автореферат диссертации по электронике, 05.27.01, диссертация на тему:Лазерное напыление и исследование пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2 Cu3 O7- δ для применений в пассивных высокочастотных устройствах

Введение

Глава 1. Исследование процессов роста пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO на сапфире

1.1. Введение

1.2. Структура и свойства тонких пленок YBCO

1.3. Подложки и подслои для эпитаксиального роста YBCO

1.4. Способы получения эпитаксиальных пленок YBCO и подслоев

1.5. Экспериментальная установка лазерного напыления

1.6. Методы измерения параметров тонких пленок

1.7. Исследование процесса роста подслоев окиси циркония на сапфире

1.8. Исследование процесса роста и свойств пленок YBCO на сапфире с подслоем

1.9. Выводы

Глава 2. Исследование структуры и транспортных свойств YBCO пленок нанометровой толщины

2.1. Введение

2.2. Измерение толщины слоев YBCO

2.3. Орторомбическая структура в тонких и сверхтонких слоях YBCO

2.4. Транспортные свойства сверхтонких и тонких пленок YBCO

2.5. Выводы

Глава 3. Исследование влияния низкотемпературного отжига на структуру и свойства тонких пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO

3.1. Введение

3.2. Содержание кислорода и свойства ВТСП

3.3. Низкотемпературный отжиг пленок YBCO

3.4. Выводы

Глава 4. Исследование нелинейных свойств пленок YBCO в резонансных системах

4.1. Введение

4.2. Нелинейные свойства ВТСП: генерация гармоник и интермодуляция

4.3. Измерение интермодуляции в резонаторе с одной связью

4.4. Экспериментальные исследования нелинейных свойств ВТСП пленок

4.5. Выводы.

Глава 5. Высоко добротный перестраиваемый ВЧ контур

5.1. Введение

5.2. Резонансные ВТСП устройства ВЧ и УКВ диапазона

5.3. Конструкция высоко добротного перестраиваемого контура и технология изготовления ВТСП катушек индуктивности

5.4. Характеристики одиночных ВТСП катушек

5.5. Зависимость частоты контура от расстояния между катушками

5.6. Зависимость добротности перестраиваемого контура от частоты

5.7. Выводы

Сегодня сверхпроводимость - это одна из наиболее изучаемых и интенсивно развивающихся областей физики. Явление сверхпроводимости открыло большое количество перспектив, как для улучшения существующих технологий, гак и для создания принципиально новых приборов. Огромные усилия направлены на развитие понимания этого явления и его использование.

История сверхпроводимости началась в 1911 году в Лейдене (Нидерланды), когда Г.Камерлинг-Онесс (H.Kamerlingh-Onnes) разработал первые криогенные методы охлаждения образцов до нескольких градусов выше абсолютного нуля. Ему первому удалось перевести гелий в жидкое состояние, и тем самым он открыл новую область -физику низких температур. Исследуя проводимость ртути при этих температурах, он обнаружил, что при охлаждении ртутной проволоки ниже 4.2К ее сопротивление скачком обращается в нуль. Так Камерлинг-Онесс открыл явление сверхпроводимости. Некоторое время спустя, было обнаружено, что такой же переход в сверхпроводящее состояние наблюдается и в других металлах, например свинце и ниобии, но при несколько более высоких температурах. Позднее, начиная с 30-годов, сверхпроводимость была обнаружена в более сложных веществах, главным образом в интерметаллических соединениях. С течением времени были открыты сверхпроводящие свойства других соединений с более высокой температурой перехода в сверхпроводящее состояние. История открытия сверхпроводимости в различных металлах и соединениях представлена на Рис.1 [1], где на горизонтальной оси отложено время обнаружения сверхпроводимости данных соединений, а на вертикальной оси - температуры перехода в сверхпроводящее состояние, или, по-другому, критические температуры Тс- В 1973 году была отмечена самая высокая критическая температура 23.3К в сплаве ниобия с германием. Это был рекорд Тс, державшийся многие годы.

К 1986 году за 75 лег с момента открытия этого явления были реализованы яркие применения сверхпроводимости: мощные магниты, применяемые в медицинской томографии (1982г.) и ускорителях частиц (1985г.), и очень чувствительные детекторы магнитного поля (1962г.). Однако реализация других не менее эффективных применений даже не рассматривалась, поскольку была экономически нецелесообразной из-за дороговизны жидкого гелия, необходимого для охлаждения сверхпроводящих устройств.

Рис.1. История открытия сверхпроводников и увеличение критической температуры [1].

Новый качественный скачок в развитии сверхпроводимости произошел в 1986 году, когда ученые исследовательского отдела IBM в Швейцарии К.Мюллер (K.Muller) и Ж.Беднордц (G.Bednordz) обнаружили сверхпроводимость в LaBaCuO при температуре около ЗОК [2]. Это был прорыв после продержавшегося 13 лет рекорда для сплава ниобия с германием, а самое главное - произошло открытие нового класса сверхпроводников, представляющих собой металлическую оксидную керамику со структурой перовскита. Это событие вызвало настоящую лавину научных открытий новых соединений со все более высокой Тс, что показано на Рис.1. Так в 1987 году было синтезировано соединение YBa2Cu3C>75 (YBCO) с критической температурой выше 93 К, которая выше температуры жидкого азота [3, 4]. Поскольку эти материалы переходят в сверхпроводящее состояние при существенно более высоких температурах, чем классические сверхпроводники, их назвали высокотемпературными сверхпроводниками (ВТСП). Поиск новых материалов с высокими Тс был продолжен. Висмутовые (Bi-Sr-Ca-Cu-O) и таллиевые (Tl-Ba-Ca-Cu-O) сверхпроводники с температурами сверхпроводящего перехода 115 и 125К были открыты уже в1988 году [5]. Соединения на основе ртути (Hg-Ba-Ca-Cu-O), имеющие Тс от 134К при нормальном давлении до 164К при давлении -ЗОГпа, были получены в 1993 году [5, 6]. Легкость охлаждения новых сверхпроводников и выигрыш в стоимости в результате замены жидкого гелия на жидкий азот оказали огромное влияние на развитие исследований, технологии и теории сверхпроводимости. Невозможно переоценить важность открытия высокотемпературной сверхпроводимости и его прикладное значение. В настоящее время прогресс человечества уже невозможно представить без достижений в области сверхпроводимости [1, 5, 7-11].

Диссертация посвящена проблемам получения, исследования и применения в пассивных высокочастотных устройствах эпитаксиальных пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO.

Актуальность темы

После открытия ВТСП возникли новые направления в науке и технологии, и появилась возможность реализовывать намеченные ранее и казавшиеся нереальными перспективы. Однако оказалось, что практические применения не могут развиваться с той же скоростью, что и открытие новых соединений. Надежды на широкое и быстрое практическое использование ВТСП оправдывались далеко не полностью. Ученые и инженеры столкнулись с целым рядом технических проблем. Объемные образцы ВТСП, получаемые с помощью существующих технологий^ имели многочисленные дефекты структуры, а вследствие малой длины когерентности, по сравнению с низкотемпературными сверхпроводниками, практически все типы дефектов оказывают существенное влияние на свойства ВТСП. Решающая роль в преодолении большинства трудностей принадлежит технологии тонких эпитаксиальных пленок. Развитие существующих в микроэлектронике технологий позволило получить образцы ВТСП в виде эпитаксиальных пленок со структурой и свойствами, позволяющими применить ВТСП для создания приборов с уникальными характеристиками. Кроме этого, тонкие пленки сыграли огромную роль как модельные системы для изучения эффектов анизотропии, пиннинга вихрей, влияния границ зерен и так далее. В настоящее время тонкие пленки ВТСП находят применение в различных устройствах. Одно из главных преимуществ ВТСП перед нормальными металлами - низкое поверхностное сопротивление, что и обусловило применение ВТСП в ВЧ и СВЧ электронике. Для таких применений наиболее часто используются пленки YBCO и Tl-Ba-Ca-Cu-O. И несмотря на то, что таллиевые пленки имеют более высокую температуру перехода в сверхпроводящее состояние, в температурном диапазоне 60-77К оба материала имеют примерно одинаковые свойства [9]. Этот факт, вместе с крайней ядовитостью таллиевых соединений, обусловил наибольшее количество исследований и применений иттриевой керамики.

Основные применения высокотемпературные сверхпроводники находят в высокочастотных устройствах и охватывают многие элементы радиоаппаратуры [7, 8]: резонаторы, приемные полосовые фильтры, передающие полосовые фильтры, заграждающие фильтры, перестраиваемые фильтры, антенны и суммирующие устройства. Использование ВТСП позволяет существенно улучшить параметры элементов и аппаратуры в целом. Так в [12] приведены результаты испытания сети базовых телефонных станций, использующих ВТСП фильтры, доказана надежность и преимущества по сравнению со станциями, построенными по обычной технологии. Эти преимущества заключаются в следующем:

- чувствительность возросла на 2дБ,

- подавление помех от смежных каналов увеличилось с 18 до бОдБ,

- минимальное отношение полезных сигналов к интерференционным возросло с 13 до 20дБ,

- среднее отношение полезных сигналов к интерференционным возросло с 16 до 24дБ, число базовых станций, необходимое для обслуживания местности, уменьшилось с 23 до 16.

Первоначально изучение высокочастотных свойств ВТСП началось с СВЧ диапазона, и здесь ВТСП нашли свое применение в качестве высоко добротных резонаторов и фильтров. Высокие значения добротностей потребовали использования диэлектриков с малыми потерями, что привело к новому витку исследований диэлектрических свойств, поиску новых материалов и улучшению, за счет технологии изготовления, уже известных. Такие исследования продолжаются и по настоящее время. Совершенствование технологий роста пленок и формирования топологии позволило от резонансных систем с распределенными параметрами перейти к устройствам с сосредоточенными параметрами, где, как например, в планарных катушках индуктивности отношение длины проводника к ширине составляет десятки тысяч. Это позволило, во первых, уменьшить габариты устройств и увеличить добротность из-за снижения радиационных потерь, во вторых, удалось снизить рабочие частоты, и в третьих, расширить диапазон перестройки частоты. Таким образом, ВТСП шагнуло в ВЧ диапазон, где нашло применение в качестве фильтров для связи и приемных катушек для медицинских томографов [1, 5, 7, 8]. Как показывает анализ современной литературы, свойства ВТСП в этом диапазоне исследованы достаточно слабо. Одновременно возникла необходимость исследования, как свойств ВТСП, так и применяемых материалов в этом диапазоне частот.

Настоящая диссертация посвящена применению пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO в высокочастотных устройствах и решению возникающих на этом пути проблем. YBCO тонкие пленки, получаемые с помощью существующих технологий, как правило, имеют многочисленные дефекты структуры. Кроме технологических факторов большое влияние на структуру и свойства пленок и параметры устройств оказывает подложка, в частности ее диэлектрические свойства. В связи с этим проведена работа по получению тонких пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO на подложках из сапфира с подслоем, как наиболее подходящих для применения в ВЧ и СВЧ приборах. Вопросы применения и оптимизации технологии требовали комплексного исследования структуры и транспортных свойств эпитаксиальных пленок, в том числе и нелинейных. Необходимо было изучить возможности технологии, вопросы стабильности и модификации свойств тонких пленок. Для решения этих вопросов были синтезированы тонкие и сверхтонкие, толщиной в несколько периодов решетки YBCO, эпитаксиальные пленки. Проведено исследование свойств, структуры и стабильности таких пленок. И, наконец, решение вопросов, связанных с технологией и исследованием свойств ВТСП пленок позволило разработать технологию получения высокодобротных катушек индуктивности и на их основе построить перестраиваемый ВЧ контур.

Основные цели работы состояли в следующем:

1. Изучить возможность получения тонких пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO на подложках из сапфира с подслоем. В связи с этим необходимо разработать технологию получения буферных подслоев и пленок YBCO, провести комплексное исследование их свойств с целью оптимизации технологических процессов для достижения наилучших результатов.

2. Синтезировать методом лазерного распыления тонкие и сверхтонкие, толщиной в несколько периодов решетки YBCO, эпитаксиальные пленки. Исследовать стабильность, свойства и структуру таких пленок. Реализовать возможности методов измерений для изучения структуры и транспортных свойств сверхтонких слоев.

3. Изучить влияние отжига при низких температурах ~180°С на структуру и свойства пленок YBCO.

4. Провести исследование генерации комбинационных частот в пленках YBCO в СВЧ диапазоне.

5. Разработать технологию изготовления катушек индуктивности на основе пленок YBCO и создать на их основе высокодобротный перестраиваемый колебательный контур ВЧ диапазона.

Научная новизна и практическая значимость работы определяется оригинальностью поставленных экспериментов, полученными новыми результатами, и заключается в следующем:

1. Методами лазерного и электронно-лучевого распыления получены монокристаллические эпитаксиальные буферные слои окиси циркония, стабилизированной окисью иттрия, на сапфире. На сапфире с подслоем получены пленки толщиной 200нм с поверхностным сопротивлением на уровне лучших мировых образцов менее 1мОм (ЮГГц, 77К).

2. Методом лазерного напыления получены тонкие и сверхтонкие (менее Юнм) сверхпроводящие выше температуры жидкого азота пленки YBCO на алюминате лантана. Пленки устойчивы к термоциклированию, а кроме того, при толщинах более 9нм сохраняют электрические свойства объемного материала.

3. Изучены возможности низкотемпературного отжига для модификации свойств пленок YBCO. Проведено комплексное исследование воздействия отжига при температуре 180°С на величину периода кристаллической ячейки вдоль оси с, критическую температуру и удельное сопротивление в нормальном состоянии.

4. Разработана новая оригинальная методика исследования нелинейности в пленках высокотемпературного сверхпроводника YBCO. Методика основана на использовании одновходового резонатора с критической величиной связи, что позволяет повысить чувствительность измерений интермодуляционного сигнала в 1/R раз, где R - малый коэффициент отражения сигнала накачки от резонатора.

5. Установлено, что подложки галата неодима могут быть использованы для изготовления высокодобротных ВЧ устройств. Разработана технология изготовления планарных катушек индуктивности на основе пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO.

6. На основе двух планарных катушек индуктивности, изготовленных из пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO, создан механически перестраиваемый колебательный контур ВЧ диапазона. Контур имеет рекордные диапазон перестройки резонансной частоты (8МГц - 30МГц) и собственную добротность выше 105 при температуре жидкого азота.

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Пленки YBCO, полученные на алюминате лантана методом лазерного распыления, при толщинах более 9нм имеют электрические свойства объемного материала.

2. Эпитаксиальные слои YBCO, выращенные при пониженных температурах роста, чувствительны к отжигу с температурой ~180°С. Изменения структуры и транспортных свойств пленок YBCO при таком отжиге обусловлены изменением концентрации кислорода в пленке.

3. Методика исследования нелинейных свойств, основанная на использовании диэлектрического резонатора с одной связью, позволяет повысить чувствительность измерений интермодуляционного сигнала в 1/R раз, где R- малый коэффициент отражения сигнала накачки от резонатора.

4. Подложки галата неодима могут быть использованы для изготовления высокодобротных ВЧ устройств с добротностями Q> 10s для частот 30-70МГц.

5. На основе пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO в ВЧ диапазоне могут быть изготовлены контуры с собственной добротностью Qo>\О5 и широким диапазоном перестройки частот более одной октавы.

Публикации и апробация работы

По теме диссертации опубликованы 22 работы, из которых 12 статей в отечественных и зарубежных реферируемых журналах, патент на изобретение и 9 публикаций в сборниках тезисов докладов и трудов конференций. Результаты докладывались на VIII-XI Trilateral German-Russian-Ukrainian seminars on HTSC (1995, Lviv, Ukraine; 1996, Gabelbach, Germany; 1997, Nizhny Novgorod, Russia; 1998, Gottingen, Germany), Applied Superconductivity Conference (1998, USA), 11-ой и 12-ой Международных конференциях "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" (2001, 2002, Севастополь, Крым, Украина), а также на внутренних семинарах ИФМ РАН.

Личный вклад автора в проведенные исследования заключается в:

- разработке технологии и получении пленок YBCO и подслоев методом лазерного напыления; исследовании транспортных свойств пленок на постоянном токе;

- разработке методики и создании установки для исследования нелинейных свойств YBCO пленок; решении задачи о генерации комбинационных частот в одновходовом диэлектрическом резонаторе и вычислении из результатов измерений нелинейных параметров пленки; разработке технологии изготовления и исследовании свойств YBCO катушек индуктивности и перестраиваемого контура; комплексном анализе влияния технологических факторов на всех стадиях формирования пленок и структур для оптимизации процессов с целью достижения наилучших результатов.

Структура и объем диссертации

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, приложения и списка литературы, включающего в себя список цитированной литературы и список работ автора по теме диссертации. Каждая глава диссертации посвящена конкретной проблеме, связанной с получением, исследованием свойств и применением YBCO эпитаксиальных пленок. В начале каждой главы дается краткий обзор состояния дел в рассматриваемой проблеме. Общий объем диссертации составляет 162 страницы, включая 94 страницы основного текста, 62 рисунка, размещенных на 47 страницах, список цитированной литературы из 152 наименований и список работ автора по теме диссертации из 22 наименований.

5.7. Выводы

На основе пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO разработан и изготовлен механически перестраиваемый высокодобротный контур ВЧ диапазона. Использование для построения контура двух катушек позволило расширить диапазон перестройки частоты, по сравнению с перестраиваемым контуром из одной катушки и емкостной перемычки [143]. Контур имеет рекордный диапазон перестройки резонансной частоты (8МГц - 30МГц) и рекордную во всем диапазоне собственную добротность 1.1-1.8x105 при температуре 77К. Зависимость добротности от частоты, измеренная в линейном режиме, имеет максимум. Предложенная модель перестройки резонансной частоты контура хорошо согласуется с экспериментальными данными и может быть использована в дальнейшем для выяснения механизмов потерь, ограничивающих добротность.

Максимальные значения добротности получены при использовании в качестве подложки галата неодима, на алюминате получены добротности почти на порядок ниже, хотя по литературным данным он обладает меньшим тангенсом потерь на СВЧ по сравнению с галатом неодима (см. Табл. 1.1). Добротность одиночной катушки на галате неодима составляет около 105 на частотах 37 и 67МГц, и этот материал является весьма привлекательным для ВЧ приложений.

Заключение

В настоящей диссертации получены следующие основные результаты:

1. Методы лазерного и электронно-лучевого распыления позволяют получать на сапфире монокристаллические эпитаксиальные буферные слои YSZ, которые служат эффективным барьером для диффузии атомов алюминия из подложки (глубина проникновения А1 в подслой не превышает ЗОнм при последующем осаждении YBCO). Особенностью слоев является анизотропия мозаичности в плоскости слоя, связанная с существенным различием несоответствия периодов решетки слоя и подложки в плоскости сопряжения.

2. Обнаружено два конкурирующих механизма, определяющих структуру и свойства YBCO пленок, полученных лазерным напылением на подложках сапфира с буферными подслоями YSZ, в зависимости от температуры роста. Показано, что с ростом температуры, с одной стороны, улучшается кристаллическое совершенство сверхпроводящей фазы, приводящее к улучшению свойств пленки, и, с другой стороны, увеличивается количество несверхпроводящей фазы. Для формирования пленок с низким поверхностным сопротивлением оптимальный интервал температур осаждения составляет около 50°С. Поверхностное сопротивление пленок толщиной 200нм менее 1мОм (ЮГГц, 77К), что соответствует лучшим мировым образцам.

3. Метод лазерного напыления позволяет получать сверхтонкие сверхпроводящие выше температуры жидкого азота пленки YBCO (до 5нм) на алюминате лантана. Пленки толщиной более 9нм сохраняют электрические свойства объемного материала. Для пленок меньшей толщины наблюдается деградация транспортных свойств, наиболее вероятной причиной которой является уменьшение орторомбичности YBCO.

4. Обнаружено, что пленки YBCO, выращенные при пониженных температурах роста, чувствительны к отжигу при низких температурах ~180°С. Определены зависимости критической температуры, величины периода кристаллической ячейки вдоль с и удельного сопротивления от времени отжига, показано, что изменения структуры и транспортных свойства пленок YBCO при таком отжиге обусловлены изменением концентрации кислорода. Обнаружено, что в пленках YiBa2Cu307-§ может наблюдаться "переокисленное" состояние с пониженной Тс■

5. Разработана новая методика исследования нелинейности в пленках высокотемпературного сверхпроводника YBCO. Методика основана на использовании одновходового резонатора с критической величиной связи, что позволяет повысить чувствительность измерений интермодулядионного сигнала в 1/R раз, где R - малый коэффициент отражения сигнала накачки от резонатора. Изготовлена измерительная система с одновходовым диэлектрическим резонатором, обеспечивающим величину /?<-20дБ. Проведены измерения нелинейных свойств пленок YBCO на частоте 12ГГц, определены их нелинейные характеристики.

6. Установлено, что подложки галата неодима могут быть использованы для изготовления высокодобротных ВЧ устройств. Разработана технология изготовления планарных катушек индуктивности на основе пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO. При использовании подложек галата неодима достигнуты добротности Q> 105 для частот 30-70МГц.

7. На основе двух планарных катушек индуктивности, изготовленных из пленок высокотемпературного сверхпроводника YBCO, создан механически перестраиваемый колебательный контур ВЧ диапазона. Контур имеет рекордные диапазон перестройки резонансной частоты (8МГц - 30МГц) и собственную добротность выше 105 при температуре жидкого азота.

1. Rosner С.Н. Superconductivity: Star Technology for the 21st Century //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. -2001. Vol.11. - No.l. - P.39-48.

2. Bednorz J.G. Possible High To Superconductivity in the Ba-La-Cu-0 System /J.G.Bednorz, K.A.Muller //Zeitschrift fur Physik B. 1986. - Vol.64. - P.189-193.

3. Wu M.K. Superconductivity at 93K in New Mixed- Phase Y-Ba-Cu-0 Compound System at Ambient Pressure /M.K.Wu, J.R.Ashburn, J.C.Torng, P.H.Hor, R.L.Meng, L.Gao, ZJ.Huang, Y.Q.Wang, C.W.Chu //Physical Review Letters. 1987. - Vol.58. - No.9. -P.908-910.

4. Mansour R.R. Microwave Superconductivity //IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 2002. - Vol.50. - No.3. - P.750-759.

5. He Z.H. High-pressure synthesis of single-phase superconductors HgzSrxBa2-xCa2Cu308-5 and (Hg, M)Sr2Ca2Cu3Oy with M-Pb and Mo /Z.H.He, Q.M.Lin, L.Gao, Y.Y.Sun, Y.Y.Xue, C.W.Chu //Physica C. 1995. - Vol.241. - No.3&4. - P.211-218.

6. Мухортов Вл.М. Высокотемпературные сверхпроводники в современной аппаратуре связи (Перспективы применения и состояние исследований). Часть I /Вл.М.Мухортов, В.А.Следков, В.М.Мухортов //Микросистемная техника. 2002. -№8. - С.20-24.

7. Мухортов В.М. Высокотемпературные сверхпроводники в современной аппаратуре связи (Перспективы применения и состояние исследований) Часть II /В.М.Мухортов, В.А.Следков, Вас.М.Мухортов //Микросистемная техника. 2002. -№9.-С. 11-18.

8. Willemsen В.A. HTS Filter Subsystems for Wireless Telecommunications //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 2001. - Vol.11. - No.l. - P.60-67.

9. Braginski A.I. Superconducting Electronics Coming to Market //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1999. - Vol.9. - No.2. - P.2825-2836.

10. Rowell J.M. Recommended Directions of Research and Development in Superconducting Electronics //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1999. - Vol.9. - No.2. -P.2837-2848.

11. Jedamzik D. Evaluation of HTS Sub-Systems for Cellular Basestations Market /D.Jedamzik, R.Menolaschino, M.Pizarroso, B.Salas //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1999. - Vol.9. - No.2. - P.4022-4025.

12. Phillips J.M. Substrate selection for high-temperature superconducting thin films //Journal of Applied Physics. 1996. - Vol.79. - No.4. - P. 1829-1847.

13. Мощалкова H.A. Химические аспекты влияния материала подложки на сверхпроводящие свойства тонких пленок YBa2Cu3C>7-x //Обзоры по высокотемпературной сверхпроводимости. 1990. - Вып.1. - С. 17-39.

14. Zaitsev A.G. Large-Area УВа2Сиз07-х Films on Sapphire with Excellent Microwave power Handling Capability /A.G.Zaitsev, R.Kutzner, R.Wordenweber, T.Kaiser, M.A.Hein, G.Muller //Journal of Superconductivity. 1998. - Vol.11. - No.3. - P.361-365.

15. Shmidt H. Epitaxial УВа2СизОх thin films on sapphire using a Y-stabilized Zr02 buffer layer /H.Shmidt, K.Hradil, W.Hosler, W.Wersing, G.Gieres, RJ.Seebock //Applied Physics Letters. 1991. - V.59. - No.2. - P.222-224.

16. Wu X.D. Epitaxial yttria-stabilized zirconia on (101 2) sapphire for УВа2Сиз07-5 thin films /X.D.Wu, R.E.Muenchausen, N.S.Nogar, A.Pique, R.Edwards, B.Wilkens, T.S.Ravi, D.M.Hwanng, Y.Chen //Applied Physics Letters. 1991. - Vol.58. - No.3. - P.304-306.

17. Newman N. Review. High-temperature Superconducting microwave devices: fundamental issues in materials, physics, and engineering /N.Newman, W.G.Lyons //Journal of Superconductivity. 1993. - V.6. - No.3. - P. 119-160.

18. Gao Y. Structure and composition of grain boundary dislocation cores and stacking faults in MOCVD-grown YBa2Cu3Oy thin films /Y.Gao, K.L.Merkle, G.Bai, H.L.M.Chang, D.J.Lam //PhysicaC. 1991. - Vol.174. - P. 1-10.

19. Pennycook S.J. Growth and relaxation mechanisms of УВагСизОу.х films /S.J.Pennycook, M.F.Chisholm, D.E.Jesson, RFeenstra, S.Zu, X.Y.Zheng, D.J.Lowndes //Physica C. -1992. Vol.202. P. 1-11.

20. Yoshitake Т. Effect of copper deficiency on the structure and microwave properties of YBa2Cu307-5 films deposited by laser ablation /Т.Yoshitake, W.Hattori, S.Tahara //Journal of Applied Physics. 1998. - Vol.84. - No.4. - P.2176-2180.

21. Yoshitake T. Copper composition dependence of structure and microwave properties in Y-Ba-Cu-0 films /Т.Yoshitake, W.Hattori, S.Tahara //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1999. - Vol.9. -No.2. - P.3058-3061.

22. Luo L. Spiral growth in epitaxial УВагСизО?.* thin films produced by high deposition rate chemical vapor deposition /L.Luo, M.E.Hawley, C.J.Maggiore, R.C.Dye, R.E.Muenchausen //Applied Physics Letters. 1993. - Vol.62. - No.5. - P.485-486.

23. Gavaler J.R. Effect of Oxygen Over-Doping on Tc and Rs of YBCO Films /J.R.Gavaler, J.Talvaccio, R.W.Weinert //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1995. -Vol.5.-No.2.-P.l 173-1176.

24. Братухин П.В. Влияние дефицита кислорода на критические и структурные параметры пленок УВагСизОх /П.В. Братухин, В.Ф.Елесин, К.Е.Коньков, А.С.Молчалов, С.М.Шавкин //Сверхпроводимость: физика, химия, техника. 1992. -Т.5. - №10. - С.1855-1860.

25. Han Z. Observation of metallic resistivity behavior following a l/рзоок dependence of Tc in YBa2Cu307-x thin film with varying oxygen deficiency /Z.Han, U.Helmenson, T.I.Selinder //Physical ReviewB. 1993. - Vol.48. - No.10. - P.7708-7711.

26. Suzuki H. Thin films structure of YBa2Cu3Oy on MgO(lOO) substrates studied by ТЕМ /H.Suzuki, H.Kurosawa, K.Miyagawa, Y.Hirotsu, M.Era, T.Yamashita, H.Yamane, T.Hirai //Japanese Journal of Applied Physics.- 1990. Vol.29. -No.9. - P.L1648-L1651.

27. Дроздов Ю. Н. неопубликовано.

28. Осипьян Ю.А. Полидоменная структура монокристаллов УВа2Си307 /Ю.А.Осипьян, Н.С.Афоникова, Г.А. Емельченко, Т.К.Парсемян, И.М.Шмытько, В.Ш.Шехтман //Письма в ЖЭТФ. 1987. - Т.46. - № 5. - С.189-192.

29. Симонов В.И. Структурные исследования высокотемпературных сверхпроводников /В.И.Симонов, В.Н.Молчанов, Р.А.Тамазян //Кристаллы. Рост, структура, свойства: Сб. науч. тр.- М.: Наука, 1993. С.56-77.

30. Varshney D. Cogerence Lengths and Magnetic Penetration Depths in УВа2Сиз07 and УВагСщОз Superconductors /D.Varshney, R.K.Singh, S.Shan //Journal of Superconductivity. 1996. - Vol.9. - No.6. - P.629-635.

31. Klein N. The effective microwave surface impedance of high-Tc thin films /N.Klein, H.Chaloupka, G.Muller, S.Orbach, H.Piel, B.Roas, L.Schultz, U.Klein, M.Peiniger //Journal of Applied Physics. 1990. - Vol.67. - No.ll. - P.6940-6945.

32. Scherer T. Anisotropy on the a, b-plane of c-axis orientated almost twin-free YBCO films on NdGa03 /T.Scherer, P.Marienhoff, R.Herwig, N.Neuhaus, W.Jutzi //Physica C. 1992. - Vol.197.-P.79-83.

33. Young K.H. Comparisons of high temperature superconductor thin films on various substrates for microwave application /K.H.Young, G.V.Negrete, M.M.Eddy, J.Z. Sun, T.W.James, McD.Robinson, E.J.Smith //Thin Solid Films. 1991 - Vol.206. -P.116-121.

34. Guo R. Surface crystallographic structure compatibility between substrates and high Tc (YBCO) thin films /R.Guo, A.S.Bhalla, L.E.Cross, R.Roy//Journal of Materials Research. -1994. Vol.9. - No.7. - P. 1644-1656.

35. Rauch W. DC-magnetron sputtering of YBa2Cu307-s thin films for microwave applications /W.Rauch, H.Behner, G.Gieres, F.Fox, A.A.Valenzuela, E.Gornik //Physica C. 1992. -Vol.198. -P.389-395.

36. Zuccaro C. Microwave absorption in single crystals of lanthanum aluminate /С.Zuccaro, M.Winter, N.Klein, K.Urban //Journal of Applied Physics. 1997. - Vol.82. - No.ll. -P.5695-5704.

37. Vendik O.G. Ferroelectric Tuning of Planar and Bulk Microwave Devices /O.G.Vendik, E.K.Hollmann, A.B.Kozyrev, A.M.Prudan //Journal of Superconductivity. 1999. -Vol.12. -No.2.-P.325-328.

38. Klein N. High-Q dielectric resonator devices at cryogenic temperatures /N.Klein, S.Schornstein, I.S.Ghosh, D.Schemion, M.Winter, C.Zuccaro //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1999. - Vol.9. - No.2. - P.3573-3576.

39. Zang Y.Z. Epitaxially grown YBaCuO thin films on low loss LaA103 substrate /Y.Z.Zang, L.Li, Y.Y.Zhao, B.R.Zhao, Y.G.Wang, X.G.Qiu, Y.H.Wang, P.Xu //Modern Physics Letters B. 1990. - Vol.4. - No.5. - P.369-373.

40. Hollman E.K. Subsrates for high-Tc superconductor microwave integrated circuits /E.K.Hollman, O.G.Vendik, A.G.Zaitsev, B.Melekh //Superconductor Science and Technology. 1994. - Vol.7. - P.609-622.

41. Климонский C.O. Технология получения и свойства тонких ВТСП пленок //Сверхпроводимость: исследования и разработки. 1995. - №5-6. - С.116-127.

42. Можаев П.Б. Получение высококачественных тонких пленок YBa2Cu30x на подложке NdGaCb (110) методом лазерного распыления /П.Б.Можаев, Г.А.Овсянников, А.Кюле, Й.Л.Сков, П.Бодин //Сверхпроводимость: физика, химия, техника. 1995. - Т.8. - №2. - С.288-294.

43. Grigorenko A.N. Scanning Hall probe microscopy of flux penetration into a superconducting YBa2Cu307-s thin film strip /A.N.Grigorenko, S.J.Bending, J.K.Gregory, R.G.Humphreys //Applied Physics Letters. 2001. - Vol.78. - No.l 1. - P. 1586-1588.

44. Moeckly В.Н. Growth of YBa2Cu307 thin films on MgO: The effect of substrate preparation /B.H.Moeckly, S.E.Russek, D.L.Lathrop, R.A.Buchman, J.Li, J.W.Mayer //Applied Physics Letters. 1990. - Vol.57. -No.16. - P.1687-1689.

45. Botha P.J. Behavior of elastic constants, refractive index, and lattice parameter of cubic zirconia at high temperatures /P.J.Botha, J.C.H.Chiang, J.D.Comins, P.J.Mjwara, P.E.Ngoepe //Journal of Applied Physics. 1993. - Vol.73. - No. 11. - P.7268-7276.

46. Sarkar A. In situ Grown Superconducting YBCO Films on Buffered Silicon Substrates for Device Applications /A.Sarkar, S.R.Ray, A.Dhar, D.Bhattacharya, K.L.Chopra//Journal of Superconductivity. 1996. - Vol.9. - No.2. - P.217-222.

47. Denhoff M.V. Epitaxial YBa2Cu30y.x thin films on СеОг buffer layers on sapphire substrates / M.V .Denhoff, J.P.McCaffrey //Journal of Applied Physics. 1991. - Vol.70. -No.7. - P.3986-3988.

48. Matijasevic V. Reactive coevaporation of YBaCuO superconducting films /V.Matijasevic, P.Rosentyal, K.Shinohara, A.F.Marshall, R.H.Hammond, M.R.Beasley //Journal of Materials Research. 1994. - Vol.6. - No.4. - P.682-698.

49. Горбенко О.Ю. Получение тонких пленок ВТСП методом MOCVD /О.Ю.Горбенко, В.Н.Фуфлыгин, А.Р.Кауль //Сверхпроводимость: исследования и разработки. 1995. -№5-6.-С.38-81.

50. Shinohara К. Preparation of Y-Ba-Cu-0 Superconducting Thin Film by Chemical Vapor Deposition /K.Shinohara, F.Munakata, M.Yamanaka //Japanese Journal of Applied Physics. 1988. - Vol.27. -No.9. - P.L1683-L1685.

51. Matsuno S. Metalorganic chemical vapor deposition using a single solution source for high Jc УВа2Сиз07-х superconducting films /S.Matsuno, F.Uchikawa, S.Utsunomiya, S.Nakabayashi //Applied Physics Letters. 1992. - Vol.60. - No. 19. - P.2427-2429.

52. Schulte B. Compositional effects in YxBayCuz07-6 thin films prepared by metalorganic chemical vapor /В.Schulte, M.Maui, P.Haussler, H.Adrian //Applied Physics Letters. -1993. Vol.62. - No.6. - P.633-635.

53. Face D.W. Large Area YBa2Cu307 Films For High Power Microwave Applications /D.W.Face, C.Wilker, Z.-Y.Shen, P.Pang, R.Small //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1995. - Vol.5. - No.2. - P.1581-1586.

54. Данилин Б.С. Магнетронные распылительные устройства для осаждения пленок высокотемпературных сверхпроводников //Обзоры по высокотемпературной сверхпроводимости. 1992. - Вып.4. - №8. - С.101-151.

55. Володин Б.А. YBCO тонкие пленки большого размера для СВЧ применений /Б.А.Володин, А.К.Воробъев, Ю.Н.Дроздов, Е.Б.Клюенков, Ю.Н.Ноздрин, А.И.Сперанский, В.В.Таланов //Письма в ЖТФ. - 1995. - Т.21. - Вып. 16. - С.90-94.

56. Коньков К.Э. Получение пленок Y-Ba-Cu-О методом лазерного напыления /К.Э.Коньков, А.С.Молчанов //Сверхпроводимость: физика, химия, техника. 1992.- Т.5. №4. - С.738-743.

57. Miura S. Structure and superconducting properties of YBa2Cu3Ox films prepared by TEA C02 pulsed laser evaporanion /S.Miura, T.Yoshitake, T.Satoh, Y.Mmiyasaka, N.Shjhata //Applied Physics Letters. 1988. - Vol.52. - No.12. - P. 1008-1010.

58. Bauerle D. Laser-Induced Formation and Surface Prosessing of High-Temperature Superconductors //Applied Physics A. 1989. - Vol.48. - P. 527-542.

59. Lynds L. High temperature superconducting thin films: the physics of pulsed laser ablation /L.Lynds, D.RWeinbtrger, D.M.Potrepka, G.G.Peterson, M.P.Lindsay //Physica C. 1989. -Vol.159. -P.61-69.

60. Song W.D. Deposition of large area УВагСизО? superconducting films by laser scanning ablation/W.D.Song, C.W.An, D.S.Lu, Y.C.Fan, Z.G.Li //Applied Physics Letters. 1993.- Vol.63. No.24. - P.3370-3372.

61. Kautek W. Formation of Y-Ba-Cu-Oxide thin films by pulsed laser deposition: a comparative study in the UV, visible and IR range /W.Kautek, B.Roas, L.Shultz //Thin Solid Films. 1990. - Vol.191. -P.317-334.

62. Лабунов В.А. Получение, свойства, применение тонких пленок керамических высокотемпературных сверхпроводников /В.А.Лабунов, В.Е.Борисенко, Ю.Е.Воеводов, В.В.Грибковский //Зарубежная электронная техника. 1989. -№3(334). - С.3-57.

63. Иванов А.А. Особенности лазерного напыления высокотемпературных сверхпроводящих пленок /А.А.Иванов, П.В.Братухин, С.Г.Галкин, А.В.Кузнецов, А.П.Менушенков, С.В.Шавкин //Сверхпроводимость: физика, химия, техника. -1992. Т.5. - №4. - С.724-731.

64. Прохоров В.Г. Особенности получения пленок УВагСизОу методом скрещенных лазерных пучков /В.Г.Прохоров, В.И.Мацуй, В.А.Васько //Сверхпроводимость: физика, химия, техника. 1992. - Т.5. - №3. - С.505-509.

65. Kiihle A. Smooth YBa2Cu307.x thin films prepared by pulsed laser deposition in Ог/Аг atmosphere ablation /A.Ktihle, J.L.Skov, S.Hjorth, I.Rasmussen, J.B.Hansen //Applied Physics Letters. 1994. - Vol.64. -No.23. - P.3178-3180.

66. Предтеченский M.P. Роль фонового кислорода в лазерном напылении оксидных высокотемпературных сверхпроводящих пленок /М.Р.Предтеченский, О.Ф.Бобренок, И.Г.Васильева//Сверхпроводимость: физика, химия, техника. 1994.- Т.7. №5. - С.851-859.

67. Палатник JI.С. Дефекты поверхности и неоднородность состава в GaPxAsl-x /Л.С.Палатник, МЛ.Фукс, В.Н.Маслов, А.А.Козьма, И.Ф.Михайлов //Неорганические материалы. 1976. - Т12. - №11. - С. 1912-1915.

68. Grundmann М. Anisotropic and ingomogeneous strein relaxation in pseudomorphic Inl-xGaxAs/GaAs quantum wells /M.Grundmann, U.Lieiiert, D.Bimberg, A.Fiscer-Colbrie, J.N.Miller //Applied Physics Letters. 1989. - Vol.55. - No.17. - P.1765-1767.

69. Талонов С.В. Низкотемпературная эпитаксия диэлектриков при лазерном распылении материалов в разрешенной химически активной среде /С.В.Гапонов, Е.Б.Клюенков, Б.А.Нестеров, Н.Н.Салащенко, М.И.Хейфец //Письма в ЖТФ. 1979. - Т.5. - Вып.8. - С.472-475.

70. Nozdrin Yu.N. A laser-magnetic tomography for HTSC film /Yu.N.Nozdrin, P.P.Vysheslavtzev, I.D. Tokman, I.M.Gordion //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1995. - Vol.5. - No.2. -P.1424-1427.

71. Xi Х.Х. Preparation and properties of ultrathin YBa2Cu307-x films /X.X.Xi, J.Greerk, G.Linker, Q.Li, O.Meyer //Applied Physics Letters. 1989. - Vol.54. - No.23. - P.2367-2369.

72. Terashima T. Superconductivity of One-Unit-Cell Thick УВа2Сиз07х Thin Film /T.Terashima, K.Shimura, Y.Bando, Y.Matshida, A.Fujiyama, S.Komiyama //Physical Review Letters. -1991. Vol.67. - No. 10. - P.1362-1365.

73. Cieplak M.Z. Origin of Tc depression and the role of charge transfer and dimensionality in ultrathin YBa2Cu307.g /M.Z Cieplak., S.Guha, S.Vadlamannati, T.Giebultowicz, P.Lindefed//Physical Review Letters. 1994. - Vol.50. -No.17. - P.12876-12886.

74. Suzuki M. Fabrication of Josephson Junctions by Focused Electron beam Irradiation /M.Suzuki, N.Kawahara, H.Hoshizaki, T.Imura //Japanese Journal of Applied Physics. -1994. Vol.33. - P.L578-L580.

75. Байков И.С. Сверхтонкие ВТСП пленки, гетероструктуры и сверхрешетки на их основе/И.С.Байков, А.И.Головашкин//Прикладная Физика. 1995. - №1. - С.22-30.

76. Bozovic I. Superconducting Oxide Multilayers and Superlattices: Physics, Chemistry, and Nanoengenineering /I.Bozovic, J.N.Eckstein, G.F.Virshup //Physica C. 1994. - Vol.235-240.-P.178-181.

77. Gao J. Formation of outgrowths at the initial growing stage of YBaCuO ultrathin films on Zr02 substrates /J.Gao, W.H.Wong, J.Xhine //Applied Physics Letters. 1995. - Vol.67. -No.15. - P.2232-2234.

78. Perez R. The microwave surface impedance of 0уВа2Сиз07х very thin films /R.Perez, T.Tybell, A.Gupta, J.M.Triscone, M.Decroux, O.Fisher //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1997. - Vol.7. - No.2. - P. 1877-1880.

79. Кузнецов Г.Ф. Рентгенодифрактометрическая идентификация и измерение упругой деформации и толщины монокристаллических слоев в эпитаксиальных системах ZnSe/(001)GaAs, ZnSe/ZnSei.xSx/ZnSe/(001)GaAs //Кристаллография. 1995. - Т.40. -№5. - С.936-939.

80. Taber R.C. A parallel plate resonator technique for microwave loss measurements on superconductors //Review of Scientific Instruments. 1990. - Vol.61. - No.8. - P.2200-2006.

81. Turneaure J.P. The Surface Impedance of Superconductors and Normal Conductors: The Mattis-Bardin Theory /J.P.Turneaure, J.Halbritter, H.A.Schwettman //Journal of Superconductivity. 1991. - Vol.4. -No.5. - P.341-355.

82. Шмидт B.B. Введение в физику сверхпроводников. М.: Наука, 1982. - 240с.

83. Gupta R.P. Role of Cu-0 linear chains in high temperature superconductivity and antiferromagnetism in УВа2Сиз07-§ /R.P.Gupta, M.Gupta //Solid State Communication. -1988. Vol.67. - No.2. - P.129-132.

84. Basov D.N. In-Plane Anisotropy of the Penetration Depth in YBa2Cu307-g and УВа2Си408 Superconductors /D.N.Basov, R.Liang, D.A.Bonn, W.N.Hardy, B.Dabrowsky, M.Quijada,

85. D.B.Tanner, J.P.Rice, D.M.Ginsberg, T.Timusk //Physical Review Letters. 1995. -Vol.74. -No.4. -P.598-601.

86. Cava R.J. Single- phase 60-K bulk superconductor in annealed Ва2УСиз07.5 (0.3<8<0.4) with correlated oxygen vacancies in Cu-O chains /R.J.Cava, B.Batlogg, C.H.Chen,

87. E.A.Rienman, S.M.Zahyrak, D.Werder //Physical Review B. 1987. - Vol.36. - No. 10. -P.5719-5722.

88. Tallon J.L. Generic superconducting phase behavior in high-Tc cupraties: Tc variation with hole concentration in YiBa2Cu307g /J.L.Tallon, C.Bernhard, H.Shaked, R.L.Hitterman//Physical Review B. 1995. - V.51. - No. 18. - P.12911-12914.

89. Diete W. Surface Resistance and Nonlinear Dynamic Microwave Losses of Epitaxial HTS Films /W.Diete, M.Getta, M.Hein, T.Kaiser, G.Miiller, H.Piel, H.Shlick //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1997. - Vol.7. - No.2. - P. 1236-1239.

90. Wilker С. Nonlinear Effects in High Temperature Superconductors: 3rd Order Intercept from Harmonic Generator /C.Wilker, Z.-Y.Shen, P.Pang, W.L.Holstein, D.W.Face //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1995. - Vol.5. - No.2. - P.1665-1670.

91. Shen Z.-Y. Raising the Power-Handling Capacity of HTS Circuits /Z.-Y.Shen, C.Wilker //Microwaves & RF. -1994. April. - P. 130-139.

92. Yip S.K. Nonlinear Meissner Effect in CuO Superconductors /S.K.Yip, J.A.Sauls //Physical Review Letters. 1992. - Vol.69. - No.15. - P.2264-2267.

93. Xu D. Nonlinear Meissner Effect in Unconventional Superconductors /D.Xu, S.K.Yip, J.A.Sauls //Physical Review B. 1995. - Vol.51. - P. 16233-16253.

94. Dahm T. Theory of Intermodulation in a Superconducting Microstrip Resonator /T.Dahm, D.J.Scalapino //Journal of Applied Physics. 1997. - Vol.81. - No.4. - P.2002-2009.

95. Dahm T. Theory of Microwave Intermodulation in High-Tc Superconducting Microstrip Resonator /T.Dahm, D.J.Scalapino //Applied Physics Letters. 1996. - Vol.69. - No.27. -P.4248-4250.

96. Dahm T. Phenomenological Theory of Intermodulation in HTS Resonaters and Filters /T.Dahm, J.Scalapino, B.A.Willemsen //Journal of Superconductivity. 1999. - Vol.12. -No.2. -P.339-342.

97. Herd J.S. Identification and Modeling of Microwave Loss Mechanisms in УВа2Сиз07.х /J.S.Herd, D.E.Oates, J.Halbriter //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. -1997. Vol.7. - No.2. - P. 1299-1302.

98. Halbriter J. Granular Superconductors and Their Intrinsic and Extrinsic Surface Impedance //Journal of Superconductivity. 1995. - Vol.8. - No.6. - P.691-703.

99. Hylton T.L. Weakly Coupled Grain Model of High-Frequency Losses in High Tc Superconducting Thin Films /T.L.Hylton, A.Kapitulnik, M.R.Berslay, J.P.Carini, L.Drabeck, G.Gruner //Applied Physics Letters. 1988. - Vol.53. - No. 14. - P. 1343-1345.

100. Wosik J. Power Handling Capabilities of Superconducting YBCO Thin Films: Thermally Induced Nonlinearity Effects /J.Wosik, L.-M.Lie, K.Nesteruk, D.Li //Journal of Superconductivity. 1997. - Vol.10. - No.2. - P.97-107.

101. Hein M.A. Conditions for and Limitations of High-Power Handling Capabilities of Planar УВа2Сиз07-х Filters /M.A.Hein, C.Bauer, W.Diete, S.Hensen //Journal of Superconductivity. 1997. - Vol.10. - No.2. - P. 109-120.

102. McDonald J.M. Critical-State Model for Harmonic Generation in a Superconducting Microwave Resonator /J.M.McDonald, J.RClem, D.Oates //Physical Review B. 1997. -Vol.55. -No.17. -P.l 1823-11831.

103. Gaganidze E. Power Handling Capabilities of Y-Ba-Cu-0 Wafers and Patterned Microstrip Resonator /E.Gaganidze, R.Shwab, J.Halbritter, R.Heidinger, R.Aidam, RShneider //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 2001. - Vol.11. No.l. -P.2808-2811.

104. Hampel G. Third-Order Nonlinear Microwave Response of YBaCuO Thin Films and Single Crystals /G.Hampel, B.Batlog, K.Kishana, N.P.Ong, W.Prusseit, H.Kinder, A.C. Anderson //Applied Physics Letters. 1997. - Vol.71. - No.26. - P.3904-3906.

105. Pestov E.E. Third-Order Local Nonlinear Microwave Response of YBa2Cu307-g and Nb Thin Film / E.E.Pestov, Yu.N.Nozdrin, V.V.Kurin //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1995. - Vol.11. -No.l. - P.131-134.

106. Willemsen B.A. Microwave Intermodulation in High-Tc Superconducting Microstrip Resonator /B.A.Willemsen, T.Dahm, D.J.Scalapino //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1999. - Vol.9. - No.2. - P.4181-4184.

107. Lahl P. Correlation of Power Handling Capability and Intermodulation Distortion in YBaCuO Thin Films /P.Lahl, J.Halbritter //Applied Physics Letters. 2001. - Vol.79. -No.4. -P.512-514.

108. Anlage S.M. Scanning Microwave Microscopy of Active Superconducting Microwave Devices /S.M.Anlage, C.P.Vlahacos, S.Dutta, F.C.Wellstood //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1997. - Vol.7. - No.2. - P.3686-3689.

109. Hao L. Non-Linear Microwave Response of HTS Thin Films: a Comparison of Intermodulation and Conventional Measurements /L.Hao, J.Galop, A.Purnell, L.Cohen, S.Thies //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 2001. - Vol.11. - Nol. -P.3411-3414.

110. Термен Ф. Измерительная техника в электронике /Ф.Термен, Дж.Петтит М.: Изд. иностр. лит., 1995. - 604с.

111. Альтман Дж.Л. Устройства сверхвысоких частот М.: Мир, - 1968. - 488с.

112. Гольдштейн Л.Д. Электромагнитные поля и волны / Л.Д.Гольдштейн, Н.В.Зернов -М: Советское радио, 1971. 664с.

113. Gao E. A Superconducting RF Resonator in HF Range and its Multi-pole Filter Applications /E.Gao, S.Sahba, H.Xu, Q.Y.Ma //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 1999. - Vol.9. - No2. - P.3066-3069.

114. Xu H. Active Tuning of High Frequency Resonators and Filters /H.Xu, E.Gao, Q.Y.Ma //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 2001. - Yol.l 1. - No.l. - P.353-356.

115. Withers R.S. Thin-Film Probe Coils for Magnetic-Resonance Imaging /R.S.Withers, G.-C.Liang, B.F.Cole, M.Johansson //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. -1993. Vol.3. - No.l. -P.2450-2453.

116. Bracanovic D. Surface YBCO Receive Coils for Low Field MRI /D.Bracanovic,

117. A.A.Esmail, S.J.Penn, S.J.Webb, T.W.Button, N.M.Alford //IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 2001. - Vol.11. - No.l. - P.2422-2424.

118. Excell P.S. Electrically Small Resonator Using Thick-Film High-Tc Superconducting Wire Helix /P.S.Excell, Z.M.Hejazi /ЛЕЕЕ Transactions on Applied Superconductivity. 1999. - Vol.9. - No.4. - P.4654-4660.

119. Справочник по расчету и конструированию СВЧ полосковых устройств /Под ред.

120. B.И.Вольмана М.: Радио и связь, 1982. - 328с.

121. Менде Ф.Ф. Сверхпроводящие охлаждаемые системы /Ф.Ф.Менде, И.Н.Бондаренко, А.В.Трубицын Киев: Наукова думка, 1976. - 272с.

122. Парафин А.Е. неопубликовано.

123. Калантаров П.Л. Расчет индуктивностей /П.Л.Калантаров, Л.А.Цейтлин Л.: Энергоатомиздат, 1986.-488с.

124. Список работ автора по теме диссертации

125. А1. Володин Б.А. Исследование эпитаксиальных слоев окиси циркония на сапфире /Б.А.Володин, М.Н.Дроздов, Ю.Н.Дроздов, С.А.Павлов, А.Е.Парафин //Неорганические материалы. -1994. Т.ЗО. - №11. - С.1440-1442.

126. A5. Варганов A.B. Структура и транспортные свойства сверхтонких пленок YBaCuO /А.В.Варганов, Е.А.Вопилкин, П.П. Вышеславцев, Ю.Н.Ноздрин, С.А.Павлов, А.Е.Парафин, В.В.Таланов //Письма в ЖЭТФ. 1996. - Т.63. - Вып.8. - С.608-613.

127. А8. Дроздов Ю.Н. Рентгеновская дифрактометрия Юнм-пленок YBaCuO /Ю.Н.Дроздов, Л.Д.Молдавская, А.Е.Парафин //Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1998. -№10. - С.13-19.

128. А9. Дроздов Ю.Н. Влияние низкотемпературного отжига на свойства тонких пленок YBaCuO /Ю.Н.Дроздов, С.А.Павлов, А.Е.Парафин //Письма в ЖТФ. 1998. - Т.24. - Вып.1. - С.55-58.

129. А10. Parafln А.Е. Low temperature annealing of YiBa2C307-s thin films /A.E.Parafin, Y.N.Drozdov, S.A.Pavlov //Applied Superconductivity Conference: Program and Abstracts, Palm Desert, California, USA, September 13-18, 1998. P.310.

130. A13. Вопилкин E.A. Интермодуляция в резонаторах сверхвысокой частоты на основе высокотемпературных сверхпроводников /Е.А.Вопилкин, А.Е.Парафин, А.Н.Резник //Журнал технической физики. 2000. - Т.70. - Вып.2. - С.74-80.

131. А14. Вопилкин Е.А. Измерение интермодуляции в пленках YBaCuO /Е.А.Вопилкин, С.А.Павлов, А.Н.Панин, А.Е.Парафин //Письма в ЖТФ. 2000. - Т.26. - Вып.8. -С.83-87.

132. А17. Вопилкин Е.А. Высокодобротный перестраиваемый сверхпроводящий контур ВЧ диапазона /Е.А.Вопилкин, А.Е.Парафин, С.А.Павлов, Л.И.Пономарев,

133. A.Ю.Ганицев, А.С.Жуков, В.В.Владимиров, А.Г.Летяго, В.В.Паршиков //Письма в ЖТФ. -2001. Т.27. - Вып. 16. - С.90-94.

134. А18. Пат. 2170489 РФ, МПК7 Н03Н7/01. Высокодобротный контур высокочастотного диапазона /Л.И.Пономарев, А.Ю.Ганицев, А.С.Жуков, С.А.Павлов, А.Е.Парафин,

135. B.В.Владимиров, А.Г.Летяго, В.В.Паршиков (РФ). №2000120485/09; Заявлено 31.07.2000; Опубл. 10.07.2001, Бюл. №19. - 1 с.