автореферат диссертации по электронике, 05.27.03, диссертация на тему:Разработка радиоэлектронной аппаратуры и методов исследования и электрофизических свойств материалов электронной техники

Міністерство освіти України Чернівецький державний університет .. „ ім. Юрія Федьковича

.'; о о ¡І '

- бш

На правах рукопису

ЖУК Олег Павлович

РОЗРОБКА РАДІОЕЛЕКТРОННОЇ АПАРАТУРИ, Й МЕТОДИК ДОСЛІДЖЕННЯ ЕЛЕКТРО ТА ТЕПЛОФІЗИЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ МАТЕРІАЛІВ ЕЛЕКТРОННОЇ ТЕХНІКИ ,

05.27.03 — Технологія, обладнання та виробництво матеріалів і пристроїв електронної техніки

Автореферат

дисертації на здобуття наукового ступеня

' кандидата технічних наук

Чернівці - 1997

Дисертацією є рукопис.

Дисертація виконана на кафедрі радіотехніки Чернівецького державного університету ім. Юрія Федьковича.

Наукоьї керівники: - доктор технічних наук, професор

Політанський Л.Ф.;

- кандидат фіз.-мат. наук, доцент Брайловський В.В.

Офіційні опоненти: - доктор технічних наук,

Ащеулов A.A.;

- кандидат фіз.-мат/ наук, доцент,

Зав’ялець О.Г.

Провідна установа: - Чернівецький іне^итут проблем

.матеріалознавства АН України

Захист дисертації відбудеться " Зґ“ •¿''’З 1997 р. о /А> годині

ка засіданні спеціалізованої рали К 07.02.01 при Чернівецькому держ-уіїїг :рситеті ім. Ю.Федьковича (274012, Чернівці, вул.Коцюбинського, 2).

З дисертацією можна ознайомитися в науковій бібліотеці Чернівецького державного університету ім. Юрія Федьковича

Автореферат розіслано [ 997 р

’ Bl! г

Відгуки на автореферат просимо направляті^ мр. адресу:

274012, м.Чернівці, вул.Коцюбинського, 2, наукова частина Чернівецькогс державного університету

Вчений секретар спеціалізованої ради ищвдидат фіз.-мат. наук, доцент

Гудима Ю.В.

Актуальність теми. На виміри, шр іміконуїоться в наукових дослютеїтях та іитобнтігм, прппаляг не мстпе леечтет дот суспігг»>»км прані. А в Оагап.ох »»палках, наприклад «ги !н' !ро(пн, вироСмтиві, ¡i екпінуаіііції радкюіскфішної аґіо космічної іехнікИ. їх пасіка іклздас ноловшіу jsdx лпраі. Tomv рівень ниміркшальної кхніки ciat одним а ііа Зважливіш и.ч критеріїв наукоііо-ісхиі'шоїо ироіресу. -

Сучасна приладобудівна промисловість не іаґ'езпечуе ротроЬкн та випуску m«t»anhwwHwx iqwnvti« лля декчідакдащ класі«nocrdf матеріалів

WICKIpuHtKH ІСХПІКП .

Виходячи .і них міркувань можна вважати актуальним питання' розробки комплексу апаратури приличеноі для дослідження властивостей матеріалів електронної тсг-ніки.

Історіч «сптпку Hujrn і техніки свідчить, що їх прогрес нерозривно пов'яізннй і мпжтткоамми ідійснеиня н досконалі істто яимірія. Відомі приклади, коли створення нового приладу викликало глибокі зміни в роївн гк> цілих галузей науки. З іншого боку, поява невнх областей науки й тездіки обов'язково викликає інтепсігану розробку иопнх методів та засобів шіміріорянь. .

Виміри чайм;ін>ть велику питому вагу в розробці радіоелектронної апаратури. Гтракунки Гіаіаіьок пристроїв лають іільки «ріиповиі дані, а реальні режими й оптимальні параметри, характеристики, досягаються піше на основі експерименту. Дослідження втагалі ’ неможливі бет німірювалмюї апаратури, п чи Ліку * тям що бет неї неможливій не тільки сіпЬкістні, але й якістт атшігі досліджуваних явтн.

Подальші робот по метрології передбачені в гилуїі шекіроніїанн іасобіи вимірювань, комміїскстч аніоматміш, створені іиучких

нікчрамікміеіччіЛлиі одлльаннл. ин»іфіи»,шьііііх ишсм яіія рііиешіи рі ліочшііипі.ч шіііірюпацьші.ч задач л широким внкориочашші обчислювальної техніки.

Чігктт'оііпппія ?зсо<% тіміртч'.ппь рухат.ся п напрямку иипретіч ин/оОт <»\>ру даних чи керуванчя. ик'і х;»!>ііК‘і>>рк (уі'Чі.ся високого .і.иннісікі ііч уніфікації, нанкносгі не іиьки иимірківат-иих, шіе іі кцпіочих. каналій дії на иС'скг досліджень, а школ жркшши.ч нерепзоркт.лчі» - спеціальнії.'; пристроїв, призначених для псрсіиорсння неелектріпши: величин в, і^чег.тричігий сигнал. І Крениш перетпоркшачі семісно із схемами гйору дат«\ и керування гп'пргоюті. гмчкнугу гнучку ниміркчиин.но.ьч-рч к'чу СНС1ЄЧ\.

Провесіи фізичний внмір - но.іначіиь шіконаїн сукупність операцій, за допомогою якої тімірюпанШ фі лічиШ величині егшнт.ея 5 відповідність певне Число, отримане на основі вимірювані. н пов’язане з даною величиною деяким м-аешт'лС'Нич -мниктіком. Гупчіхо відмітиш, що довільні фізичні виміри нринцииопо не ГіуШНОГІ. абсолютно ТОЧНИМИ. Це в ношіііі мірі відноситься іі до '‘граничних" вимірів, при яких, вимірювані пеличшш одного порядку з існлоішмн (або квантовими) ф.'гуктуашямп, При цьому необхідно сказати ймовірну похибку вимірювань, яка завади мас місце, тоГ'іо пказлти інтервал п якому, із даним ступенем доеіовірноеії, знаходиться вимірювана фізична величина. '

Оцінка похибки вимірів в сучасних умовах - задача комплексна іі складна. Некоректна оцінка похибки може привести до великих економічних втрат, а інколи і технічних наслідки), неправильних висновків при наукових дослідженнях г.і внпробов^т.аинях нової техніки.

При проведені граничних вимірів починать проявлятись природні теплові флюкіуаміі. які оомежукчі- рівень чушивосіі довільною фінічно»о приладу.

В наш час засоби вимірювань, що застосовую! ьоі в електроніці і узагальнені ігд 'назвою радіовимірювальних приладів (І’НІІ), дпсягли дсеїпь міпчччх’ рівня розвімк) Копії, в Гчлииоеіі, чаюіь нанменші

похибки (порівнюючи Ь засобами вимірювання інших фізичних величин • електричних, мсханічннх, теплових та ін.). Крім того, розвиток засобів вимірювання фізичних величин неелектрпчиого характеру (довжини, маси, часу, температури, сцгти світла та ін.) за останні роки все більше наближується по принциповому та конструктивному виконанню до РВП: иеелектрична величина за допомогою вимірювальних датчиків пер створиться в електричну .(інколи в досить широкому діапазоні

частот), і в подальшому процес підсиленім, перетворення і регісірації вимірюваної інформації бігусплп на принципах та^мегодах електронних засобів вимірювань. Цей напрямок з найближчому майбутньому повинен отримати широке розповсюдження, тому що він дозволяє автоматизувати процес вимірш. уніфікувати та стандартизувати різні види засобів вимірювань, забезпечити метрологічну, конструктивну, інформаційну, енергетичну та експлуатаційну сумісність засобів вимірювань між собою і з об'єктами вимірів,.

Мегаї’Рбіши Метою дисертаційної роботи с розробка комплексу апараіурн д ія проведення досліджень електро та теплофізичних фізичних властивостей матеріалів, що використовуються * електронній техніці.

Задачі, що ставились в дисертації полягають в слідоючому:

1) розробити технологічну апаратуру апаратуру, призначену для виготовлення зразків досліджуваних матеріалів, а саме, цифровий іенератор пропорційно-часової напруги для програмного керування температурним режимом та установку для отримання тонких плівок методом високочастотного розпилення, генератор сигналів довільної форми для керування технологічною апаратурою.

2) розробитити комплекс апаратури для дослідження теплофізичних властиво.лей матеріалів.

3) розробити комплекс апаратури для дослідження електрофізичних властивостей матеріалів. В склад комплексу повинні входити:

- цифровий корректор вимірювача фізичних величин та програмне забезпечення дчя нього.

Î) розробиш комплекс апаратури дія проведення граничних шиї ¡ріг, властивостей чатфіялі« сгччоротич тоу.шти. що дозволлс rmiipionant слабкі еиінали мею.чнми синірпнніч пСірпОкм («*» фазової прик’мжм ;ю опорної маїїруї її. Дли інрінишя опорній он наліи ризрпГшш широкої муі уші» цифроипіі i.üiup.mpiitiii ф.иоіюіидла'і і_ььі напоголілмеі"ра.

Наукова новизна резупьигт. Н дисертаційній реготі вперше застосовані "мсто,їм' пінтромноі опойки енгнячіп сумісно з методами квадратурною Пг[Ч'іе.орсння, Орні інаимінм t рішення заїтосуваніМ дія корекції ічшірюїичінх величин ішфроміх исго/іш .) шікирнсганням репроірамоваїшх постійних, запа.ч'яіиючпх прпсіроїв. Викликай ішсрсс сумісне використання спектр о шт.'; ламп та інтегральнії.'! операційнії:: підешопачів в уетпііог.йі для знімання вольт. фарадшіч характеристик Розроблений ниніоний дагчнк перкмицеїш на підміну вія підочні ча< лінііішііі закон залежності зміни величніш t HtioLti від переміщення.

Прикіїїчна дінііісьроуош нол/uat в сторонні киШіла-ау приладів для дослідження властивостей илтеріалізТпектронної техніки. .. ■ Запропоновані в роботі цифропиіі Генератор лшніно зчмчоїочоїгз напруги, нідснліонач посі пшої о струму МДМ mitv і енеїеч<>ю синхронною іщегрування іа деіекіуииміїя. імніенин даічик переміщені, широким діапазоном пропорційності залежності ешііоіь-нерсміщишл можуть знайти застосування при розробці вимірювальних й технологічних систем. Ьлої; автоматичного керування процесом вимірювання теплоємності та система впиулітації дрейфа температури ”н;<чно Ііолеї шуюіь процес вимірювання зепж» иниі іі меючом аліаоаіичноні калориметра.

Розроблений ііаііоііольгмегр дозволяє проводиш шшірювашш слабких сигналів при фізичному експерименті. Н? відміну від icnyirnr: приладів він дозволяє виділяти з шумів сигнали, фаза якії*; невідома Д.",!

роботи наш;» і- tcrpa розроблений прицезійниіі широкосмуговий квадратурний фазоноверіач з використанням методів цифрової техніки. Для генерування періодичних сигналів довільної форми розроблений цифровий генератор п записом необхідної форми сигналу в постійний •ияпам‘тонуючий пристрій.

Дня усунення впливу нелінійноаі вимірювальних перетворювачів, ї'.плішу температури на результати вимірна, іощо, розроблений коректор вимірювача фізичних величии в якому таблиця корекції *дгшсуаься в постійний запам'ятовуючий пристрій. Для складання таблиці коррекції стчореио пігщовідие програмне "абезпечення.

Ї\гіроГиісна установка для вимірів C-V характеристик сугк во нонегшус проведення вимірів чапежності ємності двополюсників. ; кіп рик лад рп переходів, від прикладеної напруги.

Основні положення що виносяться на залчет:

Розроблені, сконструйовані установки та модифіковані (жаіеримешалг.иі методики дослідження теїшоечнопі, іепповото рошшрення.

Розроблений нановолнметр застосуванням методів синхронної обробки сигналу та квадратурного перетворення.

і використанням цифрових; мегодіп розроблений коректор вимірювача фізичних величин.

/

Пропонуються установка для вимірів волы - фарадннх харак-теристнк напівпровідникових сі руктур,

4іиі?§аш^ацс<®гщіійуоі_робот Основні результати дисертаційної роботи доповідались і обговорювались па слідуючи* парадах і конференція*: ЇХ Вге-сотот научно-техническая конф. по

чнкрочлекіроиике. 14 • 17 октября 1980 г.: (Качань, I9SÜ); Всесоюш. семинаре по гйшпяым нрнеингчан получения. (Москва, 1980р.); Ювілейній конференції І ОФ'93 (Ужгород, 1993р.); 1 Міжнародній

конференції “Ma ісріллі>ліавсгво хши-когкчілііпх і алМачоподібіпи н;ніівнроія;шш;іі'" (Чернівці, ІУ'.МрЛ; Науковій конференції викладачів,

співробітників та студен іів, присвяченій 120-річчю заснування

Чернівецького університету (Чернівці, 1995р.); Міжнародній школі-семінарі "Фізичні проблеми матеріалознавства напівпров!Діінків"(Чернівці, 1995р.).

Публікації. По мигеріашм дисертації опубліковано 12 робіт.

Об’л» Да^ГЕХШП?_Е0ёйП1-. Дисертацій складаються із вступу, 5 розділш, висновків, списка цитованої літератури IÍ додатку, Робота викладена на 117 сторінках, машинописного тексту, містять 43 малюнка, 122 натіш літературних джерел.

Зміст роботи. Дисертація складається з вступу, пяти розділів, висновків, списку цитованої літератури й додагху.

У вегуаі дана загальна характеристика роботи, обгрунтована актуальність теми. Вказана наукова новизна, практична значимість отриманих результатів, сформульовані положення, що захищаються та коротко приведений зміст роботи.

В першому розділі описується технологічна апаратура для отримання тонких плівок твердих розчинів на основі BaltCei ТЮІ, значна увага приділяється опису оригінальних блоків технологічних установок, так опису цифрового генератора лінійно змилоючоїся напруг«, установки високочастотного рмпійення. Принцип роботи генератора полягає в заміні лінійно зишюючоїся напруги сходинкою», з кількістю сходинок

2’. При п=12 висота однієї сходинки складає ие більше 0,025% амплітуди вихідного сигналу, що і визначає величину відхилення від лінійності. Генератор забезпечує слідуючі параметри; амплітуда вихідної напруги (при жикігні від внутрішнього джерела опорної напруги) від 0 до 5. 10, 50. 100 «В та 5 В. На відміну від відомих, генератор забезпечує плавне

регулювання часу розгортай в межах від 30 до 107 с, а також «ас можливості реверсу, зупинки та наслідуючого продовження розгортки в довільний наперла задам ¡їй момент.

Гєнсі>іШ>і> 4.^1 «іаі'по'иічиіііоиі рол.и^сиин шнішіїьісніш

по ліспі з нишикшім лб)дж«шмм. .’Задаючий генератор, о робичою частотою 6,’У Мгц виконано по схемі ііідуктіпшої трнточки ил лампі IV-50. Використання ■рисокостяйітьпик едечечгпв .чадточст генератора, а також ік гсрчостаоїлпаіия лоіиоліілн заС'сіПгчити необхідну ючнісіь «гримання іадамім чистім ії«> іиікорнсчанни кі<ирцот>ї сгаЛыплии. Лнодниіі мниур лаыш надаючого шіср.пори настроєний па чаїдоіу 13,56 Мгц. Частіша напруг» сигналу високої частоти лиімалась о контура та подавалась па керуючу сіпгу лампи типу І'У-13 попереднього пілсил^пача. Напруга нищення ця крруточу сітку І'У-ІЗ подавалась під окремою джерела напруги. Підсилений ешнал поламався на контур, касіросниП на чцепму 13,56 Мііі. Частина наирупі кчіїїура иолаиалась на підсилювач потужності г.ш опатій на лампі типу ГУ-5Б. З мстою забезпеченій стійкості роботи кіидсзіого каскад)', вона ¡ввімкнена по схемі і тгллыкчо сіткою. ■ Нормальний течпературшііі режим роботи лампи вихідного каскаду лабванечуяапгчі ¡¡¡нсористантім двох ветнлягоріп ловітрянного охолодження

ЙДйутому розділі освітлені екепернмеїііальпі методики ДОСЛІДЖеННЯ теплоємності матеріалів. Приведений детальний аналіз та розглянутий принцип роботи такуумного адіабатичного кхлоркиетра, високочутливого підсилювача постійного сіру му МДМ типу, а також блока керування процесом вимірювання, який табетпечус можливості пронс/іенни вимірів Не тільки в ручному, але й в автоматичному режимах. Реалізована безкоіітейисриа конструкція адіабатичного калориметра, яка показала добрі результати при вимірах теплоємності. Переваги такої конструкції очевидні, так як немас необхідності дозування гелію, що вводиться в контейнер для покрашення теплообміну. Відсутня також необхідність строгого дотування маси припою при герметизації контейнера. Конструкція власне калориметра подібна до конструкцій відомих калориметрів. Відмінність полягає у відсутності калориметричної ампули. Крім того, і исгою зменшення впливу теплосмності платинового

Ісрмомсцм на ьшіі|'кш>піу ісшіиішіічь, овчинні»! був шшесотііі аи ііовцииіо ¡Чіуірішньиї ширм».

Розділ З посвячено питанням вимірювання теплогюго розширення твердих тіл. < ‘тісгліо кіччтрукш'о грчленгаторЬ ■» широким діапазоном иропорцтносн » залежності > миичз-ж-ремітеішя ¡і к<чічен<\иори і високим коефіцієнтом мерсі порення исін-міїненнх-і мніїї ь.— Чліінмтнинаиі мсіидії ііідішшсііня чуідшихиі її іочноаі намірювання молах нсримішсль. Похибка вимірювання коефіцієнта розширення за допомогою списаної методики не перевищуе4'--'. Реальна чутлнвкть дилатометричної устдіюпкн скяадлс 5 10'" м. Розроблена методика провідешм вимірів геплоиото розширення з використання« розробленого дилатометр?.

приведений опис комплексу анорягурн для дослідженні! ЄЛЄКфофІЗИЧНИХ ВЛИСТИВОСГеІІ м;иері:шіи «Ч»ЄГТроМШМ П'ХНІЯЧІ. і (рнвшеими ОІНІС , СКСІїерНИСІІІШІЬННХ уі'ЬШОІЮК іі . МСЮЛИК.І ДосЛІДЖеННЯ

електрофізичних властивостей на прикладі дослідження флумуаній елсктропровідлослі та польової зхлслгності електропровідності твердих розчинів Ла^СегТЮу,

.Ршділ 5 щтляченнй опису анарапря. що .¡<кил.і>иншіасі. іірн проведенні граничних вимірів. Осношіа увага приділена питанням инміру слабких сигналів при наявності значних запзд. Розроблений

нановопьтиеір до-гколяе викорнстопуяати метоли синхронної О^ро^КН слабких сигналі» 6« використання фазояоі спнхромітапн і да^релоу вимірюваного сигналу. В розробленому сешншшшмя цифровому нановольтисгрі кількість органів керування зведена до мінімума .¡а рахунок використання сшгус-косшіусоїдаого керування ключами синхронних ііггеграторів {і детекторів, тобто 33 ДО 110 ¡КОГО Р.' схемотехнічної реалізації обчислення величини довжини вектора електричного си( нану, який не чутливий до їчін фаш вхідного сигналу в промесі вимірі«.

* Використання синхронного інтегрування в обох каналах дшволшю отримати високу реальну чуттпшісп,.

О розділі описана допоміжна апаратура, серед якої детально розглянуті цифровий генератор сигналів довільної форми, корректор вимірювача фЬн'ишк величин, які використовують методи цифрової обробки сигналів.

Приведено математичне забезпечення для розрахунку коректуючих таблиць. Описана установка для читання СУ характеристик ііапінііровідннковнх сірукіур. Установка передбачає можливість

автоматичного знімання вольтфарадних характеристик, коли напруга зміщення подасться від зовнішнього генератора снгнялів довільної форми.

ОСНОВНІ РЕЗУЛЬТАТИ ТА ВИСНОВКИ !. Висока відтворюнаність властивостей плівок забапечувалзсь розробкою установки високочастотного Йоішо- ішазменого розпнпения й використанням цифрового генератора лінійно змінюючоїся напруги, який використовувався в якості іадатчнка температури схем терморегулювання при підпалі зразків, .

2. Достовірність та оригінальність експериментальних результатів досліджень забезпечені розробкою: вакуумного адіабатичного

калориметра, який містить підсилювач постійного струму МДМ типу, блок автоматичного керування ггроцесои вимірів: смнісиого дилатометра з оригінальними ємнісними датчиками переміщень й системою забезпечення лінійності зміни температури досліджуваного зразка: комплексу установок дослідження електрофізичних властивостей.

3. Використання синхронної обробки сигналів сумісно з квадратурним перетворенням дозволило отримати високочутливий завадостійкий прилад. Як складова частина приладу розроблений цифровий квадраіурннй фазопойертач.

4. Застосування пеяепреіраиоваинл постійних запам’ятовуючих пристроїв дозволило створити генератор сигналів довільної форин з широким діапазоном робочих частот.

u

5. Коректуьлни» nojtuGuK при фізичному експерименті може здійснюватись з дошкою то ч її і v по за допомогою розробленого цифрового коректора вимірювача фі*л гчилк веліг-шн. Розроблене програмне забезпечення дозволяє досігп. просто створювати програми корекції по реперних точках. ,

(і. Усііїноика для вимірі» С-V характеристик забезпечу« можлинісіь проведення досліджень twпісних характеристик досліджуваних ічрукіур и широкому діапазоні пешічин напруг зміщення. Блок автоматичної розгортай напруги додатньої та шд’емчої полярності з встановленням п'гдестазу довільної полярності величиною 0 - 40 В слтгспо спрощує процес вимірів. Забезпечена можливкчь автоматичного запису результатів вимірювань на планшет доокоордннатного самописця. Сірукгурн можуть досдік>куват!ісь і при дії и а них напруги форми меандр амплітудою 0 - 40 В з довжиною періоди від 0,5 до 50 с.

Оскові’і результати дисертації опубліковачі в стпутмк іюГютах-.

І. Брайловскнй В.В., Жук О.П., Фуштей II.М. Оценка обьема микрообластсй зарождения по температурной зависимо«» теплоемкости ВаТЮЗ в области фазового перехода. Тезисы докладов 3 Всесоюзной конференции "Материаловедение халькошшдНых полупроводников".Ч II стр.14. Черновцы 1991.

2. Браиловский В.В., Жук О.П., Шеляг А.Р. Фазовращатель со стабильным коэффициентом передач«.- Приборы и техніка эксперимента, 1978, № 3, с. 155 - 156.

3. БраЙловскиЙ В.В., Жук О.П., Шеляг А.Р. Полевая зависимость электропроводности твердых растворов ВаТЮ,. - Сб. ФТТ, 1978, вып. 8, Киев -Донецк, с. 12 -І6.

4. Брайловскпй В.В., Жук О.П., Раренко И.М., Шеляг А.Р. Аэтонатнчесхий адиабатический калориметр.- Физическая электроника. Львов, 1979, вып. \9, с. 31 - 34.

5. Брайловский В .В., Жук О.П., Раренко Н.М., Шеляг А.Р. Исследование теплоемкости іерічочувепштельньїх слоев п/п тнтаната барня. тез. докл. на Всесокш. сем пиаре по тепловым приемникам излучения. М.,(980, стр 36.

6. БраШговеккЛ ВВ., Жук О.П., Танасюк В.С.,Фуште(1 Н.М.

Тепловой генератор тженно іпменяюиіегося напряжения, "Физическая

электроника". Вып 42,1992 г. стр. 17-22.

7. Браиловский В.В., Жук О.П., Танасюк B.C., Шеляг А.Р.Автотермостабиіпшровашіьіе интегральные схемы. - В кн.: IX Всесоют. научно-техническая хонф, по микроэлектронике. 14 - 17 октября 1980 г.: Тез. докл., Качань, 1980, с. 65.

8. Браиловский В.В., Жук О.П., Заяц В.Д., Шеляг А.Р. Цифровой реверсивный генератор пропорционально-временного напряжения, длительностью до 10’ с. - В кн.: IX Всесокм. научно-техническая конф. по микроэлектронике. 14 -17 октября 1980 г.: Тез, докл., Казань, 1980, с. 112.

9. Брайловский В.В., Жук О.П., Шеляг А.Р. Синхронный интегратор.

- Приборы и техника эксперимента , 1980, № 4, с. 129 -130.

10. Брайловский В.В., Жук О.ГІ., Тархо Л.О., Шеляг А.Р.

Компенсированы» синхронный интегратор. - Приборы и техника эксперимента, 1982,№>б,с, 88-89.

И. Брайловский В.В., Жук О.П., Тарко Л.О., Шеляг А.Р.

ПропорциональноеМкесиой дилатометр. • Измерительная техника, 1983, М?|2, с. 49- 50. -

12. Жук О.П., Лукович А.Л., Шеляг А.Р. Многопозицнонный тейпературйЫи контроль. - Автометрйя, 1971, № 3, с. 105 -107.

КліомопІ с:іоца: синхронне інтегрування, квадратурне перетворення, иифрочиииюі'оиаи ііСриворюіїач, ¡іисрфсрсиціїЬїцҐі мОїод, дилатометрія,

С ИНХРОННИЙ ДСТЄК'І Ор.

'Л.Ч О,И. і'г.іря^отіїя ралмоеле!: >¡101 mort я ига рятуєм и методик iKt.itvjuuyiuiii j.kiv 11," її ]iit,iuiJiiu»i‘it4K'ii.v tbuik і її іі,і кріїіиіиц мскіуииаон

к'мікки. 11 умmm м.

'І(гг'-г'рчктч» Чи rovr-vnimt’ /■■ГЧСПРІ'1! К*ЧІНМГ'"П ,"1'Ч W'rV’i'i/t

шії по спп,июшости <ff.27.Oi ■ техпслйгиа. оборудование ri грствсдсн- 'г МИПЫ'йтии и І.її СлНфЧШШІІ пилники. 1 Іинюйиикии ¿ai vilniif тьенныи і Hijt-.i-pt’HHimi ни Кі.фггіькикнчн Черноииы /‘у1'” _

H работе р.к'С'.ччрен пммі.чеко имичратурм и чечо.іип! носчедоваиня cnenjv '>! теплс'фіг.ичееі:их свойлв и.пч.-рнхю£ слеі.трйішс.й техник». Р;ир»іПі<іиі! jviiMiij’it'Ki- aikL|Mi\(.)i,i juiji j слнолиі іі'ііліліл целаі. Дuiiapanp.i или юно'ічничеі'міх тлмюіок.ініім икЛшп lit vciaHuKHi какуумшии 'ЛИіі:і|-'';пм,нті;(чо r;vn'j»(iMerp;» и ечкостното дилатометра с сооттстз>тощим аппаратным ofceenc’icmiext.

ІІшісдиваиші сііскірофшичсскнх сяойег (хдщесішшекя mi кимплсмс ашШршуры обесисчинан'пк-м иімгренио флуюіуаіііН'ннм'с «вленніі, емьгоемМх cBoifcre.

Отдельная їлааа ¡¡освящена вопросам проведения предельны.': /и.мерешш. С лий ци 1ыо (.чираиихаи (.слекшвт.ш ф,иоНечуиешггелміий i-t.iHcmojibf меір, микиїмукиїїии меголм синхронной обработки iiii нала H !Jia'tp;VTypHOr'0 ГІрп'бр;Г!іЧПІИІ1Я, Для ПОРМШЄІШЯ • точности іпмерешпі pæjpaGoT.iii цифровой корректор, лозволлющніі в автоматическом режиме лнишь поправки « iUMct>>ieMWu ішш'лшу. Прсдлииіеня ускикшка для нрикеление кшм - фаринных тмеренміі автоматическом режиме как на ‘ч»ук<'М.іх так « «а высоких чагтгак.

Zhuk O R l lio rfevrii'jntk-nt of rariiwli-tfinwio si*>p;imnis mcl techniques lor the research or flee trie and lit :it physical propvriu-s of the material; of electronic ciiiiuiecr/iit;. (MiiiiU5eripl).

Thi' limn lor a tvmpt'iiium for u <ttn<ii<lnie’\ >irutee of let htiiivf sdences on thf <pt>r>t!h!y O'- \V.< ■ technology. f'ipirj>pii'rir nn'f mormjncivre oj nmipnnh nnt1 dcvica 0/ electronic engineering: Chemoitir stale university named after JJtJkouJi. C/ie>/anii>'. }'/s7,

iti the work the i<iiii|tlcx (il apparatus ami K'dinuuu-s fur llio researdt of electric and heatp hy'iral properties ('I the r,lateen!« ot ek'rtronie eny.mevnng is considered. The apparatus tor technological puq>ojcs has beat developed. The apparatus for Walphvsiut) muMidK-s tojkiaB vi vm.uuui iiUiabuik cakuimcU installation Hut I capacitor difatonieu-r witn ;n>| 'ttit' 11 ate hardware.

• I he reseanln1': ol ele'.'tri'phystoa! properties are earned out using the

complex ol' apparatus ensuring then measurements ol' fluctuation phenomena, uipadt> of properties.

A separate chapter is devoted to the problems t>1’ carrying out the limiting measurement. For thi? purpose the «elective non phaiesenstttvity tianovoltmeter chich uses the methods of synchronous processing of a signal and quadrature ol Lranslbnnjtiun was developed. Tor the piomotijig the auuracy of Measurements the digital correvtior enabling to make in automatic: mode amendments m a measuring quantity was mnked out. The installation lor volt-timid measurements in automatic mode as on sound as on high frequencies is oltered.