автореферат диссертации по металлургии, 05.16.02, диссертация на тему:Совершенствование процессов рафинирования при карботермическом получении кремния высокой чистоты

На правах рукописи

а

Вельский Сергей Сергеевич 003483853

СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ РАФИНИРОВАНИЯ ПРИ КАРБОТЕРМИЧЕСКОМ ПОЛУЧЕНИИ КРЕМНИЯ ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ

Специальность 05.16.02 - Металлургия черных, цветных и редких металлов

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

1 9 пОЯ Г1

Иркутск - 2009

003483853

Работа выполнена в Иркутском государственном техническом университете

Научный руководитель:

кандидат технических наук, доцент Н.В. Немчинова

Официальные оппоненты: доктор химических наук, профессор

Н.А. Корчевин;

кандидат технических наук Н.В. Евсеев

Ведущая организация:

ООО «НВЦ «Солнечный кремний Сибири» (г. Иркутск)

Защита состоится 2 декабря 2009 г. в 1000 на заседании диссертационного совета Д 212.073.02 в Иркутском государственном техническом университете по адресу: 664074, г. Иркутск, ул. Лермонтова, 83, корпус «К», конференц-зал.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Иркутского государственного технического университета.

Автореферат разослан 30 октября 2009 г.

Отзывы на автореферат (в 2-х экземплярах, заверенные печатью организации) просьба высылать по адресу: 664074, г. Иркутск, ул. Лермонтова, 83, ИрГТУ; ученому секретарю диссертационного совета Д 212.073.02. e-mail: ninavn@istu.edu

Ученый секретарь диссертационного совета, к.т.н., профессор

В.М. Салов

Общая характеристика работы

Актуальность работы

По результатам многочисленных исследований органическое топливо уже к началу 2020 г только частично сможет удовлетворять запросы мировой энергетики. Остальная часть энергопотребности должна быть удовлетворена за счет возобновляемых источников энергии, среди которых солнечная энергетика является наиболее перспективной.

В последние годы наблюдается интенсивный рост (более чем 35 % в год) объема производства солнечных батарей (СБ). При этом 85 % СБ изготавливаются на основе кремния солнечного сорта SoG-Л' - «terrestrial solar grade» или TSG-SoG, что означает кремний, пригодный для изготовления солнечных элементов.

Низкие объемы производства и высокая стоимость получаемого по упрощенной «Siemens A.G.w-технологии «солнечного» кремния являются сдерживающими факторами для еще более интенсивного роста объемов производства солнечных модулей.

Среди альтернативных технологий получения SoG-Si особое место занимает технология прямого восстановления высококачественного кремнеземсо-держащего сырья углеродистым восстановителем (УВ) в руднотермических печах (РТП) с получением кремния определенной степени чистоты, из которого после проведения рафинирования методом направленной кристаллизации возможно получение крупноблочного слитка мультикремния для изготовления фотоэлектрических преобразователей (ФЭП).

Таким образом, при рассмотрении альтернативных технологий получения Si для ФЭП необходимо уделять больше внимания вопросам повышения качества исходного рафинированного кремния (Si),аф). Поэтому вопросы оптимизации получения технического (металлургического) кремния (Simcxu) в РТП и совершенствования процессов его дальнейшего рафинирования являются весьма актуальными.

Работа выполнена в рамках аналитической ведомственной целевой программы Министерства образования РФ «Развитие научного потенциала высшей школы (2006-2008, 2009-2010 гг.)», проекты № РНП 2.1.2.2382, № 2.1.2/842.

Цель и задачи исследований

Совершенствование процессов рафинирования в технологии карботер-мического способа получения кремния высокой чистоты.

В работе решались следующие задачи:

- обоснование требований к показателям качества кремния высокой чистоты, получаемого карботермическим способом при электроплавке;

- выявление основных источников загрязнения примесями кремния, получаемого прямым восстановлением кварцита в руднотермической печи;

- разработка методики оценки поступления примесей в выплавляемый кремний и их распределения по продуктам плавки;

- исследование влияния изменения температуры как основного технологического параметра процесса плавки на формирование примесных включений;

- определение оптимальных параметров и эффективности рафинирования металлургического кремния методами направленной кристаллизации и зонной плавки;

- исследование влияния химического состава образцов мультикремния, полученных из металлургического сырья методами Стокбаргера-Бриджмена и Багдасарова, на их структурные и электрофизические характеристики.

Научная новизна

На основе разработанной методики термодинамического анализа выявлена закономерность поступления и распределения примесей при выплавке кремния в руднотермических печах.

Установлена закономерность формирования в техническом кремнии примесных включений из значительного числа элементов, вводимых в процесс плавки, при изменении температуры.

Определено влияние элементного и фазового состава примесных включений на основные характеристики мультикристаллического кремния, полученного из металлургического сырья методами направленной кристаллизации и зонной плавки.

Положения, выносимые на защиту

Базовая многорезервуарная физико-химическая модель процесса получения кремния в РТП.

Установленная на основе разработанной методики термодинамического анализа закономерность поступления и распределения примесей в процессе выплавки кремния в РТП.

Элементный и фазовый состав примесных включений технического, рафинированного кремния и экспериментальных образцов мультикремния.

Установленное влияние технологических параметров процесса рафинирования кремния методами направленной кристаллизации и зонной плавки на основные характеристики мультикристаллического кремния.

Материалы и методы исследования

Для термодинамического моделирования автором был использован программный комплекс «Селектор». Объектом аналитических исследований явились образцы технического, рафинированного кремния, отобранные в электротермическом отделении ЗАО «Кремний» (г. Шелехов Иркутской обл.), и экспериментальные образцы мультикристаллического кремния, полученные из металлургического материала методами направленной кристаллизации. Достоверность и обоснованность проведенных исследований подтверждена сходимостью полученных данных при использовании различных аттестованных методов анализа: металлографического, рентгенофазового, рентгенофлуоресцентно-го (РФА), атомно-эмиссионного (АЭА), рентгеноспектрального микроанализа (РСМА).

Практическая значимость

Выявлена возможность получения кремния высокой чистоты прямым карботермическим восстановлением высокочистых кварцитов региона Восточной Сибири (на действующем промышленном предприятии) с проведением

дальнейшего рафинирования продукта плавки методами направленной кристаллизации как альтернативный способ, позволяющий увеличить объемы базового материала - кремния «солнечного» качества - для ФЭП.

В промышленных условиях для РТП мощностью 16,5 и 25 МБ-А внедрена базовая многорезервуарная физико-химическая модель карботермического процесса, что позволило влиять на извлечение кремния и его сортность при различных начальных задаваемых технологических параметрах процесса.

Экспериментально подтверждена эффективность применения очистки рафинированного кремния (с ЗАО «Кремний») кристаллизационными методами путем проведения двух-, трехкратных перекристаллизации и выбора оптимальных условий роста кристаллов.

Реализация результатов работы

На ЗАО «Кремний» проведено внедрение разработанной базовой много-резервуарной модели с введением в процесс значительного числа примесных элементов, поступающих с сырьевыми материалами, и учетом заводских загрузочных компонентов шихты. Также результаты диссертационной работы внедрены в учебный процесс при подготовке инженеров по специальности «Металлургия цветных металлов». Проведены укрупненно-лабораторные испытания по росту кристаллов мультикристаллического кремния из металлургического сырья в ОАО «КМ «Кварцевая палитра» (г. Александров Владимирской обл.).

Апробация работы

Основные результаты и научные положения работы представлялись: на ежегодных научно-практических конференциях «Перспективы развития технологии, экологии и автоматизации химических, пищевых и металлургических производств» (г. Иркутск, 26-27 апреля 2007 г.; 29-30 апреля 2008 г.; 23-24 апреля 2009 г.); на Четвертой Российской конференции с международным участием по физике, материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния и приборных структур на их основе «Кремний 2007» (г. Москва, 3-6 июля 2007 г.); на Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Технология и оборудование руднотермических производств» «Электротермия-2008» (г. Санкт-Петербург, 3-5 июня 2008 г.); на Всероссийских научно-практических конференциях с международным участием «Перспективы развития промышленного производства кремния» (г. Шелехов, 5-6 октября 2006 г.; 21-22 августа 2008 г.); на VI Всероссийской научно-технической конференции молодых ученых и специалистов алюминиевой и электродной промышленности (г. Иркутск, 30-31 октября 2008 г.).

Публикации. По материалам диссертационной работы имеется 18 публикаций, в т.ч. две статьи в журналах, рекомендованных ВАК.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, 7 приложений и списка литературы из 112 наименований. Работа изложена на 138 страницах машинописного текста, содержит 56 рисунков и 32 таблицы.

Основное содержание работы

Введение. Сформулированы цели работы, ее актуальность, научная новизна и практическая значимость.

В главе 1 освещено современное состояние солнечной энергетики и объемов производства кремния как базового материала для изготовления СБ. Показана необходимость поиска и разработки альтернативных технологий получения высокочистого кремния, которые позволяли бы получать дешевый материал в достаточном для потребителей количестве. В связи с этим проведен патентный обзор способов получения вов-Л', в перечне альтернативных особое место занимает технология прямого получения кремния в РТП восстановлением особочистых кварцитов с последующим выращиванием мультикристаллов кремния методами направленной кристаллизации (т.е. исключая силановый передел в традиционной промышленной технологии).

Однако кремний, являющийся исходным сырьем для получения кремния 8оС-57 по технологии прямого восстановления, даже после рафинирования содержит значительное количество примесей. С целью исследования качества Л'иея/, выплавляемого в РТП, необходимо проанализировать поступление и распределение примесных элементов в процессе плавки. Для этого нами использовались методы ТД моделирования.

В главе 2 приведен обзор применения методов ТД моделирования при исследовании металлургических процессов, в частности производства кремния, дано описание структуры и основных характеристик программного комплекса «Селектор», основанного на методе минимизации энергии Гиббса. Исследования были направлены на создание (на основе обобщенной модели системы «57-О-С») модели наиболее приближенной к реальным производственным условиям и с введением в нее большинства примесных элементов, содержание которых в шихте незначительно. В главе проведен анализ химического состава шихтовых материалов, поступающих в РТП. Поэтапно описано формирование базовой физико-химической модели карботермической плавки (на основе разработанной концептуальной модели получения кремния в РТП определение температурных зон протекания основных реакций получения кремния и количества резервуаров; определение и выбор компонентного состава моделируемой системы с учетом данных химического анализа составляющих шихты; подготовка данных для ввода в модель; составление схемы сопряжения резервуаров потоками подвижных групп фаз). При формировании ТД модели были учтены загрузочные коэффициенты шихты промышленного процесса и коэффициенты перехода примесей в расплав. Приведены результаты решений базовой многорезервуарной модели.

Созданная базовая физико-химическая модель (рис. 1) плавки включает 16 независимых компонентов (С, М, А1, Са, Ре, Р, 5, 57, 77, В, Mg, N0, К, Н, О, Мп), которые представлены элементами и соединениями в расплавленном, газообразном и твердофазном состояниях. Введение в модель значительного количества примесей (для максимального приближения результатов моделирова-

ния к составу получаемых при плавке продуктов) отличает ее от других моделей, ранее созданных для изучения карботермического получения кремния.

3-й резервуар

1С <»220-ГС

Расп.тап[ ¡Газы

4-й резервуар*

(тигель) 51

Г=2000'С

А-я зона (500-1350-С) '2-я зона

(1350-1475'С -3-я зона (1625-1850'С ч4-я зона (1710-1900'С

^5-язона

(1900-2670'С

Рис. 1. Схема ТД модели и РТП с температурными зонами (резервуарами): 1 - газоход, 2 - подвесные щитки, 3 - труботечка, 4 - зонт, 5 - летка, б - электрод, 7 - кожух, 8 - футеровка

На основе базовой модели была предложена 7-резервуарная модель, дополненная 3-мя резервуарами с различными температурами, в список независимых компонентов которой введены также М, Сг. Извлечение кремния в модели составило 75 %, что хорошо согласуется с заводскими данными.

В результате исследований нами на основе предложенной методики термодинамического анализа была установлена закономерность формирования в примесных включений из значительного числа элементов, введенных в ТД модель, при изменении температуры как основного технологического параметра плавки. На рис. 2 приведены результаты решений модели по 6-му резервуару в диапазоне температур 1270-1570 °С.

140 30-1

121 25

5 20-

ВП 1 I

! 15'

Ш а

40 о 10'

20 5-

0 0-

1250 1300 1350 исп N50 Т500 1550 !5СО т. С

1350 1400 то 1500 1550 1С

1250 1335 1350 1400 1450 15С0 1550

ьс

1250 1300 1350 1400 1-150

1250 1300 1 350 1400 1450 1500 1550 1600

5 б

Рис. 2. Изменение концентрации (моль) кремния и основных примесных включений при 1270-1570 °С: 1 - Я; 2 - /ЬЯ™, Я02\ 3-А1, Fe, Л/лЯ, Ся; 4 - Г/С, />, М&а&ь ТЮ; S-Mg, Л^/Оа ЯСм; 6 -АЦОзшь СаБш, СаАШ1т

На графиках показано образование основных примесных включений в интервале температур до и с начала выпуска кремния из печи. При кристаллизации кремния растворимость многих примесей снижается, способствуя их выделению в виде химических соединений либо в виде внедрений по типу твердого раствора. Так, при выпуске расплава (с температурой 1500-1600 °С) наблюдается интенсивная кристаллизация кремния в диапазоне с 1420 до 1320 °С с последующим замедлением. При этом идет также интенсивное образование силицидов железа и других интерметаллидов (Мп31, СаА^Згг)', концентрации элементных железа, алюминия и кальция снижаются. Растворимость кварца в кремнии резко снижается (при начале кристаллизации кремниевого расплава), при этом он способствует образованию шлаковой фазы в кремнии. Концентрация К^А1204 также снижается, однако в процессе кристаллизации воз-

можны процессы как разрушения, так и образования различных магний-, алю-минийсодержащих силикатов.

Для сопоставимости полученных данных по моделированию были проведены исследования фазового состава 81те„, (7-й резервуар с температурой 25 °С) методами рентгенофазового и металлографического анализов (рис. 3).

я г

1 2

Рис. 3. Результаты исследований 51шт: 1 - фрагмент рентгенограммы; 2 - металлографическое исследование (а - эвтектические включения (светлое поле); б - включение, содержащее атомы Ее и Мп (темное поле);

в - выделение стеклофазы по границам зерен кремния (темное поле); г - сложное интерметаллическое включение по краям зерен кремния (светлое поле))

Проведенные исследования по ТД анализу формирования примесных включений и распределения примесей в процессе плавки и влиянию изменения температуры показали сходимость результатов моделирования и высокую информативность.

В главе 3 приведено обоснование необходимости дальнейшей очистки рафинированного окислительным способом в ковше технического кремния кристаллизационными методами. В качестве исходного сырья для получения мультикристаллов использовался 5граф, образцы которого были отобраны в электротермическом отделении ЗАО «Кремний» из ковша емкостью 1,83 м3, вместимостью до 4 т кремния. Химический анализ образцов, приведенный в табл. 1, осуществляли с помощью методики АЭА. Также исходные образцы

были проанализированы металлографическим, рентгенофазовым методами и РСМА (рис. 4).

Таблица 1. Химический состав рафинированного кремния

Образец Sijxujt Концентрация, ррт

AI Fe Ca Mg Ti Mn V Cr Nt Zr Си В P

1 600 3000 20 20 2000 150 200 6 80 80 100 15 <100

2 600 2000 5 30 2000 150 200 5 70 100 100 10 <100

3 700 3500 70 20 200 100 200 <5 45 80 100 10 <50

4 50 200 30 . 65 80 55 30 40 8

5 200 800 30 15 100 60 60 25 35 13

6 300 1000 20 4 100 60 60 50 50 20 9

"ррт = 10'4 мас.%.

Лабораторные испытания по выращиванию мультикристалличе-ского кремния из 81раф методом направленной кристаллизации проводились совместно с сотрудниками института геохимии СО РАН (г. Иркутск) по методу Стокбаргера-Бриджмена на установке СЗВН-20.

Для эффективности рафинирования были проведены однократные, двукратные и трехкратные перекристаллизации Б1раф. При этом наблюдалась достаточно высокая степень очистки и отгонка примесей (кроме В) в конечную часть кристалла уже при первой кристаллизации (образец М1 табл. 2, рис. 5), концентрация примесей в образцах мультикремния определялась АЭА. Вторая и третья перекристаллизации (образцы Мб, М8) приводят к уменьшению концентрации Р.

Таблица 2. Концентрация примесей в образцах мультикремния

Образец Концентрация, ррт

AI Fe Ca Mg Ti Mn Ni V Cr Mo Си P В

M 1 40 26 1 1 1,2 8 5 5 1,3 2 13 81 10,5

Мб 39,3 25.8 6,9 1 1,1 8 5 5 1,2 2 13 78 10,5

М 8 39,1 25,4 6,8 0,9 1 7,8 4,9 5 1,1 2 12,8 76 10,5

Проводилось исследование макроструктуры и структурных характеристик полученных образцов (см. рис. 5); структура кремния после третьей перекристаллизации (М8) характеризовалась ровными колоннами с неискривлен-ными границами и крупными размерами кристаллитов. Подобный ее вид отвечал более 75 % объема всего слитка. Аналогичная структура наблюдалась и при однократной кристаллизации более чистого исходного В11>аф (М1).

Рис. 4. Результаты РСМА (микрофотография участка поверхности образца Sipalp, режим SEI)

MI Мб M8

Рис. 5. Макроструктура образцов мультикремния

В образце Мб (см. рис. 5) наблюдались области с ровными границами крупных кристаллитов (более 2 мм) без искривления по продольной оси колонн. Полученные образцы мультикремния также исследовались методами металлографического анализа и РСМА (рис. 6).

1 2

Рис. 6. Результаты исследований образца мультикремния из Sipa,/,: 1 - общий вид топографии включения (РСМА, режим SE1, увеличение 3200);

2 - включение с FeO AhOj (металлографический анализ, светлое поле)

По сравнению с результатами РСМА образца Sipa(¡, (см. рис. 4) видно, что ' мультикремний, полученный направленной кристаллизацией из Si,,a(¡„ содержит | лишь незначительное количество очень мелких фазовых неметаллических включений (см. рис. 6) и интерметаллидов. Полученные образцы мультикрем-¡ ния характеризовались удовлетворительными электрофизическими характеристиками.

Таким образом, очистка Sipa,¡, методом направленной кристаллизации (по Стокбаргеру-Бриджмену) по всем примесям осуществляется весьма эффективно (за исключением бора). Эффективность рафинирования составила для, %, соответственно: Al - 90,33; Fe - 98,53; Са - 76,37; Mg - 5,45; Си - 83,88; Мп -92,1; М - 90,06; Сг - 83,88; Р - 2,76; Ti - 99,85; Pb - 81,82.

В главе 4 приведены результаты укрупненно-лабораторных испытаний по получению мультикристаллического кремния из Sipa,¡, методом зонной плав-

ки (по Багдасарову), которые проводились в ООО «КМ «Кварцевая палитра» на установке «САПФИР-2 МГ».

Химический состав исходного металлургического сырья приведен в табл. 4. Материал также был отобран при нормальном технологическом режиме работы РТП мощностью 25 МВ'А (ЗАО «Кремний») после его очистки окислительным способом в ковше и последующего ликвационного рафинирования.

С целью максимальной очистки кремния от примесей проводили двукратную перекристаллизацию: 1-я перекристаллизация - при скорости протяжки 30 мм/ч; 2-я перекристаллизация проводилась на основе очищенного слитка (после первой перекристаллизации) со скоростью протяжки 1 см/ч.

Определяемый элемент Концентрация, ррт Определяемый элемент Концентрация, ррт

А1 130 V 76

Са 215 Сг 7

Мх 48 2г 79

Ре 2100 В 15

77 150 Р 30

Си 10 2п 20

Мп 71 РЪ 11

№ 34 N0 40

Со 8

Полученные слитки мультикристаллического кремния (рис. 7) характеризовались высокой степенью чистоты и обладали ярко выраженной зеркальной поверхностью. Коэффициент отражения мультикремния, определенный на спектрометре иУ 3600 фирмы «БЫтаску» (Япония) методом интегрирующей сферы для диффузного отражения, ггри длине волны 1500 нм составил в среднем 33 %, что хорошо согласуется с литературными данными для полупроводникового кремния.

Рис. 7. Экспериментальные образцы мультикремния (после второй перекристаллизации)

В табл. 5 приведен химический состав полученных после второй перекристаллизации образцов мультикремния. Также проводилось их металлографическое исследование, которое показало наличие в экспериментальных образцах незначительного количества примесных включений.

Таблица 5. Химический состав мультикремния после 2-ой _ перекристаллизации (данные АЭА)_

Определяемый элемент Концентрация, ррт Определяемый элемент Концентрация,ррт

А! 39 V 2

Са 67 Сг 4,9

мя 34 2г 2

Fe 67 В 10

77 3 Р 3,4

Си 1,9 2п 18

Мп 5,5 РЬ 2

Ж 4 А'а 7,7

Со 0,3

Таким образом, проведенные укрупненно-лабораторые испытания по очистке рафинированного технического кремния методом зонной плавки показали высокую степень рафинирования, %, соответственно, для: А1 - 93,85; Са -68,84; - 29,17; Л - 96,81; Си - 81; 77 - 98,0; Мп - 92,25; Ш - 88,24; Со -96,25; V- 97,37; Сг - 30; 2г - 97,47; В - 33,33; Р - 88,67; гп-\0;РЬ- 81,82; Ыа - 80,75. Установлено, что для повышения эффективности очистки целесообразно проводить двукратные перекристаллизации материала.

Заключение содержит краткие результаты проведенных исследований.

Выводы

1. Среди альтернативных технологий получения кремния «солнечного» качества наиболее эффективным и экономически выгодным является процесс получения мультикремния методом направленной кристаллизации из высококачественного кремния, полученного в руднотермических печах.

2. При рассмотрении технологии прямого карботермического получения кремния для ФЭП необходимо уделять особое внимание вопросам поступления в процесс плавки примесных элементов (с шихтовыми материалами) и снижения их перехода в выплавляемый продукт.

3. Впервые разработана методика термодинамического анализа оценки распределения примесных элементов по продуктам плавки в процессе карботермического восстановления кремнезема в РШ на основе сформированной базовой физико-химической модели получения кремния.

4. Базовая модель, апробированная на производстве (ЗАО «Кремний»), показала высокую информативность полученных результатов по повышению качества выплавляемого в РТП кремния. Модель адекватно описывает процесс карботермического восстановления кремния из кремнезема в электродуговых

печах. Внедрение базовой многорезервуарной термодинамической модели в промышленных условиях для РТП мощностью 16,5 и 25 МВ-А позволило влиять на извлечение кремния и его химический состав при различных начальных задаваемых параметрах процесса.

5. С помощью разработанной методики термодинамического анализа оценено распределение примесей в процессе плавки при введении в модель (а, следовательно, и в РТП) значительного количества элементов (18 независимых компонентов), а также показано влияние изменения температуры (как основного технологического параметра) на формирование основных примесных включений в техническом кремнии.

6. Показано, что эффективность рафинирования металлургического кремния методами направленной кристаллизации и зонной плавки зависит от химической чистоты исходного материала, числа перекристаллизации и условий проведения процесса.

7. Получены экспериментальные образцы мультикремния из высокочистого Б1/Х1ф методом направленной кристаллизации (по Стокбаргеру-Бриджмену), отличающиеся удовлетворительными структурными, электрофизическими параметрами и химическим составом. Изучен и определен элементный и фазовый химический состав полученных образцов при использовании различных аттестованных методов анализа: металлографического, рентгенофазового, атомно-эмиссионного, рентгеноспектрального микроанализа. Эффективность рафинирования составила для, %, соответственно: А1 - 90,33; Ре - 98,53; Са - 76,37;

- 5,45; Си - 83,88; Мп - 92,1; М - 90,06; Сг - 83,77; В - 2,78; Р - 2,76; П- 99,85.

8. Проведены укрупненно-лабораторные испытания в ООО «КМ «Кварцевая палитра» по рафинированию кремния металлургического сорта зонной плавкой, что подтверждено актом испытаний. Результаты испытаний показали высокую эффективность удаления примесей при двойной перекристаллизации; степень очистки составила для, %, соответственно: А1 - 93,85; Са — 68,84; Mg -29,17; ^е - 96,81; Са - 81; 77 - 98,0; Мп - 92,25; М - 88,24; Со - 96,25; V-97,37-, Сг- 30; - 97,47; В - 33,33; Р - 88,67; Хп-ЩРЬ- 81,82; № - 80,75.

Основные положения диссертации изложены в следующих публикациях:

1. Немчинова Н.В. Пути снижения поступления металлов-примесей в кремний высокой чистоты, получаемый карботермическим способом / Н.В. Немчинова, В.Э. Клёц, С.С. Вельский, В.А. Бычинский // КРЕМНИЙ-2006: материалы III Рос. совещания по росту кристаллов и пленок и исследование их физических свойств и структурного совершенства (4-6 июля 2006 г., г. Красноярск). - Красноярск: Изд-во инст. физики им. Л.В. Киренского СО РАН, 2006. - С. 130.

2. Непомнящих А.И. Рост мультикристаллического кремния по методу Стокбар-гера-Бриджмеиа / А.И. Непомнящих, Б.А. Красин, А.Е. Кох, Н.В. Немчинова, С.С. Вельский // КРЕМНИЙ-2006: материалы III Рос. совещания по росту кристаллов и пленок и исследование их физических свойств и структурного совершенства (04-06 июля 2006 г., г. Красноярск). - Красноярск: Изд-во инст. физики им. Л.В. Киренского СО РАН, 2006. - С. 38.

3. Вельский С.С. Изучение влияния параметров кристаллизации на свойства и структуру мультикремния / С.С. Вельский, Н.В. Немчинова, Б.Л. Красин // Современные наукоемкие технологии. - М.: Академия естествознания, 2006. - №8. - С. 2125.

4. Чудненко КВ. Минимизация свободной энергии при расчете гетерогенных равновесий / К.В. Чудненко, В.А. Бычинский, Н.В. Немчинова, A.A. Тупицын, С.С. Вельский // Прогрессивные методы обогащения и технологии глубокой переработки руд цветных, редких и платиновых металлов (Плаксинские чтения): материалы меж-дунар. совещания (2-8 октября 2006 г., г. Красноярск). - Красноярск: ГОУ ВПО «ГУЦМиЗ», ИХХТ СО РАН, 2006. - С. 255-256.

5. Немчинова Н.В. Изучение распределения элементов-примесей при руднотер-мической плавке кремния высокой чистоты / Н.В. Немчинова, В.Э. Клёц, С.Г. Донцова, С.С. Вельский, А.Е. Кобелев, В.А. Бычинский // Перспективы развития промышленного производства кремния высокой чистоты: материалы Всерос. научн. конф. с междунар. участием (5-6 октября 2006 г., г. Шелехов). - Шелехов: ЗАО «Кремний», 2006. - С. 23-24.

6. Красин В.А. Рост мультикристаллического кремния по методу Стокбаргера-Бриджмена в неосесимметричном тепловом поле / Б.А. Красин, А.И. Непомнящих, А.Е. Кох, Н.В. Немчинова, С.С. Вельский, В.П. Еремин // Перспективы развития промышленного производства кремния высокой чистоты: материалы Всерос. научн. конф. с междунар. участием (5-6 октября 2006 г., г. Шелехов). - Шелехов: ЗАО «Кремний», 2006. - С. 62-63.

7. Немчинова Н.В. Исследование распределения примесей при рудиотермиче-ской плавке кремния методом физико-химического моделирования / Н.В. Немчинова, С.С. Вельский, В.А. Бычинский // Перспективы развития технологии, экологии и автоматизации химических, пищевых и металлургических производств: материалы науч.-практ. конф. (26-27 апреля 2007 г., г. Иркутск). - Иркутск: Изд-во ИрГТУ, 2007. -С. 151-153.

8. Вельский С.С. Моделирование процесса руднотермической плавки / С.С. Вельский, В.А. Бычинский, Н.В. Немчинова, В.Э. Клёц // Кремний-2007: материалы IV Рос. конф. с междунар. участием по физике, материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния и приборных структур на их основе (3-6 июля 2007 г., г. Москва). - М.: МИСиС, 2007. -С. 23-24.

9. Немчинова Н.В. Физико-химическое моделирование карботермического получения кремния высокой чистоты [Электронный ресурс] / Н.В. Немчинова, В.Э. Клёц, В.А. Бычинский, С.С. Вельский // Современные проблемы науки и образования. - М.: Академия естествознания, 2007. - Режим доступа: www.гае.ш, http: // www.science-education.ru / download / 2007/03/2007_03_08.pdf (25.05.09), идентификационный номер 0420700037\0 056.

10. Изучение физико-химических основ рафинирования металлургического кремния для последующего его использования в солнечной энергетике: заключительный отчет о НИР // ИрГТУ, рук.: В.Э. Клёц; исполн.: Н.В. Немчинова, С.С. Бельскнн [и др.]. - Иркутск, 2007. - 267 с. - №РНП 2.1.2.2382. - Инв.№ 0220.0800897.

11. Немчинова Н.В. Динамика поступления и распределения примесных элементов в кремнии высокой чистоты, получаемом карботермическим способом / Н.В. Немчинова, С.С. Вельский, В.А. Бычинский // Изв. вузов. Материалы

электронной техники. - М., 2007. - №4. - С. 11-15 (принята в редакцию в августе 2006 г.)

12. Вельский С.С. Формирование термодинамической модели карботермическо-го получения кремния / С.С. Вельский, Н.В. Немчинова, В.А. Бычинский, A.A. Сим-бирцев // Перспективы развития технологии, экологии и автоматизации химических, пищевых и металлургических производств: материалы науч.-практич. конф. (29-30 апреля 2008 г., г. Иркутск). - Иркутск: Изд-во ИрГТУ, 2008. - С. 43-45.

13. Вельский С.С. Исследование процессов карботермического восстановления кремнезема методами физико-химического моделирования (с применением программного комплекса «Селектор») / С.С. Вельский, Н.В. Немчинова, В.А. Бычинский // Технология и оборудование руднотермических производств, «ЭЛЕКТРОТЕР-МИЯ-2008»: материалы Всерос. науч.-техн. конф. с междунар. участием (3-5 июня 2008 г., г. С.-Петербург). - СПб: СПбГТИ (техн. унив-т), 2008. - С. 156-175.

14. Немчинова Н.В. Исследование распределения примесных элементов при получении кремния в электродуговых печах / Н.В. Немчинова, В.Э. Клёц, С.С. Вельский // Перспективы развития промышленного производства кремния, «Кремний -2008»: материалы Всерос. науч.-практ. конф. с междунар. участием (21-22 августа 2008 г., г. Шелехов). - Шелехов: ЗАО «Кремний», 2008. - С. 21-23.

15. Немчинова Н.В. Базовая физико-химическая модель карботермической плавки кремния / Н.В. Немчинова, В.А. Бычинский, С.С. Вельский, В.Э. Клёц // Изв. вузов. Цветная металлургия. - М., 2008, - №4. - С. 56-63.

16. Вельский С.С. Оптимизация руднотермической плавки кремния в электродуговых печах / С.С. Вельский, Н.В. Немчинова // Материалы VI Всерос. науч.-техн. конф. молодых ученых и специалистов алюминиевой и электродной промышленности (30-31 октября 2008 г., г. Иркутск). - Иркутск: ОАО «СибВАМИ», 2008. - С. 120122.

17. Nemchinova N. V. Basic Physicochemical Model of Carbothermic Smelting of Silicon / N.V. Nemchinova, V.A. Bychinskii, S.S. Belskii, V.E. Klets // Russian Journal of Non-Ferrous Metals. - 2008, Vol.49, No. 4. - P. 269-276.

18. Вельский С.С. Рафинирование металлургического кремния методами направленной кристаллизации / С.С. Вельский, Н.В. Немчинова, В.Э. Клёц // Перспективы развития технологии, экологии и автоматизации химических, пищевых и металлургических производств: материалы докладов науч.-практ. конф. (23-24 апреля 2009 г., г. Иркутск). - Иркутск: Изд-во ИрГТУ, 2009. - С. 38-41.

Подписано в печать 19.10.2009. Формат 60x90/ 16. Бумага офсетная. Печать офсетная. Усл. печ. л. 1,0. Тираж 110 экз. Зак. 219. Поз. плана 4н.

ИД № 06506 от 26.12.2001 Иркутский государственный технический университет 664074, г. Иркутск, ул. Лермонтова, 83

I

/

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. КРЕМНИЙ И ЕГО РОЛЬ В ПЕРСПЕКТИВЕ РАЗВИТИЯ СОЛНЕЧНОЙ ЭНЕРГЕТИКИ.

ГЛАВА 2. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЯ В РУДНОТЕРМИЧЕСКИХ

ПЕЧАХ.

2Л. Применение методов термодинамического моделирования при исследовании металлургических процессов.

2.2. Программный комплекс «Селектор» как эффективный инструмент для исследования металлургических процессов.

2.2.1. Структура и характеристика программного комплекса «Селектор».

2.2.2. Применение программного комплекса «Селектор» при изучении процесса получения кремния в руднотермической печи.

2.3. Формирование базовой физико-химической модели процесса выплавки технического кремния.

2.3.1. Примеси и источники их поступления в процесс при производстве кремния.

2.3.2. Формирование базовой четырехрезервуарной термодинамической модели карботермической плавки.

2.4. Семирезервуарная термодинамическая модель процесса выплавки кремния.

ГЛАВА 3. ВЫРАЩИВАНИЕ МЕТОДАМИ НАПРАВЛЕННОЙ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ МУЛЬТИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ИЗ РАФИНИРОВАННОГО ПРОДУКТА РУДНОТЕРМИЧЕСКОЙ

ПЛАВКИ.

3.1. Направленная кристаллизация как эффективный метод очистки 87 кремния.

3.2. Лабораторные испытания по получению мультикристаллов кремния методом Стокбаргера-Бриджмена.

3.2.1. Рафинированный технический кремний как исходный материал для выращивания мультикристаллов.

3.2.2. Установка и методика выращивания мультикристалличе-ского кремния.

3.2.3. Характеристика и примесный состав полученных образцов мультикремния.

ГЛАВА 4. УКРУПНЕННО-ЛАБОРАТОРНЫЕ ИСПЫТАНИЯ ПО ВЫРАЩИВАНИЮ МУЛЬТИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ИЗ

МЕТАЛЛУРГИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛА.

4.1. Получение мультикристаллического кремния зонной плавкой по методу Багдасарова).

4.2. Характеристика полученных образцов мультикремния.

Актуальность работы.

По результатам многочисленных исследований органическое топливо уже к началу 2020 г только частично сможет удовлетворять запросы мировой энергетики. Остальная часть энергопотребности должна быть удовлетворена за счет возобновляемых источников энергии (ВИЭ), к которым относятся: солнечная, ветровая, энергия морских волн, течений, приливов и океана, гидравлическая эиергия, преобразуемая в используемый вид энергии малыми и микроГЭС, и энергия биомассы [1].

Среди возобновляемых источников энергии солнечная является наиболее перспективной (с точки зрения чистоты) за счет использования практически

18 неиссякаемого источника энергии. За год на Землю приходит 10 кВт-ч солнечной энергии, что эквивалентно энергии, получаемой от сжигания 2-1012 тонн условного топлива (ТУТ)*. Последняя цифра сопоставима с мировыми топлив

12 ными ресурсами (6-10 ТУТ) и в сотни раз превышает современные потребности планеты [2].

Кремний занимает ведущее место среди различных полупроводниковых материалов, используемых для производства фотоэлектрических преобразователей (ФЭП), которые в свою очередь с энергетической точки зрения являются наиболее эффективными устройствами для превращения солнечной энергии в электрическую [3].

В последние годы наблюдается интенсивный рост (более чем 35 % в год) объема производства солнечных батарей (СБ). При этом 85 % СБ изготавливаются на основе кремния солнечного сорта SoG—Si - «terrestrial solar grade» или TSG-SoG, что означает кремний, пригодный для изготовления солнечных элементов. И хотя на мировом рынке производство кремния растет (в последнее время ~ на 30 % ежегодно), данных мощностей становится недостаточно для обеспечения потребностей производителей фотоэлектрических и полупроводниковых приборов [4]. 1 тонна условного топлива (ТУТ) = 7-103 кВт -ч.

Для производства солнечных элементов используется некондиционный полупроводниковый кремний (скрап), моно- и мультикремний, полученные из поликремния для полупроводниковой промышленности, и поликремний, полученный по упрощенной «81етепз»-технологии. Низкие объемы производства и высокая стоимость получаемого таким способом кремния являются сдерживающими факторами для еще более интенсивного роста объемов производства солнечных модулей [5].

Среди альтернативных технологий получения «солнечного» кремния особое место занимает технология прямого восстановления высококачественного кремнеземсодержащего сырья углеродистым восстановителем (УВ) в электродуговых печах с получением кремния определенной степени чистоты, из которого после проведения рафинирования методом направленной кристаллизации возможно получение крупноблочного слитка мультикремния для изготовления ФЭП. При таком способе получения альтернативных источников энергии исключаются из процесса экологически вредные (хлорсодержащие) и взрывоопасные (водород) вещества, используемые при трихлорсилановой технологии производства кремния для ФЭП, и снижается себестоимость единицы выпускаемой мощности.

Таким образом, при рассмотрении альтернативных технологий получения Si для ФЭП необходимо уделять больше внимания вопросам повышения качества исходного рафинированного металлургического кремния (Sipaф). Поэтому вопросы оптимизации карботермического получения технического (металлургического) кремния (SimexH) с целью повышения его качества являются весьма актуальными.

Работа выполнена в рамках аналитической ведомственной целевой программы Министерства образования РФ «Развитие научного потенциала высшей школы (2006-2008, 2009-2010 гг.)», проекты № РНП 2.1.2.2382, № 2.1.2/842.

Цель и задачи исследований.

Совершенствование процессов рафинирования в технологии карботермического способа получения кремния высокой чистоты.

В работе решались следующие задачи:

- обоснование требований к показателям качества кремния высокой чистоты, получаемого карботермическим способом при электроплавке;

- выявление основных источников загрязнения примесями кремния, получаемого прямым восстановлением кварцита в руднотермической печи;

- разработка методики оценки поступления примесей в выплавляемый кремний и их распределения по продуктам плавки;

- исследование влияния изменения температуры как основного технологического параметра процесса плавки на формирование примесных включений;

- определение оптимальных параметров и эффективности рафинирования металлургического кремния методами Стокбаргера-Бриджмена и Багдасарова;

- исследование влияния химического состава образцов мультикремния, полученных из металлургического сырья методами направленной кристаллизации, на их структурные и электрофизические характеристики.

Материалы и методы исследования.

Для термодинамического моделирования автором был использован программный комплекс «Селектор». Объектом аналитических исследований явились образцы технического, рафинированного кремния, отобранные в электротермическом отделении ЗАО «Кремний» (г. Шелехов Иркутской обл.), и экспериментальные образцы мультикристаллического кремния, полученные из металлургического материала методами направленной кристаллизации. Достоверность и обоснованность проведенных исследований подтверждена сходимостью полученных данных при использовании различных аттестованных методов анализа: металлографического, рентгенофазового, рентгенофлуорес-центного, атомно-эмиссионного, рентгеноспектрального микроанализа.

Научная новизна.

На основе разработанной методики термодинамического анализа выявлена закономерность поступления и распределения примесей при выплавке кремния в руднотермических печах.

Установлена закономерность формирования в техническом кремнии примесных включений из значительного числа элементов, вводимых в процесс плавки, при изменении температуры.

Установлена закономерность формирования в техническом кремнии примесных включений из значительного числа элементов, вводимых в процесс плавки, при изменении температуры.

Определено влияние элементного и фазового состава примесных включений на основные характеристики мультикристаллического кремния, выращенного из металлургического сырья методами направленной кристаллизации.

Практическая значимость.

Выявлена возможность получения кремния высокой чистоты прямым карботермическим восстановлением высокочистых кварцитов региона Восточной Сибири (на действующем промышленном предприятии) с проведением дальнейшего рафинирования продукта плавки методами направленной кристаллизации как альтернативный способ, позволяющий увеличить объемы базового материала — кремния «солнечного» качества — для ФЭП.

В промышленных условиях для РТП мощностью 16,5 и 25 МВА внедрена базовая многорезервуарная термодинамическая модель карботермического процесса, что позволило влиять на извлечение кремния и его сортность при различных начальных задаваемых технологических параметрах процесса.

Экспериментально подтверждена эффективность применения очистки рафинированного кремния с ЗАО «Кремний» методами направленной кристаллизации путем проведения двух-, трехкратных перекристаллизаций и выбора оптимальных условий роста кристаллов.

Реализация результатов работы.

На ЗАО «Кремний» проведено внедрение разработанной базовой много-резервуарной термодинамической модели с введением в процесс значительного числа примесных элементов. Также результаты диссертационной работы внедрены в учебный процесс при подготовке инженеров по специальности «Металлургия цветных металлов». Проведены укрупненно-лабораторные испытания по росту кристаллов мультикристаллического кремния из металлургического сырья в ОАО «КМ «Кварцевая палитра» (г. Александров Владимирской обл.).

Апробация работы.

Основные результаты и научные положения работы представлялись на ежегодных научно-практических конференциях «Перспективы развития технологии, экологии и автоматизации химических, пищевых и металлургических производств» (г. Иркутск, 26-27 апреля 2007 г; 29-30 апреля 2008 г; 23-24 апреля 2009 г); на Четвертой Российской конференции с международным участием по физике, материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния и приборных структур на их основе «Кремний 2007» (г. Москва, 3-6 июля 2007 г), на Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Технология и оборудование руднотермических производств «Электротермия—2008» (г. Санкт-Петербург, 3-5 июня 2008 г); на Всероссийских научно-практических конференциях с международным участием «Перспективы развития промышленного производства кремния» (г. Шелехов, 5-6 октября 2006 г; 21-22 августа 2008 г); на VI Всероссийской научно-технической конференции молодых ученых и специалистов алюминиевой и электродной промышленности (г. Иркутск, 30-31 октября 2008 г.).

По результатам диссертационной работы имеется 18 публикаций, в т.ч. две статьи в журналах, рекомендованных ВАК.

выводы

1. Проведены укрупненно-лабораторные испытания с целью исследования распределения примесей при рафинировании металлургического материала методом направленной кристаллизации, что имеет практическую ценность.

2. Получены экспериментальные образцы мультикристаллического кремния из высокочистого (ЗАО «Кремний») по методу Багдасарова при осуществлении процесса зонной плавки, которые характеризовались достаточной степенью чистоты и высокой отражательной способностью. Коэффициент отражения образцов составил в среднем 33 %, что согласуется с литературными данными.

3. Установлено, что большинство металлических примесей удаляется из кремния при проведении процесса зонной плавки, отгоняясь в заднюю часть слитка. Эффективность очистки при этом составила в среднем, %, соответственно, для: Си - 81; 77 - 98,0; Са - 68,84; Мп - 92,25; № - 88,24; А1 - 93,85;

- 29,17; Ре - 96,81; Со - 96,25; 2г - 97,47; Сг - 30; В - 33,33; Р - 88,67; V-97,37; 1п- 10; 80,75; РЬ-81,82.

4. Установлено, что для повышения эффективности очистки ¿7^ целесообразно осуществлять кристаллизацию при скорости роста —10 мм/ч и проводить двукратные перекристаллизации материала.

5. Установлено, что степень чистоты мультикристаллического кремния, полученного из металлургического сырья, в значительной мере определяется химическим составом исходного материала.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

На основании анализа современного состояния производства кремния высокой чистоты как базового материала для фотоэлектрических преобразователей тока показана необходимость использования данных альтернативных источников энергии.

Количество производимого в настоящее время воС-Л' не удовлетворяет растущие потребности производителей ФЭП. В связи с этим возникает задача поиска новых технологий, позволяющих получать достаточное количество дешевого кремния, предназначенного для солнечной энергетики.

Среди альтернативных технологий получения кремния «солнечного» качества наиболее эффективным и экономически выгодным выглядит процесс получения мультикремния методом направленной кристаллизации из высококачественного кремния, полученного в руднотермических печах.

При рассмотрении технологии прямого карботермического получения , кремния для ФЭП необходимо уделять особое внимание вопросам поступления в процесс плавки примесных элементов (с шихтовыми материалами) и их переходу в выплавляемый конечный продукт.

Впервые разработана методика термодинамического анализа оценки распределения примесных элементов по продуктам плавки в процессе карботермического восстановления кремнезема в РТП на основе сформированной базовой физико-химической модели получения кремния.

Базовая термодинамическая модель, апробированная на производстве (ЗАО «Кремний»), показала высокую информативность полученных результатов по повышению качества выплавляемого в РТП кремния. Модель адекватно описывает процесс карботермического восстановления кремния из кремнезема в электродуговых печах. Внедрение базовой многорезервуарной термодинамической модели в промышленных условиях для РТП мощностью 16,5 и 25 МВ-А позволило влиять на извлечение кремния и его сортность при различных начальных задаваемых параметрах процесса.

С помощью разработанной методики термодинамического анализа оценено распределение примесей в процессе плавки при введении в модель (а, следовательно, и в РТП) значительного количества элементов (18 независимых компонентов), а также показано влияние изменения температуры (как основного технологического параметра) на формирование основных примесных включений в техническом кремнии.

Показано, что эффективность рафинирования металлургического кремния методами направленной кристаллизации зависит от химической чистоты исходного материала, числа перекристаллизаций и условий проведения процесса.

Получены экспериментальные образцы мультикремния из высокочистого 81раф методом направленной кристаллизации (по Стокбаргеру-Бриджмену), отличающиеся удовлетворительными структурными, электрофизическими параметрами и химическим составом. Изучен и определен элементный и фазовый химический состав полученных образцов при использовании различных аттестованных методов анализа: металлографического, рентгенофазового, атомно-эмиссионного, рентгеноспектрального микроанализа. Эффективность рафинирования составила для, %, соответственно: А1 - 90,33; Ре - 98,53; Са - 76,37; Мд - 94,55; Си - 83,88; Мп - 92,1; М - 90,06; Сг - 83,77; В - 2,78; Р - 2,76; 77 - 99,85.

Проведены укрупненно-лабораторные испытания в ООО «КМ «Кварцевая палитра» по рафинированию кремния металлургического сорта зонной плавкой, что подтверждено актом испытаний. Результаты испытаний показали высокую эффективность удаления примесей при двойной перекристаллизации; степень очистки составила для, %, соответственно: А1 - 93,85; Са - 68,84; -29,17; Ее - 96,81; Си - 81; 7У - 98,0; Мп - 92,25; Ш - 88,24; Со - 96,25; V - 97,37; Сг - 30; гг - 97,47; В - 33,33; Р - 88,67; 1п-ЩРЬ- 81,82; Ыа - 80,75.

Таким образом, при изучении технологии прямого карботермического получения кремния высокой чистоты необходимо особое внимание уделять вопросам подбора сырья для плавки. Эффективность рафинирования металлургического кремния методами направленной кристаллизации зависит от химической чистоты исходного материала, числа перекристаллизаций и условий проведения процесса.

1. Ахмедов Р.Б. Нетрадиционные и возобновляемые источники энергии / Р.Б. Ахмедов. -М.: Знание, 1988.-218 с.

2. Фалькевич Э.С. Технология полупроводникового кремния / Э.С. Фальке-вич. М.: Металлургия, 1992. - 408 с.6. h tip ://www. energy center.ru/article/3 50/1/

3. Бюллетень иностранной коммерческой информации, № 4-5 (9250-9251), 17.01.2008.8. h tip: //www .megatakt.ru/fex/2006sl/310/default.asp9. /i/,//7://www.radioradar.net/handbook/documentation/sunbat.html

4. Hesse K. Challenges of Solar Silicon Production / K. Hesse, E. Schindlbeck, H.-C. Freiheit // Silicon for the Chemical And Solar Industry IX: proc. of the Intern. Scientific Conf. (23-26 June 2008, Oslo (Norway)). Trondheim: NTNU, 2008.-P. 61-67.

5. Пат. № 2237616, Российская Федерация, 7 C01B33/025, C30B29/06. Способ получения кремния солнечного качества / С.М. Карабанов, Е.Б. Тру-нин, В.В. Приходько. № 2002124785/15; заявл. 17.09.2002; опубл. 10.10.2004.

6. Пат. № 2026814, Российская Федерация, 6 C01B33/037. Способ получения высокочистого кремния / JI.B. Черняховский, A.A. Бахтин, Л.П. Кищенко,

7. A.B. Кауров; заявитель и патентообладатель Иркутский филиал Всесоюзного научно-исследовательского и проектного института алюминиевой, магниевой и электродной промышленности. № 5028072/26; заявл. 08.07.1991; опубл. 20.01.1995.

8. Пат. № 2131843, Российская Федерация, 6 С01ВЗЗ/02, С22В9/04. Способ получения кремния высокой чистоты / А.И. Непомнящих, Б.А. Красин,

9. B.C. Романов, В.П. Еремин, С.С. Коляго, И.А. Елисеев; заявитель и патентообладатель Институт геохимии им. Виноградова А.П. СО РАН; Администрация Иркутской области. № 98106898/02; заявл. 30.03.1998; опубл. 20.06.1999.

10. Пат. № 2250275, Российская Федерация, 7 С30В11/04, C30B11/06, СЗ0В15/04, C30B29/06, С30В28/06, С30В28/10. Способ получения легированных монокристаллов или поликристаллов кремния / А .Я. Губенко. — № 2003119286/15; заявл. 30.06.2003; опубл. 20.04.2005.

11. Пат. № 2098354, Российская Федерация, 6 С01ВЗЗ/00, C01B33/037, С22В9/04. Способ удаления примесей из расплава кремния/ Андерс Сшей (N0); заявитель и патентообладатель «Элкем А/С» (NO). № 95114671/02; заявл. 31.08.1995; опубл. 10.12.1997.

12. Amick J.A. Improved High-Purity Arc-Fumace Silicon for Solar Cell / J.A. Amick, K. Larsen and oth. // J.Electrochem Soc, 1985. Vol. 132, N 2. - P. 339-345.

13. Dosaj V.P., Hunt L.P. // J. of Metals. 1978. - V.30. - № 6. - P. 8-13.

14. Пат. № 4247528, опубл. 27.01.81 (США).

15. Пат. № 4460556, опубл. 17.07.84 (США).

16. Chi T.L., Van oler Leeden G.A. // J. Electroch. Soc. 1978. - V.125, № 4.- P. 661-665.

17. Breheman W.C., Farrier E.G. // Conf. Rec. 13-th IEEE Photovolt.Spec.Conf. -Waschington, D.S., N.Y. 1978. - P. 339-343.

18. Пат. № 4529576, опубл. 16.07.25 (США).

19. Заявка № 3439550 от 29.04.84 (ФРГ).

20. Заявка № OS 3215981 от 29.04.82 (ФРГ).

21. Carl L. Yaws II J. Solar Energy. 1979. - № 22. - P. 547-553.

22. Заявка № 2451889 от 29.04.82 (ФРГ).

23. Разработка технологии карботермического получения «солнечного кремния»: итоговый отчет / ОАО «Солнечный кремний Сибири», рук.: JI.B. Черняховский; исполн.: Н.Ф. Радченко и др. — Иркутск, 1997. -43 с.

24. Yoshiyagawa М. Production of Sol-si by Carbothermic Reduction of High-Purity Silica / Yoshiyagawa M., Arahahi F. and oth. // Japan, 1988. P. 12-17.

25. Кварацхели Ю.К. О развитии работ по солнечной энергетике / Ю.К. Ква-рацхели, М.Ф. Свидерский // Конверсия в машиностроении. 1999. -№ 3-4.- С. 44-46.

26. Пат. № 4097584, опубл. 27.06.78 (США).

27. Заявка № 2585890 от 17.10.85 (Франция).

28. Заявка № 2924584 от 19.06.79 (ФРГ).

29. Заявка № 2556333 от 30.05.84 (Франция).

30. Fritzche Н., Tsai С.С. // Solid State Technology. 1978. - V.21, № 1. - Р.55-60.

31. Гринберг А.И. Математическая модель кремнеплавильной рудно-термической электропечи / А.И. Гринберг, A.B. Корнилов, В.Е. Щапов, Б.И. Зельберг // Цветные металлы. 1999. - № 3. - С. 72-77.

32. Шадис B.C. Физико-химическое моделирование металлургических процессов (производство кремния): пособие / B.C. Шадис, В.А. Бычинский. -Иркутск: Изд-во ИрГТУ, 1999. 65 с.

33. Карпов И.К. Физико-химическое моделирование на ЭВМ в геохимии / И.К. Карпов. Новосибирск: Наука, 1981. -247 с.

34. Чудненко К.В. Теория и программное обеспечение метода минимизации термодинамических потенциалов для решения геохимических задач / К.В. Чудненко // Автореф. дисс. на соиск. уч. степ, доктора геол.-минерал, наук.- Иркутск: ИрГТУ, 2007. 54 с.

35. Стал Д. Химическая термодинамика органических соединений / Д. Стал, Э. Вестрам, Г. Зинке. М.: Изд-во «Мир», 1971. - 944 с.

36. Казьмин H.A. Алгоритмы и программы / JT.A. Казьмин, O.A. Халиулина, И.К. Карпов. М.: ВИНИТИ-центр, 1975. - № 3. - С. 18.

37. Шваров Ю.В. Расчет равновесного состава в многокомпонентной гетерогенной системе /Ю.В. Шваров // Докл. АН СССР, 1976. Т. 229. № 5. - С. 1224.

38. Синярев Г.Б. Применение ЭВМ для термодинамических расчетов металлургических процессов / Г.Б. Синяев, Н.А. Ватолин, Б.Г. Трусов, Г.К. Моисеев. М.: Наука, 1982. - 96 с.

39. JANAF Thermochemical Tables. Third edition. Part 1, 2 / M.W. Chese, C.A. Davies, J.R. Downey, D.J. Frurip. New York: American Institute of Physics, 1985,- 1856 p.

40. Robie R.A. Thermodynamic properties of minerals and related substances at 298,15 К and 1 bar Pressure and higher temperatures / R.A. Robie, B.S. Hemingway // U.S. geological survey bulletin 2131. — Washington, 1995. — 465 P

41. Yokokawa H. Tables of Thermodynamic Properties of Inorganic Compounds / H. Yokokawa // Journal of the national chemical laboratory for industry. -Japan.-V. 83, 1988.- 119 p.

42. Седых В.И. Теоретические аспекты электроплавки серебросодержащих концентратов / В.И. Седых, А.А. Тупицын, С.Б. Полонский. Иркутск: Изд-во ИрГТУ, 2001. - 95 с.

43. Мипдин В.Ю. Термодинамический анализ взаимодействия в системе двуокись кремния углерод / В.Ю. Миндин, С.М. Мазмишвили // ЖПХ- 1983. - t.LVI, № 5. - С. 1204-1206.

44. Каткое О.М. Выплавка технического кремния: учебное пособие / О.М. Катков. Изд-е 2. - Иркутск: Изд-во ИрГТУ, 1999. - 243 с.

45. Апончук A.B. Исследование природы карботермического восстановления оксидов алюминия и кремния / A.B. Апончук // Автореферат дисс. на со-иск. уч. степ. канд. хим. наук. — Иркутск: изд-во ИГУ им. A.A. Жданова, 1986.- 17 с.

46. Катков О.М. Влияние температуры нагрева шихты на кинетику карботермического восстановления кремнезема / О.М. Катков, C.B. Архипов // Изв. вузов. Цветная металлургия. 1991. - № 3. - С. 118-120.

47. Черных А.Е. Теоретические и прикладные аспекты подготовки шихты для выплавки кремния / А.Е. Черных // Автореферат дисс. на соискание уч. степ, доктора техн. наук. — Иркутск: ИрГТУ, 1994. 40 с.

48. Шадис B.C. Разработка и применение высокопористых композиционных видов сырья для выплавки кремния: дисс. канд. техн. наук / B.C. Шадис. -Иркутск: ИрГТУ, 1997. 127 с.

49. Немчинова Н.В. Силикаты натрия как связующее для брикетов в производстве кремния / Н.В. Немчинова, В.Э. Клёц, JI.B Черняховский // Изв. вузов. Цветная металлургия. 1999. - № 2. - С. 14-18.

50. Евсеев Н.В. Утилизация пылевых отходов при производстве кремния / Н.В. Евсеев, Н.Ф. Радченко, П.С. Меньшиков, А.И. Бегунов // Цветные металлы. 1988.-№ 11. - С. 64-65.

51. Евсеев Н.В. Разработка технологии выплавки кремния с использованием пылевых отходов: дисс. канд. техн. наук / Н.В. Евсеев. — Иркутск: Ир-ГТУ, 1991.-148 с.

52. Апончук A.B. Диаграмма состояния системы Si — О С / A.B. Апончук, О.М. Катков, И.К. Карпов // Изв. вузов. Цветная металлургия. — 1986. — № 5.-С. 57-62.

53. Кожевников Г.Н. Низшие окислы кремния и алюминия в электрометаллургии /Г.Н. Кожевников, А.Г. Водопьянов. -М.: Наука, 1977. 145 с.

54. Тупицын A.A. Совершенствование технологии получения алюминиево-кремниевых лигатур: дисс. канд. техн. наук / A.A. Тупицын. Иркутск: ИрГТУ, 1995.-172 с.

55. Толстогузов Н.В. Теоретические основы восстановления кремния / Н.В. Толстогузов. Новокузнецк: Изд-во КузПИ, 1990. — 100 с.

56. Катков О.М. Поведение металлов-примесей при выплавке кремния из кварцита в дуговой электропечи / О.М. Катков // Изв. вузов. Цветная металлургия. 1993. - №3-4. - С. 37-40.

57. Мизин В.Г. Углеродистые восстановители для ферросплавов / В.Г. Мизин, Г.В. Серов. М.: Металлургия, 1976. - 272 с.

58. Немчинова Н.В. Базовая физико-химическая модель карботермической плавки кремния / Н.В. Немчинова, В.А. Бычинский, С.С. Бельский, В.Э. Клёц // Изв. вузов. Цветная металлургия. — 2008. — №4. — С. 56-63.

59. Попов С.И. Металлургия кремния в трехфазных рудно-термических печах / С.И. Попов. Иркутск: ЗАО «Кремний», 2004. - 237 с.

60. Катков О.М. Технология выплавки технического кремния / Под общ. ред. О.М. Каткова. Иркутск: ЗАО «Кремний», 1999. - 244 с.

61. Зельберг Б.И. Теория и практика восстановительной электроплавки кремния / Б.И. Зельберг, А.Е. Черных, В.Ф. Вексельберг, Д.З. Баймашев, А.И. Гринберг, A.B. Скорняков, А.Р. Школьников. СПб.: Изд-во МАНЭБ, 2001.-450 с.

62. Школьников А.Р. Производство кремния / А.Р. Школьников и др.. -СПб.: Изд-во МАНЭБ, 2001. 269 с.

63. Гурвич С.М. Справочник химика-энергетика: в 3-х томах / Под общ. ред. С.М. Гурвича. 2-е, перераб. и доп. изд. - М.: Энергия, 1972. - Т. 1-3.

64. Венгин С.И. Технический кремний / С.И. Венгин, A.C. Чистяков. М.: Металлургия, 1972. — 206 с.

65. Куликов И.С. Термическая диссоциация соединений / И.С. Куликов. М.: Металлургия, 1969. — 576 с.

66. Немчинова Н.В. Исследования фазового состава примесей рафинированного металлургического кремния / Н.В. Немчинова // Вестн. ИрГТУ. -Иркутск: Изд-во ИрГТУ, 2007. № 2 (30), т.1. - С. 30-35.

67. Рагулина Р.И. Электротермия кремния и силумина / Р.И. Рагулина, Б.И. Емлин. — М.: Металлургия, 1972. — 240 с.

68. Ерёмин В.П. II Технология и оборудование руднотермических производств, «Электротермия-2008»: материалы Всерос. науч.-техн. конф. с ме-ждунар. уч. (3-5 июня 2008 г., г. Санкт-Петербург). СПб.: Изд-во СПбГТИ (техн. ун-т.), 2008. - С. 204-212.

69. Кузьма Ю.Б. Двойные и тройные системы, содержащие бор / Ю.Б. Кузьма, Н.Ф. Чабан. М.: Металлургия, 1990. - 320 с.

70. Рейви К. Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии / К. Рейви. -М.: Мир, 1984.-475 с.

71. Salama A.M., in: Semiconductor Chararacterization Techniques, ed. P.A. Barnes and G.A. Rozgonyi, The Electrochemical Society, 1978. P. 334.

72. Kapur V.K. Silicon Purification / V.K. Kapur, U.V. Choudary // Pat. USA 4388286 (Dec. 1983).

73. Pizzini S.G., Giarda L., Parisi A.,Solomi A., Concini G. // Proc. 14-th IEEE Photovoltaic Spec. Conf. New York. IEEE Publ., 1980. P. 902.

74. Мюллер Г. Выращивание кристаллов из расплава / Г. Мюллер. М.: Мир, 1991.- 149 с.

75. Ш.Burton G.A., Prim R.C., Slichter W.P. II Theoretical J. Chem. Phys., 1953. V. 21.-P. 1987-1991.

76. Непомнящих Л.И. Кремний для солнечной энергетики / А.И. Непомнящих и др. // Изв. Томского политехнического университета. — 2000. Том 303, вып. 2.-С. 175-190.

77. Reed S.J.B. Electron Microprobe Analysis / S.J.B. Reed // Cambridge London. New York. Melbourne: Cambridge University Press, 1975. - 306 p.

78. Suvorova L. Investigation of phase composition of metallurgical silicon by EPMA / L. Suvorova, N. Nemchinova // Proc. of the European Conf. on X-ray Spectrometry (16-20 june 2008, Cavtat, Dubrovnik (Croatia)). Cavtat, 2008. -P.162.

79. Немчинова Н.В. Поведение примесных элементов при производстве и рафинировании кремния: монография / Н.В. Немчинова. — М.: ИД «Академия естествознания», 2008. 237 с.

80. Багдасаров Х.С. Высокотемпературная кристаллизация из расплава / Х.С. Багдасаров. М.: Физматлит, 2004. - 160 с.

81. Компонентный состав модели1. Состав газовой фазы

82. Фазы и компоненты системы Интервал температур, К G, кал/моль G, кДэ1с/моль Базы термодинамических данныхal 298,15 -6000 273 -2500 298,15 -6000 69081,4 68283,9 69081,4 289,451 286,11 289,451 gjanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

83. А12 298,15 -6000 273 -2500 298,15 -6000 103774 103568 103774 434,813 433,95 434,813 gjanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

84. А120 298,15 -6000 273 2500 298,15 -6000 -41360,8 -38001,9 -41360,8 -173,3 -159,23' -173,3 gjanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

85. А1202 298,15-6000 273 2500 298,15 -6000 -95696,7 -95363,3 -95696,7 -400,97 -399,57 -400,97 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DBai2s3 298,15 -6000 -153043 -641,25 gJanaf.DB

86. А1С 298,15-6000 273 -2500 298,15-6000 151294 151315 151294 633,922 634,01 633,922 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

87. А10 298,15-6000 273-2500 298,15-6000 9750,77 15607,1 9750,77 40,86 65,39 40,86 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

88. А102 298,15-6000 273 -2500 298,15-6000 -21911,8 -21916,8 -21911,8 -91,81 -91,83 -91,81 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DBais 298,15-6000 273-2500 298,15-6000 44878,5 35879,5 44878,5 188,041 150,335 188,041 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

89. В5Н9 273-2500 298,15-6000 41802,1 41857,07457 175,151 175,381 g Yokokawa.DB g METALL.DB

90. С2 298,15-6000 186834 782,83 g МЕТЛЬЬ.ОВ298,15-6000 70415,5 295,04 gjanaf.DBс2м2 298,15-6000 70415,5 295,04 g МЕТЛЬЬ.ОВ298,15-6000 180321 755,54 gjanaf.DB273.6000 180210 755,08 g Уокока\уа.ОВ

91. С4К2 298,15-6000 121404 508,68 g МЕТЛЬЬ.ОВ298,15-6000 218802 916,78 gjanaf.DB273 6000 963671 4037,78 g Уокока\уа.ОВ

92. СБ 298,15-6000 54689,2 229,15 g МЕТЛЬЬ.ОВ298,15-6000 15969,4 66,91 gJanaf.DB298,15-6000 15969,4 66,91 g МЕТЛЬЬ.ОВ

93. С82 298,15-2273,15 15990 67 g ЯЫсШВ298,15-6000 -39583,89101 -165,86 g МЕТЛЬЬ.ОВ

94. СОБ 298,15-2273,15 -39590 -165,88 g Г^сШВ

95. Са 273-2500 34488,5 144,51 g Yokokawa.DB298,15-6000 5111,8 21,42 gJanaf.DB273.2500 5090,8 21,33 g Уокока\уа.ОВ

96. СаО 298,15-6000 5111,8 21,42 g МЕТЛЬЬ.ОВ273.2500 70289,2 294,51 g Yokokawa.DB

97. Са2 298,15-6000 69253,107074 290,17 ц МЕТЛЬЬ.ОВ273.2500 18193,1 76,23 g Yokokawa.DB

98. СаБ 298,15-6000 18213,193116 76,31 ё МЕТЛЬЬ.ОВ

99. Сг 273-2500 84082,2 352,3 g Yokokawa.DB

100. CrN 273-2500 112787 472,58, g Yokokawa.DB

101. CrO 273 -2500 36806,9 154,22 g Yokokawa.DB

102. Cr02 273 -2500 -20793,5 -87,12 g Yokokawa.DB

103. Cr03 273 -2500 -87547,8 -366,83 g Yokokawa.DB

104. CrS 273 -2000 69048,8 289,31 g Yokokawa.DB

105. H 273,15-6000 48584,6 203,57 g Yokokawa.DB273.2500 -49450,3 -207,2 g Yokokawa.DB

106. HBO 298,15-6000 -49461,2811 -207,24 g METALL.DB273 -2500 -131692 -551,79 g Yokokawa.DB

107. HB02 298,15 -6000 -131400,813 -550,57 g METALL.DB

108. HBOH 273-2500 -16189,3 -67,83 g Yokokawa.DB298,15 -6000 26502,8 111,05 gJanaf.DB273.2500 26864,2 112,56 g Yokokawa.DB

109. HNO 298,15-6000 26502,8 111,05 g METALL.DB298,15 -6000 -54636,5 -228,93 gjanaf.DB298,15 -6000 -54636,5 -228,93 g METALL.DB

110. H20 298,15 -5000 -54640 -228,94 g Reid.DB

111. H, 298,15 -5000 0 0 ' g Reid.DB

112. HN3 273 -2500 78417,8 328,57 g Yokokawa.DB

113. HNO, 273-2500 -10819,8 -45,33 g Yokokawa.DB

114. HNO, 273-2500 -17870,5 -74,88 g Yokokavva.DB

115. H4N2 298,15-2273,15 37890 158,76 g Reid.DB298,15-6000 14667,7 61,46 gJanaf.DB273 -2500 14488,5 60,71 g Yokokawa.DB

116. K 298,15 -6000 14667,7 61,46 g METALL.DB298,15 -6000 21412,1 89,72 gJanaf.DB273.2500 20913 87,63 g Yokokawa.DB

117. K2 298,15-6000 21412,1 89,72 g METALL.DB298,15-6000 -246853 -1034,31 gJanaf.DB273 -2500 -246893 -1034,48 g Yokokawa.DB

118. K2S04 298,15 -6000 -246853 -1034,31 g METALL.DB298,15-6000 12165,7 50,97 gJanaf.DB273.2500 11950,3 50,07 g Yokokawa.DB

119. KO 298,15-6000 12165,7 50,97 g METALL.DB

120. K2co, 273 -2500 -187140 -784,12 g Yokokawa.DB

121. K202 273 -2500 -36089,9 -151,22 g Yokokavva.DB

122. KNa 273-2500 22357,3 93,68 g Yokokawa.DB298,15-6000 ' 26893,1 112,68 gJanaf.DB273.2500 27038,7 113,29 g Yokokawa.DB

123. Mg 298,15-6000 26893,1 112,68 g METALL.DB298,15-6000 56284,4 235,83 gJanaf.DB273 -2500 56049,2 234,85 g Yokokawa.DB

124. Mg2 298,15-6000 56284,4 235,83 g METALL.DB298,15-6000 8336,02 34,93 gJanaf.DB273.2500 -1434 -6,01 g Yokokawa.DB

125. MgO 298,15-6000 8336,02 34,93 g METALL.DB298,15-6000 23254,5 97,44 gJanaf.DB273.2500 23245,7 97,4 g Yokokawa.DB

126. MgS 298,15-6000 23254,5 97,44 g METALL.DB

127. Mn 273-6000 57688 241,7 g Yokokawa.DB

128. MnO 273-6000 13041 54,64 g Yokokawa.DB

129. MnS 273-6000 40837 171,1 g Yokokawa.DB298,15-6000 88385,1 370,33 gJanaf.DB273 -2500 88599,4 371,23 g Yokokawa.DB

130. Fe 298,15-6000 88385,1 370,33 g METALL.DB298,15-6000 -164744 -690,28 g janaf.DB273 -2500 -166754 -698,7 g Yokokawa.DB

131. Fe(CO)5 298,15-6000 -164744 -690,28 g METALL.DB298,15 -6000 52012,6 217,93 gJanaf.DB273.2500 52103,3 218,31 g Yokokawa.DB

132. FeO 298,15-6000 52012,6 217,93 g METALL.DB298,15-6000 74864,6 313,68 gJanaf.DB273 -2500 74702 313 g Yokokawa.DB

133. FeS 298,15-6000 74864,6 313,68 g METALL.DB298,15-6000 108520 454,7 gJanaf.DB273.6000 108886 456,23 g Yokokawa.DB

134. Na 298,15-6000 18290,5 76,637 g METALL.DB298,15-6000 24739,3 103,658 gJanaf.DB273 2500 24849,4 104,119 g Yokokawa.DB

135. Na2 298,15-6000 24739,3 103,658 g METALL.DB298,15 -6000 -232902 -975,859 gJanaf.DB273.2500 -232966 -976,128 g Yokokawa.DB

136. Na2S04 298,15-6000 -232902 -975,859 g METALL.DB298,15-6000 14572,9 61,06 gJanaf.DB273 -2500 19694,1 82,518 g Yokokawa.DB

137. NaO 298,15-6000 14572,9 61,06 g METALL.DB

138. Na202 273-2500 -28343,2 -118,758 g Yokokawa.DB273.2500 91897,7 385,051 g Yokokawa.DE

139. N¡(00)4 273-2500 -140359 -588,104 g Yokokawa.DE0 273-2000 67399,6 282,404 £ Yokokawa.DE

140. Оз 298,15-2273,15 38910 163,033 £ Reid.DE03Б 298,15-2273,15 -88520 -370,899 £ Reid.DE298,15-6000 66916,8 280,381 gJanaf.DE273 -2500 66510,5 278,679 £ Yokokawa.DE

141. Р 298,15-6000 66916,8 280,381 £ METALL.DE298,15-6000 24644,4 103,26 gjanaf.DE273.2500 24784,9 103,849 £ Yokokawa.DE

142. Р2 298,15-6000 24644,4 103,26 £ METALL.DE298,15-6000 -11266,5 -47,207 gJanaf.DE273.2500 -12404,4 -51,974 g Yokokawa.DE

143. РО 298,15-6000 -11266,5 -47,207 £ METALL.DE298,15-6000 -75704,5 -317,202 gJanaf.DE273.2500 -67304 -282,004 ё Yokokawa.DE

144. Р02 298,15-6000 -75704,5 -317,202 £ METALL.DE298,15-6000 21644,8 90,692 gJanaf.DE273 -2500 25812,6 108,155 £ Yokokawa.DE

145. РБ 298,15-6000 21644,8 90,692 ё METALL.DE

146. Р203 273-2500 -158141 -662,611 g Yokokawa.DE

147. Р2Од 273 -2500 -210384 -881,509 g Yokokawa.DE

148. Рз 273-2500 40200,8 168,441 g Yokokawa.DE298,15-6000 56524,9 236,839 gJanaf.DE273.2500 56951 238,625 g Yokokawa.DE

149. Б 298,15-6000 56524,9 236,839 £ METALL.DE298,15-6000 19045,6 79,801 gJanaf.DE273.2500 18960,3 79,444 g Yokokawa.DE298,15-6000 19045,6 79,801 g METALL.DE298,15-6000 -5025,33 -21,056 gJanaf.DE273.2500 -4741,2 -19,866 g Yokokawa.DE

150. БО 298,15-6000 -5025,33 -21,056 ё METALL.DE298,15-6000 -71731,5 -300,555 gJanaf.DE

151. Б02 298,15-6000 -71731,5 -300,555 ё METALL.DE298,15-6000 -88674,9 -371,548 gJanaf.DE

152. БО, 298,15-6000 -88674,9 -371,548 g METALL.DE298,15-6000 -22934 -96,093 gJanaf.DE

153. ББО 298,15-6000 -22934 -96,093 ц METALL.DE

154. Б20 273 -2500 -20697,9 -86,724 ё Yokokawa.DE273.2000 18833,7 78,913 g Yokokawa.DE298,15-6000 96922,6 406,106 gJanaf.DE273.2500 98303,1 411,89 g Yokokawa.DE

155. Б! 298,15-6000 96922,6 406,106 g METALL.DE298,15-6000 127305 533,408 gJanaf.DE273 -2500 128107 536,768 £ Yokokawa.DE

156. БЬ 298,15-6000 127305 533,408 £ METALL.DE298,15-6000 113826 476,931 gJanaf.DE273.2500 117830 493,708 g Yokokawa.DE

157. Б^С 298,15-6000 113826 476,931 g METALL.DE298,15-6000 85873,8 359,811 gJanaf.DE273.2500 86042,1 360,516 g Yokokawa.DE

158. Б^ 298,15-6000 85873,8 359,81 1 g METALL.DE

159. Si3 298,15 -6000 273-2500 298,15-6000 136930 131931 136930 573,737 552,791 573,737 gJanaf.DB g Yokokawa.DB j*METALL. DB

160. SiC 298,15 -6000 273-2500 298,15-6000 158569 163719 158569 664,404 685,983 664,404 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

161. SiC2 298,15-6000 273-2500 298,15-6000 132289 132170 132289 554,291 554,586 554,291 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

162. SiH 298,15-6000 273 -2500 298,15-6000 81908,4 78171,6 81908,4 343,196 327,539 343,196 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

163. SiH4 298,15-6000 273 2500 298,15-6000 13581 13599,4 13581 56,904 56,981 56,904 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

164. SiN 298,15-6000 273 -2500 298,15-6000 81360,9 109011 81360,9 340,903 456,756 340,903 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

165. SiO 298,15-6000 273 -2500 298,15-6000 -30431,4 -30210,3 -30431,4 -127,508 -126,581 -127,508 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

166. SiO, 298,15-6000 273-2500 298,15-6000 -73365,7 -77198,9 -73365,7 -307,402 -323,463 -307,402 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

167. SiS 273-2500 298,15-6000 14560,2 13001,434034 61,007 54,476 g Yokokawa.DB g METALL.DB

168. SiH2 273-2500 54505 228,376 g Yokokawa.DB

169. SiH3 273-2500 49916,8 209,151 g Yokokawa.DB

170. SiS-, 273-2500 -10550,9 -44,208 g Yokokawa.DB

171. Si2H6 273 1300 30401,5 127,382 g Yokokawa.DB

172. Ti 298,15-6000 273-6000 298,15-6000 102544 101601 102544 429,659 425,708 429,659 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

173. TiO 298,15-6000 273-6000 298,15-6000 5859,87 -3107,1 5859,87 24,553 -13,019 24,553 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

174. Ti02 298,15-6000 273-2500 298,15-6000 -74735,5 -61663,5 -74735,5 -313,142 -258,37 -313,142 gJanaf.DB g Yokokawa.DB g METALL.DB

175. Tis 273-2000 59751,4 250,358 g Yokokawa.DB1. Состав твердой фазы

176. Фазы и компоненты системы Интервал температур, К G, кал/моль G, кДэю/молъ Базы термодинамических данных

177. AI 298,15- 1200 298,15-6000 298,15-6000 0 0 0 0 0 0 sJanaf.DB s METALL.DB S Al-Si 01.DB

178. A12S3 298,15- 1370 298,15- 1500 298,15-5000 -170650 -153044 -153059,034 -715,024 -641,254 -641,317 SYokokawa. DB sJanaf.DB s METALL.DB

179. Al203(alpha) 298,15-3000 298,15-6000 -378173 -378200 -1584,545 -1584,658 sJanaf.DB s METALL.DB

180. AI203(delta) 298,15-2308 298,15-3000 298,15-6000 -375956 -375950 -375976 -1575,256 -1575,231 -1575,339 sYokokawa.DB sJanaf.DB s METALL.DB

181. А120з(рагпта) 298,15-2291 298,15-3000 298,15-6000 -373781 -373769 -373796 -1566,142 -1566,092 -1566,205 зУокока\уа.ОВ sjanaf.De Б METALL.DE

182. А1203(карра) 298,15-2300 298,15-3000 298,15-6000 -375167 -375158 -375185 -1571,95 -1571,912 -1572,025 sYokokawa.DE sjanaf.DE 5 METALL.DE

183. А128Ю5 а 298,15-2500 298,15-3000 298,15-6000 -583829 -584245 -584281 -2446,244 -2447,987 -2448,137 sYokokawa.DE sjanaf.DE Б METALL.DE

184. А128Ю5 к 298,15-2500 298,15-3000 298,15-6000 -584121 -584115 -584150 -2447,467 -2447,442 -2447,589 sYokokawa.DE sjanaf.DE Б METALL.DE

185. А128Ю5 э 298,15-2500 298,15-3000 298,15-6000 -583430 -583746 -583781 -2444,572 -2445,896 -2446,042 sYokokawa.DE sjanaf.DE я METALL.DE

186. АЬРе 298,15-6000 298,15-6000 -17566,3 -17566,3 -73,603 -73,603 sjanaf.DE Б METALL.DE

187. АЬМ§2 298,15-6000 298,15 -6000 11851 11851 49,656 49,656 sjanaf.DE Б METALL.DE

188. АЬ^Ь 298,15-6000 298,15-6000 -42427 -42427 -177,769 -177,769 sjanaf.DE Б METALL.DE

189. А15Ре 298,15-6000 298,15-6000 -27163,6 -27163,6 -113,815 -113,815 sjanaf.DE б METALL.DE

190. А15Ре81 298,15-6000 298,15-6000 -37195,1 -37195,1 -155,847 -155,847 sjanaf.DE б METALL.DE

191. А16Ре 298,15-6000 298,15-6000 -31961,4 -31961,4 -133,918 -133,918 sjanaf.DE Б METALL.DE

192. А165Ь013 298,15-6000 298,15-3000 298,15-6000 -1539720 -1539630 -1539720 -6451,427 -6451,05 -6451,427 sYokokawa.DE sjanaf.DE б METALL.DE

193. А1я8>Те2 298,15-6000 298,15-6000 -54676,9 -54676,9 -229,096 -229,096 sjanaf.DE б METALL.DE

194. АИ^ 298,15-6000 298,15-6000 -18000,5 -18000,5 -75,422 -75,422 sjanaf.DE Б METALL.DE

195. АЦС3 298,15-2500 298,15-6000 298,15-6000 -46892,9 -48632,9 -48632,9 -196,481 -203,772 -203,772 sYokokawa.DE sjanaf.DE б METALL.DE

196. А12(804)3 298,15- 1043 -740951 -3104,585 б Yokokawa.DE

197. АЦО^С 298,15-2213 -521750 -2186,133 б Yokokawa.DE

198. А1Г,09(8Ю2) 298,15-2023 -1540850 -6456,162 б Yokokawa.DE

199. В 298,15-6000 0 0 б METALL.DE

200. ВИ 298,15-3500 298,15-5000 -54588,9 -53781,5488 -228,727 -225,345 б Yokokawa.DE б METALL.DE

201. В4С 298,15-2743 298,15-5000 -16969,4 -14844,8853 -71,102 -62,2 б Yokokawa.DE б METALL.DE

202. ВР 298,15- 1100 -17447,4 -73,105 б Yokokawa.DE

203. С 011АРН1ТЕ 298,15- 1800 298,15-2500 298,15-2500 0 0 0 0 0 0 sRobieHemingway.DE sdump.DE б sprons98.DE

204. Са-а 298,15-6000 298,15-6000 0 0 0 0 sjanaf.DE б METALL.DE

205. СаО 298 15 -2000 -144366 -604,894 s sprons98.DB298 15 -2500 -114101 -478,083 s Yokokawa.DB

206. CaS 298 15 -5000 -111885,755 -468,801 s METALL.DB298 15 -6000 -120964 -506,839 sJanaf.DB

207. Ca2AI4Si3 298 15 -6000 -120964 -506,839 s METALL.DB298 15 1200 -48279,1 -202,289 sJanaf.DB

208. Ca2Si 298 15 1200 -48279,1 -202,289 s METALL.DB298 15 -6000 -156327 -655,01 sJanaf.DB

209. Ca3A1fiSi2 298 15 -6000 -156327 -655,01 s METALL.DB298 15 1800 -51147,2 -214,307 s Yokokawa.DB298 15 1353 -51147,2 -214,307 sJanaf.DB

210. СаА12 298 15 -1353 -51147,2 -214,307 s METALL.DB298 15 -6000 -55508 -232,579 sJanaf.DB

211. CaM2Si 298 15 -6000 -55508 -232,579 s METALL.DB298 15 -6000 -65539,5 -274,611 sJanaf.DB

212. CaAl2Si2 298 15 -6000 -65539,5 -274,611 s METALL.DB298 15 1700 -49235,2 -206,295 s Yokokawa.DB

213. CaAL, 298 15 1050 -49235,2 -206,295 sJanaf.DB

214. CaAl4 298 15 1050 -49235,2 -206,295 s METALL.DB298 15 1275 -15511,5 -64,993 s Yokokawa.DB298 15 -6000 -15511,5 -64,993 sJanaf.DB

215. CaC2 298 15 -6000 -15511,5 -64,993 s METALL.DB298 15 1003 -9392,9 -39,356 s Yokokawa.DB298 15 -6000 -9392,92 -39,356 sJanaf.DB

216. CaMg2 298 15 -6000 -9392,92 -39,356 s METALL.DB298 15 1513 -35133,8 -147,211 sJanaf.DB

217. CaSi 298 15 1513 -35133,8 -147,211 s METALL.DB298 15 1300 -34177,8 -143,205 sJanaf.DB

218. CaSi2 298 15 1300 -34177,8 -143,205 s METALL.DB298 15 -1100 -513500 -2151,565 s Yokokawa.DB298 15 -1100 -516562 -2164,395 sRobieHemingway.DB298 15 -1100 -513500 -2151,565 s dump.DB

219. CaMfi(C03)2 298 15 -1000 -517760 -2169,414 s sprons98.DB298 15 -1800 -957261 -4010,924 s Yokokawa.DB298 15 -1800 -957910 -4013,643 s RobieHemingway.DB298 15 -1800 -957261 -4010,924 s dump.DB

220. CaAI2Si2Os 298 15 1700 -954078 -3997,587 s sprons98.DB298 15 1800 -1499960 -6284,832 s Yokokawa.DB298 15 1200 -1500600 -6287,514 sRobieHemingway.DB298 15 1800 -1499960 -6284,832 s dump.DB

221. Ca3Al2Si3Ol2 298 15 1000 -1496310 -6269,539 s sprons98.DB

222. Ca,20,2(Al203)7 298 15 1800 -4414200 -18495,498 s Yokokawa.DB

223. Ca2Fe205 298 15 1850 -478439 -2004,659 s Yokokawa.DB

224. Ca30,(Al203) 298 15 1808 -815392 -3416,492 s Yokokawa.DB

225. CaFe204 298 15 1800 -337672 -1414,846 s Yokokawa.DB

226. CaMg02 298 15 1800 -281936 -1181,312 s Yokokawa.DB

227. Ca0(Al203) 298 15 1878 -527916 -2211,968 s Yokoka\va.DB

228. Ca0(Al20,)2 298 15 -2023 -912691 -3824,175 s Yokokawa.DB

229. Ca02 298 15 -427 -144431 -605,166 s Yokokawa.DB

230. CaS03 298 15 1000 -260091 -1089,781 s Yokokawa.DB298 15 1500 -1294030 -5421,986 s Yokokawa.DB298 15 1000 -1297080 -5434,765 sRobieHemingway.DB298 15 1500 -1294020 -5421,944 s dump.DB

231. Ca3Fe2Si3Ou 298 15 -1100 -1296820 -5421,944 s sprons98,DB298,15- 1150 -269799 -1130,458 s Yokokawa.DB298,15- 1200 -269718 -1130,118 sRobieHemingway.DB298,15- 1603 -269375 -1128,681 sdump.DB

232. СаСО-, (Calcite) 298,15- 1200 -269880 -1130,797 s sprons98.DB298,15- 1600 -723599 -3031,88 s Yokokawa.DB

233. CaMgSi2Of, 298,15- 1600 -723599 -3031,88 s dump.DB

234. СаТЮз 298,15- 1530 -376482 -1577,46 s Yokokawa.DB298,15- 1800 -369876 -1549,78 s Yokokawa.DB298,15- 1800 -369876 -1549,78 sdump.DB

235. CaSi03 298,15- 1400 -369225 -1547,053 s sprons98.DB298,15-2603 -252892 -1059,617 s dump.DB

236. Cr203 298,15-2603 -252892 -1059,617 s Yokokawa.DB

237. Cr 298,15-2945 0 0 s Yokokawa.DB

238. Cr3Si 298,15-2043 -29875,7 -125,179 s Yokokawa.DB

239. CrB 298,15- 1823 -17602,8 -73,756 s Yokokawa.DB

240. CrN 298,15- 1555 -23972,3 -100,443 s Yokokawa.DB

241. Cr02 298,15-600 -130258 -545,781 s Yokokawa.DB

242. CrS 298,15- 1800 -32887,2 -137,797 s Yokokawa.DB

243. CrSi 298,15- 1730 -15057,4 -63,091 s Yokokawa.DB298,15- 1596 -90610,2 -379,657 s Yokokawa.DB298,15-6000 -90349,4 -378,564 sJanaf.DB

244. KOH 298,15-6000 -90349,4 -378,564 s METALL.DB298,15- 1043,7 0 0 s Yokokawa.DB298,15-6000 0 0 sJanaf.DB

245. K2Si03 298,15-6000 -347514 -1456,084 s METALL.DB298,15-2500 -519909 -2178,419 s Yokokawa.DB298,15- 1800 -519837 -2178,117 s dump.DB298,15-2800 -520225 -2179,743 sJanaf.DB298,15 -6000 -520256 -2179,873 s METALL.DB

246. MgAl204 298,15-2000 -517006 -2166,255 s sprons98.DB298,15-3500 0 0 s Yokokawa.DB298,15-6000 0 0 sJanaf.DB298,15-6000 0 0 s METALL.DB

247. Mg 298,15-6000 0 0 s Al-Si 01.DB298,15-2000 -136048 -570,041 s Yokokawa.DB298,15- 1800 -136066 -570,117 s RobieHemingway.DB298,15-6000 -135985 -569,777 sJanaf.DB

248. MgO 298,15-2100 -136086 -570,2 s dump.DB298,15-6000 -135985 -569,777 s METALL.DB

249. MgO 298,15-2100 -136086 -570,2 s sprons98.DB298,15- 1850 -348702 -1461,061 s Yokokawa.DB298,15-6000 -349445 -1464,175 sJanaf.DB298,15- 1850 -348702 -1461,061 s dump.DB298,15-6000 -349445 -1464,175 s METALL.DB

250. MgSiOj 298,15- 1800 -348930 -1462,017 s sprons98.DB298,15-2500 -279804 -1172,379 s Yokokawa.DB

251. Mg2Si04 298 15 1800 -491564 -2059,653 s sprons98.DB298 15 -6000 -18417,7 -77,17 sjanaf.DB298 15 -6000 -18417,7 -77,17 s METALL.DB

252. Mg.Si 298 15 -6000 -18417,7821 -77,171 s Al-Si 01.DB298 15 -6000 27351,2 114,602 sJanaf.DB

253. Mg5Al8 298 15 -6000 27351,2 114,602 s METALL.DB298 15 -2500 19359,5 81,116 s Yokokawa.DB298 15 -6000 19359,5 81,116 sJanaf.DB

254. MgCj 298 15 -6000 19359,5 81,116 s METALL.DB298 15 -675 -241898 -1013,553 s Yokokawa.DB298 15 1000 -246056 -1030,975 s RobieHemingway.DB298 15 1000 -241900 -1013,561 s dump.DB298 15 -5000 -245739,484 -1029,648 s METALL.DB

255. MgCCh 298 15 1000 -245658 -1029,307 s sprons98.DB

256. MgFe204 298 15 -665 -314818 -1319,087 s Yokokawa.DB298 15 -2500 -81692,2 -342,29 s Yokokawa.DB

257. MgS 298 15 -5000 -81604,6845 -341,924 s METALL.DB298 15 1700 -2067940 -8664,669 s Yokokawa.DB

258. Mg2Al4Si50IR 298 15 1700 -2067940 -8664,669 s dump.DB

259. MgSiAl206 298 15 1800 -719928 -3016,498 s Yokokawa.DB298 15 1800 -1420340 -5951,225 s Yokokawa.DB298 15 -1800 -1420340 -5951,225 s dump.DB

260. Mg,Al2Si,0,2 298 15 1800 999999 4189,996 s sprons98.DB

261. MnS 298 15 1000 -5240 -21,96 s dump.DB

262. MnO 298 15 1000 -86796 -363,68 s dump.DB

263. МпгСЬ 298 15 1000 -210191 -880,7 s dump.DB

264. MnCO, 298 15 1000 -193826 -812,1 s dump.DB

265. Mn 298 15 -6000 0 0 s METALL.DB

266. Mn3Si2Al6 298 15 -6000 -59450,8 -249,1 s METALL.DB

267. Mn,SiAlf, 298 15 -6000 -49419,5 -207,07 s METALL.DB

268. MnSi 298 15 -1548 -14173 -59,38 s METALL.DB

269. Mn2Ti04 298 15 1723 -395124 -1655,6 s Yokokawa.DB

270. Mn4N 298 15 -800 -25255,7 -105,8 s Yokokawa.DB

271. MnB 298 15 -1200 -17612,3 -73,8 s Yokokawa.DB298 15 1650 -58758 -246,196 s Yokokawa.DB298 15 -6000 -58594,9 -245,513 sJanaf.DB

272. Fe0.947O 298 15 -6000 -58594,9 -245,513 s METALL.DB298 15 -6000 0 о ■ sJanaf.DB

273. Fc a-d 298 15 -6000 0 0 s METALL.DB298 15 -6000 1275,08 5,343 sJanaf.DB

274. Fe-g 298 15 -6000 1275,08 5,343 s METALL.DB298 15 -6000 -60097,2 -251,807 sJanaf.DB298 15 -6000 -60097,2 -251,807 s METALL.DB298 15 -1800 -60086 -251,76 s RobieHemingway.DB

275. FcO 298 15 1600 -60097 -251,806 s sprons98.DB

276. FcO 298 15 1652 -58212 -243,908 s Yokokawa.DB298 15 -5000 -197166,826 -826,129 s METALL.DB

277. FeS 298,15-1000 -24219 -101,478 s Yokokawa.DB298,15 -6000 -37322,9 -156,383 sJanaf.DB298,15 -6000 -37322,9 -156,383 s METALL.DB298,15-700 -37858,5 -158,627 sRobieHemingway.DB

278. FeS2-Р 298,15- 1000 -38290 -160,435 s Yokokawa.DB298,15-5000 -540853,251 -2266,175 s METALL.DB

279. Fe203 298,15- 1800 -177366 -743,164 s Yokokawa.DB298,15- 1500 4804,01 20,129 sJanaf.DB

280. Fe3C a 298,15- 1500 4804,01 20,129 s METALL.DB298,15-6000 4759,08 19,941 sJanaf.DB298,15-6000 4759,08 19,941 s METALL.DB298,15- 1800 4708,4 19,728 sRobieHemingway.DB

281. Fe304 298,15- 1870 -241372 -1011,349 s Yokokawa.DB

282. Fe3Si 298,15-6000 -22609,9 -94,736 sJanaf.DB298,15-6000 -22609,9 -94,736 s METALL.DB

283. Fe3Si 298,15- 1300 -22609,9 -94,736 s Yokokawa.DB298,15-6000 -45619,9 -191,144 sJanaf.DB

284. Fe5Si3 298,15-6000 -45619,9 -191,144 s METALL.DB298,15- 1683 -17590,8 -73,705 sJanaf.DB298,15- 1683 -17590,8 -73,705 s METALL.DB

285. FeSi 298,15-1900 -17590,8 -73,705 s Yokokawa.DB298,15-6000 -18690,2 -78,312 sJanaf.DB298,15-6000 -18690,2 -78,312 s METALL.DB

286. FeSi2 298,15- 1200 -18690,2 -78,312 s Yokokawa.DB

287. Fe0(Al203) 298,15-2053 -449307 -1882,596 s Yokokawa.DB

288. FeTi03 298,15- 1800 -277048 -1160,831 s Yokokawa.DB298,15 -1800 -1180090 -4944,577 s dump.DB298,15- 1600 999999 4189,996 s sprons98.DB

289. Fe3Al2Si30I2 298,15- 1800 -1180090 -4944,577 s Yokokawa.DB

290. Fe2Al4Si<;0ls 298,15-1273 1902,7 7,972 s Yokokawa.DB298,15- 1450 -329314 -1379,826 s dump.DB298,15- 1490 -330233 -1383,676 ssprons98.DB

291. Fe2Si04 298,15- 1450 -329314 -1379,826 s Yokokawa.DB298,15- 1800 -266848 -1118,093 s dump.DB298,15- 1400 -267588 -1121,194 s sprons98.DB

292. FeSi03 298,15- 1800 -266848 -1118,093 s Yokokawa.DB

293. FeC03 a 298,15-800 -159350 -667,677 s Yokokawa.DB298 15 1000 -162600 -681,294 sdump.DB298 15 -600 -163193 -683,779 sRobieHemingway.DB298 15 -885 -162414 -680,515 ssprons98.DB

294. FeC03 b 298 15 - 1000 -162600 -681,294 s Yokokawa.DB298 15 -6000 -255643 -1071,144 s Yokokawa.DB298 15 -3000 -255556 -1070,78 sjanaf.DB

295. NaA102 298 15 -6000 -255643 -1071,144 s METALL.DB298 15 -6000 -250635 -1050,161 sJanaf.DB298 15 -6000 -250635 -1050,161 s METALL.DB

296. Na2CO-, 298 15 1738 -250234 -1048,48 s Yokokawa.DB298 15 -6000 0 0 sJanaf.DB298 15 -6000 0 0 s METALL.DB

297. Na 298 15 -2000 0 0 s Yokokawa.DB298 15 -6000 -52352,5 -219,357 sjanaf.DB298 15 -6000 -52352,5 -219,357 s METALL.DB

298. Na02 298 15 -825 -52198,9 -218,713 s Yokokawa.DB298 15 -6000 -107614 -450,903 sJanaf.DB298 15 -6000 -107614 -450,903 s METALL.DB

299. Na202 298 15 -948 -106955 -448,141 s Yokokawa.DB298 15 -6000 -350855 -1470,082 sJanaf.DB

300. Na2Si03 298 15 -6000 -350855 -1470,082 s METALL.DB

301. Na2S04 298 15 -1170 -302505 -1267,496 s Yokokawa.DB298 15 -6000 -302435 -1267,203 sJanaf.DB

302. Na2S04 D 298 15 -6000 -302435 -1267,203 s METALL.DB298 15 -6000 -302599 -1267,89 sJanaf.DB

303. Na2S04 -1 298 15 -6000 -302599 -1267,89 s METALL.DB298 15 -6000 -303172 -1270,291 sJanaf.DB

304. Na2S04 III 298 15 -6000 -303172 -1270,291 s METALL.DB298 15 -6000 -303480 -1271,581 sJanaf.DB

305. Na2S04 IV 298 15 -6000 -303480 -1271,581 s METALL.DB298 15 -6000 -555652 -2328,182 sJanaf.DB

306. Na2Si2Os 298 15 -6000 -555652 -2328,182 s METALL.DB298 15 -6000 90117,35182 377,592 s METALL.DB

307. Na2S 298 15 -2500 -83604,2 -350,302 s Yokokawa.DB298 15 1700 -681453 -2855,288 s dump.DB298 15 1000 -673040 -2820,038 sRobieHemingway.DB298 15 1000 -674989 -2828,204 s sprons98.DB

308. NaAlSi206 298 15 1700 -681453 -2855,288 s Yokokawa.DB

309. NaAlSi04 298 15 1525 -473131 -1982,419 s dump.DB298 15 -457 -472227 -1978,631 sRobieHemingway.DB298 15 1500 -472872 -1981,334 s sprons98.DB

310. NaAlSi04 298 15 1525 -473131 -1982,419 s Yokokawa.DB

311. Na20(Fe203) 298 15 1618 -290177 -1215,842 s Yokokawa.DB

312. Na2S03 298 15 -2000 -241993 -1013,951 s Yokokawa.DB

313. NaS 298 15 1500 -45377,6 -190,132 s Yokokawa.DB

314. NaS2 298 15 1000 -47002,9 -196,942 s Yokokawa.DB298 15 1400 -884509 -3706,093 s sprons98.DB

315. NaAlSi308 h 298 15 - 1400 -885765 -3711,355 s Yokokawa.DB

316. NaAlSi3Og 298 15 1400 -886308 -3713,631 s sprons98.DBlow 298 15 1400 -887155 -3171,179 s Yokokawa.DB298 15 1300 -308078 -1290,847 s dump.DB

317. Ni2Si04 298 15 1300 -308078 -1290,847 s Yokokawa.DB

318. Ni 298 15 -3187 0 0 s Yokokawa.DB

319. Ni3C 298 15 -800 15320,3 64,192 s Yokokawa.DB

320. Ni3S2 298 15 -3240 -47108 -197,383 s Yokokawa.DB

321. NiAI 298 15 -2100 -27820,3 -116,567 s Yokokawa.DB

322. NiO 298 15 -2257 -50597,5 -212,004 s Yokokawa.DB

323. Ni0(Al203) 298 15 -2383 -429541 -1799,777 s Yokokawa.DB

324. Ni0(Cr203) 298,15- 1500 -302930 -1269,277 s Yokokawa.DB0(ТЮ2) 298,15- 1700 -268198 -1123,75 s Yokokawa.DB

325. NiS2 298,15- 1800 -29875,7 -125,179 s Yokokawa.DB

326. NiS04 298,15- 1121 -181597 -760,891 s Yokokawa.DB

327. NiTi 298,15- 1513 -15372,8 -64,412 s Yokokawa.DB298,15-6000 -1698,85 -7,118 sJanaf.DB

328. P-IV 298,15-6000 -1698,85 -7,118 s METALL.DB298,15-6000 -2874,28 -12,043 sJanaf.DB

329. P-V 298,15-6000 -2874,28 -12,043 s METALL.DB298,15-6000 0 0 sJanaf.DB

330. P-W 298,15-6000 0 0 s METALL.DB298,15-6000 -1753,82 -7,349 sJanaf.DB

331. P-b 298,15-6000 -1753,82 -7,349 s METALL.DB

332. S-orthorhombic 298,15-5000 0 0 s METALL.DB

333. S-monoclinic 298,15-5000 16,4913958 0,069 s METALL.DB298,15-6000 -204033 -854,898 sJanaf.DB

334. Si02 h 298,15-6000 -204033 -854,898 s METALL.DB298,15-6000 -204241 -855,77 sJanaf.DB

335. Si02 q 298,15-2000 -204666 -857,551 s Yokokawa.DB298,15-6000 -16525,4 -69,241 sJanaf.DB298,15-3000 -14388 -60,286 s dump.DB298,15-6000 -16525,4 -69,241 s METALL.DB

336. SiC-a 298,15-2500 -15009,6 -62,89 s Yokokawa.DB298,15-6000 -16934,4 -70,955 sJanaf.DB298,15-3000 -15010 -62,892 s dump.DB298,15-6000 -16934,4 -70,955 s METALL.DB

337. SiC-b 298,15-2500 -14388,1 -60,286 s Yokokawa.DB298,15-5000 -50815,9656 -212,919 s METALL.DB

338. SiS2 298,15-2000 -49354,7 -206,796 s Yokokawa.DB298,15-6000 0 0 sJanaf.DB298,15-6000 0 0 s METALL.DB298,15-3553 0 0 s Yokokawa.DB

339. Si 298,15 -6000 0 0 s Al-Si 01.DB

340. SiS 298,15 -3500 -41244 -172,812 s Yokokawa.DB298,15-6000 -43125,8 -180,697 sJanaf.DB

341. TiC 298,15-6000 -43125,8 -180,697 s METALL.DB

342. TiC 298,15-4000 -43188,3 -180,959 s Yokokawa.DB298,15-6000 -122681 -514,033 sJanaf.DB

343. TiO-a 298,15-6000 -122681 -514,033 s METALL.DB298,15-6000 -121916 -510,828 sJanaf.DB

344. TiO-b 298,15 -6000 -121916 -510,828 s METALL.DB

345. Ti02 a 298,15-6000 -211114 -884,568 s METALL.DB298,15-6000 -212581 -890,714 sJanaf.DB298,15- 1800 -212323 -889,633 s dump.DB298,15-6000 -212581 -890,714 s METALL.DB298,15- 1800 -212883 -891,98 s sprons98.DB

346. Ti02 г 298,15-2500 -212596 -890,777 s Yokokawa.DB298,15-6000 -342705 -1435,934 sJanaf.DB298,15 -6000 -342705 -1435,934 s METALL.DB

347. Ti203 298,15-2500 -342782 -1436,257 s Yokokawa.DB298,15-6000 -553867 -2320,703 sJanaf.DB

348. Ti3Os a 298,15-6000 -553867 -2320,703 s METALL.DB

349. Ti305 ь 298,15-6000 298,15-6000 -552783 ■ -552783 -2316,161 -2316,161 s janaf.DB s METALL.DB

350. ТЦ07 298,15-6000 298,15-6000 298,15-2500 -767957 -767957 -744094 -3217,74 -3217,74 -3117,754 s Janaf.DB sMETALL.DB s Yokokawa.DB

351. Ti-а 298,15-6000 298,15-6000 0 0 0 0 s janaf.DB s METALL.DB

352. TÍ7AI5SÍ12 298,15-6000 298,15-6000 -247228 -247228 -1035,885 -1035,885 sJanaf.DB s METALL.DB

353. TiAl 298,15-6000 298,15-6000 298,15 1733 -17519,1 -17519,1 -17519,1 -73,405 -73,405 -73,405 sJanaf.DB s METALL.DB s Yokokawa.DB

354. TiAl3 298,15-6000 298,15-6000 298,15 — 1613 -33484,7 -33484,7 -33484,7 -140,301 -140,301 -140,301 sJanaf.DB sMETALL.DB s Yokokawa.DB

355. TiFe 298,15-6000 298,15-6000 -17765,5 -17765,5 -74,437 -74,437 sJanaf.DB s METALL.DB

356. TiFe2 298,15 -6000 298,15-6000 -20940,6 -20940,6 -87,741 -87,741 sJanaf.DB s METALL.DB

357. TiSi 298,15-6000 298,15-6000 298,15-2000 -31070,7 -31070,7 -31070,7 -130,186 -130,186 . -130,186 sJanaf.DB sMETALL.DB s Yokokawa.DB

358. TiSi2 298,15-6000 • 298,15 -6000 298,15- 1800 -31548,7 -31548,7 -31548,8 -132,189 -132,189 -132,189 sJanaf.DB sMETALL.DB s Yokokawa.DB1. Состав расплава

359. Фазы и компоненты системы Интервал температур, К G, кал/моль G, кДз/с/моль Базы термодинамических данных

360. AI 298,15 -6000 298,15-6000 298,15-6000 1713,58 1713,58 1721,08031 7,18 7,18 7,211 sJanaf.DB s METALL.DB s Al-Si 01.DB

361. В 298,15-6000 10217,256 42,81 s METALL.DB

362. В203 298,15-6000 -282402,25 -1183,265 s METALL.DB

363. В4С 298,15-6000 9525,0956 39,91 s METALL.DB

364. Са 298,15 6000 298,15-6000 1581,67 1581,67 6,627 6,627 sJanaf.DB s METALL.DB

365. CaFeSi2Of, 298,15- 1500 298,15- 1500 -639484 -639484 -2679,438 -2679,438 sdump.DB s Yokokawa.DB

366. CaAl2Si06 298,15-2000 298,15-2000 -746212 -746212 -3126,628 -3126,628 sdump.DB s Yokokawa.DB

367. Cr 298,15 -3500 5333,174 22,346 s METALL.DB

368. Cr203 298,15-4500 -227066,92 -951,41 s METALL.DB

369. Fe 298,15-6000 298,15-6000 2431,9 2431,9 10,19 10,19 sJanaf.DB s METALL.DB

370. Fc^C 298,15-6000 298,15-6000 4804,01 4804,01 20,129 20,129 sJanaf.DB s METALL.DB

371. FcO 298,15-6000 298,15 -6000 -55761,5 ' -55761,5 -233,64 -233,64 sJanaf.DB s METALL.DB

372. FeS 298,15-6000 298,15 -6000 -18116,2 -18116,2 -75,907 -75,907 sJanaf.DB s METALL.DB298,15-6000 276,376 1,158 sjanaf.DB

373. К 298,15-6000 276,376 1,158' s METALL.DB298,15-6000 -338568 -1418,6 sjanaf.DB

374. K2SiO, 298,15-6000 -338568 -1418,6 s METALL.DB

375. KCN 298,15-6000 -22405,5927 -93,879 s METALL.DB298,15-6000 -88740,2 -371,821 sjanaf.DB

376. КОН 298,15-6000 -88740,2 -371,821 s METALL.DB298,15-6000 1016,9 4,261 sjanaf.DB298,15-6000 1016,9 4,261 s METALL.DB

377. Mg 298,15-6000 1016,96941 4,261 s Al-Si 01.DB298,15-6000 -3597,64 -15,074 sjanaf.DB298,15-6000 -3597,64 -15,074 s METALL.DB

378. Mg2Si 298,15-6000 -3597,75335 -15,075 s Al-Si 01.DB298,15-6000 -478779 -2006,084 sjanaf.DB

379. Mg2Si04 298,15-6000 -478779 -2006,084 s METALL.DB '298,15-6000 -479913 -2010,835 sjanaf.DB

380. MgAl204 298,15-6000 -479913 -2010,835 s METALL.DB298,15-6000 -338288 -1417,427 sjanaf.DB

381. MgSi03 298,15-6000 -338288 -1417,427 s METALL.DB

382. Mn 298,15-6000 3074,29 12,88 s METALL.DB

383. Mn3C 298,15-6000 1290,63 5,41 s METALL.DB

384. MnSi 298,15-6000 -14173 -59,38 • s METALL.DB298,15-6000 47,218 0,198 sjanaf.DB

385. Na 298,15-6000 47,218 0,198 s METALL.DB298,15-6000 -246572 -1033,137 sjanaf.DB

386. Na2C03 298,15-6000 -246572 -1033,137 s METALL.DB298,15-6000 -81143,2 -339,99 sJanaf.DB

387. Na20 298,15-6000 -81143,2 -339,99 s METALL.DB298,15-6000 -298239 -1249,621 sJanaf.DB

388. Na2S04 298,15-6000 -298239 -1249,621 s METALL.DB298,15-6000 -549860 -2303,913 sJanaf.DB

389. Na2Si205 298,15-6000 -549860 -2303,913 s METALL.DB298,15-6000 -341385 -1430,403 sjanaf.DB

390. Na2SiO-! 298,15 -6000 -341385 -1430,403 s METALL.DB298,15-1263 -576367 -2414,978 s dump.DB

391. NaFeSi206 298,15-1263 -576367 -2414,978 s Yokokawa.DB

392. Ni 298,15-3600 3349,66539 14,035 s METALL.DB

393. Si 298,15-6000 9757,648184 40,88 s Al-Si 01.DB298,15-6000 -203205 -851,429 sJanaf.DB

394. Si02 298,15-6000 -203205 -851,429 s METALL.DB298,15-6000 2662,58 11,156 sJanaf.DB

395. Ti 298,15-6000 2662,58 11,156 s METALL.DB298,15-6000 -321779 -1348,254 sJanaf.DB

396. Ti203 298,15-6000 -321779 -1348,254 s METALL.DB298,15-6000 -520560 -2181,146 sJanaf.DBtí3o5 298,15-6000 -520560 -2181,146 s METALL.DB298,15-6000 -729487 -3056,551 sJanaf.DB

397. Ti407 298,15 -6000 -729487 -3056,551 s METALL.DB298,15 -6000 -26669,4 -111,745 sJanaf.DB

398. TiC 298,15-6000 -26669,4 -111,745 s METALL.DB298,15-6000 -112843 -472,812 sJanaf.DB

399. TiO 298,15 -6000 -112843 -472,812 s METALL.DB298,15-6000 -202037 -846,535 sJanaf.DB

400. Ti02 298,15-6000 -202037 -846,535 s METALL.DB