автореферат диссертации по электронике, 05.27.01, диссертация на тему:Исследование оптических свойств зонных пластинок Френеля из кремния для осевой геометрии

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. РЕНТГЕНООПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ

1.1. Зонные пластинки Френеля

1.1.1. Геометрия зонных пластинок

1.1.2. Дифракционные порядки зонных пластинок

1.1.3. Дифракционная картина

1.1.4. Разрешение

1.1.5. Эффективность дифракции

1.1.6. Амплитудные зонные пластинки Френеля

1.1.7. Фазовые зонные пластинки Френеля

1.1.8. Амплитудно-фазовые зонные пластинки Френеля

1.1.9. Многоуровневые зонные пластинки

1.2. Брэгг-Френелевская оптика

1.2.1. Брэгг-Френелевские линзы

1.2.2. Брэгг-Френелевские линзы на многослойных рентгеновских зеркалах

1.3. Зонные пластинки Френеля скользящего падения

1.4. Рефракционная оптика

1.5. Планарные параболические линзы 45 Выводы к главе

ГЛАВА 2. КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И

РАСЧЕТ СТРУКТУР ЗОННЫХ ПЛАСТИНОК

2.1. Геометрия составных зонных пластинок Френеля

2.2. Оптимизированная линейная зонная пластинка

2.3. Эффективность зонных пластинок Френеля с глубоким поверхностным рельефом

2.4. Компьютерное моделирование и расчет структур зонных пластинок

Выводы к главе

ГЛАВА 3. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОСТАВНЫХ

ЗОННЫХ ПЛАСТИНОК

3.1. Изготовление подложек для зонных пластинок

3.2. Электронно-лучевая литография

3.3. Глубокое ионно-плазменное травление структур зонной пластинки

3.4. Изготовленные зонные пластинки

3.4.1. Зонные пластинки первого порядка

3.4.2. Зонные пластинки первого и второго порядков

3.4.3. Зонные пластинки первого и третьего порядков

3.4.4. Зонные пластинки первого, второго и третьего порядков

3.4.5. Оптимизированная линейная зонная пластинка 93 Выводы к главе

ГЛАВА 4. ФОКУСИРОВКА ЖЕСТКОГО

РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ С ПОМОЩЬЮ

СОСТАВНЫХ ЗОННЫХ ПЛАСТИНОК ФРЕНЕЛЯ

4.1. Двумерная фокусировка рентгеновского излучения на лабораторном источнике

4.2. Экспериментальное исследование изготовленных 101 зонных пластинок на синхротронном источнике излучения Выводы к главе

Актуальность темы

Рентгеновское излучение широко применяется для проведения неразрушающего контроля различных приборов и диагностики материалов во многих областях науки и техники, особенно в микроэлектронике. Развитие элементной базы полупроводниковых приборов и уменьшение их размеров до субмикрометровых предъявляют повышенные требования к локальности и пространственному разрешению рентгеновских методов. Использования высокоэнергетичных источников синхротронного излучения открывает возможности решения задач, соответствующих современному уровню этих разработок, что стимулирует разработку новых рентгенооптических элементов.

В последние 15 лет проявляется значительный интерес к разработке оптической элементной базы для управления пучком в диапазоне длин волн O.Ol-fO.3 нм и получении субмикрометровых размеров сфокусированного рентгеновского излучения. Для создания таких элементов используются современная микро- и нанотехнология. Рентгенооптические элементы основаны на различных эффектах взаимодействия излучения с веществом, в соответствии с которыми их разделяют на следующие группы: изогнутые кристаллы и зеркала, капилляры и волноводы, френелевские зонные пластины, брэгг-френелевские и киноформные линзы, зонные пластинки скользящего падения и параболические линзы. За счет простоты использования в разных схемах на прохождение большие перспективы имеют фазовые зонные пластинки Френеля для осевой геометрии. Их теоретическая эффективность составляет « 40.5%, что в 4 раза выше, чем у амплитудных зонных пластинок, при этом отсутствует нулевой порядок дифракции.

Для улучшения основных параметров зонных пластинок - разрешающей способности и пиковой интенсивности в фокальном пятне - могут быть использованы составные зонные пластинки, позволяющие собирать в общий фокус различные дифракционные порядки. Использование таких рентгенооптических элементов в разных схемах передачи изображения в высокоразрешающей рентгеновской микроскопии позволит повысить эффективность проводимых научных исследований. Двумерно сфокусированный пучок рентгеновского излучения субмикрометровых размеров может быть использован в качестве яркого вторичного источника рентгеновского излучения.

Настоящая работа посвящена исследованию рентгенооптических свойств составных зонных пластинок Френеля, как с использованием нечетных порядков дифракции, так и при комбинации нечетных и четных порядков дифракции, с глубиной поверхностного рельефа, соответствующей фазосдвигающей толщине для расчетной энергии и превосходящей ширину внешних зон.

Таким образом, цель работы - создание френелевских зонных пластинок с глубоким поверхностным рельефом на прохождение для жесткого рентгеновского излучения и исследование их рентгенооптических свойств - является актуальной и представляет как научный, так и практический интерес. Для ее осуществления решены следующие основные задачи:

• компьютерное моделирование и разработка алгоритмов оптимизации числа точек разбиения кольцевых зон и учета необходимых коррекций на технологические погрешности формирования структур, разработка программных приложений для расчета составных зонных пластинок с четными и нечетными порядками дифракции;

• изготовление составных зонных пластинок Френеля с глубиной травления, которая соответствует фазосдвигающей толщине для расчетной энергии, с использованием современных технологических приемов электронно-лучевой литографии и глубокого ионно-плазменного травления, позволяющих достичь значения ширины внешних зон менее 0.5 мкм;

• исследование рентгенооптических свойств изготовленных зонных пластинок Френеля с глубоким поверхностным рельефом на лабораторных и синхротронных источниках рентгеновского излучения в диапазоне длин волн 0.05-^-0.2 нм.

Научная новизна работы

Разработаны алгоритмы оптимизации числа точек разбиения кольцевых зон, учета необходимых коррекций на технологические погрешности формирования структур, получен критерий для необходимого минимального числа точек разбиения на основе критерия Рэлея.

Впервые изготовлены кольцевые составные зонные пластинки с шириной внешних зон до 0.4 мкм и глубиной поверхностного рельефа 10.5 мкм на прохождение для расчетной энергии рентгеновского излучения 8.05 кэВ. Составные зонные пластинки Френеля с коэффициентом пропускания до 89% были изготовлены как с использованием нечетных порядков дифракции, так и при комбинации нечетных и четных порядков дифракции.

Впервые изготовлена линейная оптимизированная зонная пластинка с шириной внешних зон 0.4 мкм и глубиной поверхностного рельефа 6 мкм на прохождение для жесткого рентгеновского излучения.

На источнике синхротронного излучения Spring-8 (Япония) получена двумерная фокусировка при энергии рентгеновского излучения 8 кэВ с эффективностью дифракции в первом порядке 39% при субмикрометровых (0.5 мкм) размерах фокального пятна. На источнике синхротронного излучения ESRF (Франция) показана возможность фокусировки мощных пучков ондуляторного излучения.

Практическое значение

Разработано программное приложение для расчета структур составных зонных пластинок Френеля с четными и нечетными порядками дифракции, ориентированное для работы в операционной системе Windows. Программа позволяет: просмотреть зонную пластинку (с изменением масштаба), экспортировать данные в формате ELM, вводить коррекцию двух типов, менять места открытых и закрытых зон зонной пластинки. Развита методика изготовления различных составных зонных пластинок с глубоким поверхностным рельефом.

Изготовленные зонные пластинки Френеля (ЗПФ) с глубоким поверхностным рельефом по совокупности ряда параметров превосходят известные зарубежные аналоги, данные по которым приведены в периодической литературе и в сети Интернет.

Изготовленные экземпляры ЗПФ используются в схемах высокоразрешающей рентгеновской микроскопии на источниках синхротронного излучения ESRF и SPring-8.

Результаты, полученные в диссертационной работе, являются перспективными для дальнейшего развития высокоразрешающих рентгеновских методов исследования в микроэлектронике, диагностике материалов, медицине и биологии.

Основные положения, выносимые на защиту

1. Программное приложение для расчета оптических характеристик составных зонных пластинок с четными и нечетными порядками дифракции.

2. Методика формирования кольцевых и линейных составных зонных пластинок с шириной внешних зон до 0.4 мкм и глубиной поверхностного рельефа до «10 мкм из кремния для жесткого рентгеновского излучения.

3. Результаты экспериментальных исследований фокусировки рентгеновского излучения составными зонными пластинками Френеля с глубоким поверхностным рельефом на лабораторном и синхротронных источниках рентгеновского излучения Spring-8 и ESRF.

Апробация работы

Материалы диссертации докладывались и обсуждались на следующих конференциях

1. Всероссийская конференция "Рентгеновская 0птика-2000", Нижний Новгород, 22-25 февраля, 2000 г.

2. Всероссийская конференция "Рентгеновская 0птика-2001", Нижний Новгород, 19-22 февраля, 2001 г.

3. Всероссийская школа по рентгеновской оптике, Черноголовка, 25-26 октября, 2001г.

4. Всероссийская конференция "Рентгеновская 0птика-2002", Нижний Новгород, 18-21 марта, 2002 г.

5. The International Symposium on Optical Science and Technology, SPIE's 47th Annual Meeting, 7-11 July, 2002, Seattle, Washington, 2002.

6. XIV Российская Конференция по использованию синхротронного излучения, Новосибирск, 15-19 июля, 2002.

Основные результаты диссертации опубликованы в следующих работах

1. В.В. Аристов, А.В. Куюмчян, А.А. Исоян, Возможности и некоторые проблемы для реализации многоволновой фокусировки рентгеновских лучей с помощью БФ (Брэгг-Френель) и ЛФ (Лауэ-Френель) линз, Материалы совещания "Рентгеновская оптика-2000", Нижний Новгород, 2000, стр. 143-144.

2. А.А. Исоян, А.В. Куюмчян, В.В. Аристов, Е.В. Шулаков, М.В. Григорьев, Фокусировка жесткого рентгеновского излучения с помощью Френелевских составных линз, Материалы совещания "Рентгеновская оптика-2001", Нижний Новгород, 2001, стр. 160-162.

3. V.V. Aristov, А.А. Isoyan, A.V. Kuyumchyan, E.V. Shulakov, M.V. Grigoriev, Non absorption Fresnel modified zone plates for focusing hard x-ray, Всероссийская школа по рентгеновской оптике, Черноголовка, 25-26 октября, 2001 г, стр. 15.

4. В.В. Аристов, А.А. Исоян, А.В. Куюмчян, Е.В. Шулаков, М.В. Григорьев, Фокусировка жесткого рентгеновского излучения с помощью Френелевских составных линз, Поверхность, 2002, стр. 48 -50.

5. В.В. Аристов, А.В. Куюмчян, А.А. Исоян, Е.В. Шулаков, М.В. Григорьев, К.Г. Труни, Л.А. Арутюнян, Рентгенооптические линзы и их применение, Материалы совещания "Рентгеновская оптика-2002", Нижний Новгород, 2002, стр. 131-136.

6. В.В. Аристов, А.А. Исоян, А.В. Куюмчян, Е.В. Шулаков, М.В. Григорьев, Фокусировка жесткого рентгеновского излучения с помощью зонных пластин первого и второго порядка, Материалы совещания "Рентгеновская оптика-2002", Нижний Новгород, 2002, стр. 326-330.

7. Kuyumchyan A., Isoyan A., Shulakov Е., Aristov У., Kondratenkov М., Snigirev A., Snigireva I., Souvorov A., Tamasaku К., Yabashi М., Ishikawa Т., Trouni К., High efficiency and low absorption Fresnel compound zone plates for hard X-ray focusing, Proceedings of SPIE, 2002, vol. 4783,, p. 11.

8. B.B. Аристов, А. А. Исоян, A.B. Куюмчян, E.B. Шулаков, Оптимизированная линейная френелевская зонная пластинка для жесткого рентгеновского излучения, Материалы XIV Российской конференции по использованию синхротронного . излучения, Новосибирск, 2002, с. 120.

9. А.А. Исоян, А.В. Куюмчян, Слабо поглощающие зонные пластинки Френеля на прохождение рентгеновского излучения, «Молодые ученые-2002», Материалы международной научно-технической школы конференции «Молодые ученые - науке, технологиям и профессиональному образованию», г. Москва - М.: МИРЭА, 2002, с. 12-14.

Личное участие автора в выполнении работы выразилось в создании программного приложения для расчета структур составных зонных пластинок Френеля с необходимыми выходными параметрами (в том числе с использованием четных дифракционных порядков), подготовке исходных данных для изготовления новых модификаций френелевских зонных пластинок, изготовлении составных зонных пластинок Френеля с глубоким поверхностным рельефом из кремния, получении экспериментальных результатов исследования оптических свойств изготовленных зонных пластинок на лабораторном источнике рентгеновского излучения. Обработка результатов исследований рентгенооптических свойств изготовленных зонных пластинок на синхротронных источниках ESRF и SPring-8 проведены с участием соавторов.

Структура и объем работы

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, основных выводов и списка цитируемой литературы. Объем диссертации составляет 122 страницы, в том числе 41 рисунок, 4 таблицы и 92 литературных ссылок.

Общие выводы и заключение

1. Разработаны алгоритмы оптимизации числа точек разбиения кольцевых зон, учета необходимых коррекций на технологические погрешности формирования структур, получен критерий для необходимого минимального числа точек разбиения на основе критерия Рэлея. Разработано программное приложение для расчета структур составных зонных пластинок, как с использованием нечетных порядков дифракции, так и при комбинации нечетных и четных порядков дифракции, ориентированное для работы в операционной системе Windows.

2. Впервые изготовлены кольцевые составные зонные пластинки Френеля из кремния для длин волн 0.05-^0.2 нм с апертурой до 772 мкм при ширине внешних зон до 0.4 мкм и глубиной поверхностного рельефа 10.5 мкм. Составные зонные пластинки Френеля с коэффициентом пропускания до 89% были изготовлены как с использованием нечетных порядков дифракции, так и при комбинации нечетных и четных порядков дифракции. Впервые изготовлена оптимизированная линейная зонная пластинка Френеля первого порядка с шириной внешних зон 0.4 мкм, глубина поверхностного рельефа 6 мкм. Изготовленные зонные пластинки Френеля с глубоким поверхностным рельефом по совокупности ряда параметров превосходят известные зарубежные аналоги.

3. Впервые продемонстрирована двумерная фокусировка рентгеновского излучения с помощью составных зонных пластинок Френеля с глубоким поверхностным рельефом на лабораторном источнике излучения. На синхротронном источнике излучения SPring-8 получена двумерная фокусировка излучения в фокальное пятно с размером 0.5 мкм при дифракционной эффективности 39%. На синхротронном источнике излучения ESRF показана возможность фокусировки мощного пучка 3-й гармоники ондуляторного л излучения удельной мощностью пучка 30 вт/мм . Результаты исследования рентгенооптических свойств зонных пластинок на синхротронных источниках излучения SPring-8 и ESRF подтверждают точность изготовления зонных пластинок Френеля с глубоким поверхностным рельефом.

В заключении автор считает своим долгом выразить признательность и благодарность всем тем, кто оказывал ему помощь при выполнении данной работы. Прежде всего, автор глубоко благодарен своим научным руководителям: член-корреспонденту РАН, профессору Виталию Васильевичу Аристову и кандидату физико-математических наук Армену Владимировичу Куюмчяну, за предложенную тему, постоянную поддержку, ценные советы и замечания. Автор выражает свою искреннюю признательность и благодарность кандидату физико-математических наук Евгению Владимировичу Шулакову, доктору физико-математических наук Анатолию Александровичу Снигиреву, кандидату физико-математических наук Алексею Юрьевичу Суворову за помощь проведении, как экспериментальных исследований, так и в обсуждении результатов. Автор благодарит всех сотрудников лаборатории рентгеновской оптики и кристаллографии за полезное обсуждение работы и поддержку.

1. Е. Spiller, Soft X-ray optics and microscopy, in: Handbook on Synchrotron Radiation, North-Hollad, Amsterdam, 1983, vol. 1, p. 10921129.

2. B. L. Henke, Low-Energy X-Ray Diagonstics, AIP Proc., 1981, p. 146155.

3. P. Джеймс, Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей, М.; ИЛ, 1950,572 с.

4. А. Мишетт, Оптика мягкого рентгеновского излучения: Пер. с англ. М.: Мир, 1989, 352 с.

5. Е. Spiller, Soft X-ray Optics, SPIE Optical Engineering Press, Bellingham, Washington, USA, 1994, p. 101.

6. B.B. Аристов, А.И. Ерко, Рентгеновская оптика, М.:Наука, 1991150 с.

7. В. X. Yang, Fresnel and refractive lenses for X-rays, Nucl. Instrum. Methods A, 1993, vol. 328, p.578-587.

8. J. H. Underwood and D. T. Attwood, The renaissance of X-ray Optics, Phys. Today, 1984, vol. 37, iss.4, p.44-52.

9. Snigirev A.A., Kohn V., Snigireva I., Lengeler В., A compound refractive lens for focusing high energy X-rays, Nature, 1996, vol. 384, p. 49-51.

10. J.L. Soret, Concerning diffraction by circular gratings, Arm. Phys. Chem., 1875, vol. 156, p. 99-106.

11. M. Sussman, Elementary diraction theory of zone plates, Amer. J. Phys, 1960, vol. 28, p. 394-398.

12. M. Born, E. Wolf, Principles of Optics, 5th ed, Pergamon press, Elmsford, N.Y., 1975, p. 378-386.

13. О. E. Myers, Studies of Transmission Zone Plates, Amer. J. Phys., 1951, vol.19, p. 339-365.

14. G.S. Waldman, Variation on the Fresnel zone plate, J. Opt. Soc. Am., 1966, vol. 56, p. 215-218.

15. M. J. Simpson, Design considerations of zone plate optics for a scanning transmission x-ray microscope, Ph.D. thesis, London University, 1974.

16. M. J. Simpson, A.G. Michette, Imaging properties of modified Fresnel zone plates, Opt. Acta, 1984, vol. 31, p. 403-413.

17. H. Rarback, J. Kirz, Optical performance of apodized zone plates, High resolution Soft X-ray Optics, Proc. of SPIE, 1981, vol. 316, p. 120-125.

18. Рентгеновская оптика и микроскопия, под ред. Г.Шмаля и Д. Рудольфа, Москва: Мир, 1987, 354 с.

19. A. Ozawa, Т. Tamamura, Т. Ishii, Н. Yoshihara and Т. Kagoshima, Application of x-ray mask fabrication technologies to high resolution, large diameter Та Fresnel zone plates, Microelectronic Engineering, 1997, vol. 35, p. 525-529.

20. C. David, V. Schlott, A. Jafggi, A zone plate based beam monitor for the swiss light source, DIPAC 2001 Proceedings -ESRF, Grenoble, p. 35-37.

21. Lord ReRayleigh, Wave theory, in Encyclopaedia Brittanica, 9th ed., 1888, vol. 24, p. 429-451.

22. R.W. Wood, Phase-reversed zone plates and diffraction telescopes, Philos. Mag. Ser. 5, 1898, vol. 45, p. 511-522.

23. C. David, E. Ziegler,, B. Nohammer, Wet-etched diffractive lenses for hard X-rays, J. Synchrotron Rad., 2001, vol. 8, p. 1054-1055.

24. Aristov V.V., Basov Yu.A., Goureev Т.Е., Snigerev A.A., Ishikawa Т., Izumi K., Kikuta S., Focusing properties of a linear Bragg-Fresnel lens, Jnp.J. Appl. Phys, 1992, vol. 31, p. 2616-2620.

25. Miyamato К., The phase Fresnel lens, J. Opt. Soc. Am., 1961, vol.51, N 1, p. 17-21.

26. E.V.Shulakov, V.V.Aristov, Compound Bragg-Fresnel Zone Plates with variable Slitness, Surface Investigation, 1997, vol. 12, p. 311-316.

27. M. Baciocchi, R.Maggiora, M. Gentili, High resolution Fresnel zone plates for soft X-rays, Microelectronic engineering, 1994, vol. 23, p. 101-104.

28. S. Rehbein, R.B. Doak, R.E. Crisenti, G. Schmahl, J.P. Toennies, Ch. Woll, Nanostructuring of Free-Standing Zone Plates, X-ray-Microscopy: Proceedings of the Sixth International Conference, 2000, p. 688-693.

29. Y. Suzuki, A. Takeuchi, H. Takano, T. Ohigashi, H. Takenaka, Diffraction-limited microbeam with Fresnel zone plate optics in hard X-ray regions, Jpn. J. Appl. Phys., 2001, vol. 40, part 1, № ЗА, p. 15081510.

30. C. David, B. Nohammer, B. Haas, J. Veen, J. Hoszowska, E. Ziegler, M. Drakopoulos, F. Zontone, J. Bongaerts, M. Zwanenburg, Tunable wet etched diffractive optics for hard X-rays, PSI annual report 2000.

31. Y. Kagoshima, T. Ibuki, Y. Yokoyama, Y. Tsusaka, J. Matsui, K. Takai, M. Aino, lOkeV X-ray phase-contrast Microscopy for observing transparent specimens, Jpn. J. Appl. Phys., 2001, vol. 40, p. 1190-1192.

32. W. Chao, E. H. Anderson, G. Denbeaux, B. Harteneck, M.Le Gros, A. Lucero, D. Olynick, D. Attwood, High resolution soft X-ray microscopy, Proceedings of SPIE, 2000, vol. 4146, p. 171-175.

33. С. Jacobsen, S. Williams, E. Anderson, M.T. Browne, C.J. Buckley, D. Kern, J. Kirz, M. Rivers, X. Zhang, Diffraction limited imaging in a scanning transmission X-ray microscope, Optics communications, 1991, vol. 86, p. 351-364.

34. P. Тетчин, Теория оптимизации зонной пластинки. В книге: Рентгеновская оптика и микроскопия, Под ред. Г. Шмаля, Д. Рудольфа -М.: Мир, 1987, с. 56-70.

35. E.Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, R. Barett, High-efficiency multilevel zone plates for keV X-rays, Nature, 1999, vol. 401, p. 895-898.

36. C. David, P. Haberling, B. Ketterer, F. Glaus, B. Haas, A. Souvorov, B. Kaulich, J. Susini, P. Elleeaume, Fabrication of custom X-ray optical components, PSI annual report, 1999, p.35.

37. В.В. Аристов, B.A. Юнкин, Л.Г. Шабельников, C.M. Кузнецов, М.В. Григорьев, Рентгеновская оптика преломления. Планарные киноформные профили, Поверхность, 2000, №1, с.77-81.

38. I.A. Schelokov, D.V. Roshchupkin, R. Tucoulou, D.V. Irzhak, M. Brunei, A.S. Kondakov, Second generation of grazing-incidence-phase Fresnel zone plates, Optics Communications, 1999, vol. 159, p. 278-284.

39. J. Kirz, Phase zone plates for X-rays and extreme UV, J. Opt. Soc. Am., 1974, vol. 64, p.301-309.

40. Jentzsch F., Optishe Yersuche mit Rontgenstrahlen, Phys. Zeitschr. Bd, 1929, vol. 30, p. 268-273.

41. W. Yun, В. Lai, A. Krasnoperova, E. Di Fabrizio, Z. Cai, F. Cerrina, Z. Chen, M. Gentili, E. Gluskin, Development of zone plates with a blazed profile for hard x-ray applications, Review of Scientific Instuments, 1999, vol. 70, N9, p. 3537-3541.

42. Shulakov E.V., Aristov V.Y., The kinematical theory of X-ray spherical wave diffraction, Acta Cryst., 1982, vol. A38, p. 454-463.

43. Шулаков E.B., Аристов B.B., Теория дифракционной рентгеновской топографии совершенных и дефектных кристаллов, препринт ИФТТ, 1987, с. 32.

44. Аристов В.В., Шехтман В.Ш., Свойства трехмерных голограмм, УФН, 1971, т.4, №1, с. 51-57.

45. Aristov V.V., Snigirev А.А., Basov Yu.A., Nikulin A. Yu., X-ray Bragg optics, AIP Conf. Proc., 1986, №147, p. 253-259.

46. Aristov V.V., Basov Yu.A., Goureev Т.Е., Snigerev A.A., Ishikawa Т., Izumi K., Kikuta S., Focusing properties of a linear Bragg-Fresnel lens, Jnp.J. Appl. Phys., 1992, vol. 31, p. 2616-2620.

47. Kuznetsov S.M., Snigireva I.I., Snigirev A.A., Engstrom P., Riekel C., Submicrometer fluorescence microprobe based on Bragg-Fresnel optics, Appl. Phys. Lett., 1994, vol. 65, iss. 7, p. 827-829.

48. Tarazanova E., Elleaume P.,Chavanne J., Hartman Ya.M., Snigirev A.A., Snigireva I.I., 2D imaging of an undulator source by phase circular Bragg-Fresnel lens, Rew. Of Sci. Instr., 1994, vol. 65, iss.6, p.1959-1963.

49. Hartman Ya, Kohn V., Kuznetsov S, Snigirev A.A, Snigireva I.I, Phase-contrast hard X-ray microtomography by Bragg-Fresnel optics, Nuovo Cimento D, 1997, vol. 19D, iss.2-4, p.571-576.

50. Aristov V.V, Basov Yu.A, Redkin S.V, Snigirv A.A, Yunkin V.A, Bragg zone plate for X-ray focusing, Nucl. Instr.&Meth, 1987, A261, p. 72-74.

51. Aristova E.V, David C, Freund A, Hartman Ya, Kaulich B, Snigirev A, Yunkin V, Phase circular Bragg-Fresnel lens based on germanium single crystal, Proceedings of 4-th Int. Conf. On X-ray Microscopy, Chernogolovka, 1993, p.617-620.

52. Виноградов A.B, Зельдович Б.Я, Многослойные зеркала для рентгеновского и дальнего ультрафиолетового излучения, Оптика и спектроскопия, 1977, т.42,№4, с. 709-714.

53. Spiller Е, Evaporated multiplayer dispersion elements for soft X-rays, AIP Conf. Proc, "Low energy X-ray diagnostics", 1981, №75, p. 124-130.

54. Barbee T.W, Sputtered layered synthetic microstructure (LSM) dispersion elements, AIP Conf. Proc, "Low energy X-ray diagnostics", 1981, №75, p. 131-145.

55. Gapanov S.V, Genkin V.M, Salashchenko N.M, Fraerman A.A, Scattering of neutrons and X radiation in the range 10-300 A by periodic structures with rough boundaries, Pis'ma Zh. Eksp. Fiz, 1985, №2, p. 5355.

56. DuMond J, Yowtz J.P, An X-ray method of determination rates of diffusion in the solid state, J. Appl. Phys, 1940, vol. 11, №4, p.357-365.

57. Chauvineau J.P, Corno Y, Naccache P, Nevot L, Pardo B, Valiergue L, Fabrication controlee de nulticouches pour monochromateurs-reflecteurs en X-UV, J. Optics (Paris), 1984, vol.15, №4 bis, p. 265-269.

58. Гапонов С.В, Гусев С.А., Платонов Ю.Я, Салащенко Н.Н, Искуственные многослойные отражающие элементы для мягкого рентгеновского излучения. I. Выбор пар материалов и расчет многослойных зеркал, ЖТФ, 1984 , т. 2, с. 4-8.

59. Dhez Р, Metallic multilayers: New possibilities in X-UV optics, Adv. Space Res, 1983, vol. 2, №4, p. 16-19.

60. Аристов B.B, Гапонов C.B, Генкин B.M, Ерко А.И, Салащенко Н.Н, Фокусирующие свойства профилированных многослойных зеркал, Письма в ЖЭТФ, 1986, т.44, с. 207-209.

61. Erko A, Khzmalian Е, Panchenko L, Redkin S, Zinenko V, Chevalier P, Dhez P, Khan-Malek C,Freund A, Vidal B, First test of Bragg-Fresnel multilayer X-ray fluorescence microscope at LURE, Preprint, Chernogolovka, 1992, p.1-6.

62. Dhez P, Erko A, Khzmalian E, Vidal B, Zinenko N, Kirkpatrik-Baez microscope based on Bragg-Fresnel multilayer lenses, preprint, Chernogolovka, 1992, p. 1-14.

63. Erko A, Agafanov Yu, Panchenko L, Yakshin A, Chevalier P, Dhez P, Legrand F, Elliptical multilayer Bragg-Fresnel lenses with submicron spatial resolution for X-arys, Opt. Comm., 1994, vol. 106, p. 146-150.

64. Chevallier P, Dhez P, Erko A, Firsov A, Legrand F, Populus P, X-ray microprobes, NIM B, 1995, vol. 113, p. 122-127.

65. Firsov A, Svintsov A, Firsova A, Chevallier P, Populus P, Application of Bragg-Fresnel lenses for microfluorescent analysis and microdiffraction, NIM A, 1997, vol. 399, p. 152-159.

66. Yunkin V.A, Fischer D, Voges E, Reactive ion etching of silicon submicron-sized trenches in SF6C2C13F3 plasma, Microelectronic Engineering, 1995, vol. 27, iss. 1-4, p. 463-466.

67. Yu.A. Basov., D.V. Roshchupkin, A.E. Yakshin, Grazing incidence phase Fresnel zone plate for X-ray focusing, Opt. Commun., 1994, vol. 109, p. 324-327.

68. Yu.A. Basov, D.V. Roshchupkin, I.A. Schelokov, A.E. Yakshin, Two-dimensional X-ray focusing by phase Fresnel zone plate at grazing incidence, Opt. Commun., 1995, vol. 114, p. 9-12.

69. I.A. Schelokov, D.V. Roshchupkin, A.S. Kondakov, A.E. Yakshin, R. Tucoulou, M.Brunei, Two-dimensional X-ray focusing by grazing incidence phase Fresnel zone plates in Kirkpatrick-Baez scheme, Opt. Commun., 1998, vol. 155, p. 115-124.

70. Kirkpatrick P., Baez A.V., Formation of optical images by X-rays, J. Opt. Soc. Amer., 1948, Vol. 38, p. 766-774.

71. Ehrenberg W., X-ray optics, Nature, 1947, vol.160, p. 330-331.

72. Michette A.G., No X-ray lens, Nature, 1991, vol. 353, p. 510.

73. Suehiro S., Miyaji H., Hayashi H., Refractive lens for X-ray focus, Nature, 1991, vol. 352, p. 385-386.

74. Snigirev A., Kohn V., Snigireva I., Souvorov A., Lengeler В., Focusing high energy X-rays by compound refractive lenses, Applied Optics, 1998, vol. 37, p. 653-662.

75. Lengeler В., M. Richwin, C. Schroer, J. Tummler, M. Drakopoulos, Snigireva I., Snigirev A., A microscope for hard X-rays based on parabolic compound refractive lenses, Appl. Phys. Lett., 1999, vol.74, p. 3924-3926.

76. B.B. Аристов, Л.Г. Шабелъников, E.B. Шулаков, C.M. Кузнецов, В.А. Юнкин, М.В. Григорьев, С.И. Зайцев, Рентгеновская оптика преломления, Поверхность, 1999, №1, с.7-13.

77. В.В. Аристов, М.В. Григорьев, С.М. Кузнецов, А. Снигирев, И. Снигирева, К.Рау, Л.Г. Шабельников, М. Хофманн, Э. Фогес, В.А.

78. Юнкин, Фокусировка синхротронного излучения на планарных параболических линзах из кремния. Материалы рабочего совещания, Рентгеновская оптика-2000, 2000, с.11-14.

79. V. Aristov, Y. Yunkin, М. Grigoriev, S. Kuznetsov, L. Shabelnikov, M. Hoffman, E. Voges, Silicon Planar Parabolic lenses, Рентгеновская оптика-2001, Материалы рабочего совещания, 2001, с. 153-159.

80. М. Grigoriev, L. Shabelnikov, Y. Yunkin, A. Snigirev, I. Snigireva, M. Di. Michiel, S. Kuznetsov, M. Hoffmann, E. Voges, Planar parabolic lenses for focusing high energy X-rays, Proceedings of SPIE, 2001, vol. 4501, p. 185-192.

81. V. Aristov, M. Grigorev, S. Kuznetsov, L. Shabelnikov, V. Yunkin, T. Weitkamp, C. Rau, I. Snigireva, A. Snigirev, M. Hoffman, E. Voges, X-ray refractive planar lens with minimized absorption, Appl. Phys. Let.,2000, vol. 77, N 24, p. 4058-4060.

82. I. Snigireva, A. Snigirev, S. Kuznetsov, C. Rau, T. Weitkamp, L. Shabelnikov, M. Grigoriev, V. Yunkin, M. Hoffmann, E. Voges, Refractive and diffractive X-ray optical elements, Proceeding of the SPIE,2001, vol. 4499, p.64-73.

83. Simionovici, M. Chukalina, F, Gunzler, Ch. Schroer, A. Snigirev, I. Snigireva, J. Tummler, T. Weitkamp, X-ray microtome by fluorescence tomography. Nucl. Instr&Meth., 2001, A 467-468, p. 889-892.

84. B. Menez, A. Simionovici, P.Philippot, S. Bohic, F. Gigert, M. Chukalina, X-ray fluorescence micro-tomography an individual fluid inclusion using a third generation synchrotron light source, Nucl. Instr&Meth., 2001, В 181, p. 749-754.

85. A. Simionovoci, M. Chukalina, M. Drakopoulos, I. Snigireva, A, Snigirev, Ch. Schroer, B. Lengeler, F. Adams, X-ray fluorescence microtomgraphy: experiment and reconstruction SPIE, 1999, vol. 3772, p. 304-310.

86. E.V. Shulakov, V.V. Aristov, Calculation and Optimization of linear Bragg-Fresnel zone plates, Surface Investigation, 1997, vol. 12, p. 303309.

87. Z.Chen, Y.Vladimirsky, M.Brown, Q, Leonard, O. Vladimirsky, F. Moore, F. Cerrina, B.Lai, W.Yun, an E.Gluskin, Design and fabrication of Fresnel zone plates with large numbers of zones, J. Vac. Sci. Technol., 1997, В 15(6), p. 2522-2527.

88. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой/ под ред. Р.Бериша: перевод с англ., М.: Мир, 1984, 335 с.

89. Киреев В.Ю., Данилин Б.С., Кузнецов В.И., Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. М.: Радио и Связь, 1983, 126 с.

90. Т. Ishikawa, К. Tamasaku, М. Yabashi, S Goto, Y. Tanaka, H. Yamazaki, К. Takeshita, H. Kimura, H. Ohashi, Т. Matsushita, Т. Ohata, One kilometer beamline at Spring-8, Proceedings of SPIE, 2001,vol. 4145, p. 1-10.