автореферат диссертации по машиностроению и машиноведению, 05.02.23, диссертация на тему:Статистический контроль и управление качеством технологических процессов изготовления интегральных микросхем при мелкосерийном и прерывистом производстве

Условные обозначения и сокращения.

Введение.

Глава 1. Статистические методы управления качеством технологических процессов.

1.1 Применение аппарата математической статистики при управлении качеством.

1.2 Классификация статистических методов, применяемых для анализа и оценки состояния технологических процессов.

1.2.1 Оценка статистических параметров и проверка гипотез.

1.2.2 Критерии согласия опытного распределения контролируемого параметра с нормальным законом.

1.2.3 Дисперсионный анализ и характеристики изменчивости.

1.3 Методы, применяемые при статистическом управлении процессами изготовления интегральных микросхем.

1.3.1 Диаграмма Парето.

1.3.2 Оценка налаженности технологического процесса на основе применения коэффициентов Ср и СрК.

1.3.3 Оценка показателей настроенности, точности и стабильности технологического процесса.

1.3.4 Контрольные карты регулирования.

1.4 Выводы.

Глава 2. Управление качеством технологических процессов изготовления интегральных микросхем. Порядок применения статистических методов.

2.1 Система стандартов, регламентирующих качество интегральных микросхем.

2.2 Технологическое обеспечение качества интегральных микросхем

-42.2.1 Технические требования к технологическим процессам.

2.2.2 Система операционного контроля в процессе производства.

2.3 Формирование состава технологических операций и параметров для проведения статистического контроля и регулирования.

2.4 Оценка качества технологических процессов при сертификации производства.

2.5 Рекомендации по применению методов статистического контроля и регулирования технологических процессов.

2.5.1 Особенности применения методов статистического контроля и регулирования технологических процессов.

2.5.2 Порядок внедрения статистических методов при управлении технологическими процессами.

2.6 Выводы.

Глава 3. Разработка методики статистического контроля технологических процессов изготовления интегральных микросхем при мелкосерийном и прерывистом производстве.

3.1 Теоретические основы применения толерантных границ для контроля технологических процессов при выпуске продукции малыми партиями.

3.2 Порядок осуществления статистического контроля при мелкосерийном и прерывистом производстве.

3.3 Метод статистического контроля для партий изделий малого объема при прерывистом производстве.

3.3.1 Оценка статистических характеристик по результатам контроля партий интегральных микросхем с различными количествами контролируемых значений параметра.

-53.3.2 Оценка толерантных границ для контролируемого параметра по результатам испытаний интегральных микросхем с малыми объемами выборки.

3.3.3 Порядок сравнения результатов расчета толерантных границ со значениями контролируемого параметра и полем допуска.

3.4 Выводы.

Глава 4. Управление технологическими процессами изготовления интегральных микросхем с применением методов статистического контроля и регулирования.

4.1 Примеры проведения статистического анализа технологических процессов с применением существующих методов.

4.1.1 Оценка состояния технологического процесса при контроле толщины защитного слоя окисла Si02.

4.1.2 Оценка состояния технологического процесса при контроле удельного поверхностного сопротивления.

4.2 Управление технологическими процессами с применением метода статического контроля для партий малого объема при прерывистом производстве.

4.2.1 Контроль технологического процесса при производстве партий различного объема с применением толерантных границ.

4.2.2 Комплексный анализ технологического процесса с применением толерантных границ и показателей настроенности и точности.

4.3 Выводы.

Актуальность работы. В настоящее время, прерывистое производство и выпуск продукции малыми партиями являются характерными для широкой номенклатуры электрорадиоизделий (ЭРИ) и радиоэлектронной аппаратуры (РЭА). При этом требования к качеству и надежности ЭРИ и РЭА продолжают повышаться. В первую очередь это относится к изделиям микроэлектроники, в том числе интегральным микросхемам (ИС). Это обусловлено особенностями развития полупроводниковой технологии, в частности, уменьшением проектных норм, ростом интеграции и функциональной сложности ИС. Со снижением проектных норм до малых значений, ИС становятся все более сложными в производстве.

Обеспечение, управление и постоянное повышение качества ИС на всех этапах жизненного цикла (разработка, производство, применение) - актуальная проблема, наиболее эффективный путь решения которой на стадиях разработки и производства - разработка и широкое применение статистических методов.

Ввиду постоянного возрастания функциональной сложности изделий микроэлектроники, роста номенклатуры и, вследствие этого снижения уровня унификации, для современной полупроводниковой промышленности стало характерным изготовление изделий под заказ и выпуск продукции малыми партиями.

Данная тенденция отражает одну из целей Всеобщего Управления Качеством (TQM), а именно, уменьшение размеров партий до минимально возможных для лучшего удовлетворения потребностей заказчика [1].

Кроме того, сокращение потребностей в изделиях микроэлектроники узкоцелевого назначения, в частности ИС для РЭА военного назначения обусловило их выпуск малыми партиями и вследствие этого прерывистый характер производства.

-9В этом случае поставки изделий, как правило, осуществляются малыми партиями различного объема, что, однако, не только не снижает требования к их качеству и надежности, но и создает сложности в их обеспечении.

При возникновении перерывов в производстве или изменении номенклатуры выпускаемых изделий, предприятию-изготовителю ИС необходимо проводить корректировку технологического процесса (ТП) для обеспечения нормального функционирования производства. При этом ввиду длительности технологического цикла, частые переналадки ТП являются крайне нежелательными.

Таким образом, проблемы, связанные с контролем ТП при прерывистом и мелкосерийном производстве становятся актуальными для предприятий-изготовителей ИС. В большей степени это касается отечественных предприятий при производстве больших и сверхбольших ИС.

В вышеупомянутых условиях осуществление управления качеством ТП при помощи существующих статистических методов контроля [2,3,4,5,6] является невозможным из-за недостаточного объема статистических данных.

Система менеджмента качества предприятия-изготовителя ИС не может быть достаточно полной и эффективной, если в ее составе отсутствуют методы, позволяющие осуществлять статистический анализ и регулирование ТП при изготовлении партий любых, в том числе малых объемов и прерывистом характере производства.

Вместе с тем в существующей нормативной документации (НД) [7,8,9] отсутствуют положения, регламентирующие порядок статистического контроля и управления качеством ТП изготовления ИС при прерывистом и мелкосерийном производстве.

Целью работы является разработка научно-методических основ управления качеством ИС для стандартизации и применения методов статистического контроля и регулирования ТП при изготовлении изделий малыми партиями и прерывистом характере производства.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

- провести анализ существующих методов статистического управления качеством ТП, особенностей производства ИС и разработать рекомендации по порядку применения данных методов для обеспечения качества ИС на различных этапах производства;

- провести анализ ТП производства ИС и определить состав критичных технологических операций (ТО) и контролируемых параметров для проведения статистического контроля и регулирования;

- уточнить формулы для оценки статистических характеристик по результатам контроля партий ИС с различными объемами контролируемых значений параметра при прерывистом производстве;

- провести оценку возможности применения толерантных границ для контроля качества ИС по малым выборкам и разработать метод контроля и регулирования ТП по результатам испытаний ИС с малыми объемами выборки;

- разработать метод статистического контроля ТП изготовления ИС для партий малого объема при прерывистом производстве и порядок его применения в сочетании с существующей НД;

- провести обработку экспериментальных данных контроля критичных параметров ТП изготовления ИС для подтверждения эффективности разработанного метода на конкретных примерах.

Научная новизна диссертации заключается в следующем:

- теоретически обосновано применение толерантных границ при проведении статистического контроля ТП для малых выборок;

- разработана методика осуществления статистического контроля при мелкосерийном и прерывистом производстве;

- уточнены формулы для оценки статистических характеристик среднего арифметического значения и среднего квадратического отклонения по результатам контроля партий ИС с различными объемами контролируемых значений параметра;

- разработан метод оценки толерантных границ для контролируемого параметра по результатам испытаний ИС с малыми объемами выборки (п

- предложен алгоритм для анализа и сравнения результатов расчета толерантных границ со значениями контролируемого параметра и полем допуска;

- на основе проведенной оценки возможности и особенностей применения существующих методов статистического контроля и регулирования ТП даны рекомендации по условиям и порядку их применения для обеспечения качества ИС на различных стадиях производства. Практическая значимость работы.

1. Применение разработанной методики статистического контроля ТП изготовления ИС при мелкосерийном и прерывистом производстве позволяет более эффективно проводить оценку качества и анализ ТП производства ИС при следующих условиях:

- на начальной стадии производства и в период освоения новой продукции, при неритмичном характере производства и возникновении перерывов в производстве;

- при осуществлении поставок продукции партиями различного объема и использовании существующих статистических методов с учетом иерархической структуры статистических характеристик ИС.

- при осуществлении поставок продукции малыми партиями, в частности, при изготовлении больших и сверхбольших ИС и, соответственно, малых объемах выборок значений контролируемого параметра (п > 5).

-122. Результаты проведенной оценки возможности и особенностей применения методов статистического контроля и регулирования ТП позволяют обоснованно:

- осуществлять выбор критичных ТО и соответствующих межоперационных параметров ТП и параметров ИС для статистического контроля;

- оценивать возможность применения и эффективно использовать при управлении ТП существующие статистические методы контроля и регулирования для обеспечения качества ИС на различных стадиях производства.

3. Разработана функциональность на основе электронных таблиц MS Excel 2000, позволяющая производить автоматизированную обработку и статистический анализ состояния ТП производства ИС по данным межоперационного контроля от 1 до 5 параметров.

4. Проведены статистический анализ и оценка состояния ТП по данным контроля толщины защитного слоя окисла Si02 и удельного поверхностного сопротивления на ряде предприятий-изготовителей ИС с применением разработанного и существующих статистических методов.

Положения, выносимые на защиту.

1. Метод статистического контроля ТП изготовления ИС для партий малого объема при прерывистом производстве и порядок его применения, включая:

- формулы для оценки статистических характеристик по результатам контроля партий ИС с различными объемами контролируемых значений параметра;

- метод оценки толерантных границ для контролируемого параметра по результатам испытаний ИС с малыми объемами выборки;

- порядок анализа и сравнения результатов расчета толерантных границ со значениями контролируемого параметра и полем допуска.

-132. Рекомендации по условиям и порядку применения методов статистического контроля и регулирования для обеспечения качества ТП изготовления ИС на критичных ТО.

Реализация и внедрение результатов работы.

1. Результаты анализа состояния ТП использованы в процессе апробации положений ОСТ 11 14.1011 [8] при выполнении НИР «Осень-5» и «Осень-6», реализованных 22 ЦНИИИ МО РФ в 1999 г.; разработанная методика статистического контроля ТП изготовления ИС для партий малого объема при прерывистом производстве будет включена в качестве приложения в ОСТ 11 14.1011 [8].

2. Метод статистического контроля ТП изготовления ИС для партий изделий малого объема при прерывистом производстве и рекомендации по применению методов статистического контроля и регулирования ТП использовались ОАО «Ангстрем» и ОАО ЦКБ «Дейтон» при осуществлении статистического контроля ТП производства ИС.

Апробация работы.

Основные положения диссертационной работы докладывались на следующих научно-технических конференциях: Юбилейной 50-й Научно-технической конференции МИРЭА, г. Москва, 2001 г.; 51-й Научно-технической конференции МИРЭА, г. Москва, 2002 г.; Международной научно-технической школе-конференции «Молодые ученые - науке, технологиям и профессиональному образованию» «Молодые ученые - 2003», г. Москва, 2003г.; Международной научно-технической школе-конференции «Межфазная релаксация в полиматериалах» «Полиматериалы - 2003», г. Москва, 2003 г.

Публикации.

Основные результаты диссертации представлены в 6 научных работах общим объемом 34 страницы, 4 работы написаны совместно с другими авторами.

4.3 Выводы

Проведенные расчеты и оценка состояния ТП по данным контроля толщины защитного слоя окисла Si02 и удельного поверхностного сопротивления с применением толерантных границ, а также с помощью известных статистических методов наглядно показывают порядок и особенности их применения для контроля качества ИС, а также доказывают эффективность их применения как по отдельности, так и в комплексе.

Анализ ТП свидетельствует, что результаты оценок состояния ТП с помощью коэффициентов Ср и Срк и показателей настроенности, точности и стабильности хорошо соответствуют друг другу.

Оценка на основе показателей настроенности, точности и стабильности является более точной и информативной, с помощью коэффициентов Ср и Срк -приближенной и менее трудоемкой.

Контрольные карты регулирования не всегда являются применимыми, так как эффективны только при достаточной точности и стабильности ТП.

Расчеты и построение диаграмм для сравнения значений контролируемого параметра с толерантными границами показали эффективность практического применения разработанного метода для статистического контроля при производстве малых партий различного объема, а также высокую наглядность и информативность данного метода при относительной простоте его применения.

Проведенная оценка состояния ТП по статистическим данным предприятий-изготовителей ИС позволяет сделать вывод о том, что практическое применение методов статистического контроля и регулирования ТП изготовления ИС является эффективным как на стадии установившегося производства, так и при освоении производства. В последнем случае, может использоваться оценка показателей настроенности, точности и стабильности ТП, поскольку данные показатели учитывают объемы выборок.

Однако, существующие методы неприменимы при изготовлении ИС малыми партиями и недостаточной ритмичности производства, в частности при прерывистом- характере производстве, для которого характерно изготовление продукции партиями различного объема.

Показано, что в последнем случае, оптимальным является комплексное применение разработанного статистического метода вместе с известными методиками. При этом переход к применению показателей настроенности и точности ТП или коэффициентов Ср и Срк для статистического контроля должен осуществляться при положительных результатах предварительного контроля с помощью применения толерантных границ.

Сопряжение программной функциональности, разработанной для статистического анализа экспериментальных данных контроля, с испытательным оборудованием позволит улучшить точность и оперативность обработки данных, также информативность получаемой информации для принятия решений по регулированию ТП.

Результаты расчетов и полученные оценки состояния ТП использовались при апробации положений ОСТ 11 14.1011-99 «Микросхемы интегральные. Система и методы статистического контроля и регулирования технологического процесса».

-112-ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Возможность осуществления эффективного статистического контроля и управления ТП имеет большое значение для обеспечения качества ИС при мелкосерийном и прерывистом производстве. Действительно, выпуск изделий малыми партиями и неритмичность производства характерны для современной микроэлектроники.

В диссертационной работе в соответствии с поставленной целью разработаны научно-методические основы управления качеством ИС при мелкосерийном и прерывистом характере производства: разработан метод статистического контроля ТП изготовления ИС при производстве партий малого объема и различных объемах контролируемых значений параметра, предложен порядок его применения в сочетании с существующей НД.

В рамках работы при решении поставленных задач были получены следующие результаты:

1. В результате анализа статистических методов применительно к контролю и управлению ТП изготовления ИС проведена классификация методов статистического контроля и регулирования ТП и определены методы, наиболее применимые для обеспечения качества ИС на этапе производства.

2. На основе проведенного анализа распределения отказов по операциям ТП изготовления ИС определены составы критичных ТО и параметров для проведения статистического контроля при осуществлении управления ТП и сертификации производства.

3. Благодаря проведенной оценке особенностей существующих статистических методов применительно к производству ИС, разработаны рекомендации по условиям и порядку их применения, которые были апробированы на ряде предприятий-изготовителей ИС. Результаты исследований использованы при разработке и апробации положений ОСТ 11 14.1011 [8].

4. Уточнены формулы для оценки статистических характеристик по результатам испытаний партий ИС с различными объемами контролируемых значений параметра. Полученные формулы также могут быть использованы при расчете показателей настроенности, точности и стабильности ТП в соответствии с ГОСТ РВ 20.57.412 [7], а также границ контрольных карт в соответствии с ОСТ И 14.1011 [8].

5. Теоретически обоснована возможность применения толерантных границ при проведении статистического контроля ТП для малых выборок (п > 5) и разработан метод оценки толерантных границ для контролируемого параметра по результатам испытаний ИС с малыми объемами выборки. Предложен порядок анализа и сравнения результатов расчета толерантных границ со значениями контролируемого параметра и полем допуска.

6. Проведены расчеты и оценка состояния ТП по экспериментальным данным контроля толщины защитного слоя окисла Si02 и удельного поверхностного сопротивления с применением толерантных границ, а также с помощью известных статистических методов, демонстрирующие порядок и особенности их применения для контроля ТП производства ИС. Показана эффективность и информативность применения разработанного метода статистического контроля ТП с помощью толерантных границ в комплексе с существующими методами управления качеством ИС.

Есть основания предполагать, что в перспективе, с учетом возрастания объемов производства ИС под конкретные цели, разработанный метод может занять главенствующее положение ввиду снижения количества заказов на изготовление ИС большими партиями и преобладания выпуска продукции малыми партиями различных объемов.

Автор выражает глубокую благодарность научному руководителю, д.т.н., проф. Дорошевичу Казимиру Казимировичу за внимание, поддержку и любезно предоставленную необходимую информацию. Считаю своим приятным долгом поблагодарить к.т.н., с.н.с. Попова Владимира Николаевича за идею использования толерантных пределов, проявленный интерес и полезные обсуждения.

1. Jeanes С. What is TQM (and what it is not). - Total quality management 3: Proc. of the 3rd intern, conf., 5-6 June, 1990, London, UK / Ed.: J. Oakland. -1 ed. -Bedford et al.: 1.S, 1990. - P. 3-6.

2. Коуден Д. Статистические методы контроля качества / Пер. с англ.; Под ред. Б.Р.Левина. М.: ФизМатГиз, 1961. - 623 с.

3. Химмельблау Д. Анализ процессов статистическими методами / Пер. с англ. В.Д. Скаржинского; Под ред. В.Г. Горского. М.: Мир, 1973. - 957с.

4. Чекмарев А.Н. Статистические методы управления качеством / Чекмарев А.Н., Барвинок В.А., Шалавин В.В. М.: Машиностроение, 1999. - 319 с.

5. Фейгенбаум А. Контроль качества продукции / Сокр. пер. с англ. Л.И. Павлови др. М.: Экономика, 1986. - 471 с.

6. Messina W.S. Statistical quality control for manufacturing managers. New York et al.: Wiley, 1987. - 331 p.

7. ГОСТ PB 20.57.412-97 KCKK. Изделия электронной техники, квантовой электроники и электротехнические военного назначения. Требования к системе качества. Госстандарт РФ, 1997.

8. ОСТ 11 14.1011-99 Микросхемы интегральные. Система и методы статистического контроля и регулирования технологического процесса. 22 ЦНИИИ МО, 1999.

9. Р 50-601-32-92 Рекомендации. Организация внедрения статистических методов управления качеством продукции на предприятии. Госстандарт РФ, 1992.

10. Ю.Сажин Ю.В. Комплексное применение статистических методов в исследовании качества продукции. Саратов: Изд-во Саратов, ун-та, 1982.- 166 с.

11. Проблемы контроля качества на мелких предприятиях / Stephenson A.R.; ВЦП. № И-33519. - 23 с. World Quality Congress - 84. Brighton 1984. Proceedings, V.l. P. 327-341.

12. Тру ханов B.M., Аристов А.И. Модели управления процессом обработки технических систем. Статистические методы регулирования технологических процессов, Т. 5(11), 1990. 98 с.

13. Шор Я.Б. Статистические методы анализа и контроля качества и надежности. М.: Советское радио, 1962. - 552 с.

14. Кокрен У. Методы выборочного исследования / Пер. с англ. И.М. Сонина; Под ред. А.Г. Волкова; Предисл. Н.К. Дружинина. М.: Статистика, 1976. -440 с.

15. Михок Г., Урсяну В. Выборочный метод и статистическое оценивание: . Пер. с румын. / Под ред. В.Ф. Матвеева. М.: Финансы и статистика,1982.-245 с.

16. Справочник по теории вероятностей и математической статистике / В.С.Королюк, Н.И.Портенко, А.В.Скороход, А.Ф.Турбин. М.: Наука, 1985.-640 с.

17. Крамер Г. Математические методы статистики / Пер. с англ. А.С. Монина и А.А. Петрова; Под ред. акад. А.Н. Колмогорова. 2-е изд., стереотип. -М.: Мир, 1975.-648 с.

18. Дунин-Барковский И.В., Смирнов Н.В. Теория вероятностей и математическая статистика в технике: (Общая часть). М.: Гостехиздат, 1955.-556 с.

19. Лабутин С.А., Пугин М.В. Статистические модели и методы в измерительных задачах. Н. Новгород, 2000. - 115 с.

20. Мердок Дж. Контрольные карты / Пер. с англ.; Предисл. Ю.П. Адлера. -М.: Финансы и статистика, 1986. 151 с.

21. Попов В.Н. Нормы и допуски на параметры функциональных узлов. М.: Энергия, 1976. - 72 с.

22. Гнеденко Б.В. Математика и контроль качества продукции. М.: Знание, 1978.-64 с.

23. Шиндовский Э., Шюрц О. Статистические методы управления качеством. Контрольные карты и планы контроля / Пер. с нем. Ивановой В.М., Решетниковой О.И. М.: Мир, 1976. - 597 с.

24. РД В 11.070.059-79 Изделия электронной техники. Методы установления норм на электрические параметры. ВНИИ «Электронстандарт», 1980.

25. Пролейко В.М., Абрамов В.А., Брюнин В.Н. Системы управления качеством изделий микроэлектроники: (Теория и применение) / Предисл. проф. В.Н. Сретенского. М.: Советское радио, 1976. - 224 с.

26. Сиро С. Практическое руководство по управлению качеством / Пер. с яп.; Под ред. В.И. Гостева. М.: Машиностроение, 1980. - 214 с.

27. Использование статистических методов в управлении качеством продукции: Обзорная информ. / Сер. «Управление качеством продукции». Вып.4 / ВНИИКИ. М.: 1991. - 60 с.

28. Taylor D.S. Wet-etch Process Improvements Through SPC (Statistical Process Control) // Solid State Technology. 1998. - Vol.7. - P. 119-129.

29. Качество продукции: Статистические методы управления качеством. Регулирование технологических процессов методом группировки. Рекомендации / Сост. Сперанский Б.С., Бондарь М.Т., Фридлендер И.Г. и др.-М.: 1978.-29 с.

30. Shewhart W.A. Economic Control of Quality of Manufactured Product. New York: D. Van Nostrand, 1931. - 501 p.

31. Rissik H. Quality control in production. London, 1948. 181 p.

32. OCT В 11 0998-99 Микросхемы интегральные. Общие технические условия. Система и методы операционного контроля. Госстандарт РФ, 1999.

33. ОСТ 11 0999-99 Микросхемы интегральные. Обеспечение качества в процессе разработки. Требования к системе качества разработки. 22 ЦНИИИМО, 1999.

34. ОСТ 11 20.9926-99 Микросхемы интегральные. Требования к элементам производства. Сертификация систем качества и производств. 22 ЦНИИИ МО, 1999.

35. ОСТ 11 14.1012-99 Микросхемы интегральные. Технические требования к технологическому процессу. Система и методы операционного контроля. 22 ЦНИИИ МО, 1999.

36. ОСТ 11 1000-99 Микросхемы интегральные. Типовая форма построения и изложения Программы обеспечения качества. 22 ЦНИИИ МО, 1999.

37. Круглый стол «Судьба электроники России» // Электроника. 2002. - № 2.-С. 4.

38. Власов В.Е., Захаров В.П., Коробов А.И. Системы технологического обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры. / Под ред. А.И.Коробова. -М.: Радио и связь, 1987. 160 с.

39. ГОСТ РВ 20.57.411-97 КСКК. Изделия электронной техники, квантовой электроники и электротехнические военного назначения. Организация работ по сертификации систем качества и производств. Госстандарт РФ, 1997.

40. Стрижков С.А. Статистические методы управления и оценки качества технологических процессов. Особенности применения для обеспечения качества интегральных микросхем // Микроэлектроника. 2002. - Т. 31. -№1.- С. 24-30.

41. Условия контроля за процессом мелкосерийного многономенклатурного производства / ВЦП. № М-5289. - 17 с. Пер. ст. Ямада К., Исимура. Я. Из журн.: Кэйсо. 1985. Т. 28, № 8. - С. 25-31.

42. Критенко М.И., Бедрековский М.А., Вуколов Н.И., Голубев В.В. Особенности обеспечения и контроля качества изделий единичного имелкосерийного производства // Экономика и производство. 1999. - № 4.-С. 15-17.

43. Дорошевич К.К., Попов В.Н.,. Стрижков С.А Методика статистического контроля технологических процессов изготовления интегральных микросхем для партий малого объема при прерывистом производстве // Микроэлектроника. 2002. - Т. 31. - № 2. - С. 152-160.

44. Дорошевич К.К., Стрижков С.А. Статистический контроль технологического процесса изготовления интегральных микросхем при производстве партий различного объема // Наукоемкие технологии (в печати).

45. Wolfowitz J. Confidence limits for the fraction of a normal population which lies between two given limits. AMS, 1946, Vol. 52, N. 9.

46. Большее Jl.H., Смирнов H.B. Таблицы математической статистики. — М.: Наука, 1983.-416 с.

47. Kirschling G. Quality assurance and tolerance: Transl. from german. -Berlin etc.: Springer, 1991. 335 p.

48. РД 22.12.174-94 Микросхемы интегральные. Порядок и методы проведения физико-технической экспертизы при оценке качества. 22 ЦНИИИМО, 1994.

49. ОСТ 11 073.013-83 Микросхемы интегральные. Методы испытаний. МинЭлектронПром, 1983.

50. РД 11 0274-90 Микросхемы интегральные. Требования к технологическим процессам сборки. МинЭлектронПром, 1990.

51. РД 11 0236-85 Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Формы сопроводительной документации в процессе производства. МинЭлектронПром, 1985.