автореферат диссертации по машиностроению и машиноведению, 05.02.08, диссертация на тему:Комбинированные ионно-имплантационные и вакуумно-плазменные технологии модифицирования поверхности, обеспечивающие повышение эксплуатационных свойств лопаток ЦНД паровых турбин

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I АНАЛИЗ ПРИЧИН ОТКАЗОВ И ПУТЕЙ ПОВЫШЕНИЯ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ СВОЙСТВ ЛОПАТОК ПАРОВЫХ ТУРБИН (ОБЗОР)

1.1 Анализ причин отказов лопаток паровых турбин.

1.2 Анализ технологических методов, обеспечивающих повышение эксплуатационных свойств лопаток паровых турбин.

1.3 Анализ использования защитных покрытий на рабочих лопатках паровых турбин.

Развитие научно-технического прогресса в области создания изделий нового поколения требует совершенствования существующих и разработки принципиально новых технологических процессов, направленных на повышение долговечности и надежности деталей, что является одной из наиболее важных народнохозяйственных проблем. При этом финишные методы обработки, формирующие физико-химическое состояние поверхностного слоя деталей, играют в большинстве случаев определяющую роль.

К числу наиболее важных и ответственных деталей паровых турбин относятся рабочие лопатки. Тяжелые эксплуатационные условия лопаток при эрозионном и коррозионном воздействии перегретого пара, высоких знакопеременных нагрузок и фреттинге, в большинстве случаев лимитируют их ресурс и надежность. Обеспечение эксплуатационной надежности лопаток на этапе их производства достигается путем применения традиционных методов отделочно-упрочняющей и термической обработки, припайке и приварке стеллитовых пластин. Вместе с тем указанные подходы в большинстве случаев исчерпали свои возможности [1-10].

Анализ литературы показывает [11-32], что одним из наиболее перспективных методов повышения ресурса и надежности высоконагруженных деталей машин является воздействие на их поверхность пучков заряженных частиц - электронных, ионных, плазменных, а также их комбинации. При э^ом на первом этапе поверхностный слой деталей, в зависимости от сорта ионоЬ и режимов имплантации, может быть упрочнен как по дислокационному, дисперсионному и твердорастворному механизмам, так и их комплексному действию [34, 35, 92, 101, 118]. На втором этапе формирования поверхности детали она может быть защищена специальным вакуумно-плазменным покрытием, в том числе и многослойным, обеспечивающим повышение

9 I износо-, коррозионной и эрозионной стойкости [89, 113]. К числу таких покрытий относятся, прежде всего, покрытия на основе металлоподобных и неметаллических соединений (карбидов, нитридов, боридов и др.) [14-20]. Исследованиями установлено, что наиболее благоприятным сочетанием физико-химических и механических свойств обладают нитриды, карбиды, карбонитриды титана [14-20, 22, 24, 31, 32]. В настоящее время они широко используются в качестве поверхностных защитных покрытий на деталях и режущих инструментах [14, 15, 18, 21]. При этом существует целый ряд методов нанесения таких покрытий [14, 15]. В зависимости от требуемых прочности, толщины покрытий, а также размеров, геометрии и тцпа напыляемой детали, применяют наиболее подходящий в каждом конкретном случае метод.

Получившая, в последнее время, распространение комбинированная поверхностная обработка, заключающаяся в сочетании физико-химической и структурно -фазовой модификации поверхности с последующим нанесением защитного покрытия, обеспечивает в сравнении с обработкой в различных вакуумных объемах повышения эксплуатационных свойств [14, 21, 26, 33-37].

Так, например, выполняется ионное азотирование поверхности стали, а затем наносится покрытие нитрида титана ионно-плазменным методом. Такая технология позволяет получить поверхность с повышенными свойствами, улучшить адгезию и износостойкости покрытия [33].

Следует, однако, отметить что исследования в данной области большей I

частью нацелены на повышение сопротивления механическому износу и жаростойкости деталей машин и инструментов [14, 15, 21]. Проведено недостаточное количество исследований и практически отсутствуют литературные данные, касающиеся оценки комплекса эксплуатационных свойств деталей с защитными покрытиями, применительно к условиям работы лопаток паровых турбин. К этим свойствам, прежде всего, относятся характеристики сопротивления влажно-паровой эрозии , усталости и фреттинг -коррозии.

Поэтому, проведение сравнительного исследования по определению характеристик сопротивления эрозионному износу, усталости и фреттингI коррозии титановых сплавов и легированных сталей, используемых для изготовления рабочих лопаток паровых турбин и имеющих на окончательном этапе поверхность, подвергнутую ионной имплантации с последующим нанесением защитного вакуумно-плазменного покрытия, позволит выработать рекомендации по рациональному применению на практике того или иного технологического метода и режима обработки в зависимости от условий их эксплуатации.

Целью данной работы является разработка технологии и создание оборудования для комбинированно ионно-имплантационного и вакуумно-плазменного модифицирования поверхности лопаток цилиндра низкЬго давления (ЦНД) паровых турбин, обеспечивающих повышение >их эксплуатационных свойств.

Для достижения поставленной цели в работе решались следующие основные задачи:

1. Установить влияние физико-химического и структурно- фазового состава ионно-плазменных покрытий на поверхности материалов лопаток паровых турбин на их выносливость, коррозионные и эрозионные свойства.

2. Разработать методики получения многослойных ионно-плазменных покрытий, а также способы упрочнения поверхности материалов лопаток путем комбинированного ионно-имплантационного и вакуумно-плазменного модифицирования. \

3. Исследовать физико-химические и эксплуатационные свойства материалов лопаток (ВТ6, ТС5, 20X13, 15X11МФ) после низкоэнергетической ионной имплантации с последующим нанесением вакуумно-плазменных многослойных покрытий.

4. Разработать высокопроизводительные протяженные источники газовой и металлической плазмы для комбинированного ионно-имплантационного и вакуумно-плазменного модифицирования поверхности болыиеразмерных лопаток паровых турбин. 1

5. Создать опытно-промышленное оборудование, технологии и внедрить их в производство.

На защиту выносятся следующие положения диссертации:

1. Методика для получения многослойных вакуумных ионно-плазменных покрытий на поверхности болыиеразмерных лопаток паровых турбин из титановых сплавов и сталей.

2. Методика, оборудование и режимы комбинированного ионно-имплантационного и вакуумно-плазменного модифицирования поверхности титановых сплавов и сталей. *

3. Способы получения «объемной» газовой плазмы в больших вакуумных пространствах с целью электронного и ионно-имплантационного модифицирования поверхности болыиеразмерных лопаток.

4. Результаты исследований коррозионной, эрозионной, фрретинг-стойкости и сопротивления усталости титановых сплавов и сталей после их комбинирования ионно-имплантационного и вакуумно-плазменного модифицирования поверхности.

5. Технология и оборудования, реализующие процессы комбинированного ионно-имплантационного и вакуумно-плазменного модифицирования поверхности болыиеразмерных лопаток паровых турбин из титановых сплавов и сталей, и обеспечивающие повышение \ их эксплуатационных свойств. ,

Актуальность темы диссертации подтверждается также тем, что ее базовую основу составляют исследования, выполненные автором в рамках :

- научно-технической программы Министерства науки России «Конверсия и высокие технологии 1997 - 2000годы»;

- Федеральной целевой программы «Государственная поддержка интеграции высшего образования и фундаментальной науки на 1997 - 2002 годы»; планов развития науки и техники ФГУП «НЛП «Мотор» (г. Уфа) и ОАО «Ленинградский металлический завод» («ЛМЗ») (г. Санкт-Петербург); комплекс «Сверхпластичность» Уфимский государственный авиационный технологический университет (УГАТУ) - Институт проблем сверхпластичности металлов (ИПСМ) РАН, договор № АТ-МТОЗ - 98 - ИН;

- «Разработка технологии и модернизации установки ЭЛУ-9Б для упрочнения кромок и контактных поверхностей бандажных полок титановых рабочих лопаток последних ступеней ЦНД, для тепловой электростанции (ТЭС) «Алхольма», методом ионной имплантации с примененйем упрочняющего покрытия», договор № 4-22/7 - 99.

Научная новизна.

1. Определены параметры ионно-имплантационного и вакуумно-плазменного модифицирования лопаток ЦНД паровых турбин, обусловливающие формирование структурно-фазового и химического состава их поверхности в соответствии с условиями эксплуатации.

2. Впервые установлены характеристики ДВДР, позволяющие одновременное использование электронного и ионного компонентов плазмы в процессе комбинированного ионно-имплантационного и вакуумно-плазменн'ого модифицирования поверхности и обеспечивающие сокращение длительности технологического цикла обработки лопаток.

3. Разработана феноменологическая модель формирования поверхностного слоя для рабочих лопаток последних ступеней ЦНД паровых турбин, включающая ионно-имплантационную модификацию с последующим нанесением многослойного покрытия.

4. Впервые исследованы параметры плазмы протяженного электродугового испарителя в области токов разряда 1Д = 150 ч- 400А, позволяющие в процессе технологического цикла обработки увеличить в 3,5 раза скорость осаждения покрытия, сохранив в нем неизменным количество капельной фазы и шероховатость поверхности. \ I

Практическая реализация. Разработанные технологические процессы и оборудования использовались при изготовлении ФГУП «НЛП «Мотор» рабочих лопаток ЦНД из титановых сплавов ТС5 и ВТ6 паровых турбин К-255-162, их поставка на ОАО «ЛМЗ» для ТЭС «Алхольма», «Бушер», «Тянь-Вань», Костромской ГРЭС, а также лопаток турбин Т-110-130 и Т-250/300-240 из сталей 20X13 и 15X11МФ Уральского Турбомоторного завода (УТМЗ) (г. Екатеринбург).

1. Апробация работы. Результаты, изложенные в диссертации, докладывались на научно - технических конференциях УГАТУ 1995 - 2002 г.г., ^ . «Аэрокосмическая техника и высокие технологии» (г. Пермь, 2001г.), I

Состояние и перспективы развития вакуумной техники» «ВАКУУМ - 2001» (г. Казань).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 12 научных работ, в которых отражены основные результаты проведенных исследований.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав, основных выводов, изложена на 196 страницах машинописного текста, содержит 83 рисунка, 14 таблиц и библиографию из 125 наименований.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. Впервые для промышленных конструкционных материалов, применяемых для изготовления рабочих лопаток ЦНД паровых турбин тепловых и атомных электростанций - титановые сплавы (ВТ6 и ТС5) и стали (20X13 и 15X11МФ), разработаны технологии и создано оборудовакие реализующее процессы комбинированного ионно-имплантационного * и вакуумно-плазменного модифицирования поверхности и обеспечивающее повышение их эксплуатационных свойств. Для титановых сплавов: сопротивление капельной эрозии - в 1,5 - 2,0 раза, фреттинг - стойкости - в 1,4 - 4,2 раз, предела выносливости - на 13 - 14 %; для сталей: предела выносливости в воздушной атмосфере на 9,4%, а в коррозионной среде на 38,9%, сопротивление капельной эрозии в инкубационный период в 1,35 - 1,4 раза, а в период нормального износа в 1,7 - 3 раза, коррозионной стойкости от 7 до 20 раз, а абразивной - в 3,7 - 4,5 раза.

2. Установлено, что низкоэнергетическое ионное (Е = 300 ч- 1000 эВ, j = 5 -г- 10 мА/см2, Аг + Д = 1 • 1018 ион/см2 + N+" Д = 3 ■ 1019 ион/ём2) модифицирование титановых сплавов и сталей обусловливает, вследствие протекания в поверхностном слое дислокационного, твердорастворного и дисперсионного механизмов упрочнения, повышение их микротвердости на 30 -35 % на глубинах до 110 мкм и образование сложных оксикарбонитридных соединений типа Me х Ny Cz Ok- Это все в совокупности приводит к частичной пассивации поверхности и повышению коррозионной стойкости сталей (20X13: 1Корр. ииы+ = 1 • Ю"5 А, ф HhN+= + 0, 06 В, соответственно, у исходного состояния 1корр.исх. = 3,5 • 10"4 А, Ф„сх = - 0,221 В).

3. Разработана методика получения многослойных вакуумных ионно-плазменных покрытий, заключающаяся в определении функционального назначения каждого из микрослоев: прилегающий к основе детали слой - a^Ti, пластичный и с высокой адгезией; основной рабочий слой 5-TiN, обладающей высокой эрозионной стойкостью; промежуточный, между 1-ми 2-м слоями, слой состоящий из а - Ti + 8 - TiN + 8 - Ti2 N, обеспечивающий высокую когезию микрослоев, прерывание столбчатости структуры и снижающий в I совокупности в многослойной (h > 20 мкм) системе пористость покрытия и его внутренние остаточные напряжения.

4. Разработаны методики, способ и режимы ( заявка № 20021211 89/02 МКП7 С 23 с 14/16 приоритет от 05.08.2002) комбинированного ионно-имплантационного (очистка: Аг +, Е = 300 - 1000 эВ, j = 5-10 мА/см2, Д = 1- 1018 ион/см2, имплантация: К1", Е = 300 - 1000 эВ, j = 5-10 мА/см2,

19 2

Д =3-10 ион/см ) модифицирования поверхности с последующим нанесением вакуумно-плазменного многослойного Ti - Tix Ny - TiN покрытия толщиной от 10 до 40 мкм. Постимплантационный отжиг поверхности обеспечивается посредством поддержания температуры 400 - 450° С в ходе нанесения защитного покрытия. t

5. Впервые разработана конструкция устройства (А.С. SU 1732756 A I F 27В 3/08 от 11.02.1987г., заявка № 2001131244 МПК7 С 23 приоритет от 19.11.2001 г.), для реализации технологии обработки поверхности лопаток паровых турбин, обеспечивающего одновременное использование электронного и ионного компонентов плазмы ДВДР, а также последующее нанесение многослойного покрытия Ti - TixNy - TiN. Разработана электродная схема и конструкция протяженного (L = 1000 мм) электродугового испарителя, обеспечившие на макетной лопатке L = 700 мм неравномерность покрытия 5% при толщине h = 21 мкм; 4% при h = 40 мкм. При этом микротвердость покрытия HV(i.o) = 24000 - 31000 МПа.

6. Разработаны и внедрены в производство пакет технологии и оборудование для ионно-имплантационной и вакуумно-плазменйой модификации поверхности лопаток на базе ФГУП «НПП «Мотор» (г. Уфа).

Проведена обработка и поставка лопаток L = 1315 мм из титановых сплавов ТС5 и ВТ6 для ТЭС «Алхольма» (Финляндия), «Бушер» (Иран), «Тянь-Вань» (Китай) и Костромской ГРЭС (г. Кострома, Россия). \ I I »

1. Жученко Л.А. О восстановлении ресурса рабочих лопаток и дисков паровых турбин / Л.А. Жученко, В.В. Кортенко, Ю.А. Сахнин и др. * // Электрические станции. 2001. - № 5. - С. 21 - 24. 1

2. Сельский С.В. Повышение эрозионной стойкости лопаток турбин закалкой с нагревом ТВЧ / С.В. Сельский, Т.М. Сорокина // Металловедение и термическая обработка металлов. 2000. - № 4. - С. 25 - 27.

3. Гонсеровский Ф.Г. Долговечность паротурбинных рабочих лопаток с учетом ремонта в условиях электростанций / Ф.Г. Гонсеровский, Ю.К: Петреня, В.М. Силевич // Электрические станции. 2000. - № 3. - С. 35 - 38.

4. Гонсеровский Ф.Г. Технико-экономическое обоснование способа ремонта эрозионно-изношенных паротурбинных лопаток в условиях электростанций / Ф.Г. Гонсеровский, В.М. Силевич // Теплоэнергетика. -2002. № 4. - С. 18 - 23.

5. Карев А.Н. Разработка и внедрение высокоэффективной технологии ремонта рабочих лопаток паровых турбин / А.Н. Карев, Ф.А. Хромченко, Д.Р. Должанский и др. // Электрические станции. 1999. - № 12. - С. 16-19.

6. Труби лов М.А Паровые и газовые турбины: Учеб. для вуз. / М.А. Трубилов, Ф.А. Хромченко, П.Р. Должанский и др.; Под ред. А.Г.Костюка, В.В.Фролова. -М.: Энергоатомиздат. -1985. 352 с.

7. Фадеев И.П. Эрозия рабочих лопаток паровых турбин / И.П. Фадеев. М.; Машиностроение. - 1975. - 208 с.

8. Перельман Р.Г. Эрозия элементов паровых турбин / Р.Г. Перельман, В.В. Пряхин. -М.: Энергоатомиздат. 1986. - 181 с.

9. Поваров О.А. Эрозионно-коррозионный износ металлов турбоустановок ТЭС и АЭС / О.А. Поваров, Г.В. Томаров, А.Ф. Гонтаренко и др, // Энергетическое машиностроение. 1991. - №12.- С. 84.

10. Верхотуров А.Д. Технология электроискрового легирования металлических поверхностей / А.Д. Верхотуров, И.М. Муха-Киев: Техника.-1982.181 с.

11. Резинских В.Ф. Исследование перспективных защитных покрытий длялопаток последних ступеней паровых турбин / В.Ф. Резинских, А.Ф. Богачев, В.А. Рыженков и др. // Теплоэнергетика. 1996. - № 12. - С. 28 - 31.

12. Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойствами плазменных покрытий / В.А. Барвинок М.: Машиностроение. -1990. - 384 с.

13. Мухин B.C. Износ инструмента, качество и долговечность деталей из авиационных материалов: Учеб. пособ. / B.C. Мухин, J1.III. Шустер Уфа: УАИ.- 1987. - 217 с.

14. Кипарисов С.С. Карбид титана: получение, свойства, применение / С.С.

15. Кипарисов, Ю.В. Левинский, А.П. Петров М: Металлургия. - 1987. - 216 с.

16. Витязь П.А. Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана / П.А. Витязь, Г.Н. Дубровская, Л.М. Кирилюк Минск: Наука и техника.-1983.- 96 с.

17. Самсонов Г.В.Нитриды / Г.В.Самсонов.-Киев:Наукова думка.-1969.-380 с.

18. Гуменик Д. Высокотемпературные неорганические покрытия / Д. Гуменик М: Металлургия. - 1973. - 339 с.

19. Верещака А.С. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями / А.С. Верещака М: Машиностроение. - 1993. - 336 с.

20. Кудинов В.В. Нанесение плазмой тугоплавких покрытий / В.В. Кудинов, В.М. Иванов. -М: Машиностроение. 1981. - 192 с.

21. Белый А.В. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев / А.В. Белый, Г.Д. Карпенко, Н.К. Мышкин. М.: Машиностроение. - 1991. - 208 с.

22. Белан Н.В. Повышение эрозионной стойкости рабочих лопаток компрессора ГТД / Н.В. Белан, В.В. Омельченко, А.Н. Прокопенко и др. // Авиационная промышленность. 1986. - № 10. - С. 19-20.

23. Будилов В.В. Физические основы вакуумно плазменной технологиинанесения покрытий: Учеб. пособ. / В.В. Будилов. Уфа, 1993. - 74 с.

24. Душкин A.M. Защитные покрытия для стальных лопаток компрессора ГТД /A.M. Душкин, А.Б. Прощин, Е.Г. Иванов // Авиационная промышленность. 1988. - № 7. - С. 13 - 15.

25. Крайнов В.К. Влияние обработки поверхности ионами аргона (на эрозионную стойкость лопаточных сталей / В.К. Крайнов, В.А. Рыженков, С.И. Погорелов и др. // Прикладная физика. 2001. - № 2. - С. 71 - 74.

26. Рыженков В.А. Исследование антикоррозионных свойств износостойких покрытий для защиты рабочих лопаток паровых турбин мощных энергоблоков / В.А. Рыженков, С.И. Цогорелов, С.И. Нефедкин // Вестник МЭИ. 2001. -№5.-С. 38-41.

27. А. СССР № 1267819 МКИ2 С23С 14/00. Способ нанесения покрытий в вакууме / В.А. Белоус, Г.Н. Картмазов, B.C. Павлов и др.(СССР) // Открытия. Изобретения; Опубл. 22.08.86. Бюлл. № 40.

28. Смыслов A.M. Оптимизация процессов комплексной ионно-плазменной обработки крупногабаритных изделий / A.M. Смыслов, М.К. Смыслова, Ю.М.187 i

29. Дыбленко // Перспективные технологии физико-химической размерной обработки и формирования эксплуатационных свойств металлов и сплавов: Всерос. науч.-практ. конф./Уфа, 10-14 сент. 2001г. -Уфа, 2001.-С. 198-200.

30. Маринин В.Г. Эрозия PVD-покрытий при воздействии кавитации и пароводяного конденсата/ В.Г. Маринин //Вакуумные технологии и оборудование: Сб.докл. /5 Междунар. конфер, Харьков, 22 27 апр. 2002г. -Харьков, 2002.- С. 177 - 180.

31. Глазков А.А. Пучково-плазменные процессы в вакуумно-технологических системах ионной обработки / А.А. Глазков, Р.А. Милованова и др. // Вакуумная техника и технология. 1997. - Т.7 - № 2. - С. 14-15.

32. Борисов Д.П. Генерация объемной плазмы дуговым разрядом снакаленным катодом / Д.П. Борисов, Н.Н. Коваль, П.М. Щанин // Известия высших учебных заведений. Физика. 1994. -№3.-С. 115 - 120.

33. А. СССР № 1291317, МКИ Установка для электрической размерной обработки / В.В. Атрощенко, Ю.М. Дыбленко, М.Ю. Герцман и др.(СССР). Опубл. 22.10.1986. \

34. А. СССР № 1732756, МКИ F 27 В 3/08 Вакуумная установка / Ю*М. Дыбленко, С.А. Мельников, В.Ф. Смоленков (СССР). Заявл. 19.12.1989; Опубл. 08.01.92.

35. Лахтин Ю.М. Материаловедение: Учебник для высших технических учебных заведений / Ю.М. Лахтин, В.П. Леонтьева 3-е изд. - М.: Машиностроение. - 1990. - 528 с.

36. Сичиков М.Ф. Металлы в турбостроении / М.Ф. Сичиков М.: Машиностроение. - 1974. - 288 с.

37. Ланская К.А. Высокохромистые жаропрочные стали / К.А. Ланская Мл Металлургия. - 1976. - 216 с.

38. Масленков С.Б. Жаропрочные стали и сплавы: Справочное издание / С.Б. Масленков М.: Металлургия. - 1983. - 192 с.

39. Сорокин В.Г. Марочник сталей и сплавов / В.Г. Сорокин, А.В. Волосникова, С.А. Вяткин и др; Под общ. ред. В.Г. Сорокина. М.: Машиностроение. - 1989. - 640 с.

40. Цвиккер У. Титан и его сплавы: Пер. с нем. / У. Цвиккер. Берлин - Нью - Йорк, 1974. - М.: Металлургия. - 1979. - 512 с.

41. Солонина О.П. Титановые сплавы. Жаропрочные титановые сплавы / О.П. Солонина, С.Г. Глазунов . М.: Металлургия. - 1976. - 448 с.

42. Глазунов С.Г. Титановые сплавы. Конструкционные титановые сплавы / С.Г. Глазунов, В.Н. Моисеев М.: Металлургия. - 1974. - 368 с.

43. Колачев Б.А. Металловедение и термическая обработка цветных металлов: Учебник для вузов 3-е изд., перераб. и доп. / Б.А. Колачев, В.И. Елагин, В.А. Ливанов.-М.: МИСИС. - 2001. - 416 с. '

44. Жук Н.П. Курс коррозии, защиты металлов / Н.П. Жук М.: Металлургия.- 1968.-470 с.

45. Горелик С.С. Рентгенографический и электронно-оптический анализ: Учебное пособие для вузов/ С.С. Горелик, Ю.А. Скаков, J1.H. Расторгуев. 3-е изд. доп. и перераб. - М.: МИСИС. - 1994. - 328 с.

46. Миркин Л.И. Рентгеноструктурный контроль машиностроительных материалов: Справочник /Л.И. Миркин М.: Машиностроение. - 1979. - 132 с.

47. Тушинский Л.И. Исследование структуры и физико-механических свойств покрытий /Л.И. Тушинский, А.В.Плохов Новосибирск: Наука.-1986. - 200 с.

48. TP 1.4.1843-87. Нанесение износостойких ионно-плазменных покрытий на штамповую оснастку для изотермической штамповки с использованием эффекта сверхпластичности. - НИАТ, 1988.16 с.

49. Арцимович Л.А. Плазменные ускорители / Л.А. Арцимович М: Машиностроение. - 1973. - 136 с.

50. Морозов А.И. Физика и применение плазменных ускорителей / А.И. Морозов Минск: Наука и техника. - 1974. - 330 с. 1

51. Блинов И.Г. Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники / И.Г. Блинов, A.M. Дороднов, В.Е. Минчаев. М.: ЦНИИ «Электроника». - 1974. - 84 с.

52. Смыслов A.M. Пути повышения эксплуатационной надежности рабочих лопаток авиационных ГТД / A.M. Смыслов, В.П. Лесунов, Ю.М. Дыбленко // Технологическое обеспечение эксплуатационных свойств деталей ГТД.- Уфа, 2002.-С. 2-378.

53. Баранов О.О. Процесс ионно-лучевой модификации поверхности / О.О. Баранов, Г.И. Костюк // Вакуумные технологии и оборудование: Сб. докл. / V Междунар. конфер., Харьков, 22-27 апр. 2002г. Харьков, 2002. - С. 173.

54. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов / М.Д. Габович. М.: Атомиздат. - 1972. - 200 с.

55. Перков Н.А. Разряды с полым катодом: Материалы конференции по плазменным испарителям. / Н.А. Перков. Минск, 1973. - С. 233 - 234.

56. Дороднов A.M. Анализ и исследование катодных процессов в сильноточном дуговом разряде; Под общ. ред. JI.A. Арцимовича / A.M. Дороднов -М.: Машиностроение. 1973. - С. 157 - 169. ,

57. Ломино Н.С. Межэлектродная плазма вакуумной дуги в атмосфере азота / Н.С. Ломино, Г.Н. Полякова, А.А. Андреев // Вакуумные технологии и оборудование: Сб. докл. / V Междунар. конфер., Харьков, 22 -27 апр. 2002г. -Харьков, 2002. - С. 212 - 218.

58. Винтизенко Л.Г. Дуговой генератор для создания плазменного потока большого сечения / Л.Г. Винтизенко, Н.С. Ломино, Г.Н. Полякова, А.А. Андреев // Приборы и техника эксперимента. 2000. - № 3. - С. 98 - 100.

59. Семенов А.П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение / А.П. Семенов; Под ред. Г.А. Месяца- Улан-Удэ: Изд-во Бурятского научного центра СО РАН. 1999.-207 с.

60. Метель А.С. Источники пучков заряженных частиц большого сечения на основе тлеющего разряда с холодным полым катодом: Сбор. / А.С. Метель // Плазменная эмиссионная электроника. Улан-Удэ, - 1991. - С. 77-81.

61. Материалы 2-й Всесоюзной конференции по плазменным ускорителям, (Минск, 1973).-Минск, 1973. -С. 151-186.

62. Романов И.Г. Низкоэнергетическая ионная модификация титановыхсплавов / И.Г. Романов, Ю.П. Тарасенко, И.Н. Царев // Физика и химияSобработки материалов. 1997. - № 2. - С. 75 - 78.

63. Бецофен С.Я. Структура и свойства ионно-плазменных покрытий TiN / СЛ. Бецофен, Л.М. Петров,Э.М. Лазарев //Металлы. -1990. № 3. - С. 158 - 161.

64. Борисов Д.П. Ионно-плазменное формирование износостойких слоев на поверхности конструкционной стали / Д.П. Борисов, И.М. Гончаренко и др. // Физика и химия обработки материалов. 1997. - № 4. - С. 40 - 44.

65. Тюменцев А.Н. Влияние низкоэнергетического облучения на микроструктуру покрытий нитрида титана / А.Н. Тюменцев, Ю.П. Пинжик и др. // Поверхность. 1998. - № 10. - С. 92 - 100.

66. Коваль Н.Н. Источники низкотемпературной плазмы и электронных пучков на основе дуговых разрядов низкого давления с полым анодом / Н.Н. Коваль. Томск: ИСЭ СО РАН. - 2000. - С. 45.

67. Моисеев В.Ф. Влияние азота на структуру и свойства упрочняющих поверхностных покрытий на основе титана / В.Ф. Моисеев, Г.С. Фукс-Рабинович, Г.К. Досбаева и др. // Физика и химия обработки материалов -1991.-№3.-С. 118-121.

68. Андреев А.А. Двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд и перспективы его использования / А.А. Андреев, Л.П. Саблев и др. // Вакуумные покрытия 87 / IV Науч. тех. конфер. - Рига, 1987. - С. 63 - 65.

69. Дыбленко Ю.М. Особенности технологии нанесения покрытий на крупногабаритные изделия /Ю.М. Дыбленко, С.А. Мельников // Гибкие производственные системы в электротехнологии / Всесоюз. науч. тех. конфер. -Уфа, 1988.-С. 67-69.

70. Зайкин Ю.А. Особенности радиационно-стимулированной диффузии икинетики развития микропоров в металлах / Ю.А. Зайкин, Б.А. Алиев, А.С.t

71. Потанин // Радиационная физика твердого тела : Сб. докл. / X Межнационал. совещ.-М.: 2000. - С. 645.

72. Блинов И.Г. Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники / И.Г. Блинов, А.М Дороднов, В.Е. Минчаев. М.: ЦНИИ «Электроника». - 1974. - 17с.

73. Морозов А.И. Плазменные ускорители / А.И. Морозов; Под общ. ред. Л.А. Арцимовича. -М: Машиностроение. 1973. - 5с.

74. Дороднов A.M. Плазменные ускорители: Учебное пособие / A.M. Дороднов, Н.П. Козлов. М: МВТУ. - 1973. - 15 с.

75. Кесаев И.Г. Катодные процессы электрической дуги / И.Г. Кесаев. М: Наука. - 1968.- 125 с.

76. Смыслов A.M. Комплексная ионно-плазменная обработка крупногабаритных деталей из титановых сплавов / A.M. Смыслов, Ю.М.

77. Дыбленко, М.К. Смыслова // Аэрокосмическая техника и высокие технологии: Сб. докл. / Науч. тех.конфер. Пермь, 2001. - С.259. »

78. Попов В.Ф. Ионно лучевые установки / В.Ф. Попов. - JI.: Энергоиздат. - 1981.- 136 с.

79. Ионно- лучевая модификация материалов: Всесоюз. Науч. тех. конфер. -Каунас, 1989.-233 с.

80. Ягодкин Ю.Д. Ионно-лучевая обработка материалов и сплавов / Ю.Д. Ягодкин // Итоги науки и техники (Металловедение и металлообработка) М.: ВИНИТИ. - 1990.- 136 с.

81. Достанко А.П. Плазменная металлизация в вакууме / А.П. Достанко, С.В. Грушнецкий, М.И. Пикуль и др. Минск: Наука и техника. - 1983. - 183 с.

82. Бурдовицин В.А. О механизме реактивного распыления некоторых металлов / В.А. Бурдовицин, Е.А. Ицкович . // Физика и химия обработки материалов. 1984. - № 2.- С. 47 - 49.

83. Минько Л.Я. Получение и исследование импульсных плазменных потоков / Л.Я. Минько. Минск: Наука и техника. - 1970. - 15с.

84. Глазков А.А. Современные технологии в ускорителях заряженных частиц/ А.А. Глазков // Вакуумная техника и технология. 1997. - Т.7 - № 1.-С. 8-10.

85. Козлов В.И. Источник азотной плазмы ИПА / В.И. Козлов // Технический отчет Государственного научно-исследовательского института прикладной механики и электродинамики МАИ.

86. Ходаскевич В.В. Влияние ионной обработки подложки на физикочмеханические свойства осаждаемых покрытий / В.В. Ходаскевич, И.А.

87. Солодухин // Вакуумная техника и технология. 1997. - № 2. - С. 5-10.

88. Андреев А.А. Исследование некоторых свойств конденсатов Ti N2, Zr -N2, полученных осаждением плазменных ионов в вакууме / А.А. Андреев, И.В. Гаврилов // Физика и химия обработки материалов. - 1980. - № 3. - С. 64 - 66.

89. Бычков С.А. Многослойные и многокомпонентные ионно-плазменные покрытия / С.А. Бычков, А.Г. Моляр, О.Ю. Нечипоренко // Вакуумныетехнологии и оборудование : Сб. докл. / V Междунар. конфер. Харьков, 23-27 апр. 2002г. - Харьков, 2002. - С. 283 - 284.

90. Моляр А.Г. Многослойные коррозионно-стойкие ионно-плазменные покрытия / А.Г. Моляр, J1.M. Петров, О.Ю. Нечипоренко // Вопросы авиационной науки и техники. 1993. - № 2. - С. 39 - 48.I

91. Чаттерджи Фишер Р Азотирование и карбонитрирование / Чаттерджи- Фишер Р, Эйзелл Ф.; Под ред. Супова А.В.,пер. с нем М.: Металлургия. -1990.-280 с.

92. Геринг Г.И. Особенности структурно фазового состояния поверхности титановых сплавов под действием мощного ионного пучка / Г.И. Геринг, B.C. Ковивча, Т.К. Панова // Поверхность. Физика, химия, механика. - 1995. - № 12.- С. 68 72. *

93. Шаркеев Ю.П. Дислокационные структуры и упрочнение ионнс) -имплантированных металлов и сплавов /Ю.П. Шаркеев, А.Н. Диденко, Э.В. Козлов //Известия высших учебных заведений. Физика.-1994.-№ 5. С. 92 - 108.

94. Ионная имплантация; Под ред. Д. Хирвонена.-М.: Металлургия.-1985. -391 с.

95. Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы / Ф.Ф. Комаров М.: Металлургия. - 1990. - 216 с. \

96. Мартыненко Ю. В. Эффекты дальнодействия при ионной имплантации / Ю.В. Мартыненко // Итоги науки и техники (Пучки заряженных частиц и твердое тело). М.: ВИНИТИ. - 1993. - Т. 7. - С. 82 - 112.

97. Хмелевская B.C. Итоги науки и техники. / B.C. Хмелевская, С.П. Соловьев, В.Г. Малынкин // Пучки заряженных частиц и твердое тело М.: ВИНИТИ. -1990. - Т.2. - С. 151 - 193.

98. Жук Н.П. Коррозия и защита металлов. Расчеты /Н.П. Жук- М. : Машкиз. 1957. -331с. 1

99. Guseva M.I. Implantation-Plasma Nitriding / M.I. Guseva, G.V. Gordeeva, Yu.V. Martynenko // Radiation Effects & Defects in Solids. 2001. - P. 191-203.

100. Il'enko B.P. Plasma Lens Focusing and Governing of MeV Metallic Ions '/ B.P. Il'enko, I.M. Nekludov, I.N. Onishchenko: In Proc. / 1-st International Congress on Radiation Physics, High Current Electronics and Modification of Material^.t

101. Tomsk (Russia), 2000. P. 147.

102. Martynenko Yu.V. Dislocation Growth under Ion Implantation / Yti.V Martynenko, P.G. Moskovkin: In Proc. / 1-st International Congress on Radiation Physics, High Current Electronics and Modification of Materials. Tomsk (Russia), 2000. -P. 94-96.

103. Mirtich M.I. Ion beam deposited protective films / M.I. Mirtich AIAA pap. - 1981.-№ 672.-P.8.

104. ТВЕРЖДАЮ» ый конструктор «Мотор»1. А.Ф. Ивах 2003 г1. АКТ

105. Внедрения результатов диссертационной работы Дыбленко Ю.М. «Повышение эксплуатационных свойств лопаток ЦНД паропых турбин путем комбинированного ионно-имплантационного и вакуумно-плазменного модифицирования поверхности»

106. Проведена обработка и поставка лопагок по разработанным технологиям для ТЭС «Алхольма» (Финляндия), «Бушер» (Иран), «Тянь-Вань» (Китай), Костромской ГРЭС (г. Кострома, Россия).

107. Е.13. Зиновьев А.А. Быбин А.С. Гаврилов1. Гл. инженер ^

108. Гл. металлург Ведущий конструктор

109. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГОСУДАРСТВЕННОМ КОМИТЕТЕ СССР ПО НАУКЕ И ТЕХНИКЕ , (Г0СК0МИ30ВРЕТЕНИЙ)

110. На основании полномочий, предоставленных Правительством СССР, Госкомизобретений выдал настоящее авторское свидетельство на изобретение:1. Вакуумная установка" '

111. Автор (авторы): Дь1бленко Михайлович и другие,указанные в описании

112. УФИМСКИЙ АВИАЦИОННЫЙ ИНСТИТУТ ИМ.СЕЕГО Заявитель: ОРДЖШЭДЗЕ1. Заявка №4771834 Приоритет изобретения 19декабря 1989г

113. Зарегистрировано в Государственном реестре изобретений СССР8 января 1992г. Действие авторского свидетельства распространяется на всю территорию Союза ССР.1. Председатель Комитета1. Начальник отдела1. ГОССШ1' "А;:госз'да»"1. БПБЛПОХГ'-г/!