автореферат диссертации по химической технологии, 05.17.11, диссертация на тему:Получение, физико-химические свойства и применение тонких пленок ZrO2 , ZrO2-Y2 O3 , ZrO2-Fe2 O3

ВВЕДЕНИЕ

I. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ ПО ИССЛЕДОВАНИЮ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ.

1.1. Тонкопленочное состояние вещества.

1.2. Способы получения тонкопленочных веществ. 12 1.2.1. Получение пленок из пленкообразующих растворов. 1.2.2. Пленкообразующие растворы для получения пленок диоксида циркония.

1.3. Свойства веществ и материалов на основе ЪхОг.

1.3.1. Структура и свойства оксида циркония.

1.3.2. Основные характеристики пленок

1.3.3. Структура и свойства пленок 2Ю2.

1.3.4. Диаграммы состояния системы 7г02-У20з.

1.3.5. Оксиды железа и диаграмма состояния системы Zr02-Fe20з

1.4. Постановка целей и задач исследования

II. ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК, МЕТОДЫ СИНТЕЗА И ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ.

2.1. Исходные вещества для получения пленок.

2.2. Методы синтеза пленок из пленкообразующих растворов.

2.3. Исследование свойств пленкообразующих растворов.

2.3.1. Изучение вязкости пленкообразующих растворов.

2.3.2. Измерение электропроводности пленкообразующих растворов.

2.4. Методы исследование процесса формирования пленок.

2.4.1. Дифференциально-термический метод анализа.

2.4.2. Кинетические исследования с использованием пьезокварцевых микровесов.

2.5. Оптические методы исследования.

2.5.1. Инфракрасная спектроскопия.

2.5.2. Исследования в видимой и ультрафиолетовой областях спектра.

2.5.3. Эллипсометрические измерения. 61 2.6. Рентгенографические исследования.

III. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ, ПРОТЕКАЮЩИЕ В ПЛЕНКООБРАЗУЮЩИХ РАСТВОРАХ.

3.1. Процессы, протекающие в ПОР с течением времени.

3.2. Влияние концентрации оксихлорида циркония на вязкость и электропроводность пленкообразующих растворов.

3.3. Температурная зависимость вязкости и электропроводности ПОР.

3.4. Выбор оптимальных условий для получения пленок.

IV. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ, ПРОТЕКАЮЩИХ ПРИ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ.

4.1. Формирование пленок Zr02 из пленкообразующих растворов.

4.2. Особенности формирования пленок системы Zr02-Y203.

4.3. Формирование пленок системы Zr02-Fe

V. СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА 106 ЦИРКОНИЯ

5.1. Фазовый состав и оптические характеристики пленок системы 106 Zr0rY203.

5.2. Фазовый состав и оптические характеристики пленок системы 114 Zr02-Fe203.

VI. Технология получения и практическое использование пленок Zr02, 120 Zr02-Y203, Zr02-Fe

Развитие современной электронной техники, электротехнической и оптической промышленности связаны с использованием тонкопленочных покрытий в качестве интерференционных светоперераспределяющих фильтров, пленок, поглощающих вредное ультрафиолетовое излучение, диэлектрических слоев в производстве конденсаторов. Такие покрытия должны удовлетворять целому комплексу требований: высоким значением показателя преломления и ширины запрещенной зоны, повышенной термоустойчивостью, хорошей адгезией, химической инертностью. Наиболее полно вышеперечисленным требованиям удовлетворяют тонкие пленки диоксида циркония, получаемые осаждением из пленкообразующих растворов (ПОР). Однако использование пленок диоксида циркония ограничено вследствие протекания полиморфных превращений его кристаллических модификаций. Это приводит к самопроизвольному изменению свойств в процессе эксплуатации. Наиболее оптимальным способом решения этой проблемы является легирование диоксида циркония оксидами щелочноземельных, редкоземельных элементов, и элементов триады железа. Кроме стабилизации свойств, это позволит управлять свойствами пленок, а также придавать материалу новые свойства. Чаще всего в качестве стабилизатора используют оксид иттрия. С его помощью удается получать кубические твердые растворы У20з в Z1O2 , устойчивые до точки плавления. Однако использование оксида иттрия приводит к снижению показателя преломления пленок. Вследствие этого был проведен поиск стабилизирующей добавки, улучшающей оптические характеристики пленок и в качестве такой нами выбран оксид железа (III).

Для успешного использования материалов на основе тонких пленок диоксида циркония необходимо установить взаимосвязь между физико-химическими и целевыми свойствами, составом и условиями их получения. В отечественной и зарубежной литературе практически не описаны процессы, протекающие в ПОР на основе этилового спирта, оксихлорида циркония, хлоридов железа и иттрия, влияние состава на физико-химические свойства механизм формирования пленок во время термообработки и влияние режимов термообработки их свойства. Данные литературы не дают возможность установить взаимосвязь между составом, структурой, фазовым составом и оптическими характеристиками пленок на основе диоксида циркония. В литературе не описаны диаграммы состав - свойства этих тонкопленочных систем.

Цель работы; Получить тонкопленочные материалы на основе оксидов циркония, иттрия и железа, установить взаимосвязь между составом, структурой и физико-химическими свойствами пленок на основе диоксида циркония, оксидов иттрия и железа, дать рекомендации по практическому применению.

Для достижения поставленной цели были поставлены следующие задачи:

- Определить пленкообразующую способность и стабильную область получения пленок из спиртовых растворов на основе оксихлорида циркония, хлоридов иттрия, железа.

- Установить взаимосвязь между свойствами ПОР и оптическими характеристиками пленок, определить оптимальные условия их получения.

- Изучить физико-химические процессы формирования пленок на основе оксидов циркония, иттрия, железа, разработать режим термообработки.

- Выявить влияние химического состава и температуры отжига пленок на их фазовый состав и оптические свойства.

- Разработать рекомендации по практическому применению тонкопленочных систем на основе оксидов циркония, иттрия, железа.

Научная новизна.

- Впервые проведено комплексное исследование физико-химических процессов получения пленок из растворов на основе оксихлорида циркония, хлоридов иттрия, железа.

ПОР и пленок.—Недостаточно—полно—описан

- Выявлена взаимосвязь между физико-химическими свойствами ПОР и —оптическими характеристиками пленок на основе оксидов циркония, иттрия, железа.

- Установлена последовательность основных стадий формирования пленок на основе оксидов циркония, иттрия, железа из ПОР.

- Впервые получены пленки на основе оксидов циркония и железа из ПОР, установлен их-фазовый состав и изучены оптические характеристики.

- Впервые построены диаграммы состав - свойства тонкопленочных систем Zr02-Y203, Zr02-Fe203.

Практическая ценность. На основании результатов проведенных исследований разработаны составы и технология получения тонкопленочных материалов Zr02, Zr02-Y203, Zr02-Fe203 из ПОР.

Апробация работы. Материалы диссертации докладывались на 1 - ой международной научно - технической конференции "Экология человека и природы" (г. Иваново 1997 г.), VII Международной конференции "Физико-химические процессы в неорганических материалов" (г. Кемерово 1998 г.), XXXIV Международной научной студенческой конференции "Студент и научно - технический прогресс" (г. Новосибирск 1996 г.), XXXV Международной научной студенческой конференции "Студент и научно -технический прогресс" (г. Новосибирск 1997 г.), а также на научных семинарах кафедры неорганической химии ТГУ. На защиту выносятся:

- Влияние состава на пленкообразующую способность ПОР.

- Физико-химические процессы образования и оптимальные условия получения тонких пленок Zr02, Zr02-Y203, Zr02-Fe203.

- Фазовый состав исследованных материалов.

- Оптические и электрофизические свойства тонкопленочных материалов.

Диссертация, по своей структуре, состоит из введения, пяти глав и основных выводов.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

1. Получены тонкопленочные материалы на основе оксидов циркония, иприм и железа из пленкообразующих растворов с необходимыми эксплуатационными характеристиками. Пленки имеют хорошею адгезию к подложке, не изменяют характеристики в широком диапазоне температур, обладают высоким показателем преломления, являются диэлектриками с высоким значением ширины запрещенной зоны.

2. Установлено, что растворы на основе оксихлорида циркония и хлоридог иттрия, железа проявляют пленкообразующую способность только по истечении 2-7 суток с момента приготовления. Пленкообразующая способное и. изученных растворов обусловлена образованием тетрамерного гидроксокомгшекса циркония и коллоидных частиц гидроксида железа. Продолжительность использования растворов составляет от 30 сут. до 1 года. Введение хлоридов иттрия и железа в состав раствора уменьшаем продолжительность использования ПОР. Это связано с усилением гидролиза оксихлорида циркония вследствие увеличения содержания воды в ПОР и образования гидроксида железа

3. Пленки на основе оксидов циркония, итгрия и железа с необходимыми характеристиками могут быть' получены из растворов с содержанием оксихлорида циркония 0,2-0,6 моль/л, хлорида иттрия, железа не более 50 мол?, % по отношению к оксихлориду циркония. Наивысшим показателем преломления обладают пленки, полученные при температуре 293-2(>51\. скорости вращения центрифуги 2000-3000 об/мин., скорости вытягивание (2-4) 10"3 м/с.

4. Установлено, что формирование пленок в результате термоотжига протекаем через ряд последовательных стадий, связанных с удалением адсорбированной воды и разложением гидроксида циркония, хлорида иттрия, хлорида железа. Оптимальный режим термообработки включает в себя две стадии

124 гермостатирование при 420К в течении 10-20 мин. с последующим отжигом при температуре не ниже 750К в течении 30 мин.

5. Введение оксидов иттрия, железа в количестве до 30-40 моль о и состав пленок приводит к образованию кубических твердых растворов на основе 7т ( К Показано, что устойчивость таких растворов связана с образованием кислородных вакансий в решетке 2гОг.

6. Показано, что введение оксида железа в состав пленок приводит к расширению области существования и повышению температурной устойчивости кубических твердых растворов на основе диоксида циркония, увеличивает коэффициент поглощения в УФ - области спектра и показатель преломления пленок.

7. Увеличение содержания оксида иттрия или железа в пленке выше 50-70 моль % приводит к значительному снижению показателя преломления, повышению рассеивания света. Это связано с формированием многофазной системы, в состав которой помимо оксида циркония входит оксид иттрия (железа).

8. Разработанные тонкопленочные материалы могут быть использованы ирг: производстве без озоновых УФ - облучателей бактерицидного и эритемного действия, а также в качестве диэлектрических покрытий, обладающих высоко;; термохимической устойчивостью.

1. Алесковский В. Б. Стехиометрия и синтез твердых соединений. - Л.: Наука. 1976.-140 с.

2. Сайфулин Р. С. Физико химия неорганических полимерных и композиционных материалов - М.: Химия, 1990. - 126 с.

3. Гребенщиков .И. В., Власов А. Г., Непорент Б. С., Суйковская Н. IV Просветление оптики. Гостехиздат, 1946. - 212 с.

4. Young L. Anodic Oxide Films. New York: Acad. Press, 1961. - P. 235

5. Суйковская В. H. Химические методы получения тонких прозрачных пленок -Л.: Химия, 1971.-200 с.

6. R.J. Patterson // J. Electrochem. Soc. 1963. - V. 110. - P. 465

7. Фсйст У. M., Стил С. Р., Риди Д. У. Получение пленок химических! осаждением из паровой фазы // Физика тонких пленок под. ред. Г. Хасса и Р.Э. Туна М.: Мир, 1972. Т. 5. - С. 252

8. Gregor L.V. // Physics of Thin Films, Hass G., Thun R.E., eds. Acad. Press.: New York, 1966. - Vol. 3. - P. 131; русский перевод: Физика тонких пленок. - М.: Мир, 1968. - Т. 3. - С. 135-172

9. Ю.Крылова Т. М. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, l^.v -214 с.1 1 .Свиридова А. И., Суйковская Н. В. Свойства растворов хлорокиси циркония и тория в этиловом спирте // Журнал прикладной химии. 1962. - Т. 35. -Вып. 2. - С. 280 - 285

10. Свиридова А. И., Суйковская Н. В. Просветление кварца и флюорита для ультрафиолетовой области спектра // Оптико-механическая, промышленность. 1962. - N 11. - С. 25-26

11. Караулова О. Д., Галиаксарова Ф. А. Хлорокись циркония как пленкообразующее вещество // Оптико-механическая промышленное п>. 1962. - N 11. - С. 25-26

12. В.В. Козик, H.A. Скорик, Л.П. Борило, В.В. Дюков. Синтез и свойства пленок оксидов циркония, ниобия и тантала // Журнал неорганической химии. 1995,- Т. 40. -N 10, С. 1596-1598

13. Блюменталь У. Б. Химия циркония. М.: Иностранная, литература. 1963 -341 с.

14. Меерсон Г.А., Самсонов Г.В. // Журнал прикладной химии. 1952. - Т. 25. -С. 744-748

15. Weiss L., Neumann Е., Z. // Anorg. Allgem. Chem. 1910. - V 65. - P 248

16. S.Bailey G.H., J. // Chem. Soc. 1886. - V 149. - N 49. - P 481

17. Рутман Д.С., Торопов Ю.С., Плинер С.Ю., Неуймин А.Д., Полежаев Ю.М. Высокоогнеупорные материалы из диоксида циркония. М.: Металлургия, 1985. - 136 с.

18. Сажина В.А., Коленкова М.А., Сафунова H.A., Попов А.И. О твердых фазах в системе Zr02-HN0.rH20 // Журнал неорганической химии. 1992. - Т. 27. -вып. 1. - С. 223-22621 .Meyer Н.С., J. // Soc. Chem. Ind. 1918. - V. 37. - Р. 698A

19. Hall M.B., Nesten R.G., J. // Optical Soc. Am. 1952. - V. 42. - P. 257-258

20. Benford J.R., J. // Optical Soc. Am. 1947. - V. 37. - P. 642-647

21. Bube R H., Stripp K.F. НУ Chem. Phys. 1952. - V. 20. P. 193 -194

22. Пат. № 731 14 Голланд. Kröger F.A., Overbeck J.T. заявлено 15.8.1953

23. Ward R. // J. Phys. Chem. 1953. - V. 57. - P. 773-775

24. Нилендер P.A. // Известия АН СССР, сер. физики. 1915. - № 15. - С 807-8!4

25. Lowry E.F. // Sylvania Technologist. 1950. - V. 3. - N 1. - P. 2-5

26. Horak W., Sliap D.E., J. //An. Cheram. Soc. 1935. - V. 18. - P. 281-284

27. Fanderlik M., Schaefer Z.D. // Sklarske Rozhledy. 1943. - V. 20. - P. 41-4531 .Пат. № 2688561 США Armistead W.H. заявлено 7.9.1954

28. Бутякова С.П., Мельникова А.П., Дедов Н.В., Кульков С.Н. Биокерамики пп основе плазмохимического порошка диоксида циркония и никелида гитаиа Тез. докл. 4-ая научно-техническая конференция Сибирского химически; о комбината. Северск, 1996. - С. 74

29. Демиденко Л.М. Высокоогнеупорные защитные покрытия. М : Металлургия, 1979. - 216 с.

30. Пат. № 685725 США Заявлено 1901

31. Беляев И.П., Аверьянова Л.Н., Лопатин С.С. Рентгенографическое исследование систем Ti(Zr, Hf, Sn)02-Al(Ga)Nb04 // Журнал неорганической химии. 1982. - Т. 27. - вып. 9. - С. 2212-2215

32. Шишловская Г.А., Трухан Л.Н., Иванова Л.В., Кисель Н.Г. Изучение системы Pb0-Zr02-Nb20s // Известия АН СССР Неорганические материалы. -1983.-Т. 19. N 3. - С. 431-433

33. Яшин Э.М., Ульянов Б.В., Жаботинский В.А., Брищин К.И., Гарбуз, Костина Т.М., Щеголева A.M. Оптический затвор на основе ЦТСЛ керамики // Изв. АН СССР Неорганические материалы. - 1977. - Т. 13. - N4. -С. 717-720

34. Белякова Е. Г. и др. О выборе пористого материала для задержки и улавливания криптона, ксенона, йода, брома и цезия из газовой среды // Деп ВИНИТИ 200287 №243ЭН

35. Павлова Г.С., Марчева Е.В., Малофеева Г.И., Золотов Ю.А. Избирательное гь смешанных гидроксидов как сорбентов // Журнал неорганической химии. -1982. Т. 27. - Вып. 12. - С. 3153-3157

36. Takeshi Takei, Kozo Aoyama, Hiroshi Akada // Repts. Sei. Res. Inst. (Tokyo). -1950. V. 26. - P. 234-239

37. Свойства неорганических соединений. Справочник / Ефимов С.А. и др. Л.: Химия, 1983.-392 с.

38. Fletcher L. // Mineral Mag. 1893. - V. 10. - N 3. - P. 148-152

39. Mc Cullough J. D., Trueblood K.N. // Acta Cryst. 1959. - V. 12. - N 7. - P. 50751 1

40. Ruff O., Ebert F. // Z. Anorg. und. Chem. 1929. - bd. 180. N. 1. - S. 19-41

41. Smith D. K., Cline C. P. // J. Amer. Ceram. Soc. 1962. - V. 45. - N 5. - P. 2-W-250

42. Богамов А. Г., Руденко В. С., Макаров Л.Г1. Рентгенографическое исследование двуокисей циркония и гафния при температурах до 2750 'С Доклады АН СССР. 1965. - Т. 160. N 5. - С. 1065-1068

43. Wolten G. М. // J. Amer. Ceram. Soc. 1963. - V. 46. - N 9. - P. 418-422

44. Foex M. // Sei. Cerem. 1968. - V. 4. - P. 217-231

45. Collonques R., Revcolevsci A., Foex M. //Colloq. ine. CNRS. 1972. - V. 205. -P. 241-24651 .MurrayP., Allison E. B. //Trans. Brit. Ceram. Soc. 1954. - V. 53. - P. 335-361

46. Dietzel A. Tober PI. // Ber. deutsch keram. Ges. 1953. - Bd. 30. - N 3. - S. 47-61

47. Mupton F.A., Roy R. Hi. Amer. Ceram. Soc. 1960. - V. 43. - N 5. - P. 234-240

48. Curties C. E„ Doney L. M., Johnston Y. R. // J. Amer. Ceram. Soc. 1954. - V. 37. -N 10. - P. 458-465

49. Cohy W. M„ Tolksdorf S. // Z. Phys. Cliem. 1930. - Bd. 8. - S. 331-356

50. Lynch С. Т., Vahldick F. W., Robinson L. B. // J. Amer. Ceram. Soc. 1961. - V. 44. - N 3. - P. 147-148

51. Grain C. F., Garvie R. C. // U.S. Bur. Mines Rep. Invest. -1965. -N 6619. P. f-p)

52. Гавриш A. M., Сухаревский Б. Я., Криворучко П. П. // Доклады АН УкрССР. 1968. - Т. 5. -N 6. - С. 540-544

53. Ruh R., Garriett Н. J., Domagala R. F., Tallan N. M. // J. Amer. Ceram. Soc. -1968. V. 51,- N1,- P. 23-27

54. Ferenbacher L. L., Jacobson L. A. // J. Amer. Ceram. Soc. 1965. - V. 48. - N 3. -P. 157-16161 .Сухаревский Б. Я., Вишневский И. И. О кинетике полиморфного превращения Zr02 // Доклады АН СССР. 1962. - Т. 147. - N 4. - С. 882-885

55. Гавриш A. M., Сухаревский Б. Я., Криворучко II. Г1. Влияние скорое!п нагрева на температурные характеристики бездиффузионного превращение двуокиси циркония // Доклады АН СССР. 1967. - Т. 177. - N 4. - С. 886-880

56. Сухаревский Б. Я., Гавриш А. М. // Электронное строение и фи ЗИЧСС Kî i о свойства твердого тела. Ч. 2. Киев: Наукова думка, 1972. С. 9-24

57. Whithey Е. D. /П. Amer. Ceram. Soc. 1962. - V. 45. - N 12. - P. 612-613

58. Сухаревский .Б. Я., Алапин Б. Г., Гавриш А. М. // Известия АН СССР. Неорганические материалы. 1965. - Т. 1. - N 9. - С. 1537-1544

59. Suzuki H., Yoshida H. H. Kimura S. // Bull. Tokyo Inst. Teclmol. 1971. - V. 102 - P. 69-77

60. Bansal G. K., Heuer A. H. //Acta met. 1974. - V. 22. - N 4. - P. 409-417

61. Теоретические и технологические исследования в области огнеупоров. 11ауч. гр./УкрНИО / Сухаревский Б. Я., Гавриш А. М., Алапин Б. Г. и др. M Металлургия, 1968. - Вып. 9. - С. 5-28

62. Оно А. // Miner. J. 1973. - V. 7. - N 2. - Р. 228-231

63. Patil R. N., Sibbarao Е. С. // Acta cryst. 1970. - V. А26. - N 5. - P. 535-54271 .Buljan S. T., McKinstry H. A., Stubican V. S. // J. Amer. Ceram. Soc. 1976. - V 59. - N 7-8. - P. 351-354

64. Bnrke S., Garvie R. J. // Mater. Sci. 1977. - V. 12. - N 7. - P. 1487-1490

65. Ruff O., Ebert F., Stephan E. HZ. Anorg. Allg. Chem. 1926. - Bd. 180. - S. 215224

66. Rauh E. G., Garg S. P. //J. Amer. Ceram. Soc. 1980. -V. 63. -N 3-4. -P. 239-240

67. Галкин 1С). M., Чухланцев В. Г., Леваков E. H. // Цветные металлы. 197 i -N 1. - С. 54-56

68. Ruh R., Rockett T. J. // J. Amer. Ceram. Soc. 1970. - V. 53. - N 6. - P. 360

69. Ruh R., Corfield P. W. //J. Amer. Ceram. Soc. 1970. V. 53. - N 3. - P. 126-12^

70. Boequillon G., Susse C. // Rev. Internat, hautes teniperat. Et Refract. 1969. - Y 6. - N 4. - P. 263-266

71. Сухаревский Б. Я. Алапин Б. Г., Гавриш А. М. Об особенностях полиморфного превращения двуокиси циркония при охлаждении П Доклады АН СССР, 1964.-Т. 156.-N 3.- 677-680

72. Мейер К. Физико-химическая кристаллография Пер. с нем. М.: Металлургия.1972. -480 с.

73. Полежаев Ю. М. Низкотемпературная кубическая и тетрагональная форма двуокиси циркония //Журнал физической химии. 1967. - Т. 41. - N 1 1. -С. 2958-2959

74. Глушкова В. Б. // Редкоземельные металлы, сплавы и соединения. М.: Наука.1973. -С. 216-217

75. Bailey Y. Е., Lewis D., Librant Z. M. // Trans and J. Brit Ceram. Soc. 1972. - V. 71. - N 1. - P. 25-30

76. A.M. Свиридова, H.B. Суйковская Границы прозрачное! и интерференционных пленок окислов гафния и тория в ультрафиолетово!*! области спектра // Оптика и спектроскопия. 1967. - Т. 22. - N 6. - С. 940

77. А.И. Свиридова Оптические свойства и структура пленок двуокиси циркония // Оптика и спектроскопия. 1962. - Т 13. - N 3. - С 425-428

78. Д.П. Добычин, А.К. Погодаев Изменение пористой структуры и свойсчп просветляющих слоев в результате термической обработки // Оптико-механическая промышленность. 1959. - N 12. - С 25

79. Погодаев А.К. Автореф. дис. канд. хим. наук. ГОИ, 1961. - 22 с.

80. А.Н. Теренин Спектры поглощения растворов электролитов // Успехи физических наук. 1937. - Т. 17. - N 1. - С. 1

81. Dnwez P.S., Brown FN., Odell F. The zirconia yttria system // .1. Electrochem Soc. - 1951. - Vol. 98. - P. 356-362

82. Фань Фу-кан, Кузнецов А.К., Келлер Э.К. Фазовые соотношения в системе Y20rZr02. Сообщ. 1. О существовании цирконата иттрия и его физико-химических свойствах. Известия АН СССР ОХН. 1962. - N 7. - С. 1141-1 Мб

83. Фань Фу-кан, Кузнецов А.К., Келлер Э.К. Фазовые соотношения в системе Y2O3-Z1-O2. Сообщ. 2. Твердые растворы. Известия АН СССР. ОХН. 1963 -N4.-С. 601-610

84. Lcfewre J. Some structural modification of fluorite phases in systems, based on Zr02 or НГО2 // Ann. chim. - 1963. - T. 8. - P. 1 17-149

85. Lin Tsu-Hsiang, Yu H.S. Phase equilibria of systems Y20.rZr02 // Kuei Suan Yen Hsueh Pao. 1965. - Vol. - P.22-29

86. Rouanet A. Contribution â l'étude des systèmes zirconia oxydes des lanthanides au voisinage de la fusion: Memoire de thèse // Rev. intern, hautes temp, et refract. -1971. - T. 8, P. 161-180

87. Smith D.K. Newkirk H.W. The crystal structure of baddeleyte and its relation to the polymorphism of Zr02 //Acta crystallogr. 1965. - Vol. 18. - P. 983-991

88. Stubican V.S., Hink R.S., Ray S.P. Phase equilibria and ordering in system ZrO: -Y2O3 // J. Amer. Ceram. Soc. 1978. - Vol. 61. - P. 17-21

89. Горелов В.П. Фазовая диаграмма системы Zr02 Y20;, в области малых содержаний окиси иттрия // Труды Ин-та электрохимии УНЦ АН СССР. -1978.-N28.-С. 69-75

90. Stelle D., Fender В. The structure of cubic Zr02-Y0i s solid solutions by neutron scattering // J. Phys. C: Solid State Phys. 1974. - Vol. 7. - P. 1-11

91. Стрекаловский В.H., Макурин Ю.Н., Вовкотруб Э.Г. Изучение фазовых превращений, дефектности в системе Zr02-Y2C>3 методом комбинационного рассеяния // Известия АН СССР. Неорганические материалы. 1983. - Т. 1(> -С. 925-929.

92. Scott H.G. Phase relationships in the zirconia yttria system. // J. Mater. Sei. -1975. - Vol.10. - P. 1527-1535

93. Александров A.И., Осико В.В., Прохоров М.А., Татаринцев В.М. 1 louu'-, метод получения тугоплавких монокристаллов и плавленых керамических материалов // Вестник АН СССР. 1973. - Т. 12. - С. 29-39.

94. Ю4.Глушкова В.Б., Осико В.В., Щербакова Л.Г. и др. Исследование особенностей . твердых растворов в системе ZiCb-YjO;, г. монокристаллическом состоянии // Известия АН СССР Неорганические материалы. 1977. - Т. 13. - С. 2197-2201

95. Жидовинова С.А. Сравнительная характеристика фазообразования при взаимодействии оксидов РЗЭ и иттрия с оксидом циркония и гафния: Автореф. дис. канд. хим. наук. Свердловск: Институт электрохимии УНЦ АН СССР, 1974. - 21 с.

96. Горелов В.П. Структура и электропроводность твердых электролитов на основе ZrÜ2, стабилизированной окислами редкоземельных элементов: Автореф. дис. канд. хим. наук. Свердловск, Институт электрохимии УНЦ Al l СССР, 1980. -20 с.

97. Горелов В.П., Пальгуев С.Ф. Проверка модели кислородных вакансий для твердых растворов в системе Zr02-Y20;? // Известия АН СССР. Неорганические материалы. 1977.-Т. 13.-С. 181-182

98. Ю8.Глазачев B.C., Лукин Е.С., Балашев В.А., Боровкова Л.Б. Механизм образования твердых растворов в системах У20з-НЮ2 и Y20^-Zr0-Известия АН СССР. Неорганические материалы. 1977. - Т.13. - С. 1814-1S16

99. Ю9.Глушкова В.Б., Сазонова Л.В. Влияние добавок редкоземельных окислов на полиморфизм двуокиси циркония // Химия высокотемпературных материалов Л.: Наука, 1967. С. 83-90.

100. Щербакова Л.Г., Глушкова В.Б., Сапожников P.A. Получение твердых растворов на основе Zr02 и НГО2 и изучение процесса их кристаллизации Известия АН СССР. Неорганические материалы. 1977. - Т. 13. - С. 674-677

101. Физико-химические свойства окислов. Справочник / Под ред. Самсонова Г.В. М.: Металлургия, 1969. - 365 с.

102. Рипан Р., Четяну И. Неорганическая химия. Т. 2 Химия металлов: пер е рум. Батыра / под ред. Спицина В.И., Калли И.Д. М.: Мир, 1972. - 428 с.

103. М8.Торопов H.A., Барзаковский В.П., Лапин ВВ. Диаграммы состояния силикатных систем. М.: Наука, 1965. - Вып. 1. - 563 с.

104. Дедов Н. В., Копаев В. А., Любимова П. Л., Макеев А. А., Соловьев А.П. Исследование свойств высокопрочной керамики на основе диоксида циркония Тез. докл. 4-ая научно-техническая конференция Сибирского химического комбината. Северск, 1996. - С. 70

105. Фиалко М.Б. Неизотерм ическая кинетика в тер^' . анализе. Iomckv Изд-во Томского университета, 1987. - I 10 с.

106. Комраков Б.М., Шапочкин Б.А. Измерение параметров оптических покрытий. М.: Машиностроение, 1986. - 58 с.

107. Аканов А.В. Алгоритмы и программы для численного решения некоторых задач эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1980. - С. 192

108. В.Г. Пейчев, С.Ю. Плинер, А.А. Дабижа Высокопрочная керамика из диоксида циркония с добавкой оксидов иттрия и железа // Стекло и керамика -1991.-N 3. С. 25-28'

109. Scott Н. G. On the continuous transition between two structure types in ilie zirconia-gadolinia system // J. Mater. Sci. 1978. - Vol. 13. - P. 1 592-1593

110. Ploetz C. L., Miccigrosso А. Т., Osica L. M., Jacoby W. R. Dysprosium ceramics Hi. Amer. Ceram. Soc. I960. - Vol. 63. - P. 154-159

111. Thornber M. R., Devan D. J. Mixed oxides of the type M02 (fluorite) M:()-. J. Solid State Chem. - 1970. - Vol. 1. - P. 536-555