автореферат диссертации по электронике, 05.27.01, диссертация на тему:Датчики на поверхностных акустических волнах с управляемой химической селективностью для систем электронного носа и газовой хроматографии

ГЛАВА 1.ОСНОВНЫЕ ТЕНДЕНЦИИ В РАЗРАБОТКЕ

СИСТЕМ ДЛЯ АНАЛИЗА ГАЗОВЫХ СРЕД.

1.1 .ЭЛЕКТРОННЫЙ НОС-КОНЦЕПЦИЯ И

ОСНОВНЫЕ ПОНЯТИЯ.

1.2.0СН0ВНЫЕ ТИПЫ ГАЗОВЫХ ДАТЧИКОВ.

1.3.0 ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВАХ ПАВ, НА ОСНОВЕ

КОТОРЫХ СТРОЯТСЯ ГАЗОВЫЕ ДАТЧИКИ.

1.4. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ГЛАВЫ.

ГЛАВА 2. ПРИНЦИП ПОСТРОЕНИЯ РЕШЕТКИ ДАТЧИКОВ, ОСНОВАННЫЙ НА АНИЗОТРОПИИ РАСПРОСТРАНЕНИЯ ПАВ В МОНОКРИСТАЛЛАХ.

2.1.ВЫБОР НАПРАВЛЕНИЙ РАСПРОСТРАНЕНИЯ ПАВ И КОНФИГУРАЦИИ, ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ ИНТЕГРАЛЬНОЙ РЕШЕТКИ.

2.2.РАСЧЕТ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ЛИНИЙ ЗАДЕРЖКИ С РАЗЛИЧНЫМИ НАПРАВЛЕНИЯМИ РАСПРОСТРАНЕНИЯ ПАВ.

2.3.ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО ДАТЧИКА.

2.4.0ПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ УСТАНОВКИ

И МЕТОДИКИ ИЗМЕРЕНИЙ.

2.5 .РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТОВ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ 2.6.ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ГЛАВЫ.

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ГАЗОВОГО ДАТЧИКА С

ПЕРЕСТРАИВАЕМОЙ СЕЛЕКТИВНОСТЬЮ.

3.1. ПРИНЦИП РАБОТЫ ГАЗОВОГО ДАТЧИКА С ЭЛЕКТРИЧЕСКИ ПЕРЕСТРАИВАЕМОЙ

СЕЛЕКТИВНОСТЬЮ НА ОСНОВЕ ПАВ-ВОЛНОВОДОВ.

3.2. КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ

ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВОЛНОВОДНОГО ПАВ-ДАТЧИКА.

3.3. ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ УСТАНОВКИ

ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ВОЛНОВОДНОГО ПАВ-ДАТЧИКА.

3.4. ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ ИССЛЕДОВАНИЙ ВОЛНОВОДНОГО ДАТЧИКА.

3.5. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ГЛАВЫ.

ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ ГАЗОВОГО ВОЛНОВОДНОГО ПАВ-ДАТЧИКА

В КАЧЕСТВЕ ДЕТЕКТОРА ДЛЯ ГАЗОВОЙ ХРОМАТОГРАФИИ.

4.1.ГАЗОВАЯ ХРОМАТОГРАФИЯ ОСНОВНЫЕ ЦЕЛИ И ПОНЯТИЯ.

4.2 ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ УСТАНОВКИ.

4.3 ОБСУЖДЕНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ.

4.4. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ГЛАВЫ.

Современный этап развития промышленности характеризуется все возрастающей потребностью в системах контроля и анализа газовых сред. Такие системы необходимы для экологического контроля окружающей среды, а также для контроля качества продукции в пищевой, медицинской, биологической и химической промышленности. Традиционно для этого применяется газовая хроматография, как самый эффективный метод разделения и анализа сложных смесей газов и жидкостей. Этот метод получил широкое признание в 50-ых годах и с тех пор непрерывно развивается и совершенствуется [1].

В то же время весьма затруднительно применять хроматографические методики в полевых условиях, из-за громоздкости аппаратуры и длительности процесса анализа (от десятков минут до нескольких часов). Для таких применений необходима разработка новых, портативных газоанализаторов. Для использования в таких приборах сейчас разработано множество датчиков, принцип действия которых основан на различных физических и химических взаимодействиях. Чувствительными к анализируемому веществу их делают путем подбора специальных сорбционных элементов. Подбор вещества и воспроизводимое изготовление таких чувствительных пленок является чрезвычайно трудной задачей, в настоящее время не решаемой в общем, виде. Известны лишь отдельные частные примеры успешного решения такой задачи, когда удавалось создать датчик, отклик которого на несколько порядков величины превосходит отклики на другие аналиты, и то лишь в весьма ограниченных условиях работы. Альтернативой этому 5 является использование в системах анализа газов так называемой решетки датчиков, объединяющей до нескольких десятков отдельных датчиков, обладающих различной чувствительностью к одинаковым газовым компонентам. Выходные сигналы отдельных датчиков подвергаются специальной математической обработке, позволяющей идентифицировать каждую газовую компоненту тестируемой смеси.

За такими анализаторами в настоящее время закрепилось название «электронный нос» (E-NOSE) [2].Такой прибор может быстро установить принадлежность исследуемого вещества к одному из известных, то есть он распознает вещество как бы по запаху или по вкусу, как это делает опытный дегустатор. Датчики, входящие в решетку электронного носа, могут не обладать высокой селективностью к какому-нибудь аналиту, главное, чтобы они имели разную селективность и достаточную чувствительность. При таком подходе одна из трудностей создания датчиков, а именно трудности подбора вещества для изготовления избирательной чувствительной пленки, отпадают. Однако, факторы, связанные с недостаточной воспроизводимостью изготовления чувствительных пленок и, главное, с различными скоростями старения различных чувствительных пленок в различных датчиках приводят к существенным недостаткам таких анализаторов в целом. Действительно, для работы таких приборов, так как в них производится сравнение выходных сигналов каждого датчика с сигналами, ранее занесенными в базу данных, требуется высокая стабильность параметров. В результате такой анализатор требует частой и сложной перенастройки и перекалибровки, что значительно сужает функциональные возможности прибора.

В данной работе исследуются новые принципы построения решетки датчиков, которые предлагают нетрадиционное решение этих проблем за 6 счет свойств поверхностных акустических волн (ПАВ). Первые работы по ПАВ-датчикам появились в начале 80-ых годов [3,4]. Чаще всего в таких датчиках используется только одно свойство ПАВ, а именно, зависимость скорости распространения волны от величины массы вещества, сорбированного чувствительной пленкой вдоль пути распространения акустической волны. Поэтому селективность датчиков такого типа зависит только от свойств этой пленки. До начала нашей работы зависимость ПАВ-отклика от других параметров рассматривалась в [5].

Недостаточно изучена на наш взгляд зависимость отклика ПАВ-датчика от изменений упругих и электрических свойств и температуры границы раздела поверхность звукопровода-чувствительная пленка, вызываемых сорбируемым веществом. Не изучалась детально возможность изменения селективности датчика от кристаллографического направления, вдоль которого распространяется ПАВ на поверхности кристалла и от варьирования упругих свойств приповерхностной области кристалла, в которой распространяется ПАВ. Далеко не полностью используется и такое свойство ПАВ, как способность распространяться в узких волноводах для дальнейшей миниатюризации датчиков. Использование этих свойств ПАВ открывает новые возможности для создания датчиков на ПАВ с существенно улучшенными характеристиками.

Целью настоящей диссертации является исследование явлений, связанных с влиянием сорбции летучих веществ на поверхности звукопроводов и слоистых структур на параметры распространения ПАВ, и разработка на основе этих явлений новых принципов построения интегральных сенсорных решеток и перестраиваемых газовых датчиков на поверхностных акустических волнах.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и библиографии.

4.4 ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ГЛАВЫ.

1. Экспериментально продемонстрирована возможность использования волноводного датчика на ПАВ в качестве детектора в газовых хроматографах. Получена пороговая чувствительность 10"8 г/см3, что на порядок лучше, чем у детектора по теплопроводности, используемого стандартными газовыми хроматографами.

2. Измерена зависимость отклика датчика от рабочей температуры подложки. Показано, что уменьшение температуры на несколько десятков градусов позволяет на несколько порядков увеличить отклик датчика.

3. Экспериментально показано, что явление влияния электрического поля на отклик волноводного датчика может быть использовано для изменения чувствительности датчика (в частности для увеличения), при использовании его в качестве хроматографического детектора.

Рис 4.8 Отклик датчика в зависимости от объема пробы для разных скоростей потока.

1,00

0,88

СП 0,75 ы

0,63 р рц 0,50

СО cvi

-©- 0,38

1

0,25

0,13

0,00

А ~ ~ О - эксперимент (АФ/АФ2з) АФ23 - изменение фазы (отклик) при температуре сенсора 2.3 С 0

- расчет (Р(Т)/Р(2.3)), Р(Т) - давление насыщенного пара, Р(2.3) -давление

- насыщенного пара при 2.3 С°

- ■ 1 1 1 1 1 1 i~~T~~ 1—-—г—Фн

10

20

30

40

50

60

Температура ПАВ-сенсора, С

Рис 4.10. Измеренная зависимость отклика датчика от его температуры (экспериментальные точки). Аналит - этиловый спирт. Сплошная линия - рассчитанная зависимость нормированного давления насыщенного пара этилового спирта от температуры

Рис.4.12.0тклик датчика на пятикомпонентную смесь № 3 и приложенное к волноводу напряжение.

114

ЗАКЛЮЧЕНИЕ.

В заключении сформулированы основные результаты, полученные в диссертации.

1.Предложен и экспериментально проверен новый принцип построения интегральной решетки датчиков на ПАВ, заключающийся в использовании нескольких акустических каналов, расположенных вдоль различных кристаллографических направлений на одной монокристаллической, пьезоэлектрической подложке и одной, общей для всех каналов газочувствительной пленки.

2. Разработаны конструкция, технология изготовления интегральной решетки ПАВ-датчиков. Изготовлен лабораторный макет четырехканального интегрального датчика на ПАВ, на основе слоистой структуры ST-кварц-пленка Pd. Измерен его отклик на следующие газы: СО, N20, Н2, Н20(пар). Полученные результаты подтвердили, что изменение направления распространения ПАВ в рамках одной монокристаллической подложки, влечет за собой изменение отклика датчика на одно и то же газообразное вещество.

3. Обнаружено и экспериментально исследовано влияние электрического поля, действующего в области распространения ПАВ в волноводе типа AV/V, на изменение скорости ПАВ под действием физической сорбции на поверхности волновода молекул окружающей среды. Эффективность такого влияния различна для различных молекул.

4. На основе этого явления предложен принцип построения газовых датчиков на ПАВ с перестраиваемой электрическим напряжением химической селективностью.

115

5. Разработана конструкция, изготовлен лабораторный макет волноводного датчика на ПАВ, измерены его отклики при детектировании паров спиртов гомологического ряда СрС5 и воды, и исследовано влияние на эти отклики электрического напряжения, приложенного к волноводу. Результаты исследований показали, что датчик обладает электронной перестройки химической селективности, вплоть до избирательного зануления и изменения знака отклика на некоторые аналиты.

6. Экспериментально продемонстрирована возможность использования волноводного датчика на ПАВ в качестве детектора в о ^ газовых хроматографах. Получена пороговая чувствительность 10"° г/см , что на порядок лучше, чем у детектора по теплопроводности, используемого стандартными газовыми хроматографами.

7. Измерена зависимость отклика датчика от рабочей температуры подложки. Показано, что уменьшение температуры на несколько десятков градусов позволяет на несколько порядков увеличить отклик датчика.

8. Экспериментально показано, что явление влияния электрического поля на отклик волноводного датчика может быть использовано для изменения чувствительности датчика (в частности для увеличения), при использовании его в качестве хроматографического детектора.

116

1.СТОЛЯРОВ Б.В., САВИНОВ И.М., ВИТЕНБЕРГ А.Г.: "Руководство к практическим работам по газовой хроматографии". Ленинград " Химия" 1988г.

2. NAGLE Н.Т., SCHIFFMAN S.S., GUTIERREZ-OSUNA R.: "The how and why of elektronic noses." IEEE Spectrum, September 1998, p. 22.

3. WOHLTJEN H, DESSEY R.: "SAW probe for chemical analysis: part 1 Introduction and Instrument description, part II-Gas chromatography detector". Analitical Chemistry, vol.51, ppl458-1465, 1979.

4. BRYANT A., LEE D. L., VETELINO J. F.: "Gas detection by SAW." Proc. IEEE Ultrasonic. Symp., 1981, pp 171-175.

5. ANISIMKIN V.I., KOTELYANSKII I.M., FEDOSOV V.I., and

6. CALIENDO C.: "Analysis of the different contributions to the response of SAWgas sensors." 1995 IEEE Ultrasonic Symposium Proceedings, 515-518.

7. HOLMBERG M., WINQUIST F, LUNDSTROM I., DAVIDE F., NAT ALE C. and D'AMICO A.: "Drift counteraction for an electronic nose." Sensors and Actuators B, 1996, 35-36, pp 528-535.

8. ВИГЛЕБ Г., Датчики: Перевод с немецкого: Москва, Мир 1989г.

9. LUNDSTROM I.: "Why bothe about gas-sensitive field-effect devices?" Sensors and Actuators A, 1996, 56, pp 75-82.

10. DICKINSON T.A., WITE Y., KAUER J.S. and WALT D.R.: "A chemical-detecting system based on a cross-reactive optical sensor fiber." Nature, Vol. 382, 1996,pp 697-700.

11. HAUDEN D.: "Miniaturized bulk and surface acoustic wave quartz oscillators used as sensors." IEEE Trans. Ultrason. Ferroelec. Freq. Contr." 1987, v. 34, pp 253-258.

12. BRYANT A., LEE D.F., and VETELINO J.F., " A surface acoustic wave gas detector", Proc. of the 1981 IEEE Ultrasonic Symposium, 171-174.117

13. D'AMICO A, PALMA A., VERONA E., " Palladium SAW interaction for hydrogen detection", Appl. Phys. Lett., 1982, v. 41, pp 300-304.

14. BRACE J.G., SANFELIPPO T.S., " A study of polymer/water interactions using surface acoustic waves", Proceedings of the Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators-Transducers 87, Tokyo, June 1987, 467-470.

15. BARENDSZ A.W., VIS J.C., NIEUWENHUIZEN M.S., NIEUWKOOP E., VELLEKOOP M.J., CHIJSEN W.J., and VENEMA A., "A SAW chemosensor for N02 gas concentration measurement", Proc. of the 1985 IEEE Ultrasonics Symposium, 585-590.

16. NIEUWENHUIZEN M.S., BARENDSZ A.W, NIEUWKOOP E., VELLEKOOP M.J., and VENEMA A., "Transduction mechanism in SAW gas sensors", Elect. Lett. 22(4), 13 February 1986, 184-185.

17. VENEMA A, NIEUWKOOP E., VELLKOOP M.J., NIEUWENHUIZEN M.S., BARENDSZ A.W., "Design aspects of SAW gas sensors", Sensors and Actuators, 10, 1986, 47-64.

18. VETELINO J.F., LADE R, FALCONER R.S., " Hydrogen sulfide surface acoustic wave gas detector", IEEE Trans, on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, vol. UFFC-34, № 26 March 1987, 156-161.

19. DAMICO A., PETRI A., VERARDI P., and VERONA E.: "NH3 SAW gas sensor." Proc. IEEE Ultrasonic. Symp. 1987, ppl56-160.

20. NANTO H., TSUBAKINO S., HABARA M., KONDO K., MORITA Т., DOUGUCHI Y., NAKAZUMI H., WAITE R.I.: "A novel chemical sensor118using CH3Si(OCH3)3 sol- gel thin film coated quartz-resonator microbalance. Sensors and Actuators В 34(1996) pp312-316.

21. WATSON G., HORTON W., STAPLES E.: "Portable detection system for illicit materials based on SAW resonators." Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1992, pp269-273.

22. WATSON G., HORTON W., STAPLES E.: "Gas chromatography utilizing sensors." Proc. IEEE Ultrasonic symposium, 1991, pp305-309.

23. ОЛИНЕР А.: "Поверхностные акустические волны". Москва, "Мир", 1981.

24. RICCO A.J., MARTIN S.J.: "Thin metal film characterization and chemical sensors: monitoring electronic conductivity, mass loading and mechanical properties with surface acoustic wave devices." Thin Solid Films, 1991,206, pp 94-101.

25. WOHLTJEN H., "Mechanism of operation and design considerations for surface acoustic wave vapor sensors ", Sensors and Actuators, 1984, vol.5, №4,307-325.

26. WOHLTJEN H., SNOW A.W., BARGER W.R. and BALLANTINE D.S., "Trace chemical vapor detection using SAW delay line oscillators", IEEE Trans, on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, vol. UFFC-34, № 2, March 1987,172-177.

27. FEDOSOV V.I, ANISIMKIN V.I, KOTELYANSKII I.M, CALIENDO C, VERARDI P, VERONA E.: "Analysis of acoustic waves in119multilayers using compound matrices." Proc. 1996 IEEE Ultrasonics Symp., 1996, pp 207-212.

28. АНИСИМКИН В.И., МАКСИМОВ СЛ., КАЛИЕНДО 4., ВЕРОНА Э., " Адсорбция водяных паров на кварце, палладии и сплаве палладия с никелем". Поверхность, 1998, № 3, стр. 73-78.

29. RICCO A.J., MARTIN S.J. and ZIPPERIAN Т.Е., "Surface acoustic wave gas sensor based on film conductivity changes", Sensors and Actuators, 8(1985), 319-333.

30. Акустические кристаллы. Под редакцией Шаскольской М.П., 1982, Москва "Наука."

31. АНИСИМКИН И.И, КОТЕЛЯНСКИЙ И.М, ВЕРОНА Е.: "Анализ газов и индуцируемых ими поверхностных процессов с помощью акустических волн". Журнал технической физики, 1998г, том 68, № 2, стр. 73-81.

32. SMITH W.R., GERARD Н.М., COLLINS J.H., REEDER T.W. and SHOW H.J., "Analysis of interdigital surface wave transducers by use of an equivalent circuit model." IEEE Trans. Microwave Theory and Techniques, vol. MTT-17, pp. 854-864, November 1969.

33. HARTMANN C.S., BELL D.T., ROSENFELD JR. and R.S., "Impulse response model design of acoustic surface-wave filters." IEEE, Trans, on Microwave Theory and Techniques, Vol. MTT-21, pp-162-175, April 1973.

34. TANCRELL R.H., "Principles of Surface Wave Filter Design," in MATTHEW H.(ed),"Surface Wave Filters," John Wiley and Sons, New York, Chapter 3, 1977.

35. YAMAMOTO N., TONOMURA S., MATSUOKA Т., TSUBOMURA H.: "A study on a palladium-titanium oxide Schottky diode as a detector for gaseous components." Surface Science, 1980, vol. 92, and pp400-406.120

36. ЛИТОВЧЕНКО В.Г., ЛИСОВСКИЙ И.П., ЕФРЕМОВ А.А., ГОРБАНЮК Т.Л., ЧИПАНСКИ Д., ГЕРГИНЧЕВ 3., КОРНЕЦКИЙ Р.: "Природа адсорбционно-электрического эффекта, индуцируемого адсорбцией молекул водорода в Pd-Si3N4-Si02 структурах". Поверхность, 1995, 11,стр. 5-17.

37. ГУЛЯЕВ Ю.В., МАЛЬЦЕВ О.А., МЕДВЕДЬ А.В., МИШКИНИС Р.А.: "Управляемый фазовращатель на основе акустического волновода типа AV/V." Письма в ЖТФ. 1985г, т. 11, № 13, стр. 824-828.

38. MEDVED A.V., MISHKINIS R.A., RUTKOVSKY P.F.: " Highly sensitive electrostatic voltage sensor on SAW double-waveguide". Electron. Lett., 1990, 26, (14), pp. 973-974.

39. ГУЛЯЕВ Ю.В., МЕДВЕДЬ A.B., МИШКИНИС P.A., РУТКОВСКИЙ П.Ф.: "Влияние электрического поля на распространение поверхностных акустических волн в слабо связанных волноводах типа AV/V." Письма в ЖТФ. 1984г, т. 10, № 14, с.870 870.

40. HUGHES J.: "Elastic surface wave guidance's by AV/V effect guidance structures."

41. КАРИНСКИЙ C.C., " Устройства обработки сигналов на ультразвуковых поверхностных волнах". Москва "Советское радио" 1975г.

42. ROYER D., DIEULESAINT Е.: "Ondes elastiques dans les solides. Tome 1." Masson, Paris, 1996.

43. КРЕЙЧИ M., ПАЮРЕК Я., KOMEPC P.: " Вычисления и величины в сорбционной колоночной хроматографии". Москва, "Мир" 1993г.

44. СПИСОК РАБОТ АВТОРА, ВОШЕДШИХ В ДИССЕРТАЦИЮ.

45. А1. В.И АНИСИМКИН, Э. ВЕРОНА, Р.Г. КРЫШТАЛЬ, А. В. МЕДВЕДЬ, В.Е. ЗЕМЛЯКОВ, "Интегральная решетка датчиков для анализа многокомпонентных газовых смесей". Письма ЖТФ, 1998 г., т.24.,в.16., с.40-45.

46. А2. V.I. ANISIMKIN, V.I. FEDOSOV, A.V. MEDVED, R.G. KRYSHTAL, V.E. ZEMLYAKOV, Е. VERONA, "Integrated array of SAW sensors for gas analysis". Abstracts. IEEE International Ultrasonics Symposium. 1998, 5-8 October, p.217-218.

47. A3. V.I. ANISIMKIN, A.V. MEDVED, R.G. KRYSHTAL, V.E. ZEMLYAKOV, E. VERONA, "New configuration of SAW gas sensor array". Abstracts. IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Society. 1998, 7-12 June, p. 4.

48. A4. V.I. ANISIMKIN, A.V. MEDVED, R.G. KRYSHTAL, V.E. ZEMLYAKOV, E. VERONA, "Integrated array of SAW gas sensors". Electronics Letters, vol 4., №13, 1998, 25 June, p.p.1360-1361.

49. A6. A.V. MEDVED, V. V. SHEMET, R.G. KRYSHTAL, V.E. ZEMLYAKOV, "Electronically tunable SAW chemosensors". Electronics Letters, Vol. 35, №8, 1999, p.p.676-678.122

50. А7. Ю.В. ГУЛЯЕВ, А.В. МЕДВЕДЬ, Р.Г. КРЫШТАЛЬ, В.В. ШЕМЕТ, В.Е. ЗЕМЛЯКОВ, ХОАНГ ВАН ФОНГ, "Перестраиваемый газовый датчик на основе акустического волновода". Акустический журнал, № 1, 2001 г, т.47, стр.39-42.

51. А8. А.В. МЕДВЕДЬ, Р.Г. КРЫШТАЛЬ, В.В. ШЕМЕТ, В.Е. ЗЕМЛЯКОВ, "Газовый датчик с перестраиваемой селективностью на основе ПАВ-волновода". Микросистемная техника, № 4, 2000 г., стр. 4043.

52. А9. Yu. V. GULYAEV, A.V. MEDVED, V. V. SHEMET, R.G. KRYSHTAL, V.E. ZEMLYAKOV, "Chemical Selectivity Tuning in SAW Gas Sensors". Abstracts. International Forum on Wave Electronics and Its Applications. 14-18 September 2000, St. Petersburg, p. 42-43.