автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.05, диссертация на тему:Акустооптические преобразователи линейных перемещений

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ЛИНЕЙНЫХ

ПЕРЕМЕЩЕНИЙ.

1.1 Сопоставительная оценка известных преобразователей линейных перемещений.

1.2. Физические основы построения акустооптических преобразователей линейных перемещений.

1.3. Классификация акустооптических преобразователей перемещений.

1.4. Принципы построения акустооптических преобразователей линейных перемещений.

Выводы по главе 1.

ГЛАВА 2. МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ АКУСТООПТИЧЕСКОГО

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ.

2.1. Структурная и принципиальная схемы АОПЛП.

2.2. Математическая модель АОПЛП при распространении немодулированной УЗ-волны в АОМ в режиме дифракции Рамана-Ната.

2.3. Моделирование процессов, происходящих в оптической системе АОПЛП при прохождении УЗ-волны в АОМ.

Выводы по главе 2.

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОГРЕШНОСТЕЙ АОПЛП.

3.1. Точность АОПЛП и методы ее нормирования.

3.2. Классификация погрешностей АОПЛП.

3.3. Инструментальные источники основной погрешности АОПЛП.

3.4. Эксплуатационные источники основной погрешности АОПЛП.

3.5. Внутренние источники дополнительной погрешности.

3.6. Внешние источники дополнительной погрешности.

Выводы по главе 3.

ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ, ОСНОВЫ

ПРОЕКТИРОВАНИЯ И НОВЫЕ КОНСТРУКЦИИ АОПЛП.

4.1. Описание экспериментальной установки.

4.2. Результаты измерений и их обработка.

4.3. Рекомендации по проектированию АОПЛП.

4.4. Новые конструкции АОПЛП.

4.5. Возможные применения АОПЛП.

Выводы по главе 4.

Актуальность. Развитие высокопроизводительных технологических процессов и их автоматизация требуют создания большого количества разнообразных преобразователей физических величин с высокими метрологическими характеристиками и расширенными функциональными возможностями.

Проведенное фирмой «Business Communications Company, Inc.» (США) исследование «1ЮВ-20011-Технологии и рынки промышленных датчиков» (январь 2002 г.) показало, что трагические события 11 сентября развеяли надежды на быстрый подъем, но, тем не менее, ожидается постепенное восстановление рынка [51]. В период с 2001г. до 2006 г. ожидается среднегодовой рост рынка промышленных датчиков, равный 6,2%. Объем продаж вырастет с 5 млрд. долл. США в 2001 г. до 6,8 млрд. долл. в 2006 г. Темпы роста будут определяться конкуренцией в обрабатывающих отраслях промышленности, стимулирующих улучшение показателей их работы, и новыми, бурно развивающимися технологическими процессами.

В общем комплексе преобразователей физических величин важное место занимают преобразователи линейных перемещений в электрический сигнал, удельный вес которых в отечественном машиностроении составляет 90-95%, а при производстве электронной аппаратуры - до 50-60% [65]. Широко используются и преобразователи параметров движения — скорости и ускорения [8].

В зарубежной производственной практике доля преобразователей линейных перемещений составляет 80-90% среди других типов преобразователей информации [8].

В технике в настоящее время используется множество преобразователей линейных перемещений, основанных на различных физических эффектах. Однако они не в полной мере отвечают комплексу возросших требований к преобразователям перемещений в отношении простоты, надежности, точности и т.д.

В то же время, в зарубежной и отечественной практике все больше используются преобразователи, основанные на акустооптическом эффекте. Это объясняется тем, что акустооптические преобразователи достаточно просты в изготовлении, обладают возможностью значительного удаления вторичной аппаратуры от места измерений, универсальностью, отсутствием механического контакта с исследуемой поверхностью, высокой точностью и т.д.

Акустооптические преобразователи нашли широкое применение в качестве модуляторов света [45, 75, 99]. В дальнейшем область их применения расширилась. Они могут использоваться в качестве преобразователей для контроля параметров окружающей среды и преобразователей физических величин. Анализ известной научно-технической и патентной литературы показал, что разработаны в основном акустооптические модуляторы, а также различные устройства на их основе, которые могут быть использованы в самых различных областях народного хозяйства и техники, в том числе в точном машиностроении, станкостроении, геодезии, а также в приборах экспериментальной физики.

Среди наиболее известных зарубежных разработчиков акустооптических преобразователей можно отметить фирмы "Екогава дэнки К.К.", "К.К. Симадзу сэйсакусе" и "Ниппон дэнки К.К." (все - Япония), HUGHES AIRCRAFT COMPANY (США), ВМ INDUSTRIES (Франция) [60.64].

Вопросам теории и расчета акустооптических элементов, а также конструирования отдельных акустооптических преобразователей перемещений посвящены труды отечественных и зарубежных ученых Телешевского В.И., Яковлева Н.А., Леун Е.В., Юрлова В.И., Максимова А.Н., Зубринова И.И., Шелопута Д.В., Шумилова К.Г., Кулакова С.В., Балакший В.И., Гасанова А.Р., Бессонова А.Ф., Дерюгина JI.H., Пилиповича В.A., Korpel A.f Damon R.W.,

Maloney W.T., Xu J., Stroud R., Goutzoulis A.P., Pape D.R., Kino G.C., Uchiba N., Niizeki N., Young E.H., Yao S-K. и других.

Однако в известных работах отсутствуют принципы построения акустооптических преобразователей линейных перемещений (АОПЛП); классификация акустооптических преобразователей перемещений (АОПП). Отсутствуют сведения о разработке математических моделей АОПЛП и их основных характеристиках. Нет сведений об исследовании технических возможностей АОПЛП, их эксплуатационно-технических характеристиках, методике их проектирования и практическом использовании.

Все это сдерживает создание новых АОПЛП, обладающих улучшенными характеристиками, и их использование в системах управления.

Вот почему необходима разработка АОПЛП, обладающих улучшенными показателями качества. Это является актуальной научно-технической задачей, так как повышение эффективности АОПЛП позволяет улучшить качество функционирования систем управления и их технико-экономические показатели. Основание для выполнения работы. Исследования в рамках

• V диссертационной работы проводились в соответствии с планами НИР УГАТУ по темам: 1. Волновые системы и устройства (Госрегистрация № 01940008481. Инв. № 02960004245. - Москва: ВНТИЦ, 1996); 2. Создание датчиков для измерения физических величин (Госрегистрация № 01960004245. Инв. № 02990001979. - Москва: ВНТИЦ, 1999); 3. Исследование возможности построения датчиков физических величин с использованием акустооптических эффектов (единый заказ - наряд по теме АП - ИТ - 15 - 00 - 03/Б, выполняемой по заданию Министерства образования России).

Цель и задачи диссертации. Целью диссертационной работы является моделирование акустооптических преобразователей линейных перемещений и исследование их основных характеристик для создания научной базы по проектированию и разработке новых АОПЛП, обладающих улучшенными показателями качества (точность и надежность).

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

1. проведение сопоставительной оценки преобразователей линейных перемещений, основанных на различных физических эффектах. Определение основных требований, предъявляемых к ним. Разработка классификации акустооптических преобразователей перемещений (АОПП). Выявление принципов построения акустооптических преобразователей линейных перемещений (АОПЛП);

2. разработка математической модели АОПЛП - зависимости выходного напряжения преобразователя от параметров акустооптического модулятора (АОМ) и оптической системы АОПЛП. Выявление методов увеличения величины интенсивности светового потока на выходе АОМ в функции параметров оптического тракта и "звукопровода;

3. разработка и исследование статической характеристики АОПЛП - зависимости задержки в возникновении сигнала на выходе фотоприемника по отношению к моменту прихода ВЧ сигнала на вход АОМ - в функции координаты подвижной части преобразователя и параметров материала АОМ. Выявление путей увеличения чувствительности и быстродействия АОПЛП;

4. исследование источников погрешностей и разработка методов повышения точности АОПЛП;

5. разработка рекомендаций по проектированию АОПЛП, включающих методику проектирования АОМ, рациональный выбор материалов АОМ, пьезоэлектрического преобразователя, акустического поглотителя;

6. построение АОПЛП в лабораторных условиях, проведение его экспериментальных исследований и обработка результатов эксперимента.

Методы исследований. Представленные в диссертационной работе научные положения обоснованы теоретическими и экспериментальными исследованиями с применением теории электромагнитного поля, использованием уравнений упругих волн в средах, функций Бесселя, закона Гука и других.

Основные теоретические положения и выводы подтверждены результатами экспериментальных исследований в лабораторных условиях на этапах разработки. Исследования проводились на кафедре «Информационно-измерительная техника» УГАТУ.

На защиту выносятся:

1. результаты систематизации принципов построения акустооптических преобразователей линейных перемещений;

2. математическая модель АОПЛП;

3. статическая характеристика АОПЛП и методы повышения чувствительности;

4. результаты экспериментальных исследований АОПЛП;

5. результаты исследования погрешностей и методы повышения точности

АОПЛП.

Научная новизна результатов, полученных в диссертации, заключается в следующем: проведен сравнительный анализ преобразователей линейных перемещений и показана перспективность использования АОПЛП для применения в системах автоматизированного управления производственными процессами; разработана классификация акустооптических преобразователей перемещений; выявлены принципы построения АОПЛП;

- разработана математическая модель АОПЛП - зависимость выходного напряжения преобразователя от параметров акустооптического модулятора (АОМ) и оптической системы АОПЛП;

- на основании исследования основных характеристик выявлено влияние на них параметров АОПЛП и предложены способы их улучшения;

- разработаны рекомендации по проектированию акустооптических преобразователей линейных перемещений.

Практическая значимость и внедрение результатов работы.

- предложены оригинальные конструкции АОПЛП, имеющие повышенную точность и помехоустойчивость;

- разработана структура измерительной части преобразователя, позволяющая исключить влияние непостоянства скорости распространения УЗволны в среде (акустооптическом модуляторе света) на результат измерения (свидетельство на полезную модель РФ № 17219 от 18.08.2000);

- проведен комплекс экспериментальных исследований по получению и обработке данных, обеспечивающих практическое использование предложенного метода расчета АОПЛП.

Основные результаты диссертационной работы в виде методов построения и анализа математической модели АОПЛП, методов улучшения основных и точностных характеристик, методики экспериментального исследования АОПЛП и новые высокоэффективные преобразователи перемещений на акустооптическом эффекте с улучшенными показателями качества внедрены на муниципальном предприятии электрических сетей «Контакт» (Архангельское, Республика Башкортостан), в Уфимском речном порту (Уфа, Республика Башкортостан). Принципы построения и методика расчета характеристик АОПЛП внедрены в учебный процесс при чтении лекций по дисциплинам «Методы и средства измерений», «Измерительные преобразователи и электроды», курсовом и дипломном проектировании в Уфимском государственном авиационном техническом университете.

Апробация работы. Основные положения и результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на международной научно-технической конференции «Проблемы нефтегазового комплекса России» (г. Уфа, 1998 г.); межвузовской научно-практической конференции «Наука-сервис-семья» (г. Уфа, 1998 г.); III Всероссийской научно-технической конференции «Методы и средства измерений физических величин» (г. Н.Новгород, 1998 г.); международной научно-практической конференции «Сервис большого города» (г. Уфа, 1999 г.); международной молодежной научно-технической конференции «Интеллектуальные системы управления и обработки информации» (г. Уфа, 1999 г.); XI научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Датчик 1999» (г. Судак, Крым, 1999 г.); Всероссийской научно-технической конференции «Методы и средства измерений» (г. Н.Новгород, 2000 г.); XII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Датчик 2000» (г. Судак, Крым, 2000 г.); XIII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Датчик 2001» (г. Судак, Крым, 2001 г.); четвертой международной научно-методической конференции «Новые информационные технологии в региональной инфраструктуре и образовании» (г. Астрахань, 2001 г.); XV научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Датчик 2003» (г. Судак, Крым, 2003 г.).

Публикации. По материалам диссертации опубликовано 17 печатных работ, в том числе 1 свидетельство на полезную модель, 2 статьи в центральном специализированном журнале «Датчики и системы» и 4 статьи в сборниках трудов.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения, списка использованной литературы из 123 наименований и приложения. Основная часть диссертации изложена на 144 страницах машинописного текста, содержит 45 рисунка и 14 таблиц.

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 4

1. Проведено экспериментальное исследование статической характеристики АОПЛП. Установлено, что зависимость задержки в возникновении сигнала на выходе фотоприемника по отношению к моменту прихода ВЧ сигнала на вход АОМ линейно зависит от перемещения.

2. Выполнен ряд измерений, по результатам которых построена экспериментальная зависимость т = f{x). На основании анализа полученных результатов можно сделать вывод о хорошем согласовании теории и эксперимента. Максимальная погрешность составила 15,6%.

3. Установлена чувствительность АОПЛП S « 2,813 мкс/см.

4. Проведено экспериментальное определение погрешности измерений. По результатам статистической обработки результатов прямых измерений определены номинальная характеристика преобразования и границы доверительного интервала с заданной доверительной вероятностью Р=0,9.

5. Разработаны рекомендации по проектированию АОПЛП, включающие методику проектирования АОМ, рациональный выбор материалов АОМ и пьезоэлектрического преобразователя, акустического поглотителя.

6. Разработано устройство для измерения перемещений (свидетельство на полезную модель РФ №17219), в котором введением дополнительного оптического канала, управляющего генератора, первого и второго управляемого коммутаторов и усредняющего устройства достигнуто увеличение точности измерений и повышена надежность устройства.

132

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В процессе выполнения исследований получены следующие основные результаты.

1. Выявлены принципы построения АОПЛП, заключающиеся в разделении светового луча, прошедшего АОМ, на лучи плюс первого и минус первого порядков дифракции; преобразовании перемещения объекта системы в фазу; использовании эффекта биения на разностной частоте как информативного сигнала; использовании двухканальных независимых оптических систем; разделении светового луча с выхода источника света на опорный и сигнальный; разделении светового луча с выхода источника света с последующим прохождением через соответствующие АОМ, зеркала; разделении светового луча с выхода источника света на два сдвинутых на 90° пучка.

2. В результате исследования физических процессов, происходящих в оптически прозрачном звукопроводе АОМ и оптическом тракте АОПЛП, и использования уравнения упругой волны в среде, статической интегральной токовой чувствительности фотоприемника, интенсивности светового потока и вектора Пойнтинга была получена и исследована математическая модель АОПЛП - зависимость выходного напряжения преобразователя от параметров акустооптического модулятора (АОМ) и оптической системы АОПЛП.

3. В результате компьютерного моделирования и обработки статической характеристики АОПЛП получена серия характеристик, позволившая установить, что с целью увеличения чувствительности АОПЛП необходимо увеличивать диаметр светового луча и использовать материал звукопровода АОМ с меньшей скоростью распространения УЗ-волны в среде. Так, для Те02, у которого скорость распространения ультразвуковой волны V в объеме звукопровода АОМ равна 4200 м/с, чувствительность составила S = 2,375 мкс/см; для ЫЫЬОз, у которого V 6570 м/с, чувствительность - S = 1,5 мкс/см. Показано, что Л разрешающая способность АОПЛП изменяется в пределах от 0,5-10" мкм до 0,1-10"3 мкм соответственно при частотах ГВЧ от 1 МГц до 50 МГц.

4. Исследованы источники основной и дополнительной погрешности и разработаны методы повышения точности АОПЛП. Показано, что определяющим источником основной погрешности являются случайные отклонения светового пучка, а определяющим фактором дополнительной погрешности является изменение температуры окружающей среды.

5. Разработаны рекомендации по проектированию АОПЛП, включающие методику проектирования АОМ, рациональный выбор материалов АОМ и пьезоэлектрического преобразователя, акустического поглотителя.

6. В результате экспериментальных исследований АОПЛП показана адекватность основных теоретических результатов реальному объекту, что подтверждено хорошим совпадением теоретических и экспериментальных данных. Максимальная погрешность при этом не превысила 15,6%. По итогам статистической обработки результатов измерений определены номинальная характеристика преобразования и границы доверительного интервала с заданной доверительной вероятностью Р=0,9.

134

1. А.С. 1174744 СССР. Устройство для измерения линейных перемещений / Ильченко Л.Н., Ляхович И.В., Обозенко Ю.Л. - Опубл. в Б.И., 1985, №31.

2. А.С. 1427179 СССР. Устройство для контроля прямолинейности / Юрлов В.И. Опубл. в Б.И., 1988, № 36.

3. А.С. 1460606 СССР. Устройство для измерения перемещений. / Юрлов В.И., Максимов А.Н. Опубл. Б.И., 1989, № 7.

4. А.С. 1479831 СССР. Устройство для измерения угловых перемещений объекта / Дохикян Р.Г., Деев В.Н. Опубл. в Б.И., 1989, № 18.

5. А.С. 1601515 СССР. Устройство для контроля перемещений. / Юрлов В.И., Максимов А.Н., Тимко Т.Д. Опубл. в Б.И., 1990, № 39.

6. А.С. 1670406 СССР. Акустооптическое устройство для измерения смещений / Телешевский В.И., Яковлев Н.А., Игнатов С.А. Опубл. в Б.И., 1991, №30.

7. А.С. 1765691 СССР. Способ измерения смещений объекта / Телешевский В.И., Яковлев Н.А., Опубл. в Б.И., 1992, № 36.

8. Адлер Ю.П., Сыпчук П.П., Талай A.M. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. М.: Мир, 1975.-287 с.

9. Аксененко М.Д., Бараночников М.Л., Смолин О.В. Микроэлектронные фотоприемные устройства. М.: Энергоатомиздат, 1984. -208 с.

10. Акустические кристаллы: Справочник / Под ред. Шаскольской М.П. М.: Наука, 1982. - 498 с.

11. Александров В.К., Биенко Ю.Н., Ильин В.Н. Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов. Минск: Наука и техника, 1988. - 240 с.

12. Бабиков М.А., Косинский А.В. Элементы и устройства автоматики. М.: Высшая школа, 1975. — 464 с.

13. Балакший В.И., Парыгин В.Н., Чирков JI.E. Физические основы акустооптики. М.: Радио и связь, 1985. - 280 с.

14. Бессонов А.Ф., Дерюгин JI.H., Комоцкий В.А., Котюков М.В. Измерение линейных и угловых перемещений на основе использования схемы оптического зондирования ПАВ с опорной дифракционной решеткой // Автометрия. 1985, № 2. - С. 57-61.

15. Бессонов А.Ф., Дерюгин JI.H., Комоцкий В.А., Котюков М.В. Плавная раздельная регулировка групповой задержки и фазы несущей частоты сигнала в акустической линии задержки // Радиотехника. 1982, т. 37, № 9. С. 58-60.

16. Боков М.А., Максимов А.Н., Шумилов К.Г., Юрлов В.И. Геодезическая информационно-измерительная система на основе акустооптических датчиков // Автометрия. — 1991, № 5. — С. 12-17.

17. Борсак Дж.М. Фотодетекторы для акустооптических систем обработки сигналов//ТИИЭР, 1981, т. 69, № 1.-С. 117-137.

18. Бринза Лазерно-акустичкская система обработки сигналов // Зарубежная радиоэлектроника. 1970, № 5. - С. 22-36.

19. Вагнер Е.Т. Лазеры в самолетостроении. М.: Машиностроение, 1982.-184 с.

20. Вагнер Е.Т., Митрофанов А.А. Лазерные и оптические методы контроля в самолетостроении. М.: Машиностроение, 1977. - 175 с.

21. Важдаев К.В. Акустооптические преобразователи перемещений // Сервис большого города: Материалы межд. науч.-практ. конф. Уфа: Уфимск. технол. ин.-тсервиса, 1999.-С. 60-61.

22. Важдаев К.В. Дифракция Брэгга и ее математический анализ // Молодые ученые новому тысячелетию: Материалы науч.-техн. конф. - Уфа: Уфимск. гос. авиац. техн. ун.-т, 2000. - С. 98-102.

23. Важдаев К.В. Расчет акустооптического датчика на эффекте Брэгга // Интеллектуальные системы управления и обработки информации: Материалы межд. молодежной науч.-техн. конф. Уфа: Уфимск. гос. авиац. техн. ун.-т, 1999.-С. 174.

24. Важдаев К.В. Анализ преобразователей линейных перемещений // Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления: Материалы XIII науч.- техн. конф. Судак: Изд. Моск. гос. ин-та электр. и матем. - 2001. - С. 94-95.

25. Ванюшев Б.В., Орлов Е.М., Тарков В.А. Устройство автоподстройки луча // Автометрия. 1984, № 3. - С. 105-108.

26. Ведерников В.М., Кирьянов В.П. Лазерно-интерферометрические системы в промышленных измерениях // Автометрия. 1998, № 6. — С. 85-92.

27. Волоконно-оптические датчики Т. Окоси, М. Оцу, X. Нисихара, К. Хататэ; Под ред. Т. Окоси: Пер. с яп. Л.: Энергоатомиздат. Ленигр. отд.-ние, 1991.-255 с.

28. Вострокнутов Н.Г. Основы информационно-измерительной техники. М.: 1972. - 237 с.

29. Гордон Е.И. Обзор по акустооптическим отклоняющим и модулирующим устройствам // ТИИЭР. 1966, т.54, № 10. - С. 181 -192.

30. ГОСТ 8.207-76. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Государственный комитет стандартов Совета Министров СССР. М., 1976. 10 с.

31. Домрачев В.Г., Матвеевский В.Р., Смирнов Ю.С. Схемотехника цифровых преобразователей перемещений: Справочное пособие. М.: Энергоатомиздат, 1987.-391 с.j

32. Еремеев В.П. Исследование широкополосных магнитострикционных линий задержки. Диссертация канд. техн. наук. - Рига, 1971.

33. Жилин В.Г. Волоконно-оптические измерительные преобразователи скорости и давления. М.: Энергоатомиздат, 1987. - 111 с.

34. Застрогин Ю.Ф. Оптические бесконтактные методы измерения параметров механических колебаний, основанные на применении эффекта Доплера//Измерительная техника. 1978, №3. -С. 35-37. \ \

35. Зубринов И.И., Шелопут Д.В., Шумилов К.Г., Юрлов В.И. Акустооптический преобразователь линейных смещений и возможности его применения // Автометрия. 1989, № 5. - С. 97-101.

36. Илисаевский Ю.В., Мел их Б.Т., Яхкинд Э.З. Акустооптический модулятор на 10,6 мкм на основе стекла Si-Te с рекордными параметрами // Приборы и системы управления. 1994, № 2. - С. 36-37.

37. Информационное сообщение по станку 32K84SF4, http://machtool.chat.ru/32K84SF4.html.

38. Кайдалов С.А. Фоточувствительные приборы и их применение: Справочник. М.: Радио и связь, 1995. - 109 с.

39. Капезин С.В. Датчики механических величин с двойным акустооптическим преобразованием // Датчики и системы. — 2001.-№ 3. -С. 21-24.

40. Келмен П., Шейвер Х.Н., Марри Дж.У. Интегрирующие приемники с акустооптическим разделением каналов // ТИИЭР, 1981, т. 69, № 1. -С. 108-116.

41. Кирьянов В.П., Коронкевич В.П. Лазерные интерферометры перемещений // Автометрия. 1998, № 6. - С. 65-83.

42. Когельник, Ли Лазерные пучки и резонаторы // ТИИЭР, 1966, т. 54, № 10.-С. 78-84.

43. Комоцкий В.А., Котюков М.А. Акустооптический измеритель координаты оптического пучка // Автометрия. 1991, № 5. - С. 110-113.

44. Корпел А. Акустооптика: Обзор основных принципов // ТИИЭР, 1981, т. 69, № 1.-С. 55-62.

45. Кравцов Ю.А., Минченко А.И., Петников В.Г. Акустооптические преобразователи на основе волоконных световодов // Радиотехника. 1982, т. 37, № 10.-С. 3-13.

46. Левшина Е.С., Новицкий П.В. Электрические измерения физических величин. Л.: Энергоатомиздат, Лен. отд.-е, 1983. — 320 с.

47. Магдич Л.Н., Молчанов В.Я. Акустооптические устройства и их применение. М.: Сов. радио, 1978. - 110 с.

48. Мукаев Р.Ю. Магнитострикционные преобразователи перемещения с подвижным магнитом для систем управления. Диссертация канд. техн. наук. -УГАТУ, Уфа, 1994.

49. Новицкий П.В. Основы информационной теории измерительных устройств. Л.: Энергия, 1968.

50. Объем продаж промышленных датчиков к 2006 г. превзойдет 6,7 млрд. долл. США // Датчики и Системы. 2002, № 6. — С. 61-62.

51. Основные термины в области метрологии: Словарь-справочник / Под ред. Тарбеева. М.: Издательство стандартов, 1989. — 113 с.

52. Официальный сайт ООО «Микросенсорные технологии», http://microsensor.boom.ru/linear.html.

53. Официальный сайт фирмы «Лостик Ltd», http://lostik.com.ua/asers.html.

54. Официальный сайт фирмы «Glaser», http://labl8.ipu.rssi.ru.projects/plotters.html.

55. Парке Акустооптический приемник-спектроанализатор дециметрового диапазона // Зарубежная радиоэлектроника. 1970, №12. -С. 14-39.

56. Паспорт преобразователей ПЛФ-ЗК, 4К.

57. Патент Российской Федерации № 2016380. Способ автоматической интерполяции фазового сдвига в лазерных интерферометрах и устройство дляего осуществления / Михальченко Е.П., Рюмин А.В., Яковлев Н.А. Опубл. в Б.И., 1994, № 13.

58. Патент Российской Федерации № 2016381. Способ автоматической интерполяции порядка интерференции и устройство для его осуществления / Михальченко Е.П., Рюмин А.В., Яковлев Н.А. Опубл. в Б.И., 1994, № 13.

59. Патент Японии 4-44212. Оптический преобразователь смещения с высокой разрешающей способностью // РЖ «Изобретения стран мира». Вып. 082. 1994, №6.

60. Патент Японии 4-44213. Оптический преобразователь смещения абсолютного типа с высокой разрешающей способностью// РЖ «Изобретения стран мира». Вып. 082. 1994, №6.

61. Патент Японии 5-16521. Преобразователь смещения // РЖ «Изобретения стран мира». Вып. 082. 1995, №11.

62. Патент Японии 61-48853. Оптический датчик давления, использующий ультразвуковые волны // РЖ «Изобретения стран мира». Вып. 082. 1986, №6.

63. Патент Франции 9501361. Гетеродинное интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения вибраций // РЖ «Изобретения стран мира». Вып. 082. 1997, № 24.

64. Пилипович В.А., Есман B.C., Поседько B.C. Многоэлементные фотоприемники в преобразователях перемещений. — Мн.: Навука i тэхнжа, 1991.-181 с.

65. Полезная модель Российской Федерации 17219. Акустооптическое устройство для измерения перемещений / Ураксеев М.А., Важдаев К.В. -Опубл. Б.И., 2001, №8.

66. Полупроводниковые фотоприемники: Ультрафиолетовый, видимый и ближний инфракрасный диапазоны спектра / Под ред. Стафеева В.И. — М.: Радио и связь, 1984. 216 с.

67. Проектирование и расчет приемников оптического излучения: Учебное пособие. JL: Ленинградский институт авиационного приборостроения (ЛИАП), 1986. — 67 с.

68. Росс М. Лазерные приемники. М.: «Мир», 1969. - 519 с.

69. Савенко В.Г. Измерительная техника. М.: Высшая школа, 1974. -367 с.

70. Соболева Н.А., Маламид А.Е. Фотоэлектронные приборы. М.: Высшая школа, 1974. - 376 с.

71. Сорочкин Б.М. Автоматизация измерений и контроль размеров деталей. Л.: Машиностроение, Лен. отд.-е, 1990. - 365 с.

72. Справочник по лазерной технике / Под ред. Байбородина Ю.В., Криксунова Л.З., Литвиненко О.Н., — Киев: «Техника», 1978. 288 с.

73. Сурикова Е.И. Погрешности приборов и измерений. Л.: Издательство Ленинградского университета, 1976. - 158 с.

74. Тейлор Г. Волноводная оптика // ТИИЭР, 1974, т. 62, № 8.-С. 4-22.

75. Телешевский В.И. Гетеродинные методы лазерной интерферометрии на основе акустической модуляции света // Измерительная техника. 1973, №3. - С. 42-45.

76. Туричин A.M., Новицкий П.В. и др. Электрические измерения неэлектрических величин. Л.: Энергия, 1975. - 690 с.

77. Тюрин Н.И. Введение в метрологию. М.: Издательство стандартов, 1976.-304 с.

78. Ультразвук. Маленькая энциклопедия / Под ред. Голяминой И.П., -М.: Советская энциклопедия, 1979. 400 с.

79. Ураксеев М.А. Анализ и синтез функциональных элементов систем управления с распределенными магнитными параметрами. Диссертация докт. техн. наук. УГАТУ, Уфа, 1982.

80. Ураксеев М.А., Важдаев К.В. Акустооптические датчики и их инженерный расчет // Проблемы нефтегазового комплекса России: Материалымежд. научн. техн. конф., Т.1. - Уфа: Изд. Уфимск. гос. нефт. техн. ун-та. -1998 г.-С. 8-12.

81. Ураксеев М.А., Важдаев К.В. Акустооптические датчики // Электромеханические комплексы и системы управления ими: Межвуз. науч. сб. -Уфа, 1998.-С. 153-157.

82. Ураксеев М.А., Важдаев К.В. Акустооптические датчики // Датчики и системы. 1999. - № 5. - С. 45-48.

83. Ураксеев М.А., Важдаев К.В., Иванаевский Г.В. Акустооптические датчики физических величин // Наука-сервис-семья: Материалы межвузовской науч.-практич. конф. Секция: Технические науки. Уфа: Уфимск. технол. ин.-т сервиса, 1998.-С. 37-39.

84. Ураксеев М.А., Важдаев К.В. Акустооптические датчики давления // Методы и средства измерений физических величин: Материалы III Всеросс. науч.-техн. конф.: ч. VI. Н.Новгород: Н.Новг. гос. техн. ун.-т, 1998. - С. 24.

85. Ураксеев М.А., Важдаев К.В. Акустооптические преобразователи: теоретические предпосылки и новые разработки // Датчики и системы. 2000. -№ 1.-С. 35-37.

86. Ураксеев М.А., Важдаев К.В. Математическое моделирование акустооптического взаимодействия // Измерительные преобразователи и информационные технологии: Материалы науч.-техн. конф. Уфа: Уфимск. гос. авиац. техн. ун.-т, 1999. - С. 20-24.

87. Ураксеев М.А., Мукаев Р.Ю., Ясовеев В.Х. Магнитострикционные преобразователи перемещений с подвижным магнитом // Приборы и системы управления. 1999, № 2. - С. 24-26.

88. Форейт И. Емкостные датчики неэлектрических величин. М.: Энергия, 1966.-178 с.

89. Фотоприемники видимого и ИК диапазонов / Под ред. Стафеева В.И. М.: Радио и связь, 1985. - 328 с.

90. Фотоэлектрические преобразователи информации / Под ред. Преснухина JI.H.-М.: Машиностроение, 1974.-375 с.

91. Фремке А.В. Электрические измерения. — JI.: Энергия, 1978. — 392 с.

92. Функциональные устройства обработки сигналов (основы теории и алгоритмы): Учебное пособие для вузов / Баруздин С.А., Егоров Ю.В., Калиникос Б.А. и др.; Под ред. Егорова Ю.В.- М.: Радио и связь, 1997. — 288 с.

93. Харт X. Введение в измерительную технику: Перевод с немецкого. М.: Мир, 1999.

94. Шустаковски М. Развитие работ по радиооптике в Польше // Радиотехника, 1982,т. 37,№ 1.-С. 11-18.

95. Юрлов В.И. Анализ работы акустооптического преобразователя линейных смещений // Автометрия. 1991, № 2. - С. 85-88.

96. Яворский Б.М., Детлаф А.А. Справочник по физике. М.: Наука, 1965.-847 с.

97. Berg, N.J. and Pellegrino, J.M., eds. Acousto-Optic Signal Processing, Marcel Dekker, Inc., New-York, 1995.

98. Chang, I.C., Acousto-Optic Devices and application, IEEE Trans. Sonics Ultrasonics, SU-23, pp. 2-22, 1976.

99. Damon, R.W., Maloney, W.T., and McMahon, D.H., Interaction of Light with Ultrasound: Phenomena and Applications, in Physical Acoustics, Vol. 7, (W.P. Mason and R.N. Thurston, eds.), Academic Press, New-York, pp. 273-366, 1970.

100. Dixon, R.W., Photoelastic Properties of Selected Materials and Their Relevance for Applications to Acoustic Light Modulators and Scanners, J. Appl. Phys., 1967, v. 38, № 13, p. 5149.

101. Gottlieb, M., Ireland, C.L.M., and Ley, J.M., Electro-Optic and Acousto-Optic Scanning and Deflection, Marcel Dekker, New-York, 1983.

102. Goutzoulis, A.P. and Pape, D.R., eds Design and Fabrication of Acousto-optic Devices, Marcel Dekker, New-York, 1994.

103. Hance, H.V., Parks, J.K. Wide-band modulation of a laser beam, using Bragg-angle diffraction by amplitude-modulated ultrasonic waves. J. Acoust. Soc. Am., vol. 38, pp. 24-36, 1965.

104. Hecht, D.L., Multifrequency Acousto-Optic Diffraction, IEEE Trans. Sonics Ultrasonics, SU-24, pp. 7-18, 1977.

105. Kino, G.C., Acoustic Waves: Devices, Imaging, and Analog Signal Processing, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, New-York, 1987.

106. Klein, W.R., Cook, B.D. Unified approach to ultrasonic light diffraction. IEEE Trans., v. SU-14, pp. 723-733, 1967.

107. Korpel, A., Acousto-Optics, Marcel Dekker, Inc, New-York, 1997,

108. Korpel, A. "Acousto-Optics," in Applied Solid State Science, Vol. 3 (R. Wolfe, ed.), Academic Press, New-York, 1972.

109. Korpel, A., Adler, R., Desmares, P., and Watson, W., A Television Display Using Acoustic Deflection and Modulation of Coherent Light, Appl. Opt., 5, pp. 1667-1675, 1966.

110. Maydan, D Acousto-optical pulse modulators. IEEE J., 1970, v. QE-6, № l,pp. 15-24, 1970.

111. Meitzler, A.H., Sittig, E.K. Characterization of piezoelectric transducers used in ultrasonic devices operating above 0.1 GHz. J. Appl. Phys., v. 40, pp. 43414352, 1969.

112. Meitzler, A.H. Piezoelectric transducer materials and techniques for ultrasonic devices operating above 100 MHz. Ultrasonic Transducer Materials, O.E. Mattiat, Ed. New York: Plenum, 1970.

113. Nelson, D.F., Electric, Optic and Acoustic Interaction in Dielectric, A Willey-Interscience Publication, New-York, 1979.

114. Sittig, E.K. Effects of bonding and electrode layers on the transmission parameters of piezoelectric transducers used in ultrasonic digital delay lines. IEEE Trans. Sonics Ultrason, v. SU-16, pp. 2-10, 1969.

115. Spenser, E.G., Lenzo, P.V., and Bellman, A.A., Dielectric Materials for Electro-Optic, Elasto-Optic, and Ultrasonics Device Applications, Proc. IEEE, v. 55, pp. 2074-2108, 1967.

116. Uchiba, N., and Niizeki, N., Acousto-Optic Deflection materials and Techniques, Proc. IEEE, v. 61, pp. 1073-1092, 1973.

117. Xu, J., and Stroud, R., Acousto-Optic Devices: Principles, Design, and Applications, Wiley, New-York, 1992.

118. Young, E.H., and Yao, S-K., Design Consideration for Acousto-Optic Devices, Proc. IEEE, v. 69, pp. 54-64, 1981.