автореферат диссертации по машиностроению и машиноведению, 05.02.22, диссертация на тему:Научно-методическое обеспечение управления качеством холодных катодов на этапе разработки и организации производства

Введение.

Глава 1. Современное состояние разработки и производства He-Ne лазерных датчиков на холодных источниках электронов.

1.1. Гироскопические системы на лазерных зеемановских гироскопах

1.2. Отличительные особенности зарубежных лазерных гироскопов.

1.3. Влияние конструктивных и других особенностей элементов лазер* ных датчиков на свойства зеемановских гироскопов.

1.4. Анализ отечественных разработок в области создания He-Ne лазерных датчиков на холодных катодах.

1.5. Сравнительный анализ конструкций и способов изготовления лазерных датчиков с холодными катодами с целью определения перспективного варианта.

1.6. Зеркала и холодные источники электронов лазерных датчиков на He-Ne смеси.

1.6.1.Современные приемы изготовления зеркал.

1.6.2.Методы изготовления холодных источников электронов (катодов)

Выводы к главе

Глава 2. Холодный катод как многокомпонентная техническая система.

2.1. Особенности разработки холодного катода высокой надежности.

2.1.1 .К выбору материала и конструкции.

2.1.2.Класс обработки поверхности и ее структура.

2.1.3.Чистота поверхности.

2.1.4.Покрытие поверхности подложек холодных катодов оксидной пленкой.

2.2. Выбор критериев качества холодных катодов.

2.2.1. Особенности контроля технологического процесса изготовлем ния холодных катодов.

2.2.2.Толщина оксидной пленки.

2.2.3.Критерий долговечности и внешние воздействующие факторы

Выводы к главе 2.

Глава 3. Современный подход к управлению качеством продукции.

3.1. Необходимость повышения качества продукции.

3.2. Общие принципы обеспечения качества продукции.

3.3. Обеспечение качества (надежности) на всех этапах жизненного цикла изделия.

3.4. Повышение качества (надежности) на этапе проектирования и разработки продукции.

3.5. Система обеспечения и контроля качества на этапе производства.

3.6. Обобщенная структурная схема системы обеспечения и контроля качества изделий на этапах их «жизненного цикла».

3.7. Особенности управления качеством изделий радиоэлектроники на предприятиях России

3.8. Повышение качества разработки и производства холодных катодов лазерных датчиков.

Выводы к главе 3.

Глава 4. Разработка и организация производства основы современных лазерных датчиков - холодных катодов.

4.1. Концепция разработки лазерного датчика на основе пленочного холодного катода.

4.2. Создание технологии получения пленочного холодного катода высокой надежности и долговечности.

4.2.1. Особенности выбора материала для новой конструкции.

4.2.2. Технические приемы и разработка методов получения и испытания многослойных холодных катодов.

4.3. Организация производства и методы управления качеством холодных катодов.

4.3.1. Структура и задачи автоматизированной системы управления предприятием по производству холодных источников электро

4.3.2. Функционирование информационно-советующей системы управления качеством лазерных гироскопов.

Выводы к главе 4.

Приборостроительные предприятия России, осуществляющей переход к социально-ориентированной рыночной экономике, поставлены перед необходимостью выработки стратегий, обеспечивающих, в том числе, разработку и производство отечественных навигационных систем и их основных узлов с учетом конкурентных преимуществ.

Ведущие зарубежные фирмы Spectra Physics, Reytheon, Honeywell, Litton Sistems, Sperry определяют маркетинговую стратегию развития и ценовую политику производства лазерного навигационного оборудования для ориентации движущихся объектов. Например, гироскопы фирмы Honeywell на гелий-неоновых (He-Ne) лазерных датчиках используются для навигации воздушных, космических и морских судов. Отличительной особенностью лазерных датчиков таких гироскопов является использование холодного источника электронов (катода). Холодный катод для эмиссии электронов не требует наличия источника высокотемпературного нагрева и является идеальным для использования в вакуумных и газоразрядных приборах современных устройств радиоэлектроники. Тем не менее, к холодному катоду, изготовленному, как правило, из бериллия, вещества I класса опасности, и обеспечивающему горение тлеющего разряда, а следовательно, и накачку лазера в процессе его работы, предъявляется ряд жестких требований по долговечности и надежности при аномальном тлеющем разряде. На практике диапазон их расширяется в связи с воздействием вибро-ударных, климатических и акустических нагрузок, действующих на лазерные датчики, в которые встроены такие холодные катоды.

Ученых и конструкторов и сегодня в особой степени занимают вопросы разработки новых и совершенствования известных холодных катодов, организации их производства, поскольку именно они, по мнению ведущих специалистов, в первую очередь определяют надежность отпаянных гелий-неоновых лазерных датчиков. Из-за отсутствия систем обеспечения качества у приборостроительных предприятий России, испытывающих хроническое недофинансирование по Госзаказам, производство не совершенствуется, поскольку считается не первостепенной задачей.

Зарубежные фирмы в своей маркетинговой стратегии не предусматривают продажу лазерных датчиков и готовых навигационных комплексов российским потребителям. Маловероятно и то, что гироскопы потребительского качества, одинакового с зарубежными, изготовленные в современной России и обремененные высокой трудоемкостью и энергоемкостью, станут конкурентоспособными на мировом рынке без модернизации их производства.

Поэтому, опираясь на уникальный отечественный научный задел в сфере разработки лазерных датчиков с холодными катодами, в основе отечественной стратегии развития лазерных навигационных комплексов должно лежать не только обеспечение эффективности совокупных затрат, но и прежде всего, высокое качество изделий. Причем это качество должно быть обеспечено соответствующей организацией производства. Эта система не должна давать сбоев при изготовлении основных узлов лазерного гироскопа, ответственных за его долговечность и надежность на всех этапах его жизненного цикла. Такая стратегия обеспечит монопольное положение российских лазерных навигационных систем и их основы, лазерных датчиков с холодными катодами, на мировом рынке на довольно длительную перспективу.

Поскольку в настоящее время в промышленности России происходят процессы перехода к новой системе организации деятельности и управления, возникла необходимость сформировать такие научные основы организации совершенствования структур управления качеством лазерного датчика с холодным катодом как на стадии разработки, так и на всех последующих стадиях его производства, на основе которых можно было бы оперативно модернизировать общую систему организации производства, корректируя при этом как сами изделия, так и структуру управления их производства и применения.

Таким образом, вышеизложенное, а также недостаточная разработанность данного направления в отечественной науке и практике, позволяет заключить, что разработка научно-методических основ обеспечения качества лазерных датчиков с холодным катодом на этапах разработки и организации производства является актуальной задачей.

Целью настоящей работы является формирование научно-методических основ обеспечения качества He-Ne лазерных датчиков с холодным катодом путем совершенствования структуры управления разработкой и производством наиболее уязвимых его элементов, выявленных при детальном анализе всех параметров и технологических процессов изготовления основных узлов датчика, ответственных за его долговечность (среднюю наработку на отказ).

Поставленная цель включает следующие задачи:

- исследование свойств основных узлов гелий-неонового датчика, и прежде всего холодного катода, влияющих на его надежность, выявление наиболее уязвимых элементов датчика с использованием для этих целей системного подхода как методической основы оценки качества;

- изучение существующих технологических процессов получения холодных катодов и их параметров, как многокомпонентной системы, влияющих на качество и надежность лазерного датчика, а также на экологическую безопасность методами системного моделирования и информационных технологий;

- изыскание научно-методических основ и процедур моделирования обеспечения качества холодных катодов для лазерных датчиков и разработка основ совершенствования структуры управления их разработкой, производством и применением;

- разработка оптимальной структуры организации производства отечественных лазерных датчиков с холодными катодами, обеспечивающей их высокое качество и конкурентоспособность на мировом рынке.

Объект исследования. Объектом исследования служили отечественные лазерные гелий-неоновые датчики с холодными катодами, технологические процессы производства датчика и его основных элементов.

Методы исследования. В работе использовались методы статистической физики, математической логики и вычислительной математики. Теоретическую основу исследований составляли методы системного анализа и моделирования, теории управления производством, а также теория и методы инженерных знаний.

Научная новизна. В рамках данной работы получены следующие новые научные результаты, выносимые в качестве положений на защиту.

- сформулирована детальная модель жизненного цикла гелий-неонового лазерного датчика с холодным катодом, позволяющая выявить его наиболее уязвимые элементы, в основу которой заложен базовый критерий качества -наработка на отказ;

- методами системного анализа и экспериментального моделирования разработана методология устранения уязвимых элементов лазерного датчика, основанная на совершенствовании процесса их конструирования и изготовления, обеспечивающая эффективный реинжиниринг организационной структуры производства наиболее уязвимой детали;

- исследованы и установлены особенности выработки критериев контроля качества и системы управления производством основного элемента лазерного датчика - холодного катода с конкурентоспособными параметрами как на этапах его разработки, так и в производстве.

Практическая ценность работы. Практическая значимость результатов исследования заключается в системном анализе и совершенствовании структуры управления производством лазерных датчиков с холодными катодами, примененными на приборостроительных предприятиях. Полученные результаты позволяют сформулировать и реализовать пути повышения качества и эффективности производства отечественных приборов, в том числе лазерных гироскопов, на всех этапах их жизненного цикла. Представленные в работе процедуры и методология организации производства и обеспечения качества основных элементов лазерного датчика, обладающих заданными структурными свойствами, определяющих долговечность и надежность гироскопа могут быть использованы в системах инерциальной лазерно-спутниковой системы навигации типа ГЛОНАС. Реализация результатов исследований позволит повысить технические характеристики (долговечность) лазерных гироскопов в условиях воздействия климатических, акустических и вибро-ударных нагрузок, что обеспечит конкурентоспособность отечественных лазерных навигационных систем и самое важное безопасность авиапассажиров и экипажей летательных аппаратов.

Нижеследующие технические аспекты данного исследования нашли применение в отечественной промышленности:

- результаты и доказательства того, что наиболее уязвимыми элементами гелий- неонового моноблочного лазерного датчика являются зеркала и источник электронов - холодный катод;

- экспериментальные результаты применения твердооксидных зеркал, обеспечившие необходимые оптические параметры лазерного датчика;

- холодный катод в виде пленки оксидированного А1, выполненный в зеркальной полости моноблока, изготовленный методами вакуумной техники из исходного высокочистого алюминия, обеспечивающий надежную работу He-Ne датчика на всех этапах жизненного цикла, экологическую безопасность производства;

- конкурентоспособные лазерные датчики, реализованные на рынке благодаря высокому уровню качества пленочных холодных катодов, достигнутому контролем параметров технологических процессов производства и организацией самого производства. Основные положения и выводы диссертации внедрены на предприятии «Лазекс», г. Москва.

Основные результаты диссертационной работы докладывались на 7 отечественных и международных конференциях и совещаниях.

Общие выводы по работе

Благодаря выполненным исследованиям, впервые, создана перспективная структура управления качеством лазерных датчиков современного предприятия на этапах разработки, организации производства и освоения технологического процесса. Главным элементом предложенной структуры организации производства является информационно-аналитический центр (ИАЦ), который в реальном масштабе времени поддерживает и регулирует процесс выпуска продукции. Руководство предприятия, располагая сведениями о потребностях мирового рынка (в результате маркетинговых изысканий), параметрами текущего производства и данными фундаментальных и прикладных исследований, с помощью сотрудников ИАЦ, определяют стратегию развития предприятия.

Проведенные исследования позволяют сделать следующие выводы:

1. Выявленные особенности оценки качества разработки и организации производства зарубежных и отечественных лазерных моноблочных гелий-неоновых датчиков угла поворота и угловой скорости с учетом их надежности и длительности жизненного цикла могут быть рекомендованы в качестве методической основы оценки качества разработки и организации производства ЛД. Предложенная модель жизненного цикла гелий-неонового лазерного датчика с холодным катодом, основанная на выходных пооперационных параметрах изготовления и эксплуатации ЛД, позволяет выявить элементы, ограничивающие его надежность. Такими элементами в ЛД являются зеркала и холодный катод. В предложенной модели базовым критерием качества моноблочного датчика с холодным катодом является долговечность (средняя наработка на отказ).

2. С использованием методов экспериментального моделирования и системного анализа, разработана методология повышения качества лазерного датчика, и, прежде всего, его основного элемента - холодного катода, основанная на разработке новых конструкторско-технологических решений и совершенствовании структуры организации производства.

3. Предложенный метод экспериментального моделирования и системно-I го анализа, рассматривающий холодный катод как многокомпонентную техни-! ческую систему, позволил исследовать и установить критерии качества, их численные величины: шероховатость поверхности (Ra~0,160.0,08 мкм), толщина эмиссионного слоя (0,4.2,0 мкм), толщина оксидной пленки (20.40 нм), уменьшение давления He-Ne смеси на 20% и др. с целью разработки системы управления производством холодных катодов с конкурентоспособными параметрами. Созданный автором холодный катод, выполнен в виде неразъемного пленочного покрытия системы А120з-А1-кварц (ситалл) на стенках полости моноблока, в котором ранее размещался вставной бериллийсодержащий холодный катод, не уступает последнему по уровню долговечности и превосходит его по надежности в условиях виброударных нагрузок.

4. Автором, впервые, предложена методика совершенствования управления предприятием по производству лазерных моноблочных датчиков с принципиально новым холодным катодом, на базе информационно-аналитического центра контроля и управления качеством.

В целом, результаты работы, полученные автором, позволяют создать более совершенные малогабаритные моноблочные датчики с холодными катодами для отечественных лазерных гироскопов с качеством мирового уровня и исключить из их состава вещества I класса опасности. Последнее не только резко уменьшает вредное воздействие указанных веществ на персонал и окружающую природную среду, но и снимает большие затраты по производству и переработке особо опасных веществ.

136

1. Байбородин Ю.В. Введение в лазерную технику. Киев: Техшка, 1977.

2. Patent № 386310 USA. Method of fabricating a gas laser / Urs. Hochuli, Paul R. Haldemann. 1975.

3. Коржавый А.П. Малогабаритные холодные катоды / Информационный листок № 144-77. Калуга: ЦНТИ, 1977.

4. Korzhavyi А.Р., Kristya V.I. On the calculation of cold cathodes lifetimes for helium-neon lasers // J. Appl. Phys. 1991. - V. 70, №9. - P. 5117-5118.

5. Korzhavyi A.P. Advanced metallic materials for Vacuum devices // Journal of Advanced Materials. 1994. - № 1(1). - P. 46-53.

6. Минайчев B.E. Нанесение пленок в вакууме. М.: Высшая школа, 1989.

7. Бондаренко Г.Г., Коржавый А.П. Ионно-плазменное напыление алюминиевых и бериллиевых покрытий на внутренние поверхности полых цилиндрических катодов // Изв. РАН. Сер. Металлы. 1995. - № 4. - С. 167171.

8. А.С. SU №421308, HOIS 3/00. Газовый оптический квантовый генератор с холодным катодом / С.И. Файфер, С.М. Жданов, А.П. Коржавый и др. -1983.

9. Коржавый А.П. Механизмы образования и способы устранения дефектов в плакированных материалах / Дефекты и физические свойства многокомпонентных электронных материалов / Под ред. К.Г. Никифорова. -Калуга: Изд-во КГПУ им. К.Э. Циолковского, 1999.

10. Коржавый А.П., Яранцев Н.В. Технологические аспекты получения сандвич материалов для электронной техники // Прогрессивные технологии, конструкции и системы в приборо- и машиностроении: Тезисы докладов

11. Всероссийской научно-технической конференции. Калуга, 2000. -С. 111-112.

12. Бондаренко Г.Г., Лищук Н.В. Химические и электрохимические способы повышения долговечности холодных катодов // Физика и химия обработки материалов. 1998. - № 3. - С. 96-98.

13. Financial Times, 1983, N29087.- Р.21.

14. Зарубежное военное обозрение, 1983, N1. С. 57-63.

15. Developing a laser gyro for quited weapons // Brit. Aerospace News. 1983. -N71.-P.4.

16. Xigh accuracy ring laser qyro for long - term submarine navigation // Aviation Werk and Space Technol., 1983. - V. 11, N 7. - P. 109.

17. Ring laser gyro // New Scientist. 1982. - V.96, N 1335. - P.650.

18. В Cal goes Honeywell's way // Flight Internat. 1983. - V. 123, N 3851. -P. 525.

19. Ароновиц Ф. Лазерные гироскопы / Применение лазеров. Пер. с англ. / Под ред. В. Тычинского. М.: Мир, 1974. - С. 182-269.

20. Barbour N. М., Setterlund R. Н., Shmidt G. Inertial Instruments: Where to Now // Proc. of the I-th St-Petersburg Internat. Conf. on Gyroscopic Technology and Navigation, May 25-26, 1994. St-Petersburg: SCRI «Electropribor", 1994.-P. 13-24.

21. Савельев A.M., Соловьева Т.И. Состояние лазерной гироскопии за рубежом // Зарубежная радиоэлектроника. 1981. - № 8. - С. 77-92.

22. Electronics News. 1984. - V. 30, N 1512.

23. Aviation Week and Space Technology (США). 1980. - V. 113. № 22. -С. 144.

24. Aviation Week and Space Technology. 1984. - V. 121, N 21. - P.91.

25. Interavia.- 1984.-V. 39, N 12.- P.17.

26. Патент США №3.860.310, кл. 316-26, опубл. 14.01.1975.

27. Патент США № 4017808, кл. HOIS, 3/22, опубл. 12.04.1977.

28. Материалы V Всесоюзного симпозиума по ФЭЭ, ВЭЭ и ВИЭЭ. Рязань, 1983.

29. Суховский В.Н., Коржавый А.П., Кочурихин Е.В. Нитриды переходных металлов перспективные материалы для долговечных пленочных катодов // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1989. - Вып. 6 (243). -С. 70-71.

30. Патент Великобритании № 2.091.480, кл. HOIJ, 1/02, опубл. 28.07.1982.

31. Коржавый А.П., Суховский В.Н., Лоренц Г.Ф. Исследование немонотонного распыления полого холодного катода // Электронная техника. Сер. Материалы. 1986. - Вып. 8. - С. 68- 71.

32. Патент ФРГ № 3038191 AI, кл. HOIS, 3/03.

33. Chance D.A., Brusic V., Crawford V.S., Macennes R.D. Cathodes for HeNe Lasers // IBM J. Res. Develop. 1979. - V. 23, N 2. - P. 119-127.

34. Tgang W.T., Logan R.A., Hegems M. Highpower fundamental trans-versemode Strip buried heterestructure lasers with linear light - current characteristics // J. Appl. Phys., 1978. - V. 32, N 5. - P. 311-314.

35. Gannon J.J., Nuese C.J. A chemical etchant for the selective removal of GaAs through Si02 masks // J. Electrochem. Soc., 1974. V. 121, N 9. -P. 1215-1219.

36. Коржавый А.П. Материалы с высокой устойчивостью к распылению на основе легких металлов для холодных источников электронов // Наукоемкие технологии. 2001. - Т. 2, № 40. - С.29-32.

37. Дерюгина Е.О., Пролейко Э.П. Метод создания катодов для датчиков лазерных гироскопов // Наукоемкие технологии. 2002. - Т. 3, № 5. - С. 618.

38. Ананьин B.C., Гусев A.M., Салауров М.П. О зависимости работы выхода холодного катода от изменений микрорельефа его поверхности под воздействием газового разряда в различных режимах // Электронная техника. Сер. 4.- 1976.-Вып. 3.

39. А.с. 509165. Способ изготовления холодных катодов / B.C. Ананьин и др.- 1975.

40. А.с. 654018 СССР. Холодный катод / Е.Т. Кучеренко, Е.В. Зыкова // Б.И.- 1982. -№ 48.

41. А.с. 1565284 СССР. Способ изготовления пленочного катода газового лазера / В.Н. Суховский, А.П. Коржавый.

42. Крютченко О.Н., Магдеев Ш.Н., Чижиков А.Е. Влияние электронной и ионной бомбардировок на экзоэмиссию пленок окиси магния // Электронная техника. Сер. 6. Материалы 1980. - Вып. 8. - С. 17-20.

43. Оптимизация конструкции катодного узла малогабаритных He-Ne лазеров / О.Н. Крютченко, А.Ф. Маннанов, В.А. Степанов, М.В. Чиркин // Лазерная техника и оптоэлектроника. 1993. - Вып. 1-2 (68-69). - С. 8083.

44. Механизмы проводимости оксидного покрытия холодных ктаодов газоразрядных приборов / О.Н. Крютченко, А.Ф. Маннанов, А.А. Носов В.А. Степанов, М.В. Чиркин // Поверхность. Физика, химия, механика. 1994. -№ 6.-С. 93-99.

45. Механизм деградации поверхности холодного катода в гелий-неоновых лазерах / О.Н. Крютченко, А.Ф. Маннанов, А.А. Носов В.А. Степанов, М.В. Чиркин // Радиотехника и электроника. 1996. - Т. 11, № 8. -С. 990-994.

46. Коржавый А.П., Корчагина Е.Е., Прасицкий В.В. Малогабаритный холодный катод гелий-неонового лазера // Электронная техника. Сер. Лазерная техника и оптоэлектроника. 1986. - Вып. 4. - С. 4-5.

47. Батраков А.С. Квантовые приборы. Л.: Энергия, 1972. - 176 с.

48. Бондаренко Г.Г., Бычков Н.А., Кристя В.И. Технологическое оборудование и материалы для перспективных газовых лазеров // Наукоемкие технологии. 2001. - Т. 2, № 4. - С. 4-11.

49. Воскресенский П.И. Техника лабораторных работ. М.: Химия, 1969. -621 с.

50. Беляев Р.А. Окись бериллия. Свойства и применение. М.: Госатомиздат, 1962.-239 с.

51. Нашельский А.Я. Технология спецматериалов электронной техники. М., 1993.-368 с.

52. Научные основы материаловедения / Б.Н. Арзамасов, А.И. Крашенинников, Ж.П. Пастухова, А.Г. Рахштадт. Учебник для вузов. - М.: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1994. - 366 с.

53. Материалы для авиационного приборостроения и конструкций / Под ред. А.Ф. Белова. М.: Металлургия, 1982. - 400 с.

54. Тарнопольский Ю.М., Жигун И.Г., Поляков В.А. Пространственно-армированные материалы: Справочник. М.: Машиностроение, 1987. -294 с.

55. Селютин В.А. Машинное конструирование электронных устройств. М.: Сов. радио, 1977.-384 с.

56. Захаров A.M. Промышленные сплавы цветных металлов. Фазовый состав и структурные составляющие. М.: Металлургия, 1980. - 255 с.

57. Палатник J1.C., Ландау Л.И. Фазовые равновесия в многокомпонентных системах. Харьков: Издательство Харьковского госуниверситета 1961. — 405 с.

58. Амосов В.Я., Озерова М.И., Фиалков Ю.А. Основы физико-химического анализа. М.: Наука, 1976. - 503 с.

59. Грановский В.Л. Электрический ток в газе. М.: Наука, 1971. - 544 с.

60. Дульнев Г.Н., Заричняк Ю.П. Теплопроводность смесей композиционных материалов. М.: Энергия, 1974. - 264 с.

61. Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.-Л.: Госэнергоиздат, 1963.-608 с.

62. Ковалев А.И., Щедринский Г.В. Современные методы анализа поверхности металлов и сплавов. М.: Металлургия, 1989. - 161 с.

63. Москалев Б.И. Разряд с полым катодом. М.: Энергия, 1967. - 184 с.

64. Сидорин В.В. Управление качеством и сертификация / Учебное пособие для руководителей, специалистов предприятий и предпринимателей. -М.: Изд-во МИРЭА, 2002. 212 с.

65. Богданов С.В. Оптимизация решения задач экологического менеджмента // Менеджмент в России и за рубежом. 1998. - № 5. - С. 27-31.

66. Чернышев А.А. Основы надежности полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. М.: Радио и связь, 1988. - 256 с.

67. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность. М.: Высшая школа, 1986. -340 с.

68. Андреев А.С., Щука А.А. Возможность преодоления барьера межсоединений в микроэлектронике // Зарубежная радиоэлектроника. 1986. -№ 10.-С. 48-53.

69. Козырь И.Я. Качество и надежность интегральных микросхем. М.: Высшая школа, 1987. - 144 с.

70. Павловский В.В., Васильев В.И., Гутман Т.Н. Проектирование технологических процессов изготовления РЭА. М.: Радио и связь, 1982. - 161 с.

71. Вейцман Э.В., Венбрин В.Д. Технологическая подготовка производства радиоэлектронной аппаратуры. М.: Радио и связь, 1989. - 128 с.

72. Методика отработки конструкций на технологичность и оценка уровня технологичности изделий машиностроения и приборостроения. М.: Издательство стандартов, 1976. - 55 с.

73. ГОСТ 27.002-89. Надежность в технике. Основные понятия. Термины и определения. М.: Издательство стандартов, 1989.

74. Голинкевич Т.А. Прикладная теория надежности. М.: Высшая школа, 1985.-310 с.

75. Кофанов Ю.Н. Теоретические основы конструирования, технологии и надежности радиоэлектронных средств. М.: Радио и связь, 1991. - 430 с.

76. РДВ 319.01.09. Руководство по оценке правильности применения элек-трорадиоизделий в аппаратуре военного назначения. М.: Издательство Росстандарт. - 39 с.

77. Бережной В.П., Дубицкий А.Г. Выявление причин отказов радиоэлектронной аппаратуры. М.: Радио и связь, 1983. - 220 с.

78. Общая технология / И.Я. Козырь, Ю. Горбунов, Ю.С. Чернозубов, А.С. Пономарев. М.: Высшая школа, 1989. - 223 с.

79. Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии / В.В. Крапухин, А.И. Соколов, Г.Д. Кузнецов. 2-е издание. - М.: «МИСиС», 1995. - 493 с.

80. Коржавый А.П. Роль поверхностных факторов при ионно-электронной бомбардировке в получении оптимальных характеристик вторично-эмиссионных катодов // Электронная техника. Сер. Материалы. 1990. -Вып. 8. - С. 6.

81. Патент США № 3614642 от 19 октября 1971г. / V. Hochuli and P.R. Halde-mann.

82. J.P. Goldsborough. Laser Handbook, 1972. P. 597.

83. Michael E. Fein and Charles W. Salisburg Integrated construction of low -cost gas lasers // Applied Optics. 1977. - V. 16. N 8. - P. 2308-2314.

84. A. c. № 660787 СССР. Отделочно-расточной станок / Я.И. Менделевский, В .Я. Элитис // Б.И. 1979. - № 17.

85. Коржавый А.П., Файфер С.И. Новые методы получения полых цилиндрических катодов // Электронная промышленность. 1980. - Вып. 3 (87). -С. 15-17.

86. К вопросу электроадгезионного соединения некоторых материалов электронной техники / А.П. Коржавый, В.А. Приходченко, В.Н. Таиров, Г.М. Дзюбенко, В.А. Варенцов // Электронная техника. Сер. Материалы. -1983. Вып. 10 (183). - С. 57-59.

87. Коржавый А.П., Варенцов В.А., Бритун В.Ф. Исследование границы электроадгезионных соединений некоторых материалов электронной техники. // Электронная техника. Сер. Материалы. 1983. - Вып. 12 (185). -С. 36-39.

88. Коржавый А.П., Прасицкий В.В., Корчагина Е.Е. Получение композиционных материалов и изделий из компонентов с существенно различными КЛТР // Электронная техника. Сер. Материалы. 1986. - Вып. 7 (206). -С. 66-67.

89. Коржавый А.П., Прасицкий В.В., Петина Г.С. Особенности создания выносных холодных катодов квантовых приборов с He-Ne напылением // Электронная техника. Сер. Материалы. 1986. - Вып. 8 (219). - С. 1116.

90. Wallis G. Field assisted glass sealing // Electrocomponent Science and Technology. 1975. - Vol. 2, N 1. - P. 45-53.

91. Smith B. Laser Brewater Window sealing techniques // IEEE Quantum Electronics. 1973. - Vol. 9, N 5. - P. 456.

92. А. с. № 782581 СССР. Катодный узел / В.Н. Казаков, А.П. Коржавый и др.// Б.И. 1980. - № 43.

93. А. с. № 919530 СССР. Способ изготовления газоразрядного прибора с холодным катодом / В.Н. Казаков, А.П. Коржавый и др. // Б.И. 1982. -№ 13.

94. Бычков Н.А., Коржавый А.П., Лунев А.Е. Долговечные источники электронов // Труды МГТУ им. Н.Э. Баумана. 1997. - № 569. - С. 77-80.

95. Многослойные и многокомпонентные материалы для электронной техники / И.К. Белова, Н.А. Бычков, Н.П. Есаулов, К.Г. Никофоров // Межфазная релаксация в полиматериалах: Материалы Международной научно-технической конференции. М., 2001. - С. 247-249.

96. Бычков Н.А., Есаулов Н.П. Физические параметры для контроля качества многокомпонентных материалов // Физика электронных материалов: Материалы Международной конференции. Калуга, 2002. - С. 390-391.

97. Управляемый технологический процесс изготовления источников электронов / Л.Н. Вагин, К.А. Амеличева, Н.А. Бычков и др. // Наукоемкие технологии. 2003. - Т.4, № 2. - С. 38-46.

98. Бондаренко Г.Г., Бычков Н.А., Коржавый А.П. Поведение холодных источников электронов в условиях аномального тлеющего разряда // Радиационная физика твердого тела // Тр. 9-го межнационального совещания. М.,1999. - С. 705-709.

99. Автоматизированное рабочее место для обработки статистических данных / В.В. Шураков, Д.М. Дайнбергов, С.В. Мизрохи, С.В. Ясенковский. -М.: Финансы и статистика, 1990. 190 с.

100. Автоматизированные системы управления / Применение вычислительных и автоматизированных систем управления на предприятиях и в отраслях промышленности. -М.: Экономика, 1972. 399 с.

101. Альянах И.А. Моделирование вычислительных систем. М.: Машиностроение. Ленинградское отделение, 1988. - 223 с.

102. Иванов Ю.В., Лакота Н.А. Гибкая автоматизация производства РЭА с применением микропроцессов и роботов: Учебное пособие для вузов. -М.: Радио и связь, 1987. 464 с.

103. Информационные системы для руководителей / Ф.И. Перегудов, В.П. Та-расенко, Ю.П. Ехлаков и др. / Под ред. Ф.И. Перегудова. М.: Финансы и статистика, 1989. - 176 с.

104. Копорева Л.В., Малашинин И.И. Диалоговая система в управлении научными исследованиями и разработками. М.: Наука. Глав. ред. физ.-мат. лит., 1988.-216 с.

105. Иоффе А.Ф. Персональные ЭВМ в организационном управлении. М.: Наука. Глав. ред. физ.-мат. лит., 1988. - 208 с.

106. Автоматизированная система управления гибкими технологиями / В.И. Скурихин, А.А. Павлов, А.П. Путилов, С.Н. Гриша. Киев: Техника, 1987,- 164 с.