автореферат диссертации по электронике, 05.27.02, диссертация на тему:Источник заряженных частиц на основе технологического СО2-лазера

РЯЗАНСКАЯ ГОСУДАРСТВЕННАЯ РГ6 Р^дагЕХНИЧЕСКАЯ АКАДЕМИЯ

На правах рукописи БУЛАЕВ Сергей Михайлович

- ИСТОЧНИК ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ НА ОСНОВЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО С02-МЗЕРА

Специальность: 06.27.02. -"Вакуумная и плазменная электроника"

А ВТ ОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени . кандидата технических наук

4

Рязань - 1994г

Работа выполнена в Московском государственном инженерно-физическом институте на кафедре "Физики твердого тела"

Научный руководитель: доктор физико-математических наук ведущий научный сотрудник Сильной Сергей Михайлович

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук, профессор Степанов Владимир Анатольевич

кандидат физико-математических наук Оксеиойд Константин Генрихович

Ведущая организация: Всероссийский »электротехнический институт

в Рязанской государственной радиотехнической академии по адресу: 390005, Рязань, ул.Гагарина, 59/1, РГРГА. С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке РГРГА,

Ученый секретарь специализированного совета: доктор технических наук, доцент Федяев В.К.

Защита диссертации состоится " М- " чЬКоД 1994 г. в на заседании специализированного совета.Д063.92.02

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность работы. Такие свойства лазерной плазмы, как быстрый вклад энергии, честационарность процессов ионизации и рекомбинации, широкий диапазон начальных условий, существование больших градиентов концентрации и температур дают возможность использования её при оозданип источников различного рода частиц. К настоящему времени разработано много источников, особенности конструкции и параметры которых определяются, в основном.типом используемой лазерной установки. Выбор лазера для данной работы был обусловлен рядом причин пак чпсто технического, так и научного характера.

Известно, что основным недостатком лазерной плазмы как ионного источника является короткое время нахоядэння плазмы в районе эмиссионной щели источника, что связано с временем ионной эмиссии, п, как следствие, короткая длительность импульса ускоряемых ионов. Для увеличения длительности ионного пакета используются различные методы. Во-первых, так как энергетический спектр лазерной плазмы

достаточно широк ( ), то с увеличением пролетпого расстояния

__ _ \

от места образования плазмы до места экстракции будет расти я длительность ускоренного пучка ионов. Во-вторых, попользуется внеи-пее магнитное поле для замедления разлета плазмы. Третьим, и наиболее простым способом, монет оказаться использование более длинного чем раньше импульса лазерного излучения.

лорошйе эксплуатационные характеристики выбранного лазера: большая энергия излучения, высокая частота повторения импульсов генерации и возможность длительной непрерывной работы лазера послу-гшли основой для проведения работ по созданию ионного иитрчпика.

Целью работы являлась разработка ионного источника для технологического С02-лазера. Ия-зя отсутствия каких-либо данных об

использовании лазерного излучения большой длительности СГН -десятки микросекунд) для получения ионных пучков, основное внимание было уделено:

- исследованию процессов новообразования в лазерной плазме, образующейся под действием импульса СС^-лязера длительностью 20 +■ 40гжс;

- изучению зависимостей зарядовых и энергетических характеристик формирующихся ионных пучков от параметров лазерного излучения ;

- определению областей возможного применения продуктов разлета ЛПФ и способов аффективного использования энергии лазерного импульса .

Научная новизна и практическая значимость работы. В настоящей работе впервые проведено комплексное исследование процессов ионо-обраэования в лазерной плазме, создаваемой при взаимодействии излучения СС^-лазера с длительностью импульса 20-40 мкс с веществом. Исследовано влияние временного распределЕ кия энергии лазерного импульса на параметры Формирующихся ионных пучков, получены зависимости зарядовых, энергетических и количественных характеристик образующихся ионов от параметров лазерного импульса, рассмотрено временное протекание процессов ионизации н рекомбинации в лазерной . плазме.

Практическая ценность работы. IIa основе экспериментальных результатов разработан ионный источник для выпускаемой в НПО "Электрофизика" ( г. С.-Петербург) лазерной установки, в котором за счет согласования параметров лазера и выбора условий плазмо-образования удалось реализовать 3 режима работы источника: с преимущественным выходом ыногозаряднчх ионов (МЗИ), образованием интенсивных потоков положительных нпзкозарядных частиц или отрицательных ионов. Намечены пути совершенствования конструкции лазера для повышения эффективности работы ионного источника. Опре- -делены новые области использования лазерной плазмы, создаваемой

..излучением (^-лазера большой длительности (ионная имплантация, нанесение покрытий, создание плёночных структур).

IIa защиту выносятся следующие положения:

I. Установлено, что, используя импульс СО^-лазера с длительностью 20 40 мко и энергией 20 * 30 Дж, можно получить потоки плазмы с числом частиц /V+ до Ю17и N~ до 10 15 за импульс, а также МЗИ ( 2^10).

2. Обнаружено, что время эмиссии низкозарядных ио-. нов ( Z = 1*3) определяется длительностью лазерного импульса, а ГОИ образуются'лишь в начале взаимодействия лазерного излучения с веществом ( АI ^ 500 не).

3. Увеличение длительности лазерного импульса приводит и росту доли низкозарядннх низкоэнергетических частиц в продуктах разлета лазерной плазмы.

4. Выявлена зависимость зарядового состава лазерной плазмы от толщинн алюминевоЛ мишени, при этом максимальная степень ионизации испаренного вещества достигается при толщине плтиневоЯ фольги 10*15 мкм.

5. Использование лазерного импульса длительностью , 20 +'40 мке при ооздатши источника отрицательных пли

низкозярядгшх положительных ионов позволяет в 4-5 раз снизить требования к энергии С^-лазсра по сравнению с лазерным импульсом длительностью «-« I мкс.

Апробация работы. Результаты работы по тепе диссертации догадывались на Ш Всесоюзном со вешании "Физические проблемы лазерно-

плазменной микротехнологии" г.Сочи, 1991; на Научно-техническом семинаре "Лазеры и лазерная технология"г.Санкт-Петербург, 1992} на научных семинарах лаборатории "Электроиониэационных газовых лазеров" НИИЭФА им. Ефремова и кафедры Физики твёрдого тела МИФИ.

Публикации. Основные результаты диссертации опубликованы в виде статей и препринтов. Список публикаций приведен в конце автореферата.

Объем и структура диссертации. Диссертация состоит из введения, 4 глав, заклочения, списка литературы, включавшего 112; нозрвний , и приложения. Работа изложена на 105 страницах и . содержит 46 рисунков ( в тексте ).

СОДЕРЖАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ «

Бо введении обоснована актуальность темы диссертации и сформулирована цель работы, определены научная новизна и практическая ценность результатов, приведены положения, выиосшше на защиту.

В первой главе представлен обзор литературы, касающейся использования лазерной плазмы в качестве ионного источника. После краткого рассмотрения вопросов, связанных с образованием и нагревом лазерной плазмы, а такие протекания процессов ионизации и рекомбинации в плазменном сгустке делается вывод о преимуществах использования плазмы, создаваемой излучением СО^лазера, при разработке лазерного ионного источника. Приведены экспериментальные данные по исследовании процессов испарения под действием из-

лучения СО^-лазера микросекундной длительности, параметров плазменного сгустка и продуктов разлёта лазерной плазмы.

Обзор литературы показывает, что воздействие мощного импульса СО^лазера на вещество приводит к образованию плазмы с параметрами необходимыми для эффективного протекания новообразования в.плазменном сгустке. Это послужило основой для разработки большого числа лазерных ионных источников как длл исследовательских, так и технологических применений.

Разработка конструкции лазерного ионного источника требует учёта особенностей используемой лазерной системы, выбор которой в данном случае обусловлен не только высокой технологичностью СО^г-лазера, но и попыткой иного подхода к решении ванной технической задачи - упеличенга длительности ионного импульса.

Известно, что наряду с рядом достоинств и преимуществ лазерных ионных источников, они имеют существенный недостаток - короткое время ионной эмиссии (но порядку величины равное длительности лазерного импульса). Поэтому используются различные способы удлинения ионного пакета за счет использования энергетического разброса ионов лазерной плазмы либо путем замедления их разлета с помощью внешнего магнитного поля.

В токе время из ранее проведенных работ, связанных с исследованием взаимодействия ТЕЛ СО^-лалора с веществом, следует, что увеличение длительности лазерного излучения приводит к росту полного наряда лазерной плазмы. Это связано с образованием большого числа заряженных частиц под действием "хвоста" лазерного импульса. Однако до настоящего времени не выяснено влияние энергии, сосредоточенной в "хвосте" лазерного импульса, на зарядовый и , энергетический состав лазерной плазмы и считается, что УЗИ образуется лишь во время действия короткого 50-100 не) началь-

ного пичка, а оставшаяся часть лазерного импульса исключается из рассмотрения. Хотя из ряда экспериментальных и теоретических работ следует, что дополнительный подогрев плазменного сгустка при его разлёте ведёт к увеличению максимального заряда регистрируемых частиц и количества МЭИ за счёт снижения рекомбинационных потерь.

Таким образом,представляет интерес исследование взаимодействия длинного лазерного импульса - десятки микросекунд)

как с точки зрения протекания Физических процессов (влияние временного распределения энергии лазерного излучения на процессы ионизирования), так и с цель» практического применения.

Вторая глава посвящена описанию экспериментальной установки. В ней кратко рассмотрены физические процессы, происходящие в активной среде СО^-лаэера при накачке её электронным пучком,, и условия выбора параметров электронного пучка для обеспечения стабильной работы лазера, приведены различные характеристики используемого электроионизационного СО^-лазера. *

Сложность и многообразие процессов,протекающих в лазерной плазме,обусловили необходимость использования различных методик исследования процессов взаимодействия лазерного излучения с веществом и его продуктов. Для оценки некоторых параметров ионного пучка:

- полного заряда, переносимого ионным компонентом в аперту-

- минимальной, средней и максимальной энергии ионного компонента использовался цилиндр Фарадея. Детальное изучение зарядовых и энергетических характеристик ионов проводилось с помощью

времяпролетного электростатического анализатора ( /, = 280 см).

Электростатический анализатор представлял собой цилиндрический дефлектор. Разделение ионов здесь происходит по параметру ^ ? //

где С! - разность потенциалов отклоняющих пластин; ?0 - радиус осевой окружности; /1 2 - расстояние между пластинами. Нцен-тиФигация ионов проводилась по времени прихода на детектор;

1 '

где М - масса иона; - времяпролетная база. После идентификации массы и заряда ионов количество ионов для построения энергетического распределения определялось по Формуле

Щв-Щ.

где - площадь ионного пика на осциллограмме сигнала с вторично-электронного умножителя.

Спектроскопические исследования лазерно-плазыенного Факела (ЛПФ) а видимом диапазоне проводились с помощьэ оптического спектрп-ятелкзатогаСоСА' МР/4. Наблюдение осуществлялось через боковое окно вакуумной камера перпендикулярно разлету плазмы. Изображение ЛЛФ, Лжусируекое с поиощья линзы на входную щель ОСА, на выходе прибора регистрировалось с помощью видикона, поэтому спектральный диапазон ограничивался областью длин волн от 330 до 1000 нм. Пространственное разрешение системы составляло ~ 200 мкм. Спектральное разрешение определялось используемой . дифракционной решеткой и особенностями системы регистрации. При проведении ¡экспериментов оно составляло 1,5 А/канал. Так как

- о -

полное число каналов равно 500, то в каждом выстреле лазера полно было регистрировать участок спектра в пределах А\ =■ 75,0 нм.

В третьей главе представлены экспериментальные результаты и проведено их обсуждение.

Бри исследовании процесса испарения материала под действием излучения электроионизационного СО^-лазера, а также изучения ионного компонента лазерной плазмы с помощью коллекторной методики получены зависимости массы испаренного материала и полного количества ионов от энергии лазерного импульса. Сопоставление

результатов измерений свидетельствует о том, что при средней — н р

плотности потока ^ ~10 Ьт/ск степень ионизации продуктов разлёта ЛЯФ достаточно высока - несколько процентов от полного числа частиц. Обнаружено влияние передней части лазерного импульса на протекание как процессов испарения, так и ионизации. Присутствие интенсивного пичка в начале импульса генерации приводит к увеличению массы испаренного материала и количества образующихся ионов. « •

С помоцью временных завнсимостг"й интенсивности свечения спектрпльных линий получены данные об изменении электронной плотности ИI и температуры % вблизи мишени в течение действия лазерного импульса. Установлено, что линии ьысокозарядных ионов ( £-3) регистрируется лишь в течение нескольких микросекунд после начала лазерного импульса, тогда как для ионов ¡7 = I - 2 спектральные линии наблюдаются в течение г.ремени сопоставимого с длительностью имг.ульса генерации. ,

Характерной особенностью грсм'ьного поведения интенсиг.ности спектральных линий одно- и двухпарядных ионов является её немонотонный характер. Наличие нескольких максимумов в зависимости

интенсивности спектральной линии от времени свидетельствует о том, что при воздействии лазерного излучения на мишень в определенные моменты времени происходит усиление процесса образования данного типа ионов. Это связано с временным поведением расходимости лазерного импульса. Угловая расходимость пучка в определенные моменты времени, которые соответствуют спаду интенсивности свечения спектральных линий, резко возрастает. Увеличение расходимости пучка ведет к росту облучаемой поверхности мктени (диаметра пятна Фокусировки Ол ). Еыброс новых порций неионизован-ного холодного вещества ведет в начале к снижению 11 с и Те, а следовательно, уменьшении скорости ионизации. В последующем, при незначительном изменении угловой расходимости нагрев плазменного сгустка снова возрастает ,• растет количество ионов и соответствующие интенсивности спектральных линий. В последующем этот процесс повторяется. -Увеличение с/я приводит к снижения плотности потока падающего излучения- и уменылениа степени нагрева плазмы. Это ведет к снижение интенсивности свечения спектральных линий, соответствующих более высокоэарядным ионам, и увеличения интснсив-ностей спектральных линий низкозарядных частиц.

Значения электронной плотности определялось по ктарковскому уширенкю спектральной линии С/11 ^ = 4651 А. Позедение пс совпадает с временной зависикостьп интенсивности спектральной линии.

19 Я

Макскнум электронной плотности ( Пс~4,0' 10 см" ) достигается через несколько микросекунд после качала взаимодействия. В дальнейшем в моменты времени, соответствующие спаду интенсивности свечения спектральной линии, значение электронной плотности снижается.

Электронная температура с течением временя уменьшается. Ьсли на 2 - 3-й микросекунде после начала лазерного импульса Те~№ эВ,

то к концу взаимодействия Т1 падает примерно до 3 эВ. Это приводит к сдвигу ионизационного равновесия в сторону образования низкозарядных частиц, что отражается в увеличении интенсивности свечения спектральных линий, соответствующих низкозарядным ионам

+ 2). 1!асс-спектрокетрические исследования ионного компонента лазерной плазмы, образованной под действием лазерного излучения длительностью десятки микросекунд, показали наличие в продуктах разлета лазерной плазмы МЗИ. Ь экспериментах зарегистрированы ионы с Е - 8 для алюминия, ¿Г ¿10 для меди и II для тантала.

После интегрирования полученных энергетических_распределе-нкй определены относительные значения количества ионов различных 2 , эмиттируемых в апертуру анализирующей аппаратуры. Сопоставление результатов масс-спектрометрических экспериментов с данными коллекторных измерений показывает, что количество ионов максимальной зарядности Нмах , образующихся под действием длинного

то то

лазерного импульса составляет —10 - 10 частиц/имп.

Полученные энергетические и зарядовые распределения ионов в зависимости от различных параметров лазерного импульса показали, что с увеличением длительности >;:.:пульса в продуктах разлёта ЛПФ возрастает доля низкозарядных низкоэнергетическнх частиц. Максимальный заряд регистрируемых частиц и их энергетические параметры зависят от Передней части лазерного -импульса особенно при низких энергиях лазерного излучения.

Эксперименты по взаимодействию излучения с фольгами выявили зависимость зарядового состава лазерной плазмы от толщины мишени и'позволили'>оценкть'время эмиссии КЗИ. Вначале ~Еивх быстро растет с увелсташеи'толщпйы'мигенй'-^ 'Еи&х- = ^ Т0Л1Чине алюминиевой (4>льги С-= 2 мкм-и" Нгиюг- = при4' £'=-Ю'мкм),.-ат'эа*-

тем остается постоянным ( Нмах = 8 для £ ^ 100 мкм). Для вы-сокоэарядных ионов £?4 б зависимости отношения количества ионов заряда гГ к числу однозарядных ионов от ^ обна-

ружен максимум, соответствующий толщине алюминиевой йюльги 10 -15 мкм. Исходя из полученного ранее результата, что процесс ио-нообразования идет в течение всего действия лазерного излучения на мишень, но с увеличением времени после начала взаимодействия степень ионизации продуктов испарения снижается, предполагается, что данная толщина мишени определяет долю (длительность) импульса, под действием которой и происходит в основном образование высоксзарпдных частиц. С помощью экспериментальной зависимости массы испаренного материала от энергии лазерного импульса и ее временного распределения получена оценка времени эмиссии МЭИ ; ¿¿¿ 500 нс.

В ходе исследования продуктов разлёта лазерной плазмы обнаружена эмиссия отрицательных ионов. Энергетические распределения отрицательных ионов значительно уже, чем у положительных. Эмитируются они в течение более короткого промежутка времени и полное число их не прерывает 10^ част/имп.

Обсуждение полученных результатов проведено в рамках предложенной модели процесса взаимодействия длинного лазерного импульса с веществом. Ь её основе лежит предложение, что весь процесс взаимодействия можно рассматривать как последовательность актов, каждый из которых включает в себя поглощение излучения в тонком слое вещества { *- где С - коэффициент поглощения), его нагрев, испарение, ионизацию и разлёт. Т.е. действие длинного лазерного импульса длительностью Т можно рассматривать как интегральный результат воздействия серии /V ( // - количество испаряемых слоев толщиной А ) более коротких лазерных импульсов с

характерным временем Та •' Т = Л/'Т, . Используя выдвинутое предложение, были проведены расчеты некоторых параметров, характеризующих процесс взаимодействия и получено хорошее соответствие с экспериментальными результатами.

Б четвертой главе данные экспериментов рассмотрены с точки зрения использования лазерной плазмы, создаваемой излучением электроионизапионного СО^-лазера, в качестве источника заряженных частиц. С учётом выявленных особенностей процесса взаимодействия длинного лазерного импульса с веществом обоснован выбор конструкции ионного источника, где в качестве мишени используется Фольга, и приведено её описание.

С физической точки зрения степень ионизации продуктов разлета ЛПЧ А/ион Мат " 10"^ достаточно высока для средней плотности /Я ?

потока — 10 Ьг/см . При технической же реализации источника встает вопрос о загрязнении поверхности оптических элементов продуктами испарения. Значительное количество неиониаованного вещества, образующееся п результате взаимодействия, будет оседать на оптических элементах. Одним из путей решения этой проблемы служит использование в качестве мишени тонкой йольги. 1!ак показали проведенные эксперименты за счет выбора её толщины можно получить необходимый зарядовый состав лазерной плазмы и уменьшить паразитное распыление материала.

Источник выполнен в виде небольшой камеры, в которой размещены блок перемещения мишени и система Нормирования ионного пучка. Мкяень представляет собой рамку размером 50 х 50 мм, на которой крепится г?ольга. Перемещение рамки осуществляется двумя шаговыми двигателями отдельно в горизонтальном и вертикальном направлениях, ¿правление шаговыми двигателями синхронизовано с системой запуска

СС^-лазера. Рабочий цикл источника ^беэ замены Фольги) составляет 4 мин при частоте следования лазерных импульсов 10 Гц. Для технологического использования источника при времени непрерывной работы десятки и сотни часов проведена конструкторская проработка схемы, обеспечивающей смену отработанной части йольги за счёт ее протяжки. Для выделения части зарядового спектра образующихся попов проведен расчет системы сепарации, включающий ускорение в электростатическом поле ( ¿4« = 50 кв) с последующим разделением конов по ^ в магнитном поле.

Б прилояении представлены акты о внедрении и практическом использовании результатов работы в НИИ электрофизической аппаратуры НПО "Электрофизика" (г.С.-Петербург) и Московском ордена Трудового Красного Знамени индепсрно-физическом институте.

ВЫ ВОДЫ

Основные результаты работы заключаются в следующем:

1. Найдены экспериментальные зависимости массы испаренного материала от энергии лазерного излучения. Установлено,

. что под действием длинного лазерного импульса происходит интенсивное испарение материала мишени I /7?исп ~ мг), причем масса испаренного вещества определяется не только полней энергией, но и формой лазерного импульса.

2. Экспериментально установлено, что, ввиду достаточно высокой степени ионизации продуктов испарения 0,01)

— о р

при средней плотности потока - 10 Вг/см, , возможно использование СО^-лазера с длительностью импульса 20 - 40 мке и энергией 20 - 30 Дк для получения потоков плазмы с числом

- 14 -

заряженных частиц /У*10^. Обнаружено, что не только испарение, но и ионизация в значительной степени зависят от Аормы лазерного импульса.

3. Получены временные зависимости интенсивностей спектральных линий ионов различного ¿Г . Найдено, что если спектральные линии низкозарядных ионов регистрируются в течение времени, сопоставимого с длительностью лазерного импульса, то линии, соответствующие высокозарядным частицам, наблюдаются лишь в начале взаимодействия излучения с веществом.

4. Экспериментально исследовано поведение электронной плотности и температуры ЛПФ во время действия лазерного импульса. Установлено., что максимальное значение вблизи поверхности мишени достигается на 2 - 3-й микросекунде после начала взаимодействия. В дальнейшем поведение Пс И определяется временные изменением угловой расходимости лазерного излучения. Отмечается, что существование достаточно плотной и высокотемпературной плазмы в течение длительного промежутка времени (порядка длительности лазерного импульса) должно привести к увеличению времени ионной эмиссии из лазерной плазмы.

5. Получены эарлдовыо и энергетические распределения ионов различных элементов ), образующихся под действием импульса СО^-лазера, с длительностью 20-40

> о р

мкс. При средней плотности потока ^ ь 10 Вг/см в продуктах разлета лазерной плазмы зарегистрированы МЗИ

Си Та Количество ионов 2 мах составляет 10^ 4

13

10 частиц/имп.

6. Экспериментально установлено, что параметры ионной

эмиссии определяются не только энергией, но и Нормой лазерного импульса. Наличие интенсивного первого пичка приводит к увеличению "2ипх и энергии разлёта регистрируемых ионов при малых энергиях лазерного излучения. Увеличение длительности лазерного импульса ведет к росту доли низкозарядных низкоэнергетичных частиц в продуктах разлёта лазерной плазмы.

7. Обнаружено, что время эмиссии низкозарядных ионов

( 2=1-3) определяется длительность» лазерного импульса, тогда как для высокозарядных ионов оно ограничено временем рекомбинации.

8. Выявлена зависимость зарядового состава лазерной плазмы от тонины глсяени при исследовании воздействия лазерного импульса длительности 20 - 40 икс на тонкие фольги.

9. Показано, что лазерная плазма,образующаяся под действием длинного импульса СО^ лазера,. является эсМэективным эмиттером отрицательных конов ( /V"до Ю15 частиц/имп).

10. Лазерная плазма, создаваемая излучением СО^лазера длительностью 20 4 40 мкс монет бить использована для получения №ЗИ ( 2Г^10), а также интенсивных потоков положительно или отрицательно заряженных частиц. Увеличение длительности импульса позволяет, в первом случае, увеличить выход МЗИ за счёт снижения рекомбинационшх потерь при дополнительном нагреве плазменного сгустка часть» лазерного импульса, а в других случаях значительно (в 4 - 5 раз) сни-. зитЬ требования к энергетике лазера.

11. На основе полученных результатов была разработана конструкция ионного источника для технологического СО^-лазе-

- 16 -

pa. С целью повышения эффективности использования энергии лазерного импульса, снижения паразитного распыления материала и обеспечения возможности изменения зарядового состава продуктов разлета выбрана схема, где в качестве мишени используется фольга. Проведен расчет системы формирования ускоренного пучка ионов с последующим разделением по £ в магнитном поле.

Основные результаты диссертации опубликованы в следующих работах:

1. Исследование лазерной плазмы микросекундного диапазона : Препринт ГОППФА, П-К-0871/ С.В.Авдеев,-С.М.Булаев, А.Н. Галаев, В.Н.Кудряшов, Л.Н.Облизкн, С.М.Сильное, Б.Ц.Яценко. Москва, 1990.._8 с.

2. Образование многозарядных ионов под действием длинного импульса COg-лазера: Препринт НЙИЭМ, П-М-0881/ С.В.Авдеев, С.М.Булаев, Ю.А.Шковский, А.Н.Облизин, С.М.Сильнов, Б.П.ЯцеНко. Москва, 1991. 9 с.

3. Влияние параметров технологического СО^-лазера на выход многозарядных ионов: Препринт НВГ"5А, П-М-0890/ С.В.Авдеев, С.М.Булаев, Ю. А. Ваковский, Л.Н.Облизин, С.М.Сильнов, Б.П.Яиенко. Москва, 1991. 9 с.

4. Avdccv S.V., Bulaav S.И., bolssv А.П., Kudryeahov V.U., Oblizin A.N., Silnov S.H., Ystaenko B.P.. Study of Lasar eboc Piaana.//P1es»b Device end Operations. 1991. V.l. P.Z33-233.

5. Взаимодействие лазерного тпульса длительностью несколько десятков микросекунд с веществом: Препринт НИША, П-0910/ С.В.Авдеев, С.М.Булаев, А.Н.Голаев, А.Н.Облизин,' С.М.Сильног, Б.П.Яценко. Москва, IP92. II с.

6. £^лаев С.К..Испарение материала под действием излуче-

ния COg-ла.зера длительности 20 - 40 микросекунд.// Вакуумная и плазменная электроника. Рязань, 1993. c.III - 114.

?. Avdiav S.V., Bulaav S.H., Galaav A.N., Obllzin A.N., Silnev S.H., Yataanke 8.Р.. Ien Eniaaian undai tha Actien af a Lasar Pulea with tha Duratian in tha 10 jia Ranga.// latar Phyalca. 1994. V.4. N,1. P.I-2.

8. Лазерная плазма как источник отрицательных ионов. Препринт ШШЭМ, П-0921/ С.Б.Авдеев, С.М.Булаев, А.Н.Галаев, А.Н.Облизин, С.М.Сильнов, Б.П.Яценно. Москва, 1993. 16 с.

Б у л а в в . Сергей Михайлович

Лоточник заряженных частиц на основе технологического С(X,-лазера

Подписано л печать 23.03.94. Формат бумаги 60 х 84 1/16. Думага газетная. Печать ротапринтная. Усл. печ. л. 1,0. Уч.-изд. л. 1,0. Тирая 100 экз. Заказ 340 • Бесплатно. Рязанская государственная радиотехническая академия. _ 390005, Рязань, ул.Гагарина, 59/1.

Участок оперативной полиграфии Облстатуправления.' 390013, Рязень, ул.Типанова, 4.