автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.07, диссертация на тему:Высокоразрешающие лазерно-интерферометрические преобразователи перемещений

Введение

Глава 1. Обзор и анализ методов и средств измерения перемещений с помощью лазерных интерферометров.

1.1. Физические основы оптической интерферометрии перемещений.

1.1.1. Интерференция света.

1.1.2. Интерферометры. Преобразование и регистрация выходных сигналов оптических интерферометров.

1.1.3. Обобщённая схема прецизионного измерителя перемещений на основе лазерного интерферометра.

1.1.4. Основные принципы построения интерфейсных блоков ЛИПП.

1.1.4.1. Гомодинный метод преобразования выходных сигналов интерферометров перемещений.

1.1.4.2. Гетеродинный метод преобразования выходных сигналов интерферометров перемещений.

1.1.4.3. Фазомодуляционный метод преобразования выходных сигналов интерферометров перемещений.

1.1.5. Принципиальные ограничения применимости методов лазерной интерферометрии при измерении линейных перемещений.

1.1.5.1. Ограничения, вносимые источником света интерферометра. 30 1.1.52. Ограничения, вносимые шумами фотоприёмников излучения.

1.2. Анализ важнейших источников погрешностей измерений в ЛИПП и обзор методов повышения точности измерений линейных перемещение, выполняемых с помощью ЛИПП.

1.2.1. Погрешность измерения, вызванная неопределённостью значения л-вак.

1.2.2. Погрешность измерений, обусловленная изменениями показателя преломления среды п с р.

1.2.3. Погрешности, вызванные температурной нестабильностью элементов интерферометра и наличием «мёртвого» хода.

12.3.1. Оценки температурного дрейфа интерферометров первого поколения ЛИПП. ^

1232. Влияние «мёртвого» хода лучей в измерительной установке на температурную стабильность ЛИПП.

1233. Уменьшение температурной составляющей общей погрешности измерений с помощью дифференциальных ЛИПП

1.2.4. Влияние нелинейных искажений сигналов на точность измерений перемещений в ЛИПП и методы их компенсации.

Выводы по главе 1.

Глава 2. Анализ методов и разработка технических средств преобразования сигналов в интерфейсных и счётно-вычислительных блоках ЛИЛП.

2.1. Обобщённая схема преобразования сигналов в ЛИЛП.

2.2. Особенности фильтрации постоянной составляющей сигналов в интерфейсных блоках ЛИЛП с низкочастотной фазовой модуляцией.

2.2.1. Спектральный состав интерференционного сигнала при фазовой модуляции по треугольному закону.

2.2.2. Восстановление постоянной составляющей информационного сигнала с помощью двухстороннего фиксатора уровня.

2.2.3. Нормализация аналоговых сигналов в электронных трактах ЛИПП

2.3. Повышение помехозащищённости процесса формирования импульсных сигналов из аналоговых.

2.3.1. Оптимизация выбора порогов срабатывания и гистерезиса компараторов в интерфейсных блоках ЛИЛП.

2.3.2. Минимизация девиации фаз включения и выключения в компараторах повышенной помехозащищённости.

2.4. Разработка новых методов и технических средств предобработки импульсных сигналов в интерфейсных блоках ЛИПП.

2.4.1. Реализация процедуры алгебраического сложения числоим-пульсных последовательностей в счётно-вычислительных и интерфейсных блоках ЛИПП.

2.4.2. Повышение инвариантности процедуры реверсивного счёта импульсов к неидеальностям фазочастотных характеристик электронных трактов ЛИПП.

2.5. Разработка принципов построения и анализ технических характеристик специализированных счётно-вычислительных блоков ЛИПП.

2.5.1. Анализ методической погрешности умножения ЧИМУ последовательного типа.

2.5.2. ЧИМУ параллельного типа

2.5.3. Особенности реализации ЧИМУ последовательно-параллельного типа.

2.5.4. Уменьшение методической погрешности умножения в ЧИМУ параллельно-последовательного типа.

2.5.4.1. Особенности обработки данных в ЧИМУ параллельно-последовательного типа.

2.5.4.2. Анализ методической погрешности параллельно-последовательного ЧИМУ и выбор оптимального сочетания кодов.

Выводы по главе 2.

Глава 3. Создание ЛИПП модульного типа для систем управления перемещениями прецизионных механизмов.

3.1. ЛИПП модульного типа субмикронного разрешения.

3.1.1. ЛИПП модульного типа на базе светоделителей общего вида (вариант «Зенит»).

3.1.2. ЛИПП модульного типа (вариант «Зеркало»).

3.1.3. Системы позиционирования с ЛИПП субмикронного разрешения.

3.2. ЛИПП модульного типа повышенного разрешения.

3.2.1. ЛИПП модульного типа повышенного разрешения (вариант

КЛГИ»). Ю

3.2.2. Высокоскоростные ЛИПП модульного типа повышенного разрешения (вариант «CLWS-300»).

3.2.3. Система управления перемещениями координатных столов с нанометровым разрешением.

3.2.3.1. Общее описание функциональной схемы системы позиционирования каретки линейной координаты ЛГИ CLWS

3.2.3.2. Особенности реализации регулятора системы.

3.2.3.3. Результаты экспериментальных исследований системы управления перемещениями координатного стола с ЛИПП нанометрового разрешения.

3.3. ЛИПП модульного типа субнанометрового разрешения с цифровой обработкой сигналов (вариант «CLWS-300/ M»).

3.3.1. Общее описание ЛИПП с субнанометровым разрешением.

3.3.2. Особенности построения интерфейсного блока ЛИПП с субнанометровым разрешением.

3.3.3. Цифровой вариант системы позиционирования, использующей ЛИПП субнанометрового разрешения.

Выводы по главе 3.

Глава 4. Применение ЛИПП и ЛИЛП для автоматизации научных исследований и промышленных измерений.

4.1. Разработка и испытания ЛИЛП первых поколений ИПЛ-1 и ИПЛ-2.

4.1.1. Общее описание лазерного измерителя перемещений ИПЛ-1.

4.1.2. Испытания лазерного измерителя перемещений ИПЛ-1.

4.1.3. Общее описание лазерного измерителя перемещений ИПЛ-2.

4.2. Создание, испытания и практическое применение многофункционального ЛИПП второго поколения ИПЛ-10.

4.2.1.Общее описание многофункционального лазерного измерителя перемещений ИПЛ -10.

4.2.2. Особенности оптико-механической схемы прибора ИПЛ -10.

4.2.3. Результаты Межведомственных испытаний прибора ИПЛ -10.

4.2.4. Применение лазерных измерителей типа ИПЛ-10 для аттестации отсчётных систем крупногабаритных станков.

4.3. Применение ЛИПП дифференциального типа для автоматизации натурных гидрофизических исследований.

4.3.1. Принципы построения зондирующего комплекса на базе лазерно-интерферометрического преобразователя дифференциального типа.

4.3.2. Базовая методика измерения профиля поля плотности морской воды с помощью комплекса «Океан».

4.3.3. Разработка и экспериментальная проверка новых методик измерения основных гидрофизических параметров морской воды.

4.4. Применение лазерно-интерферометрических преобразователей перемещений в контрольно-измерительных комплексах.

4.4.1. Структурная схема компаратора и методика аттестации растровых преобразователей линейных перемещений.

4.4.2. Создание измерительных систем для аттестации растровых преобразователей и основные результаты их использования.

4.4.3. Процедура аттестации линейных растров с применением ЛИП.

Выводы по главе 4.

Глава 5. Применение ЛИ!III повышенного разрешения в ЛГИ с круговым сканированием.

5.1. Принципы построения лазерных генераторов изображений, работающих в полярных координатах (с круговым сканированием).

5.1.1. Лазерный генератор изображений с горизонтальной осью вращения шпинделя.

5.1.2. Лазерные генераторы изображений с вертикальной осью вращения шпинделя.^

5.1.2.1. Круговая лазерная записывающая система (КЛЗС). *

5.1.2.2. Коммерческая версия кругового лазерного генератора изображений модели С1Л\^-300.

5.2. Экспериментальное исследование и анализ точностных показателей систем управления радиальными перемещениями в ЛГИ с круговым сканированием и вертикально ориентированной осью вращения.

5.2.1. Погрешность «привязки» к нулю полярной системы координат установки.

5.2.2. Погрешность перемещения записывающего пятна в радиальном направлении, обусловленная конечной точностью ЛИПП и особенностями конструкции координатного стола радиальных перемещений.

1 д->

5.3. Анализ методов улучшения технических характеристик КЛГИ.

5.3.1. Тенденции развития лазерных генераторов изображений для синтеза ДОЭ.

5.3.1.1. Оценки эффективности использования для синтеза ДОЭ стандартного оборудования. *

5.3.1.2. Методы повышения производительности оборудования, применяемого для синтеза ДОЭ. ^

5.3.2. Анализ концепции построения ЛГИ, максимально устойчивых к дестабилизирующему воздействию внутренних источников тепла.

5.4. Использование специфических особенностей ЛИПП и ЛГИ для разработки основ новых технологий изготовления прецизионных оптических изде

5.4.1. Основы термохимической технологии синтеза высокоэффективных широкоаппертурных ДОЭ. ^

5.4.2. Синтез прецизионных круговых шкал и лимбов на лазерных генераторах изображений с круговым сканированием. ^^

Выводы по главе 6.

Актуальность темы. Повышение точности и разрешающей способности средств измерений были и до настоящего времени остаются актуальными проблемами измерительной техники. Более 80% всех измерений в промышленности приходится на измерение линейных размеров. Поэтому повышение точности и разрешения средств измерения линейных размеров в промышленности - это мощный резерв снижения брака, уменьшения допусков на обработку изделий, снижения себестоимости продукции, а, следовательно, повышения конкурентоспособности производства.

Появление новых устройств для измерения линейных величин, в основу которых легли последние достижения квантовой и классической оптики, микроэлектроники и вычислительной техники (например, фотоэлектрических растровых [1-5] или дифракционных [6-8] преобразователей линейных перемещений, и особенно лазерных интерферометров [9-13]), позволили резко повысить уровень метрологического обеспечения измерений линейных размеров. Только за последние 35 лет, прошедших с момента появления стабилизированных по частоте газовых лазеров, разрешающая способность серийно выпускаемых измерительных средств на базе лазерных интерферометров выросла более, чем на 3 порядка и достигла в настоящее время десятых долей нанометра [14]. Значительный резерв в повышении разрешающей способности средств измерения линейных размеров (вплоть до пикометров) заключён в освоении методов интерферометрии перемещений в рентгеновском диапазоне волн [15-18].

Столь стремительный рост начался с появления в начале 60-х годов стабилизированных по частоте газовых лазеров, которые вдохнули новую жизнь в оптическую интерферометрию. В результате соединения в единый измерительный прибор стабилизированного по частоте лазера, оптического интерферометра, электронных средств преобразования оптических сигналов и регистрации результатов измерения, получаемых с их помощью, возникло новое уникальное средство для измерения параметров движения с высокой точностью - лазерный интерферометр перемещений [11]. Лазерные интерферометры перемещений обеспечили уникальную возможность измерять с субмикронным (а затем с нано- и субнанометровым) разрешением размеры изделий непосредственно в условиях промышленного производства. Эта важная способность нового измерительного средства оказала весомый вклад в создание и развитие новых процессов и производств, впоследствии ставших известными под такими названиями как: высокие технологии, нанотехнологии [19] и другие. Колоссальная востребованность нового измерительного средства и в науке, и в промышленности стимулировала его быстрое развитие. Можно выделить, по крайней мере, три поколения лазерно-интерферометрических приборов [14], созданных для измерения и преобразования линейных перемещений. Устройства первого поколения несли в себе черты экспериментальных установок и были реализованы, как правило, в виде автономных приборов, ориентированных на получение информации в цифровом виде в одной из принятых систем измерения (метрической или дюймовой). Разрешающая способность приборов этого поколения составляла (0.3-5-0,1) мкм при диапазоне перемещений не более 1 метра. Приборы второго поколения [12,13] отличались более сложными алгоритмами обработки сигналов, обеспечивающими расширенный до (40-5-60) метров диапазон перемещений контролируемых объектов, увеличенную до 0,01 мкм разрешающую способность, возможность накопления и усреднения результатов измерения. Кроме того, в них были предусмотрены такие дополнительные функции как: измерение скорости перемещения отражателя, его угловых смещений, автоматическая коррекция длины волны лазера и др.

Дальнейшее повышение разрешающей способности (до единиц и даже десятых долей нанометра) было реализовано в приборах третьего поколения [20- 23], которые коренным образом отличались от предыдущих тем, что выпускались не в виде автономных измерителей, а в виде набора стандартных модулей, которые были ориентированы для использования в составе измерительных и управляющих систем. В такие наборы стандартизованных модулей входили, как правило: лазерная головка (осветитель), интерферометры для линейных измерений с различной чувствительностью (базовой, удвоенной и учетверённой), интерферометры для угловых измерений, приёмники оптических сигналов, интерфейсные модули [20]. С помощью этих стандартизированных узлов легко создавались высокоточные лазерно-интерферометрические преобразователи линейных и угловых перемещений нужной конфигурации для систем контроля и управления, измерительные приборы и информационно-измерительные комплексы.

Под лазерно-интерферометрическими преобразователями перемещений (ЛИПП) здесь и далее понимается функциональный набор узлов и блоков, осуществляющих преобразование параметров механического движения (перемещение, скорость, ускорение) в электрические сигналы, как наиболее удобные для целей регистрации и управления. Именно с приборов этого поколения началось время ЛИПП как важнейшей составной части современных особо высокоточных систем, обеспечивших значительный прогресс в различных областях науки и техники, но особенно в станкостроении и микроэлектронной промышленности. Именно микроэлектроника в наиболее полном объёме востребовала все последние достижения в лазерной интерферометрии перемещений.

На базе достижений микроэлектроники и особенно её технологической базы возникли самостоятельные направления исследований: дифракционная оптика [24-26] и нанотехнологии [27-29]. В нанотехнологиях, например, требования к разрешающей способности измерительных средств возросли до долей нанометра, т.е. перешли на субнанометровой уровень.

В свою очередь, это поставило на повестку дня проблему создания нетрадиционных методик и средств для контроля й аттестации измерительных приборов, обладающих субнанометровым разрешением. В результате возникло новое направление в метрологии, получившее название нанометрия [30]. И можно уверенно заявлять, что на этом процесс совершенствования средств измерения линейных размеров не остановится, ибо достигнутый уровень развития средств измерения является фундаментом для создания новых технологических средств. Так, например, появление современных сверхбольших интегральных схем (основы современной вычислительной индустрии) стало возможным только после успешного освоения наномет-рового разрешения в системах управления перемещениями координатными столами в литографических комплексах ведущих фирм мира. В свою очередь, для задач метрологического контроля измерительных средств с нано- и субнанометровым разрешением интенсивно разрабатывается рентгеновская интерферометрия перемещений с пикометровым разрешением [15 +18].

Таким образом, видно, что поиск методов и средств повышения точности и разрешающей способности средств измерения линейных размеров на протяжении многих лет оставался актуальной темой научно-исследовательских работ в многих лабораториях мира. В этой области работали многие исследователи и коллективы из различных стран мира. Широко известны работы Пека (Peck E.R.) и Обетца (Obetz S.W.), Кука (Cook H.D.) и Марзетты (Marsetta L.A.), Амона (Amon G.), Арекчи (Arecchi F.Т.) и Сона (Sona А.), появившиеся на начальном этапе становления лазерной интерферометрии перемещений; Квинелли (Quenelle R.C.), Дюкеса (Dukes J.N.), Гордона (Gordon G.B.), Стейнметца (Steinmetz C.R.), Соммаргрена (Sommargren G.E.), Петру (Petru F.), Даунса (Downs M.J.) и Бирха (Birch K.P.) - в период бурного развития интерферометрии (конец 70 - вторая половина 80 годов) и, наконец, Хершера (Hercher M.), Мерца (Mertz L.), Сузу-ки (Suzuki M.), Танаки (Tanaka H.), Xocoe (Hosoe S.) и ряда других - в период с конца восьмидесятых годов по настоящее время.

В СССР в области лазерной интерферометрии плодотворно работали Левитес А.Ф., Телешевский В.И., Шестопалов Ю.Н., Тычинский В.П. и другие. Но, пожалуй, здесь наиболее широко представлены работы новосибирских исследователей: Арнаутова Г.П., Бессмельцева В.П., Ведерникова В.М., Дубнищева Ю.Н., Ленковой Г.А., Лохматова А.И., Соболева B.C., Ханова В.А., Щербаченко A.M. и других, составивших своеобразную сибирскую научную школу интерферометристов, возглавляемую её неформальным лидером В.П. Коронкевичем. Автор считает возможным причислить себя к этой научной школе, т.к. начал работать в этой области в тесном взаимодействии со многими из упомянутых выше сотрудников с конца шестидесятых годов. За это время с его участием были созданы первые в СССР действующие образцы лазерных измерителей перемещений ИПЛ-1 [54,122], выпущена малая партия (в количестве 10 щт.) первого в СССР микроэлектронного лазерного измерителя перемещений модели ИПЛ-2. Эти приборы одними из первых в мире были встроены в промышленный образец координатно-расточного станка (2А435), и координатно-измерительную машину (КИМ-600) [76]. С участием автора впервые в СССР были выполнены работы по юстировке с помощью лазерного измерителя перемещений отсчётных систем уникального крупногабаритного станка НС ЗЗФ2, имеющего рабочий ход более 15 метров [164, 165]. Для этого был использован лазерный измеритель перемещений ИПЛ-10 [13, 52], созданный при участии и под руководством автора. При выполнении данной работы была решена важная проблема получения устойчивых измерений на протяжённых трассах [13].

В ходе разработки высокоскоростных систем обработки изображений для установок типа «Зенит» и «Зенит-2» [129, 137] были решены задачи создания быстродействующих ЛИПП модульного типа [130] на базе предложенного автором метода низкочастотной фазовой модуляции [50]. Использование данного типа ЛИПП в экспериментальном комплексе «Океан» [153, 155, 159-160], разработанного для выполнения исследований изменчивости поля плотности морской воды, позволило научному коллективу, руководимому автором, создать уникальные методики измерений различных параметров воды, обеспечивающих более высокую достоверность регистрируемых профилей, в т.ч. за счёт использования специально созданной избыточности в числе регистрируемых параметров производить взаимный контроль всех регистрируемых в ходе зондирования параметров морской воды, как вычисляемых по результатам прямых измерений, так и измеряемых непосредственно.

При создании уникальных лазерных комплексов для синтеза элементов плоской оптики [174-179] автором предложены и реализованы в действующих цифровых системах управления новые методы построения ЛИПП с нано- и субнанометровым разрешением [14, 22, 67-68, 98]. Технические параметры систем управления перемещением подвижных органов в данных лазерных генераторах изображений позволили создать новые технологии синтеза высокоточных угловых шкал (растров) [178] и объёмных масок для изготовления широкоапертурных дифракционных оптических элементов [202-203]. Применение новой технологии изготовления угловых шкал позволяет почти в два раза (по сравнению с достигнутым уровнем наиболее известной в мире технологии В1АБ1Ж немецкой фирмы Не1с1еп-Ьаш) повысить точность изготовления рабочих образцов шкал или фотошаблонов для их тиражирования. Новая технология позволит в перспективе создать не имеющего в мире аналога полностью автоматизированного производства особо высокоточных угловых лимбов, шкал и т.д.

Практически каждая промышленно развитая страна мира проводила исследовательские работы в области лазерной интерферометрии перемещений и стремилась создать свою версию .этого стратегически важного средства для развития собственных «высоких» технологий: в Англии - это фирмы Taylor - Hobson и Ranyshow, в США - фирмы Hewlett - Packard и Zygo, во Франции - фирма Soro, в Чехословакии - фирма Tesla, в Японии -фирмы Seimitsu и Konica и т.д.

В СССР производителем подобной продукции являлся Новосибирский приборостроительный завод. Он выпускал лазерные измерители перемещений модели ФОУ, являющихся промышленной версией прибора ИПЛ-2. С конца восьмидесятых - начала девяностых годов завод освоил выпуск лазерных измерителей перемещений модели ИЛИ - МП и лазерно-интерферометрических преобразователей модели ИПЛ -Д.

Освоили изготовление аналогичных приборов, но не вышли на их серийный выпуск Горьковский научно-исследовательский приборостроительный институт (ГНИЛИ) и завод «Арсенал» (г. Киев, Украина). При этом ГНИЛИ освоил производство стабилизированного двухчастотного лазера, оптических узлов, электронных блоков и всех необходимых датчиков для системы компенсации атмосферного фактора. Завод « Арсенал» освоил выпуск только лишь поляризационных интерферометров с минимальным набором электронных модулей.

С начала девяностых годов все указанные выше производители прекратили выпуск лазерных измерителей и ЛИПП. Резко снизилась научная активность и число публикаций отечественных авторов в данной области. Это достаточно опасная тенденция, так как в это время в связи с быстрым развитием элементной базы, широкой доступностью быстродействующих аналого - цифровых преобразователей и сигнальных процессоров стали стремительно совершенствоваться технические средства интерферометрии перемещений. Даже такая старая ветвь как классическая гомодинная интерферометрия переживает сейчас своё второе рождение. В настоящее время технические параметры некоторых из созданных образцов гомодин-ных ЛИПП превышают соответствующие параметры наиболее выдающихся моделей гетеродинных преобразователей. Например, ЛИПП модели LZR фирмы Aerotech, Inc.(CIIIA) имеет разрешение, равное 0,15 нм при допустимой скорости перемещения порядка 1м/с [224].

Из этого видно, что актуальность выполненных автором работ в области высокоразрешающих ЛИЛП и ЛИПП, используемых в составе измерительно-информационных, управляющих и технологических комплексов, обусловлена всем ходом развития отечественных «высоких» технологий, необходимостью сохранения передовых рубежей отечественной науки и техники, в т.ч. путём создания действующих образцов современных измерительных средств, управляющих систем и комплексов, конкурентоспособных на мировом рынке наукоёмкой продукции.

Связь с государственными программами и НИР: Работа выполнена в лаборатории когерентной оптики Института автоматики и электрометрии

СО АН СССР и в лаборатории лазерных прецизионных систем Конструк-торско-технологического института научного приборостроения СО РАН в период с 1969 по 2000 гг. в соответствии с планами фундаментальных исследований СО АН СССР по программе «Разработка фундаментальных проблем создания и совершенствования элементной базы квантовой электроники и перспективной оптики» и планами СО РАН по программе «Развитие научных основ квантовой оптики и квантовой электроники, разработка новых направлений их применений», а также в соответствии с Постановлениями ГК СМ СССР по НиТ № 132 от 10.04.69, № 201 от 31.05.1971, № 753 от 10.09.70; Распоряжениям Президиума СО АН СССР № 28-1-416 от 04.08.1971; государственным заказом на важнейшие НИОКР (1993 и 1994 гг), государственными научно-техническими программами «Фундаментальная метрология» и «Технологии, машины и производства будущего», по проектам РФФИ и РФТР.

Целью диссертационной работы является разработка принципов построения, создание, экспериментальное исследование и практическое применение высокоразрешающих (субмикронных, нано- и субнанометровых) лазерно-интерферометрических преобразователей перемещений в измерительных приборах, системах управления и технологических комплексах. В соответствии с поставленной целью определены следующие задачи:

1. Разработать новые методы преобразования выходных сигналов оптических интерферометров, позволяющие на основе элементной базы, освоенной отечественной промышленностью, создавать ЛИПП и измерительные приборы на их основе с параметрами, соответствующими мировому уровню.

2. Проанализировать наиболее значимые источники погрешностей измерительных и технологических средств, использующих в своём составе ЛИПП, и разработать методы учёта и компенсации дестабилизирующего воздействия этих источников.

3. Разработать принципы построения ряда важнейших функциональных узлов ЛИПП, учитывающих специфику требований к ЛИПП с субмикронным, нано- и субнанометровым разрешением.

4. Создать измерительные приборы, управляющие системы, информационно-измерительные и технологические комплексы, использующие в своём составе ЛИПП с субмикронным, нано- и субнанометровым разрешением.

5. Разработать на базе созданных лазерно-интерферометрических систем новые методы и технологии формирования элементов с поверхностной микроструктурой, в том числе прецизионных узлов современных датчиков «угол-код».

Методы исследования: Результаты исследований, обсуждаемые в диссертации, базируются на системном подходе и получены путём теоретического анализа, моделирования и физического эксперимента.

Научная новизна работы.

1. Предложен, обоснован и реализован в измерительных приборах и устройствах новый метод лазерно-интерферометрического преобразования линейных перемещений с низкочастотной внутренней фазовой модуляцией, позволивший на основе серийных элементов, освоенных отечественной промышленностью, обеспечить технические характеристики созданных образцов на уровне, соответствующем мировым стандартам .

2. Предложены, исследованы и реализованы в действующих приборах и системах новые принципы построения специализированных интерфейсных и счётно-вычислительных блоков ЛИЛП и ЛИПП, в том числе:

- новый алгоритм реверсивного счёта с «замораживанием» направления счёта, обеспечивший расширение (в 1,5 -т-2,0 раза) максимально допустимой скорости движения отражателя в измерительном плече интерферометра;

- методика выбора порогов срабатывания и гистерезиса компараторов в формирователях импульсных сигналов, позволяющая обеспечить устойчивое функционирование ЛИПП в реальных условиях эксплуатации;

- принцип построения и методика расчёта помехозащищённых компараторов с нулевым гистерезисом, обеспечивших стабильную привязку фазы фронтов формируемых импульсов при значительных (в 2ч-3 раза) изменениях амплитуды гармонических сигналов,

- принцип построения числоимпульсного множительного устройства параллельно-последовательного типа, обеспечившего высокую скорость выполнения процедуры умножения данных в числоимпульсной форме при уменьшенной на порядок методической погрешности умножения.

3. Предложена и экспериментально подтверждена новая методика восстановления фазы квадратурных сигналов гомодинных ЛИПП на основе селективной коммутации выходных сигналов датчика. Созданные на её основе модифицированные образцы ЛИПП позволили получить разрешающую способность на уровне 2-^2,5 нм, что в 40-^50 раз превышает разрешение гомодинных ЛИПП, реализующих традиционную схему преобразования выходных сигналов.

4. Предложена и реализована в составе цифровых систем управления новая методика преобразования квадратурных сигналов гомодинных интерферометров с цифровой предобработкой данных, позволившая при разрешающей способности ЛИ! Ш на уровне 0,6 нм существенно снизить требования к элементной базе высокоскоростных ЛИПП за счёт распараллеливания процессов счёта и интерполирования дробных долей порядков интерференции.

5. На базе лазерного рефрактометра, использующего в своём составе ЛИПП дифференциального типа, предложены и в ходе двух морских экспедиций апробированы новые методики измерения изменчивости поля плотности морской воды, обеспечивающие повышенную достоверность вычисляемых параметров воды, в том числе для полей с повышенной изрезанностью профилей.

6. На базе ЛИПП дифференциального типа предложена новая концепция построения лазерных генераторов изображений, ориентированных для работы в полярной системе координат и устойчивых к дестабилизирующему влиянию внутренних источников тепла.

Практическая значимость работы заключается в следующем:

- впервые в СССР были созданы лазерные измерители перемещений ИПЛ-1 и ИПЛ-2 с субмикронным (« 0,1 мкм) разрешением;

- создан многофункциональный лазерный измеритель перемещений ИПЛ-10 с улучшенными характеристиками (разрешение до 0,01 мкм, диапазон до 45 м, возможность измерения углов разворота и др.), ориентированный на решение многих (в том числе нестандартных) технических задач в машиностроении. Выполненные с его помощью работы по юстировке протяжённых отсчётных систем (ход 15 метров) и контролю работы систем управления уникальным станком портального типа (НС32Ф2) на практике продемонстрировали преимущества использования в тяжёлом станкостроении широкодиапазонных лазерных измерителей перемещений типа ИПЛ-10 (погрешность юстировки и аттестации шкал менее 10 мкм);

- создана не имеющая аналогов в мире технология изготовления особо высокоточных (погрешность « 1") круговых шкал, лимбом, растров;

- впервые в отечественной практике созданы широкополосные системы управления положением координатных столов с разрешением менее одного нанометра;

- создан уникальный глубоководный лазерный зондирующий комплекс, с помощью которого была доказана перспективность совместного использования безинерционнных (лазерных и ультразвуковых) датчиков для повышения точности гидрофизических исследований;

- созданы конкурентоспособные на международном рынке наукоёмкой продукции коммерческие образцы многофункциональных лазерных генераторов изображений (ЛГИ) модели СЬ\¥3 - 300, применяемых для синтеза дифракционных оптических элементов с рабочим полем до 280 -^285 мм, рабочих образцов и мастер-дисков высокоточных погрешность «1") растров, лимбов и шкал, форматирования мастер-дисков оптической памяти;

- на основе использования ЛИПП дифракционного типа предложена и экспериментально опробована новая технология термохимического синтеза объёмных хромовых масок, как основы процесса тиражирования широкоапертурных (до 200 -е- 250 мм диаметром) высокоэффективных дифракционных элементов.

Внедрение результатов работы.

1. Первые в СССР лазерные измерители перемещений ИПЛ-1 и ИПЛ-2 были переданы Владимирскому ОКБ прецизионного оборудования (Минавиапром СССР) для использования в составе отсчётных систем координатно-расточного станка 2А435 и координатно-измерительной машины КИМ-600;

2. Экспериментальный образец и техническая документация на лазерный измеритель перемещений ИПЛ-2 переданы Новосибирскому приборостроительному заводу (НПЗ) для освоения серийного выпуска. Прибор выпускался под заводской маркой ФОУ-1.

3. Измеритель перемещений ИПЛ-10 передан Физическому институту АН СССР (г. Москва) для создания отсчётной системы ИК-спектрометра сверхвысокого разрешения;

4. Созданы совместно со специалистами завода «Тяжстанкогидропресс» (г. Новосибирск) для основе прибора ИПЛ-10 лазерные измерители перемещений ИПЛ-20, учитывающие специфику технологических операций сборки, контроля и аттестации многометровых (до 40 метров) отсчётных систем крупногабаритных станков, выпускаемых заводом «Тяжстанкогидропресс»;

5. Переданы НПО «Оптика» (г. Москва) техническая документация 5Р.021 и два комплекта ЛИПП модели «Зеркало» для создания уникального станка алмазного точения металлических зеркал большого диаметра.

6. Переданы Тихоокеанскому океанологическому институту (ТОЙ) ДВНЦ АН СССР экспериментальный образец лазерного глубоководного зонда, методики измерений и программное обеспечение для выполнения измерений с помощью лазерного зондирующего комплекса «Океан»;

7. Переданы НПЗ аппаратные и программные средства для контроля и аттестации растровых линейных датчиков перемещений, позволившие улучшить технические характеристики компаратора МС10ЛП до современного мирового уровня;

8. Переданы ИАиЭ СО РАН (г. Новосибирск) и Научно-производственному объединению «Луч» (г. Подольск) действующие образцы ЛИПП с нано- и субнанометровым разрешением для создания особо высокоточных систем управления перемещениями портала ЛГИ с круговым сканированием;

Поставлены в соответствии с международными контрактами в Институт технической оптики Штуттгартского университета (г. Штуттгарт, Германия), Исследовательский центр концерна ФИАТ (г. Турин, Италия), Берлинский институт оптики (г. Берлин, Германия), Институт физики (г.Ляньчжоу, Китай) многофункциональные лазерные генераторы изображений модели О^/Б-ЗОО, использующие в своём составе ЛИПП с нано- и субнанометровым разрешением.

На защиту выносятся:

- теоретическое и экспериментальное обоснование метода преобразования линейных перемещений с помощью лазерных интерферометров с низкочастотной внутренней фазовой модуляцией;

- принцип построения множительных устройств числоимпульсного типа параллельно-последовательного действия, позволяющий снизить до уровня погрешности квантования специфическую для числоимпульсных множительных устройств погрешность регистрации результатов измерений;

- метод лазерно-интерферометрического преобразования перемещений на основе селективной коммутации выходных сигналов датчиков с квадратурным выходом, обеспечивающий в составе системы управления перемещением прецизионного стола разрешающую способность системы порядка 2-н2,5 нм;

- принцип построения высокоскоростного ЛИПП с цифровым преобразованием квадратурных сигналов гомодинных интерферометров, позволяющий при разрешающей способность ЛИПП на уровне 0,6 нм снизить требования к элементной базе;

- результаты практической реализации разработанных технических средств и алгоритмов преобразования линейных перемещений в составе измерительных приборов, систем управления и технологических комплексов;

- результаты использования лазерного рефрактометра на базе ЛИПП дифференциального типа в составе глубоководного лазерного зондирующего комплекса и новые методики выполнения измерений параметров морской воды с помощью данного зонда;

- результаты анализа и экспериментального исследования действующих образцов лазерных генераторов изображений, использующих в своём составе ЛИПП с субмикронным, нано- и субнанометровым разрешением, в т.ч. коммерческой версии ЛГИ модели СЬ"^ - 300, в течение ряда лет поставляемой на экспорт;

- лазерная технология изготовления высокоточных круговых лимбов, растров, кодовых дисков и других подобных изделий, позволяющая за счёт использования особенностей лазерных генераторов изображений с круговым сканированием достичь наименьшую среди известных высокопроизводительных технологий погрешность синтеза угломерных структур («1угл.с); - лазерная технология термохимического синтеза объёмных хромовых масок, базирующаяся на использовании потенциальных возможностей ЛГИ с круговым сканированием и особенностей дифракционных ЛИПП.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались и обсуждались на следующих отечественных и международных конференциях и семинарах: Всесоюзная конференция «Автоматизация научных исследований на основе применения ЭВМ» (Новосибирск, 1972), Всесоюзный семинар «Применение лазеров в народном хозяйстве» (Ленинград, 1976), Всесоюзный семинар «Применение лазеров в научных исследованиях» (Минск, 1980), научные семинары 2й и 3й морских экспедиций ТОЙ ДВНЦ АН СССР (Владивосток, 1984 и 1985), 5 и Международный семинар «Применение лазеров в научных исследованиях» (Новосибирск, 1992), Международный семинар «Применение лазеров в научных исследованиях» (Раубичи, Белоруссия, 1993), Международная конференция «Обработка изображений и компьютерная оптика» (Самара, 1994), Международная конференция "Optical Memory & Neural Networks" (Москва, 1994), OS A Conference "Diffractive Optics: design, fabrication and application" (Washington, 1994), International Symposium "Intensive Laser Action and their Applications" (С.Петербург, 1996), International Topical Meeting "Diffractive Optics" (Savon-linna, Finland, 1997), International Conference "Photonics West. Optoelectronics' 98" (San Jose, California, USA, 1998), Международная конференция «Современные проблемы геодезии и оптики» (Новосибирск, 1998), Iй Московский международный Форум «Высокие технологии оборонного комплекса» (Москва, 2000).

Публикации. Основное содержание работы опубликовано в 47 научных статях и сообщениях, 14 авторских свидетельствах и патентах РФ на изобретения. По теме диссертации подготовлено 17 отчётов о выполненных НИОКР.

Личный вклад автора. Основные результаты, изложенные в диссертации, получены автором при тесном взаимодействии с сотрудниками руководимых им научных коллективов, а также в сотрудничестве с научными работниками ИАиЭ СО РАН и ТОЙ ДВНЦ. Личный вклад автора заключается в постановке задач, в выборе методов и средств их решения, непосредственном участии в выполнении и организации научных экспериментов и интерпретации получаемых результатов. Подавляющее большинство публикаций по теме диссертации написаны лично автором.

17

Структура и объём диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка литературы из 224 наименований и приложений. Содержание диссертации изложено на 213 страницах, содержит 119 рисунков и 9 таблиц.

Основные результаты диссертации состоят в следующем: . Разработаны теоретические и практические основы нового метода ла-зерно-интерферометрического преобразования перемещений на основе низкочастотной фазовой модуляции, позволившего сравнительно простыми техническими средствами создавать на базе фазомодуляционных интерферометров высокоскоростные (до 1 м/с) и широко диапазонные (до 45ч-60 м) лазерные измерители линейных перемещений (ЛИЛП) и лазерно-интерферометрические преобразователи перемещений (ЛИПП), которые не имели аналогов в отечественной практике, а по реализованным техническим параметрам находились на одном уровне с близкими аналогами ведущих мировых лидеров.

2. Предложены, исследованы и реализованы в действующих приборах и системах новые принципы построения специализированных интерфейсных и счётно-вычислительных блоков ЛИЛП и ЛИПП, в том числе:

- новый алгоритм реверсивного счёта с «замораживанием» направления счёта, обеспечивший расширение (в 1,5 -г2,0 раза) максимально допустимой скорости движения отражателя в измерительном плече интерферометра,

- методика выбора порогов срабатывания и гистерезиса компараторов в формирователях импульсных сигналов, позволившая минимизировать вероятность появления конфликтных ситуаций в реальных условиях эксплуатации ЛИПП,

- принцип построения и методика расчёта помехозащищённых компараторов с нулевым гистерезисом, обеспечивающих стабильную привязку фазы фронтов формируемых импульсов при значительных (в 2-г-З раза) изменениях амплитуды гармонических сигналов,

- принципы построения нового (параллельно-последовательного) типа числоимпульсного множительного устройства, обеспечившего высокую скорость выполнения процедуры умножения данных в числоимпульсной форме при уменьшенной на порядок методической погрешности умножения.

3. Предложена и экспериментально подтверждена новая методика восстановления фазы квадратурных сигналов гомодинных ЛИПП на основе селективной коммутации выходных сигналов датчика, позволяющая поднять разрешающую способность модифицированных ЛИПП до

2-5-2,5 нм, что в 404-50 раз превышает разрешение гомодинных ЛИПП, реализующих традиционную схему преобразования сигналов. Предложена и реализована в составе цифровых систем управления новая методика преобразования квадратурных сигналов гомодинных интерферометров с цифровой предобработкой данных, позволившая при разрешающей способности ЛИПП на уровне 0,6 нм существенно снизить требования к элементной базе высокоскоростных ЛИПП за счёт распараллеливания процессов счёта и интерполирования дробных долей порядков интерференции. . Создан уникальный глубоководный лазерный зондирующий комплекс, использующий в своём составе ЛИПП дифференциального типа с помощью которого была доказана перспективность совместного использования безинерционнных (лазерных и ультразвуковых) датчиков для повышения точности гидрофизических исследований. Подтверждена гипотеза об искажениях вертикального профиля поля плотности воды ложными структурами, возникающими в процессе вычисления данного параметра согласно традиционным методикам по результатам прямых измерений, получаемых с помощью серийных зондов. Показано, что появление большинства локальных инверсий с характерным размером менее 10 метров обусловлено влиянием инерционности датчиков темпе' ратуры, применяемых в серийных зондах.

6. На базе ЛИПП с нано- и субнанометровым разрешением создана гамма лазерных генераторов изображений (ЛГИ), имеющих большое рабочее поле (« 300мм), высокое пространственное разрешение (1000 4- 1200 линий/мм), реализующих оригинальную (термохимическую) технологию записи изображений. Совокупность высоких технических характеристик ЛГИ и продукции, получаемой с их помощью, обеспечили на протяжении последних пяти - шести лет конкурентоспособность созданных коммерческих образцов на мировом рынке наукоёмкой продукции. ЛГИ модели СХЖБ-ЗОО поставлены по контрактам в Германию, Италию и Китай.

7. Разработана новая концепция построения оптико-механического блока ЛГИ, позволяющая эффективно использовать потенциальные возможности ЛИПП дифференциального типа для компенсации дестабилизирующего воздействия внутренних источников тепла.

Совокупность представленных выше теоретических и экспериментальных результатов является крупным достижением в развитии нового научного направления - «Лазерная наноинтерферометрия линейных перемещений».

1212

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В диссертации поставлена, обоснована и решена принципиально 1жная для становления отечественных «высоких» технологий проблема >здания и практического использования в измерительных приборах, травляющих системах и технологических комплексах высокоразрешаю-[их лазерно-интерферометрических преобразователей перемещений.

1. Корндорф С.Ф. Фотоэлектрические измерительные устройства в машиностроении.- М.: Машиностроение, 1965. -194 с.

2. Литвак А.И. Фотоэлектрические датчики в системах контроля, управления и регулирования. М.: Наука, 1966. - 406 с.

3. Преснухин Л.Н., Шаньгин В.Ф., Шаталов Ю.А. Муаровые растровые датчики положения и их применения М.: Машиностроение, 1969.-201с.

4. Рассудова Г.Н., Герасимов Ф.М. Применение отражательных дифракционных решёток в интерференционных схемах для измерения линейных перемещений // Оптика и спектроскопия.-1963.-Т. XIV, вып. 3. С. 406 - 413; вып. 4. - С. 559-563.

5. Burch J.M. Metrological applications of diffraction gratings. // Progress in Optics. Amsterdam: North-Holland Publishing Co., 1963. - V. 2. - P. 73108.

6. Teimel A. Technology and applications of grating interferometers in high-precision measurement // Precision Engineering. 1992. - V. 14, № 3. -P. 147.

7. Cook H.D., Marzetta L.A. An automatic fringe counting interferometer for use in the calibration of line scales. // J. of Research of National Bureau of Standards. C: Engineering and Instrumentation. 1961.- VoL 65C, № 2. -P.129-140.

8. Dukes J.N., Gordon G.B. Two-undred-foot yardstick with graduations every microinch. // Hewlett-Packard J. 1970. -V.21. - № 12. - P. 2-8.

9. Кирьянов В.П., Коронкевич В.П. Лазерный интерферометр с низкочастотной фазовой модуляцией. // Квантовая электроника. 1982. - № 7. -С.1301-1308

10. Н.Кирьянов В.П., Коронкевич В.П. Лазерные интерферометры перемещений. // Автометрия . 1998. - № 6. - С. 65-84.

11. Bonse U., М. Hart. An X-ray interferometer. // Applied Physics Letters. -1965.-V. 6.-P.155-156.

12. Hart M. An angstrom ruler // J. of Physics. Ser. D: Applied Physics. 1978. -V. 1. -P.1405 -1408.

13. Bowen D.K., Chetwynd D.G., Schwarzenberger D.R. Sub-nanometre displacements calibration using x-ray interferometry. // Meas. Sci. Technol. -1990.- V.I.- P. 107-119.

14. Schwarzenberger D.R., Chetwynd D.G., Bowen D.K. Phase measurement x-ray interferometry. // J. X-ray Sci. Technol. -1989. V. 1. - P. 134 - 142. .Taniguchi N. On the basic concept of nanotechnology // Proceedings of the ICPE. -Tokyo, 1974

15. System description for 5501A Laser Transducer. Santa Clara: Hewlett-Packard Co.; Technical data, 1975. - P. 1-6. .Laser Position Transducer HP 5527A.- Santa Clara: Hewlett-Packard Co.; California: Technical data, 1986.

16. Кирьянов В.П., Кокарев C.A. Лазерно-интерферометрический преобразователь перемещений с субнанометровым разрешением. // Автометрия.- 1997.-№2.-С.З-7.

17. Hercher М. Ultra-high Resolution Interferometric Sensors // Optics & Pho- tonics News. Nov., 1991.

18. Kley E.-B. Lithographic Techniques in Diffractive Optics // Technical Digest of DO'97 the EOS Topical Meeting on Diffractive Optics, Savonlinna, Finland.- 1997.-P.72.

19. One step lithography for mass production of multilevel diffractive optical elements using High Energy Beam Sensitive gray-level mask./ Daschner W., Long P., Stein R.,^and the rest. // SPIE. 1996.-Vol. 2688.-P. 153-155.

20. Fabrication of kir^oform structure for optical computing. / Gale M.T., Lang G.K., Raynor J. M., and the rest. // Appl. Opt.- 1992. -Vol.31. P. 57125715.

21. Taniguchi N. The state of the art of nanotechnology for processing of ultra-precision and ultrafine products. // Precision Engineering. 1994. - V. 16., № l.-P. 5-24.

22. Yoshida S., Iizuka K. Approaches to nanometer technology a review of the Yoshida Nano-Mechanism Project. // Nanotechnology. - 1990. - V. l.-P. 13-18.

23. Shedd G.M., Russell P.E. The scanning tunneling microscope as a tool for nanofabrication. // Nanotechnology. 1990. - V. 1. - P.67 - 80.

24. Kunzmann. Nanometric: mefitechnik fur/mit Nanostrukturen. // Techn. Mes.- 1994. -V. 61(10). P. 396-370.

25. Матвеев A.H. Оптика. M.: Высшая школа, 1985. - 351c. 32.0стровский Ю.И., Бутусов M.M., Островская Г.В. Голографическая интерферометрия. - М.: Наука, 1977. - 339 с.

26. Майкельсон А.А. Исследования по оптике. М.-Л.: Государственное издательство, 1928.

27. Когельник X., Ли Т. Резонаторы и световые пучки лазеров. // ТИИЭР. -1965.-Т. 54, №10.-С. 95-113.

28. Прат В.К. Лазерные системы связи / Пер. с англ.; Под ред. А .Г. Шереметьева. М.: Связь, 1972. - С. 81 -82.

29. Peck E.R., Obetz S.W. Wavelength or length measurement by reversible fringe counting. // J.Opt.Soc. Am. 1953.- V. 43. - P. 505-509.

30. Minkowitz S., Reid Smith Yaniz W. // J. Quantum Electronics. 1967. - V. 3. -P. 237.1.terferometre destinea la mesure de deplasements : Пат. 23755776 Франция, МКИ G01B 9/02. /В. Fillol. 1978.

31. Rau К. Einsatz von Laserwegmesssystemen in der Langenmesstechnik // Feingeratetechnik. 1974. - Bd 23, № 6. - S. 286-288.

32. Perfectiounements aux dispositifs de metrologie par interferomet-ric, notamment ceux utillisant les sources «laser» : Пат. 1 514 304 Франция, класс G01 b. / Marsy R. 1968.

33. Майар Ж.-П. Применение Фурье-спектроскопии в ближней инфракрасной области к астрономическим проблемам // Инфракрасная спектроскопия сверхвысокого разрешения / Пер. с фр.; Под ред. Г.Н. Жичина. -М.: Мир, 1972. С. 128 -200.

34. Левитес А.Ф., Телешевский В.И. Гетеродинный лазерный интерферометр с акустооптическим модулятором. // ПТЭ. -1973. № 6. - С.139-140.

35. Van de Stadt. An experiment with an optical heterodyne interferometer //

36. Opt. Comm. 1970. - V. 2. - № 4.

37. Sommargren G. E. A new laser measurement system for precision metrology // Precision Engineering. 1987.- V. 9. - № 4. - P. 179 - 184.

38. ZMI 1000. Displacement Measurement Interferometer System // Information of L.O.T. - Darmstadt: Oriel GmbH. - 1997. - 6 p.

39. Измеритель угловых и линейных перемещений на основе двухчастотно-го лазера / С.Н. Атутов, В.П. Бессмельцев, В.Н. Бурнашов и др. // Автометрия. 1975. - № 5. С. 48-52.

40. Преобразователь интерферометрический линейных перемещений ИПЛ-30: Паспорт / Новосибирский приборостроительный завод. Новосибирск, Россия.

41. Преобразователь интерферометрических линейных перемещений ИПЛ-30К: Паспорт / Новосибирский приборостроительный завод. Новосибирск, Россия.

42. Шестопалов Ю.Н. Цифровой интерференционный прибор // Измерительная техника. 1971. - № 12. - С.29-31.

43. Способ измерения линейных перемещений: А. с. 469359 СССР./ В.М. Ведерников, В.П. Кирьянов, И.Ф. Клисторин и др. Приоритет от 18.12.1072 //ИПОТЗ.- 1975.- №16.

44. Устройство для измерения линейных перемещений: А. с. 586323 СССР G 01 В 19/00. / В.М. Ведерников, В.П. Кирьянов, М.А. Кокшаров, и др. -Заяв. 11.11.74// ОИПОТЗ. 1977.- №48.-С.123.

45. Многофункциональный лазерный измеритель перемещений ИПЛ-10 / В.М. Ведерников, Кирьянов В.П., Коронкевич В.П. и Ленкова Г.А. // Лазерные интерферометры: Сборник. Новосибирск: ИАиЭ СО АН СССР. - 1978. - С. 9 .

46. Дьяконов В.А., Тарасов Л.В. Оптическое когерентное излучение.- М: Советское радио, 1974. 187 с.

47. Устройство для стабилизации частоты лазера: А. с. 568317 СССР. / В.П. Кирьянов, В.А. Ханов. Опубл. 1977; Приоритет от 26.06.1974.

48. Устройство для стабилизации газовой частоты лазера по провалу Лэмба: А. с. 584689 СССР. / В.П. Кирьянов, В.А. Ханов. Опубл. 1977; Приоритет от 5.11.1974.

49. Кирьянов В.П., В.А. Ханов. Стабилизация частоты излучения лазера по провалу Лэмба // Труды СО АН СССР: Информационный сборник. М: ЦНИИ информации, 1978.

50. Коронкевич В.П., В.А. Ханов. Исследование промышленных гелий неоновых лазеров, предназначенных для интерференционных измерений: Препринт № 121 . - Новосибирск: ИАиЭ СО АН СССР, 1980. - 51 с.

51. Laser interferometer Metrilas М100Е. -M.: КОМЕФ, 1985.

52. Лазер газовый ЛГН-302.// Паспорт 3.970.173 ПС. 1987.

53. Laser measurement system 5526А. Santa Clara: Hewlett-Packard Co., 1972.- 226 p. with ill., tab.

54. Коронкевич В.П., Соболев B.C. О потенциальной точности лазерных интерферометров. // Лазерные интерферометры: Сборник. Новосибирск: ИАиЭ СО АН СССР, 1978. - С. 3-5.

55. Голубев А.Н., В.А. Ханов. Лазерная интерферометрия больших расстояний. М.: Недра, 1991. - 132 с.

56. Коронкевич В.П., Ханов В.А. Современные лазерные интерферометры. -Новосибирск: Наука, 1985. 180 с.

57. Кирьянов В.П. Лазерная наноинтерферометрия перемещений: методы и средства повышения точности измерений // Известия Академии наук. Серия физическая. 1999. - Т. 63, № 6. - С. 1110 - 1116.

58. Прилегши M.T., Голубев A.H., Медовиков A.C. О фазовой и групповой скорости света при интерференционных измерениях расстояний. // Изв. ВУЗ'ов. Геодезия и аэрофотосъёмка. 1982. - № 4.- С. 25.

59. Laser interferometers for measurement and determining position object / V.P. Golubkova, V.P. Koronkevich, V.P. Kiryanov and the rest // Appl. Optics. -1972.- V. 11, №2.-P. 359-361.

60. Коронкевич В.П., Ленкова Г.А. Лазерный интерферометр для измерения длины. // Автометрия. -1971.- №1.-С. 4-9.

61. Barringer B.W., Bonner A.J. A commercial laser interferometer for length measurement by fringe counting. // The Radio and Electronic Engineering. -1970.-V. 40.-№ l.-P. 49-55.

62. Baldwin D.R., Siddall G.J. A double pass attachment for the linear and plane mirror interferometer. // Proc. SPIE. 1984. -V. 480. -P. 78-83.

63. Differential interferometer: Patent 5379115 U.S., G01B 011/02 / Tsai J.C. -1991.

64. Hosoe S. Highly precise and stable laser displacement measurement interferometer with differential optical passes in practical use. // Nanotechnology. -1993.-Vol. 4.-P. 81.

65. Hosoe S. Highly precise and stable displacement measurement laser interferometer with differential optical passes in practical use // Precision Engineering. - 1995. - V.17. - № 4. - P. 258.

66. J.Verification of a polarization-insensitive optical interferometer system with subnanometric capability / M.J. Downs, K.P. Birch, M.G. Cox, G.W. Nunn // Precision Engineering. 1995. - V. 17, № 2. - P. 84.

67. Heydemann P. Determination and correction of quadrature fringe measurement errors in interferometers // Applied Optics. 1981. - V. 20, № 19. - P. 3382.

68. Birch K. P. Optical fringe subdivision with nanometric accuracy // Precision Engineering. 1990. - V. 12, № 4. - P. 195.

69. Peter F., О. Cip. Problems regarding linearity of data of laser interferometer with a single-frequency laser. // Precision Engineering. 1999. -V. 23, № 1. -P. 39-50.

70. Huntoon R.D, Weiss A, Smith W. Electronic fringe interpolator for optical interferometer. // Journal of Optical Society of America. 1954. - V. 40, № 4. - P. 264-269.

71. Analog to digital optical encoder: Пат. 3.310.798 США, кл. 340-347, 21.111. / Wingate S.A. 1967.

72. Weyrauch А, Betrachtungen über komparatorgerechte zweidimensionable Langenmessung.//Optik. 1968.-V. 28, № 3. - P. 242-248.

73. Преобразователь ортогональных сигналов в треугольный с удвоением частоты: А. с. 1166265 СССР, кл. Н03В19 / 00 / Л.И. Кулис, Б.И. Мин-церис, Г.Н. Нотен. 1985.

74. Ichioka Y., М. Inuiya. Direct phase detecting system. // Appl. Opt. 1972. -V. 11.-P. 1507.

75. Кирьянов В.П. Метод прямого восстановления фазы квадратурных сигналов и его использование в системах позиционирования с наномет-ровым разрешением. // Автометрия. 1997. - № 3. - С. 103-110.

76. Advanced Direct Seeking System for 5,25" Magnetooptical Disk Drive / M. Suzuki, H. Tanaka, M. Miura and the rest // Jpn. J. Appl. Phys. Part 1. 1993. - V. 32, № 1 IB. P.

77. Usuda Т., Dobosz M., Kurosawa T. Evaluation method for frequency characteristics of linear actuators in the sub-fim stroke range using a modified Michelson-type interferometer. // Nanotechnology. 1998. - V. 9. - P. 77-84.

78. Харкевич А.А. Спектры и анализ. М.: ГИФМЛ, 1962. - 236 с.

79. Шмаков П.В. Телевидение. М.: Связьиздат, 1970. - 540 с.

80. Кирьянов В.П., Клисторин И.Ф., Кокшаров М.А. Использование операции симметрирования сигналов для повышения точности измерения фазы. // Системы сбора и первичной обработки измерительной информации: Сборник. Новосибирск: ИАиЭ СО АН СССР, 1973.-С. 9-15.

81. Гоноровский И. С. Радиотехнические цепи и сигналы. М.: Советское радио, 1971.-671 с.

82. Ведерников В.М., Кирьянов В.П. О соотношении «сигнал-шум» в гомодинных лазерных измерителях перемещений. // Лазерные интерферометры: Сборник. Новосибирск: ИАиЭ СО АН СССР, 1978. - С. 55-83.

83. Разработка и изготовление лазерного фотопостроителя: Промежуточный отчёт по НИОКР / КТИ НП СО АН СССР; Научн. руководитель

84. B.П. Кирьянов. № 403-91 / 8146. - Новосибирск, 1991.

85. Коган Ш.М. Низкочастотный токовый шум со спектром типа 1/f в твёрдых телах. // Успехи физических наук. 1985. - Т. 145, Вып. 2.1. C. 285-328.

86. Ван дер Зил А. Шумы при измерениях. М.: Мир. 1979. - 229 с.

87. Шестов Н.С. Выделение оптических сигналов на фоне случайных помех. М.: Сов. Радио, 1967 г. - 347 с.

88. Синхронизатор счётчик импульсов: А. с. 437208 СССР Н 03 к 5/13. / В. М. Ведерников, В.П. Кирьянов, М.А. Кокшаров. Заяв. 25.01.72 // ОИПОТЗ. - 1974. - № 27. - С. 130.

89. Синхронизатор импульсов: А. с. 758500 СССР Н 03 к 5/13. / В.М. Ведерников, В.П. Кирьянов, В.М. Сигалов. Заяв. 11.10.77 // ОИПОТЗ. -1980.-№31.-С. 328.

90. Кубланов Б. М. Исследование прецизионных измерительных систем управления: Автореферат кандидатской диссертации. Ленинград, 1970.

91. Новицкий П. В. Цифровые приборы с частотными датчиками. Л.: Энергия, 1970. - 421 с.

92. Многовходовой счётчик импульсов : А. с. 402154 СССР Н 03 к 23/00. / В. М. Ведерников, В.П. Кирьянов, М.А.'Кокшаров. Заяв. 25.01.72 // ИПОТЗ. - 1973. - № 41. - С. 202.

93. Ведерников В. М., Кирьянов В.П., Кокшаров М.А. Многовходовой реверсивный счётчик импульсов / // Приборы и техника эксперимента. -1976.-№2.-С. 65-67.

94. Arecchi F.T. and Sona A. Long-distance interferometry with an He-Ne laser // Proceedings of the Symposium on Quasi-Optics / Fox J., ed., Polytechnic, Brooklyn. 1964. - V.14 of the Microwave Research Institute Series.-P. 623-633.

95. Кирьянов В.П., Клисторин И.Ф. и Кокшаров М.А. Об алгебраическом суммировании число-импульсных последовательностей // В сборнике «Системы сбора и первичной обработки измерительной информации», изд. ИАиЭ СО АН СССР, Н., 1973 г. с.3-8.

96. Частотное пороговое устройство: А. с. 504299 СССР Н 02 к 5/18. / В.М. Ведерников, В.П. Кирьянов, М.А. Кокшаров, П.М. Цапенко. -Заяв. 26.06.74 // ОИПОТЗ. 1976. - № 7. - С. 162.

97. Willisen F.K. und Glantschnig F. Ein automatisches Laser Interferometer für industelle Langanmessengen. // Brown Bovery Miteilungen. 1968.- Bd. 55, № 1-2. - P. 48-58.

98. Кирьянов В.П., И.Ф. Клисторин, A.M. Щербаченко. Электронное устройство счёта и регистрации для лазерного измерителя перемещений. // Автометрия. 1971. - № 1. - С. 21 - 35.

99. Щербаченко A.M. Исследование и разработка измерительных устройств для работы с частотными датчиками: Диссертация и автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук. Новосибирск, 1970. - 190 с. - ДСП.

100. Микроэлектронный счётно-вычислительный блок лазерного измерителя перемещений ИПЛ-2 / В.М. Ведерников, В.П. Кирьянов, Б.Г. Матиенко, A.M. Щербаченко // Автометрия. 1975. - № 5. - С. 5360.

101. Принципы построения счётно-вычислительных устройств в лазерных измерителях перемещений / В.М. Ведерников,

102. B.П. Кирьянов, И.Ф. Клисторин, М.А. Кокшаров // Автометрия. 1973.- №3.-С. 46-52.

103. Ведерников В.М., В.П. Кирьянов, A.M. Щербаченко. Методы уменьшения погрешности умножения в числоимпульсных множительных устройствах лазерных измерителей перемещений. // Автометрия. 1976. - № 5. - С. 87-92.

104. Вульфсон И.А, С.И. Спиваковский. Точность линейных интерполяторов. // Станки и инструмент. 1966. - № 4. - С. 19-23.

105. Автоматизированный комплекс обработки изображений / JI.B. Бурый, Ю.Н. Золотухин, В.А. Иванов и др. // Автометрия. 1980. - № 3.1. C. 41-48.

106. Кирьянов В.П. Лазерный интерферометр для прецизионных измерительных столов: Информационный листок № 101-79. Новосибирск: НМТЦНТИ, 1979 .

107. Щербаченко А.М, Ю.И. Юрлов. Цифровые регуляторы прецизионных следящих систем позиционирования. // Автометрия. 1981. - № 2. -С. 43-48.

108. Кирьянов В.П. Система позиционирования лазерная // Техническое описание и инструкция по эксплуатации 5Р.021.ТО. Новосибирск: СКБ НП СО АН СССР, 1983. - С. 38.

109. Щербаченко А.М, Ю.И. Юрлов. Электронные модули КАМАК прецизионных лазерных измерительных и управляющих систем. // Автометрия. 1980.- № 3.- С. 33-40.

110. Создание дифракционных оптических элементов типа киноформов: Итоговый отчёт / ИАиЭ; Научн. руководитель В.П. Коронкевич. -№ ГР 76050050; Инв. № 953903. Новосибирск, 1980. - Отв. исполн. А.Г. Полещук; исполн. В.П. Кирьянов и др.

111. Fabrication of Preformatted Optical Disks by Laser Thermochemical Technology / V.P. Kiryanov, V.P. Koronkevich, V.P. Korol'kov and the rest // Optical Memory & Neural Networks: Тез. Межд. конф., Москва, 27 30 августа 1994 г. - 1994. - С. 22.

112. Лазерный интерферометр линейных и угловых перемещений / В.П. Кирьянов, Г.А. Ленкова, А.И. Лохматов, Г.Г. Тарасов // Автометрия.-1994.- №4.-С. 61-65.

113. Differential interferometer : Patent 5379115 U.S., G01B 011/02. / Tsai J.C. 1991.

114. Кирьянов В.П., С.А. Кокарев. Цифровые регуляторы для особоточ-ных широкополосных систем управления перемещениями. // Датчики и системы. 1999. - № 3. - С. 30-32.

115. ADSP-2171, DSP Microcomputer, Data Sheet. Analog Devices Inc. -1995.

116. Марков С. Цифровые сигнальные процессоры. Книга1. М.: МИК-РОАРТ. - 1996. - 136 с.

117. Katz P. Digital control using microprocessor. Prenticehall Internatoinal Inc. - 1981.-293 p.

118. Парамонов A.H., В.М. Кушнир, В.И. Заурдаев. Современные методы и средства измерения гидрологических параметров океана. Киев: Нау-кова думка. - 1979. - 248 с.

119. Беляев B.C., Власов В.JI., Озмидов Р.В. Исследование тонкой структуры плотности воды в океане оптико-интерференционным методом. // Известия АН СССР, ФАО. 1979. - Т. 15, вып. 6. - С. 855 - 863.

120. Борн М. Основы оптики / М. Борн, Э. Вольф. М.: Наука, ГФМЛ, 1973.- 720 с.

121. Власов В.Л., Медведев А.Н. Прецизионное измерение дробной части относительного сдвига двух систем интерференционных полос. // ПТЭ. -1972.- №4.-С. 198-200.

122. Базовые конфигурации систем «Микро- КАМАК- лаб» / О.З. Гусев, Ю.Н. Золотухин, О.В. Прохожев, А.П. Ян // Автометрия. 1984. - № 4. -С. 15-20.

123. Васильев А.Н, Кудрявцев В.А., Хвощ С.Г. Архитектура мультиплексных каналов последовательной передачи данных. // Зарубежная радиоэлектроника. 1984. - №12. - С. 67 -82.

124. Баев С.Г., Ведерников В.М., Кирьянов В.П. Система сбора и обработки данных гидрофизического лазерного зондирующего комплекса. // Автометрия. 1987. - № 4. - С. 75-77.

125. ЭВМ. Новосибирск: АН СССР и Совет по автоматизации научных исследований, ВЦ и ИАиЭ СО АН СССР,' 1972. - С. 57.

126. Коррекция результата при измерении перемещений лазерными интерферометрами // В.М. Ведерников, В.П. Кирьянов, М.А. Кокшаров, П.М. Цапенко // Автометрия. 1976. - № 2. - С.84 - 86.

127. Ведерников В.М., Кирьянов В.П., Лебедев Г.А. Применение лазерных интерферометров для контроля и юстировки отсчётных систем тяжёлых станков. // Станки и инструмент. 1978. - № 4. - С. 21-23.

128. Непряхин А.Г. Тяжелый продольно обрабатывающий станок модели НСЗЗФ2 с ЧПУ // Станки и инструмент. - 1977. - № 5. - С. 9-10.

129. Ведерников В.М., В.П. Кирьянов. Использование лазерно-интерферо-метрических систем в промышленных измерениях. // Автометрия. -1998.-№6.- С. 85-92.

130. Преобразователь линейных перемещений ПЛФ-2: Паспорт. Новосибирск: Новосибирский приборостроительный завод.

131. Преобразователь линейных перемещений ПЛФ-3. Паспорт. Новосибирский приборостроительный завод. Новосибирск, Россия.

132. Лазерные измерительные системы для аттестации растровых преобразователей линейных перемещений / В.М. Ведерников, А.И. Ерышов, В.П. Кирьянов и др. // Датчики и системы. 1999 . - № 3. - С. 24- 27.

133. Savoy D. Dispositifde contrôle automatique de réglés a traits. // Bull. Inform. Bur.nat. metrol. 1975. - № 21. - P. 15-19.

134. Herriott D.R. The development of device lithography // Proc. of the IEEE.-1983. V.71, № 5. - P. 566 - 570.

135. B.A. Вуль. Оптические дисковые запоминающие устройства // Зарубежная радиоэлектроника. 1986. - № 9. - С. 74-87.

136. Schwider J., Borroy R. // Optica Acta. 1976. - V. 23. - № 36. - P. 83.

137. Киноформы. Прецизионный фотопостроитель для синтеза оптических элементов: Препринт № 93 / В.М. Ведерников, В.А. Вьюхин, В.П. Кирьянов и др. Новосибирск: ИАиЭ СО АН СССР, 1979.- 39 с.

138. Киноформы. Оптическая система для синтеза элементов: Препринт № 99 / В.П. Кирьянов, В.П. Коронкевич, В.И. Наливайко, А.Г. Полещук. Новосибирск: ИАиЭ СО АН СССР, 1979. - 38 с.

139. Прецизионный фотопостроитель для синтеза элементов / В.М. Ведерников, В.А. Вьюхин, В.П. Кирьянов и др. // Автометрия. 1981.- № 3. -С. 3-16.

140. Устройство для оптической записи : А. с. 884449 СССР. / В.П. Кирьянов, А.Г. Полещук. 1981.

141. Electron-beam lithography draws a fine line / T.H.P. Chang, M. Hatzakis, A.D. Wilson, A.N. Broers // Electronics. 1977. - V. 50, № 10. - P. 89-98.

142. Седухин А.Г. Применение сканирующего способа записи для формирования кодовых масок фотоэлектрических преобразователей угловых перемещений // Оптико-механическая промышленность. 1984. - № 8.

143. Устройство для изготовления кодовых дисков: А. с. 951355 СССР G 08 С 9/ 00. / В.П. Кирьянов, А.Г. Седухин. Заяв. 04.01.81 // Бюллетень изобретений. - 1982. - № 30. - С. 207.

144. Седухин А.Г. Влияние неуравновешенности вала шпинделя с аэро1.статическими подшипниками на точность синтеза круговых шкал // Автометрия. 1985.-№ 6. - С. 61-65.

145. Fabrication of diffractive optical elements by laser writing with circular scanning. Kiryanov V.P., Koronkevich Y.P., Korol'kov V.P. and the rest. In Technical Digest, Optical Society of America, Washington. D.C. 1994, vol.9, pp. 310-313.

146. Fabrication of diffractive optical elements by laser writing with circular scanning. Kiryanov V.P., Koronkevich V.P., Korol'kov V.P.- In Technical Digest Rochester conference "Diffractive optics: design, fabrication and application". 1994.

147. Fabrication of diffractive optical elements by laser writing with circular scanning. Cherkashin V.V., Kharissov A.A., Kiryanov V.P and the rest Proc. of 5 International Workshop DIP 94, Samara, 1994, pp. 82 - 84.

148. Fabrication of diffractive optical elements by direct laser writing with circular scanning. Kiryanov V.P., Koronkevich V.P., Korol'kov V.P. and the rest. In SPIE, 1995, Vol.2363, pp.290-297.

149. Коронкевич В.П., Корольков В.П., Полещук А.Г. Лазерные технологии в дифракционной оптике. // Автометрия. 1998 .- № 6. - С. 5-26.

150. Полутоновые фотошаблоны на основе LDW-стёкол / В.П. Корольков, А.И. Малышев, В.Г. Никитин и др. // Автометрия. 1998. - № 6. - С. 2737.

151. New fabrication method for diffractive optical elements with deep phase relief / V.P. Korolkov, V.P. Koronkevich, A.I. Malyshev, V.G. Nikitin // Proc. SPIE. 1997. - V.3010. - P. 180- 191.

152. Синтез дифракционных оптических элементов в полярной системе координат: погрешности изготовления и их измерение / В.П. Коронкевич, В.П. Корольков, А.Г. Полещук и др. //Автометрия. 1997. - № 6. -С. 42 -56.

153. Разработка и изготовление лазерного фотопостроителя: Промежуточный отчёт по НИОКР / КТИ НП СО АН СССР; Научн. руководитель В.П. Кирьянов. № 403-91 /8146. - Новосибирск, 1991.

154. Кирьянов В.П. Лазерный фотопостроитель для синтеза хромовых шаблонов высокоточных шкал, лимбов и кодовых дисков. Труды 5 Международного семинара «Применение лазеров в науке и технике», Новосибирск, 1992, с. 58 59.

155. Kiryanov V.P. Laser Setup for Flat Optical Components Fabrication with Submicron Resolution. // Laser Applications Engineering (LAE-96) / Vadim P.Veiko, Editor. Proc. SPIE. - 1997. - V. 3091. - P. 66 - 70.

156. Использование круговой лазерной записывающей системы для изготовления полутоновых шаблонов дифракционных элементов на основе LDW-glass пластинок / П. Перло, М. Рипетто, С. Синези, Г.В. Успленьев // Компьютерная оптика. 1997.- № 17.

157. Guhr J. Test results of the circular laser writing system CLWS 300 // EOS Topical Meeting Digest Serial. Diffractive Optics. - 1997. - V. 12. -P. 206.

158. Freimann R. Aberrations of axially symmetric diffractive optical elements in relation to their fabrication inaccuracies // Optik. 2000. — V. 111, №.11. -P. 485-492.

159. Анализ и экспериментальное исследование системы радиальных перемещений лазерного фотопостроителя субмикронного разрешения / В.П. Кирьянов, А.П. Анциферов, В.М. Ведерников и др. // Автометрия. -1994.- №3.- С. 31 -37.

160. Лазерный генератор изображений: Свидетельство 17473 РФ на полезную модель / В.П. Кирьянов, В.М. Ведерников, А.Г. Верхогляд и др. Приоритет от 03.10.2000.

161. Fabrication of microoptic component by laser beam writing in photoresist / M.T. Gale, G.K. Lang, J.M. Raynor, H. Schutz // Proc. SPIE. 1991 -V. 1506.

162. Krackart O., Schwider J., Streibl M. Synthetic hologram written by laser pattern generator. // Optical Engineering. 1993. - V. 32. - № 4. - P. 781.

163. Brinkmann S., Dresel Jh., Schwider J. Design and fabrication of optical elements by laser lithography: Annual Report of Physical Institute of Erlangen University.- 1994.

164. Fujita T., Nishihara H., Koyama J. Fabrication of Micro Lenses Using Electron-Beam Lithography. // Opt. Lett. 1981. -V. 6. - P. 613-615.

165. Markentin P.A., Schoeffel J.A. Scanning laser technology applied to high speed reticle writting. // Proc. SPIE. 1986. - V. 633: Optical Microlithogra-phy V.

166. Shi-kay Yao, Meshman B. Exposing patterns with a scanning laser system // Proc. SPIE. 1986. - V. 633: Optical Microlithography V.

167. Термохимическое действие лазерного излучения / В.И. Вейко, Г.А. Котов, М.Н. Либенсон, М.И. Никитин // ДАН СССР. 1973. -Т. 203.-№3.-С. 587-590.

168. Лазерная термохимическая технология синтеза дифракционных оптических элементов на плёнках хрома / В.П. Коронкевич, А.Г. Полещук, Е.Г. Чурин, Ю.И. Юрлов // Квантовая электроника. 1985. - Т. 12. -№4.-С. 755-761.

169. Аграновский М.А., Корольков В.П., Рубенчик А.А. Моделирование процесса оптической записи в плёнках хрома: Препринт Новосибирск: ИАиЭ СО АН СССР, 1989. - 24 с.

170. Шухардт Г. Новый приборный комплекс для изготовления высокоточных круговых шкал // Иенское обозрение. 1986. - № 2. - С. 92 - 94.

171. Circular laser writing system CLWS-300C / V.A. Cherkashin, E.G. Churin, V.P. Kiryanov and the rest. // Topical Meeting Digests Series:, Sa-vonlinna, Finland. - 1997. - V. 12. - P. 222 - 223.

172. Специализированный лазерный генератор изображений для синтеза прецизионных фотошаблонов оптических элементов с произвольной топологией / А.П. Анциферов, В.М. Ведерников, В.П. Кирьянов и др. // Датчики и системы. 1999. - № 2. - С. 13-16.

173. Polar coordinate laser pattern generator for fabrication of diffractive optical elements with arbitrary structure / A.G. Poleshchuk, V.P. Koronkevich, V.P. Kiryanov and the rest. // Appl. Optics. 1999. - V. 38, № 8.- P. 12951301.227

174. Mertz L. Optical homodyne phase metrology. I I Appl. Optics. 1989.-V. 28. - №.5. - P. 1011.

175. Ishida A. Two-wavelength displacement-measuring interferometer using second-harmonic light to eliminate air-turbulence-induced errors // Japanese Journal of Applied Physics. 1989. - V. 28, № 3. - P.473 - 475.

176. Чернов Е.И. Фотоприёмные устройства на основе фотодиодов и их применение. М.: ЦНИИ Электроника, 1986. -(Обзоры по электронной технике. Сер. 4. Эл.- вакуумные и газоразрядные приборы. Вып. 1).

177. Фотоприёмники видимого и инфракрасного диапазонов. / Под ред. Киесса Р. Дж.; Пер. с англ. под ред. Стафеева В.И. М.: Радио и связь, 1985.-325 с.

178. Мел един В.Г. Формирование и обработка сигналов в лазерных доп-леровских измерительных системах. Диссертация на соискание доктора технических наук, Новосибирск, 1996.

179. Кирьянов В.П., Кокшаров М.А., Ханов В.А. Об одном способе построения цифрового рефрактометра. // В сборнике «Системы сбора и первичной обработки измерительной информации», изд. ИАиЭ СО АН СССР,Н., 1973 г.-с.16 -20.

180. Способ измерения вариаций показателя преломления: Авторскоесвидетельство 1163216 СССР / Кирьянов В.П., Ханов В.А, Бюллетень №23, 1985.

181. Laser Interferometer System LZR 3000. AEROTECH Positioning System Catalog. Aerotech, Inc., 101 Zeta Drive, Pittsburgh.- p.166-168.