автореферат диссертации по электротехнике, 05.09.10, диссертация на тему:Повышение качества порошковых покрытий в производстве электровакуумных приборов за счет совершенствования технологической схемы электроплазменного напыления и автоматизации оборудования

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1. Анализ процессов, влияющих на качество электроплазменных порошковых покрытий.

1.1 .Особенности напыления электроплазменных покрытий на детали электровакуумных приборов.

1.2. Влияние пространственных факторов технологии электроплазменного напыления на качество покрытия.

1.3. Сцепление частиц порошка с поверхностью подложки.

1.4. Методы активации напыляемой поверхности.

1.5. Автоматизированное оборудование для плазменного напыления порошковых покрытий.

1.6. Постановка задачи.

Глава 2. Исследование влияния технологических факторов на качественные показатели электроплазменных порошковых покрытий.

2.1. Анализ процесса формирования электроплазменного покрытия при случайном перемещении пятна напыления.

2.2. Выбор технологической структуры электроплазменного напыления, обеспечивающей повышение качества покрытия.

2.3. Анализ процесса термической активации подложки дополнительным дуговым разрядом.

2.4. Экспериментальная установка и методика исследований.

2.4.1. Исследование адгезии покрытий.

2.4.2. Исследование пористости плазменных покрытий.

2.5. Результаты экспериментов, обсуждение.

Глава 3. Разработка технологии электроплазменного напыления порошковых покрытий на детали электровакуумных проборов.

3.1.Исследование кинематических закономерностей формирования равномерных по толщине покрытий.

3.2.Разработка кинематической схемы напыления покрытий на сетки генераторных ламп. 134.

3.3. Разработка технологии электроплазменного напыления покрытий на детали электровакуумных приборов.

3.4. Исследование газовыделения плазменных покрытий.

3.5. Исследование плазменных покрытий с помощью рентгеновской дифрактометрии.

Глава 4. Разработка автоматизированного оборудования для электроплазменного напыления порошковых покрытий на детали электровакуумных приборов.

4.1. Структура и состав системы управления установкой для электроплазменного напыления порошковых покрытий.

4.2. Исследование статистических и динамических характеристик локальных САР.

4.3. Алгоритм управления установкой для электроплазменного напыления покрытий.

В производстве электровакуумных приборов электроплазменный метод используется для нанесения эмиссионных, электроизоляционных, антиэмиссионных и других покрытий, которые выполняют сложные функции в вакууме. Электроплазменное нанесение покрытий имеет ряд преимуществ по сравнению с традиционными методами, такими как электрофорез, катафорез, пульверизация, намазка, окунание. Для этих методов характерны высокая трудоемкость и плохие санитарно-гигиенические условия труда. Они с большим трудом поддаются механизации и автоматизации.

При электроплазменном напылении отпадает необходимость в использовании химических реактивов и отжига покрытий в специальных вакуумных или водородных печах. Разным аспектам решения задач исследования и разработки электроплазменных методов напыления покрытий посвящены работы Н.Н. Рыкалина, В.Н. Лясникова, В.В. Кудинова, А.А. Кур-дюмова, Ю.А. Харламова и других отечественных и зарубежных ученых.

Однако такие покрытия в ряде случаев не удовлетворяют требованиям, предъявляемым к деталям электровакуумных приборов в части их показателей таких как адгезия, равномерность , пористость, газовыделение и др. Обусловлено это тем, что при изготовлении электровакуумных приборов покрытия наносятся, в основном , не на отдельные детали , а на узлы, выполненные из материалов малой толщины, имеющих сложную конфигурацию и низкую механическую прочность. При напылении покрытий на изделия электровакуумных приборов необходимо исключить изменение химического состава и структуры материалов, а также насыщение их газами. Покрытия должны легко обезгаживаться при откачке приборов и поэтому важное значение имеет пористость покрытия и структура пор. Желательно, чтобы эти параметры были управляемыми.

При традиционных методах электроплазменного напыления на изделия электровакуумных приборов адгезия и равномерность покрытия бывают невысокими, а пористость неуправляемой. В связи с этим возникает необходимость в совершенствовании технологии и оборудования электроплазменного напыления, направленном на повышение качественных показателей покрытий, что и обуславливает актуальность исследований по данной работе.

Цель и задачи работы

Целью работы является повышение качества порошковых покрытий в производстве электровакуумных приборов за счет совершенствования технологической схемы напыления и автоматизации оборудования, а так же внедрение технологий и оборудования в производство изделий электронной техники. Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи :

1. Исследовать взаимосвязь случайных технологических факторов и показателей качества покрытий, на основании которых установить степень влияния элементов технологической структуры электроплазменного напыления на стабильность технологических параметров и качество;

2. Разработать усовершенствованную технологическую структуру электроплазменного напыления и экспериментальными исследованиями определить степень влияния ввода новых технологических элементов на стабилизацию технологических параметров и повышение качества;

3. Исследовать и разработать алгоритмы управления технологическим процессом электроплазменного напыления, направленные на автоматическую стабилизацию параметров процесса;

4. Разработать технологию и автоматизированное оборудование для электроплазменного напыления покрытий на изделия электровакуумных приборов.

Методы и средства исследования

Методы исследований включали теоретический анализ тепловых условий взаимодействия напыляемой частицы порошка с поверхностью подложки. Экспериментальные исследования проводились на специальной установке для электроплазменного напыления в защитной газовой среде с совмещенной обработкой подложки дополнительным источником энергии. Основные методы экспериментальных исследований следующие. Адгезию измеряли специально модернизированным методом нормального одновременного отрыва с использованием клея и разрывной машины МР-05-1 и 2055Р-0,5 , а также бесклеевым штифтовым методом и методом конической маски. Для определения параметров пористости использовался растровый электронный микроскоп JSM-50A( фирмы JEOL), Stereoscan S-4-10 , микроскоп - микроанализатор "Camebax " фирмы " Cameka" и оптический микроскоп МИМ- 8М. Газовыделение исследовали в специально сконструированном многоцелевом комплексе, объединяющим в себе масс- спектрометрический вариант метода термодесорбции и проницаемости. Состав поверхности покрытий контролировали с помощью ОЖЕ- спектроскопии, рентгенофазо-вые исследования выполнены на установке ДРОН -ЗМ.

Научная новизна работы

1.Предложена математическая модель для оценки зависимости взаимодействия напыляемой частицы порошка с поверхностью подложки от случайного смещения пятна напыления, на основании которой прогнозируется адгезия покрытия.

2.На основе теплового расчета условий на поверхности подложки при взаимодействии дополнительного дугового разряда, возбуждаемого в разряженной среде, установлено, что катодное микропятно дугового разряда активирует 12-27 мкм зоны взаимодействия частица-поверхность подложки.

Активация подложки импульсным дуговым разрядом при избыточным давлении газовой среды активирует полосу напыления шириной до 10 мм, что повышает адгезию покрытия и обеспечивает возможность регулирования средней температуры нагрева обрабатываемого изделия.

3. Обнаружены специфические закономерности газовыделения плаз-монапыленных титановых покрытий.

4. Получены экспериментальные зависимости показателей качества покрытия (адгезия, равномерность, пористость) от технологических факторов (тока плазмотрона, дистанции напыления, тока дополнительного источника питания, частоты импульсов тока и качания плазмотрона), позволяющие выбрать оптимальные режимы электроплазменного напыления порошковых покрытий на детали электровакуумных приборов.

5. Установлены закономерности получения равномерных по толщине покрытий применительно к условиям напыления в производстве изделий электронной техники при напылении на атмосфере, в контролируемой среде и в динамическом вакууме.

6.Теоретически и экспериментально обоснованы схемы и режимы технологических процессов плазменной очистки и активации поверхности подложки, плазменного напыления порошковых покрытий с повышенной равномерностью характеристик.

Практическая ценность работы в:

- разработке усовершенствованной технологической схемы напыления на основе установления взаимосвязи случайных технологических факторов и показателей качества покрытий;

- разработке алгоритмов управления технологическим процессом электроплазменного напыления;

- разработке технологии электроплазменного напыления на детали электровакуумных приборов;

- разработке автоматизированного оборудования для электроплазменного напыления и внедрение его в производство.

Реализация результатов работы

Технологические процессы и оборудование внедрены в производство ГНПП «Контакт», ОАО «Тантал», НПА «Плазма Поволжья». Испытания показали, что уменьшается неравномерность толщины на 15-30%, повышается адгезия на 15-30% и увеличивается вероятность получения заданной пористости на 15-30% при высокой адгезии. Результаты работы вошли в отчеты по ряду НИР и ОКР, выполненных по планам электронной промышленности и по планам Министерства общего и профессионального образования.

На защиту выносятся следующие научные положения и результаты:

1. Разработанные вероятностная и тепловая модели взаимодействия частиц порошка с поверхностью подложки, позволяющие расчетным путем прогнозировать качество электроплазменного порошкового покрытия;

2. Предложенная усовершенствованная технологическая схема электроплазменного нанесения порошковых покрытий в камере с защитной газовой средой, позволяющая повысить качество покрытий;

3. Результаты экспериментальных исследований зависимостей показателей качества от технологических факторов, позволяющие выбрать оптимальные режимы напыления покрытий на детали электроплазменных приборов;

4. Предложенная структура автоматической системы управления установкой электроплазменного напыления и алгоритм управления технологическим процессом, обеспечивающих повышение качества порошковых покрытий;

5. Результаты разработки технологии и автоматизированного оборудования для электроплазменного напыления порошковых покрытий на детали электровакуумных приборов.

Апробация работы

Материалы диссертации докладывались и обсуждались на 27 конференциях и семинарах; в том числе на 10 -м Всесоюзном совещании "Теория и практика газотермического нанесения покрытий" /Дмитров, 1985г/, " Газотермическое напыление в промышленности СССР и за рубежом" (Ленинград, 1991г.), "Вакуумная наука и техника "(Гурзуф, 1994 г.), " Технологические процессы и материалы приборостроения и микроэлектроники"( Москва, 1994г: МГАТУ.М.),"Напыления и покрытия -95" (Санкт-Петербург, 1995 год), Вакуумная наука и техника " (Гурзуф, 1995 год), " Современные электротехнологии в машиностроении", Тула, 1997 г.," Вакуумная наука и техника ", Гурзуф, 1998 г., "Thermal Plasma Processes", S - Peterburg, 1998г, "Пленки и покрытая - 98", 1998г, 1-й,2-й,3-й,4-й,5-й,6-й Международных конференциях «Современные проблемы имплантологии » (Саратов 1993-2002 гг.)

Публикации

Материалы, отражающие основное содержание работы, изложены в 17 публикациях центральной печати, обсуждались на 27 международных научно-технических конференциях и симпозиумах. Результаты работы отражены в отчетах по НИР и ОКР , имеющих номера государственной регистрации , в которых автор является ответственным исполнителем.

Структура и объем диссертации

Диссертация состоит из введения, четырех глав, общих выводов, списка используемой литературы, включающего 118 наименований, 4 приложения и содержит 191 страницу основного текста, включая 16 таблиц и 80 рисунков.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. На основании анализа физических и технологических условий в плазменной струе и на поверхности подложки научно обоснована и практически решена задача повышения качества покрытий, напыленных на детали электровакуумных приборов.

2. Предложена математическая модель для оценки зависимости взаимодействия частицы порошка с подложкой от случайного смещения пятна напыления относительно оси плазмотрона, на основании которой прогнозируется вероятность адгезии покрытия.

3. Выполнен тепловой расчет на поверхности подложки при воздействии дополнительного дугового разряда, возбуждаемого между соплом плазмотрона и обрабатываемого изделия. Показана целесообразность двухэтапной обработки изделий: на первом этапе проводится термическая активация подложки дополнительным дуговым разрядом при давлении защитной газовой среды в камере менее 103 Па; на втором этапе -совмещенный процесс напыления и термической активации при давлении защитной газовой среды более 105 Па.

4. Предложена усовершенствованная технологическая схема электроплазменного напыления порошковых покрытий в камере с защитной газовой средой, в которую включены дополнительный источник питания дугового разряда, механизм качания плазмотрона и автоматизированная система управления параметрами защитной газовой среды. Введенные изменения направлены на повышение качества покрытий на детали электровакуумных приборов.

5. Экпериментальными исследованиями установлено, что применение усовершенстванной технологической схемы и двухэтапного процесса напыления позволяют улучшить качественные показатели покрытий по сравнению с напылением по традиционной схеме, а именно:

4УА

- снизить статистическое рассеивание адгезии, пористости, неравномерности;

- уменьшить неравномерность покрытия на 15-30%;

- повысить адгезию покрытия на 15-30%;

- получить заданную пористость в пределах 15-50% при высокой адгезии.

6. Получены экспериментальные зависимости показателей качества покрытия (адгезии, равномерности, пористости, газовыделения) от технологических факторов, которые позволяют выбрать оптимальные режимы напыления порошковых покрытий на детали электровакуумных приборов.

7. Предложена структура автоматической системы управления установкой электроплазменного напыления покрытий в камере с защитной газовой средой, а также алгоритмы управления технологическим процессом напыления покрытий, реализация которых обеспечила повышение качественных показателей покрытий.

8. Разработаны и внедрены в производство технология и автоматизированное оборудование для электроплазменного нанесения порошковых покрытий на детали электровакуумных приборов, обеспечивающие повышение качества покрытий.

1. Александрова А.Т. Оборудование электровакуумного производства. М.: Энергия, 1974.-383 с.

2. Алиев Т.А. Экспериментальный анализ. М.: Машиностроение, 1991.-272 с.

3. Алиев Т.А., Мусаева И.О. Статистическая идентификация с уравновешиванием погрешностей // Теория и системы управления 1995. - №3,- С.50-55

4. Антошин Е.В. Газотермическое напыление покрытий. М.: Машиностроение, 1974,- 95 с.

5. Анищенко Л.М., Кузнецов С.Е., Яковлев В.А. Влияние параметров обработки диэлектрических подложек в плазме тлеющего разряда на адгезию металлических покрытий // Физика и химия обработки материалов. 1984. -№5. - С. 85-88.

6. Артамонов А.Г., Володин В.М., Авдеев В.Г. Математическое моделирование и оптимизация плазмохимических процессов. М.: Химия, 1989- 224 с.20D

7. Балакирев B.C., Дудников Е.Г., Цирлин A.M. Экспериментальное определение намических характеристик промышленных объектов управления. М.: Энер-я, 1967,- 232 с.

8. Борисов Ю.С., Борисова A.JL Плазменные порошковые покрытия. Киев: гхника, 1986. - 223 с.

9. Булат В.Е., Кейтлин Л.Г., Кельберт С.Л. К исследованию воздействия плазмы нового разряда в вакууме на поверхность стальных деталей // Докл. АН УзССР. >91. №7.-С. 31-34

10. Булат В.Е., Эстерлис М.Х. Очистка металлических изделий от окалины, окис-ш пленки и загрязнений электродуговым разрядом в вакууме // ФИХОМ. 1987. зЗ.-С. 49-53.

11. Вассерман A.M., Кунин Л.Л., Суровой Ю.И. Определение газов в металлах, етод восстановительного плавления в атмосфере газа-носителя. М.: Наука, Л6. - 344 с.

12. Вакуумная техника: Справочник М.: Машиностроение, 1985 - 360 с.

13. Вислоух В.Е,, Глебов Г.Д., Шведов Н.К. Нераспыляемые геттеры для крупно-1баритных ЭВП // Технология и оборудование электронной промышленности:-руды МИЭМ. 1974. Вып. 42, С. 3-9.

14. Вислоух В.Е., Глебов Г.Д., Егоров Ю.Г. Поглощение водорода плазмона-ыленными покрытиями. Электронная техника. Сер. 6. Материалы. 1981. - Вып. (158), С. 14-16.zu>

15. Высокотемпературные неорганические покрытия: Пер. с англ. /Под ред. Дж. /меника. М.: Металлургия, 1968. - 339 с.

16. Гибкие автоматизированные производства. Управление технологичностью ЭА / A.M. Войчинский, Н.И. Диденко, В.П. Лузин и др. // М.: Радио и 1язь, 1987.-272 с.

17. Глебов Г.Д. Поглощение газов активными металлами. М.: Госэнергоиздат, >61.-184 с.

18. К Глебов Г.Д. Создание защитно-геттерных покрытий первой стенки термоядер-)го реактора // Физика и химия обработки материалов,- 1980. -№ 4,- С. 44-47. I. Готлиб Л.И. Плазменное напыление. М.: ЦИНТИхимнефтемаш, 1970. - 72 с.

19. Гусев В.В., Киреев В.Ю. Плазмохимические реакторы для удаления поверхно-иых слоев материалов // ФИХОМ,- 1980. №1,- С. 72-29.

20. Иванов А.А., Соболева Т.К. Неравновесная плазмохимия. М.: Атомиздат, )78-264 с.1. ZUC

21. Измерения в промышленности. Пер. с нем. М.: Металлургия, 1990.-264 с. . Исаева Л.П., Тимофеева И.И., Цидулко А.Г. Межфазные взаимодействия в >рмировании плазменных покрытий //Порошковая металлургия,- 1994.- №5/6. :.54-56.

22. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла: Пер. шгл. М.: Мир, 1967. - 506 с.

23. Козлов Ю. С., Кузнецов О. К., Тельнов А. Ф. Очистка изделий в машино-роении. М.: Машиностроение, 1982. - 264 с.

24. Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и ин-jHepoB. М.: Наука, 1977. - 832с.

25. Костиков В. И., Шестерин Ю. А. Плазменные покрытия. М.: Металлургия, •78.- 159 с.

26. Краснов А. Н., Шаривкер С. Ю., Зильберберг В. Г. Низкотемпературная плаз-1 в металлургии. М.: Металлургия, 1970. - 215 с.

27. Крупин С.В., Евгенов И.Т., Пегов B.C. Синтез нитрида алюминия в потоке азмы // Физика и химия обработки материалов,- 1994,- № 2 .-С. 39-41.

28. Кудинов В. В., Иванов В. М. Нанесение плазмой тугоплавких покрытий. М.: ашиностроение, 1981. - 192 с.

29. Кудинов В. В. Плазменные покрытия. М.: Наука, 1977. -184 с. . Левин Г. Основы вакуумной техники: Пер. с англ. - М.: Энергия, 1969.-272 с.

30. Лисовский С.М., Таран В.М. Разработка оптимального алгоритма управления 1гревом стальных деталей в тлеющем разряде. // Проектирование и техническая тагностика автоматизированных комплексов: Сб. науч. тр. Саратов: СГТУ, )95-С. 45-51.2VJ>

31. Лясников В.Н., Украинский B.C., Богатырев Г.Ф. Плазменное напыление по-ытий в производстве изделий электронной техники- Саратов: СГТУ, 1985 -Ю с.

32. Лясников В.Н., Таран В.М., Лаврова В.Н. Плазменное напыление титана на тки мощных генераторных ламп // Электронная техника. Серия 4.Вып. 1. 198098-104.

33. Лясников В. Н. Оборудование для плазменного напыления: Обзоры по элек-онной технике. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. .: ЦНИИ. Электроника. 1981. Вып. 5 (775). -47 с.

34. Львович Я.Е., Фролов В.Н. Теоретические основы конструирования, техноло-и и надежности РЭА,- М.: Радио и связь, 1986,- 148 с.

35. Максимов Е. Г., Панкратов О. А. Водород в металлах // Успехи физических ук -1975. Т. 116,-Вып. 3,- С. 385-411.

36. Методы эталонной порометрии и возможные области их применения в элек-охимии / Ю. М. Вольфкович, В. С. Багоцкий, В. Е.Сосенкин, Е. И. Школьников Электрохимия. 1980.Т. XYI. Вып. 11.С. 1620-1652.

37. Мороз Л. С., Чечулин Б. Б. Водородная хрупкость металлов. М.: Металлур-я, 1967.-225 с.

38. Оборудование и технология плазменной обработки деталей ИЭТ/ Сост.В.М. фан , Ю.Н. Змиевской. М.:1985.Вып.17.Сер.7,- 58 с.

39. Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной хники. / Сост. В.М. Таран, В.И. Орлов. М.: 1987. Вып. 16. Сер. 7,- 50 с. .Оборудование для напыления металлов // Semicond. Inter - 1985. №11.-С.73-79

40. Основы расчёта плазмотронов линейной схемы: Оперативно-информацион-:ый материал / Под ред. чл.-кор. АН СССР М.Ф. Жукова Новосибирск, 1979. -48 с.

41. Плазменные процессы в металлургии и технологии неорганических материа-юв / Под ред. Б.Е. Патона. М.: Наука, 1973. - 243 с.

42. Плаченов Т.Г., Александров В.А., Белоцерковский Г.М. Определение структу-зы пористых тел методом вдавливания ртути // Методы исследования структуры зысокодисперсных твердых тел. М., 1953. С.59-71.

43. Плаченов Т.Г., Колосенцев С.Д. Порометрия. JL: Химия, 1988. 176 с.

44. Полуавтоматическая установка плазменного напыления порошковых материалов / В.Н. Лясников, B.C. Украинский, Г.Ф. Богатырёв, Н.В. Иванова // Электронная техника. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. 1978.-Вып. 2(87).-С. 29-32

45. Получение покрытий высокотемпературным распылением / Под ред. Л.К. Друхшнина, В.В. Кудинова. М.: Атомиздат, 1973. - 312 с.

46. Порошковая металлургия и напыление покрытия / Под ред. Б.С. Митина. М.: Металлургия, 1987. - 792 с.

47. Применение тлеющего разряда в технологии получения плазменных покрытий / С.Р. Пустотина, Л.К. Глухова, Н.Н. Новиков, Е.П. Тихоненко // Электронная обработка материалов. 1982. № 4.С. 20-30.

48. Пузряков А.Ф.,Левитин С.А., Лазаренко Г.А. Механизация и автоматизация процесса плазменного напыления с помощью манипуляторов // Известия Сибирского отделения АН СССР. Серия технических наук. 1984. №16. Вып. 3. С. 110117.

49. Пузряков А.Ф., Ионов Ю.Г., Моссур Е.П. Пути совершенствования автоматизированных плазменных установок для нанесения покрытий // Автоматическая сварка. 1987. - №4. -С. 56-58.due

50. Пузряков А.Ф. Перспективы автоматизации технологического процесса плаз-енного напыления // Известия Сибирского отделения АН СССР. Серия техниче-ких наук. -1985. №10. - Вып. 2. - С.98-102.

51. Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов М.: 1аука, 1980.-415 с.

52. Резников А.И., Резников JI.A. Тепловые процессы в технологических системах М.: Машиностроение, 1990.-288 с.

53. Розанов JI.H. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1982. - 207 с. >9. Ройх И.Л., Файнштейн А.И. Механизм активации поверхности при обработке j тлеющем разряде // Физика и химия обработки материалов. -1984. - №5,- С. 8254.

54. Роберте М., Макки Ч. Химия поверхности раздела металл-газ: Пер. с англ. -М.: Мир, 1981.-539 с.

55. Роботизированные технологии для плазменно-дугового поверхностного уп-эочнения машиностроительных деталей / Ставров Д., Въев Д., Димитров Ж. и др. Ч Машиностроение. 1990. 39. №10,-С. 447-451.

56. Система плазменной очистки и подготовки поверхности // Solid State. Technology. 1989,- №4,- С.96-98.

57. Сорокин В.А., Тарасенко Ю.П., Патрикеев С.В. Кинетика реакций и изменение состава при нагреве некоторых порошковых материалов и композиций для плазменных теплозащитных покрытий // Порошковая металлургия,- 1994,- № 5,-С. 45-48.

58. Строганов А.И., Гоц А.Б., Дробышевский А.С. Распределение частиц порошка в плазменной струе при напылении / Челябинский политехи, ин- т. Чел-бинск,1984.16 с. Деп. В Сибир. Отд-нии АН СССР. 16.06.84. № 2116.

59. Сурис А.Л. Плазмохимические процессы и аппараты. М.:Химия,1989,- 304 с.

60. Таран В.М. Исследование и разработка процесса плазменного напыления покрытий с совмещенной активацией поверхности газовыми разрядами: Дис. канд. техн наук. М. 1983.-176 с. (МАТИ).

61. Таран В.М., Митин Б.С., Бобров Г.В. Плазменное напыление покрытий с со-мещенной активацией поверхности газовыми разрядами // Теория и практика га-отермического нанесения покрытий: Материалы X Всесоюзн. совещания. М.: 985 - С.118-121

62. Тимофеев В.Н., Калита В.И., Кошлев Д.И. Формирование покрытий с аморф-ой структурой при плазменном напылении // Физика и химия обработки мате-иалов,- 1996.-№ 4,- С.47.

63. Фаст Дж. Д. Взаимодействие металлов с газами: Пер. с англ. / Под ред. [.А. Шварцмана,- М.: Металлургия, 1975. -375 с.

64. Филиппов Г.М. Исследование обменного плазменного механизма возбужде-ия атома при отражении от поверхности металла // Поверхность.-1994,- № 2.1. С. 78.

65. Харламов Ю.А. Основные направления создания основ технологии газотер-ического нанесения покрытий // Сварочное производство. 1986.-№ 1.- С. 10-13.

66. Хасуй А. Техника напыления. М.: Машиностроение, 1975 - 288 с.

67. Хенней И. Химия твердого тела. М.: Мир, 1971,- 135 с.

68. Цапенко М.П. Измерительные информационные системы: структуры и алго-итмы системотехнического проектирования. М.: Энергоатомиздат,1985- 440 с.

69. Цвиккер У. Титан и его сплавы: Пер.с нем. М.: Металлургия, 1979 - 511 с.

70. Черемской П.Г. Методы исследования пористости тердых тел. М.: Энерго-гомиздат, 1985. 112 с.

71. Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. М.: Советское адио, 1973.-384 с.

72. Школьников Е.М. Методы эталонной порометрии и возможности их приме-ения в электрохимии // Электрохимия. 1980. - Т. 16. Вып. 11. - С. 1620-1653.20Х

73. Шоршоров М.Х., Харламов Ю.А. Физико-химические основы детонационно-зового напыления покрытий. М.: Наука, 1978.-224 с.

74. Эртмантраут М.М., Степанов В.В. О расчете равномерности покрытий // зарочное производство 1971,- №3,- С.35-37.

75. Babiak z. Factors influencing properties of plasma-sprayed layers // 10th Int. ther-al Spraying Conf. DVS Berichte Band 80, Dusseldorf.- 1983. P. 64-66.

76. Fessman I. Reinigen und Aktivieren von Oberflachen im Plasma Eine Ubersicht it Anwendungsbeispielen aus den Bereichen Entfetten, Metallisieren, Lackieren und itlacken //Metalloberflache.- 1992,-№2,- S. 83.

77. Gruner H. Moglichkeiten und Grenzen der Vakuum Plasma Spritztechnik // Met-loberflache. 1986. - Bd.40.- N 12,- S.552-527.

78. Kon A. Das Plasma Spritzverfahren // Der Konstrukteur. - 1980. Bd. 11. N 12. - S. 14-15.

79. Kretzschmar E. Interessante Anwendungen des thermischen Spritzens und ualitatssicherung in Auswertung der IX.IISC. ZIS - Mitteilung, Schweissmetallur-e. - 1981,- Bd.23.- N 3- S.271-286.

80. Rykalin N. N., Kudinov V. V. Plasma spraying Pure and Appl Chem.- 1976. -V. S.-N2.-P. 229-239.