автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.01, диссертация на тему:Разработка и исследование рефлектометрического метода измерения шероховатости сверхгладких металлических поверхностей

Введение.

Глава I. Анализ состояния измерения шероховатости сверхгладких поверхностей рефлектометрическим методом.

1.1. Основные положения теории рассеяния электромагнитного излучения на статистически неровных поверхностях.

1.2. Анализ статистических свойств сверхгладких поверхностей.

1.3. Рефлектометрические 'сЙ^с.Обы измерения шероховатости сверхгладких поЕ&рхностей.

Глава П. Теоретическое обосноваШё"Тзазрабатываемых рефлектоме триче ских способов измерения параметров шероховатости сверхгладких поверхностей.

2.1. Исследование решений, полученных скалярной и векторной теорией, для углового распределения рассеянного излучения.

2.2. Определение спектральной плотности и функции корреляции сверхгладких поверхностей рефлек-тометрическим методом.

2.3. Способ измерения параметров 6 и Т с использованием элементов индикатрисы рассеяния.

2.4. Способ измерения 6 и Т с использованием зависимости потока рассеянного излучения от длины волны.

2.5. Теоретическое исследование чувствительности разрабатываемых рефлектоме триче ских способов пл измерения.

Глава Ш. Исследование методических погрешностей рефлектометрических способов.

3.1. Общие вопросы определения погрешности рефлектоме триче ских способов измерения шероховатости.

3.2. Погрешности, возникающие за счет использования приближенных зависимостей.

3.3. Погрешности, вызванные отличием свойств реальной поверхности от выбранной модели.

3.4. Погрешности, связанные со схемой реализации метода.

Глава 1У. Экспериментальные исследования шероховатости образцов полированных металлических поверхностей.

4.1. Описание гониорефлектометрической установки

4.2. Исследование инструментальных погрешностей гониорефлектоме триче ской установки.

4.3. Исследование шероховатости полированных металлических поверхностей по индикатрисам рассеяния

Глава У. Опробование разработанных рефлектометрических способов измерения параметров шероховатости 6 и Г.

5.1. Сличение результатов измерения параметров шероховатости различными рефлектометрическими способами и щуповым методом.

5.2. Разработка схем рефлектометров, предназначенных для реализации способа измерения параметров и Т с использованием элементов индикатрисы рассеяния.

5.3. Реализация способа измерения параметров 6 и Т с использованием зависимости потока рассеянного излучения от длины волны.

Современное развитие лазерной техники, оптики, микроэлектроники и других разделов науки и техники потребовало создания изделий с минимально возможной шероховатостью поверхности. Такие поверхности, называемые в дальнейшем сверхгладкими, работают в основном на взаимодействии с электромагнитным излучением. Сверхгладкими считаются поверхности, для которых отношение среднего квадратичес-кого отклонения высот неровностей 6 к длине волны излучения значительно меньше единицы. Для излучения видимого диапазона сверхгладкими являются поверхности, для которых 6<0,015 мкм.

Одной из задач, возникающих при изготовлении сверхгладких поверхностей, является измерение их шероховатости . Диапазон значений параметров шероховатости, свойственный сверхгладким поверхностям, практически не обеспечен средствами измерения. Необходимым этапом работ по созданию средств измерения шероховатости этих поверхностей является разработка метода измерения, положенного в основу разрабатываемых средств измерения.

Наиболее широко распространенными методами измерения, используемыми в выпускаемых промышленностью средствах: измерения шероховатости поверхности, являются щуповой и интерференционный. Оба метода имеют ограниченные возможности для измерения шероховатости сверхгладких поверхностей. Щуповой метод имеет в этом случае следующие недостатки:

- необходимость контакта с контролируемой поверхностью;

- практическая нереализуемость измерения шероховатости в ходе технологического процесса;

- высокая трудоемкость определения параметров шероховатости по профилограммам поверхности.

Применение микроинтерферометра для контроля шероховатости сверхгладких поверхностей ограничено вследствие недостаточного разрешения и большой погрешности измерения. Наиболее перспективен для измерения шероховатости сверхгладких поверхностей рефлектометрический метод, основанный на использовании теоретических зависимостей, связывающих статистические параметры шероховатости поверхности и статистические параметры рассеянного на ней излучения. Эти зависимости полученн в рамках дифракционной теории рассеяния волн на статистически неровных поверхностях. Рефлектометрический метод является бесконтактным, обладает высокой чувствительностью в требуемом диапазоне измерения параметров шероховатости поверхности, допускает возможность простой реализации. Достоинством применения рефлекто-метрического метода для контроля шероховатости сверхгладких поверхностей является также то, что теоретические зависимости, полученные для случая, когда Л , наиболее точно выполняются в диапазоне шероховатости, свойственном сверхгладким поверхностям.

Существующая фундаментальная теория рассеяния позволяет получить формулы для реализации рефлектометрического метода. Необходимо отметить, что по условиям измерения рефлектометрический метод имеет различные реализации, называемые в дальнейшем способами.

Для контроля качества сверхгладких поверхностей и совершенствования технологии их изготовления возникла потребность в разработке рефлектометрических способов измерения шероховатости , удовлетворяющих следующим требованиям:

- способ должен быть осуществим без использования образца сравнения;

- должен позволять проводить измерения двух параметров шероховатости, один из которых высотный,другой - шаговый;

- реализация способа должна быть достаточно простой и применимой для контроля как в лабораторных, так и в цеховых условиях.

Существующие рефлектометрические способы не удовлетворяют в полной мере этим требованиям.

Целью настоящей работы является теоретическое обоснование, исследование и разработка рефлектометрических способов измерения шероховатости сверхгладких металлических поверхностей, удовлетворяющих вышеизложенным требованиям.

Дня выполнения поставленной цели необходимо было решить следующие научные и практические задачи:

1. Проанализировать применимость векторной и скалярной теории рассеяния электромагнитных волн на статистически неровных поверхностях для определения двух параметров шероховатости сверхгладких поверхностей рефлектомвтрическим методом.

2. Провести теоретическое обоснование разрабатываемых рефлектометрических способов и на основании фундаментальной теории рассеяния получить теоретические зависимости, связывающие измеряемые потоки отраженного излучения с параметрами шероховатости поверхности, для этих способов.

3. Разработать методику определения корреляционной функции высот неровностей поверхности рефлектометрическим способом и обосновать выбор модели статистического описания сверхгладких поверхностей.

4. Провести метрологическое исследование разрабатываемых способов.

5. Разработать гониорефлектометрическую установку для измерения индикатрисы рассеяния на сверхгладких поверхностях.

6. Провести экспериментальные исследования шероховатости образцоб полированных металлических поверхностей разработанными ре-флектоме триче скими способами.

Основные научные положения, выносимые на защиту:

1. Решение скалярной теории, не учитывающей оптические константы материала поверхности, можно с достаточной точностью использовать в рабочих формулах предложенных рефлектометричес-ких способов измерения двух параметров шероховатости при абсолютном коэффициенте отражения поверхности, большем 40% и углах падения7 близких к нормальному.

2. Корреляционная функция высот неровностей сверхгладких поверхностей может быть определена по результатам измерения индикатрисы рассеяния в плоскости падения с методической погрешностью, определяемой в основном дискретностью и диапазоном углов при измерении индикатрисы рассеяния.

3. Для измерения двух параметров шероховатости, высотного и шагового, рефлектометрическим способом без образца сравнения с использованием одной длины волны излучения необходимо измерить как минимум три потока излучения, один из которых зеркальный, а при измерении двух параметров рефлектометрическим способом без образца сравнения с использованием двух длин волн необходимо измерить как минимум четыре отраженных потока, два из которых зеркальные.

Наибольшей составляющей методической погрешности рефлек-тометрического способа измерения двух параметров шероховатости с использованием элементов индикатрисы рассеяния является погрешность, вызванная отличием реальной корреляционной функции от ее аппроксимации.

5. Наиболее точной однопараметрической зависимостью, аппроксимирующей корреляционную функцию полированных медных поверхностей, является лоренцева функция корреляции.

Практическое значение работы заключается в том, что разработанные рефлектометрические способы положены в основу создания рабочих и образцовых средств измерения шероховатости сверхгладких поверхностей. Один из способов измерения двух параметров шероховатости реализован на серийно выпускаемом спектрофотометре СФ-18, что облегчает его широкое внедрение. Область применения результатов исследования источников методической погрешности не ограничена разработанными в настоящей работе рефлектометрическими способами. Эти результаты могут быть использованы во вновь разрабатываемых способах измерения двух и более параметров шероховатости. Особенно это касается погрешности, связанной с отличием абсолютного коэффициента отражения от I. Значение этой составляющей погрешности возрастает с распространением разработанных способов на измерение шероховатости плохо отражающих материалов, таких, как полупроводники, кристаллы, стекло и т.п.

Основные результаты работы заключаются в следующем:

1. Проведен анализ состояния измерения шероховатости сверхгладких поверхностей рефлектометрическим методом, позволивший выбрать направления исследований и сформулировать задачи диссертационной работы.

2. Проанализирована применимость векторной и скалярной теории рассеяния электромагнитных волн на статистически неровных поверхностях для определения двух параметров шероховатости сверхгладких поверхностей рефлектометрическим методом. При этом установлено, что решение скалярной теории, не учитывающей оптические константы материала поверхности, можно с достаточной точность использовать в рабочих формулах предложенных рефлектометрических способов измерения двух параметров шероховатости при абсолютном коэффициенте отражения поверхности, большем 40% и углах падения,близких к нормальному .

3. Проведено теоретическое обоснование разработанных рефлектометрических способов, и получены рабочие формулы для этих способов. Показано, что для измерения двух параметров шероховатости, высотного и шагового, рефлектометрическим способом без образца сравнения с использованием одной длины волны излучения необходимо измерить как минимум три потока излучения, один из которых зеркальный, а при измерении двух параметров рефлектометрическим способом без образца сравнения с использованием двух длин волн необходимо измерить как минимум четыре отраженных потока, два из которых зеркальные .

4. Разработана методика определения корреляционной функции высот неровностей поверхности рефлектометрическим способом, и обоснован выбор модели статистического описания сверхгладких поверхностей. При этом установлено:

- корреляционная функция высот неровностей сверхгладких поверхностей может быть определена по результатам измерения индикатрисы рассеяния в плоскости падения с методической погрешностью, определяемой в основном дискретностью и диапазоном углов при измерении индикатрисы рассеяния;

- для получения рабочих формул и исследования методических погрешностей рефлектометрических способов в качестве модели шероховатости сверхгладких поверхностей принято представление их в виде реализации нормального однородного изотропного случайного поля

- из однопараметрических зависимостей лоренцева функция корреляции наиболее точно аппроксимирует корреляционные функции медных полированных поверхностей.

5. Проведено метрологическое исследование разработанных рефлектометрических способов. При этом установлено:

- верхний предел измерения <$ ограничен методической погрешностью, связанной^ с использованием приближенных зависимостей;

- нижний предел измерения 6 ограничен инструментальной погрешностью, связанной с шумами, вызванными наводками и засветкой;

- погрешность определения 6 ш Т по К ( С ) не превышает 5-16$ для Т в диапазоне от 0,4 до 2,0 мкм соответственно;

- для полированных медных образцов погрешность измерения в способе с использованием элементов индикатрисы рассеяния не превышает 25$ для 6 и 35$ для Т при доверительной вероятности 0,95 (при <9, = 8°, вг = 33°, У = 3°)

6. Разработана гониорефлектометрическая установка, позволяющая измерять индикатрису рассеяния на сверхгладких поверхностях при углах падения и наблюдения от 2 до 70° при уровне шумов, приведентр ном к потоку излучения, не превышающем Iе 10 Вт. При определении корреляционной функции по результатам измерения индикатрисы рассеяния случайная инструментальная погрешность лежит в пределах 6$ при доверительной вероятности 0,95.

7. Проведены экспериментальные исследования шероховатости образцов полированных металлических поверхностей. Это позволило:

- экспериментально подтвердить применимость решения скалярной теории в рефлектометрических способах измерения двух параметров шероховатости;

- разработать методику определения аппроксимирующего выражения корреляционной функции;

- сличить результаты измерения параметров шероховатости щупо-вым и рефлектометрическими способами;

- показать, что решения скалярной и векторной теорий плохо описывают индикатрису рассеяния при углах падения, больших 70°. На основе этих исследований подобран коэффициент, который позволил получить более хорошее согласие с экспериментальными данными

- подтвердить расчетные значения методической погрешности измерения параметров шероховатости, вызванной отличием абсолютного коэффициента отражения от I.

На основании проведенных исследований предложены две схемы рефлектометров для реализации способа с использованием элементов индикатрисы рассеяния, защищенные авторскими свидетельствами.

Внедрение результатов диссертационной работы

Гониорефлектометрическая установка внедрена во ВНИИМСе. Она используется для следующих целей:

- исследования корреляционных функций сверхгладких поверхностей полученных при использовании различных технологических процессов;

- аттестации образцов сравнения сверхгладких металлических поверхностей;

- проведения технических измерений параметров шероховатости 8 и Т металлических сверхгладких поверхностей.

При выполнении этих измерений внедрены две методики:

- методика определения корреляционной функции высот неровностей поверхности по результатам измерения индикатрисы рассеяния;

- методика выбора аппроксимирующего выражения корреляционной функции.

Акт внедрения гониорефлектометрической установки и двух методик приведен в приложении I.

В научно-производственном объединении "Платан" внедрена методика измерения шероховатости полированных поверхностей полупроводников и других материалов рефлектометрическим способом, реализованным на спектрофотометре СФ-18. Акт внедрения приведен в приложении I.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В настоящей работе разработаны два рефлектометрических способа измерения двух параметров шероховатости С и Т с использованием аппроксимирующего выражения корреляционной функции, а также разработан способ определения корреляционе ной функции высот неровностей поверхности по результатам измерения индикатрисы рассеяния.

1. Рытов С.М. Введение в статистическую радиофизику. М.: Наука, 1966.

2. Басс Ф.Г., Фукс И.М. Рассеяние волн на статистически неровной поверхности. М.: Наука, 1972.

3. Шмелев А.Б. Рассеяние волн статистически неровными поверхностями. УФН, 1972, т.106, вып.З, с.459-480.

4. Beckmann Р., Spizzichino A. The scattering of electromagnetic waves from rough surface, Pergamon Press, Oxford, 1963.

5. Bennet H.E., Porteus J.O. Relation betwen surface roughness and specular reflectance at normal incidence. J.O.S.A., 1961, v.51, W 2, p.123.

6. Bennet Н.Б. Specular reflectance of aluminized ground glass and the height distribution of surface irregularities. J.O.S.A, 1963, v.53, N12, p.1389.

7. Porteus J.O. Relation betwen the height distribution of a rough surface and the reflectance at normal incidence. J.O.S.JU, 1963, v.53, N 12, p.1394.

8. Elson j.M., Bennet j.M. Vector scattering theory. Optical engineering, 1978, v.18, И" 2, p.116-124.

9. Marvin A., Toigo P., Celli V. Light scattering from rough surfaces general incidence angle and polarization. Physical review В., 1975, v.11, N8, p.2777-2782.

10. Celli V., Marvin A., Toigo P. Light scattering from rough surfaces. Physical review В., 1975, v.11, N 4, p.1779-1786.

11. Chuch E.L., Jenkinson Ы.А., Zavada J.M. Relationship between surface scattering ahd microtopographic features. Optical engineering, 1979,v.18, N 2, p.125-137.

12. Elson J.M., Ritchie R.H. Photon interactions at a rough metal surface. Physical Review В., 1971, B4, p.4129-4138.

13. Elson J.M., Ritchie R.H. Scattering and surface plasmon generation by photons at a rough dielectric surface.- Physical status solidi В., 1974, Вб2, N 2, р.4б1-4б8.

14. Houchens A.P., Hering R.G. AIAA, Thermophysics specialist conference. New Orleans, Lou isiana, April 17-20, 1967.

15. Ohidal I. Expression for the reflectance of randomly rough surfaces derived with the frenel approximation. Applied optics, 1980, v.19, N 11, p.1804-1811.

16. Исакович M.A. Рассеяние волн от статистически шероховатой поверхности. КЭТФ, 1952, т.23, вып.3(9), с.305-314.

17. Bennet Н.Е., Stanford J.L. Structure-related optical characteristics of thin metallic films in the visible and ultraviolet. -J. res. nat. bur. stand, 1976, 80A, p.643-648.

18. Bennet H.E. Scattering characteristics of optical materials. -Optical engineering, 1978, v.17, N 5, p.480-488.

19. Decker D.L., Bennet J.M., SoileanM.J., Porteus J.O. Surface and optical studies of diamont-turned and other metal mirrors. -Optical engineering, 1978, v.17, N 1, р.1бО-1б4.

20. Leader J.C. J. appl. phys., 1971, v.42, p.4808-4811.

21. Holzer J.A., Sung C.G. Scattering of electromagnetic waves from a rough surfas.II. J. appl.phys., 1978, v.49, H 3,p.1002-1011.

22. Sung C.C., Eberhardt W.D. Scattering of an electromagnetic wave from a very rough semi-infinite dielectric plane (exact treatment of the boundary conditions). J. appl. phys., 1978, v.49,1. N 3, p.994-1001.

23. Борн M., Вольф Э. Основы оптики. M., Наука, 1970.

24. Kurdock J., Saito Т., Buckmelter J., Austin R. Polishing of supersmooth metal mirrors. Applied Optics, 1975, v.14, N 8, p.1808-1812.

25. Hoffman R.A., Lange W.I., Chouke W.J. Ion polishing of copper: some observation. Applied Optics, 1975, v.14, N 8, p.1803-1807.

26. Stover J. Roughness characterization of smooth machined surfaced by light scattering. Applied optics, 1975, v.14, N 8.

27. Лукьянов B.C., Рудзит Я.А. Параметры шероховатости поверхности. М.: изд-во стандартов, 1979, с.162.

28. Хусу А.П., Витенберг Ю.Р., Пальмов В.А. Шероховатость поверхностей. Теоретико-вероятностный подход. М.: Наука, 1975, с.343.

29. Вентцель Е.С. Теория вероятностей. М.: Наука, 1969, с.576.

30. Свешников А.А. Прикладные методы теории случайных функций.-М.: Наука, 1968, с.463.

31. Bennet J.M. Measurement of the rms roughness, autocovariance function and other statistical properties of optical surfaces using PECO scanning interferometer. Applied optics, 1976, v.15, N 1,p.2705-2721.

32. Bennet J.M., Dancy J.H. Stylus profiling instrument formeasuring statistical properties of smooth optical surfaces. -Applied optics, 1981, v.20, N 10, p.1785-1802.

33. Chandley P.J. Surface roughness measurements from coherent light scattering. Optical and Quantum Electronics, 1976, N 8, p.323-327.

34. Chandley P.J. Determination of the autocorrelation function of height on a rough surface from coherent light scattering. -Optical and quantum electronics, 1976, N 8, p.329-333.

35. Rasigni M., Rasigni G., Palmari J.-P., Slebaria A. Studyof surfaces roughness using a microdensitometer analyses of electron micrographs of surface replicas: I. Surface profiles. J.O.S.A. 1981, v.71, N 9, p.1124-1133.

36. Одитис И.А., Рудзит Я.А. О выборе типа корреляционной функции при исследовании нерегулярной шероховатости. В кн.: Микрогеометрия в инженерных задачах. Рига, Зинатне, 1973.

37. Топорец А.С. Отражение света шероховатой поверхностью, ОМП, 1979, № I, с.34-46.

38. Солодухо Ф.М. Разработка и исследование рефяектометрического метода измерения параметра шероховатости металлических тонкообра-ботанных поверхностей, кандидатская диссертация, ВВШМС, М.,1975.

39. Топорец А.С. Фотометрический метод определения средней высоты микронеровностей шероховатой поверхности. ОМП, 1969, 6, с.60-61.

40. Dreyfus H.J. . Патент США,кл. 88-14, № 316.574, 22.08.1967.

41. Hildebrand В.P., Gordon R.L., Allen E.V. Instrument for measuring the roughness of supersmoth surfaces, Applied optics, 1974, v.13, N 1.

42. Мазуренко M.M., Скрелин A.JI., Топорец A.C. Авторское свидетельство, кл. G-OIB II/30, J& 654853, от 25.1.1977.

43. Bennet н.Е. Патент США, 356/209, 356/212, № 3.771.880 от 29.09.1971.

44. Обрадович К.А., Солодухо Ф.М. Авторское свидетельство, кл.& -OIB II/30, № 815492, от 23.03.1981.

45. Зубков В.М., Киселев К.В., Турьянский А.Г., Ципкин Р.З. Авторское свидетельство, кл-G 01В 11/30, № 672480 от 09.06.1977.

46. Синайский В.М. Количественная оценка неровностей обработанных поверхностей высших классов чистоты методами рентгеновской рефпектометрии. Измерительная техника, 1983, № 6, с.27.

47. Патент Швеции, кл. G1A (межд. кл. G01B 11/30), № 7410027 от 05.08.1974.

48. Патент Швейцарии, кл. G01B II/30, £ 416.649 от I6.II.I97i

49. Патент Великобритании, кл. G01B 11/30 № I474I9I от 21.01.1974.

50. Патент Швеции, кл. G01B П/30 Jê 763703 от 01.12.1976.

51. Патент Великобритании, клЛ01 21/32 № 2022823 от 24.05.1979.

52. Kretschman Е. Die bestimmung der oberflächenrauhigkeit dünner schichten durch messung der winkelabhängigkeit der streustrahlung von oberf l'âchenplasmaschwingungen. Optich Communications, 1974, v.10, U 4, p.353-356.

53. Pemick B.J. Surface roughness measurements with an optical fourier spectrum analyzer.- Applied optics, 1979» v.18, N 6, p.796-801.

54. Сотин B.E., Осоввдкий A.H., Цеснвк JI.С., Челяев А.Ф. Использование волноводного рассеяния света для определения статистических характеристик шероховатых поверхностей. ОМП, 1981, № 7, с.1-4.

55. Пастушков А.А. Определение параметров случайных полей методами когерентной оптики. Автореферат кандидатской диссертации,1. М., МИРЭА, 1975.

56. Обрадович К.А., Солодухо Ф.М., Яншин В.Н. Погрешность реф-лектометрического метода измерения шероховатости поверхности. Труды метрологических институтов СССР, вып. 179(239), М., 1975.

57. Кучин А.А., Обрадович К.А. Оптические приборы для измерения шероховатости поверхности. Л., Машиностроение, 1981, 198 с.

58. Дунин-Барковский И.В., Карташова А.Н. Измерение и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. М., Машиностроение, 1978, 232 с.

59. Корн Г., Корн Т., Справочник по математике. М.: Наука, 1977, 831 с.

60. Соколов Л.В. Оптические свойства металлов. М.: Г.И.Ф - М.Л. 1961, 464 с.

61. Schulz L.G. The optical constants of silver, gold, copper and aluminum. J.O.S.A., 1954, v.44, N 5, p.357-368.

62. Мотулевич Г.П. Металлооптика, БСЭ, т.16, с.119.

63. Обрадович К.А., Попов Ю.Н. Определение корреляционной функции высот неровностей полированных металлических поверхностей рефлектометрическим методом. Измерительная техника, 1983, № 2, с.17.

64. Бронштейн И.Н., Семендяев К.А. Справочник по математике. "Тойбнер" Лейпциг, 1979, М.: Наука, 1980, 974 с.

65. Обрадович К.А., Попов Ю.Н., Солодухо Ф.М. Авторское свидетельство, кл. -01 В II/30, № 868347, от 30.09.1981.

66. Обрадович К.А., Попов Ю.Н., Солодухо Ф.М. Определение двух-параметров шероховатости металлических полированных поверхностей рефлектометрическим методом. Измерительная техника, 1982, № 2, с.19.

67. ГОСТ 16263-70. Метрология. Термины и определения.

68. Макс S. Методы и техника обработки сигналов при физических измерениях, т.2. М.: Мир, 1983.

69. Горяинов В.Т., Журавлев А.Г., Тихонов В.И. Статистическая радиотехника. Примеры и задачи. М.: Советское радио, 1980, с.544.

70. Топорец А.С., Мазуренко М.М. Гониорефлектометрическая установка с высоким угловым разрешением. 0МП, 1964, № I, с.37-39.

71. Обрадович К.А., Солодухо Ф.М. Определение высоты неровностей поверхностей с регулярным треугольным профилем рефлектометрическим методом. Тр./ВНИИФТРИ, ВНИИМС, 1973. Линейные и угловые измерения, с.22-29.

72. Williams V.L., Lockie R.T. Optical contamination assessment by bidirectional reflectance distribution function (BRDF) measurement. Opt. eng., 1979, v.18, N 2, p.152-156.

73. Обрадович К.А., Попов Ю.Н., Солодухо Ф.М. Гониорефлектомет-ричеокая установка для исследования шероховатости поверхности. -Тр/ВНИИФТРИ, ВНИИМС, 1981. Исследования в области измерения геометрических величин, с.51-60.

74. Жидкие кристаллы. Под ред. С.И.Жданова. М.: йшия, 1979, с.256.

75. Захарченко А.П., Кравцов В.Е., Кузнецов В.И. и др. Измерение линейности фотометрических устройств с использованием светодиодов. -ОМП, 1979, № I, с. 48.

76. Корндорф С.Ф., Дубиновский A.M., Муромова Н.С., Перова Н.И., Сурова Е.Я. Расчет фотоэлектрических цепей. М.: Энергия, 1967,с.200.

77. Фукс-Рабинович Л.И., Епифанов М.В. Оптико-электронные приборы. Л.: Машиностроение, 1979, с.362.

78. Харкевич A.A. Борьба с помехами. М.: Наука, 1965, с.275.

79. Лукьянов B.C., Комаровский O.K., Егоров И.В. Использование ЦВМ для исследования шероховатости поверхности. Измерительная техника, 1975, I.

80. Обрадович К.А., Попов Ю.Н., Солодухо Ф.М. Авторское свидетельство, кл. G 01В 11/30, № 987381 от 07.01.83.

81. Обрадович К.А., Попов Ю.Н., Солодухо Ф.М. Положительное решение по заявке 3333763-/25-28 от 10.10.82.

82. Лабораторные оптические приборы. Под ред.Л.А.Новицкого. М.: Машиностроение, 1979, с.448.