автореферат диссертации по химической технологии, 05.17.03, диссертация на тему:Технология и установка селективного электроосаждения и электрохимического формообразования сложно-профильных изделий

Введение

1 Анализ задачи селективного электроосаждения и электрохимического формообразования сложно-профильных изделий

1.1 Постановка задачи определения параметров СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий

1.1.1 Особенности процессов СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий

1.1.2 Технологические показатели процессов СЭ и ЭХФО

1.1.3 Управление процессами СЭ и ЭХФО

1.1.4 Критерии выбора электролита

1.2 Формулировка цели СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий

2 Модель работы установки СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий

2.1 Обоснование выбора модели работы установки СЭ и ЭХФО с использованием ПП

2.1.1 Выбор адекватной модели ЭХЯ

2.1.2 Определение параметров нелинейной модели ЭХЯ

2.1.3 Определение количества пропущенного электричества в катодном и анодном направлениях

2.2 Модель ПП в задаче измерения параметров СЭ и ЭХФО

2.3 Помехозащищенность ПП 51 3. Экспериментальные методы исследования параметров СЭ и ЭХФО

3.1 Определение удельной электропроводности ЭХЯ при электрохимической обработке стали 20Х2Н4А

3.2 Определение удельной электропроводности ЭХЯ при электроосаждении никеля

3.3 Определение механических характеристик привода ЭИ

3.4 Определение степени подавления помех в процессе СЭ и ЭХФО 63 4 Результаты экспериментальных исследований

Современные тенденции совершенствования процессов селективного электроосаждения (СЭ) металлов на сложно-профильные изделия и электрохимического формообразования (ЭХФО) сложно-профильных изделий состоят в: уменьшении межэлектродного расстояния, проведении измерений и корректировке технологических параметров непосредственно в ходе проведения процессов, уменьшении энергетических затрат на регулирование МЭЗ и т.п., требуют детального рассмотрения особенностей высокоскоростных нестационарных электродных процессов анодного и катодного формообразования /1-34/. При этом необходимость описания процессов СЭ и ЭХФО требует использования пространственных моделей, учитывающих физико-химические явления в межэлектродном зазоре (МЭЗ). Двумерные модели, в которых электрохимическая ячейка (ЭХЯ) изображается в виде длинномерного канала, снижают возможности для реализации точности и качества изделий, а также для прогнозирования процессов СЭ и ЭХФО и эксплуатационных характеристик деталей /2-8/.

В этих условиях управление процессами СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий осложняется рядом причин: расширением круга задач управления; особенностями процесса; возросшим значением измерительных средств; непрерывным развитием технологии, сопровождающимся ростом числа и видов измеряемых физико-химических величин; требованиями высокой надежности к различному роду измерительных преобразователей.

Более высокий уровень управления процессами СЭ и ЭХФО требует поиска соответствующих новых технических решений. Вполне очевидно, что применение многофункциональных преобразователей, обладающих свойством избирательности, особенно эффективно при измерениях различного рода параметров в условиях помех и дестабилизирующих факторов (изменяющихся в широких пределах).

Для решения этой проблемы представляется перспективным использование ПП. Многофункциональные свойства ПП позволяют: существенно упростить привод ЭИ; проводить измерения и корректировку технологических параметров непосредственно в ходе процессов СЭ и ЭХФО. Между тем, до настоящего времени данных о процессах СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий с использованием многофункциональных свойств ПП явно не достаточно.

Представляется также возможным применение ПП при селективной электрохимической обработке и нанесении покрытий на сложно-профильные изделия, используя различные режимы возбуждения ПЭ (непрерывный, дискретный и т.п.).

Таким образом, использование ПП в установках СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий, а также выявление определяющих параметров процесса электролиза в электролитических ваннах с малыми МЭЗ является актуальной задачей при создании и внедрении прогрессивных электрохимических технологий.

Цель диссертационной работы. Разработать технологическое решение и экспериментальную установку автоматического управления процессами СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий с контролем и коррекцией технологических параметров в режиме реального времени.

Научные задачи.

1 Анализ проблем управления СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий с узким МЭЗ и проточным электролитом.

2 Выявление определяющих входных параметров на технико-эксплуатационные показатели процессов СЭ и ЭХФО.

3 Исследование закономерностей СЭ никеля и ЭХФО сложно-профильных изделий и установление механизма повышения производительности процессов СЭиЭХФО.

4 На основе полученных закономерностей выбрать параметры, регулирование которых в ходе процессов СЭ и ЭХФО позволит осаждать качественные покрытия из никеля и повысить точность ЭХФО.

Объектом исследования является ЭХЯ в электролитических ваннах с проточным электролитом и малыми МЭЗ.

Предметом исследования являются процессы СЭ и ЭХФО, связанные с ЭХЯ, ЭЙ и ПП, как задачи обеспечения контроля и регулирования технологических параметров в режимах реального времени.

Рамки исследования. В работе рассмотрены возможности применения многофункциональных свойств ПП при управлении ЭИ, а также измерении и корректировке технологических параметров в ходе процессов СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий.

Научную новизну работы составляют:

- новая структура управления процессами СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий с использованием ПП;

- математическая модель катодных и анодных процессов в ЭХЯ с проточным электролитом и малыми МЭЗ;

- доказательство того, что использование ПП в процессах СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий позволяет: проводить измерение удельной электропроводности электролита, решать задачу идентификации нелинейной схемы замещения ЭХЯ, определять величину ЭДС электрохимической цепи и количество пропущенного электричества в катодном и анодном направлениях;

- механизм измерения и корректировки параметров процбссов СЭ и ЭХФО в режимах реального времени, а также результаты исследований.

Практическая значимость диссертационной работы определяется тем, что полученные результаты позволяют:

- получить достоверные оценки параметров (величина ЭДС электрохимической цепи, удельная электропроводность электролита, параметры элементов нелинейной схемы замещения ЭХЯ, количество пропущенного электричества в катодном и анодном направлениях), за счет использования свойств ПП;

- уменьшить неопределенность модели ПП за счет использования дополнительной информации от ЭИ;

- снизить погрешности измерения, за счет использования устройства помехозащищенности;

- уменьшить энергетические затраты на регулирование МЭЗ за счет применения полученной в работе динамической модели ПП и ЭИ;

- предложить техническое решение устройства помехозащищенности ПП при проведении процессов СЭ и ЭХФО.

Новые положения и результаты, выносимые на защиту диссертационной работы:

- уменьшение количества измерительных преобразователей в 2 раза, за счет использования ПП;

- полученное соотношение для оценки количества электричества, позволяющее определить количество пропущенного электричества в катодном и анодном направлениях, в течение одного периода;

- техническое решение устройства помехозащищенности ПП в условиях процессов СЭ и ЭХФО;

- полученные в аналитическом виде соотношения для определения величины ЭДС электрохимической цепи, гармонических составляющих напряжения (тока), параметров элементов нелинейной схемы замещения ЭХЯ.

Апробация работы.

Основные результаты работы докладывались на ежегодных научно-технических конференциях и семинарах Южно-Российского государственного университета экономики и сервиса (ЮРГУЭС) в 1997-2000 гг. Материалы исследований вошли в отчет по НИР "Разработка и исследование процесса электрохимического формообразования сложно-профильных изделий приборо-машиностроения и принципы создания сложных агрегативных систем" (№ госрегистрации 0198.0002793, инв. № 0299.0006058) шифр Г-40.1.

Научные результаты работы внедрены в р/ц Змиевки Орловской области АООТ "Металлконструкция" и реализованы в учебном процессе ЮРГУЭС при разработке следующих материалов:

1. При создании макета "Установка СЭ и ЭХФО сложно- профильных изделий " (приказ №2 от 1.02.1999г. по УМО ЮРГУЭС), которая используется в ла-бораторно-пракгических занятиях учебных дисциплин "Основы конструирова9 ния и технологии РЭС", "Электромеханические устройства", " Электрохимические устройства бытовой аппаратуры".

2. В программах учебных дисциплин "Основы конструирования и технологии РЭС", "Электромеханические устройства", "Электрохимические устройства бытовой аппаратуры" (приказ №2 от 1.02.1999г. по УМО ЮРГУЭС).

Макет "Установка СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий" демонстрировался на выставке ассоциации "Высокие технологии" ТВК ОАО "Росвертол" г. Ростов-на-Дону.

Публикации. Результаты диссертационной работы нашли отражение в 15статьях и защищены 1 авторским свидетельством.

Объем и структура диссертации. Диссертация изложена на 118 страницах машинописного текста, содержит 50 рисунков, 6 таблиц и состоит из введения, четырех глав, заключения и общих выводов, библиографического списка содержащего 129 наименований и 3 приложений.

Результаты работы опубликованы в 3 статьях (в сборнике Известия вузов. Северо-Кавказский регион. Технические науки, № 3, 1999г.; в сборнике СКНЦ ВШ. Высокие технологии на пороге XXI века, 2000г.). Результаты исследований докладывались, обсуждались и были одобрены на научно-технических конференциях и семинарах. Материалы исследований вошли в отчет о НИР /122/.

105

Научные результаты работы реализованы в учебном процессе ЮжноРоссийского Государственного университета экономики и сервиса при разработке следующих материалов;

1. При создании макета "Установка селективного электроосаждения и электрохимического формообразования сложно-профильных изделий " (приказ №2 от 1.02.1999г. по УМО ЮРГУЭС), которая используется в лабораторно-практических занятиях учебных дисциплин "Основы конструирования и технологии РЭС", "Электромеханические устройства", "Электрохимические устройства бытовой аппаратуры".

2. В программах учебных дисциплин "Основы конструирования и технологии РЭС", "Электромеханические устройства", "Электрохимические устройства бытовой аппаратуры" (приказ №2 от 1.02.1999г. по УМО ЮРГУЭС).

Таким образом, полученные научные результаты обеспечили достижение поставленной цели диссертационной работы - создание установки и технологии СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий, обладающей высокой производительностью, сокращением технологических затрат и большой точностью изготовления сложно-профильных изделий.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ И ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

В диссертации решена научная задача СЭ и ЭХФО сложно- профильных изделий с использованием многофункциональных свойств ПП.

Анализ научно- технической литературы, в том числе патентной, позволяет сделать следующие утверждения:

1. широко применяемые установки ЭХФО и электроосаждения металлов и сплавов, основанные на методах контроля скорости изменения тока, истощения электролита, количества пропущенного электричества, не позволяют проводить коррекцию размерного формообразования и локального нанесения покрытий в режиме реального времени;

2. процессы электрохимического формообразования и электроосаждения характеризуются не менее 13 параметрами, что предполагает использование большого количества измерительных преобразователей ухудшающих устойчивость и надежность установки в целом;

3. особенностью управления процессами СЭ и ЭХФО является сложность объекта управления, представляющего собой совокупность ЭХЯ, источника питания, электролитного агрегата и других устройств, что ограничивает применение аналитических описаний процессов, происходящих в ячейке.

Теоретические исследования доказывают, что:

1. использование ПП позволяет проводить позиционирование ЭИ и стабилизацию удельной электропроводности межэлектродной среды за счет регулирования величины МЭЗ, амплитуды и длительности технологического тока в процессе СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий;

2. полученные соотношения для параметров гармонических составляющих напряжения, тока и их степенных функций решают задачу идентификации нелинейной схемы замещения ЭХЯ, и позволяют с любой степенью точности определять количество пропущенного электричества в катодном и анодном направлениях;

3. разработанная модель ПП позволила: построить новую структуру установки СЭ и ЭХФО; уменьшить в 2 раза количество измерительных преобразователей; обеспечить контроль и обработку измерительной информации непосредственно в ходе процессов СЭ и ЭХФО; проводить стабилизацию удельной электропроводности межэлектродной среды путем регулирования МЭЗ, амплитуды и длительности технологического тока.

1. Мороз И.И., Алексеев Г.А., Водяницкий О.А. Электрохимическая обработка металлов. М.: Машиностроение, 1969. - 208с.

2. Головачев В.А., Петров Б.И., Филимошин В.Г., Шманев В.А. Электрохимическая размерная обработка деталей сложной формы. М.: Машиностроение, 1969.-199с.

3. Давыдов А.Д. Высокоскоростное электрохимическое формообразование. -М.: Наука, 1990,-272с.

4. Черепанов Ю.П., Самецкий Б.И. Электрохимическая обработка в машиностроении. М.: Машиностроение, 1972. - 117с.

5. Седыкин Ф.В. Размерная электрохимическая обработка деталей машин. М.: Машиностроение, 1976- 302с.

6. Смоленцев В.П. Технология электрохимической обработки внутренних поверхностей. -М.: Машиностроение, 1978 176с.

7. Атанасянц А.Г. Анодное поведение металлов М.: Металлургия, 1989-176с.

8. Дикусар А.И., Энгельгардт Г.Р., Петренко В.И., Петров Ю.Н. Электродные процессы и процессы переноса при электрохимической размерной обработке металлов. Кишинев: Штиинца, 1983. - 207с.

9. Седыкин Ф.В., Дмитриев Л.Б., Иванов Н.И., Тимофеев Ю.С., Шляков В.Г. Оборудование для размерной электрохимической обработки деталей машин. -М.: Машиностроение» 1980. 277с.

10. Седыкин Ф.В. Технология и экономика электрохимической обработки. -М.: Машиностроение, 1980. 192с.

11. Киш Л. Кинетика электрохимического растворения металлов: Пер. с англ. М.: Мир, 1990. - 272с.

12. Щербак М.В., Толстая М.А., Анисимов А.П. Постаногов В.Х. Основы теории и практики электрохимической обработки металлов и сплавов. М.: Машиностроение, 1981.- 263с.

13. Скорчеллетти В.В. Теоретическая электрохимия. Л.: Химия, 1974-567с.

14. Паршутин В.В., Бородин В.В. Технико-экономические вопросы электрохимического формообразования. Кишинев: Штиинца, 1981.- 128с.

15. Румянцев Е.М., Давыдов А.Д. Технология электрохимической обработки металлов. М.: Высш. шк., 1984.-159с.

16. Клоков В.В. Электрохимическое формообразование. К.: Изд-во Казан, ун-та, 1984.-80с.

17. Шманев В.А., Филимошин В.Г., Каримов А.Х., Петров Б.И., Проничев Н.Д. Технология электрохимической обработки деталей в авиа двигателестрое-нии. М.: Машиностроение, 1986. - 168с.

18. Атанасянц А.Г. Электрохимическое изготовление деталей атомных реакторов. -М.: Энергоатомиздат, 1987. 177с.

19. Паршутин BJB., Береза В.В. Электрохимическая размерная обработка спеченных твердых сплавов. Кишинев: Штиинца, 1987.- 230с.

20. Артамонов Б.А., Волков Ю.С. Анализ моделей электрохимической и электроэрозионной обработки. М.: Высш. шк., 1991,- 170с.

21. Скоминас В.Ю. Функциональные металлопокрытия в современной гальванотехнике. //Гальванотехника и обработка поверхности. 1993. Т.№2. - №3. -С. 19-21.

22. Артамонов Б.А., Волков Ю.С. Измерительное обеспечение автоматизированных станков для размерной электрофизикохимическОй обработки. М.: Высш. шк., 1991. - 129с.

23. Петров Ю.Н., Корчагин Г.Н., Зайдман Г.Н., Саушкин Б.П. Основы повышения точности электрохимического формообразования. Кишинев: Штиинца, 1977. - 152с.

24. Волков Ю.С., Лившиц А.Л. Введение в теорию размерного формообразования электрофизикохимическими методами. Киев: изд-во "Вища школа", 1978. - 120с.

25. Кукоз Ф.И., Кудимов Ю.Н., Кривобокое Ю.А. и др. Электрохимическая перфорация металлической фольги. // Электронная обработка материалов. -1977,-№3,- С.74-76.

26. Бадамшин А.А. Выявление дефектов металла в процессе ЭХО зубчатых профилей накатных валков// Размерная электрохимическая обработка деталей машин: Мат. Всесоюзная научн.-техн. конференция. -Тула,1980.- С.308-311.

27. Кукоз Ф.И., Кудимов Ю.Н., Шахбазян В.В. Анодная поляризация и формообразование при ЭХО титановых сплавов.//Электронная обработка материалов. 1978.- № 5,- С.21-23.

28. Медведев В.В. Электрохимическая размерная обработка хромоникеле-вых сталей, прошедших термическую обработку.// Размерная электрохимическая обработка деталей машин: Мат. Всесоюзная научн.-техн. конференция. -Тула, 1980.- С.169-171.

29. Любимов В.В. Аддитивное формообразование электрохимические и электрофизические методы обработки материалов: Сборник научных трудов. -Тула: ТулПИ, 1989,- 156с.

30. Фоппен Р. Селективное электроосаждение покрытий с использованием "катушечных" гальванических линий.// Гальванотехника и обработка поверхности. -1993.-№2,- С.63-66.

31. Вингенфельд П. Селективное электроосаждение на электрические контакты.// Гальванотехника и обработка поверхности. 1993.- №5.- С.28-38.

32. Цервек К. Гальванотехника основной метод функциональной обработки поверхностей изделий, (пер. 160/566: ZERWECH К. GALVANOTECH-NIK-EIN GRUND STEIN DER FUNKTIONELLEN OBERFLACHEN TECHNIK ZEITSCHRIFT FUR WERKSTOFFTECHNIK.- 1983 - №.5.-S.175 - 177 (DBR).

33. Электрохимические покрытия изделий радиоэлектронной аппаратуры: Справочник/ И.Д. Груев, Н.И. Матвеев, Н.Г. Сергеева. М.: Радио и связь, 1988. - 303с.

34. Мордехай В.М. Исследование процесса формирования поверхности электролитическим натиранием.// Размерная электрохимическая обработка деталей машин. Тула, ТПИ, 1980. - С.398-401.

35. Медведев В.В. Исследование и разработка технологии электрохимической размерной обработки сложно-профильных изделий: автореф. дисс. на со-иск. учен. степ. канд. техн. наук. Новочеркасск: НПИ, 1981.-16с.

36. Бородин И.Н. Порошковая гальванотехника. М.: Машиностроение, 1990. -236с.

37. Серебрянский Н.И., Кукконен С.П. Применение гальванического натирания в ремонте. М.:НИПИЭОУПИЛЦБиДП,1969. - С. 10-11.

38. Плеханов И.Ф. Расчет и конструирование устройств для нанесения гальванических покрытий. М.: Машиностроение, 1988. - 219с.

39. Мельников П.С. Справочник по гальванопокрытиям в машиностроении. М.: Машиностроение, 1979. - 296с.

40. Гальванические покрытия в машиностроении: Справочник. В 2-х т./ В.И.Игнатьев, Н.С. Ионичева, А.В. Мареичев и др.; под ред. М.А. Шлугера. -М.: Машиностроение,!985. 345с.

41. Гальванотехника: Справочник/ Ажогин Ф.Ф., Беленький М.А., Галь И.Е. и др.; под ред. Гинберга А.М., Иванова А.Ф., Кравченко JI.JI. -М.: Металлургия, 1987. 735с.

42. Пиявский Р.С. Гальванические покрытия в ремонтном производстве. -Киев: Техника, 1975. 176с.

43. Лайнер В.И. Защитные покрытия металлов. М.: Металлургия, 1974. -560с.

44. Кудрявцев Н.Т. Электролитические покрытия металлами. М.: Химия,1979. - 352с.

45. Песков П.П., Розман Я.Б., Сомонов В.И. Электрооборудование станков для электрохимической обработки. -М.: Машиностроение, 1977. 153с.

46. Московиц М. Селективное электроосаждение покрытий натиранием// Гальванотехника и обработка поверхности. 1993. - № 3. - С.40- 45.

47. Кудрявцева И.Д., Селиванов В.Н. Высокопроизводительные малоотходные технологии электроосаждения металлов из электролитов-коллоидов.//Гальванотехника и обработка поверхности. 1993.- № 4.- С.ЗЗ- 36.

48. Кудрявцева И.Д., Кукоз Ф.И., Балакай В.Й. Итоги науки и техники. Сер. Электрохимия. М.: ВИНИТИ, 1990. - 50 с.

49. Каданер Л.И. Равномерность гальванических покрытий. Харьков: ХГУ, 1961.-204с.

50. Гладун К.К., Гончаров В.И., Кукоз Ф.И. Массоперенос в условиях нестационарного электролиза. Издательство Ростовского университета, 1981.-120с.

51. Селиванов В.Н., Бобрикова И.Г., Егорова В.А. Измерение скорости выделения водорода при получении потенциодинамических зависимо-стей.//Теория и практика гальванопокрытий из коллоидных систем и нетоксичных электролитов. Новочеркасск, 1984.- С.30-33.

52. Медведев В.В. Гидродинамика движения электролита в межэлектродном зазоре при ЭХО зубчатых колес.// Электрохимическая обработка металлов.-Новочеркасск,1980. С.39-45.

53. А.с. № 1534100 СССР, МКИ С 25 D 5/04/. Способ электрохимического нанесения покрытий натиранием/ Медведев В.В.(СССР)- № 4305868; Заявл. 1987; опубл. в Бюл. № 1, 1990.

54. Гохштейн А.Я. Метод эстанса. // Успехи химии. 1975,- № 11.- С. 19561978.

55. Насретдинов А.В. Проектирование организационно-технологических структур производственных систем механической обработки. Л.: Политехника, 1991. -255с.

56. Моисеев Н.Н. Математические задачи системного анализа. М.: Наука, 1981.-487с.

57. Поспелов Г.С., Ириков В.А. Программно-целевое планирование и управление. М.: Сов. радио, 1976. - 440с.

58. Лазарев И.А. Композиционное проектирование сложных агрегативныхсистем. M.: Радио и связь, 1986. - 312с.

59. Буслеико Н.П., Калашников В.В., Коваленко И.Н. Лекции по теории сложных систем. М.: Сов. радио, 1973. - 439с.

60. Иоффе В.Ф. Автоматизированные электроэрозионные станки. Л.: Машиностроение, 1984. - 227с.

61. Солодкова Л.Н., Кудрявцев В.Н. Способ определения органических добавок и эффективности их действия при электроосаждении цинка из цинкатных электролитов.//Гальванотехника и обработка поверхности.-1993.- № 2.- С.46-51.

62. Кондратьев В.А., Тычинский А.П. Электрохимическая калибровка шли-цевых отверстий методом изменяемой напряженности электрического поля.- В кн.: Финишная электрохимическая обработка фасонных деталей. Тула, ТПИ, 1969.- С.50-56.

63. Сейто Нагао, Кобаяси Кадзихико. Системы регулирования процессов электроискровой и электрохимической обработки и практические примеры обработки. "Се кикай кагаку", 1969,- №2,- С.62-68 (японск.).

64. Зайдман Г.Н., Паршутин В.В., Петров Ю.Н. Распределение тока в межэ-лекгродном промежутке при электрохимической размерной обработке метал-лов.//Физика и химия обработки металлов. 1970. - №1. - С.42-48.

65. Thorpe J.E., Zerkle R.D. Analytic determination of the equilibrium electrode gap in electrochemical machining.//International Journal Mach. Tool and Research.-1996. №2. - P.131-144.

66. Артамонов Б.А., Волков Ю.С. Измерительное обеспечение автоматизированных станков для размерной электрофизикохимической обработки.-М.: 1991- 129 с. (Обзорная информация.: Машиностроение / ВНИИПИ).

67. Дубовой И. Д. Автоматические многофункциональные измерительные преобразователи. М.: Радио и связь, 1986. - 312с.

68. А.с. № 1615239 СССР, МКИ С25 D 21/12. Система управления гальванической линией /Гладштейн М.Б.(СССР).- № 4486373; Заявл. 26.09.88, опубл. в Бюл. №47,1990.

69. А.с. № 1595952 СССР, МКИ С25 D 21/12. Устройство управления автооператорами автоматических линий гальванопокрытий/Багрянцев В.П.(СССР). № 4609089; Заявл. 24.11.88, опубл. в Бюл. №36,1990.

70. А.с. № 1654384 СССР, МКИ С25 D 21/12. Устройство для контроля толщины осажденного металла./ Ревин А.Г.(СССР). № 4700383; Заявл. 05.06.89, опубл. в Бюл. №21,1991.

71. А.с. № 775194 СССР, МКИ С25 D 21/12. Устройство для контроля технологических параметров электрохимического процесса./ Вогульский С.В.(СССР). № 2667987; Заявл. 22.08.78, опубл. в Бюл. № 40,1980.

72. А.с. № 1737027 СССР, МКИ С25 D 5/06. Устройство для нанесения гальванических покрытий натиранием / Медведев В.В. (СССР). № 4786809; Заявл. 29.01.90, опубл. в Бюл. № 20, 1992.

73. Логинов В.В. Электрические измерения механических величин.-М.: Энергия, 1976.- 104с.

74. Михайлов П.Г., Забрадина С.Д., Пьезодатчики для измерения быстропе-ременных и акустических давлений //Измерительная техника.-1994.- №6 С.52-54.

75. White R.M. Surfase acoustic wave aid lamb wave sensors //Proc. Internat. Symp. ISSWAS. Novosibirsk. 1986.- v.ll.- P.342-353.

76. PortatM. Chatanies M.//A. Aecezhe aerospaible. Anne's.- 1982,-№3-P. 177.

77. Осадчий Е.П., Современные направления совершенствования датчико-вой аппаратуры //Приборы и системы управления. 1996.

78. Рагульскене В.Л. Виброударные системы. Вильнюс: Минтис, 1974.-319с.

79. Бансявичюс Р.Ю., Рагульскис К.М. Вибродвигатели. Вильнюс: Мокс-лас, 1981. - 193с.

80. Ерофеев А.А. Пьезоэлектрические устройства автоматики. Л.: Машиностроение, 1982. -212с.

81. Медведев В.В. Зибров В.А. Средства автоматизации процесса электрохимического размерного натирания покрытий.// Радиотехника, оборудование итехнологии сервиса. Сборник научных трудов ДГАС.- ШахтыД997- №26.-С. 38-50

82. Медведев В.В., Зибров В.А., Окорочков А.И. Исследование статических и динамических характеристик электрод- инструментов на основе пьезокерами-ки. //Радиотехника, оборудование и технологии сервиса. Сборник научных трудов ДГАС. Шахты, 1997.-№26.- С.60-62

83. Зибров В.А., Берлизов А.В. Моделирование пьезоэлектрических преобразователей //Радиотехника , оборудование и технологии сервиса. Сборник научных трудов ДГАС. Шахты, 1997.-№24.-С. 32-38

84. Зибров В.А., Берлизов А.В. Способы моделирования рабочего органа пьезоприводов бытовой радиоэлектронной аппаратуры. Сборник научных трудов молодых ученых и аспирантов ДГАС. Шахты, 1997.- №24.- С. 79-83

85. Берлизов А.В., Зибров В.А. О выборе пьезоматериалов для пьезоприводов бытовой радиоэлектронной аппаратуры. Сборник научных трудов молодых ученых и аспирантов ДГАС. -Шахты, 1997.- №24,- С.72-73

86. Медведев В.В., Зибров В.А., Окорочков А.И. Анализ возможностей применения датчиков на поверхностных акустических волнах. Сборник научных трудов ДГАС. Шахты, 1997.- 326,- С.56-60

87. Джагупов Р.Г., Ерофеев А.А. Пьезоэлектрические элементы в приборостроении и автоматики. Л.: Машиностроении, 1986.-252 с.

88. Чемерис И.И. Пьезоэлектрические двигатели линейных перемещений //Диэлектрики и полупроводники. 1977,- №12. - С. 19-27.

89. Ерофеев А.А., Давлиталиев Д.А., Киреяев А.Н. Статические и динамические свойства пьезоэлектрических двигателей как объектов управления // Вибротехника. Вильнюс, 1987.- 3(56). - С.143-149

90. Ерофеев А.А., Ковалев B.C. Современная нетрадиционная электроника -М.: Знание, 1989. 64 с.

91. Гоноровский И.С. Радиотехнические цепи и сигналы. М.: Радио и связь, 1986.

92. Скучик Е. Простые и сложные колебательные системы: Пер. с англ-М.: Мир, 1988. 557 е., ил.

93. Бреховских JI.M. Волны в слоистых средах М.: Наука, 1973.-125с.

94. Андронов А.А., Витт А.А., Хайкин С.Э. Теория колебаний М.: Наука, 1981.-568 с.

95. Федоров Ф.И. Теория упругих волн в кристаллах М.: Наука, 1965,-158с.

96. Ландау JI.B., Лившиц Е.М. Теория упругости.-М.: Наука,1965.-204 с.

97. Медведев В.В., Зибров В.А. Применение датчиков физических и химических величин.// Информационные технологии в науке и образовании. Сборник научных трудов ДГАС. Шахты, 1998.- №26. - С.38-42

98. Блыщак И.И., Зибров В.А. Электрохимическое формообразование изделий радиоэлектроники с использованием пьезоэлектрического преобразователя.// Информационные технологии в науке и образовании. Сборник научных трудов ДГАС. Шахты, 1998,- №28. - С.46-48

99. Зибров В.А. Устройство контроля технологических параметров процесса электрохимического формообразования.// Информационные технологии в науке и образовании. Сборник научных трудов ДГАС. Шахты, 1998.- №28.-С.52-55

100. Зибров В.А. Система предварительной обработки сигналов технологического процесса электрохимического формообразования.// Информационныетехнологии в науке и образовании. Сборник научных трудов ДГАС. Шахты, 1998,- №28,- С.66-68

101. Зибров В.А. Оценка чувствительности многофункционального пьезоэлектрического преобразователя при измерении параметров процесса ЭХФО. // Тез. докл. межд. науч.-тех. конф. "25 Гагаринские чтения". Москва, 1999г. -с.38

102. Зибров В.А. Система управления ЭХФО на основе многофункционального пьезоэлектрического преобразователя. // Тез. докл. межд. науч.-тех. конф. "25 Гагаринские чтения". Москва, 1999г. - с.42

103. Зибров В.А. Устройство селективного нанесения покрытий натиранием. // Тез. докл. межд. науч.-прак. конф. "Сервис большого города". Уфа, 1999г.-с.16

104. Кукоз Ф.И., Кирсанов С.В., Зибров В.А. Нелинейная модель электрохимической ячейки в системах регулирования межэлектродного зазора. // Известия вузов. Северо-Кавказский регион. Технические науки. 1999.- №3,-С.52-53

105. Зибров В.А. Динамическая модель пьезоэлектрического преобразователя при измерении поверхностного натяжения. // Известия вузов. СевероКавказский регион. Технические науки. 1999.- №3.-С. 58-60

106. Саушкин Б.П. Распределение тока по длине межэлектродного канала при импульсной электрохимической обработке.//Электронная обработка материалов. 1975. - №3.- С. 14-17

107. Крылов B.C., Давыдов А.Д., Козак Е. Проблемы теории электрохимического формообразования и точности размерной электрохимической обработ-ки.//Электрохимия.- 1975.- №8.-С.1155-1179.

108. Петров Ю.Н. и др. Основы повышения точности электрохимического формообразования.- Кишинев, "Штиинца", 1974г.-123с.

109. Давыдов А.Д. Механизм локализации процесса анодного растворения металла при электрохимической размерной обработке.// Электрохимия. 1975.-№5,- С. 809-810

110. Кабанов Б.Н. и др. О взаимосвязи между особенностями анодного растворения металлов и точностью электрохимической размерной обработки. // Размерная электрохимическая обработка деталей машин. Тула.: изд. ТЛИ, 1975г.- С. 10-14

111. А.с. №1646079 СССР, МКИ Н04 R 3/00. Звуковоспроизводящее устройство. / Прокопенко Н.Н. Окорочков А.И., Зибров В.А.(СССР).- № 4611542; Заявл. 29.11.1988, опубл. в Бюл. №16,1991.

112. Зайдман Г.Н., Принь Г.Н. Формирование погрешностей формы и размера при электрохимической размерной обработке металлов.// Современные проблемы электрохимического формообразования. Кишинев, "Штиинца".-1978,- С. 9-13

113. Натурный эксперимент: Информационное обеспечение экспериментальных исследований / JI.H. Бемонов, Т.М. Солодихин, В.А. Солодовников и др.; под. Ред. Н.И. Бакланова М: Радио и связь, 1982. - 304 с.

114. Грановский В.А., Сирая Т.Н. Методы обработки экспериментальных данных при измерениях.-JI.: Энергоатомиздат,1990. 288 с.

115. Смирнов Н.В., Дунин-Барковский И.В. Курс теории вероятностей и математической статистики для технических приложений. М: Наука, 1965. -511с.

116. Журавский А.К. Точность электрохимического метода обработки сложно-профильных изделий. // Теория и практика размерной электрохимической обработки материалов. Уфа.: НТО Машпром., 1971. - С.6-9.

117. Гродзинский Э.Я. Вопросы повышения точности размерной электрохимической обработки. // Электрохимическая обработка материалов. Кишинев.: "Штиинце", 1971. - С.95-99.117

118. Прикладная электрохимия. /Под ред. Кудрявцева Н.Т. М.: Химия, 1975.-552 с.

119. Зибров В.А. Разработка системы управления электрохимическим формообразованием на основе пьезоэлектрического преобразователя. // Высокие технологии на пороге XXI века. Ростов-на-Дону.: Из-во СКНЦ ВШ. - 2000. -С.81-86.

120. Южно-Российский государственный университет экономики и сервиса

121. Министерство образования Российской Федерации1. ТВЕРЖДАЮпо учебной и й работе1. С.П. Петросов2000 г.

122. АКТ ВНЕДРЕНИЯ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОГО МЕРОПРИЯТИЯ № //~

123. Пьезоэлектрический привод РЭСнаименование мероприятия (шифр, если включено в план по внедрению) или результата (методическое пособие)научной, конструкторской, проектной разработки