автореферат диссертации по машиностроению и машиноведению, 05.02.13, диссертация на тему:Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния

На правах рукописи

ТЕРЕХИН НИКОЛАЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

СОЗДАНИЕ ЭКОЛОГИЧНЫХ И ВИБРОУСТОЙЧИВЫХ МЕХАНИЧЕСКИХ МОДУЛЕЙ ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

05.02.13 -Машины, агрегаты и процессы (Машиностроение) 05.02.02- Машиноведение, системы приводов и деталимашин

Автореферат

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Красноярск2004

Работа выполнена в Государственном научном учреждении «Научно-исследовательский институт систем управления, волновых процессов и технологий» (НИИ СУВПТ) Министерства образования Российской Федерации и ФГУП «Красмашзавод» г. Красноярск

Научные руководители: доктор технических наук, профессор

Василенко Николай Васильевич

кандидат технических наук, профессор Гупалов Виктор Кириллович

Официальные оппоненты: доктор технических наук, профессор

Каверзин Сергей Викторович,

кандидат технических наук, Дегтерев Александр Степанович

Ведущая организация: ОАО «Корпорация Компомаш», г. Москва.

Защита состоится 24 декабря 2004 года в 1530 часов на заседании диссертационного совета К212.046.01 в НИИ СУВПТ по адресу: 660028, г. Красноярск, ул. Баумана, 20в.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке НИИ СУВПТ

Ваш отзыв (2 экземпляра), заверенный гербовой печатью, просьба направлять по адресу: 660028, г. Красноярск, ул. Баумана 20в, ученому секретарю диссертационного совета Ереско СП.

Автореферат разослан 24 ноября 2004 года.

Ученый секретарь диссертационного совета доктор технических наук, доцент

СП. Ереско

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность работы. Существенное повышение эксплуатационных характеристик ростового оборудования для выращивания монокристаллического кремния достигается за счет рационального решения вопросов нахождения оптимальных соотношений между возрастающими требованиями к производительности оборудования и качеству выпускаемой продукций, которые во многом зависят от используемых в ростовых установках механических модулей. Современная установка для выращивания монокристаллов полупроводников методом Чохральского должна обеспечить: поддержание в камере остаточного давления менее 1,33*10"' Па; отсутствие загрязнений расплава и выращиваемого монокристалла; высокую точность поддержания выбранных скоростей перемещения элементов установки (точность подъема тигля и затравки ± 0,5%; скорость вращения штоков ± 0,5%); отсутствие вибраций; возможность изменения основных параметров процесса.

Возрастают объемы мирового производства

монокристаллического кремния. Поставлены задачи по модернизации технологического оборудования на российских предприятиях-производителях монокристаллического кремния: ФГУП «ГХК» (г.Красноярск), ОАО «Красцветмет» (г.Красноярск), ОАО «ПХМЗ» (г.Подольск), ОАО «ЭЛМА» (г.Зеленоград). Реализация Государственной программы «Кремний России» по выращиванию особо чистого монокристаллического кремния диаметром слитка до 300 мм по своим параметрам соответствующего международным стандартам SEMI и ASTM и конкурентоспособного на мировом рынке требует создания экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния. Поэтому задача, поставленная в диссертации, является своевременной и актуальной.

Цель работы. Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния и внедрение их в производственную практику.

Задачи исследования. Для реализации поставленной цели исследований необходимо выполнить следующий цикл обзорно-аналитических, теоретических, экспериментальных и патентно-лицензионных исследований:

НОС. НАЦИОНАЛЬНАЯ БИБЛИОТЕКА

1. Провести обзорно-аналитические исследования механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

2. Создать научные основы построения волновых модулей для ростового оборудования.

3. Разработать методику оценки погрешности позиционирования ведомого звена волновой зубчатой и резьбовой передач.

4. Разработать модели формирования привносимой дефектности от модулей перемещения в технологическом агрегате ростового оборудования.

5. Рассмотреть рациональные схемы виброзащитных модулей и разработать математическую модель виброзащитного модуля ростового оборудования на шесть степеней свободы.

Методы исследования. В работе использовались теоретические и экспериментальные методы исследования, которые базируются на научных основах теории механизмов и машин, аналитической и дифференциальной геометрии, теории оптимизации конструкций, динамики твердого тела с использованием аналитических и численных методов решения, молекулярно-механической теории трения.

При проведении экспериментальных исследований применялись методики прямых и косвенных измерений методом тензометрии, с последующей обработкой результатов методами теории вероятностей и математической статистики. Теоретические исследования и обработка результатов экспериментов выполнялись с использованием ЭВМ.

Научная новизна.

1. Предложена математическая модель формирования погрешностей в волновых модулях ростового оборудования.

2. Предложены математические модели трения и износа в условиях вибраций и выявлены взаимосвязи трения и износа с газовыделением из узлов трения.

3. Разработаны модели формирования привносимой дефектности от модулей перемещения в технологическом агрегате ростового оборудования.

4. Разработана математическая модель виброзащитного модуля ростового оборудования на шесть степеней подвижности.

5. Созданы научные основы построения экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

Практическая значимость.

1. Разработаны методики оценки точности позиционирования ведомого звена волновой резьбовой и зубчатой передачи.

2. Предложены методики расчета элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический агрегат.

3. Разработана методика определения собственных частот и коэффициентов демпфирования виброзащитных модулей на шесть степеней свободы.

4. Предложены технические решения высокоэкологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

5. Разработана методология проектирования надежных, экологически чистых и виброустойчивых механических модулей ростового оборудования.

Достоверность результатов. Достоверность проведенных теоретических исследований обеспечивается строгим математическим обоснованием предлагаемых методов и подходов, сравнением с теоретическими и экспериментальными данными, известными в литературе и полученными автором, а также государственной патентно-лицензионной экспертизой разработанных технических решений перспективных механических модулей ростового оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

Реализация и внедрение результатов работы. Теоретические и практические результаты работы внедрены на ОАО «КРАСЦВЕТМЕТ» и ФГУП «ГХК» при запуске в эксплуатацию ростовых установок «Кедр». А также используются в учебном процессе Московского государственного института электроники и математики (Технического университета), Сибирского государственного аэрокосмического университета (Сиб ГАУ) при чтении лекций и проведении семинарских занятий по специальности «Электронное машиностроение», в практике системного конструирования для производства материалов и приборов электронной техники в НИИ СУВПТ.

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Математическая модель формирования погрешностей в волновых модулях ростового оборудования.

2. Модель формирования привносимой дефектности от модулей перемещения в технологическом агрегате ростового оборудования.

3. Математическая модель виброзащитного модуля ростового оборудования на шесть степеней подвижности.

4. Научные основы построения экологически чистых и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

5. Методики оценки точности позиционирования механических модулей ростового оборудования.

6. Методика расчета элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический агрегат.

7. Методология проектирования надежных, экологически чистых и виброустойчивых механических модулей ростового оборудования.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались и обсуждались на научно-технических конференциях и семинарах, в том числе на международной конференции «Проблемы обеспечения качества изделий в машиностроении», Красноярск, 1994, на научном семинаре кафедры «Конструирование машин и электронное машиностроение» Сибирской аэрокосмической академии, Красноярск 1999, на научно-техническом семинаре НИИ СУВПТ в 2000, 2002, 2004 гг.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 17 научных работ, поданы две заявки на изобретения.

Объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы из 247 источников и приложения... Общий объем работы составляет 228 стр. машинописного текста, из которых основная часть составляет 212 стр. и приложение .16 стр., куда входит акт внедрения результатов работы.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обосновывается актуальность выбранной темы диссертационной работы, определены цели и задачи работы, сформулирована научная новизна работы, её практическая значимость и основные положения, выносимые на защиту.

В первой главе приводятся обзорно-аналитические исследования в области механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния. Рассмотрены различные кристаллизационные процессы выращивания кремния и их механическое обеспечение, в частности Чохральского.

Современное оборудование для выращивания монокристаллов полупроводников методом Чохральского должно обеспечить:

- поддержание в камере остаточного давления менее 1,33* 10"1 Па для случая проведения процесса выращивания в вакууме;

отсутствие загрязнений расплава и выращиваемого монокристалла;

- стабильность тепловых условий выращивания монокристаллов (колебания температуры на фронте кристаллизации допускаются 0,1-0,2 °С, точность контроля температуры нагревателя ± 0,1 °С);

- высокую точность поддержания выбранных скоростей перемещения деталей установки (точность подъема тигля и заправки ±0,5%, скорости вращения штоков ±0,5%);

- отсутствие вибраций;

- возможность изменения основных параметров процесса.

Рассмотрены основные типы волновых передач механических

модулей ростового оборудования. Проведены сравнительные исследования волновых резьбовых передач модулей оборудования для выращивания монокристаллического кремния. Обзорно-аналитические исследования, выполненные по работам Харченко В.А., Жвирблянский В.Ю., Блинова И.Г., Кожитова Л.В., Гупалова В.К., Вейника А.И., Салли И. В., Фалькевича Э.С., Василенко Н.В., Ковалева Л.К., Глазунова В.А., Крайнева А.Ф., Колискорг А.Ш., Фролова А.С., Русака Ф.А., Александровой А.Т., Деулина Е.А., Панфилова Ю.В., Медникова М.И., Попова Е.Н., Усольцева М.В., Кульбачного О.И., Турышева В.А., Амосовой Э.П., Хруничева Ю.А., Смышляева И.С., Ашинова С.А., Данилина Б.С., Минайчева В.Е., Иванова М.Н., Шувалова С.А., Тараса Ф.С., Борисенко Г.А., Павлова Ю.А., Лазарева А.И., Елисеева А.Г., Цейтлина Н.И., Соловьюка В.М., Сильченко П.Н., Колесникова Ю.П., Усакова В.И., Истомина С.Н., Чижова В.Ф., Борисова С.Г., Цукермана Э.М., Чернова Л.С., Кащеева В.М., Чернова А.П., Шамирян-Пахлеваняна Р.И., Гинзбурга Е.Г., Васильевой И.И., Нашесткина Б.П., Варламовой Л.П., Морина И.С., Смирнов Н.И., Леликова О.П., Вагина Н.С., Бернацкого И.П., Головенкина Е.Н., Явленского К.Н., Ивашова Е.Н., Некрасова М.И., Степанчикова СВ., и др. определили задачи дальнейших исследований и наметили пути решения поставленных задач.

Во второй главе выполнены аналитические исследования волновых модулей ростового оборудования и выращивания монокристаллического кремния. Проведен выбор геометрических параметров зацепления, предложена методика расчета волнового зубчатого зацеплений.

Кинематическая ошибка передачи при нереверсивной работе зубьев равна сумме приведенных к ведомому валу кинематических погрешностей зубчатых колес:

где Д.^. - кинематическая погрешности

■ ого колеса;

- передаточное число между валиками/ и;

- вероятностный коэффициент.

Для одноступенчатой волновой зубчатой передачи кинематическая погрешность определяется по формуле:

где д^« - погрешность поворота ведущего валика волновой зубчатой передачи;

- фактическое передаточное число волновой зубчатой передачи.

где А<р",А<рг - погрешности поворота ведущего валика волновой зубчатой передачи, учитывающие неточности изготовления зубьев жесткого и гибкого колес.

Здесь dx, dr • - диаметры делительных окружностей жесткого и гибкого колес, мм;

V- число волн генератора;

F;pK¡ Fpf - амплитудное значение допуска на накопленную погрешность шага жесткого и гибкого колес.

F — F

ГДЖ-РЦГ—^

где, [рк> fjr - амплитудное значение нормы плавности работы жесткого и гибкого волновой передачи, мкм;

U- среднее передаточное число волновой передачи; zr - при неподвижном жестком колесе;

и=-

¿Ж

-

при неподвижном гибком колесе.

При разработке ВРП, отвечающих заданным требованиям технологического оборудования по кинематической точности, необходимо аналитическое исследование конструкций ВРП, заключающееся в определении максимального значения ожидаемой кинематической погрешности. Для анализа отклонений размера, отклонений расположения поверхностей и профиля, отклонения формы

и шероховатости можно задаться совокупностью гармонических составляющих, определяемых совокупностью отклонений с различными частотами.

Для аналитического изображения действительного расположения поверхностей, отклонений формы, шероховатости и профиля контура сечения поверхности, используем закон распределения линейной функции независимых случайных аргументов. Представим общую погрешность как результат сложения независимых случайных векторов:

где А, -постоянныйкоэффициент;

Л,- - вектор случайной величины осевой погрешности ВРП; Ир - ошибки деталей ВРП, которые совершают вращательное движение.

Гистограмма составляющих погрешностей ВРП представлена на рис.1, где

Ж - вектор случайной величины, зависящий от осевого зазора в зацеплении ВРП;

Я.2 - вектор случайной величины, зависящий от контактных обмятой шероховатости поверхности гибкого и жесткого элементов; Я3 - вектор случайной величины осевой погрешности перемещения жесткого элемента, зависящий от податливости системы «гибкое звено-генератор волн»;

Я.4 - вектор случайной величины осевой погрешности перемещения жесткого элемента, зависящий от радиальной податливости жесткого элемента;

Ж - вектор случайной величины осевой погрешности перемещения ВРП, зависящий от осевой нагрузки;

Я6 - вектор случайной величины осевой погрешности ведомого звена ВРП, зависящий от технологических ошибок и сборки.

Определены значения общих погрешностей для различных конструкций ВРП.

67

6,0

4,0 2,0.

1,0

^ Ъ И»

Рис. 1 Гистограмма составляющих погрешностей ВРП

В третьей главе рассмотрены модели формирования

привносимой дефектности от модулей перемещения в технологическом объеме ростового оборудования, показана схема формирования энергетического потока в зоне трения модулей перемещения ростового оборудования.

На базе моделей сухого трения в вакууме - механической, адгезионной и адгезионно-механической определены теоретические значения коэффициентов терния, которые впоследствии использовались при разработке моделей износа в условиях вибраций. Рассмотрено две модели изнашивании материалов: усталостная и адгезионно-усталостная. Предложена схема расчета элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический агрегат ростового оборудования.

Радиус фрикционного пятна контакта, при упругом контакте определяется по формуле:

где р - удельное давление в контакте, Н/мм2;

Д Птах - параметры шероховатости, мм, определяются в соответствии с таблицей 1, приложения;

Е1, Е2 - модули упругости контактирующих материалов, Н/мм2, определяются в соответствии с таблицей 2 приложения.

Величина контактных напряжений которые не должны

превышать допускаемых аНР (см. табл.2 приложения) определяется по формуле:

а2

Примечание: Если условие не выполняется, то радиус фрикционного пятна контакта Ъ определяется из условия пластического контакта взаимодействия.

Радиус фрикционного пятна контакта, при пластическом контактном взаимодействии, определяется по формуле:

».ЕЬ^ЕЩ«;

1 Нц

где Н/1 - микротвердость (см. табл. 2 приложения)

Примечание: При контактном взаимодействии двух различных материалов в расчет принимается меньшая микротвердость.

Средняя линейная интенсивность изнашивания определяется по формуле:

где/ - коэффициент трения, определяется в соответствии с СТП МИЭМ 25-85 «Коэффициенты трения металлов, твердых смазочных покрытий и антифрикционных материалов в атмосфере и вакууме».

Средний объем изношенной частицы определяется по формуле:

, Ь-ЛГё 1

з

Среднее количество частиц износа, выделяемое из узла трения механизма в единицу времени определяется по формуле: ¿г-Л •»„•5. 1/

т V С.

где скорость скольжения во фрикционном контакте, мм/с;

5, - номинальная площадь поверхности трения, мм .

Л л_______

N.

2ь . е количество частиц износа определяется по формуле:

т '/с

где Ьк- контурный путь трения, мм.

Максимальный объем изношенной частицы определяется по формуле:

4 I "" 24

Максимальный размер изношенной частицы определяется по

формуле:

При расчете количества частиц износа необходимо знать численное значение удельного давления в контакте скорости скольжения номинальной площади поверхности трения

контурного пути трения для конкретных узлов трения

внутрикамерных механизмов ростового оборудования.

Установка для вакуумных испытаний элементов приводов представлена на рис. 2.

Рис. 2 Установка для вакуумных испытаний элементов приводов

Четвертая глава посвящена определению собственных частот и коэффициентов демпфирования многостепенных систем.

Существующие модули виброзащиты объектов электронной техники не обеспечивают гашения колебаний по всем шести степеням подвижности. В предложенной системе на основе /- координат этот недостаток классических амортизаторов устраняется. Виброзащитная система ростового оборудования состоит шести амортизаторов,

связанных на структуре /- координат. В качестве элементной базы таких систем используются пневмогасители пружинного типа и др.

При рассмотрении пространственных колебаний модуля ростового оборудования массой т введены две системы координат: неподвижная О^т^ и подвижную систему координат 0]ху1 (рис. 2).

В окрестности заданного положения выходного звена линейные параметры ОМ\', (. 2 = ОМ:', ¿г~ ММг, , = А2М2] I5 = А2М3, £6 = А2М1. полностью определяют его положение,.^,..., Кб, , Ьи...,Ь{ -соответствующие коэффициенты жесткости и сопротивления. Выражения для сил, действующих на точки выходного звена в неподвижной системе координат, имеют вид:

Рис. 3 К выводу уравнений пространственных колебаний Уравнения движения центра масс модуля имеют вид:

Здесь - координаты центра масс;

Т]?- начальные координаты соответствующих точек

выходного звена;

-текущие координаты. Динамические уравнения Эйлера имеют вид:

где Ай.М^Ай " главные моменты внешних сил относительно осей координат 0\Х, О¡У, 0\2; 1Х=1Ху,Х1 Ь = 1тЪ>, > = - главные моменты количества движения исполнительного устройства относительно тех же осей; 1х, 1у, 1г , Щс, - главные моменты инерции и проекции

абсолютной угловой скорости относительно осей 0]Х, О¡У, 0}Х.

Системы уравнений объединены и записаны, с соответствующими преобразованиями, в систему дифференциальных уравнений, которая описывает колебательное движение исполнительного устройства. Положение устойчивого равновесия принято за начало отсчета обобщенных координат

Здесь - координаты центра масс исполнительного

устройства в положении устойчивого равновесия;

- углы Эйлера в начальный момент времени, После линеаризации системы дифференциальных уравнений получаем систему линейных дифференциальных уравнений вида: А02 + + Е = 0, где г=(гьг2& ¿4,2,,2б)т

Для определения собственных частот колебаний консервативной системы положено Ъ<= 0. /=1...6. Система приобретает вид: АоИ + Вг = 0.

Решение её ищется в виде г = х •

Некоторые из полученных результатов представлены на рис. 3,4.

Для определения собственных частот колебаний и коэффициентов демпфирования консервативной системы рассмотрена система дифференциальных уравнений вида ^„¿ + £>¿ + 52 = 0

При этом = + ' •

Некоторые результаты расчетов представлены на рис. 5,6.

Рис. 4 Зависимость собственных частот от массы т

50 40

30

го 10

-щ' 5оо боо т еоо зоо ж то ль"ш

Рис. 5 Зависимость собственных частот от коэффициента жесткости Ш

/

5

3

-к-

Разработанные по предложенной технологии проектирования приводы ростовой установки «Кедр» представлены на рис. 8 и 9.

Рис. 9 Привод затравки ростовой установки «Кедр»

В приложении №1 к диссертации представлен акт внедрения результатов диссертационной работы.

В приложении №2 к диссертации копии заявок на изобретения.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ И ВЫВОДЫ

1. Проведенные обзорно-аналитические исследования механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния показали, что наиболее рациональными техническими решениями механических модулей являются модули на основе волновых зубчатых, волновых резьбовых передач и вводов.

2. Разработанная модель формирования погрешностей в волновых модулях ростового оборудования позволила создать методику оценки точности позиционирования механических модулей ростового оборудования и выбора рациональной конструкции волновой зубчатой

передачи и ввода, волновой резьбовой передачи и ввода с минимальной величиной угловой и линейной погрешности.

3. Предложенные модели формирования привносимой дефектности от модулей перемещения в технологическом агрегате ростового оборудования обеспечили возможность получения диагностических данных о количестве и размерах мелкодисперсных частиц износа, влияющих на качество проведения технологического процесса выращивания монокристаллического кремния.

4. Разработанная математическая модель виброзащитного модуля ростового оборудования на шесть степеней подвижности позволила создать методику определения собственных частот и коэффициентов демпфирования виброзащитного модуля, необходимых для реализации условий гашения колебаний, при которых отношение частот собственных колебаний к частоте вынужденных более

5. Предложенные технические решения экологически чистых и виброустойчивых волновых передач и вводов позволили создать основы проектирования рациональных конструкций модулей перемещения высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

6. Созданные научные основы построения экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния позволили обеспечить построение элементной базы модулей перемещения и виброзащиты для ростового оборудования с диаметром выращиваемых монокристаллических слитков 300 мм и более.

7. Основным результатом диссертационной работы, на основании выполненных автором исследований, можно считать:

- создание элементов информационной технологии проектирования экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния;

- разработка по данной технологии проектирования приводов перемещения и вращения затравки и тигля ростовой установки для выращивания монокристаллов кремния, изготовление и внедрение их на установке «Кедр».

Основные положения и результаты диссертационной работы представлены в следующих работах автора:

1. Терехин НА, Панов П.И. Разработка технологии получения поликристаллического кремния на базе установок нового поколения большой единичной мощности. - Материалы международной научно-практической конференции «Сибирский аэрокосмический салон». Часть И. Красноярск: Изд. САА, 2001 г., с 232 - 234.

2. Терехин НА, Гордеев В.И., Панов П.И. Проект создания технологического модуля для производства монокристаллического кремния диаметром 150 - 200 мм. - Тезисы докладов совещания по росту кристаллов, пленок и дефектам структуры кремния «Кремний 2002». Новосибирск: ИФП СО РАН, 2002 г., с. 183.

3. Терехин НА, Панов П.И. Работа ГП КМЗ по созданию оборудования производства полупроводникового кремния. - Материалы 2ой Всероссийской научно-практической конференции с участием международных специалистов «Достижения науки и техники -развитию Сибирских регионов». Часть III. Красноярск: КГТУ, 2003 г., с. 107-109.

4. Шабанов В.Ф., Владимиров В.М., Терехин НА, Панов П.И. и др. Измерительно-вычислительный комплекс (ИВК) для определения удельного электрического сопротивления (УЭС) в пластинах кремния 4х зондовым методом. - Сборник тезисов конференции «Кремний 2004», Иркутск, Изд. Институт географии СО РАН, 2004 г., с. 225.

5. Муравицкий С.А., Шагаров Б.А., Терехин НА, Панов П.И. и др. Результаты испытаний установки водородного восстановления «Водород» с верхним токоподводом. - Сборник тезисов конференции «Кремний 2004». Иркутск: Изд. Институт географии СО РАН, 2004 г., с. 58.

6. Бушуев В.М., Терехин НА, Панов П.И. Тепловой узел из углерод-углерод композиционного материала для ростовой установки. -Сборник тезисов конференции «Кремний 2004». Иркутск: Изд. Институт географии СО РАН, 2004 г., с. 67.

7. Гордеев В.И., Терехин Н.А., Панов П.И. Создание нового поколения отечественных ростовых установок и отработка режимов автоматического управления выращивания монокристаллов кремния. -Сборник тезисов конференции «Кремний 2004». Иркутск: Изд. Институт географии СО РАН, 2004 г., с. 69.

8. Шагаров Б.А., Терехин НА, Панов П.И. Технологические особенности выращивания МКК на установке «Кедр» (производство «Красмаш»). - Сборник тезисов конференции «Кремний 2004». Иркутск: Изд. Институт географии СО РАН, 2004 г., с. 86.

9. Шестаков И.Я., Миленин В.Н., Терехин НА Перспективы применения электроконтактной резки металлов. - Вестник Сибирского Государственного аэрокосмического университета имени М.Ф. Решетнева. Сборник научных трудов. Красноярск: Изд. САА, 2002 г.

10. Колмыков В.А., Гирн А.В., Терехин Н.А. Установка для упрочнения стальных поверхностей. - Перспективные материалы, технологии, конструкции, экономика. Сборник научных трудов выпуск 9, часть 1. Красноярск: 2003 г.

11. Колмыков В.А., Терехин Н.А. Автоматизация технологических процессов нанесения покрытий. - Перспективные материалы, технологии, конструкции, экономика. Сборник научных трудов выпуск 9, часть 1. Красноярск: 2003 г.

12. Миленин В.Н., Шестаков И.Я., Цуканов А.В., Терехин Н.А. Повышение эффективности электроконтактной резки материалов. -Материалы международной конференции САКС. Красноярск: Изд. САА, 2002 г.

13. Душкин В.И., Шестаков И.Я., Миленин В.Н., Терехин Н.А. Повышение эффективности электроконтактной резки дисковым электродом. - Технология машиностроения 2002 г., №4.

14. Колмыков В.А., Терехин Н.А. Конверсия военно-промышленного комплекса. - Труды НТК «Инновационные технологии». Красноярск: 1997 г.

15. Терехин НА Формирование типовых конструкторских блоков. - Вестник; СУВПТ, вып.2. Межвузовский сборник научных трудов. Красноярск: 1999 г.

16. Ковалев И.В., Терехин Н.А. Многоэтапный процесс конструирования типовых блоков встроенной аппаратуры. - Социально-экономическое развитие региона. Межвузовский сборник научных статей. Красноярск: 1998 г.

17. Ковалев А.А., Терехин Н.А. Проблемы оптимизации состава типовых блоков АСУ ТП. - Тезисы докладов 6-й научной конференции «Современные техника и технологии». Томск: ТПУ, 2000 г.

18. Н.В. Василенко, В.К. Гупалов, Е.Н. Ивашов, П.И. Панов, Н.А. Терехин. Методология создания высокопроизводительного автоматизированного оборудования для выращивания особо чистого кремния. Вестник ассоциации выпускников КГТУ. Выпуск 10. Красноярск, ИПЦ КГТУ, 2004 г., с. 130 - 157.

Терсхин Николай Александрович

Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния

Автореферат

Формат 60x84/16

Уч. изд.л. 1,5 Тираж 100 экз. Заказ №7

Отпечатано в НИИ СУВПТ, 660028, г. Красноярск, ул. Баумана, 20В

ВВЕДЕНИЕ.

1. ОБЗОРНО-АНАЛИТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ В ОБЛАСТИ МЕХАНИЧЕСКИХ МОДУЛЕЙ ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ

МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ.

1.1 Кристаллизационные процессы выращивания монокристаллического кремния и их механическое обеспечение.

1.2 Классификация волновых резьбовых передач механических модулей ростового оборудования.

1.3 Сравнительные исследования волновых резьбовых передач модулей оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

2. ВОЛНОВЫЕ МОДУЛИ РОСТОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ.

2.1 Волновые зубчатые передачи ростового оборудования.

2.2 Исследование высокоточных устройств перемещения слитков монокристаллического кремния на базе волновых резьбовых передач и вводов.

2.3 Аналитические выражения составляющих погрешностей положения ведомого звена волновой резьбовой передачи.

3. МОДЕЛИ ФОРМИРОВАНИЯ ПРИВНОСИМОЙ ДЕФЕКТНОСТИ ОТ МОДУЛЕЙ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ОБЪЕМЕ РОСТОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ.

3.1 Энергетический баланс в зоне трения модулей перемещения ростового оборудования.

3.2 Модели трения и износа в условиях технологических вибраций

3.3 Расчет элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический агрегат.

3.4 Примеры расчета на привносимый уровень загрязнений для модулей перемещения типа винт — гайка.

Выводы.

4. ВИБРОЗАЩИТНЫЕ МОДУЛИ РОСТОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ.

4.1. Виброзащитные модули ростового оборудования с одной степенью свободы.

4.2. Математическая модель виброзащитного модуля ростового оборудования на шесть степеней свободы.

4.3. Анализ расчетов на ЭВМ многостепенных виброзащитных модулей.

Выводы.

Развитию микроэлектроники в СССР уделяли необходимое внимание лишь до 1985 года. К тому времени отставание от США составляло 1,5-2 года. С 1986 года объемы финансирования НИОКР стали резко сокращаться что, естественно, повлекло прогрессирующее отставание от ведущих стран, таких как США и Япония. В то же время там, где электроника усиленно поддерживается государством, например в Китае, наблюдается совершенно иная ситуация. КНР ставит задачу через пять лет стать мировым лидером по производству интегральных схем, а в дальнейшем - и законодателем в области разработок. Правительство этой страны постоянно поддерживает национальный приоритет электроники в исследовательских центрах. Естественно, электроника выступает в роли локомотива научно-технической революции и выводит другие отрасли на все новые и новые рубежи.

На развитие производства и повышение конкурентоспособности электронной техники направлены усилия правительств всех передовых индустриальных стран - США, Японии, Германии, Англии, Франции, Китая, Южной Кореи, Тайваня. Это не удивительно, поскольку 1 доллар вложений в электронику превращается в 100 долларов в конечном продукте. Один килограмм изделий микроэлектроники по стоимости эквивалентен 110 тоннам нефти. Уровень рентабельности данной отрасли - 40%; среднемировой срок окупаемости вложений - 2-3 года; а темпы ее роста в 3 раза выше темпов роста ВВП. Одно рабочее место в электронике дает четыре рабочих места в других отраслях.

В России имеются определенные научно-технические заделы, благодаря которым наши ученые и разработчики способны решить задачу создания новейших производств микроэлектроники, в том числе по производству монокристаллов кремния. Но для этого нужна государственная поддержка.

Реализация Государственной программы «Кремний» по выращиванию особо чистого монокристаллического кремния по своим параметрам соответствующего международным стандартам SEMI и ASTM и конкурентоспособного на мировом рынке требует создания экологичных и виброустойчивых механических модулей для высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

Цель работы. Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния и внедрение их в производственную практику.

Задачи исследования. Для реализации поставленной цели исследований необходимо выполнить следующий цикл обзорно-аналитических, теоретических, экспериментальных и патентно-лицензионных исследований:

1. Провести обзорно-аналитические исследования механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

2. Создать научные основы построения волновых модулей для ростового оборудования.

3. Разработать методику оценки погрешности позиционирования ведомого звена волновой зубчатой и резьбовой передач.

4. Разработать модели формирования привносимой дефектности от модулей перемещения в технологическом агрегате ростового оборудования.

5. Рассмотреть рациональные схемы виброзащитных модулей и разработать математическую модель виброзащитного модуля ростового оборудования на шесть степеней свободы.

Научная новизна:

1. Предложена математическая модель формирования погрешностей в волновых модулях ростового оборудования.

2. Предложены математические модели трения и износа в условиях вибраций и выявлены взаимосвязи трения и износа с газовыделением из узлов трения.

3. Разработаны модели формирования привносимой дефектности от модулей перемещения в технологическом агрегате ростового оборудования.

4. Разработана математическая модель виброзащитного модуля ростового оборудования на шесть степеней подвижности.

5. Созданы научные основы построения экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

Практическая значимость:

1. Разработаны методики оценки точности позиционирования ведомого звена волновой резьбовой и зубчатой передачи.

2. Предложены методики расчета элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический агрегат.

3. Разработана методика определения собственных частот и коэффициентов демпфирования виброзащитных модулей на шесть степеней свободы.

4. Предложены технические решения высокоэкологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

5. Разработана методология проектирования надежных, экологически чистых и виброустойчивых механических модулей ростового оборудования

Основные положения, выносимые на защиту:

Математическая модель формирования погрешностей в волновых модулях ростового оборудования.

Модель формирования привносимой дефектности от модулей перемещения в технологическом агрегате ростового оборудования.

Математическая модель виброзащитного модуля ростового оборудования на шесть степеней подвижности.

Научные основы построения экологически чистых и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

Методики оценки точности позиционирования механических модулей ростового оборудования.

Методика расчета элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический агрегат.

Методология проектирования надежных, экологически чистых и виброустойчивых механических модулей ростового оборудования.

ВЫВОДЫ

1. Наилучшей эффективностью обладает идеально упругий виброизолятор.

2. Численный метод расчета собственных частот и коэффициентов демпфирования пространственного -координатного исполнительного устройства позволяет определять максимальные значения амплитуд колебания, при известных скоростях движения по всем шести -координатам, применительно к любой системе в зависимости от геометрических и физических параметров.

3. Полученные результаты позволяют прогнозировать параметры координатных виброзащитных систем уже на стадиях предварительной разработки. При этом расчет собственных частот колебаний и коэффициентов демпфирования может осуществляться исходя из параметров внешних воздействий.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Проведенные обзорно-аналитические исследования механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния показали, что наиболее рациональными техническими решениями механических модулей являются модули на основе волновых зубчатых и волновых передач и вводов.

2. Разработанная модель формирования погрешностей в волновых модулях ростового оборудования позволила создать методику оценки точности позиционирования механических модулей ростового оборудования и выбора рациональной конструкции волновой зубчатой передачи и ввода, волновой резьбовой передачи и ввода с минимальной величиной угловой и линейной погрешностей.

3. Предложенные модели формирования привносимой дефектности от модулей перемещения в технологическом агрегате ростового оборудования обеспечили возможность получения диагностических данных о количестве и размерах мелкодисперсных частиц износа, влияющих на качество проведения технологического процесса выращивания монокристаллического кремния.

4. Разработанная математическая модель виброзащитного модуля ростового оборудования на шесть степеней подвижности позволила создать методику определения собственных частот и коэффициентов демпфирования виброзащитного модуля, необходимых для реализации условий гашения колебаний, при которых отношение частот собственных колебаний к частоте вынужденных более 4l.

5. Предложенные технические решения экологически чистых и виброустойчивых волновых передач и вводов позволили создать основы проектирования рациональных конструкций модулей перемещения высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния.

6. Созданные научные основы построения экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния позволили обеспечить построение элементной базы модулей перемещения и виброзащиты для ростового оборудования с диаметром выращиваемых монокристаллических слитков 300 мм и более.

7. Основным результатом диссертационной работы, на основании выполненных автором исследований, можно считать:

- создание элементов информационной технологии проектирования экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния;

- разработка по данной технологии проектирования приводов перемещения и вращения затравки и тигля ростовой установки для выращивания монокристаллов кремния, изготовление и внедрение их на установке «Кедр» представленные на рисунках приведенных ниже.

Привод тигля ростовой установки «Кедр»

1. Блинов И.Г. Кожитов J1.B. Оборудование полупроводникового производства М: Машиностроение , 1986 - 264 е., ил.

2. Бузунов А.И., Калугин А.Я. и др. АС СССр № 1773955 «Способ получения монокристаллов кремния». Опубл. 07.11.92. // Б.И. ; 41.

3. Качергина Л.Ф., Колмыков В.А. и др. Патент РФ № 2095494 «Установка для получения стержней поликристаллического кремния». Опубл. 10.11.97 // Б.И. № 31.

4. Гупалов В.К. и др. Патент РФ № 2205905 «Установка для получения стержней поликристаллического кремния». Опубл. 10.06.03 // Б.И. № 16.

5. Бузунов А.И. и др. Патент РФ № 2052547 «Устройство для выращивания монокристаллического кремния». Опубл. 20.01.96. // Б.И. № 2.

6. Кочергина Л.Ф., Куценогий Л.К., Петров С.И. Патент РФ №2088702 «Устройство для выращивания кристаллов из расплава». Опубл. 27.08.97. // Б.И. № 24.

7. Корячко В.П. и др. Теоретические основы САПР: Учебник для вузов / В.П. Корячко, В.М. Курейчик, И.П. Норенков. М.: Энергоатомиздат, 1987.-400 е., ил.

8. Антамошкин А.Н. и др. Системный анализ: Проектирование, оптимизация и приложения: Учебное пособие. В 2-х томах. Том 1. -Красноярск: Сибирская Аэрокосмическая академия, 1996. 206 е., ил.

9. Антамошкин А.Н. и др. Системный анализ: Проектирование, оптимизация и приложения: Учебное пособие. В 2-х томах. Том 2. -Красноярск: Сибирская Аэрокосмическая академия, 1996. 290 е., ил.

10. Салли И.В., Фалькевич Э.С. Производство полупроводникового кремния. Издательство «Металлургия», 1970, с 152.

11. А.Г. Денисов, Н.А.Кузнецов, В.А.Макаренко. Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии. М. 1981. - 52с. Сер.7. Технология, организация производства и оборудования: Обзор по электронной технике; Вып. 17 (828).

12. Создание волновых вводов возвратно-поступательного движения для установок жидкофазной эпитаксии: Отчет о НИР (заключ.) / Краснояр. политехи, ин-т; Руководитель Н.В. Василенко. Шифр темы ДМ 120; № ГР 80030722; инв. №60012. - Красноярск, 1983. -250с.

13. Вакуумные системы и их элементы А.С. Фролов, Ф.А. Русак и др. — М.: Машиностроение, 1968. 189с.

14. Марусов В. А. Создание и исследование герметичных механизмов поступательного движения для сверхвысоковакуумного автоматизированного технологического оборудования: Дисс. канд. техн. наук / МВТУ им. Н.Э. Баумана). 1981. - 200с.

15. Создание волновых передач для манипуляторов, работающих в сверхвысоком вакууме: Отчет о НИР (заключ.) / Краен, политехи, инт; Руководитель Н.В. Василенко. шифр темы 120; № ГР 79045890; инв. № 53451. - Красноярск, 1982. - 278с.

16. Александрова А.Т. Исследование процессов дестабилизации параметров системы механизм контролируемая среда и разработка теоретических основ проектирования оптимальных механизмов: Автореф. дис. докт. техн. наук./ МИЭМ - М., 1976, 46с., ДСП.

17. Василенко Н.В. Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт- гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники. Дис. канд. техн. наук. / МИЭМ М., 1978. - 220с., ДСП.

18. Деулин Е.А. Исследование вводов вращения высоко вакуумного напылительного оборудования с целью создания унифицированных конструкций. Автореф. дис. канд. техн. наук. / МВТУ им. Н.Э. Баумана. -М., 1971, 17с., ДСП.

19. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. — М.: Машиностроение, 1974.- 184с.

20. Попов Е.Н. Исследование сверхвакуумных волновых зубчатых передач и создание стандартной конструкции для автоматизации и механизации вакуумного технологического оборудования: Автореф. дис. канд. техн. наук. / МВТУ им. Н.Э. Баумана. М., 1978.- 25с.

21. Усольцев М.В. Исследование кинематики и КПД вакуумных муфт для приводов электровакуумного и полупроводникового оборудования. Автореф. дис. канд. техн. наук. / МИЭМ. — М., 1974. -16с. ДСП.

22. Александрова А.Т. Новые способы передачи и формирования движения в вакууме. М.: Высшая школа, 1979. - 69с.

23. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники / Пер. с англ. — М.: Мир, 1964. -715с.

24. Кульбачный О.И. Механизмы для передачи вращения из герметизированного объема и их сравнительный анализ // Проектирование зубчатых механизмов. М.: Машиностроение. -1971.-С. 107-132.

25. Рот А. Вакуумные уплотнения / Пер. с англ. М.: Энергия, 1971. — 464 с.

26. Турышев В.А., Василенко Н.В. Волновые герметичные передачи винт-гайка. Научные основы автоматизации производственных процессов и управления качеством в машиностроении и приборостроении // Тех. Докл. (МВТУ им. Н. Э. Баумана). МВТУ, 1979.- С. 53-56.

27. А. с. № 634046 СССР, М. Кл 4 F16 Н 57/00 Волновая герметичная муфта Турышев В.А., Василенко Н.В., Нестеренко В. В, / Опубл. в Б. И. 25.11.78.

28. Деулин Е.А., Амосова Э.П., Хруничев Ю. А., Смышляев И.С. Передачи движения в вакуум // ХМ-6, Криогенное и кислородное машиностроение. М., ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1975. - 57с.

29. Разберн Ф. Справочник по вакуумной технологии / Пер. с англ.; Под ред. Проф. Р.А. Никлондра. М.: Энергия, 1972. - 441с.

30. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М.: Машиностроение, 1974.- 122 с.

31. Данилин Б.С., Минайчев В. Е., Пупко В.А. Сверхвысоковакуумная напылительная установка // Обмен опытом в электронной промышленности. 1968. - № I. - С. 12-13.

32. Блинов И.Г., Ельчанинов Е.И., Краснов В.Г. и др. // Установка для высоковакуумного нанесения металлических пленок УВН-71П — I. Электронная промышленность. 1972. - № I. - С. 18-21.

33. Качанов А.И. и др. Элана установка напыления непрерывного действия // Электронная промышленность. - 1974. - № 10. - С. 24-28.

34. Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме / С.А. Ашинов, И.Г. Блинов, Е.А. Деулин и др. — М.: ЦНИИэлектроника, 1978. 69с.

35. Данилин Б.С., Минайчев В.Е. Некоторые вопросы вакуумной техники при напылении тонких пленок // Физика металлических пленок. — Киев, 1969.-С. 77-87.

36. Морозов В.В. Исследование автоматизированных электровакуумных установок выращивания монокристаллов из сплавов для постоянных магнитов с целью повышения их производительности. — Дис. канд. техн. наук. / ВПИ. Владимир, 1979. - 190 с.

37. Гридиев А.И. Исследование и разработка систем автоматического регулирования температуры в установках для выращивания монокристаллов из сплавов для постоянных магнитов. Дис. канд. техн. наук. / НПИ. - Новочеркасск, 1971. - 184 с.

38. Фомин В.М., Шевцов М.А. Электромеханическое оборудование за рубежом. По материалам второй Международной выставки Электро-77// Электротермия, 1977. - Вып. 10 (182). - С. 15.

39. Преснов В.И., Жданов Ю.Ф. Установка безмасляной бесштенчельной откачки // Тез. 7-й Всесоюзной науч. техн. конф. По диффузионной сварке. М., 1972. - С. 93-97.

40. Установка бесштенчельной откачки электровакуумных приборов. Г. В. Конюшков, В.И. Ерекин, М.И. Федоров и др. // Обмен опытом в электронной промышленности. 1967. - № 7. - С. 34-38.

41. Павлов Б.И. Механизмы приборов и систем управления. JL: Машиностроение, 1972. - 205 с.

42. Василенко Н.В., Турышев В.А. Волновой резьбовой герметичный ввод // Машиностроение; Вып. 7 Красноярск, 1973. - С. 42-46.

43. Розанов JI.H. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1982. -203 с.

44. Волновые герметичные передачи-муфты / Сост. В.А. Турышев, Н.В. Василенко, В.В. Нестеренко; КрПИ Красноярск, 1982. 20с.

45. Larscheid I., Kirschner I., UHV-Manipulator attachment for arimuthdl Sample Rotation with Electrical Readout. Rev. Sci. Instrum. 49. №10. 1978. p.146-148.

46. Иванов M.H., Шувалов С.А., Амосова Э.П. Экспериментальные исследования волнового редуктора для передачи вращения в герметизированное пространство // Изв. высш. учебн. заведений. Машиностроение. 1970. - №12. - С. 42-52.

47. Тарас Ф.С. Некоторые результаты испытаний герметичной волновой передачи // Волновые передачи. М., 1970. - С. 49-53.

48. Турышев В.А., Василенко Н.В. Испытание волновой резьбовой передачи в вакууме // Машиностроение; Вып. 9- Красноярск, 1975.-Вып. 9 С. 58-63.

49. Медников М.И. Преимущества применения волновых вводов движения в вакуумном машиностроении // Тр.МИЭМ.

50. Полупроводниковое электровакуумное машиностроение; Вып. 9. — М., 1970. С.28-42.

51. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М.: Машиностроение, 1974.-98с.

52. Борисенко Г.А. Определение сопряженного осевого профиля гибкой гайки в волновой резьбовой передаче // Изв. ВУЗов. Сер. Машиностроение. 6. - 1971. - №6. - С.

53. Борисенко Г.А., Лагутин С.А. Применение резьбовой волновой передачи малых перемещений в точных механизмах // Тез. докл. республ. конф. Ереван, 1976. - С.

54. Борисенко Г.А., Лагутин С.А., Цейлин Н.И. Кинематика фрикционных резьбовых передач // Прочность и надежность деталей машин. Красноярск, 1978. - С. 131.

55. Борисенко Г.А. Исследование передач винт-гайка малых подач. — Дис. канд. техн. наук. / Мостанкин. М., 1973, 155с.

56. Павлов Ю.А. Кинематический расчёт резьбовых волновых передач // Волновые резьбовые передачи. М., 1967. С. 55-61.

57. Павлов Ю.А. Исследование геометрических параметров резьбовых механических усилителей мощности на основе волновой передачи // Волновые передачи. М., 1970. - С.44-51.

58. Лазарев А.И. Исследование геометрических параметров волновых резьбовых передач больших подач. — Дис. канд. техн. наук. / Мостанкин. М., 1971, 149с.

59. Турышев В.А., Елисеев А. Г., Василенко Н.В. Кинематические характеристики волновой резьбовой передачи // Машиностроение: Вып. 9. М., 1975. - №9. - С.89-99.

60. Цейтлин Н.И. Приближенный геометрический расчёт волновой передачи резьба-кольцевые канавки и расчёт резьбы на удельное давление // Волновые и цепные передачи. М., 1967. - С. 46-55.

61. Лазарев А.И. Определение профиля кольцевых витков гибкого элемента волновой передачи резьба-кольцевые канавки // Волновые передачи. М., 1970. - С.51-61.

62. Борисенко Г.А., Лагутин С.А. Влияние угла профиля резьбы на геометро-кинематические характеристики волновой резьбовой передачи // Волновые передачи. М., 1975. - С.41-48.

63. Соловьюк В.М. Влияние геометрических параметров резьбы на податливость гибкой гайки // Машиностроение; Вып. 7. Красноярск, 1973. - С.49-52.

64. Турышев В.А., Василенко Н.В., Сильченко П.Н. Расчёт гибкого элемента волновой передачи винт-гайка // Прочность и надежность деталей и узлов машин, Красноярск, 1978, - С.32-47.

65. Турышев В.А., Василенко Н.В. КПД волновой передачи винт-гайка // Машиностроение. Красноярск, 1974.-С. 156-171.

66. Василенко Н.В., Сильченко П.Н. Исследование влияния напряженно-деформированного состояния гибкого винта на надежность вакуумной передачи винт-гайка //Повышение долговечности и надежности машин и приборов: Тезисы докл. Всесоюзной НТК. -Куйбышев, 1981.

67. Медников М.И., Макаров В.И. Вакуумные волновые передачи // Волновые и цепные передачи. М., 1967. - С. 21-287.

68. А. с. № 175795 СССР, М. Кл.4 F16 Н 57/00. Волновая передача винт-гайка / Цейтлин Н.И., Косов М.Г., Руденко В.Н. Опубл. в Б. И. 22.01.1966.

69. Chironis N., Product Engineering. 31, № 6 (1960). См. также Вопросы ракетной техники, № 8, 1965.

70. Турышев В.А., Василенко Н.В. О некоторых областях использования волновой передачи винт-гайка // Тезисы докладов республиканской конференции. Новые достижения в области приборостроения. -Ереван, 1975.-С.48.

71. Цейтлин Н.И., Цукерман Э.М. Новые тенденции проектирования волновых передач для применения в механизмах привода ракет и спутников // Вопр. ракетной техники. 1965. № 2- С.51-63.

72. А. с. № 1147853 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи. / Ю.П. Колесников, Н.В. Василенко, Б.К. Прокопенко. Опубл. в Б. И. 1985, № 12.

73. А. с. № 696226 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи. / В.А. Турышев, Н.В. Василенко, Я.Г. Елисеев, Ю.П. Колесников. — Опубл. в Б.И. Открытия. Изобретения. Промышленные образцы, Товарные знаки. 1980, № 40.

74. А. с. № 756112 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи. / В.А. Турышев, Ю.П. Колесников, Н.В. Василенко, Я.Г. Елисеев. Опубл. в Б. И. Открытия, Изобретения. Промышленные образцы. Товарные знаки. 1981, № 30.

75. А. с. № 229143 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Волновая передача винт-гайка. / Синкевич Ю.Б., Тарас Ф.С. Опубл. в Б.И. 17.10.1968.

76. Цейтлин Н.И. Классификация волновых передач // Волновые передачи. М., 1970. - С.3-12.

77. Masser C.W. Strain ware gearing linlor motion Пат. США, № 2543508 от 05.07.60, см. также Э.И.Д.М. № 21, реф. 175, 1961.

78. Цейтлин Н.И., Цукерман Э.М. Волновые передачи // Машиностроительные материалы, конструкции и расчёт деталей машин. Гидропривод. Том 4 (ВИНИТИ. Итоги науки и техники). -М., 1972.- 145с.

79. Турышев В.А., Василенко Н.В. Опытно-промышленные волновые резьбовые вводы // Машиностроение; Вып. 9. Красноярск, 1975. С.71-86.

80. Люкшин А.И. Винтовые механизмы и передачи. — М.: Машиностроение, 1982. 223с.

81. Василенко Н.В., Колесников Ю. П., Елисеев Я.Г. Исследование регулируемых генераторов волновой герметичной передачи винт-гайка // Управление надежностью машин: Тез. докл. Кировоград, 1978.-c.162.

82. А. с. № 1163074 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Волновая передача. / В.А. Турышев, Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, Я.Г. Елисеев, Н.А.

83. Ковалев, М.И. Мединцев, В.А. Соколенко. Опубл. в Б. И. 1985, № 23.

84. А. с. № 664263 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Электропривод, /Василенко Н.В., Курилин А.П. Опубл. в Б. И. 1979, № 19.

85. А. с. № 843108 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Электропривод линейного и вращательного движения. / Н.В. Василенко, А.П. Курилин. Опубл. в Б. И. 1981, №24.

86. А. с. № 727917 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Волновая герметичная передача муфта. / Турышев В.А., Василенко Н.В., Нестеренко В.В. — Опубл. в Б. И. 1980, № 14.

87. А. с. № 787753 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Волновой линейный привод. /В.А. Турышев, Соловьюк В.М., Цейтлин Н.И., Василенко Н.В.-Опубл. в Б. И. 1980, № 46.

88. А. с. № 3502514 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Штанговый манипулятор. / А.А. Никитин, Н.В. Василенко. Опубл. в Б. И. 1983, №20.

89. Малогабаритный вакуумный манипулятор карусельного типа: Отчет о НИР (заключ.) / Краснояр. политехи, ин-т; Руководитель Н.В. Василенко. Шифр темы №1 - Красноярск, 1983, № ГР 81037980, инв. № 70125, 220с. ДСП.

90. А. с. № 696224 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Дисковый кулачок. / Турышев В.А., Колесников Ю.П., Василенко Н. В. Опубл. в Б. И. 1980, №41.

91. Турышев В.А., Василенко Н.В., Колесников Ю.П. Волновой ввод «винт-гайка» М 60x0,75: Информационный листок № 157-80. — Красноярск: Красноярский межотраслевой территориальный центр научно-технической информации и пропаганды, 1980.

92. Лимаренко Г.Н., Василенко Н.В. Исследование некоторых характеристик волнового реечного механизма // Вестник машиностроения. -1984. -13.-С. 29-31.

93. А. с. № 1043392 СССР. М. Кл.4 F16 Н 57/00. Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев. / Г. Н. Лимаренко, В.А. Турышев, В.И. Сенькин, Н.В. Василенко, Е.В. Артюхов. Опубл. в Б. И. 16.05.80.

94. Василенко Н.В., Соловьюк В.М. Волновые резьбовые передачи-приводы автоматизированных систем //Управляемые и автоматические приводы и передачи гибкой связью: Тезисы докл. У1 Всесоюзной НТК. Одесса, 1980.

95. Истомин С.Н., Борисов С.Г. Кинематическая погрешность резьбовой волновой передачи // Вестник машиностроения. 1983. - № 12. — С. 20-23.

96. Masser C.W. Ihe harmonic drive Enging materials and desing., № 4, 1964, p. 24.

97. Masser C.W. Патент США, № 2906143 от 29.09.1959. См. также Э. И. серия Детали машин, 1961, № 11, реферат 96.

98. Masser C.W. Патент США, № 2931248 от 05.04.1960. См. также Э. И. серия Детали машин, 1961, № 7, реферат 68.

99. Masser C.W. Ihe harmonic drive. Mach Desing № 8, 1960. См. также Э. И. серия Детали машин, 1961, № 9, реферат 82.

100. Masser C.W., Carlsoon I. Патент США, № 2930254 от 29.03.60. См. также Э.И. серия Детали машин, 1961, № 13, реферат 117.

101. Masser C.W. Патент США, № 2983162 от 09.05.1961. См. также Э. И. серия Детали машин, 1962, № 11, реферат 75.

102. Цейтлин Н.И., Цукерман Э.М. Волновые передачи. Машиностроительные материалы, конструкции и расчёт деталей машин. Гидропривод. -М.: ВИНИТИ, 1969. 127с.

103. Mansfield D.L., Benford D.L. Harnonic Drive a Tarton in the Great Industrj, Semi-Annual Meeting of the American Gear Manufacturers Assosiation. Oktober, 1962, p.p. 12-46.

104. Harmonic Drive. Mechanical Power Iransmission Sjstems. Internal Div. United Shol. Mach. Corp. Boston.

105. Павлов Б.И., Чернова JI.C. Волновые мелкомодульные зубчатые передачи и результаты их проверки на кинематическую тонкость. -Л., 1968.-С.45.

106. Чернова Л.С., Кащеев В.М., Чернов А.П. Исследование кинематической точности волновых редукторов при различных типах генераторов // Расчет, проектирование и контроль малогабаритных редукторов. Л., 1968.-С. 110-115.

107. Шувалов С. А. Графоаналитический метод анализа геометрии зацепления в волновой зубчатой передаче // Изв. ВУЗов. Сер. Машиностроение. 1965. - № 2. - С. 21-28.

108. Чернова Л.С., Гинзбург Е.Г. О влиянии накопленных погрешностей окружного шага зубчатых колес на кинематическую точность двухволновой передачи при наличии многопарного зацепления. Л., 1968.- 150 С.

109. Шамирян-Пахлеванян Р.И. Повышение точности зубчатого зацепления волновой передачи // Проектирование и технология изготовления деталей в точном приборостроении^ М., 1970. - С. 7885.

110. Попов П.К. Исследование ошибок углового положения выходного вала волновой зубчатой передачи. Дис. канд. техн. наук, / (МВТУ им. Н. Э. Баумана). - М., - 190 с.

111. Попов П.К., Шувалов С.А. и др. Частотный спектр кинематических ошибок зубчатых передач // Изв. ВУЗов Сер. Машиностроение. -1972.-№ 1.-С. 51-68.

112. Иванов М.Н. и др. Экспериментальное определение количества одновременно зацепляющихся зубьев в волновой зубчатой передаче. // Изв. ВУЗов. Сер. Машиностроение. 1968. - № 9. С.31-42.

113. Турышев В.А. Исследование волновых зубчатых передач с дисковым и кулачковым генераторами волн. Дис. канд. техн. наук, / МИСИ. — М., 180 с.

114. Гинзбург Е.Г., Чернова JI.C. О влиянии погрешностей изготовления на кинематическую точность волновой передачи // Расчёт проектирование и контроль малогабаритных редукторов. — Л., 1970. — С.58-68.

115. Чернова J1.C. О влиянии формы кулачка генератора на многопарность зацепления в двухволновой передаче // Материалы 2-й научной технической конференции по волновым передачам. Л., 1969. - С.59-67.

116. Чернова Л.С. Некоторые вопросы геометрии и кинематической точности одноступенчатых передач приборного назначения. Дис. канд.техн.наук. КЛПИ - Л., 1969, 186 е., ДСП.

117. Шувалов С.А., Попов П.К., Финогенов В. А. Соотношение точности и жесткости волновых зубчатых передач // Волновые зубчатые передачи: Тез.докл. Л., 1969. - С. 75-95.

118. Шамирян-Пахлеванян Р.И. Кинематическая точность волновых зубчатых передач. Дис. канд. техн. наук, М., 1971, - 172 с.

119. Волков Д.П., Крайнев А.Ф.Планетарные и комбинированные передачи строительных и дорожных машин. М.: Машиностроение, 1968.-328 с.

120. Скворцова Г.А., Семин Ю.И., Комаров В.А. и Евдокимов А.П. Экспериментальное исследование мертвого хода волновой зубчатой передачи / Изв. ВУЗов. Сер. Машиностроение. 1969. - № 10. - С.62-72.

121. Чернова Л.С., Гинзбург Е.Г. О мертвом ходе волновой зубчатой передачи // Волновые зубчатые передачи. Л., 1969. - С. 108.

122. Комарова Т.Н., Крашенников В.И. Экспериментальное исследование мертвого хода и статистических моментов трогания волновойзубчатой передачи // Изв. ВУЗов. Сер. Машиностроение. 1971. № 2. - С.85-95.

123. Васильева И.И. Теоретическое и экспериментальное исследование точности приборных волновых зубчатых передач. — Дис. канд. техн. наук. / СЗПИ Л., 1972. - 173 с.

124. Васильева И.И. О влиянии технологических погрешностей на мертвый ход волновых зубчатых передач // Труды СЗПИ. Л., 1971. — С.58-68.

125. Нажесткин Б.П., Варламова Л.П., Морин И.С., Смирнов Н.И., Сабойнов А.А., Ходданян К.А. Стенд для испытания технических передач в вакууме при низких и повышенных температурах // Вестник машиностроения. 1978. - № 3. - С. 25-27.

126. Смирнов Н.И. Изнашивание зубчатых передач в вакууме // Изв. ВУЗов. Сер. Машиностроение. 1978. - № 8. - С. 51-54.

127. Нажесткин Б.П., Варламова Л.П., Смирнов Н.И. Исследование работоспособности зубчатых передач на воздухе и в вакууме // Изв. ВУЗов. Сер. 1978. - № 2. - С. 38-41.

128. Нажесткин Б.П., Варламова Л.П., Макаров Ю.В., Смирнов Н.И. Особенности изнашивания зубьев цилиндрических зубчатых передач в вакууме //Вест, машиностроения. 1978. - № 9. - С. 26-28.

129. Нажесткин Б.П., Леликов О.П., Смирнов Н.И. Исследование долговечности зубчатых передач в вакууме // Тр. МВТУ им. Н. Э. Баумана. 1980. - № 333. - С. 73-93.

130. Дроздов Ю.Н., Павлов В.Г. Трение и КПД зубчатых передач в вакууме // Вест, машиностроения. 1970. - № 2. - С.7-9.

131. Деримьян Г.П. Экспериментальное исследование КПД мелкомодульных зубчатых электромеханизмов в вакууме // Изв. ВУЗов. Сер. Машиностроение. 1969. - № 11. - С. 71-74.

132. Амосова Э.П., Чижов В.Ф., Деулин Е. А., Попов Е.Н. Анализ исследования нагрузки на диски генератора волновой передачи взависимости от параметров гибкого колеса и формы упругой линии // Машиностроение; Вып. 8. Красноярск, 1975. - С. 21-28.

133. Басу С.К. Шариковые винтовые пары // Станкоинструментальная промышленность. 1960. - № 3. — С. 66-74.

134. Турпаев А.И. Сравнительный анализ шариковинтовых механизмов // Динамика машин и синтез механизмов. М., 1974. — С. 187-204.

135. Левит Г.А., Борисенко Г.А. Расчет и конструирование передач винт-гайка качения: Руководящие материалы ЭНИМС. М., 1964. - 81с.

136. Носатов С.П. Способы устранения люфтов // Резьбовой электромеханический привод. — Владимир, 1975. С. 10-12.

137. Новоселов Б.В., Бушенин Д.В., Потапов Л.Д. Механическая передача в следящем приводе // Резьбовые несоосные и планетарные передачи в машиностроении и приборостроении. — Владимир, 1973. С. 16-20.

138. Левина З.М., Решетов Д.М. Контактная жесткость машин. — М.: Машиностроение, 1971. 210с.

139. Чижов В.Ф. Совместное деформирование растяжимого кольца и цилиндрической оболочки // Изв. ВУЗов. Сер. Машиностроение — 1969.-№ 11.-С. 48-56.

140. Короткое В.П. Допуски на резьбовые соединения. Контроль резьбы. Приборостроение и средства автоматики: Справочник. — T.I. — М., 1963.-260с.

141. Ионак В.Ф. Приборы кинематического контроля. М.: Машиностроение, 1981. - 128с.

142. Турышев В.А., Головин М.П. Исследование редуктора с дисковым генератором волн // Машиностроение; Вып. 7 Красноярск, 1974. -С. 40-52.

143. Ливитин Ф.Л. Справочник конструктора точного приборостроения.-М.: Машиностроение, 1964. С.896.

144. Ливитин Ф.Л. Теория зубчатых зацеплений. М.: Наука, 1968. - 584с.

145. Крагельский И.В., Любарский И.М., Гусляков А.А. и др. Трение и износ в вакууме. М.: Машиностроение, 1973. - 216с.

146. Куцоконь В.А., Малошевский С.Г., Тимофеев Б.П. Применение теории вероятностей при проектировании механизмов приборов. Л.: Машиностроение, 1971.- 144с.

147. Спришевский А.И. Подшипники качения. М.: Машиностроение. 1968.-48с.

148. Вентцель Е.С. Теория вероятностей. М.: Наука, 1969. - 576с.

149. Якушев А.И. Взаимозаменяемость, стандартизация и технические измерения. М.: Машиностроение, 1979. - 341с.

150. Турпаев А.И. Винтовые механизмы и передачи. М.: Машиностроение, 1982.-222с.

151. Единая система допусков и посадок СЭВ в машиностроении и приборостроении: Справочник. Т2. М.: Изд-во стандартов, 1982. -310с.

152. Вагин Н.С. Разработка герметичных волновых зубчатых передач для сверхвысоковакуумного технологического оборудования и повышения их надежности. — Дис. канд. техн. наук. / МВТУ им. Н. Э. Баумана. М., 1984. - 227с.

153. Данечев М.Д. Фрикционные свойства тонких пленок дисульфида молибдена, полученных методом электровакуумного напыления. -М., 1972. С. 49-55. (Экспресс-информация. Детали машин; Вып.29).

154. Иосилевич Г.Б. Концентрация напряжений и деформаций машин. -М.: Машиностроение, 1981, 223с.

155. Биргер И.А. Прочность, устойчивость, колебания. Справочник, том 2. М.: Машиностроение, 1968. С.59.

156. Механизмы и устройства радиоэлектронной техники: Учебное пособие / Н.В. Василенко., И.Ю. Григорьев, Е.Н. Ивашов и др. М.: МГИЭМ, 1994-250 с.

157. Конструирование механических систем автоматики: Учебное пособие для вузов / Н.В. Василенко, Н.И. Галибей, Л.Н. Логинов, Г.Г. Назаров. -Красноярск: Красноярск, книж. изд-во; Сиб. аэрокосм, акад., 1997.

158. А.с. № 1283456 СССР, МКИ4 F 16 F 15/03. Динамический гаситель колебаний /Е.Н. Ивашов, М.И. Некрасов, Л.Ф. Петров, И.Е. Трояновский Опубл. 15.01.87 //Б.И. № 2.

159. А.с. № 1298448 СССР, МКИ4 F 16 F 16/00, 7/10. Динамический гаситель колебаний /Е.Н. Ивашов, В.П. Майбородов, М.И. Некрасов и др. Опубл. 23.03.87 //Б.И. № 11.

160. А.с. № 1293406 СССР, МКИ4 F 16 F 15/00. Динамический гаситель колебаний /Е.Н. Ивашов, М.И. Некрасов, Л.Ф. Петров, И.Е. Трояновский Опубл. 28.02.87 //Б.И. № 8.

161. А.с. № 1251026 № 1251026 СССР, МКИ4 G 105 В 13/00, G 05 G 19/00. Устройство управления динамической системой /Е.Н. Ивашов, И.Ю. Григорьев, М.И. Некрасов, С.В. Степанчиков Опубл. 15.08.86 //Б.И. № 30.

162. Курманалиев Т.И., Петров Л.Ф., Некрасов М.И., Ивашов Е.Н. Виброзащита объектов НКА. В кн. Конструирование научных космических приборов. - М.: Наука, 1985. - с. 41-51, ил.

163. Ивашов Е.Н., Курчанова М.В. Плоские колебания исполнительных устройств промышленных роботов на /-координатах. М.: ВНИИТЭМР, Деп. рук. № 48 мш-86 Деп., 1986. - 20 е., ил.

164. Ивашов Е.Н., Курчанова М.В. Динамическая модель исполнительного устройства промышленного робота на /-координатах. М.: ВНИИТЭМР, Деп. рук. № 186-мш 86 Деп., 1986. - 23 е., ил.

165. А.с. № 1313686 СССР, МКИ4 В251/02, J 11/00. Манипулятор/ А.Т. Александрова, Е.Н. Ивашов, А.Ш. Колискор и др. Опубл. 30.05.87 //Б.И. № 20.

166. А.с. № 1366389 СССР, МКИ4 В25 J 11/00. Механизмы для перемещения и ориентации деталей/ Е.Н. Ивашов, А.Ш. Колискор, М.И. Некрасов и др. Опубл. 15.01.88 //Б.И. № 2.

167. А.с. № 1335756 СССР, МКИ4 F 16 F Н1/00. Приводное устройство /Е.Н. Ивашов, М.А. Куликов, М.И. Некрасов, С.М. Оринчев. Опубл. 7.09.87 //Б.И. № 33.

168. А.с. № 1356375 СССР, МКИ4 В 25 J 11/00. Трансформируемая конструкция для фиксации положения объектов в пространстве /Е.Н. Ивашов, А.Ш. Колискор, Т.И. Курманалиев и др., 1.07.87 - ДСП.

169. Ивашов Е.Н., Некрасов М.И., Степанчиков С.В. Исследование фрикционных характеристик твердосмазочных покрытий в вакууме. — В кн. Органические и полупроводниковые материалы. Пермь.: ПТУ, с. 175-181, ил.

170. А.с. № 1552537 СССР, МКИ4 В25 J 11/00. Трансформируемая конструкция для фиксации положения объектов относительно космического аппарата в пространстве /Е.Н. Ивашов, М.А. Куликов, С.М. Оринчев, С.В. Степанчиков., 22.11.89 ДСП.

171. А.с. № 1356748 СССР, МКИ4 G 05 G 19/00. Устройство для определения положения тела в пространстве (его варианты) /А. Т. Александрова, А.А. Горюнов, Е.Н. Ивашов и др., 01.08.87 ДСП.

172. Ивашов Е.Н., Курчанов М.В. Численное исследование динамики исполнительных устройств промышленных роботов в плоских I-координатах. М.: ВНИИТЭМР. Деп. рук. № 473 мш-86 Деп., 1986. № 13с., ил.

173. Ивашов Е.Н., Курчанов М.В. Численное исследование динамики исполнительных устройств промышленных роботов в пространственных /-координатах. М.: ВНИИТЭМР. Деп. рук. № 472 мш. 86, 1986. № 23с., ил.

174. Ивашов Е.Н., Курчанов М.В. Оценка погрешности позиционирования промышленных роботов в /-координатах. М.: ВНИИТЭМР. Деп. рук. № 210 мш-87 Деп., 1987. - Юс., ил.

175. Ивашов Е.Н. Собственные изгибные колебания пневмоцилиндра промышленного робота, смоделированного в виде цилиндрическойоболочки и стержня. В кн. Автоматизированные станочные системы и роботизация производства. Тула: ТПИ, 187 -с. 125-135, ил.

176. Ивашов Е.Н. Геометрические зависимости в роботах на /координатах. В кн. Безлюдные роторные и гибкие технологии. Тула: ТПИ. 1987.-с. 7-10, ил.

177. Ивашов Е.Н., Курчанова М.В. Необходимые и достаточные условия существования /-координат. М.: ВНИИТЭМР. Деп. рук. № 425/19 мш-88 Деп., 1988. - 7 е., ил.

178. Ивашов Е.Н., Некрасов М.И., Юрашев В.В. Теоретическая оценка работоспособных функциональных механизмов перемещения. В сб. Электронное машиностроение, робототехника, технология ЭВП. - М.: МИЭМ, 1985-е. 95-100.

179. А.с. № 1244515 СССР, МКИ 4 G 01 L 5/16. Устройство для одновременного определения составляющих силы и перемещения /Е.Н. Ивашов, С.А. Кузнецов, М.И. Некрасов, И.В. Токарев Опубл. 15.07.86//Б.И. №26.

180. А.с. № 1237414 СССР, МКИ4 В 25 J 11/00. /-координатный манипулятор /Е.Н. Ивашов, М.А. Куликов, М.И. Некрасов, И.В. Токарев Опубл. 15.06.86 //Б.И. № 22.

181. А.с. № 11278198 СССР, МКИ4 В25 J 1/02. Исполнительный орган манипулятора /Е.Н. Ивашов, М.И. Некрасов, С.В. Степанчиков, Л.Ф. Петров Опубл. 23.12.86 //Б.И. № 47.

182. А.с. № 1315665 СССР, МКИ4 F 15 В 15/10. Устройство для передачи движения /Е.Н. Ивашов, В.П. Майборода, М.И. Некрасов и др. — Опубл. 07.06.87 //Б.И. № 21.

183. Ивашов Е.Н., Курчанова М.В. Применение /-координатных манипуляторов. М.: ВНИИТЭР. Деп. рук. № 1071/19 мш-88. Деп. 1988.-9 е., ил.

184. А.с. № 1495111 СССР, МКИ4 В 25 J 9/00, 11/00 /-координатный манипулятор /Е.Н. Ивашов, А.Ш. Колискор, М.И. Некрасов и др. -Опубл. 23.07.89 //Б.И. № 27.

185. А.с. № 1574290 СССР, МКИ4 В 08 В 9/08 Система очистки емкостей /Г.К Антонова, Е.Н. Ивашов, В.М. Ляпин и др. Опубл. 30.06.90 //Б.И. № 24.

186. А.с. № 1620295 СССР, МКИ4 В 25 J 9/00, /-координатный манипулятор /И.Ю. Григорьев, Е.Н. Ивашов, В.М. Ляпин и др. -Опубл. 15.01.91 //Б.И. № 2.

187. Ивашов Е.Н., Киреева Э.К., Курчанова М.В., Степанчиков С.В., Токарев И.В. Виброзащита машин и приборов с использованием /координатных систем. Тезисы доклада на 2-й Всесоюзной конференции по проблемам виброзащиты «Вибромаш-89»: Иркутск, 1989.-0,2 с.

188. А.с. № 1600381 СССР, МКИ4 С 23 С 14/50, Устройство для транспортировки подложки в вакууме /И.Ю. Григорьев, Е.Н. Ивашов, В.М. Ляпин и др. Опубл. 15.06.90 //ДСП.

189. А.с. № 1639088СССР, МКИ4 С 23 С 14/50, 14/24. Подложкодержатель / Е.Н. Ивашов, В.М. Ляпин, С.В. Степанчиков и др. Опубл. 01.12.90 //ДСП.

190. А.с. № 1469222 СССР, МКИ4 F 16 F 15/00. Динамический гаситель колебаний /Г.К. Антонова. Е.Н. Ивашов, М.И. Некрасов, Л.Ф. Петров, Опубл. 30.03.89 //Б.И. № 12.

191. А.с. № 1467286 СССР, МКИ4 F 16 F 15/00., F 16 F 15/03. Гаситель колебаний /Е.Н. Ивашов, В.П. Майборода, М.И. и др. Опубл. 23.03.89//Б.И.№ 11.

192. А.с. № 1553372 СССР, МКИ4 В 25 J 1/02, 9/12 Привод перемещения рабочего органа /Т.К. Антонова. Е.Н. Ивашов, М.И. Некрасов, С.В. Степанчиков, Опубл. 30.03.90 //Б.И. № 12.

193. А.с. № 1677391 СССР, МКИ4 F 16 СЗЗ/66. Узел трения для работы в экологически чистых средах /Т.К. Антонова. Е.Н. Ивашов, В.М. Ляпин и др., Опубл. 15.09.91 //Б.И. № 34.

194. А.с. № 1679729 СССР, МКИ4 F 15 В15/10. Инерциально-импульсное транспортное средство. / Е.Н. Ивашов, В.М. Курчанова, Е.Е. Мишина, И.В. Токарев. Опубл. 22.05.91 // ДСП.

195. Ивашов Е.Н., Некрасов М.И., Степанчиков С.В. Проблемы вакуумной экологии в производстве изделий микроэлектроники. -Тезисы доклада на 3-ей НТК «Экология микроэлектроники 90». М.: МИЭТ, 1990.

196. Ивашов Е.Н., Некрасов М.И., Степанчиков С.В. Влияние вибраций вакуумного технологического оборудования на уровень привносимых загрязнений. Тезисы доклада на 3-ей НТК «Экология микроэлектроники - 90». М.: МИЭТ, 1990.

197. Ивашов Е.Н. Модели трения, изнашивания газовыделения для вакуумного машиностроения. Вестник машиностроения, № 12. — 1990. с. 17-20.

198. Ивашов Е.Н. /-координатные исполнительные устройства в оборудовании производства электронной техники //Автоматическое оборудование и технология производства изделий электронной техники. М.: МИЭМ, 1991, с. 3-12.

199. Ивашов Е.Н. Применение /-координатных исполнительных устройств в напылительном оборудовании //Автоматическое оборудование и технология производства изделий из электронной техники. М.: МИЭТ, 1991, с. 33-37.

200. А.с. № 1691091 СССР, МКИ4 В 25 J 9/00. /-координатный манипулятор /Е.Н. Ивашов. Опубл. 15.11.97 //Б.И. № 42.

201. А.с. № 1716214 СССР, МКИ4 F 16 F 15/00. Динамический гаситель колебаний /Е.Н. Ивашов Опубл. 31.03.92 //Б.И. № 8.

202. А.с. № 1733907, МКИ4 G 01 В 5/03. Механизмы перемещения /Н.В. Василенко, Е.Н. Ивашов, М.А. Куликов, С.М. Оринчев, С.В. Степанчиков Опубл. 15.05.92 //Б.И. № 18.

203. А.с. № 1713065 СССР, МКИ5 Н 02 № 2/00. Устройство для прецизионного перемещения изделий /JI.JI. Андреева, Г.К. Антонова, Н.В. Василенко, Е.Н. Ивашов, С.В. Степанчиков. Опубл. 15.02.92 //Б.И. № 6.

204. А.с. № 1716822 СССР, МКИ5 С23 С 14/56. Устройство для очистки вакуумной камеры / Е.Н. Ивашов, В.М. Ляпин, М.И. Некрасов, С.М. Оринчев, С.В. Степанчиков. ДСП, 1992.

205. А.с. № 1649194 СССР, МКИ4 Н57/04 Герметичная волновая зубчатая передача /Т.К. Антонова, Н.О. Голованова, Е.Н. Ивашов, С.В. Комаров, С.В. Степанчиков. Опубл. 15.05.91 //Б.И. №18.

206. А.с. № 1684557 СССР, МКИ4 F 16 F 5/00. Поглотитель ударов /Л.Л. Андреева, Е.Н. Ивашов, Н.В. Копнева, С.М. Оринчев, С.В. Степанчиков. Опубл. 15.10.91 // Б.И, № 38.

207. Коготков В.П., Тайц Б.А. Основы метрологии и теории точности измерительных устройств. — М.: Изд-во стандартов, 1978. 352с., ил.

208. Борисов С.Г., Истомин С.Н., Некрасов М. И. Эксперниментальная установка для исследования кинематической точности устройств преобразования движения в высоком вакууме. М.: Вестник машиностроения, №9, 1982. - с. 17-22, ил.

209. Куцоконь В.А. Точность кинематических цепей приборов. JL: Машиностроение, 1980. - 221с., ил.

210. Первицкий Ю.Д. Расчет и конструирование точных механизмов. Л.: Машиностроение, 1976. - 455с., ил.

211. Ивашов Е.Н., Некрасов М. И. Расчет интенсивности износа элементов подшипников скольжения. — М.: НИИавтопром. Деп. Рук. № 749 ап -Д82, 1982. 5с., ил.

212. Ивашов Е.Н., Некрасов М.И. К вопросу об определении момента трения в подшипнике скольжения. М.: НИИавтопром. Деп. Рук. № 748 ап - Д82, 1982. - 4с., ил.

213. Ивашов Е.Н., Некрасов М. И. Расчет коэффициента трения в подшипнике скольжения при сухом трении. М.: НИИавтопром. Деп. Рук. № 899 ап - Д83, 1983. - 5с., ил.

214. Ивашов Е.Н., Некрасов М.И. Расчет интенсивности износа в подшипнике скольжения при сухом трении. М.: НИИавтопром. Деп. Рук. № 900 ап - Д83, 1983. - 5с., ил.

215. Ивашов Е.Н., Некрасов М.И. Адгезионная модель трения металлических материалов подшипников скольжения. М.: НИИавтопром. Деп. Рук. № 824 ап - Д82, 1982. - 5с., ил.

216. Ивашов Е.Н., Папцов Г.М., Ганн К.Г. Напряжения и деформации в подшипниках скольжения и их влияние на трение и износ металлополимерных пар. М.: НИИавтопром. Деп. Рук. № 721 ап -Д82, 1982.-5с., ил.

217. Ивашов Е.Н., Некрасов М.И. Адгезионная модель трения разноименных металлических материалов подшипников скольжения. М.: НИИавтопром. Деп. Рук. № 825 ап - Д82, 1982. - 5с., ил.

218. Ганн К.Г., Ивашов Е.Н. Характер износа фторонаполненных материлов и явления, сопровождающие его в вакууме. — М.: ЦНИИИЭлектроника. Деп. рук. № 8026/82, 1982. 6с., ил.

219. Ивашов Е.Н., Некрасов М.И. Исследование кинематики зацепления волновых передач с планетарным генератором волн. — М.: ЦНИИЭлектроника. Деп.рук. № 8028/82, 1982. 6с., ил.

220. Ивашов Е.Н., Некрасов М.И. Исследование напряженно-деформированного состояния гибких цилиндрических элементов волновых вводов. М.: ЦНИИЭлектроника. Деп.рук. № 8530/83, 1983.-9 е., ил.

221. Ивашов Е.Н., Некрасов М. И. Долговечность радиальных однорядных шарикоподшипников при осевой нагрузке. М.: ЦНИИЭлектроника. Деп.рук. № 8023/82, 1982. - 7 е., ил.

222. Ивашов Е.Н., Мельников А.И., Некрасов М.И. Определение интенсивности изнашивания зубьев волновых зубчатых передач. — М.: ВНИИТЭМР. Деп.рук. № 135, мш-85 Деп., 1985. 6с., ил.