автореферат диссертации по химической технологии, 05.17.03, диссертация на тему:Особенности, закономерности, конструкторские и технологические решения электрохимической размерной обработки сложнопрофильных изделий

Введение

1. Анализ состояния вопроса анодного растворения магнитных сплавов и улучшения технологических показателей при их электрохимической обработке

1.1 Влияние состава электролита на обрабатывавмость компонентов магнитных сплавов

1.2 Шероховатость и точность при ЭХО компонентов магнитных сплавов

1.3 Задача исследования анодного растворения магнитных сплавов и цель работы по улучшению технологических показателей при их электрохимической обработке

2. Методика исследований и экспериментальное оборудование

2.1 Экспериментальная установка и методика исследований

2.2 Электрохимическая прошивка и резка ЛПМ

2.3 ЭХО с неподвижными электродами

2.4 Определение температуры в МЭЗ

2.5 Определение электропроводности электролита

2.6 Выбор электролита для электрохимической обработки ЛПМ

3. Изучение закономерностей электрохимической обработки ЛПМ

3.1 Влияние плотности тока

3.2 Влияние температуры электролита

3.3 Влияние намагниченности сплавов на качество их ЭХО

3.4 Влияние легирующих присадок в сплаве ЮНД

3.5 Распределение температуры в МЭЗ при ЭХО металлов с переменной скоростью течения электролита

3.6 Влияние компонентного состава сплава на распределение температуры в МЭЗ при ЭХО

3.7 Распределение электропроводности в МЭЗ при ЭХО с переменной скоростью течения электролита

4. Исследование и разработка технологии электрохимической прошивки отверстий и резки магнитных сплавов

4.1 Электрохимическая резка ЛПМ трубчатым электрод-инструментом

4.2 Влияние гидродинамики и конструктивных особенностей электрод-инструмента на электрохимическое прошивание отверстий в ЛПМ ЮНДК24, ЮНД4 и FeCoCr

4.3 Способ бездефектной обработки входного отверстия ЛПМ

4.4 Интенсификация процесса и улучшение качества ЭХО ЛПМ

4.5 Обработка в абразивонесущем электролите с наложением ультразвуковых колебаний

4.6 Извлечение ценных металлов из отходов ЭХО ЛПМ

Выводы

5. Анализ состояния вопроса электрохимического маркирования с использованием фотоактивных и фотоуправляемых электрод-инструментов

5.1 Станки и приспособления для ЭХМ. Типовые операции ЭХМ

5.2 Мелкое цветное маркирование

5.3 Глубокое маркирование

5.4 Изготовление плат печатного монтажа

5.5 Электрохимические методы получения фотографий

Выводы

6. Методика исследований и экспериментальное оборудование

6.1 Схема электрохимической установки для фото-управляемого ЭХМ

6.2 Система фотоуправления растровым ЭИ

6.3 Влияние длины гидродинамического тракта в плоскопараллельном канале на точность и качество электрохимического маркирования

6.4 Расширение технологических возможностей электрохимического фрезерования растровыми ЭИ

6.5 Основы технологии для реализации способа ЭХРО с использованием сканирования фото-управляемого растрового ЭИ

6.6 Методика изготовления и исследований фотоактивных монокристаллических кремниевых ЭИ

6.7 Технология изготовления и конструкция фотоактивного ЭИ на основе структуры SnCVCdS

7. Исследования технологических возможностей и применение фотоуправляемых растровых ЭИ. Изготовление и исследование технологических возможностей фотоактивных ЭИ

7.1 ЭХМ и изготовление фирменных табличек и бирок

7.2 Фотоэлектрохимическая обработка гальванокопий

7.3 О возможности стабилизации скорости анодного съема металла вдоль длины гидродинамического тракта

7.4 Сканирующий фотоуправляемый растровый ЭИ

7.5 Способ изготовления плат печатного монтажа

7.6 Методика определения скорости сканирования ЭИ

7.7 Выбор полупроводникового материала для изготовления фотоакгивного ЭИ

7.8 Методика определения толщины светопроводя-щего покрытия

7.9 Исследования технологических возможностей фотоактивных монокристаллических кремниевых ЭИ для целей ЭХРО

7.10 Способ электрохимической обработки с использованием фотоактивного ЭИ

7.11 Определение разрешающей способности фотоактивного ЭИ

7.12 Метод получения фотографического изображения с использованием фотоактивного ЭИ

7.13 Изучение структуры SnCVCdS/ электролит для целей фотоэлектрохимической размерной обработки

8. Анализ состояния вопроса селективного электроосаждения и электрохимического формообразования сложно-профильных изделий

8.1 Электрохимическое формообразование сложно-профильных деталей с применением нестационарных режимов питания

8.2 Электрохимическое формообразование сложно-профильных деталей с применением нестационарных режимов питания. Особенности процессов СЭ и ЭХРО сложнопрофильных изделий

8.3 Технологические показатели процессов СЭ и ЭХФО

8.4 Управление процессами СЭ и ЭХФО

8.5 Критерии выбора электролита при СЭ

8.6 Анализ существующих методов и систем управления процессами СЭ и ЭХФО сложнопрофильных изделий

8.7 Возможность использования пьезоэлемента для контроля процессами ЭХРО

9. Модель работы установки СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий. Экспериментальные методы исследования параметров СЭ и ЭХФО

9.1 Выбор адекватной модели ЭХЯ с использованием ПП для СЭ и ЭХРО

9.2 Определение параметров нелинейной модели ЭХЯ

9.3 Модель ПП в задаче измерения параметров СЭ и ЭХФО

9.4 Определение удельной электропроводности ЭХЯ при электрохимической обработки стали 20Х2Н4А

9.5 Определение удельной электропроводности ЭХЯ при электроосаждении никеля

9.6 Определение механических характеристик привода ЭИ

10.Результаты экспериментальных исследований

10.1 Результаты измерений удельной электропроводности ЭХЯ при электрохимической обработке стали 20Х2Н4А

10.2 Результаты измерений удельной электропроводности ЭХЯ при электроосаждении никеля

Электрохимическая размерная обработка металлов (ЭХРО) - современный способ металлообработки, основанный на анодном растворении металлов и сплавов в быстропротекающем электролите. Этот способ достаточно широко применяется для обработки деталей из металлов, труднообрабатываемых традиционными способами механической обработки, таких, как твердые сплавы, сплавы на основе титана, алюминия, магнитных сплавов и других металлов, а также при маркировании и изготовлении деталей сложной формы.

В настоящей работе рассматриваются теоретические и технологические основы ЭХРО:

- деталей из магнитных сплавов специального назначения;

- серийного маркирования металлических деталей, изготовления печатных плат и электролитических фотографий с использованием фотоактивных и фотоуправляемых электрод-инструментов;

- селективного электроосаждения (СЭ) и электрохимического формообразования (ЭХФО) сложно-профильных изделий.

Литые постоянные магниты (ЛПМ) являются неотъемлемым элементом многих электрических машин, аппаратов, приборов и находят все более широкое применение в приборостроительной и электрохимической промышленности, в авиационной и космической технике, в других областях народного хозяйства.

Ускоренное развитие новой техники и все возрастающие требования к увеличению долговечности и надежности машин и приборов приводят к необходимости совершенствования существующих и создания новых магнитных сплавов.

Свойства магнитных материалов зависят от их химического состава, способа изготовления и термической обработки [1]. Некоторые свойства, как например намагниченность насыщения, лишь незначительно меняются при изменении химического состава и обычно не зависят от изготовления и термообработки. Наоборот, такие характеристики, как проницаемость, коэрцитивная сила и потери на гистерезис зависят от этих факторов [2].

ЛПМ характеризуется трудностью намагничивания, но сохранением остаточного магнетизма при снятии намагничивающего поля и даже под действием внешних размагничивающих сил [3,4].

По своим механическим свойствам магнитные сплавы отличаются хрупкостью, чрезвычайно низкой пластичностью и большими внутренними напряжениями. Твердость магнитных сплавов составляет HRC 45-48, л предел прочности - 27,4-82,2 НУмм [3]. Поэтому из всех видов обработки резанием к магнитным сплавам можно применить только шлифование абразивами [3]. Однако высокая твердость и хрупкость ЛПМ и при этом процессе приводит к малопроизводительным режимам, появлению сколов и трещин на обрабатываемой поверхности, к выкрашиванию отдельных зерен и частиц металла, прижогам и другим отрицательным последствиям. Все это в конечном итоге, в зависимости от магнитного сплава, приводит к большому проценту брака.

Наряду с абразивным шлифованием используются электрохимическое шлифование (ЭХШ), электроэрозионная обработка (ЭЭО) и анодно-механическая обработка магнитных сплавов.

ЭХШ отличается высокой производительностью (до 1000 мм /мин) и точностью обработки (3-5 кл.), но не дает возможности получать детали сложного профиля и обрабатывать отверстия малого диаметра. Скорость продольной подачи весьма мала, не выше 0,5 м/мин [5].

ЭЭО также высокопроизводительна: при мощности 5-7 кВт произво

3 3 дительность 600-1000 мм /мин, при 30 кВт - 30000 мм /мин. Шерохова

- 10тость при отделочном режиме достигает 6-8 кл.; при высокочистовом - 911 кл. Однако при ЭЭО возможно существенное изменение физико-механических свойств обрабатываемой поверхности вследствие термического воздействия (температура в зоне обработки достигает десятков тысяч градусов [6]) и электродинамических явлений.

На повышенных режимах структурные изменения в материале поверхностного слоя вызывает микротрещины. Глубина всей зоны термического влияния зависит от свойств обрабатываемого материала и энергии импульсов W [7]. Для заданной частоты импульсов глубина зоны термического влияния hm Сщ W"1 > где Ст - коэффициент пропорциональности; т - показатель степени, для сталей т = 0,4-0,42.

С повышением частоты импульсов глубина термически измененного слоя уменьшается. Для стали, например, твердостью HRC 48 глубина зоны термического влияния достигает 0,25-0,35 мм при энергии импульсов 20 Дж.

В поверхностном слое детали возможно также возникновение остаточных напряжений, обусловленных тепловыми процессами. Остаточное напряжение возрастает с увеличением энергии и длительности импульсов. Например, для сплава ЭИ 437 при энергии импульсов 0,2 Дж и длительности 1050 мкс остаточная напряженность достигает 860 МПа. При определенных режимах ЭЭО, в зависимости от материала заготовки, остаточные напряжения могут превышать предел прочности, вызывая образование сетки микротрещин [8].

Требования, предъявляемые к точности, шероховатости и качеству обработки ЛПМ, не позволяют в большинстве случаев производить чистовую ЭЭО? поэтому в промышленности электроэрозионные установки используются для черновой обработки деталей из ЛПМ.

-11

Использование анодно-механической обработки магнитных сплавов приводит к образованию сетки микротрещин и прижогов. Шероховатость обработанных поверхностей не выше 3 кл. чистоты [9]. Электролиты (водные растворы жидкого стекла) создают на поверхности оборудования трудноудаляемую застывшую пленку.

Таким образом, ни один из рассмотренных методов не отвечает полностью требованиям качественной и высокопроизводительной обработки ЛПМ.

Наиболее перспективным для обработки ЛПМ является метод электрохимической обработки (ЭХО). ЭХО отличается большой производительностью, достигающей 40000 мм /мин, высоким качеством обработанной поверхности (6-10 кл.), отсутствием причин, вызывающих наклеп, появление трещин, микротрещин и других дефектов. Однако широкое применение ЭХО ЛПМ сдерживается вследствие частых коротких замыканий (из-за наличия неметаллических включений в сплавах), приводящих к выходу из строя инструмента и, следовательно, неудовлетворительной точности обработки.

Анализ литературных данных показывает, что несмотря на большое количество работ по ЭХО металлов, только незначительная часть их посвящена ЭХО ЛПМ.

Для разработки теоретических и технологических основ ЭХРО деталей из магнитных сплавов нами были поставлены следующие задачи:

1. Изучить макро и микроявления, имеющие место в межэлектродном зазоре (МЭЗ).

2. Исследовать физику и химию процесса ЭХО ЛПМ.

3. Исследовать влияние состава электролита и режимов обработки на производительность, шероховатость поверхности и точность обработки ЛПМ.

- 124. Изучить особенности гидродинамического режима при ЭХО и их влияние на обработку.

5. Изучить обрабатываемость ЛПМ в абразивонесущем электролите с наложением ультразвуковых колебаний.

6. Внедрить разработанную технологию в производство.

Разработанные теоретические основы ЭХО ЛПМ оказались применимыми для разработки серийного электрохимического маркирования (ЭХМ) металлических изделий самого широкого назначения, обеспечивающей долговременную сохранность информации об изделии, хранящихся или эксплуатируемых в химически агрессивных или других истирающих условиях.

ЭХМ является одним из методов ЭХРО, при котором на обрабатываемую поверхность наносятся различные знаки и изображения [10, 11]. Электрохимическое нанесение информации применяется в машиностроительной, электротехнической, радиоэлектронной, полиграфической и в других отраслях промышленности при изготовлении изделий основного производства и товаров народного потребления.

Способы ЭХМ позволяют наносить информацию на детали любой формы и толщины, независимо от химического состава токопроводящей поверхности и ее механических свойств. В отличие от механических, ударных способов маркирования, ЭХМ не вызывает деформации деталей и появления заусенцев. Наносимая информация сохраняется и не стирается длительное время при эксплуатации деталей в неблагоприятных условиях, при различных механических и химических воздействиях. Маркирование деталей необходимо проводить при ремонтно-восстановительных работах, на этапах обработки и сборки, где необходимо опознавание каждой детали. Отсутствие такой информации в процессе сборки, а также в процессе эксплуатации приводит к необходимости повторного установления отличительных признаков и свойств.

- 13

Существующие методы ЭХМ по разным причинам не всегда полностью удовлетворяют требованиям производства и обеспечивают необходимое качество обработки. Одним из сдерживающих факторов более широкого применения ЭХМ является необходимость изготовления электрод-инструментов (ЭИ) или трафаретов для каждого вида наносимой информации. Это условие является неприемлемым при нанесении обширной и часто меняющейся информации, например при изготовлении плат печатного монтажа (ППМ), нанесении сложных рисунков [12]. Для этих целей обычно применяют растровые (матричные) ЭИ [13]. Однако для расширения технологических возможностей, увеличения объема и сложности наносимой информации требуется уменьшать размеры и увеличивать количество элементов (секций) растровых ЭИ. Это существенно усложняет проблемы изготовления ЭИ, коммутации и управления секциями ЭИ, что приводит к увеличению технологических затрат в стоимости продукции.

Еще одной проблемой ЭХМ, характерной для всех процессов ЭХРО, является проблема повышения точности и качества формообразования. Точность ЭХРО в большинстве случаев лимитируется не точностью используемого оборудования, а точностью, обеспечиваемой собственно процессом анодного растворения [14]. Основные электрохимические погрешности обусловлены процессами шламо- и газонаполнения, а также выделением джоулевой теплоты в межэлектродном промежутке (МЭИ). Для ЭХМ это накладывает жесткие ограничения на возможность увеличения объема наносимой информации и площади обрабатываемой поверхности.

При электрохимических методах изготовления ППМ возникает специфическая проблема, связанная с тем, что происходит полное, до диэлектрического основания, травление фольги, что может привести к образованию необработанных, изолированных от токоподвода островков. Существующие способы решения этой проблемы не позволяют в полной степени реализовать возможности ППМ электрохимическими методами с точно

- 14стью, соизмеримой и превышающей точность, получаемую при традиционных фотохимических методах, хотя такая возможность имеется [12].

Электрохимические методы получения фотографического изображения с использованием полупроводниковых электродов представляют особый интерес, так как позволяют расширить чувствительность в широком спектральном диапазоне и создают возможность управления чувствительностью [15, 16]. В существующих методах полупроводниковый материал либо сам подвергается травлению, либо является подложкой для осаждения металла из электролита. Для улучшения качества и стойкости изображения, снижения стоимости технологического процесса необходимо выдвигать новые идеи и решать ряд научно-технических и инженерных проблем, некоторые из которых присущи всем методам ЭХМ.

Для решения перечисленных проблем, как показали наши поисковые исследования, представляется перспективным использование фотоактивных и фотоуправляемых ЭИ. Такие ЭИ имеют плоскую рабочую поверхность, что существенно упрощает гидродинамический режим протекания электролита; они могут применяться длительное время для нанесения любого вида информации. Однако до настоящего времени данных о технологии изготовления и применении таких ЭИ явно недостаточно.

Представляется также возможным применение фотоактивных ЭИ для электролитического способа получения фотографий непосредственно на обрабатываемой поверхности. В результате патентных поисков мы не обнаружили сведений о таких методах получения фотографий.

Фотоактивные и фотоуправляемые ЭИ могут применяться для нумерации серийной продукции, изготовления фирменных табличек, товарных знаков, плат печатного монтажа, печатных форм, клише, плоских фигурных деталей, в том числе ЛПМ, фурнитуры, декоративной и другой продукции, где требуется неглубокая электрохимическая обработка.

- 15

Таким образом, разработка фотоуправляемых методов коммутации секций растровых ЭИ и разработка ЭИ с фотоактивной полупроводниковой поверхностью, а также изучение технологических возможностей таких ЭИ является также актуальной задачей при создании и внедрении прогрессивных электрохимических технологий.

Для решения этих проблем ЭХМ нами были определены следующие задачи:

1. Разработать способ электрохимической обработки, в котором ЭИ выполнен из фотоактивного полупроводникового материала, то-коподводом на его нерабочей поверхности, на которую воздействуют световым потоком, в соответствии с которым происходит ЭХРО.

2. Изучить возможность электролитического метода получения фотографий с использованием фотоактивных ЭИ.

3. Разработать способ фотоуправления секциями растрового ЭИ и исследовать технологические возможности метода ЭХМ с использованием такого ЭИ.

4. Исследовать возможность изготовления плат печатного монтажа подвижным фотоуправляемым секционным ЭИ. Установить закономерности растворения металлической фольги с основания печатной платы для определения необходимой скорости движения ЭИ.

5. Проанализировать влияние основных электрохимических факторов на точность и качество ЭХМ и определить возможные способы уменьшения погрешностей обработки.

6. Разработать конкретный технологический процесс для ЭХМ и передать его предприятию-заказчику для внедрения.

Накопленный фактический материал по ЭХО ЛПМ и ЭХМ позволил решить ещё одну важную проблему широкомасштабного производства миниатюрных тонкоплёночных сложно-профильных изделий специального назначения. Интенсификация электрохимических технологий: уменьшение межэлектродного расстояния, проведение процессов в потоке электролита, повышение плотности тока для высоких показателей процесса, требуют детального рассмотрения особенностей высокоскоростных нестационарных электродных процессов анодного и катодного формообразования [17-24]. При этом необходимость описания процессов СЭ и ЭХФО требует использование пространственных моделей, учитывающих физико-химические явления МЭЗ. Двумерные модели, в которых электрохимическая ячейка (ЭХЯ) изображается в виде длинномерного канала, снижают возможности для реализации точности и качества изделий, а также для прогнозирования процессов СЭ и ЭХФО и эксплуатационных характеристик деталей [18-24].

В этих условиях управление процессами СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий осложняется рядом причин: расширением круга задач управления; особенностями процесса; возросшим значением измерительных средств; непрерывным развитием технологии, сопровождающимся ростом числа и видов измеряемых физико-химических величин; требованиями высокой надежности к различному роду измерительных преобразователей.

Более высокий уровень управления процессами СЭ и ЭХФО требует поиска соответствующих новых технических решений. Вполне очевидно, что применение многофункциональных преобразователей, обладающих свойством избирательности, особенно эффективно при измерениях различного рода параметров в условиях помех и дестабилизирующих факторов (изменяющихся в широких пределах).

Для решения этой проблемы представляется перспективным использование пьезоэлектрического преобразователя (1111). Многофункциональные свойства ПП позволяют: существенно упростить управление приводом

- 17

ЭИ; проводить измерения и корректировку технологических параметров непосредственно в ходе процессов СЭ и ЭХФО. Между тем, до настоящего времени данных о процессах СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий с использованием многофункциональных свойств ПП явно не достаточно.

Представляется также возможным применение ПП при селективной электрохимической обработке и нанесении покрытий на сложно-профильные изделия, используя различные режимы возбуждения пьезо-элемента (ПЭ) (непрерывный, дискретный и т.п.)

Таким образом, использование ПП в установках СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий, а также выделение определяющих параметров процесса электролиза в электролитических ваннах с малыми МЭЗ является также актуальной задачей при создании и внедрении прогрессивных электрохимических технологий.

Для решения проблем СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий нами были поставлены следующие задачи:

1. Проанализировать особенности управления электрохимическими процессами в ваннах с узким МЭЗ и проточным электролитом и установить определяющие входные параметры, влияющие на технико-эксплуатационные показатели процессов.

2. Установить закономерности СЭ металлов и ЭХФО, в зависимости от состава, температуры и концентрации электролита.

3. Исследовать возможность управления параметрами нестационарного процесса ЭХО (величина МЭЗ, скорость подачи ЭИ, амплитуды, длительность и скважность импульсов) за счёт дистанционного измерения и корректировки величины удельного сопротивления МЭЗ пьезоэлектрическим преобразователем (ПП) в режиме реального времени процесса.

4. Внедрить разработанную технологию в производство.

Таким образом, целью диссертационной работы является разработ

- 18ка теоретических и технологических основ электрохимического формообразования изделий специального назначения.

В соответствии с поставленной целью были определены следующие основные задачи исследования:

1. Накопление фактического материала и разработка теоретических и технологических основ анодного растворения литых постоянных магнитов; электрохимического маркирования деталей, изготовления плат печатного монтажа и электролитических методов получения фотографий с использованием фотоактивных и фото-управляемых электрод-инструментов; разработка технологического решения и экспериментальной установки автоматического управления процессами селективного электроосаждения и электрохимического формообразования миниатюрных тонкоплёночных металлических сложно-профильных изделий специального назначения с контролем и коррекцией технологических параметров в режиме реального времени.

2. Выявление основных электрохимических факторов, влияющих на точность и качество разрабатываемых процессов обработки деталей и определение возможных способов уменьшения погрешностей обработки.

3. Математическое моделирование исследуемых процессов с целью их оптимизации и совершенствования технологических процессов.

4. Разрабатываемые технологические решения должны быть экологически более приемлемы, требовать меньшего количества технологических операций, использовать менее агрессивные и более простые химические реагенты и быть экономически более целесообразными.

5. Технико-экономическая оценка предложенных решений и их ап

- 19робирование в лабораторных и производственных условиях. Разработать конкретные технологические процессы для ЭХРО деталей и передать их предприятию-заказчику для внедрения.

Работа выполнена в соответствии с координационными планами НИОКР АН РФ (СССР), ГКНТ РФ (СССР), планом работ по научным направлениям ЮРГТУ (НПИ) "Гальванотехника и электрохимическая обработка металлов" и ЮРГУЭС "Разработка современных методов обработки материалов, оптимизация технологических процессов, конструирование, изготовление и модернизация приборов и изделий сферы сервиса", а также по ряду заказов предприятий и наряд-заказов НИИ и фирм, в том числе Новочеркасского производственного объединения "Магнит"; АО НПО "Динамо", г. Москва; ОАО ШРМЗ ОАО "Ростовуголь", г. Шахты; АООТ "Металлконструкция", р/ц Змиевка, Орловской обл.

Автор выражает искреннюю признательность и благодарность Заслуженному деятелю науки и техники РФ академику МАН ВШ, доктору технических наук, профессору Кукозу Ф.И. за неустанную помощь и поддержку на всех этапах работы. Автор благодарит также бывших аспирантов ныне кандидатов технических наук Глебова В.В. и Зиброва В.А. за плодотворную совместную работу, благодарит преподавателей кафедры физики ЮРГУЭС, взявших на свои плечи нагрузку соискателя на период завершения работы, за помощь и внимание.

- 20

- 287 -ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. На основе метода математического планирования эксперимента разработан новый электролит для электрохимической прошивки отверстий в изделиях из магнитных сплавов ЮНД4, ЮН13ДК24Т2, FeCoCr следующего состава (в вес. %):

• азотнокислый натрий 8-11;

• углекислый натрий 4-6;

• уксуснокислый натрий 1,8-2,2;

• бромистый калий 0,8-1,3;

• вода остальное

Предложенный электролит при плотности тока 40 - 50 А/см2 обеспечивает производительность 0,9 - 1 мм/мин, точность 3 кл., шероховатость 6 - 7 кл. (авторское свидетельство Кл. В23Р, 1/16, №753580, бюллетень № 29,1980).

2. Разработаны методика и установка, и проведены исследования по одновременному измерению температуры в приэлектродных слоях электролита, позволившие впервые установить закономерности выделения тепла и качественно оценить изменение электропроводности в этих слоях.

Экспериментальными исследованиями показано, что распределение Температуры вдоль и по высоте межэлекгродного промежутка нелинейно. Распределение температуры по поверхности обоих электродов одинаково в случае пассивного состояния поверхности анода, когда выход по току растворяемого металла равен нулю.

3. Получено аналитическое выражение распределения электропроводности электролита в зависимости от градиента температуры.

Дано объяснение:

-288

• резкого уменьшения электропроводности электролита в при-электродных слоях за счет «обволакивания» пузырьками газа электродов;

• влияния условий ЭХО на электропроводность и выход по току процесса анодного растворения металлов, а также на качество обработанной поверхности.

4. Исследовано влияние легирующих добавок и ультразвуковых колебаний на магнитные свойства, производительность обработки и шероховатость поверхности при ЭХО ЛПМ ЮНД4. Установлено, что добавки 0,1 - 0,3% Ей и 0,5 - 1,0% Sb позволяют увеличить максимальную магнитную энергию и более чем в 2 раза повысить производительность ЭХО. Нал ложение ультразвуковых колебаний интенсивностью 50 Вт/см и частотой 22 кГц ± 7,5% на электрод-инструмент увеличивает производительность обработки легкопассивирующихся сплавов в 1,5 - 1,75 раза и одновременно уменьшает высоту микронеровностей почти в 2 раза. Установлена корреляция между количеством, формой и размерами неметаллических включений в ЛПМ и шероховатостью обрабатываемой поверхности.

5. Получены закономерности влияния плотности тока, температуры и расхода электролита на производительность ЭХО и шероховатость поверхности магнитных сплавов ЮНДК35Т5, ЮНД4 и FeCoCr.

На основании поляризационных измерений и зависимости выхода по току от плотности тока определено, что при плотностях тока выше 8 А/см происходит активированное растворение сплавов ЮНДК35Т5, ЮНД4 и FeCoCr с максимальным выходом по току при минимальных шероховатости и энергозатратах. Оптимальной температурой электролита для обработки сплава ЮНД4 является 25 - 30 °С, а для сплавов ЮНДК35Т5 и FeCoCr -35-45 °С.

6. На основании полученного нового материала и теоретических расчетов разработаны:

-289

• способ прошивки отверстий в заготовках, имеющих криволинейную и шероховатую поверхности, без «размыва» кромки отверстия (авторское свидетельство СССР Кл. В23Р, 1 / 04, № 655495, бюллетень № 13, 1979;

• способ резки магнитных заготовок высотой 60 - 70 мм с одновременным уменьшением давления электролита в 3 - 6 раз и улучшением качества обработанной поверхности по сравнению с известным способом резки проволочным электрод-инструментом;

• обоснована целесообразность использования комбинированного - электрохимического и ультразвукового - метода обработки ЛПМ.

7. Разработанные технологии обеспечивают показатели, отвечающие требованиям производства, и были внедрены на Новочеркасском производственном объединении «Магнит». Годовой экономический эффект от внедрения составил 52,1 тыс. руб. (в ценах 1981г.). Предложена технология извлечения кобальта и никеля с использованием отходов кислых травильных растворов и шлама. Выход по току сплава Fe - Со - Ni не менее 55%. Экономический эффект от внедрения составил 1,33 руб. на 1 кг извлеченного металла (в ценах 1981г.).

8. Проведён анализ существующих методов электрохимического маркирования деталей, проанализированы возможности этих методов и выявлены основные факторы, сдерживающие и ограничивающие более широкое их применение (низкая производительность, многооперацион-ность, большое использование ручного труда, низкая управляемость качеством).

9. Разработаны и испытаны в лабораторных условиях различные конструкции фотоуправляемых растровых ЭИ, позволяющие оперативно менять рисунок наносимой информации, снижающие трудоёмкость изго

-290товления изделий и использование ручного труда, улучшающие качество и износостойкость наносимой рельефной информации.

10. Разработан комбинированный ЭИ для изготовления различных фирменных табличек. Рабочая поверхность с рисунком неменяющейся информации изготовлена из медной пластины, в которую вставлены растровые ЭИ для нанесения на таблички сменной информации (нумерация, параметры изделия, дата изготовления). Выявлены наиболее рациональные условия и режимы ЭХРО по изготовлению таких табличек и составлено технико-экономическое обоснование для применения таких ЭИ в условиях серийного производства.

11. Установлено, что основными факторами, влияющими на точность и качество ЭХМ, являются процессы тепло- и газовыделения в МЭП. Эти факторы накладывают ограничения на возможность увеличения площади маркируемой поверхности. Для увеличения площади маркируемой поверхности, улучшения качества обработки и возможности оперативной замены информации предложен способ обработки, в котором эти проблемы решаются за счёт сканирования фотоуправляемого линейного секционного ЭИ по обрабатываемой поверхности (способ защищён патентом РФ), что позволяет обрабатывать поверхности больших площадей и наносить различную меняющуюся информацию.

12. Для электрохимического фрезерования рельефного профиля, в том числе изготовления неглубоких пресс-форм, предложен способ электрохимической обработки (защищён авторским приоритетом), в котором ЭИ выполнен из кремниевой монокристаллической пластины. Для получения необходимого рельефного рисунка ЭИ освещают соответствующим образом распределённым световым потоком, при этом рисунок и глубина обработки пропорциональна освещённости. Такой ЭИ имеет низкую рабол чую плотность тока (20 мА/см ) и, следовательно, процесс обработки идёт длительное время (около 5 минут для мелкого маркирования). Для увели

-291 чения плотности тока разработаны основы технологии по изготовлению фотоактивных ЭИ с использованием сульфида кадмия. Плотность тока увеличилась более чем в 100 раз, по сравнению с кремниевыми ЭИ.

13. Показана возможность получения фотографии электрохимическим методом с использованием фотоактивного ЭИ (способ защищен авторским приоритетом), в котором изображение формируется в процессе анодного растворения проводящей подложки, на которую нанесён проводящий слой, имеющий цвет, контрастный по отношению к цвету подложки. Полученные фотографии имеют разрешение 0,2 мм.

14. Проанализированы основные причины, сдерживающие более широкое применение методов ЭХРО для изготовления плат печатного монтажа (возникновение невытравленных токоизолированных островков; необходимость изготовления ЭИ или трафарета для каждого рисунка платы; жёсткие требования по плотности рисунка и ширине проводящих полосок; процессы тепло- и газовыделения в МЭП). Разработаны основы конструкторского решения оборудования для изготовления печатных плат с использованием линейного секционного фотоуправляемого ЭИ. Во время обработки происходит поступательное движение пластины вдоль ЭИ, что исключает образование невытравленных островков, а управление секциями осуществляется от фотоэлементов, которые двигаются в плоскости светового изображения рисунка плат печатного монтажа (способ защищен патентом РФ). Скорость обработки составляет 5 мм/мин. Показана принципиальная возможность изготовления печатных плат любого класса по плотности проводящего рисунка (для 5-го класса ширина дорожки 0,10 мм).

15. Проведённые исследования методов ЭХРО с использованием фотоактивных и фотоуправляемых ЭИ показывают на возможность их применения в различных отраслях промышленного производства для ЭХМ, изготовления печатных плат, печатных форм и клише, различной декора

-292тивной продукции и плоских тонких деталей, что позволит создать экологически более приемлемую, малооперационную, менее трудоёмкую, ресурсосберегающую технологию по сравнению с используемой фотохимической и электромеханической технологией.

16. Испытаны в производственных условиях и внедрены в проектные работы ОАО 1ПРМЗ ОАО "Ростовуголь" фотоэлектрохимические методы маркирования деталей и обработки гальванокопий с экономическим эффектом 30 миллионов рублей (в ценах 1997г.).

17. Разработана установка СЭ и ЭХФО сложно-профильных изделий, а также апробирование работы в производственных условиях АООТ "Металлконструкция", которая дала положительный результат и позволила сократить технологические затраты за счет: уменьшения брака; сокращения затрат на реактивы; введение рецикла (замкнутого контура прокачки электролита); автоматизации технологического процесса. В расчете на годовую потребность в изделиях АООТ "Металлоконструкция" в ценах 1999г. экономический эффект составил 2959 руб.

18. Исследовано влияние величины МЭЗ на изменение удельной электропроводности межэлектродной среды. При увеличения МЭЗ от 0,05 до 0,30 мм удельная электропроводность увеличивается с 0,012 до 0,078

Ом"1-см"1 при 15% МаС1и с 0,012 до 0,053 Ом"1-см'1 при 20% NaN°3. с уменьшением концентрации электролита и увеличении амплитуды технологического тока наблюдается уменьшение величины удельной электропроводности, что объясняется значительным увеличением выделения водорода на катоде при уменьшении МЭЗ по мере возрастания плотности тока, а при МЭЗ меньше 0,1 мм - образованием парогазовых смесей, резко снижающих электропроводность среды.

19. Результаты полученные при обработке неглубоких полостей до 1,5 мм с площадью обработки 10 мм2, позволяют сделать вывод о том, что

-293при ЭХФО с малыми МЭЗ (0,05-г0Д мм) при стабилизации величины удельной электропроводности на уровне ±0,002 Ом^см"1, путем регулирования величины МЭЗ (0,05+0,10 мм), амплитуды (10+15 В) и длительности (10+50 мкс) технологического тока, повышается точность обработки с ±0,05+0,10 мм до ±0,005+0,010 мм и уменьшается шероховатость поверхности с (3,0+1,5) мкм до (1,5+0,5) мкм.

20. Изучены зависимости удельной электропроводности межэлектродной среды при СЭ никеля на сталь 20Х2Н4А от температуры и концентрации электролита, величины МЭЗ, амплитуды и длительности импульсов технологического тока. При регулировании величины МЭЗ, амплитуды и длительности технологического тока в процессе СЭ никеля величина удельной электропроводности изменялась в пределах (0,044-0,045)±0,002 Ом"1-см"1.

21. Установлено, что стабилизация удельной электропроводности межэлекгродной среды в пределах ±0,002 Ом"1 см"1 существенно уменьшает шероховатость поверхности в пределах (0,75-0,55) мкм при СЭ никеля на сталь 20Х2Н4А. Подобное явление отмечено во всех исследованных концентрациях электролита.

1. Довгалевский Я.М. Легирование и термическая обработка магни-тотвердых сплавов. -М.: Металлургия, 1971. -175 с.

2. Бозорт Р. Ферромагнетизм. -М.: Иностранная литература, 1956. -770с.

3. Хрульков В.А. Механическая обработка изделий из магнитных материалов. -М.: Машиностроение, 1966. -160 с.

4. Альтман А.Б. и др. Постоянные магниты. -М.: Энергия, 1971. -373 с.

5. Вайнберг P.P., Васильев В.Г. Электрохимическое шлифование то-копроводящими абразивами и алмазными кругами. -М.: Машиностроение, 1976. -32 с.

6. Думпе В.Э. Электроэрозионная обработка деталей. -Киев: Техника, 1976.-138 с.

7. Подураев В.Н. Резание труднообрабатываемых материалов. -М.: Высшая школа, 1974. -590 с.

8. Артамонов Б.А. и др. Размерная электрическая обработка металлов. -М.: Высшая школа, 1978. -336 с.

9. Довгадевский Я.М. Литые магниты из сплавов магнико. ~М.: Машиностроение, 1964. -158 с.

10. Справочник по электрохимическим и электрофизическим методам обработки // Г.Л. Амитан, И.А. Байсупов, Ю.М. Барон и др./ Под общ. ред. В.А. Волосатова. -Л.: Машиностроение, 1988. -719 с.

11. Смоленцев В.П., Смоленцев Г.П., Садыков З.Б. Электрохимическое маркирование деталей. -М.: Машиностроение, 1983. -72 с.

12. Несеребряные фотографические процессы / Под ред. А.Л. Карту-жанского -Л.: Химия, 1984.-376 с.

13. Fujiwara М., Kawajiri К. A new approach in electrolytic photography // Journal of Electroanalytical Chemistry and Interfacial Electrochemistry. 1990.V.292. No 1+2. P.273-275.

14. Давыдов А.Д. Высокоскоростное электрохимическое формообразование. -М.: Наука, 1990. -272 с.

15. Черепанов Ю.П., Самецкий Б.И. Электрохимическая обработка в машиностроении. -М.: Машиностроение, 1972. -117 с. Седыкин Ф.В. Размерная электрохимическая обработка деталей машин. -М.: Машиностроение, 1976. -302 с.

16. Смоленцев В.П. Технология электрохимической обработки внутренних поверхностей. -М.: Машиностроение, 1978. -176 с.

17. Атанасянц А.Г. Анодное поведение металлов. -М.: Металлургия, 1989,- 176 с.

18. Дикусар А.И., Энгельгардт Г.Р., Петренко В.И., Петров Ю.Н. Электродные процессы и процессы переноса при электрохимической размерной обработке металлов. -Кишинев: Штиинца, 1983. -207 с.

19. Гепштеин B.C. Исследование технологических особенностей нестационарных процессов при электрохимической размерной обработке деталей: Канд. дисс. -Тула, 1972.

20. Мороз И.И. и др. Электрохимическая обработка металлов. -М.: Машиностроение, 1969. -208 с.

21. Кабанов Б.Н., Кащеев В.Д. Механизм анодной активации железа. // Доклады АН СССР. Т.151, вып. 4. -1968. -С. 883-885.

22. Кабанов Б.Н. Электрохимия металлов и адсорбция. -М.: Наука. 1966. -222 с.

23. Петров Ю.Н. Основные направления исследований в области электрохимической размерной обработки металлов. // Электрохимическая размерная обработка металлов. -Кишинев: Штиинца, 1974. -С.3-9.

24. Давыдов А.Д. и др. Анодное растворение никеля в перемешиваемых растворах хлоридов применительно к размерной электрохимической обработке. // Физика и химия обработки материалов. 1972, №4. -С.139-143.

25. Давыдов А.Д., Кащеев В,Д, Мирзоев Р.А. Анодное растворение сплавов на основе железа и никеля в процессе электрохимической размерной обработки в растворах азотнокислого и сернокислого натрия. // Физика и хймия обработки материалов. 1974, №3. -С.38-41.

26. Boden P.J.Evans J.M. Reduction of Stray-Current Attak in Electrochemical Mashining-Electrochemica Acta. -1971, 16, №7. P.1071-1079.

27. Аржитарь O.A., Дикусар А,И., Петренко В.И. Исследование анодного растворения никеля в растворах хлористого натрия с помощью вращающегося дискового электрода. // Электрохимическая размерная обработка металлов. -Кишинев : Штиинца, 1974,- С.30-36.

28. Нечаев А. В., Левин А. И. Анодное поведение алюминия в процессе электрохимической размерной обработки. // Электрохимическая размерная обработка металлов. -Кишинев: Штиинца, 1974. -С.36-44.

29. Давыдов А.Д.,Кащеев В.Д. Анодное поведение металлов при электрохимической размерной обработке. Итоги науки и техники. // Электрохимия. 1974. Т.9. -С. 154-156.

30. Давыдов А.Д. Механизм локализации процесса анодного растворения метала при электрохимической размерной обработке. // Электрохимия. 1975. Т.5. -С.809-610.

31. Мирзоев Р.А., Давыдов А.Д. Влияние электродных процессов на некоторые технологические характеристики электрохимической-299размерной обработки. //Электрофизические и электрохимические методы обработки. 1972. Вып.9. -С.9-12.

32. Седыкин Ф.В. Размерная электрохимическая обработка деталей машин. -М.: Машиностроение, 1976. -302 с.

33. Томашов Н.Д., Чернова Г.В. Пассивность и защита от коррозии. -М.: Наука, 1965. -208 с.

34. Феттер К. Электрохимическая кинетика. / Пер. с нем. -М.: Химия, 1967. -356 с.

35. Батраков В.П., Акимов Г.В. Явление перепассивации сталей в окислительных средах // Докл. АН СССР. 1953. Т.89, вып.2. -С.321-325.

36. La Boda М.А. McMillan M.L. A New Electrolyte for Electrochemical Machining// Electrochemical technology, 1967, 5. №7-8. -P.346-350.

37. Ромашкан А.Д. Особенности анодного растворения металлов группы железа в электролитах, применяемых для их электрохимической обработки: Автореф. дисс. канд. наук. -М.: 1974.

38. Hoar J.P. Oxide Film Studies on Jron in Electrochemical Machining Electrolytes //J.Electrochem Soc., 1970,117. №1. P.142-145.

39. Hoar J.P. Anodie Polarization Studies on Soft Jrom in Some Concentration Salt Solutions //Nature, 1968, 219. P.2034-2036.

40. Hoare J.P.Chartrand A .J.,La Boda M A. Electrochemical Machining of High Temperature Alloys in Nacio3, Solutions // J. Electrochem. Soc., 1973,120. №8. P. 199-203.

41. Mao K.W. ECM Study in a Closed Cell System // J. Electrochem. Soc., 1971,118. №11. P. 1870-1876.

42. Mao K.W.,La Boda M.A., Hoar J.P. Anodie Film Studies on Steel in

43. Nitrate Based oil Electrolytes for ECM // J.Electrochem. Soc., 1971, 118. №11. P.419-422.

44. Колотыркин Я.М. Влияние природы анионов на кинетику и механизм растворения металлов в растворах электролитов. // Защита металлов. 1967. № 2. -С.131-144.

45. ChlnRJ., Nobe. К. Efiectzodissolluiton Kinecs of Jron in Chlozide Solutions, 3 Alidie Solutions // J. Electrochem. Soc., 1972, 119. №11. P.1457-1461.

46. Петров. Ю.Н, и др. Основы повышения точности электрохимического формообразования. -Кишинев: Штиинца, 1977. -151 с.

47. Мирзоев Р.А. Исследование электродных процессов и свойств при электродных слоев при размерном электрохимической обработке: Канд. дисс. -Л.-М.: 1970.

48. Герасимов В.В. Коррозия алюминия и его сплавов. -М.: Металлургия, 1967.114 с.

49. Нечаев А.В., Левин А.И. Николаев В.И., Кудрин С.М. Влияние природы анионов на анодное растворение сплава АМгб при высоких плотностях тока. // Электронная обработка материалов. 1972. №3. -С.6-8.

50. Журавский А.К., Винокуров А.В. Особенности обработки труднодоступных мест корпусных деталей электрохимическим методом // -Уфа: УфАИ, 1968, вып.2. -С.31-37.

51. Давыдов А.Д., Кащеев В.Д. Влияние состава, рН и температуры электролита на анодное поведение металлов при высоких плотностях тока. // Размерная электрохимическая обработка металлов. -Тула: ЦБТИ, 1969. -С.26-33.

52. Кабанов Б.Н., Кащеев В.Д., Давыдов А.Д. Некоторые теоретические аспекты электрохимического метода размерной обработки металлов. // Электрохимическая обработка металлов. -Кишинев: Штиинца, 1971.-С.5-12.

53. Гусев Ю.В. Исследование и разработка процесса плоского абразивного электрохимического шлифования периферий круга литых постоянных магнитов: Канд. дисс. -Новочеркасск Ленинград: 1974.

54. Введенский А.В. Анодное растворение магнитного сплава-ЮНДК25БА при высоких плотностях тока в нитратном электролите // Электронная обработка материалов. 1976. № 6. -С. 16-20.

55. Черных С.Н. К вопросу электрохимического поведения магнитныхсплавов в растворе. // Применение машитотвердых материалов в электроизмерительной технике. -Л.: 1975. -C.I30-I33.

56. Николаев А.В. Растворение компонентов магнитных сплавов под действием переменного тока: Автореф. дисс. канд. техн. наук. -Новочеркасск, 1973.

57. Кудимов Ю.Н. Исследование процесса электрохимической размерной обработки некоторых легированных конструкционных сталей: Автореф. дис. канд. техн. наук. -Новочеркасск, 1973.

58. Дикусар А.И., Аржитарь О.А. Аномалии при высокоскоростном анодном растворении хромоникелевых сплавов. // Теория и практика электрохимической обработки металлов, -Кишинев: Штиинца, 1976. -С.3-19.

59. Давыдов А.Д., Каримов А.Х., Вороненко Л.М. Влияние структуры сталей на их анодное растворение. // Электронная обработка материалов. 1974. № 4. -С. 19-23.

60. Электрохимическая размерная обработка металлов и сплавов. / Под ред. И.Л.Копелева. -М.: ЭНИМС, 1967. -62 с.

61. Румянцев А.В., Денисенко Т.К., Цветаева В.Б. Электрохимическая прошивка отверстий при высоких плотностях тока. // Станки и инструмент, 1972, №9. -С.36-87.

62. Гродзинский Э.Я. и др. Электрохимическое шлифование магнитов из сплавов типаЮНДК.: ЭНИМС, 1970, вып.1. -С.220-224.

63. Гусев Ю.В., Костюков В.А., Черных С.Н. Исследование влияния электролитов на процесс электролитического плоского шлифования магнитного сплава ЮНДК24. // Магнитотвердые материалы. -Ростов-на-Дону, 1971. Т. 2. -С.171-175.

64. А.с. 3955219. В23р1/16. Электролит для электроабразивного шлифования / М.Я. Чмир, Г.В. Шадский. Опубл. в"Открытия. Изобретения. Промышленные образцы. Товарные знаки", 1978, № 35. -С.40.

65. Открытия. Изобретения. Промышленные образцы. Товарные знаки", 1973, № 6. -С.25.

66. Давыдов А.Д., Корчагин Г.В., Кащеев В.Д, Некоторые особенности электрохимической обработке никеля в длинных каналах. // Электронная обработка материалов. 1975. № 4. -С.9-12.- 304

67. Петров О.Н. и др. О механизме формирования чистоты поверхности при ЭХО. // Электронная обработка материалов. 1970. №. 5. -С.3-5.

68. Корнилов Э.Н. Исследование некоторых закономерностей анодного растворения сплавов в процессе размерной электрохимической обработки: Автореф. канд. тех. наук. -ТулаД971.

69. Вишницкий В.Л., Янгорский И.З., Григорчук И.П. Электрохимическая и электромеханическая обработка металлов. -Л.: Машиностроение, 1971. -211с.

70. Захаров И.Б., Борисов Н.В. К вопросу о распределении температуры в межэлектродном зазоре при ЭХО металлов. // Вопросы физики формообразования и фазовых превращений. -Тула, 1973, вып.З. -С.117-122.

71. Паршутин В.В. Исследование процесса электрохимической прошивки отверстий в твердых сплавах типа ВК // Канд. дисс. -Кишинев, 1971.

72. Орлов В.Ф., Митяшкин Д.З. Влияние нестабильности основных параметров режима обработки на погрешность формообразования сложных: поверхностей при ЭХО // Технология машиностроения. -Тула, 1972, вып.24. -С.70-63.

73. Молдавский И.И. Температурные факторы при обработке отверстий электрохимическим способом. // Электронная обработка материалов. -1965, № 5-6. -С.66-71.

74. Мирзоев Р.А. Катодный процесс при электрохимической размерной обработке металлов. // Электрохимическая обработка металлов. -Кишинев: Штиинца, 1971. -С.46-51.

75. Гроздинский Э.Я., Стебаев A.M., Прессман А.Д. Вопросы повы- 305 шения точности размерной электрохимической обработки материалов. // Электрохимическая обработка металлов. -Кишинев: Штиинца, 1971. -С.95-99.

76. Щитова В.Л., Слепушкин Е.И., Длугач Д.Д. Анализ процесса саморегулирования при электрохимической обработке материалов. // Электричество. 1965. -С.25-29.

77. Пекар Ю.А., Термина Л.И., Щербаков Л.М. О влиянии газонаполнения на электропроводность электролита. // Вопросы физики формообразования и фазовых превращений. -Тула, 1973, вып.З. -С.104-112.

78. Уваров Л.Б., Шаров С.И. Некоторые особенности электрохимической обработки с применением газожидкостных смесей. // Электронная обработка материалов. 1976, № 1. -С.20.

79. Генштейн. B.C. К вопросу об электрохимической размерной обработке на малых межэлектродных зазорах. // Вопросы совершенствования технологии производства машин . -Уфа.: УфАИ, 1970, вып.20. -С. 18-23.

80. Дмитриев Л.Б., Панов Г.Н., Шляхов В.Г., Любиев В.В., Бородин В.В. О возможности повышения точности электрохимической размерной обработки // Технология машиностроения. -Тула, 1971, выл. 13. -С.35-40.

81. Седыкин Ф.В. и др. О закономерности совершенствования схем размерной электрохимической обработки. // Технология машино-306строения. -Тула, 1972, вьш.24, -С.16-21.

82. Морозов Б.И. Разработка и исследование способа электрохимической обработки металлов вибрирующий катодом: Автореф. дис. канд. техн. наук. -Тула, 1975.

83. Алексеев Г.А., Мороз И.И., Смирнов И.А. Особенности электрохимической размерной обработки при введении в электролит сжатого воздуха // Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. ~М.: МДНТП, 1972. -С.30-34.

84. Седыкин Ф.В. Некоторые вопросы качественной теории тепло и массопереноса при электрохимической размерной обработке // Вопросы гидродинамики процесса электрохимической размерном обработки металлов, -Тула, 1969. -С.13-18.

85. А.с. 323243. В23р1/04. Способ размерной электрохимической обработки / Д.Б. Дмитриев и др. Опубл. "Открытия. Изобретения. Промышленные образцы. Товарные знаки", 1972, № 1. -47 с.

86. Адтынбаев А.К, Орлов В.Ф. Влияние гидродинамических факторов на вольтамперные характеристики при ЭХО с различный источниками тока // Вопросы гидродинамики процесса электрохимической размерной обработки. -Тула, 1969. -С.58-60.

87. Fluereribrock F., Zerkle R.D., Thore I.F. Verification of a One-Dimensional Two-Phase Flow Model of the Frontal Gap in Electrochemical Machining. Transcating of the ASME. Sesies Ъ. HI. Of Engineering for Industry, 1976, 98, № 2. -P.431-437.

88. Сенина О.А., Филимошин В.Г. К вопросу повышения точности электрохимической обработки в проточном электролите // Размерная электрохимическая обработка деталей машин. -Тула, 1975, вып.1. -С. 162-164.

89. Дрозд Е.А., Вишницкий А.Л. О безводородной электрохимическойобработке / Электрофизические и электрохимические методы обработки, 1975, вып. 3. -C.2-I7.

90. Митяшкин Д.З., Пчелкин А.И. Электрохимическая размерная обработка лопаток двигателей за рубежом // Новое в электрофизической и электрохимической обработке материалов. -М.-Л.: Машиностроение, 1966. -С.52-72.

91. А.с. 430979. В23р1/04. Камера для электрохимической обработки / В.А. Аранцев. Опубл. в "Открытия. Изобретения. Промышленные образцы. Товарные знаки", 1974, №21. -44 с.

92. А.с. 452465. В23р 1/04. Камера для электрохимического прошивания отверстий / В.А. Аранцев. Опубл. в "Открытия. Изобретения. Промышленные образцы. Товарные знаки", 1974, № 45. -43 с.

93. Шац Б.З. Теоретическое и экспериментальное исследование точности электрохимического профилирования твердых сплавов: Канд. дисс. -Новосибирск, 1974.

94. Головачев В.А. и др. Электрохимическая размерная обработка деталей сложной формы. -М.: Машиностроение, 1969. -С. 199.

95. А.с. 298693. C23b3/02. Способ электрохимической размерной обработки твердых сплавов. / В.В. Паршутин, Ю.Н. Петров, Г.Н. Зайдман. Опубл. в "Открытия. Изобретения. Промышленные образцы. Товарные знаки", 1971, №11. -С. 110.

96. Румянцев А.В., Денисенко Т.К., Цветаева В.Б. Электрохимическая вырезка цилиндрических деталей и прошивка в них отверстий. // Вестник машиностроения. 1972, № 7. -С.54-55.

97. Hermann Н. Industrie-Anzeiger, 1967, 89, №23. -Р.23-30.

98. Клепиков Р.Д., Мороз И.И. Стабилизация рН электролита в процессе электрохимической обработки // Электрофизические и электрохимические методы обработки. 1979, вып.4. -С. 10.

99. Алексеев Г.А. и др. Электрохимическая размерная обработка металлов. -Тула: ЦБТИД965. -С.6-17.

100. Harrison J. The Metallography of Some High coercive Alloys-Z.angew. Phys., 1966, 21, №2. -P.101-104

101. Афанасьев П.Д. К вопросу о литье магнитотвердых Fe-Ni -А1 сплавов под низким давлением // Новое в литье под низким давлением. -Киев: Наукова думка, 1971. -СЛ45-150.

102. Лещинская Р.Г1.э Ронами Г.Н., Самарцева Г.П. Неметаллические включения в магнитных сплавах типа ЮНДК39Т5 // Металловедение и термическая обработка металлов. 1973, №8. -С.33-36.

103. Адлер ЮЛ. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. -М.: Наука, 1976. -278 с.

104. Справочник по электрическим и ультрозвуковым методам обработки материалов. / Под ред. Л.Я. Попилова -Л.: Машиностроение, 1971.-544 с.

105. Мордехай В.М. Исследование процесса электрохимического шли-309фования литых постоянных магнитов: Канд. дисс. -Ташкент, 1967.

106. Савельев И.В. Курс общей физики. -М.: Наука, 1973. Т.2. -203 с.

107. Kubeth Н., Hetmann Н. Elektrochemische Senken-ein neus abtragendes Vefahren zur Metallbearbeitung.-Indusrie-Anzeiger, 1963, 46. -P.975-978.

108. Rossner E., Franke L. Die Spezfische elekrische Leitfahigkeit von Elektrolytlosungen fur die Elektrochemische Metallbearbeitung.-Technick, 1971, 26, № 8. -P.504-509.

109. Чеченя B.H., Мороз И.И., Коминар С.И. Контроль эффективности электропроводности электролита // Электрофизические и электрохимические методы обработки. 1978, № 5. -С.3-4.

110. Кукоз Ф.И., Кудимов Ю.Н., Кирсанов С.В., Санников Н.И. Исследование распределения температуры в межэлектродном промежутке при электрохимической обработке металлов // Электронная обработка материалов. 1978, № 6. -С.20-21.

111. Гродзинский Э.Я., Проклова В.Д. Электрохимическое сложно-контурное вырезание электродом-проволокой // Электронная обработка материалов. 1965, № 5-6. -С. 72-79.

112. Байрамян А.Ш., Геворкян Г.Г., Арутюнян Ф.А. Изготовление пазов и разрезание металлов электрохимическим способом //Электронная обработка материалов. 1965, № 5-6. -С.80-87.

113. Смоленец В.П. Электрохимическая обработка деталей не профилированным электродом // Электрофизические и электрохимические методы обработки. 1979, вып.7. -С.6-8.

114. Черепанов Ю.П., Самецкий Б.И. Электрохимическая обработка в машиностроении. -М.: Машиностроение, 1972. -113 с.

115. Семаков JI.A. Некоторые вопросы гидродинамики в задачах элек-310 трохимической обработки металлов: Канд. дисс. -Казань, 1973.

116. Водяницкий О.А. Исследование процесса электрохимического формообразования с учётом параметров движения технологической жидкости в рабочей зоне: Автореф. дисс. канд. техн. наук. -М., 1973.

117. Кукоз Ф.И., Кудимов Ю.Н. и др. Электрохимическая перфорация металлической фольги // Электронная обработка материалов. 1977, № 3. -С.74-76.

118. Петров Ю.Н., Мочалова Г.Л. Исследование процесса электрохимической обработки металлов // Электрохимическая обработка металлов. -Кишинев: Штиинца, 1971. -С.12-24.

119. Кирсанов С.В., Безуглов А.А. Влияние легирующих присадок в сплаве ЮНДК4 на магнитные свойства, производительность и шероховатость при ЭХО заготовок // Электронная обработка материалов. 1983, № 5.

120. Кирсанов С.В., Безуглов А.А. Исследование влияния окислов РЗМ на физико-механические свойства феррита бария / Сб. научных трудов "Физико-химия и технология дисперсных порошков". -Киев: ИПМ АНУССР, 1984. -С.155-161.

121. Кирсанов С.В., Безуглов А.А. Сплавы ЮНД с пониженной критической скоростью охлаждения // Металловедение и термическая обработка металлов. 1985, № 4. -С.37-39.

122. Кирсанов С.В., Безуглов А.А., Осадчий В.П. Интенсификация процесса и улучшение качества ЭХО литых постоянных магнитов // Электронная обработка материалов. 1985, № 5.

123. Кирсанов С.В., Безуглов А.А. Легирование феррита бария окисла-311ми РЗМ // Тезисы докладов VIII Всесоюзной конференции по постоянным магнитам. -М.,1985. -С.86.

124. Кирсанов С.В., Безуглов А.А. Электрохимическая обработка магнитов с наложением ультразвуковых колебаний. // Тезисы докладов VIII Всесоюзной конференции по постоянным магнитам. -М.,1985. -С.149.

125. Парыкин. B.C. Исследование и разработка способа электрохимической регенерации растворов хлорного железа в процессе размерного травления ковара и меди: Автореф. дисс. канд. тех.наук. -Новочеркасск, 1976.

126. Оборудование для размерной электрохимической обработки деталей машин / Под ред. Ф.В. Седыкина. -М.: Машиностроение, 1980. -279 с.

127. Кувинов В.В. Изготовление сетчатых структур сложной топологии электрохимическим методом: Автореф. дисс. канд. техн. наук. -Новочеркасск, 1994. -17 с.

128. Пронин В.Б., Меркус J1.H. Электрохимическая трафаретная маркировка подшипниковых колец // Вестник машиностроения, 1975. №12. С.72-74.

129. Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. Т.1 и 2 / Артамонов Б.А., Волков Ю.С., Дрожалова В.И. и др. -М.: Высшая школа, 1983. 247 и 208 с.

130. Байсупов И.А., Волосатов В.А. Справочник молодого рабочего по электрохимобработке. -М.: Высшая школа, 1983. -175 с.

131. Электроэрозионная и электрохимическая обработка. 4.2 Электро-312химическая обработка / Под ред. A.JI. Лифшица и А. Роша. -М.: НИИМАШ, 1980.-164с.

132. Электродные процессы и процессы переноса при электрохимической размерной обработке металлов // А.И. Дикусар, Г.Р. Энгель-гардт, В.И. Петренко. Ю.Н. Петров. -Кишинёв: Штиинца, 1983. -207 с.

133. Румянцев Е.М., Давыдов А.Д. Технология электрохимической обработки металлов: Учеб. пособие. -М.: Высшая школа, 1984. -159 с.

134. Штанько В.М., Животовский Э.А. Электрохимическая обработка металлопродукции: Справочник. -М.: Металлургия, 1986. -336 с.

135. Приспособления для электрофизической и электрохимической обработки / Под общ. ред. В.В. Любимова. -М.: Машиностроение, 1988. -176 с.

136. Петренко В.И., Дикусар А.И. Факторы, определяющие рассеивающую способность электролитов при электрохимической обработке металлов //Теория и практика электрохимической обработки металлов. -Кишинёв: Штиинца, 1976. -С.43-64.

137. Балашев Н.Б. Влияние вибрации электрода-инструмента на основные технологические показания процесса мелкого электрохимического маркирования //Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. -Тула, 1988. -С 43-44.

138. Бонч-Бруевич В.Л., Калашников С.Г. Физика полупроводников. -М.: Наука, 1990. -688 с.

139. Генералов А.И., Орлов А.Б., Панин В.В. Некоторые особенности проектирования и изготовления секционных катодов- 313

140. Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. -Тула, 1982. -С.59-63.

141. Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов: Сборник научных трудов. -Тула: Тул. ПИ, 1988. -158 с.

142. А.с., 1315182 СССР, МКИЗ В 23Н 3/04. Устройство для электрохимического маркирования / В.В. Бородин и др. Опубл. в БИ, 1987, №21.

143. А.с., 1454594 СССР, МКИЗ В 23Н 9/06. Устройство для электрохимического маркирования /Н.Б. Балашев и др. Опубл. в БИ, 1989, №4.

144. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. -М.: Радио и связь, 1991. -528 с.

145. Марченко А.Н., Свечников С.В., Смовж А.К. Полупроводниковые сенсорные потенциометрические элементы. -М.: Радио и связь, 1988.-192 с.

146. Тришенков М. А. Фотоприёмные устройства и ПЗС. Обнаружение слабых оптических сигналов. -М.: Радио и связь, 1992. -400 с.

147. Микроэлектроника: Учеб. пособие для втузов. В 9 кн. /Под ред. JI.A. Коледова. Кн. 7. Микроэлектронные СВЧ-устройства / И.Н. Филатов, О.А. Бакрунов, П.В. Панасенко. -М,: Высшая школа, 1987.-94 с.

148. Струков В.Д., Мякишев А.Ю. Анализ процессов, ограничивающих производительность электрохимической обработки рулонных гибких фольгированных диэлектриков / Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. -Тула: Тул.ПИ,-3141988. -С.66.

149. Пат. 1225676 Великобритания. МКП С7В. Improvements in or relating to circuit components and to methods and apparatus for manufacture thereof/Paul Guinn. 1970.

150. A.c., 270851 СССР, МКИЗ H 05к 3/06. Способ изготовления плат печатного монтажа / Б.С. Апирин. Опубл. в БИ, 1970, №17.

151. А.с., 309481 СССР, МКИЗ Н 05к 3/06. Устройство для электрохимического локального травления фольгированных материалов /А.М. Котляр, В.Ф. Мамонтов, Л.И. Каданер и др. Опубл. в БИ, 1971, №22.

152. Пат. 3239441 США. Method and apparatus for electrolytic production of printed circuits /Marasi Stephen L.

153. Перспективы и возможности несеребряной фотографии / Под ред. Картужанского А.Л. -Л.: Химия, 1988. -283 с.

154. Носов Ю.Р. Дебют оптоэлектроники. -М.: Наука, 1992. -240 с.

155. Алфимов М.В. О современном состоянии и путях развития бессеребряной фотографии: Препринт / Отделение Института хим. физики АН СССР. -Черноголовка, 1981. -38 с.

156. Некрасов А.А., Иванов В.Ф., Ванников А.В. Спектральные характеристики структуры Sn02 /CdSe/ электролит при различных направлениях освещения.// Электрохимия. 1991. Т.27. -С.240.

157. Иванов В.Ф., Ванников А.А., Каганович Э.Б., Максименко Ю.Н., Свечников С.В. Исследования фотографических характеристик фотоэлектрохромного устройства // Журнал научной и прикладной-315фотографии и кинематографии. Т. 28, вып.2.1983. -С. 101.

158. Электролюминесцентные источники света /Под ред. И. К. Верещагина. -М.: Энергоатомиздат, 1990. -168 с.

159. Амадзиев A.M., Раджабов М.Р., Рашидов И.Х. Электрические и оптические свойства плёнок окиси кадмия // Известия СКН1Д ВШ. Естественные науки, №1, 1986. -С.49-50.

160. Кирсанов С.В., Глебов В.В., Коноваленко В.В. Растровый фото-управляемый способ электрохимического маркирования / Сб. научных трудов "Радиотехника". Вып. 12, -Шахты: ШТИБО, 1995. -С. 95-96.

161. Исследование стойкости секционного катода при ЭХО с выборочной коммутацией / А.П. Шулепов, А.В. Капцов и др. // Электронная обработка материалов, №4.1983. -С.89-91.

162. Суворова Г.С., Энгельгардт Г.Р., Зайдман Г.Н. Определение газосодержания при электрохимической обработке в плоскопараллельном канале с учётом изменения скорости течения электролита вдоль трассы /Электронная обработка материалов. 1981, №5. -С. 13-16.

163. Основы повышения точности электрохимического формообразования /Ю.Н. Петров, Г.Н. Корчагин, Г.Н. Зайдман и др.: Под ред.-316

164. И.И. Мороза. -Кишинёв: Штиинца, 1977. -152 с.

165. Зяблинцев В.В., Денисов Н.А. Влияние структуры газоэлектролитной смеси на локализацию электрохимической обработки // Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. -Тула : ТПИ, 1986. -С. 24-27.

166. Чугунов Б.И. Точность и устойчивость электрохимического формообразования при обработке в газожидкостных смесях // Новые направления в развитии электротехнологии. -М.: 1986. -С. 96-99.

167. Пат. 2089360 РФ. МКП В 23 Н 3/04, 9/06. Способ электрохимической обработки. / В.В. Глебов, С.В. Кирсанов, В.В. Коноваленко, Ю. В. Присяжнюк. Патент РФ от 10.09.1997.

168. Василевский A.M., Кропоткин M.A., Тихонов В.В. Оптическая электроника. -Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отд-ние, 1990. -176 с.

169. Иванов Р. Н. Репрография. -М.: Экономика, 1986.

170. А.с. 1771897 СССР. МКИ В 23 НЗ/04. Способ электрохимической обработки. / С.В. Кирсанов, В.В. Коноваленко, Ю.В. Присяжнюк, В. В. Глебов. Опубл. в БИ, 1992, №40.

171. А.с. 1824623 СССР. МКИ G 03 F7/00. Полупроводниковый способ получения видимого изображения. / С.В. Кирсанов, В.В. Коноваленко, Н.З. Алиева, И.Н. Даниленко, Ю.В. Присяжнюк, В.В. Гле-317бов. Опубл. в БИ, 1993, №24.

172. Гусев В. Г., Гусев Ю. М. Электроника : Учеб. пособие для прибо-ростроит, спец. вузов. -М.: Высшая школа. 1991. -622 с.

173. Тугов Н.М., Глебов Б.А., Чарыков Н.А. Полупроводниковые приборы. -М.: Энергоатомиздат, 1990. -576 с.

174. Никелевые матрицы для тиражирования рельефнографической информации / JI.M. Панасюк, Ю.С. Городецкий, В.И. Козлов, В.Я. Тирон // Гальванотехника и обработка поверхности. 1993, т. 2, №4. -С. 23-25.

175. Глебов В.В. Фотоуправляемый способ коммутации растровых электрод-инструментов. // Тез. докл. научно-техн. семинара. "Прогрессивная технология и вопросы экологии в гальванотехнике". -Пенза, 1995. С. 37-38.

176. Кирсанов С.В., Коноваленко В.В., Глебов В.В. Фотоэлектрохимическое клеймение деталей. // Сборник научных трудов "Радиоэлектроника и физико-химические процессы". Вып.20, -Шахты: ДГАС, 1996. -С.167.

177. Дикусар А.И., Мустяце А,Н., Ющенко С П. Термокинетическая неустойчивость поверхностных покрывающих слоев при высокоскоростном анодном растворении, контролируемой ионным мае-318сопереносом //Электрохимия. 1997. Т.ЗЗ. -С.163-172.

178. Попов Ю.А., Сидоренко С.Н. Давыдов А.Д. Основы теории пассивности металлов. Модель неравновесной границы с раствором электролита//Электрохимия. 1997. Т.ЗЗ. -С.557-563.

179. Киш Д. Кинетика электрохимического растворения металлов. -М.: Мир, 1990. -272 с.

180. Physical Electrochemistry Principles, Methods, and Applications / Ed. by Rubinstein I. N.Y.: Marcel Dekker, 1995. -595 p.

181. Вдовенко В.Г. Эффективность электрохимической обработки деталей : Монография. -Красноярск: Изд-во Краснояр. ун-та. 1991. -158 с.

182. Лазаренко Э.Т. Фотохимическое формирование печатных форм. -Львов: Вища школа, 1984. -152 с.

183. Годин Э.М. Технология производства рельефных печатных плат и автоматизированная подготовка управляющих перфолент для операций их механообработки на станках с ЧПУ. -М: Изд-во МАИ, 1990. -156 с.

184. Галушкин Н.Е. Металлизация отверстий в толстых печатных платах // Сб. научных трудов "Радиотехника". Вып. 12. -Шахты: ШТИБО, 1995. -С.92-94.

185. Патент на изобретение РФ № 2109417 от 20.04.1998. МКП 6 Н 05 К 3/06. Способ изготовления плат печатного монтажа. /Кукоз Ф.И., Кирсанов С.В., Коноваленко В.В., Глебов В.В.

186. Глебов В В., Кирсанов С.В., Коноваленко В.В. Изготовление печатных плат сканирующим фотоуправляемым электрод-инструментом // Сб. научных трудов "Радиоэлектроника и физико-химические процессы". Вып. 20. -Шахты: ДГАС, 1996. -С. 168-170.

187. Горобец А.И., Степаненко А.И., Коронкевич В.М. Справочник по конструированию радиоэлектронной аппаратуры (печатные узлы). -Киев: ТехнкаД985. -312 с.

188. Лунд П. Прецизионные печатные платы: Конструирование и производство. Пер. с англ. -М.: Энергоатомиз д ат, 1983. -360 с.

189. Гонда С., Сэко Д. Оптоэлектроника в вопросах и ответах: Пер. с япон. -Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отд-ние, 1989. -184 с.

190. Свечников Г.С. Интегральная оптика. -Киев: Наук, думка, 1988. -166 с.

191. Энергетические ресурсы сквозь призму фотохимии и катализ / Под ред. М. Гретцеля. -М.: Мир, 1986. -629 с.

192. Гуревич Ю.Я., Плесков Ю.В. Фотоэлектрохимия полупроводников. -М.: Наука, 1983. -312 с.

193. Плесков Ю.В. Фотоэлектрохимическое преобразование солнечной энергии. -М : Химия, 1990. -176 с.

194. Кротова М.Д., Плесков Ю.В., Морозов A.M., Кошелев О.Г. Особенности фототока на «-кремниевом фотоаноде, покрытом защитным слоем проводящих оксидов // Электрохимия. 1996. Т.32. -С.1489-1492.

195. Гаврилов С.А. и др. Изменение механизма формирования слоев пористого кремния при анодной поляризации // Электрохимия.-3201997. Т.ЗЗ. -С.1064-1068.

196. Козыркин Б.И. и др. Методы получения прозрачных проводящих покрытий на основе оксида олова (IV) // Зарубежная радиоэлектроника. 1984, №10. -С.69-86.

197. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн.: Кн. 6. Нанесение плёнок в вакууме / В.Е. Ми-найчев. -М.: Высш. шк., 1989. -110 с.

198. Кукоз Ф.И., Глебов В В., Кирсанов С.В., Коноваленко В.В. Способ электрохимического маркирования // Электронная обработка материалов. 1995. №5-6. -С.102-103.

199. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн.:Кн. 8. Литографические процессы / В.В. Мартынов, Т.Е. Базарова. -М.: Высш. шк., 1990. -128 с.

200. Кукоз Ф.И., Глебов В.В., Кирсанов С.В., Коноваленко В.В. Метод получения фотографического изображения с использованием полупроводникового электрода // Электрохимия. 1996. Т.32. С. 11441145.

201. Плесков Ю.В. Третья международная конференция "Новые пути фотоэлектрохимии". (Аспен Лодж, США, 11-14 мая 1997 г.) // Электрохимия.

202. Кукоз Ф.И., Кирсанов С В., Зибров В.А. Установка селективного электроосаждения и электрохимического формообразования слож-нопрофильных изделий // Электронная обработка материалов. 2000. № 3. -С.70-72.

203. Proceedings of the 3-rd Workshop International "Electrodiffusion diagnostics of flows" / Eds Deslouis C., Tribollet B.Dourdan, 1993. -450 p.

204. Джагупов Р.Г., Ерофеев А.А. Пьезоэлектрические элементы в приборостроении и автоматики. -Л.: Машиностроение, 1986. -252 с.

205. Чемерис И.И. Пьезоэлектрические двигатели линейных перемещений // Диэлектрики и полупроводники. 1977, №12. - С. 19-27.

206. Ерофеев А.А., Давлиталиев Д.А., Кирсяев А.Н. Статические и динамические свойства пьезоэлектрических двигателей как объектов управления // Вибротехника. -Вильнюс, 1987. 3(56). С.143-149.

207. Бородин И.Н. Порошковая гальванотехника. -М.: Машиностроение, 1990. -236 с.

208. Серебрянский Н.И., Кукконен С.П. Применение гальванического натирания в ремонте. -М.:НИПЙЭОУПИЛЦБиДП, 1969. -С.10-11.

209. Плеханов И.Ф. Расчет и конструирование устройств для нанесения-322гальванических покрытий. -М.: Машиностроение, 1988. -219 с.

210. Мельников П.С. Справочник по гальванопокрытиям в машиностроении. -М.: Машиностроение, 1979. -296 с.

211. В.НИгнатьев, Н.С. Ионичева, А.В. Мареичев и др. Гальванические покрытия в машиностроении. Справочник. В 2-х т. / Под общ. ред. М.А. Шлугера. -М.: Машиностроение, 1985. -345 с.

212. Ф.Ф. Ажогин, М.А. Беленький, И.Е. Галь и др. Гальванотехника. Справочник. / Под общ. ред. A.M. Гинберга, А.Ф. Иванова, Л.Л. Кравченко. -М.: Металлургия, 1987. -735 с.

213. Пиявский Р.С. Гальванические покрытия в ремонтном производстве. -Киев: Техника, 1975. -176 с.

214. Лайнер В.И. Защитные покрытия металлов. -М.: Металлургия, 1974. -560 с.

215. Кудрявцев Н.Т. Электролитические покрытия металлами. -М.: Химия,1979. -352 с.

216. Песков ПЛ., Розман Я.Б., Сомонов В.И. Электрооборудование станков для электрохимической обработки. -М.: Машиностроение, 1977. -153 с.

217. Московиц М. Селективное электроосаждение покрытий натиранием // Гальванотехника и обработка поверхности. 1993, № 3. -С.40-45.

218. Кудрявцева И.Д., Селиванов В Н. Высокопроизводительные малоотходные технологии электроосаждения металлов из электролитов-коллоидов // Гальванотехника и обработка поверхности. 1993, № 4. -С.33-36.-323

219. Кудрявцева И.Д., Кукоз Ф.И., Балакай В.И. Итоги науки и техники. Сер. Электрохимия. -М.: ВИНИТИ, 1990. -50 с.

220. Каданер Л.И. Равномерность гальванических покрытий. -Харьков: ХГУ, 1961.-204 с.

221. Гладун К.К., Гончаров В. И., Кукоз Ф.И. Массоперенос в условиях нестационарного электролиза. -Издательство Ростовского университета, 1981. -120 с.

222. Селиванов В.Н., Бобрикова И.Г., Егорова В,А. Измерение скорости выделения водорода при получении потенциодинамических зависимостей // Теория и практика гальванопокрытий из коллоидных систем и нетоксичных электролитов. -Новочеркасск, 1984. -С.30-33.

223. Медведев В.В. Гидродинамика движения электролита в межэлектродном зазоре при ЭХО зубчатых колес // Электрохимическая обработка металлов. -Новочеркасск,! 980. -С.39-45.

224. Гохштейн А.Я. Метод эстанса // Успехи химии. 1975, № 11. -С,1956-1978.

225. Насретдинов А.В. Проектирование организационно-технологических структур производственных систем механической обработки. -Л.: Политехника, 1991. -255 с.

226. Моисеев Н.Н. Математические задачи системного анализа. -М.: Наука, 1981.-487 с.

227. Мордехай В.М. Исследование процесса формирования поверхности электролитическим натиранием // Размерная электрохимическая обработка деталей машин. -Тула: ТПИ, 1980. -С.398-401.

228. Киш JI. Кинетика электрохимического растворения металлов / Пер. с англ. -М,: Мир, 1990. -272 с.

229. Щербак М.В., Толстая М.А., Анисимов А.П. Постаногов В.Х. Основы теории и практики электрохимической обработки металлов и сплавов. -М.: Машиностроение, 1981. -263 с.

230. Скорчеллетти В.В. Теоретическая электрохимия. -Л.: Химия, 1974. -567 с.

231. Паршутин В.В., Бородин В.В. Технико-экономические вопросы электрохимического формообразования. -Кишинев: Штиинца, 1981.-128 с.

232. Румянцев Е.М., Давыдов А.Д. Технология электрохимической обработки металлов. -М.: Высш. шк., 1984. -159 с.

233. Клоков В.В. Электрохимическое формообразование. -К.: Изд-во Казан, ун-та. 1984. -80 с.1. V

234. Шманев В.А., Филимошин В.Г., Каримов А.Х., Петров Б.И., Про-ничев Н.Д. Технология электрохимической обработки деталей в авиа двигателестроении. -М.: Машиностроение, 1986. -168 с.

235. Атанасянц А.Г. Электрохимическое изготовление деталей атомных реакторов. -М.: Энергоатомиздат, 1987. -177 с.- 325

236. Паршу гин В.В., Береза В.В. Электрохимическая размерная обработка спеченных твердых сплавов. -Кишинев. Штиинца, 1987. -230 с.

237. Артамонов Б.А., Волков Ю.С. Анализ моделей электрохимической и электроэрозионной обработки. -М.: Высш. шк., 1991. -170 с.

238. Скоминас В.Ю. Функциональные металлопокрытия в современной гальванотехнике // Гальванотехника и обработка поверхности. 1993. Т.2-3. -С. 19-21.

239. Артамонов Б.А., Волков Ю.С. Измерительное обеспечение автоматизированных станков для размерной электрофизикохимической обработки. -М.: Высш. шк., 1991. -129 с.

240. Петров Ю.Н., Корчагин Г.Н., Зайдман Г.Н., Саушкин Б.П. Основы повышения точности электрохимического формообразования. -Кишинев; Штиинца, 1977. -152 с.

241. Волков Ю.С., Лившиц А.Л. Введение в теорию размерного формообразования электрофизикохимическими методами. -Киев: Изд-во "Вища школа", 1978. -120 с.

242. Кукоз Ф.И., Кудимов Ю.Н., Кривобоков Ю.А. и др. Электрохимическая перфорация металлической фольги // Электронная обработка материалов. -1977, № 3. -С.74-76.

243. Бадамшин А.А. Выявление дефектов металла в процессе ЭХО зубчатых профилей накатных валков / Размерная электрохимическая обработка деталей машин // Мат. Всесоюзная научн.-техн. конференция. -Тула,1980. -С.308-311.

244. Кукоз Ф.И., Кудимов Ю.Н., Шахбазян В.В. Анодная поляризация и-326формообразование при ЭХО титановых сплавов // Электронная обработка материалов. -1978, № 5. -С.21-23.

245. Медведев В.В. Электрохимическая размерная обработка хромони-келевых сталей, прошедших термическую обработку / Размерная электрохимическая обработка деталей машин // Мат. Всесоюзная научн.-техн. конференция. -Тула, 1980. -С.169-171.

246. Любимов В.В. Аддитивное формообразование электрохимические и электрофизические методы обработки материалов // Сборник научных трудов. -Тула: ТулПИ, 1989. -156 с.

247. Фоппен Р. Селективное электроосаждение покрытий с использованием "катушечных" гальванических линий // Гальванотехника и обработка поверхности. 1993, №2. -С.63-66.

248. Вингенфельд П. Селективное электроосаждение на электрические контакты // Гальванотехника и обработка поверхности. 1993, №5. -С.28-38.

249. Цервек К. Гальванотехника основной метод функциональной обработки поверхностей изделий, (пер.160/566: ZERWECH К. GAL-VANOTECH-NIK-EIN GRUND STEIN DER FUNKTIONELLEN OBERFLACHEN TECHNIK ZEITSCHRIFT FUR WERKSTOF-FTECHNIK. 1983, №.5.-S.175 -177 (DBR).

250. И.Д. Груев, Н.И. Матвеев, Н.Г. Сергеева. Электрохимические покрытия изделий радиоэлектронной аппаратуры: Справочник. -М.: Радио и связь, 1988. -303 с.

251. Поспелов Г.С., Ириков В.А. Программно-целевое планирование и управление. -М.: Сов. радио, 1976. -440 с.-327287, Лазарев И,А. Композиционное проектирование сложных агрега-тивных систем. -М.: Радио и связь, 1986. -312 с.

252. Бусленко Н.П., Калашников В.В., Коваленко И.Н, Лекции по теории сложных систем. -М.: Сов. радио, 1973. -439 с.

253. Иоффе В.Ф. Автоматизированные электроэрозионные станки. -Л.: Машиностроение, 1984. -227 с.

254. Солодкова Л.Н., Кудрявцев В.Н. Способ определения органических добавок и эффективности их действия при электроосаждении цинка из цинкатных электролитов //Гальванотехника и обработка поверхности. 1993, № 2. -С.46-51.

255. Артамонов Б.А., Волков Ю.С. Измерительное обеспечение автоматизированных станков для размерной электрофизикохимической обработки. -М.: 1991. -129 с. (Обзорная информация.: Машиностроение / ВНИИПИ).

256. White R.M. Snrfase acoustic wave aid lamb wave sensors //Proc. Internal Symp. ISSWAS. Novosibirsk. -1986,- v.ll. -P.342-353.

257. Бансявичюс Р.Ю., Рагульскис K.M. Вибродвигатели. -Вильнюс: Мокслас, 1981. -193 с.

258. Ерофеев А.А. Пьезоэлектрические устройства автоматики. -Л.: Машиностроение, 1982. -212 с.

259. Кондратьев В.А., Тычинский А.П. Электрохимическая калибровка шлицевых отверстий методом изменяемой напряженности электрического поля // Финишная электрохимическая обработка фасонных деталей, -Тула: ТПИ, 1969. -С.50-56.-328

260. Сейто Нагао, Кобаяси Кадзихико. Системы регулирования процессов электроискровой и электрохимической обработки и практические примеры обработки. -"Се кикай кагаку", 1969, №2. -С.62-68 (японск.).

261. Зайдман Г.Н., Паршутин В.В., Петров Ю.Н. Распределение тока в межэлектродном промежутке при электрохимической размерной обработке металлов // Физика и химия обработки металлов. 1970, №1. -С.42-48.

262. Thorpe J.E., Zerkle R.D. Analytic determination of the equilibrium electrode gap in electrochemical machining // International Journal Mach. Tool and Research. 1996, №2. -P. 131-144.

263. Дубовой И.Д. Автоматические многофункциональные измерительные преобразователи. -М.: Радио и связь, 1986. -312 с.

264. А.с. 1615239 СССР. МКИ С25 D 21/12. Система управления гальванической линией / М.Б. Гладштейн(СССР). -№ 4486373; Заявл. 26.09.88. Опубл. в Бюл. №47, 1990.

265. А.с. 1595952 СССР. МКИ С25 D 21/12. Устройство управления автооператорами автоматических линий гальванопокрытий / В.П. Багрянцев (СССР). -№ 4609089; Заявл. 24.11.88. Опубл. в Бюл. №36,1990.

266. А.с. 1654384 СССР. МКИ С25 D 21/12. Устройство для контроля толщины осажденного металла / А.Г. Ревин(СССР). -№ 4700383; Заявл. 05.06.89. Опубл. в Бюл. №21,1991.

267. А.с. 775194 СССР. МКИ С25 D 21/12. Устройство для контроля технологических параметров электрохимического процесса / С.В.296.-329

268. Богульский (СССР). -№ 2667987; Заявл. 22.08.78. Опубл. в Бюл. № 40,1980.

269. А.с. 1737027 СССР. МКИ С25 D 5/06. Устройство для нанесения гальванических покрытий натиранием /В.В. Медведев (СССР). -№ 4786809; Заявл. 29.01.90. Опубл. в Бюл. № 20, 1992.

270. Логинов В.В. Электрические измерения механических величин. -М.: Энергия, 1976. -104 с.

271. Прикладная электрохимия / Под ред. Н.Т. Кудрявцева -М.: Химия, 1975.-552 с.

272. Медведев В.В. Зибров В.А. Средства автоматизации процесса электрохимического размерного натирания покрытий // Радиотехника, оборудование и технологии сервиса: Сборник научных трудов ДГАС, -Шахты, 1997, №26. -С.38-50

273. Кукоз Ф.И., Кирсанов С.В., Зибров В.А. Нелинейная модель электрохимической ячейки в системах регулирования межэлектродного зазора // Известия вузов. Северо-Кавказский регион. Технические науки. 1999, №3. -С.52-53

274. Гоноровский И.С. Радиотехнические цепи и сигналы. -М.: Радио и связь, 1986.

275. Скучик Е. Простые и сложные колебательные системы: Пер. с-330англ. -М.: Мир, 1988. -557 е., ил.

276. Бреховских Л.М. Волны в слоистых средах. -М.: Наука, 1973. -125 с.

277. Андронов А.А., Витт А.А., Хайкин С.Э. Теория колебаний. -М.: Наука, 1981. -568 с.

278. Федоров Ф.И. Теория упругих волн в кристаллах. -М.: Наука, 1965. -158 с.

279. Ландау Л.В., Лившиц Е.М. Теория упругости. -М.: Наука, 1965. -204 с.

280. Зибров В.А. Оценка чувствительности многофункционального пьезоэлектрического преобразователя при измерении параметров процесса ЭХФО. // Тез. докл. межд. науч.-тех. конф. "25 Гагарин-ские чтения". -Москва, 1999. -С.38.

281. Зибров В.А. Система управления ЭХФО на основе многофункционального пьезоэлектрического преобразователя. // Тез. докл. межд. науч.-тех. конф. "25 Гагаринские чтения".1. Москва, 1999г. -С.42.

282. Михайлов П.Г., Забрадина С.Д., Пьезодатчики для измерения быстропеременных и акустических давлений // Измерительная техника. 1994, №6. -С.52-54.

283. Зибров В.А. Динамическая модель пьезоэлектрического преобразователя при измерении поверхностного натяжения // Известия вузов. Северо-Кавказский регион. Технические науки. 1999, №3. -С.58-60.

284. Журавский А.К. Точность электрохимического метода обработкисложно-профильных изделий // Теория и практика размерной электрохимической обработки материалов. -Уфа.: НТО Машпром., 1971.-С.6-9.

285. Гродзинский Э.Я. Вопросы повышения точности размерной электрохимической обработки // Электрохимическая обработка материалов. -Кишинев.: Штиинце, 1971. -С.95-99.

286. Натурный эксперимент: Информационное обеспечение экспериментальных исследований / JI.H. Бемонов, Т.М. Солодихин, В.А. Солодовников и др.: Под. ред. Н.И. Бакланова. -М: Радио и связь, 1982. -304 с.

287. Грановский В.А., Сирая Т.Н. Методы обработки экспериментальных данных при измерениях. -JI.: Энергоатомиздат,1990. -288 с.

288. Смирнов Н.В., Дунин-Барковский И.В. Курс теории вероятностей и математической статистики для технических приложений. -М: Наука, 1965.-511с.

289. Фотоэлектрохимические методы размерной обработки материалов / Кирсанов С.В., Глебов В.В. // Монография. Деп. в ВИНИТИ 11.10.01, № 1743.-М.: 2001. 204 с.