автореферат диссертации по электронике, 05.27.07, диссертация на тему:Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ВЫСОКОВАКУУМНАЯ КОММУТАЦИОННАЯ АППАРАТУРА В СОВРЕМЕННОМ ОБОРУДОВАНИИ ВЫСОКИХ ВАКУУМНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

1.1. Анализ многомодульного оборудования для обработки изделий в вакууме в едином технологическом цикле

1.2. Критерии надежности коммутационной высоковакуумной аппаратуры в многомодульном технологическом оборудовании микроэлектроники

1.3. Современный уровень развития коммутационной вакуумной аппаратуры

1.4. Обоснование возможности и целесообразности создания бескорпусных вакуумных клапанов и затворов

Выводы

ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРОЕКТИРОВАНИЯ БЕСКОРПУСНЫХ ВАКУУМНЫХ КЛАПАНОВ И ЗАТВОРОВ НА ОСНОВЕ ПРИВОДОВ УПРАВЛЯЕМОЙ УПРУГОЙ ДЕФОРМАЦИИ

2.1. Состояние теории по расчету основных параметров приводов управляемой упругой деформации и проектированию функциональных устройств на их основе

2.2. Анализ структур и исследование кинематических моделей бескорпусных вакуумных клапанов и затворов

2.3. Исследование структуры привода клапана с произвольной ориентацией пассивного элемента

2.4. Математическая модель быстродействия вакуумных клапанов и затворов на основе приводов управляемой упругой деформации

2.5. Исследование математической модели быстродействия клапанов и затворов

2.6. Математическая модель герметичного уплотнения вакуумных объемов при молекулярном режиме течения газа

2.6.1.Постановка задачи

2.6.2.Основы построения модели

2.6.3.Расчет относительной деформации поверхности уплотнения

2.6.4.Расчет проводимости элементарного канала проводимости в молекулярном режиме течения газа

Выводы ;

ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ

ГЕРМЕТИЧНОГО УПЛОТНЕНИЯ

3.1. Цели и задачи исследования

3.2. Экспериментальная высоковакуумная установка

3.3. Методика эксперимента

3.4. Оценка погрешности экспериментальной аппаратуры

Выводы

ГЛАВА 4. ОСНОВЫ ПРОЕКТИРОВАНИЯ И СОЗДАНИЯ БЕСКОРПУСНОЙ ВАКУУМНОЙ КОММУТАЦИОННОЙ

АППАРАТУРЫ :

4.1. Классификация и особенности проектирования высоковакуумных бескорпусных клапанов и затворов

4.2. Бескорпусной вакуумный клапан на основе привода управляемой упругой деформации незамкнутого контура

4.3. Бескорпусные вакуумные затворы на основе приводов замкнутого контура

4.4. Перспективные разработки бескорпусных высоковакуумных затворов для перекрытия малых газовых потоков

4.5. Вопросы создания малоинерционных термосорбционных компрессоров для автономного питания приводов бескорпусных вакуумных затворов

Выводы

Одной из главных тенденций развития мировой электронной промышленности конца XX века начала XXI века является широкое использование высоких технологий, требующих создания и поддержания в течении процесса обработки изделий высокого и сверхвысокого вакуума или сред со специальными свойствами. Важную роль в поддержании достигнутого вакуума играет коммутационная вакуумная запорно-регулирующая аппаратура.

Вопросами ее создания занимались многие отечественные ученые и специалисты, в том числе Курбатов O.K., Александрова А.Т., Леонтьев А.Ф., Шувалов A.C., Львов Б.Г., Варлов Л.Я., Капустин Н.Ф., Кеменов В.Н., Пипко А.И., Минайчев В.Е. и другие [1-7].

Установка на свертывание, начиная с 1992 года, тематики НИИ и КБ Российской электронной и смежных отраслей промышленности, а также переориентации заводов электронного машиностроения на выпуск несвойственной им продукции в связи со снижением спроса на оборудование и элементную базу вакуумной техники, разработка и выпуск тем не менее новых поколений вакуумной коммутационной аппаратуры продолжается.

Наибольших успехов в этом направлении добились Российские специализированные предприятия АО "Вакууммаш" (г. Казань) и завод "Темп" (г. Фурманов).

Интенсивное развитие вакуумной коммутационной аппаратуры за последние годы отмечается за рубежом, что объясняется расширяющимся внедрением во всех отраслях науки и техники нового оборудования высоких вакуумных технологий, предусматривающих возможность проведения многооперационных технологических процессов в условиях высокого и сверхвысокого вакуума в едином цикле.

Опыт показал, что для реализации этой цели наиболее рациональной является многомодульная структура технологического оборудования с герметично изолированными рабочими позициями - вакуумными модулями, разделенными между собой быстродействующими и надежными вакуумными затворами.

Изолированные друг от друга технологические модули позволяют свести к минимуму привносимую дефектность в виде продуктов износа и газовыделения, а также исключают возможность взаимовлияния разнородных процессов обработки изделий на рабочих позициях.

При этом справедливо утверждение о том, что герметичное перекрытие вакуумных камер с равной или незначительно (на один, два порядка) отличающейся степенью разрежения, что имеет место в многомодульном вакуумном оборудовании, требует значительно меньших усилий уплотнения.

В то же время анализ литературных источников показал, что и в отечественном и в зарубежном оборудовании высоких вакуумных технологий все еще используются для межмодульной изоляции вакуумные клапаны и затворы стандартного типа, выполненные на традиционной основе, которые были созданы для герметизации вакуумных объемов на границе "атмосфера - высокий вакуум". Они обладают совершенно оправданной энерго и металлоемкостью, способностью формировать удельные усилия до 25 кгс/см2 ( для эластичных уплотнителей) и характеризуются наличием узлов трения, вводов движения и зачастую сложной кинематикой преобразующих систем и устройств, которые в совокупности являются источником загрязнения вакуумной среды [8,9].

Специалисты всех стран мира работают над созданием новых поколений вакуумных клапанов и затворов, в конструкциях которых предпринимаются попытки сократить до минимума распространяющиеся при их функционировании продукты загрязнения технологической вакуумной среды при одновременном улучшении собственных эксплуатационных характеристик.

В числе ведущих стран, которые разрабатывают и выпускают вакуумную коммутационную аппаратуру не только для удовлетворения собственных потребностей, но и для мирового рынка следует прежде всего упомянуть Англию, Францию, Японию, Германию, Швейцарию, США и другие.

Ближе всего к решению этой проблемы подошли специалисты фирмы VAT (Швейцария), тем не менее, несмотря на предпринятые усилия, им не удалось существенно уменьшить металлоемкость и исключить пары трения в конструкциях вакуумных клапанов и затворов.

В связи с этим возникла необходимость разработки принципиально нового подхода к проектированию вакуумной коммутационной аппаратуры для работы в условиях малых перепадов низких давлений.

Одним из возможных решений при этом является использование в качестве приводов формирования перемещений и усилий упруго-деформируемых пневматических герметичных элементов, действующих на основе принципа управляемой упругой деформации.

К настоящему времени принцип управляемой упругой деформации теоретически достаточно проработан, хорошо зарекомендовал себя при создании ряда устройств внутрикамерной вакуумной механики, в том числе, манипуляторов, транспортных систем, мониторов для измерения параметров ионных пучков, устройств для экранирования тепловых и молекулярных потоков, координатных столов, коллиматоров и др.

Понимание возможности применения принципа управляемой упругой деформации для создания высоковакуумной запорной аппаратуры стимулировало работы в этом направлении.

При этом проблема обеспечения герметичности при малых перепадах давления и быстродействия вакуумной коммутационной аппаратуры для конкретных условий эксплуатации явились основой данной работы.

В связи с этим появилась потребность постановки ряда новых, не рассмотренных ранее исследований с использованием математического моделирования и проведения серии натурных и машинных экспериментов.

В составе работы впервые сформулированы основные принципы конструирования вакуумной запорной аппаратуры, наиболее полно удовлетворяющей требованиям высоковакуумного многомодульного оборудования, выполнен комплекс теоретических и экспериментальных исследований, созданы и переданы в производство затворы, сформулированы требования по широкой реализации направления в технике создания облегченных конструкций бескорпусных вакуумных клапанов и затворов и рассмотрены перспективы дальнейшего развития работ в этом направлении, а также при создании других устройств вакуумной механики.

В соответствии с поставленной в работе задачей на защиту выносятся вопросы теории и практики создания бескорпусной вакуумной запорной аппаратуры на основе приводов управляемой упругой деформации, в том числе:

1. Анализ и синтез структур и исследование кинематических моделей бескорпусных вакуумных клапанов и затворов на основе герметичных приводов незамкнутого и замкнутого контура.

2. Разработка и исследование математической модели быстродействия вакуумных клапанов и затворов.

3. Разработка и исследование математической модели герметичного уплотнения при молекулярном режиме течения газа.

4. Разработка методики исследований на специально созданной установке и результаты экспериментальных исследований зависимости потока остаточных газов от усилия уплотнения.

5. Создание запорной высоковакуумной аппаратуры нового класса и разработка рекомендаций по основам ее проектирования.

Содержание работы изложено в четырех главах.

Первая глава посвящена анализу современного многомодульного отечественного и зарубежного оборудования электронной промышленности, предназначенного для обработки изделий в едином вакуумном цикле.

При этом особое внимание уделено роли вакуумной запорной аппаратуры в оборудовании этого класса и сформулированы критерии ее надежности при изготовлении современных микросхем.

Достаточно подробно рассмотрен уровень развития современной коммутационной вакуумной аппаратуры, сформулированы направления ее совершенствования с учетом новых требований, предъявляемых к динамично развивающимся в мире высоким вакуумным технологиям.

Анализируется возможность и целесообразность создания бескорпусных вакуумных клапанов и затворов для высоковакуумного многомодульного оборудования на основе герметичных пневматических приводов управляемой упругой деформации.

Вторая глава посвящена вопросам проектирования бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры. В связи с этим анализируется разработанная к настоящему времени теория расчета приводов управляемой упругой деформации, использованная для анализа структур и исследования кинематических моделей бескорпусных вакуумных затворов.

Во второй главе изложена математическая модель быстродействия клапанов и затворов рассматриваемого типа, оцениваемая специалистами как одна из определяющих характеристик конструкции.

Дается подробный анализ результатов компьютерного исследования математической модели быстродействия и выявлены рациональные пути конструирования и режимов эксплуатации коммутационной бескорпусной вакуумной аппаратуры.

Важнейшей характеристикой вакуумной коммутационной аппаратуры является надежность уплотнения.

Вопрос создания и исследования математической модели уплотнения также рассматривается во второй главе.

Приведенный обзор позволил сделать вывод об отсутствии в настоящее время единой физической модели уплотнения.

В то же время экспериментальные и теоретические исследования зависимости величины газового потока от удельного усилия герметизации, полученные различными авторами, достаточно близко совпадают в области начального процесса герметизации, что объясняется одинаковым подходом к решению задачи, а в области малых потоков существенно расходятся, что свидетельствует о необходимости уточнения модели и об отсутствии единой физической модели уплотнения, которая в большинстве случаев представлена идеализированной поверхностью.

В связи с этим автор работы считает целесообразным представление формы поверхности в сечении в виде волнистой периодической структуры, характерной для различных видов обработки.

В соответствии с этим в работе предложена и исследована математическая модель уплотнения, позволившая установить необходимое усилие для требуемого диапазона перепадов давления в области малых газовых потоков с учетом вида обработки поверхности уплотнения.

Третья глава - экспериментальная, в которой изложены методика экспериментальных исследований, описание разработанной в составе работы экспериментальной установки и результаты экспериментальных исследований уплотнения при малых перепадах давления. При этом отмечен исследований уплотнения при малых перепадах давления. При этом отмечен достаточно близкий характер кривой зависимости газового потока натекания от усилия уплотнения, причем в области малых давлений разница теоретических и экспериментальных значений составила не более 15-18 %.

В четвертой заключительной главе излагаются основы проектирования бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры на основе использования результатов работы, а также некоторых устройств вакуумной механики.

Глава иллюстрирована предложенными автором конструкциями клапанов и затворов, шлюзовых и транспортных систем, защищенными патентами Российской Федерации, анализируются циклограммы их функционирования, являющиеся основой для построения автоматизированной системы управления. Приводятся рекомендации по выбору конструкционных материалов.

Вместе с тем рассматриваются запатентованные автором перспективные разработки вакуумных клапанов на основе упругодеформируемых пневмоприводов в виде сварных сильфонов и многовитковых герметичных пневматических пружин незамкнутого контура, в которых совмещены функции перемещения и уплотнения в едином цикле движения.

Рассматривается также возможность создания для рассмотренной вакуумной коммутационной аппаратуры встроенных автономных пневмоисточников на основе компактных термосорбционных компрессоров.

В заключении сформулированы основные результаты работы.

Общий объем диссертации составляет 36 стр., в том числе 216 стр. основного текста, включющие 6 таблиц и содержащие 89 иллюстраций на 90 стр. и список литературы, состоящий из 118 наименований.

Выводы к главе 4.

1) Анализ возможностей использования приводов управляемой упругой деформации при создании коммутационной вакуумной аппаратуры представлен в виде классификации,

2) Рассмотрены созданные при активном участии и предложенные автором конструкции пяти модификаций вакуумных клапанов и затворов на основе приводов управляемой упругой деформации. На 4 из пяти разработок получены патенты Российской Федерации.

3) Предложены комплексная система шлюзования для разработки которой рекомендуется использование бескорпусных и облегченных вакуумных затворов и системы непрерывного эстафетного транспортирования на основе

Р, М П а

4 б 8 Н/Ьа№5 б)

Рис. 4,16. Изотермы адсорбции (->) и десорбции (<-) водорода по данным работ [117,118]: а) для сплава Ьа№5 б) для сплава Т1Ре.

Заключение

Анализ современного многомодульного вакуумного (в том числе кластерного) оборудования электронной техники позволил сделать вывод о целесообразности создания устройств вакуумной механики и бескорпусных

7 3 1 клапанов и затворов для перекрытия газовых потоков 10" м Пас" и менее, так как в этом случае не имеет смысла применять вакуумные затворы, работающие на границе "атмосфера - высокий вакуум". В связи с этим в работе предложено использование облегченных конструкций вакуумных клапанов и затворов в бескорпусном и облегченном варианте.

Теоретический и практический задел при создании различных устройств вакуумной механики позволил успешно решить эту задачу. Однако, новая область применения упругодеформируемых приводов потребовала проведения комплекса новых теоретических и экспериментальных исследований.

Это потребовало решения ряда задач, которые выполнены в работе, в том числе:

1. Анализ и синтез возможных структур вакуумных клапанов и затворов и исследование их кинематических моделей, позволил рассчитать координаты положения уплотнительного узла при различных сочетаниях видов приводов и ориентации их в плоскости и пространстве.

2. На базе основных положений вакуумной техники разработана и исследована математическая модель уплотнения при молекулярном режиме течения газа, наиболее полно учитывающая характер уплотняемой поверхности при различных видах чистовой обработки, что позволило на стадии проектирования установить величину требуемого усилия уплотнения при заданных значениях потока натекания и геометрических параметрах уплотнителя. Величина требуемого усилия уплотнения в предложенной модели, по сравнению с используемыми моделями наиболее близко совпадает с экспериментом.

3. Разработана и исследована математическая модель быстродействия, описывающая динамику упругого деформирования приводов в процессе наполнения его внутренней полости энергоносителем до требуемого давления.

В результате исследования математической модели получены данные о зависимости быстродействия от основных геометрических параметров приводов, конструктивных элементов системы подвода питания и вида энергоносителя. Так, например, при использовании водорода в качестве энергоносителя, скорость срабатывания привода увеличивается в 4,5 раза, а при изменении температуры от 293°К до 433°К — увеличивается на 19%.

4. На основе разработанной теоретической базы впервые создан ряд конструкций бескорпусных вакуумных клапанов и затворов, в составе конструкций которых полностью исключено трение при их функционировании в высоком вакууме, уменьшена металлоемкость более чем на порядок при гарантированной надежности 106 циклов. Все разработки защищены патентами РФ.

5. Бескорпусной щелевой вакуумный затвор 210x14 на основе привода замкнутого контура для перемещения уплотнительного узла и сильфонных приводов для формирования усилия уплотнения принят к производству на заводе "Токамак" г. Владимир и заводе "Темп" г. Фурманов.

6. Разработана методика и создан стенд для проведения экспериментальных исследований зависимости величины газового потока от усилия уплотнения в условиях высокого вакуума при малых перепадах давления Установлено, что по совокупности показателей для бескорпусных вакуумных затворов предпочтителен уплотнитель из вакуумной резины ИРП-1015, так как требует усилия уплотнения на 10 % меньше по сравнению с

205 вакуумными резинами 7990 и 2087. Сравнение экспериментальных и теоретических дан ныхп оказало соответствие математических расчётов эксперименту в пределах 8-10% (10-12% для ИРП 1015) для чистовой токарной обработки и обработки шлифовкой и 10-18% для других видов обработки, особенности которых другими моделями просто не учитываются.

7. Разработан пакет программ, позволяющий выбрать оптимальные характеристики приводов в зависимости от какого-либо приоритетного параметра, определяющего быстродействие или эффективность уплотнения.

8. Предложена классификация вакуумной коммутационной аппаратуры на основе реализованных и перспективных технических решений.

9. С учетом дальнейшего развития методов и средств создания дистанционно управляемой бескорпусной коммутационной аппаратуры рассмотрены рекомендации по созданию автономных систем питания- с использованием малоинерционных термосорбционных компрессоров на основе обратимо действующих сплавов накопителей водорода (СНВ)./Для сокращения цикла "десорбция - сорбция" в режиме "нагрев - охлаждение" перспективно использование эффекта Пельтье. В качестве СНВ рекомендуется применение порошков LaNi5 и TiFe.

1. Александрова А.Т., Ермаков Е.С., Львов Б.Г. Новые вакуумные клапаны и затворы // Электронная промышленность. № 7-8, 1981.

2. Макаров В.А., Фазиев Г.А. Новые модели высоковакуумных затяоров: Каталог АО "Вакууммаш".

3. Фазиев Г.А., Макаров В.А., Галимов А.Б. Серийно выпускаемая вакуумная аппаратура // "Вакуумная техника и технология". Том 3, № 3,4. 1993. -с. 32 - 33.

4. Львов Б.Г. Исследование и разработка конструкций высоковакуумных прямолинейных клапанов: диссертация на соискание ученой степени к.т.н., М.: 1979. 182 с.

5. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Г.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: "Энергия", 1979.

6. Александрова А.Т., Назаров Л.И., Дривинг Н.Я. Исследование параметров процесса герметизации сверхвысоковакуумной арматуры с использованием жидкофазных металлических уплотнений // Электронная техника. Сер. 4, вып. 4 (81). -42 - 44 с.

7. Дюваль П. Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности. М.: "Мир", 1991. - 277 с.

8. Мальгин С.Н. Тенденция развития электронного машиностроения // "Электронная промышленность". Выпуск 5, 1992. - с. 2 - 8.

9. Ю.Одиноков В.В. Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании. М.: Высшая школа, 1981 .- 55 с.

10. П.Александрова А.Т., Ермаков Е.С. Гибкие производственные системы электронной техники. М.: Высшая школа, 1989. - 319 с.

11. Капустин Н.Ф. Состояние и основные направления создания вакуумного оборудования в АО "Вакууммаш" // "Химическое и нефтяное машиностроение". № 3, 1995. - с. 18 - 23.

12. Кратенко В.Pi, Ляпин В.М., Махов И.Е. и др. Комплекс для высоковакуумной лучевой технологии // "Электронная промышленность". -№ 10, 1990. с. 58-61.

13. М.Мальгин С.Н. Элементная база электронного машиностроения. Современное состояние, перспективы развития и применение: С. Пб. РНИГЛ "Электрон стандарт", 1993. 44 с.

14. Мальгин С.Н., Панфилов Ю.В. Кластерное оборудование в микроэлектронике: (обзоры по электронной технике). Серия 7 ТОПО М.: ЦНИИ Электроника, 1994, вып. 1 (1701). - 120 с.

15. Степанчиков C.B. Снижение загрязнений, привносимых на изделия электронной техники в вакуумном оборудовании // Научно-технический сборник "Автоматическое оборудование и технология производства изделий электронной техники". М.: МИЭМ, 1991. - с. 37 - 42.

16. Панфилов Ю.В. Перспективы создания вакуумных автоматических линий: Сб. трудов "Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники". М.: МВТУ, 1987. - с. 23 - 32.

17. Александрова А.Т. Оценка работоспособности механизмов перемещения в высоком вакууме // Электронная техника. Сер. 7, вып. 3 (82). - 57 - 60 с.

18. Александрова А.Т., Кужман А.Г. Масспектрометрические исследования изменения состава остаточной газовой среды при трении в вакууме конструкционных материалов // Труды МИЭМ. Вып. 44, 1974.

19. Курбатов O.K., Леонтьев А.Ф., Шмаков А.П. и др. Новая запорная и регулирующая вакуумная арматура // Вакуумная техника и технология. -Том 2, № 3,4. 1992. с. 32 - 38.

20. Львов Б.Г., Шувалов A.C. Техническое обслуживание новой вакуумной коммутационно-регулирующей аппаратуры. М.: Высшая школа, 1987. -80 с.

21. Блинов В.В., Горяев В.П., Пчеляков О.П. Клапан щелевой прямопроходный // Тезисы доклада Научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника". -• Гурзуф: 1994.23.Каталог фирмы VAT, 1996.

22. Каталог фирмы Alkatel, 1997.

23. Каталог фирмы Balzers, 1996 1997.

24. Каталог фирмы Varían, 1997.

25. Каталог фирмы Leybold, 1998.

26. Макаров В.А., Рогова Г.В. Тенденции развития вакуумных затворов за рубежом // "Вакуумная техника и технология". Том 3, № 3,4. 1993.

27. Александрова А.Т. Исследование процессов дестабилизации параметров системы "механизм - контролируемая вакуумная среда " и разработка теоретических основ проектирования оптимальных механизмов: Дисс. д.т.н. - М.: МИЭМ, 1978. - 385 с.

28. Минин A.B. Исследование вопросов рационального конструирования функциональных механизмов • вакуумной автоматики на основе гибких герметичных пневматических элементов: Дисс. к.т.н. М.: МИЭМ, 1975. -158 с.

29. Александрова А.Т., Ермаков Е.С. Устройства и системы формирования перемещений в высоком вакууме с использованием принципа управляемой упругой деформации // Тезисы доклада научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника". Гурзуф: 1994.

30. Ермаков Е.С. Исследование характеристик герметичных упругодеформируемых трубчатых элементов и разработка однозвенных функциональных механизмов на их основе: Дисс. к.т.н. М.: МИЭМ, 1976. - 197 с.

31. Губарева Л.И. Исследование кинематики и разработка приводов направленного перемещения на основе трубчатых элементов для оборудования электронной техники: Дисс. к.т.н. М.: МИЭМ, 1984. -181 с.

32. Андреева А.Ю. Создание средств автоматизации для особочистых технологических сред и высокого вакуума: Дисс. к.т.н. М.: МИЭМ, 1988. - 197 с.

33. Маляров С.М. Разработка и исследование вакуумных манипуляторов на основе высокочувствительных трубчатых элементов повышенной осевой жесткости: Дисс. к.т.н. М.: МИЭМ, 1987. 144 с.

34. А.Т. Александрова, Д.А. Пономаренко. Проблемы создания автономных источников питания устройств вакуумной механики на основе обратимодействующих поглотителей водорода // Тезисы доклада на научно-технической конференции. Гурзуф: 1997. - 113 с.

35. Б.А. Колачев, Р.Е. Шалин, А.А. Ильин. Сплавы накопители водорода. -М.: Металлургия, 1995. - 377 с.

36. НШ Е. Bourdon metallic barometr. Messenger of Mathematics, 1872.

37. Rayleigh M. On the bending and vibration on this elastic shells, especially of cilindrical form Pressedings of Rogal Society of London, 1888.

38. Феодосьев В.И. Упругие элементы точного приборостроения. М.: Оборонгиз, 1949 - 344 с.

39. Феодосьев В.И. Об одном способе решения нелинейных задач устойчивости деформируемых систем // Прикладная математика и механика. 1963, т. XXVII, вып. 2. - с. 265 - 275.

40. Андреева Л.Е. Упругие элементы приборов // 2-е изд. перераб. и доп. М.: Машиностроение, 1981. - 392 с.

41. Васильев Б.Н. Напряженно-деформированное состояние манометрических трубок // Известия АН Механика, 1965, № 4. -с. 139- 144.

42. Афонин В.Г. Статический и динамический расчет манометрических приборов с учетом технологических несовершенств: Дисс. к.т.н., Томск: 1970.- 169 с.

43. Шумский М.П. Расчет манометрических пружин // Изв. Вузов Сер. Приборостроение. 1964, том VII, № 5. - с. 164 - 170.

44. Афонин В.Г., Шумский М.П. Собственные частоты манометрических приборов с одновитковой манометрической пружиной // Изв. Вузов Сер. Приборостроение. 1974, № 6. - с. 79 - 82.

45. Тыжнов Г.И. Деформация и напряжения в трубчатых манометрических приборах: Автореф. дисс. к.т.н. Томск: 1964.

46. Герасимов В.К. Трубчатые пружины замкнутого контура: Дисс. к.т.н. -Воронеж: 1972.

47. Герасимов В.К., Тыжнов Г.И. Трубчатые пружины замкнутого контура // Приборы и системы управления. 1973, № 1. - с. 44 - 47.

48. Тихонов В.Т. Влияние внешних возмущений на работу упругого элемента манометра // Изв. ТПИ. Томск: 1966, т. 147. - с. 9 - 13.

49. Тулегенов М.У. Определение частот и форм свободных колебаний манометрической трубки // Межвуз. Сб. Научных трудов, Вибротехника. -Каунас: 1987, вып. 1 (31). с. 55 - 61.

50. Вишнякова T.JI. Методы конструирования приводных и исполнительных органов бесшарнирных манипуляторов вакуумного технологического оборудования электронной техники: Дисс. к.т.н. М.: МВТУ, 1985. -221 с.

51. Вишнякова T.JI. Точность позиционирования вакуумных манипуляторов с упругодеформируемыми приводными звеньями. М.: Труды МИЭМ, 1984. - с. 39 - 46.

52. Александрова А.Т. Новые способы передачи и формирования движения в вакууме. М.: Высшая школа, 1979. - 67 с.

53. Александрова А.Т. Вакуумные роботы манипуляторы на основе у пру го деформируемых исполнительных элементов // Электронная техника. - Сер. 7, вып. 1 (80), 1977. - с. 35 - 43.

54. Александрова А.Т., Горюнов A.A., Ермаков Е.С. и др. Вакуумные манипуляторы // Электронная промышленность. Вып. 106, 1981, № 10. -с. 45 - 52.

55. A.c. №546958 СССР. Устройство для захвата детали. /А.Т. Александрова, A.A. Горюнов, М.А. Дробязко и др. Опубл. в БИ, № 6, 1977.

56. Александрова А.Т. Анализ критериев работоспособности механизмов перемещения в высоком вакууме // Труды МИЭМ, 1975. с. 14 - 18.

57. Ермаков Е.С. Траектория перемещения свободного конца гибкого герметичного трубчатого элемента в статическом режиме нагружения // Электронная техника. Сер. 7, 1976, вып. 6 (76). - с. 118 - 122.

58. Данилов А.И., Губарева Л.И. Расчет трубчатых элементов с переменным радиусом кривизны // Известия вузов, Сер. Машиностроение, 1986, № 5. с. 10 - 14.

59. Александрова А.Т. Функциональные устройства вакуумной механики на основе приводов управляемой упругой деформации // Материалы научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника". Гурзуф: 1998.

60. Андреева А.Ю. Кинематика приводных систем манипуляторов на основе упругодеформируемых элементов с замкнутым контуром // В сб. "Электронное машиностроение, робототехника, технология ЭВП", Труды МИЭМ.-М.: 1984.-с. 8- 11.

61. Приводы трубчатые упругодеформируемые: Каталог НИИ "Изотерм" МЭП СССР, Брянск: 1991.

62. Александрова А.Т., Горюнов A.A. Анализ кривых усталости стали 12Х18Н10Т по критерию герметичности // Электронная техника. Сер. Материалы, 1977, вып. 4. - с. 16 - 20.

63. Горюнов A.A., Александрова А.Т., Глебов Г.Д. Диффузия водорода через сталь в условиях механической нагрузки // Электронная техника. Сер. 6, вып. 8, 1977.

64. Александрова А.Т., Горюнов A.A. Влияние напряжений на диффузионную подвижность водорода в сталях // Межвузовский сборник. Труды МИЭМ, вып. II, 1978.

65. Вакуумная техника: Справочник /Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова и др./ М.: Машиностроение, 1992.-с.91 -92.

66. Александрова А.Т., Горюнов A.A. Исследование газопроницаемости нагруженных тонкостенных оболочек // Тезисы доклада IV-й Всесоюзной конференции "Физика и техника высокого вакуума". Ленинград: 1974.

67. Герц Е.В., Крейнин Расчет пневмопривода. М.: Машиностроение, 1975. -272 с.

68. Герц E.B. Пневматические приводы. М.: Машиностроение, 1969. -359 с.

69. Пневматические устройства и системы в машиностроении: Справочник / Е.В. Герц, А.И. Кудрявцев, О.В. Ложкин и др. Под общей ред. Е.В. Герц / М.: Машиностроение, 1981. -481 с.

70. Экслер Л.Н. О работе контактного металлического уплотнения "Химическое и нефтяное машиностроение", № 2, 1966.

71. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1990. - 320 с.

72. Рот Вакуумные уплотнения; Пер. с англ. М.: Энергия, 1971. 584 с.

73. Львов Б.Г., Шувалов A.C. Современные сверхвысоковакумные уплотнения. М.: Высшая школа, 1984.

74. Стратиневский Г.Г. Основные элементы механизма герметизации высоковакуумных соединений. Труды МИЭМ, вып. 20, 1972. - с. 28 - 34.

75. Герметичность неподвижных соединений гидравлических систем / Бабкин В.Т., Зайченко A.A., Александров В.В. и др./ М.: Машиностроение, 1977.

76. Roth A., Ynbar A. The force cycle of vacuum gasket seals. Vacuum, № 17 (1), 1967.

77. Печатников M.H., Розанов Л.Н. Теоретические и экспериментальные исследования герметичности контакта двух шероховатых поверхностей при упругопластическом деформировании // Электронная техника. -Сер. 4, вып. 6, 1976.

78. Ланис. В.А., Левина Л.Е. Техника вакуумных испытаний. М.: Госэнергоиздат, 1963.

79. Александрова А.Т. Обоснование метода проектирования бескорпусных вакуумных затворов // Материалы НТК "Вакуумная наука и техника". -Гурзуф: 1999.

80. Александрова А.Т., Васин В.А. "Математическая модель высоковакуумного уплотнения для перекрытия малых газовых потоков" // Материалы научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника". Гурзуф, М.: МГИЭМ, 1999. - 196 с.

81. Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной высоковакуумной запорной аппаратуры для малых перепадов давления. Научно-технический отчет. РВО МГИЭМ, 1999.

82. Гуськова И.Г. Разработка методов проектирования упруго деформируемых микроприводов прямолинейного типа и создание функциональных устройств на их основе для работы в особо чистых средах и высоком вакууме: Дисс. к.т.н. М.: МИЭМ, 1992.

83. Александрова А.Т., Васин В.А. "Бескорпусной прямопролетный вакуумный затвор щелевого типа" // Научно-техническая конференция "Вакуумная наука и техника". Гурзуф, М.: МГИЭМ, 1995. - 153 с.

84. Губарева Л.И. Формирование траектории перемещения исполнительных органов вакуумных манипуляторов // Межвузовский сборник научных трудов под ред. Александровой "Электронное машиностроение, робототехника, технология ЭВП", М.: 1984. - с. 54 - 57.

85. Приводы упругодеформируемые. РТМ НИИ "Изотерм", Брянск: 1996.

86. Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов A.A., Полотай Г.А. Патент2109196 "Вакуумный затвор" опубл. Б.И. № 11, 1998.

87. Васин В.А., Горюнов A.A. "Новые модели бескорпусных вакуумных клапанов и затворов на основе приводов управляемой упругой деформации" // Материалы научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника". Гурзуф, М.: МГИЭМ, 1999.

88. Александрова А.Т., Васин В.А. "Бескорпусной вакуумный затвор" // Материалы научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника". Гурзуф, М.: МГИЭМ, 1996. - 103 с.

89. Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов A.A. Патент № 2114354 "Вакуумный затвор" Опубл. Б.И., № 18, 1998.

90. Александрова А.Т., Васин В.А. "Вакуумный прямопролетный затвор с совмещенным приводом" // Материалы научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника". Гурзуф, М.: МГИЭМ, 1996. - 103 с.

91. Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов A.A., Полотай Г.А. Патент № 2114481 "Вакуумный затвор" опубл. Б.И., № 18, 1998.

92. Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов A.A., Пономаренко Д.А. Патент № 2115855 "Вакуумный затвор" опубл. Б.И., № 20,1998.

93. Васин В.А. "Система дозирования и измерения прецизионных газовых потоков в высокий вакуум" // Научно-техническая конференция "Вакуумная наука и техника". Гурзуф, М.: МГИЭМ, 1996. - 103 с.

94. Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов A.A. "Новые принципы прецизионного дозирования вакуумных потоков" // Научно-технический семинар "Контроль герметичности 98", тезисы докладов, ОАО "Завод Измеритель", Санкт-Петербург: 1998. - 16 с.

95. Андреева А.Ю., Гуськова И.Г. Натекание на основе трубчатых упругодеформируемых элементов // Меж. вузовский сб. "Автоматическоеоборудование и технология производства изделий электронной техники". -М.: МИЭМ, 1991.-с. 29-32.

96. Ю.Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов A.A., Ермаков Е.С. Патент № 2133706 "Устройство для перемещения изделий" опубл. Б.И. № 21, 1999

97. Ш.Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов A.A., Ермаков Е.С. Свидетельство на полезную модель № 8961 "Устройство для перемещения изделий" опубл. Б.И., № 1, 1998.

98. Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов A.A. "Автономные пневмоисточники" // журнал "Машиностроитель". М.: издательство "Вираж - центр", № 9, 1997. - с. 49 - 50.

99. MARCT STECHNIC № 12, 1998.

100. Кеменов В.Н. Разработка параметрических рядов унифицированных средств откачки и сверхвысоковакуумного технологического оборудования на их основе: Автореферат диссертации к.т.н.,1990.

101. Пб.Колачев Б.А., Ильин A.A., Лавренко В.А., Левинский Ю.В. Гидридные системы. М.: Металлургия, 1991. - 352 с.

102. Buschow KH.Y., Bouten P.C., Miedema A.R. // Repts Progr. Phgs 1982 / V 45 № 9. p. 932 - 1408.

103. Kuijpers F.A. // Philips Res. Repts Suppl 1973 № 2. p. 1 - 30.