автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.09, диссертация на тему:Исследование особенностей работы квадрупольного фильтра масс и разработка анализаторов с тонкостенными гиперболическими электродами

На правах рукописи

г

ДУБКОВ Михаил Викторович

ИССЛЕДОВАНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ РАБОТЫ КВ АДРУПОЛЬНОГО ФИЛЬТРА МАСС И РАЗРАБОТКА АНАЛИЗАТОРОВ С ТОНКОСТЕННЫМИ ГИПЕРБОЛИЧЕСКИМИ ЭЛЕКТРОДАМИ

Специальность: 05.11.09 -Аиалитические и структурно-аналитические приборы и системы

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискаш1е ученой степени кандида та технических наук

Рязань 1997

Работа выполнена в Рязанской государственной радиотехнической академии

Научный руководитель • доктор технических наук

профессор Шеретов Э.П.

Научный консультант - кандидат технических наук

доцент Гуров B.C.

Официальные оппоненты - доктор технических наук

профессор Горбатов Д.Н.

Ведущая организация • Московский государственный

шшеверно-фюичесхиЁ инспгтут

Защита состоится /6 у 'иа -¿гг 1997 г. в часов на заседании диссертационного совета Д 063.92.02 в Рязанской государственной радиотехнической академии: 391 ООО, г. Рязань, ГСП, ул. Гагарина. 59/1.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Рязанской государственной радиотехнической академии

Автореферат разослан «/¿» rtO-iJj* -t. 1997 г.

Ученый секретарь диссертационного совета доктор технических наук

кандидат технических наук Кайдалоп СЛ.,

профессор

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность, Б настоящее время развитие науки и промышленности, возникновение различного рода экологических проблем, все расширяющееся проникновение человека в космическое пространство ставят задачи по совершенствованию старых и созданию новых надежных и универсальных методов исследования химического, изотопного и структурного состава веществ. Технология вышла, б особенности при производстве изделий электронной техники, на такой уровень, что без представления о качественном и количественном составе используемых материалов невозможны уверенный контроль и управление ходом практически любого технологического процесса.

Среди известных в нестоящее время методов исследования вещества особое место занимает масс-спектромегрнчесшй метод, при которой анализ состава- вещества осуществляется путей ионизации образца, разделешга полученного ионного потока по удельным зарядам и последующего детектирования отсепарировшшого потока с измерением его интенсивности. В настоящее время ыасс-спектрометрггчесгшй метод позволяет контролировать не только состав остаточной атмосферы в электровакуумных приборах, но и состав твердых и жидких веществ, независимо от их вида. Масс-спектрометрия является на сегодняшний день одним кз наиболее быстрых, чувствительных и надежных методов анализа как отдельных соединений, так и их смесей.

Современное состошше развития масс-спектрометрйи определя -ся не столько широким'внедрением ее в научные исследования, что само по себе давно уже стало нормой, сколько повсеместным использованием ее в технологических производственных процессах, что накладывает на приборы масс-спектрометрии дополнительные требования уже экономического и эргономического характера.

Кроме того, . способность масс-спёктрометрии легко состыковываться с другими методами анализа вещества, а также возможность практически полной автоматизации рабочего цикла (вплоть до идентификации исследуемых веществ) с помощью ЭВМ позволяют создавать мощные исследовательские комплексы качественно нового уровня.

В настоящее время существует значительная потребность в универсальных,' относительно простых, дешевых и компактных масс-спектрометрических приборах, обладающих,' однако, достаточно высокими аналитическими параме1раии.

Праююса показала, что этим требованиям в наибольшей степени удовлетворяют лтерболошшые масе-спегпрометры, среда которых в настоящее время наибольшее распространение получил квадруполышй фильтр масс. Использование этого прибора в экологических исследованиях, в исследованиях космического пространства налагает дополнительные требования, связанные с особенностями работы прибора в нестандартных условиях. Кроме необходимости получения высоких аналитических характеристик, приборы данного класса должны быть легкими, компактными, устойчивыми к внешний воздействия!.;, надежнымн, дешевыми в производстве.

Проведение исследований, направленных на поиск новых эффективных конструктивных решений и режимов работы кзадруполышго фильтра масс, позволяющих уменьшить массу и габариты прибора при сохранении высоких аналитических характеристик, является важным и актуальным с научной и технической точек зрения.

Цель диссертационной работы заключалась в теоретическом ы экспериментальном исследований особенностей работы квадрупольного фильтра масс н разработке на основе этих исследований анализаторов с гиперболическими электродами для работы на подвижных объектах. Достижение этой цели связано:

-с исследованием изменения фона нестабильных ионов при амплитудной и частотной развертках спеетра масс в гиперболоидных масс-спектрометрах пролетного типа;

-теоретическим обоснованная возможности стабилизации уровня фона нестабильных нонов за счет использования импульсного сигнала специальной формы;

-теоретическим выбором к обоснованием конструкции квадрупольиой электродной системы с гиперболическими электродами, разработкой принципов оптимального конструирования таких систем с учетом внешнего теплового и механического воздействия;

-исследованием особенностей движения ионов в краевых полах анализатора хвадрулольного фильтра масс, оптимизацией геометрии его входной и выходной областей; .

-разработкой технологии изготовления высокоточных тонкостенных, легких электродных систем квадрупольного фильтра масс и их экспериментальной апробацией.

Научная новизна. Исследовано влияние способа развертки спектра масс на фон нестабильных ионов. Показано, что при амплитудной развертке наблюдается уменьшение, а при частотной - увеличение фола нестабильных ионоз при увеличении регистрируемого массового числа. Предложено для стабилизации фона нестабильных ионов использовать импульсный сигнал, положительный и отрицательный импульсы которого разделены бесполевым промежутком, а развертку спектра масс осуществлять путем изменения длительности импульсов при сохранении постоянными амплитуды импульсов и частоты питающего напряжения.

Теоретически показано преимущество гиперболических электродов над цилиндрическими. Озш обеспечивают не только более близкое хс идеальному распределение поля, но и поле, более устойчивое к технологическим погрешностям, которые возникают при изготовлении и сборке электродных систем.

Теоретически и экспериментально обоснована геометрия входной и выходкой областей квадруполыюго фильтра масс, позволяющая уменышпъ влияние краевого поля анализатора на условия сортировки заряженных частиц.

Теоретически и экспериментально показана возможность создания тонкостенной электродной системы квадрупольного фильтра масс с гиперболическими электродами, устойчивой к механическим и тепловым воздействиям.

Показана перспективность создания составной конструкшш электродной системы масс-аиализатора квадрупольного фильтра масс.

Разработана и апробирована технология изготовления тонкостенных электродных систем квадрупольного фильтра масс методом электролитического формования с использованием неразрушаемой формы.

Практическая ценность работы заключается:

-в теоретическом доказательстве возможности стабилизации фона нестабильных ионов за счет применения импульсного сигнала специальной формы, позволяющего осуществить развертку спектра масс, сохраняя постоянными амплитуду и частоту питающего напряжения;

-разработке принципов оптимального конструирования тоикостешюй электродной системы квадрупольного фильтра масс с гиперболическими электродами, устойчивой к внешним тепловым и механическим воздействиям;

-разработке серийной высокоточной безъюстировочной технологии изготовления тонкостенных анализаторов квадрупольного фильтра масс с пшерболичесхкми электродами;

-создании экспериментальных образцов тонкостенных анализаторов квадрупольного фильтра масс с гиперболическими электродами с высокими аналитическими характеристиками.

Реализация результатов работы. Разработанные конструкции электродных систем квадрупольного фильтра масс с гиперболическими электродами удовлетворяют требованиям, предъявляемым к встраиваемой в технологические установки и исследовательские комплексы аппаратуре.

Теоретические и экспериментальные результаты диссертационной работы использовались при проведении на кафедре общей и экспериментальной физики Рязанской государственной радиотехнической ысадемии научно-исследовательских работ по создатио аналитических масс-спектрометров.

Разработанная электродная система квадрупольного фкяьтра масс была использована при создшпш масс-спектрометра в рамках программы «Марс-96».

Основные научные положения, выносимые на залстту

1 .Величина фона нестабильных ионов в квадрупольном фильтре масс изменяется при развертке спектра масс, и характер его изменения определяется способом развертаи. Сгабнлзпапия фона нестабильных ионов в квадрупольноы фильтре масс возможна при использовании импульсного сигнала специальной формы, состоящего го положительного в отрицательного кипульсов равной длительности, отделенных друг от друга бесполевьш промежутком, длительности которых изменяются в процессе развертки спектра масс.

2.Использование гиперболических электродов, ограниченных в пространстве, для формирования электрического поля не только позволяет получить более близкое к идеальному . распределение потенциала по сравнению с электродами круглого сечения, но и обеспечивает большую устойчивость поля к, различного вида технологическим погрешностям их сборки и изготовления.

З.Одним из основных факторов, ограничивающих предельное разрешение квадрупольного фильтра масс, является увеличение разброса ионов по продольным скоростям при прохождении их через переходную

область. Существенно уменьшить разброс ионов по продольным скоростям, обусловленный их прохождением через переходную область, могено, вдвигая торцеаые диафрагмы вглубь электродной системы.

4.Использование в квадрупольнои фильтре масс электродов гиперболического сечения, скрепленных попарно в концевых областях с Помощью изоляторов, позволяет расширить диапазон рабочих температур прибора при сохранении его аналитических характеристик.

5.Изготовленис анализаторов квадрупольного фильтра масс методом электролитического формования с применением неразрушвемой металлической формы позволяет получать идентичные, высокоточные, вибро- я ударопрочные дешевые электродные системы, которые могут быть использованы для работы в нестандартных условиях в бортовых масс-спектрометрах на подвижных объектах.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались яа 14-й международной конференции по масс-спезпроиетрип, Тампере, Финляндия, 1997; международной научно-технической конференции «Электрофизические я электрохимические технологии», Санкт-Петербург, 1997; меадународной научно-технической конференции «Научные основы высоких технологий», Новосибирск, 1997; Всероссийском симпозиуме по эмиссионной электронике, Рязань, 1996; Российской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», Москва, 1997; на научно-технических конференциях РГРТА, Рязань, 1994-1997 гг.

Публтпсанип. По материалам диссертации опубликовано 26 работ, з том числе получено положительное решение о выдаче патента на способ изготовления.

Обоснование структурц диссертации. Структура диссертации определяется задачами, решение которых необходимо для достижения цели диссертационной работы, то есть создания электродной системы квадрупольного фильтра масс с гиперболическими электродами для работы на подвижных объектах.'Эти задачи определены во введении и в первой главе. Вторая глава посвящена вопросам исследования особенностей развертки спектра масс в гиперболоидных масс-спектрометрах и обоснованию возможности стабилизации фона нестабильных ионов за счет использования импульсного сигнала специальной формы. В третьей главе теоретически исследуются возможные искажения электрического поля в анализаторе

квадрупольного фильтра масс, связанные как с различного рода технологическими погрешностями в изготовлении электродной системы квадрупольного фильтра масс, так и с наличием краевых искажений потенциала ш входе и выходе анализатора. Четвертая глава посвящена исследованию возмохсности работы анализатора квадрупольного фильтра масс при наличии внешнего температурного воздействия и описанию технологии изготовления электродных систем с гиперболическими электродами. В пятой главе приведены конструкции и результаты экспериментальной апробации разработанных электродных систем квадрупольного фильтра масс.

Объем работы. Диссертация содержит 223 страницы машинописного текста, включая 69 страниц с рисунками и таблицами, и состоит кз введения, пяти глав, заключения в списка литературы из Пб наименований.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обосновывается актуальность диссертационной работы и приведены основные научные положения, выносимые ш защиту.

В настоящей время существует значительная потребность ь универсальных, относительно простых, обладающих высокими аналитическими характеристиками приборах. Создание таких приборов является весьма актуальной задачей.

В первой главе приведен краткий обзор литературы по истодам исследования состава вещества в пг аппаратурному обеспечению, сформулированы задачи, рентшые в работе, обосновала структура диссертации.

Среди масс-анализаторов,. выпускаемых в мире, ведущее место принадлежит птерболоидным масс-спехтроистрам, нз которых наибольшее распространение получил ксадрупольный фильтр масс. Все больше расширяется область их приыевешш, наблюдается широкое пх внедрение в технологические установки для контроля за процессом производства. Использование гаперболондных масс-спектрометров в экологических исследованиях, в изучения космического пространства ставит задачу создания малогабаритной аппаратуры с высокими аналитическими характеристиками.

Улучшение работы квадрупольного фильтра масс связано с выбором и оптимизацией формы питающего датчик высокочастотного напряжения, что определяет габарглы н энергопотребление генератора,

с выбором конструкции анализатора квздрупо ль него фильтра масс, позволяющей получать наиболее близкое к идеальному (квадратичному) распределение потенциала, с разработкой соответствующей технолот.-л изготовления анализаторов, позволяющей получать серийно дешевые электродные системы, удовлетворяющие поставленным условиям исследования. *

Исследование перечисленных проблем является весьма важной задачей, решение которой позволило бы создавать приборы для анализа состава вещества, работающие в нестационарных условиях.

Во второй главе рассмотрены особенности развертка спектра масс в пшерболоидных масс-спектрометрах. Традациошга существует два метода развертки спектра масс: амплитудная, когда изменяемым параметром служат величины питающих датчик напряжений, н частотная, когда развертка осуществляется изнененнем частоты питающего напряжения.

Их сравнение было проведено на основе оценки количества нестабильных нерассеянных ионов при использовании цодеяьпого представления о составе вещества. Интенсивность иона кавдой массы определяется площадью соответствующей динамической зоны захвата:

ьЫц-й-К)' где /I - параметр стабильносто;

я - время сортировки в периодах высокочастотного поля.

Анализ методов разверттш спектра месс в пролетных приборах с постоянной продольной энергией ионов показал, что с увеличением регистрируемого массового» числа с использованием частотной развертки спектра масс наблюдается увеличение количества нестабильных нерассеянных ионов, а в амплитудной развертке количество нестабильных ионов уменьшается. Это говорит о преимущественном применении амплитудной развертки для анализа тяжелых масс, а частотной развертки - для анализа легких масс.

Во второй часта главы рассматривается возможность стабилизации фона нестабильных ионов в пшерболоидных масс-спектрометрах за счет применения импульсного сигнала специальной формы. Для этого предлагается использовать импульсный сигнал, вид которого приведен на рис. 1.

Рис.! Рис.2

Решение соответствугащшс уравнений движения позволило получить аналитическую формулу для параметра стабильности, которая имеет вид:

+05

а, а,-Д (1-А - А ~

где а,

iL.-l.XJ, Т. па я* ■ ■ 1

границ

Это выражение было использовано дли расчета совмещенной диаграммы стабильности, на которых = ±1.

Результаты проведенных расчетов показали, что изменение формы сигнала таким образом, что начало положительного импульса совпадает с началом периода, начало отрицательного импульса совпадает с серединой периода, а дпктелызосга импульсов изменяются, но остаются равными друг другу, приводит к сдвигу; границ первой зоньз стабильности (рис. 2), причем вершина дыакетса вдоль рабочей прямой. Увеличение длительности шапульсоз от шшшальиого значения, определяемого возможностями генератора, до 0,5Т привод:гг к перестройке прибора по массовому диапазону от меньших ыасс к большим, причем с ростом регистрируемого массового числа растет разрешающая способность прибора.

В третьей главе исследуются возможные искажения в распределила: потенциала в анализаторе квадрупояыюго фильтра масс как с

круглыми, так и с гиперболическими электродами, приводящие к ухудшению качества поля.

Рассмотрено влияние различного рода технологических погрешностей, возможных при изготовлении анализаторов квадрупольного фильтра масс как с круглыми, так и с гиперболическими электродами. Рассмотрены симметричное смещение всех четырех электродов вдоль своих осей и на некоторый угол относительно осей симметрии, а также несимметричное смещение одного из электродов как вдоль оси симметрии, так и перпендикулярно ей, а также на некоторый угол. Показано, что увеличение неточности изготовления электродной системы приводит, к увеличению погрешности поля в объеме анализатора, причем гиперболические электроды являются более устойчивыми к различного рода технологическим погрешностям по сравнению с электродами круглого сечения.

Было исследовано также искажение распределения потенциала, связанное с наличием краевых областей на входе и выходе анализатора квадрупольного фильтра масс. В работе приведены существующие аппроксимации распределения потенциала в переходных областях квадрупольного фильтра масс, для которых произведен расчет разброса ионов по энергиям после прохождения ими краевого поля. Показано, что краевое псхаясение распределения потенциала приводит к энергетическому уширешш ионного потока а продольном направления, что влечет за собой уменьшение разрешающей способности прибора. Причем это ушнрение уменьшается с уменьшением входной апертуры анализатора.

В работе показано и- экспериментально подтверждено, что приближение входной и выходной диафрагм к торцам электродов и в пределе расположение диафрагмы анутри электродной системы позволяет уменьшить влияние переходной области, что характеризуется увеличением разрешающей способности прибора а уменьшением потерь стабильных ионов па входе анализатора.

Результаты расчетов позволяют опттшзирозать конструкцию электродной системы квадрупольного фильтра масс с тючки зрения минимизации влияний искажения потенциала па краях анализатора.

В четвертой главе на основе результатов сравнения электродных спстен круглого и гиперболического сечений с точхи зрения устойчивости к различного рода технологическим погрешностям произведен выбор конструкции зяеятродпой системы квадрупояьного фильтра масс, представтяогцей собой четыре электрода гиперболического стоит, Еощевые области которых по

н

А

0 40 Б0 120 1Б0 200 Ногрез злелроднэй ««теки, С

Рис.3

Рис.4

технологическим соображениям явлшотса отрезками параллепышх прямых длиной Ьж (рис. 3). Показано, что в данном случае на точность формирования пола оказывает влияние уровень ограничения шперболических электродов который был выбран на уровне ир=1,6го, где Го - радиус поля электродной системы, что позволило получить относительную погрешность поля в рабочем обьеме анализатора не хуже, чем 1,610-6. Это является вполне достаточным для достижения высоких аналитических характеристик.

Разработанная конструкция электродной системы благодаря применению для взаимного закрепления электродов относительно друг друга керамических изоляторов, установленных в концевых областях, позволяет использовать анализатор квадрупольного фильтра масс для работы при повышенных температурах. С ростом температуры электродной системы наблюдается увеличение радиуса поля, причем это зависимость, подгвсркденная экспериментально, носит линейный характер (рис. 4). Нагрев анализатора приводит к линейному смещению гиперболических электродов, причем точность профиля электродов относительно нового радиуса поля оказывается сравнимой с точностью изготовления всей электродной системы. Этот факт позволяет использовать разработанную конструкцию электродной системы для работы при повышенных температурах без ухудшения аналитических характеристик прибора.

Для получения птерболоидных электродных систем квадрупольного фильтра масс была разработана" технология изготовления таких систем методом электролитического, формования с использованием неразрушаемой формы. Метод осиован на электролитическом наращивании слоя металла в соответствующем электролите на форму, состоящую из неразрушаемой и разрушаемой

частей. Профиль иеразрушаемой формы соответствует профилю полезадающих электродов. В качестве материала неразрушаемой формы предлагается использовать нержавеющую сталь 1X18Н9Т или молибден. Разрушаемая часть формы предназначена для закрепления керамических изоляторов и изготавливается из легко удаляемого материала с последующей предварительной металлизацией. В качестве материала для наращивания могут быть выбраны металлы и сплавы, которые возможпо получать электрохимически. В работе обосновывается преимущество применения п качестве материала электродной системы элезпролнтичесхой меди, на которую дополнительно могут наноситься также электролитическим путем защитные покрытия золота, серебра, пндия и других.

Достоинствами разработанного метода являются серийшотоссбность технологии, высокая экономичность, относительная простота всего технологического процесса, полная контролируемость электродной системы, получение легких электродных систем.

В работе описаны основные технологические операции метода, способ изготовления неразрушаемой н разрушаемой частей формы. Изготовленные электродные системы были выполнены аз меди, масс-аналгааторы были электрохгшичесси покрыты слоем золота.

Разработакше конструкции электродных систем квадрупольного фялыра масс позволяют создавать масс-акализаторы в виде моноблока а получать электродные системы практически любой длины путем состыковки отдельных частей.

. В пятой глаае отгсапы экспериментальные конструкции разработанных масс-анализаторов, параметры которых приведены в таблице.

Приведены результаты экспериментальной апробации разработанных масс-анализаторов. Для экспериментального обследования изготовленных электродных систем была создана экспериментальная установка, включающая в себя источник ионов, систему формирования ионного потока, электродную систему и систему регистрации. Питание электродной системы осуществлялось генератором импульсного сигнала с амплитудой импульсов 50 В и частотной разверткой. Для обследования масс-анализатора АНК-8,2/200 а рамках программы «Марс-96» испытания проводились с генератором гармонического сигнала с амплитудной разверткой.

Параметры разработанных масс-анализаторов

Тип м асс- анализатор а

Основные ДНК-10/300 АНК -10/600 АНК-8,2/200 АМК-8,2/267

характеристики

Гил электродной Моноблок Составной Составной Составной

системы

Число секций 1 2 3 4

Радиус поля, мм 10 10 8,2 8,2

Максимальный 30 25 25 25

радиус, мм

Длина, мм 300 600 200 267

Относительная 30 60 24,4 32,6

клина

Межэлектродная 80 160 60 70

емкость, пФ

Относительная 4-Ю-з 410» 2,5.10-' б-1(Н

погрешность

изготовления

Масса, г 400 800 w 400

Материал • Медь Медь Медь Медь

электродов

Толщина 1,2 1.2 1 1,2

электродов, мм

Защитное Золото Золото Золото Золото

покрытие

Толщина 1 1 1 1

покрытия, мкм

Разработанные конструкции масс-аяализаторов показали себя работоспособными и удовлетворяющими поставленным задачам диссертационной работы.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

На основании проведенных исследований по результатам работы можно сделать следующие выводы.

1.Фон нестабильных ионов в квадрупольном фильтре масс определяется способом развертки спектра масс. При амплитудпой развертке наблюдается уменьшение, а при частотной - увеличение фона нестабильных ионов с увеличением регистрируемого массового числа.

2.Для стабилизации фона нестабильных ионов предложено осуществлять развертку спектра масс импульсным сигналом, положительный и отрицательный импульсы которого разделены бесполевым промежутком, путем изменения длительности импульсов при сохранешш постояшшми амшппуды импульсов и частоты питающего напряжения.

ЗЭлектродиые системы квадрупольного фильтра масс с гиперболическими электродами позволяют создавать электрические поля, более устойчивые к технологическим погрешностям изготовления а сборки электродных систем по сравнению с электродами круглого сечения.

4.Увелнчение продольных скоростей ионов при прохождении ими переходной области играет определяющую роль в ухудшении гнхиггачессих параметров квадрупольпого фильтра масс. Существенно стоить влияние переходной области на условия анализа возможно оптимизацией ее геометрии, вдвигая входную п выходную диафрагмы вглубь электродной системы.

5.Разработалные конструкции тонкостенных квадрупольных электродных систем иасс-штализаторов . с гиперболическими элеетродами, как составные, так и в виде моноблока, позволяют использовать их для работы в условиях повышенных температур и внешних механических воздействий с сохранением высоких аналитических хараюеристик приборов.

6.Разработшшая технология изготовления тонкост ■пгаых электродных систем масс-анализаторов квадрупольного фильтра масс с гиперболическими электродами методом электролитического формования с использованием неразрушаемой формы позволяет серийно'получать идентичные, дешевые, легкие электродные системы, которые можно использовать для работы в нестационарных условиях.

7.Экспериментальная а1фобация разработанных и изготовленных по предлагаемой технолопет токкостешшх квадрупольных электродных систем масс-аншшзаторов с гиперболическими электродами показала,

что они работоспособны и полностью удовлетворяют поставленной задаче.

Разработанные электродные системы квадрупольного фильтра масс не имеют зарубежных аналогов. Технология их изготовления защищена патентом Российской Федерации. Все основные результаты, приведенные в диссертационной работе, получены лично автором. В постановке задач и обсуждешш полученных результатов принимали участие научный руководитель проф. Э.П.Шеретов и научный консультант доц. В.С.Гуров. Остальные соавторы участвовали в проведении отдельных расчетов и экспериментов.

Основное содержание диссертации опубликовано в следующих работах:

1. Дубков М.В. Исследование возможности развертки спектра масс пшерболоидного масс-спектрометра типа трехмерной ионной ловушки изменением формы питающего импульсного сигнала /I Научное приборостроение: Межвуз. сб. науч. тр. Рязань, 1995. С.65-68.

2. Дубков М.В. Оценка возможности накопления в объеме ионной ловушки нестабильных ионов // Научное приборостроение: Межвуз. сб. науч. тр. Рязань, 1995. С.П6-179.

3. Дубков М.В. Анализ нелинейных искажений поля квадрупольного фильтра масс с цилиндрическими электродами // Научное приборостроение: Межвуз. сб. иауч. тр. Рязань, 1996. С.19-22.

4. Гуров B.C., Дубков М.В. О выборе геометрии анализатора квадрупольного фильтра масс с гиперболическими электродами // Научное приборостроение: Межвуз. сб. науч. тр. Рязань, 1996. С.58-61.

5. Гуров B.C., Дубков М.В., Романов И.Н. Деформация пшерболондной электродной системы квадрупольного фильтра масс при нагревашш // Научное приборостроение: Межвуз. сб. науч. тр. Рязань, 1996. С.61-65.

6. Гуров B.C., Дубков М.В. Технология изготовления анализатора квадрупольного фильтра масс с гиперболическими электродами // Научное приборостроение: Межвуз. сб. науч. тр. Рязань, 1996. С. 153159.

7. Шеретов Э.П., Гуров B.C., Дубков М.В., Евдокимова МЛ. Способ изготовления анализатора квадрупольного фильтра масс // Положительное решение о выдаче патента на изобретение по заявке Кг 96104868/07(007939) от 12.03.1996 г.

8. Гуров B.C., Дубков М.В., Филиппов И.В. Вторично-эмиссионные свойства поверхности металлов, полученных методом электролитического формования II Материалы Всероссийского симпошуыа по эмиссионной электронике: термоэлектронная, вторично-электронная, фотоэлектронная эмиссии и спектроскопия поверхности твердого тела. Рязань: РГРТА, 1996. С. 131.

9.1'уров B.C., Филиппов И.В., Дубков М.В. Исследование процессов, происходящих на поверхности металлов при облучении медленными

ионами и электронами II Материалы Всероссийского симпозиума по эмиссионной электронике: термоэлектронная, вторично-элекгро1шая, фотоэлектронная эмиссии и спектроскопия поверхности твердого тела. Рязань: РГРТА, 1996. С.177-178.

Ю.Гуров B.C., Дубков М.В. Гиперболондные системы фокусировки и транспортировки пучков заряжетпгых частиц для вторично-ноштой и вторично-электротюй спектроскопии Ц Материалы Всероссийского симпозиума по эмиссионной электронике: термоэлектронная, вторично-элехтроплая, фотоэлектронная эмиссии и спектроскопия поверхности твердого тела. Рязань: РГРТА, 1996. С. 181.

П.Гуроа B.C., Филиппов И.В., Дубков М.В. О возможности нормализации свойств поверхности металлов, подвергшихся облучешпо заряженными частицами // Материалы Всероссийского симпозиума по эмиссионной электронике: термоэлектронная, втор1ршо-электро1шая, фотоэлектронная эмиссии и спектроскопия поверхности твердого тела. Рязань: РГРТА, 1996. С. 199-200.

12.Шеретов Э.П., Гуров B.C., Дубков М.В. Технология электролитического формования сложнопрофилышх электродных систем для аналитического приборостроения // Тезисы докладов Российской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии». М.: МАТИ-Р1ТУ, 1997. С.79.

13.Шеретов Э.П., Гуров B.C., Дубков М.В. Гиперболондные электродные системы для квадрупольного фильтра масс // Вестник Рязанской государственной радиотехнической академии. Вып.1. Рязань: РГРТА, 1996. С. 141 -142.

И.Гуроз B.C., Дубков М.В. Влияние технологических погрешностей на качество поля в анализаторе квадрупольного фильтра масс с электродами круглого сечения II Научное приборостроетше: Межвуз. сб. науч. тр. Рязань, 1997. С.30-38.

15.Гуров B.C., Дубков М.В. Выбор и исследоваште свойств материалов разрушаемой формы для электролитического формования сложнопрсфилышх электродных систем // Научное приборостроение: Межвуз. сб. науч. тр. Рязань, 1997. С.76-84.

16.Гуров-В.С., Дубков М.В. Влияние технологических погрешностей на качество поля а анализаторе квадрупольного фильтра масс с гиперболическими электродами // Научное приборостроение: Межвуз. сб. пауч. тр. Рязань/1997. С. 108-118.

17.Гуров B.C., Дубков . М.В. Экспериментальное исследование квадрупольного фильтра масс с гиперболическими электродами II Научное приборостроение: Межвуз. сб. пауч. тр. Рязань, 1997. С.143-148.

18.Гуров B.C., Дубков М.В. О выборе материала иеразрушасмой формы для электролитического формования сложнопрофильных электродных систем II Научное приборостроение: Межвуз. сб. науч. тр. Рязань, 1997.С. 156-158.

19.Шеретов Э.П., Гуров B.C., Дубков М.В. Технология изготовления сложнопрофильных электродных систем методом электролитического формования II Тезисы докладов международной Научно-технической конференции «Электрофизические и электрохимические технологии». С.-Пб.: СПбГТУ, 1997. С.35.

20.Гуров B.C., Дубков М.В. О выборе материала неразрушйемой формы для прецизионного электролитического формования электронно- и ионно-отических систем II Тезисы докладов международной научно-технической конференции «Электрофизические и электрохимические технологии». С.-Пб.: СПбГТУ, 1997, С.36.

21.Гуров B.C., Дубков М.В, Технология изготовления высокоточной разрушаемой формы для электролитического формования электронно- и ионно-оигаческих систем // Тезисы, докладов международной научно-технической конференции «Электрофизические и электрохимические технологии». С.-Пб.: СПбГТУ, 1997. С.37.

22.Гуров B.C., Дубков М.В. О выборе материала для изготовления электронно- и иощю-оптических систем методом электролитического формования // Тезисы докладов мендуиародной научно-технической конференции «Электрофизические И электрохимические технологии». C.-II6.: СПбГТУ, 1997. С.38.

23.Гуров B.C., Дубков М.В. Филиппов И.В, О выборе материала покрытия, обеспечивающего срок службы электронно- и нонао-оитических систем, изготовленных методом электролитического формования // Тезисы докладов международной научно-технической конференции «Электрофизические и электрохимические технологии». С.-Пб.: СПбГТУ, 1997. С.39.

24.Sheretov Е.Р., Gurov V.S., Dubkov M.V. Quadrupole Mass-Analyzers in Space Research // Abstracts of papers presented at the !4,b International Mass Spectrometry Conference. Tampere, Finland. 1997. P.229.

25.Гуров B.C., Дубков М.В. Влияние способа очистки электрохимически осажденной меди на. экзоэлектронкую эмиссию с ее поверхности // Физика полупроводников и микроэлектроника: Межвуз. сб. науч. тр. Рязань, 1997. С.47-50.

26.Шерсгов ЭЛ., Гуров B.C., Дубков М.В. Гиперболовдные масс-анализаторы с одномерной сортировкой для космических исследований и охраны окружающей среды // 'Груды международной научно-технической конференции «Научные основы высоких техноло!ий». Новосибирск. Т. 1. 1997. С.63-66.