автореферат диссертации по электронике, 05.27.03, диссертация на тему:Исследование роли локального изменения оптических свойств тонких металлических плёнок в процессе лазерной термохимической записи

На правах рукописи

Сннев Дмитрий Андреевич

ИССЛЕДОВАНИЕ РОЛИ ЛОКАЛЬНОГО ИЗМЕНЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЁНОК В ПРОЦЕССЕ ЛАЗЕРНОЙ ТЕРМОХИМИЧЕСКОЙ ЗАПИСИ

Специальность 05.27.03 - Квантовая электроника

2а ОКТ 2015

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

005563916

Санкт-Петербург - 2015

005563916

Работа выполнена в Санкт-Петербургском национальном исследовательском университете информационных технологий, механики и оптики

Научный руководитель: доктор технических наук, доцент

Шахно Елена Аркадьевна

Официальные оппоненты: Макни Владимир Сергеевич

доктор физико-математических наук ОАО «Научно-исследовательский институт оптико-электронного приборостроения», ведущий научный сотрудник

Дюкин Роман Владимирович

кандидат технических наук ОАО «ЛОМО», инженер-технолог

Ведущая организация: федеральное государственное бюджетное

образовательное учреждение высшего профессионального образования

«Балтийский государственный технический университет «ВОЕНМЕХ» им. Д.Ф, Устинова»

Защита состоится «01» декабря 2015 г. в 15 часов 30 минут на заседании диссертационного совета Д 212.227.01 при Санкт-Петербургском национальном исследовательском университете информационных технологий, механики и оптики по адресу: 190000, Санкт-Петербург, пер.Гривцова, д.14., ауд.314-а.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Санкт-Петербургского национального исследовательского университета информационных технологий, механики и оптики по адресу: 197101, Санкт-Петербург, Кронверкский пр., д.49 и на сайте fppo.iftno.ru .

Автореферат разослан V » 2015 года.

Г\

п

Ученый секретарь диссертационного совета Д 212

кандидат технических наук, доцент ¡^ ^д/ Красавцев В.М.

Актуальность темы

Термохимическое действие лазерного излучения на тонкие металлические плёнки (ТМП) исследовалось теоретически и экспериментально с 70-х годов XX века в работах В.П.Вейко и его научной школы, М.НЛибенсона, Ф.В.Бункина, В.И.Конова, Б.СЛукьянчука, С.ММетева и других исследователей. Были созданы теоретические основы лазерного получения термохимического изображения, положенные в основу технологии лазерной термохимической записи на хромовых плёнках путём локального окисления с созданием защитного слоя оксида и последующей операции селективного травления; предложены способы расчета толщины слоя оксида, образующегося при нагревании ТМП импульсным воздействием лазерного излучения.

Основными преимуществами лазерных сканирующих методов формирования топологии пленарных элементов перед традиционно используемой фотолитографией являются простота их исполнения и возможность осуществления записи на подложках произвольной формы, кривизны и размера. При этом лазерная термохимическая обработка отличается от метода локального испарения более высоким качеством и точностью записи, достигаемыми за счёт уменьшения термических и отсутствия гидродинамических искажений. Локальное лазерное окисление ТМП к настоящему времени стало одним из базовых процессов для формирования топологии дифракционных оптических элементов, широко используемых в системах оптической записи и считывания информации. Критическим параметром для подобных структур является минимально доступный для записи размер элемента и связанная с ним разрешающая способность записи, повышение которой необходимо для высокоточного формирования топологии дифракционных оптических элементов. В настоящее время возможности и пределы повышения разрешения записи, связанные с фокусировкой записывающего пучка, микроструктурой материала и термохимическим обострением вследствие нелинейной зависимости толщины оксидного слоя от температуры, в основном, исчерпаны, что приводит к необходимости поиска новых методов повышения разрешающей способности. Перспективным направлением является исследование взаимного влияния термохимических, теплофизических, оптических и технологических особенностей процесса при субмикронном диапазоне размеров зоны воздействия.

Важным шагом в совершенствовании лазерных термохимических технологий представляется переход к одноэтапным технологиям, не требующим операции проявления изображения. Необходимость травления пленки при лазерной термохимической записи на плёнках хрома существенно усложняет технологический процесс и снижает производительность. Осуществление лазерной термохимической записи на плёнках металлов, образующих прозрачные оксиды, в частности, плёнках титана и олова, позволяет проводить обработку в один этап, без последующего травления

плёнки. Ранее проведённые экспериментальные исследования показали перспективность такого подхода, однако отсутствует теоретическое описание процесса, сугубо нелинейного из-за наличия обратных связей между изменяющимися оптическими, теплофизическими и другими свойствами ТМП.

Целью настоящей работы является исследование путей повышения разрешающей способности лазерной термохимической записи на ТМП за счет локального изменения их оптических свойств в процессе лазерного воздействия.

Задачи:

• теоретическое исследование особенностей лазерного окисления ТМП с учётом изменения её оптических свойств в процессе лазерного воздействия;

• теоретическое изучение возможностей повышения разрешающей способности лазерной термохимической записи на тонких плёнках металлов, значительно изменяющих свои оптические свойства в процессе окисления (хрома, титана, олова);

• определение областей рабочих режимов лазерной обработки для осуществления высокоразрешающей записи на ТМП.

Методы исследования

Теоретическое исследование процессов лазерного окисления плёнок металлов проведено преимущественно аналитическими методами, позволяющими определить закономерности изучаемых явлений, с использованием аппарата математической физики, уравнений кинетики лазерно-индуцированного окисления и нагревания и др. Теоретические результаты подтверждены экспериментальными исследованиями с использованием методов оптической микроскопии, спектрофотометрии, тепловизионных наблюдений и др.

Практическая значимость работы

• Определены диапазоны режимов лазерного воздействия, оптимальных для осуществления высокоразрешающей лазерной термохимической записи на плёнках хрома, титана и олова, и их зависимости от геометрических параметров плёнок и параметров облучения;

• оценены параметры режима многократного облучения несколькими параллельно сканирующими лазерными пучками для повышения разрешающей способности и производительности записи на тонкой пленке хрома;

• определены диапазоны рабочих режимов интерференционной термохимической записи на ТМП наносекундными лазерными импульсами;

• определены параметры обработки, оптимизация которых необходима для повышения конкурентоспособности лазерной термохимической записи на ТМЛ.

Научная новизна

В работе предложены методы расчета толщины слоя оксида и его пространственного распределения при действии сканирующего непрерывного лазерного излучения на ТМП, поглощательная способность которых увеличивается в процессе окисления, с учётом положительной обратной связи между температурой, толщиной слоя оксида и поглощателыюй способностью плёнки. Теоретически показано, что при гауссовом распределении интенсивности в лазерном пучке взаимное усиление поглощения излучения, ускорение нагревания и окисления ТМП при многократном экспонировании приводит к росту контрастности и достижимого разрешения записи.

Предложены физико-математические модели, описывающие импульсное лазерное термохимическое воздействие на ТМП, окисляющиеся по различным степенным законам с образованием прозрачных оксидных слоев и возникновением отрицательной обратной связи между толщиной образующегося оксида и температурой пленки.

Теоретически показана и экспериментально подтверждена возможность интерференционной записи термохимического изображения на ТМП с разрешением 0,65 лин/мкм наносекундными лазерными импульсами с длиной волны 532 нм.

Основные положения, выносимые на защиту Термохимическая запись изображения на тонких плёнках хрома методом последовательных экспонирований (последовательной обработки) лазерным пучком с гауссовым распределением интенсивности позволяет существенно повысить контрастность и разрешение записи, в том числе, за счет увеличения поглощательной способности вблизи центра облучённой зоны при предыдущем экспонирования, что приводит к увеличению градиента толщины образующегося оксидного слоя.

Интерференционная термохимическая запись наносекундными лазерными импульсами с длиной волны 532 нм позволяет получить на плёнках хрома и титана контрастные периодические структуры с высоким разрешением, при этом с увеличением числа экспонирующих импульсов доступная разрешающая способность записи увеличивается; например, толщина слоя оксида хрома, получаемого в максимуме распределения интенсивности в пороговом режиме, вырастает в 3 раза при повышении числа импульсов с ] 0 до 1000 и делает доступной запись с разрешающей способностью до 2,5 лин/мкм.

Получение Необходимого контраста при записи на тонких плёнках титана требует применения продолжительных воздействий лазерного излучения, причём минимальное значение длительности воздействия может быть оценено из разработанной модели в зависимости от толщины плёнки.

Апробация результатов

Материалы диссертационной работы докладывались на международных, всероссийских и внутривузовских конференциях: VI всероссийская школа для студентов, аспирантов, молодых ученых и специалистов по лазерной физике и лазерным технологиям, г. Саров, Нижегородская область, 24-27 апреля 2012 г.; VI всероссийский форум студентов, аспирантов и молодых ученых "Наука и инновации в технических университетах", СПб, 9-12 октября 2012 г.; VII международная конференция «Фундаментальные проблемы оптики» «ФПО -2012», СПб, 15-19 октября 2012 г.; XLII научная и учебно-методическая конференция НИУ ИТМО, СПб, 29 января - 1 февраля 2013 г.; И Всероссийский конгресс молодых ученых, СПб, 9-12 апреля 2013 г.; международный симпозиум Fundamentals of Laser Assisted Micro- and Nanotechnologies (FLAMN-13), СПб - Пушкин, 24-28 июня 2013 г.; международная конференция Advanced Laser Technologies ALTI3, г.Будва, Черногория, 16-20 сентября 2013 г.; VIII международная конференция молодых ученых и специалистов "0птика-2013", СПб, 14-18 октября 2013 г.; XLIII научная и учебно-методическая конференция Университета ИТМО, СПб, 28-31 января 2014 г.; XTI международный междисциплинарный семинар «Математические модели и моделирование в Лазерно-плазменных процессах и Передовых Научных технологиях» LPpM3, г.Будва, Черногория, 31 мая - 8 июня 2014 г.; Международный форум «Крым Hi-Tech-2014», г. Севастополь, 25-27 сентября 2014 г.; XL1V научная и учебно-методическая конференция Университета ИТМО, СПб, 3-6 февраля 2015 г.; XIII международный междисциплинарный семинар «Математические модели и моделирование в Лазерно-плазменных процессах и Передовых Научных технологиях» LPpM3, г.Петровац, Черногория, 30 мая - 6 июня 2015 г.

Работа была поддержана грантами: РФФИ (проекты 12-02-00974 и ОФИ 14-29-07227), государственным контрактом 11.519.11.4017, фантами Перзидента РФ для поддержки ведущих научных школ 619.2012.2, 1364.2014.2

Достоверность результатов, полученных в диссертационной работе, подтверждается использованием обоснованных физико-математических методов, воспроизводимостью экспериментальных результатов, согласованием полученных теоретических результатов, собственных экспериментальных данных и экспериментальных данных других авторов.

Личный вклад автора.

Все результаты, приведённые в работе, получены лично автором или при его непосредственном участии: теоретическое моделирование проведено лично автором под руководством научного руководителя, экспериментальные данные получены лично автором или в коллективе при непосредственном участии автора, статьи подготовлены автором совместно с соавторами.

Публикации

Основное содержание диссертационной работы отражено в 17 научных публикациях общим объёмом 51 стр., в том числе, в 3 статьях в научных журналах и изданиях, которые включены в перечень российских

рецензируемых научных журналов и изданий для опубликования основных научных результатов диссертаций, а также в 2 работах в зарубежных научных журналах и изданиях, индексируемых базами данных Web of Science и Scopus.

Структура н объем

Диссертация состоит из введения, 6-ти глав, заключения, списка литературы, включающего 231 наименование, 3-х приложений на 20 листах. Основная часть работы изложена на J 61 странице машинописного текста, работа содержит 85 рисунков и 6 таблиц.

Содержание работы

Во введении дана общая характеристика работы, сформулированы ее цели и задачи, приведены основные положения, выносимые на защиту, отражена научная и практическая значимость полученных результатов.

В первой главе приведён обзор литературных данных, посвящённых особенностям формирования заданной топологии пленарных структур лазерной термохимической записью на ТМП. Рассматриваемый метод относится к лучевым методам прямой записи сфокусированным пучком и заключается в лазерно-индуцированном формировании на поверхности исходной плёнки оксидного слоя, повторяющего свей конфигурацией требуемое изображение. Сформированное таким образом «скрытое» изображение может быть впоследствии проявлено химически с использованием селективного травителя, образуя оптически контрастную структуру. В случае если оптические свойства возникающего оксида значительно отличаются от свойств исходного металла (например, оксид обладает высокой прозрачностью в видимом диапазоне), операция травления не требуется и запись может быть осуществлена в один производственный этап. Полученные таким методом планарные структуры используются для прецизионного изготовления масок, шкал, сеток, фотошаблонов, дифракционных оптических элементов, элементов интегральных микросхем. В главе приводится обзор современных экспериментальных методов осуществления лазерной термохимической записи на ТМП.

Во второй главе рассмотрены возможности повышения разрешающей способности лазерной термохимической записи на тонких пленках хрома с использованием физических особенностей, базирующихся на возникающих в процессе лазерного воздействия термооптических обратных связях.

В разделе 2.1 описаны современные технологические методы, используемые для повышения разрешающей способности, описана проблематика и актуальность постановки теоретического исследования для оценки эффективности используемых методов и нахождения пороговых режимов обработки.

В разделе 2.2 проведено моделирование лазерного термохимического воздействия на ТМП при облучении пленки неоднократно (режим многократного экспонирования) и/или несколькими пространственно разнесёнными лазерными пучками (режим многопучкового экспонирования). В

модели учтено пространственное н временное изменение оптических и теплофизических свойств пленки при ее окислении, приводящее к усилению градиентов распределения температуры и толщины слоя оксида.

В разделе 2.3 приведен расчёт температуры и толщины оксидного слоя, возникающих под действием лазерного излучения на тонкую плёнку хрома в режиме многократного экспонирования по контуру требуемого изображения. Показано (рисунок 1), что использование многократного экспонирования плёнки хрома позволяет повысить контраст записываемых структур благодаря возникающей положительной обратной термо-хемо-оптической связи между толщиной слоя оксида, её поглощательной способностью и температурой пленки.

Рисунок!. Поперечные распределения температурных полей (пунктир) на плёнке и соответствующих толщин окисленных слоев (сплошные), возникающих на плёнке Сг исходной толщиной 30 нм при различном количестве экспонирований сканирующим со скоростью 0,5 м/с лазерным излучением с длиной волны 532 нм, плотностью мощности 64 ГВт/м2, радиусом пучка 0,2 мкм.

В разделе 2.4 приведен расчёт температурного поля и распределения толщины оксидного слоя, индуцированных лазерным излучением На тонкой плёнке хрома в режиме многопучкового экспонирования, используемого на практике, в частности, для повышения производительности. Показано, что взаимное влияние температурных полей приводит к значительному сокращению контрастности записи, что ограничивает возможности применения метода.

Для обеспечения высокой контрастности записи при многопучковой обработке может быть использован рассмотренный в разделе 2.5 режим лазерной многократной записи несколькими сканирующими пространственно разнесёнными лазерными пучками (режим многонучкового многократного нагрева). Осуществление записи в этом случае производится со сдвигом после каждого экспонирования на шаг, синхронизированный с расстоянием между пучками, так что количество экспонирований каждого трека соответствует количеству пучков. Показано, что этот метод записи объединяет преимущества вышеперечисленных методов, позволяя значительно повысить

НПО

производительность и энергоэффективность (в 22 раза и в 4,4 раза соответственно в рассчитанном примере по сравнению с записью в режиме однопучкового однократного экспонирования) записи при сохранении значений плотности мощности излучения и профиля термохимического изображения (контраст, максимум толщины оксидного слоя, размер записываемого элемента), несмотря на наложение температурных полей от отдельных пучков (рисунок 2). Показана возможность записи контрастной периодической структуры с разрешением 0,63 лии/мкм.

Рисунок 2. Пример расчётного распределения толщин оксидных слоёв, получаемых при записи периодической структуры на плёнке Сг исходной толщиной 30 нм тремя пучками при плотности мощности излучения 64 ГВт/м2 и радиусом 02 мкм каждый, скорости сканирования 3,5 м/с, расстоянии между пучками 3,2 мкм. Моделирование проведено для однократного (пунктир) и трехкратного экспонирования со сдвигом (сплошная).

В разделе 2.6 теоретически показано, что свойственные методике многократного экспонирования технологические погрешности, связанные с ошибкой позиционирования лазерного пучка при повторном проходе, могуг приводить к погрешности формирования толщины оксидного слоя в среднем до 15% от ожидаемого значения.

В разделе 2.7 приведены основные выводы по результатам исследования возможностей термохимической записи на тонких плёнок хрома. Режим многократного многопучкового экспонирования со сдвигом выделен как наиболее перспективный метод повышения разрешающей способности записи.

Третья глава посвящена изучению интерференционной записи структур на плёнках хрома и титана и возможности применения её для осуществления высокоразрешающей термохимической записи

В разделе 3.1 рассмотрена известная методика интерференционной записи периодических микроструктур, заключающаяся в фиксировании результата интерференции двух и более лазерных пучков. Показана возможность лазерной интерференционной термохимической записи лазерными импульсами длительностью 9 не периодической системы линий с разрешением 0,65лин/мкм на плёнках Сг толщиной 30 нм и плёнках Т1 толщиной 40 нм.

В разделе 3.2 приведена постановка задачи теоретического исследования рабочих режимов и возможностей высокоразрешающей записи указанным методом.

Приведённые в разделе 3:3 результаты исследования пороговых режимов обработки показывают, что для контрастной записи рассматриваемым методом на плёнках Сг толщиной 30 мм требуется не менее 7-8 последовательных импульсов, а для И толщиной 40 нм - около 70-100 импульсов. Показано теоретически, что контрастная запись рассматриваемым методом доступна для осуществления как на Сг, так и на И с высоким разрешением при облучении 1000 и более последовательными импульсами.

Раздел 3.4 содержит ключевые выводы из полученных результатов. В частности, в главе показана принципиальная возможность осуществления контрастной интерференционной записи периодических структур с разрешением выше 2,5лин/мкм, а также определены рабочие режимы для записи рассмотренным методом.

В четвёртой главе приведены результаты исследования общих закономерностей лазерного окисления тонких плёнок металлов, оксиды которых прозрачны в видимом диапазоне

В разделе 4.1 рассматривается запись структур на плёнках И и Бп, позволяющая осуществлять термохимическую запись в один этап. Проведённое экспериментальное исследование, сопровождавшееся тепловизионными и оптическими измерениями, позволило показать существенную зависимость характера протекания процессов нагревания и окисления плёнки от изменения оптических характеристик ТМП.

Значительное влияние изменения оптических характеристик плёнки (расчётное поглощение излучения с длиной волны 532 нм падает на 40% при сквозном окислении плёнки "П толщиной 20 нм) приводит к необходимости его учёта непосредственно в процессе облучения для оценки значений температуры и толщины оксидного слоя. В разделе 4.2 приводится постановка теоретической модели, предложенной и разработанной путём совместного решения уравнений температурной и термохимической динамики для учёта изменения поглощения излучения. В разделе 4.3 приведено решение поставленной задачи.

В разделе. 4.4 приведены полученные с помощью разработанной модели характерные уравнения для толщин оксидных слоев на плёнках металлов, окисляющихся по основным степенным законам (линейному, параболическому, кубическому). В разделе 4.5 приведены аналогичные упрощённые выражения' которые позволяют анализировать общие закономерности лазерной индуцированного роста оксидных слоев на ТМП.

В разделе 4.6 приведено обсуждение результатов моделирования, проведённого для пленок титана. Показано, что для достижения глубокого окисления необходимо использование возможно более тонких пленок: толщиной порядка десятков нанометров при длительности воздействия милли-и субмиллисекундного диапазона, что было подтверждено собственными

экспериментальными результатами, а также результатами других исследователей. Контраст термохимического изображения, в таком случае, тем существеннее превышает контраст термического, чем тоньше облучаемая плёнка титана и «мяте» режим воздействия (до 10-15 раз в рассчитанном примере).

В разделе 4.7 приведены основные выводы по полученным результатам исследования оптотермохимических особенностей лазерного окисления ТМП. Сужение области рабочих режимов для глубокого окисления вследствие возникновения термооптической отрицательной обратной связи, тем не менее, не препятствует осуществлению контрастной одиоэтапной термохимической записи.

Пятая глава посвящена анализу путей повышения разрешающей способности лазерной термохимической записи. В качестве основных факторов, влияющих на разрешение записи, были выделены физико-химические свойства материала ТМП (теплопроводность, поглощательиая способность плёнки, закои и константа скорости окисления), геометрические параметры записи (исходная толщина ТМП, радиус пучка), параметры облучения (мощность и длительность воздействия, количество экспонирований и пучков, расстояние между ними в растре), рассмотренные последовательно в разделах 5.1-5.3.

В разделе 5.4 приведены выводы, обобщающие полученные данные, в частности, показано, что для высокоразрешающей записи необходимо выбирать металлы с низкой теплопроводностью, окисляющиеся по линейному или параболическому законам (например, Сг, 71 и 5п). Проведенный анализ показал, что при лазерной термохимической записи на ТМП при сообразном выборе метода и режима обработки достижимы значения разрешающей способности 4 лин/мкм и выше

В последней, шестой главе приводится сравнительный анализ конкурентоспособности технологии прямой лазерной записи на ТМП Сг и Т1, актуальность выполнения этого анализа обоснована а разделе 6.1.

В разделе 6.2 приведен обзор особенностей конкурентных методов записи (прежде всего, фотолитографии с модифицирующими методиками).

В разделе 6.3 описывается метод сравнительного анализа, а также выделяются основные технологические показатели, по которым производится сравнение. Результаты исследования, приведённые в разделе 6.4, подтвердили, что повышение разрешения записи является критическим для развития конкурентоспособности технологии лазерной термохимической записи на ТМП

В заключении к работе сформулированы основные результаты работы.

Основные результаты диссертационной работы: •Обоснована применимость лазерной обработки ТМП несколькими лазерными пучками, пространственно разнесёнными или формирующими интерференционную картину на поверхности плёнки, а также многократным

экспонированием с целью повышения контраста, производительности и энергоэффективности записи;

•Теоретически определены оптимальные режимы для осуществления одноэтапиой записи на плёнках титана, позволившие рекомендовать для осуществления контрастной записи воздействие субмиллисекундного диапазона на плёнки толщиной 5-30 нм.

•Определены основные факторы, влияющие на возможность записи с высоким разрешением. Обоснована необходимость выбора металлов с низкой теплопроводностью, окисляющиеся при этом предпочтительно по линейному или параболическому (Cr, Ti, Sn) законам. Проведенный анализ показал, что метод лазерной термохимической записи на тонких металлических пленках позволяет достичь значений разрешения -4 лин/мкм и выше при многопучковой обработке в режиме многократного экспонирования импульсами или последовательными сканирующими проходами со сдвигом.

•Обоснована экономическая целесообразность и конкурентоспособность метода лазерной термохимической записи на ТМП, а также указаны направления развития и перспективы.

Основные результаты диссертационной работы отражены в следующих научных публикациях:

в научных журналах и изданиях, которые включены в перечень российских рецензируемых научных журналов и изданий для опубликования основных научных результатов диссертаций:

1. Вейко В .П. Исследование особенностей многопучковой лазерной термохимической записи дифракционных микроструктур [Текст] / Вейко В.П., Синёв Д.А.. Шахно Е.А., Полешук А.Г., Саметов А.Р., Седухин А.Г. // Компьютерная оптика, 2012, том 36, №4. - С.562-571. - 0,625 пл./ 0,1 п.л.

2. Вейко В.П. Повышение разрешающей способности лазерной термохимической записи на тонких пленках хрома путем многократного воздействия ¡Текст] / Вейко В.П., Шахно Е.А., Синев Д.А. // Изв. ВУЗов. Приборостроение, 2013. Т. 56, К» ¡2, С.57-61. - 0,313 п.л. /0.235 п.л.

3. Шахно Е.А. Особенности лазерного окисления тонких пленок титана [Текст] / Шахно Е.А., Синев Д.А.. Кулажкин A.M. // Оптический журнал, 2014.Т. 81, № 5.- С. 93-98. - 0,375 пл./0,28 пл.

в зарубежных научных журналах и изданиях, которые включены в аналогичный перечень зарубежных изданий:

4. Shakhno Е. A. Features of laser oxidation of thin films of titanium [Текст] / E. A. Shakhno, D. A. Sinev. and A. M. Kulazhkin // Journal of Optical Technology (перевод с русского), 2014, Vol. 81, Iss. 5, pp. 298-302. - 0,25 п.л. / 0.188 п.л.

5. Sinev P.A. The peculiarities of local laser oxidation of metal films [Текст] / Sinev P.A., Shakhno E.A., Kulazhkin A.M., Kochetova V.A., Kochetov A.D.// Proc. of SPIE, 2013, vol.9065, P.90650N-1-5. - 0,313 п.л. /0,235 п.л.

в других изданиях: 6- Синев Д.А. Исследование лазерного локального окисления металлических пленок [Текст] / Синев Д.А.. Вейко В.П., Шахно Е.А., Марковкин А.Н. // Сборник докладов "Шестой всероссийской школы для студентов, аспирантов, молодых ученых и специалистов по лазерной физике и лазерным технологиям") ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ", г. Саров, Нижегородская область, 24-27 апреля 2012 года.- С.159-162. - 0,25 пл./0.188 п.л.

7. Синев—ДА. Особенности многопроходового воздействия лазерного излучения на тонкие плёнки хрома [Текст] / Синев Д.А. // Наука и инновации в технических университетах: материалы Шестого Всероссийского форума студентов, аспирантов и молодых ученых. - СПб.: Изд-во Политехн.ун-та 2012 - С.38-39. - 0,125 п.л./0,125 п.л.

8. Вейко В.П. Исследование локального лазерного окисления тонких плёнок титана [Текст] / Вейко В.П., Синев Д.А.. Шахно Е.А., Полещук А.Г ., Саметов А.Р., Седухин А.Г. // Сборник трудов Международной конференции «Фундаментальные проблемы оптики - 2012». Санкт- Петербург. 15-19 октября

2012. - СПб: НИУ ИТМО, 2012. - С.74-75. - 0,125 п.л. /0.02 п.л.

9. Синев Д.А. Исследование лазерного локального окисления металлических плёнок [Текст] / Синев Д.А. // Аннотированный сборник научно-исследовательских выпускных квалификационных работ магистров НИУ ИТМО. СПб: НИУ ИТМО, 2012.- С.73-76. - 0.18S п.л./0,188 п.л.

i 0. Кулажкин A.M. Расчет локального лазерного окисления тонких металлических пленок [Текст] / Кулажкин A.M.. Синев Д.А. // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2. - СПб: НИУ ИТМО "4)13 -С.232-233. - 0,063 п.л. /0,047 п.л.

11. Sinev D. A. The peculiarities of local laser oxidation of titanium films [Текст] / Sinev D.A,, Shakhno E.A., Kulazhkin A.M. // Int. Symp. FLAMN-13. June 24-28, 2013 St. Petersburg-Pushkin, Russia. Book of Abstracts. PS2-13, p.60. - 0.061 n n / 0.047 п.л.

12. Синев Д.А. Расчёт лазерного окисления тонких плёнок титана [Текст] / Синев Д.А., Вейко В.П., Шахно Е.А., Кулажкин A.M. // Сборник трудов Международной конференции «0птика-2013». Санкт-Петербург. 14-18 октября 2013 / Под ред. проф. В.Г. Беспалова, проф. С.А. Козлова.- СПб: НИУИ ГМО,

2013. - Т. 1. - С. 177-178. - 0,063 п.л./ 0,047 п.л.

13. Veiko V.P. Laser thermochemical writing: pursuing the resolution by phvsical-chemical non-linearities [Текст] / Veiko V.P., Shakhno E.A., Sinev D.A. // Twelfth international seminar Mathematical models & modeling in Laser-plasma processes & Advanced science technologies. Program and abstracts, 2014, Budva, Montenegro.-pp.23-24. -0,125 пл. / 0,094 п.л.

14. Sinev D.A. Model of the laser oxidation of thin metal films [Текст] / Sinev D.A.. Kulazhkin A.M., S'hakhno E.A., Veiko V.P. // Twelfth international seminar Mathematical models & modeling in Laser-plasma processes & Advanced science

technologies. Program and abstracts, 2014, Budva, Montenegro.- np 23-24 - 0125 п.л. / 0,094 п.л. '

15. Синев Д.А. Лазерно-индуцированное окисление тонких пленок титана [Текст] / Синев Д.А., Кулажкин А.М., Шамхуд А. // Наука и инновации в технических университетах: материалы Восьмого Всероссийского форума студентов, аспирантов и молодых ученых- СПб.: Изд-во Политехи ун-та 2014.- С.34. - 0,063 п.л. / 0,047 п.л.

16. Gedvilas М. Themiochemical recording of interference patterns on thin Cr-films by picosecond laser pulse irradiation - Experimental realization & theoretical modelling [Текст] / Gedvilas M., Voisiat В., lndriSiunas S„ Raciukaitis G., Veiko V.P., Zakoldaev R.A., Sinev О .A. Shakhno E.A, // Thirteenth international seminar Mathematical models & modeling in Laser-plasma processes & Advanced science technologies. Program and abstracts, 2015, Petrovac, Montenegro.- p.29. - 0,063 пл./ 0,01 п.л.

17. Gedvilas M. Direct recording of multi-beam interference patterns on titanium films by nano- & picosecond laser pulses [Текст] / Gedvilas M., Voisiat В., Indrisiunas S., Raciukaitis G., Veiko V.P., Zakoldaev R.A., Sinev D.A. Shakhno E.a' // Thirteenth international seminar Mathematical models & modeling in Laser-plasma processes & Advanced science technologies. Program and abstracts, 2015, Petrovac Montenegro.- p.85. - 0,063 пл. / 0,01 п.л.

Тиражирование и брошюровка выполнены в учреждении «Университетские телекоммуникации» 197101 Санкт-Петербург, Саблинская ул. 14 Тел. (812) 233 46 69 Объем 1.0 у.п.л. Тираж 100 экз.