автореферат диссертации по электронике, 05.27.02, диссертация на тему:Регенерация мощных электровакуумных приборов

ВВЕДЕНИЕ.

1. Особенности производства и применения мощных ЭВП. Проблемы и принципы регенерации.

1.1. Основные характеристики и сферы применения мощных ЭВП.

1.2. Конкурентная способность мощных ЭВП СВЧ.

1.3. Технологические особенности вакуумного приборостроения.

1.4. Проблема надежности и качества мощных ЭВП.

1.5. Проблемы и перспективные направления технологического проектирования.

1.6. Проблемы и принципы регенерирования.

4.1. Структура производственно-технологического комплекса.118

4.2. Результаты внедрения.126

4.3. Основные выводы и результаты.132

ЗАКЛЮЧЕНИЕ.134

Список литературы.138 4

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность. Основным элементом целого ряда радиоэлектронных устройств являются мощные электровакуумные приборы (ЭВП): генераторные и модуляторные лампы, тиратроны, СВЧ-приборы. Эти приборы определяют основные тактико-технические данные, массо-габаритные параметры радиоэлектронных систем вооружения, радио- и телепередающей аппаратуры, соответствующего технологического оборудования. Большой вклад в теорию и конструирование электровакуумных приборов внесли выдающиеся отечественные и зарубежные ученые (И.А. Бонч-Бруевич, Н.Д. Папалекси, П.Л. Капица, М.М. Богословский, Н.Д. Девятков, B.C. Лукошков, С.А. Зусмановский, Л.А. Вайн-штейн, Дж. Пирс, Дж. Роу, Р. Компфнер, бр. Вариан, Ваген, Л. Брилуэн, В.Ф. Коваленко, И.В. Лебедев, В.А. Солнцев, С.И.Бычков, Н.М. Советов, Э.А. Гель-вич, Ю.А. Кацман, С.Д. Гвоздовер, М.А. Фурсаев, Я.А. Старец, Д.М. Петров и многие другие.)

Весь цикл разработки приборов и их производства является весьма сложным и дорогостоящим. В конструкциях используются дорогостоящие материалы и сплавы, в том числе драгоценные (медь, серебро, ковар, тугоплавкие металлы, редкоземельные элементы и др.). Технологические операции требуют значительных энергозатрат, связанных также и с получением технологических сред: водорода, азота, деионизованной воды и т.п. При этом в технологическом производстве имеют место значительные потери, связанные со скрытыми дефектами материалов, малоизученностью процессов и факторов. Многие технологические процессы требуют высококвалифицированного исполнения, трудоемки, не поддаются автоматизации и механизации.

В силу указанных причин, одной из самых актуальных задач электровакуумного приборостроения является проблема снижения затрат на производство и себестоимости изделий с одновременным повышением надежности, качества, долговечности приборов. 5

Как правило, основные пути решения этой проблемы связаны с разработкой новых и дальнейшим совершенствованием традиционных технологических процессов и производственных структур. Значительные успехи в этом направлении достигнуты благодаря многолетним усилиям большого отряда специалистов и ученых электронной промышленности, вузов, НИИ, РАН (Д.Н. Де-вятков, С.И. Ребров, Н.В. Черепнин, В.Ф.Коваленко, В.Н.Батыгин, В.П. Марин, Б.Ч. Дюбуа, А.К. Михалев, Б,В. Павлов, В.С.Прилуцкий, В. . Прокофьев, Б.Ф. Чугунов, С.С. Дроздов, В.А. Смирнов, В.К. Ерошев, Г.В. Конюшков, А.Х. Тур-нер, Ю.И. Киреев, В.Б. Рабкин, С.Г. Брук и многие другие).

Вместе с тем, как свидетельствует накопленный значительный исследовательский и производственный опыт, имеется достаточно радикальный путь решения указанной проблемы, а именно путь, связанный с принципом регенерации (реставрации) узлов и изделий.

Идея регенерации известна достаточно давно и в той или иной степени эпизодически реализовывалась на многих предприятиях электровакуумной промышленности. Однако публикации по этой важнейшей научно-технической проблеме по существу отсутствуют. Это мешает обобщить имеющийся теоретический и экспериментальный материал, сделать его достоянием заинтересованных предприятий и специалистов - и таким образом задействовать мощнейший резерв, таящийся в возможностях восстановления узлов и изделий.

Целью данной работы является:

Обоснование возможности и целесообразности проведения работ по вторичному использованию деталей, узлов и других элементов конструкции мощных электровакуумных приборов (на основе физико-химического анализа их параметров до и после регенерации);

Систематизация методов и разработка промышленных технологических процессов регенерации (реставрации) узлов и изделий ЭВП. Разработка оптимальной производственно-технологической системы регенерации изделий и ее внедрение в промышленное производство. 6

Научная новизна:

1. Впервые обоснована и сформулирована общая проблема регенерации мощных ЭВП, включающая задачу выделения узлов из готового прибора, задачу анализа их физико-химических свойств до и после эксплуатации и регенерации, задачу создания цикла специальных технологических процессов, реализующих регенерацию в условиях серийного производства.

2. Впервые систематизированы и обоснованы: общая методологическая концепция, базовые этапы, общая схема и структура регенерационного цикла (реставрации) мощных электровакуумных приборов (ЭВП), позволившие найти комплексное и экономически эффективное решение поставленных проблем.

3. Впервые на основе сравнительного теоретического и экспериментального анализа (включая металлографический и рентгеноспектральный) узлов ЭВП после эксплуатации и регенерации обоснован и сформулирован перечень основных узлов и элементов мощных ЭВП, допускающих регенерацию: медные анодные блоки, металлокерамические и металлостеклянные изоляторы, магнитные системы, катодные и катодно-сеточные узлы и др.

4. Впервые разработаны специальные технологические процессы и операции промышленной регенерации основных узлов мощных ЭВП: анодного блока, магнитной системы, металлокерамических узлов и деталей, катодного или катодно-сеточного узла.

5. Впервые предложены конструктивно-технологические решения, обеспечивающие уже на стадии проектирования и модернизации приборов эффективность потенциальной регенерации.

6. Впервые разработана производственно-технологическая структура промышленной реализации процессов регенерации узлов и изделий, являющаяся неотъемлемой частью общей системы управления и функционирования предприятия и охватывающая все этапы схемы «наука - производство»: от задания на разработку и проведения исследований до внесения изменений в тех7 ническую, планово-распорядительную документацию и выпуска готового изделия.

Достоверность результатов диссертации. Достоверность основных выводов диссертации обеспечивается и подтверждается результатами экспериментальных исследований (в том числе металлографических и рентгеноспек-тральных), многолетним успешным опытом серийного выпуска регенерированных по созданным технологиям мощных электровакуумных приборов различных модификаций, показавших высокую надежность и долговечность в эксплуатации.

Практическая значимость работы:

Разработаны общая методологическая концепция, принципы и этапы регенерации мощных электронных приборов.

Разработан и обоснован цикл технологических процессов, обеспечивающих регенерацию основных узлов мощных ЭВП: анодных блоков, керамических узлов, магнитных систем, катодно-сеточных узлов.

Разработана и внедрена производственно-технологическая структура, обеспечивающая решение всех технических задач регенерации в схеме «наука - производство», а также решение экономических и социальных проблем предприятия. Результаты и рекомендации диссертации внедрены в производство ГШ 111 «Контакт», что позволило за последние годы провести регенерацию многих сотен приборов различных типов: МГЛ, магнетронов, ЛБВ, клистронов, вакуумных дугогасительных камер.

На защиту выносятся:

Общая методологическая концепция, основные принципы и этапы регенерации электронных приборов.

Результаты анализа теоретических и экспериментальных исследований, обосновывающие принципиальную возможность вторичного использования основных узлов приборов: анодного блока, магнитной системы, керамических изоляторов, катодного узла. 8

Цикл технологических процессов регенерации анодных систем, магнитных систем, керамических изоляторов, катодных узлов - мощных ЭВП.

Производственно-технологическая структура, реализующая внедрение в серийное производство предложенной концепции, разработанных технологических процессов, выпуск регенерированных приборов в тесной и глубокой связи с функционированием предприятия в целом

Результаты исследований, а также широкий круг мощных ЭВП, успешно выпускаемых по разработанным регенерационным технологиям открывают перспективу распространения предложенных методологических принципов и решений на другие типы электронных приборов.

Исследования по теме диссертации выполнены в соответствии со следующими целевыми Федеральными программами: «Развитие электронной техники в России», «Создание технических средств связи, телевидения и радиовещания», «Реструктуризация и конверсия оборонной промышленности», «Национальная технологическая база» и др.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались на научно-практических конференциях и заседаниях научно-технического Совета ГШ 111 «Контакт», Совете директоров предприятий электронной промышленности, заседаниях Высшего экономического Совета при губернаторе Саратовской области, на IV семинаре IEEE Saratov-Penza Chapter, Рабочем совещании правительственной делегации РФ во главе с вице-премьером И.И. Клебановым с директорами крупнейших промышленных предприятий г. Саратова, семинарах кафедр СГТУ и изложены в 11 публикациях, в том числе одной монографии.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы. Работа изложена на 145 страницах, содержит 50 рисунков, список литературы состоит из 91 наименования.

4.3. Основные результаты и выводы

Разработана и внедрена производственно-техническая структура регенерации мощных ЭВП, являющаяся неотъемлемой частью общей системы функционирования и управления предприятием, включающая все этапы создания готового продукта: от задания на разработку, проведения экспериментальных и теоретических исследований, до выдачи конструкторско-технологической серийной документации, - и в конечном итоге изготовления и сбыта продуктов.

Результаты функционирования указанной структуры убедительно подтверждают ее целесообразность и эффективность. За последние годы предприятием выпущены сотни электровакуумных приборов различных модификаций и классов, использующих регенерированные детали и узлы. Проценты выходов регенерированных приборов и проценты рекламаций от потребителя соответст

133 вуют установленным требованиям. При этом во многих случаях регенерированные приборы имеют в 2 - 2,5 раза большую долговечность и надежность.

Дополнительные и весьма существенные положительные стороны функционирования созданной производственно-технологической системы регенерирования связаны со значительной экономией материалов и энергоресурсов, расширением технологической базы предприятия, совершенствованием средств и методов контроля, решением важнейших социальных проблем.

Результаты внедрения свидетельствуют о целесообразности и перспективности широкого распространения методов и средств регенерации и на другие классы электронных приборов.

134

Заключение

В данном разделе кратко изложены и обсуждены основные итоги, результаты, выводы, практические рекомендации, полученные в диссертации, а также перспективы дальнейшего развития методов и средств регенерации.

Мощные электровакуумные приборы, включая приборы СВЧ, продолжают, как и ранее, оставаться существенно востребованными практически во всех сферах науки и техники [12, 83-87 и др.]: электроника, телевидение и радиовещание, радиоэлектронные системы, гражданского и военного применения, медицина, сельское хозяйство, бытовая техника, ускорительная техника и т.д. Ниша, занятая мощными ЭВП, имеет устойчивую тенденцию к расширению [см. например, 88-91 и др.]. Этому способствует , в частности, определенное оживление в секторе ВПК и наметившийся рост зарубежных заказов.

Технология электровакуумного приборостроения, сложившаяся в последние десятилетия как синтезированная во многом экспериментальная научная дисциплина (использующая достижения в различных областях физики, химии и т.д.), имеет несомненные точки роста, которые связаны, в частности, с применением современных компьютерных средств, новых материалов и сплавов, принципиально новых измерительных устройств [например, 81, 82], и вышедшими по актуальности на первый план, задачами регенерации.

В работе систематизированы и сформулированы основная методологическая концепция, проблемы, принципы и этапы регенерации, заключающиеся, в частности, в необходимости определения на основе соответствующего физико-химического анализа перечня пригодных для регенерации узлов по каждому типу приборов, в разработке цикла технологических процессов регенерации для узлов и приборов, создании производственно-технологической структуры, способной в рамках действующего предприятия согласованно реализовывать все этапы регенерационного цикла (от проведения исследований до выпуска готового изделия).

135

Проанализировано влияние электронных, теплофизических и химических факторов в рабочих режимах ЭВП на состояние анодных систем: постоянный и импульсный нагрев, электронная эрозия рабочей поверхности, напыления на электроды. Полученные теоретические оценки указывают на существенный запас анодных блоков по длительности времени сохранения термомеханической прочности, в том числе, с учетом времени первичной эксплуатации.

Проведенный металлографический анализ шлифов в местах важнейших спаев и соединений, а также рентгеноспектральный анализ напылений на рабочей поверхности анодных систем после эксплуатации, до и после применения регенерационных технологий, также свидетельствуют о возможности и целесообразности регенерации анодов.

Проведены исследования состояния металлокерамических узлов и соединений, прошедших эксплуатацию и представляющих интерес с точки зрения задач регенерации. Эксперименты, проведенные с применением растровой электронной микроскопии (РЭМ) и качественного рентгеноспектрального микроанализа на установке «КАМЕБАКС» (до и после проведения предложенной в работе технологии регенерации) показали возможность полного устранения нежелательных напылений и подтвердили возможность вторичного использования большинства керамических узлов.

Качественный анализ физико-химических процессов, протекающих в катодах ЭВП, а также накопленный экспериментально-производственный опыт, указывают на невозможность вторичного использования катодов ввиду необратимого характера потери ими эмиссионных свойств в подавляющем большинстве прошедших эксплуатацию приборов. Вместе с тем, другие элементы катодных узлов, в частности, несущая конструкция катодной ножки, могут быть использованы вторично.

Известный теоретический и экспериментальный материал (в том числе полученный на ГНПП «Контакт») по магнитным свойствам прошедших эксплуатацию магнитных систем МФС и МПФС для различных видов ЭВП свиде

136 тельствует о возможности практически 90 - 100 % их регенерации и вторичного использования.

Разработана и внедрена в серийное производство технология регенерации анодных систем для различных типов мощных ЭВП (МГЛ, магнетронов, ЛБВ, клистронов и др.), важными этапами которой являются: осторожное механическое отделение анодного блока, различные способы очистки от нежелательных напылений, компаунда, снятие и нанесение вновь защитных покрытий, и итоговая проверка на «холодных» измерениях.

Разработана и внедрена в серийное производство технология регенерации керамических узлов и деталей ЭВП, основными этапами которой являются: механическая обработка, обезжиривание, растворение припоя, удаление напылений и развитая система контрольных операций на термо-механопрочность, электропрочность, вакуумную плотность.

Предложена также новая технология очистки керамических узлов от металлизации с помощью галлия.

Разработана и внедрена в серийное производство технология регенерации магнитных систем с основными операциями размагничивания, намагничивания и магнитной стабилизации. Для приборов О-типа необходимой (основной) операцией является также освобождение от компаунда в растворе мети-ленхлорида.

Предложены конструктивно-технологические решения, обеспечивающие уже на стадии проектирования и модернизации приборов возможность при необходимости успешной регенерации основных узлов ЭВП в будущем. В частности, к подобным решениям относятся: увеличение припусков на кромки деталей для сварки, введение дополнительных резьбовых отверстий для крепления катодных и сеточных стоек, замена паяных соединений на сварные и ряд других.

Разработан и внедрен производственно-технологический комплекс регенерации мощных ЭВП, являющийся неотъемлемой частью общей системы

137 функционирования и управления предприятием, охватывающий все этапы создания готового продукта: от задания на разработку, проведения экспериментальных и теоретических исследований, до выдачи конструкторско-технологической серийной документации, - и в конечном итоге изготовления и сбыта продуктов.

Результаты функционирования указанной структуры убедительно подтверждают ее целесообразность и эффективность. За последние годы предприятием выпущены сотни электровакуумных приборов различных модификаций и классов, использующих регенерированные детали и узлы. Проценты выходов регенерированных приборов и проценты рекламаций от потребителя соответствуют установленным требованиям. При этом во многих случаях регенерированные приборы имеют в 2 - 2,5 раза большую долговечность и надежность.

Весьма существенные положительные стороны функционирования созданной производственно-технологической системы регенерирования связаны со значительной экономией материалов и энергоресурсов, расширением технологической базы предприятия, совершенствованием средств и методов контроля, решением важнейших социальных проблем.

Проведенные экономические оценки по всем типам выпускаемых изделий показывают, что в среднем суммарные затраты на регенерированные изделия составляют порядка 70 % от суммы затрат на аналогичные новые изделия.

Как представляется, приведенные выше результаты внедрения, свидетельствуют о достаточно высокой эффективности изложенных в работе методических и технических решений. Можно ожидать, что перспективы совершенствования регенерационного цикла ЭВП связаны с дальнейшим развитием методологии физико-химического анализа состояния регенерированных узлов приборов, разработкой новых высокоэффективных технологических процессов, установок и материалов, накоплением и дальнейшим обобщением опыта регенерации.

138

1. Девятков Н.Д. Электровакуумные приборы. К истории развития // Электронная техника. Сер. «СВЧ-техника». 1995. - Вып. 1. - С. 5.

2. Кукарин C.B. Электронные приборы. СВЧ-приборы: 2-е изд., доп. М., 1981.

3. Каганов И.Л. Ионные приборы. М., 1972.

4. Кацман Ю.А. Электронные лампы: 3-е изд.- М., 1979.

5. Мощные электровакуумные приборы СВЧ/ под ред. Клэмпитта. Пер. с англ.-М., 1974.

6. Хайков А.З. Клистронные усилители. М., 1974.

7. Лебедев Н.В. Техника и приборы СВЧ: 2-е изд. т.2. М.,1972.

8. Бычков С.Н. Вопросы теории и практического применения многорезонаторных магнетронов. ЛКВВИА им. А.Ф.Можайского, 1958.

9. Капица П.Л. Электроника больших мощностей. М.: Изд-во АН СССР, 1962.

10. Ю.Подъяпольский Б.А., Попов В.К. Импульсные модуляторные лампы. М., 1967.

11. П.СВЧ-энергетика. Применение энергии сверхвысоких частот в промышленности/ пер. с англ. Под ред. Э.Д. Шлифера. М.: Изд-во «Мир», 1971.-272 с.

12. Семенов A.C., Байбурин В.Б. СВЧ-энергия и ее применение (монография) -Саратов, Изд-во СГУ, 1999. 130 с.

13. Викулов И.К. Зарубежная СВЧ-электроника в условиях изменяющейся политико-экономической ситуации // Электронная техника. Сер. «СВЧ-техника». Вып. 5 (449). - 1992. - С. 3.

14. Кочетова В.А. и др. Радиотехника и электроника. 1981. - т. 26. - Вып. 1. -С.132.139

15. Царев В.А., Семенов A.C. Перспективы применения клистронов в качестве мощных усилителей модулированных колебаний в телевизионных передатчиках УВЧ-диапазона // Доклады Российский академии естественных наук, Саратов, 1999. № 1 - С. 153.

16. Цейтлин М.Б., Кац А.М. Лампа с бегущей волной. М.: Сов. радио, 1964.

17. Леопольд Дж. Угрожает ли вымирание мощным электровакуумным приборам? // Электроника. 1985. - № 15. - С. 73-75.

18. Савин В.Б., Кузьмина В.Г. Развитие и применение вакуумных приборов СВЧ в зарубежных странах // Радиоэлектроника за рубежом. № 6. - 1990. - С. 55 -73.

19. Гуляев Ю.В., Семенов A.C., Яфаров Р.К. Саратовская региональная научно-техническая программа по твердотельной электронике и микроэлектронике // Электронная промышленность. 1999. - № 4. - С. 4 - 7.

20. Семенов A.C., Яфаров Р.К. Формирование научно-технического потенциала регионов РФ и мировой опыт. Саратовский филиал ИРЭ РАН. ГНПП «Контакт». Саратов, 1998. - 50 с.

21. Пивоваров Г.Я. Технологические процессы электровакуумного производства. М.: Энергия, 1964. - 304 с.

22. Черепнин Н.В. основы очистки обезгаживания и откачки в вакуумной технике. М.: Изд-во «Сов. радио», 1967. - 408 с.

23. Коваленко В.Ф. Теплофизические процессы и электровакуумные приборы. -М.: «Сов. радио», 1975, 215 с.

24. Голант М.Б., Маклаков A.A., Шур М.Б. Изготовление резонаторов и замедляющих систем электронных приборов. М.: Изд-во «Сов. радио», 1969.-408 с.

25. Попов В.К. Некоторые вопросы теории электронной технологии // Электронная техника. Сер. 1 «Электроника СВЧ», 1970. Вып. 4. - С. 109.140

26. Батыгин В.Н. Высокотемпературные материалы -диэлектрики. Свойства и перспективы применения в электронной технике // Электронная техника. Сер. 1 «Электроника СВЧ», 1970. Вып. 4. - С. 98.

27. Арапов Д.Г., Воробьев B.C., Дюбуа Б.Ч., Кашлев А.Б. и др. Технологические аспекты вакуумного приборостроения // Электронная техника. Сер. «СВЧ-техника», 1993. № 1. - С. 57.

28. Королев А.Н., Зайцев С.А., Сазонов В.П. «Исток» научно-производственный центр СВЧ-электроники России // Электронная техника. Сер. «СВЧ-техника», 1993. - № 1. - С. 5.

29. Повышение надежности электронных приборов СВЧ в процессе их производства / Под ред. С.И. Реброва. Изд-во НПО «Исток», 1968.

30. Прохоров JI.H. Стеклоцементы в конструкциях ЭВП // Электронная техника. Сер. «Электроника СВЧ». 1972. - Вып. 7. - С. 90.

31. Николаев Г.А., Ольшанский H.A. Специальные методы сварки. 2-е изд. -М., 1975.

32. Сварка в СССР. Т. 2. М., 1981.

33. Стельмах М.Ф., Тимофеев А.П., Чельный A.A. // Электронная промышленность. 1976. - № 1. - С. 53 -55.

34. Казаков Н.Ф. Диффузионная сварка материалов. 2-е изд. М., 1976.

35. Бацев В.И. Проблема создания высоконадежных ЭВП СВЧ // Электронная техника. Сер. «Электроника СВЧ». 1982. - Вып. 12.

36. Ипполитов JI.A., Пономарева З.И. Изготовление деталей из меди фотохимическим фрезированием // Электронная техника. Сер. 1 «Электроника СВЧ». 1979. - Вып. 11. - С. 75.

37. Байбурин В.Б., Умнов Г.А., Кутенков Р.П. Методы планируемого эксперимента и их применение: Обзоры по электронной технике. М.: ЦПИИ «Электроника». - Сер, 1 «Электроника СВЧ». - 1975. - 134 с.

38. Семенов A.C., Байбурин В.Б. Проблемы и опыт регенерации мощных электронных приборов // Машинное проектирование в прикладной141электродинамике и электронике: Труды 4-го рабочего семинара IEEE Saratov-Penza Chapter. Саратов, 2000. - С. 15.

39. Ерошев В.К., Козлов Ю.А., Павлова В.Д. Конструирование и технология изготовления паяных металлокерамических узлов. Часть 2. Расчет и конструирование металлокерамических узлов: Справочные материалы. М.: ЦПИИ «Электроника», 1988. - 190 с.

40. Nolte H.J., Spurch R.F. Metal ceramic sealing with manganese // Television Eng. 1950. № 1 (11).-P. 14.

41. Батыгин B.H., Метелкин И.И., Решетников A.M. Вакуумно-плотная керамика и ее спаи с металлами. М.: Энергия, 1967.

42. Батыгин В.Н., Бравинский В.Г. Контроль качества диэлектрических изделий электронной техники // Электронная промышленность. 1982. - Вып. 1 (107). С. 48.

43. Бовкун JI.H., Павлова М.А., Корягина И.А. Керамика на основе окиси бериллия и ее соединение с металлом // Электронная техника. Сер. 1 «Электроника СВЧ». 1977. - Вып. 3. - С. 71.

44. Hsien-Yang Ylen and Hen-Gene Yeh/ failure Analysis of ceramic Feedthroughs used in traveling-wave tubes // IEEE Transactions on Electron devices. Vol. ED-34. № 8. - August 1987. - P. 1862

45. Павлова M.A., Кручинин В.П., Корягина И.Л. Соединение высокотеплопроводных диэлектриков с металлами // Электронная техника. Сер. СВЧ-техника. 1992. - Вып. 6 (450). - С. 48.

46. Ерошев В.К. Металлокерамические вакуумно-плотные конструкции. Сер. Электронное материаловедение. М.: Энергия, 1970. - 160 с.142

47. Семенов A.C. Особенности технологии регенерации керамических узлов мощных ЭВП // Межвуз сб. «Функциональные электродинамические системы и устройства, линии передач СВЧ». Саратов: СГТУ, 2000. - С. 71.

48. Мельников Ю.А. Постоянные магниты электровакуумных приборов СВЧ. -М.: Изд-во «Сов. радио», 1967. 183 с.

49. Несбитт Е., Верник Дж. Постоянные магниты на основе редкоземельных элементов. -М.: Мир, 1977. 168 с.

50. Преображенский A.A. Магнитные материалы и элементы. М.: «Высшая школа», 1976. - 335 с.

51. Коген-Далин В.В. Расчет и испытание систем в постоянных магнитах. М.: Энергия, 1977.-247 с.

52. Ягола Г.К., Спиридонов Р.В. Измерение магнитных характеристик современных магнитотвердых материалов. М.: Изд-во стандартов, 1989. -196 с.

53. Физические величины: Справочник / Под ред. И.С.Григорьева, Е.З. Мейлихова. -М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с.

54. Вонсовский С.А. Магнетизм. -М.: «Наука». Глав. ред. физ.-мат. литературы, 1984.-208 с.

55. Миткевич A.B. Стабильность постоянных магнитов. Д.: «Энергия», 1971. — 128 с.

56. Пасынков В.В. Сорокин B.C. Материалы электронной техники. 2-е изд. М., 1986.

57. Мишин Д.Д. Магнитные материалы. М., 1981.143

58. Дюбуа Б.Ч. Современные эффективные катоды // Радиотехника. 1999. - № 4.-С. 55.

59. Зубов JI.H., Потапов Ю.А., Смирнов В.А. Технология покрытия губчатых оксидных катодов плазменным методом // Электронная техника. Сер 1 «Электроника СВЧ». 1969. - Вып. 12. - С. 128.

60. Вирин Я.Л., Дюбуа Б.Ч. Эмиссионные свойства металлокерамических катодов на основе осмия // Изд-во АН СССР. Сер. физическая, 1979. т. 43. № 3. - С. 662.

61. Дюбуа Б.Ч., Ермолаев Л.А., Култашев O.K. Эмиссионные свойства сплавов Pt Th, Ir - Th, Os - Th, Re - Th // Радиотехника и электроника. - 1966. - т. 11. - № 6. -Сс. 11-49.

62. Ильин В.Н., Есаулов Н.П., Казаков А.П. Электронная эмиссия сплавов платины и палладия с металлами второй группы // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1971. - Вып. 4. - С. 138.

63. Гуляев Ю.В., Синицын Н.И., Горгашов Г.В. и др. Нанотрубные углеродные структуры новый материал эмиссионной электроники // Микроэлектроника. Вакуумная микроэлектроника. - 1997. - т. 26. - № 2. - С. 84.

64. Голеницкий H.H., Кудинцева Г.А., Олихова И.М. Особенности формирования электронного потока эмитируемого матричным автоэмиссионным катодом // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1985. - Вып. 8 (380). - Сс. 39 - 45.

65. Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. М.: Сов. радио, 1973.

66. Кауфман М.С., Палатов К.Н. Электронные приборы. М.: Энергия, 1970.

67. Фогельсон Т.Б., Бреусова Л.М., Вагин Л.Н. Импульсные водородные тиратроны. -М., 1974.

68. Силин P.A., Сазонов В.П. Замедляющие системы. -М.: Сов. радио, 1966.144

69. Тараненко З.И., Трохименко Я.К. Замедляющие системы. Киев: Техника, 1965.

70. Замедляющие системы: Обзоры по электронной технике Под ред. Р.А. Силина. Ч. I и II. ЦПНИИ «Электроника». - 1972. - Вып. 1 (53).

71. Электронные сверхвысокочастотные приборы со скрещенными полями / Пер. с англ. под ред. М.М. Федорова. Т. I, II. Изд-во ИЛ, 1961.

72. Захаров М.И. Нагрев тела импульсным электронным потоком // Электронная техника. Сер 1. 1971. - Вып. 1. - Сс. 12 - 22.

73. Хмара В.А. К вопросу о долговечности материала анода мощных импульсных электронных приборов // Электронная техника. Сер 1. 1971. — Вып. 1.-Сс. 77-82.

74. Белинская Г.В., Вадрик Г.А. Технология электровакуумной и радиотехнической керамики. М., 1977.

75. Семенов А.С. Вопросы конструкторского обеспечения регенерации узлов мощных ЭВП // Машинное проектирование в прикладной электродинамике и электронике: Труды 4-го рабочего семинара IEEE Saratov-Penza Chapter. -Саратов, 2000. С. 134.

76. Семенов А.С. Производственно-технологическая схема регенерационного цикла мощных электронных приборов // Межвуз сб. «Функциональные электродинамические системы и устройства, линии передач СВЧ». -Саратов: СГТУ, 2000. С. 74.

77. Байбурин В.Б., Семенов А.С., Волков Ю.П. Универсальный комплекс сканирующей зондовой микроскопии // Заводская лаборатория. 2000. - Т. 66.145

78. Байбурин В.Б., Волков Ю.П., Коннов Н.П. Многофункциональный комплекс сканирующей зондовой микроскопии и его применение. Саратов: Изд-во СГУ, 1998.- 130 с.

79. Архангельский Ю.С., Девяткин H.H. Сверхвысокочастотные нагревательные установки для интенсификации технологических процессов. Саратов, 1983.

80. Архангельский Ю.С. СВЧ-электротермия. Саратов, 1998.

81. Семенов A.C., Терентьев Г.Г., Семенов В.К. и др. Разработка, производство и применение СВЧ-энергии. Технологические процессы на их основе / научно-технический отчет. Саратов: ГНПП «Контакт», 1998.

82. Сатаров И.К., Комаров В.В. Микроволновые устройства с бегущей волной для термообработки диэлектрических материалов: Учебное пособие. -Саратов, 2000.-117 с.

83. Явчуновский В.Я. Микроволновая и комбинированная сушка: Физические основы, технологии и оборудование Саратов: Изд-во Сарат. гос. ун-та, 1999. -.-211 с.

84. Вайман A.B., Майоров М.В., Мирошниченко А.Ю., Царев В.А. Многоуровневые клистроды для нового поколения телевизионных передатчиков // Электронная промышленность. 1999. - № 4. - С. 8.

85. Милютин Д.Д., Шалаев П.О., Попков В.А. и др. Новые ЛБВ для ретрансляторов космических аппаратов // Электронная промышленность. -1999.- №4. -С. 9.

86. Кудряшов В.П., Кузьмин Ф.П., Рафалович А.Д. и др. Новые широкополосные ЛБВ импульсного и непрерывного действия // Электронная промышленность. 1999. - № 4. - С. 10.

87. Легост О.В., Дорошев К.Н. Комплектные распределительные устройства 6 -10 кВ с вакуумными выключателями // Электронная промышленность. -1999.-№4.-С. 52.