодействия ведущих толкателей 2, несущих силовые ролики 5, с рейкой 1 и кулачковым

Рис.10. Конструкция беззазорного прецизионного волнового механизма: 1 - гибкий элемент; 2 - генератор волн; 3 - жесткий элемент; 4 - опорный подшипник

генератором 3, 4. Толкатели и кулачки установлены с шагом Рт, отличающимся от шага зубьев рейки Рр

Рт-Рр(1+1/г), (8)

где Ъ - количество толкателей в механизме. Соседние кулачки развернуты по оси X друг относительно друга на угол фо=Зб00/2, а рабочие участки их профилей очерчены по спирали Архимеда.

7-Т-7 / ; / у у / ттУ//

Рис.11. Схема ВРМ: 1 ~ корпус; 2 - рейка; 3,4- генератор волн; 5 - толкатель

Следовательно, точки А* контакта толкателей с кулачками смещены по оси Г на величину

АЬ=аф0, (9)

где а - параметры спирали Архимеда, и линия зацепления наклонена к оси X на угол

р=агс!ё(ДЬ/Рт) (10)

Координаты точек контакта определяются из системы уравнений

У=к 1 (х-шРр) (11)

У=к2х,

где К1=^ар; к2=АЬ/РГ; т=0,1,2 ... параметры семейства прямых -следов боковых поверхностей зубьев на торцевую плоскость рейки; ар - угол профиля зуба рейки.

При перемещении линии зацепления вдоль рейки вследствие поворота вала 4 количество контактных линий не будет

Рис.12. Картина зацепления в ВРМ

постоянным, за исключением случая, когда в решении системы (11) Ут~На, т.е. когда линия зацепления проходит через вершину зуба - точку, расположенную на максимальной высоте его активной части На. Из этого условия получены зависимости количества толкателей 2 от угла профиля зуба ар и постоянного количества контактных линий п, а также коэффициента перекрытия Еа. Передаточное отношение ВРМ

1=с1х/с1(р:=Рр/2л, мм/рад (12)

Волновое передаточное отношение, как отношение скорости распространения бегущей волны в ВРМ к скорости движения рейки,

1в=и„/ир=г+1 (13)

идентично отношению в зубчатых волновых механизмах с гибкой оболочкой при одно-волновых генераторах.

Параметры профиля зуба рейки и траектории относительного движения роликового толкателя схематически изображены на рис. 13. На основании исследований, выполненных И.И.Артоболевским и др., закон перемещения, скорость и

Рис. 13. Профиль зуба рейки и траектория движения толкателя

ускорение толкателя для траектории АД по аналогии с кулачковыми механизмами могут быть записаны соответственно выражениями

где Ьт, 1:п - величина и время полного хода толкателя в одном направлении; к5, ку, ка - безразмерные коэффициенты, зависящие от величины и времени хода толкателя на участках разгона (АВ), линейного движения (ВС) и выбега (СД). Из условия равенства скоростей в точках В и С при безударном синусоидальном законе

У

У=к5Ьг,

у = ;

У = КсЬТ нI.

(14)

изменения ускорения и рассмотрения геометрических соотношений о учетом (11) получены зависимости для расчета высоты опорной части Нк, ширины впадины Б г и шага зубьев Рр.

При динамическом синтезе профиля зуба рейки основными входными параметрами являются: тяговое усилие на рейке, требуемая скорость выходного звена; минимально необходимое значение коэффициента перекрытия. Величина тягового усилия определяет диаметр силового ролика а коэффициент

перекрытия - количество контактных линий п. В качестве основного при геометрическом синтезе принято условие минимизации габаритов механизма. Получено выражение целевой функции (рис. 14)

"(х1+1)2

Р{х) =

х, -2п

и ограничении

X1 тт—X1 —X1 тах

Х2тт^Х2<Х2тах

х^х2>1,5п

[собх, +с, +съ1£к2(с2 — лг2 )]

(15)

(16) (17)

Х^гра*

Рис. 14. Двумерная целевая функция

ки>18х2 -0,50

где

д = 2(С2 -5тх2)(1 + 0,5с3)

(1/г£Х2)(с05Х2 +с,)+с3(с2 -5тх2)'

с1=\|/гИ|/5; с2=1+2\(/а; с3=2/к7.

Здесь х^; Х2=ар; ц/^ щ, - относительные величины верхнего выстоя, радиального зазора и толщины вершины зуба соответственно; кг - отношение ускорений при разгоне и выбеге толкателя; К[_р - параметр относительной величины хода толкателей.

Решение нелинейной многопараметрической

математической модели оптимизационного синтеза (15)-(19) сведено к решению для области изменения двух параметров X] и х2 (см. рис. 14). Оно положено в основу разработанного алгоритма определения оптимальной величины шага зубьев рейки Рр, с учетом допустимой по прочности или жесткости толщины зуба, а также параметров закона движения толкателя.

Пятая глава посвящена разработке научных основ выбора материалов пар трения исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения.

Для каждого типа материала существует некоторая критическая величина плотности дислокаций, выше которой при деформации процесс упрочнения переходит в процесс разрушения.

Анализ литературных данных свидетельствует, что процесс схватывания металлов при трении носит диффузионный характер, определяющийся механизмами пластической деформации, плотностью дислокационно-вакансионных центров и, следовательно, зависит от энергетического состояния поверхности металла.

В данной работе рассмотрена связь между характеристиками схватывания сталей, диффузионных хромированных и хромоалитированных покрытий и их энергетическими параметрами поверхности. Испытания

проводились по схеме торцевого трения пальчикового типа при скорости скольжения 1,5 м/с, нагрузка изменялась ступенчато, момент схватывания оценивался по изменению момента трения при выключенной подаче смазки. В качестве контртела использовалась сталь 45 твердостью НЛС 54 - 56. Энергетические параметры поверхности оценивались по величине работы выхода электрона.

При испытании сталей различного структурного класса (рис. 15) наибольшее сопротивление схватыванию наблюдается у стали Х12М, 38ХМЮА и 18Х2Н4ВА с меньшими значениями от энергетических параметров.

Зависимость между характеристиками схватывания диффузионных металлических покрытий и их поверхностной энергией имеет иной характер (рис. 16): с увеличением поверхностной энергии сопротивление схватыванию возрастает, при этом наибольшим сопротивлением схватыванию обладают хромоалитированные покрытия, имеющие наибольшие значения энергетических параметров.

В интервале значений величины поверхностной энергии 1560 -1580 мДж/м2 (рис. 17), несмотря на то, что стали имеют различные механические свойства и структуру, поверхностная прочность до разрушения примерно одинакова. Левая ветвь кривой соответствует результатам испытаний легированных конструкционных и инструментальных сталей, подвергнутых закалке, правая - результатам испытаний диффузионных хромированных и хромоалитированных покрытий.

Физический смысл полученных зависимостей заключается в следующем. Согласно дислокационно-вакансионной теории предполагается, что склонность к схватыванию в процессе трения во многом определяется пластической деформацией и подвижностью дефектов кристаллической структуры. При трении у сталей в результате фазовых превращений и высокой стойкости деформации поверхностных слоев происходит большая резориентация и размельчение блоков и зерен металла, вследствие чего повышается плотность дислокаций. Однако при достижении высокой плотности дислокаций усиливается их взаимодействие и

0,7

¥ 0,5

Ф.

ч 3

>< .об

То4

/52о то 1560 то

Т.мМж/"*

4,40

4,4?

Рис.15. Изменение нагрузки схватывания от

энергетических параметров поверхности сталей: 1 - 18Х2Н4ВА; 2 - 38ХМЮА; 3 - Х12М; 4 - Д7ХФНШ; 5 - сталь 45; 6 - ЗОХГСНА; 7 - ЗОХГСА

/,о 48 ОА 4*

¡а, 6

ч

& / * г

то то

1ГОО

V 4,6 1,7 4,9 4,9

нДж/ы*

ко.

Рис.16. Изменение нагрузки схватывания от

энергетических параметров поверхности диффузионных металлических покрытий: 1 - 18Х2Н4ВА (хром); 2 - ЗОХГСНА (хром); 3-38ХМЮА (хром); 4-30ХГСА (хром); 5-Х12М (хром); 6 - ЗОХГСНА (хромоалит); 7 - ЗОХГСА (хромоалит); 8- 38ХМЮА (хромоалит)

/>,«н

Поверхностная »мергил мА*/м*

__I ■ Л I I . .1. I . 1. . II I « « 1«

кЛ 4,6 Р5о

Работа бмхода злектрот,

Плотность дислокаций

Рис. 17. Изменение нагрузки схватывания от энергетических параметров поверхности: 1 - легированные стали;

2 - диффузионные хромированные покрытия;

3 - диффузионные хромоалитированные покрытия

происходит закрепление, что, в свою очередь, затрудняет выход на поверхность металла дислокаций и сопутствующих им точечных дефектов, тем самым снижается интенсивность поверхностного разрушения. Если величина барьера мала, то происходит торможение дислокаций и возможно образование трещин вследствие накопления энергии предельной величины.

При трении диффузионных хромированных и хромоалитированных покрытий внешний карбидный слой является барьером для выхода дислокаций, что приводит к стабилизации дислокационных скоплений и субструктуры и к затруднению процессов переползания и возврата, что повышает сопротивление материала схватыванию.

Сравнение количественных показателей характеристик схватывания выявила, что у хромоалитированных покрытий нагрузка схватывания в 1,4 раза выше, чем у цементированной и азотированной стали, и в 1,6 раза выше, чем у хромированных покрытий.

Проведенные исследования позволяют сделать вывод о возможности использования структурно-энергетических параметров - работы выхода электрона и поверхностной энергии -в качестве критерия оценки сопротивляемости сталей схватыванию.

Таким образом, для достижения высоких характеристик схватывания необходимо повышать поверхностную прочность за счет аннигиляции вакансий в кристаллической решетке металла, возникающих в процессе пластической деформации поверхностного слоя при трении; блокирующего действия упрочненного поверхностного слоя, развивающих сдвиговые процессы, обусловленные движением дислокаций из внутренних зон к поверхностным и выходом их на поверхность; легирования твердого раствора карбидами и боридами с целью понижения способности к схватыванию, легирования границ зерен с целью снижения коэффициента диффузии вдоль них, т.е. за счет легирования поверхностных слоев металлов элементами, образующими в поверхностных слоях высокопрочные стабильные соединения (бориды или карбиды).

Основным принципом, который должен быть положен в основу проектирования узлов трения, работающих в вакууме, является обеспечение в заданном диапазоне скоростей и нагрузок режима нормального трения. Это может быть достигнуто путем правильного выбора материалов и смазок. В условиях работы в вакууме важную роль играют состояние и свойства поверхности деталей.

Все применяемые в настоящее время методы упрочнения металлов: деформационное упрочнение, легирование, термическая, термомеханическая, химико-термическая обработка и другие -основаны на втором принципе, т.е. на повышении плотности дефектов.

Во всех случаях создаются условия для торможения дислокаций за счет увеличения их плотности (создание дислокационных барьеров) возрастания сил трения при движении дислокаций вследствие упругого взаимодействия с атомами легированных элементов, за счет образования на дислокациях примесных атмосфер, измельчения блоков, образования дисперсных частиц второй фазы (карбидов, нитридов, различных химических соединений и т.д.).

Диффузионное насыщение поверхности детали металлами изменяет структурно-энергетическое состояние поверхности металла, повышает коррозионную стойкость и износостойкость. Диффузионные слои обладают в 10-20 раз более высокой сплошностью, а диффузионная природа покрытия обуславливает более высокую его адгезионную прочность по сравнению с применяемыми в настоящее время покрытиями.

Ввиду сложности и многофакторности процессов трения и изнашивания, характеризующихся многообразием управляемых, неуправляемых и неконтролируемых факторов, большим числом сложных корреляционных связей между факторами, существенной зависимостью свойств трущихся материалов от воздействия внешней среды и других факторов, целесообразно представлять процессы трения и изнашивания в виде кибернетической модели (рис. 18).

21

4%

х-1 _Ьр У1

Х2 г Процесс трения У2 ■р*

г и изнашивания г

XI г- Уп

г

Рис. 18. Модель процессов трения и изнашивания.

Входы обозначены стрелками: х; - управляемые факторы, которые можно фиксировать на определенных уровнях или

варьировать в процессе эксперимента, Zj - контролируемые факторы, значение которых можно контролировать или поддерживать на определенных уровнях, - неконтролируемые факторы (недоступны для измерений или неизвестны). Выходные параметры процесса уп - функции отклика.

Такое представление процессов трения и изнашивания позволяет на основании экспериментальных данных не только построить математическую модель, но и управлять процессом при недостаточно определенных знаниях происходящих явлений.

Для процесса изнашивания сопряжений, смазываемых пластичными смазочными материалами, предложено оценивать интенсивность изнашивания зависимостью

1ь = Ф(РьР2,Рз,...,Р0, (20)

где - интенсивность изнашивания;

Р, - параметр, влияющий на изнашивание.

Применение метода анализа размерностей и я-теоремы позволило получить критериальное уравнение. В частности, на основании опытов и выбранных диапазонов изменения параметров: р=0,5...1,5 МПа, Г=0,05...0,1 м/с, Я2=(22...36)НаС, Яа=(0,63...2,5) мкм и /¿"-коэффициента взаимного перекрытия сопряжения на основе метода наименьших квадратов и статистического анализа получена зависимость для пластичного смазочного материала:

С Л"0'1

Лг Си Ск

к^п У

\ни

(А ГМ

-0,45

(21)

Величины См и Ск определяют свойства смазочного материала и корреляцию модельных и натурных испытаний, Ск = 0,6 и См - 3,95-10"9, Д =0,008 ... 0,045, к=0,5 ... 0,8. А по Крагельскому И.В. - комплексная характеристика шероховатости.

На основе модели (21) построен алгоритм определения технологических параметров поверхности изготавливаемых подвижных сопряжений и прогнозирования их интенсивности изнашивания.

Теоретически и экспериментально исследованы законо-

мерности влияния технологических параметров поверхность трения (шероховатости, твердости поверхностных слоев) ш триботехнические характеристики пар трения.

Ввиду важности контролируемых факторов, которые не отражены явно в расчетной модели, был проведен ряд; экспериментов для определения количественной оценки их влияния на износостойкость подвижных сопряжений. Былс оценено влияние нагрузки, состава окружающей среды, типов смазочных материалов, размеров фрикционного контакта.

Показано влияние на износ пар трения типа смазочного материала, как технологической среды взаимодействия контактирующих тел (рис. 19).

2,3 ■ КГ10 2,1 ■ 10 10

9- 10"

1 • 10-"

1 1

ЦИАТИМ-201 Ц201М10

1 1 Трение в атмосферных условиях

1 1 Трение в условиях вакуума

Рис. 19. Интенсивность изнашивания стальных

пар трения в условиях атмосферы и вакуума.

В выше описанных исследованиях использовались смазочные материалы: масло индустриальное И-30 и металло-плакирующий смазочный материал на основе ЦИАТИМ-201 с добавлением 10 мас.% порошка меди.

Металлоплакирующие смазочные материалы показали высокую работоспособность в условиях вакуума и бескислородных технологических газовых средах.

Разработанные модели, алгоритмы и базы данных позволили создать алгоритм процесса выбора технологических процессов и их параметров при создании узлов трения с требуемым ресурсом. Этот алгоритм приведен на рис. 20.

'Исходные данные

/ АС / научных \ исследований

САПР

I

КОНЦЕПЦИЯ узлов трения

триботех-нических свойств поверхностного слоя

Концепция 1

Концепция 2

Концепция

Концепция к

Определение параметров качества поверхностного слоя, обеспечивающих

эксплуатационные свойства узла трения

Выбор методов обработки,

расчет параметров _надежности_

Себестоимость изготовления

Режимы технологических процессов

АС поддержки принятия решений

зависимости параметров качества поверхностного слоя от метода обработки

Рис. 20. Структурная схема автоматизированного

выбора режимов технологических процессов

Исходя из набора данных, с привлечением автоматизированных систем научных исследований и поддержки принимаемых решений разрабатываются концепции требуемого узла трения. Каждая концепция с помощью системы автоматизированного проектирования реализуется в виде конкретной конструкции узла трения. С учетом ограничений по эксплуатационным показателям узла трения вычисляется ресурс и производится определение параметров качества поверхностного слоя, по которым назначаются методы и режимы технологической обработки деталей узла трения. Вычисление себестоимости каждого варианта позволяет выбрать оптимальные режимы. Данный алгоритм реализован программно на языке С++ и приведены результаты расчетов.

В заключении сформулированы основные выводы и результаты, полученные в диссертации.

Приложения содержат описание экспериментальных стендов и установок; программы машинного расчета основных геометрических, кинематических, динамических,

эксплуатационных и трибологических параметров исполнительных систем оборудования электронной техники; акты внедрения диссертационной работы на предприятиях Российской Федерации и в учебный процесс ВУЗов.

Основные результаты и выводы по работе:

1. Анализ современных исполнительных систем вакуумного оборудования ЭТ показал, что для повышения их надежности и долговечности необходимо создание надежных и долговечных герметичных исполнительных механизмов поступательного и вращательного движения, обеспечивающих: поток газовыделения из пар трения не более 10"9 м3/Па с"1; скорость перемещения исполнительного органа от 2-10"6 до 1 м с"1; осевую нагрузку от 0,01 Н до 200 Н; точность позиционирования 0,005 мм; наработку на отказ не менее 400 часов и выдержку прогрева до 850°С.

2. Анализ существующих герметичных механизмов поступательного и вращательного движения позволяет сделать

заключение, что для создания высокоточных вакуумных ИС с несколькими степенями подвижности наиболее перспективным является использование волновых герметичных резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач, удовлетворяющих требования по точности перемещения, нагрузочной способности и герметичности с вводом нескольких независимых движений в вакуум. Эти передачи целесообразно применять для формирования слоя конденсата на подложке, равномерность покрытия при этом повышается на 27%.

3. Разработанные математические модели формирования показателей работоспособности таких механизмов и передач позволяют уже на этапе проектирования оценить кинематическую погрешность, люфт, к.п.д. и напряженно-деформированное состояние гибких элементов. Установлено, что наибольшее влияние на величину кинематической погрешности оказывают зазоры в контактных парах и технологические ошибки, а также интенсивность изнашивания сопрягаемых элементов, которая в свою очередь, связана с энергетическими параметрами поверхности трения.

Основным принципом, который должен быть положен в основу проектирования узлов трения, работающих в вакууме, является обеспечение в заданном диапазоне скоростей и нагрузок режима нормального трения. Это достигается правильным выбором материалов, смазок и диффузионным насыщением поверхности трения металлами.

На основе анализа конструкций технологического оборудования, машин и механизмов, предложена классификационная схема типовых узлов трения исполнительных устройств космических аппаратов и технологического оборудования, получены новые экспериментальные результаты количественного влияния технологических параметров поверхностных слоев на величину износа узлов трения. Построены формальные модели процесса изнашивания подвижных сопряжений, работающих с пластичными смазочными материалами.

Выполнена автоматизация процесса построения формальных моделей изнашивания подвижных сопряжений;

разработан и автоматизирован инженерный метод расчета долговечности и надежности узлов трения, в том числе с металлоплакирующими смазками;

созданы базы данных триботехнической информации, физико-механических и триботехнических свойств конструкционных и смазочных материалов, как базовых элементов автоматизированной системы;

построен и программно реализован алгоритм автоматизированного формирования технологических процессов и выбора технологических параметров поверхностей трения с высокой долговечностью и надежностью.

4. По результатам исследования шариковых зубчато-торцевых передач вакуумных исполнительных систем оборудования ЭТ можно констатировать следующее:

- впервые в практике создания шариковых передач с параллельными валами теоретически обосновано применение передач с шариковыми промежуточными телами качения в механизмах привода и преобразования движения вакуумных исполнительных систем оборудования ЭТ;

- на основе комплексной оценки работоспособности шарикового зацепления разработана модель вакуумной шариковой зубчато-торцовой передачи и инженерная методика расчета и проектирования шариковых зубчато-торцевых передач механизмов вакуумных исполнительных систем оборудования ЭТ;

- разработанная методика инженерного расчета ШЗТП, взаимосвязывающая параметры долговечности, прочности и точности передачи, позволяет проектировать механизмы с заданными технико-эксплуатационными показателями при их работе как в вакууме, так и в атмосфере;

- исследования вакуумных параметров шариковой передачи, в том числе и масс-спектрометрирование, показали высокую надежность передачи и перспективность применения в вакуумных исполнительных системах роботов и манипуляторов;

- основными параметрами шариковой передачи, влияющими на качественные показатели зацепления, являются диаметр шариков и радиус их установки на колесе-обойме;

- установлено, что основным критерием работоспособности шариковых зубчато-торцевых передач в механизмах привода и преобразования движения высоковакуумных манипуляторов является износ гнезда колеса-обоймы, который приводит к увеличению динамических нагрузок и снижению кинематической точности;

- разработаны специальные вакуумные шариковые передачи и опытно-промышленные образцы целевых механизмов привода и преобразования движения для оборудования ЭТ. Лабораторные и производственные испытания показали их высокую работоспособность, эксплуатационную надежность и точность.

5. По результатам исследования волновых резьбовых передач можно констатировать следующее:

- создана методика расчета зазоров в зацеплении волновой резьбовой передачи, позволяющая прогнозировать погрешность перемещения исполнительного органа;

- выполнение второй нарезки на гибком элементе позволило улучшить показатели точности исполнительных механизмов на 70%;

- введение пескоструйной обработки гибкого элемента позволяет уменьшить поток газоотделения в 5 раз;

- экспериментальные исследования волновой резьбовой передачи показали, что она имеет высокую работоспособность, к. п. д. 0,75, наработку на отказ более 400 часов, кинематическую погрешность ± 5мкм,

- разработанная научно-обоснованная методика проектирования волновых резьбовых передач позволяет на основе требований вакуумного технологического оборудования рассчитывать конструктивные параметры основных элементов ВРП. Разработан ряд конструкций исполнительных механизмов для предприятий электронной промышленности.

6. По результатам исследования реечных механизмов

можно констатировать следующее:

- разработана базовая модель волнового реечного механизма, для которой установлена связь кинематических, силовых, упругих и инерционных характеристик с ее геометрическими и фрикционными параметрами при обеспечении постоянства контактных лини и выборе зазора в многопарном зацеплении ведущих звеньев с рейкой;

- выведены математические зависимости и разработан алгоритм оптимизационного синтеза геометрических параметров профиля зуба рейки и закона движения толкателя по условию минимизации габаритов ВРМ;

- получены выражения для определения выходного перемещения рейки, коэффициента перекрытия, волнового передаточного отношения, скоростей и ускорений звеньев;

- составлены математические выражения, определяющие силовую нагруженность элементов ВРМ от действия внешнего усилия, приложенного к рейке, при наличии и отсутствии предварительного натяга в зацеплении;

- выведены расчетные зависимости для определения геометрических параметров силового ролика толкателя и коэффициента распределения нагрузки вдоль линии контакта;

- поставлена и решена задача оптимизации размеров толкателя по минимуму коэффициента передачи усилия в механизме;

- составлены расчетные зависимости для определения баланса и потерь мощности в кинематических парах и вычисления среднего значения КПД за цикл движения ВРМ;

- предложенные методы позволили рассчитать и спроектировать для НПО ПМ и некоторых других предприятий конструкцию манипулятора-перегрузчика с волновыми реечными поступательными приводами;

- разработана модель упругой системы приводного элемента и эквивалентной схемы ведущих толкателей ВРМ для оценки статических характеристик динамической системы. Их исследования показали, что в общем балансе системы наибольшей податливостью обладают направляющие

толкателей и приводной вал генератора волн. За счет деформаций упругой системы нагрузки при двухпарном зацеплении распределяются примерно (± 3,5%) поровну между ведущими толкателями;

- экспериментальными исследованиями образцов ВРМ, проведенными на специально разработанных стендах и высокоточном измерительном оборудовании, установлено удовлетворительное соответствие расчетных и экспериментальных характеристик КПД и статической жесткости. Оценка точности ВРМ показала, что основными составляющими погрешности перемещения рейки являются: отклонение фазового положения кулачка, ошибки шагов зубьев рейки и установки роликов толкателей, а также погрешности углов профиля зуба рейки;

- на основании проведенных теоретических и экспериментальных исследований разработана инженерная методика расчета и проектирования приводных модулей поступательного перемещения (ПМПП) на базе ВРМ, позволяющая проектировать ПМПП по заданным технико-эксплуатационным требованиям, включая частично герметизированное общепромышленное исполнение.

7. На основании теоретических и экспериментальных исследований резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач разработаны конструкции исполнительных систем оборудования ЭТ. Новизна предложенных технических решений подтверждена 70 авторскими свидетельствами СССР на изобретения и патентами РФ. Результаты комплекса работ по разработке элементной базы исполнительных систем оборудования ЭТ приняты к промышленному внедрению и внедрены на предприятиях оборонной промышленности, общего и среднего машиностроения, электронной и аэрокосмической техники, АН РФ, а также в учебном процессе в САА, КГТУ и МИЭМ.

Основным результатом диссертационной работы можно считать решение проблемы синтеза и анализа исполнительных систем оборудования ЭТ на основе шариковых зубчато-торцевых, волновых резьбовых и реечных механизмов передач.

Теоретическое обобщение вопросов, связанных с синтезом и анализом исполнительных систем оборудования ЭТ, широкое внедрение технических решений ИС вносит значительный вклад в ускорение научно-технического прогресса Российской Федерации.

Основное содержание и результаты исследований опубликованы в следующих работах:

1. Василенко Н.В., Ковалев Л.К. Механические системы вакуумного технологического оборудования для производства изделий квантовой электроники. 4.1. Вакуумное оборудование, механизмы ввода и формирования движения// Обзоры по электронной технике. Сер. II, Лазерная техника и оптоэлектроника. - М.: ЦНИИ "Электроника", 1983. - Вып. 4. (978). - 63с.

2. Василенко Н.В., Ковалев Л.К. Механические системы вакуумного технологического оборудования для производства изделий квантовой электроники. 4.2. Расчет и конструирование цельнометаллических вводов движения// Обзоры по электронной техники. Сер. II, Лазерная техника и оптоэлектроника. - М.: ЦНИИ "Электроника", 1984. -Выр. 1. (1015). -48с.

3. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для студентов специальности "Электронное машиностроение"/ Н.В. Василенко, Е.И. Ивашов, Л.К. Ковалев и др.; Под ред. профессоров Л.К. Ковалева, Н. В. Василенко: В 2 т. Т.1.- Красноярск: Красноярск, книж. изд. во, Сиб. аэрокосм., акад., 1995. - 256с.

4. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для студентов специальности "Электронное машиностроение"/ Н.В. Василенко, Б.И. Ивашов, Л.К. Ковалев и др.; Под ред. профессоров Л.К. Ковалева, Н.В. Василенко, В 2 т. Т.2. -. Красноярск: Красноярск, книжн. изд-во; Сиб. аэрокосм., акад., 1996. - 416с.

5. Основы робототехники: Учебное пособие/ К.Д. Никитин, В.П. Понамарев, А.Ю. Смолин, Н.В. Василенко. - Красноярск: Изд-во Красноярск, ун-та, 1986. - 208с.

6. Основы робототехники: Учебное пособие для вузов /Н.В. Василенко, К.Д. Никитин, В.П. Понамарев, А.Ю. Смолин. - Томск: МГЦ "РАСКО" при изд-ве "Радио и связь", 1993. - 480с.

7. Механизмы и устройства радиоэлектронной техники: Учебное пособие /Н.В. Василенко, И.Ю. Григорьев, E.H. Ивашов и др. - М.: МГИЭМ, 1994 - 250с.

8. Расчет и конструирование механических систем оборудования аэрокосмической и электронной техники: Учебное пособие для вузов /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, Л.Н. Логинов и др.; Под ред. профессора Н.В. Василенко. - Красноярск: Красноярск, книжн. изд-во; Сиб. аэрокосм., акад., 1997.

9. Конструирование механических систем автоматики: Учебное пособие для вузов /Н.В. Василенко, Н.И. Галибей, Л.Н. Логинов, Г.Г. Назаров. - Красноярск: Красноярск, книжн, изд-во; Сиб. аэрокос. акад., 1997.

10. Механические системы вакуумно-космических роботов и манипуляторов: Учебное пособие для вузов /Н.В. Василенко, И.П. Бернацкий, E.H. Головенкин и др.; Под ред. профессоров Н.В. Василенко, К.Н. Явленского.: В 2 частях. - Томск: МГП "РАСКО" при изд-ве "Радио и связь", 1997.

11. Исследование влияния конструктивно-технологических факторов на газоотделение и упрочнение поверхностных слоев гибких элементов герметичных волновых передач /В.И. Усаков, Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников и др. //Электронная техника. Сер. II, Лазерная техника и оптоэлектроника. - М.:: ЦНИИ /Электроника", 1981, - Вып.З.

12. Василенко Н.В., Лимаренко Г. Н. Исследование некоторых характеристик волнового реечного механизма //Вестник машиностроения. - 1984. - №3. - 28-32с.

13. Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н. Синтез геометрических параметров зацепления реечного механизма с волновым характером взаимодействия звеньев //Известия вузов. Машиностроение. - 1986. - №2. - С. 67-71.

14. Василенко Н.В., Соловьюк В.М. Волновые резьбовые передачи-приводы автоматизированных систем //Управляемые и

автоматические приводы и передачи гибкой связью: Тезисы докл. У1 Всесоюзной НТК. - Одесса, 1980.

15. Василенко Н.В., Сильченко П.Н. Исследование влияния напряженно-деформированного состояния гибкого винта на надежность вакуумной передачи винт-гайка //Повышение долговечности и надежности машин и приборов: Тезисы докл. Всесоюзной НТК.- Куйбышев, 1981.

16. Василенко Н.В., Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники //Автореферат диссертации на соискание ученой ст. канд. техн. наук.-М.:МИЭМ, 1978.-26с. ;

17. Василенко Н.В. Сверхвысоковакуумные манипуляторы на базе волновых передач - В кн. Создание, внедрение и серийное освоение сверхвысоковакуумных устройств, оборудования и технологий для электронной техники - М.: ЦНИИ Электроника, 1983 -72с.

18. Василенко Н.В. О некоторых путях повышения эксплуатационной надежности высоковакуумных волновых вводов манипуляторов // Тезисы докл. Всесоюзной НТК "Повышение эксплуатационных свойств деталей машин и инструментов механической обработкой на предприятиях Сибири и Дальнего Востока" -Иркутск: Иркутский политехнический институт, 1983 - 7с.

19. Василенко Н.В. Создание электромеханических модулей со встроенными волновыми передачами в серийно выпускаемые двигатели - перспективное направление в разработке роботизированных технологических комплексов - В кн. Робототехнические системы в текстильной и легкой промышленности - М.-Л.: ЛИТ и ЛП, 1984.

20. Василенко Н.В., Лимаренко Г. И. Транспортный автоматический манипулятор модульного типа с унифицированными волновыми реечными электроприводами //Робототехнические системы в текстильной и легкой промышленности: Тезисы докл. Всесоюзной НТК. - Л., 1984.

21. Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н., Усаков В.И. Сравнительные исследования манипуляторов на пять и шесть

гепеней подвижности с волновыми вводами // Физика и техника ысокого и сверхвысокого вакуума: Тезисы докл. Всесоюзной [ТК.-Л., 1985.

22. Василенко Н.В. Перспективы и опыт использования олновых и зубчатых, муфтовых и реечных передач в качестве ередаточных механизмов //Тезисы докл. Республиканской МТК Совершенствование методов расчета, конструирования и ехнологии производства спироидных, гипоидных и червячных ередач и редукторов" - Устинов: Устиновский дом НТК, 1986- 5с.

23. Василенко Н. В. Механические передачи с шариковыми ромежуточными телами качения - новый перспективный вид Тезисы докл. Республиканской НТК "Совершенствование [етодов расчета, конструирования и технологии производства пироидных, гипоидных и червячных передач и редукторов" -Устинов: Устиновский дом НТП, 1986 - 5с.

24. Василенко Н. В. Волновые, зубчатые и резьбовые юханизмы в приводах вращательного и поступательного (вижений механических систем промышленных роботов //Тезисы (окл. НТК "Расчет и конструирование волновых зубчатых [ередач" - Свердловск: ДТ НТО, 1986 - 5с.

25. Василенко Н. В. Волновой модуль поступательного щижения на две степени подвижности исполнительных звеньев -Срасноярск: Красноярский межотраслевой ЦНТИ, инф. листок № В-86, 1986 - Зс.

26. Василенко Н. В. Волновой электромеханический ¡ращательный модуль на две степени подвижности юполнительных звеньев - Красноярск: Красноярский межотраслевой ЦНТИ, инф. листок № 44-86, 1986, Зс.

27. Василенко Н.В. Линейный модуль с волновым эезьбовым вводом - Красноярск: Красноярский межотраслевой ДНТИ, инф. листок № 46-86,1986 - Зс., ил.

28. Василенко Н. В. Модульные конструкции роботов на 5азе волновых и зубчато-торцевых передач //Тезисы докл. НТК «Устройства и системы автономных объектов"» Красноярск: Красноярский дом техники НТО, 1987 - Зс.

29. Акустическая эмиссия и износ режущего инструмента /Н. В. Василенко, В. В. Шильдин, Э. А. Петровский и др. //Труды П-го Международного симпозиума по акустической эмиссии. -Фукуоки, Япония, 1992.

30. Методы и средства обеспечения качества деталей на основе управления инструментом /И. В. Василенко, В. В. Летуновский, В. В. Шильдин, Э. А. Петровский //Труды 4-й Международной конференции по неразрушающему контролю. -Бостон, США, 1991.

31. Технические требования и качество контроля покрытий на высокопрочных твердых сплавах /Н. В. Василенко, В. В. Летуновский, В. В. Шильдин и др. // Труды 2-й Международной конференции по неразрушающему контролю трубопроводов. - М.: 1991.

32. Василенко Н. В., Летуновский В. В., Петровский Э. А. Диагностики состояния поверхностных слоев материалов изнашиваемых систем //Неразрушающий контроль и диагностика свойств композитов и изделий из них: Труды Международной конференции. - Рига, 1991.

33. Бульбик Я. И., Василенко Н. В., Козлов А. Г. Новый метод мониторинга отклонений электромагнитных и геометрических параметров слоистых структур //Мониторинг и прогнозирование технического состояния установок и структур: Труды Международной конференции. - Фаэнца, Италия, 1992.

34. Бульбик Я. И., Василенко Н. В., Козлов А. Г. Исследование фрактальных микроструктур алюмоборнитридных горячепрессо ванных электрокерамик //Труды 12-й Всеобщей конференции по физике конденсированного вещества. - Прага, Чехословакия, 1992.

35. Бульбик Я. И., Василенко Н. В., Козлов А. Г. Преобразователи для мониторинга электромагнитных и геометрических параметров слоистых истых структур //Труды 13-й Международной конференции по неразрушающему контролю. -Сан-Паулу, Бразилия, 1992.

36. Преобразователь вихретокового затухания с встроенным вспомогательным емкостным элементом и его применение

Я. И. Бульбик, В. В. Булавкин, Н. В. Василенко, А. Г. Козлов /Труды международного симпозиума по неразрушающему сонтролю и измерениям механических напряжений. - Токио, Япония, 1992.

37. Василенко Н. В. Волновые зубчатые и резьбовые механизмы в приводах вращательного и поступательного движений механических систем промышленных роботов // ;<3убчатые передачи - 95»: Труды международного конгресса. -Болгария, София, 1995.

38. Применение исполнительных устройств на основе I -координат в вакуумном автоматизированном оборудовании /Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, М. В. Курчатова и др. //Сборник яаучных трудов. - Тула: ТулПИ, 1995. - С. 73-79.

39. Василенко Н. В., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. Принцип инвариантности при создании технологии по переработке разнородных материалов с применением вакуума // Тезисы докладов НТК "Вакуумная наука и техника/. - Гурзуф» 1995. - С. 103.

40. The models and algorithms system for CAD of the spacecraft control system through design//14 IFIP Conf. on System Modelling and Optimization, Zurich, 1991/A.Antamoshkin, N.Vasilenko, J.Knjazjkin,N.Smirnov, M.Yolovik.

41. System Aspects in design of complicated control system//lst IF AC Workshop on New Trends in Design of Control Systems, Smolenice,1994/A.Antamoshkin, N.Smirnov, N.Vasilenko, M.Volovik.

42. Василенко H.B., Лебедев B.M., Смирнов H.A. Работоспособность металлических трибосопряжений узлов трения машин: Учебное пособие. - Изд. 2, перераб. и дополн. -Красноярск, CAA, 1996. - 155 с.

43. A.Antamoshkin, I.Kovalev, N.Smirnov, N.Vasilenko. The problem of multicriteria in decision-making Support system//Pr. Of DGOR. Un. Hohenheim, Stuttgard, 1997. - 5 p.

44. Василенко H.B., Смирнов H.A. Построение формальных моделей изнашивания и автоматизация технологической подготовки производства узлов трения машин и оборудования. Ч. 1. Формальные модели и экспериментальные исследования механизма изнашивания конструкционных материалов. -

Красноярск: НИИ СУВПТ, 1998. - 124 с.

45. Василенко Н.В., Смирнов H.A. Построение формальных моделей изнашивания и автоматизация технологической подготовки производства узлов трения машин и оборудования. Ч. 2. Автоматизация технологической подготовки производства узлов трения с высокой износостойкостью. - Красноярск: НИИ СУВПТ, 1998.- 86 с.

46. Василенко Н.В., Ивашов E.H., Ковалев JI.K. и др. Вакуумное модульное оборудование для экологически чистых и ресурсосберегающих технологий: Анализ проблем. Пути решения: Монография. - Красноярск: НИИ СУВПТ; Москва: Московский полиграфический дом, 1999 - 96 с.

47. Василенко Н.В. Исполнительные системы, устройства и узлы оборудования производства электронной и аэрокосмической техники на основе волнового движения: Монография. -Красноярск: НИИ СУВПТ, 1999. - 120 с.

48. Василенко Н.В., Леканов A.B., Усаков В.И. и др. Предварительные оценки на этапе выбора схемных решений при проектировании механизмов приводов. Сборник научных трудов. -Красноярск: НИИ СУВПТ, 1999. - С. 20-29.

По тематике диссертационной работы автором получено 70 авторских свидетельств СССР и Патентов РФ на изобретения.

Глава 1. ПРОБЛЕМЫ ПОСТРОЕНИЯ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА ОСНОВЕ ВОЛНОВОГО ДВИЖЕНИЯ

1.1. Анализ перспектив развития исполнительных систем вакуумного напылительного оборудования

1.2. Внутрикамерные и приводные механизмы исполнительных систем оборудования электронной техники

1.3. Опытно-промышленные образцы оборудования электронной техники

1.4. Структурные схемы исполнительных систем оборудования электронной техники

1.5. Постановка задачи исследований

Глава 2. ПОСТРОЕНИЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ

ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА ОСНОВЕ ШАРИКОВЫХ ЗУБЧАТО-ТОРЦЕВЫХ ПЕРЕДАЧ

2.1. Модель процесса вакуумного осаждения вещества на поверхности подложки

2.2. Шариковые зубчато-торцевые передачи в качестве механизма вращательно-поступательного перемещения

2.3. Анализ работоспособности основных элементов зацепления шариковых зубчато-торцевых передач

2.4. Влияние эксплуатационного износа и технологических погрешностей на кинематическую точность шариковых зубчато-торцевых передач

2.5. Разработка инженерной методики расчета шариковых зубчато-торцевых передач

Выводы по главе

Глава 3. ПОСТРОЕНИЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ

ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА

ОСНОВЕ ВОЛНОВЫХ РЕЗЬБОВЫХ ПЕРЕДАЧ

3.1. Особенности волнового винтового движения в ВРП

3.2. Аналитическое выражение составляющих погрешностей положения ведомого звена ВРП

3.3. Исследование характера распределения зазоров между витками гибкого и жесткого звеньев ВРП

3.4. Анализ влияния усилий в зацеплении на точностные характеристики ВРП

3.5. Исследование радиальной жесткости регулируемых генераторов ВРП

Выводы по главе 3'

Глава 4. ПОСТРОЕНИЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ

ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА

ОСНОВЕ ВОЛНОВЫХ РЕЕЧНЫХ МЕХАНИЗМОВ

4.1. Классификация ВРМ. Выбор базовой схемы и анализ ее особенностей^

4.2. Исследование геометрических и кинематических параметров ВРМ

4.3. Оптимизация параметров ВРМ по тяговой способности и к.п.д.

4.4. Исследование жесткости ВРМ

4.5. Оценка долговечности ВРМ и инерционных параметров динамической системы

Выводы по главе

Глава 5. НАУЧНЫЕ ОСНОВЫ ВЫБОРА МАТЕРИАЛОВ ПАР ТРЕНИЯ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА ОСНОВЕ ВОЛНОВОГО ДВИЖЕНИЯ

5.1. Общие положения

5.2. Принципы подбора материалов для узлов трения, работающих в вакууме

5.3. Механизмы изнашивания и разрушения контактирующих поверхностей

5.4. Пути повышения износостойкости деталей пар трения, работающих в вакууме

5.5. Твердосмазочные покрытия для работы в вакууме

Выводы по главе

Электронная техника - новое и интенсивно развивающееся научное направление, вызванное к жизни повышением эффективности современного производства.

Вакуумные исполнительные системы стали реальностью сегодняшнего дня в современном технологическом производстве. Их широкое использование в электронной технике - задача настоящего и ближайшего будущего, которая не может быть решена с использованием только классических механизмов - зубчатых, червячных, винтовых передач. Элементная база вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники должна удовлетворять следующим требованиям: обладать малым весом и габаритами, возможностью работы в условиях вакуума с перепадом температур от 0°С до + 800°С, а также стойкостью против различного вида излучений. Этим требованиям наиболее полно удовлетворяют исполнительные системы, построенные на волновых резьбовых, волновых реечных механизмах и шариковых передачах. Поэтому синтез и анализ вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волновых резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач, является задачей актуальной и своевременной.

Основной задачей теоретических и экспериментальных исследований явилось создание элементной базы вакуумных исполнительных систем (ИС) на основе волновых резьбовых, реечных и шариковых передач и на их основе ИС с заданными параметрами работоспособности.

Теоретические исследования проводились на основе законов теоретической механики, теории механизмов и машин, теории точности, вакуумной техники и динамики твердого тела с несколькими степенями свободы с использованием аналитических и численных методов решения, на основе положений молекулярно-механической теории трения.

При проведении экспериментальных исследований применялись методики прямых и косвенных измерений методом тензометрии, с последующей обработкой результатов методами теории вероятностей и математической статистики. Теоретические исследования, обработка результатов экспериментов выполнялись с использованием ЭВМ, что позволило повысить точность и эффективность исследований.

Получена математическая модель формирования слоя конденсата в произвольной точке подложки. Разработаны математические модели формирования показателей работоспособности волновых резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач, позволяющие на этапе проектирования оценить кинематическую погрешность, люфт, к.п.д. и напряженно-деформированное состояние элементов, а также интенсивность изнашивания сопрягаемых элементов, которая, в свою очередь, зависит от правильного выбора материалов, смазок и диффузионного насыщения поверхности трения металлами.

На основании теоретических и экспериментальных исследований резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач разработаны конструкции исполнительных систем для оборудования электронной техники. Новизна предложенных технических решений подтверждена 70 авторскими свидетельствами на изобретения и патентами РФ.

Достоверность проведенных теоретических исследований обеспечивается строгим корректным математическим обоснованием предлагаемых подходов и методов, а также экспериментальными исследованиями опытных образцов исполнительных систем оборудования электронной техники.

Результаты исследований и разработок переданы для использования и внедрены в исполнительных системах вакуумных роботов и манипуляторов (НПО ПМ г.Красноярск), в конструкциях манипуляторов перегрузчиков с волновыми реечными поступательными приводами (НИИ ПОЛЮС), с шариковыми зубчато-торцевыми передачами для преобразования движения в вакууме в исполнительных системах карусельного типа, отвечающих требованиям высокой кинематической точности и воспроизводимости перемещений, а также используются в учебном процессе по курсу «Детали машин и основы конструирования» в МИЭМ (г.Москва), в КПИ и CAA (г.Красноярск).

Использование полученных результатов легло в основу ряда разработок автора, внедренных на предприятиях МЭИ, MOM, МОП и АН РФ. Экономический эффект от внедрения результатов работы составил более 1,3 млн. рублей.

Теоретическое обобщение вопросов, связанных с синтезом и анализом вакуумных исполнительных систем для оборудования электронной техники на основе волновых резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач и широкое внедрение технических решений исполнительных систем вносит значительный вклад в ускорение научно-технического прогресса РФ.

На защиту выносится:

1. Четырехуровневый синтез-анализ вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники включающих в себя синтез-анализ собственно систем, исполнительных устройств, узлов и деталей.

2. Математическая модель формирования слоя конденсата на подложке.

3. Математические модели работоспособности волновых, резьбовых механизмов и шариковых передач, позволяющие на этапе проектирования оценить кинематическую погрешность, люфт, к.п.д. и напряженно-деформированное состояние элементов исполнительных систем, устройств и деталей.

4. Результаты теоретических и экспериментальных исследований волновых резьбовых передач, реечных механизмов, шариковых зубчато-торцевых передач.

5. Принцип проектирования узлов трения, работающих в вакууме.

6. Комплекс алгоритмов и программ машинного расчета и методика конструирования исполнительных систем оборудования электронной техники на 6 основе волновых резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач.

7. Использование результатов работы при создании оборудования ЭТ на различных предприятиях Российской Федерации.

По теме доклада опубликовано 13 статей, сделано 27 докладов на Международных, Всесоюзных конференциях и конференциях стран Содружества Независимых Государств, издано 6 учебных пособий и два учебника для специальности «Электронное машиностроение», один из которых удостоен премии Правительства РФ в области науки и техники за 1997 г.

Новизна предложенных технических решений защищена 70 авторскими свидетельствами СССР и патентами РФ.

Диссертационная работа состоит из введения, 5 глав, общих выводов, списка литературы из 211 наименований и приложения, содержащего описание экспериментальных стендов и установок, программного машинного расчета и акты, подтверждающие практическое использование результатов работы.

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Анализ современных исполнительных систем вакуумного оборудования ЭТ показал, что для повышения их надежности и долговечности необходимо создание надежных и долговечных герметичных исполнительных механизмов поступательного и вращательного движения, обеспечивающих: поток газовыделения из пар трения не более 10"9м3/Пас"'; скорость перемещения исполнительного органа от 2-10"6 до1 м с"1; осевую нагрузку от 0,01 Н до 200 Н;точность позиционирования 0,005 мм; наработку на отказ не менее 400 часов и выдержку прогрева до 850°С.

2. Анализ существующих герметичных механизмов поступательного и вращательного движения позволяет сделать заключение, что для создания высокоточных вакуумных ИС с несколькими степенями подвижности наиболее перспективным является использование волновых герметичных резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач, удовлетворяющих требованиям по точности перемещения, нагрузочной способности и герметичности с вводом нескольких независимых движений в вакуум. Эти передачи целесообразно применять для формирования слоя конденсата на подложке.

3. Разработанные математические модели формирования показателей работоспособности таких механизмов и передач, позволяет уже на этапе проектирования оценить кинематическую погрешность, люфт, к.п.д. и напряженно-деформированное состояние гибких элементов. Установлено, что наибольшее влияние на величину кинематической погрешности оказывают зазоры в контактных парах и технологические ошибки, а также интенсивность изнашивания сопрягаемых элементов, которая в свою очередь, связана с энергетическими параметрами поверхности трения.

Основным принципом, который должен быть положен , в основу проектирования узлов трения, работающих в вакууме, является обеспечение в заданном диапазоне скоростей и нагрузок режима нормального трения. Это достигается правильным выбором материалов, смазок и диффузионным насыщением поверхности трения металлами.

На основе анализа конструкций технологического оборудования, машин и механизмов, предложена классификационная схема типовых узлов трения исполнительных устройств космических аппаратов и технологического оборудования, получены новые экспериментальные результаты количественного влияния технологических параметров поверхностных слоев на величину износа узлов трения. Построены формальные модели процесса изнашивания подвижных сопряжений, работающих с пластичными смазочными материалами.

Выполнена автоматизация процесса построения формальных моделей изнашивания подвижных сопряжений.

Разработан и автоматизирован инженерный метод расчета долговечности и надежности узлов трения, в том числе с металлоплакирующими смазочными материалами.

Созданы базы данных триботехнической информации, физико-механических и триботехнических свойств конструкционных и смазочных материалов, как базовых элементов автоматизированной системы, построен и программно реализован алгоритм автоматизированного формирования технологических процессов и выбора технологических параметров поверхностей трения с высокой долговечностью и надежностью.

4. По результатам исследования шариковых зубчато-торцовых передач вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники можно констатировать следующее:

- впервые в практике создания шариковых передач с параллельными валами теоретически обосновано применение передач с шариковыми промежуточными телами качения в механизмах привода и преобразования движения вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники;

- на основе комплексной оценки работоспособности шарикового зацепления разработана модель вакуумной шариковой зубчато-торцовой передачи и инженерная методика расчета и проектирования шариковых зубчато-торцовых передач механизмов вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники;

- разработанная методика инженерного расчета ШЗТП, взаимосвязывающая параметры долговечности, прочности и точности передачи, позволяет проектировать механизмы с заданными технико-эксплуатационными показателями при их работе, как в вакууме, так и в атмосфере;

- исследования вакуумных параметров шариковой передачи- показали высокую надежность передачи и перспективность применения в вакуумных исполнительных системах роботов и манипуляторов;

- основными параметрами шариковой передачи, влияющими на качественные показатели зацепления, являются диаметр шариков и радиус их установки на колесе-обойме;

- установлено, что основным критерием работоспособности шариковых зубчато-торцовых передач в механизмах привода и преобразования движения высоковакуумных манипуляторов является износ колеса-обоймы, который приводит к увеличению динамических нагрузок и снижению кинематической точности;

- разработаны специальные вакуумные шариковые передачи и опытнопромышленные образцы целевых механизмов привода и преобразования движения для оборудования ЭТ. Лабораторные и производственные испытания показали их высокую работоспособность, эксплуатационную надежность и точность.

5. По результатам исследований волновых резьбовых передач можно констатировать следующее:

- создана методика расчета зазоров в зацеплении волновой резьбовой передачи, позволяющая прогнозировать погрешность перемещения исполнительного органа;

- выполнение второй нарезки на гибком элементе позволило улучшить показатели точности исполнительных механизмов на 70%;

- введение пескоструйной обработки гибкого элемента позволяет уменьшить поток газоотделения в 5 раз;

- экспериментальные исследования волновой резьбовой передачи показали, что она имеет высокую работоспособность, к.п.д. 0,75, наработку на отказ более 400 часов, кинематическую погрешность ± 5 мкм;

- разработанная научно-обоснованная методика проектирования волновых резьбовых передач позволяет на основе требований вакуумного технологического оборудования рассчитывать конструктивные параметры основных элементов ВРП. Разработан ряд конструкций исполнительных механизмов для предприятий электронной промышленности.

6. По результатам исследований реечных механизмов можно констатировать следующее:

- разработана базовая модель волнового реечного механизма, для которой установлена связь кинематических, силовых, упругих и инерционных характеристик с ее геометрическими и фрикционными параметрами при обеспечении постоянства контактных линий и выборе зазора в многопарном зацеплении ведущих звеньев с рейкой; выведены математические зависимости и разработан алгоритм оптимизационного синтеза геометрических параметров профиля зуба рейки и закона движения толкателя по условию минимизации габаритов ВРМ;

- получены выражения для определения выходного перемещения рейки, коэффициента перекрытия, волнового передаточного отношения, скоростей и ускорений звеньев; составлены математические выражения, определяющие силовую нагруженность элементов ВРМ от действия внешнего усилия, приложенного к рейке, при наличии и отсутствии предварительного натяга в зацеплении;

- выведены расчетные зависимости для определения геометрических параметров силового ролика толкателя и коэффициента распределения нагрузки вдоль линии контакта;

- поставлена и решена задача оптимизации размеров толкателя по минимуму коэффициента передачи усилия в механизме;

- составлены расчетные зависимости для определения баланса и потерь мощности в кинематических парах и вычисления среднего значения к.п.д. за цикл движения ВРМ;

- предложенные методы позволили рассчитать и спроектировать для предприятия НПО ПМ и некоторых других конструкцию манипулятора перегрузчика с волновыми реечными поступательными приводами;

- разработана модель упругой системы приводного элемента и эквивалентной схемы ведущих толкателей ВРМ для оценки статических характеристик динамической системы. Их исследования показали, что в общем балансе системы наибольшей податливостью обладают направляющие толкателей и приводной вал генератора волн. За счет деформаций упругой системы нагрузки при двухпарном зацеплении распределяются примерно (± 3,5%) поровну между ведущими толкателями;

- экспериментальными исследованиями образцов ВРМ, проведенными на специально разработанных стендах и высокоточном измерительном оборудовании, установлено удовлетворительное соответствие расчетных и экспериментальных характеристик к.п.д. и статической жесткости. Оценка точности ВРМ показала, что основными составляющими погрешности перемещения рейки являются: отклонение фазового положения кулачка, ошибки шагов зубьев рейки и установки роликов толкателей, а также погрешности углов профиля зуба рейки; на основании проведенных теоретических и экспериментальных исследований разработана инженерная методика расчета и проектирования приводных модулей поступательного перемещения (ПМПП) на базе ВРМ, позволяющая проектировать ПМПП по заданным технико-экономическим требованиям, включая частично герметизированное общепромышленное исполнение.

7. На основании теоретических и экспериментальных исследований резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач разработаны конструкции исполнительных систем оборудования ЭТ. Новизна

320 предложенных технических решений подтверждена 69 авторскими свидетельствами СССР на изобретения и патентами РФ. Результаты комплекса работ по разработке элементной базы исполнительных систем ОЭТ приняты к промышленному внедрению и внедрены на предприятиях оборонной промышленности, общего и среднего машиностроения, электронной и аэрокосмической техники, АН РФ, а также в учебном процессе в САА, КГТУ, МГИЭМ и др. вузах.

Основным результатом диссертационной работы можно считать решение проблемы синтеза и анализа исполнительных систем оборудования ЭТ на основе шариковых зубчато-торцевых передач, волновых резьбовых и реечных механизмов.

Теоретическое обобщение вопросов, связанных с синтезом и анализом исполнительных систем оборудования ЭТ, широкое внедрение технических решений ИС вносит значительный вклад в ускорение научно-технического прогресса Российской Федерации.

1. Ковалев J1.K. Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники // Обзоры по электронной технике. Лазерная техника и оптоэлектроника. - М: ЦНИИ Электроника, 1982. - Сер. И.-Вып. 2(886). С. 3-8.

2. Ковалев Л.К. Теоретические основы проектирования, создание и освоение вакуумного напылительного оборудования для производства изделий квантовой электроники. Дисс. докт. техн. наук: 05.27.07. М., 1985. - 546 с. - (ДСП)

3. Парфенов О.Д. Технология микросхем. М.: Высш. шк., 1986. - 320 с.

4. Аналитическое приборостроение /Каталог ЦНИИ Электроника. М.: ЦНИИ Электроника, 1983. - 75 с. - (ДСП).

5. Буркова Л.В., Фролов Г.И. Физические свойства и применение пленок ТЬ-Fe // Препринт № 352Ф, Красноярск, 1985. 96 с.

6. Система производства и анализа эпитаксиальных пленок МВЕ 500. Техническое описание № 253.

7. Денисов А.Г., Кузнецов H.A., Макаренко В.А. Оборудование для молеку-лярно-лучевой эпитаксии //Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование. М.: ЦНИИ Электроника, 1981. - Сер. 7. - Вып. 17 - 52 с. (828).

8. Парфенов О.Д. Технология микросхем. М.: Высш. шк., 1986. - 320 с.

9. Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. Л.: Машиностроение, 1975.-336 с.

10. Ю.Минайчев В.Е. Теоретические основы разработки функциональных устройств и систем и создание комплекта вакуумного оборудования для производства тонкопленочных структур интегральных схем: Дисс. .докт. техн. наук: 05.27.07. М. 1984. - с. 44 - (ДСП).

11. Ашин'ов С.А., Блинов Н.Г., Деулин Е.А. Выбор оптимальной емкости внутрикамерных устройств однопозиционных УВН с учетом надежности их элементов. Электронная техника //. Технология, организация производства и оборудование. 1979. Сер. 7. Вып. 4. -12 с.

12. Лашер Пол, Недле Уолтер, Чай Янг. Использование автоматизированной молекулярно-лучевой эпитаксии для выращивания тонких полупроводниковых слоев //Электроника. М., 1980. - том 53. - № 19 (597). - С. 49-61.о

13. А.С. 274561 ССР, МКИ Г 16. Манипулятор, работающий в герметизированном объеме /К.А. Владимиров, Л.К. Ковалев, М.И. Медников, Б.И. Макаров (СССР). № 1247126/25-27. Опубл. 24.06.1970. Бюл. № 21 //Открытия. Изобретения. - 1970. - № 21 - С. 143.

14. Manipulators and accessories. Riber S.A. (France)., 1976, TechnicalBrochure NR 245E, 6 p.

15. High precision manipulators and accessories/ Varian (USA), 1977, VAC 2372, 777, Section 18,8 p.

16. Блинов Н.Г., Ельчанинов Е.И., Мелехин Ю.Я., Панкратов Л.М. Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок. //Справочные материалы по электронной технике. 1969. - Вып. 1 (17). - 108 с.

17. Александрова А.Т. Новые способы передачи и формирования движения в вакууме. М. -: Высшая школа, 1979. - 69 с.

18. Деулин Е.А., Амосова Э.П., Хруничев Ю.А., Смышляев Н.С. Передачи движения в вакуум //Обзорная информация криогенное и кислородное машиностроение. М.: ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1975. - ХМ-6. - с. 21.

19. Деулин Е.А. Исследование вводов вращения высоковакуумного напыли-тельного оборудования с целью создания унифицированных конструкций. Автореф. дис. . канд.техн.наук. 05.27.07. М., 1971. - 17 с. - (ДСП).

20. Василенко Н.В., Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники. Дисс. .канд. техн. наук: 05.27.07. М., 1978.-220 с.-(ДСП).

21. Малогабаритный вакуумный манипулятор карусельного типа. Отчет

22. КПИ. Рук. Н.В. Василенко. Исполнители Усаков В.И., Лимаренко Г.Н., Морозов А.Н. и др. ГР № 31037980, Инв. № 02.83.0052772. -Красноярск, 1983, 286 с.-(ДСП).

23. Создание волновых передач для манипуляторов, работающих в сверхвысоком вакууме. Отчет /КПИ. Рук. Н.В.Василенко. Исполнители: Усаков В.И., Лимаренко Г.Н., Морозов А.Н. и др. ГР № 79045890, инв. № 53451. -Красноярск, 1982. 278 с. - (ДСП).

24. Создание волновых герметичных вводов возвратно-поступательного движения для установок ЖФЭ. Отчет /КПИ. Рук. Н.В.Василенко. Исполнители: Усаков В.И., Колесников Ю.П., Соловьюк В.М. и др. ГР № 80030722, инв. № 60012. - Красноярск, 1983. - 302 с. - (ДСП).

25. А.С. № 1173099 ССР, МКИ3 Г16Н 1/24. Передача /Н.В. Василенко, А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, Л.К. Ковалев (СССР). № 3689829/ 25-28. Опубл. 15.08.85. Бюл. № 30 // Открытия. Изобретения. - 1985. - № 30. - С. 137.

26. А.С. № 1203292 ССР, МКИ3 Г16Н 1/24. Ввод вращательного движения /Н.В. Василенко, А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, А.Г. Беляев (СССР) № 3764538/25-08. Опубл. 07.01.86. // Бюл. № 1 // Открытия. Изобретения. -1986. -№ 1.-С. 165.

27. Кундель В.Н., Василенко Н.В., Морозов А.Н. Передачи с шариковыми промежуточными телами // Информ. Листок. Красноярск: - ЦНТИ, 1984. - № 262.

28. Василенко Н.В., Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники. Автореф. дис. канд.техн. наук. М., 1978. -с. 20 (ДСП).

29. Ковалев Л.К. Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники // Обзоры по электронной технике. Лазерная техника и оптоэлектроника. М.: ЦНТИ Электроника, 1982. - Сер. II. - Вып. 2 (886).

30. Денисов А.Г., Кузнецов H.A., Макаренко В.А. Оборудование для молеку-лярно-лучевой эпитаксии //Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование. М.: ЦНИИ Электроника, 1981.-Сер. 7.-Вып. 17-52 с. (828).

31. Шаумян Г.А. Комплексная автоматизация производственных процессов. М.: Машиностроение, 1973, 639 с.

32. Волчкевич Л.И., Кузнецов М.М., Усов Б.А. Автоматы и автоматические линии. М.: Высшая школа, 1976, Т. 1-230 с. Т. 2, 336 с.

33. Волчкевич Л.И., Ковалев М.П., Кузнецов М.М. Комплексная автоматизация производства. М.: Машиностроение, 1983, 270 с.

34. Камышный Н.И., Старозубов B.C. Конструкция и наладка токарных автоматов и полуавтоматов. М.: Высшая школа, 1971.

35. Камышный Н.И. Механизмы питания автоматических станков. М.: Маш-гиз, 1951.

36. Деулин Е.А. Исследование вводов вращения высоковакуумного напыли-тельного оборудования с целью создания унифицированных конструкций. Автореф. дис. . канд.техн.наук. 05.27.07. -М., 1971. 17 с. - (ДСП).

37. Методы анализа поверхностей. Под ред. А.Зандерны./ Пер. с англ. под ред. Кораблева В.В., Петрова H.H. М.: Мир, 1979, 327 с.

38. Полашегг Х.Д. Анализ поверхностей тонких пленок основы и результаты. - Köln,: Leubold - Heraus, Werksgruppe Vacuum - Verfahrenstechnik/ Printed in Federal Republic of Germany, p. 45.

39. Система производства и анализа эпитаксиальных пленок МВЕ 500. Техническое описание № 253.

40. Физика поверхностей. Исследования, технология, применение. Paris; Riber, Rueil. Malmaison Sedex. Printed in France Secretariat Paris. P. 48.

41. Cho A.Y. Recent developments in molecular beam epitaxy (MBE) J.Vac.Sci Technol, 1979, v. 16, N 2, pp. 275-284.

42. JIaniep Пол, Недле Уолтер, Чай Янг. Использование автоматизированной молекулярно-лучевой эпитаксии для выращивания тонких полупроводниковых слоев //Электроника. М., 1980. - том 53. - № 19 (597). - С. 49-61.

43. Lusher P.E. Crystal growth by molecular beam epitaxy Solid State Technol, 1977, N 12, pp. 43-52.5 6. Александрова A.T. Оборудование электронного производства. M., "Энергия", 1974, 384.

44. Александрова А.Т. Исследование процессов дестабилизации параметров системы «механизм контролируемая вакуумная среда» и разработка теоретических основ проектирования оптимальных механизмов. - Автореф. дисс. . докт. техн. наук. - М., 1979, с. 46 (ДСП).

45. Александрова А.Т., Ковалев Л.К. Волновой роторный форвакуумный насос. Труды МИЭМ «Электровакуумное машиностроение», вып. 29. М.: МИЭМ, 1973, с. 11-14.

46. Некрасов М.И. Исследование шариковых волновых генераторов с редукцией для волновых вакуумных вводов вращения оборудования электронной техники. Автореф. дисс. . канд. техн. наук. - М., 1973, с. 32 (ДСП).

47. Амосова Э.П. Исследование напряженного, деформированного состояния гибкого колеса и некоторых качественных характеристик волновой зубчатой передачи в герметизированное пространство. Автореф. дисс. . канд. техн. наук. -М., 1971, с. 16.

48. Деулин Е.А., Амосова Э.П., Хруничев Ю.А., Смышляев Н.С. Передачи движения в вакуум //Обзорная информация криогенное и кислородное машиностроение. М.: ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1975. - ХМ-6. - с. 41.

49. Усаков В.И. Разработка и исследование волновых зубчатых передач механизмов ввода и формирования движения в высоком вакууме. Автореф. дисс. . докт. техн. наук. -М., 19819, с. 20 (ДСП).

50. Отчет о научно-исследовательской работе: «Малогабаритный вакуумный манипулятор карусельного типа». Н.В.Василенко, Морозов А.Н. Усаков В.И. и др. Инв. № 02.83.0052772. -Красноярск, 1983, ГР № 81037980, с. 220 (ДСП).

51. Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. Л.: Машиностроение, 1975, с. 249-301.

52. Блинов Н.Г., Ельчанинов Е.И., Мелехин Ю.Я., Панкратов Л.М. Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок. В кн.% «Справочные материалы по электронной технике». - 1969. - Вып. 1 (17). - с. 108.

53. Данилин Б.С., Минайчев В.В. О рациональном использовании средств для высоковакуумных установок осаждения тонких пленок. «Электронная техника», Сер. 3, Микроэлектроника, 1973, вып. 2, с. 76-80.

54. Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. М.: Энергия, 1972, 256 с.

55. Данилин Б.С., Минайчев В.Е. Некоторые вопросы вакуумной техники при напылении тонких пленок. В сб. «Физика металлических пленок». Киев,: «Наукова думка», 1969, вып. 26, с. 77-87.

56. Caswell Hollis L. Physics of TinFilm, Academic Press, New York and London, 1964, v. 1.

57. Roberts R.W. and Pierre L.E. "Science", 1965, v. 147, N 3665, p. 1529-1541.

58. Бушенин Д.В., Деулин E.A., Марусов B.A., Синодеев И.В., Борейко А.И. Сверхвысоковакуумный планетарный резьбовой ввод поступательного движения. М., МВТУ им. Н.Э.Баумана, проспект.

59. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М., Машиностроение, 1974, 184 с.

60. Хруничев Ю.А., Амосова Э.П., Деулин Е.А., Блинов И.Г., Попов E.H., Борейко А.И., Литвин Н.К., Дорошенкова E.H. Вводы вакуумные волновые.

61. М., МВТУ им. Н.Э. Баумана, проспект ВДНХ, 1979.

62. Усольцев М.В. Исследование кинематики и КПД вакуумных волновых муфт для приводов электровакуумного и полупроводникового оборудования. Автореф. дисс. . канд. техн. наук. /МИЭМ)-М., 1974, с. J6 (ДСП).

63. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. Пер. с англ. М.: Мир, 1964, с. 715.

64. Кульбачный О.И. Механизмы для передачи вращения из герметизированного объема и их сравнительный анализ. В сб.: Проектирование зубчатых механизмов. - М.: Всесоюзный заочн. машиностроит. ин-т, 1971, с. 107-132.

65. Рот JI. Вакуумные уплотнения. Пер. с англ. М.: Энергия, 1971, с. 464.

66. Отчет о научно-исследовательской работе: Создание волновых передачдля манипуляторов, работающих в сверхвысоком вакууме. Н.В.Василенко, В.И.Усаков, Г.Н.Лимаренко, Ю.П. Колесников и др. Красноярск, 1982. -№ ГР 79045890. 278 с. - (ДСП).

67. Тарасов Л.В. Лазеры и их применение. М., Радио и связь. 1983, с. 152.

68. Летохов B.C., Устинов Н.Д. Мощные лазеры и их применение. М., Сов. Радио, 1980.

69. Веников Г.В. Оптические вычислительные системы. М., Знание, 1976.

70. Реди Дж. Промышленное применение лазеров. Пер. с англ. М., Мир, 1981.

71. A.C. СССР № 631275, кл. В23Г9/10. Способ обработки изделий с циклоидальным профилем в торцовом сечении. Морозов А.Н. и др. (Б.И. № 31, 1978).

72. Водоватов Ф.Ф., Чельный A.A., Бейко В.П., Либенсон М.Н. Лазеры в технологии. Под ред. М.Ф.Стельмаха. М., Энергия, 1975.

73. Шашков Ю.М. Выращивание монокристаллов методом вытягивания. М., Металлургия, 1982.

74. Kvapil Ji., Perner В., Kvapil Jo. Purity and Doping Possibilities of A1203 and YAG Molten in Mo Crucibles and Crystals Growh from this Melt/ "Cristall undTechnik", 1980, Bd. 15H10, S. 1163-1166.

75. Васецкий Б.Г., Ковалев Jl.К., Пятибоков Л.К. Оборудование для выращивания монокристаллов. -Электронная промышленность. 1977, В. 5 (59), с. 35.

76. Березкина М.М., Ковальский Г.А. Источник ионов сотового типа. Электронная промышленность, 1981, в. 7-8 (103-104), с. 95-97.

77. Березкина М.М., Дмитриев В.В., Ковалев Л.К., Ковальский Г.А., Щербакова С.Н. Растровая ионно-лучевая пушка для очистки поверхности твердых тел ионной бомбардировкой. Электронная промышленность, 19.81, в. 7-8(103-104), с. 100.

78. Tisone Т.С., Cruzan P.D. Low-voltage Triode Sputtering with a confined Plasma. "J.Vac. Sci and Technol", 1975, vol. 12, N3, p. 677.

79. Сони K.K. Установка для выращивания монокристаллов. Патент Японии № 51-47153 от 13.12.1976, №47 105072 от 20.10.1972.100. "Single Cristal Lithium Niobate" "Solid State Technol", 1977, vol. 20, N 8, p. 108.

80. Автоматическое управление процессом выращивания кристалла. Патент Великобритании № 1.465.191, МКИ В01. J 17/18, НКИ G 3N 23.02.1977.

81. Устройство для контроля веса и диаметра выращиваемых кристаллов. Патент США № 3.394.983, МКИ В01 17/20, НКИ 23-273, 27.01.1976.

82. Регель В.Р. Получение профилированных кристаллов и изделий. -Вестник АН СССР, 1977, № 11, с. 49-56.

83. Antonow P.L., Nikonorow S.P. Physical Problems in Crystal Growth by the Stepanov Method. "J.Cryst. Growth", 1980, vol. 50, N 1, pp. 3-7.

84. Novak R. The Production of EFG Sapphire Ribbon for Heteroepitaxial Silicon Substrates. "J.Cryst. Growth", 1980, vol. 50, N 1, pp. 143-150.

85. Крагельский И.В. и др. Трение и износ в вакууме. М.: Машиностроение, 1973, с. 216.•

86. Ванштейн В.Э., Трояновская Г.И. Сухие смазки и самосмазывающиеся материалы. М., Машиностроение, 1968, с. 179.

87. Гарбар И.Н. Исследование износа зубчатых передач в вакууме. Вестник машиностроения, 1979, № 5, с. 20-22.

88. Ю9.Духовской Е.А. и др. Установка ВВТ-1 для исследования процессов трения материалов в вакууме и разряженных газовых средах при температуре до 1000 °С. В сб. Трение и изнашивание при высоких температурах. М., Наука, 1973, с. 5-7.

89. О.Кедрин Л.Ф. Исследование трения металлов в.различных средах. Машиностроение, 1956, № 11.

90. Лебедев В.М., Ашейчик А.А. Влияние газовой среды на трение пар в режиме избирательного переноса. Изв. ВУЗов. Машиностроение, 1980, № 1,с. 23-27.

91. Лозовский В.Н. Схватывание в прецизионных парах трения. В сб. О природе схватывания твердых тел., М., Наука, 1968, с. 96-103.

92. Любарский И.М. и др. О трении в условиях вакуума. ФХММ, 1967, № 3, с. 74-80.

93. Медников М.И., Цукерман Э.М. Исследование пар трения в условиях вакуума и космоса. В сб. Вопросы ракетной техники, 1964, №11.

94. Осипов В.Г., Запарин Ю.Л. Напряженное состояние и пластичность при деформации металлов. М., Наука, 1966, с. 102.

95. Постников В.И., Гарабар И.Н., Логинов В.В. Исследование износа приборных зубчатых передач в вакууме. Изд. ВУЗов. Машиностроение, 1976, № 5, с. 72-75.

96. Работоспособность узлов сухого трения в вакууме при высоких температурах. В сб. Вопросы ракетной техники, 1966, № 4.

97. Семенов А.П, Трение и адгезионное взаимодействие тугоплавких материалов при высоких температурах. М., Машиностроение, 1972, № 160.

98. Сентерюхина Л.Н., Опарина Е.М. Твердые дисульфидированные смазки. М., Химия 1966, с. 165.

99. Haltner A.J. The Application of Ultra High Vacuum Techniques to Studies of Fraction and Wear, XNVST, Pergamon Press, 1964.

100. Ган К.Г., Ивашов E.H., Григорьев И.Ю. О влиянии дозировки пластичной смазки на моменты трения малогабаритных шарикоподшипников. «Подшипниковая промышленность», 1981, № 2.

101. Горюнов В.М. Металлоплакирующие смазки в тяжелонагруженных шарнирах. В кн. Тепловая динамика и моделирование внешнего трения. М., Наука, 1975, с. 102-105.

102. Евдокимов В.Д., Костюк A.A. Применение твердой смазки для уменьшения износа при реверсивном движении. Вестник машиностроения, 1975, №8, с. 40-41.

103. Криулин A.B. Сульфоционирование стали и чугуна. М.-Л.: Машиностроение, 1972.

104. Курилов Г.В., Удовенко В.Ф., Воонцек Н.И., Сентерюхина Л.Н. и др. Работоспособность твердых смазочных покрытий. Вестник машиностроения, 1962, № 12, ч. 25-27.

105. Лебедев В.М., Ашейчик Л.А., Смирнов H.A. Методы повышения долговечности антифрикционных твердосмазочных покрытий. Трение и износ, 1980, т. 1, № 3, с. 543-547.

106. Лобашев В.Н. Способы получения и свойства твердосмазочных покрытий на основе дисульфида молибдена. В сб. Смазочное действие молибдена при воздействии радиации и других факторов. М.: Атомиздат, 1976, с. 14-19.

107. Любарский И.М. и др. Поведение твердых смазочных покрытий на основе дисульфида молибдена при трении в условиях вакуума. Химия и технология топлив и масел, 1961, № 5.

108. Майорова Л.А. Смазочная способность дисульфида молибдена и дисульфида вольфрама при тяжелых режимах трения. В сб. Методы оценки противозадирных и противоизносных свойств смазочных материалов. М.: Наука, 1969, с. 66-71.

109. Макаров Ю.В. Твердосмазочные покрытия на основе синтетического дисульфида молибдена для работы в экстремальных условиях. Вестник Машиностроения, 1981, № 12, с. 33-35.

110. Неустроев Г.И., Айрапетян H.A., Котков Ю.К. Антифрикционные характеристики конструкционных сталей после низкотемпературного цианирования. Труды МАДИ, М., 1969, вып. 174, с. 99-104.

111. ИЗ.Нитакай А. Твердые смазки «Дзюнкацу», 1976. Т. 21, № 2, с. 61-67.

112. Семенов А.П. Создание износостойких и антифрикционных покрытий и слоев на поверхностях трения деталей машин новыми методами. Трение и износ, 1982, т. 3, № 2, с. 343-572.

113. Такаги В. Смазка в глубоком вакууме. «Дзюнкацу», 1972, т. 17, № 5, с. 271-278.

114. Трение, изнашивание и смазка. Справочник в 2-х книгах. Под ред. Кра-гельского И.В. и Алисина B.B. М.: Машиностроение, 1979.

115. Трояновская Г.И. Применение самосмазывающихся материалов при ро-тапринтной смазке. Вестник машиностроения, 1974, № 4, с. 51-54.

116. Медников М.И., Лобачев С.Ю., Ковалев Л.К., Владимиров К.А., Макаров М.И. Кристаллодержатель для сверхвысоковакуумного электронографа.: Приборы и техника эксперимента. № 1 М.: 1974, с. 217-219.

117. Surface Analysis/ The complete approach/ Physical Electronics, JNG. Date sheet 1048, 1, 1977. Printed in U.S.A., p. 30.

118. Position Samples with Micrometet Precision and Repeata Bility High Precision manipulators and accessories VAC 2372 В.: Printed in U.S.A., 7.77., Section 18, p. 8.

119. A.C. СССР № 549334, кл. B25 J 21/00. Устройство для микроманипуляций в закрытой проточной камере. Попов Ю.А., Хохлов A.M. (Б.И. № 2, 1974 г.).

120. A.C. СССР № 274561, кл. В25 J 21/00. Манипулятор, работающий в герметизированном объеме. Владимиров К.А., Ковалев Л.К., Медников М.И., Макаров В.И. (Б.И. № 21, 1970 г.).

121. Василенко Н.В., Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники. Дис.канд.техн.наук. / МИЭМ) М., 1978. -220 с.-ДСП.

122. Деулин Е.А. Исследование вводов вращения высоковакуумного напыли-тельного оборудования с целью создания унифицированных конструкций. Автореф. дис.канд.техн.наук. / МВТУ им. Н.Э.Баумана). М., 1971, 17с., ДСП.

123. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М., Машиностроение, 1974, 184 с.

124. Попов E.H. Исследование сверхвысоковакуумных волновых зубчатых передач и создание стандартной конструкции для автоматизации и механизации вакуумного технологического оборудования. Автореф. дис.канд.техн.наук. /МВТУ им. Н.Э.Баумана)- М., 1978. - 25 с.

125. Усольцев М.В. Исследование кинематики и КПД вакуумных волновых муфт для приводов электровакуумного и полупроводникового оборудования. Автореф. дисс. канд. техн. наук. / МИЭМ)- М., 1974, с. 16 (ДСП).

126. Александрова А.Т. Новые способы передачи и формирования движения в вакууме. М. -: Высшая школа, 1979. - 69 с.

127. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. Пер. с англ. М.: Мир, 1964, с. 715.»

128. Рот J1. Вакуумные уплотнения. Пер. с англ. М.: Энергия, 1971, с. 464.

129. Турышев В.А., Василенко Н.В. Волновые герметичные передачи винт-гайка. Научные основы автоматизации производственных процессов и управления качеством в машиностроении и приборостроении // Тез. докл. (МВТУ им. Н.Э.Баумана). МВТУ, 1979. - С. 53-56.

130. А. С. СССР № 634046 СССР, М. кл 4. Г 16 H 57/00. Волновая герметичная муфта /Н. В. Василенко, В. А. Турышев, В. В. Нестеренко. Опубл. 25.11.78.//Б. И. №43

131. Деулин Е.А., Амосова Э.П., Хруничев Ю.А., Смышляев Н.С. Передачи движения в вакуум // ХМ-6, Криогенное и кислородное машиностроение. -М.: ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1975. -57 с.

132. Марусов В.А. Создание и исследование герметичных механизмов поступательного движения для сверхвысоковакуумного автоматизированного технологического оборудования: Дисс. Канд. Техн. наук / МВТУ им. Н.Э.Баумана). 1981. - 200 с.

133. Вакуумные системы и их элементы С. Фролов, Ф.А. Русак и. др. М.: Машиностроение, 1968. - 189 с.

134. Разберн Ф. Справочник по вакуумной технологии / Пер. с англ.; Под ред. Проф. P.A. Никлондра. М.: Энергия, 1972. - 441 с.

135. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М., Машиностроение, 1974, 122 с.

136. Розанов JI.H. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1982. - 203 с.

137. Данилин Б.С., Минайчев В.Е., Пупко В.А. Сверхвысоковакуумная напы-лительная установка. // Обмен опытом в электронной промышленности.1968.-№ I.e. 12-13.

138. Блинов Н.Г., Ельчанинов Е.И., Краснов В.Г. и др. // Установка для высоковакуумного нанесения металлических пленок УВН-71П 1. Электронная промышленность. - 1972. - № 1.-е. 18-21.

139. Качанов А.И. и др. Элана установка напыления непрерывного действия // Электронная промышленность. - 1974. - № 10.-е. 24-28.

140. Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме. / С.А.Ашиков, И.Г.Блинов, Е.А.Деулин и др. М.: ЦНИИэлектро-ника, 1978.-69 с.

141. Данилин Б.С., Минайчев В.Е. Некоторые вопросы вакуумной техники при напылении тонких пленок. //Физика металлических пленок. Киев,:1969,-с. 77-87.

142. Морозов В.В. Исследование автоматизированных электровакуумных установок выращивания монокристаллов из сплавов для постоянных магнитов с целью повышения их производительности. Дис. канд. техн. наук./ ВПИ). - Владимир, 1979. - 190 с.

143. Гридиев А.И. Исследование и разработка систем автоматического регулирования температуры в установках для выращивания монокристаллов из сплавов для постоянных магнитов. Дис. канд. техн. наук. /НПИ). -Новочеркасск, 1971. - 184 с.

144. Фомин В.М., Шевцов М.А. Электромеханическиое оборудование за рубежом. По материалам второй Международной выставки Электро-77 // Электрометрия, 1977. - Вып. 10 (182). - С. 15.

145. Павлов Б.И. Механизмы приборов и систем управления. JL: Машиностроение, 1972. - 205 с.

146. Ковалев JI.K. Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники. (Сер. II. Лазерная техника и опто-электроника: Обзоры по электронной технике; Вып. 2(886). М. ЦНТИ Электроника, 1982. — С. 3-8.

147. Денисов А.Г., Кузнецов H.A., Макаренко В.А. Оборудование для моле-кулярно-лучевой эпитаксии. М., 1981. - 52 с. (Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование: Обзоры по электронной технике; Вып. 17 (828).

148. Кисельман Л.А., Томашевский А.Г. Элементно-конструктивная база установок электронной и ионной спектроскопии и молекулярно-лучевой эпитаксии // Электронная промышленность. 1978. - № 11. - С. 102.

149. Small M.B. и др. Автоматизированная система для выращивания многослойных структур /GaAl/ методом жидкофазной эпитаксии. Проспект фирмы JBM, Vatson Resorch Centor 1978. - С. 27.

150. A.C. № 1173099 ССР, МКИ3 Г16Н 1/24. Передача /Н.В. Василенко, А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, Л.К. Ковалев (СССР). № 3689829/ 25-28. Опубл. 15.08.85. Бюл. № 30 // Открытия. Изобретения. - 1985. - № 30. - С. 137.

151. Ан И-Кан. Исследование шариковых передач с пересекающимися осями. Дисс. . канд.техн.наук: 05.02.02. Томск, 1973. - 180 с.

152. Бахвалов Н.С. Численные методы. М: Наука, 1975. - 27 с.

153. Беляев А.Е., Турин В.В., Ан И-Кан. Механические передачи с промежуточными телами. Расчет на прочность. М. - Томск: ВНИИМАШ. - 1985. - 99 с.

154. Гафнер С.Л., Добычин H.H. К расчету угла контакта при внутреннем соприкосновении цилиндрических тел, радиусы которых почти равны // Машиноведение. М., 1973. - № 2. - С. 40-44.

155. Гоэр Р. Толщина пленки и сопротивление качению в упруго-гидродинамическом точностном контакте // Труды Американского общества инженеров-механиков. Проблемы трения и смазки. 1971. - № 3. - С. 112-115.

156. Турин В.В. Исследование геометрии, кинематики и работоспособности плоских шариковых передач: Дисс. . канд.техн.наук: 05.02.02. Новосибирск, 1974. - 240 с.

157. Дробушевич Г.А. Программирование на ФОТРАНЕ. М.: БГУ им.1. В.И.Ленина, 1976.-270 с.

158. Дроздов Ю.Н., Рещиков В.Ф. Исследование состояния масляной пленки при относительном качении со скольжением тяжелонагруженных тел // Машиноведение. М.: 1968. - № 4. - С. 43-46.

159. Коднир Д.С. Контактная гидродинамика смазки деталей машин. М.: Машиностроение, 1976. - 304 с.

160. Коровчинский М.В. Местный упругий контакт при «близком» касании сжимаемых тел // Машиностроение. М., 1970. № 2. - С. 71.

161. Коровчинский М.В. Теоретические основы работы подшипников скольжения. М.: Машгиз, 1959. - С. 72.

162. Колчин Н.И. Механика машин. М.-Л.: Машгиз, 1963. - т.2, - С. 141.

163. Литвин Ф.Л. Теория зубчатых зацеплений. М.: Физ.-мат. 1962. - 148 с.

164. А.Н.Морозов. Шариковые зубчато-торцовые передачи для механических систем оборудования электронной техники: Дисс. канд. техн. наук: 05.27.07 М., 1984. - 205 с. - (ДСП).

165. Нежесткин Б.П., Леликов О.Г., Смирнов Н.И. Исследование долговечности зубчатых передач в вакууме //Вестник машиностроения, 1970. № 2. -с. 7-9.

166. Орлов A.B. Оптимизация рабочих поверхностей опор качения. М.: Наука, 1973.- 123 с.

167. Панасюк В.В., Теплый М.И. Определение контактных напряжений при внутреннем соприкосновении цилиндрических тел // Прикладная механика, 1971. т. VII, - Вып. 4. - С. 56.

168. Парфенов О.Д. Технология микросхем. М.: Высш.шк., 1986. - 320 с.

169. Пинегин C.B. Трение качения в машинах и приборах. М.: Машиностроение, 1976.-272 с.

170. Пинегин C.B. Контактная прочность и сопротивление качению. М.: Машиностроение, 1961. - С. 42-55.

171. Тайц Б.А. Точность и контроль зубчатых колес. М.: Машиностроение, 1972.- 187 с.

172. Тимошенко С.П. Теория упругости. М.: Наука, 1976. - С. 105-109.

173. У сов П.П. Определение зоны контакта и контактных напряжений при внутреннем соприкосновении цилиндрических тел // Машиноведение, 1981,-№6.-С. 44.

174. Чернавский С.А. Подшипники скольжения. М.: Машгиз, 1963. - С. 130132.

175. Чжен Г. Численное определение толщины упруго-гидродинамической пленки при эллиптическом контакте // Труды Американского общества инженеров-механиков. Проблемы трения и смазки, 1970. -№ 2. С. 105.

176. Штаерман И.Я. Контактные задачи теории упругости. М.: Машгиз, 1937.-С. 159-176.

177. Archard G.D., Gair F.С. The elasmohydrodynamic Lubrication of rollers. -"Proceedings of the Royal Society", 1961, Ser. A., "Mathematical and Society",1961, vol. 262, N 1306.

178. Conochie J.O., Cameron A. The Measurement of Oil-Film Thicreness in Gear Teeth, "Transactions of Oil-Film the ASME", Ser. D, Journal of Basic Engineering, March, 1960, p. 29-34.

179. Drutowski R.C. Energy Losses of Balls Rolling on plates. Simp. 1959. Gen. Motors Research Lab. Warren, Michigan Trans. ASME. Ser. D., 1959, vol. 81.

180. Heathcote H.L. The Boll bearing in maring; under test and in service. "Prac. Inst. Auto-Engineers". 1921, vol. 15. pp. 569-622.

181. Tabor D. The Mechanist of "Free" Rolling Friction J.Amer.Soc. Lubricat. Engrs. 1956, Nc.

182. Денисов А.Г., Кузнецов H.A., Макаренко В.А. Оборудование для моле-кулярно-лучевой эпитаксии. М., 1981. - 52 с. (Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование: Обзоры по электронной технике; Вып. 17 (828).

183. Создание волновых вводов возвратно-поступательного движения для установок жидкофазной эпитаксии: Отчет о НИР (заключ.) / Краснояр. политехи. ин-т; руководитель Н.В.Василенко. Шифр темы ДМ 120; № ГР 80030722; Инв. № 60012. - Красноярск, 1983. - 250 с.

184. Василенко Н.В., Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники. Дисс.канд.техн.наук. / МИЭМ) М., 1978.-220 с.-(ДСП).

185. Турышев В.А., Елисеев Я.Г., Василенко Н.В. Кинематические характеристики волновой резьбовой передачи // Машиностроение Вып. 9. М., 1975. -№ 9.-С. 89-99.

186. Люкшин А.И. Винтовые механизмы и передачи. М.: Машиностроение, 1982.-223 с.

187. Борисенко Г.А. Определение сопряженного осевого профиля гибкой гайки в волновой резьбовой передаче // Изв. ВУЗов. Сер. Машиностроение. -6.-1971.-С.

188. Басу С.К. Шариковые винтовые пары // Станкоинструментальная промышленность. 1960. - № 3. - С. 66-74.

189. Турпаев А.И. Сравнительный анализ шариковинтовых механизмов // Динамика машин и синтез механизмов. М., 1974. - С. 187-204.

190. Левит Г.А., Борисенко Г.А. Расчет и конструирование передачи винт-гайка качения: Руководящие материалы ЭНИМС. М., 1964. - 81 с.

191. Носатов С.П. Способы устранения люфтов // Резьбовой электромеханический привод. ладимир, 1975.-С. 10-12.

192. Куцоконь В.А., Малошевский С.Г., Тимофеев Б.П. Применение теории вероятностей при проектировании механизмов приборов. Л.: Машиностроение, І971. - 144 с.

193. Марусов В.А. Создание и исследование герметичных механизмов поступательного движения для сверхвысоковакуумного автоматизированного технологического оборудования: Дисс.канд.техн. наук / МВТУ им. Н.Э.Баумана). 1981. - 200 с.

194. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М., Машиностроение, 1974, 184 с.

195. Иосилевич Г.Б. Концентрация напряжений и деформаций машин. М.: Машиностроение, 1981, 223 с.

196. Левина З.М., Решетов Д.М. Контактная жесткость машин. М.: Машиностроение, 1971. - 210 с.

197. Чижов В.Ф. Совместное деформирование растяжимого кольца и цилиндрической оболочки // Изв. Вузов Сер. Машиностроение. 1969. - № 11. -С. 48-56.

198. Короткое В.П. Допуски на резьбовые соединения. Контроль резьбы. Приборостроение и средства автоматики: Справочник.

199. Литвин Ф.Л. Теория зубчатых зацеплений. М.: Наука, 1968. - 584 с.

200. Литвин Ф.Л. Справочник конструктора точного приборостроения. М.: Машиностроение, 1964. - С. 896.

201. Спришевский А.И. Подшипники качения. М.: Машиностроение . 1968. -48 с.

202. Вентцель Е.С. Теория вероятностей. -М.: Наука, 1969. 576 с.

203. Биргер И.А. Прочность, устойчивость, колебания. Справочник, Том 2. М.: Машиностроение, 1968. С. 59.

204. Дунаевский Б.И. Расчет сплошных балок, простых пружин (рессор) переменного поперечного сечения /Вестник машиностроения 1981 - № 4 -с. 36-38.

205. Заявка на изобретение 3982156/25-28 с приоритетом 28.11.85 Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев / Лимаренко Г.Н. Василенко Н.В., Сильченко П.Н., Лепп И.Э. Ковалев Л.К. положительное решение.

206. Зиновьев В.А., Левитский Н.И., Рубцов В.К. Особенности волновой передачи / Сб. трудов ВЗПИ, сер. Волновые передачи и мехацизмы М.: ВЗПИ, 1968 - вып. 47 - с. 11-24.

207. Иванов М.Н. Волновые зубчатые передачи. М.: Высшая школа, 1981 -184 с.

208. Лимаренко Г. Н., Василенко Н.В. Исследование некоторых характеристик волнового реечного механизма // Вестник машиностроения. 1984. -№3. - с. 28-32.

209. Малогабаритный манипулятор карусельного типа: Отчет по НИР /Научн. руководитель Н.В.Василенко. Исполнители: В.И.Усаков, Г.Н.Лимаренко, А.Н.Морозов и др. Гос. Per. № 81037980; Инв. № 02.83.0052772. Красноярск, КрПи, 1983. - 268 с. (ДСП).

210. Мельников Н.В., Сафонов Ю.М. Электропривод роботов / Электропривод и автоматизация промышленных установок (Итоги науки и техники),

211. M.: ВИНИТИ, 1983, т. 8. 80 с.

212. Найманов В .Я. Динамика и вопросы проектирования исполнительных механизмов и промышленных роботов. Автореферат дисс. канд.техн.наук, M. - 1981. - 25 с.

213. Нахапетян Е.Г. Оценка быстроходности механизмов позиционирования манипуляторов и промышленных роботов / Вестник машиностроения. -1976. -№ 2. -с. 51-53.

214. Патент № 2906143 (США), 1959.

215. Саломатин В.Ф. Разработка и исследование передачи червяк-рейка качения для привода подач тяжелых и уникальных станков. Дисс. канд.техн.наук. М.: 1975.

216. Справочник по сопротивлению материалов /С.С. Писаренко, А.П. Яковлев, В.В. Матвеев. -Киев: Наукова Думка, 1975. 405 с.

217. Турышев В.А., Елисеев Я.Г., Василенко Н.В. Кинематические характеристики волновой резьбовой передачи. В кн.: Машиностроение. Красноярск, изд. КПИ, 1975, вып. 9. с. 83-89.

218. Турышев В.А., Соловьюк В.М. Волновая резьбовая передача в приводе штока вентиля. Сб. «Машиностроение», № 9, 1975, Красноярск, КрПИ -с. 105-106.

219. Устройство промышленных роботов / Е.И. Юревич, Б.Г.Аветиков, О.Б. Корытко и др. JL: Машиностроение, 1980. - 333 с.

220. Царенко В.И., Житомирский C.B., Николаев A.A. Автоматический манипулятор мод. УМ 160 Ф2 для металлорежущих станков / Автоматизация производственных процессов 1982. - № 5. - с. 28-30.

221. Цейтлин Н.И., Цукерман Э.М. Волновые передачи / Вопросы ракетной техники, 1965, № 8. с. 42-48.

222. Цейтлин Н.И. Приближенный расчет волновой передачи резьба- кольцевые канавки и расчет резьбы на удельное давление. Сб. «Волновые и цепные передачи». М.: (Мосстанкин), 1967. - с. 160-172.

223. Цейтлин Н.И., Цукерман Э.М. Волновые передачи. Машиностроительные материалы, конструкции и расчет деталей машин. Гидропривод, т. 4 (Итоги науки и техники), М.: ВИНИТИ, 1972. 210 с.

224. Цейтлин Н.И., Борисенко Г.А., Лагутин С.А. Геометро-кинематическое исследование волновой передачи малых подач / Машиноведение 1974. -№5.-с. 11-13.

225. Чернов Л.Б. Основы методологии проектирования машин. М.: Машиностроение, 1978. - 148 с.

226. Чурин И.Н., Соломатин В.Ф. Передача червяк-рейка качения / Металлорежущие станки и автоматические линии. М.: НИИМАШ, 1974. - № 12. -32 с.

227. Чурин И.Н., Соломатин В.Ф. Передача червяк-рейка качения с предварительным натягом / Вестник машиностроения, 1976. с. 32-36. .

228. Чурин И.Н., Герасимов А.Д. Гидростатическая передача червяк-рейка / Станки и инструмент, 1976. № 9. - с. 10-13.

229. Юдин В.А., Петрокас JT.B. Теория механизмов и машин. М.: Высшая школа, 1977. - 527 с.>

230. Янг Д.Ф. Робототехника. Л.: Машиностроение, 1979. - 300 с.

231. Анурьев В.И. Справочник конструктора-машиностроителя: В 3-х т. 5-е изд., перераб. И доп. -М.: Машиностроение, 1979.

232. Аншин С.С., Великович В.Б., Козырев Ю.Г. Общая методика испытаний автоматических манипуляторов // Станки и инструмент 1981. - № 12. С. 2-5.

233. Артоболевский И.И., Левитский Н.И., Черкунов С.А. Синтез плоских механизмов. М.: Физматгиз, 1959. - 1084 с.

234. Артюхов Е.С., Герасимов А.Д. Влияние погрешностей монтажа на нагрузочные характеристики червячно-реечных передач с гидро-статической смазкой // Станки и инструмент, 1978. № 3. - с. 14-15.

235. Артюхов Е.С., Герасимов А.Д., Лимаренко Г.Н. Червячно-реечная передача с гидростатической смазкой в продольном фрезерно-расточном станке с ЧПУ // Станки и инструмент 1979. - № 10. - с. 27-28.

236. Артюхов Е.С., Пикус М.Ю. Применение червячно-реечных передач с гидростатической смазкой в приводах подач продольно-обрабатывающих тяжелых и уникальных станках // Сб. Машиностроение Мн.: Вышейшая школа, 1978. - Вып. 1.-е. 72-75.

237. A.C. 6821 СССР. Тихоходный электродвигатель Москвитин A.A. -Опубл. Бюл. № 4, 1947.

238. A.C. 200384 СССР. Волновая передача / Лифанов Ю.Н., Гельфандбейн Я.А. Опубл. Бюл. № 16, 1967.

239. A.C. 216409 СССР. Устройство для гашения продольных колебаний стола станка портального типа / Лимаренко Г.Н. Опубл. Бюл. № 14, 1968.

240. A.C. 563527 СССР. Гидростатическая червячно-реечная передача / Чурин И.Н., Герасимов А.Д., Лимаренко Г.Н. и др. Опубл. Бюл. № 24, 1977.

241. A.C. 706618 СССР. Червячно-реечная передача с гидростатической смазкой / Артюхов Е.С., Лимаренко Г.Н. и др. Опубл. Бюл. № 48, 1970.

242. A.C. 952576 СССР. Рука манипулятора / Воробьев A.B., Неменатов Г.М. -Опубл. Бюл. №31, 1982.

243. A.C. 1043392 СССР. Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев / Лимаренко Г.Н., Турышев В.А., Сенькин В.И., Василенко Н.В., Артюхов Е.С. Опубл. Бюл. № 35, 1983.

244. A.C. 1106653 СССР. Механизм линейного перемещения / Бабич A.B. и др. Опубл. Бюл. № 10, 1985.

245. Афонин A.A., Бондаренко В.И. Использование механической бегущей волны для транспортирования жидких, твердых и сыпучих материалов / Сб. Электроэнергетика и магнитная гидродинамика Киев.: Техника, 1974.-с.

246. Афонин A.A., Бондаренко В.И. Динамика электромеханических систем бегущей волны / Проблемы технической электродинамики -1975. Вып. 51-с. 106-113.

247. Афонин A.A. Электромагнитный привод линейного и поворотного движения для промышленных роботов и технологических машин автоматов // Техническая электродинамика 1982. - № 3. - с. 7-9.

248. Афонин A.A., Билозор P.P. и др. Промышленный робот с линейным электроприводом / Сб. Роботы и робототехнические системы. Материалы III Всесоюзной конференции, ч. II Челябинск, 1983. - с. 60-61.

249. Байзельман Р.Д., Цыпкин Б.В., Перель Л.Я. Подшипники качения . Справочник. М.: Машиностроение, 1975, - 572 с.

250. Беляев В.Г. Винтовые механизмы качения в станках с ЧПУ и роботах: Учебн. пособие М.: Мосстанкин, 1984. - 62 с.

251. Белов С.Ю. Разработка и исследование электроприводов с пневматическим усилителем для промышленных роботов. Дисс.канд.техн.наук Л., 1980.-239 с.

252. Белянин П.Н. Промышленные роботы М.: Машиностроение, 1975. -400 с.

253. Биргер И.А., Шерр В.Ф., Иосилевич Г.Б. Расчет на прочность деталей машин. Справочник-М.: Машиностроение, 1979. -202 с.

254. Бобров А.Н., Перченок Ю.Г. Автоматизированные фрезерные станки для объемной обработки Л.: Машиностроение, 1979 -231 с.

255. Валы и оси / Серенсен C.B., Громан М.Б., Когаев В.Г., Щнейдерович P.M. М.: Машиностроение, 1970. - 319 с.

256. Василенко Н.В., Соловьюк В.М. Волновые резьбовые передачи-приводы автоматизированных систем //Управляемые и автоматические приводы и передачи гибкой связью: Тезисы докл. VI Всесоюзной НТК. Одесса, 1980.-с. 17-18.

257. Василенко Н.В., Лимаренко Г. И. Транспортный автоматический манипулятор модульного типа с унифицированными волновыми реечными электроприводами //Робототехнические системы в текстильной и легкой промышленности: Тезисы докл. Всесоюзной НТК. Л., 1984.

258. Вейц B.JI., Дендашанский В.К., Чиряев В.И. Вынужденные колебания в металлорежущих станках М.-Л.: Машгиз, 1959 - 288 с.

259. Волков Д.П., Крайнев А.Ф. Волновые зубчатые передачи Киев: Техника, 1976. - 224 с.

260. Волчкевич Л.И. Надежность автоматических линий М.: Машиностроение, 1969. - 309 с.

261. Высокоточный электромеханический модуль линейного перемещения / Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н., Щелок Н.И. // Информационный листок № 14-86. Серия Р 55.29.35 Красноярск: ЦНТИ, 1986. - 3 с.

262. Гельберг Б.Т. и др. Техническое обслуживание и ремонт шариковых винтовых механизмов Л.: ЛДНТП, 1985 - 32 с.

263. Гинсбург Е.Г. Волновые зубчатые передачи Л.: Машиностроение, 1969 - 158 с.

264. ГОСТ 21354-75. Передачи зубчатые цилиндрические эвольвентные. Расчет на прочность М.: Изд. стандартов, 19.

265. Гохберг У.Г., Миклишанский В.З. Расчет и испытания передачи винт-гайка качения / Станки и инструмент 1983. - № 9 - с. 21-24.

266. Груздев C.B., Корытко О.Б., Юревич Е.И. Модульные электромеханические промышленные роботы /Электротехника 1984. - № 4. - с. 4-7.

267. Детали и механизмы металлорежущих станков / Под ред. Д.Н. Решетова: В 2-х т. М.: Машиностроение, 1972. - 528 с.

268. Добролюбов А.И. К теории дискретно-волнового движения /Доклады АН БССР 1980 -№ 1, т. 24. с. 999-1002.

269. Дунаевский Б.И. Расчет сплошных балок, простых пружин (рессор) переменного поперечного сечения /Вестник машиностроения 1981 - № 4 -с. 36-38.

270. Жуков Ю.Н., Смирнов С.Д. Промышленные роботы и трансманипуляторы важное звено создания гибких автоматизированных производств /Электротехника - 1984. - № 4. - с. 2-4.

271. Зиновьев В.А., Левитский Н.И., Рубцов В.К. Особенности волновой передачи / Сб. трудов ВЗПИ, сер. Волновые передачи и механизмы М.: ВЗПИ, 1968 - вып. 47 - с. 11 -24.

272. Иванов М.Н. Волновые зубчатые передачи. -М.: Высшая школа, 1981 -184 с.

273. Исполнительные механизмы приводов подач подвижных узлов металлорежущих станков с ЧПУ: Обзор / Кордыш Л.М. и др. М.: НИИМАШ, 1980.-57 с.

274. Казак С.А. Динамика мостовых кранов М.: Машиностроение, 1968. -332 с.

275. Казанский В.М., Малинин Л.И. Условия рационального сопряжения двигателя и редуктора в электроприводе промышленных роботов. В сб.: Электромеханическое обеспечение автоматических комплексов. - Новосибирск: НЭТИ, 1979 - с. 9-18.

276. Калабин С.Ф. Кинематический и силовой расчет плунжерной передачи. -В сб.: Теория передач в машинах. М.: Машиностроение, 1966 - с. 172180.

277. Калабин С.Ф. Коэффициент перекрытия плунжерной передачи. В сб.: Механические передачи, вып. 7 - Ижевск, ротапринт Ижевского механического института, 1975.

278. Ковалев H.A. Передачи гибкими колесами. М.: Машиностроение. 1979- 200 с.

279. Козырев В.В. Планетарные механизмы преобразования вращательного движения в поступательное / Вестник машиностроения 1983. - № 10. - с. 14-17.

280. Козырев Ю.Г. Промышленные роботы. Справочник. М.6 Машиностроение, 1983. - 376 с.

281. Коренная Л.И. Гидромеханические исследования волнового двигателя. Автореферат дисс.кад.техн.наук. Киев. 1980 - 23 с.311 .Кудрявцев В.Н. Детали машин. Л.: Машиностроение, 1980 - 464 с.

282. Лапин А.П. Передачи с промежуточными звеньями и их классификация.- Сб.: Теория передач в машинах. Труды III совещания по основным проблемам теории машин и механизмов. М.: Машгиз, 1963 - 157-167 с.

283. З.Левин А.И. К методике динамического расчета исполнительных механизмов промышленных роботов. В кн.: Металлорежущие станки и автоматические линии. - М.: НИИМАШ, 1975 - вып. II - с. 15-22.

284. Левина З.М., Бойм А.Г. Исследование роликовых опор для направляющих станков / Станки и инструмент, 1976. - № 10. - с. 20-23.

285. Левина З.М., Решетов Д.М. Контактная жесткость машин. М.: Машиностроение, 1971. - 264 с.

286. Левит Г.А. Расчет передач винт-гайка качения (шариковых) / Станки и инструменты 1963. - № 5 - с. 8-15.

287. Левитский Н.И. Кулачковые механизмы. М.: Машиностроение, 1964. -287 с.

288. Левитский Н.И. Теория механизмов и машин. -М.: Наука, 1979. 576 с.

289. Лещенко В.А. Станки с числовым программным управлением. М.: Машиностроение, 1979. - 592 с.

290. Лимаренко Т.Н., Артюхов Е.С. Разработка, изготовление и исследование гидростатической червячно-реечной передачи для приводов подачи стола тяжелых станков с ЧПУ. Отчет по НИР, № ГР 74005859. Минск, - 1979.

291. Лимаренко Г. Н., Василенко Н.В. Исследование некоторых характеристик волнового реечного механизма // Вестник машиностроения. 1984. -№3. - с. 28-32.

292. Малогабаритный манипулятор карусельного типа: Отчет по НИР / Руководитель Н.В.Василенко. Исполнители: В.И.Усаков, Г.Н.Лимаренко, А.Н.Морозов и др. Гос. Per. № 81037980; Инв. № 02.83.0052772. Красноярск, КрПи, 1983. - 268 с. (ДСП).

293. Марголин JI.В. Планетарная передача винт-гайка качения с резьбовыми роликами / Станки и инструмент, 1970. - № 4. -1. - с. 42-43.

294. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М.: Машиностроение, 1974, 182 с.

295. Металлорежущие станки и автоматы / Под ред. A.C. Проникова. М.: Машиностроение, 1981. -479 с.

296. Механические передачи с шариковыми промежуточными телами. А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, Н.В. Василенко Красноярск: - КрПИ, 1981. -24 с.

297. Мельников Н.В., Сафонов Ю.М. Электропривод роботов / Электропривод и автоматизация промышленных установок (Итоги науки и техники), М.: ВИНИТИ, 1983, т. 8. 80 с.

298. Найманов В.Я. Динамика и вопросы проектирования исполнительных механизмов и промышленных роботов. Автореферат дисс. канд.техн.наук, М. - 1981. - 25 с.

299. Нахапетян Е.Г. Оценка быстроходности механизмов позиционирования манипуляторов и промышленных роботов / Вестник машиностроения. -1976.-№ 2.-с. 51-53.

300. Нахапетян Е.Г. Экспериментальное исследование динамики механизмов промышленных роботов. В кн.: Механика машин. Вып. 53 - М.: Наука, 1978.-с. 110-122.

301. Нюйрингер Хаач. Исследование индукционного компрессора / Прикладная магнитная гидро и газодинамика. Труды VI симпозиума по инженерным проблемам магнитной гидродинамики (пер. с англ.) М.: Наука, 1968 -с. 21-24.

302. Панов A.A. Динамические нагрузки при работе портального манипулятора / Станки и инструмент, 1981. - № 2. - с. 13-14.

303. Панов A.A. Определение точности позиционирования и быстродействия автоматического манипулятора / Станки и инструмент, 1981. - № 5. - с. 3-4.

304. Патент № 2906143 (США), 1959.

305. Пляскин И.И. Оптимизация технических решений в машиностроении. -М.: Машиностроение, 1982. 176 с.

306. Попов H.H. Расчет и проектирование кулачковых механизмов М.: Машиностроение, 1980. - 214 с.

307. Починко Е.Л., Александров А.К., Цыганов Г.М. Очистка поверхностей изделий электронной техники / Обзоры по электронной технике. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. М.: ВНИИ «Электроника», 1982, вып. 12 (884). - 54 с.

308. Промышленная робототехника / A.B. Бабич, И.В. Калабин и др. Под ред. Я.А. Шифрина М.: Машиностроение, 1982. - 415 с.

309. Промышленная робототехника и гибкие автоматизированные производства: Опыт разработки и внедрения. / Под ред. Проф. Е.И. Юревича. Л.: Лениздат, 1984.-223 с.

310. Промышленный робот для сборки «Электротехника», 1984, 79 № 7, 315.

311. Проспект фирмы Ямазаки, Япония.

312. Пуш В.Э., Р. Пичерт, Сосенкин В.Л. Автоматические станочные системы. М.: Машиностроение, 1983. - 319 с.

313. Ратмиров В.А., Чурин И.Н., Шмутер С.Л. Повышение точности и производительности станков с программным управлением. М.: Машиностроение, 1980.-252 с.

314. Редукторы и мотор-редукторы общемашиностроительного применения: Справочник / Л.С. Бойко, А.З. Высоцкий, Э.Н. Галиченко и др. М.: Машиностроение, 1984. - 247 с.

315. Решетов Д.Н. Работоспособность и надежность деталей машин. М.: Высшая школа, 1974. - 206 с.

316. Решетов Д.Н. Детали машин. М.: Машиностроение, 1984. 655 с.

317. Решетов Д.Н. Кулачковые механизмы. М.: Машгиз, 1953. - 408 с.

318. Ротбарит Е.А Кулачковые механизмы. Л.: Судостроениепромгиз , 1960. -508 с.

319. Румянцев A.B. Технология изготовления кулачков. М.: Машиностроение, 1969.-208 с.

320. Саломатин В.Ф. Разработка и исследование передачи червяк-рейка качения для привода подач тяжелых и уникальных станков. Дисс. канд.техн.наук.-М.: 1975.

321. Справочник металлиста т. 1 М.: Машиностроение, 1976. - с. 40.

322. Справочник по сопротивлению материалов /С.С. Писаренко, А.П. Яковлев, В.В. Матвеев. -Киев: Наукова Думка, 1975. 405 с.

323. Тимофеев А.Н. Расчет и конструирование несущих конструкций модулей степеней подвижности промышленных роботов. Учебн. пособие. - Д.: ЛПИ, 1982-80 с.

324. Точность и надежность станков с числовым программным управлением / Под ред. A.C. Проникова. М.: Машиностроение, 1982. - 256 с.

325. Турышев В.А., Елисеев Я.Г., Василенко Н.В. Кинематические характеристики волновой резьбовой передачи. В кн.: Машиностроение. Красноярск, изд. КПП, 1975, вып. 9. - с. 83-89.

326. Турышев В.А., Соловьюк В.М. Волновая резьбовая передача в приводе штока вентиля. Сб. «Машиностроение», № 9, 1975, Красноярск, КрПИ -с. 105-106.

327. Устройство промышленных роботов / Е.И. Юревич, Б.Г.Аветиков, О.Б. Корытко и др. Л.: Машиностроение, 1980. - 333 с.

328. Царенко В.И., Житомирский C.B., Николаев A.A. Автоматический манипулятор мод. УМ 160 Ф2 для металлорежущих станков / Автоматизация производственных процессов 1982. - № 5. - с. 28-30.

329. Цейтлин Н.И., Цукерман Э.М. Волновые передачи / Вопросы ракетной техники, 1965, № 8. с. 42-48.

330. Цейтлин Н.И. Приближенный расчет волновой передачи резьба-кольцевые канавки и расчет резьбы на удельное давление. Сб. «Волновые и цепные передачи». М.: (Мосстанкин), 1967. - с. 160-172.

331. Цейтлин Н.И., Цукерман Э.М. Волновые передачи. Машиностроительные материалы, конструкции и расчет деталей машин. Гидропривод, т. 4 (Итоги науки и техники), М.: ВИНИТИ, 1972. 210 с.

332. Цейтлин Н.И., Борисенко Г.А., Лагутин С.А. Геометро-кинематическое исследование волновой передачи малых подач / Машиноведение 1974. -№5.-с. 11-13.

333. Цукерман Э.М. Выбор геометрических параметров волновой зубчатой передачи / Вестник машиностроения 1964. - № И. - с. 23-28.

334. Чернов Л.Б. Основы методологии проектирования машин. М.: Машиностроение, 1978. - 148 с.

335. Чурин И.Н., Соломатин В.Ф. Передача червяк-рейка качения / Металлорежущие станки и автоматические линии. М.: НИИМАШ, 1974. - № 12. -32 с.

336. Чурин И.Н., Соломатин В.Ф. Передача червяк-рейка качения с предварительным натягом / Вестник машиностроения, 1976. с. 32-36.

337. Чурин И.Н., Герасимов А.Д. Гидростатическая передача червяк-рейка / Станки и инструмент, 1976. № 9. - с. 10-13.

338. Юдин В.А., Петрокас JT.B. Теория механизмов и машин. М.: Высшая школа, 1977.-527 с.

339. Основы робототехники: Учебное пособие / К.Д. Никитин, В.П. Понама-рев, А.Ю. Смолин, Н.В. Василенко. Красноярск: Изд-во Красноярск, унта, 1986. -208с.

340. Основы робототехники: Учебное пособие для вузов /Н.В. Василенко, К.Д. Никитин, В.П. Понамарев, А.Ю. Смолин. Томск: МГЦ "РАСКО" при изд-ве "Радио и связь", 1993. - 480с.

341. Механизмы и устройства радиоэлектронной техники: Учебное пособие /Н.В. Василенко, И.Ю. Григорьев, E.H. Ивашов и др. М.: МГИЭМ, 1994 -250с.

342. Конструирование механических систем автоматики: Учебное пособие для вузов /Н.В. Василенко, Н.И. Галибей, Л.Н. Логинов, Г.Г. Назаров. -Красноярск: Красноярск. Книжн. изд-во; Сиб. аэрокос. акад., 1997.

343. Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н. Исследование некоторых характеристик волнового реечного механизма // Вестник машиностроения. 1984. - №3. -с. 28-32.

344. Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н. Синтез геометрических параметров зацепления реечного механизма с волновым характером взаимодействия звеньев //Известия вузов. Машиностроение. 1986. - №2. - С. 67-71.

345. Василенко Н.В., Сильченко П.Н. Исследование влияния напряженно-деформированного состояния гибкого винта на надежность вакуумной передачи винт-гайка //Повышение долговечности и надежности машин и приборов: Тезисы докл. Всесоюзной НТК .- Куйбышев, 1981.

346. Василенко Н.В., Соловьюк В.М. Волновые резьбовые передачи-приводы автоматизированных систем //Управляемые и автоматические приводы и передачи гибкой связью: Тезисы докл. VI Всесоюзной НТК. Одесса, 1980.

347. Василенко Н.В., Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники. (ДСП) //Автореф. дис.канд.техн. наук. -М.: МИЭМ, 1978. -26 с, ил.

348. Василенко Н.В. Сверхвысоковакуумные манипуляторы на базе волновых передач В кн. Создание, внедрение и серийное освоение сверхвысокова-куумных устройств, оборудования и технологий для электронной техники - М.: ЦНИИ Электроника, 1983 - 72с., ил. (ДСП).

349. Василенко Н.В., Лимаренко Г. И. Транспортный автоматический манипулятор модульного типа с унифицированными волновыми реечными электроприводами //Робототехнические системы в текстильной и легкой промышленности: Тезисы докл. Всесоюзной НТК. Л., 1984.

350. Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н., Усаков В.Н. Сравнительные исследования манипуляторов на пять и шесть степеней подвижности с волновыми вводами // Физика и техника высокого и сверхвысокого вакуума: Тезисы докл. Всесоюзной НТК. Л., 1985.

351. Василенко Н. В. Перспективы и опыт использования волновых и зубчатых, муфтовых и реечных передач в качестве передаточных механизмов

352. Тезисы докл. Республиканской МТК "Совершенствование методов расчета, конструирования и технологии производства спироидных, гипоидных и червячных передач и редукторов" Устинов: Устиновский дом НТК, 1986 - 5с.

353. Василенко Н. В. Волновой модуль поступательного движения на две степени подвижности исполнительных звеньев Красноярск: Красноярский межотраслевой ЦНТИ, инф. листок № 43-86, 1986 - Зс., ил.

354. Василенко Н. В. Волновой электромеханический вращательный модуль на две степени подвижности исполнительных звеньев — Красноярск: Красноярский межотраслевой ЦНТИ, инф. листок № 44-86, 1986, Зс., ил.

355. Василенко Н.В. Линейный модуль с волновым резьбовым вводом -Красноярск: Красноярский межотраслевой ЦНТИ, инф. листок № 46-86, 1986 -Зс.

356. Василенко Н. В. Модульные конструкции роботов на базе волновых и зубчато-торцовых передач //Тезисы докл. НТК «Устройства и системы автономных объектов» Красноярск: Красноярский дом техники НТО, 1987 -Зс.

357. Акустическая эмиссия и износ режущего инструмента /Н. В. Василенко, В. В. Шильдин, Э. А. Петровский и др. //Труды П-го Международного симпозиума по акустической эмиссии. Фукуоки, Япония, 1992.

358. Методы и средства обеспечения качества деталей на основе управления инструментом /И. В. Василенко, В. В. Летуновский, В. В. Шильдин, Э. А. Петровский //Труды 4-й Международной конференции по неразрушаю-щему контролю. Бостон, США, 1991.

359. Технические требования и качество контроля покрытий на высокопрочных твердых сплавах /Н. В. Василенко, В. В. Летуновский, В. В. Шильдин и др. // Труды 2-й Международной конференции по неразрушающему контролю трубопроводов. М.: 1991.

360. Василенко Н. В., Летуновский В. В., Петровский Э. А. Диагностики состояния поверхностных слоев материалов изнашиваемых систем //Неразрушающий контроль и диагностика свойств композитов и изделий из них: Труды Международной конференции. Рига, 1991.

361. Бульбик Я. И., Василенко Н. В., Козлов А. Г. Исследование фрактальных микроструктур алюмоборнитридных горячепрессованных электрокерамик //Труды 12-й Всеобщей конференции по физике конденсированного вещества. Прага, Чехословакия, 1992.

362. Бульбик Я. И., Василенко Н. В., Козлов А. Г. Преобразователи для мониторинга электромагнитных и геометрических параметров слоистых структур //Труды 13-й Международной конференции по неразрушающему контролю. Сан-Паулу, Бразилия, 1992.

363. Василенко Н. В. Волновые зубчатые и резьбовые механизмы в приводах вращательного и поступательного движений механических систем промышленных роботов // «Зубчатые передачи 95»: Труды международного конгресса. - Болгария, София, 1995.

364. Применение исполнительных устройств на основе /-координат в вакуумном автоматизированном оборудовании /Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, М. В. Курчанова и др. //Сборник научный трудов. Тула: ТулПИ, 1995.-С. 73-79.

365. Василенко Н. В., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. Принцип инвариантности при создании технологии по переработке разнородных материалов с применением вакуума // Тезисы докладов НТК "Вакуумная наука и техника/. Гурзуф» 1995. - С. 103.

366. А. С. СССР № 634046 СССР, М. кл 4. Г 16 Н 57/00. Волновая герметичная муфта /Н. В. Василенко, В.А. Турышев, В. В. Нестеренко. Опубл. 25.11.78.//Б. И. №43.

367. I.A. С. СССР № 664263. Электропривод /Н. В. Василенко, А. П. Курилин. Опубл. 25.05.79. //Б. И. № 19.

368. А. С. СССР № 696224. Дисковый кулачок /Н. В. Василенко, В. А. Турышев, Ю. П. Колесников, Я. Г. Елисеев. Опубл. 05.11.79 //Б. И. №41.

369. A.C. СССР № 696226. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи /Н. В. Василенко, В. А. Турышев, Ю. П. Колесников, Я. Г. Елисеев. Опубл. 05.11.79. // Б. И. № 41.

370. A.C. СССР № 727917. Волновая герметичная передача-муфта /Н.В. Василенко, В.А. Турышев, В.В. Нестеренко. Опубл. 15.04.80 //Б.И. № 14.

371. A.C. СССР № 756112. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи /Н.В. Василенко, В.А. Турышев, Я.Г. Елисеев, Ю.П. Колесников. -Опубл. 05.08.80. // Б.И. № 30.

372. A.C. СССР № 737287. Волновая герметичная передача /Н.В. Василенко, В.А. Турышев, В.М. Соловьюк, Н.И. Цейтлин. Опубл. 05.06.80. //Б.И. №21.

373. А. С. СССР № 787753. Волновой линейный привод /Н. В. Василенко, В. А. Турышев, В. М. Соловьюк, Н. И. Цейтлин. Опубл. 15.12.80. // Б. И. № 46.

374. A.C. СССР № 832171. Волновая герметичная передача-муфта /Н.В. Василенко, В.А. Турышев, В.В. Нестеренко. Опубл. 23.05.81. //Б. И. № 19.

375. A.C. СССР, № 843108. Электропривод линейного и вращательного движения /КВ. Василенко, А.П. Курилин. Опубл. 30.06.81. // Б.И. № 24.

376. A.C. 1043392 СССР. Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев / Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н., Турышев В.А. и др. Опубл. 23.09.84. // Б.И. № 35.

377. A.C. СССР № 1083464. Шпаговый манипулятор /Н.В. Василенко,1. A.A. Никитин. 1984.

378. A.C. СССР № 1147883. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, В.К. Прокопенко. Опубл. 30.03.85. //Б.И. № 12.

379. A.C. СССР № 1163074. Волновая передача /Н.В. Василенко,

380. B.А. Турышев, Ю.П. Колесников и др. Опубл. 23.06.85. //Б.И. № 23.

381. A.C. СССР № 1173099. Передача /Н.В. Василенко, А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, Л.К. Ковалев. Опубл. 15.08.85. //Б.И. № 30.

382. А. С. СССР 1244415. Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев /Н.В. Василенко, Г.Н. Лимаренко, Е.С. Артюхов. Опубл. 15.07.86. // Б.И. № 26.

383. A.C. СССР № 1216491. Передача для параллельных валов с шариковыми промежуточными телами /Н.В. Василенко, В.Н. Кундель, А.Н. Морозов. -Опубл. 07.03.86. //Б.И. №9.

384. A.C. СССР № 1216492. Передача для параллельных валов с промежуточными телами /Н.В. Василенко, В.Н. Кундель, А.Н. Морозов, Л.К. Ковалев. Опубл. 07.03.86. //Б.И. № 9.

385. A.C. СССР № 1203292. Ввод вращательного движения /Н.В. Василенко, А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, А.Г. Беляев. Опубл. 07.01.86. // Б.И. № 1.

386. A.C. СССР № 1260626. Кулачковый генератор волновой передачи /Н.В. Василенко, В.И. Усаков, О.В. Носов. Опубл. 30.09.86. //Б. И. № 36.

387. A.C. СССР № 1274922. Манипулятор, работающий в герметизированном объеме /Н.В. Василенко, A.A. Никитин, Л.К. Ковалев. Опубл. 17.12.86. //Б. И. № 45.

388. A.С. СССР № 1298464. Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев /Н.В. Василенко, Г.Н. Лимаренко, П.Н. Сильчен-ко и др. Опубл. 23.03.87. //Б. И. № 11.

389. A.C. СССР № 1352116. Волновая винтовая передача. /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, В.М. Соловьюк, Ю.В. Павлюк, Опубл. 15.11.97. //Б.И. №42.

390. A.C. СССР № 1384868. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, Н.И. Сергиенко и др. Опубл.3003.88.//Б. И. № 12.

391. A.C. СССР № 1578392» Генератор волновой резьбовой передачи /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, И.П. Бернацкий, А.Б. Усов. Опубл. 15.07.90.//Б. И. №26.

392. A.C. СССР № 1615155. Устройство для производства монтажных работ /В.Г. Анопченко, Н.В. Василенко, Г.И. Григоров, О.В. Донченко — Опубл. 23.12.90.//Б. И. №47.

393. A.C. СССР № 1525375. Шариковинтовая передача /Н.В. Василенко, В.В. Гузов, В.В. Гузова, В.Н. Кундель. Опубл. 30.11.89. // Б.И. №

394. A.C. СССР № 1506204. Волновая винтовая передача /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, Г.Н. Лимаренко и др. Опубл. 07.09.89. // Б.И. № 33.

395. A.C. СССР № 1499028. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи. /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, В.М. Соловьюк. Опубл.0709.89. //Б.И. № 29.

396. A.C. СССР № 1675601. Волновая передача /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, В.Н. Кундель и др. Опубл. 07.09.91. //Б.И. № 33.

397. A.C. СССР № 1643924. Способ определения отклонения диаметра отверстия детали от номинального методом обкатывания /Н.В. Василенко, П.А. Свинин, Г.И. Григоров, В.А. Моисеев. Опубл. 23.04.91. //Б. И. № 15.

398. A.C. СССР № 1682693. Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев /Н.В. Василенко, И.Э. Лепп, В.Н. Кундель и др. -Опубл. 07.10.91.//Б.И. №37.

399. A.C. СССР № 1604600. Адаптивный манипулятор /Н.В. Василенко, О.В. Донченко, Г.И. Григоров. Опубл. 07.11.90. //Б.И. №41.

400. A.C. СССР № 1628428. Телескопическая штанга /Н.В. Василенко, О.В. Донченко, Г.И. Григоров. (ДСП).

401. A.C. СССР № 1609046. Устройство для исследования поверхности планет солнечной системы /Н.В. Василенко, О.В. Донченко. (ДСП).

402. A.C. СССР № 1676195. Манипулятор /Н.В. Василенко, О.В. Донченко. -(ДСП).

403. A.C. СССР № 1660433. Запорное устройство магистрали. /Н.В. Василенко, О.В. Донченко, Г.Ф. Фролов. (ДСП).

404. A.C. СССР № 1693841. Способ перемещения объекта в космическом пространстве и устройство для его осуществления /Н.В. Василенко, О.В. Донченко, Г.И. Григоров. (ДСП).

405. A.C. СССР № 1726234. Модуль манипулятора /Н.В. Василенко, О.В. Донченко. (ДСП).

406. A.C. СССР № 1643924. Способ определения отклонения диаметра отверстия детали от номинального методом обкатывания /Н.В. Василенко, П.А. Свинин, Г.И. Григоров, В.А. Моисеев. Опубл. 23.04.91. //Б.И. № 15.

407. A.C. СССР № 1713065. Устройство для прецизионного перемещения -изделий //J1.JI. Андреева, Г.К. Антонова, Н.В. Василенко и др.- Опубл. 15.02.92.//Б. И. №35.

408. A.C. СССР № 1679085. Волновая передача /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев. Опубл. 23.09.91. //Б. И. № 35.

409. A.C. СССР № 1733907. Механизм перемещения /Н.В. Василенко, Е. Н. Ивашов, М. А. Куликов и др. Опубл. 15.05.92 1ГБ. И. № 18.

410. A.C. СССР № 1740826. Волновая герметичная передача /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, C.B. Степанчиков. Опубл. 15.06.92. // Б. И. № 22.

411. A.C. СССР № 1753091. Устройство для гашения колебаний /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 07.08.92 //Б. И. № 29.

412. A.C. СССР № 1765571. Устройство для амортизации /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 30.09.92 //Б.И. №36.

413. A.C. СССР. № 1783195. Волновой зубчатый редуктор /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 23.12.92 //Б.И. № 47.

414. A.C. СССР № 1805245. Волновая герметичная передача/Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 30.03.93 //Б.И. № 12.

415. A.C. СССР № 1810393. Испаритель для вакуумных установок /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев и др.- Опубл. 23.04.93. //Б.И. № 15.

416. A.C. СССР № 1827400. Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме /В.В. Буланкин, Н.В. Василенко, E.H. Ивашов и др. - Опубл. 15.07.93 //Б. И. № 26.

417. Патент РФ № 2000356. Испаритель для вакуумных установок /Л.Л. Андреева, Н.В. Василенко, E.H. Ивашов и др. Опубл. 07.09.93. //Б.И. 33-36.

418. Патент РФ № 2001488. Электрический микродвигатель постоянного тока для работы в экологически чистых средах /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 15.10.93 //Б. И. 37-38.

419. Патент РФ № 2007500. Устройство для нанесения покрытий в вакууме /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 15.02.94.//Б. И. №3.

420. Патент РФ № 2008198. Пространственный механизм / Н.В. Василенко, E.H. Ивашов; С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 28.02.94 //Б.И. №4.

421. A.C. СССР № 1787760. Манипулятор / Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, В.Н. Кундель и др. Опубл. 15.01.93 //Б. И. № 2.

422. A.C. СССР № 1825909. Виброизолирующая подвеска с угловым позиционированием /Н.В. Василенко, Л.Г. Шайморданов. Опубл. 07.07.93 //Б. И. № 25.

423. Патент РФ № 2001133. Способ извлечения благородных металлов из деталей и узлов конструкций электронной промышленности /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, Опубл. 15.10.93 //Б.И. № 37-38.

424. Патент РФ № 2010215. Способ определения состояния поверхности трения /Н.В. Василенко, В.В. Летуновский, O.A. Григорьева, Э.А. Петровский. Опубл. 30.03.94 //Б. И. № 6.

425. Патент РФ № 2011411. Дозатор сыпучих материалов /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, Ю.С. Родионов. Опубл. 30.04.94 //Б.И. № 8.

426. Патент РФ № 2011908. Волновая муфта /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев. Опубл. 30.04.94 //Б. И. № 8.

427. Патент РФ № 2011415. Способ переработки разнородных материалов /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, В.А. Титов. Опубл. 30.04.94 //Б. И. № 8.

428. Патент РФ № 2011078. Зубчатая передача с торцевыми зубьями /Н.В. Василенко, И.П. Бернацкий, В.А. Титов. Опубл. 15.04.94 //Б.И. № 7.

429. Патент РФ № 2011196. Устройство для неразрушающего контроля методом акустической эмиссии /Н.В. Василенко, И.Ю. Кузнецов, A.B. Петрученя и др. Опубл. 15.04.94 //Б. И. № 7.

430. Патент РФ № 2030337. Устройство позиционирования платформы / Н.В. Василенко, Г.Ф. Фролов, О.В. Донченко, В.Н. Кундель. Опубл. 10.03.95 //Б. И. № 7.

431. Патент РФ № 2041850. Устройство для выгрузки сыпучих материалов из бункера /Н. В. Василенко, Ю. П. Колесников, В. Н. Кундель и др. Опубл. 20.08.95//Б. И. №23.

432. Патент РФ № 2028927. Манипулятор /Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, С.М. Оринчев, С. В. Степанчиков. Опубл. 20.02.95 //Б. И. № 5.

433. Патент РФ № 2041288. Устройство для загрузки испарителей в вакуумном напылительном оборудовании /Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, С.М. Оринчев, С. В. Степанчиков. Опубл. 09.08.95 // Б. И. № 22.

434. Патент РФ № 2040342. Способ переработки разнородных материалов /Н.В. Василенко, Е. Н. Ивашов. Опубл. 27.07.95 //Б. И. № 21.

435. Патент РФ № 2044082. Способ извлечения благородных металлов из деталей и узлов конструкций электронной промышленности / Н.В.Василенко, E.H. Ивашов. Опубл. 20.09.95 //Б. И. № 26.

436. Патент РФ № 2086417. Пьезопривод /Н.В. Василенко, И.Ю. Григорьев, E.H. Ивашов, C.B. Степанчиков. Опубл. 10.08.97. //Б. И. № 22.

437. The models and algorithms system for CAD of the spacecraft control system through design//14 IFIP Conf. on System Modelling and Optimization, Zurich, 1991/A. Antamoshkin, N. Vasilenko, J. Knjazjkin, N. Smirnov, M. Volovik.

438. System Aspects in design of complicated control system//lst IF AC Workshop on New Trends in Design of Control Systems, Smolenice,1994/A. Antamoshkin, N.Smirnov, N. Vasilenko, M.Volovik.

439. Василенко H.B., Лебедев B.M., Смирнов H.A. Работоспособность металлических трибосопряжений узлов трения машин: Учебное пособие. Изд. 2, перераб. и дополн. - Красноярск, CAA, 1996. - 155 с.

440. A. Antamoshkin, I.Kovalev, N.Smirnov, N. Vasilenko. The problem of multi-criteria in decision-making Support system //Pr. Of DGOR. Un. Hohenheim, Stuttgard, 1997. 5 p.

441. Шариковые зубчато-торцовые передачи для механических систем оборудования электронной техники: Автореферат дисс. канд. техн. наук (05.02.12) /А.Н. Морозов; научн. руководители А.Е. Беляев, Н.В. Василенко. М„ МВТУ им. Н.Э. Баумана, 1984. 16 с. - (ДСП).

442. Создание и исследование запорной арматуры и герметичного привода штанги захвата с использованием волновой передачи: Отчет по НИР (в 3-хкн.) / КПИ. Научн. руководитель Н.В. Василенко. № ГР 80059986. Красноярск, 1983. - 350 с.

443. Разработка систем шлюзовой загрузки-выгрузки в вакуумно-технологический объем установки: Отчет по НИР (в 3-х кн.) / КПИ. научн. руководитель Н.В. Василенко. Инв. № 02850004737. Красноярск, 1984. -328 с.

444. Создание и исследование высокоскоростного робота-перегрузчика: Отчет по НИР / КПИ. научн. руководитель Н.В. Василенко. № ГР 01850010970. Красноярск, 1985. - 113 с.

445. Разработка и исследование приводов манипуляторов для перемещения напыляемых изделий в вакуумной установке «Мир-1»: Отчет по НИР / КПИ. научн. руководитель Н.В. Василенко. № ГР 018600871331. Красноярск, 1987.-240 с.

446. Создание волновых герметичных вводов возвратно-поступательного движения для установок ЖФЭ: Отчет по НИР / Руководитель Н.В. Василенко. ГР № 80030722, инв. № 02.83.0054051. Красноярск: КрПИ, 1983. -317 с.-(ДСП).

447. Малогабаритный вакуумный манипулятор карусельного типа: Отчет по НИР /Научн. Руководитель Н.В.Василенко. ГР № 81037980, Инв. № 02.83.0052772. -Красноярск, 1983, 268 с. (ДСП).

448. Аксенов А.Ф. Трение и изнашивание металлов в углеводородных жидкостях. -М.: Машиностроение, 1977. 152 с.

449. Ахматов A.C. Молекулярная физика граничного трения. М.: Физмат гиз, 1963.-472 с.

450. Безъязычный В.Ф. Расчет режима обработки, обеспечивающего комплекс параметров поверхностного слоя и точность обработка/Справочник. Инженерный журнал. 1998. - № 9. - С. 13-18.

451. Крагельский И. В., Добычин М. Н., Комбалов В. С. Основы расче-тов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977. 526 с.

452. Костецкий Б.И. Сопротивление изнашиванию деталей машин. М.: Машгиз, 1959.-478 с.

453. Носовский И.Г. Влияние газовой среды на износ металлов. Киев.: Техника, 1968.- 181 с.

454. Капустин Н.М. Разработка технологических процессов обработки деталей на станках с помощью ЭВМ. М.: Машиностроение, 1976. - 228 с.

455. Поверхностная прочность материалов при трении/Б.И.Костецкий, И.Г.Носовский, А.К.Караулов и др. Киев: Техника, 1976. - 296 с.

456. Проников A.C. Надежность машин. М.: Машиностроение, 1978. - 592 с.

457. Подольский Ю.Я., Корепова И.В. Виды процессов заедания при граничной смазке//Методы оценки противоизносных и противозадирных свойств смазочных материалов. М.: Наука, 1969. - С. 35-45.

458. Демкин Н.Б. Контактирование шероховатых поверхностей. М.: Наука, 1970.-228 с.

459. Barkfn P., Tuoshy E.I. A Contact Resistance Theory for Rough Hemispherical silver Contact in Air and in Vacuum. IEFE Traus., on Power, Apparatus and Systems, 1965. - V. PAS-84. - № 12. - P. 1132-1143.

460. Хайнике Г. Трибохимия. M.: Мир, 1987. - 584 с.

461. Kendall К., Tabor D. An Ultrasonic Study of the Area of Contact between Stationary and Sliding Surfaces. Proc. Roy. Soc., 1971. - A33. - P. 321-340.

462. Archard J.F. Friction between metal surfaces//Wear, 1986. V. 113. - № 1. -P. 3-16.

463. Блюмен A.B. К вопросу о кинетике процессов трения и изнашивания и метод

464. Dowson D., Taylor С.М. A Survey of Researchon Tribology and Future Priorities. Wear. - 1985. - V. 106. - P. 347-358.

465. Евдокимов Б.А., Колесников В.И., Тетерин А.И. Планирование и анализ экспериментов при решении задач трения и износа. М.: Наука, 1980. -228 с.

466. Браун Э.Д., Евдокимов Ю.А., Чичинадзе А.В. Моделирование трения и изнашивания в машинах. М.: Машиностроение, 1982.

467. Дроздов Ю.Н., Павлов В.Г., Пучков В.Н. Трение и износ в экстремальных условиях. М.: Машиностроение, 1986. - 223 с.

468. Адлер Ю.П. Введение в планирование эксперимента. М.: Металлургия, 1969,- 159 с.

469. Организация группового производства/С.П.Митрофанов, В.А.Петров, В.А.Титов и др. JL: - Лениздат, 1980. - 288 с.

470. Применение ЭВМ в технологической подготовке серийного производства/С.П.Митрофанов, Ю.А.Гульнов, Д.Д.Куликов и др. М.: Машиностроение, 1981. - 287 с.

471. Планирование физического эксперимента

472. Рыжов Э.В., Суслов А.Г., Федоров В.П. Технологическое обеспечение эксплуатационных свойств деталей машин. М.: Машиностроение, 1979. -176 с.

473. Суслов А.Г. Технологическое обеспечение и повышение качества деталей. Разработка новых методов обработки//Справочник. Инженерный журнал. 1998. - № 9. - С. 9-13.

474. Усаков В.И., Никитин А.В. Обеспечение "тотального" качества на предприятиях группы SKF/ЛЗестник машиностроения.-1995.-№ 2.-С.38-43.

475. Седов Л.И. Методы подобия и размерности в механике. 10-е изд., доп. -М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит, 1987. - 432 с.

476. Налимов В.В. Теория эксперимента. М.: Наука, 1971. - 208 с.

477. Федоров В.В. Теория оптимального эксперимента. М.: Наука, 1971. -312с.