автореферат диссертации по электротехнике, 05.09.10, диссертация на тему:Совершенствование электроплазменных технологий и оборудования на основе методов повышения устойчивости тлеющего и коронного газовых разрядов при их возбуждении в распределенных электродных системах

Введение.

Глава 1. Анализ путей повышения устойчивости газовых разрядов в распределенных электродных системах плазменных устройств

1.1. Системный подход к исследованию вопросов устойчивости газовых разрядов и проектированию распределенных электродных систем плазменных устройств

1.2. Общая характеристика технологических плазменных устройств с распределенными электродными системами

1.3. Технологические факторы, определяющие устойчивость газовых разрядов.

Выводы по главе 1.

Г лава 2. Исследование влияния технологических факторов на устойчивость тлеющего разряда.

Постановка задачи.

2.1. Некоторые характеристики тлеющего разряда, используемые при разработке технологических процессов

2.2. Анализ устойчивости тлеющего разряда, обусловленной тепловыми процессами на электродах.

2.3. Исследование влияния импульсной формы тока на устойчивость тлеющего разряда

2.4. Исследование влияния поверхностных загрязнений, окисной пленки и геометрических размеров электродов на устойчивость тлеющего разряда.

Выводы по главе 2.

Глава 3. Исследование факторов, определяющих устойчивость коронного разряда. Постановка задачи.

3.1. Краткая характеристика особенностей коронного разряда

3.2. Анализ устойчивости коронного разряда, обусловленного скоростью прокачки газа через межэлектродный промежуток распределенной электродной системы

3.3. Экспериментальное определение предельного тока коронного разряда в распределенной электродной системе типа игла-плоскость.

Выводы по главе 3.

Глава 4. Разработка технологий и оборудования на основе распределенных электродных систем.

4.1. Разработка технологии и оборудования для очистки и нагрева деталей в тлеющем разряде.

Постановка задачи.

4.1.1. Анализ процессов очистки деталей в тлеющем разряде

4.1.2. Разработка технологии очистки и нагрева деталей в тлеющем разряда.

4.1.3. Разработка оборудования для очистки и нагрева деталей в тлеющем разряде

4.2. Разработка технологии и оборудования для озонирования пористых тел. Постановка задачи

4.2.1. Разработка технологии озонирования пористых тел

4.2.2. Разработка оборудования для озоновых технологий 176 Выводы по главе 4.

Электроплазменная обработка является одной из современных и перспективных операций в технологическом процессе производства различной продукции. Ее перспективность и важность определяется тем, что она может заменить ряд традиционных технологических процессов, выполнявшихся ранее способами, не позволяющими обеспечить высокое качество обработки, либо связанными с вредными условиями на производстве и загрязнением окружающей среды. Широкое использование электроплазменных технологий в различных отраслях народного хозяйства позволит улучшить качество выпускаемых изделий, повысить производительность и улучшить условия труда.

Электроплазменная обработка относится к разделу техники, которая получила название «Электротехнология». Однако, поскольку в литературе устоявшимся термином является «плазменная» обработка, в дальнейшем в данной работе будут использоваться термины плазменная обработка, плазменные процессы и т.д., вместо термина «электроплазменная».

Основным физическим механизмом в процессе плазменной обработки является электрический газовый разряд той или иной формы. Наиболее широкое применение для технологических целей получил дуговой разряд, возбуждаемый в специальной электродной системе - плазмотроне, обеспечивающей обжатие (контрактацию) дугового разряда с целью повышения его удельной мощности на небольшой площади обрабатываемого изделия. Однако, для технологических целей перспективными являются также тлеющий и коронный газовые разряды. Достоинством этих форм газовых разрядов является то, что с их помощью можно одновременно обрабатывать большие поверхности деталей, а также проводить групповую обработку деталей, не прибегая к использованию специальных механизмов перемещения электродных систем или обрабатываемых деталей, что дает возможность повышать производительность и качество обработки деталей. Важно также то, что параметры этих разрядов (ток разряда, давление рабочего газа, скорость рабочего газа, геометрические размеры электродной системы) возможно варьировать в широких пределах, обеспечивая оптимальность технологического процесса.

Одним из факторов, сдерживающих быстрое внедрение плазменных технологий на основе тлеющего и коронного разрядов в производительный процесс, является низкая устойчивость этих разрядов, которая состоит в переходе их в дуговую или искровую форму, что приводит к ухудшению качественных характеристик плазменного оборудования и технологий. Вопросам повышения устойчивости газовых разрядов посвящено множество публикаций применительно к использованию тлеющего и коронного разрядов в газовых лазерах и ионных приборах. Однако, возмущающие факторы в газовых лазерах и ионных приборах, которые приводят к неустойчивости тлеющего и коронного разрядов, не адекватны возмущающим факторам в технологической среде, связанной с обработкой изделий. Объясняется это тем, что газовые лазеры и ионные приборы являются устройствами с компактной и неизменяемой в процессе эксплуатации конструкцией электродной системы. Электродная система плазменного технологического оборудования имеет сложную конфигурацию и является распределенной в пространстве, так как в качестве конструктивных элементов в состав электродной системы включают обрабатываемые детали, рабочую камеру и сложную внутрикамерную технологическую оснастку. В связи с отмеченными особенностями электродных систем плазменного технологического оборудования возникла необходимость в исследовании вопросов устойчивости тлеющего и коронного разрядов и разработке на основе результатов исследований методик проектирования распределенных электродных систем для плазменного оборудования.

Цель работы — улучшение качественных показателей разрабатываемых технологий и оборудования электроплазменной обработки за счет повышения устойчивости газовых разрядов, возбуждаемых в распределенной электродной системе.

Для достижения поставленной цели требовалось решить следующие задачи:

1. Исследовать влияние технологических факторов на устойчивость тлеющего разряда.

2. Исследовать влияние технологических факторов на устойчивость коронного разряда.

3.Разработать методики проектирования распределенных электродных систем для возбуждения тлеющего и коронного разрядов.

4. Разработать промышленное оборудование и технологии на основе распределенных электродных систем для плазменной обработки изделий.

Научная новизна работы.

1.Установлены наиболее значимые технологические факторы, определяющие устойчивость тлеющего и коронного разрядов, к которым отнесены: тепловые условия на поверхности электродов, геометрические конфигурации распределенной электродной системы, состояние поверхностей электродов и характеристики импульсной модуляции тока разряда.

2.Разработаны математические модели процессов в коронном разряде, устанавливающие связь между параметрами катодного пятна отдельной иглы электродной системы и условиями устойчивости разряда с учетом скорости продува газа через электродную систему.

3.Установлены технологически допустимая длительность импульса дугового разряда не более 103с и допустимое количество органических загрязнений на поверхности электродов не более 105 г/см2, которые не оказывают влияние на устойчивость тлеющего разряда.

4. Предложена математическая модель вынужденного движения газового потока в процессе озонирования пористых тел, которая позволяет отслеживать динамику изменения концентрации озона в объеме обрабатываемого материала.

Практическая ценность работы состоит в разработке и внедрении промышленного оборудования и технологий для плазменной обработки.

Апробация работы. Основные результаты диссертации докладывались на: Международных научно-технических конференциях «Актуальные проблемы анализа и обеспечения надежности и качества приборов, устройств, систем» (г.Пенза, 1996, 1997, 1998, 1999 г.г.) и на ежегодных научно-технических конференциях СГТУ в 1995-2000 г.г.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 8 работ.

В соответствии с изложенным на защиту выносятся следующие научные положения и результаты:

1) Предложенные приближенные математические модели тепловых процессов на основе уравнения теплопроводности для полуограниченного тела, на поверхности которого действует случайный точечный источник нагрева, позволяющие адекватно определять основные параметры распределенной электродной системы для плазменных технологических процессов, обеспечивая устойчивость тлеющего и коронного разрядов;

2) Полученные на основе экспериментальных исследований статистические данные влияния состояния поверхности, формы и геометрических размеров электродов на процессы перехода тлеющего и коронного разрядов в дуговую и искровую форму, позволяющие оптимизировать конструкции распределенных электродных систем, обеспечивая устойчивость горения тлеющего и коронного газовых разрядов;

3) Разработанные методики проектирования распределенных электродных систем, позволяющие оптимизировать конструкцию оборудования для плазменной обработки;

4) Результаты разработки и внедрения технологических процессов и оборудования для очистки и нагрева деталей в тлеющем разряде и озонирования на основе коронного разряда, обеспечивающие повышение эффективности в производстве электронных приборов и в сельском хозяйстве.

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 4.

На основании проведенных исследований разработано и внедрено:

1. Промышленное оборудование и технология для очистки и нагрева деталей в тлеющем разряде, которые на операции чернения стальных деталей рамо-масочного узла цветного кинескопа позволяют снизить брак на 1,5-2%.

2. Промышленное оборудование и технология озонирования на основе коронного разряда, которые на операциях санитарной обработки посевного зерна позволяют повысить урожайность зерновых культур на 5-10%.

Рис. Схема озонатора с распределенной электродной системой линейного типа.

Пр1ч е\

4/2 / а

С с >

ОЛ

О / 2 3 4 б

Рис.4.<?3. Зависимости проиь8одительнасти озонатора от скорости воздуха 6 разрядной камере ;/-/=• 4-мА > 2 - I = 8 мА .

Пг/ч з,г гл о?

С с 1 > с с < к 5

О О л 0,2 /,2 /6 18 г л

Рис. Зависимость производительности озона тара от частоть/ то^а коронного разряда :

- I = мА ; 3-1 = 6 мА .

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. На основе анализа физических явлений в объеме газовых разрядов и технологических условий на поверхности электродов и в газовой среде научно обоснована и практически решена задача совершенствования разрабатываемых технологий и оборудования электроплазменной обработки за счет повышения уровня устойчивости газовых разрядов, возбуждаемых в распределенных электродных системах.

2. На основе анализа технологических условий на поверхности электродов и в газовой среде определены наиболее значимые факторы, определяющие устойчивость тлеющего и коронного разрядов, к которым отнесены: тепловые условия на поверхности электродов, геометрические размеры распределенной электродной системы, характеристики импульсной модуляции тока разряда.

3. Выполнен тепловой расчет условий на поверхности электродов при случайном переходе тлеющего разряда в дуговой и исследовано влияние на устойчивость геометрических размеров распределенной электродной системы и количество загрязнений на поверхности электродов, на основании которых установлено: наличие на поверхности электродов органических загрязнений в количестве более 105 г/см2 приводит к снижению устойчивости тлеющего разряда; технологически допустимая длительность импульса дугового разряда — 103 с.

4. На основе баланса тепловой энергии в объеме газа, продуваемого через коронный разряд, и экспериментальных исследований получены расчетные формулы для определения электрических и геометрических параметров распределенной электродной системы типа плоскость-игла; установлена величина диаметра катодного пятна отдельной иглы, которая находится в пределах 14,1^-15,6 мм;

1 хи показано, что для повышения устойчивости разряда катодные пятна отдельных игл не должны пересекаться между собой.

5. На основании проведенных исследований разработано и внедрено:

- промышленное оборудование и технология для очистки и нагрева деталей в тлеющем разряде, которые позволяют улучшить качество обработки деталей рамо-масочного узла цветного кинескопа на операции чернения;

- промышленное оборудование и технология озонирования на основе коронного разряда для санитарной обработки посевного зерна, которые позволяют повысить урожайность пшеницы и овса.

1.Адлер Ю.П. и др. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. М.: Наука, 1976

2. Айзенштейн А.Г., Блинов В.И., Буланов О.Г. и др. Импульсный источник питания для печей ионного азотирования // В кн.: Разработка и промышленное применение полупроводниковых преобразователей частоты в машиностроении. Уфа, 1977.- С.10-12

3. Александрова А.Т. Оборудование электровакуумного производства. М.: Энергия, 1974.- 383 с.

4. Алиев Т.А. Экспериментальный анализ. М.: Машиностроение, 1991.- 272 с.

5. Анализ состояния производства озонаторного оборудования // Информационный центр «Озон», выпуск № 4, М.: 1997.-27с.

6. Антошин Е.В. Газотермическое напыление покрытий М.: Машиностроение, 1974,- 95 с.

7. Андреева В.В. Измерение толщины тонких пленок на металлах оптическим поляризационным методом // Труды института физической химии АН СССР, вып. 6, 1957

8. Аппен A.A. О теоретических критериях адгезии покрытий к металлам // В кн.: Неорганические и органические покрытия. Л.: Машиностроение, 1975.-С.3-11

9. Э.Арзамасов А.Б. Ионное азотирование деталей из аустенитных сталей // Металловедение и термическая обработка металлов, №1, 1991. С.9-10

10. Ю.Арсеньев A.A. Кинетические уравнения. // М.: Знание, 1985.-46 с.

11. Артамонов А.Г., Володин В.М., Авдеев В.Г. Математическое моделирование и оптимизация плазмохимических процессов. // М.: Химия, 1989.- 224 с.

12. А.С. 525257 (СССР) Устройство для стабилизации сильноточного тлеющего разряда // Опубл. 1976, Б.И. №30

13. А.С. 629651 (СССР) Электропечь для ионного нагрева деталей // Опубл 1978, Б.И. №39

14. А.С. 719710 (СССР) Способ катодной обработки деталей устойчивым дуговым разрядом // Опубл. 1980, Б.И. №91. У2

15. А.С. 1072297 (СССР) Устройство для контроля сильноточного тлеющего разряда // Опубл. 1984, Б.И. №5

16. А.С. 1096765 (СССР) Источник питания установки тлеющего разряда//Опубл. 1984, Б.И. №21

17. А.С. 947029 (СССР) Электргазодинамическое устройство для получения озона // Опубл. 1982, Б.И. № 28

18. А.С. 1283498 (СССР) Устройство для озонирования воздуха // Опубл. 1987, Б.И. № 2

19. А.С. 116004 (СССР) Озонатор//Опубл. 1985, Б.И. № 21

20. Бабад-Захряпин A.A., Кузнецов Г.Д. Химико-термическая обработка в тлеющем разряде. // М.: Атомиздат, 1975.- 175 с.

21. Болога М.К., Литинский Г.А. и др. Исследование влияния газового разряда на жизнедеятельность микроорганизмов // Электронная обработка материалов, 1982, № 2

22. Болотов A.B., Шепель Г.А. Электротехнологические установки. М.: Высшая школа, 1988.-480с.

23. Булат В.Е., Эстерлис М.Х. Очистка металлических изделий от окалины, окисной пленки и загрязнений электродуговым разрядом в вакууме. // ФИХОМ, 1987, №3.- С. 49-53

24. Булат В.Е., Кейтлин Л.Г., Кельберт С.Л. и др. К исследованию воздействия плазмы дугового разряда в вакууме на поверхность стальных деталей. // Докл. АН УзССР, 1991, №7.- С. 31-34

25. Вакуумная техника: Справочник / Е.С.Фролов, В.Е.Минайчев, А.Т.Александрова и др. // М.: Машиностроение, 1985.- 360 с.

26. Ветцель Е.С., Овчаров Л.А. Теория вероятности и ее инженерные приложения. М.: Наука, 1988.-480с.

27. Верещагин И.П., Жуков И.П. Электрический ветер в системе электродов игла-плоскость. Изв. Академии Наук СССР // Энергетика и транспорт, 1980, № 2.-С.108-116

28. Влияние плазмообразующей среды на окисление покрытий / Першин В.А. // Газотермическое напыление в промышленности (ГНТП-91); Докл. и рекл. сообщен., предст. на междунар. сессии "Газотерм, напылен, в пром-ти СССР и за рубежом", Л.: 27-29 мая 1991.- С. 40

29. Вопросы применения и получения озона // Информационный центр «Озон», выпуск № 7, М.: 1997.-45с.

30. Гусев В.В., Киреев В.Ю. Плазмохимические реакторы для удаления поверхностных слоев материалов. // ФИХОМ, 1980, №1.-С. 72-29

31. Данилин B.C., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. // М.: Энергоатом-издат, 1987.- 264 с.

32. Данилин B.C., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. // М.: Радио и связь, 1982.- 72 с.

33. Дмитриев А.К, Мальцев П.А. Основы теории построения и конструирования сложных систем. //Л.: Энергоиздат, 1988.- 192 с.

34. Донской A.B., Клубникин B.C. Электроплазменные процессы и установки в машиностроении. // Л.: Машиностроение, 1979.-221 с.

35. Зб.Дороднов A.M., Петросов В.А. О физических принципах и типах вакуумных технологических плазменных устройств. // ЖТФ, 1981, т.51, №3.- С. 504-524

36. Донец A.M., Львович Я.Е, Фролов В.Н. Автоматизированный анализ и оптимизация конструкций и технологии РЭА. // М.: Радио и связь, 1983

37. Дульнев Г.Н., Парфенов В.Г., Сигалов A.B. Применение ЭВМ для решения задач теплообмена // М.: Высшая школа, 1990.-207с.38.3едгенидзе И.Г. Планирование эксперимента для исследования многокомпонентных систем. // М.: Наука, 1976.- 390 с.

38. ЗЭ.Змиевской Ю.Н., Зоткин Н.Ф., Таран В.М. Оборудование для плазменных покрытий. // Электронная промышленность, 1983, вып. 5(122).-С. 54-56

39. Зыков В.А. Вольтамперная зависимость коронного разряда острие-диск в воздухе // Теплофизика высоких температур, 1972, Т.10, № 2.-С.248-254

40. Иванов Е.М., Углов A.A. Теплофизические процессы при плазменном напылении тугоплавких металлов. // ФИХОМ, 1985, №2.-С. 61-64

41. Иванов A.A., Соболева Т.К. Неравновесная плазмохимия. // М.: Атомиздат, 1978.- 264 с.

42. Измерения в промышленности. Кн.1 Теоретические основы. Пер. с нем. / Под. ред. Профоса П. // М.: Металлургия, 1990.- 264 с.

43. Капцов H.A. Коронный разряд и его применение в электрофильтрах // ОГИЗ. Государственное издательство технико-теоретической литературы. М.: 1947

44. Коробцов C.B., Медведев Д.Д., Ширяевский В.М. Генерация озона в импульсном коронном разряде // Информационный центр «Озон», выпуск № 7, Вопросы применения и получения озона. М.: 1997.-С.35-45

45. Котельников Д.И. Сварка давлением в тлеющем разряде. // М.: Металлургия, 1981.- 116 с.

46. Кривопишин И.П. Озон в промышленном птицеводстве // М.: Рос-агропромиздат, 1988.-175с.

47. Кривопишин И.П. Применение озона в сельском хозяйстве // Информационный центр «Озон», выпуск №12, Применение озона в пищевой промышленности. Комбинированные методы использования озона. М.: 1999.-С.24-34

48. Ксенз Н.В., Рудик О.В. Исследование процесса генерирования озона при коронном разряде // Механизация и электрификация производственных процессов в животноводстве: Сб.научн.тр. ВНИИПТИМЭСХ.-Зеленоград, 1989.-С.115-119

49. Кудинов В.В., Пекшев П.Ю., Белащенко В.Е. и др. Нанесение покрытий плазмой. // М.: Наука, 1990.- 408 с.

50. Лабунов В.А., Данилович H.A., Громов В.В. Многопучковые ионные источники для систем ионного травления распыления. // Зарубежная электронная техника, 1982, вып. 5.- С. 82-120

51. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д. Азотирование стали. // М.: Машиностроение, 1976.- 256 с.

52. Лисовский С.М., Таран В.М. Разработка оптимального алгоритма управления нагревом стальных деталей в тлеющем разряде. // Проектирование и техническая диагностика автоматизированных комплексов: Сб. тр.- Саратов: Издат. СГТУ, 1995.-С. 45-51

53. Лисовский С.М., Таран В.М. Математическое моделирование процесса озонирования пористых тел // Автоматизация и управление в машино- и приборостроении: Сб.тр.-Саратов: Из-во Са-рат.ун-та, 2000.-С.83-86

54. Лясников В.Н., Украинский B.C., Богатырев Г.Ф. Плазменное напыление покрытий в производстве изделий электронной техники.-Из-во СГТУ, 1985.- 200 с.

55. Лясников В.Н., Таран В.М., Лаврова В.Н. и др. Плазменное напыление титана на сетки мощных генераторных ламп. // Электронная техника. Серия 4, вып. 1, 1980.- С. 98-104

56. Лунин В.В., Попович М.П., Ткаченко С.Н. Физическая химия озо-на.-Из-во МГУ, 1998.-480с.

57. Львович Я.Е, Фролов В.Н. Теоретические основы конструирования, технологии и надежности РЭА. // М.: Радио и связь, 1986

58. Максимов А.И., Мухина Г.И., Никифоров А.Л. и др. Очистка поверхности металлов в плазме тлеющего разряда. // Электрон, об-раб. материалов, 1985, №2.- С. 37-39

59. Митин Б.С., Таран В.М., Бобров Г.В. Плазменное напыление покрытий//Авиационная промышленность.-1988, №4.-С. 51-54

60. Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме / Под ред. Л.С. Полака // М.: Наука, 1974.- 270 с.

61. Мураков А.П. Универсальные озонные технологии очистки сточных вод химпроизводства // Иваново ИЭБ «Редокс-системы», 1999

62. Недоспасов A.B., Хант В.Д. Колебания и неустойчивости низкотемпературной плазмы // М.: Наука, 1979

63. Недоспасов A.B., Хант В.Д. Основы физики процессов в устройствах с низкотемпературной плазмой // М.: Энергоатомиздат, 1991.-224с.

64. Норенков И.П. Введение в автоматизированное проектирование технических устройств и систем. // М.: Высшая школа, 1980

65. Обзоры по электронной технике: оборудование и технология плазменной обработки деталей ИЭТ. / Таран В.М., Змиевской Ю.Н. // М.: 1985, вып.17, сер. 7,- 58 с.

66. Обзоры по электронной технике: оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники. / В.М. Таран, В.И. Орлов // М.: 1987, вып. 16, сер. 7 50 с.

67. Орлов В.А. Озонирование воды // М.: Стройиздат, 1984.-89с.71.0улет Р., Барбье М. И др. Технология применения низкотемпературной плазмы. Пер. с англ. // М.: Энергоиздат, 1983.-144с.

68. Пат. 3211886 (США). Дуговое устройство для очистки // Опубл. Б.И., 1980, №28

69. Пат. 3352997 (США). Способ очистки загрязненных поверхностей металлов // Изобретения за рубежом.-1974, №1.- С. 15

70. Пат. 948554 (США). Способ и устройство для очистки // Опубл. Бюл. №15 27.05.86.

71. Плазменная технология в производстве СБИС: Пер. с англ. / Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна // М.: Мир, 1987.- 469 с.

72. Плазмохимические реакции и процессы / Под ред. A.C. Полака // М.: Наука, 1977.-313 с.

73. Полак Л.С., Гольденберг М.Я., Левицкий A.A. Вычислительные методы в химической кинетике. // М.: Наука, 1984.- 280 с.

74. Применение методов плазменного термоупрочнения в машиностроении / В.Д. Пархоменко, М.В. Крыжановский, П.И. Цибулев и др. // Плазмохимия-88. М.: 1988 С. 73-89

75. Применение озона в пищевой промышленности. Комбинированные методы использования озона // Информационный центр «Озон», выпуск №12, М.: 1999

76. Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов // М.: Наука, 1980.- 415 с.81 .Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Пер. с англ. // М.: Мир, 1984.- 335 с.

77. Резников А.И., Резников Л.А. Тепловые процессы в технологических системах // М.: Машиностроение, 1990.- 288 с.

78. Роберте М., Макки Ч. Химия поверхности раздела металл газ. Пер. с англ. // М.: Мир, 1981 - 539 с.

79. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. // М.: Высшая школа, 1990.320 с.

80. Рыкалин H.H., Углов A.A., Кокора А.Н. Лазерная обработка материалов. // М.: «Машиностроение», 1975.- 296 с.

81. Самойлович В.Г., Гибалов В.И., Козлов К.В. Физическая химия барьерного разряда // М.: МГУ, 1989

82. Системы плазменной очистки и подготовки поверхности // Solid State. Technology, 1989, 32, №4.- с. 98

83. Солонин И.С. Математическая статистика в технологии машиностроения // М.: Машиностроение, 1972.-216с.

84. Сурис А.Л. Плазмохимические процессы и аппараты. // М.: Химия, 1989,- 304 с.

85. Таран В.М., Лисовский С.М. Оптимизация технологии плазменного оксидирования стальных деталей // Прогрессивные направления развития технологии машиностроения : Сб. тр. Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 1996.- С. 129-132

86. Таран В.М., Митин B.C., Бобров Г.В. и др. Плазменное напыление покрытий с совмещенной активацией поверхности газовыми разрядами // Теория и практика газотермического нанесения покрытий: Тез. докл. X Всесоюзн. совещания.- 1985.- С. 118-121

87. Термическая обработка в машиностроении: Справочник / Под ред. Ю.М. Лахтина, А.Г. Рахштадта. // М.: Машиностроение, 1980.783 с.

88. Тесленко B.B. Ионная имплантация из плазмы // ФИХОМ, 1991, №2,- С. 91-96

89. Технология тонких пленок (справочник). Пер. с англ. Т.1 и 2 // М.: "Сов. радио", 1977

90. Фролов В.Н., Львович Я.Э. Системное проектирование технологических процессов // Воронеж: Из-во ВГУ, 1982

91. Хенней Н. Химия твердого тела. // М.: Мир, 1971

92. Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. Пер. с англ. // М.-Л., Госэнергоиздат, 1962.- 608 с.

93. Цветков Э.И. Основы теории статистических измерений. // Л.: Энергоатомиздат, 1986.- 254 с.

94. Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. // М.: Советское радио, 1973.- 384 с.

95. Шоршоров М.Х., Харламов Ю.А. Физико-химические основы детонационно-газового напыления покрытий. // М.: Наука, 1978.224 с.

96. Anlagen zum Plasmanitriren und Plasmacarburieren / Griin R. // Electrowarme Int., 1987, 45, No 3-4.- С. 178-182

97. Effect of contamination on ark initiation on a metal surface exposed to plasma / Kudo Kouichi // Jap. J. Appl. Phys.- 1985, 24, No 10 C. 1341-1346

98. Plasma arc coating combat component wear // Weld. And Metal Fabr., 1983, 51, No 5.-C. 219-220

99. Plasma CVD coats steel-cutting tools // Adv. Mater. And Process., 1990, 138, No 1

100. Plasma spraying has been established. / Reh. H. // Powder met. Int., 1990, 22, No 6.-C. 35-36

101. Plasma processing equipment for minimum damage and chamber contamination / Goto Haruhiro, Sasaki Macoto, Ohme Tadahiro // Solid. State. Technol., 1991, 34, No 2.- C. 513-516

102. Transient heating and melting of particles in plasma spray coating process / Jog M. A. Huang L. // Trans. ASME J. Heat Transfer.- 1996, 118, No 2,- C. 471-477.

103. Программа анализа тепловых процессовна электродам

104. Программа работает в интегрированнойсреде Mathematica 2.2.

105. Обозначения параметров, используемых в расчетах:1.m bd а- т е п но п роводноет ь. м атери ала, Вт/( м й град.):

106. Т-температура и рассматриваемой точке;1.mbda=53.6; Ro®7830: cp=46S: a~14,7*1 СГ-3: Q1 = 1 SO;03=в00:

107. T:®(2*Q*SqrtEcp*Ro./({4*3,14*Larnbija*t)"(3/2))}*E.KpC-r'2*cp*Ro/C4*Lambcfa* m 1 .Расчет характеристик, процесса распространениятеплотыдля Q=iSO Дж,

108. ПРОГРАММА РАСЧЕТА НЕСТАЦИОНАРНОГО ДВУХМЕРНОГО ТЕМПЕРАТУРНОГО ПОЛЯ

109. ПЛАСТИНЫ ОЗОНАТОРА ПО ЛОКАЛЬНО-ОДНОМЕРНОЙ СХЕМЕработает в интегрированной среде МшНегпаЛюа 2.2)1. ВВОД ИСХОДНЫХ ДАННЫХ

110. OX.DY РАЗМЕРЫ ПЛАСТИНЫ (м); AL.CB - ТЕПЛОПРОВОДНОСТЬ, ОБ'ЕМНАЯ ТЕПЛОЕМКОСТЬ:

111. ПОВЕРХНОСТНЫХ ИСТОЧНИКОВ НА ГРАНЯХвт/м):

112. ТО •< НАЧАЛЬНАЯ ТЕМПЕРАТУРА: NX.NY ЧИСЛО ТОЧЕК ПО ОСЯМ: TAU - ШАГ ПО ВРЕМЕНИ (сек): ТРМАХ - ИНТЕРВАЛ ВРЕМЕНИ ДЛЯ ВЫВОДА РЕЗУЛЬТАТОВ РАСЧЕТА:1. DX«O.283;DY»O.O30;1. AL=74:1. CR«Q,44*7880: QV=0;

113. ALF^OД2ИЭ,42 J .41A4©}; С* КОЭФФИЦИЕНТЫ ТЕПЛООТДАЧИ*) Q&—{0,0,73,0}: {«ПЛОТНОСТИ ТЕПЛОВОГО ПОТОКА*) ТО» 17;1. NX=27:NY=4;1. TAU^O.OI:1. Tf»MAX=1O0O*TAU;

114. Определение массивов коэффициентов A.B.C.D для прогонок *)

115. ВХ=ТаЫеП, 140*1 ;Са=ТаЫеП .{40H;A=Tabieí 1 ,{40И: В ¥= ГаЫеП ,{40>|: SZ^Tafolaíl ,{4QI3;D«>*l>bte£: .£40}. " ТлЬтП Д40}];Ш«ТаЫе£1 .{40}]'» С* ПОДПРОГРАММА PTifr* м« £:исгГГ-ММ УРАВНЕНИЙ МЕТОДОМ ПРОГОНКИ*)

116. SYSTRDÍB М& J:=8lochr|MT.S АЬог1. Т«В1.;1. ШН1|1=-АИ1.1/Т:к=1-1; Т«СаВП;ь1. Т=Са||Ма.|:

117. WCN«ll^N[-<T*<ЗCCM|l+DaC[Na.!)/<BC[Nal]+T*WЙMJJ)l; Рог1к=1.к<=М,к++.аИа-к;• 11. ЗАПОЛН1. Ль

118. РЕХМЕРНЫИ МАССИВ У КОНСТАНТОЙ ТО

119. РАСЧЕТ ТЕМПЕРАТУРЫ НАГРЕТОЙ ЗОНЫ ОЗОНАТОРА,КОРПУСА И ВОЗДУХА.

120. РАСЧЕТ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

121. Определение исходных данных для расчета:

122. Площадь твплоотдающих поверхностей1. Бс1=2*п*ГГ! +2*11*12:

123. ГДлина траектории частицы воздуха вдоль поверхности пласта 11т=П :3.14!,0.004~2*0.15"2: ("объем изолирующих стоек") (^Коэффициент заполнения корпуса*)

124. Площадь поперечного еем^ния порожнего корпуса") Рар=(8"2^е!1аК)к(Н'-2кс5е!1а.К)".средняя площадь поперечного сачекия корпуса свободного д прохода воздуха") Рзг=Рар(1 -Кгар);

125. Площадь излучающей поверхности*) Siz=2*n*i*h:Síz~0;

126. РПлощадь поверхности корпуса") Sk=2*(H*(B+L)+B4L):5АСЧЕТ ФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

127. ГФизичеекие параметры воздуха*) Ro«1.205: (*кГ7мЛ3 *)1.robda=2,8* 10Л-2; (* ет/(мТрзд) *) nju=15.06*1 СГ-S; (жмА2/сек ")

128. Коэффициент конвективного теплообмена нагретой зоны*) alfa^CO.S*Lambda/Ltr)*Sqrt(Gr*Ltr/( Ro*nju*Fsr)j: (*вт/(м"2*град) *) ("Тепловая проводимость") sigma~a!fax'Sd: {*'вт/град*)1. Тепловые коэффициенты"}

129. Fz~(1/sigrna)+(S*1CT-4/Gr)(1 +9*SkA2/(3d*(S*Sk+6KSiz)+sigma*Sk))

130. Aks™l/(1 *9"Sk/(8*Siz+sigma*Sk/Sd));

131. Fks-5*1<T-4KAks/Gr: (йград/вт*)

132. Перегревы среды, корпуса, воздуха") tetaz=Fz*P: (*град*)tetak=Fks*P; (*град:<)tetav=(P-9*5k"4te,l&k)/(2*10л3*0г); (Трад*)

133. Температура нагретой зоны41) tzon—tetaz+tc;

134. Температура корпуса*) tkoip=tetak+tc:

135. Температура выводящего шоФДуха.*) tout=2*tetav+tc:

136. Printr,Grs^Grl;Prmtí,,Sd~^Sd1:Prjnt;,Kzap~^Kzap.:Pr!nt(,,Fsr^í^Fsrl:

137. Mi != 1 » «Dik h r i s= „с , U- =s-opaei;|3jj=i:

138. Р£.сцс -• • • t^m' r;~vn1"^ ^-i-x "'v s,-;««' • * гурт§А)-r ,c „- ; С -- 4 'r L-^ Ь : f ."J*ч, - n ni*. -i *»Д ' t-ktA 71-.= ,, "г I.- —(\v Z— J ir » и <- . " с г ! ii"-«- ь

139. W. -I -Ï ' . -T- -r-' —li ~ * г r*^ '-M „„ ~ „ " Ï 1 î

140. Or (Ci 1 «Г),Îd2<r>><ef3<r),{d4^r),(d5sr),<cia<r).{d7-;r>.{dS<r)3. iîiâq=FâSse.3;

141. Prin!ro!3urn=".dlsum| : I=2S8di»{ -0,0069209.0.750257, 1.7312S ,1.776Я2. 1 £3604.0,705,1,02075,1. УТВЕРЖДАЮ"

142. Ген€ эектер АО СНИИМ : Шилкин В.А.1. ТС2000 г.

143. Разработанные технологии и оборудование позволяют улучшить качество выпускаемой продукции, а также повысить урожайность зерновых культур.

144. Настоящим актом подтверждается, что в процессе выполнения перечисленных работ одним из ведущих разработчиков являлся Лисовский Сергей Михайлович, работавший в указанный период генеральным директором АО СНИИМ.

145. Директор «ЗАО СНИИМ-Научный центр»1. Каплин А.М.

146. Начальник научно-технического отдела «ЗАО СНИИМ-Научный центр»1. Евцихевич В.А.

147. Главный технолог ООО «СНИИМ-Озон»1. Федукина Р.И.

148. Ведущий инженер «ЗАО СНИИМ-Научный центр»1. Игонин М.Е.1. Ведущий конструктор1. ЗАО СНИИМ-Научный центр»1. Капустяк И.В.

149. Инженер конструктор I категории1. ЗАО СНИИМ-Научный центр1. Гусева Г.С.О

150. В nrOFJ1?^ *äv í' ч WS ÙbV'i BU ДОЖНВДВИвтКДО)га'.о- > еочч. -f - г s. . J \ С1 И v/1 V „ I «i . » . . •«. . V," '-¡1 , ! ' ^ « \ ' «.У К* ' ' »t • Ч»*><" /"«"»•"Vf V , i » < ^ Jf « « » V 'l 1 1 • • 1 ' л. - lJ

151. НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ СЕЛЬСКОГО ХОЗЯЙСТВА 1 ЮГО-ВОСТОКА

152. Адрес: 410020, Россия, г. Саратов, ул. Тулайкова, 7 Тел.: (8452) 64-77-14; факс: (8452) 64-76-88 e-mail: ariser@mail.saratov.ru1. На№от1. СПРАВКА

153. Настоящая справка дана 000м СНИИМ-озон" на основании результатов проведенного опыта по обработки семян озоном.

154. НАУЧ НО-ИСС ЛЕДОВ АТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ СЕЛЬСКОГО ХОЗЯЙСТВА , ЮГО-ВОСТОКА

155. Адрес: 4 10020, Россия, г. Саратов, ул. Тулаикова, 7 Тел.: (8452) 64-77-М: факс: (8452) 64-76-88е-таП: ашегифшн!.snratov.ru11а №о т1. СПРАВКА

156. Настоящая справка дана ООО "(ЖИМ- озон" на основании результатов проведенного опыта по обработки семян озоном«

157. А0И„Прянишников А,А,Дорогобед1. ЬСи1. Замдиректора

158. Ю-В по селекцентру ^^^аседущий лабораторииш.а 7;* \ткультур Ш сотрудник1. Г?