автореферат диссертации по электронике, 05.27.07, диссертация на тему:Состема диагностики механических элементов вакуумного оборудования

- •

На примах рукописи . УДК 621.002.5

од

? 7

ИЕРЕСАДЬКОАНДРЕЙ ГРИГОРЬЕВИЧ

СИСТЕМА ДИА1 НОСТНКИ МЕХАНИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИИ

Специальность: 05.27 07 - Оборудование производства люктроннои техники

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой ск'пеми какднлша технических паук-

Москва. 2000

I

1 г

Работа выполнена в Московском государственном техническом университете им Н.Э. Баумана. ^

Научный руководтель - д.т.н., профессор Деулин Ь.А.

Официальные оппоненты - Д.т.н., профессор Александрова А.Т.

к.т.н. Паико 13 М.

Ведущее предприятие - И Щ «Курчатовский нпстшут»

Защита состошся -(,(к) 1 на заседании

диссертационного Совета К 153 51 01 в Московском юсударственном техническом университете им. Н Э [»аумана по адресу: 107005. Москва, 2-я Бауманская ул., д, 5.

Телефон дня справок: (095) 267-0963

Ваш отзыв на автореферат в одном жгемчляре, лак-;репный печатью, просим ■н.'.прашпь по ука«иному адресу.

Г диссерганиен можно ознакомиться в библиотеке МПУ им Н О.Ьаумана

Автореферат разослан __ ___2000 г.

Ученый секретарь Диссертационного Совета Кандидат технических наук. Доцент

Рябов ВТ.

Подписано к печап! « {6 » Объем 1 н. I

£757 ______20001.

Тираж 100 зкг

Зака з № 7 $г Типография МГТУ ■

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ Актуальность проблемы. Развитие науки и техники предъявляет все более высокие требования к технологическому обеспечению, как-экспериментальных исследований, так п производства. Нее более укорачивается цикл внедрения в производство последних достижений техники и технологии, что требует быстрого создания надежною и производительного технологического оборудования. Производство современных изделий электронной техники включает в себя десятки технологических операций производимых в вакуумных технологических установках и длится от нескольких суток (ФЭП) до недель и месяцев (выращивание кристаллов). Это предъявляет высочайшие требования к надежности вакуумного оборудования и его узлов.

Надежность функционирования вакуумных механизмов, работающих в космических аппаратах, также имеет большое значение, от их надежности зависит выполнение дорогостоящих космических исследований и работа' управляемых космических аппаратов и спутников. Механизмы, работающие в условиях космического пространства подвергаются сильным разрушающим воздействиям: колебания температуры от +70°С до -Ю0°С; давление повышенное (внутри) до 8 кгс/м2, пониженное (снаружи) до 10'п мм.рт.ст.; ускорение вибрации до 150 м/с2 в диапазоне частот 0-2500 Гц; ударные нагрузки до 400 м'с2; линейные ускорения до 150 м/с2; акустический шум до 150 дБ; разовая пластическая смазка; практически полное отсутствие возможности ремонта в процессе эксплуатации; отсутствие условий для конвекционного обмена.

Особые требования по надежности предъявляются к вакуумным механизмам используемым в ядерных установках термоядерного синтеза (Токамак, ИТЭР). Так, например, в вакуумной камере установки ИТЭР откачанной до 10'7 Па будет находиться около Зх килограммов трития, и отказ вакуумного механизма может npiraecTH к его выбросу. Вакуумные

механизмы будут находиться в активной зоне установки ИТЭР и каждая замена механизма требует вхождения обслуживающего персонала в активную зону.

В области повышения надежности вакуумных механизмов за последние 10-]5 лег не произошло существенных изменений. Основным способом предотвращения о/казов механизмов является система планово предупредителышх ремонтов (ППР). Требования к надежности вакуумных установок неуклонно растут, а надежность ее компонентов остается на прежнем уровне. Это обооягельсгво привело к необходимости поиска новых методов повышения надежности функционирования вакуумных установок и появлению диагностических систем контролирующих работу вакуумных установок и их узлов. Такой системой является разработанная на кафедре МТ-11 МГТУ им. Баумана система диагностики механических элементов вакуумных механизмов.

Основными элементами вакуумных вводов движения являются шарикоподшипники, зубчатые зацепления н герметизирующие элементы: спльфоны, гибкие оболочки. Наблюдения за работой технологических установок показывают, что до 50% отказов вакуумных механизмов приходится на подшипники. В настоящее время работоспособность узлов вакуумного оборудования в процессе контролируется лишь оператором, а автоматические установки практически не имеют средств контроля состояния механических узлов.

Повышение надежности функционирования вакуумных установок с механическими узлами • возможно путем диагностирования и прогнозирования отказов. Для этого требуется изучение изменения, параметров вакуумных механизмов при работе, выбор диагностических признаков, разработка алгоритма диагностирования и прогнозирования состояния вакуумных механизмов.

Цель работы. Разрабогка общих принципов диагностирования

вакуумных механизмов и создание экспериментального макета системы ранней диагностики.

Методы исследований. Теоретические исследования проводились на основе использования теории надежности, теории производительности, теории вероятности, теории систем автоматического управления. Экспериментальные исследования проводились на специально изготовленном стенде в лаборатории кафедры МТ-11 «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э.Баумана, проведение и обработка результатов экспериментов выполнялись на ЭВМ с применением теории вероятности, математической статистики, численного спектрального оценивания.

Научная новизна.

1. Впервые показано и определено влияние амплитудно-частотной характеристики вакуумной системы на чувствительность метода вакуумной диагностики, определены частоты среза и значения коэффициентов' ослабления сигнала для различных частот работы механизма. •

2. Впервые сделано сопоставление вибрационных вакуумных и силовых параметров, используемых для оценки состояния механизмов (шарикоподшипников) работающих в вакууме, определена корреляционная связь этих параметров, показано, что вакуумные и вибрационные параметры имеют различную область наиболее эффективного применения.

3. Создана методика оценки производительности вакуумного оборудования, использующего систему ранней диагностики и определена эффективность системы ранней диагностики.

Практическая ценность. Разработана методика создания систем диагностики механических элементов вакуумного оборудования. Создана действующая экспериментальная модель системы диагностики.

Апробация работы. Результаты работы докладывались и обсуждались на заседаниях кафедры МТ-11 «Электронные технологии в машиностроении»

Mt ГУ им. Н.Э.Баумана, на -1-й и 6-й Международных научно-технических конференциях «Вакуумная наука и техника» (Гурзуф 1997, 1999). 10-й Международной конференции но тонким пленкам/ 5 Европейской вакуумной конференции (Саламанка, Испания, 1996).

Публикации. Оеноыюе содержание работы отражено в 12 статьях.

Ofii.tM работы. Диссертация состоит из введения, 4 глав, общих выводов по работе, библнофафического списка использованной литературы п 8 приложений. Содержит 213 страниц машинописного текста, 55 рисунков, 11 шблиц и библиографический список из 90 наименований.

- СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во пнеденин обоснована актуальность работы, поставлена цель и сформулированы основные научные положения, которые выносятся на зашиту.

В мерной [.тане проведен анализ вакуумного технологического оборудования насыщенного механическими узлами. Сделан обзор вводов движения в вакуум, оценено количество пар трения в каждом типе вводов. Произведен расчет производительности технологической установки, ремонт ко юрой производится по показаниям системы диагностики. Сделан обзор существующих методов диагностики «атмосферных» узлов и механизмов.

Проблемам повышения надежности вакуумного привода и его влияния на производительность оборудования посвящены работы Г.Л.Шаумяна, Ю.Л.Хруничева, Л.И.Волчкевича, Е.А.Деулина, А.С.Проникова, Л.Г.Блинова, Б.С.Дашшииа, В.А.Пупко, С.А.Ашинова и др.

Техническая и фактическая производительность оборудования зависит от от показателей надежности привода: среднего времени наработки j-ro узла на отказ Tj, параметра потока отказов Л, и др. Анализ функции вероятности отказа механизма F(T) показывает, что после отработки механизмом у-процентного ресурса, при использовании системы планово-

предупредительного ремонта (ПГТР), они подлежат принудительной замене. Система ППР имеет 3 существенных недостатка : 1-система не исключает полностью аварийных отказов, т.к. за период Ту существует (и реализуется) вероятность отказа 2- принудительно заменяются наиболее надёжные узлы, которые с среднем могли бы отработать средний ресурс Т, который иногда на порядок больше Т, при этом время аварийного отказа 0„ на один два порядка превышает время планового ремонта Эл.; 3: система планирует большие затраты на изготовление новых узлов и их замену.

Резервом повышения производительности оборудования, который реализуется с помощью системы ранней диагностики, является увеличение среднего времени функционирования вакуумных механизмов и ликвидация их аварийных отказов, ведущая к сокращению времени аварийных ремонтов до величины 0л-

Анализ существующие методов и систем диагностирования механического оборудования показал, что существующие методы либо не' применимы для диагностирования вакуумных приводов, либо требуют доработки, учитывающей особенности функционирования механизмов в вакууме.

Для достижения поставленной в работе цели необходимо решить следующие задачи:

- разработать методику диагностирования вакуумного привода но параметрам: остаточное давление, парциальное давление, момент сопротивления вращению входного вала, вибрация.

- разработать методику корректировки результатов и оценки границ применимости вакуумного метода диагностики.

провести исследование изменения параметров вакуумных механизмов: потока газовыделения (2, момента сопротивления вращению входною вала Мс и вибрации механизма п зависимости от наработки привода.

- разработать алгортм фунционирования системы диаг ностики.

- разработать экспериментальную модель системы диагностики.

Нторая глана посвящена теоретической разработке методики

диашостнки вакуумных механизмов по параметрам поток газовыделения, амплшуда виброускорения, парциальный состав выделяющихся из пар трения газов, а также адатации методов частотного анализа для диагностики вакуумных механизмов, определению границ применимоегн частотного анализа для анализа колебаний давления в вакуумной системе.

Использование колебания давления как диагностического признака не позволяет сравнивать работу узлов и механизмов в различных вакуумных системах из-за различия в средствах откачки, различиях рабочих объемов п как следствие различия для одних и тех же механизмов в предельном Р' и рабочем давлении 1',, в вакуумной системе. Более объективным критерием оненки состояния механизмов является поток газовыделения из этого механизма являющийся постоянным параметром при заданных режимах нагружения и работы. Поэтому система диагностики должна производить иерссче! давления в суммарный поток:

■oA'hsrto^y (1)

л

1де: S - быстрота откачки вакуумной системы; p(t) - давление в вакуумной системе; V- объём вакуумной системы.

Для определения потока газовыделения из диагностируемого механизма QMtx(t) из суммарного вычитается значение фонового потока Цф :

<W0= Qi(t)-Q* (2)

Используя значение текущего сигнала давления P(t) система диагностики определяет текущее значение потока газовыделения Q.J0 а также его статистические параметры: Qcp - среднее значение потока газовыделения, Qul, - максимальное значение потока газовыделения, по

которым и оценивается состояние ввода движения

Чтобы оценить влияние частоты срабатывания диагностируемого механизма на чувствительность метода вакуумной диагностики рассмотрим диаграмму периодически изменяющегося потока (прямоугольные импульсы, рис. 1а) и сопоставим ее с соответствующим изменением давления, то изменение давления вследствие откачки и влияния объема камеры определяются экспонентой:

(3)

где: р0 - начальное давление, Па; р' - предельное давление системы, Па.

Соответствующая диаграмма давления будет выглядеть как показано на рис.1б. Увеличение частоты импульсов потока, (соответствующее увеличению частоты работы механизма), рис.1в. начиная с определенной частоты приводит к уменьшению амплитуды колебания ответного стлала Р (рис. 1г), что вызвано влиянием амплитудно-частотной характеристики (АЧХ). вакуумной системы, представляющей апериодическое звено с позиции теории управления.

В работе определена АЧХ вакуумной системы, рассчитаны коэффициенты ослабления периодического сигнала потока газовыделения в вакуумный объем в зависимости от параметров вакуумной системы V и 5. , которые необходимо ввести в алгоритм диагностики для получения достоверных данных по амплитуде колебания потока.

АЧХ вакуумной системы оценивается передаточной функцией апериодического звена:

11(0)=-=!== (4)

I V

где: ~ - коэффициент усиления системы; Г = — - постоянная

времени вакуумной системы, с; (О - частота сигнала, рад/с.

График АЧХ вакуумной системы экспериментального стенда показан на рис.2.

»»ЮМ 10 XI » «

Тс Тс

Рис.1. Моделирование изменения давления Р в вакуумной системе при различных частотах входящего потока О

На основании расчета АЧХ, определены коэффициенты ослабления сигнала и разработана компьютерная модель вакуумной системы, позволяющая моделировать работу ввода движения и использовать ее в алгоритме диагностики.

Пример экспериментально полученной диаграммы давления Рг'ЛО показанный на рис.3, демонстрирует невозможность визуального определения периодических составляющих потока, которые достаточно хорошо выявляются математическими методами, как будет показано в главе 3. Дифференцирование графика давления Р^О- Рф(1), где: Рц Р+ - суммарное и фоновое давления в камере при работе механизма, дает возможность получить значение потока газовыделения из диагностируемого механизма

ОмО), которое лежит в основе вакуумной диагностики.

L(f). дБ

N

- Частота среза 1«8.2 Гц V-

\

\

* \

\

и ...

0.1 1 10 частота 1, Гц

Рис.2. Расчетная АЧХ вакуумной системы экспериментальной установки. У=32л, 3=150п/с

Рис.3. Реальный график давления в вакуумной системе при

кратковременном пуске ввода движения

Вибрационная диагностика вакуумных механизмов, используемая и работе, основана на статистических характеристиках вибрации: эффективной

Аея п максимальной АП1ах амплитудах.

Третья глава посвящена экспериментальным исследованиям системы диагностики. Объектом исследования являлся типовой механизм -сверхвысоковакуумный ввод вращения ВЭС-5, использующий три шарикоподшипника серии 18(1 т.п.) и 200 (2 т.п.), с параметрами <1хОхН -8x24x9 10x30x10 (где: (1 - внутренний диаметр подшипника; О - наружный диаметр подшипника; Н - ширина подшипника), нагруженными осевыми силами 240Н, ОН, 240Н.

Сверхвысоковакуумный стенд, на котором был установлен макет системы диагностики откачивался насосами НОРД-250 и НОРД-ЮО до предельного давления Р =210"5 Па. Диагностические параметры механизма измерялись следующими средствами: суммарное давление - датчиком Г1МИ-27 и вакууметром ВИ-14, парциальное давление датчиком РМО-4С и масс-спектрометрами ИПДО-1, ИПДО-2, момент сопротивления - измерительным торсионом и усилителем Топаз-1с чувствительностью 3 Нм/В, виброускорение - пьезоакселерометром АВС016-02, обороты вала механизма огггроннои парой. Сигналы всех параметров через согласующие усилители подавались на вход платы АЦП ЛА-70МЗ и сохранялись в памяти компьютера 386ПХ40, далее сигналы обрабатывались на компьютере РеМштШ 533 с помощью специального программного обеспечения, написанного на языке Ма^аЬ.

Были исследованы зависимости ряда параметров механизмов от наработки. Исследовался момент сопротивления вращению входного вала механизма Мс, являющийся прямым критерием отказа, а также параметры Используемые для косвенной оценки основного критерия.: (}5Г -

Максимальный и средний поток газопШеления Из ввода движения, Атах, Ае(г-максимальная и эффективная амплитуда виброускорения, 1;к - эксцесс впброснгнала, парциальный состав остаточНого данления в вакуумной системе. Полученные данные ■ для ввс>да ВЭС-5 о корреляции

диагностических, признаков с моментом сопротивления для подшипников без смазки: Q,rax (р=0,165), Q„ (р=0,161), AefT (р=0,731), А™, (р=0,727), Ек (р=-0,259) и для подшипников с твердосмазочным покрытием MoSj: Q,„¡u (р=0,0742), Qsr (р=0,0374), АеП (р=0,696>. А™ (р=0,654), Ек (р*М>,249) показывают, что наибольшую связь с моментом сопротивления имеют показатели впброускоремия механизма Аец и Атах. Исследования показали, что износ подшипников сопровождается ростом парциального давления 112.

Частотный анализ потока газовыделения производился исходя из предположения, что частоты колебаний потока газовыделения равны частотам изменения сил в нарах трения, в частности частотам контактирования элементов механизма. Частоты контактирования приведенные к частоте вращения пходного звена fb для используемого в испытуемом вводе ш.п. серии 200 равны: шарик-сепаратор - 1,18; шарики-наружное кольцо - 1,62; шарикн-внутреннее кольцо - 3; шарик-кольца - 2,36 Исследование частотного спектра колебаний потока газовыделения из сильфонного ввода движения ВЭС-5 показало, что в исследованном механизме стабильно проявляется лишь частота вращения валов ввода (рис.4а), которая может использоваться в качестве критерия состояния этого механизма (рнс.4б), а также как критерий качества сборки механизма поскольку эффективно проявляется при неправильной сборке (перекосе валов ввода).

Разработана статистическая модель оценки момента сопротивления входного вала ввода движения по диагностическим признакам, для вводов с шарикоподшипниками без смазки:

Мс =~2594VQ..... + 42930Q,, + 0.038-4,4Ь10~' Л„„ -1).Ю7£, -0.2Л , (5)

и для вводов с шарикоподшипниками со смазкой MoS?:

А/, = -t261Qmi„ +2292Q,r + 0.019 А,й -00017Ат-0.(ЮЗ!В„ +0JS, (6)

SPM(Q) ю* 10" 10* 10"

ВО 120 160

Наработка N, 101 циклов

Рис.4. Диагностика по частотному спектру потока Q(t) а) Спектральная плотность мощности (SPM) потока газовыделения Q(t); б) Изменение амплитуды Ai

м, Мм

2,0

1,5 1,0 0.5 0,0 -0,5 -1,0

—х—М^ "-1

1 A J

| t

J

/

■5—*í-= Л

\

—г1 L— 1-Х--й- Y--

—Г —х-"

«ИТ«

VP

-1—1-

60 so

40

30 20 10 О

20 30

Наработка N. 101 циклов

Рис.5.- Пример расчета момента сопротивления по модели и ошибка модели

• '

Показано, что вакуумная диагностика по спектру колебаний потока для принятых в технике соотношений V/So имеет наибольшую информативность в диапазоне частот срабатывания вакуумных механизмов до —10... 15 Гц. Показано также, что для диагностики вакуумных механизмов при любых частотах срабатывания можно использовать виброускоренне в интервале частот fv=20-20000 Гц.

Четвертая глава посвящена разработке методики прогнозирования вакуумных механизмов, выбору диагностических признаков в зависимости от типа диагностируемой установки, выбору типов датчиков давления ir вибрации для системы диагностики. Даны рекомендации по выбору систем съёма диагностической информации и разработке программного обеспечения системы диагностики. Разработан алгоритм функционирования системы диагностики. Даны рекомендации по созданию системы измерения и обработки диагностической информации Показано, что срок окупаемости проекта составляет 29 месяцев и чистый приведенный доход составит около 20.000$.

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Производительность вакуумного оборудования, снабженного системой ранней диагностики, может быть повышена за счет своевременного предотвращения аварийных отказов, характеризуемых временем ремонта 0„, путем перевода их в категорию планового, характеризуемого временем ремонта 0„«0а. Получена формула для оценки производительности подобного оборудования, оснащенного системой диагностики.

2. При диагностировании вакуумных механизмов целесообразно использовать следующие параметры в.качестве диагностических: Qnlax, Qs, -максимальный и средний поток газовыделения из ввода движения, амплитуда базовой частоты механизма, Pia - парциальное давление водорода, Атах, Aerf--максимальная и эффективная амплитуды виброускорения корпуса ввода движения, Et - эксцесс пибросигнала.

3. ®акуум11ая система любой диагностируемой установки является апериодическим звеном, характеризуемым постоянной времени T=V/S и частотой среза fcp, ограничивающими использование метода вакуумной диагностики по частотному спектру потока газовыделения.

4. Компьютерная модель вакуумной системы, позволяет моделировать реакцию вакуумной системы на поток газовыделення различной формы; частота среза для 'йспользуемого стенда составляет fcp=8,2 Г И коэффициент корректировки ампдй'гуды сигнала составляет 1.44 - 1.72 в диапазоне частот 8-12 Гц.

5. Зависимости диагностических признаков QIMX, Qsr, А^, At(r, Ek от наработки шарикоподшипников для вводов с' подшипниками со смазкой NtoS^ характеризуются мопотоиным возрастанием и Аг:.ах; поток Qmax возрастают лишь иепосредсГйеадо при возрастании момента сопротивления механизма,, таким образом показано,' что в качестве критерия для долгосрочного прогноза могут быть рекомендованы параметры Atfr и Ат„, а для краткосрочного прогноза Q,M, и Qsr.

6. Шарикоподшипник» без смазки характеризуются возрастанием параметров А,я и A„M До максимального значения при наработке (0,7-0,8}TOIk; поток газовыделения также возрастает лишь непосредственно перед отказом, в то время как разброс его значений AQ возрастает более монотонно, поэтому в качестве критерия долгосрочного прогноза состояния шарикоподшипников без смазки могут быть взяты параметры Aeir и А,ш„ а для краткосрочного - возрастание амплитуды значений Q,n.,x, Qsr и AQ.

7. Пределами изменения диагностических признаков для эксцентриковых вводов движения являются: Q,rM= 10"6-10"4м3Па'с Qs,sl0"6-10's м3Г1а/с, Amaxs0.. .200 М/с2, АсП20... 1200 м/с2:

8. ПолучеНь) данные по корреляции диагностических признаков с моментом сопротивления для ввода ВЭС-5 с подшипниками без смазки: Qma, (р=0,165), Q„ (р=0,161), А,.гг (р=0,731), Amax (р=0,727), Ек (р-=-0,259) п с

» '

подшипниками с твердосмазочным покрытием MoS2: Q[lla, (р=0,0742), Q,., (р—0,0374), Aeff (р=0,696), А1МХ (р=0,654), Ек (р=-0,249); показно, что наибольшую связь с моментом сопротивления имеют показатели виброускорения механизма Ас(ги Атм.

9. Разработана эмпирическая модель оценки момента сопротивления вращению входного вала ввода движения Mc-F(Qnux,Q..„Amax,/V.fT,Ei.) для эксцентриковых вводов движения

10. Действующая экспериментальная модель системы диагностики вакуумных механизмов и комплекс программного обеспечения позволяет • производить эффективную обработку диагностической информации.

Основное содержание диссертации отражено в следующих работах:

1. Деулнн Е.А., Пересадъко А.Г., Золотухин С.Г. Компьютерная система контроля сборки вакуумных механизмов. //Вакуумная наука и техника: труды Зй Российской научно-технической конференции,- Гурзуф,

1996.-С.46.

2. Деулин Е.А., Невшупа P.A., Пересадько А.Г. Компьютерная система прогнозирования отказов механизмов вакуумного оборудования. //Вакуумная наука и техника: труды 3it Российской научно-технической -конференции .Гурзуф, 1996,- С.53.

3. Деулин Е.А., Пересадько А.Г. Компьютерная система диагностики механических элементов вакуумного оборудования. //Вакуумная наука и техника: труды 4й Российской научно-технической конференции,- Гурзуф,

1997.- С.43-45.

4. Разработка системы ранней диагностики механических элементов вакуумного оборудования.: Отчет о научно-нсследовательской работе /МГГУ. Руководитель Е.А. Деулин. Исполнители P.A. Невшупа, А.Г.Пересадько, С.Г. Золотухин и др. - ГР '№01.9.60000548, инв. №02.9.60000015. - М„ 1995. - 90 с.

5. Основы экспериментальной модели устройства защиты вакуумных устройств.: Отчет о научно-исследовательской работе/МГТУ. Руководитель Е.А. Деулин. Исполнители Р.А. Невшупа, А.Г. Пересадько. -М., 1997. - 47 с.

6. Деулин Е.А., Пересадько А.Г. Диагностика и прогнозирование отказов высоковакуумных механизмов // Контроль.Диагностика.- ¡998. -№5.-С.21-28.

7. Деулин Е.А., Пересадько А.Г. Изучение газовыделения при работе вакуумных механизмов. //Вакуумная наука и техника, труды 5й Российской научно-технической конференции.-Гурзуф, 1998,- С.33-36.

8. Герасимов В.В., Деулин Е.А., Пересадько А.Г. Диагностика состояния механических вводов движения в вакуум. //Вакуумная наука и техника, труды 6й Российской научно-технической конференции, Гурзуф, 1999. - с.19-23.

9. Analysis of surface wear by residual pressure measurement /Deulin E.A., Peressadko A.G. et al. //VASSCAA-l.- Tokyo (Japan). - 1999.- P.45 (accepted to Conference).

10. Wear and "image" of vacuum mechanisms /Deulin E.A., Nevchoupa R.A., Peressadko A.G., Roy R. //Communication on the International Conference on Wear of Materia! - 99. - Atlanta (USA), 1999,- P.79. ■

11. Computer system of predicting of mechanical elements failures of high vacuum equipment based on pressure measuring /Deulin E.A., Nevchoupa R.A., Peressadko A.G. et al. //10th International Conference on Thin Films/5th European Vacuum Conference: Book of Abstracts. - Salamanca (Spain), 1996. - P.168.

12. Diagnosing system of mechanisms of vacuum equipment /Deulin E.A., Peressadko A.G. et al. //ECASSIA'97. - Gotteborg (Sweden), 1997,- P.95.