автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.13, диссертация на тему:Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. Влажность воздуха и качество изделий микроэлектроники

1.Г Влияние влажность воздуха на технологические процессы в чистых производственных помещениях. Постановка задачи исследования

1.2.Влияние качества воздущной среды ЧПП на качество изделий микроэлектроники

1.3. Характеристики атмосферных аэрозолей 17 Выводы

ГЛАВА 2. Теоретические основы конденсационного роста аэрозольных частиц (гетерогенная конденсация)

2.1. Теория конденсационного роста аэрозольных частиц в условиях насыщения

2.2. Конденсационный рост аэрозолей при влажности воздуха менее 100%

2.3. Влияние влажности на микроструктуру аэрозольных частиц

2.4. Конденсационно-коагуляционный механизм укрупнения аэрозольных частиц

2.5. Пульсационный механизм конденсационного укрупнения аэрозолей

Выводы

ГЛАВА 3. Исследование конденсационного роста частиц атмосферного аэрозоля в чистых производственных помещениях

3.1. Тепловлажностная обработка воздуха в чистых помещениях

3.2. Влияние финишных фильтров на качество воздуха в ЧПП

3.3. Качественный и количественный состав атмосферного аэрозоля в чистых помещениях

3.4. Экспериментальное исследование конденсационного роста частиц в чистых производственных помещениях

Выводы

ГЛАВА 4. Моделирование тепловлажностных процессов в чистых помещениях

4.1. Математическое описание процессов тепломассопереноса.

4.2. Метод конечных элементов для решения задачи тепломассопереноса

4.3. Матричная форма уравнения для скоростей и давления

4.4. Матричная запись уравнений для температуры и относительного парциального давления

4.5. Построение глобальной матрицы области и решение системы уравнений

Выводы

РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И ОБЩИЕ ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

Актуальность проблемы. Настоящее время характеризуется заметным оживлением деловой активность в области высоких технологий и, в частности , в электронной промышленности. Проводятся исследования, направленные на достижение более высокой степени интеграции схем, увеличения размеров кристаллов, повышения выхода годных изделий, внедрение полной автоматизации в процессы обработки и транспортировки изделий.

Повышение степени интеграции БИС и СБИС сопровождается усилением влияния условий производственной среды - температуры, влажности, чистоты воздуха - на качество и надежность микросхем.

В полупроводниковом производстве среди всех включаемых в него процессов обработки пластин наиболее жесткого контроля требует чистота воздушной среды в производственном помещении. Существует соответствие между минимальной шириной линии и допустимыми значениями диаметра загрязняющих частиц. Обычно контролируемый диаметр частицы устанавливается в 10 раз меньше минимальной ширины линии. В ближайшем будущем потребуется обеспечить следующие значения параметров контроля среды: допустимый размер загрязняющих частиц - 0.05 - 0.1 мкм; концентрация загрязняющих частиц - 350 м"А; точность поддержания температуры - 0.05 - 0.01 °С; точность поддержания относительной влажности среды - 3%.

Поскольку основной вклад в загрязнение среды в чистом производственном помещении (ЧПП) приходится на долю оператора и технологического оборудования, наблюдается тенденция перехода к локальным чистым объемам, свободным от присутствия человека. При этом основным загрязнителем воздуха становится атмосферный аэрозоль, пропущенный фильтром высокой очистки, то есть субмикронная фракция этого аэрозоля.

Поэтому актуальной становится проблема изучения влияния физических и химических свойств этого аэрозоля, его взаимодействия с водяным паром на качество воздушной среды в ЧПП. Известно, что основным фактором трансформации атмосферного аэрозоля является степень содержания в воздухе влаги. В работах некоторых авторов указывается, что при колебаниях относительной влажности в ЧПП наблюдается увеличение счетной концентрации аэрозольных частиц субмикронных фракций, но объяснения этому факту не дается.

Целью настоящей работы является теоретическое и экспериментальное обоснование факта конденсационного роста субмикронных частиц атмосферного аэрозоля в чистых помещениях, выявление связи между счетной концентрацией частиц и изменением относительной влажности.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Дано теоретическое обоснование механизма конденсационного роста аэрозольных частиц в условиях чистого помещения при колебаниях относительной влажности среды.

2. Впервые проведено подробное исследование структуры, распределения, физических и химических свойств атмосферного аэрозоля в чистом помещении как возможного источника загрязнения воздушной среды в ЧПП

3. Создана и реализована математическая и компьютерная модель распределения тепловлажностных полей в чистом помещении и связанных с этим условий конденсационного роста частиц.

Практическая значимость работы заключается в следующем:

1. На основании изучения условий протекания технологических процессов в чистых помещениях получена экспериментальная зависимость изменения счетной концентрации частиц субмикронной фракции аэрозоля при колебаниях относительной влажности.

2. Экспериментальные зависимости, связывающие изменение счетной концентрации аэрозольных частиц с величиной колебания относительной влажности, позволили создать методику назначения допустимых колебаний относительной влажности с учетом начального уровня частиц в помещении таким образом, чтобы общий уровень частиц не превосходил допускаемый технической документацией.

3. Созданное программное обеспечение для моделирования внутренней среды ЧПП позволяет прогнозировать техноэкологическую обстановку в пространстве, где проводятся технологические процессы.

Достоверность результатов:

Теоретические исследования проведены с использованием работ по физике атмосферы Юнге X., Мэйсона Б., Кондратьева К., Ивлева Л., работ по механике аэрозолей Фукса Н., Каннингхема, работ по механике жидкостей и газов Лойцянского и др.

Экспериментальные исследования проведены в производственных условиях с использованием современного контрольно-измерительного оборудования.

Достоверность достигнутых результатов подтверждена экспериментальной проверкой, а также сравнением с данными зарубежных исследований.

Результаты работы оформлены в виде методических материалов и пакета программ, используются в учебном процессе МГИЭТ и предложены для использования на предприятии ГНЦ "Технологический центр".

На защиту выносятся следующие положения:

1. Теоретическое обоснование концепции конденсационного укрупнения аэрозольных частиц в чистых помещениях при изменении относительной влажности воздуха.

2. Результаты экспериментальной проверюи изменения счетной концентрации аэрозольных частиц в производственных помещениях при изменении влажности.

3. Реализованная на ЭВМ модель внутренней среды чистого помещения.

4. Практические рекомендации по влагостабилизации воздущной среды и повыщению ее качества. 7

Апробация работы.

Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на шести межвузовских и Всероссийских научно-технических конференциях студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика" в 1995 - 2000 г.

Публикации:

Основные положения диссертации опубликованы в И работах, в том числе в 2 статьях.

Работа состоит из введения, четырех глав и списка использованной литературы.

Работа изложена на 122 страницах текста, содержит 38 рисунков, 8 таблиц и список литературы из 108 наименований.

РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И ОБЩИЕ ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

Проведенные в диссертационной работе исследования позволяют сделать следующие выводы:

1. Повышение степени интеграции СБИС предъявляет все более жесткие требования к обеспечению качества воздушной среды (количество загрязняющих частиц, температура и влажность) в чистых комнатах. Наименее изученным в настоящее время является вопрос о влиянии влажности на качество воздушной среды. В работе впервые показано, что колебания влажности приводят к конденсационным процессам в чистых помещениях и росту счетной концентрации загрязняющих частиц.

2. Переход к чистым локальным объемам, позволяющим исключить загрязнения, привносимые оператором и оборудованием, приводит к тому, что основным источником загрязнения становится атмосферный аэрозоль. В работе проведен подробный анализ свойств атмосферного аэрозоля (распределения по размерам, физического и химического состава отдельных его фракций, особенностей его состава для различных местностей - сельских, индустриальных, а также в разное время года и суток). Показан характер взаимодействия отдельных составляющих аэрозоля с влагой воздуха.

3. Теоретическое исследование процесса конденсационного роста аэрозольных частиц в условиях влажности, далекой от насыщения (20% <Ф< 60%), то есть в том диапазоне, который имеет место в чистых комнатах, показало, что конденсационное укрупнение аэрозольных частиц может происходить в следующих случаях: при переходе водорастворимых частиц в капельное состояние и при слиянии двух частиц вследствие действия конденсационно-коагуляционного механизма укрупнения.

4. Анализ качественного и количественного состава атмосферного аэрозоля в чистых комнатах показал, что атмосферный аэрозоль здесь представлен субмикронной фракцией , которая на 30% состоит из водорастворимого сульфатного аэрозоля. Получена кривая распределения аэрозольных частиц по размерам.

5. Наиболее вероятной причиной конденсационного укрупнения аэрозоля в чистых комнатах является переход в капельное состояние частиц, состоящих из гидросульфата аммония (NH4)HS04 и смеси его с другими растворимыми сульфатами. Этот переход начинается при ф = 39%, а для более мелких частиц - при еще более низкой влажности.

Конденсационно-коагуляционный механизм вследствие малых концентраций аэрозольных частиц может иметь место только в застойных зонах.

6. Экспериментальные исследования, проведенные для частиц размером 0.3 мкм в производственных условиях показали, что при колебании относительной влажности в сторону увеличения происходит рост счетной концентрации аэрозольных частиц, который тем больше, чем выше начальный уровень частиц в помещении.

7. В результате статистической обработки экспериментальных данных получена эмпирическая зависимость, связывающая увеличение счетной концентрации частиц с увеличением относительной влажности. Эта зависимость может быть использована для определения допустимых колебаний влажности с тем, чтобы общий уровень частиц в помещении не превосходил уровень, допускаемый стандартом.

8. Математическое моделирование внутренней среды чистого помещения, проведенное с использованием известной системы дифференциальных уравнений тепломассопереноса, позволяет составить картину распределения скоростей воздуха, температур, относительных парциальных давлений водяного пара в помещении.

9. Решение этой системы дифференциальных уравнений, выполненное с использованием метода Галеркина с конечными элементами, показывает, что состояние внутренней среды помещения может быть источником конденсационного роста аэрозольных частиц.

10. Полученные экспериментальны!! зависимости и разработанные на их основе рекомендации использованы в технологических процессах для нормализации воздушной среды в чистых помещениях ГНЦ

112

Технологический центр" а также в учебном курсе "Основ промышленной экологии" при обучении студентов по специальности 330200.

1. ЗИ С. Технология СБИС. М., Мир, 1986.

2. Введение в фотолитографию. Под ред. Лаврищева Н. М., Энергия, 1974.

3. ХОЛЛЭНД Л. Пленочная микроэлектроника. М., 1968.

4. ГОЛОТО И.Д., ДОКУЧАЕВ Б.Н. Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. М., Энергия, 1975.

5. ЦЫРЛИН А.Д., КЛИМКОВИЧ A.B. Применение метода определения блеска для оценки микропрофиля пленок фоторезиста / Электронная техника, сер.2, 1971, вып.7.

6. HARRIMAN L.G. Solid State Technology, 1983, June.

7. ВОЛКОВ В.A. Сборка и герметизация микроэлектронных устройств. М., Радио и связь, 1982.

8. ТОРИЦУ К. Техника контроля за состоянием среды при изготовлении полупроводниковых приборов и расчет ее параметров / Куку тево-то райто, 1985,т.25,№2.

9. Чистые помещения / Перевод с японского. Под ред. И.Хаякавы. М., Мир, 1990.

10. Ю.ПИЛЬВИНИС Р.П. Аэрозольное загрязнение в производстве ИЭТ. М., Электронная промышленность, 1986, №7.

11. УННО К. Чистые комнаты. Современное состояние и тенденции развития контроля за средой в полупроводниковом производстве / Дэнси дзайре, 1985,т.4,№11.

12. МАРТЫНОВ В.В. Чистые комнаты в произодстве СБИС / Зарубежная электронная техника, 1986, №12.

13. Расчет параметров воздушной среды в ЧПП. Обзоры по электронной технике, сер.7, вып.1 (146), М., ЦНИИ Электроника, 1988.

14. ГРИН X., ЛЕЙН В. Аэрозоли, пыли, дымы , туманы. Л., Гидрометиздат, 1972.

15. СЕЛЕЗНЕВА Е.С. Атмосферные аэрозоли. Л., Гидрометиздат, 1966.

16. РАЙСТ П. Аэрозоли. Введение в теорию. М., Мир, 1987.

17. КЕЙДЛ Р. Твердые частицы в атмосфере и космосе. М., Мир, 1969.

18. КОНДРАТЬЕВ К.Я., МОСКАЛЕНКО Н.И. Атмосферный аэрозоль. Л., Гидрометиздат, 1983.

19. МЭЙС0Н Б. Физика облаков. М., Мир, 1961.

20. ИВЛЕВ Л.С. Химический состав и структура атмосферного аэрозоля. Л., 1982.

21. ЮНГЕ X. Химический состав и радиоактивность атмосферы. М., Мир, 1965.

22. ИСИДОРОВ В.А. Органическая химия атмосферы. Л., Химия, 1985.

23. РАСУЛ С. Химия нижней атмосферы. М., Мир, 1987.

24. БАТЧЕР С, ЧАРЛСОН Р. Введение в химию атмосферы. М., Мир, 1977.

25. ДОВГАЛЮК Е.А., ИВЛЕВЛ.С. Физика водных и других атмосферных аэрозолей. Л., 1977.

26. ПЕТРЕНЧУК О.Н. Экспериментальное исследование атмосферного аэрозоля. Л., 1978.

27. ФУКС Н.А. Механика аэрозолей. М., Издательство АНСССР, 1955.

28. ЛАКТИОНОВ А.Г. Содержание растворимых в воде веществ в частицах атмосферного аэрозоля / Известия АНСССР, ФАО, 1972, т.8, №4.

29. MENG Z., SEINFELD J. On the source of the submicrometer droplet mode of urban and regional aerosols / Aerosols science and technology, v.20, p.253-265, 1994/

30. JUOZAITIS A., ULEVICIUS V., GIRGZDYS A., WILLEKE K. Differentiation of hydrophobic from hydrophilic submicrometer aerosol particles / Aerosol science and technology, v. 18, p.202-212, 1993.

31. СЕДУН0В Ю.С. Физика образования жидкокапельной фазы в атмосфере. Л., Гидрометеоиздат, 1972.

32. МАЗИН И.П. Некоторые вопросы теории облачных ядер конденсации / Метеорология и гидрология, №8, 1980.

33. СМИРНОВ В.И. О равновесных размерах и спектре размеров частиц аэрозоля во влажной атмосфере / Известия АНСССР ФАО, 1978, т. 14, №10.

34. КАЧУРИН Л.Г., МОРАЧЕВСКИЙ В.Т. Кинетика фазовых переходов воды в атмосфере / Издательство ЛГУ, 1965.

35. ФУКС Н.А. Испарение и рост капель в газообразной среде. М., Изд. АНСССР, 1958.

36. СМИРНОВ В.И. Скорость коагуляционного и конденсационного роста частиц аэрозолей / Труды ЦАО, 1969, вып. 91.

37. АЛЕКСАНДРОВ Э.С. Конденационный рост капли раствора / ФАО, 1967, 3, №8.

38. WILLIAMS M.M.R. (1983) I Colloid Interface Sci. 93.

39. ЛАКТИОНОВ А.Г. Равновесная гетерогенная конденсация. Л., Гидрометеоиздат, 1988.

40. ЛАКТИОНОВ А.Г. Конденсационное укрупнение частиц атмосферного аэрозоля / Изв.АНСССР ФАО, 1985, т.21, №6.

41. ЛАКТИОНОВ А.Г. Теория конденсационной трансформации функции распределения частиц атмосферного аэрозоля / Изв.АНСССР ФАО, 1985, т.21, №9.

42. РУСАНОВ А.И. Фазовые равновесия и поверхностные явления. Л., Гидрометиздат, 1967.

43. ЛЕВКОВ Л. Конденсационный процесс на шероховатых поверхностях / ИЗВ.АНСССР, сер.ФАО, 1970, т.4, №8.

44. КРЫСТАНОВ Л., МИЛОШЕВ Г. Об активности конденсационных ядер в естественных условиях и при адсорбции / Доклад БАН научн. сессии. Геофизический институт, София, 1964.

45. JOKINIEMI J. Effect of selected binary and mixed solutions on steam condensation and aerosol behavior in containment / Aerosol science and technology, V. 12, p.891-902,1990.

46. HANEL G. The ratio of the extintion coefficient to the mass of atmospheric aerosols particles as function of the relative humidity / J.Aerosol Sci., 1972, v.3, №6.

47. ЕМИЛЕНКО A.C. Оптические проявления конденсационной трансформации аэрозоля / Дис.ИФА АНСССР, М., 1979.

48. ЛЮБОВЦЕВА E.G. О фотохимической и конденсационной изменчивости субмикронной фракции аэрозоля / Изв.АНСССР, ФАО, т. 14, Ш2, 1978.

49. АНДРЕЕВ С. Д., ИВ ЛЕВ Л.С. Влияние относительной влажности на аэрозольное ослабление оптической радиации в атмосфере / Изв.ВУЗов., Физика, №5, 1974.

50. PILAT M.J., HARLSON R.J. The theoretical and optical investigations / J.Rech.Atmosph., V.2, №2-3, 1966.

51. РОЗЕНБЕРГ Г.В., ГЕОРГИЕВСКИЙ Ю.С. Влажность как фактор изменчивости аэрозоля / Изв.АНСССР, ФАО, т.9, №2, 1973.

52. РОЗЕНБЕРГ Г.В., ГЕОРГИЕВСКИЙ Ю.С. Субмикронная фракция аэрозоля / Изв.АНСССР, ФАО, 1977, т.13, №11.

53. РОЗЕНБЕРГ Г.В., САНДОМИРСКИЙ А.Б. Оптическая стратификация атмосферного аэрозоля / Изв.АНСССР, ФАО, 1971, т.7, №7.

54. NEIBURGER М., WURTELE М. On the nature and size distribution of particles in base, fog, and stratus of the Angeles region / Chem.Rev., 1949.

55. ИВЛЕВ Л.С. Влияние изменения влажности на оптический и микрофизический характер аэрозолей. Л., ЛГУ, Проблемы физики атмосферы, вып. 8.

56. ГРИГОРЬЕВ И.О., ИВЛЕВ Л.С. Экспериментальное исследование процессов перехода твердых частиц в капельное состояние / Вестник ЛГУ, 1971, №16.

57. ИВ ЛЕВ Л.С. О влиянии влажности на коагуляцию аэрозольных частиц / Труды ЕГО. 1974, вып.290.

58. ВОЛОЩУК В.М., СЕДУНОВ Ю.С. Процессы коагуляции в дисперсных системах. Л., 1975.

59. ГОЛОВИНА Е.Г. Исследование структуры аэрозольного загрязнения атмосферы и его роли в процессах фазовых переходов воды / Канд.дисс, Л., 1975.

60. ТАТАРСКИЙ В.И. Теория флуктуационных явлений при распространении волн в турбулентной атмосфере. Изв. АНСССР, 1959.

61. ЕЛАГИНА Л.Г. Об измерении частотных спектров пульсаций абсолютной влажности в приземном слое атмосферы. Изв. АНСССР, сер.геофиз., №12, 1963.

62. УШАКОВ В.И., КАРАКЕЯН В.И., РЕДИН В.М. Прецизионное кондиционирование воздуха в чистых производственных помещениях. М., МИЭТ, 1988.

63. ДОЛГУШЕВ А.И., КАРАКЕЯН В.И., УШАКОВ В.И. и др. Научная концепция технологической экологии интегральной микроэлектроники / Электронная промышленность, 1988, №8.

64. КАРАКЕЯН В.И., МУРАВИН И.А. и др. Расчет параметров воздуха и характеристик чистых технологических помещений / Электронная промышленность, 1986, №7.

65. КОВЫЛИН Н., ЧУМАК А. Автоматизация систем кондиционирования промышленных зданий / Обзоры по электронной технике, сер.7, вып. 10, 1986.

66. УШАКОВ В.И., КАРАКЕЯН В.И. и др. Производственно-техническая экология изделий электронной техники и принципы организации чистых помещений. М., МИЭТ, 1988.

67. КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВ А Н.В. Выбор принципиальных решений системы кондиционирования и фильтрации воздуха ЧПП и расчет параметров наружного воздуха / М-лы НТК "Микроэлектроника и информатика", М., МИЭТ, 1995.

68. КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н.В., ЛЕСЛИ A.B. Обеспечение постоянных влажностных характеристик воздуха в ЧПП высокого класса / М-лы НТК "Микроэлектроника и информатика", М., МИЭТ, 1995.

69. КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н.В. Некоторые аспекты новой концепции технологической экологии микроэлектроники / М-лы НТК "Микроэлектроника и информатика", М., МИЭТ, 1995.

70. КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н.В., РЯБЫШЕНКОВ А.С. Исследования основных эксплуатационных характеристик ЧИП / Тезисы доклада Всероссийской НТК "Электроника и информатика", М., МИЭТ, 1995.

71. КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н.В. Теоретические аспекты концепции техноэкологии МЭ / Электронная промышленность, №6, 1995, стр.86.

72. КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н.В. О критериях оценки теплового состояния человека в процессе работы в ЧИП / Тезисы доклада Всероссийской НТК "Электроника и информатика", М., МИЭТ, 1995, стр.206.

73. ДВУХИМЕННЫЙ В.А., СТОЛЯРОВ Б.М., ЧЕРНЫЙ С.С. Системы очистки воздуха от аэрозольных частиц на АЭС. М., Энергоатомиздат, 1987.

74. ДВУХИМЕННЫЙ В.А., СТЕЧКИНА И.Б., КИРШ А.А. Изменение эффективности и перепада давления аэрозольных фильтров при накоплении на волокнах осадка твердых частиц / Теоретические основы химической технологии., 1985, т. 14.

75. КИРШ А.А., СТЕЧКИНА И.Б., ФУКС Н.А. Течение газа в фильтрах, состоящих из полидисперсных ультратонких волокон / Коллоидный журнал, 1973,т.35,№4.

76. КИРШ А.А., ФУКС Н.А. Исследования в области волокнистых аэрозольных фильтров / Коллоидный журнал, 1967, т.29, №5.

77. ПЕТРЯН0В В.И., КОЗЛОВ В.И. и др. Волокнистые фильтрующие материалы. М, 1968.

78. УАЙТ П., СМИТ С. Высокоэффективная очистка воздуха. М., Мир, 1967.

79. GUPTA А., NOVICK V., BISWAS Р., MONSON Р. Effect of humidity and particle hygroscopicity on the mass loading capacity of high efficiency particulate air (HEPA) filters / Aerosol science and technology, v. 19, p.94-107, 1993.

80. КАРАКЕЯН В.И., РЕДИН В.М., ТЕРЕЩЕНКО A.M., ОСИПОВА Н.В. Аэродинамические режимы в ЧПП и пылегенерация финишных фильтров / Электронная промышленность, №4-5, 1995, стр.94.

81. РОБИНСОН Р.А., СТОКС Р.Г. Растворы электролитов. М., Химия, 1963.

82. LOW R. А generalized equation for the solution effect in droplet growth / J.Atmos.Sci., 1969, v.26, №3.

83. TANG I., FUNG K., 1ШЕ D., MUNKELWITZ H. Phase transformation and metastability of hygroscopic microparticles / Aerosol science and technology, V.23, p.443-453, 1995.

84. ПОЗИН M.E., ЗИНЮК Р.Ю. Физико-химические основы неорганической технологии. Л., Наука, 1993.

85. КАССАНДРОВА О.Н., ЛЕБЕДЕВ В.В. Обработка результатов наблюдений. М., Высшая школа, 1970.

86. ГМУРМАН B.C. Теория вероятностей и математическая статистика. М., Высшая школа, 1972.

87. КАРАКЕЯН В.И., ТЕРЕЩЕНКО A.M., БЕРЕЗИНА Н.В. Влажность как фактор снижения запыленности в чистых объемах / Тезисы докладов на НТК "Электроника и информатика 97", М., МИЭТ, 1997, стр.197.

88. КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н.В. Некоторые аспекты влияния влажности воздуха на уровень чистоты помещения / Материалы межвузовской НТК "Микроэлектроника и информатика 96", М., МИЭТ, 1996, стр.132.

89. БЕРЕЗИЬТ\ Н.В. Влажность воздуха как фактор конденсационного роста аэрозолей в чистых объемах / М-лы межвузовской НТК "Микроэлектроника и информатика-99", М., МИЭТ, 1999, стр.223.

90. КУТАТЕЛАДЗЕ С.С. Основы теории теплообмена. М., Атомиздат, 1979.

91. ИСАЧЕНКО В.П., ОСИПОВА В.А., СУКОМЕЛ А.С. Теплопередача. М., Энергоиздат, 1981.

92. ЛЫКОВ А.В. Тепло- и массообмен при фазовых и химических превращениях. Минск, 1983.

93. ЛЫКОВ А.В. Теория тепло- и массопереноса. М., Наука, 1963.

94. ЛЫКОВ А.В. Теория сушки. М., Наука, 1968.120

95. ЛЫКОВ A.B. Тепло- и массообмен в капиллярно-пористых телах. Минск, 1965.

96. ПАТАНКАР С. Численные методы решения задач тепломассообмена и динамики жидкостей. М., Мир, 1984.

97. ПОЛЕЖАЕВ В.И., ФЕДОСЕЕВ А.И. Метод конечных элементов в задачах гидромеханики тепло- и массообмена. М., ИПМ, 1980.

98. ПАСКОНОВ В.М. Численное моделирование процессов тепло- и массообмена. М., Наука. 1984.

99. КОЧУБЕЙ A.A. Метод конечных элементов в задачах тепломассопереноса. Днепропетровск, 1986.

100. КОЧУБЕЙ A.A., РЯДНО A.A. Метод конечных элементов в задачах теплообмена. Днепропетровск, 1985.

101. РЯДНО A.A. Моделирование и методы расчета тепломассопереноса. Днепропетровск, 1990.

102. ФЛЕТЧЕР К. Численные методы на основе метода Галеркина. М., Мир., 1998.

103. СЕГЕРЛИНД Л. Применение метода конечных элементов. М., Мир, 1979.

104. ЗЕНКЕВИЧ О. Конечные элементы и аппроксимация. М., Мир, 1990.

105. Посггело61|АС. :i/2t)oo г.1. АКТоб использований результатов диссертационной работы Березиной Н.В. "Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем"