автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.06, диссертация на тему:Повышение эффективности автоматизированного управления процессами направленной кристаллизации на основе метода кольцевых сечений

На правах рукописи

Семенова Юлия Валентиновна

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ НАПРАВЛЕННОЙ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ НА ОСНОВЕ МЕТОДА КОЛЬЦЕВЫХ СЕЧЕНИЙ

Специальность 05.13.06 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (промышленность)

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Рыбинск - 2005

Работа выполнена в Рыбинской государственной авиационной технологической академии им. П. А. Соловьева

Научный руководитель:

доктор технических наук, профессор Юдин Виктор Васильевич

Официальные оппоненты:

доктор технических наук, профессор Семенов Эрнст Иванович

кандидат технических наук Лимонов Игорь Анатольевич

Ведущая организация:

ОАО «Алгоритм» (г. Рыбинск)

Защита состоится «27» апреля 2005 г. в 12 часов на заседании диссертационного совета К 212.210.01 Рыбинской государственной авиационной технологической академии им. П. А. Соловьева по адресу: 152934 Ярославская обл., г. Рыбинск, ул. Пушкина 53.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Рыбинской государственной авиационной технологической академии им. П. А. Соловьева.

Автореферат разослан 2005 г.

Ученый секретарь диссертационного совета

В. А. Вершинин

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. В системах автоматического регулирования, используемых при изготовлении кристаллов стоит задача регулирования следующих технологических параметров: напряжения питания, градиента температуры, скорости вытяжки, которые могут быть представлены в виде полигармонических сигналов. Особенностью регулирования является малая скорость протекающих процессов, их негармонический характер и работа в условиях помех. Одним из путей решения данной задачи является анализ и совершенствование методов измерения, а также разработка специализированного измерителя действующего значения напряжения.

Объектом исследования является система автоматического регулирования параметров установки направленной кристаллизации с специализированным измерителем действующего значения напряжения.

Цель работы. Повышение эффективности управления процессами направленной кристаллизации на основе совершенствования метода измерения напряжения и создание специализированного измерителя интегральных параметров.

Задачи исследования. Для достижения цели диссертационной работы были поставлены и решены следующие задачи:

- разработка классификации методов измерения полигармонических процессов;

- анализ методов преобразования интегральных параметров полигармонических процессов;

- выбор и совершенствование наиболее перспективного метода, а именно метода кольцевых сечений;

- разработка и исследование специализированного измерителя действующего значения напряжения на основе метода кольцевых сечений для системы автоматического регулирования параметров установки направленной кристаллизации;

- анализ помехоустойчивости измерителя на основе метода кольцевых сечений;

- разработка измерителя действующего значения мощности.

Методы исследования. В исследованиях использовались интегральное

исчисление, теория рядов, теория вероятностей и математической статистики, методы статистических испытаний и среда Simulink математического пакета MATLAB.

Конкретное личное участие автора в получении результатов, изложенных в диссертации. Автором проведен сравнительный анализ методов измерения действующего значения напряжения, выбран наиболее перспективный метод, а именно метода кольцевых сечений, и проведено его усовершенствование.

Автором разработаны:

- классификация методов измерения действующего значения полигармонических сигналов;

- структурная схема специализированного измерителя действующего значения напряжения по методу кольцевых сечений для системы автоматического регулирования параметров установки направленной кристаллизации;

- имитационная модель специализированного измерителя действующего значения напряжения на основе метода кольцевых сечений;

- имитационная модель измерителя действующего значения мощности.

Разработаны программы и проведен анализ имитационных моделей измерителей измерителя действующего значения напряжения и мощности на основе метода кольцевых сечений. Результатом работы является общее повышение выхода годных изделий, уменьшение времени рабочего цикла выращивания кристаллов.

Достоверность результатов и выводов. Достоверность полученных результатов подтверждается корректностью использования исходных данных, корректным использованием математического аппарата. Имитационные модели, разработанные на основе метода кольцевых сечений, апробированы на решении ряда других задач. Проведено сопоставление полученных результатов и выводов исследования с экспериментальными результатами.

Научная новизна работы заключается в следующем:

- разработана методология расчета действующего значения напряжения с использованием метода кольцевых сечений, в том числе:

а) разработана методика исследования точности определения действующего значения для метода кольцевых сечений;

б) проведена оценка помехоустойчивости метода кольцевых сечений.

Практическая ценность работы:

- создана структурная схема специализированного измерителя действующего значения напряжения для системы автоматического регулирования параметров установки направленной кристаллизации;

- создана имитационная модель специализированного измерителя действующего значения напряжения для системы автоматического регулирования параметров установки направленной кристаллизации;

- повышена помехоустойчивость регулятора температуры за счет использования метода кольцевых сечений.

Реализация результатов работы. Основные результаты диссертационной работы используются в составе технологического оборудования при производстве монокристаллов КГВ РУП «Оптик» г. Лида Беларусь; внедрены в учебном процессе Рыбинской государственной авиационной технологической академии им. П. А. Соловьева при обучении студентов.

Основные положения, выносимые на защиту:

- классификация методов измерения полигармонических процессов;

- метод кольцевых сечений для измерения действующего значения напряжения;

- структурная схема специализированного измерителя действующего значения напряжения на основе метода кольцевых сечений;

- модель измерителя действующего значения напряжения;

- общая структурная схема регулятора температуры, с применением разработанного измерителя действующего значения напряжения.

Апробация работы. Все основные результаты теоретического и практического характера, полученные автором или при его непосредственном участии, докладывались на XXIX Гагаринских чтениях на кафедре космической радиоэлектроники. - М.: МАТИ, 2003; Всероссийской научно-технической конференции «Моделирование и обработка информации в технических системах», Рыбинск, 2004.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 12 печатных работ, из них 3 депонированных рукописи и 9 тезисов докладов.

Структура и объем работы. Работа изложена на 142 листах, содержит 6 таблиц, 94 рисунка и 85 формул, и состоит из введения, четырех глав, заключения, списка использованных источников из 123 наименований и 2-х приложений.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы исследования, сформулированы цели работы, основные задачи и методы исследования, охарактеризована научная новизна и практическая ценность полученных результатов, приведены основные положения, выносимые на защиту.

В первой главе представлены методы выращивания кристаллов. В промышленности и исследовательских лабораториях кристаллы выращивают: из паров, из растворов, из расплавов, из твердой фазы и многими специальными способами, как, например, синтез путем химических реакций, синтез при высоких давлениях, электролитическая кристаллизация, кристаллизация из гелей и др.

Метод выращивания из паров применяется в основном для получения эпитаксиальных пленок и нитевидных кристаллов. Из газовой фазы можно растить кристаллы весьма совершенные, правильно ограненные, но относительно небольшие.

Метод выращивания кристаллов из растворов основан на диффузии молекул растворенного вещества к растущему кристаллу при понижении температуры или увеличении концентрации. Выращивание обычно производится на затравках. Из растворов удается выращивать кристаллы совершенные, без внутренних напряжений, хорошо ограниченные, очень крупные (до десяти килограммов). Совершенство кристалла тем выше, чем меньше скорость роста; при выращивании из растворов скорость роста обычно составляет сотые доли миллиметра в час, так что процесс выращивания иногда длится

месяцами. Малые скорости роста являются недостатком растворных методов из-за большой длительности процесса выращивания.

Метод выращивания из расплавов применяется в промышленности наиболее широко. Имеется несколько групп методов, подразделяющихся в зависимости от способа отвода тепла в расплаве: 1) изменение температуры при неподвижном тигле; 2) перемещение кристалла в поле температурного градиента; 3) перемещение тигля или печи в поле температурного градиента; 4) бестигельные методы.

Преимуществами методов кристаллизации из расплава являются относительная простота аппаратуры, возможность использования высоких скоростей роста - до десятков миллиметров в час и выращивания очень больших кристаллов - до нескольких десятков килограммов. Но вырастающие кристаллы содержат множество дефектов, образующихся из-за температурных напряжений при росте и в основном в процессе остывания готового кристалла. После роста требуется специальный отжиг.

Существующие установки для производства кристаллов обладают малой скоростью контроля технологического процесса, сильной зависимостью от качества напряжения питания, а также недостаточной равномерностью поддержания температурного поля. Устранение любого из этих недостатков приведет к повышению выхода годных кристаллов.

Разработка измерителя действующего значения сигнала, обладающего более высокой точностью, быстродействием, помехоустойчивостью, приведет к улучшению показателей качества технологических процессов производства кристаллов.

Во второй главе рассмотрены методы измерения действующего значения полигармонических сигналов.

Классификация методов измерения действующего значения подразделяется на метод трубчатых сечений, метод наклонных трубчатых сечений, метод кольцевых сечений и метод наклонных кольцевых сечений, представлена на рисунке 1.

Суть метода трубчатых сечений заключается в следующем, при вращении вертикальных прямых образуются параллельные плоскости, которые расчленяют исследуемый объем О на совокупность криволинейных цилиндров с параллельными основаниями. К недостаткам метода можно отнести сложность алгоритма расчета действующего значения и необходимость использования микроЭВМ в составе устройства, к достоинствам метода - возможность реализации метода по простой схеме и сравнительно высокое быстродействие.

Метод наклонных трубчатых сечений состоит в том, что при вращении вокруг оси времени прямых, имеющих большой угловой коэффициент, образуются конические поверхности, пересекающие фигуру О по окружностям. Проведение через указанные окружности плоскостей приводит к расчленению объема О на криволинейные цилиндры с параллельными основаниями. Данный метод позволяет реализовать схему без использования аналого-

цифрового преобразователя, а так же пригоден для работы с несинусоидальными напряжениями, что является достоинством данного метода, к его недостаткам можно отнести невысокое быстродействие и сложность аппаратной настройки.

Рисунок 1 - Классификация методов измерения действующего значения

Суть метода кольцевых сечений заключается в следующем, вращение горизонтальных прямых вокруг оси времени приводит к образованию коаксиальных цилиндрических поверхностей. Объем О в этом случае может быть представлен в виде суммы

где кольца, образованного вращением трапеции, верхним ос-

нованием которой является хорда уровня (заключенный внутри кри-

вой г(/) отрезок горизонтали г =гк), нижним основанием - хорда (¿-1)-го уровня, а боковыми сторонами - отрезки кривой заключенных между хордами. Метод обладает простотой нахождения действующего значения, высокой помехозащищенностью, возможностью создания прибора без аналоговой части. Данный метод является малоизученным, что является его недостатком.

Структурная схема измерителя действующего значения представлена на рисунке 2.

ГТИ - генератор тактовых импульсов, ДЧ - делитель частоты, КЛ - электронный ключ, СЧ - двоичный счётчик, РП - регистр памяти, С - сумматор, КУ - комбинационное устройство, УУ - устройство управления, S(t) - входной сигнал, Sd- выходной сигнал

Рисунок 2 - Структурная схема измерителя действующего значения на основе метода кольцевых сечений

Устройство управления состоит из совокупности компараторов, осуществляющих квантование сигнала по уровням, прецизионного делителя опорного напряжения, делителя величины входного сигнала, схемы выпрямительного моста и генератора управляющих импульсов. Устройство управления исполняет роль входного устройства, индикатора уровня и формирователя управляющих импульсов.

Тактовые импульсы с генератора импульсов через делитель частоты поступают на соответствующие уровни и посредством совокупности двоичных электронных ключей заполняют импульсы, следующие от устройства управления, затем эти импульсы на каждом уровне подсчитываются совокупностью двоичных счётчиков, полученные значения записываются в регистр памяти, далее все значения поступают на входы сумматора и суммируются.

Полученное суммарное значение будет пропорционально квадрату действующего значения входного сигнала

Комбинационное устройство (дешифратор) необходимо для приведения выходной величины к нужному виду (например: последовательности импульсов).

Схемных реализаций метода кольцевых сечений не известно, представляется целесообразным исследовать точность данного метода, а также ее зависимость от параметров измерителя и от внешних условий.

Метод наклонных кольцевых сечений состоит в том, что вращение прямых с малым угловым коэффициентом приводит к образованию конических поверхностей. Для объема О при этом имеем

где Вк - объем фигуры, полученной вращением вокруг оси времени криволинейной трапеции Ьк, образованной двумя наклонными хордами Хк И Т4+1, и участками функции г(г), заключенными между этими хордами.

Метод кольцевых сечений обладает наименьшим количеством трудноустранимых недостатков и наиболее перспективен для создания на его основе измерителя действующего значения напряжения

Третья глава посвящена анализу точностных характеристик метода кольцевых сечений. Для исследования точности метода и влияния на нее параметров измерителя и внешних условий проведено математическое моделирование измерителя в среде MATLAB.

Предложен алгоритм исследования точности измерителя действующего значения напряжения: 1. Зависимость погрешности от числа уровней квантования; 2. Зависимость погрешности от соотношения частоты ГТИ нижнего уровня и частоты сигнала; 3. Зависимость погрешности от стабильности частоты ГТИ; 4. Зависимость погрешности от ухода величины опорного напряжения, подаваемого на делитель напряжения; 5. Зависимость погрешности от разброса параметров делителя напряжения; 6. Зависимость погрешности от величины входного напряжения.

На рисунке 3 представлена зависимость погрешности определения действующего значения от числа уровней квантования, где под 1-ой формулой понимается формула 11, под 2-ой формулой - 12, под 3-ей формулой - 13, рассмотренных в четвертой главе.

100

%

во I, 70 60 Л 50 40 .10 го 10

°0 2 4 б 8 10 12 14 16 18 20

Рисунок 3 - Зависимость погрешности определения действующего значения от числа уровней квантования

Было проведено множество исследований, и набрана статистика по максимальным погрешностям.

При количестве уровней квантования 14, где 12 из них используются при действии на входе сигнала номинального уровня, отношении частоты нижнего уровня ГТИ к частоте сигнала равно 10. Отклонении частоты генератора тактовых импульсов на каждом уровне квантования составляет ± 5 %, разброс параметров делителя опорного напряжения составляет ± 1 %. Отклонение опорного напряжения от номинального напряжения ± 1 %, изменение входного сигнала по сравнению с номинальным ± 15 %. Максимальная суммарная погрешность измерителя действующего значения напряжения составляет не более ± 0,7 %.

Исследовалась помехоустойчивость метода кольцевых сечений, путем воздействия помехи на сетевое напряжение. Наиболее оптимальным количеством уровней квантования является восемь.

Четвертая глава посвящена разработке математической модели измерителя действующего значения напряжения периодического сигнала, основанного на методе кольцевых сечений, разработке математической модели измерителя мощности и внедрение измерителя в существующий регулятор мощности.

Сущность метода кольцевых сечений заключается в квантовании исследуемого сигнала при помощи совокупности горизонтальных хорд с последующим преобразованием его в цифровой код. На рисунке 4 изображена совокупность горизонтальных прямых, пересекающих кривую заданной функции сигнала в некоторых точках. При вращении всей полученной системы кривых относительно оси времени образуется криволинейный цилиндр, образованный вращением кривой разбитый на множество коаксиальных кольцевых цилиндров, образованных в результате вращения горизонтальных хорд.

Таким образом, объём О криволинейного цилиндра может быть представлен в виде суммы (3 = , (1)

где - объём кольца, образованного вращением трапеции, верхним основанием которой является хорда уровня, нижним основанием -хорда уровня, а боковыми сторонами - отрезки кривой заключённые между хордами.

Для метода кольцевых сечений было выведено точное выражение для

объёма кольца

(2)

а также приближённые соотношения:

£=71Д2и(Т„+0;

(3)

(4)

(5)

Qn = 2яД\и,

где А - расстояние между соседними хордами (шаг квантования сигнала по уровню), считаем постоянной величиной; х„ и - длины хорд.

Эти соотношения соответствуют различным формам приближения реального кольца к идеализированному. Так соотношению (3) отвечает кольцо траиециидального сечения с площадью поперечного сечения 5 = Д(т„ + Тя+1 )/2 и радиусом Дп, соотношению (4) - кольцо прямоугольного сечения с площадью 5 = тяД и радиусом Д(и + 1/2), а соотношению (5) -кольцо того же сечения с радиусом

Рисунок 4 - Разбиение поверхности вращения на кольцевые коаксиальные цилиндрические поверхности в МКС

В соответствии с выражением (1) для объёма О криволинейного цилиндра, с учётом точного (2) и приближённых (3), (4) и (5) соотношений запишем соответствующие соотношения для объёма цилиндра:

Исходя из полученных соотношений (6), (7), (8) и (9) получим соотношения для действующего значения сигнала

3j '

(П)

I п

2 яД2 v

1 я

(12)

(13)

Рассмотренные соотношения (10), (11), (12) и (13) являются основой метода кольцевых сечений.

Проведенный анализ имитационной модели измерителя действующего значения напряжения на изменение величины амплитуды напряжения, на изменение частоты генератора тактовых импульсов, а также влияние количества хорд на погрешность измерений показал, что быстродействие измерителя действующего значения напряжения при синусоидальной и несинусоидальной форме входного сигнала составляет 0,01 с, а погрешность измерения при синусоидальной форме сигнале - 0,06 %, а при несинусоидальной форме сигнале - 0,5 %.

Построение модели позволяет провести анализ работы схемы измерителя, основанного на методе кольцевых сечений, выявить основные причины возникновения погрешности измерений, оценить зависимость величины погрешности измерений от изменения: амплитуды напряжения входного сигнала, количества уровней измерения (хорд), частот генераторов.

Разработана имитационная модель измерителя действующего значения электрической мощности, снимаемой с активной нагрузки. Очевидно, что значение мгновенной мощности, снимаемой с нагрузки, будет прямо пропорционально квадрату приложенного напряжения и обратно пропорционально сопротивлению нагрузки

где S(t) - мгновенная мощность;

u(t) - напряжение на активной нагрузке; R - сопротивление активной нагрузки.

Значит, с изменением сопротивления нагрузки R будет изменяться и величина действующего значения мощности Sd. Если в качестве активной нагрузки взять термочувствительный элемент, сопротивление которого будет определённым образом зависеть от температуры окружающей среды, то действующее значение мощности будет меняться в зависимости от температуры термочувствительного элемента (нагрузки). Таким образом, такой измеритель становится пригодным для работы в составе регулятора температуры.

(14)

Проведен анализ модели измерителя действующего значения мощности при линейно-изменяющихся и не изменяющихся значениях температуры за период измерения Получены зависимости действующего значения мощности от температуры, изображенной на рисунке 5

Рисунок 5 - Зависимость величины действующего значения мощности от температуры

В результате проведенных исследований измерителя мощности получены следующие результаты

- данная модель измерителя действующего значения мощности способна обеспечить высокую точность измерений, так как температура не изменится значительно за 0,02 с ,

- применение цифрового прибора в составе измерителя дает возможностью полного согласования его с ПЭВМ,

- удобство и быстрота обработки информации, полученной с измерителя

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

В диссертационной работе исследовалась задача повышения эффективности процессов направленной кристаллизации на основе совершенствования метода измерения параметров технологических процессов.

В рамках исследования проведен информационно-патентный поиск в сети Internet, сделан вывод о необходимости создания методов и устройства определения интегральных параметров.

Сравнительный анализ методов измерения действующего значения полигармонических сигналов показал целесообразность выбора одного из них (метода кольцевых сечений). В результате анализа метода кольцевых сечений на точность измерения и помехоустойчивость, определены требования, которым должен отвечать измеритель действующего значения напряжения.

В результате исследования получены новые теоретические результаты:

- предложена классификация методов измерения действующего значения полигармонических сигналов;

- проведена подробная разработка метода кольцевых сечений для определения действующего значения сигнала;

- предложена структурная схема специализированного измерителя действующего значения напряжения на основе метода кольцевых сечений для системы автоматического регулирования параметров установки направленной кристаллизации;

- разработаны имитационные модели измерителя действующего значения напряжения и мощности.

Экспериментально оценено:

- помехоустойчивость метода кольцевых сечений для измерения действующего значения напряжения;

- точностные характеристики метода кольцевых сечений;

- быстродействие измерителя действующего значения напряжения при синусоидальной и несинусоидальной форме входного сигнала, а также проведено исследование для измерителя действующего значения мощности.

Быстродействие измерителя действующего значения напряжения при синусоидальной и несинусоидальной форме входного сигнала составляет 0,01с, а погрешность измерения при синусоидальной форме сигнале -0,06 %, а при несинусоидальной форме сигнале - 0,5 %.

Полученные результаты позволяют сделать вывод о том, что предложенные метод кольцевых сечений и математическая модель измерителя обеспечивают достижение конечной цели диссертационной работы - повышение эффективности процессов направленной кристаллизации, а именно увеличения выхода годных кристаллов за счет повышения стабильности температуры рабочей зоны составляет 5 %, уменьшение времени рабочего цикла выращивания кристаллов - 7 %, уменьшение количества потребляемой энер-гии-10%.

Основное содержание работы отражено в следующих публикациях:

1 Семенова, Ю. В. Разработка измерителя действующего значения [Текст] / Ю. В. Семенова // Вузовская наука - региону: тезисы докладов I Общероссийской научно-технической конференции. - Вологда: ВоГТУ, 2003.-С. 173-175.

2 Семенова, Ю. В. Исследование методов измерения действующего значения негармонических сигналов при воздействии дестабилизирующих факторов [Текст] / Ю. В. Семенова // XXIX Гагаринские чтения: тезисы докладов молодежной научной конференции. Москва, 8-11 апреля 2003 г.: в 9 т. - М.: МАТИ - РГТУ им. К. Э. Циолковского, 2003. - Т. 6. - С. 52-53.

3 Семенова, Ю. В. Исследование методов энергетического анализа электрических цепей [Текст] / Ю. В. Семенова; Рыбинская государственная авиационная технологическая академия им. П. А. Соловьева. - Рыбинск, 2003. - 29 с. - Деп. в ВИНИТИ 01.08.03, № 1492-В2003.

4 Семенова, Ю. В. Анализ эквивалентных схем преобразования компенсации реактивной мощности [Текст] / Ю. В. Семенова; Рыбинская государственная авиационная технологическая академия им. П. А. Соловьева. -Рыбинск, 2003. - 30 с. - Деп. в ВИНИТИ 21.11.03, № 2026-В2003.

5 Семенова, Ю. В. Анализ преобразователей электрической мощности [Текст] / Ю. В. Семенова; Рыбинская государственная авиационная технологическая академия им. П. А. Соловьева. - Рыбинск, 2003. - 22 с. - Деп. в ВИНИТИ 21.11.03, № 2027-В2003.

6 Семенова, Ю. В. Разработка и анализ математических моделей цифровых измерителей амплитуды [Текст] / Ю. В. Семенова // Методы и средства измерений физических величин: тезисы доклада VIII Всероссийской научно-технической конференции. - Н. Новгород: МВВО АТН РФ, 2003. - С. 22.

7 Семенова, Ю. В. Исследование влияния промышленной сети на регулирование многозонного термического объекта [Текст] / Ю. В. Семенова // Решетневские чтения: тезисы докладов VII Всероссийской научной конференции. - Красноярск: СГАУ, 2003. - С. 250-251.

8 Юдин, В. В. Анализ температурного режима методом гармонического баланса [Текст] / В. В. Юдин, Ю. В. Семенова // Труды второй международной электронной научно-технической конференции '(Технологическая системотехника» 2003. - Тула: ТулГУ, 2004. - С. 50-53.

9 Семенова, Ю. В. Разработка и анализ стабилизатора позиционного типа [Текст] / Ю. В. Семенова // Актуальные проблемы современной науки: тезисы докладов IV Международной конференции молодых ученых и студентов. - Самара.2003. - С. 5-6.

10 Семенова, Ю. В. Разработка и исследование модели измерителя действующего значения электрической мощности [Текст] / Ю. В. Семенова, В. В. Серебряков // XXX Гагаринские чтения: тезисы докладов молодежной научной конференции. Москва, 8-11 апреля 2004 г.: в 8 т. - М.: МАТИ - РГТУ им. К. Э. Циолковского, 2003. - Т.6. - С. 34-35.

11 Семенова, Ю. В. Исследование цифровых стабилизаторов переменного напряжения [Текст] / Ю. В. Семенова // Моделирование и обработка информации в технических системах: тезисы докладов Всероссийской научно-технической конференции. - Рыбинск: РГАТА, 2004. - С. 292-294.

12 Семенова, Ю. В. Исследование процессов функционирования стабилизаторов переменного напряжения [Текст] / Ю. В. Семенова, В. В. Серебряков // Идеи молодых - новой России: тезисы докладов I Тульской конференции. - Тула: ТулГУ, 2004. - С. 28.

Подписано в печать 17.03.2005. Формат 60x84 1/16. Уч.-изд.л. 1 Тираж 100 Заказ 73.

- 931

- /

? 7 5

Введение.

1 Основы технологии производства кристаллов.

1.1 Информационно - патентный поиск.

1.2 Методы выращивания монокристаллов.

1.2.1 Выращивание из паров.

1.2.2 Выращивание из растворов.

1.2.3 Выращивание из расплавов.

1.3 Описание основных установок для изготовления монокристаллов.

1.3.1 Установка периодического действия 1ИСВ-0,01-НФ.

1.3.2 Установка для направленной кристаллизации проходного типа ПМП-2.

1.3.3 Установка для высокоскоростной направленной кристаллизации УВНК-8П.

1.4 Прецизионные регуляторы температуры.

1.5 Выводы по главе.

2 Методы измерения действующего значения полигармонических сигналов.

2.1 Геометрическая интерпретация.

2.2 Метод трубчатых сечений (МТС).

2.3 Метод наклонных трубчатых сечений (МНТС).

2.4 Метод кольцевых сечений (МКС).

2.5 Метод наклонных кольцевых сечений (МНКС).

2.6 Вычисление действующего значения полигармонического напряжения.

2.7 Выводы по главе.

3 Оценка точностных характеристик метода кольцевых сечений.

3.1 Алгоритм исследования точности измерения действующего значения

3.2 Помехоустойчивость метода кольцевых сечений.

3.2.1 Исследование сетевого напряжения при воздействии помехи.

3.2.2 Вектор плотности вероятностей распределения сетевого напряжения.

3.2.3 Вероятности переходов.

3.3 Выводы по главе.

4 Разработка имитационных моделей измерителя и макетирование.

4.1 Основные соотношения для метода кольцевых сечений.

4.2 Имитационная модель измерителя действующего значения напряжения.

4.3 Анализ модели измерителя действующего значения напряжения при синусоидальной форме входного сигнала.

4.3.1 Анализ изменения величины амплитуды напряжения.

4.3.2 Анализ изменения частоты генератора тактовых импульсов.

4.3.3 Влияние количества хорд на погрешность измерений.

4.4 Анализ модели измерителя действующего значения при несинусоидальной форме входного сигнала

4.4.1 Анализ изменения величины амплитуды напряжения.

4.4.2 Анализ изменения частоты генератора тактовых импульсов.

4.4.3 Влияние количества хорд на погрешность измерений.

4.5 Имитационная модель измерителя среднего значения мощности.

4.5.1 Выбор термодатчика.

4.5.2 Выбор измерителя действующего значения напряжения.

4.5.3 Анализ измерителя среднего значения мощности.

4.5.3.1 Анализ измерителя среднего значения мощности при температуре, не изменяющейся за период измерения.

4.5.3.2 Анализ измерителя среднего значения мощности при температуре, линейно-изменяющейся за период измерения.

4.6 Техническая реализация.

4.7 Выводы по главе.

Актуальность темы. В системах автоматического регулирования, используемых при изготовлении кристаллов, стоит задача регулирования следующих технологических параметров: напряжения питания, градиента температуры, скорости вытяжки, которые могут быть представлены в виде полигармонических сигналов. Особенностью регулирования является малая скорость протекающих процессов, их негармонический характер и работа в условиях помех. Одним из путей решения данной задачи является анализ и совершенствование методов измерения, а также разработка специализированного измерителя действующего значения напряжения [1-12].

Цель работы и задачи исследования. Повышение эффективности управления процессами направленной кристаллизации на основе совершенствования метода измерения напряжения и создание специализированного измерителя интегральных параметров.

Для достижения цели диссертационной работы были поставлены и решены следующие задачи:

- разработка классификации методов измерения полигармонических процессов;

- анализ методов преобразования интегральных параметров полигармонических процессов;

- выбор и совершенствование наиболее перспективного метода, а именно метода кольцевых сечений;

- разработка и исследование специализированного измерителя действующего значения напряжения на основе метода кольцевых сечений для системы автоматического регулирования параметров установки направленной кристаллизации;

- анализ помехоустойчивости измерителя на основе метода кольцевых сечений;

- разработка измерителя среднего значения мощности.

Методы исследования. В исследованиях использовались интегральное исчисление, теория рядов, теория вероятности и математической статистики, методы статистических испытаний и среда Simulink математического пакета MATLAB.

Научная новизна работы заключается в следующем:

- разработана методология расчета действующего значения напряжения с использованием метода кольцевых сечений, в том числе: а) разработана методика исследования точности определения действующего значения для метода кольцевых сечений; б) проведена оценка помехоустойчивости метода кольцевых сечений.

Практическая ценность работы:

- создана структурная схема специализированного измерителя действующего значения напряжения для системы автоматического регулирования параметров установки направленной кристаллизации;

- создана имитационная модель специализированного измерителя действующего значения напряжения для системы автоматического регулирования параметров установки направленной кристаллизации;

- повышена помехоустойчивость регулятора температуры за счет использования метода кольцевых сечений.

Реализация результатов работы. Основные результаты диссертационной работы внедрены в производство монокристаллов КГВ РУП «Оптик» г. Лида Беларусь, где необходимо использование быстродействующего измерителя действующего значения. Внедрены в учебном процессе Рыбинской государственной авиационной технологической академии им. П. А. Соловьева при обучении студентов.

Основные положения, выносимые на защиту:

- классификация методов измерения полигармонических процессов;

- метод кольцевых сечений для измерения действующего значения напряжения;

- структурная схема измерителя действующего значения напряжения на основе метода кольцевых сечений;

- модель измерителя действующего значения напряжения;

- общая структурная схема регулятора температуры, с применением разработанного измерителя действующего значения напряжения.

Апробация работы. Все основные результаты теоретического и практического характера, полученные автором, докладывались на XIX Гагарин-ских чтениях, Москва, 2003 г.; Всероссийской научно-технической конференции «Моделирование и обработка информации в технических системах», Рыбинск, 2004 г.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 12 печатных работах, из них 3 депонированных рукописи и 9 тезисов докладов.

Краткое содержание работы. Диссертационная работа состоит из введения, 4-х глав и заключения, а также списка использованных источников и 2-х приложений.

4.7 Выводы по главе

1. Создана имитационная модель измерителя действующего значения напряжения на основе метода кольцевых сечений, реализующая все основные преимущества указанного метода.

2. Проведенный анализ имитационной модели измерителя действующего значения напряжения на изменение величины амплитуды напряжения, на изменение частоты генератора тактовых импульсов, а также влияние количества хорд на погрешность измерений показал, что быстродействие измерителя действующего значения напряжения при синусоидальной и несинусоидальной форме входного сигнала составляет 0,01 с, а погрешность измерения при синусоидальной форме сигнале - 0,06 %, а при несинусоидальной форме сигнале - 0,5 %.

3. Разработана имитационная модель измерителя среднего значения мощности, снимаемой с активной нагрузки, на основе метода кольцевых сечений.

4. Проведен анализ модели измерителя среднего значения мощности при линейно-изменяющихся и не изменяющихся значениях температуры за период измерения. Получены зависимости относительного изменения сопротивления термистора от температуры, среднего значения мощности от температуры, зависимость погрешности измерений мощности от температуры.

5. В результате проведенных исследований измерителя мощности получены следующие результаты:

- данная модель измерителя среднего значения мощности способна обеспечить высокую точность измерений, так как температура не изменится значительно за 0,02 с;

- применение цифрового прибора в составе измерителя дает возможность полного согласования его с ПЭВМ;

- удобство и быстрота обработки информации, полученной с измерителя.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В диссертационной работе исследовалась задача повышения эффективности процессов направленной кристаллизации на основе совершенствования метода измерения параметров технологических процессов.

В рамках исследования проведен информационно-патентный поиск в сети Internet, сделан вывод о необходимости создания методов и устройства определения интегральных параметров.

Сравнительный анализ методов измерения действующего значения полигармонических сигналов показал целесообразность выбора одного из них (метода кольцевых сечений). В результате анализа метода кольцевых сечений на точность измерения и помехоустойчивость, определены требования, которым должен отвечать измеритель действующего значения напряжения.

В результате исследования получены новые теоретические результаты:

- предложена классификация методов измерения действующего значения полигармонических сигналов;

- проведена подробная разработка метода кольцевых сечений для определения действующего значения сигнала;

- предложена структурная схема измерителя действующего значения напряжения на основе метода кольцевых сечений;

- разработаны имитационные модели измерителя действующего значения напряжения и среднего значения мощности.

Экспериментально оценено:

- помехоустойчивость метода кольцевых сечений для измерения действующего значения напряжения;

- точностные характеристики метода кольцевых сечений;

- быстродействие измерителя действующего значения напряжения при синусоидальной и несинусоидальной форме входного сигнала, а также проведено подобное исследование для измерителя действующего значения напряжения.

Быстродействие измерителя действующего значения напряжения при синусоидальной и несинусоидальной форме входного сигнала составляет 0,01 с, а погрешность измерения при синусоидальной форме сигнала -0, 06 %, а при несинусоидальной форме сигнала - 0,5 %.

Полученные результаты позволяют сделать вывод о том, что предложенные метод кольцевых сечений и математическая модель измерителя обеспечивают достижение конечной цели диссертационной работы - повышение эффективности автоматизированного управления процессами направленной кристаллизации, а именно увеличение выхода годных кристаллов за счет повышения стабильности температуры рабочей зоны составляет 5 %, уменьшение времени рабочего цикла выращивания кристаллов — 7 %, уменьшение количества потребляемой энергии -10%.

1. Бессекерский, Б. А. Теория систем автоматического регулирования Текст. / В. А. Бессекерский. М.: Наука, 1973. - 768 с.

2. Воронов, А. А. Основы теории автоматического управления: Автоматическое регулирование непрерывных линейных систем Текст. / А. А. Воронов. 2-е изд., перераб. - М.: Энергия, 1980. - 312 с.

3. Теория систем автоматического управление Текст.: учебник для ма-шиностроит. спец. вузов / В. Н. Брюханов, М. Г. Косов, П. П. Протопопов [и др.]; под ред. Ю. М. Соломенцева. 2-е изд., испр. - М.: ВШ, 1999. - 268 с.

4. Математические основы теории автоматического регулирования Текст.: в 2 т.; под ред. Б. К. Чемоданова. М.: ВШ, 1977. - 518 с.

5. Айзерман, М. А. Лекции по теории автоматического регулирования Текст. / М. А. Айзерман. М.: ВШ, 1985. - 520 с.

6. Технические средства автоматики Текст. / В. В. Кишнев, В. А. Иванов, Г. М. Тохтабаев [и др.]. М.: Металлургия, 1968. - 496 с.

7. Адаптивное управление технологическими процессами Текст. / Ю. М. Соломенцев, В. Г. Митрофанов, С. П. Протопопов [и др.]. — М.: Машиностроение, 1980. 536 с.

8. Адаптивные системы автоматического управления сложными технологическими процессами Текст.; под ред. Н. М. Александровского. — М.: Энергия, 1981.-487 с.

9. Бобнев, М. П. Комплексные системы радиоавтоматики Текст. / М. П. Бобнев, Б. X. Кривицкий, М. С. Ярлыков. М.: Сов. Радио, 1968. -232 с.

10. Гордин, Е. М. Основы автоматики и вычислительной техники Текст. / Е. М. Гордин, Ш. Ю. Митник, В. А. Тарлинский. М.: Машиностроение, 1978. -303 с.

11. Ненашев, А. П. Конструирование радиоэлектронных средств Текст.: учебник для радиотехн. спец. вузов / А. П. Ненашев. М.: ВШ, 1990. -432 с.

12. Разработка и оформление конструкторской документации РЭА Текст.: справочник; под ред. Э. Т. Романычевой. Изд. 2-е, перераб. и доп. - М.: Радио и связь, 1989. - 256 с.

13. Шубников, А. В. Основы кристаллографии Текст. / А. В. Шубников, Г. Б. Бокий. М.-Л.: АН СССР, 1940. - 267 с.

14. Шубников, А. В. Как растут кристаллы Текст. / А. В. Шубников. -М.: АН СССР, 1938.-149 с.

15. Розин, К. М. Практическое руководство по кристаллографии и кристаллохимии. Методы описания кристаллических структур Текст. / М. К. Розин, Э. Б. Гусев. М.: Металлургия, 1985. - 168 с.

16. Васильев, Д. М. Физическая кристаллография Текст. / Д. М. Васильев. М.: Металлургия, 1981. - 248 с.

17. Розин, К. М. Практическое руководство по кристаллографии и кристаллохимии. Методы описания кристаллических многогранников / М. К. Розин, Э. Б. Гусев. -М.: Металлургия, 1981. 166 с.

18. Белов, Н. В. Структурная кристаллография Текст. / Н. В. Белов. -М.: АН СССР, 1952.- 184 с.

19. Белов, Н. В. Структура ионных кристаллов и металлических фаз Текст. / Н. В. Белов. М.: АН СССР, 1951. - 253 с.

20. Най, Дж. Физические свойства кристаллов и их описание при помощи тензоров и матриц Текст. / Дж. Най. М.: Мир, 1974. - 174 с.

21. Сиротин, Ю. И. Основы кристаллофизики Текст. / Ю. И. Сиротин, М. П. Шаскольская. М.: Наука, 1975. - 318 с.

22. Шубников, А. В. Основы оптической кристаллографии Текст. / А. В. Шубников. -М.: АН СССР, 1958. 184 с.

23. Шаскольская, М. П. Кристаллография Текст. / М. П. Шаскольская. М.: ВШ, 1982. - 375 с.

24. Бокий, Г. Б. Кристаллохимия Текст. / Г. Б. Бокий. М.: Наука, 1971.-167 с.

25. Ван Бюрен, X. Г. Дефекты в кристаллах Текст. / X. Г. Ван Бюрен; пер. с англ. М.: ИЛ, 1960. - 236 с.

26. Загальская, Ю. Г. Геометрическая кристаллография Текст. / Ю. Г. Загальская, Г. М. Литвинская. М.: МГУ, 1973.-384 с.

27. Келли, А. Кристаллография и дефекты в кристаллах Текст. / А. Келли. М.: Мир, 1974. - 496 с.

28. Костов, И. Кристаллография Текст. / И. Костов. М.: Мир, 1965.247 с.

29. Новиков, И. И. Дефекты кристаллической решетки металлов Текст. / И. И. Новиков. М.: Металлургия, 1975. - 394 с.

30. Попов, Г. М. Кристаллография Текст. / Г. М. Попов, И. И. Шафра-новский. М.: ВШ, 1972 - 352 с.

31. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия / Я. С. Уманский, Ю. А. Скаков. М.: Металлургия, 1982. - 631 с.

32. Современная кристаллография Текст.: в 4 т.; под ред. акад. Б. К. Вайнштейна. М.: Наука, 1979. - Т. 1. - 383 е.; 1979. - Т. 2. - 359 е.; 1980. - Т. 3.-407 е.; 1981. - Т. 4. - 488 с.

33. А. с. 1456939, МКИ5 G 05 F 1/20. Регулятор переменного напряжения / Б. Б. Малков, В. В. Юдин // Открытия. Изобретения. 1989. - № 5. -С. 190.

34. А. с. 1325431, МКИ5 G 05 F 1/20. Регулятор переменного напряжения / В. В. Юдин, Б. Б. Малков // Открытия. Изобретения. 1987. - № 27. -С. 186.

35. Электрооборудование и автоматика электротермических установок Текст.: справочник / А. П. Альтгаузен, И. М. Бершицкий М.: Энергия, 1978.-304 с.

36. Соколов, М. М. Электрооборудование механизмов электротермических установок Текст. / М. М. Соколов, В. Н. Грасевич. М.: Энергоатомиз-дат, 1983.-320 с.

37. Справочник по электротермическому оборудованию Текст.; под ред. А. П. Альтгаузена. М.: Энергия, 1980. - 620 с.

38. Ильярский, О. И. Термоэлектрические элементы Текст. / О. И. Ильярский, Н. П. Удалов. М.: Энергия, 1970. - 72 с.

39. Стефани, Е. П. Основы расчета настройки регуляторов теплоэнергетических процессов Текст. / Е. П. Стефании. 2-е изд., перераб. и доп. -М.: Энергия, 1972.-376 с.

40. Эйгенброт, В. М. Преобразователи рода энергии сигналов в системах автоматического управления Текст. / В. М. Эйгенброт. — М.: Энергия, 1970.-272 с.

41. Сейдж, Э. П. Оптимальное управление системами Текст. / Э. П. Сейдж, Ч. С. Уайт; пер. с англ.; под ред. Б. Р. Левина. М.: Радио и связь, 1982.-392 с.

42. Электротехнический справочник Текст.: в 2 т. Т.1: Общие вопросы. Электротехнические материалы; под ред. проф. МЭИ В. Г. Герасимова. 7-е изд., испр. и доп. -М.: Энергоатомиздат, 1985. - 488 с.

43. Подлесный, Н. И. Элементы систем автоматического управления и контроля Текст. / Н. И. Подлесный, В. Г. Рубанов. Киев: Вища школа, 1982.-477 с.

44. Источники электропитания радиоэлектронной аппаратуры Текст.: справочник / Г. С. Найвельт, К. Б. Мазель, Ч. И. Хусаинов [и др.]; под ред. Г. С. Найвельта. -М.: Радио и связь, 1986. 576 с.

45. А. с. 1015355 СССР, МКИ5 G 05 F 1/20. Устройство для регулирования переменного напряжения Текст. / В. В. Юдин, В. Б. Карпов (СССР) // Открытия. Изобретения. — 1983. — № 16. С. 171.

46. А. с. 1081627 СССР, МКИ5 G 05 F 1/20. Стабилизатор переменного напряжения Текст. / П. Л. Глузман, Б. С. Гурцинов и В. В. Юдин (СССР) // Открытия. Изобретения. 1986. — № 19. - С. 168.

47. А. с. 1427350 СССР, МКИ5 G 05 F 1/20. Стабилизатор переменного напряжения Текст. / В. В. Юдин, Б. Б. Малков и А. И. Фавстов (СССР) // Открытия. Изобретения. 1988. -№ 36. - С. 180.

48. А. с. 1628050 СССР, МКИ6 G 05 F 1/20. Стабилизатор переменного напряжения Текст. / В. В. Юдин (СССР) // Открытия. Изобретения. 1991. -№6.-С. 152.

49. А. с. 13961237 СССР, МКИ5 G 05 F 1/14. Регулируемый преобразователь переменного напряжения Текст. / В. В. Юдин, Б. Б. Малков (СССР)// Открытия. Изобретения. 1988. -№ 18. - С. 204.

50. А. с. 1583928 СССР, МКИ6 G 05 F 1/20. Стабилизатор переменного напряжения Текст. / В. В. Юдин (СССР) // Открытия. Изобретения. — 1990 -№29.-С. 210.

51. А. с. 1590986 СССР, МКИ6 G 05 F 1/20. Стабилизатор переменного напряжения Текст. / В. В. Юдин (СССР) // Открытия. Изобретения. 1990. -№33.-С. 216.

52. А. с. 1661735 СССР, МКИ6 G 05 F 1/20. Стабилизатор переменного напряжения Текст. / В. В. Юдин (СССР) // Открытия. Изобретения. 1991 -№25.-С. 185.

53. А. с. 1709232 СССР, МКИ6 G 01 R 19/25. Преобразователь переменного напряжения в цифровой код Текст. / В. В. Юдин, Б. Б. Малков, Ю. Н. Сухарев (СССР) // Изобретения. 1992. - № 4. - С. 161.

54. А. с. 1716496 СССР, МКИ6 G 05 F 1/20. Стабилизатор переменного напряжения Текст. / В. В. Юдин, JL Н. Наумов, Б. Б. Малков (СССР) // Изобретения. 1992. -№ 8. - С. 197.

55. А. с. 1769193 СССР, МКИ6 G 05 F 1/44. Преобразователь переменного напряжения в цифровой код Текст. / В. В. Юдин, Б. Б. Малков, Ю. Н. Сухарев (СССР) // Изобретения. 1992. - № 38. - С. 169.

56. А. с. 544954 СССР, МКИ3 G 01 R 19/25. Параметрический стабилизатор переменного тока Текст. / В. Н. Станевко, Б. А. Евдокимов (СССР) // Открытия. Изобретения. 1977. - № 4 - С. 153.

57. А. с. 537335 СССР, МКИ3 G 01 Н 17/00. Стабилизированный выпрямитель Текст. / В. Н. Станевко, Б. А. Евдокимов (СССР) // Открытия. Изобретения. 1976. - № 44. - С. 182.

58. А. с. 537426 СССР, МКИ3 G 01 Н 17/00. Стабилизированный выпрямитель Текст. / В. Н. Станевко, Б. А. Евдокимов (СССР) // Открытия. Изобретения. 1976. - № 44. - С. 139.

59. Основы теории цепей Текст.: учебник для вузов. 4-е изд., перераб.- М.: Энергия, 1975. 752 с.

60. Семенова, Ю. В. Исследование методов энергетического анализа электрических цепей Текст. / Ю. В. Семенова; Рыбинск, гос. авиатехн. акад.- Рыбинск, 2003. 21 с. - Деп. в ВИНИТИ 01.08.03, № 1492-В2003.

61. Гоноровский, И. С. Радиотехнические цепи и сигналы Текст. / И. С. Гоноровский. М.: Сов. Радио, 1977. - 608 с.

62. Агаханян, Т. М. Линейные импульсные усилители Текст. / Т. М. Агаханян. М.: Связь, 1970. - 472 с.

63. Буланов, А. Усилители и радиоприемные устройства Текст. / А. Буланов, С. Н. Усов. -М.: ВШ, 1980.-415 с.

64. Основы промышленной электроники Текст.; под ред. В. Г. Герасимова. М.: ВШ, 1986. - 336 с.

65. Манаев, Е. И. Основы радиоэлектроники Текст. / Е. И. Манаев. -М.: Радио и связь, 1985. 488 с.

66. Гусев, В. Г. Электроника Текст. / В. Г. Гусев, А. М. Гусев. М.: ВШ, 1991.-618 с.

67. Станевко, В. Н. К расчету электромагнитных цепей методом гармонического баланса Текст. / В. Н. Станевко // Вопросы автоматизации технологических и производственных процессов. Ярославль: ЯПИ, 1978. -С. 75-79.

68. Гармоники в электрических системах Текст.; пер. с англ. / Дж. Ар-риллага, Д. Брэдли, П. Боджер. М.: Энергоатомиздат, 1990. - 320 с.

69. Матханов, П. Н. Основы анализа электрических цепей. Линейные цепи Текст.: учеб. для электротехн. и радиотехн. спец. вузов / П. Н. Матханов. 3-е изд., перераб. и доп. - М.: ВШ, 1990. - 400 с.

70. Березовский, А. А. Применение теории нелинейных колебаний в электротехнике и электронике Текст. / А. А. Березовский // тр. междунар. конф. Киев: АН УССР, 1970.-С. 68-71.

71. Бессонов, Л. А. Нелинейные электрические цепи Текст. / Л. А. Бессонов. М.: ВШ, 1977. - 343 с.

72. Хьюз, В. Нелинейные электрические цепи Текст. / В. Хьюз. М. -Л.: Энергия, 1976.-496 с.

73. Губанов, В. В. Стабилизированные полупроводниковые преобразователи в системе с нелинейными резонансными устройствами Текст. / В. В. Губанов. Л.: Энергоатомиздат. Ленинград, отд-е, 1985. — 192 с.

74. Матханов, П. Н. Основы анализа электрических цепей. Нелинейные цепи Текст. / П. Н. Матханов. М.: ВШ, 1977. - 272 с.

75. Заездный, А. М. Основы расчетов нелинейных и параметрических радиотехнических цепей Текст. / А. М. Заездный. — М.: Связь, 1973. 448 с.

76. Заездный, А. М. Теория нелинейных электрических цепей Текст. / А. М. Заездный. -М.: Связь, 1968.-400 с.

77. Пенфилд, П. Энергетическая теория электрических цепей Текст. / П. Пенфилд; пер. с англ.; под ред. проф. В. А. Говоркова. М.: Энергия, 1974.-152 с.

78. Губанов, В. В. Оптимизация устройств преобразовательной техники Текст. / В. В. Губанов. Киев: ВШ, 1977. - 123 с.

79. Тафт, В. А. Электрические цепи с переменными параметрами Текст. / В. А. Тафт. М.: Энергия, 1968. - 328 с.

80. Семенова, Ю. В. Анализ преобразователей электрической энергии Текст. / Ю. В. Семенова; Рыбинск, гос. авиатехн. акад. Рыбинск, 2003. -22 с. - Деп. в ВИНИТИ. 21.11.03 № 2027-В2003.

81. Гуттерман, К. Д. Параметрические источники тока Текст. / К. Д. Гуттерман, Н. Д. Прозорова, М. Д. Бершицкий // Инструкционные указания по проектированию электротехнических промышленных установок. -1976.-С. 6-12.

82. Миловзоров, В. П. Дискретные стабилизаторы и формирователи напряжения Текст. / В. П. Миловзоров, А. К. Мусолин. М.: Энергоатомиз-дат, 1986.-248 с.

83. Александров, Ф. И. Импульсные преобразователи и стабилизаторы Текст. / Ф. И. Александров, А. Р. Сиваков. М.: Энергия, 1970. - 188 с.

84. Тиль, Р. Электрические измерения неэлектрических величин Текст. / Р. Тиль; пер. с нем. М.: Энергоатомиздат, 1987. - 192 с.

85. Ильин, В. Н. Математическое моделирование радиоэлектронных устройств Текст. / В. Н. Ильин. М.: Знание, 1974. - 64 с.

86. Дьяконов, В. Simulink 4. Текст.: спец. справочник / В. Дьяконов. -СПб.: Питер, 2001.-237 с.

87. Потемкин, В. Г. Система инженерных и научных расчетов MATLAB 5.x. Текст.: в 2 т. / В. Г. Потемкин. М.: ДИАЛОГ-МИФИ, 1999. -Т.1 -366 е., Т.2-304 с.

88. Гультяев, А. К. Имитационное моделирование в среде Windows. Matlab 5.3 Текст. / А. К. Гультяев. СПб.: Корона принт, 2001. - 400 с.

89. Розенберг, В. Я. Введение в теорию точности измерительных систем Текст. / В. Я. Розенберг. М.: Советское радио, 1975. - 303 с.

90. Крутько, П. Д. Обратные задачи динамики управляемых систем: Нелинейные модели Текст. / П. Д. Крутько. М.: Наука, 1988. - 328 с.

91. Камакин, В. А. Исследование зависимости устойчивости САУ стабилизатора переменного тока от быстродействия измерительного органа Текст. / В. А. Камакин; Рыбинск, гос. авиатехн. акад. Рыбинск, 1997. -17 с. - Деп. в ВИНИТИ 26.02.97 № 612-В1997.

92. Рабинович, С. Г. Погрешности измерений Текст. / С. Г. Рабинович. JL: Энергия, 1978. - 262 с.

93. Черноусько, Ф. JI. Оптимальное управление при случайных возмущениях Текст. / Ф. JI. Черноусько, В. Б. Колмановский. М.: Наука, 1978. -352 с.

94. Мигулин, В. В. Основы теории колебаний Текст. / В. В. Мигулин, В. И. Медведев, Е. Р. Мустель. М.: Наука, 1978. - 392 с.

95. Макаров, Е. Инженерные расчеты в MathCAD Электронный ресурс. / Е. Макаров. Режим доступа: http://www.piter.com.

96. Семененко, М. Математическое моделирование в MathCad Электронный ресурс. / М. Семененко. Режим доступа: http://www.books.ru.

97. Евланов, JI. Г. Системы со случайными параметрами Текст. / JI. Г. Евланов, В. М. Константинов. М.: Наука, 1976. - 568 с.

98. Ефимов, И. Е. Основы микроэлектроники Текст. / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь. М.: ВШ, 1983. - 384 с.

99. Силовые полупроводниковые приборы Текст.: справочник / О. Г. Чебовский, JL Г. Моисеев, Р. П. Недошивин. М.: Энергоатомиздат, 1985.-400 с.

100. Веников, А. Теория подобия и моделирования Текст. / А. Веников, Г. В. Веников. М.: ВШ, 1984. - 439 с.

101. Справочник по преобразовательной технике Текст.; под ред. И. Г. Чиженко. Киев: Наукова думка, 1987. - 437 с.

102. Смирнов, В. И. Курс высшей математики Текст.: справочник / В. И. Смирнов. М.: ВШ, 1967. - 650 с.

103. Андре, Анго. Математика для электро- и радиоинженеров Текст.; под ред. К. С. Шифрина. М.: Наука, 1967. - 778 с.

104. Арсенин, В. Я. Методы математической физики и специальные функции Текст. / В. Я. Арсенин. М.: Наука, 1984. - 384 с.

105. Канторович, JI. В. Приближенные методы высшего анализа Текст. / JI. В. Канторовыч, В. И. Крылов. М. - JL: Физматгиз, 1962. - 708 с.

106. Маркова, Е. П. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий Текст. / Е. П. Маркова, Ю. В Громовский. М.: Наука, 1976.-380 с.

107. Капица, П. JI. Эксперимент. Теория. Практика Текст. / П. JI. Капица. 3-е изд., доп. - М.: Наука, 1981. - 496 с.

108. Потемкин, В. Система MATLAB Электронный ресурс. / справочное пособие / В. Потемкин. Режим доступа: http://www.exponenta. ru/educat/free/MATLAB/gs.pdf.

109. Дьяконов, В. Matlab. Анализ, идентификация и моделирование систем. Специальный справочник Текст. / В. Дьяконов, В. Круглов. — СПб.: Питер, 2002. 444 с.

110. Семенова, Ю. В. Разработка измерителя действующего значения Текст. / Ю. В. Семенова // Вузовская наука региону: 1-ая Общероссийская научно-техническая конференция. - Вологда: ВоГТУ, 2003. - 173 с.

111. Изерман, Р. Цифровые системы управления Текст. / Р. Изерман; пер. с англ. М.: Мир, 1984. - 541 с.

112. Бессекерский, В. А. Цифровые автоматические системы Текст. / В. А. Бессекерский. М.: Наука, 1976. - 576 с.

113. Коган, Б. М. Основы проектирования микропроцессорных систем автоматики Текст. / Б. М. Коган, В. В. Сташин. М.: Энергоатомиздат, 1987. - 304 с.

114. Бедрековский, М. А. Интегральные микросхемы: Взаимозаменяемость и аналоги Текст. / М. А. Бедрековский, А. А. Косырбасов. — М.: Энергоатомиздат, 1991. 272 с.

115. Интегральные микросхемы Текст.: справочник / Б. Т. Тарабрин, Л. Ф. Лунин, Ю. Н. Смирнов [и др.]; под ред. Б. Т. Тарабрина. 2-е изд. - М.: Энергоатомиздат, 1985.-528 с.

116. Нефёдов, А. В. Зарубежные интегральные микросхемы для промышленной электронной аппаратуры Текст.: справочник / А. В. Нефёдов, А. М. Савченко, Ю. Ф. Феоктистов. М.: Энергоатомиздат, 1989. - 288с.

117. Новое поколение контроллеров «Ломиконт» Текст. / Г. В. Медведев, В. П. Алексеев. Чебоксары: Чебоксар, з-д ОАО «Электроприбор». -Режим доступа: http//www.adastra/ru/confi/confi7/Medvedeva/htm.

118. Тилл, Лаксон Дж. Интегральные схемы. Материалы, приборы, изготовление Текст. / Лаксок Дж. Тилл; пер. с англ. М.: Мир, 1985. - 400 с.

119. Курносое, А. И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Текст. / А. И. Курносов, В. В. Юдин. -3-е изд. М.: ВШ, 1986. - 250 с.

120. Сопряжение датчиков и устройств ввода данных с компьютерами IBM PC Текст.; пер. с англ.; под ред. У. Томпкинса, Дж. Уэбстера. М.: Мир, 1992. - 592 с.