автореферат диссертации по химической технологии, 05.17.11, диссертация на тему:Технология миниатюрных изделий из магнезиально-силикатных материалов

На правах рукописи

Романова Наталья Игоревна

ТЕХНОЛОГИЯ МИНИАТЮРНЫХ ИЗДЕЛИЙ ИЗ МАГНЕЗИАЛЬНО-СИЛИКАТНЫХ МАТЕРИАЛОВ

05.17.11-Технология силикатных и тугоплавких неметаллических материалов

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Томск-2005

Работа выполнена в ОАО Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов (г.Томск) и ООО Научно-производственное предприятие КЕРАМОСЭТ (г.Томск)

Научный руководитель

доктор технических наук, профессор Смирнов С.В.

Официальные оппоненты

доктор технических наук, профессор,

заслуженный деятель науки и техники РФ Бердов Г.И.

доктор технических наук, профессор Лотов В.А.

Ведущая организация

ОАО Новосибирский электровакуумный завод

Защита состоится <«?<Р» Щ&ЦЯ 2005 г. в часов на заседании диссертационного Совета Д 212.269.08 при Томском политехническом университете по адресу: 634050, г.Томск, пр.Ленина, 30, корп. 2, ауд. 117

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Томского политехнического университета

Автореферат разослан МЛЯ- 2005 г.

Ученый секретарь диссертационного Совета кандидат технических наук ^

Т.С.Петровская

2.16 2.2.18

3

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность работы. Регулирование свойств магнезиально-силикатных диэлектриков с успехом осуществляют различными методами: ситаллизацией, воздействиями на разных стадиях изготовления изделий (составом шликера, пропиткой пористых полуфабрикатов в растворах солей и др). Как правило, данные методы регулирования свойств изделий из форстеритовых и стеатитовых материалов применимы к изделиям размером - от одного до нескольких сантиметров. Развитие полупроводниковой техники привело к существенному изменению размеров изделий в меньшую сторону. В настоящее время, вследствие сверхминиатюризации диэлектрических втулок (внешний диаметр 0,55 мм, толщина стенки 115 мкм), размеры деталей начинают приближаться к размерам зерен керамики. В этой ситуации потребовались новые подходы для создания технологии сверхминиатюрных изделий. Работы, положенные в основу диссертации, выполнялись в рамках госбюджетных НИР ОАО НИИПП.

Цель работы. Разработка технологии изготовления миниатюрных изделий из магнезиально-силикатной керамики.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

1) оптимизация процессов формования сверхминиатюрных изделий из форстеритовых и стеатитовых материалов методом шликерного литья под давлением;

2)разработка новых методов регулирования свойств сверхминиатюрных изделий из магнезиально-силикатных материалов дополнительными воздействиями - обработкой термопластических шликеров в акусто-гидродинамическом гомогенизаторе и пропиткой полуфабрикатов растворами солей;

3)разработка и внедрение промышленной технологии получения сверхминиатюрных втулок из форстеритовой керамики и стеатитового ситалла методом лазерно-механической обработки по технологии часовых камней.

Научная новизна работы 1.Выявлено, что обработка термопластичных шликеров в акустическом гомогенизаторе роторного типа (ГАРТ) изменяет их литейные свойства и повышает качество готовых изд " я

шликеров, полученных таким способом, тиксотропный, в отличие от тиксотропно-дилатантного течения шликеров, получаемых в пропеллерных мешалках. При этом исключаются такие нежелательные явления как дилатансия и гистерезис реологической кривой шликеров.

2.Установлено, что при упрочнении миниатюрных деталей из фор-стеритовой керамики методом обработки в кипящих водных растворах солей с последующим спеканием необходимо, чтобы температура предварительного обжига полуфабрикатов составляла 1400-1450К, а время обработки в растворе соли - 5 мин. Прочность втулок с внешним диаметром 1,2 мм и толщиной стенки 0,25 мм возрастает при этом более, чем на 90%.

3.Показано, что для получения миниатюрных керамических деталей с точными размерами может быть эффективно использована лазер-но-механическая технология. При этом втулки высотой 0,6-1,2 мм и с толщиной стенки 0,32-0,75 мм получают из заготовок по технологии часовых камней, а шайбы с наружным диаметром от 1,0 до 1,7 мм и толщиной от 0,7 до 1,0 мм - методом горячего литья и из шта-биков, изготовленных методом холодного изостатического прессования.

4.Установлено, что в процессе вжигания металлизации в керамику и ситалл с целью получения герметичных спаев с металлами, происходит диффузия элементов как из слоя металлизации в магнезиаль-но-силикатный материал, так и в противоположном направлении. Диффузия осуществляется в твердой фазе. Средний коэффициент диффузии марганца составляет 10'8 - 10'9 см /с. В результате реакций в контактной зоне керамика - металл образуется слой магний-марганцевого ортосиликата (пикотефроита), толщина которого составляет у ситалла К-14 5-10 мкм, у форстеритовой керамики - около 2 мкм.

Практическая ценность результатов исследований заключается в следующем:

- разработан способ изготовления вакуумплотных миниатюрных и сверхминиатюрных деталей из магнезиально-силикатных материалов для корпусов полупроводниковых приборов ФЫ 7.733.008; предложенная технология упрочнения миниатюрных втулок из форстеритовой керамики, щрем пропитки полуфабрикатов в растворах сол странена на широкий класс изделий;

- разработанные технологические процессы внедрены в производство в приборах: ЗА129, ЗА741, ЗА740, 3A133 в ОАО НИИПТТ (г. Томск).

На защиту выносятся:

1.Результаты сравнительных исследований реологических свойств термопластических шликеров стеатитового ситалла К-14 с удельной суммарной поверхностью 0,5; 0,7; 1,0 м2/г, приготовленных в литьевой машине с пропеллерной мешалкой и в акустическом роторном аппарате;

2.Результаты исследований по регулированию свойств втулок из форстеритовой керамики, полученной методом пропитки полуфабрикатов в растворах солей;

3.Оптимизированный технологический процесс изготовления сверхминиатюрных втулок по технологии часовых камней с увеличением точности габаритов от 0,06 до 0,01-0,03 мм.

Апробация работы. Результаты по диссертационной теме докладывались и обсуждались на 16 конференциях различного уровня, таких как: по физико-химическим аспектам прочности жаростойких неорганических материалов (Запорожье, 1986); 1 -м Всесоюзн. съезде технологов-машиностроителей (Москва, 1989); Всесоюзн. совеще-нии «Керамика-90)»; НТК «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорган.материалах» (Байкальск, 2000); НТК «Физико-химия и технология оксидно-силикатных материалов» (Екатеринбург, 2003), III Всерос. НТК «Химия и химич. технология на рубеже тысячалетий» (Томск, 2004); Российской НТК «Полифункциональные химические материалы и технологии» (Томск, 2004).

Публикации. По материалам диссертации опубликована 19 работ, в том числе в 4-х реферируемых изданиях.

Объем и структура диссертационной работы. Диссертация состоит из введения, шести глав, основных выводов по работе, списка использованной литературы из 154 наименований, изложена на 147 страницах машинописного текста, содержит 21 таблицу и 44 рисунка.

Во введении обоснована актуальность темы диссертации, сформулирована цель работы и изложены основные результаты, выносимые на защиту.

Первая глава (Структура и свойства магнезиально-силикатных керамических материалов. Проблемы миниатюризации

деталей из них) посвящена аналитическому обзору литературы по физико-химическим основам технологии изделий из магнезиально-силикатных материалов. Описаны известные магнезиально-силикатные материалы и особенности технологии миниатюрных изделий, рассмотрены известные способы регулирования свойств материалов и изделий, на основании обзора литературы в конце главы сформулирована цель и задачи исследований.

Во второй главе (Методы исследования и применяемые материалы) описаны методики эксперимента и применяемые магнези-ально-силикатные материалы. Даны методы исследования порошков (физико-химические и реологические), формования изделий, специфические методы испытаний свойств миниатюрных изделий.

Третья глава (Оптимизация процесса формования миниатюрных изделий из форстеритовых и стеатитовых материалов методом шликерного литья под давлением) посвящена исследованиям процессов оптимизации формования миниатюрных изделий из стеатитового ситалла методом шликерного литья под давлением. Получены стеклопорошки различной дисперсности (рисунок 1), разработана технология получения порошков оптимальной дисперсности и термопластичных шликеров из них с заданными свойствами (таблица 1). Исследовано влияние дисперсности порошков на реологические свойства шликера, спекание и свойства втулок (таблица 2).

Рисунок 1 - Гранулометрический состав порошков стекла ситалла К-14. 1 -Я- 8т=0,5 м^/г; 2 —8^=0,7 м2/г; 3 —£г- 8та=1 ^/г

Четвертая глава (Методы повышения свойств миниатюрных втулок из магпезиалъно-силикатных керамических материалов) по-

Таблица 1 - Влияние состава термопластичной связки на свойства шликеров

м /г Содерж. Состав связки, мас.% Содер. г|, Пас т, Па

связки, мас.% парафин воск Олеиновая к-та свобод связки % при 80°С при 80°С

0,5 12,4 94,52 4,98 0,498 86,3 0,844 34,2

0,5 12,4 94,43 4,97 0,597 88,4 1,281 51,9

0,5 12,4 94,25 4,96 0,794 90,8 1,130 45,8

0,5 13,0 99,40 - 0,60 80,2 0,889 36,0

0,5 13,2 99,50 - 0,50 74,6 2,079 84,2

0,5 14,0 100,0 - - 68,4 3,556 144,0

0,7 15,4 94,06 4,95 0,99 87,0 2,259 91,5

1,0 18,8 94,43 4,97 0,597 85,0 5,037 204,0

Таблица 2 - Свойства спеченных втулок из ситалла К-14

Ма- Геометрические Свойства втулок

те- размеры, мм

ри- 0нар 0 Вы- Электри- Прочн. Электро-

ал сота Шликер ческая емкость, С, пФ при растяжении, Ор, МПа сопротивление, Ом см

1,2 0,7 0,45 Стан- 0,12 53,0 8,5 10^

Си- 0,8 0,4 0,35 дарт- 0,06 73,5 3 ю12

талл 0,6 0,32 0,32 ный 0,052 81,0 2,5 10'2

К- 1,2 0,7 0,45 0,09 56,0 71013

14 0,8 0,4 0,35 0,7 0,056 74,0 4 1012

0,6 0,32 0,32 м2/г 0,038 85,3 2,5 1012

священа процессам регулирования свойств миниатюрных втулок из магнезиально-силикатных материалов методами дополнительного воздействия. Исследовано влияние ультразвуковой обработки термопластичных шликеров в акустогидродинамическом гомогенизаторе роторного типа (ГАРТ). Изучено влияние дисперсности и гранулометрического состава порошков ситалла К-14 на реологические

свойства шликеров, полученных из стеклопорошков с удельной суммарной поверхностью 0,5; 0,7 и 1,0 м2/г.

Исследованы шликеры, приготовленные в пропеллерной мешалке и в ГАРТе. Реологические свойства изучали на ротационном вискозиметре типа "Реотест" при соотношении радиусов коаксиальных цилиндров 0,94 и объеме наполнения 30 мл. Измерения проводили при температурах выше и ниже температуры литья изделий (при 60, 70, 80 и 90°С). Результаты вискозиметрических измерений представлены на рисунках 2, 3, в таблице 3. Вязкость и касательное напряжение сдвига шликера, обработанного в ГАРТе в 1,4 раза ниже, литейная способность в 1,2 раза выше, чем необработанного шликера.

Шликер, обработанный в ГАРТе, имеет меньшую вязкость и большую устойчивость к расслаиванию, для него требуется меньшее количество термопластичной связки. При этом время приготовления шликера сокращается в два раза. После обжига детали, полученные из шликеров, обра-ботанных в ГАРТе, имеют более благоприятную микроструктуру, более высокие эксплуатационные свойства (таблица 4).

Для упрочнения изделий из керамики ЛФ-2 Бердовым Г.И. успешно применен метод пропитки пористых полуфабрикатов в растворах солей алюминия или хрома после предварительного обжига. При этом время пропитки обычно составляло 60-120 мин. При таких параметрах обработки в растворах солей миниатюрных изделий идет их разупрочнение. Это связано с глубиной пропитки, которая фактически соответствует толщине изделий. В связи с этим для обработки миниатюрных изделий в растворах солей с целью снижения глубины пропитываемого слоя за счет снижения пористости заготовок была увеличена температура их предварительного обжига от 1000 до 1200°С, а время пропитки снизили от 120 до 5 минут. Полученные результаты были обработаны с помощью программы «Polynomial Regression (Quadratic surface)». Сглаживание и получение промежуточных точек проводилось с использованием встроенной в пакет опции двумерной сплайн - интерполяции (spline - smoothing). Из рисунка 4 видно, что при увеличении температуры утильного обжига и снижении времени пропитки полуфабрикатов существенно возрастает прочность спеченных изделий (таблица 5).

во 7(1 80 5>0 Т.

Рисунок 2 - Зависимость вязкости (т|- сплошная линия) и касательного напряжения (тг - пунктирная линия) от температуры для шликера стеатитового ситалла К-14 с удельной поверхностью: 1,0 м2/г (1), 0,7 м2/г (2), 0,5 м2/г (3), цифры со штрихом (шликер обработан в ГАРТе), цифры со звездочкой на оси тг для шликера с 8у |=0,7 м2/г

Таблица 3 - Свойства шликеров и отливок

Шликер Связка, % г1, Па с, при Удеф= 40,5с"' и Т, °С У Р. > МПа П,%

60 70 80 90

1 2 3 4 5 6 7 8 9

А (приготовлен в ГАРТе) 12,00 2,6 2,1 1,7 1,4 У.р. 7,8 1,5-3 (0 12 мкм)

Б (пригот. в пропеллерн. мешалке) 13,5 8,3 6,3 5,4 4,6 180 4,6 6-8 (0 24-40 мкм)

Продолжение таблицы 3

1 2 3 4 5 6 7 8 9

С (шликер Б после много-кратн. испоь-зования) 13,33 10,0 7,4 5,6 5,0 155 3,2 7-12 (0 >40 мкм)

Д (шликер С после обраб. в ГАРТе) 13,5 8,3 6,3 5,4 4,6 У.р. 6,1 6-8 (0 24-40 мкм)

У.р. - устойчивость против расслаивания, мм; П - пористость отливки, %

Таблица 4 - Свойства втулок, полученных из шликера, приготовленного в ГАРТе (5УД=0,7 м2/г)

Геометрические размеры, мм Ма- Электр. ^раст»

Внешний Внутренний Вы- те- емкость, МПа

диаметр диаметр сота риал пФ

1,2 0,7 0,45 0,071 56,2

0,8 0,4 0,35 ЛФ-2 0,006 76,4

0,6 0,32 0,32 0,036 85,6

1,2 0,7 0,45 0,073 61,0

0,8 0,4 0,35 К-14 0,056 83,9

0,6 0,32 0,32 0,035 102,2

Таблица 5 - Влияние параметров пропитки полуфабрикатов втулок из ЛФ-2 в алюмоаммонийных квасцах на их прочность

Наруж- Тол- Темпе- Время Предел Коэф. Воз-

ный ди- щина ратура про- прочности вариа- рас-

аметр, стен- утельно- питки, при растя- ции тание

мм ки, мм го обжи- мин жении, МПа проч- проч

га, К ности, нос-

% ти, %

3,5 0,45 1400 15-28 49,1 17,9 33,7

2,3 0,4 1400 5-20 60,4 17,6 49,1

1,2 0,25 1450 5-10 90,8 37,0 90,7

и

Рисунок 3 - Реологические кривые течения шликеров. 1 - температура 60°С; 2 - 70°С; 3 - 80°С; 4 - 90°С. Стрелками показано направление замеров с увеличением и уменьшением скорости деформации

Тх10, К

Рисунок 4 - Сглаженная поверхность зависимости предела прочности на растяжение втулок (0=2,3 мм) от температуры предварительного обжига изделий и времени их пропитки в 10% растворе (ЫН4)А1(804)212НгО

Пятая глава (Производственная технология получения миниатюрных керамических деталей методом гиликерного литья под давлением) посвящена практическому внедрению миниатюрных втулок из магнезиально-силикатных материлов в корпусах полупроводниковых приборов. Разработана технологическая схема получения миниатюрных втулок методом шликерного литья под давлением.

Методами растровой электронной микроскопии и количественного микрорентгеноспектрального анализа исследовано взаимодействие металлизации с магнезиально-силикатными материалами. В процессе вжигания металлизации в керамику и ситалл происходит диффузия элементов как из слоя металлизации в магнезиально-силикатный материал, так и из ситалла и керамики в слой металлизации.

Диффузия происходит в твердой фазе. Средние коэффициенты диффузии марганца имеют значения 10"8-10'9 см2/с. Наибольшие коэффициенты диффузии отмечены в случае взаимодействия металлизации со стеатитовым ситаллом. Это говорит о том, что для изготовления сверхминиатюрных изделий с малой высотой больше подходит форстеритовая керамика. При вжигании металлизации протекает реактивная и атомная диффузия. В результате реактивной диффузии на контакте образуется слой магний-марганцевого ортосиликата (пикротефроита). Толщина слоя порядка 5-10 мкм в ситалле К-14 и порядка 2 мкм в форстеритовой керамике ЛФ-2.

Шестая глава (Использование изостатического прессования, лазерной обработки и алмазной доводки при получении миниатюрных керамических изделий) посвящена разработке технологии получения сверхминиатюрных втулок из шайб-заготовок по технологии часовых камней (ТЧК). Шайбы получают методом холодного изостатического прессования (ХИП). Исследовано влияние параметров лазерного излучения на процесс прошивки отверстий шайб-заготовок для получения втулок по ТЧК. Свойства изделий, полученных методом ТЧК, приведены в табл. 6.

Для выяснения причин расхождения свойств изделий, изготовленных по разной технологии, проведены рентгенографические исследования параметров тонкой структуры спеченных изделий (шайб-заготовок, металлизированных и неметаллизированных втулок, порошков магнезиальносиликатных материалов).

Исследования показали, что у изделий из стеатитового ситалла, как правило, напряжения 1-го рода существенно превышают напряжения 2-го рода. Это наиболее ярко проявляется у изделий, полученных методом шликерного литья под давлением. По всей вероятности, более низкий коэффициент упаковки частиц при шликерном литье позволяет кристаллизоваться зернам метасиликата магния в более благоприятных условиях (при отсутствии кристаллитов, либо при образовании крупных - В0кр-81,3нм). В то же время напряжения 1-го рода доходят до 1210-1810 МПа (что существенно больше предела прочности материала, но ниже теоретической прочности), это может быть связано с тем, что отсутствие блочности в зернах и микроискажений решетки приводит к увеличению напряжений между зернами (0[), кроме того может влиять метастабильность прото-энстатита. У изделий, полученных методом холодного изостатиче-ского прессования, напряжения меняются по разному, в зависимости от размеров изделий. У массивных дисков напряжения изменяются как у малых литых. У малых образцов (втулок и шайб) резко возрастают напряжения 2-го рода и снижаются напряжения 1 -го рода. Это может быть связано с высоким коэффициентом упаковки в последних при ХИП, когда плотно уложенные частицы при кристаллизации в стесненных условиях, ограничивающих рост кристаллов при малой усадке, взаимодействуя друг с другом, способствуют созданию блочности в зернах и появлению микроискажсний в решетке.

У форстеритовой керамики подобные аномальные изменения микронапряжений не обнаружены, что, вероятно, связано с тем, что изделия получают из порошка уже синтезированной керамики и с отсутствием полиморфизма у форстерита. Исследования коэффициента Вейбулла у изделий, полученных методом ТЧК после обработки в ГАРТе, относительно однородны, у изделий, полученных методом ХИП-ТЧК, однородность снижается. Наиболее однородные свойства (ш=12,3) показали втулки из форстеритовой керамики, полученные обычным литьем из шликера, приготовленного из порошка с 8уд=0,7 м2/г.

Рентгенографические исследования втулок, полученных методами ХИП-ТЧК с вожженной молибден-марганцевой металлизацией, показали, что в результате ее нанесения несколько изменяются параметры тонкой структуры в изделиях:

Таблица 6 - Свойства миниатюрных втулок, полученных по технологии ТЧК из магнезиально-силикатных материалов, спресованных методом изостатического формования

№ Материал Размер заготовки, мм Размер втулки, мм Элек. емкость, пФ (Траст, МПа (в скобках при по луч. литьем под давлением)

д Н Двнеш Двнут н

1 ЛФ-2 1,2 0,7 0,8 0,4 0,33 0,050 76,5 (76,4)

2 ЛФ-2 1,0 0,7 0,6 0,32 0,32 0,040 129,6 (85,6)

3 ЛФ-2 1,7 1,1 1,2 0,75 0,55 0,071 57,0 (56,2)

4 К-14 1.2 0,7 0,8 0,4 0,35 0,059 109,6 (83,9)

5 К-14 1,0 0,7 0,6 0,32 0,32 0,049 139,1 (102,2)

6 К-14 1,7 1,0 1,2 0,75 0,55 0,073 68,3 (61,0)

-у втулок из ситалла К-14 напряжения первого рода остаются на таком же уровне, как у отлитых втулок, и выше, чем у неметаллизиро-ванных изделий, полученных методом ХИП, при неизменности размеров 1)окр возрастают напряжения 2-го рода;

-у изделий из керамики ЛФ-2 напряжения 1-го рода остаются на прежнем уровне, а напряжения 2-го рода и размеры блоков ОКР незначительно меняются;

-данные изменения параметров тонкой структуры могут быть связаны с процессами фазообразования при вжигании металлизации.

Таким образом, изменения микронапряжений внутри кристаллов (2-го рода), размеров кристаллитов в стеатитовых и форстеритовых изделиях, отформованных разными способами, и напряжения между зернами в изделиях (1-го рода) позволяют получать позволяют объяснить более высокие механические свойства изделий при получении втулок методом ТЧК по технологии ХИП.

Анализ результатов расчетов критерия Вейбулла для миниатюрных изделий, полученных по разным технологиям, показал, что

Таблица 7 - Параметры тонкой структуры и микронапряжения в магнезиально-силикатных материалах, полученных разными способами, при изготовлении изделий методом ХИП по технологии ТЧК

№ Нименование образца и способ формовки е=Д<1/<1 МПа 1-^Окр» им Отн.. деформ. 1^04» £ ст», МПа

1 Порошок К-14 - - 0 0,00021 46

2 Шайбы-заготовки К-14 (литье) 0,0082 1810 0 0,0002 44

3 Втулки из К-14 (литье) 0,0055 1210 81,3 0,0008 176

4 Порошок из шайб К-14 (ХИП) 0,0020 9 460 0 0,0016 350

5 Диск К-14 (ХИП) 0,0056 1225 34,0 0,00097 210

6 Шайбы-заготовки К-14 (ХИП) 0,0021 460 67,0 0,0007 154

7 Диск из К-14 (литье) 0,008 1800 80,0 0,0025 550

8 Порошок керамики ЛФ-2 0 0,0015 315

9 Шайбы-заготовки из ЛФ-2 (литье) 0,0053 106 0 0,0058 1160

10 Шайбы-заготовки из ЛФ-2 (ХИП) 0,0053 106 67,0 0,0046 966

11 Шайбы из К-14, металлизированные (ХИП) 0,006 1314 40,0 0,0014 308

12 Шайбы из керамики ЛФ-2, металлизированные (ХИП) 0,006 120 44,8 0,0048 1008

высокий модуль (т=12,3) имеют втулки из ситалла с 8Уд=Ю,7 м2/г, из форстеритовой керамики с 8уд=0,7 8уд=0,7 м2/г, полученных методом шликерного литья под давлением; обработка в ГАРТе, технологии ТЧК и ХИП несколько понижают однородность прочности изделий.

Общие выводы 1 .На основании исследований реологических свойств термопластичных шликеров из ситалла К-14 установлено следующее: -дисперсность стеклопорошка с удельной поверхностью 0,7 м2/г при содержании связки 15% (с 5% пчелинного воска); позволяет получить шликер с оптимальным значением вязкости в широком диапазоне температур с незначительной тиксотропией и максимальным коэффициентом упаковки частиц в отливке;

- миниатюрные втулки из ситалла К-14, полученные из шликера с дисперсностью стеклопорошка 0,7 м2/г, обладают улучшенными техническими свойствами.

2.0бработка шликеров в акустическом гомогенизаторе роторного типа (ГАРТ) изменяет литейные свойства шликера: -характер течения шликеров, полученных в ГАРТе, тиксотропный, а шликеры, полученные в емкости с пропеллерной мешалкой, являются тиксотропно-дилатантными; при этом обработка шликеров в аппарате ГАРТ изменяет характер их течения, исключая такие нежелательные явления как дилатансия и гистерезис;

-приготовление шликера в аппарате ГАРТ (взамен литьевой машины) позволяет получать шликеры с меньшим значением вязкости и хорошей текучестью, более устойчивые к расслаиванию, с меньшим содержанием термопластичной связки, временем приготовления меньшим в 2 раза, с более плотной и прочной отливкой, с улучшенными свойствами готовых изделий.

3.При упрочнении миниатюрных втулок из форстеритовой керамики методом пропитки в растворах солей выявлено, что, с целью получения упрочняющего слоя, соизмеримого с толщиной стенок втулок: -необходимо повышать температуру предварительного обжига полуфабрикатов до 1400-1450 К и уменьшать время пропитки до 5 минут;

-эффективность упрочнения втулок возрастает с уменьшением их объема, обеспечивается упрочнение на 90,7% для втулок с внешним диаметром 1,2 мм и толщиной стенок 250 мкм.

4.Исслсдована возможность формования изделий из магнезиально-

силикатных материалов методом холодного изостатического прессования (ХИП) с последующим получением миниатюрных втулок методом лазерно-алмазно-абразивной обработки по технологии часовых камней (ТЧК). Исследование готовых изделий, полученных методом ТЧК, показали, что:

- изделия, полученные методом ХИП по технологии ТЧК, имеют более благоприятную структуру и механические свойства; это объясняется изменением напряженного состояния в кристаллах, когда в изделиях после ХИП возрастают микронапряжения 2-го рода и существенно уменьшаются напряжения 1 -го рода;

- выявленные закономерности позволили рекомендовать метод ХИП для формования заготовок при изготовлении втулок по технологии ТЧК из магнезиально-силикатных диэлектриков; разработана технология получения втулок для корпусов полупроводниковых приборов с более высокими эксплуатационными свойствами, чем при получении методом шликерного литья под давлением. Способ ТЧК обеспечивает повышение точности изготовления миниатюрных втулок с 5 до 3 класса, повышение класса шероховатости боковых поверхностей с 5 до 7, снижение трудоемкости технологического процесса формования втулок.

5.В процессе вжигания металлизации в керамику и ситалл происходит диффузия элементов как из слоя металлизации в магнезиально-силикатный материал, так и из ситалла и керамики в слой металлизации, при этом:

- диффузия происходит в твердой фазе; средние коэффициенты диффузии марганца имеют значения 10"8-10'9 см2/с; -наибольшие коэффициенты диффузии отмечены в случае взаимодействия металлизации со стеатитовым ситаллом; это говорит о том, что для изготовления сверхминиатюрных изделий с малой высотой больше подходит форстеритовая керамика;

-при вжигании металлизации протекает реактивная и атомная диффузия. В результате реактивной диффузии на контакте образуется слой магний-марганцевого ортосиликата (пикротефроита), толщина его слоя 5-10 мкм в ситалле К-14 и около 2 мкм в форстеритовой керамике ЛФ-2.

6. Готовые изделия, полученные методом ТЧК из стеатитового ситалла, имеют более однородные свойства (по Вейбуллу) после обработки в ГАРТе при дисперсности порошка 8уд=0,7 м2/г, после ХИП

однородность несколько понижается. Наиболее однородные свойства 1П= 12,3 показали втулки из керамики ЛФ-2 (дисперсность Syfl=0,7 м2/г), полученные обычным литьем. Все образцы закономерно изменяют внутренние микронапряжения 1-го и 2-го рода симбатно изменению прочностных свойств.

7.Разработаны и внедрены в производство технологические процессы:

-получения миниатюрных втулок из магнезиальносиликатных материалов методом шликерного литья под давлением из термопластичных шликеров с оптимальной дисперсностью исходного порошка и оптимальным составом термопластичной связки; -получения миниатюрных втулок из шликеров, изготовленных в ГАРТе;

- получения миниатюрных металлизированных втулок для корпусов п.п.п. по технологии часовых камней.

Основные публикации по теме диссертации:

1.Н.И.Романова. A.c. 968014. Способ упрочнения изделий из фор-стеритовой керамики/ Романова Н.И., Брыснев Е.К., Белявская O.A., .Лавренков A.B., Романов Б.П.// Б.И., 1982, N 39.

2.Б.П.Романов. Разработка порошковой технологии получения микроминиатюрных стеклокерамических втулок/ Романов Б.П., Белявская O.A., Романова Н.И. и др.// Применение методов и аппаратов порошковой технологии в народном хозяйстве. - Томск: Изд. ТГУ, 1983.-С. 19-21.

3.Романов Б.П. Упрочнение втулок из керамики пропиткой в растворах солей/ Б.П.Романов, Н.И.Романова, О.А.Белявская// Физико-химические аспекты прочности жаростойких неорганических материалов: тез. Всесоюзн. конф., ч. 2, Запорожье, 1986. - С. 321322.

4.Романов Б.П. Влияние размера зерна на некоторые процессы формообразования керамических изделий/ Б.П.Романов, С.В.Смирнов, Н.И.Романова// Формообразование деталей и конструкций из металлических, полимерных и композиционных материалов: докл. Всес. съезда технол.-машиностроителей. - М., 1989. -С. 56-59.

5.Романова Н.И. Влияние дисперсности и акустико-гидродинамической обработки на реологические свойства шликеров и качество магнезиально-силикатных керамических материа

лов/ Романова Н.И., Романов Б.П.// Новые технологии - источник экологически чистого производства: тез. Всес. конф. "Керамика-90". - М.: ВДНХ, 1990. - С. 54.

6.Романова Н.И. Влияние акустико-гидродинамической обработки на свойства термопластического шликера и изделий из стеатитового ситалла/ Романова Н.И., Дягилева JI.A., Белявская О.А., Романов Б.П.// Стекло и керамика, 1990, N 9. - С. 16-17.

7.Романова Н.И. Упрочнение магнезиально-сили-катной керамики/ Н.И. Романова, С.В. Смирнов// Архитектура и строительство: тез. докл. - Томск: Изд. ТГАСУ, 1999. - С . 86-87.

8.Romanov В. P. Influence of Comparing Method on Strength and Crack Resistence of steatitive sitall/ B.P. Romanov, A.A. Kondratyuk, N.I. Romanova// The Thierd Russeon-Korean Inter. Sympos. on Science and Tehnology. Vol.2. - Novosibirsk: STU, 1999. - P. 424.

9.Kondratyuk A. A. Isostatic moulding of hollow and compact powders, glasses and ceramics/ A.A.Kondratyuk, B.P.Romanov, N.I.Romanova// Russeon of Korus 2000. The 4th Korea-Russia Inter. Sympos. on Science and Tehnology. - University of Ulsan, 2000, v. 4. - P. 37-39. Ю.Романов Б.П. Исследование параметров тонкой структуры поликристаллических материалов, полученных методом холодного изо-статического формования/ Б.П. Романов, А.А. Кондратюк, Н.И. Романова// 2 Межд. конф. «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах: тез. докл. - Томск: Изд. ТПУ, 2000. - С. 263-265.

11 .Романов Б.П. Влияние способа формования на свойства изделий из стеклокерамических материалов/ Б.П.Романов, А.А.Кондратюк, Н.И.Романова// Сборник научных трудов лесотехнического института. -Томск: Изд. ТГАСУ, 2000, вып. 1. - С. 85-87.

12.Романова Н.И. Влияние дисперсности стеклопорошка и способа его получения на реологические свойства термопластичного шликера/ Нетрадиционные технологии в строительстве// Мат. Межд. НТК. - Томск: Изд. ТГАСУ, 2001. - С. 280-282.

13. Романова Н.И. Влияние дисперсности на реологические свойства термопластичного шликера стеатитового ситалла/ Физико-химия и технология оксидно-силикатных материалов. ГОУ ВПО УГТУ-УПИ, 2003, вып. 6. - С. 238-240.

14. Романова Н.И. Упрочнение миниатюрных изделий из форстеритовой керамики методом пропитки в растворах солей/Н.И.Романова,

Б.П.Романов, Е.С.Худобин. Стекло и керамика, 2004, № 1. - С. 17-18.

15.Романова Н.И. Лазерно- механическая технология получения и свойства миниатюрных изделий из магнезиально-силикатных материалов/ Романова Н.И., Смирнов C.B.// Докл. 4 Межд. НТК «Радиа-ционно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах». - Томск: Изд. ТПУ, 2004. - С. 221-223.

16.Романова Н.И. Разработка состава связки для термопластичного шликера на основе стекла стеатитового ситалла/ Мат. 3 Всерос. НТК «Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий». -Томск: Изд. ТПУ, 2004. - С. 45-46..

17. Романова Н.И. Получение миниатюрных изделий из магнезиально-силикатных материалов по технологии часовых камней/ Полифункциональные химические материалы и технологии// Н.И.Романова, С.В.Смирнов// Мат. Рос. НТК. - Томск: Изд. ТГУ, 2004. - С. 63-64.

18.Смирнов C.B. Сравнительный анализ изготовления миниатюрных керамических изделий по шликерно-обжиговой технологии и методом лазерно-мсханической обработки/ С.В.Смирнов, Н.И. Романова, М.Б.Романов// Полифункциональные химические материалы и технологии: мат. Рос. НТК. - Томск: Изд. ТГУ, 2004. - С. 77-78.

19.Смирнов С.В.Лазсрно-механическая технология получения миниатюрных втулок из стеатитового ситалла/ С.В.Смирнов, Н.И. Романова, Б.П. Романов// Стекло и керамика, 2005, № 2. - С. 27-28.

Подписано к печати 23 05 05 Формат 60x84/16 Бумага "Классика" Печать RISO Уел печ.л 1,16 Уч.-изд.л. 1,1. Заказ 646 Тираж 100 экз

ЮШЕ/ШЮ^ТПУ 634050, г Томск, пр. Ленина, 30

i I

f

»1 3 6 8 1

РНБ Русский фонд

2006-4 10299

Список условных обозначений и сокращений

ВВЕДЕНИЕ

1.СТРУКТУРА И СВОЙСТВА МАГНЕЗИАЛЬНО-СИЛИКАТНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ. ПРОБЛЕМЫ МИНИАТЮРИЗАЦИИ ДЕТАЛЕЙ ИЗ НИХ

1.1.Строение и свойства силикатов магния

1.2.Магнезиально-силикатные диэлектрические материалы 16 1.3 .Особенности технологии миниатюрных изделий 17 1 АРегулирование свойств изделий из магнезиальносиликатных материалов

1.4.1. Получение диэлектрических изделий из порошковых ситаллов

1.4.2. Ультразвуковая обработка литьевого шликера

1.4.3. Регулирование свойств магнезиально-силикатных материалов пропиткой пористых полуфабрикатов в растворах солей

1.5.Выбор цели и постановка задач исследований

2. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И ПРИМЕНЯЕМЫЕ МАТЕРИАЛЫ

2.1.Методы исследования порошков и процесса формования изделий 26 2.1.1 .Определение удельной поверхности и дисперсности порошка 26 2.1.2. Определение содержания свободной связки в термопластичных шликерах 27 2.1.3.Определение реологических свойств термопластичных шликеров

2.2.Физико-химические методы исследования

2.2.1.Рентгенографические методы исследования

2.2.2.Термический анализ

2.2.3.Микроскопия

2.2.4.Измерение электрических характеристик материалов щ 2.3.Испытание свойств миниатюрных изделий

2.4.Применяемые магнезиально-силикатные материалы

3.ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА ФОРМОВАНИЯ МИНИАТЮРНЫХ ИЗДЕЛИЙ ИЗ СТЕАТИТОВЫХ МАТЕРИАЛОВ МЕТОДОМ ШЛИКЕРНОГО ЛИТЬЯ ПОД ДАВЛЕНИЕМ

3.1 .Исследование процесса измельчения порошков

3.2.Получение термопластичных шликеров с заданными свойствами

3.2.1.Влияние дисперсности порошков К-14 на реологические свойства термопластичных шликеров

3.2.2.Влияние состава термопластичной связки на реологические свойства шликеров

3.2.3.Оптимизация составов шликеров из стеклопорошков состава ситалла К-14 разной дисперсности

3.3.Влияние дисперсности порошков на спекание и свойства миниатюрных втулок

3.4.Выводы по главе 3 53 4.МЕТОДЫ ПОВЫШЕНИЯ СВОЙСТВ МИНИАТЮРНЫХ

ВТУЛОК ИЗ МАГНЕЗИАЛЬНО-СИЛИКАТНЫХ % КЕРАМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

4.1 .Влияние ультразвуковой обработки шликеров в акусто-гидродинамическом гомогенизаторе роторного типа на реологические свойства шликеров и их формуемость

4.2.Влияние обработки шликеров в ГАРТе на свойства втулок

4.3.Упрочнение миниатюрных изделий из форстеритовой керамики методом пропитки в растворах солей

4.3.1 .Влияние температуры утильного обжига и времени пропитки заготовок в солевых растворах на прочность втулок

4.3.2.Математическая обработка экспериментальных результатов 67 4.4. Выводы по главе

5.ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ МИНИАТЮРНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ МЕТОДОМ ШЛИКЕРНОГО ЛИТЬЯ ПОД ДАВЛЕНИЕМ

5.1.Технологическая схема получения втулок методом шликерного литья под давлением

5.2.Состав и микроструктура спеченных втулок

5.3.Микроструктура металлизированных втулок 84 ^ 5.4.Выводы по главе

6.ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ИЗОСТАТИЧЕСКОГО ПРЕССОВАНИЯ, ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ И АЛМАЗНОЙ ДОВОДКИ ПРИ ПОЛУЧЕНИИ МИНИАТЮРНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ

ИЗДЕЛИЙ

6.1 .Технология получения миниатюрных втулок (ТЧК)

6.2.Влияние технологии получения втулок на параметры тонкой структуры магнезиально-силикатных материалов

6.3.Влияние технологии получения миниатюрных втулок на щ критерий Вейбулла

6.4.Выводы по главе 6 107 ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ 110 Литература 116 Приложение 1. Данные результатов испытаний втулок из керамики при диаметральном сжатии и статистической обработки данных

Регулирование свойств магнезиально-силикатных диэлектриков с успехом осуществляют различными методами: ситаллизацией, получением твердых растворов, различными видами физических воздействий (импульсная термообработка, закалка и др.) на разных стадиях изготовления, пропиткой пористых полуфабрикатов в растворах солей. Как правило, данные методы регулирования свойств изделий из форстеритовых и стеатитовых материалов применимы к изделиям привычных в радиоэлектронике размерах: около одного - нескольких сантиметров. Развитие полупроводниковой техники потребовало существенно уменьшить размеры изделий. В настоящее время сверхминиатюризация диэлектрических втулок привела к размерам их внешнего диаметра 550 мкм, при толщине стенки 115 мкм. Такие размеры начинают приближаться к привычным размерам зерен керамики. В этой ситуации потребовались новые подходы для отработки технологии вакуумп-лотных керамических сверхминиатюрных изделий с повышенными эксплуатационными свойствами.

Целью исследований по диссертационной теме явилось разработка технологии изготовления миниатюрных изделий из магнезиально-силикатной керамики.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

1) оптимизация процессов формования сверхминиатюрных изделий из форстеритовых и стеатитовых материалов методом шликерного литья под давлением;

2) разработка новых методов регулирования свойств сверхминиатюрных изделий из магнезиально-силикатных материалов дополнительными воздействиями - обработкой термопластических шликеров в акустогидродинамическом гомогенизаторе и пропиткой полуфабрикатов растворами солей;

3) разработка и внедрение промышленной технологии получения сверхминиатюрных втулок из форстеритовой керамики и стеатитового ситалла методом лазерно-механической обработки по технологии часовых камней.

Для выполнения поставленной темы необходимо было:

1) исследовать исходные порошки керамики и ситаллизущегося стекла, их дисперсность, возможности регулирования структуры и состава, реологические свойства шликеров, оптимизацию составов термопластичных связок и шликеров, изучение свойств спеченных изделий;

2) исследовать возможность повышения свойств керамических изделий методами дополнительных воздействий: обработка термопластичных шликеров ультразвуком в акусто-гидродинамическом генераторе, а также регулирование свойств из форстеритовой керамики методом пропитки полуфабриката в растворах солей;

3)разработать промышленную технологию получения миниатьюрных и сверхминиатюрных изделий методами шликерного литья под давлением и методом лазерно-механической обработки по технологии часовых камней (ТЧК).

Научная новизна работы заключается в следующем:

1.В выявлении дисперсности стеклопорошка с удельной поверхностью 0,7 м /г при оптимальном составе и содержании термопластичной связки, когда шликер имеет оптимальные значения вязкости в широком диапазоне температур с незначительной тиксотропией и максимальным коэффициентом упаковки частиц в отливке.

2.Установлено, что обработка шликеров в акустическом гомогенизаторе изменяет литейные свойства шликера, при которых характер течения шликеров тиксотропный, приводящий к улучшению их технологических свойств и готовых изделий; при этом исключаются явления как дилатансия и гистерезис.

3.Установлены оптимальные технологические режимы упрочнения миниатюрных втулок из форстеритовой керамики методом пропитки полуфабрикатов в растворах солей.

4.Экспериментально выявлены закономерности влияния технологических режимов формования изделий на параметры тонкой структуры кристаллов и внутренние микронапряжения 1-го и 2-го рода магнезиально-силикатных материалов, заключающиеся в изменении размеров кристалов и кристаллитов и перераспределении микронапряжений между зернами поликристаллов и внутри зерен; установлена их взаимосвязь с механическими свойствами и микроструктурой.

Исследования и разработки по диссертационной теме проводились в соответствии с планами научно-исследовательских работ Томского политехнического университета и ОАОНИИПП (г.Томск).

В диссертацию вошли материалы 19 публикаций, в том числе 14 статей, 4 тезисов докладов, изобретения.

В структурном отношении диссертация состоит из введения, обзорной главы и 5-и глав, в которых изложены результаты оригинальных исследований. Список литературы состоит из 170 наименований.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

По результатам исследований сделаны следующие выводы:

1. На основании исследований реологических свойств термопластичных шликеров ситалла К-14 установлено, что при дисперсности стеклопорошка с удельной поверхностью 0,7 м2/г и содержании связки 15% (с 5% пчелинного воска) шликер имеет оптимальные значения вязкости в широком диапазоне температур с незначительной тиксотропией и максимальным коэффициентом упаковки частиц в отливке. Полученные из него миниатюрные втулки, обладают улучшенными техническими свойствами.

2. Обработка шликеров в акустическом гомогенизаторе роторного типа (ГАРТ) изменяет литейные свойства шликера и готовых изделий: характер течения шликеров, полученных в ГАРТе тиксотропный, а шликеры, получаемые в емкости с пропеллерной мешалкой являются тиксотропно-дилатантными; при этом обработка шликеров в аппарате ГАРТ-М изменяет характер их течения, исключая такие нежелательные явления как дилатансия и гистерезис; приготовление шликера в аппарате ГАРТ-М (взамен литьевой машины) позволяет получать шликеры с меньшим значением вязкости и хорошей текучестью, более устойчивые к расслаиванию, с более плотной и прочной отливкой, с улучшенными свойствами готовых изделий.

3. При упрочнении миниатюрных втулок из форстеритовой керамики методом пропитки в растворах солей выявлено, что с целью получения упрочняющего слоя, соизмеримого с толщиной стенок втулок:

-Illнеобходимо повышать температуру предварительного обжига полуфабрикатов до 1400-1450К и уменьшать время пропитки до 5 мин; эффективность упрочнения втулок возрастает с уменьшением их объема, достигая упрочнения на 90,7% для втулок с внешним диаметром 1,2 мм и толщиной стенок 250 мкм.

4. Исследована возможность формования изделий из магнезиально-силикатных материалов методом холодного изостатического прессования (ХИП) с последующим получением миниатюрных втулок методом алмазно-абразивной обработки по технологии часовых камней ТЧК. Исследования показали, что: изделия, полученные методом ХИП по технологии ТЧК, после формования и спекания имеют более благоприятную структуру и механические свойства; это объясняется изменением напряженного состояния в кристаллах, когда в изделиях после ХИП возрастают микронапряжения 2-го рода и существенно уменьшаются напряжения 1-го рода; выявленные закономерности позволили рекомендовать метод ХИП для формования заготовок при изготовлении втулок по технологии часовых камней из магнезиально-силикатных диэлектриков; разработана технология получения втулок для корпусов полупроводниковых приборов с более высокими эксплуатационными свойствами, чем при получении методом шликерного литья под давлением, способ ТЧК обеспечивает повышение точности изготовления миниатюрных втулок с 5 до 3 класса, повышение класса шероховатости боковых поверхностей с 5 до 7, снижение трудоемкости технологического процесса формования втулок.

5. В процессе вжигания металлизации в керамику и ситалл происходит диффузия элементов как из слоя металлизации в магнезиально-силикатный материал, так и из ситалла и керамики в слой металлизации, при этом:

- диффузия происходит в твердой фазе; средние коэффициенты диффузии марганца имеют значения 10"8-10"9 см2/г;

- наибольшие значения коэффициента диффузии отмечены в случае взаимодействия металлизации со стеатитовым ситаллом; это говорит о том, что для изготовления сверхминиатюрных изделий с малой высотой больше подходит форстеритовая керамика;

- при вжигании металлизации протекает реактивная и атомная диффузия, в результате реактивной диффузии на контакте образуется слой магний-марганцевого ортосиликата (пикротефроита), толщина его слоя порядка 5-10 мкм в ситалле К-14 и порядка 2 мкм в форстеритовой керамике ЛФ-2.

6. Готовые изделия, полученные методом ТЧК, из стеатитового ситалла имеют более однородные свойства (по Вейбуллу). После обработки шликера в ГАРТе при дисперсности порошка 5уд=0,7 м2/г, после ХИП однородность несколько понижается. Наиболее однородные свойства ш=12,3 показали втулки из форстеритовой керамики ЛФ-2 (дисперсность порошка 8уд=0,7 м2/г), полученные обычным литьем. Все образцы закономерно меняют внутренние микронапряжения 1-го и 2-го рода симбатно изменению прочностных свойств.

7. Разработаны и внедрены в производство технологические процессы: получения миниатюрных втулок из магнезиально-силикатных материалов методом шликерного литья под давлением из термопластичных шликеров, с оптимальной дисперсностью исходного порошка и оптимальным составом термопластичной связки;

- 113- получения миниатюрных втулок из шликеров, полученных в ГАРТе; - получения миниатюрных втулок для корпусов п.п.п. по технологии часовых камней.

Автор выражает благодарность научному руководителю профессору, д.т.н. Смирнову С.В., а также сотрудникам ТПУ, ОАО НИИПП: к.т.н. Кондратюку А.А., к.т.н. Сампилову Ц.Д., инженерам Белявской О.А., Янковской Ю.В., Дягилевой JI.A., аспиранту Безносову П. А.; сотрудникам ООО HI ill КЕРАМОСЭТ инженерам Кудрявцеву А. А., ГычевуВ.А. и др.

1.Химическая технология стекла и ситаллов/ М.В.Артамонова, К.С.Асланова, И.М.Бужинский и др. - М.: Стройиздат, 1983, 432 с.

2. Выдрик Г.А., Костюков Н.С. Физико-химические основы производства и эксплуатации электрокерамики. М.: Энергия, 1971, 328 с.

3. Грибовский П.О. Горячее литье керамических изделий. М., Л.: Госэнергоиздат, 1961,340 с.

4. Бердов Г.И. Изменение свойств керамических материалов в результате их взаимодействия с растворами солей/ Неорганические диэлектрики// Тез. докл. Всес. конф. Новосибирск, 1978, с. 27-30.

5. Верещагин В.И. Получение термостойкой нестареющей стеатитовой керамики. Томск, канд.дис., 1968, 177 с.

6. Аветиков В.Г., Зинько Э.И. Магнезиальная электротехническая керамика. М.: Энергия, 1973, 184 с.

7. Агрант Б.А., Гудович А.П., Нежевенко Л.Б. Ультразвук в порошковой металлургии. М.: Металлургия, 1986, 168 с.

8. Ребиндер П.А. Избранные труды: Поверхностные явления. Физико-химическая механика. М.: Наука, 1979, 384 с.

9. А.С. (СССР) 381644. Способ получения вакуумплотного керамического материала/ П.Г.Усов. Бюл. изобр. 1973, № 22.

10. Ю.Бердов Г.И., Гиндулина В.З. Повышение механической прочности керамики обработкой в растворе соли/ Стекло и керамика, 1967, № 10, с. 3436.1 l.A.c.(CCCP) 333147. Способ изготовления стеатитовых изделий/ Бердов Г.И., Печенкина А.Н. Б.И., 1972, № 7.

11. Технология электрокерамики/ Под ред. Масленниковой Г.Н. М.: Энергия, 1974, 186 с.

12. Усов П.Г., Алексеев Ю.И., Турина В.Н. Некоторые особенности пропитки керамики растворами солей/ Электронная техника, сер. 14, 1977, вып. 1, с. 99-103.

13. Корпачева А.И. Исследование процессов получения вакуумноплотной форстеритовой керамики для спаев с титаном. Автореф. Канд дис. — Томск, 1972, 24 с.

14. Брыснев Е.К. Исследование механизма направленного изменения свойств керамики методом введения компонента из раствора. Автореф. Канд. дис., Томск, 1973, 23 с

15. Фарсиянц В.Ю., Тахер Е.А., Попильский Р.Я., Гаврилова И.М. Стеатитовый материал с интервалом спекшегося состояния 300°С/ Стекло и керамика, 1978, №2, с. 24-25.

16. Бердов Г. И. Исследование напряжений в поверхностном слое изделий, обуславливающих повышение механической прочности форстеритовой керамики при введении добавок из растворов солей/ Электронная техника. Сер. 6, 1972, вып.З, с. 101-102.

17. Клименко В.П., Поляков С. А. Вибрационное приготовление высококонцентрированных шликеров/ Стекло и керамика, 1986, № 5, с. 21.

18. Парилова Г.А., Решетников A.M. Способы металлизации керамических и кварцевых втулок для корпусов полупроводниковых приборов/ Электронная техника, 1984, вып. 8, с. 31-33.

19. Смирнов С.В., Чернова Н.В., Романов Б.П. Лазерная сварка метапло-керамических узлов. Там же, с. 14-15.

20. Двинских Ю.В., Попильский Р.Я., Костин Л.И., Кулагин В.В. Теплофизические свойства термопластичных шликеров некоторых высокоогнеупорных окислов/ Огнеупоры, 1979, № 12, с. 37-40.-ио

21. Брыснев Е.К., Янковская Ю.В., Барчинская Т.В. Металлюация керамических деталей с помощью металлизациошюй пленки/ Молодые ученые и специалисты в развитии производительных сил Томской области// Матер. 3-й Регион, конф. Томск, 1980, il24-127.

22. А.С. 1506838 (СССР). Способ изготовления изделий из магнезиально-силикатной керамики/ Б.П.Романов, С.В.Смирнов, 1987.

23. Романов Б.П., Смирнов С.В. Применение лазеров в технологии керамики и металлокерамических узлов// Новые конструкционные материалы и покрытия. Томск: изд. ТФ СО АН СССР, 1988, с. 65-72.

24. Технология строительного и технического стекла и шлакоситаллов/

25. B.В.Поляк, П.Д.Саркисов, В.Ф.Солинов, М.А.Царицын. М.: Стройиздат, 1983, 432 с.

26. Смирнов С.В., Смирнова А.Я., Чернова Н.В. Герметизация полупроводниковых приборов импульсной лазерной пайкой/ Электронная промышленность, 1983, № 5, с. 59-60.

27. Боровский И.Б. Физические основы рентгеноспектрального анализа. М.: Наука, 1973, 312 с.

28. Смирнов С.В., Чернова Н.В., Романов Б.П. Лазерная сварка металлокерамических узлов/ Лазеры в науке и технике// Тез. конф. Омск, 1985, с. 25-26.

29. Пористая конструкционная керамика/ П.Л.Красулин, В.Н. Тимофеев,

30. C.М.Баринов и др. М.: Металлургия, 1980, ЮО с.

31. Тонкая техническая керамика/ Под ред. Янагида X. М.: Металлургия, 1986, 279 с. - Пер. с японск.

32. Гоулдстейн Д., Яховиц X. Практическая растровая электронная микроскопия. М.: Мир, 1978, 656 с.

33. Романов Б.П., Верещагин В.И. Термомеханические свойства керамических материалов на основе клиноэнстатита и диопсида/ Неорганические материалы, 1981, № 12, с. 2281-2282.

34. Rincon I.N., Conel F. Microindantation microstructure glass-ceraic marerials/ Inter. Ceram., 1985, v.l 1, № 3, p.97-98.

35. Романов Б.П. Физико-технические свойства твердых растворов системы клиноэнстатиг-диопсид/ЖПХ, 1985, т. 21, № 9, с. 1539-1543.

36. Верещагин В.И., Романов Б.П.Улучшение технических характеристик пироксеновой керамики микродобавками/ Неорганические диэлектрики// Тез. Всес. конф. Новосибирск, 1978, с. 16-17.

37. Прочность тонких керамических втулок/Л.М.Седоков, Ц.Д., Сампилов, Б.П.Романов, Н.В. Малоховская// Обмен опытом в радиопромыленности, 1983, N 9, с. 49-50.

38. Сампилов Ц.Д., Седоков Л.М., Романов Б.П. Отбраковка спеченных керамических втулок по их механической прочности// Порошковая металлургия и покрытия. Томск: изд. ТФ СО АН СССР, 1984, с. 27-29.

39. Стрнад 3. Стеклокристаллические материалы. М.: Стройиздат, 1988, с. 12-31.

40. Конников С.Г., Сидоров А.Ф. Электронно-зондовой микроанализ. М.: Мир, 1974, 260 с.

41. Влияние а кусти ко-гидродинамической обработай на свойства термопластического шликера и изделий из стеатитового ситалла/Н.И.Романова, Л.А.Дягилева, О.А.Белявская, Б.П.Романов// Стекло и керамика, 1990, N 9, с. 16-17.

42. Lucchini Е. Analisi dei futtore influenzati le caratteristiche reologiche delle barbottini ceraiche/ Ceramurgia, 1984, v. 14, № 3, p. 95-102.

43. Павлушкин H.M., Сентюрин Г.Г., Ходаковская Р.Я. Практикум по технологии стекла и ситаллов. М.: Стройиздат, 1970, 512 с.

44. Рубашев М.А., Бердов Г.И., Гаврилов В.Н. и др. Термостойкие диэлектрики и их спаи с металлами в новой технике. М.: Атомиздат, 1980, 261с.

45. Масленникова Г.Н., Харитонов Ф.Я., Костюков Н.С., Пирогов К.С. Технология элекгрокерамики. М.: Энергия, 1974, 224 с.

46. Горелик С.С., Скаков Ю.А., Расторгуев Л.Н. Рентгенографический и электронно-оптический анализ. М.: МИСИС, 1994, 328 с.

47. Нелидов В.А., Данилова В.Н., Лабутина Н.М. Об измерении удельной поверхности порошков окислов металлов/ Порошковая металлургия, 1971, № 10, с. 1-8.

48. Тейлор А. Рентгеновская металлография. М.: Металлургия, 1965, 663 с.

49. Отчет по НИР "Исследование возможности разработки технологии изготовления диэлектрических втулок диаметром 1,2 мм для корпусов п. п. п. мм-диапазона"/ Авт.: Брыснев Е.К., Воротова Т.П., Романова Н.И., Янковская Ю.В. Томск: НИИПП, уч. № 1377, 1979.

50. Мусин Р.А, Конюшков Г.В. Соединение металлов с керамическими материалами. М.: Машиностроение, 1991, 224 с.

51. Романов Б.П., Романова Н.И., Белявская О.А. Упрочнение втулок из керамики пропиткой в растворах солей/ Физико-химические аспекты прочности жаростойких неорганических материалов// Тез. Всесоюзн. конф., ч. 2, Запорожье, 1986, с. 321-322.

52. Смирнов С.В., Смирнова А.Я., Чернова Н.В. Герметизация полупроводниковых приборов импульсной лазерной пайкой// Электронная промышленность, 1983, N 5, с. 59-60.

53. А.с.(СССР) 310889. Способ изготовления упрочненных изделий из форстеритовой керамики/ Бердов Г.И., Гиндулина В.З., Корпачева А.И., Шубина Н.И.-Б.И., 1971, №24.

54. Перас А.Я., Даукнис В.Н. Прочность огнеупорной керамики и методы ее исследования. Вильнюс: Изд. Мокслас, 1977, 183 с.

55. Romanov В.Р., Kondratyuk А.А., Romanova N., I. Influence of Comparing Method on Strength and Crack Resistence of steatitive sitall/ The Therd Russijn-Korean Inter. Sympos. On Science and Thehnology. Vol.2. Novosibirsk: STU, 1999, p. 424.

56. Григорьянц А.Г., Соколов A.A. Лазерная обработка неметаллических материалов, кн. 4. М.: Высшая шк., 1988, 191 с.

57. Богородицкий Н.П., Кальменс Н.В. Радиокерамика. М., Л.: Госэнергоиздат, 1963,

58. Импульсный отжиг конденсаторной керамики излучением твердотельного лазера/ В.З.Гиндулина, Н.М.Богданович, Н.А. Мещеряков и др.// Электронная техника. Сер.7, 1985, вып. 5 (132), с. 12-15.

59. Стрелов К.К. Теоретические основы технологии огнеупорных материалов. М.: Металлургия, 1985, 480 с.

60. Эванс А.Г., Лэнгдон Т.Г. Конструкционная керамика. М.: Металлургия, 1980,256 с.

61. Смирнов С.В., Вологдина Л.И., Романов Б.П. Лазерная размерная обработка керамики// Применение лазеров в науке и технике/ Тез. конф. Омск, 1985, с. 9-11.

62. Романов Б.П., Смирнов С.В. Разрушение керамики под действием лазерного импульса. Там же, с. 12-13.

63. Исследование причин брака при лазерном скрайбировании алюмооксидной керамики/ В.С.Кийко, И.АДмитриев, И.Д.Кащеев и др.// Силикатные материалы. Сер. 18. Теоретические основы технологических процессов, 1994, вып. 2, с. 20-23.

64. Ходаков Г.С. Основные методы дисперсионного анализа порошков. М.: Стройиздат, 1968, с.21-24.

65. Квеско Н.Г. Исследование4 метода слоевой загрузки материала в условиях весовой седиментации/ Вопросы аэрогидромеханики и тепломассообмена. Томск: Изд. ТГУ, 1986, с. 36-41.

66. Кондратов А.Д., Шестопалов Е.В. Основы физического эксперимента и математическая обработка результатов измерений. М.: Атомиздат, 1977, 185 с.

67. Рогов И.И. Структура и свойства форстеритовой керамики ЛФ-П, обработанной ВЧ-элекгрическим полем/ Электронная техника, сер. 6, 1980, вып.2, с. 94.

68. Брыснев Е.К. Исследование процессов, протекающих при взаимодействии керамических материалов с растворами солей/ Электронная техника, сер. 6, 1970, вып.6, с.61.

69. Kondratyuk A. A., Romanov В. P., Romanova N. О. Isostatic moulding of hollow and compact powders, glasses and ceramics/ Procttdings of Korus 2000. The 4th Korea-Russia Inter. Sympos. On Science and Tehnology. University of Ulsan, 2000, v. 4, p.37-39.

70. Кондратюк А.А. Предварительное виброуплотнение порошковых материалов перед прессованием / XVI Российск. школа по проблемам проектирования неоднородных конструкций//Тез. докл. — Миас, 1997, с. 36.

71. Седоков Л.М., Сампилов Ц.Д. Определение предела прочности на растяжение по результатам испытания на радиальное сжатие керамических втулок/ Проблемы ррочности, 1982, № 4, с. 8-13.

72. Бррородищщ|1 Н.П., Пасынков В.В., Тареев Б.М. Электротехнические материалы. Л.: Энергоатомиздат, 1985, 304 с.

73. Саркисов П.Д. Физикохимия и технология ситаллов. М.: МХТИ, 1989. - 80с.

74. Шевченко В.Я. Введение в техническую керамику. М.: Наука, 1993, 112с.

75. Керамические материалы/ Г.Н.Масленникова, Р.А.Мамападзе, С. Мидзута, К. Коумото. М.: Стройиздат, 1991, 320 с.

76. Баринов С.М., Шевченко В.Я. Прочность технической керамики. — М.: Наука, 1996. 159 с.

77. Власов А.С. Конструкционная керамика. М.: изд. МХТИ, 1985, 70 с.

78. Лиоренцевич Е.А. Изготовление металлосапфировых корпусов полупроводниковых диодов/ Электронная техника, сер. 1, 1980, № 1, с. 107.

79. Попильский Р.Я., Пивинский Ю.Е. Прессование порошковых керамических масс. М.: Металлургия, 1983, 176 с.

80. Практикум по основам технологии тугоплавких неметаллических и силикатных материалов/ Вакалова Т.В., Хабас Т.А., Эрдман С.В., Верещагин В.И. Томск: Изд. ТПУ, 1999, 169 с.

81. Волорович М.П. Упругие свойства минералов при высоких давлениях. М.: Наука, 1975, 131 с.

82. А.с. 968014 (СССР). Способ упрочнения изделий из форстеритовой керамики/ Н.И.Романова, Е.К. Брыснев, О.А. Белявская, А.В.Лавренков, Б.П.Романов. Б.И., 1982, N 39.

83. Химическая технология керамики и огнеупоров/ Под ред. Будникова П.П., Полубояринова Д.Н. М.: Стройиздат, 1972, 551 с.

84. Балкевич В.Л. Техническая керамика. М.: Стройиздат, 1984, 256 с.

85. Бахметьева Н.А., Козлов А.Ф., Микуцкая Е.А. Кинетика удаления термопластичной связки из керамических деталей/ Стекло и керамика, 1987, № 3, с. 23-24.

86. Pollin J.P., Messing G.L. Solv. Mater. Charact./ Proc. Symp. New-York; London, 1985, v.3, p. 359-370.

87. Пивинский Ю.Е. Объемные фазовые характеристики и их влияние на свойства суспензий и керамических литейных систем/ Огнеупоры,' 1982, №11, с.50-58.

88. Безбородов В.Г. Технологические свойства шликеров для горячего литья стеклоизделий под давлением/ Стекло и керамика, 1968, №7, • с.24-27.

89. Добровольский А.Г. Шликернос литье под давлением. М.: Металлургия, 1977,240с.

90. ЮО.Теплофизические свойства термопластичных литейных шликеров некоторых высокоогнеупорных окислов/ Двинских Ю.В., Попильский Р.Я., Костин Л.И., Кулагин В.// Огнеупоры, 1979, № 12, с. 37-40.

91. Интенсификация процесса изготовления шликера для горячего литья керамических изделий/ Моняк Н.Г., Строганова В.В., Иофис Н.А. и др.// Электронная техника, сер. Материалы, 1969, вып. 8, с. 108-112.

92. Lucchini Е. Analisi dei fattore influcuzanti le caratteristiche reologche delle barbottine ceramiche/Ceramurgia, 1984, v. 14, № 3, p. 95-102.

93. Физическая химия силикатов/ Пащенко А.А., Мясников А.А., Мясни-кова Е.А., Старчевская Е.А. и др. М.: Высш. шк., 1986, 368 с.

94. Ю4.Сайфулин Р.С. Физикохимия неорганических полимерных и композиционных материалов. М.: Химия, 1990, 240 с.

95. Романов Б.П., Кондратюк А.А., Романова Н.И. Влияние способа формования на свойства изделий из стеклокерамических материалов/ Сборник научных трудов лесотехнического института. Томск: Изд. ТГАСУ, 2000, вып. 1, с. 85-87.

96. Недома И.Н. Расшифровка рентгенограмм порошков. М.: Металлургия, 1975,424 с.

97. Романова Н.И. Влияние дисперсности стеклопорошка и способа его получения на реологические свойства термопластичного шликера/ Нетради

98. Нетрадиционные технологии в строительстве// Материалы Международного научно-технического семинара. Томск: Изд. ТГАСУ, 2001, с. 134-135.

99. Белинская Г.В., Выдрик Г.А. Технология электровакуумной и радиотехнической керамики. М.: Энергия, 1977,366 с.

100. Квеско Н.Г. Исследование метода слоевой загрузки материала в условиях весовой седиментации/ Вопросы аэромеханики и тепломассообмена. -Томск: Изд. ТГУ, 1986, с. 36-41.

101. ПО.Окадзаки К. Технология керамических диэлектриков. М.: Энергия, 1976,336 с.

102. Rincjn I.N. Conel F. Microindantation glass-ceramic vaterials/ Inter. Ceram., 1985, v. II,№ 3,p. 97-98.

103. Стрелов K.K., Кащеев И.Д. Теоретические основы технологии огнеупорных материалов. — М.: Металлургия, 1996, 608 с.

104. ПЗ.Седоков JI.M. Сампилов Ц.Д. Определение предела прочности на растяжение по результатам испытания на радиальное сжатие керамических втулок/ Проблемы прочности, 1982, № 4, с. 8-13.

105. Павлушкин Н.М. Основы технологии ситалллов. М.: Стройиздат, 1970,352 с.

106. Шевченко В.Я. Введение в техническую керамику. М.: Наука, 1993, 112 с.

107. Керамические материалы/ Г.Н.Масленникова, Р.А.Мамаладзе, С.Мидзута, К.Коумото. М.: Стройиздат, 1991, 320 с.

108. Воларович М.П. Упругие свойства минералов при высоких давлениях. М.: Наука, 1975,131 с.

109. Галахов А.В., Цибайло Е.В. Неоднородность упаковки порошков в компактах и прочность получаемой из них керамики/ Огнеупоры и техническая керамика, 1997, №5, с. 14-19.

110. ASTM Standart Е-399-83// Annual book of ASTM Standarts. Philidelphia: ASTM, 1983.

111. Брэгг B.JI., Кларингбулл Г.Ф. Кристаллическая структура минералов. -М.: Мир, 1967, 390 с.

112. Приборы полупроводниковые. Втулки керамические металлизированные. Конструкции и размеры. ОСТ 11аА0.737.000-80.

113. Тыкачинский И.Д. Исследование процессов катализированной кристаллизации стекол. Разработка и применение ситаллов/ Катализированная кристаллизация стекол. М.: ГИС, 1982, с. 3-12.

114. Верещагин В.И., Цимбалюк Е.П., Романов Б.П. Взаимосвязь кристаллической структуры и физико-технических свойств твердых растворов в системе клиноэнстатит-диопсид/ Катализированная кристаллизация стекол. М.: ГИС, 1982, с. 95-100.

115. Тахер Е.А., Федосеева Т.И., Дайн Э.П. и др. Особенности процессов кристаллизации в ситаллах на основе тонкодисперсных порошков стекол/ Катализированная кристаллизация стекол. М.: ГИС, 1982, с. 124-127.

116. Авакумов Е.Г. Механические методы активации химических процессов. — Новосибирск: Наука, 1979, 256 с.128.3имон АД., Андрианов Е.И. Аутогезия сыпучих материалов. М.: Металлургия, 1978,288 с.

117. Практикум по основам технологии тугоплавких неметаллических и силикатных материалов/ Т.В.Вакалова, Т.А.Хабас, С.В.Эрдман, В.И.Верещагин. Томск: Изд. ТПУ, 1999, 169 с.

118. Мидуков В.З., Рудь В.Д., Кондратюк А.А. Влияние технологии изготовления пористых спеченных материалов на их механические характеристики/ Медвуз, сб. науч.-техн. статей «Технология машиностроения и проблемы прочности». Томск: Изд. ТЛИ, 1978, с. 11-14.

119. Гидростатическое прессование стеклопорошковых материалов/ В.Н.Сигаев, П.Д.Саркисов, АБ.Мамонов и др.// Стекло и керамика, 1996, № 5, с. 7-10.

120. Romanov В.Р., Kondratyuk А.А., Romanova N.I. Influence of Cjmpacting Method jn Strength and Crac Resistence of Sitall/ The Therd Russijn-Korean Inter. Sympos. On Science and Technolojy. Vol. 1. Novosibirsk: STU, 1999, p 242.

121. Романов Б.П., Кондратюк A.A., Смирнов C.B. Влияние способа формования на свойства изделий из магнезиально-силикатной керамики/ Решет-невские чтения// Мат. Всерос. НТК. Красноярск: Изд. САА, вып. 2, 1998, с. 6263.

122. Двинских Ю.В., Попильский Р.Я. Трение скольжения термопластичных шликеров применительно к процессу литья/ Огнеупоры, 1980, № 12, с. 2730.

123. Пивинский Ю.Е., Ромашин АГ. Кварцевая керамика. — М.: Металлургия, 1974,264 с.

124. Кобл P.JI., Парих Н.М. Разрушение поликристаллической керамики/ Разрушение. М.: Мир, 1976, т. 7, с. 229-294.

125. Брыснев Е.К., Янковская Ю.В., Барчинская Т.В. Металлизация керамических деталей с помощью металлизационной пленки/ Молодые ученые и специалисты в развитии производительных сил Томской области// Материалы

126. Прочность тонких керамических втулок/ Л.М.Седоков, Ц.Д.Сампилов, Н.В.Малаховская, Б.П.Романов/ Обмен опытом в радиопромышленности, 1982, № 10, с. 49-50.

127. Prat P.L. Micromechanisms of crack extesion in ctramics/ Metal. Sci., 1980, v/ 14, № 8-9, p. 363-373.

128. Технология электрокерамики/ Под ред. Г.Н.Масленниковой. — М.: Энергия, 1974, с. 223.

129. Бердов Г.И. Исследований напряжений в поверхностном слое изделий, обуславливающих повышение механической прочности форстеритовой Kgpa-мики при введении добавок из растворов солей/ Электронная техника, сер. 6, в 3, 1972, с. 101.

130. Pollin der J.P., Messing Alfred G.l. Rold/ Mater Cyoract. Vol. 2; Proc/Sympos. Flfred N.Y., July 30-Aug3, 1984. New York: London, 1985, p. 359370.

131. Штейнберг Ю.Г., Тюрн Э.Ю. Реологические свойства глазурных суспензий/ Стекло и керамика, 1986, № 4, с. 25.

132. Температурные измерения. Справочник/ О.АГеращенко, АН.Гордов, АК.Еремина и др. Киев: Наукова Думка, 1989, 704 с.

133. Романова Н.И., Романов Б.П., Худобин Е.С. Упрочнение миниатюрных изделий из форстеритовой керамики методом пропитки в растворах солей/ Стекло и керамика, 2004, № 1, с. 17-18.

134. Химическая технология керамики/ Под ред. И.Я.Гузмана М.: ООО РИФ «Стройматериалы», 2003,496 с.

135. Шевченко В.Я., Баринов С.М. Техническая керамика. — М.: Наука, 1993, 187 с.

136. Урьев Н.Б. Высококонцентрированные дисперсные системы. М.: Химия, 1980, 320 с.

137. Касаткин А.Г. Основные процессы и аппараты химической технологии. M.-JL: Гос.науч.тех.издат. хим. литературы, 1950, 792 с.

138. Природные и синтетические алмазы/ Г.Б.Бокий, Г.Н.Безуков, Ю.А.Клюев и др. М.: Наука, 1986,221 с.

139. Вавилов B.C. Алмазы в твердотельной электронике/ Успехи физических наук, 1997, т. 167, № 1, с. 17-24.

140. Алмаз в электронной технике/ Под ред. Кваскова В.Б. М.: Энерго-атомиздат, 1990,248 с.

141. Непша В.И., Клюев Ю.А. Алмазные теплоотводы в электронных приборах/Алмаз в электронной технике. — М.: Энергоатомиздат, 1990, с. 140-155.

142. Сампилов Ц.Д., Седоков Л.М., Романов Б.П. Отбраковка мпеченных керамических втулок по их механической прочности// Порошковая металлургия и покрытия. Томск: Изд.ТФ СО АН СССР, 1984, с. 27-29.

143. U.Kumar, N.Vyjayanthi, P.G.Venu etc.Weibull analysis of modulus of repture of the slip-cast amorphous siluca determined by the 4-point bending test// Materials Science division, National Aerospace laboratorias. 2003, № 2, v. 52, p. 9094.

144. Верещагин В.И. Модифицирующее действие микродобавок в силикатных и оксидных керамических материалах/ Стекло и керамика, 2002, № 12, с. 6-9.

145. Weibull analysic of ceramics under high stress gradients/ Fett Т., Ernst E., Muns D., Budenheim D., Oberacker R. J.// Eur. Ceram. Soc., 2003, 23, № 12, c. 2031-2037.

146. Романова Н.И. Разработка состава связки для термопластичного шликера на основе стекла стеатитового ситалла/ Материалы III Всерос. науч. Конф. «Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий. Томск: Изд. ТПУ, 2004, с. 45-46.

147. Кащеев И.Д., Стрелов К.К. Испытание и контроль огнеупоров. — М.: Интермет Инжиниринг, 2003, 286 с.

148. Беломестных В.В., Похолков Ю.П., Ульянов B.JI. и др. Упругие и акустические свойства ионных, керамических диэлектриков и высокотемпературных сверхпроводников. Томск: STT, 2001, 226 с.

149. Костюков Н.С., Поздеева Э.В., Ботаки А.А., Ульянов B.JI. Упругие свойства стеатитовой керамики при низких температурах/ Стекло и керамика, 1979, №3, с. 24-25.

150. Ульянов B.JI., Поздеева Э.Б. Определение средних значений модуля упругости электроизоляционных керамических материслов/ Стекло и керамика, 1984, №6, с. 24-25.

151. Бережной А.И. Ситаллы и фотоситаллы. М.: Изд. Машиностроение, 1966, 347 с.