автореферат диссертации по электронике, 05.27.01, диссертация на тему:Циклотронный резонанс и примесное магнитопоглощение в гетероструктурах с квантовыми ямами

На правах рукописи

ИКОННИКОВ Антон Владимирович

ЦИКЛОТРОННЫЙ РЕЗОНАНС И ПРИМЕСНОЕ МАГНИТОПОГЛОЩЕНИЕ В ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ С КВАНТОВЫМИ ЯМАМИ

05.27.01 —твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук

Нижний Новгород 2006

Работа выполнена в Институте физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), г. Нижний Новгород

Научный руководитель:

доктор физико-математических наук, профессор В. И. Гавриленко

Официальные оппоненты:

доктор физико-математических наук, профессор А. А. Ежевский кандидат физико-математических наук Ю. А. Митягин

Ведущая организация:

Санкт-Петербургский государственный политехнический университет

Защита состоится 21 сентября 2006 г. в 14 часов на заседании специализированного совета Д 002.098.01 при Институте физики микроструктур РАН (603950, г. Нижний Новгород, ГСП-105).

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Института физики микроструктур РАН.

Автореферат разослан "3" августа 2006 г.

Учёный секретарь диссертационного совета доктор физико-математических наук, профессор

Общая характеристика работы

Актуальность темы

Развитие современной полупроводниковой электроники и оптоэлек-троники в значительной степени определяется прогрессом в технологии и изучении низкоразмерных гетероструктур. Основными эффектами, за счет которых достигается выигрыш по сравнению с традиционными приборами на основе объемных полупроводников, является пространственное разделение и ограничение носителей, изменение электронного спектра вследствие размерного квантования. Наилучшие результаты получены при использовании гетеропары ОаАэ/АЮаАз, согласованной по постоянной решетки. Однако внедрение таких элементов в промышленную кремниевую технологию встречается с серьезными трудностями. Это вызывает интерес к гетероструктурам на основе Ое и 81. Поскольку квантовые ямы для дырок в таких структурах всегда образуются в слоях с большим содержанием ве для создания «дырочных» приборов интересны, прежде всего, гетероструктуры с квантовыми ямами в слоях чистого Се.

В последние годы отмечается большой интерес к гетероструктурам 1пАб/А18Ь. Квантовая яма для электронов в них оказывается очень глубокой (1,35 эВ), в результате чего в этих структурах всегда присутствует двумерный электронный газ, концентрацию которого при низких температурах можно изменять в широких пределах за счёт эффекта остаточной фотопроводимости. Подвижность электронов в таких структурах достигает 3-104 и 9-105 см2/В-с при комнатной и низкой температурах соответственно, что позволяет использовать их для создания новых быстродействующих приборов. Такие структуры представляют интерес и для приборов спинтроники, поскольку в них сильно проявляется эффект Рашбы, g-фaктop электронов в 1пАб составляет —15 (в то время как в ОаАв —0,4).

Эффективным методом исследования полупроводников является метод циклотронного резонанса (ЦР), который даёт информацию об эффективных массах и механизмах рассеяния носителей заряда. До настоящей работы ЦР в гетероструктурах СеАЗе81 исследовался как в селективно легированных образцах, так и в нелегированных структурах при межзонном

оптическом возбуждении носителей [1, 2]. Однако в квантующих магнитных полях исследования были ограничены образцами со сравнительно узкими (до 200 А) квантовыми ямами Ое. Также, в этих структурах была обнаружена примесная фотопроводимость в дальнем ИК диапазоне [3]. Однако значительная ширина спектральных линий не позволила детально исследовать спектры примесных переходов.

В гетероструктурах 1пАб/А18Ь ЦР исследовался как в слабых [4], так и в квантующих магнитных полях [5, 6]. Исследования проводились на образцах с концентрацией электронов до 1012 см"2, что не позволило исследовать закон дисперсии на достаточно большом масштабе энергий. Спектральные исследования остаточной фотопроводимости в этих структурах проводились только в одной работе [7], где исследовались всего два образца в сравнительно узком интервале энергий квантов 1—3 эВ.

В связи с этим проведенное в диссертационной работе исследование циклотронного резонанса и примесного магнитопоглощения в терагерцо-вом диапазоне в напряженных гетероструктурах Се/Се81 с квантовыми ямами и циклотронного резонанса в гетероструктурах 1пАб/А18Ь с квантовыми ямами представляется весьма актуальным.

Цели работы

— установление основных закономерностей циклотронных переходов в валентной зоне напряженных гетероструктур СеЮеЗ! с квантовыми ямами в условиях соизмеримости циклотронной энергии и энергии размерного квантования, а также обнаружение ЦР электронов с целью определения типа гетероперехода;

— разработка метода наблюдения примесного магнитопоглощения при модулированном межзонном оптическом возбуждении электронов и дырок с последующим захватом носителей на ионизованные примесные центры и выявление особенностей энергетических спектров мелких акцепторов в гетероструктурах СеЛЗе81;

— установление природы отрицательной остаточной фотопроводимости в гетероструктурах ГпАэ/АШЬ;

— изучение закона дисперсии электронов в квантовых ямах ¡пАб.

Научная новизна

1. В спектрах субмиллиметрового магнитопоглощения при межзонном оптическом возбуждении в гетероструктурах ве/веЗ^ 111) с широкими слоями ве впервые обнаружены линии ЦР электронов. Установлено, что они обусловлены 1Ь электронами в слоях твердого раствора СеБь Таким образом, прямо показано, что данные гетероструктуры являются структурами II типа в отличие от образцов с более тонкими слоями Ое.

2. В спектрах магнитопоглощения гетероструктур СеЛЗе51 с наиболее широкими слоями ве (800 А) впервые наблюдались переходы между уровнями Ландау дырок, относящихся к различным подзонам размерного квантования.

3. Впервые исследованы спектры магнитопоглощения гетероструктур ве/СеБ! с остаточными акцепторами при импульсном межзонном оптическом возбуждении носителей. Показано, что релаксация сигнала происходит с двумя характерными временами, соответствующими рекомбинации фотовозбужденных электронов и дырок на нейтральных примесях (быстрое время) и рекомбинации термически возбужденных с очень мелких акцепторов дырок на нейтральных донорах (медленное время). В спектрах магнитопоглощения обнаружены линии, обусловленные переходами типа

—> 2р+. в акцепторах, ионы которых расположены в центре барьерных слоев веБ^ и на гетерограницах, а также ранее не наблюдавшихся центрах, состоящих из иона акцептора в квантовой яме Ое и связанной с ним дырки в соседней квантовой яме.

4. В гетероструктурах 1пАб/А18Ь с двумерном электронным газом впервые исследована низкотемпературная остаточная фотопроводимость в широком интервале энергий квантов 0,6—6 эВ. Обнаружено, что ширина линий субмиллиметрового дифференциального примесного магнитопоглощения гетероструктурах СеДлев! при межзонной подсветке в несколько раз меньше ширины наблюдающихся в той же области спектра линии примесной ФП. В спектрах поглощения разрешены переходы, связанные с возбуждением мелких акцепторов, расположенных в барьерных слоях ОеБ! и на гетерогранице.

Научная и практическая значимость работы

Научная значимость полученных результатов заключается в обнаружении явления межподзонного циклотронного резонанса, являющегося следствием гибридизации волновых функций дырок на уровнях Ландау, относящихся к различным подзонам размерного квантования в гетерост-руктурах Се/СеБЬ демонстрации нового дифференциального метода наблюдения примесного поглощения и обнаружении новых оптических переходов в очень мелких (энергия связи менее 2 мэВ) акцепторах в гетеро-структурах ОеЛЗеЗь Установлено, что в гетероструктурах 1пАз/АШЬ наблюдаемая отрицательная остаточная фотопроводимость связана с переносом заряда из квантовой ямы 1пАз на глубокие донорные центры на поверхности покрывающего слоя ОаБЬ. Получены значения эффективных масс электронов на уровне Ферми в квантовых ямах 1пАб в широком диапазоне концентраций электронов до 8-1012 см"2.

Полученные в диссертации результаты могут быть использованы при создании электронных и оптоэлектронных приборов на основе квантово-размерных гетероструктур Ое/веБ! и 1пАз/А18Ь.

Основные положения, выносимые на защиту

1. Многослойные напряжённые гетероструктуры Ое/Ое^БЦ! 11) с малым средним содержанием <х> < 0,03 (т.е. с широкими слоями ве с!ае ^ 300 А, при ¿оев; ~ 200 А и д: ~ 0,1) являются гетероструктурами II типа, т.е. квантовые ямы для электронов реализуется в слоях твёрдого раствора СеБ^ а квантовые ямы для дырок — в слоях ве в отличие от структур с большим содержанием 81, которые являются гетероструктурами I типа.

2. Гибридизация уровней Ландау дырок в напряжённых гетероструктурах Се/СеБ! приводит к возникновению в спектрах ЦР в квантующих магнитных полях (йсо0 » кТ) переходов с нижних уровней Ландау, относящихся к 1-ой подзоне размерного квантования, на уровни Ландау вышележащих подзон.

3. Захват неравновесных носителей заряда на ионизованные примесные центры при межзонном оптическом возбуждении приводит к модуляции примесного поглощения в терагерцовом диапазоне и обужению линий

поглощения за счет нейтрализации примесей и уменьшения флуктуаций потенциала. Это явление может быть использовано для спектроскопии мелких примесей в полупроводниковых наноструктурах, где полная концентрация примесей мала.

4. В спектрах дифференциального магнитопоглощения в терагерцовом диапазоне частот при межзонном оптическом возбуждении гетерострук-тур Ge/GeSi с остаточными примесями наряду с линиями ЦР наблюдаются переходы типа Is —> 2р+, связанные с возбуждением мелких акцепторных центров (энергия связи порядка до 2 мэВ) с пространственным разделением дырки и иона примеси (примесь на гетерогранице, примесь в центре барьера, примесь в соседней квантовой яме). При несимметричном расположении примеси относительно квантовой ямы наблюдаются переходы на 2р+ состояния, связанные с уровнями Ландау не только из 1-й, но и из 2-й подзоны размерного квантования.

5. Отрицательная остаточная проводимость в гетероструктурах InAs/AlSb с двумерным электронным газом, возникающая при освещении структур видимым светом, связана с захватом фотовозбужденных электронов поверхностными донорами в покрывающем слое GaSb (и рекомбинацией фотовозбуждённых дырок с электронами в квантовой яме InAs). Наличие эффектов как отрицательной, так и положительной (наблюдающейся при освещении ИК излучением) остаточной фотопроводимости позволяет обратимым образом в несколько раз изменять концентрацию двумерных электронов.

6. Циклотронная масса электронов в гетероструктурах InAs/AlSb возрастает от 0,03ff!0 до 0,06ото при увеличении концентрации электронов в квантовых ямах InAs (c/qw = 150 А) 8- 10й см"2 вследствие непараболичности закона дисперсии. В квантующих магнитных полях расщепление линии циклотронного резонанса связанное с разностью энергий переходов между уровнями Ландау в 1-ой и 2-ой подзонах размерного квантования может значительно превосходить обусловленное непараболичностью расщепление линии циклотронного резонанса электронов в каждой из подзон.

Личный вклад автора

— Определяющий в проведение измерений спектров циклотронного резонанса электронов и дырок в гетероструктурах Ge/GeSi, обработку и интерпретацию их результатов [А2, А9, А11, А13, А22, А23, А37].

— Основной в проведение измерений спектров примесного магнитопог-лощения в гетероструктурах Ge/GeSi с остаточными акцепторами, совместный (с Д. В. Козловым) в обработку и интерпретацию их результатов [А1, A3, А4, А7, А8, А10, А12, А14, А17, А19, А21, А24, А25, А27, АЗЗ, А35, A36, А40].

— Равнозначный в подготовку и проведение измерений спектров остаточной фотопроводимости в гетероструктурах InAs/AlSb, обработку и интерпретацию их результатов (совместно с К. В. Маремьяниным, С. В. Морозовым и Ю. Г. Садофьевым) [А6, А26, А28, А29, А31, А42].

— Определяющий в подготовку и проведение измерений спектров циклотронного резонанса в гетероструктурах InAs/AlSb с двумерным электронным газом, совместный (с В. Я. Алешкиным и С. С. Криштопенко) в интерпретацию их результатов [А5, А15, А18, А20, АЗО, А32, А34, А38, A3 9, А41, А43, А44]

Апробация результатов работы

Основные результаты диссертации докладывались на 11—14 Международных симпозиумах «Наноструктуры: физика и технология» (20032006, С. Петербург), Всероссийских совещаниях «Нанофотоника» (2003, 2004, Н. Новгород), 22-й Международной конференции по дефектам в полупроводниках (2003, Аарус, Дания), б и 7 Российских конференциях по физике полупроводников (2003, С.Петербург, 2005, Звенигород), 5 и 6 Всероссийской молодежной конференции по физике полупроводников и полупроводниковой опто- и наноэлектронике (2003, 2004, С. Петербург), 5-й уральской международной зимней школе по физике полупроводников (2004, Кыштым), 27-й Международной конференции по физики полупроводников (2004, Флагстафф, США), 16-й Международной конференции по сильным магнитным полям в физике полупроводников (2004, Таллахаси, США), 12-м Международном симпозиуме по сверхбыстрым явлениям в

полупроводниках (2004, Вильнюс, Литва), Всероссийских симпозиумах «Нанофизика и наноэлектроника» (2005, 2006, Н.Новгород), 12-й Международной конференции по узкозонных полупроводникам (2005, Тулуза, Франция), а также на семинарах ИФМ РАН и ННГУ.

Публикации

По теме диссертации опубликованы 44 печатные работы, в том числе 7 статей в реферируемых журналах и 37 публикаций в сборниках тезисов докладов и трудов конференций, симпозиумов и совещаний.

Структура и объём диссертации

Диссертация состоит из введения, пяти глав, и заключения. Объём диссертации составляет 168 страниц, включая 73 рисунка и 4 таблицы. Список цитированной литературы включает 152 наименования, список работ автора по теме диссертации — 44 наименования.

Содержание работы

Во Введении обоснована актуальность темы исследований, показана её научная новизна, сформулированы цели работы и приведены положения, выносимые на защиту.

Первые две главы посвящены исследованию гетероструктур СеАНеЗ! с квантовыми ямами, последние две — исследованию структур 1пАб/А18Ь. Первая часть каждой главы представляет собой обзор литературы.

В первом разделе Главы 1 приведены основные сведения о влиянии деформации на спектры носителей заряда в гетероструктурах СеЛЗе81 и дан обзор работ, посвящённых исследованию ЦР носителей заряда в гетероструктурах ве/СеБи Во втором разделе Главы 1 кратко описаны процесс роста многослойных гетероструктур Ое/веБ! и методика экспериментального исследования ЦР с использованием генераторов на основе ламп обратной волны (ЛОВ) в качестве источников излучения и возбуждением носителей заряда с помощью межзонной подсветки. Все измерения проводились при Т = 4,2 К. Показано, что уровень межзонной подсветки оказывает большое влияние на ширину линий в спектрах ЦР. Уменьшение уровня подсветки позволило значительно обузить линии и выявить в спектрах ЦР не обнаруженные ранее резонансы. В третьем и

четвёртом разделах Главы 1 представлены результаты измерений ЦР электронов и дырок в напряжённых гетероструктурах Ge/GeSi в диапазоне энергий квантов 0,6—5 мэВ (f= 125—1250 ГГц), а также кратко описан метод расчёта уровней Ландау дырок в этих структурах.

Результаты проведённых исследований показывают, что в гетероструктурах Ge/GeSi с широкими квантовыми ямами Ge (шириной более 300 А) наблюдается циклотронный резонанс lL-электронов с массой т ~ 0,083/яо. Расчёты, проведенные в работе [8] показывают, что lL-электроны должны находиться в слоях твёрдого раствора GeSi. Таким образом, можно заключить, что такие гетероструктуры (с широкими слоями Ge) являются гетероструктурами II типа.

В структуре с dee — 800 А в спектрах ЦР обнаружены линии поглощения, обусловленные межподзонным ЦР, т. е. переходами с уровней Ландау первой подзоны размерного квантования на уровни из вышележащих подзон. Наблюдаемые энергии таких переходов хорошо согласуются с данными теоретических расчётов, выполненных Д. В. Козловым.

В первой части Главы 2 приведён обзор работ, посвящённых теоретическим и экспериментальным исследованиям мелких примесей в гетероструктурах. В следующей части описана дифференциальная методика исследования мелких примесей с помощью ЛОВ при модуляции межзонной подсветки. Приводится сравнение полученных спектров со спектрами фотопроводимости в этих же структурах. Показано, что данная методика позволяет «обузить» линии в спектрах магнитопоглощения и выявить особенности, которые ранее не обнаруживались.

В третьей части приведены результаты исследования магнитопоглощения в гетероструктурах Ge/GeSi, кратко представлен метод расчёта энергий переходов в мелких примесях и проведено сопоставление экспериментальных результатов с результатами расчёта. Представлены различные способы, позволяющие отличать линии, вызванные циклотронными переходами, от линий, обусловленных поглощением на мелких примесях. Показано, что наблюдаемые в гетероструктурах Ge/GeSi «примесные» линии обусловлены переходами типа Is -> 2р+ в очень мелких акцепторах, ионы которых расположены в центре барьерных слоев GeSi и на гетеро-

границах. Наиболее мелкие обнаруженные состояния связываются с ранее не наблюдавшимися центрами, состоящими из иона акцептора в квантовой яме Ge, захватившего дырку в соседней квантовой яме (энергия связи порядка 1 мэВ). В структурах с широким квантовыми ямами Ge (dGe S 300 А) для примесей в центре барьера GeSi обнаружены переходы с Is на 2р+ состояния, связанные с уровнями Ландау как из 1-ой, так и из 2-ой подзон размерного квантования тяжелых дырок.

В четвёртой части Главы 2 представлены методика исследования временных характеристик сигналов магнитопоглощения и результаты измерений, выполненных по данной методике. Показано, что сигнал магнитопоглощения релаксирует после выключения импульса подсветки с двумя характерными временами («быстрое» время варьируется от 10 до 60 мкс для различных образцов, «медленное» — от 40 до 800 мкс).

Глава 3 посвящена исследованию остаточной фотопроводимости в гетероструктурах InAs/AlSb, которая может быть как положительной, так и отрицательной. Вначале приведён обзор работ, посвященных исследованию данного явления. Во второй части приведена методика исследования спектров остаточной фотопроводимости гетероструктур InAs/AlSb. В последней части представлены результаты выполненных в диссертации исследований.

В настоящей работе исследования проводились в широком интервале энергий квантов 0,6—6 эВ. Впервые обнаружен резкий спад отрицательной остаточной фотопроводимости в нелегированных структурах при энергии кванта освещения более 3,2 эВ, связываемый «выключением» механизма генерации электронно-дырочных пар, который приводит к уменьшению концентрации двумерных электронов в квантовых ямах InAs. Исследования легированных структур и структур с дополнительным покровным слоем GaAs позволили установить, что отрицательная остаточная фотопроводимость связана с захватом фотовозбуждённых электронов поверхностными донорами в покрывающем слое GaSb.

Глава 4 начинается с обзора работ, посвященных исследованию ЦР в гетероструктурах InAs/AlSb. Описывается методика исследования ЦР как в слабых, так и в квантующих магнитных полях. В последней части главы

представлены результаты исследований ЦР в данных гетероструктурах и дано краткое описание метода расчёта уровней Ландау электронов, проведенного В. Я. Алешкиным и С. С. Криштопенко.

В слабых магнитных полях обнаружено возрастание эффективной массы от 0,03/яо до 0,06т0 при увеличении концентрации электронов, что обусловлено сильной непараболичностью зоны проводимости. Результаты измерений очень хорошо согласуются с данными теоретических расчетов.

В квантующих магнитных полях (Йсос ~ Ер) полях обнаружено расщепление линии ЦР. В нелегированных структурах такое расщепление связано с сильной непараболичностью закона дисперсии электронов. Измеренные значения энергий циклотронных переходов хорошо согласуются с результатами расчётов С. С. Криштопенко. Исследования ЦР в квантующих полях в легированных структурах, в которых заполнены две подзоны размерного квантования, показывают, что в таких структурах наблюдается очень большое расщепление линии ЦР (~ 10%), что связывается с разницей энергий переходов между уровнями Ландау первой и второй подзоны размерного квантования.

Заключение содержит основные результаты, полученные в работе.

Основные результаты работы

1. В спектрах субмиллиметрового (0,6—5 мэВ) магнитопоглощения напряженных многослойных гетероструктур Се/Се81(111) с широкими слоями Се (с/с* = 300—850 А, ~ 200 А) и, соответственно, с малой величиной упругой деформации слоев при межзонном оптическом возбуждении обнаружены линии циклотронного резонанса 1Ь электронов (Г = 4,2 К). Измеренная величина эффективной массы 1Ь электронов в слоях Се81 (х ~ 0,1) составляет тп ~ (0,083±0,0005)/и0, что превышает соответствующую величину в чистом Се. Таким образом, прямо показано, что данные гетероструктуры являются структурами II типа в отличие от ранее изученных структур с более тонкими слоями Се (которые являются квантовыми ямами для ЗЬ электронов), что связано в первую очередь с меньшей величиной упругой деформации слоев.

2. В гетероструктурах Ge/GeSi с различной шириной слоев Ge (квантовых ям для дырок) 120—850 А исследованы спектры ЦР дырок в квантующих магнитных полях (Йюс» кТ) при оптическом межзонном возбуждении носителей. В спектрах наблюдаются две линии ЦР, соответствующие переходам с двух нижних уровней Ландау дырок. Обнаружено, что в образцах с широкими квантовыми ямами (dGe> 300 А) энергии переходов нелинейно зависят от магнитного поля, что связано с взаимодействием уровней Ландау первой и вышележащих подзон размерного квантования тяжелых дырок. В образце Ge/GeSi с наиболее широкими квантовыми ямами Ge (c/Ge = 800 Ä) обнаружено явление межподзонного циклотронного резонанса: в спектрах ЦР наблюдаются линии поглощения, обусловленные переходами носителей с уровней Ландау 1-ой подзоны размерного квантования на уровни Ландау 3-ей и 5-ой подзон. Явление связано с взаимодействием и антипересечением уровней Ландау из разных подзон размерного квантования.

3. Разработан дифференциальный метод наблюдения примесного поглощения в полупроводниковых структурах в терагерцовом диапазоне, основанный на межзонном оптическом возбуждении электронов и дырок и их захвате ионизованными примесями. Достоинством метода применительно к гетероструктурам Ge/GeSi является значительное обужение линий примесного поглощения (по сравнению со спектрами примесной фотопроводимости в тех же образцах) за счет уменьшения флуктуации потенциала, что позволило обнаружить новые резонансы поглощения, связанные с возбуждением остаточных мелких акцепторов. Впервые исследованы спектры дифференциального магнитопоглощения Ge/GeSi структур с квантовыми ямами при импульсном межзонном возбуждении носителей. Показано, что релаксация сигнала ЦР и примесного поглощения происходит с двумя характерными временами. Быстрое время (от 10 до 60 мкс) обусловлено рекомбинацией.свободных носителей на нейтральных примесях. Медленное время (от 40 до 800 мкс) соответствуют рекомбинации свободных дырок на нейтральных донорах, причем дырки поставляются в валентную зону за счет термической активации с очень мелких акцепторов (с энергией связи порядка 2 мэВ).

13

4. В спектрах дифференциального магнитопоглощения гетероструктур Се/Се81 с остаточными примесями в терагерцовом диапазоне частот /=0,3—1,2 ТГц (Тко =1—5 мэВ) обнаружены переходы с основного на возбужденные состояния мелких акцепторов. Для идентификации переходов использовались измерения с временным разрешением при импульсной межзонной подсветке, разогрев носителей постоянным латеральным электрическим полем, измерения при эллиптической (близкой к круговой) поляризации излучения, сопоставление положения наблюдаемых линий с результатами расчетов энергетических спектров примесей. Показано, что наблюдаемые примесные линии обусловлены переходами типа 1з 2р+ в очень мелких акцепторах, ионы которых расположены в центре барьерных слоев Ое81 и на гетерограницах. Наиболее мелкие обнаруженные состояния связываются с ранее не наблюдавшимися центрами, состоящими из иона акцептора в квантовой яме ве, захватившего дырку в соседней квантовой яме (энергия связи ~1 мэВ). В структурах с широким квантовыми ямами Се (с10е > 300 А) для примесей в центре барьера веБ! обнаружены переходы с 1б на 2р+ состояния, связанные с уровнями Ландау как из 1-ой, так и из 2-ой подзон размерного квантования тяжелых дырок.

5. В широкой области спектра 0,6—6 эВ исследована положительная и отрицательная остаточная проводимость в гетероструктурах 1пАз/А18Ь с двумерным электронным газом при Т= 4,2 К. Установлено, что отрицательная остаточная фотопроводимость, возникающая при освещении структур видимым светом, обусловлена переносом электронов из квантовой ямы 1пАз на глубокие уровни поверхностных доноров в покрывающем слое СаЗЬ. Наличие эффектов как отрицательной, так и положительной (наблюдающейся при освещении ИК излучением) остаточной фотопроводимости позволяет обратимым образом в несколько раз изменять концентрацию двумерных электронов.

6. Исследованы спектры ЦР в гетероструктурах 1пАз/А18Ь в широком диапазоне концентраций электронов в квантовых ямах 1пАб от 2,7-10п до 8-1012 см"2. Обнаружено значительное возрастание циклотронной массы от 0,03то до 0,06то, обусловленное непараболичностью закона дисперсии.

7. В сильных магнитных полях (В > 8Т) в селективно легированных ге-тероструктурах InAs/AISb с большой концентрацией электронов и, >2-1012 см"2, населяющих как 1-ю, так и 2-ю подзоны размерного квантования, обнаружено сильное расщепление линии ЦР, превышающее расщепление, наблюдаемое в тех же полях в образцах с заполнением только 1-ой подзоны. Показано, что обнаруженное расщепление обусловлено различием энергий переходов между уровнями Ландау в 1-ой и 2-ой подзонах размерного квантования.

Список цитированной литературы

[1] Гавриленко, В. И. Циклотронный резонанс носителей заряда в напряжённых гетероструктурах Ge/Gej.xSix / В. И. Гавриленко [и др.] // Письма в ЖЭТФ. — 1994. — Т. 59. — С. 327—330.

[2] Алешкин, В. Я. Циклотронный резонанс и межподзонные переходы дырок в напряженных многослойных гетероструктурах Ge/GeSi с квантовыми ямами / В. Я. Алешкин [и др.] // Известия Академии наук. Сер. фи-зич. — 1999. — Т. 63. — N. 2. — С. 352—358.

[3] Гавриленко, В. И. Мелкие акцепторы в напряженных многослойных гетероструктурах Ge/GeSi с квантовыми ямами / В. И. Гавриленко [и др.] // Письма в ЖЭТФ. — 1997. — Т. 65. — С. 194—198.

[4] Gauer, Ch. Energy-dependant cyclotron mass in InAs/AISb quantum wells / Ch. Gauer [et al.] // Semicond. Sci. Technol. — 1994. — V. 9, N. 9. — P. 1580—1583.

[5] Yang, M. J. Spin-resolved cyclotron resonance in InAs quantum wells: A study of the energy-dependent g-factor / M. J. Yang [et al.] // Phys. Rev. B. — 1993. — V. 47. — P. 6807—6810/

[6] Scriba J. The effect of Landau quantization on cyclotron resonance in a non-parabolic quantum wells / J. Scriba [et al.] // Semicond. Sci. Technol. — 1993. —V. 8, N. IS. —P. S133—S136.

[7] Gauer, Ch Photoconductivity in AlSMnAs quantum wells / Ch. Gauer [et al.] // Semicond. Sci. Technol. — 1993. — V. 8, N. IS. — P. S137—S140.

[8] Алешкин, В. Я. Спектры электронов и дырок и правила отбора для оптических переходов в гетероструктуре Gei.xSix/Ge / В. Я. Алешкин, Н. А. Бекин // ФТП. — 1997. — Т. 31. — С. 171—178.

Основные публикации автора по теме диссертации

[AI] Алешкин, В. Я. Переходы с участием мелких примесей в спектрах субмиллиметрового магнитопоглощения в напряженных квантоворазмер-ных гетероструктурах Ge/GeSi(l 11) / В. Я. Алешкин, Д. Б. Векслер, В. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева, А. В. Иконников, Д. В. Козлов, О. А. Кузнецов // ФТТ. — 2004. — Т. 46, вып. 1. — С. 131—137. [А2] Алешкин, В. Я. Межподзонный циклотронный резонанс дырок в напряженных гетероструктурах Ge/GeSi(lll) с широкими квантовыми ямами Ge и циклотронный резонанс lL-электронов в слоях GeSi / В. Я. Алешкин, Д. Б. Векслер, В. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева,

A. В. Иконников, Д. В. Козлов, О. А. Кузнецов // ФТТ. — 2004. — Т. 46, вып. 1. —С. 126—130.

[A3] Aleshkin, V. Ya. Far IR magnetoabsorption in Ge/GeSi multiple-quantum-well heterostructures / V. Ya. Aleshkin, I. V. Erofeeva, V. I. Gavrilenko, A. V. Ikonnikov, D. V. Kozlov, O. A. Kuznetsov, D. B. Veksler // Physica B. — 2003. — V. 340—342. — P. 840—843. [A4] Алешкин, В. Я. Мелкие акцепторы в гетероструктурах Ge/GeSi с квантовыми ямами в магнитном поле / В. Я. Алешкин, А. В. Антонов, Д. Б. Векслер, В. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева, А. В. Иконников, Д.В.Козлов, О.А.Кузнецов, К.Е.Спирин // ФТТ. — 2005.— Т.47, вып. 1. —С. 74—79.

[А5] Алешкин, В. Я. Циклотронный резонанс в легированных и нелегированных гетероструктурах InAs/AlSb с квантовыми ямами /

B.Я. Алёшкин, В. И. Гавриленко, А.В.Иконников, Ю.Г. Садофьев, J. P. Bird, S. R. Johnson, Y.-H. Zhang // ФТП. — 2005. — Т. 39, вып. 1. —

C. 71—75.

[А6] Алешкин, В. Я. Спектры остаточной фотопроводимости в гетероструктурах InAs/AlSb с квантовыми ямами / В. Я. Алешкин, В. И. Гавриленко, Д. М. Гапонова, А. В. Иконников, К. В. Маремьянин,

C. В. Морозов, Ю. Г. Садофьев, S. R. Johnson, Y.-H. Zhang // ФТП. — 2005. — Т. 39, вып. 1. — С. 30—34.

[А7] Aleshkin, V. Ya. THz spectroscopy of extremely shallow acceptors states in Ge/GeSi multiple-quantum-well heterostructures / V. Ya. Aleshkin, I. V. Erofeeva, V. I. Gavrilenko, A. V. Ikonnikov, D. V. Kozlov, O. A. Kuznetsov,

D. B. Veksler // Acta Physica Polonica A. — 2005. — V. 107. — P. 137—141. [A8] Aleshkin, V. Ya. Submillimeter impurity magnetoabsorption in Ge/GeSi quantum well heterostructures / V. Ya. Aleshkin, I. V. Erofeeva, V. I. Gavrilenko, A. V. Ikonnikov, D. V. Kozlov, O. A. Kuznetsov, D. B. Veksler // Nanostructures: Physics and technologies: Proc. 11th Int. Symp., St. Petersburg, June 22—28, 2003. — St. Petersburg: Ioffe Institute, 2003. —P. 214—215.

[A9] Aleshkin, V. Ya. Intersubband hole cyclotron resonance in Ge/GeSi heterostructures with wide quantum wells / V. Ya Aleshkin, I. V. Erofeeva, V. I. Gavrilenko, A. V. Ikonnikov, D. V. Kozlov, O. A. Kuznetsov, D. B. Veksler // Nanostructures: Physics and technologies: Proc. 11th Int. Symp., St. Petersburg, June 22—28, 2003. — St. Petersburg: Ioffe Institute, 2003. —P. 127—128.

[А10]Алешкин, В. Я. Субмиллиметровое примесное магнитопоглощение в гетероструктурах Ge/GeSi с квантовыми ямами / В. Я. Алешкин, А. В. Антонов, Д. Б. Векслер, В. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева, А. В. Иконников, Д. В. Козлов // Нанофотоника: Материалы всероссийского совещания, Нижний Новгород, Россия, 17—20 марта 2003. — Нижний Новгород: ИФМ РАН, 2003. — Т. 2. — С. 248—251. [AI 1]Алешкин, В. Я. Межподзонный циклотронный резонанс в гетероструктурах Ge/GeSi с широкими квантовыми ямами / В. Я. Алешкин, А.В.Антонов, Д. Б. Векслер, В. И. Гавриленко, И.В.Ерофеева, А. В. Иконников, Д. В. Козлов // Нанофотоника: Материалы всероссийского совещания, Нижний Новгород, Россия, 17—20 марта 2003. — Нижний Новгород: ИФМ РАН, 2003. — Т. 1. — С. 11—15. [А 12] Aleshkin, V. Ya. Far IR magnetoabsorption in Ge/GeSi QW structures / V. Ya. Aleshkin, I. V. Erofeeva, V. I. Gavrilenko, A. V. Ikonnikov, D. V. Kozlov, O. A. Kuznetsov, D. B. Veksler II 22th Int. Conf. on defects in

semiconductors: Book of Abstracts II, Aarhus, Denmark, July, 27—August, 1. — 2003. —PA 114.

[А13]Алешкин, В. Я. Межподзонный ЦР дырок в напряженных гетерост-руктурах Ge/GeSi с толстыми слоями Ge и ЦР lL-электронов в слоях GeSi / В. Я. Алешкин, Д. Б. Векслер, В. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева,

A. В. Иконников, Д. В. Козлов, О. А. Кузнецов // VI Российская конференция по физике полупроводников: Тез. докл., Санкт-Петербург, Россия, 27—31 октября 2003. — СПб: ФТИ им. А.Ф.Иоффе РАН, 2003.— С. 131—132.

[А 14] Алешкин, В. Я. Субмиллиметровое примесное магнитопоглощение в гетероструктурах p-Ge/GeSi с квантовыми ямами / В. Я. Алешкин, Д. Б. Векслер, В. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева, А. В. Иконников, Д. В. Козлов, О. А. Кузнецов // VI Российская конференция по физике полупроводников: Тез. докл., Санкт-Петербург, Россия, 27—31 октября 2003. — СПб: ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН, 2003. — С. 437—438. [А 15]Алешкин, В. Я. Циклотронный резонанс в легированных и нелегированных гетероструктурах InAs/AlSb с квантовыми ямами /

B. Я. Алешкин, В. И. Гавриленко, А. В. Иконников [и др.] // Нанофотони-ка: Материалы всероссийского совещания, Нижний Новгород, Россия, 2—6 мая 2004. — Нижний Новгород: ИФМ РАН, 2004. — С. 378—382. [А16]Алешкин, В. Я. Спектры остаточной фотопроводимости в гетероструктурах InAs/AlSb с квантовыми ямами / В. Я. Алешкин, В. И. Гавриленко, А. В. Иконников [и др.] // Нанофотоника: Материалы всероссийского совещания, Нижний Новгород, Россия, 2—6 мая 2004. — Нижний Новгород: ИФМ РАН, 2004. — С. 178—186.

[А17]Алешкин, В. Я. Очень мелкие акцепторные состояния в многослойных гетероструктурах Ge/GeSi с квантовыми ямами: А+-центры и А°-центры с пространственным разделением иона примеси и дырки / В. Я. Алешкин, Д. Б. Векслер, В. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева, А. В. Иконников, Д. В. Козлов // Нанофотоника: Материалы всероссийского совещания, Нижний Новгород, Россия, 2—6 мая 2004. — Нижний Новгород: ИФМ РАН, 2004. — С. 129—132.

[A18]Ikonnikov, A. V. Cyclotron resonance study of doped and undoped InAs/AlSb QW heterostructures / A. V. Ikonnikov, V. I. Gavrilenko, Yu. G. Sadofyev [et al.] // Nanostructures: Physics and technologies: Proc. 12th Int. Symp., St. Petersburg, June 21—25, 2004. — St. Petersburg: Ioffe Institute, 2004. —P. 280—281.

[A19]Aleshkin, V. Ya. Very shallow acceptor states in Ge/GeSi QW heterostructures: A+-centers and "barrier spaced" A°-centers / V. Ya. Aleshkin, I. V. Erofeeva, V. I. Gavrilenko, A. V. Ikonnikov, D. V. Kozlov, O. A. Kuznet-sov D. B. Veksler // Nanostructures: Physics and technologies: Proc. 12th Int. Symp., St. Petersburg, June 21—25, 2004.— St. Petersburg: Ioffe Institute, 2004. —P. 302—303.

[A20] Ikonnikov, A. V. Cyclotron resonance study of doped and undoped InAs/AISb QW heterostructures / A. V. Ikonnikov, V. I. Gavrilenko, Yu. G. Sadofyev [et al.] // 27th Int. Conf. on the physics of semiconductors: Proc., Flagstaff, Arizona, USA, July 26—30, 2004. — P. 333. [A21]Ikonnikov, A. V. A+-centers and barrier-spaced A°-centers in Ge/GeSi MQW heterostructures / A. V. Ikonnikov, I. V. Erofeeva, D. V. Kozlov [et al.] // 27th Int. Conf. on the physics of semiconductors: Abstr., Flagstaff, Arizona, USA, July 26—30, 2004. — P. 252.

[A22] Ikonnikov, A. V. Intersubband hole cyclotron resonance in strained Ge/GeSi MQW heterostructures / A. V. Ikonnikov, I. V. Erofeeva, D. V. Kozlov [et al.] // 27th Int. Conf. on the physics of semiconductors: Abstr., Flagstaff, Arizona, USA, July 26—30,2004. — P. 258. [A23] Ikonnikov, A. V. Terahertz spectroscopy of strained MQW Ge/GeSi het-erostructure in high magnetic fields / A. V. Ikonnikov, I. V. Erofeeva, D. V. Kozlov [et al.] // High Magnetic Fields in Semiconductor Physics: Abst. of 16th Int. Conf., Tallahasse, FL, USA, August 2—6, 2004. — P. Thu8. [A24] Aleshkin, V. Ya. THz spectroscopy of extremely shallow acceptor states in Ge/GeSi multiply-quantum-well heterostructures / V. Ya. Aleshkin, I. V. Erofeeva, V. I. Gavrilenko, A. V. Ikonnikov, D. V. Kozlov, O. A. Kuznet-sov, D. B. Veksler// 12th Int. Symp. on Ultrafast Phenomena in Semiconductors: Abst., Vilnius, Lithuania, August, 22—25,2004. — P. 30.

[А25]Алешкин, В. Я. Примесное магнитопоглощение гетероструктур Ge/GeSi с квантовыми ямами в квантующих магнитных полях / В. Я. Алешкин, А. В. Антонов, В. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева,

A. В. Иконников, Д. В. Козлов, О. А. Кузнецов, К. Е. Спирин // Нанофизи-ка и наноэлектроника: Материалы всероссийского симпозиума, Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2005. — Нижний Новгород: ИФМ РАН 2005. — С. 397—398.

[А26]Алешкин, В. Я. Природа отрицательной остаточной фотопроводимости в гетероструктурах InAs/AlSb с квантовыми ямами / В. Я. Алешкин,

B. И. Гавриленко, А. В. Иконников [и др.] // Нанофизика и наноэлектроника: Материалы всероссийского симпозиума, Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2005. — Нижний Новгород: ИФМ РАН 2005. — С. 433—434. [A27]Ikonnikov, А. V. Differential shallow impurity absorption in Ge/GeSi QW heterostructures in THz range at pulsed bandgap photoexcitation /

A. V. Ikonnikov, К. E. Spirin, O. A. Kuznetsov [et al.] //Nanostructures: Physics and technologies: Proc. 13th Int. Symp., St. Petersburg, June 20—25, 2005. — St. Petersburg: Ioffe Institute, 2005. — P. 246—247.

[A28]Gavrilenko, V. I. Positive and negative persistent photoconductivity in InAs/AlSb QW heterostructures: control of 2DEG concentration and built-in electric field / V. I. Gavrilenko, A. V. Ikonnikov, К. V. Marem'yanin [et al.] // Nanostructures: Physics and technologies: Proc. 13th Int. Symp., St. Petersburg, June 20—25, 2005. — St. Petersburg: Ioffe Institute, 2005. — P.396—398. [A29] Marem'yanin, К. V. Spectral study of persistent photoconductivity in InAs/AlSb QW heterostructures / К. V. Marem'yanin, A. V. Ikonnikov, S. V. Morozov [et al.] // Narrow Gap Semiconductors: Abstr. of 12th Int. Conf. Toulouse, France, July 3—7, 2005. — P. 21.

[A3 0] Ikonnikov, A. V. Cyclotron resonance study of InAs/AlSb QW heterostructures / A. V. Ikonnikov, V. I. Gavrilenko, Yu. G. Sadofyev [et al.] // Narrow Gap Semiconductors: Abstr. of 12th Int. Conf. Toulouse, France, July 3—7, 2005.—P. 101.

[A31]Гавриленко, В. И. Положительная и отрицательная остаточная фотопроводимость в гетероструктурах InAs/AlSb с квантовыми ямами /

B. И. Гавриленко, А. В. Иконников, К. В. Маремьянин [и др.] // VII Росс.

конф. по физике полупроводников: Тез. докл., Звенигород, Россия, 18—23 сентября 2005. — М.: ФИАН. — С. 99.

[А32]Гавриленко, В. И. Исследование циклотронного резонанса в гетеро-структурах InAs/AISb с квантовыми ямами / В. И. Гавриленко, А. В. Иконников, Ю. Г. Садофьев [и др.] // VII Росс. конф. по физике полупроводников: Тез. докл., Звенигород, Россия, 18—23 сентября 2005. — М.: ФИАН. —С. 185.

[АЗЗ]Алешкин, В. Я. Дифференциальное примесное магнитопоглощение в ТГц-диапазоне в гетероструктурах Ge/GeSi с квантовыми ямами при импульсном межзонном возбуждении / В. Я. Алешкин, В. И. Гавриленко, А. В. Иконников [и др.] // VII Росс. конф. по физике полупроводников: Тез. докл., Звенигород, Россия, 18—23 сентября 2005. — М.: ФИАН. —

C. 197.

[А34]Антонов, А. В. Терагерцовое излучение из квантовых ям InAs/AISb / А. В. Антонов, В. И. Гавриленко, А. В. Иконников [и др.] // VII Росс, конф. по физике полупроводников: Тез. докл., Звенигород, Россия, 18—23 сентября 2005. — М.: ФИАН. — С.230.

[А35]Алешкин, В. Я. Примесное поглощение гетероструктур Ge/GeSi с квантовыми ямами в квантующих магнитных полях / В. Я. Алешкин, А. В. Антонов, В. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева, А. В. Иконников, Д. В. Козлов, О. А. Кузнецов, К. Е. Спирин // VII Росс. конф. по физике полупроводников: Тез. докл., Звенигород, Россия, 18—23 сентября 2005. — М.: ФИАН, — С. 307.

[A36]Ikonnikov, А. V. A+-centers and "barrier-spaced" A°-centers in Ge/GeSi MQW heterostructures / A. V. Ikonnikov, I. V. Erofeeva, D. V. Kozlov [et al.] // AIP Conf. Proc. — 2005. — V. 772. — P. 947—948. [A37] Ikonnikov, A. V. Intersubband hole cyclotron resonance in strained Ge/GeSi MQW heterostructures / A. V. Ikonnikov, I. V. Erofeeva,

D. V. Kozlov [et al.] // AIP Conf. Proc. — 2005. — V. 772. — P. 949—950. [A38] Ikonnikov, A. V. Cyclotron resonance study of doped and undoped InAs/AISb QW heterostructures / A. V. Ikonnikov, V. Ya. Aleshkin, V. I. Gavrilenko [et al.] // AIP Conf. Proc. — 2005. — V. 772. — P. 1214— 1215.

[А39]Алешкин, В. Я. Исследование циклотронного резонанса в гетерост-руктурах InAs/AlSb с квантовыми ямами в квантующих магнитных полях / В. Я. Алешкин, Ю. Б. Васильев, В. И. Гавриленко, А. В. Иконников, С. С. Криштопенко, Ю. Г. Садофьев, М. L. Sadowski, W. Knap, S. R. Johnson, Y.H.Zhang // Нанофизика и наноэлектроника: Материалы всероссийского симпозиума, Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2006. — Нижний Новгород: ИФМ РАН, 2006. — Т. 1. — С. 86—87.

[А40]Алешкин, В. Я. Исследование примесного магнитопоглощения в ге-тероструктурах Ge/GeSi при импульсном фотовозбуждении / В. Я. Алешкин, А. В. Иконников, В. И. Гавриленко [и др.] // Нанофизика и наноэлектроника: Материалы всероссийского симпозиума, Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2006. — Нижний Новгород: ИФМ РАН, 2006. — Т. 2. — С. 328—329.

[А41]Гавриленко, В. И. Осцилляции субмиллиметровой фотопроводимости в нелегированных гетероструктурах InAs/AlSb с двумерным электронным газом / В. И. Гавриленко, А. В. Иконников, С. С. Криштопенко [и др.] // Нанофизика и наноэлектроника: Материалы всероссийского симпозиума, Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2006. — Нижний Новгород: ИФМ РАН, 2006. — Т. 2. — С. 439 — 440.

[A42]Marem'yanin, К. V. Spectral study of persistent photoconductivity in InAs/AlSb QW heterostructures / К. V. Marem'yanin, К. E. Spirin, A. V. Ikonnikov [et al.] // Narrow Gap Semiconductors, Institute of Physics Conference Series No. 187. — New York, 2006. — P. 137—142. [A43]Ikonnikov, A. V. Cyclotron resonance study of InAs/AlSb QW heterostructures / A. V. Ikonnikov, S. S. Krishtopenko, К. E. Spirin fet al.] // Narrow Gap Semiconductors, Institute of Physics Conference Series No. 187. — New York, 2006. — P. 579—584.

[A44] Ikonnikov, A. V. Cyclotron resonance study of InAs/AlSb QW heterostructures in quantizing magnetic fields / A. V. Ikonnikov, Yu. B. Vasilyev, S. S. Krishtopenko [et al.] // Nanostructures: Physics and technologies: Proc. 14th Int. Symp., St. Petersburg, June 26—30, 2006. — St. Petersburg: Ioffe Institute, 2006. — P. 172—173.

ИКОННИКОВ Антон Владимирович

ЦИКЛОТРОННЫЙ РЕЗОНАНС И ПРИМЕСНОЕ МАГНИТОПОГЛОЩЕНИЕ В ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ С КВАНТОВЫМИ ЯМАМИ

Автореферат

Подписано к печати 28.07.2006 г. Тираж 100 экз. Отпечатано на ризографе в Институте физики микроструктур РАН 603950, Нижний Новгород, ГСП-105

Содержание.

Введение.

Научная и практическая значимость работы.

Глава 1. Циклотронный резонанс электронов и дырок в гетероструктурах Ge/GeSi

1.1. Напряжённые гетероструктуры на основе Ge и Si (обзор литературы).

1.1.1. «Встроенная» деформация в гетероструктурах Ge/GeSi.

1.1.2. Влияние эффектов встроенной деформации и размерного квантования на спектры носителей заряда в напряженных гетероструктурах Ge/GeSi.

1.1.3. Исследования циклотронного резонанса в гетероструктурах Ge/GeSi.

1.2. Методика исследований.

1.2.1. Изготовление и подготовка образцов.

1.2.2. Прохождение субмиллиметрового излучения сквозь структуру.

1.2.3. Методика экспериментального исследования циклотронного резонанса с помощью JIOB.

1.3. Циклотронный резонанс электронов.

1.4. Циклотронный резонанс дырок.

1.4.1. Расчёт уровней Ландау дырок.

1.4.2. Циклотронный резонанс дырок в квантующих магнитных полях.

1.4.3. Межподзонный циклотронный резонанс.

Глава 2. Примесное магнитопоглощение в гетероструктурах Ge/GeSi.

2.1. Мелкие примеси в двумерных структурах (обзор литературы).

2.1.1. Расчёты спектров мелких примесей в гетероструюурах с квантовыми ямами.

2.1.2. Экспериментальные исследования мелких примесей.

2.2. Методика исследований.

2.3. Исследование примесного поглощения в гетероструктурах Ge/GeSi.

2.3.1. Примесные линии в спектрах дифференциального магнитопоглощения

2.3.2. Теоретический расчёт примесных переходов.

2.3.3. Природа примесных линий.

2.4. Исследование временных характеристик сигналов магнитопоглощения.

Глава 3. Остаточная фотопроводимость в гетероструктурах InAs/AlSb с квантовыми ямами.

3.1. Обзор литературы.

3.1.1. Гетероструктуры InAs/AlSb.

3.1.2. Исследования остаточной фотопроводимости.

3.2. Методика исследований.

3.2.1. Изготовление и подготовка образцов.

3.2.2. Методика экспериментального исследования остаточной фотопроводимости.

3.3. Экспериментальные исследования остаточной фотопроводимости.

3.3.1. Спектры остаточной фотопроводимости номинально нелегированных гетероструктур InAs/AlSb.

3.3.2. Осцилляции остаточной ФП нелегированных структур.

3.3.3. Спектры остаточной фотопроводимости селективно легированных гетероструктур InAs/AlSb.

3.3.4. Спектры остаточной фотопроводимости в номинально нелегированных гетероструктурах InAs/AlSb с поверхностным слоем InAs.

Глава 4. Циклотронный резонанс в гетероструктурах InAs/AlSb с квантовыми ямами.

4.1. Обзор литературы.

4.2. Методика исследований.

4.2.1. Методика исследования ЦР в слабых магнитных полях.

4.2.2. Методика исследования ЦР в квантующих магнитных полях.

4.3. Исследования циклотронного резонанса в гетероструктурах InAs/AlSb.

4.3.1. Расчёт уровней Ландау.

4.3.2. Циклотронный резонанс в слабых магнитных полях.

4.3.3. Циклотронный резонанс в квантующих магнитных полях.

Развитие современной полупроводниковой электроники связано как с прогрессом технологии, так и с разработкой новых типов приборов. Развитие технологии роста полупроводниковых наноструктур привело к созданию электронных и оптоэлектронных приборов, обладающих рекордными характеристиками. Основными эффектами, за счёт которых происходит выигрыш по сравнению с традиционными приборами на оснвое объёмных полупроводников, являются пространственное разделение и ограничение носителей и изменение электронного спектра носителей вследствие квантования. Наилучшие результаты были получены при использовании гетеропар материалов А3В5, согласованных по параметру решетки, особенно GaAs/AlGaAs. Однако внедрение таких элементов в промышленную технологию изготовления интегральных микросхем на кремнии вызывает серьёзные трудности. Это вызывает интерес к гетероструктурам на основе Ge и Si. Несоответствие постоянных решёток Si и Ge составляет 4%, что позволяет выращивать гетероструктуры со «встроенной» деформация в слоях, что, в свою очередь, рассматривается как дополнительный инструмент, позволяющий модифицировать спектр носителей в нужном направлении.

Поскольку в гетероструюурах на основе Si и Ge квантовые ямы для дырок всегда реализуются в слоях с большим содержанием германия, то для создания «дырочных» приборов весьма привлекательными являются гетероструктуры Ge/Gej.jJSix, где дырки находятся в слоях чистого Ge, (в отличие от структур Si/SiGe, где ямы для дырок находятся в сплаве SiGe, в котором подвижность ограничивается сплавным рассеянием).

На основе гетероструктуры Ge/GeixSix можно создавать примесные приёмники дальнего инфракрасного (ИК) диапазона. Как показано в работе [1], такой приёмник имеет полосу чувствительности, смещенную относительно полосы приёмника на объёмном p-Ge в длинноволновую сторону дальнего ИК диапазона, причём такой приёмник может перестраиваться магнитным полем.

Напряжённые гетероструктуры Ge/Gei.xSix обладают свойствами, недостижимыми в объёмном материале: в германиевых слоях гетероструктур может быть реализовано достаточно большое по величине (5 6 кбар) растягивающее» напряжение; энергетический спектр дырок может контролироваться с помощью изменения параметров гетероструктуры (толщины слоев и деформации Ge); благодаря большому отношению поверхности к объёму теплоотвод в гетероструктурах происходит быстрее. Однако для развития этих идей требуется детальное изучение энергетического спектра и механизмов рассеяния носителей в напряженных слоях Ge в гетероструктурах Ge/Gei.xSix, влияния на спектр эффектов встроенной деформации и размерного квантования, сильных электрического и магнитного полей.

Другими перспективными системами для развития электроники и оптоэлектроники являются структуры на основе «узкозонных» материалов, в частности, на InAs. Такие структуры могут быть перспективными для создания детекторов [2, 3] и лазеров ИК диапазона [4], высокочастотных транзисторов [5, 6], резонансно-туннельных диодов [7]. Структуры на основе InAs являются многообещающими для создания «спиновых» приборов [8], поскольку в таких структурах сильно проявляется эффект Рашбы [9], g-факгор электронов в InAs составляет -15 (в то время как GaAs -0,4).

Одним из наиболее интересных представителей систем на основе InAs являются гетероструктуры InAs/AlSb. В таких гетеросистемах квантовая яма для электронов оказывается очень глубокой (1,35 эВ), что приводит к тому, что в этих структурах в КЯ InAs всегда присутствует двумерный электронный газ, концентрацию которого при низких температурах можно изменять в широких пределах за счёт эффекта остаточной фотопроводимости [10]. Гетероструктуры InAs/AlSb обладают малой величиной эффективной массы электронов в квантовой яме InAs (т* = 0,03т0) и высокой подвижностью электронов, достигающей 3-104см2/В-с при Т = 300 К и 9-Ю5 см2/В-с при Т= 4,2 К [11], та) позволяет их использовать для создания новых быстродействующих приборов.

Эффективным методом для определения зонной структуры полупроводников и полупроводниковых гетероструктур является исследование циклотронного резонанса (ЦР), которое даёт информацию об эффективных массах и механизмах рассеяния. С помощью ЦР можно выявлять непараболичность закона дисперсии носителей заряда, и тем самым, получать информацию о зонной струюуре материалов.

Чаще всего ЦР наблюдают в терагерцовом диапазоне длин волн, поскольку для наблюдения ЦР необходимо выполнения условия сост»1, где toc — циклотронная частота, т - характерное время рассеяния. В этот же диапазон могут попадать энергии межуровневых переходов в мелких примесных центрах, что позволяет использовать методику ЦР для изучения последних.

До настоящей диссертационной работы исследования циклотронного резонанса в гетероструктурах Ge/GeSi проводились как на селективно легированных образцах с двумерным дырочным газом, так и на нелегированных структурах при межзонном оптическом возбуждении носителей заряда [12, 13, 14, 15, 16]. Исследования проводились как в относительно слабых магнитных полях, что дало возможность измерить величину эффективной массы дырок вблизи края валентной зоны и ее увеличение на уровне Ферми в легированных структурах, так и в квантующих магнитных полях, где наблюдались переходы между нижними уровнями Ландау дырок. Однако эти исследования были ограничены образцами со сравнительно узкими (до 200 А) квантовыми ямами Ge, где наблюдались переходы только в пределах первой подзоны размерного квантования. В работе [1] и последующих работах (см., например, [17, 18, 19]) была обнаружена примесная фотопроводимость в дальнем ИК диапазоне, связанная с остаточными акцепторами. В сильных магнитных полях в двух образцах удалось наблюдать переходы типа ls->2p+ и Is —» 2р. Однако значительная ширина спектральных линий и ограниченные возможности методики, обусловленные падением сигнала фотопроводимости в магнитном поле, не позволили детально исследовать спектры примесных переходов.

В гетероструктурах InAs/AlSb метод ЦР использовался для измерений эффективной массы электронов на уровне Ферми и выявления непараболичности зоны проводимости в квантовой яме InAs [20,21,22]. Для изменения концентрации электронов и соответственно уровня Ферми использовалось явление отрицательной остаточной фотопроводимости (концентрация электронов при низких температурах может быть уменьшена в несколько раз при подсветке образца излучением видимого диапазона). Однако само явление остаточной фотопроводимости было изучено недостаточно подробно, так спектральные исследования проводились в одной единственной работе [23], где исследовались всего 2 образца. Вышеупомянутые исследования ЦР, как и измерения в квантующих магнитных полях, где наблюдались переходы между нижними уровнями Ландау электронов [24, 25], проводились на образцах с концентрацией р л электронов до 10 см', что не позволило исследовать закон дисперсии на достаточно большом масштабе энергий и обнаружить эффекты, связанные с заполнением вышележащих подзон размерного квантования. Целями диссертационной работы являлись:

• установление основных закономерностей циклотронных переходов в валентной зоне напряженных гетероструктур Ge/GeSi с квантовыми ямами в условиях соизмеримости циклотронной энергии и энергии размерного квантования, а также обнаружение ЦР элеюронов с целью определения типа гетероперехода;

• разработка метода наблюдения примесного магнитопоглощения при модулированном межзонном оптическом возбуждении элеюронов и дырок с последующим захватом носителей на ионизованные примесные центры и выявление особенностей энергетических спеюров мелких акцепторов в гетероструктурах Ge/GeSi;

• установление природы отрицательной остаточной фотопроводимости в гетероструктурах InAs/AlSb;

• изучение закона дисперсии электронов в квантовых ямах InAs. Научная новизна

1. В спеюрах субмиллиметрового магнитопоглощения при межзонном оптическом возбуждении в гетероструктурах Ge/GeSi(l 11) с широкими слоями Ge впервые обнаружены линии ЦР элеюронов. Установлено, что они обусловлены 1L электронами в слоях твердого раствора GeSi. Таким образом, прямо показано, что данные гетероструктуры являются структурами II типа в отличие от образцов с более тонкими слоями Ge.

2. В спеюрах магнитопоглощения гетероструктур Ge/GeSi с наиболее широкими слоями Ge (800 А) впервые наблюдались переходы между уровнями Ландау дырок, относящихся к различным подзонам размерного квантования.

3. Впервые исследованы спеюры магнитопоглощения гетероструктур Ge/GeSi с остаточными акцепторами при импульсном межзонном оптическом возбуждении носителей. Показано, что релаксация сигнала происходит с двумя характерными временами, соответствующими рекомбинации фотовозбужденных электронов и дырок на нейтральных примесях (быстрое время) и рекомбинации термически возбужденных с очень мелких акцепторов дырок на нейтральных донорах (медленное время). В спектрах магнитопоглощения обнаружены линии, обусловленные переходами типа Is -» 2р+ в акцепторах, ионы которых расположены в центре барьерных слоев GeSi, и на гетерограницах, а также ранее не наблюдавшихся центрах, состоящих из иона акцептора в квантовой яме Ge и связанной с ним дырки в соседней квантовой яме.

4. В гетероструктурах InAs/AlSb с двумерном электронным газом впервые исследована низкотемпературная остаточная фотопроводимость в широком интервале энергий квантов 0,6—6 эВ. Обнаружено, что ширина линий субмиллиметрового дифференциального примесного магнитопоглощения гетероструктурах Ge/GeSi при межзонной подсветке в несколько раз меньше ширины наблюдающихся в той же области спектра линии примесной ФП. В спектрах поглощения разрешены переходы, связанные с возбуждением мелких акцепторов, расположенных в барьерных слоях GeSi и на гетерогранице. Научная и практическая значимость работы

Научная значимость полученных результатов заключается в обнаружении явления межподзонного циклотронного резонанса, являющегося следствием гибридизации волновых функций дырок на уровнях Ландау, относящихся к различным подзонам размерного квантования в гетероструктурах Ge/GeSi, демонстрации нового дифференциального метода наблюдения примесного поглощения и обнаружении новых оптических переходов в очень мелких (энергия связи менее 2 мэВ) акцепторах в гетероструктурах Ge/GeSi. Установлено, что в гетероструктурах InAs/AlSb наблюдаемая отрицательная остаточная фотопроводимость связана с переносом заряда из квантовой ямы InAs на глубокие донорные центры на поверхности покрывающего слоя GaSb. Получены значения эффективных масс электронов на уровне Ферми в квантовых ямах InAs в широком диапазоне концентраций электронов до 8-Ю12 см"2.

Полученные в диссертации результаты могут быть использованы при создании электронных и оптоэлектронных приборов на основе квантово-размерных гетероструктур Ge/GeSi и InAs/AlSb. Содержание работы

Диссертация состоит из введения, пяти глав, и заключения.

Основные результаты работы:

1. В спектрах субмиллиметрового (0,6—5мэВ) магнитопоглощения в напряженных многослойных гетероструктур Ge/GeSi(lll) с широкими слоями Ge (doe = 300—800 A, dgeSi ~ 200 А) и, соответственно, с малой величиной упругой деформации слоев при межзонном оптическом возбуждении обнаружены линии циклотронного резонанса 1L электронов (Г=4,2 К). Измеренная величина эффективной массы 1L электронов в слоях GeSi (х ~ 0,1) составляет т* ~ (0,083±0,0005)/ио, что превышает соответствующую величину в чистом Ge. Таким образом, прямо показано, что данные гетероструктуры являются структурами II типа в отличие от ранее изученных структур с более узкими слоями Ge (которые являются квантовыми ямами для 3L электронов), что связано в первую очередь с меньшей величиной упругой деформации слоев.

2. В гетероструктурах Ge/GeSi с различной шириной слоев Ge (квантовых ям для дырок) 120—800 А исследованы спектры ЦР дырок в квантующих магнитных полях (йшс»кТ) при оптическом межзонном возбуждении носителей. В спектрах наблюдаются две линии ЦР, соответствующие переходам с двух нижних уровней Ландау дырок. Обнаружено, что в образцах с широкими квантовыми ямами (^Ge>300A) энергии переходов нелинейно зависят от магнитного поля, что связано с взаимодействием уровней Ландау первой и вышележащих подзон размерного квантования тяжелых дырок. В образце Ge/GeSi с наиболее широкими квантовыми ямами Ge (dce = 800 А) обнаружено явление межподзонного циклотронного резонанса: в спектрах ЦР наблюдаются линии поглощения, обусловленные переходами носителей с уровней Ландау 1-ой подзоны размерного квантования на уровни Ландау 3-ей и 5-ой подзон. Явление связано с взаимодействием и антипересечением уровней Ландау из разных подзон размерного квантования.

3. Разработан дифференциальный метод наблюдения примесного поглощения в полупроводниковых наноструктурах в терагерцовом диапазоне, основанный на межзонном оптическом возбуждении электронов и дырок и их захвате ионизованными донорами и акцепторами. Достоинством метода применительно к гетероструктурам Ge/GeSi является значительное обужение линий примесного поглощения (по сравнению со спектрами примесной фотопроводимости в тех же образцах) за счет уменьшения флуктуаций потенциала, что позволило обнаружить новые резонансы поглощения, связанные с возбуждением остаточных мелких акцепторов. Впервые исследованы спектры дифференциального магнитопоглощения гетероструктур Ge/GeSi с квантовыми ямами при импульсном межзонном возбуждении носителей. Показано, что релаксация сигнала ЦР и примесного поглощения происходит с двумя характерными временами. Быстрое время (от единиц до нескольких десятков микросекунд) обусловлено рекомбинацией свободных носителей на нейтральных примесях. Медленное время (от сотен микросекунд до нескольких миллисекунд) соответствуют рекомбинации свободных дырок на нейтральных донорах, причем дырки поставляются в валентную зону за счет термической активации с очень мелких акцепторов (с энергией связи порядка 2 мэВ).

4. В спектрах дифференциального магнитопоглощения гетероструктур Ge/GeSi с остаточными примесями в терагерцовом диапазоне частот /= 0,3—1,2ТГц (ha = 1—5 мэВ) обнаружены переходы с основного на возбужденные состояния мелких акцепторов. Для идентификации переходов использовались измерения с временным разрешением при импульсной межзонной подсветке, разогрев носителей постоянным латеральным электрическим полем, измерения при эллиптической (близкой к круговой) поляризации излучения, сопоставление спектрального положения наблюдаемых линий с результатами расчетов энергетических спектров примесей. Показано, что наблюдаемые примесные линии поглощения обусловлены переходами типа Is ->2р+ в очень мелких акцепторах, ионы которых расположены в центре барьерных слоев GeSi и на гетерограницах. Наиболее мелкие обнаруженные состояния связываются с ранее не наблюдавшимися центрами, состоящими из иона акцептора в квантовой яме Ge, захватившего дырку в соседней квантовой яме (энергия связи порядка 1 мэВ). В структурах с широким квантовыми ямами Ge (dGe >= 300 А) для примесей в центре барьера GeSi обнаружены переходы с Is на 2р+ состояния, связанные с уровнями Ландау как из 1-ой, так и из 2-ой подзон размерного квантования тяжелых дырок.

5. В широкой области спектра 0,6—6 эВ исследована положительная и отрицательная остаточная проводимость в гетероструктурах InAs/AlSb с двумерным электронным газом при Т = 4,2 К. Установлено, что отрицательная остаточная фотопроводимость, возникающая при освещении структур видимым светом, обусловлена переносом электронов из квантовой ямы InAs на глубокие уровни поверхностных доноров в покрывающем слое GaSb. Наличие эффектов как отрицательной, так и положительной (наблюдающейся при освещении ИК излучением) остаточной фотопроводимости позволяет обратимым образом в несколько раз изменять концентрацию двумерных электронов.

6. Исследованы спектры ЦР в гетероструктурах InAs/AlSb в широком диапазоне концентраций электронов в квантовых ямах InAs от 2,7-Ю11 до 8-Ю12 см"2. Обнаружено значительное возрастание циклотронной массы от 0,03т0 до 0,06т0, что обусловлено сильной непараболичностью закона дисперсии.

7. В сильных магнитных полях (В > 8Т) в селективно легированных гетероструктурах InAs/AlSb с большой концентрацией электронов ns> 2-Ю12 см" л населяющих как 1-ю, так и 2-ю подзоны размерного квантования, обнаружено сильное расщепление линии ЦР, превышающее расщепление., наблюдаемое в тех же полях в образцах с заполнением только 1-ой подзоны. Показано, что обнаруженное расщепление обусловлено различием энергий переходов между уровнями Ландау в 1-ой и 2-ой подзонах размерного квантования.

В заключение автор считает приятным долгом поблагодарить своего научного руководителя В. И. Гавриленко за интересную тему, постоянное внимание к работе и терпение, помощь в проведении экспериментов и ценные обсуждения полученных результатов. Автор благодарен О. А. Кузнецову за изготовление гетероструктур, необходимых для исследований, В. Я. Алёшкину за многочисленные полезные дискуссии, Д. В. Козлову за предоставление результатов теоретических расчётов и ценные обсуждения, Д.Б.Векслеру, И.В.Ерофеевой, А. В. Антонову за помощь в проведении экспериментов, 10. Н. Дроздову за проведение рентгенодифракционных измерений, Е. А. Усковой за изготовление контактов к образцам, А. Н. Панину за предоставленные источники излучения на основе ЛОВ и помощь при работе с ними. Автор очень признателен Б. А. Андрееву за критику диссертационной работы, приведшую к улучшению последней.

Заключение

1. Mailhiot, С. Smith Long-wavelength infrared detectors based on strained InAs-GaixInxSb type-II superlattices / C. Mailhiot, D. L. Smith // J. Vac. Sci. Technol. A. — 1989. — V. 7. — P. 445-^47.

2. Mohseni, H. Growth and characterization of InAs/GaSb photoconductors for long wavelength infrared range / H. Mohseni, E. Michel, J. Sandoen, M. Razeghi, W. Mitchel, G. Brown // Appl. Phys. Lett. — 1997. — V. 71. — P. 1403—1405.

3. Ohtani, K. InAs/AlSb quantum cascade lasers operating at 10 |im / K. Ohtani, H. Ohno // Appl. Phys. Lett. — 2003. — Vol. 82. — P. 1003—1005.

4. Boos, J.B. 0.2 цт AlSb/InAs HEMTs with 5 V gate breakdown voltage / J. B. Boos, W. Kruppa, D. Park, В. V. Shanabrook, B. R. Bennett // Electronics Letters. — 1994. — Vol., Issue 23. — P. 1983—1984.

5. Bennett, B. R. Modulation InAs(Si) doping of InAs/AlSb quantum wells / B. R. Bennett, M. J. Yang, В. V. Shanabrook, J. B. Boos, D. Park // Appl. Phys. Lett. —1998. — Vol. 72. — P. 1193—1195.

6. Magno, R. Resonant interband tunnel diodes with AlGaSb barriers / R. Magno, A. S. Bracker, B. R. Bennett // Journal of Applied Physics. — 2001. — Vol. 89, Issue 10. —P. 5791—5793.

7. Ganichev, S.D. Experimental Separation of Rashba and Dresselhaus Spin Splittings in Semiconductor Quantum Wells / S. D. Ganichev, V. V. Belkov, L. E. Golub, E. L. Ivchenko, P. Schneider, S. Giglberger, J. Eroms, J. DeBoeck, G.

8. Borghs, W. Wegscheider, D. Weiss, W. Prettl, Phys. Rev. Lett. — 2004. — Vol. 92. —P. 256601.

9. Садовьев, Ю. Г. «Необычная» остаточная фотопроводимость в квантовой яме InAs/AlSb / Ю. Г. Садовьев, A. Ramamoorthy, J. P. Bird, S. R. Johnson, Y.-H. Zhang // ФТП. — 2005. — T. 39 — C. 106—111.

10. R. Driad, Z. H. Lu, S. Charbonneau, W. R. McKinnon, S. Laframboise, P.J. Poole, S. P. McAlister // Appl. Phys. Lett. — 1998. — Vol. 73. — P. 665—667.

11. Орлов, JI. К. Квантовый циклотронный резонанс двумерных дырок в слоях Ge гетероструктуры Ge/GeixSix / JI. К. Орлов, Ж. Леотин, Ф. Янг, Н. Л. Орлова // ФТТ. — 1997. — Т. 39, вып. 11. — С. 2096—2100.

12. Гавриленко В. И. Циклотронный резонанс носителей заряда в напряжённых гетероструктурах Ge/Gei.xSix / В. И. Гавриленко, И. Н. Козлов, О. А. Кузнецов, М. Д. Молдавская, В. В. Никоноров, Л. К. Орлов,

13. A. Л. Чернов // Письма в ЖЭТФ. — 1994. — Т. 59. — С. 327—330.

14. B. В. Никоноров, М. Хелм // Известия Академии наук. Сер. физич. — 1999. — Т. 63. — N. 2. — С. 352—358.

15. Алешкин, В. Я. Мелкие акцепторы в напряженных гетероструктурах Ge/GeixSix / В. Я. Алешкин, В. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева, Д. В. Козлов,

16. А.Кузнецов, М.Д.Молдавская // ФТП. — 1998. — Т.32. — №10. — С. 1240—1245.

17. Aleshkin, V. Ya. Shallow acceptors in Ge/GeSi multi-quantum well heterostructures / V. Ya. Aleshkin, B. A. Andreev, V. I. Gavrilenko,

18. V. Erofeeva, D. V. Kozlov, O. A. Kuznetsov, M. D. Moldavskaya,

19. A. V. Novikov // Physica E. — 2000. — Vol. 7. — P. 608—611.

20. Алешкин, В. Я. Мелкие акцепторы в напряженных гетероструктурах Ge/Ge^xSix с квантовыми ямами / В. Я. Алешкин, Б. А. Андреев,

21. B. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева, Д. В. Козлов, О. А. Кузнецов // ФТП. — 2000. — Т. 34, вып. 5. — С. 582—587.

22. Yang, М. J. Far-infrared spectroscopy in strained AlSb/InAs/AlSb quantum wells / M.J.Yang, P. J. Lin-Chung, R. J. Wagner, J.R. Waterman W.J.Moore, В. V. Shanabrook // Semicond. Sci. Technol. — 1993. — Vol. 8. — P. S129—S131.

23. Gauer, C. Energy-dependant cyclotron mass in InAs/AlSb quantum wells /

24. C. Gauer, J. Scriba, A. Wixforth, J. P. Kotthaus, C. R. Bolognesi, C. Nguyen,

25. B. Brar, H. Kroemer // Semicond. Sci. Technol. — 1994. — Vol. 9. — P. 1580— 1583.

26. Yang, M. J. Enchancement of cyclotron mass in semiconductor quantum well / M. J. Yang, P. J. Lin-Chung, В. V. Shanabrook, J. R. Waterman, R. J. Wagner, W. J. Moore // Phys. Rev. B. — 1993 — Vol. 47 — P. 1691—1694.

27. Gauer, Ch. Photoconductivity in AlSb/InAs quantum wells / Ch. Gauer J. Scriba, A. Wixforth, J. P. Kotthaus, C. Nguyen, G. Tuttle, J. H. English, H. Kroemer // Semicond. Sci. Technol. — 1993. — Vol. 8. — P. S137—S140.

28. Yang, M. J. Spin-resolved cyclotron resonance in InAs quantum wells: A study of the energy-dependent g factor / M. J. Yang, R. J. Wagner, В. V. Shanabrook, J. R. Waterman, W. J. Moore. // Phys. Rev. B. — 1993. — Vol. 47. — P. 6807—6810.

29. Scriba, J. The effect of Landau quantization on cyclotron resonance in a non-parabolic quantum wells / J. Scriba, A. Wixforth, J. P. Kotthaus, C. R. Bolognesi,

30. C. Nguyen, G. Tuttle, J. H. English, H. Kroemer // Semicond. Sci. Technol. — 1993. — Vol. 8. — P. S133— S136.

31. Kasper, E Group IV Compounds / E. Kasper, F. Schaffler // Semiconductors and Semimetals, Boston: Academic Press, 1991. — Vol. 33. — P. 233—307.

32. Кузнецов, О. А. Сверхрешетки Ge/Gei.xSix, выращенные газовым гидридным методом / О. А. Кузнецов, JI. К. Орлов, Ю. Н. Дроздов, A. JI. Чернов, В. М. Воротынцев, М. Г. Мильвидский, В. И. Вдовин, Р. Карлес, Г. Ланда // ФТП. — 1993. — Т. 27. — С. 1591—1599.

33. Tersoff, J. Competing relaxation mechanisms in strained layers / J. Tersoff,

34. F. K. LeGoues //Phys. Rev. Lett. — 1994. — Vol. 72. — P. 3570—3573.

35. Бир, Г. Л. Симметрия и деформационные эффекты в полупроводниках / Г. Л. Бир, Г. Е. Пикус. — М.: Наука. — 1972. — 584 с.

36. Sticker, J.J. Quantum Effects in Ge and Si. I / J. J. Sticker, H. J. Zeiger,

37. G. S. Heller // Phys. Rev. — 1962. — Vol. 127. — P. 1077—1084.

38. Suzuki, K. Quantum resonance in the valence bands of germanium / K. Suzuki, J. C. Hensel // Phys. Rev. — 1974. — Vol. 9. — P. 4184—4257.

39. Van de Walle, C. G. Theoretical calculation of heterojunction discontinuities in the Si/Ge system / C. G.Van de Walle, R. M. Martin. // Phys. Rev B. — 1986. — Vol. 34. —P. 5621—5634.

40. Алешкин, В. Я. Спектры электронов и дырок и правила отбора для оптических переходов в гетероструктуре Gei.xSix/Ge / В. Я Алешкин,

41. H. А. Бекин // ФТП. — 1997. — Т. 31. — С. 171—178.

42. Дьяконов М. И. Размерное квантование дырок в полупроводнике со сложной валентной зоной и носителей в бесщелевом полупроводнике / М. И. Дьяконов, А. В. Хаецкий // ЖЭТФ. — 1982. — Т. 82. — С. 1584—1590.

43. Молдавская, М. Д. Субмиллиметровая спектроскопия носителей заряда в напряжённых гетероструктурах Ge/GeSi: Диссертация на соискание степени кандидата физ.-мат. наук: 05.27.01 / М. Д. Молдавская. — Н. Новгород, 2000. —165 с.

44. Dresselhaus, G. Cyclotron resonance of electrons and holes in silicon and germanium crystals / G. Dresselhaus, A. F. Kip, C. Kittel // Phys. Rev. — 1955.1. Vol. 98. —P. 368—384.

45. Stern, F Properties of semiconductor surface inversion layers in the electric quantum limit / F. Stern, W. E. Howard // Phys. Rev. — 1967. — Vol. 163. — P. 816—835.

46. Engelhardt, С. M. High mobility 2D hole gases in strained Ge channels on Si substrates studied by magnetotransport and cyclotron resonance /

47. C. M. Engelhardt, D. Tobben, M. Ashauer et al. // Solid State Electron. — 1994.1. Vol.37. —P. 949—952.

48. Winkler, R. Theory for cyclotron resonance of holes in strained asymmetric Ge/SiGe quantum wells / R. Winkler, M. Merkler, T. Darnhofer, U. Rossler // Phys. Rev. B. —1996. — Vol. 53. — P. 10858—10864.

49. Aleshkin, V. Ya. Cyclotron resonance of two-dimensional holes in strained multi-quantum-well Ge/GeSi heterostructures / V. Ya. Aleshkin, V. L. Vaks,

50. D. B. Veksler, V. I. Gavrilenko, I. V. Erofeeva, O. A. Kuznetsov, M. D. Moldavskaya // Terahertz Spectroscopy and Applications II: Proc. of the1.t. Conf., Munich, Germany. — Proceedings of SPIE, 1999.-Vol. 3828. —1. P. 342—346.

51. В. А. Боженкин. Получение и исследование нелегированных эпитаксиальных слоев германия: Дипломная работа / Боженкин В. А. // Нижний Новгород, ННГУ, 1993. —45 с.

52. Орлов, JI. К Энергетические диаграммы и электрические характеристики сверхрешёток Ge/Gei.xSix с напряженными слоями / JI. К. Орлов, О. А. Кузнецов, Ю. Н. Дроздов, Р. А. Рубцова, Ю. А. Романов, A. JI. Чернов. //ФТТ,— 1990. —Т. 32, —С. 1933—1940.

53. Орлов, JI. К Холл-эффект и особенности зонной структуры селективно легированных сверхрешёток Ge-GetxSix / JI. К. Орлов, О. А. Кузнецов, Р. А. Рубцова, A. JI. Чернов, В. И. Гавриленко, О. А. Миронов,

54. B. В. Никоноров, И. Ю. Скрылёв, С. В. Чистяков // ЖЭТФ. — 1990. — Т. 98 — С. 1028—1034.

55. Калугин, Н. Г. Наблюдение 20-экситонной люминесценции в слоях германия периодических гетероструктур Ge-Gei.xSix / Н. Г. Калугин, Л.К.Орлов, О. А.Кузнецов // Письма в ЖЭТФ. — 1993. — Т. 58. —1. C. 197—201.

56. Калугин, H. Г. Исследование спектров экситонной люминесценции гетероструктур Ge/Gei.xSix со слоями нанометровой толщины: Диссертация на соискание степени кандидата физ.-мат. наук: 05.27.01/ Н. Г. Калугин. — Нижний Новгород, 1997. — 152 с.

57. Кузнецов, О. А. Квантовый эффект Холла на дырках в напряженных сверхрешётках Ge-Gei.xSix / О. А. Кузнецов, Л. К. Орлов, Р. А. Рубцова,

58. A. Л. Чернов, Ю. Г. Арапов, Н. А. Городилов, Г. Л. Штрапенин // Письма в ЖЭТФ. — 1991. — Т. 54. — С. 351—353.

59. Арапов, Ю. Г. Спиновое расщепление осцилляций магнитосопротивления и квантовый эффект Холла в сверхрешётках Ge-GeixSix в наклонном магнитном поле / Ю. Г. Арапов, Н. А. Городилов, О. А. Кузнецов,

60. B. В. Неверов, Л. К. Орлов, Р. А. Рубцова, Г. И. Харус, А. Л. Чернов, Н. Г. Шелушинина // Письма в ЖЭТФ. — 1994. — Т. 59. — С. 227—230.

61. Abstreiter, G. Cyclotron resonance of electrons in surface space-charge layers on silicon / G. Abstreiter, J. P. Cotthaus, J. F. Koch, G. Dorda // Phys. Rev. B. — 1975. —Vol. 14. —P. 2480—2493.

62. Rieger, M. M. Electronic-band parameters in strained Si^Ge* alloys on Si^Ge^ substrates / M. M. Rieger, V. Vogl // Phys. Rev. B. — 1993. — Vol. 48. — P. 14276—14287.

63. Dresselhaus, G. Cyclotron Resonance in Ge-Si Alloys / G. Dresselhaus, A. F. Kip, Han-Ying Ku, G. Wagoner // Phys. Rev. — 1955. — Vol. 100. — P. 1218—1219.

64. Erginsoy, C. Neutral Impurity Scattering in Semiconductors / C. Erginsoy // Phys. Rev. —1950.—Vol. 79. —P. 1013—1014.

65. Конуэлл, Э. Кинетические свойства полупроводников в сильных электрических полях / Э. Конуэлл. — М.: Мир, 1977 — 384 с.

66. Glickman, М. Mobility of Electrons in Germanium-Silicon Alloys / M. Glickman //Phys. Rev. — 1958 — Vol. 111. —P. 125—128.

67. Nordheim, L The electron theory of metals / L. Nordheim // Ann. Physik. — 1931.1. Vol. 9. —P. 607—641.

68. Bastard, G. Hydrogenic impurity states in a quantum well: a simple model / G. Bastard // Phys. Rev. B. — 1981 — Vol. 24. — P. 4714—4722.

69. Mailhiot, С. Energy spectra of donors in GaAs-AlGaAs quantum well structures in effective-mass approximation / C. Mailhiot, Y.-C. Chang, T. G. McGill // Phys. Rev. B. — 1982. — Vol. 26 — P. 4449—4457.

70. Greene, R. L. Energy levels of hydrogenic impurity states in GaAs-AlGaAs quantum well structures / R. L. Greene, К. K. Bajaj // Solid State Commun. — 1983. — Vol. 45. — P. 825—829.

71. Greene, R. L. Effect of magnetic field on the energy levels of a hydrogenic impurity center in GaAs-AlGaAs quantum-well structures / R. L. Greene, К. K. Bajaj //Phys. Rev. B. — 1985. — Vol. 31. — P. 913—918.

72. Chen. R Excited states of hydrogenic impurities quantum wells in magnetic field / R. Chen, J. P. Cheng, D. L. Lin, B. McCombe, T. George // J. Condens. Matter. — 1995. —Vol. 7. — P. 3577—3590.

73. Latge, A. Donor \s->2p± transitions in doped GaAs-AlGaAs quantum wells: effects of electric and magnetic fields / A. Latge, N. Porras-Montenegro, L. E. Oliveira // Phys. Rev. B. — 1995. — Vol. 51. — P. 2259—2263.

74. Latge, A. Effects of external fields on the far-infrared \s->2p± intradonor absorption spectra in quantum wells / A. Latge, N. Porras-Montenegro, L. E. Oliveira // J. Appl. Phys. — 1996. — Vol. 80. — P. 1—4.

75. Masselink, T. Acceptor spectra of AlxGai.xAs-GaAs quantum wells in external fields: Electric, magnetic, and uniaxial stress / T. Masselink, Y.-C. Chang, H. Morkoc // Phys. Rev. B. —1985. — Vol.32. — P. 5190—5201.

76. Pasquarello, A. Binding energies of excited shallow acceptor states in GaAs-AlGaAs quantum wells / A. Pasquarello, L. C. Andreani, R. Buczko // Phys. Rev. B. — 1989. — Vol. 40. — P. 5602—5612.

77. Fraizzoli, S. Binding energies of ground and excited shallow acceptors in GaAs-AlGaAs quantum wells / S. Fraizzoli, A. Pasquarello // Phys. Rev. B. — 1990. — Vol. 42, —P. 5349—5352.

78. Einevoll, G. T. Effective bond-orbital model for shallow acceptors in GaAs-AlGaAs quantum wells and superlattices / G. T. Einevoll, Y.-C. Chang // Phys. Rev. B. — 1990. — Vol. 41. — P. 1447—1460.

79. Loehr, J. P. Effect of biaxial strain on acceptor-level energies in InGaAs/AlGaAs (on GaAs) quantum wells / J. P. Loehr, J. Singh // Phys. Rev. B. — 1990. — Vol.41. —P. 3695—3701.

80. Ramdas, А. К. Spectroscopy of solid-state analogues of H atom / A. K. Ramdas and S. Rodriguez//Rep. Prog. Phys. — 1981. — Vol. 44. — P. 1297—1387.

81. Boyle, W. S. Transition to the high field limit in the Zeeman spectra of germanium donors / W.S.Boyle and R. E.Howard // J. Phys. Chem. Solids. — 1961. — Vol. 19. —P. 181—188.

82. Nisida, Y. Shallow donor levels in germanium in an intermediate magnetic field / Y. Nisida, K. Horii // Phys. Soc. Japan. — 1971. — Vol. 31. — P. 776—782.

83. Nisida, Y. Zeeman spectra of arsenic and antimony in germanium in an intermediate magnetic field / Y. Nisida, K. Horii // Phys. Soc. Japan. — 1971. — Vol.31. —P. 783—791.

84. Narita, S. Shallow donor states in high purity GaAs in magnetic field / S. Narita, M. Miyao // Solid State Commun. — 1971. — Vol. 9. — P. 2161—2165.

85. Гершензон, E. M. Энергетический спектр доноров в GaAs и Ge и влияние на него магнитного поля / Е. М. Гершензон, Г. Н. Гольцман, А. И. Елантьев // ЖЭТФ. — 1977. — Т. 72. — С. 1062—1079.

86. Reuszer, J. Н. Excitation spectrum of arsenic impurity in germanium under uniaxial compression / J. H. Reuszer, P. Fisher // Phys. Rev. — 1965. — Vol. 140.1. P. A245—A251.

87. Reuszer, J. H. Excitation spectra of arsenic impurities in germanium under uniaxial compression / J. H. Reuszer, P. Fisher // Phys. Rev. — 1968. — Vol. 165.1. P. 909—916.

88. Dickey, D. H. Excitation spectra of group III impurities in germanium under uniaxial stress / D. H. Dickey, J. O. Dimmock // J. Phys. Chem. Solids. — 1967.1. Vol. 28. —P. 529—542.

89. Jones, R. L. Spectroscopic study of the deformation-potential constants of group III acceptors in germanium / R. L. Jones and P. Fisher // Phys. Rev. B. — 1970. — Vol. 2. —P. 2016—2029.

90. Kazanskii, A. G. Photoionization of acceptors in uniaxially stressed germanium / A. G. Kazanskii, R. L. Richards, E. E. Haller // Solid State Commun. — 1977. — Vol. 24, —P. 603—606.

91. Semiconductors and semimetals / ed. by R. K. Willardson, A. C. Beer. — New York: Academic Press, 1977. — Vol. 12.

92. Haller, E. E. Advanced far-infrared detectors / E. E. Haller // Infrared Phys. Technol. — 1994. — Vol. 35. — P. 127—146.

93. Jarosik, N. C. Binding of shallow donor impurities in quantum-well structures / N. C. Jarosik, B. D. McCombe, В. V. Shanabrook, J. Comas, J. Ralston, G. Wicks // Phys. Rev. Lett. — 1985. — Vol. 54. — P. 1283—1286.

94. Reeder, A. A. Effects of confinement on shallow donors and acceptors in GaAs/AlGaAs quantum wells / A. A. Reeder, J.-M. Mercy, B. D. McCombe // IEEE J. Quantum Electon. — 1988. — Vol. 24. — P. 1690—1698.

95. Helm, M. Far-infrared spectroscopy of minibands and confined donors in GaAs/AlxGai.xAs superlattices / M. Helm, F. M. Peeters, F. DeRosa, E. Colas, J. P. Harbison, L. T. Florez // Phys. Rev. B. — 1991. — Vol. 43. — P. 13983— 13991.

96. Mercy, J. M. Photoconductivity of confined donors in GaAs-AlGaAs quantum-wells / J.M.Mercy, N. C. Jarosik, B.D.McCombe, J.Ralston, G. Wicks // J. Vac. Sci. Technol. B. — 1986. — Vol. 4. —P. 1011—1013.

97. Holmes, S. Occupancy of shallow donor impurities in quasi-two-dimensional systems: D° and D" states / S. Holmes, J.-P. Cheng, B. D. McCombe, W. Schaff// Phys. Rev. Lett. — 1992. — Vol. 69. — P. 2571—2574.

98. Knap, W. Magneto-emission from shallow donors in quantum wells / W. Knap, S. Huant, C. Chaubet, B. Etienne // Superlattices and Microstructures. — 1990. — Vol. 8. —P. 313—316.

99. Huant, S. Two-dimensional D* centers / S. Huant, S. P. Najda, B. Etienne // Phys. Rev. Lett. — 1990. — Vol. 65. — P. 1486—1489.

100. Holmes, S. Occupancy of shallow donor impurities in quasi-two dimensional system: D° and D" states / S. Holmes, J.-P. Cheng, B. D. McCombe, W. Schaff// Phys. Rev. Lett. — 1992. — Vol. 69. — P. 2571—2574.

101. Cheng, J.-P. Many-body effects on quasi-two-dimensional shallow-donor impurity states in high magnetic fields / J.-P. Cheng, Y. J. Wang, B. D. McCombe, W. Schaff// Phys. Rev. Lett. — 1993. — Vol. 70. — P. 489—492.

102. Jiang, Z. X. Magnetic-field-induced unbinding of the off-well-center D" singlet state in GaAs/AlGaAs multiple quantum wells / Z. X. Jiang, B. D. McCombe, J.-L. Zhu, W. Schaff// Phys. Rev. B. — 1997. — Vol. 56. — P. R1692—R1695.

103. Roth, A. P. Binding energy of shallow acceptors in InGaAs/GaAs strained quantum wells / A. P. Roth, D. Morris, R. A. Masut, C. Lacelle, J. A. Jackman // Phys. Rev. B. —1988. — Vol. 38. — P. 7877—7880.

104. Holtz, P. O. Spectroscopic study of an acceptor confined in a narrow GaAs/AlGaAs quantum well / P. O. Holtz, M. Sundaram, R. Simes, J. L. Merz, A. C. Gossard, J. P. English // Phys. Rev. B. — 1989. — Vol. 39. — P. 13293— 13301.

105. Holtz, P. O. Electronic structure of a shallow acceptor confined in a GaAs/AlGaAs quantum well / P. O. Holtz, Q. X. Zhao, B. Monemar, M. Sundaram, J. L. Merz, A. C. Gossard//Phys. Rev. B. — 1993. — Vol. 47. — P. 15675—15678.

106. Reeder, A. A. Far-infrared study of confinement effects on acceptors in GaAs/AlGaAs quantum wells / A. A. Reeder, B. D. McCombe, F. A. Chambers, G. P. Devane // Phys. Rev. B. —1988. — Vol. 38. — P. 4318—14321.

107. Ерофеева, И. В. Субмиллиметровая фотопроводимость в низкоразмерных полупроводниковых гетероструктурах: Диссертация на соискание степени кандидата физ.-мат. наук: 05.27.01 / И. В. Ерофеева. — Нижний Новгород, 2006. — 138 с.

108. Быкова, Е. М. / Е. М. Быкова, Т. М. Лифшиц, В. И. Сидоров // ФТП. — 1973.1. Т. 7,№ 5. — С. 986—.

109. Aleshkin, V. Ya. Effect of magnetic field quantization on the shallow acceptor spectrum in strained Ge/GeSi heterostructures / V. Ya. Aleshkin, V. I. Gavrilenko, D. B. Veksler, L. Reggiani // Phys. Rev. B. — 2002. — Vol. 66. — P. 155336— 155347.

110. Мешков, С. В. / С. В. Мешков, Э. И. Рашба // ЖЭТФ. — 1979. — Т. 76. — С. 2206—2215.

111. Tuttle, G Electron concentrations and mobilities in AlSb/InAs/AlSb quantum wells / G. Tuttle, H. Kroemer, J.H. English // J. Appl. Phys. — 1989. — Vol. 65.1. P. 5239—5242.

112. Nguyen, С. Growth of InAs/AlSb quantum wells having both high mobilities and sheet densities / C. Nguyen, B. Brar, C. R. Bolognesi, J. J. Pekarik, H. Kroemer, J. H. English // J. Electron. Mater. — 1993. — Vol. 22. — P. 255—258.

113. Grundler, D. Spintronics / D. Grundler // Phys. World. — 2002. — Vol. 15. — P. 39.

114. Nguyen C. Surface donor contribution to electron sheet concentrations in not-intentionally doped InAs-AlSb quantum wells / C. Nguyen, B. Brar, H. Kroemer, J. H. English // Appl. Phys. Lett. — 1992. — Vol. 60. — P. 1854—1856.

115. Idenshita S. Electron accumulation in AlGaSb/InAs/AlGaSb quantum well system / S. Idenshita, A. Furukawa, Y. Mochizuki, M. Mizuta // Appl. Phys. Lett. —1992. — Vol. 60. — P. 2549—2551.

116. Dow, J.D. Impurities in type-II-staggered InAs/ASb superlattices // J.D.Dow, J.Shen, S.Y. Ren // Superlattices and Microstructures. — 1993. — Vol. 13. — P. 405—412.

117. Chadi, D. J. Electron accumulation at undoped AlSb-InAs quantum wells: Theory / D. J. Chadi // Phys.Rev. B. — 1993. — Vol. 47. — P. —13478—13484.

118. Tuttle, G. Effects of interface layer sequencing on the transport properties of InAs/AlSb quantum wells: Evidence for antisite donors at the InAs/AlSb interface / G. Tuttle, H. Kroemer, J.H. English // J. Appl. Phys. — 1990. — Vol. 67. — P. 3032—3037.

119. Furukawa, A. Origin of deep donors in AlSb grown by molecular beam epitaxy / A. Furukawa, S. Idenshita // Journal of Applied Physics. — 1994. — Vol. 75. — P. 5012—5015.

120. Nguyen, C. Surface-layer modulation of electron concentrations in InAs-AlSb quantum wells / C. Nguyen, B. Brar, H. Kroemer // J. Vac. Sci. Technol. B. —1993. —Vol. 11. —P. 1706—1909.

121. Tsai, L. C. Persistent photoconductivity in SiGe/Si quantum wells / L. C. Tsai, C. F. Huang, J. C. Fan, Y. H. Chang, Y. F. Chen, W. C. Tsai, C. Y. Chang // Journal of Applied Physics. — 1998. — Vol. 84, Issue 2. — P. 877—880.

122. Jiang, H. X. Persistent photoconductivity and related critical phenomena in Zno.3Cdo.7Se / H. X. Jiang, J. Y. Lin // Phys. Rev. B. — 1989. — Vol. 40. — P. 10025—10028.

123. Chen, H. M. Persistent photoconductivity in n-type GaN / H. M. Chen, Y. F. Chen, M. C. Lee, M. S. Feng // Journal of Applied Physics. — 1997. — Vol. 82, Issue 2, —P. 899—901.

124. Kirilyuk, A. I. / A. I. Kirilyuk, N. M. Kreines, V. I. Kudinov // JEPT Lett. — 1990. — Vol. 52. — P. 49—51.

125. Шейкман M. К. / M. К. Шейкман, А. Я. Шик // ФТП. — 1976. — Vol. 10. — P. 208—217.

126. Stormer H. L. Two-dimensional electron gas at a semiconductor-semiconductor interface / H. L. Stormer, R. Dingle, A. C. Gossard, W. Wiegmann, M. D. Sturge // Solid State Communications. — 1979. — Vol. 29, Issue 10. — P. 705—709.

127. Lang D. V. Trapping characteristics and a donor-complex (DX) model for the persistent-photoconductivity trapping center in Te-doped AlxGai.xAs / D. V. Lang, R. A. Logan, M. Jaros // Phys. Rev. B. — 1979. — Vol. 19. — P. 1015—1030.

128. Mooney, P. M. Deep donor levels (DX centers) in III-V semiconductors / P. M. Mooney // Journal of Applied Physics. — 1990. — Vol. 67, Issue 3. — P. R1—R26.

129. Kastalsky, A Study of persistent photoconductivity effect in n-type selectively doped AlGaAs/GaAs heterojunction / A. Kastalsky, J. С. M. Hwang // Solid State Communications. — 1984. — Vol. 51, Issue 5. — P. 317—322.

130. Shen, J. Observation of negative persistent photoconductivity in an n-channel GaAs/AlxGaixAs single heterojunction / J. Shen, С. H. Yang, R. A. Wilson, M. J. Yang // Applied Physics Letters. —1992. — Vol. 60 — P. 2113—2115.

131. Chaves, A. S. Negative photoconductivity in semiconductor heterostructures / A. S. Chaves, H. Chacham // Applied Physics Letters. — 1995. — Vol. 66. — P. 727—729.

132. Shen, J. Tamm states and donors at InAs/AlSb interfaces / J. Shen, H. Goronkin, J. D. Dow, S. Y. Ren // J. Appl. Phys. — 1995. — Vol. 77. — P. 1576—1581.

133. Sadofyev Yu. G. Large g-factor enhancement in high-mobility InAs/AlSb quantum wells / Yu. G. Sadofyev, A. Ramamoorthy, B. Naser, J. P. Bird, S. R. Jonson, Y.-H. Zhang // Appl. Phys. Lett. — 2002. — Vol. 81. — P. 1833— 1835.

134. Alibert, C. Modulation-spectroscopy study of the GaixAlxSb band structure / C. Alibert, A. Joullie, A. M. Joullie, C. Ance // Phys. Rev. B. — 1983. — Vol. 27.1. P. 4946—4954.

135. Vufgaftman, I. Band parameters for III—V compound semiconductors and their alloys / I. Vufgaftman, J. R. Meyer, L. R. Ram-Mohan. // J. Appl. Phys. — 2001.

136. Vol. 89. — N. 11. — P. 5815—5875.

137. Shaw, R. W. Intrinsic Oscillatory Photoconductivity and the Band Structure of GaAs / R. W. Shaw // Phys. Rev. B. — 1971. — Vol. 3. — P. 3283—3287.

138. Nakagawa, A. Deep levels in Te-doped AlSb grown by molecular beam epitaxy / A.Nakagawa, J.J.Pekarik, H.Kroemer, J.H.English // Appl. Phys. Lett. — 1990. —Vol. 57.—N. 15. —P. 1551—1553.

139. Cheng, J.-P. Anomalies in the cyclotron resonance of quasi-two-dimensional electrons in silicon at low electron densities / J.-P. Cheng and B. D. McCombe // Phys. Rev. Lett. —1990. — Vol. 64. — P. 3171—3174.

140. Heitmann, D. Cyclotron-resonance oscillations in InAs quantum wells / D. Heitmann, M. Ziesmann, L. L. Chang // Phys. Rev. B. — 1986. — Vol. 34. — P. 7463—7466.

141. Thiele, F. Cyclotron masses in n-GaAs/Ga!-xAlxAs heterojunctions / F. Thiele, U. Merkt, J. P. Kotthaus, G. Lommer, F. Malcher, U. Rossler, G. Weimann, // Solid State Commun. —1987. — Vol. 62. — P. 841—844.

142. Ensslin, K. Cyclotron resonance in AlxGai.xAs-GaAs heterostructures with tunable charge density via front gates / K. Ensslin, D. Heitmann, H. Sigg, K. Ploog, // Phys. Rev. B. —1987. — Vol. 36. — P. 8177—8180.

143. Chou, M. J. Cyclotron resonance of high-mobility two-dimensional electrons at extremely low densities / M. J. Chou, D. C. Tsui, G. Weimann // Phys. Rev. B. — 1988. — Vol. 37. —P. 848—854.

144. Batke, E. Filling-factor-dependent cyclotron mass in space-charge layers on GaAs / E. Batke, H. L. Stormer, A. C. Gossard, J. H. English // Phys. Rev. B. — 1988. — Vol.37. —P. 3093—3096.

145. Васильев. Ю. Б. Влияние спин-орбитального взаимодействия на циклотронный резонанс двумерных электронов / Ю. Б. Васильев, С. Д. Сучалкин, С. В. Иванов, Б. Я. Мельцер, П. С. Копьев // Письма в ЖЭТФ. — 2004. — Т. 79. — С. 674—677.

146. Бычков, Ю. А. / Ю. А. Бычков, Е. И. Рашба // Письма в ЖЭТФ. —1984. — Т. 39. —С. 66—69.

147. Winkler, R Cyclotron resonance and subband-Landau level coupling in 2D electron and hole gases / R. Winkler // Surface Sci. — 1996. — Vol. 361, 362. — P. 411—414.

148. Shiraki, Y Photoconductivity of silicon inversion layers / Y. Siraki // Journal of Physics C. — 1977. — Vol. 10. — P. 4539^544.

149. Kane, E. O. Band structure of indium antimonide / E. O. Kane // J. Phys. Chem. Solids. — 1957. — Vol. 1. — P. 249—261.

150. Trebin, H.-R. Quantum resonances in the valence bands of zinc-blende semiconductors. I. Theoretical aspects / H.-R. Trebin, U. Rossler, R. Ranvaud // Phys. Rev. B. —1979. — Vol. 20. — P. 686—700.

151. Mayer, H. Spin splitting and anisotropy of cyclotron resonance in the conduction band of GaAs / H. Mayer, U. Rossler // Phys. Rev. B. — 1991. — Vol. 44. — P. 9048—9051.

152. Основные публикации автора по теме диссертации

153. A. В. Иконников, Д. В. Козлов, О. А. Кузнецов // ФТТ. — 2004. — Т. 46, вып. 1, —С. 126—130.

154. A3. Aleshkin, V. Ya. Far IR magnetoabsorption in Ge/GeSi multiple-quantum-well heterostructures / V. Ya. Aleshkin, I. V. Erofeeva, V. I. Gavrilenko, A. V. Ikonnikov, D. V. Kozlov, O. A. Kuznetsov, D. B. Veksler // Physica B. — 2003.

155. Vol. 340—342. — P. 840—843.

156. A4. Алешкин, В. Я. Мелкие акцепторы в гетероструктурах Ge/GeSi с квантовыми ямами в магнитном поле / В. Я. Алешкин, А. В. Антонов, Д. Б. Векслер,

157. B. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева, А. В. Иконников, Д. В. Козлов, О. А. Кузнецов, К. Е. Спирин // ФТТ. — 2005. — Т. 47, вып. 1. — С. 74—79.

158. А7. Aleshkin, V. Ya. THz spectroscopy of extremely shallow acceptors states in Ge/GeSi multiple-quantum-well heterostructures / V. Ya. Aleshkin, I. V.

159. Erofeeva, V. I. Gavrilenko, A. V. Ikonnikov, D. V. Kozlov, O. A. Kuznetsov, D. B. Veksler // Acta Physica Polonica A. — 2005. — Vol. 107. — P. 137—141.

160. A10. Алешкин, В. Я. Субмиллиметровое примесное магнитопоглощение в гетероструктурах Ge/GeSi с квантовыми ямами / В. Я. Алешкин, А. В. Антонов, Д. Б. Векслер, В. И. Гавриленко, И. В. Ерофеева,

161. A. В. Иконников, Д. В. Козлов // Нанофотоника: Материалы всероссийского совещания, Нижний Новгород, Россия, 17—20 марта 2003. — Нижний Новгород: ИФМ РАН, 2003. — Т. 2. — С. 248—251.

162. A13. Алешкин, В. Я. Межподзонный ЦР дырок в напряженных гетероструктурах Ge/GeSi с толстыми слоями Ge и ЦР lL-элекгронов в слоях GeSi/

163. A19. Aleshkin, V. Ya. Very shallow acceptor states in Ge/GeSi QW heterostructures: A+-centers and "barrier spaced" A°-centers / V. Ya. Aleshkin, I. V. Erofeeva, V. I. Gavrilenko, A. V. Ikonnikov, D. V. Kozlov, O. A. Kuznetsov D. B. Veksler //

164. Nanostructures: Physics and technologies: Proc. 12th Int. Symp., St. Petersburg, June 21—25,2004. — St. Petersburg: Ioffe Institute, 2004. — P. 302—303.

165. А26. Алешкин, В. Я. Природа отрицательной остаточной фотопроводимости в гетероструктурах InAs/AlSb с квантовыми ямами / В. Я. Алешкин,

166. В. И. Гавриленко, А. В. Иконников и др. // Нанофизика и наноэлектроника: Материалы всероссийского симпозиума, Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2005. — Нижний Новгород: ИФМ РАН 2005. — С. 433—434.

167. A30. Ikonnikov, A. V. Cyclotron resonance study of InAs/AlSb QW heterostructures /

168. A. V. Ikonnikov, V. I. Gavrilenko, Yu. G. Sadofyev et al. // Narrow Gap Semiconductors: Abstr. of 12th Int. Conf. Toulouse, France, July 3—7,2005. — P. 101.

169. A31. Гавриленко, В. И. Положительная и отрицательная остаточная фотопроводимость в гетероструктурах InAs/AlSb с квантовыми ямами /

170. B. И. Гавриленко, А. В. Иконников, К. В. Маремьянин и др. // VII Росс, конф. по физике полупроводников: Тез. докл., Звенигород, Россия, 18—23 сентября 2005. — М.: ФИАН. — С. 99.

171. А34. Антонов, А. В. Терагерцовое излучение из квантовых ям InAs/AlSb / А. В. Антонов, В. И. Гавриленко, А. В. Иконников и др. // VII Росс. конф. по физике полупроводников: Тез. докл., Звенигород, Россия, 18—23 сентября 2005. — М.: ФИАН. — С.230.

172. А36. Ikonnikov, А. V. A+-centers and "barrier-spaced" A°-centers in Ge/GeSi MQW heterostructures / A. V. Ikonnikov, I. V. Erofeeva, D. V. Kozlov et al. // AIP Conf. Proc. — 2005. — Vol. 772. — P. 947—948.

173. A37. Ikonnikov, A. V. Intersubband hole cyclotron resonance in strained Ge/GeSi MQW heterostructures / A. V. Ikonnikov, I. V. Erofeeva, D. V. Kozlov et al. // AIP Conf. Proc. — 2005. — Vol. 772. — P. 949—950.

174. A38. Ikonnikov, A. V. Cyclotron resonance study of doped and undoped InAs/AlSb QW heterostructures / A. V. Ikonnikov, V. Ya. Aleshkin, V. I. Gavrilenko et al. // AIP Conf. Proc. — 2005. — Vol. 772. — P. 1214—1215.