автореферат диссертации по информатике, вычислительной технике и управлению, 05.13.12, диссертация на тему:Разработка математического обеспечения автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления пассивных элементов гибридных интегральных схем

ВВЕДЕНИЕ

1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ И ПРЕДПОСЫЛКИ СОЗДАНИЯ САПР ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НАПЫЛЕНИЯ ПАССИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ.II

1.1. Краткая характеристика технологического процесса напыления.II

1.2. Основные задачи САПР технологических процессов напыления.

1.3. Анализ математических методов решения задач проектирования технологического процесса напыления.

1.4. Постановка задачи исследования

2. МЕТОДИКА РАЗРАБОТКИ МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НАПЫЛЕНИЯ.

2.1. Исследование задач проектирования

2.2. Методика построения математических моделей процесса напыления для автоматизированного проектирования

2.2.1. Последовательность этапов анализа технологического процесса напыления

2.2.2. Эмпирический метод получения критериев подобия.

2.2.3. Метод исследования моделей, представленных многомерными уравнениями теплопроводности

2.3. Метод решения задач параметрического синтеза при автоматизированном проектировании технологических процессов напыления

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 2.

3. РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ИСПАРЕНИЯ ПРИ НАПЫЛЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК.

3.1. Математическая модель процесса испарения

3.2. Разработка математических методов решения задач синтеза при проектировании процесса испарения.

3.3. Проверка и программная реализация разработанных моделей и методов

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 3.

4. РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА МАССОПЕРЕНОСА ПРИ НАПЫЛЕНИИ

ТОНКИХ ПЛЕНОК.

4.1. Математическая модель процесса массо-переноса.

4.2. Методы расчета геометрии подколпачно-го оборудования при проектировании процесса массопереноса.

4.3. Проверка и использование разработанных моделей и методов

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

5. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕПЛОВЫХ РЕЖИМОВ КОНДЕНСАЦИИ ПРИ НАПЫЛЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК.

5.1. Математическая модель тепловых режимов конденсации

5.2. Программная реализация и использование модели для проектирования тепловых режимов конденсации.

В настоящее время перед промышленностью поставлены задачи /I/ "расширения автоматизации проектно-конструкторских работ", "создания автоматизированных цехов и заводов, а также оборудования, переналаживаемого при изменении технологических процессов, видов выпускаемых изделий и производимых работ". Требование быстрой переналадки технологии в гибких производственных комплексах вызывает необходимость разработки систем автоматизированного проектирования технологических процессов. Актуальность разработки САПР технологических процессов напыления обусловлена тем, что существующий процесс проектирования технологии, базирующийся на ручном труде (на экспериментальном подборе технологических режимов), превратился в"узкое место" на пути ускоряющегося технического прогресса. Особенно велика потребность в автоматизации проектирования технологических процессов при мелкосерийном производстве микроэлектронных приборов, заказных интегральных схем и микропроцессоров, схем СВЧ,

Данная работа рассматривает проблемы автоматизации проектирования технологических процессов изготовления тонкопленочных элементов интегральных схем по методу испарения в вакууме. Получение пленок испарением в вакууме широко используется при изготовлении пленочных элементов интегральных схем самых разных типов. Разработка САПР технологических процессов напыления в рамках разработки интегрированной автоматизированной системы проектирования и изготовления изделий микроэлектроники является сложной комплексной задачей. Один из первых этапов ее решения связан с разработкой математического аппарата для формализованного решения основных задач проектирования технологических процессов напыления»

Поэтому разработка математических методов проектирования и построение математических моделей процесса напыления являются актуальными задачами.

Целью работы является разработка математического обеспечения автоматизированного проектирования технологических процессов напыления тонких пленок. Под этим понимается (по ГОСТ 22487-77) разработка математических моделей, математических методов и алгоритмов проектирования, необходимых для выполнения автоматизированного проектирования.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка литературы и приложения. В аналитическом обзоре литературы проведен краткий анализ существующих подходов к проектированию процессов напыления, исследована роль технологического проектирования в интегрированной автоматизированной системе проектирования и изготовления изделий микроэлектроники и обоснована необходимость автоматизации проектирования технологических процессов напыления. Показано, что одним из недостатков существующего подхода к проектированию технологических процессов напыления, основанном на экспериментальном подборе технологии, является то, что для получения оптимального (самого эффективного) проектного решения необходимо экспериментально сравнить большое число проектных решений. (Эффективность проектных решений определяется экономическими показателями спроектированного технологического процесса: средними затратами на изготовление годного изделия). В конце первой главы сформулированы основные частные задачи, которые необходимо решить для достижения поставленной в диссертации цели.

Основные результаты диссертационной работы мокно характеризовать следующими выводами.

1. Исследованы основные задачи, возникающие при проектировании технологических процессов изготовления тонких пленок по методу термического испарения в вакууме.

2. Обоснованы требования к математическим моделям, разрабатываемым для САПР технологических процессов напыления, и разработана методика анализа технологических процессов, удовлетворяющая этим требованиям и отличающаяся особым способом разбиения на первом уровне декомпозиции системы, специальным формированием набора входных параметров модели, использованием методов системного анализа для новых областей применения, таких как решение уравнении в частных производных и теории подобия.

3. Исследованы особенности обратных задач, возникающих при синтезе непрерывных технологических процессов, и разработан метод решения задач синтеза. Разработана инвариантная часть программного комплекса для решения обратных задач при проектировании непрерывных технологических процессов.

4. Разработана методика построения математического и программного обеспечения автоматизированного проектирования технологических процессов напыления, основывающаяся на использовании разработанной инвариантной части программного комплекса.

5. Разработана математическая модель и проведен анализ процесса испарения при изготовлении тонких пленок методом термического испарения в вакууме. Разработано математическое обеспечение автоматизированного проектирования процессов испарения, основывающееся на использовании предложенной эмпирической методики решения обратных задач для получения заданных температурных режимов.

6. Разработана модель процесса массопереноса при напылении тонкопленочных элементов интегральных схем, и разработано математическое и программное обеспечение автоматизированного проектирования геометрии подколпачного оборудования в установках вакуумного напыления.

7. Разработана модель тепловых процессов на поверхности конденсации и разработано математическое и программное обеспечение автоматизированного проектирования тепловых режимов конденсации, подложкодержателей, системы контроля температуры.

8. Результаты диссертационной работы вне,дрены в опытное производство, использовались для создания установки для научных целей и внедрены в учебный процесс.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Основные направления экономического и социального развития СССР на I98I-I985 годы и на период до 1990 года. с.144.« В кн.: Материалы ХХУ1 съезда КПСС. - М.: Политиздат, 1981.223 с.

2. Автоматизация поискового конструирования /Под ред. А.И.Поло-винкина. М.: Радио и связь, 1981. « 344 с.

3. Автоматизация и проектирование топологии ИС /Глориозов Е.Л. и др. М.: ЦНИИ электроника, 1976. - 56 с.

4. Автоматизированное проектирование устройств СВЧ /Под ред. В.В.Никольского. <- М. : Радио и связь, 1982. 272 с.

5. Автоматизированные системы технологической подготовки производства в машиностроении / Ред. Г.К.Горанский. - М.: Машиностроение, 1976. - 240 с.

6. Азаров В.Л., Лупичев Л.Н., Тавризов Г.А. Математические методы исследования сложных физических систем. М.: Наука,1975.342 с.

7. Алексеев A.C., Лаврентьев М.М. Математические модели геофизики. В кн.: Актуальные проблемы прикладной математики и математического моделирования. - Новосибирск: Наука, 1982. с. 42-50.

8. Алимова P.A., Валеев Р.Ш., Горохов В.И. Математическая модель технологического процесса изготовления резистивных пленок из сплава PC37I0. Микроэлектроника /Межвузовский сборник. -Казань: КАИ,1977,Вып. I, с. 105-107.

9. Анишев П.А., Пискунов C.B., Сергеев С.Н. О проекте системы автоматизированного проектирования в микроэлектронике. -Управляющие системы и машины, 1974, № 2, с.100-108.

10. Анищенко Л.М., Лавренюк С.Ю. Применение методов системного анализа для решения задач теплопроводности. Физика и химия обработки материалов, 1979, № 4, с.27-31.

11. Анищенко Л.М., Лавренюк С.Ю. Расчет температуры неоднородного стержня в условиях сложного теплообмена. Физика и химия обработки материалов, 1979, № б, с. 33-35.

12. Анищенко Л.М.^ Лавренюк С.Ю. Оптимизация тепловых режимов напыления пассивных элементов ГИС. IX Всесоюзная н/т конференция по микроэлектронике (тезисы докладов). - Казань, 1980, с. 185.

13. Анщенко Л.М., Лавренюк С.Ю. Расчет тепловых потоков от источника на подложку при термическом испарении. Физика и химия обработки материалов, 1981, № I, с. 142-143.

14. Анищенко Л.М., Лавренюк С.Ю. Тепловые режимы подложек при напылении пленочных покрытий. Физ. и химия обработки материалов, 1981, № 2, с. 21-25.

15. Анищенко Л.М., Лавренюк С.Ю. Получение заданных температурных режимов испарителя на основе решения обратной задачи теплопроводности. Физика и химия обработки материалов, 1982, № б, с. 26-28.

16. Базара М., Шетти К. Нелинейное программирование. Теория и алгоритмы: Пер. с англ.- М.: Мир, 1982. 583 с.

17. Байстрюченко А.И., Макурин Н.С., Игнатов Г.В. Организация системы автоматизированного проектирования технологических процессов. Обмен опытом в радтопромышленности, 1978,4/5, с. 77-79.

18. Баталов Б.В., Норенков И.П. Системы автоматизтрованногопроектирования сверх БИС. Микроэлектроника, 1980, т.9, Вып. 5, с.401-412.

19. Батищев Д.П. Поисковые методы оптимального проектирования. М.: Сов. радио, 1975. 216 с.

20. Бежанова М.М. Характеристики пакетов прикладных программ на стадии технического проектирования. В кн.: Разработка пакетов прикладных программ. - Новосибирск: Наука, 1982, с. 224-238.

21. Библиотека подпрограмм проектирования топологии БИС/ Белоус Л.Л., Майоров В.И., Метлицкий П.А. и др. Электронная техника, Серия 3 (микроэлектроника), 1978, № б, с. 92-96.

22. Бреховских В.Ф., Никитин М.М., Шоршоров М.Х. Расчет теплового потока на поверхности пленок при термическом и элет-ронно-лучевом плазменном испарении. Физика и химия обработки материалов, 1974, № б, с. 3~б.

23. Бублей Е.Е. Адаптация топологии микросхем к технологическому процессу. Электронная техника, Серия 3 (Микроэлектроника), 1978, № 4, с. 90-94.

24. Бусленко H.H. Моделирование сложных систем. М.: Наука, 1978, - 400 с.

25. Бушминский И.П., Морозов Г.В. Технология гибридных интегральных схем СВЧ. М.: Высшая школа, 1980. - 285 с.

26. Валеев A.C. и др. Расчет равномерности осаждения конденсата на подложках сложного профиля в планетарных системах с плоскими и сферическими подложкодержателями. Электронная техника. Серия 3 (Микроэлектроника), 1973, № 7, с.101-107.

27. Васенков A.A. Принципы машинного проектирования больших интегральных схем. Электронная техника, Серия 3 (микро- ; электроника), 1978, № 6, с. 3^.

28. Вермишев Ю.Х. Методы автоматического поиска решений црипроектировании сложных технических систем. М.: Радио и связь, 1982. - 152 с.

29. Гвардейцев М.И., Морозов В.П., Розенберг В.Я., Специальное математическое обеспечение управления. ~ М.: Сов. радио, 1980. 536 с.

30. Геминтерн В.И», Каган Б.М. Методы оптимального проектирования. М.: Энергия, 1980. - 160 с.

31. Голубков H.H. К вопросу о постоении математического обеспе-( чения технологической подготовки производства. В кн.: Автоматизированные системы технологической подготовки производства в приборостроении. - Л.: ЛИТМО, 1977, с. 19-24.

32. Горанский Г.К., Бендерова Э.П. Технологическое проектирование в комплексных автоматизированных системах подготовки производства. М.: Машиностроение, 1981. - 455 с.

33. Горбатов В.А. Характеризационное управление при проектировании интеллектуальных пакетов прикладных программ. В кн.: Логическое управление. Вып. 2 / Под ред. В.А.Горбатова.

34. М.: Энергоиздат, 1981, с. 3-7.

35. Горохов В.А., Щедрин М.Б. Физические основы применения тиристоров в импульсных схемах . М.: Сов. радио, 1972. - 304с.

36. Гухман A.A. Введение в теорию подобия. М.: Высш. школа, 1973. 295 с.

37. Данилин Б.С., Долинский В.А., Шинкаренко Ю.Л. Получение тонкопленочных слоев равномерной толщины на подложках сложного профиля. Зарубежная электронная техника, 1978, № 3, с. 20-44.

38. Донец A.M., Львович Я.Е., Фролов В.Н. Автоматизированный анализ и оптимизация конструкций и технологии РЭА. М.: Радио и связь, 1983. - 104 с.

39. Дружинин A.B., Лавренюк С.Ю. 0 применении решений обратныхзадач для проектирования технологических режимов в микроэлектронике. Физика и химия обработки материалов, 1972, № б, с. 148.

40. Шаблон К., Симон Ж. К. Применение ЭВМ для численного моделирования в физике: пер. с фран. - М.: Наука, 1983. - 235 с.

41. Запорожец А.Г. Влияние условий осаждения тонких пленок в вакууме на их свойства. Автореферат диссертации на соискание степени кандидата технических наук. - Киев: КШ, 1971. -26 с.

42. Звенигородский Э.П., Матвеев В.И. Автоматизация проектирования гибридных пленочных микросхем. Приборы и системы управления, 1977, № II, с. 12-13.

43. Зелковиц М., Шоу А., Геннон Дж. Принципы рабработки программного обеспечения: Пер. с англ. М.: Мир, 1982. - 368 с.

44. Ивата К. Системы проектирования и производства с помощью ЭВМ. Перспективы с точки зрения программного обеспечения.

45. Пе Пер. с яп. статьи из Ж.: Сисутэму то сэйгё, 1979, т.23, № 5, с. 213-224. Перевод ВЦП № В-50972, 1980, 41 с.

46. Исследование операций: В 2-х томах: Пер. с англ. /Под ред. Дж. Моудера, С.Элмаграби. М.: Мир, 1981. I-7I2, с.2-677 с.

47. Кармазинский А.Н. Морфология тестовых структур для исследования интегральных схем на ЩП транзисторах. - В кн.: Микроэлектроника и полупроводниковые приборы /Под ред. А.А.Васенкова. Вып. 2. - М.: Сов. радио, 1977, с.121-133.

48. Кафаров В.В., Дорохов И.Н. Системный анализ процессов тепло-и массопереноса. Инженерно-физический журнал, 1980, том XXXIX, № 3, с. 396-415.

49. Кафаров В.В., Дорохов И.Н., Липатов Л.Н. Системный анализ процессов химической технологии. Статистические методы идентификации объектов химической технологии. М.: Наука, 1982. - 344 с.

50. Коган Б.П., Сатаев А.Г. Подвижное управление состоянием параболической системы. В кн.: Моделирование и оптимизация сложных систем управления. М.: Наука, 1981, с. 34-39.

51. Коздоба Л.А. Методы решения нелинейных задач теплопроводности. М.: Наука, 1975. - 227 с.

52. Коздоба Л.А. Обратные задачи теплопереноса. Промышленная теплотехника, том I, 1979, № I, с. 38-49.

53. Коздоба Л.А., Круковский П.Г. Методы решения обратных задач теплопереноса. Киев: Наук, думка, 1982. - 358 с.

54. Комплекс отраслевых руководящих методических материалов по созданию АСУ и САПР. М.: Статистика, 1980. - 120 с.

55. Конденсация материалов в вакууме при использовании безмасляной откачки / Борисов Л.А., Иванов В.В., Ивановский Г.Ф. и др. Электронная промышленность, 1975, № 3, с. 46-49.

56. Костычев Г.М., Бобров А.Н. Физические модели для оценки надежности отдельных компонентов 14ДП ИС. В кн.: Микроэлектроника и полупроводниковые приборы. Вып. 2. - М.: Сов. радио, 1977, с. 144-150.

57. Кузнецов К.А., Уразалиев У.С. Системный подход к управлению и контролю качества интегральных схем. Вопросы радиоэлектроники. Серия АСУ, 1976, № 2. с. 108-114.

58. Лингер Р., Миллс X., Уитт Б. Теория и практика структурного программирования: Пер. с англ. М.: Мир, 1982. - 406 с.

59. Липаев В.В. Проектирование математического обеспечения АСУ (системотехника, архитектура, технология). М.: Сов. радио,1977. 400 с.

60. Норенков И.П. Введение в автоматизированное проектирование технических устройств и систем. М.: Высшая школа, 1980. -321 с.

61. Лими Э., Гилмер Г., Диркс А. Микроструктура тонких пленок, осажденных из паровой фазы. В кн.: Актуальные проблемы материаловедения, вып. 2. - М.: Мир, 1983, с. 240-274.

62. Лыков A.B. Тепломассообмен: (СправочникС. М.: Энергия,1978. 480 с.

63. Месарович М., Mako Д., Такахара И. Теория иерархических многоуровневых систем: Пер. с англ. М.: Мир, 1973. - 344 с.

64. Митрейкин H.A., Озерский А.И. Надежность и испытания радиодеталей и радиокомпонентов. М.: Радио и связь, 1981. - 272 с.

65. Митрофанов С.П., Куликов Д.Д. Проблемы автоматизации технологической подготовки производства. -В кн.: Автоматизированные системы технологической подготовки производства в приборостроении. -Л.: ЛИТМ0, 1977, с. 3-6.

66. Моисеев H.H. Математические задачи системного анализа. М.: Наука, 1982. - 488 с.

67. Мортон К. Разностные методы решения краевых задач: Пер. с англ. М.: Мир, 1972. - 414 с.

68. Общеотраслевые руководящие методические материалы по созданию АСУ ТП / Государственный комитет СССР по науке и технике. М.: Финансы й статистика, 1982. - 128 с.

69. Огрин Ю.Д., Федосеев В.Л. Напыление металлических пленок в назком вакууме. Микроэлектроника, 1979, Вып. 8, № I,с. 88-89.

70. Основы построения систем автоматизтрованного проектирования. /Под ред. И.Т.Белякова и Л.С.Чернобровкина. М.: МАИ, 1979.66 с.

71. Павловский В.В., Васильев В.II., Гутман Т.Н. Проектирование технологических процессов изготовления РЭА. М.: Радио и связь, 1982. - 160 с.

72. Парфенов О.Д. Технология микросхем. М.: Высшая школа, 1977. - 156 с.

73. Пантелеев Г.В., Ямпольский В.И., Егоров В.Н. Оптимизация условий напыления однородных по толщине пленок. Оптико-механическая промышленность, 1978, № 2, с. 37-39.

74. Пекарчук Т.Н., Хрулев А.К. Радиационная стойкость ВДП структур и полупроводниковых приборов на их основе, М.: ЦНИИ электроники, 1979, - 61 с.

75. Применение тестовых микросхем для оптимизации конструкции и технологии ГИС повышенного уровня интеграции / Захаров В.П., Звероловлев Б.М., Коробов А.И., Репин В.А. Электронная техника, серия П (Комплексная микроминиатюризация.), 1975, № I. с. 92-97.

76. Пятов В.А., Горчаков В.Л, Проектирование индивидуальных технологических процессов с использованием ЭВМ. В кг.: Автоматизированные системы проектирования изделий и разработки^ технологических процессов. - Киев: Знание, 1977, с. 15-17.

77. Расчет толщины вакуумных конденсатов на вращающихся в конгруэнтном газовом потоке мишени / Крестовников А.Н., Пантелеев Г.В., Михеенков А.Ф., Тимошин И.А. Журнал физической химии, т. 49, 1975, № 9, с. 2442-2445.

78. Регуляризующие алгоритмы и априорная информация /Тихонов А.Н., Гончарский А.В., Степанов В.В. Ягола А.Т. М.: Наука, 1983. - 200 с.

79. Рубцов В.П. и др. Автоматизация проектирования больших интегральных схем, Киев: Техника, 1980. - 232 с.

80. Рыкалин Н.Н., Углов А,А., Зуев И.В. Получение пленок и покрытий с использованием концентрированных источников энергии.

81. Физ. и химия обработки материалов, 1979, № I, с.3-12.

82. Рыкалин H.H. Об условиях расщепления решений линейного параболического уравнения на ортогональные состовляющие. Докл. АН СССР, 1959, т. 125, № 3, с. 519-526.

83. Ряховская Т.И., Камордина В.М. О воспроизводимости результатов напыления резистивных элементов гибридных микросхем. -Труды ВНИИ Приборостроения, 1972. Вып. 18, с. 3-5.

84. Самарский A.A., Гулин A.B. Устойчивость разностных схем. -М.: Наука, 1973. 414 с.

85. Сейдж Э.П., Уайт И.С., III. Оптимальное управление системами: Пер. с англ. М.: Радио и связь, 1982. - 392 с.

86. Современные численные методы решения обыкновенных дифференциальных уравнений / Под ред. Жд.Холла и Дж. Уатта: Пер. с англ. М.: Мир, 1979. - 321 с.

87. Солодовников В.В. Автоматизация проектирования АСУ ТП (Автоматизированных систез).- В кн.: Автоматизация проектирования систем управления /Под общ. ред. В.А.Трапезникова.

88. М.: Финансы и статистика, 1981, с. 34-50.

89. Сотников Я.Д. Аппроксимация зависимостей простыми эмпирическими формулами при построении моделей и автоматизированных систем проектирования. В кн.: Моделирование и оптимизация в условиях САПР. - Таллин, 1977, с. 41-46.

90. Сы С.М. Разработка полупроводниковых приборов в 70-х и 80-х годах: Перспектива. ТИИЭР, т. 69, 1981, № 9, с. 36-43.

91. Сысоев В.В. Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства. М.: Радио и связь, 1982. - 120 с,

92. Тассел Д. Ван. Стиль, разработка, эффективность, отладка и испытания программ: Пер. с англ. М.:Мир, 1981. - 319 с.

93. Технология тонких пленок, (справочник): в 2-х томах /Подред. Л.Майселла, Р.Гленга. Пер. с англ. М.: Сов. радио, 1977, т.1 - 664 е., т.2 - 768 с.

94. Тихонов А.Н. Обратные задачи теплопроводности.- Инженерно-физический журнал, 1975, XXXIX, № I, с. 7-10.

95. Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач.- М.: Наука, 1979.- 288 с.

96. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Дж. Поута, К.Ту, Дж. Мейера: Пер. с англ.- М.: Мир, 1982.- 576 с.

97. Уайлд Д. Оптимальное проектирование: Пер. с англ. .- М.: Мир, 1981.- 272 с.

98. Ушаков В.И. и др. О равномерности тонких оболочек, получаемых методом напыления в вакууме.- Доклады АН УССР, Серия А, 1977, № 5, с. 449-452.

99. Фомин A.B., Боченков Ю.П., Сорокопуд В.А. Технология, надежность и автоматизация производства БГИС и микросборок.- М.: Радио и связь, 1981.- 352 с.

100. Фридман Ф., Коффман Э. Решение задач и структурное программирование на ФОРТРАНЕ: Пер. с англ. М.: Машиностроение, 1983. - 485 с.

101. Фукс М.Я. 0 механизме образования внутренних макронапряжений в вакуумных конденсатах. Известия АН СССР. Серия физическая т. XXXI, 1967, № 3, с. 422-428.

102. Хикс Ч.Р. Основные принципы планирования эксперимента: Пер. с англ. М.: Мир, 1967. - 406 с.

103. Хъюз Дж., Мичтом Дж. Структурный подход к программированию: Пер. с англ. М.: Мир, 1980. - 278 с.

104. Цветков В.Д. Система автоматизации проектирования технологических процессов. М.: Машиностроение, 1972. - 240 с.

105. Честнат Г. Техника больших систем: Пер. с англ. М.: Энергия, 1969. - 656 с.

106. Моделирование распределения лх пленок в вакууме. В кн.: й сборник, Вып.1, 1977, Казань,- Электронная техника. Сериялрование с подвижным локальным

107. Чепахин Г.А., Аксянцева Б.М. . конденсата при нанесении тонк: Микроэлектроника /Межвузовски с. I07-II0.

108. Черняев В.Н., Глудкин О.П., Густов А.Е. Разработка модели процесса вакуумного напыления 7, 1977, № 2, с. 59-62.

109. Чубаров Е.П. Контроль и регул: воздействием. М.: Энергия, 1977. - 209.

110. Чулков В.П. Системный подход к построению управляемых технологических процессов. Электронная техника, Серия 9 (экономика и системы упарвления), 1978, № 3, с. II2-I25.

111. Шеннон Р. Имитационное моделирование систем искусство и наука: Пер. с англ. - М.: Мир 1978. - 418 с.

112. Щуп Т. Решение инженерных задач на ЭВМ: Пер. с англ, М.: Мир, 1982. - 235 с.

113. Belous M.V.,Wayman С.М. Temperature Changes in Thin Metal

114. Films during Vapor DepositionL-Joura. of Appl. Physics, Vol. 38, 1967, No. 13, p. 5119-5124.

115. Emittance of Rough Surfaces / Shestakov E.N.,Stolbov V.S.,ф *1.tyev L. N •,Chekhovsko i V.Ya. Froc. of the 7-th Symp. of thermophysical properties / Ed. A.Oezairliyan.- N.Y.s ASMB, 1977, p. 279-284.

116. Goddard Ch.T. The Role of Hybrids in LSI Systems.- IEEE Trans. Gompon. Hybrids and Manuf. Technol., 1979» Vol. 2, No. 4, p. 367-371.

117. Hestenes M.R. Multiplier and gradient Methods,- J. Optimization Theory ahd Applicatibns, 1969, No. 4, p.303-320.115« Integrated Circuit Fabrication Thechnology, by David J. Elliott.- N.Y.; McGraw Hill Book Company, 1982.

118. Tavzes R., et al. The evaluation of the technology fordepositing NiCr resistive films.- Thin Solid Films, 1976, Vol. 36, No. 2, p.379-382.