автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.07, диссертация на тему:Идентификация параметров интерференционных сигналов в многоканальных системах прецизионного контроля пространственных структур

- ! -rv

ИВКИГ7Т ТОЧНОЙ ¡ЖАИПС! и сисян

На правах рукоппси

ГУРОВ Игорь Петрович

УДК 535.4.082.52:681.787.7

ХЦШШЩ'Я ПАРАМЕТРОВ КНТЗРчРРЕЩЮККЬК СИГНАЛОВ В LKOrOKAiL'uïLHLiX CkGTEÄIZ n?EJJJ'I3IíOIfflOrO КОНТРОЛЯ IIFOCТРАПСТЗЕ}ЛЬЕ СТРЛШТ

Специальность 05.II.C7 - Оптические и оптико-

электронные приборы

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук

Санкт-Петербург 1992

Работа выполнена в С.-Петербургскок институте точкой механики и оптики.

Ой-щкальнке оппоненты: доктор технических наук, профессор

^Г.Якусенков;

доктор технических каух, профессор С.А.Родионов;

доктор технических нарте К.И.йосопел

Ведущее предприятие: Каучко-ксследовательский циститу;

оптик о—(гл зп че ских измерений (г. Москва)

Запита диссертации состоится 1993 г.

в ___ час. на заседании специализированного совета

Д 053.26.01 при С.-Петербургском институте течнон механики и оптики.

Адрес: С.-Петербург, пер.Гривцова, Г-1

С диссертацией конно озкакогасться в библиотеке С.-Петербургского института точкой 'механики и оптики

Автореферат разослан " " <3 159 2. г.

Учены;: секретарь спецкалнзирэ-ванного совета к.т.н., доцент

В. г.;. Красавцев

ОЪИШ лАРАКТЖЗККА РЛБОТи

А :-:т уз г. ь к о с г ь г. г: о б д е :■; ч. Развитие техники а технологии уа-Елчострооная, црдбсроосрсокдя, электронной промышленности • пред&язляег всзрзстащкз грвбовакяя к точности, функциональна:.! гэзмс:?доотк4 и уроки автоматизации измерений л контроля геохагрячзскгх характеристик объектов. Прецизионные технологах 2 Езетоя„;зе врзпя характеризуется устойчивой тенденцией развития особоточкой обработка кзтсрлзлээ л яозэрхноотя лзде-лгЛ з кбхаййкз, оптике а электронике, что определяется рззким сяджглйз.\< результирующих затрат на создание продукция за счет яозизэкяя кадокяосгя я захода годных юделяй при предельно:.; уйеньпвнк;! отклонена.'] зчэжчых параметров от иомииальлх.

Дэс?агяути2 уровень тотноогя яакейно-угловкх лзмзрззсй за,таксирован в нормативных хокукенгэх Ш 2033-90 а ГОСТ 3.015-39, определяя^ порядок передачи размерз единицы .длани а алозхого угла а срздлзам азмерениХ. Актуальяозть зздзч дальнейшего покидания точности лра разваткй новзаишх наукоёмких гехаолог;:?. подтверждается Программой фундаментальных 2ссл8довзня»: по кегрологил; научно-техническими прсграг^.'пач'л, приняты:.',а Академией наук а правительством страны и ориентированны:.!^ на элективное использование энергетических я матзш-ахьаих рзоурсэв; пртшяемоЯ Национально;; программой, направленной на решзнае задач нанотехнодогиа.

принципиальной проблемой прецизионного контроля являются бесконтактнке лзыорэнкя с ¡'/ало;* относительной погрешностью при абсолютна отклонениях 0,1-100 игл параметров геометрических элеазнгов второго порядка я сло-:нкх повзрхйо-стзи з заде составных структур, нз сводяшз при. реальных ус-ловлях измерений а требуемой точности х одномерному случаю лкнзГпых измерений. Эта проблема я окат быть рэпе на на оснсвз использования многоканальное интерференционных измерительных систем, которпе сочетают в себе прекмущозгза интерферометрии а бесконтактннх координатных измерении заолэе точности. 'Лра это:/, необходимо репать взннуэ наулну.о проблему, заклгча'-отухг-сл в разработке аранцачов илогоказальной интерферометрии, критериев вкзокоточного оценивания параметров реальных иятер-¿еренциэнккх сигналов, синтезе а сс.-дзнга иногочанзльн^ ян-

терувреьцйогшх ¿злзргтельнах застои, ксзд2;иг/зз::г~с ж тонко--стккх харакгг елогл:-;.

Поль я задти' работы, исх-л работ г.всяэгз?. геоуетлча-ское оОоадзнларззрэЗогхэ оопсе, лзло-семл:; л ;:рл;:~

цаагальнкх ресею'Л лрсЗломь: зкоэхогочнк.: (Р.з:;о::::лкгк;п< ян?бр-%еде$1ХО!рия. лз..;ерокЛ; л г.эахродл гасла арллзс;*дл эдакенгег елочных, зовзрхкоогеь обьекгов л дросяраког^зкякис структур з срзс^алозяш: гелнодегдчзо^ял срохгоеал, дхл'.нзк:

-- акалдз процессов ...ерллроьзнпя Ио.мзслгальних алкалоз прл .",ного!С8»алышх лнхзг^езнцдонклх дз\:зрзлдкх ддоокс;: точнее:?;;;

- кссдодиЕзндз продсссол ккогскакальлз;; ^отзялектрлче-ско;: ргасграла: лптерГорелдлоннлх сагкадоз л огенаьзкрз г.рздзллдшх тсчносгншс характзрлоглк латер,;бро:.;егрлчаского 'канала;

- анадлз пралцлпоа спт;::,;алз>нол обраРоглл л оцвзквгкйк сарамесроз сигналов, ддзлтд.; ллацла днтзрфзрзл'одрлчезкдх каналов и састом» синтез мзтодоз и сисген оптаиальяого оцзнл-бзция ^азоылс хардхтерлзтлк реальных дктаррзрегщденкьк сигналов ;

- разработку, теорзтдчзское и экспериментальное азеладо-ьаниз ыногскакальных лнгзрРерэнцлонных йзмзрательннх окстбм

и их гочноотаых характеристик.

Научная когдзнч. Научная новизна долучзнлых результатов заключается в то;.;, что:

- БЫЗОЛНваО деэрзтлчзакоз оОоблзнлз, рэзрйботанк пркк-цяпи построения, ваСрьт л ойзояозакы путл разлизали \>ногс-хакальн.-к катз^егзв^эннкх кзмзрдтальндл ссзтех для прзех-злонного контроля о'зектоз;

- ьдзрлде ьзед^нд тзоротдчзскне псачггп л данд строгдз опредзлеалк глчтзррерг'летрлчесхого канала, гдаогоканахьно^ тар^ерзкдлонно;: да^зрительноГ' слстзм*, векторного ангвр^вро-

трддэсксго процесса;

- £.гзр5г:е юддоднзна адекватная адеагх^жаиия доднод дзлл реального векторного днтеррзреддгонкзго сигнала; вддол-ьан синтез оооб-дднод сгр/кгуры одтдмалдкэй днтер-Херо^егрд-песхсГ: слсг-зчк;

- рэзрабоглаа зеорезияэзкге пояохенйя по ссздандэ мв!ро-

логического обеспечения координатных измерений высшей точности ка основе предложенных барических мор для линейно-угловых кита у&з оз ационнкх азлерений;

- проведен полный анализ источников погрешностей измерения геометрических характеристик объектов в многоканальной йнтарррометрлчэской сдстедш; разработаны принципы опммадь-яо2 обработка интерференционных оптналов в автоматическом ре^лмо, выявлены особенности влияния зддамгных л 'разовых riO.vs.-c, получены аналитические вырат.зшш, дозволяющие выполнить расчет основных узлов высокоточной интерференционной измерительной системы;

- разработаны принципы построения многоканальных систем прецизионного позиционирования в нэяомзгровом а оубнаномет-рогом диапазонах отклонений положения объектов, реализованное е системах интерференционного дилатометра и оптнко-рент-ГЙКОЕСКОГО интерлеро.-етра;

- впервые разработала обобщенная структура систем для контроля поверхностей ваорого порядка' и ка ее основе созданы системы бесконтактного прецизионного контроля, реалкзужяе принципы интерференционного оптиметра.и интерференционного сферометра прздэльно высокой точности;

- проведены экспериментальный исследования преддокекных рэазшгё, которде подтвердили адекватность разработанной общей модели йнтерфероавзрачеокого процесса, правильность и достоверность ссновпнх теоретических вызодоз и положений.

Методика асследовари, В работе исьсльзовзщ теоретические и экспериментальные катоды исследований. 'Зналаз пространственной структуры объектов проведен на основе теории гауссовых отображений поверхности. Принципы построения а обоснование путей реализация многоканальных интерференционных измерительных слетам разработаны на основе положений теории инвариантности с использованием элементов теории статистических оценок а теории раддосистем. Идентификация в широком смысла моделей реального интерференционного сигнала выполнена по оригинальны:.! методикам в процессе исследований, яроведешшх.автором. Прдмгнекие вычислительных экспериментов на разработанных имитационных моделях-л физического моделирования интзрбзрометрических каналов обеспечили адекватность

принятого подхода. Исследование процессов многоканально!; фотоэлектрической регистрации и обработки интерференционных сигналов проведано а соответствии с теорией оптико-электронных систем с использованием пояснений теории оптимального оценаваыш параметров сигналоз в уодовкчх помех. Экспериментальные исследования-методов прецизионного контроля требуют' высокоточных дптаческнх и оптико-электронных сйстем формирования, регистрации и обработки интерференционных сигналов. Поэтому использовались оптические и оатико-электроннье приборы, зарубежного а отечественного производства: высояоога-бильные лазерные источники излучения, новевшие регистрирующие устройства о приборами с зарядовой связью и фотодиодными матрицами, измерители, солрякэнкке с ипкроЗЗМ. Исследования проводились о праазнениел; заката ординальных алгорнзыоз к при-кладнкх по оград.'.!, разработанных в соответствии с положениями теории погрешностей измерительных систем и обеспечивающих 'корректную реализацию операций автокалибровки, тестирования, фяльтраэдш,• спектрального оценивания, определения статлсти-. часках характеристик сигналов и результатов измерении.

Практическая значимость и тэгализ^ция в ггоо^глденноота. заключаются в то:,;, что:

- лолучэшые в работе результаты теоретического обобщения доведены до инженерных формул, расчетных графиков а тас5— лиц; реализована в виде новых структурных и функциональных ехеы, аппаратуры и практических методик;

- создан ряд еысокоючнкх а в? ома газированных многоканальных днтерферометрачеоках устройств и систем, которые внедрены в метрологическую практику ШО "БЖИл вм. Д,Менделеева" С г.С .-Петербург), 11КБ И "Рубин" (г.С .-Петербург), ШО "Спектр" (г.Москва) и других организаций;

•- впервые в метрологической практике создана двухка-нальная система, реализуемая разработанный принцип бесконтактного интерференционного оптиметра, в тси числе в рег&че .контроля образцоз со сферическими торцезы\;и поверхностя.','."., которая внедрена в Конструкторском бнро точного электронного машиностроения С г.Минск) и Научно-исследовательском технологической институте оптического станкостроения и вакуумной техники (г.Уикск);

- впервые выполнена разработка бесконтактных интерьерен- '

цпоннкх сферометров с предельно далоЗ погрешность!) контроля абсолютного злаченая радиуса кривизны сферических поверхностей, внедренная б разработки Конструкторского бюро точного алзктрснцого ка!пккйстроэ:чия и б технологические процессы другие ведущих прещжяхкЗ промышленности;

- на основе теоретических положений, сформулированных в работе,, созданы методы и аппаратура прецизионного контроля геометрических характерасткгс объектов, разраостаны методические кате риалы по метрологическому обеспечению, внедренные з ГОК и,«» С .м .Вавилова (г,С .-Петербург), в институте "Геоцеха-ника" Российской академик наук, в 1лГТ/ иди Е.Э.Баумана

(г,Москва) л других организациях;

- создан пакет алгоритмов и программ автоматической обработки интерференционных сигналов с высокоточной идентификацией коатроларуеякх параметров, которые попользуются на

ряде предприятии, а также в институте точно;' цехвнвка и оптики.

Основные положения диссертационной работы докладывались на II Всесоюзном совещании по теоретической метрологии (Ленинград, IS3S г.); Всесоюзной научно-технической конференции "петрологическое обеспечение температурных а тештойиьяческих •измерекай" (Харьков, 1263 г.); У Всесоюзной конференции "Проблемы метрологического обеспечения систем обработки-измерительной информации" (Москва, IS54 г.); .И Всесоюзном совещании "Методы и приборы для точных дилатометрических последова- ' кий материалов" (Ленинград, 1234 г.); II Всесоюзно:/, совещании "Квантовая метрология и фундаментальные физические константы" (Ленинград, IS35 г.); Всесоюзном семинаре "¡йзиерониэ перемещений б динамическом ре&кмз" (Каунас, 1327 г.);'У1 Зсесоьз-кой конференции "Проблемы метрологического 'обеспечения систем обработки измерительной информации" (Москва, I9S7 г.); Ш Всесоюзном совещании "Квантовая патрология и фундаментальные физические константы" (Ленинград, IS38 г.); Ш Международном сиыпоэауке по система:/, измерении и контроля качества (Аахен, ФРГ, IS89 г.); Семпкаое "Опыт внедрения прогрессивных средств л методов размерного контроля" (Ленинград, IS90 г.); Семинаре "Твердотельные волновые датчики дли прецизионного маагино-сгроекия" (Каунас, IbSü г.); П Всесоюзной конференция "Кзые-

рения и контроль при автоматизации производственных процессов" (Барнаул, I9SI г.); пбидепноп Общеевропейской научной конференции "150 лет Институту метрологии им. Д.И.Ленделэевч" (С.-Петербург, IS92 г.).

Публика vim. По результатам псоледоьа ннй к разработок получено 10 авторских свидетельств и полоса тельных ре пени? по •заявкам на изобретения, опубликовано 41 печатных ра*от, из 1Ш: 22 единолично авторе:/,, -в центральной печати и за Рубеком »

Odъе;.\ г. отрукгура у.аоеэдяцдя. Работа состоят из введена» четырех глаз, заключения, списка литература и двух приложений, Обци'п объем дисоергацаи. £29 стр., з том числе 210 стр. .v.ann-ноцпоного текста, 90 на 90 стр. Обьек приложений 29

стр.

ССНОЕКЫЗ ДОШЗНКЯ, КШХШЗ НА ЗШТУ:

1. Проблема высокоточных бесконтактных координатных измерений я контроля геометрических элементов и слогных поверхностей объектов имеет решение на основе разработанных. принципов многоканальной интерферометрии., реализуемых 5 соответствии с введенными г:онятия.\'.и и определениями интер^эрсматриче-ского какала, многоканальной интерференционной измерительной сисгеад и векторного ингер^ерометричеекого процесса.

2, Теоретической основой для создания метрологического обеспечения ко ординат ных измерений анешей точности' является 'предложенные принципы идентификации характерных то?ек поверхности, предстасляздкх собой естественные и искусственные ре-перные точки, определяющие границы измеряемого отрезка.

3, Основными операциями технологического процесса прецизионного контроля в многоканальной системе явля-отся пространственная калибровка л интересрометрический контроль, которые 'следует выполнять б совмещенном автоматическом режиме

с использованием исследованиях образцовых сферических хер для линейно-угловых интерференционных измерений.

4. Идентификация в пирохсм смысле интерференционных сигналов в кпстсмах прецизионного, контроля, сводится к моделям

' спг-алсэ двух основных групп: с линейным и квадратичным изменением £азы. Предпочтительными катодами обработки интерне ре н-цгоынкк сигналов первой группы ябляпгзя методы, основанные на

детергшклрсшаппп." экспоненциальной модели и восстановлении авл'орогреоспи - скользндего среднего (в условиях помех). Для сигналов второй группы оптимально» является критерий максимума функционала прзздоподойлв, реализуемой в пк?ерфероматрдчз-склх системах разового типа ка основе многоканальных систем обработки.

о. Ъ условиях ограниченно? априорной информации о характеристиках интерференционного сигнала эй^ехтивныки методами обработки является разработал:«? яопараметрячгсхяе методы всгстааоглзкля £азк аналитического сигнала и идентификации омпнричгских гистограмм первого порядка. Знсокотсчню" контроль геометрических характеристик объектов в реальных услоакях из-:леренин обеспечивается ка осаоге разработанных методик и алгоритмов анализа £кх8.р$ерзадиояних сигналов.

0. Предизионны,-; контроль размера обьектоз с предельно высокой точностью следует выполнять в иитер^ерометрическол система, кмэоцеЕ структуру двудканадзного (многоканального) интерференционного оптиметра. Зцсоксхочнкй контроль малых смешении, в том числе в субааиоме тропом диапазоне отклонений объекта, целесообразно проводить на'основе разработанных ан-терхеро.метрпчзоких систем с многоканальной структурой и пространственно разнесенными каналами при алгоритмической коррекции погрешности дссэ.

7. Абсолютные измерения и контроль радиуса кривизны сферической поверхности с предельно малой погрешностью'обеспечивается з разработанной многоканадьнсй системе, поотроенно-5 по принципу бесконтактного интерференционного сферометра.

ООДЗ?£АККЗ РАБОТЫ

Во з в е д с н и и сформулированы основные задачи исследовании, указана научная и практическая актуальность ре-давкой научной проблемы, приведены основше положения, выносимые ка защиту.

Первая глаза посвядана анализу процессов формирования сигналов в многоканальны;', интерференционных кзмери-

лькых системах. Рассмотрена пространственная структура Х/'ьекгоз и внделенк технологически наиболее значимые' вида по-

ворхносязй второго яорядза и особых точек поверхностей, Введена понятая естественно:: и искусственно?. реперных точек, а также обобщенное пояятде интерференционного сферического ого-брэкенпя поверхности.

Проведен сравнительны;! анализ основных характеристик кон-т&нзшас методов координатных измерений и оесконтактнкх методов, ооковакшос нз принципах голографии и многоканальной ин-терЛероме трип. Показано, что при номенклатур; псзэрхносте.'!, ограниченной эта'зояшш объектами, в том числе с большими углами охвата поверхности, наиболее сочны является интергерен-сжоынк2 метод, реаж&зуеыьй! в многоканальных оптико-электронных системах поиска, селекции и оценивания параметров интерференционных сигналов в схемах ¿изо и £>абри-Пзро.

Выполнен структурный анализ интерференционных систем прецизионного контроля объектов. Введены понятия и определения интерференционного измерительного канала, многоканальной интерференционно/, измерительно;: системы (ЫС) к векторного пнтерсарометричеокого процесса. Классификация ¿игачзоклх пг-йнцапов построения каналов '»С компактно представлена в виде схемы рис.1.

Выделены наиболее перспективные массы ¿С о пространственно разнесенными оптическими и фотоэлектрическими каналами, Получено операторное уравнение ¡"'С, которое моз'но представить в обобщенном виде

С = ,

■ л т

где Ь ~ оценка значения длина заданного отрезка, Т- обобщенный нелинейный оператор системы, N - вектор, компонентами которого являются составлявшие дума (дсмехп) з отдельных звеньях и каналах .УС, Ь~ априорно неизвестное истинное значение.

На ось:све разработанного системного подхода проведен анализ представительного мнснесгва интерне роме трнческих систем с многоканальной структурой.. Б результате подтверждена адекватность теоретического обобщения на основе понятия век-■ торного пктер^рометрпческого процесса классу интер^ерекцись-ьдх измерительных систем высокой точности. Процесс идентификации в мирэхсм синоде векторных интерне ре ннионных сигналов

РяоД. Класз^кааая йздарызльнкх каналов многоканальной йяхерч^врзнсионно!: «аывуасвльясИ оастема.

сводите я к. со о тнодз :-:няк

t [it] = Х - ta sill у [н] cosyill] ,

sc - X 0, x к Д j - rA us {t M+Z [xK, $'j)

для дв/хлучевой еноте:« и

для многолучевой. Б этих уравнениях Т0 а ¿д обозначают зек-юры априорно неизвзотшас кз^Е&ор^атизккх парами гроз, -вектор аначйкых параметров, X - независимая переменная, £ -вектор состояния объекта, - векторная функция поверхности, ср - базовая функция, И-- временной индекс процесса. 5 условиях помех элементарный сигнал интеррзрометрического какала определяется моделью

sflt АЛЛ- Se[X J+ SA[Xj COS (•£ М +

где ф - фазовая помеха, Xк = Xqk + sx » Sx " случа'"'нке сме~ вднпя системы координат, связанной с объекте:."., относительно положения }(0 оси интер^еро.техрическохо канала. V.з этой модели следует, что Еооотаноздзнне вектора состояния объекта является нелинейной обратной задачей, ревэеиой э условиях априорной неопределенности сопутствующих параметров и характеристик комплекса помех. Система обработка долкка обеспечивать помехоустойчивое оценивание искомого дарагетра ¿[и*] прл условии пространственно?; калибровка аодо>;:ения Х0 эси днтерте-роыетрлческого канала. Взделекы основные особенности процесса пространственной калибровка оптических л ^отоэлектрич-зских каналов i'.C, Показано, что калибровка в автоматическом рекше сводится к задаче регистрации сведении сигналов естественных или искусственных реперкнх точек поверхности, Прздельная по-греляоеть оценивания искомого параметра интерференционного сигнала в условиях дробового пула составляет

где Ne- число фотоэлектрсноз, зарегистрированная з интервале 'измерения, что соответствует дуассоновскс:! статистике лазер-

ного излечения.

/ч-тнваг. специфику пройде;«: прецизионного контроля, оа-йяячзягуюзя г наличии значительного объема априорной икйорма-цпи о конкретном обьектз, следует выделить две основные задачи: определение сдвига заданного сигнала к оценивание паоа-мэгров интерференционного сигнала з условиях помех.

Вторая глаза посвяцзна исследований процессов .многоканальной фотоэлектрической регистрации и преобразования интерференционных екгналоэ. Выделены оснозкке составляющие лзгреиксстеГ. регистрации интерференционного екгьалз, обусловленные нэидеальностьн идентификации модели, отклонением реальных значений независимой переменной от заданных и ошибками измерений. Показано, что эффективность операции фо-тоэлектоическо;; регистрации целесообразно характеризовать величиной отношения сигнал-иум (¿/И). Анализ операций прецизионного контроля объектов показал необходимость минимизации отнг.ептзльннх погрешностей пространственных измерении и, следовательно, обеспечения предельно малкх погрешностей регистрации разности, ¿зэ ингеррерир/.одпх волн в реальных условиях изменении. Заполнен теоре тпчзекпп анализ предельных погрегэ-носте:-'. ^отоэлэктричьского преобразования интерференционных сигналов. доказано, что разраааацая способность интер^зром.ет-рического канала по 'разе зависит от значения разности фаз и связано с величиной отношения /М , которое при выделении квадратурной компоненте: в условиях дробоього иуна и фазовых гауссовых флунгуацй» с дисперсией (У4 составляет

НсС^Ь) Т 5М2£,

где Лг - зпдность интерференционных полос, {К — су.р (-б"2; величина с~£. определяет разрешающую споообность канала по фазе. Оценка предельно;: погрешности при условии £//[/ = I в точке = Н-йУСС05Т. I» составила 2?Г .10"^ рад. Установлено, что влияние фазовых шлукгуапи;: наиболее заметно при значениях бпднвстй. "V" ^ и проявляется подобно снижению

З^и+ио),

¡30[и) 3,(и-и0)

•Вп -и0 и? Вп

! ©

/Н{и)/г '

-и3-и0 -иь+и0 -и0 0 и0 и5-и0 и5+и0

Рис.2. формирование просгрансгвеннс-чзсготысго спектра при дискретизации интерес секционной картины.

видкостп. Анализ показал, что предельная псгрзгнозгь ннтер^е-рометричесхого какала определяется прегде всего значениями «оцдссти источника излучвния, квантовой э^-.зктидкосгп приемника излучения, биднозгл пнтер'/ер<зндион:-:>-{ полос, которая .мохе т быть рассчитана по приведенным пккензрным роруулам для реального ;^лер,1еро:«.етричеекогс канала.

Проведен анализ точностных характеристик процессов диск-

Рас.3. калибровки по образцово?, с+зрз.

К > 'л, . ¡V,** азпсроллруекке отрезка. з трэикзкалько:: застепэ.

1 А» ^

ретизапии ¡^ к^акгозакся по урсвяэ интерференционных сигналов. Выделены операции дкзкрзтгзадал распределения пнтзксиеяос ти и распре деления ¿азы, реализуемые с использованием многоэдеыент-ных приемников иглу-гения. Разработана ыегодикг выбора требуемого ыага и числа точек дискрегазации на основе спектрального продета вления интзр узренпионного загнала в области простран- • етвеннкх,частот 2 рорые

где ¡э, (М--К/0) - информативная спектральная компонента со знача:,', он 'частоте:: 'Л0 , оптическая передаточная функция систеык, спектральная функция светочувствительной ячейки. Процесс дискретизации иллэотрируетой на рис.2. Приведены результаты исследования точностных характеристик процесса квантования интерференционных сигналов, при это:.; выявлен . основной источник погрешности - нелинейность передаточно/. хо-рактеристп:-п: ЛИП. Показано, что использование разрядной сетки ь 7-3 двоичных разрядов обззпзчиваст в большинстве практаче-

- к -

ских задач интерферометр:::! предельно мал/о случайную погрешность квантования.

терсрерол:етрдческ:'-Д каналов, приведены г-эсчзтдае рор;.улы связи глобальной сястедд координат ьЗ с локальными системами координат интер^ероыетричзских каналов. Предлся:ен :;лл:сагрл-руе.чьД: на рис .2 метод соа.'.естасЗ пространственном калибровки интеррерометрич&окпх каналов с использованием многоруккцпс-налзных мер длины-угла, вклочак систему с.._ернческих мер (с:.!), когорте рекомендованы в качестве основных для. системы метрологического обеспечения процессов прецизионного контроля геометрически характеристик поверхности объектов.

3 третьей главе рассмотрены метода оптимальном обработки интернеренцисшых сигналов, которые дрн решили задач прецизионного контроля объектов необходимо разделить на две основные группы: сигналы с линейно изменязцо-коя $азо2 и с квадрдтичным С нелинейным) изменением £аак. Обработку сигналов первой группы допустимо вести на гснове квазпоп-ж/альккх методов спектрального оценивания. При этом метод::-чески обоснованным следует считать применение регрессионного анализа Р -последовательности отсчетов сыпала на основе параметрической модели

В условиях малых зуыов яспользузгся экспоненциальная модель детерминированной состазлк.одгы интерференционного сигнала в £орме

где М , и - соответственно амплитуда и коэ род-

ине нт затухания I -он с оставляйте и, / 5 - ыаг ¿искретизапид. 'Исследования показали, что в условиях гауссовых аддитизных помех к где.ли сопоставимы по результатам с моделью восстансв-декдк авгорегрессин - скользядего среднего. Выявлена заметная

»сследованы операции совместной обработки пскагакхГ: ::к-

х СО 5 ,

3332Й06353Ь ¡»зусасг^узвдес погрешностей о качзотвсм и надежностью априорс,« оаеаск параметров интерференционного сигнала. ОСойдонак!: алгоритм обрабзт представлен в виде блок-схем:.: ла

ндчя.'о^)

нулевое.

ПРКБ^ИШ-М!;

Г

АППРСКГИ.'УЦИЯ I на.или

5 Сч к) I

'"ч Л,

Л

ЖАМРЛУМ интсрФЕРгнциан-нега снт,'лгл

' I,

КСНЕЦ ^

ИТЕРАЦИИ

5л|'-,0| ^о

Рас.-!. Помехоустойчив:^ алгоритм о идентификацией .модели пн те р'фй ре пцн о ни ог о с. .гн л г.а.

Типичные значения погрешностей при ок:г.еркг.!9нтальнкх исследования:': составили не более (I.. .5) от полного фагового цикла, что соответствует субнанометрозому диапазону в линейной мере и субмнкрорздпиккому диапазону значени* по углу. Таким образом, подтверждена практическая возможность лреци?.йои-коГ. пространственной кзлнброг.ки иатер^рометрических каналов

,.нтер*есекционные с:-:-:алы зторэГ: группы характеризуется моделью

где

cos [ ¿.+ т!П)[(к-Х)\ (<>-У)1]}

- информативная составляющая слгнзла и N(X..^j= 5 c+Hc(X,lp

~ эдлитньная помеха, S=(£;X.^)'. Показана теоретическая корректность и практическая реализуемость оптимально1: обработки сигналов с кьадрагпчннм определенном на основе критерия максимума функционала правдоподобия з пнтерреромет-ричеекпх системах -разового г,:па. ^еелз ловакия показали, что дисперсия сменил положения детерминированного пнтиргвренгдиок-кого сигнала на фоче ¿аъчж: .¿.дуктрадп.": снимаэтея пропорционально площади анализируемого участка поверхности обьекта.

С,

Рис.5, 'функциональная схема затшальнпЗ обработки в вк-терферометрическои системе разового типа.

<«ункцг&иал&кея схема синтезированной оптимальной интерреро-мзтричзскол сьлгвкы oJpacom показана ко ркс.о. лсподъзова-кие просгр-зясгвеано разззсзз&ьс яягерЗерояе срцчеакис каналов квдяесой пвлесоэбразааа длк реализации операций прзеизя-едлого контроля додерхнестзл второго доркдка а составная пс— взрхностз"..

Зндздзлн прол«уцес;в2 л-зпараметрдчаск;:/. катодов обработки нктгрч/зродцизннкх. сигналов в условиях ограниченной априорно," ¡информации. Под/чёяз вдрал.зниз для комплексного спектра ннтзр.рзрендионного опт нала с квадратичны1.! изменение;,', (разы з виде

гда X - длина волна, R - ралд/с нризизкн отраженного волнового гронта. Проведены исследования точностных характеристик восстановления ..-.азы сфоширозапкого аналитического ою?нада

«* SA(X.) OCS C0(X)+iSA(X) [sLl'-f C?(X) + A(X,g)] ,

где ACM) - г.пгре::н"сть оценки мнимо;; ооотавля'о'дей сигнала, завизядап от искомого параметра £ Разово;: функции <р(К). Показана ддеокал помгиозациценность спектральных кетоцоз идентификации ¿; применимость разработанных алгоритмов обработки: к задача:: прецизионного контроля объектов с разово!': погрешностью ¿64 U/&J) '<г2Г при введении расчетндн поправок и погрешность::; позиционирования- сХ- o,U2/J от размера анализируемого участка в поле зрения интер^зрам-атрического какала.

Подучен:; чаотсткь.» характеристики о::гл\;альккх Дддьтров интерференционного оиглаи^ в зпйгетральае^ области для случаев мультипликативного 'зрл/а и . азоьдл соответственно в

зрм.з

u (и,) & (ц,)/ fG( u,; + G-(* &N u-j] , rl(uO= 1 S*(iu J(;t)/ ['¿(и>) + Сгн(и>)]} ехр(~'2ттиХ),

гдо и Ct^I^v - слектрзлвннз плотности интерференционного

сигнала и -дума, а) - хоракт^риотичеокад функция ^азевнх 'рлуктуацил. Р&злзбсгана мегодиул пскеиоустойчивогс гкспр-зос-

- 2й -

оценивании сопутствующих параметров интерференционных сигналов поп идзктификадпк эмпирических гистограмм первого порядка.

В ч е т в е р т о г лаве представлены результаты научно-технических разработок и экоиераиэктальнак. доследований; точностных характеристик ¿ногоканальшо. систем прецизионного контроля наиболее значимее отделы;:-:;: параметров: переведения, размера, иди вектора вкачжих параметров, при соответствующем выборе ре;-:.;.мсь .улкционировакпя нескольких измерительных каналов. Показана практическая применимость полсмени" ■теории инвариантности изменил ельымх систем и принципа гкогока-нальностк к интерферометрпческн:.; системам прецизионного контроль.

инвариантно;; к изменении .¿окпвом сост^вляюде'; в двухяуче-вой интерференционной картине и взаимным смещениям осДокта, взоораженая £ интерферометре и прием чека излучения является разработанная пнтер^.еромзтричаскан система с дополнительна'. ноу.нтвр$ороадкоднам оптически;., каналом. По сравнении о извес; нака системами е разрабохаычог. мС принципиально устранено влияние погрешности компаркрования Аббз за счет алгоритмнческо" фазовой коррекции комплексного спектра интерференционного сигнала, определяемой множителем коррекции

(ГХ'АнЬ + ОХЬп.)]} ,

где (Хц , ~ пространственные частота значимых компонент реальной интерференционно:; картины, | , >уо - координаты центра поля приемника излучения, И1= [(+ /(|г0г+ V2).] , 1Ц, , V,, -пространственные частоты идеализированно/! мощи изображения. Кнварианткол к изменению нага и ориентации интер£ереЕЦаонакх полос является разработанная модификация ;,'С разового типа с параллельными пространственно разнесениями .каналами. Разработанные системы обеспечивают реализацию принципов адаптации к воздействию влияащих факторов.

Определены пути построения, • проведены окспериментальнне исследования двухканальней системы регистрации и контроля малых переведений в субнанометровом диапазоне отклонений объекта на основе использования оптической и ронтген^ьско;" интерференции. Практически достигнута предельная погрешгон» позиционч-

ровакая нэ более 0,024 ну, з течение нескольких часов. Показана возможность использования шюскояараллельного аитерфаромет-ра Фабри-Пзро для высокоточного контроля о автоматической коррекцией погрешности ¿обе.

Рис.5, Двухкакальная система - бескбйтакткы;? янтер^ерон-циокнп" оптиметр. I у. 2 « фотоэлектрические преобразователи-¿ормаровэтзли Vкого.\'ерних аЯтзр^зрвксиониах сигналов, 5 -ханаз:: поступательного песемэцекия контролируемого образца 4 с ыагсви:.'. приводе:.', 3,6- :'.9ханпз!д осеьзгй враденая,

Проведена разработка, выполнена аналйз а исследования точностных характеристик бзококг-зкткого иятар^еренцаойного оп-

гдаагра-о -двухкакадьно"; -структурой для-контроля размера объектов з поверхностями зхорого порядка, Сдакциональная схз-МЕ1 которого приведена нз рис .6,

До сравнения с азвестякадх устройствами разработанная система обзспечивает прецизионной оов«еце:-ш2 контроль размера и взаимного расположения участков контролируемо?, поверхности р повышенной точностью. Б частности, с учетом изменений параметров окружахдаЗ среды погрешность контроля размера сгстазп-ла II вы при доверительно:; вероятности 0,28, или е относительных единицах ЫСГ .

Рис,7. Схема интерференционного устройства контроля бокового смещения образца, I - источник излучения, 2 - коллиматор, 3 - светоделитель, 4 и о - оперные отракателк, 5 -объектив,'7 - ккогозлекекгкый приемник излучен, 3 - устройство обработки»

- '¿Ъ -

Предложен катод и разработан ряд устройств автоматического определения параметра сдвага интерференционного сигнала .методом автосгертки ка основе ооотнсшекия (для одномерного случая)

1'де интегрирование ведется по полной длине реализации, 5 (3) - смецекны" ;:а расстояние X интерференционный сигнал в виде четно;: функций., причем пси £ = 2Х ил-зек сфяектдщщй критерий

ЗЧ2Х)« | - УКах{ 8 (§)}.

Исследованы погрешности метода а показана его применимость г. л я раненая задач высоко точного совмещенного контроля центрировка и осевого расположения сферических поверхностей, в том числе з многокомпонентных системах в проходящем сеЗТэ. По сраьханкэ с известными устройствами рзгйстраоиа, э том числе автокодяимациокного типа, разработанные устройства характеризуя» я повкиэкной помехозащищенностью л точностью за счет использования разового принципа контроля характеристик яоверх-ноом. йункцаокальная схема одяотз аз разработанных устройств приведена :-:а рис.?.

На основе использования метода .многоканальной интерферометрии разработаны многоканальные системы, реализущие принта бесконтактного с*зрокэтра. Одна аз представительных раз-. рзЗоток иллэотряруетоя' йункцаональкоЗ схемой рас,8, Показана возможность совместного про. ца за о иного оценивания абсолютного знзченая радиуса кривизны а отклокэпай формы поверхности з манометровом диапазоне. Выполнен дэтальныи анализ погреыно-ете;": прецизионного контроля, получены формулы и графика для расчета основных характеристик элементов многоканальной система с предельно малой относительной погрешностью контроля X 4 !• 10"^.. .5- Так, допустимая погрешность, приведенная ко входу едкого интарреромотрИчеокого какала, мечет быть-рассчитана по формуле

¡0%! = зеЯ

где 2& - базовая ддана хорды сферометра, К - радиус кривизны. Разработана аппаратура а проградажо-алгерягмгчзскоб обеспе^е-

Рио.8. Грехкакальная система - бесконтактны;" интерференционный сферометр. I - источник излучения, 2 - коллиматор, 2 и 4 - светоделители, 5 - оптический клин, 5 и 7 - объективы,- 8 и 9 - многоэлекенгннз приемники г.злучонпя, ю н II -блоки регистрации и обработки, 12 - -—лал контроля линейного перемещений.

ние з вида пакета оригинальных прикладных программ автоматической обработки сигналов в многоканальной интерреро,метрической системе.

¿1 и

Выполнена разработка принципов многоканальной интерферометрии и идентификации параметров реально:-интерференционных

3 А К Д ¡0 Ч

- 2о -

сигналов. 3 результате теоретических и экспериментальных ис-оледоваекй рО!ивн комплекс проблем георш анализа интерференционных измерительных сигналов и синтеза многоканальных интерференционных измерительных систем высокой точности, Ка этой основе проведено теоретическое обсбденле, разработаны кеучнае пологзняя а дано принципиальное решение актуальной, пмевдей заднее народнохозяйственное значзакэ научной проблемы абсолютных высокоточных бесконтактных измерена и контроля параметров геометрических элементов сложных поверхностей и простракстввянйс структур в прецизионных технологических процессах. Комалеконэе радение научзо-овхЕЯчаекйх задач позволило разработать ряд интерферомегричеоких систем и устройств повыпекной точности. 3 результате работы обоопованы следуоцне вывода и положения:

1. Проведены исследования свойств пространственной структуры об!екгоз, выделены основные виды номинальных поверхностен и особых точек, показано, что разработанный принцип обобщенного описания объектов на осноес янтзрферэнционного сферического отображения поверхности является основой исчерпывающего представления пространственны;! характеристик контролируемы/. геометрических элементов при формировании интерференционных сигналоз. Дано определение интерферометрачзскогэ канала, выполнен синтез обобщенно;] структуры многоканальной интерференционной. измерительной системы к получены теоретические осотноыбнкя для расчета требуемого числа интерроромотри-ческих каналов. Установлено, что наиболее перспективной является структура с пространственно разке с г иным каналами л многомерноЛ обработкой интерференционных сигналов,

2, Выделены основные функции многоканальной интерференционно."; пзметнтздьнси системы, которыми являются поиск, селекция и точное наведение на задакШДе точки поверхности, реализуемые ь совмтдекных фотометрическое ракшэ .калибровки каналов и кнтерферомзтрическо.ч! рег-нме лрбцдзно;шсго контроля. Показаны преимудества многоканальных систем контроля в достигаемо;" точности, йушэдмкальшдс возможностях а информативности по ерзвленд-э с оддскаклдьным''1 ь реальных.условиях фиаиче-• ского эксперимента.

2. Построена адекватная .модель реального векторного ин-

тзр&ереяцдонкого оскала, получены оценки погрздностеГ: дискретизации и квантования сигналов. Наедены аналитические выражения для расчета значений отнесения интерференционного сигнала к и/;/,/ и предельны/: погроспоотэГ; фотоэлектрической регистрации з дБухлучево:;. и многолучевом ангедерзяегрячвокяс каналах.

4, Разработаны теоретические основы поотрозкия системы метрологического обеспзчепия ксордзштизс измерза*? Влспег точности на основа принципа калибровки многоканальных систем по специальны" сферически;: .-.'.ера:.:, являвшая многофункциональными образцовы:.;н мерами рззмера-^ор:,ш-утдз.

5, Разработаны и исследованы многоканальные интерреро-метрические системы позиционирования в нзнометрово:,; л субна-ноу.етрово:.', диапазоне отклонений положения объекта. Предельная погрелнссть позиционирования составила 0,02 нм £ диапазоне перемещений до ¿0 тс.:.

5, Разработаны и иослэдоззкы двухкапалькые интер{еро:.:зт-■рпческне системы, реализуздие принцип бесконтактного интерференционного оптиметра. Погрешность контроля размера объектов в реальных условиях измерен::;? ооатааиаа II к\) в диапазоне до 100 :лм.

7. Разработаны принципы построения помехоустойчивых систем иятерферокетрического контроля взаимного расположения ограааэдпх поверхностей- второго порядка з многокомпонентных системах.

8. Разработаны и исследована многоканальные системы, реализующие принцип бесконтактного интерференционного сферометра при абсолютных измерениях радиуса кривизны поверхности с " мало* относительно:'' погрешностью I•10"а...5« 10"*°,

• Разработанные устройства являются коеым поколение:.; интеллектуальных систем прецизионного контроля,.оснаденкнх периферийна! оборудованием, интерфейсами связи с ЭВМ и оригинальна.! программно-алгоритмическим обеспечением.

Основные результаты опубликованы в работа::: ..

I. Влияние неравномерности освещенности поля на точность интерференционных измерительных систем / Де~. во ЗЙЕКЯЕ 26.03.1230, 3 41.-7 -о,-Соавторы - В.И.Прицхер, В.Д.Свердлп-

чанко.

2. Пргкеяеяйе фотопрг образ,ова теле:*.' па еокоее приборов о переносом заряда в интерференционных измерительных системах / Деп. во 13.03.81, Л 54, - 9 о.

3. Точных синхронны.: детектор // Измерительная техника. 1Ь51, И 13. С. 13-47. Соавторы - о.К.Прицнер, Э.^.Свеченкоэз.

4. Автоматизация измерений температурного удлинения образцов в высокоточшк интерференционных дилатометрах методами ыаыикно:: обработки изображений // Метрология. 1582. .'5 5,

С &,

5. Автоматическая селекция ахроматической полосы методом огнбаыг.о";' // Оптика л спектроскопия. 1932. Т.54. Зып.5.

С.843-650. Соавторы - З.Я.Прицкер, С.Д.Глухов,

6. О точности автоматических фотоэлектрических преобразователей интерференционной картина // Тезисы докладов Л Всесоюзного совещания по теоретическо? метрологии. Л., 1833, С.100-101, Соаз?ор - О.Д.Глухоз. -

7. Метод автоматического интерференционного измерения теплового расширения ъ условиях свечения исследуемого образца // Тезисы докладов Всэаоюзной конференции "Метрологическое обеспечение температурных и тедлофпзнчесних измерений", ларьков, Г£ВЗ. С.214-215. Соавтор - О.Д.Гдухов.

3. Оптяиалышй фильтр для доследования фазовых характеристик интерференционной картины в присутствии мультипликативной помехи // Тезисы докладов У Всесоюзной конференции "Проблемы метрологического обеспечения систем обработки измерительной информации", 1284. 0.223-229.

5. Помехоустойчив^?: фотоэлектрический метод измерения фазовых характеристик интерференционной картины // Тезисы докладов М Всесоюзного совещания "¡.¡етодц и приборы для точных дилатометрических исследований материалов". Л., 1984. С.62-32.

10. О применен ни многоканально;: регистрации сигналов в высокоточных интерферометрах дерамедений // Тезисы докладов И,Всесоюзного ооведания "Кзантовая метрология и фундаментальные физические константы". Д., 1335. С.119-120. Соавтор -З.Н.Носаль.

11. Исследование фотоэлектрических пре обр 5 зова те да?, для

интерферевцкэшшх измерительных оиотем // Оптика к спектроскопия. 1985. Т.32. Зыз.О, С.III3-III7. Соавторы - 3,А.Арутюнов, И .У .Нагибина.

12, Помехоустойчивы« фотоэлэкгркческяй катод измерзши, фазовых характеристик интерференционной картины // петрология. Ites. JS 7, С .£-13.

13, Влияние. параболических ясквгенк£ волнового £?зкта на точность фотоэлектрических ингэр^ерокетров // Курнал пра-кладноГ; спектроскопах, IS53. Т.44. j> 3. С.504-503, Соавтор -К .М .Нагибина.

Ii. Влияние адаптивного л разового дума на точность измерена?. рааксоги фаз в интерференционных уотроУогзах '/( Метрология. ÏS87. ÜG. 0,48-50.

15. Применение вероятностка-взвешквавщего ¿шьтра при фотоэлектрической регистрации осгналп многоканального интерферометра переведений // Тезисы докладов Всесоюзного семинара "Измерение переведений в динамическом режиме". Каунас, 1937. C.S5-a7.

16. Согласованные фильтр для идентификации положения центра интерференционно?: картины // Тезисы докладов 71 Зое-оовзкоп конференции "Проблема »метрологического обеспечения систем обработки измерительной информации". ÎJ., ÏSP7, -

С.143-144. Соазтор - А.Б.Павлова.

' Х7. Применение ГОС-$отопрг.еиняков в интерференционных измерительных системах / Сб, научных трудов "Исследования з области линейных а угловкх измерений". Л., BBllii, ISS8. С,40-43. Соавтор - ¿Л.Шсзкая,-

" IS. Применение метода дискретизации интерференционной картины ддк измерения перемещении с^ерпчеокоп поверхности // Оптико-механическая промщллэнность. ICC , ',î 9. С,с;0-37, Соавторы - И,1л.Нагибина, А.Б.Павлова.

19. Измерение калых дхлн методом оханнруаде2 туннельной микроскопии // Тезисы докладов LI Всесоюзного соаедания "Квантовая метрология и фундаментальные физические константы". Л., 1988. С.20-Л. Созвторх. - Ы.В.Тарбеев, Д.^Вигудкик.

20. A lïoiao-LrM.vono Irnierforonioiric .Mo ¿hör. -oi- l'toaourinj; tï Dironttona of Rcgxilar-Shc.püd 3odiofi//3rd Intern. EßSO-üyapooi'. (XSI.ÎQC) . Aachen (Ж), 1969. P. 15-20. Co-

гьтор - П.ЗЛзссеез.

•¿I. -с ?6хпег.з автоматической: обработки сигналов

в ..::гзрПзге^ц:спных измерительных системах // Измерения, KOHTi.cj.b, автоматизация. I5P0 . Выл.2(74). С .33-79,

Сдр-зделсынз лслсыепия зтра-?:а:сц-зй поверхности второго порядка методом маыинко" обработки пнтеррерзнпионно:"; кар-с::г.-; // Автометрия. 3, С. £0-33, Соавтор - .4. В .Павло-

ва.

2S. ПктзрХязцгэавые Сстоэлектричесгаз сизтемы на оо-r.cns пр.-бор02 с ззрядозоР связью %гл лике"пых измерэнг.'": // .Материалы семинара "Слит внедрения прогрессивных средств и ms тс дев размерного контроля". Л., ЛДНРП, IsíO. 0.47-51.

24. ¡Многоканальная loi оэлектриче окая система на основе приборов с зарядозс;: езязьэ для прецизионного измерения тоя-

лине // !'атз?гала семинара "Твердотельные волновые датчики для прецизионного мапикестрзепид", Наупао, IS LU. С.ПС-П4.

Алгоритмическая коррекция погрзлнесты пббе в мкого-калалзыом интерферометре // известий ЗЗЗоз. Приборостроение» I¿SI. :: C.7G-8Ó.

'¿G. Прецизионный пнтеррероыетричзсккй контроль объектов по критерию максимума руинцИозаЯа правдоподобия // Тезисы докладов II 2оесс:ознон конференции "йз.иерешя и контроль при автоматизации производственных процессов". Барнаул, IS2I.

27. Струит;ра многоканальных интерференционных измерите Д»нх систем для прецизионного контроля геометрических характеристик обпзктсо // известия ВУЗов. Приборостроение. ISSI. :: S. C.ÜS-G-3. Соавтор - И.".Нагибина.

¿5, I'lniooc.í;секционные измерения и контроль параметров гзоызтрлчесыдх тлзы-зктез на основе критерия максимума функционалы правдоподобия // Автометрия. Î9S2. S 3. С. 99-104.

2Э, ."tatíctic£.l ¡•futl.'ssís о7 baai'iis/i.',? 1п;сгГ;го-

.r.eíric: // 7.-: cci'.U'i'UK,« r.afcrclo^io&i ссл-

í-ггекса ""ii.OSn r^vwiiïy oí' -'Иге 3.7..Hcr-icloycv Institute -Ci' Metrclo/;;'". 1S?2. ¿t.-jojorj'curj. 7.

3D. Usinr i r IrM.er^sro;::at:.-io ^othed üc ^casu-

t:-r; c7 boítoa XiV.-t.'-í; ¡x-jul--' shr.pec//bív&.:ur*j-

iiont.1992.Y,10.2. P.C2-64. Соавтор - ¿.ВДгубеев.

31. Интерферометр для измерения тел правильном геометрической î;op:«bï // ¿эмеритальная техника. ISS2. ..' t. C.3C-S2. Соавтора - 10,П.Ефремов, Я.А.Кгдак»н, «.Б.Павлова, ко,

£2. Способ измерения одгическо;: разности иода лузе.*, г интерферометрах с фиксированном баз о;, и устройство дли его осуществления. - A.c. £3áIS3 (СССР). 1931,

33. Кктерференциокм.::'"; дилатометр. - л.о. 9IIIP3 [СССР).

34. Способ регистрации нудзво:; разности хода и устройство для его ссуцестрлендл. - д.с. £32938 (СССР). Т9£3. Соавтор - З.К.Прицкер.

33. Способ измерения порядка интерференции г. устройство для его осуществления. - л.с. 1Г13750 (СССР). 1323. Соавтор - З.д.Сверд.тичзндо.

33. Интермерендис:нд;С способ измерения изменения геометрических. пара:;,етров образца и узтроРзтво длл его ооудсс:-влзния. - á.о. II2943I (СССР). 1984.

■ 37, Ьнтергерендионное измерительное уатро/ство. - A.c. I250G8I (СССР). 1288.

' 38. Способ измерения геометрических параметров поверхности объекта и устройство для его осуществления. - Полон, pea. по заявке Jé 4893918/28, Заявл. 17.12.90.

39. Способ контроля центрировки линз и устройство для его осуществления. - Полое, реп. до заявке ¿s 4SI2G35/I0. Баявл. 22.02.91.

■ 40. Интерференционный способ контроля геометрического расположения пнз а устройство для его j суда с твле кия. - Полон. реш. по j!.ÄBKe £ 493033Ï/23. Заявл. 2I.Ú3.9I.

41. йнтерреренцлонны;; способ езд'зреяйя геометрических

ISS 2.

параметров образца и'устройство для его осуществления. • A.c. 1775502 (РФ). IS92,

Подписано к печати 07.12.92 г.

Объём 2 п.л. Еэсплатно.

Заказ 414

Тирах IG0 экз.

Ротапринт. ИИЮ. I900C0, С.-Петербург, пеп.Гривцова, 14