автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.07, диссертация на тему:Применение рефлектрометрии для измерения параметров поверхностей, рассеивающих свет

Госудяргтрэиный комитет Российской Фелергчии ^ по высшему образованию

ЧЗАНКТ-IГЕТЕ! Ь'УИ'СКМй ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ ТС'ОЮП МЕХАНИКИ И

ч

01ГП/КМ (ТЕХНИЧЕСКИЙ УШВГСГСИГЕТ)

На правах рукииси УДК 535.8

€ / // ШЬАКОВ Сергей Георгиевич у

ПРИМЕНЕНИЕ РЕФЛЕК.ТОМЕТРИИ лая ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПОВЕРХНОСТЕЙ, РАССЕИВАЮЩИХ СВЕТ

Специальность 05.11.07 -Оптические и оптико-электронные приборы

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата тохлических наук

Санкт-Петербург 1996

Работа выполнена в Санкт-Петербургском Государственном институте точной механики и оптики (техническом университете).

Научный руководитель доктор технических наук, профессор А.Д.Яськов

Официальные оппоненты:

доктор технических наук, профессор Нагибина И.М., кандидат технических наук, доцент Мозенов A.B.

Ведущая организация: Северо-Западный Политехнический институт

J5

^Замита состоится "<23 » Ремайья 1ээе г.

* часов jij васедашш Диссертационного совета Д.053.26.01

Санкт-Петербургского Государственного института точной механики и оптики (технического университета) по адресу: Санкт-Петербург, ул. Саблипская, 14.

С диссертацией мокно ознакомиться в библиотеке института. Автореферат разослал " ДЗ " Я 1996 г.

Учевдй .секретарь Диссертационного совету кандидат технических наук, доцент у

Красавцев В.М.

Актуальность работы: В настоящее время важгтую роль играют оптические методы исследования и контроля материалов самого широкого профиля.

Особое значение имеют рефлектометричес:ше измерения. Методы, опирающиеся на такие измерения, позволяют, в частности, определять свойства шероховатых поверхностей, измерять цветовые характеристики, технологические и коммерческие показатели, и их допуски. Такие измерения оперативны, как правило не требу»! особой подготовки поверхности, являются бесконтактными, неразрушаотими.

Несмотря на то, что вопрос о рефлектометрических измерениях поставлен давно, он является недостаточно разработанным Особенности таких измерений изучены неполно, что объясняется как сложностью проблем, так и спецификой широкого круга решаемых при этом исследовательских задач.

Современное состояние измерительной техники и управляемых технологических процессов требует подхода к рефлектометрическим измерениям на новом, более высоком уровне и современной элементной базе. Это значит, что необходима комплексные исследования по данным вопросам, связанные с созданием новых приборов, методов и стандартов.

Вопросы рефлектометрии являются актуальными, их решению и посвящена диссертационная работа,

Целыо работы являлась разработка методов и средств .для определения с помощью рефлектометричеоких измерений параметров поверхностей, рассеивающих свет, таких как колориметрические характеристики, коэффициент диффузного отражения, характеристики шероховатости , а также созданий образцов приборов и их адаптация к конкретным условиям технологических производств.

Научная новизна работы состоит в том.что5

1. Разработан новый двухволновой омический метод исследования шероховатости поверхности, рассеивающей излучение, с использованием зеркальной составляющей рассеянного поверхностью потока излучения. С помощью этого метола измеряется параметр шероховатости поверхности - среднее квадрвтичэокоэ значение высоты микронеровностей.

2. Проведено уточнение метода измерения величины коэффициента диффузного отражения о помощью интегрирующей сферы. При этом

выявлена неучитивавшаяся в оиубликованных ранее работах а>стя:< ляадая систематической погрешности, обусловленная неодпорс.дн.л-и.ю распределения коэффициента диффузного отражения по поверхности интегрирующей сферы. С учотом итого откорректированы расч. тные выражения.

3. Получены в явном виде математические выражения для определения величины кооффиииепта диффузного отражения по результатам измерений при использовании интегрирующий с&ори и рекимо замещения и в режиме определения абсолютной величины кооффшишнта диффузного отражения.

Предложена методика контроля правильности измерений абсолютной величины коэффициента диффузного отражения для некоторых конструкций' интегрирующей сферы.

5. Р.гервые в отечественной практике создан малогабаритный автоматизированный прибор (спектрофотометр - спектроколориметр) лабораторного типа, ориентированный для нужд целлюлозно- бумажной промышленности. Прибор предназначен для измерения оптических характерней®, в том числе цветовых, бумаги, картона и целлюлозы.

Практическая ценность.

1. Для определения величины коэффициента диффузного отражения при помощи интегрирующей ^ры получены расчетные выражения с учетом всех неоднородностей распределения величины коэффициента диффузиого отражения на ее поверхности.

2. На Саза впервые разработанного двухволнового метода определения параметра шероховатости поверхности - среднего квадратического значения высоты шкронеровностей шероховатой поверхности - по результатам измерения интенсивности зеркальной компоненты рассеянного излучения, определяемой для двух длин волн излучения, могут быть созданы контрольно-измерительные оптические приСорк для контроля шероховатости и качества поверхности.

3. Разработан и создан малогабаритный автоматизированный спектрофотометр - спектроколориметр лабораторного типа. Прибор предназначен для измерения оптических характеристик, в том числе цветовых, бумаги, картона и целлюлозы и может Окп использован при контроле промышленной продукции или сырья, в..том числе, текстиля, фарфора, пластмассы.

4. Разработанные доступные методы могут быть использованы для проверки, контроля и коррекции измерений для уке существующих измерительных приборов и разработке приборов для контроля материалов, рассеивающих излучение.

Основные результата, выносимые т защиту:

1. Двухволновой метод измерения параметра шероховатости поверхности - сродиеквадратичаской высоты шкронеровчоотэй профиля исследуемой поверхности,

2. В рамках модели интегрирующей сферы о учетом всех неоднородных участков поверхности получены в явном виде уточненные выражения для определения величины коэффициента Диффузного отражения.

3. Создан малогабаритный: автоматизированный прибор (спектрофотометр - спектроколориметр), предназначенный для измерения оптических характеристик, в том числе цветовых, образцов, рассеивающих свет.

4. Разработан и создан мвкет пркборно-измерительного комплекса для исследования оптических свойств реальных объектов, рассеивающих свет. Этот автоматизированный рефлектометрический комплекс включает в себя гошюспектрофотометр высокого углового разрешения для рефлектометрических измерений и интегрирующий спектрофотометр, предназначенный, в первую очерэдь, для измерения спектральных зависимостей коэффициента диффузного отражения без г.талона (методом измерения абсолютной величины).

Апробация работы, Основные положения и результаты диссертационной работы докладывались на семинарах и конференциях профессорско-преподавательского состава ИТМО, 1992-1995 гг.

Публикации. По результатам работы опубликовано 4 научные работы.

Структура и объем люсэргации. Диссертация соотоит из введения, четырех разделов, заключения, приложения и списка литературы, включающего 46 наименований. Общий объем • работы составляет 127 страниц машинописного текста. Работа содержит 33 рисунка и 9 таблиц.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во впадении обоснована актуальность вибранной теш. СфорМулирорань цель работы, научная новизна, практическая значимость и научше положения, выносимые на защиту.

В первом раздзле изложены основные представления, испол! дуемые при исследовании характеристик излучения, рассеяшюго поверхность». Приводятся определения величин, используемых при рефлектомотричеоких измерениях, и показаны соотношения между ними. Рассмотрены методы и применяемая аппаратура рефлектометры!. Приведены общ .я схема измерения апертурного коэффициента отражения и фотометрические конфигурации определения коэффициента яркости, используемые для • колориметрических измерений, схема определения координат цвета лшинесцирукщих материалов.

Второй раздел посвящен разработке оптико-электронных систем спектрофотометров и методики измерения параметров поверхности, рассеивающей свет.

Для реализации в малогабаритных измерительных приборах был выбран метод замещения, позволяющий существенно упростить конструкцию интегрирующей сферы и минимизировать • габариты и вес прибора.

Получены в явном виде расчетные выражения для определения величины коэффициента диффузного отражения с учетом влияния всех пеоднородностей распределения величины коэффициента диффузного отражения по внутренней поверхности интегрирующей сферы.

При получении расчетных формул использовалось предположение, что образец, эталон и внутреннее покрытие сферы рассеивают излучение по закону Ламберта.

Для определения величины коэффициента диффузного отраже шя по методу- замещения с учетом систематической методической погрешности нами предложено использовать формулу (1) с учетом геометрических разборов и оптических характеристик интегрирующей сферы.

Ро- (1 - Рс2'^ - -г)А1- Рс5'/3 - ')рэс/5) ,">

э э

где Б - площадь всей внутренней поверхности сферы, с - площадь поверхности сферы, ограниченная отверитием для образца или агздона, рс , р . и р0- коеф$шщенты диффузного отражения

внутренней поверхности интегрирующой сферы, эталоне и образца соответственно, п з

Т = V —— - параметр, введенный для учета наличия на 3

внутренней поверхности интегрирующей сферы помимо площади, занимаемой образцом или эталоном, п участков о площадями , коэффициент диффузного отражения каждого из которых р^ отличается от рс , ч

8 = 3 - с - ) Эк - площадь поверхности сферы за вычэгом

всех отверстий и неоднородностей, Е0 и Ёд- освещенности, создаваемые на приемнике излучения, в тех случаях , когда в измерительное отверстие сферы установлен исследуемый образец или эталон соответственно.

Если внутри интегрирующей сферы установлен специальный экран, защищающий поле зрения приэмника излучения от первичной освещенности, создаваемой излучением, рассеянным от образца или эталона, при использовании метода замещения искомую величину р0 рекомендовано находить как положительный корень полученного квадратного уравнения.

В разделе предложен мег эд проверки правильности измерений величины коэффициента диффузного отражения по методу Тейлора.

Если исследуемый образец постоянно установлен в измерительном отверстии интегрирующей сферы, для учета систематической методической погрешности измерений по Методу Тейлора следует использовать расчетную формулу,

-(р^/б + т)+([рс3/3 + т)2+ 4(р0е0/е0)с /э)1/2

р = —- , (2)

0 2с /5

где Е0 и Ес - освещенности, создаваем!"1 на приемнике, когда освещающий поток падает на образец или. на стенку, йнтегрирущей сферы соответственно.

В работе впервые предложен метод контроля шероховатости поверхности при помощи измерения . зеркальной составляющей отраженного излучения на двух длинах волн Я1 и Лд (двухволновой.

метод), Этот метод позволяет определять величину Ьск - среднее квадрауическое значение высоты микранеровностей шероховатой поверхности. Величина Ьск нами определяется по формуле

1/2

1 Г ) ХоСЛ^)

н

1 соаф

I

0 р

1 ~ 2

1п

ИВ(Х2)

)

(3)

где 10(Л,1) и - интенсивности монохроматических излучений с

длинами волн А,, и , падающих на шероховатую поверхность под уг-ом ф, и - интенсивности зеркальных составляющих,

рассеиваемых поверхностью монохроматических излучений , наблюдаемых под угЛом 0. Выражение (3) получено из известной экспоненциальной .зависимости интенсивности зеркальной компоненты отраке]шот1о излучения от Ьск , ф и X в предположении равенства аффективных ковфйшиентов отражения от материала поверхности р ) и р (Лд). Преимущество этого метода состоит в. том, что для определения величины ьзк требуется только один фиксированный угол падения. Представлены графические зависимости

Ь,

от угла

ск

интенсивностбй

ф, длин волн и и отношения [13 )/10<?^)] • Получено

падения р=

соотношение (4} для оценки величины систематической "методической погрешности Дйок , возникающей при определении Кск по соотношению (3) из-за того, что для реальных шероховатых поверхностей предположение о равенстве величин р ^) = р (Л^) выполняется лишь приближенно.

лпск =

Ч

% совф

я совф

1

ч

4

К И

1/2

4-4

1П [ Ц р (1^)/ р

1/2

(4)

р в (4) зеркальных

Для проведения такой оценки вместо величин практически рекомендуется подставлять значения коэффициентов отражения данного материала для длин волн Я1 и Л^.

На основа. проведенного в работе анмиза аппаратуры, исполь-ауешй при проведении цветовых измерений, возникла необходимость

характеристик образцов оптического стекла и бумаги. Для проверка точности проведения цветовых измерений при помоди малогабаритного

Рис. 2. Схема ятрвдзяеяия координат цвета и параметров Селивны по зйвиоюдаста р (Л. ).

спектрофотометра-- спвктрсколоримзтра й интегрирующего спектрофотометра, входж&его в жкартш. дыкй комплекс, были проведена из;.'оро:шя коэффициента пропускания и цветовых характеристик ряда проерачных цветных стекол. Цветовые характеристики были определены для 2-х грзДусного наблюдателя МКО и стандартного излучения А. Результаты измерений на обоих приборах удовлетворительно совпадают, при мои цветовое . расхождение не превышает го кос-р;<№:рТ£м цвзта ' .Э и по координатам цветности

¿?>Лу=А2--50.02. Среднее цветовое отклонение в пространств 1*акЬ* не превышает величины ДЕ*^ £ 3.7.

Полученные расхождения в системе TiZ удовлетворяют требованиям ГОСТ, предъявляемым к рабочем средствам измерзши координат вдета и цветности.

Цветовые характеристики нескольких сбряз^оз бумаги были

диффузного отражения, который предпочтителен, так как нет необходимости постоянно использовать эталон. Величина р0(Я) определяется в этом случае по формуле (2), Основные характеристики комплекса представлены в таблице.

При помощи гониоспектрофотометра, входящего в измерительный комплекс, были проведены определения величию: hGK , которая находилась по формуле (3). Результаты измерений hCH по двухволковому методу для образцов - илифовант',и оптических отекол - показали хорошее совпадение с результатами измерений по двухугловому методу, известному из литературы.

Измерение hCK для образца - шлифованного оптического стекла -показало хорошее определение класса шероховатости поверхности образца.

Создан малогабаритный спектрофотометр - сцектроколоримэтр для определения цветовых характеристик, параметров белизны, прозрачности и непрозрачности, а также для определения спектральной зависимости коэффициента диффузного отражения. Прибор предназначен для нувд целлюлозно-бумажной промышленности.

Характеристики прибора приведены в таблице. Прибор выполнен в двух модификациях с использованием измерительных конфигураций 0°/й и <ио" . Спектров jtomstp - спектроколоркматр состоит ка интегрирующей сферы, полихроматора к блока сопряжения с ЭВМ-Результаты измерений представляются на экране в виде строки таблицы и графика спектральной зависимости Р0(М.

При помощи прибора проводятся цветовые измерения для стандартного (2-х градусного) колориметрического наблюдателя МКО и стандартных излучений D65 и А или дополнительного стандартного (10-ти градусного) колориметрического наблюдателя Ш0 и излучения D65 в двух, цветовых системах МКО XYL и МКО 1*а*Ь*. Измерения проводятся по методу взвешенных ординат. В системе XYZ измеряются координаты цвета X, Y, Z. к координаты цветности х, у, z. Для системы Lab определяются координаты L*, а*, Ь*. Для стандартного излучения Dgg определяются белизна ИСО и белизна МКО. В работе приведен алгоритм определения спектрал'ной зависимости коэффициента диффузного отражения и цветовых характеристик образца. Схима определения цветовых характеристик объекта и параметров белизны показана на рис.2.

В четвертом разделе приведены результаты измерений цветовых

Таблица

Основные характеристики интегрирующих спектрофотометров

Ш Параметр!!

.Универсальный т'г'згриру:ш;кй шектсофотометр в ОООТОЕ" измерительного комплекса

Малогабаритный спз ктрофотоме тр~ споктроколориметр

1 2

8 9 10

Споктрэл^шй диапазон, им

Обсэтнаи лгаейная дхсотрси;?, км/мм

Время регистрации всего диапазона

Фотоприемник

Динамический диапазон

Измеряемые

величина

Относительная погрешостъ

Габарита, №3

1.!ассе> ~лт

ПогреблязМЕД

мощность, Вт

300-1000 1.3

15 мин

£ЭУ

103

" V

Л1? г

£ * '

... * й ь ,и .v

0.6% 1000x1000x800

400

•110-720 20 6 с

16-элементная ОДЛ

10° Ъ*,а*,Ъ*

1%

320*300x146 8

25

В третьем разделе подробно огяюпкч приборы, разработшшые д/.'я измерения цвэтових характеристик и параметров шероховатости поверхностей, расоаиБзщих излучение.

Макет ввтоматисарованного праборно-иэ»юрительного комплекса предназначен для определения углового распределения яркости деффрзно отравеакого саэта, ядектралышх оавксимостей коэффициента Лйффузяого оурожения и пропускания; а .такш цвотовах характеристик. Рабочий диапазон 300-1ОСОпм. Комплекс состоит из гшюстоктрофотометрз я кнтегредгзгдзго спектрофотометра, нмеюичх общий монохромотор МДР-23. Испольаует.ся одполучепвя схема. Прн измерениях на интэгрирукпем спектрофотометре установка позволяет получать зависимость р0(Я) ет помощп метода еакэдепия, штода сравногшя ж метода эдолоник абсолютной аеличмян коэффвдгоитв

6

7

\

создания малогабаритного спектрофотоматра-спэктроколориметра, сопряженного с ЭВМ и позволяющего достигнуть достаточно высокой точности колориметрических измерений. При этом должна быть обеспечена возможность измерения цветовых характеристик несамосветящихся образцов, рассеивающих излучение, с использованием как систем координат, предусмотренных ГОСТ, так И иных систем. Оптическая схема разработанного прибора представлена на рис.1 , а основные характеристики прибора - в таблице.

Рис.1. Оптическая схема малогабаритного споктрофотоыетра-спектроколориметра. Модификация о фотометрической конфигурацией О /&'. 1- галогенная лампа; 2- эллиптический отражатель; 3,8-диафрагмы; 4- линза; б- образец или еталоы; 6- интегрирующая сфера; 9- пходная щель; 10- вогнутая дифракционная решетка; 12-фотодиодная линейка.

При разработке прибора, использующего интегрирующую схему,

О 4>

бнлм выбраны две измерительные конфигурации 0 /б. и й/0 и схема измерений величины коэффициента диффузного отражения по методу замещения, при этом образец и эталон попеременно устанавливаются в измерительное отверстие ¡штегрирудцей . с£еры. Это позволяв?, добиться компактности прибора. При этом используется корректирующая формула (1),

определены на трех приборах: малогабаритном спектрофотометрэ-снектроколориметре, интегрирующем спектрофотометре, входящем в измерительный комплекс, и сиектроколориметре фирмы ■ "Minolta''. Получено хорошее совпадение результатов изморениД на всех трех приборах при средней величине цветового рассогласования не превышающей ЛЕ*Ь £ 3.0.

В этом разделе приводится способ определения белизны бумаги, целлюлозы и картона, согласно ИСО, по спектрофотометрическим данным с использованием метода взвешенных ординат и приведена рассчитанная наш таблица для определения белизны по зтому методу. Расчет белизны может быть проведен для стандартного излучения А шм Р65 по определенному через АХ = 10нм набору значений pQ(X), согласно приведенным формулам.

При измерениях на малогабаритном спектрофогсштре-спектроколориметре белизна ЙСО определялась для стандартного излучения Dgg . Сравнение результатов измерений показывает, что используемая нами методика определения белизны позволяет получить данные, хорошо совпвдащке с результатами измерений, нолучоннь.ли на сиектроколориметре "Minolta" с различием 0.7%.

Сформулированы следакщие основные выводы .*

1. Для определения величины коэффициента диффузного отражения образца р0 получено в явном виде выражение яри измерении его по методу замещения и квадратное уравнение при измерении его по методу Тейлора с помощью интегрирующей сферы с неоднородными но коэффициенту отражения шутрешвши участками.

2. Предложен и ившытан метод проверки точности измерений величины коэффициента даШздаго отражения при использовании метода измерения абсолютной величины этого коэффициента.

3. Подложен двугвошсвой оптический бесконтактный метод контроля шероховатости поверхности. Ыетод основан на определении величины hCK - среднего квэдраткчбского значения высоты микт.".-неровностей. Величина to■ определяется по полученной расчетной формуле. Зто определение проазводится по результатам измерения интенсивности зеркальней составлявдей отран .шого от поверхности излучения на двух длиняя. волн. Преимущество метода заключается й простоте спг«г"еской систею», взашодействушей с образцом.

4. Для малогабаритного спбктртфотометра-спектроколориметра была разработана ме то дута и шбрзия схема определения вшмчикы

коэффициента диффузного отражения и цветовых' характеристик с использованием интегрирующей сферы при измерениях по методу замещения. Это позволяет использовать одколучевую схему и добиться компактности прибора. Оптическая схема прибора разрабо ана в двух кодификациях о измерительными конфигурациями 0°/d и й/0°. Последняя модификация поаволяет «пользовать источник излучения в пяггь рач мэпьшй моэдости.

5. Разработан к создан макет приборш-измсфительяого евтоматизироьаннсго комплекса (установки), который включает в себя интегрйруащий спектрофотометр и гониоснзктрофотомегр внеокого углового разрешения. Комплекс предназначен для измерения углового распределения яркости диффузно отраженного света, спектральных зависимостей коэффициентов диффузного отражения и пропускания, а также цветовых характеристик при направленном освещении в спектральном диапазоне огггичзского кзлу*зияя 200-1ОООнм.

S. При помощи гониоспектрофотомотра высокого углевого разрешения, входящего в установку, били проведены апроделения величины hCK двухволновым методом. Измерения проводились для образцов - шлифованных оптических стекол. По результатам киморекий сделан вывод о совпадении классов шероховатости иезерхнооти, определенных с помощью контактного профилокетра и бесконтактного (даухволнового) метода. Определена статистическая погрзшнсьть ûflr,, = 7%. Такие результаты могут Считаться хорошими.

7. Разработай и создан автоматический лабораторный малогабаритной спектрофотометр - споктроколориметр, прадназяаче;ишй для определения цветовых характеристик, параметров белизна, прозрачности я пэпрозрачности, а также для исследования спектральной зависимости коэффициента диффузного отражения в спектральном диапазоне 410~?20нм. Прибор в основном предназначен для нужд целлапозко-буы£со:ой ггршышленвооти.

Малогабаркпшй о:кктрофото*з1р-сткгрокалоримвтр выполнен в дзух модификациях с гопольэевакиом кзнбрг.телыанс конфигураций Q°/d и <1/0°. Он автоматизировав и действует под ytipaBJE ни-ï.m dSL Прибор показал себя ергадоичшм. Результаты измерений цветовых характеристик и Сэлизгш на прибора могут быть представлена в колориметрических система ШО XYZ й «КО Ъ*о*Ь* как для отедарт-копь так и для дойолюшдьного «тйдартшга кояоржлетри'шского

наблюдателя МКО. Проведена оценка точности измерений,

а. Сравнение результатов измерений коэффициента пропускания и цветовых характеристик цветных оптических стекол, а твкяю коэффициентов диффузного отражения, цветовых характеристик и белизны образцов бумаги, проведенных на спектрофотометре-спектроколориметре, измерительном комплексе и спектроколориметрэ "Minolta", показал их хорошее совпадение в пределах, допускаемых ГОСТ для рабочих средатв измерения координат цвета, цветности и белизны. Результаты измерения белизны удовлетворительно совпадают с результатами аттестации эталонов белизны.

9. Малогабаритный спектрофотометр-спэктроколоркметр был испытан на предприятиях целлшгазно - бумажной промышленности.

to. Разработанный и созданный нами малогабаритный спектрофотометр-спектроколориметр мокат быть рекомендован к применению для контроля оптических свойств различных материалов, отражающих и рассеивающих свет, в том числе такой продукции целлвлозно- бумажной промышленности как бумага, целлюлоза и картон, а такке текстильных материалов, фарфора и полимеров.

11. Предложенный оптический двухволновой метод измере:-шя параметра шероховатости поверхности hCK может Сыть использован при создании приборов, предназначенных для бесконтактного контроля шероховатости.

НАУЧНЫЕ РАБОТЫ Пи ТЕМЕ ДОССЕРШЩ-

1. Рибалов С.Г. К вопросу о проверке точности измерения абсолютной величины коэффициента диффузного отражения с использованием спектрофотометров типа СФ-18. СП».., 1995. 6о. -Лап. в ВИНИТИ ЖЮ60-ВЭ5.

2. Рисков о.Г. К вопросу об измерении абооллтной величина коэф£ициента диффузного отражения о использованием спектрофотометров типа СФ-18. СПб. 1995. 6с. -Деп. в ВШШТИ ЖЮ10-ВЭ5.

3. Рыбаков С.Г. Определение параметра шероховатости поверхности рефлектомэтрическим методом. СПб. 1996. бс. -Деп. в ВИНИТИ JKE98-BS6.

4. Рыбаков С.Г. К вопросу о контроле оптических свойств материалов ь ЦВП./7 Машхяы и аппараты цэллюлоэно-бумакюг'.' производства: Нежвуз. сб. научн. тр./ СШГТУН1. СПб., 19Э5. С.96-100.