автореферат диссертации по электронике, 05.27.02, диссертация на тему:Источники широкоапертурных ионных пучков на основе вакуумного дугового разряда в сильном магнитном поле

? 7 $ о Я

- ' " РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

На правах рукописи Экз. _

НИКОЛАЕВ Алексей Геннадьевич

ИСТОЧНИКИ ШИРОКОАПЕРТУРНЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ НА ОСНОВЕ ВАКУУМНОГО ДУГОВОГО РАЗРЯДА В СИЛЬНОМ МАГНИТНОМ ПОЛЕ

05.27.02. - вакуумная и плазменная электроника

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

.ТОМСК-1998

Работа выполнена в Институте сильноточной электроники СО РАН, г. Томск.

Научные руководители: доктор технических наук, профессор

Оке Е.М.

кандидат физико-математических наук Юшков Г.Ю.

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук

Рябчиков А.И. (Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете) доктор технических наук, профессор Семенов А.П. (Отдел физических проблем БНЦ СО РАН, гор. Улан-Удэ)

Ведущая организация: Всероссийский электротехнический институт

гор. Москва.

Защита состоится"_"_ 1998 г. в"_" часов

на заседании специализированного совета Д.003.41.01 при Институте сильноточной электроники СО РАН (634055, г.Томск-55, пр. Академический, 4)

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Института сильноточной электроники СО РАН.

Автореферат разослан "ЯЗ " Очр^.М 1998 г.

Ученый секретарь специализированного совета, доктор физико-математичеддар-'Наук профессор

с-

.И.Проскуровский

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. Наблюдающийся в последнее время неослабевающий интерес к исследованию вакуумного дугового разряда обусловлен не только стремлением понять природу катодного пятна вакуумной дуги, но в большей степени широким использованием такого разряда в качестве генератора плотной плазмы для сильноточных коммутаторов, ионно-плазменных напылительных устройств и источников ионов металлов. Вакуумно-дуговые ионные источники относятся к тем немногочисленным типам источников, для которых магнитное поле не является необходимым условием их работы. Однако известно, что создание в анодной области вакуумной дуги даже относительно слабого магнитного поля, влияющего только на электронный компонент плазмы, приводит к увеличению тока эмиссии, улучшает равномерность распределения плотности эмиссионного тока и обеспечивает генерацию двухкомпонентных пучков ионов газов и металлов. Особенность вакуумного дугового разряда состоит в том, что все основные процессы, определяющие установившиеся параметры плазмы и ее эмиссионные свойства, происходят в достаточно небольшой области, прилегающей к катоду. Это делает возможным создание в устройстве такого типа без больших энергетических затрат достаточно сильного магнитного поля, влияющего не только на электронный, но и на ионный компонент тока дугового разряда. Привлекательность использования в вакуумно-дуговом ионном источнике сильного магнитного поля обусловлена как возможностью дальнейшего увеличения тока эмиссии, так и повышения средней зарядности ионов в плазме из-за возрастания времени жизни ионов в области активной ионизации. Кроме того, использование сильного магнитного поля, локализованного в прикатодной области вакуумного дугового разряда, может обеспечить стабильное инициирование вакуумной дуги при предельно низких давлениях остаточного газа, а также улучшить и другие важные параметры источника ионов на основе вакуумной дуги.

Таким образом, тематика диссертационной работы, связанная с дальнейшим развитием вакуумно-дуговых ионных источников на основе использования в разрядной системе сильного магнитного поля и направленная на модификацию существующих источников такого типа, представляется достаточно актуальной.

Целью настоящей работы являются:

1. Создание в ионном источнике системы инициирования вакуумной дуги на основе вспомогательного газового разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях, стабильно функционирующего при предельно низких давлениях остаточного газа и обеспечивающего при минимальном уровне "примеси" ионов газа максимально высокий ресурс работы устройства.

2. Исследование влияния сильного магнитного поля на параметры вакуумного дугового разряда и ионно-эмиссионные свойства плазмы вакуумной дуги.

3. Модернизация на основании проведенных исследований широ-коапертурных источников ионов металлов на основе вакуумного дугового разряда.

Научная новизна работы заключается в том, что:

1. Показано, что при использовании вспомогательного разряда в скрещенных ЕхВ полях типа Пеннинга для инициирования вакуумной дуги переход в область значений сильных магнитных полей приводит к снижению рабочего давления вспомогательного разряда до уровня Ю-3 Па и обеспечивает стабильное инициирование вакуумной дуги с ресурсом более 107 импульсов.

2. На основании исследований параметров и ионно-эмиссионных свойств плазмы вакуумной дуги показано, что созданное в катодной области разряда сильное магнитное поле величиной индукции порядка 1 Тл обеспечивает значительное увеличение напряжения горения, приводя к возрастанию средней зарядности ионов плазмы.

Достоверность и обоснованность результатов работы подтверждается систематическим характером исследований, использованием независимых дублирующих экспериментальных методик, сопоставлением результатов экспериментов и численных оценок, а также сравнением с результатами других исследователей, как в нашей стране, так и за рубежом, практической реализацией научных положений и выводов при создании и модернизации ряда источников ионов.

Практическая ценность работы заключается в том, что на основе проведенных исследований проведена модернизация ряда источников ионов, обеспечившая существенное улучшение их рабочих характеристик и эксплуатационных параметров, - источника "Титан", разработанного в ИСЭ СО РАН и поставленного в Технологический университет Гонг-Донг (Гуанчжоу, Китай); источника ионов Меууа-У, Национальной лаборатории им. Лоуренса (Беркли, США); источника Меууа-НА Института ядерной физики низких энергий при Пекинском педагогическом университете (Пекин, Китай); источника Меууа-1У Ускорительного центра 051 (Дармштадг, Германия).

На защиту выносятся следующие научные положения:

1. При использовании для инициирования катодных пятен вакуумной дуги вспомогательного газового разряда в скрещенных ЕхВ полях типа Пеннинга, сильное магнитное поле (уровня 1 Тл) обеспечивает понижение предельного давления остаточного газа, при котором возможно стабильное зажигание вакуумного дугового разряда, до величины З'Ю"3 Па, при этом ресурс системы инициирования составляет более, чем 107 импульсов.

2. В сильном магнитном поле напряжение горения вакуумного

дугового разряда возрастает в 3-5 раз, достигая значений для катодов из А1 и - 80-100 В, а для катодов из более тяжелых металлов (Та, XV) -120-140 В, приводя к повышению средней зарядности ионов металла в 1,3-2 раза.

3. Сильное магнитное поле, локализованное в катодной области разрядной системы вакуумных дуговых источников ионов, обеспечивает, наряду с увеличением зарядности, повышение в 3-5 раз тока эмиссии ионов. Сочетание такого поля с сеточной стабилизацией эмиссионной поверхности плазмы приводит к снижению неоднородности распределения плотности ионного тока по сечению пучка в 2 раза, достигая 15-20 %, а в случае использования сетки с переменной прозрачностью неоднородность снижается до 10 %, при этом уменьшение ионного тока в результате потерь ионов на эмиссионной сетке компенсируется за счет повышения величины магнитного поля.

4. Созданные на основе вакуумного дугового разряда в сильном магнитном поле различные модификации источника ионов металла позволяют получать широкоапертурные (70-250 см2) цилиндрические и ленточные ионные пучки с длительностью от сотен микросекунд до непрерывного режима, током ионов от 1 А (400 мкс) до 70 мА (непрерывный режим) при ускоряющем напряжении 10- 50 кВ, и отличаются большей величиной средней зарядности, более высокой эффективностью извлечения ионов и ресурсом разрядной системы, ограниченным только эрозией материала катода.

Апробация. Результаты работы докладывались и обсуждались на XV и XVII Международных симпозиумах по разрядам и электрической изоляции в вакууме (Дармштадт, Германия, 1992; Беркли, США, 1996), У-УН Международных конференциях по ионным источникам (Пекин, Китай, 1993; Вистлер, Канада, 1995; Таормина, Италия, 1997), XXII Международной конференции по явлениям в ионизованных газах (Хобокен, США, 1995), I Всесоюзном совещании по плазменной эмиссионной электронике (Улан-Удэ, 1991), IX Симпозиуме по сильноточной электронике (Екатеринбург, 1992), VII Совещании по применению ускорителей заряженных частиц в народном хозяйстве (С-Петербург, 1992), П-1У конференциях по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц (Свердловск, 1991; Томск, 1994; Томск, 1996).

Публикации. По результатам исследований по теме диссертации опубликовано 25 работ.

Структура диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав и заключения; общий объем диссертации: 124 страницы машинописного текста, 62 рисунка; список цитируемой литературы включает 123 наименования.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обосновываются актуальность, цели и научная новизна работы. Излагается краткое содержание диссертации и формулируются выносимые на защиту научные положения.

В первой главе на основе критического анализа литературных данных рассмотрены современный уровень развития ионных источников на основе дуговых разрядов, способы повышения эффективности отбора ионного тока из разрядной плазмы и методы решения проблемы повышения ресурса ионных источников такого типа.

Показано, что особенности использования вакуумного дугового разряда для генерации ионных пучков обуславливает ряд требований к системе инициирования, среди которых одними из наиболее важных представляются обеспечение ее ресурса, превосходящего время работы всех остальных узлов ионного источника и отличающейся минимально возможными энергетическими затратами, простотой и надежностью конструктивного исполнения. На основании анализа различных систем зажигания вакуумного дугового разряда сделан вывод, что указанным требованиям соответствуют устройства, в которых для возбуждения вакуумной дуги используется плазма вспомогательного газового разряда. Отмечено, что для стабильного зажигания и горения вспомогательного разряда требуется давление в разрядном промежутке > 10*2 Па. Такой относительно высокий уровень давления может приводить к появлению нежелательной "примеси" ионов остаточных газов. Для снижения рабочего давления предлагается использование сильного магнитного поля уровня 1 Тл.

В этой главе также рассмотрены параметры, ионно-эмисионные свойства и конструктивные особенности ионных источников на основе вакуумной дуги. Показано, что создание эффективного ионного источника требует, наряду с получением необходимой плотности плазмы, обеспечения условий для отбора максимально возможного тока ионов. Перечислены методы обеспечения таких условий и отмечено, что применение магнитного поля обуславливает улучшение параметров и эмиссионных характеристик ионных источников такого типа. Отмечено, что использование в вакуумно-дуговом источнике ионов сильного магнитного поля приводит также к увеличению средней зарядности ионного пучка, а в условиях принудительного напуска рабочего газа - к появлению в плазме ионов этого газа. В заключении главы формулируются задачи исследований.

Во второй главе приводятся результаты экспериментальных исследований, посвященных инициированию вакуумной дуги плазмой вспомогательного пеннинговского разряда в сильном магнитном поле. Разрядный промежуток вакуумной дуги был образован катодом и полым анодом и эти же электроды являлись катодами инициирующего

катод соленоид

вспом. анод

полый анод

(Ж!*

пеннинговского разряда (рис.1). В качестве анода пеннинговского разряда использовался дополнительный кольцевой электрод, размещенный между катодом и полым анодом. Магнитное поле. ячейки Пеннинга вспомогательного разряда амплитудой до 1,5 Тл создавалось импульсным соленоидом, причем длительность импульса магнитного поля на порядок величины превышала длительность дугового разряда.

Несмотря на то, что пеннин-говский разряд стабильно зажигался и функционировал в широком диапазоне рабочих давлений от 1 до 10"4 Па при приложении к электродам напряжения менее 10 кВ, стабильное инициирование вакуумной дуги обеспечивалось лишь в том случае, если пеннинговский разряд функционировал в сильноточной (100-300 мА) низковольтной (500 В) форме горения в течении более, чем 50 мкс. На основании проведенных исследований показано, что увеличение магнитного поля приводит к значительному снижению давления, при котором возможно зажигание пеннинговского разряда в сильноточной форме горения (рис.2), обеспечивая тем самым стабильное зажигание катодных пятен вакуумной дуги вплоть до давлений (2-3)-Ю-3 Па. Снижение рабочего давления, необходимого для функционирования газоразрядной системы инициирования, обеспечивает уменьшение доли газовых "примесей" в пучке ионов металла до уровня менее 0,05.

Проведенные численные оценки напряженности электрического В= 1,5 Тл поля на поверхности катода при

Газ - N2

Рис Л

Изаж, КВ

горении вспомогательного пеннинговского разряда подтверждают, что совокупность достигнутых параметров вспомогательного разряда достаточна для реализации известного механизма инициирования катодных пятен вакуумной дуги в результате зарядки диэлектрических включений на катоде ионным током из плазмы и их последующего пробоя. Так, например, время, необходимое для достижения требуемого для пробоя значения напряженности поля на катоде порядка Е > 106 В/см, оцененное по известному выражению:

.¡т =£б0Е, (1)

составляет в сильноточном режиме горения вспомогательного разряда т

0,005 0,01 0,015 р, Па Рис.2

> 40 мкс, что близко к наблюдаемому в экспериментах значению 50 мкс.

Показано, что система инициирования вакуумной дуги на основе вспомогательного пеннинговского разряда обеспечивает стабильное инициирование вакуумной дуги с ресурсом более 107 импульсов. Анализ состояния поверхности катодов после испытаний показал, что ресурс данной системы инициирования обусловлен уносом материала катода при горении вакуумной дуги и, следовательно, может быть легко повышен при увеличении размеров катода.

Сильное магнитное поле, обеспечивая стабильное зажигание вакуумной дуги, приводит и к повышению эффективности извлечения ионов из плазмы. Показано, что в исследуемой разрядной системе ток ионов К существенно превышал значения П, характерные для вакуумно-дуговых ионных источников, и составлял 1-3 А при характерной длительности импульса тока вакуумной дуги 200 мкс.

Третья глава посвящена вопросам влияния магнитного поля на зарядовое распределение ионов плазмы вакуумной дуги. Эксперименты по влиянию сильного магнитного поля, геометрии разрядного промежутка, тока и других параметров вакуумного дугового разряда на его напряжение горения проводились с использованием разрядной системы вакуумной дуги, помещенной в магнитное поле величиной до 3,5 Тл. Масс-зарядовый состав плазмы вакуумной дуги анализировался в ходе совместных экспериментов с сотрудниками Национальной Лаборатории им. Лоуренса (г. Беркли, США) при помощи время-пролетного масс-спектрометра.

Показано, что создание сильного магнитного поля в катодной области вакуумной дуги приводит к снижению доли одно- и двух-зарядных ионов при одновременном заметном повышении многозарядового ионного компонента. Наблюдалась строгая корреляция повышения средней зарядности ионов и возрастания напряжения горения дуги (рис.3). Сравнение достигнутой величины напряжения горения дуги с потенциалами ионизации показало, что для достижения заметной доли требуемой кратности ионизации необходимо, чтобы напряжение горения дуги достигало величины, близкой к искомому потенциалу ионизации. ид> в <д> Значения напряжения горения и

Катод

средней зарядности при магнитном поле 1,5 Тл показаны в таблице 1.

Таблица 1.

20,

0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 1.2В)Тл Рис.3

Катод и„ <0>

85 2,0

А1 90 2,5

"Л 100 3,7

Та 125 4,1

\У 130 4,2

При дальнейшем повышении магнитного поля свыше 1 Тл увеличение напряжения горения и средней зарядности менее значительно (рис.3). Сравнение характерных размеров области ионизации с ларморовскими радиусами заряженных частиц плазмы показало, что при указанных значениях магнитного поля ларморовский радиус замагни-ченных ионов становится сравним с характерным размером области ионизации и ионы также начинают удерживаться магнитным полем. Поскольку при достигнутом уровне магнитного поля обеспечивается замагничивание как электронного, так и ионного компонентов плазмы, то устанавливающееся зарядовое распределение ионов обуславливается ионизационной способностью электронов, определяемой их энергией. В связи с этим указывается, что дальнейшее увеличение зарядности ионов плазмы возможно при обеспечении условий повышения температуры электронов в результате дальнейшего возрастания напряжения горения дуги.

В четвертой главе приведены особенности конструкций, параметры и характеристики ионных источников, модифицированных на основании проведенных исследований.

Представлена конструкция источника ионов металла с инициированием вакуумной дуги вспомогательным пеннинговским разрядом в сильном магнитном поле. При ускоряющем напряжении уровня 50 кВ и токе вакуумной дуги 100 А источник обеспечивает пучок ионов металлов с током 0,7-0,9 А с ресурсом работы > 107 импульсов. Указанная система инициирования была использована также в ионном источнике Меууа-У, особенности конструкции и рабочие параметры которого приводятся.

В результате экспериментальных исследований показано, что сильное магнитное поле, локализованное в катодной области разрядной системы вакуумно-дугового источника ионов, обеспечивает повышение в

3-5 раз тока эмиссии ионов. Показано, что сочетание такого поля с сеточной стабилизацией эмиссионной поверхности плазмы приводит к снижению неоднородности распределения плотности ионного тока по сечению пучка с 30-40 % (кривая 1, рис.4) до 15-20 % (2), а в случае использования сетки с переменной прозрачностью - до 10 % (3), при этом снижение плотности ионного тока в результате потерь ионов на эмиссионной сетке компенсируется за счет увеличения тока эмиссии ионов при повышении величины

3

/ / °'9

/ 0,8 2

0,7 уск=40 кВ 0>6. ' ...... В=0(1) 0,5 Тл (2,3) 1

■ ■ ...............

-4 -2 0 2 г, см Рис.4

магнитного поля. Полученные данные использованы для улучшения распределения плотности ионного тока в источнике Меууа-НА.

Показано, что, несмотря на значительное увеличение мощности устройства, в случае, когда средний ток дугового разряда превышает пороговый ток стабильного горения вакуумной дуги, оправдан переход к стационарному режиму работы ионного источника. С использованием разработанного ионного источника на основе контрагированного разряда и вакуумной дуги получены непрерывные пучки ионов Аг, Хе, N2, Ог, А1, Си с токами 100-300 мА при поперечном сечении пучка 200 см2.

Поскольку одним из возможных путей получения пучков ионов металлов с большой площадью сечения является формирование пучка прямоугольного сечения при поперечном извлечении ионов из плазмы вакуумного дугового разряда, разработан вариант источника с извлечением ионов через эмиссионное отверстие в боковой стенке полого анода. Получены непрерывные пучки ионов металлов прямоугольного сечения с током до 70 мА и неоднородностью распределения плотности тока около 25 %. На основании оценок показано, что использование в ионном источнике двух симметрично установленных по торцам анодной полости разрядных камер, может улучшить распределение плотности тока по сечению пучка до 10 %.

Опыт, накопленный при создании и эксплуатации в ИСЭ СО РАН, а также в ряде других организаций, ионного источника "Титан" (рис.5)

позволил провести его модернизацию с целью дальнейшего повышения надежности и улучшения рабочих параметров. Результатами модернизации, представленными в разделе 4.5, стали существенное улучшение радиального распределения плотности ионного тока, увеличение эффективности извлечения ионов, повышение стабильности работы ионного источника при высоком ускоряющем напряжении, а также понижение уровня газовой "примеси" при имплантации только Рис.5 ионами металлов.

В заключении кратко изложены основные результаты работы.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

1. Показано, что при использовании для инициирования вакуумной

дуги вспомогательного газового разряда в скрещенных ЕхВ полях типа Пеннинга, стабильное возбуждение катодных пятен вакуумной дуги возможно лишь при зажигании пеннинговского разряда в сильноточной форме горения. Увеличение магнитного поля до уровня 1 Тл приводит к понижению предельного давления остаточного газа до значения (2-3)'10 3 Па, при котором еще возможно функционирование пеннинговского разряда в сильноточной форме и стабильное инициирование вакуумного дугового разряда, при этом доля "примесей" ионов газа не превышает 5%, а ресурс системы инициирования составляет более, чем 107 импульсов.

2. Установлено, что при горении вакуумного дугового разряда в сильном магнитном поле величиной 1 Тл, его напряжение горения возрастает в 3-5 раз и достигает величин 80-100 В случае катодов, выполненных из легких металлов (AI, Mg), и 120-140 В для более тяжелых материалов (Та, W), обеспечивая значительное повышение средней зарядности ионов металла. Указанное увеличение обеспечивается как за счет повышения энергии электронов, так и в результате удержания заряженных частиц в сильном магнитном поле. Сравнение полученного при этом зарядового распределения ионов плазмы вакуумной дуги и их потенциалов ионизации показало, что для достижения заметной доли требуемой кратности ионизации необходимо, чтобы напряжение горения дуги достигало величины, близкой к искомому потенциалу ионизации.

3. Установлено, что сильное магнитное поле, локализованное в катодной области разрядной системы вакуумных дуговых источников ионов, обеспечивает, также как и относительно слабое поле в анодной области, повышение в 3-5 раз тока эмиссии ионов. Показано, что сочетание такого поля с сеточной стабилизацией эмиссионной поверхности плазмы приводит к снижению неоднородности распределения плотности ионного тока по сечению пучка с 30-40 % до 15-20 %, а в случае использования сетки с переменной прозрачностью до 10 %, при этом снижение плотности ионного тока в результате потерь ионов на эмиссионной сетке компенсируется за счет увеличения тока эмиссии ионов при повышении величины магнитного поля.

4. На основании проведенных исследований созданы различные модификации источника ионов на основе вакуумного дугового разряда в сильном магнитном поле, которые обеспечивают генерацию широко-апертурных (70-250 см2) цилиндрических и ленточных пучков ионов металлов с низким уровнем примеси ионов остаточного газа. Разработанные устройства функционируют как в импульсно-периодическом, так и в непрерывном режимах, обеспечивая ток пучка ионов от 1 А (длительность импульса - 400 мкс) до 70 мА (непрерывный режим) при ускоряющем напряжении 10-50 кВ, при этом ресурс разрядной системы источников как в импульсно-периодическом, так и в непрерывном режиме ограничен только эрозией материала катода.

5. Проведенные исследования позволили осуществить модернизацию ионного источника "Титан", заключающуюся в оптимизации электродов разрядной камеры и системы извлечения, которая привела к увеличению стабильности работы ионного источника, улучшению равномерности и повышению энергетической эффективности.

СПИСОК ОСНОВНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

1. Николаев А.Г., Оке Е.М., Щанин П.М., Юшков Г.Ю. Влияние магнитного поля на извлечение ионов в источнике с сеточной стабилизацией IIЖТФ, 1992, Т. 62, № 9, с. 140-144.

2. Визирь A.B., Николаев А.Г., Оке Е.М., Щанин П.М., Юшков Г.Ю. Генератор плазмы на основе стационарного дугового контра-гированного разряда для плазменных источников заряженных частиц II ПТЭ, 1993, №3, с. 144-148.

3. Николаев А.Г., Щанин П.М., Юшков Г.Ю. Извлечение ионов из плазмы дуговых разрядов низкого давления поперек анодной полости. II ПТЭ, 1994, №3, с. 112-117.

4. Николаев А.Г., Оке Е.М., Щанин П.М., Юшков Г.Ю. Система инициирования катодного пятна в ионном источнике на основе вакуумной дуги. // ПТЭ, 1996, № 2, с. 100-103.

5. Тюменцев А.Н., Пинжин Ю.П., Коротаев А.Д., Сафаров А.Ф., Бугаев С.П., Николаев А.Г., Юшков Г.Ю. Влияние температуры на закономерности структурно-фазовой модификации поверхности молибдена при имплантации ионов циркония и азота // ФММ, 1997, Т. 83, № 2, с. 109-115.

6. Николаев А.Г., Оке Е.М., Юшков Г.Ю. Зарядовое распределение ионов в плазме вакуумного дугового разряда в сильном магнитном поле //ЖТФ, 1998 (в печати).

7. Николаев А.Г., Оке Е.М., Щанин П.М., Юшков Г.Ю., Визирь A.B. Генерация стационарных ионных пучков при поперечном извлечении ионов из плазмы анодной полости дуговых разрядов низкого давления // Тез. докл. III конф. "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц", Томск, 1994, Т. 1, с. 14-16.

8. Николаев А.Г., Оке Е.М., Щанин П.М., Юшков Г.Ю. Источник ионов металлов на основе вакуумной дуги в сильном магнитном поле // Тез. докл. IV Всес. конф. "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц", Томск, 1996, с. 7-9.

9. Bugaev S.P., Nikolaev A.G., Oks Е.М., Schanin P.M., Yush-kov G.Yu. The 100 kV gas and metal ion source for a high current ion implantation // Rev. Sei. Instrum., 1992, V.63, № 4, Pt. 2, p. 2422-2424.

10. Bugaev S.P., Nikolaev A.G., Oks E.M., Schanin P.M., Yushkov G.Yu. The "TITAN" ion source II Rev. Sei. Instrum., 1994, V. 65, № 10, p.

3119-3125.

11. Nikolaev A.G., Oks E.M., Schanin P.M., Yushkov G.Yu. Vacuum arc gas/metal ion sources with a magnetic field // Rev. Sci. Sci. Instrum. 1996, V. 67., №3, p. 1213-1215.

12. Nikolaev A.G., Yushkov G.Yu., Oks E.M., MacGill R.A., Dickinson M.R., Brown I.G. Vacuum arc trigger system based on ExB discharges // Rev. Sci. Instrum., 1996, V. 67, № 9, p. 3095-3098.

13. Nikolaev A.G., Oks E.M., Zhang X., Cheng C. Beam current density distribution of the vacuum arc ion source // Rev. Sci. Instrum., 1998, V 69, № 2.

14. Anders A., Yushkov G.Yu., Oks E.M., Nikolaev A.G, Brown I.G. Ion charge state distributions of pulsed vacuum arc plasmas in strong magnetic fields H Rev. Sci. Instrum., 1998, V. 69, № 2.

Подписано к печати f?.03.9Br. Заказ № 8W. Тираж 75 Бумага финская, формат 60x80 1/16 п. л. i уч. изд. л. 0,81.

г. Томск, 21; пр. Фрунзе, 115/3, ЦНТИ.