автореферат диссертации по электронике, 05.27.01, диссертация на тему:Исследование интерференционных эффектов при брэгговской дифракции пространственно промодулированной рентгеновской волны

■0Г6 од

I 9 ДПР 10.93

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК

ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ ТЕХНОЛОГИИ Л1ПКРОЭЛЕКТРОИИКИ И ОСОГ>ОЧ ИСТЫХ (МАТЕРИАЛОВ

На правах рукописи

СУВОРОВ Алексей Юрьевич

ИССЛЕДОВАНИЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ЭФФЕКТОВ ПРИ БРЭГГОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ ПРОСТРАНСТВЕННО ПРОМОДУЛИРОВАННОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ВОЛНЫ

Специальность 05.27.01 — твердотельная электроника и микроэлектроника

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Черноголовка 1993

Работа выполнена в Институте проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН.

Научный руководитель: кандидат физико-математических наук Снигирев А. А.

Официальные оппоненты:

доктор физико-математических наук Кон В. Г., доктор физико-математических наук Шехтман В. Ш.

Ведущая организация: Институт кристаллографии РАН

Защита состоится „ —¿^Ф-Я_ 1993 г. в час.

на заседании специализированного совета К. 003.90.01 при Институте проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН по адресу: 142432, Московская обл., Ногинский р-н, п. Черноголовка, ИПТМ РАН.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН.

Автореферат разослан «_]£_»__—199_5 года.

Ученый секретарь

специализированного совета кандидат физико-математических

наук X?- И. А. Айзенберг

© Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов

ВВЕДЕНИЕ

Прогресс в развитии микроэлектроники я технологии jtípa-1тки полупроводниковых материалов иеразрызно связан с оовер-яствованием как уже известных, ак и потеком новых отодов ¡следования я контроля реальной структуры монокристаллов, ввергаемых воздействии различите технологических операций: жсление. металлизация, травление, ионнал ампгаитация и т. д. юбходнмость получения разнообразной информации об измеиени-с, происходящих в кристаллической реагтке после того или юго процесса, привела к созданию целого комплекса взаимо-толшюцих методик, основанньгх на особенностях взаимодейст-[Я электро-магнг-ного излучения (видимого, Ш и УФ света, ¡нтгеновсхи- и у-лучей) и элементарных частиц (электронов, ¡йтронов и т. д.) с веществом. лтальность темы

Одними из наиболее распространенных на практике является ягггеновские методы исследования, позволяющие осуществлять •разрушающий контроль ln-situ. С ростом миниатюризация полу-юводниковь'х приборов и изменением топологии расположения гементов схем на "поверхности подложек, возрастают требования эффективному контроля их размеров, качества повторяемости, ютветстьия oí, «деленным требованиям и т. д.-В связи с этим, настоящее время проводятся исследования по создании методов (агностики на основе новых дифракционно - интерференционных 1ЛекиП. Например, важной операцией в производстве, транзис->ров, интегральных схем л других приборов является контроль фаметриз профиля поверхности подложек. Иногда оптические шборы и профилометры не в состоянии эффективно работать в lkhx исследованиях. В этом случае могут использоваться рент-дао-дифракционные методы. Ряд работ, появившихся недавно и •священных пзучение дифракционных спектров кристаллов с neto двческимп приповерхностными искажениями, показали, что лтгено^ская интерференционная дифрактсметрия, главная идея iT рой зак.ютается в соваещзтш когерентного брэгговского

- 1 -

рассеян!:л с дифрахцней на периодической саерхреиетке, является очень чувствительным инструментом, который можно использовать д;.я диагностик; поверхности монокристаллов.

С дугой сторолы, растущие требования к эффективности методов диагностики' с\эмулируют поиск и создание новых рент-гено-оптических элементез. К числу таких разработок можно отнести создачие Брэгг-Френелевской линзы и развитие нового направления-Брэгг-Френелевской оптики, суть которой заключается в созмеиении брэг. овской дифракции на кристалле с дифракцией на искусственно созданной в нем структуре.

Являясь органическим продолжением начатых в этой облает! исследований, настояпзя диссертация посвящена изучение диф-рак1 энно - интерференционных явлс.аий, связанных с рассеяние! I- .¡нтгеновских лучей на кристаллических объектах, представля ющих собой комбинации различных периодических и квазипериоди ческих структур. Цель работы

Теоретически!: анализ и экспериментальное исследовани особенностей рассеяния рентгеновских лучей в условиях брэг говского отражения на кристаллических сверхструктурах, реахи эуыщих Многолучевую интерференцию дифрагируюадг излучения. Нзучнай новизна

Впервые экспериментально изучены особенности формировг ния Фурье-изображений амплитудно-фазовых решеток в условш дифракции жесткого рентгеновского излучения <А-1Я).

Впервые экспериментально реализована дифракционная фок; сирозка блоховских волн в однокристально!' схеме.

Чпераые экспериментально обнаружена и исследована инте] фаренция рентгеновских лучей ь дифракционных геометриях Лау: ВрЗгг и Брэгг-Лауэ-Брэгг.

В' результате теоретического анализа показана еозмож"ос резхого сужония кривой качания миогоблочного микроинтерфер метра в геоуетр'ии Лауэ.

Практическая ценность . . ' •

Экспериментально реализована дифракционная фокусиров

*

- 2 -

блохизских волн зонной линзой.

Предложен метод контроля кристаллов со слабыми "олями деформаций (Да/а-Ю-7) на основе дифракционной зонной линзы.

Предложен новый тип коллимзтороз (угловая коллимация) жесткого и сверхжесткого рентгеновского излучения (Е>20кеУ), основанных на резонансном свойстве многоблочных кикроинтерфе-рометров.

Основные положения, выносимые на защиту

1. Особенности и условия формирования Фурье-изображений при дифракции рентгеновских лучей на совершенных кристаллах с амплитудн^-фазовой решеткой вдоль поверхности.

2. Экспериментальная реализация дифракционной фокусировки блоховских волн в однокристальной схеме.

3. Исследование интерференционных эффектов, связанных с диф- , ракцией рентгеновской волны на многогранной кристаллической поверхности.

4. Теоретический анализ дифракции рентгеновских лучей на многоблочных микроинтерферометрах.

Апробация результатов работы

Результаты исследований, изложенные в диссертации, докладыза-лась и обсуждались на следующих конференциях и семинарах:

1. и Всесоюзное совещание по межвузовской комплексной программе "Рентген", Черновцы, 1987. . . '

2. II Всесоозный семинар "Мтсролцтография", Черноголовка, 1988. .

Ъ. Всесовэпгя конференция "Динамическое рассеяние, рентгеновских луч й ь кристаллах с динамически««! и статическими пска-иениями", Негри, 1988.

4. IV Всесогзное совещание по когерентному взаимодействий излучения с веществом, Москва, 1988.

5. III Всесоюзное совещание по иэкзузовской комплексной программе "Рентген", Черновцы, 1989.

6. Вторая конференция по динамическому рассеянию рентгеновских лучей в кристаллах с дипанлчэскнми и статическими искажениями, Каиивели, 1990.

- з -

7. Международная конференция по использованию синхротронного излученил СИ-80, Иосоа, 1990. ; 8. IV Международная »онференция по оборудованию для синхро-: тронного излучения, Честер, 1991.

Основное содерхсш;<э работы изложено в 6 публикациях (си. стр. 18).

Структура и объем диссертации , Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключе-

ния и списка цитируемой литературы: 139 стрэниц -машинописного ' текста, включающего 41 рисунок и список цитируемой л:.;ературы из 123 наименований.

• ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ

В первой главе диссертации проводится анализ теоретических работ и некоторых экспериментальных результатов по дифракции рентгеновских лучей на совершенных кристаллах с различными граничными условиями на входной или выходной поверхностях. -Пригодятся основные положения теории дифракции рентгеновской вслны с пространственно-неоднородным распределением амплитуд» вдоль входной поверхности кристалла: основные интегральные.соотношения и функции влияния.

Дается обзор экспериментальных и теоретических работ по дифракции рентгеновского излучения на многогранных кристаллах. Основное внимание уделено анализу .возможных граничных условий, возникающих при отражении от профилированной поверхности, и их классификации. Среди экспериментальных исследований глделенг работа Бормана-Лемана по изучению интерференционных полос при дифракции узкого рентгеновского пучка на ограниченном кристалле.

В , заключении изложены основные свойства- рентгеновских • интерферометров и некоторые аспекты теории ссерхреиеток, реализующих многолучевую интерференцию рентгеновских лучей. Проводится сравнение с оптикой видимого света, подчеркивается значимость создгчия многолучевых интерферометров для рентге-

- 4. -

новской кристаллооптики.

В конце главы, на основании проведенного анализа, формулируются основние задачи диссертационной работы.

Втора: глава диссертации посвящена вопросам технологии михрострухтурирования. Поскольку продела* гг. ые в диссертации исследования стали возможными именно благодаря достижениям современной технологии, в данной главе описает* те приемы и методы, которые использовались при изготовлении образцов. Так как характерные размеры объектов исследования составляли величины порядка нескольких десятков клкрон и меней, то их кзготовле"ме требовало специального подхода. Представлены основные методы формирования структур с микронными и субмикронными размерам! элементов, их характеристики, а также адаптированные ' апологические цепочки для изготовления образцов трех типов: амплитудно-фазовые периодические и квазипериодические объекты, кристаллы с профилированной поверхностью и многокристальные микроинтерферометры.

В третьей главе диссертации приведены теоретические и экспериментальные результаты исследования дифракции рентгеновских лучйй на совершенном кристалле с амплитудно-фазовым объектом на поверхности. Для периодических решеток в плосковолновом приближении, используя аналогию с классической оптикоЯ, пве„ена характерная глубина • т^Г^/гЛ^д^, Л0«АсоеОв/с|*,|, которая условно делит кристаллическую среду на дифракционное области Френеля (1:-то) и Фраунгофера (Ъ»Т0). класть тени можно определить как толщину, при которой первые N гармоник Фурье разложения функции пропускания решетки практически не изменяются, то есть тя=т /н2.

■Йри англизе Фурье-изображения решетки в точном брэггов-ском положении в области толщин, соответствующих дифракции Френеля, вводится характерный период

, ьм-Ав1пОв/лс|х1| Если период решетки существенно превышает о0, то на'толщинах кристаллу тв-тт0, ш-1,2,... можно наблюдать эффект воспроизведения изображения решетки с масштабным инозите.чем

- 5 -

Рис. 1 Схема эксперимента: а) блох ыонохроматоров с ре-

зультирующей асимметрией р-1/зо; м-периодическая золотая маска; г-клиновидный кристалл; ^-фотопластинка. Р) схематичное изображение кристалла с рехаткой.

-6 -

100 (шп)

(»т)

Ь) с)

Рис. 2. Экспериментальные топограмны золотой решетки {1>40/т> длина волг • Л=о.82&; отражение й! <их>). Угол отклонения кристалла ал а) -1.5") Ь) -о.5"> с) 0.5й.

ятшза

[ЯЯЕЗЙЯГЯ Е2ЯГОЕЩЕВ

(рт)

0*1врт

И1ШШМ1

ншмнш

мшшши ШШНШГ ШНШШИ

ШЛШУ

АШШ ШИ .ViYiV.ViV.Vi

Рпс. 3. Расчетные изображения амплитудных решеток с различными периодами о в точном брзгговском полозенни кристалла: а) га ; Ь) 1бца; с) 4.еда. '.

- 7 -

Ы—и точностью до м-Г! гармоники Фурье разложения функции пропускания реиетки. Чис^о гармоник можно оценить как н~о/о0. При этом изобргжения б соседних слоях тга и т^ сдвинуты друг относительно друга на половину периода. Этот эффект аналогичен 'эффекту Тальбота в классической оптике, когда происходит воспроизведение функции пропускания решетки на расстояниях ь=ттР/А.

Если ко период рекэтки много меньше 00, то происходит самовоспроизведение изс Сражения по толцине с интервалом At=Л0 при условии,' что период решетки принимает дискретные значения ои=о0/ш. При этом изображения в соседних слоях сдвинуты друг относительно друга на половину периода.

. Для экспериментального исследования дифракционных изображений периодических объектов была изготовлена золотая решетка С ПерИОДОМ С=40Дга и толщиной золотого слоя ^и=1.2цп. Эксперимент проводился с использованием синхротронного излучения на 4ч онной Фабрике в Цукубо, станция с вертикальным виглером вг,-14в. "Общая схема эксперимента изображена на Рис.1. Для длины волны А=о.агХ поглощение в золоте составило -30%, а фазовый сдвиг Дфзп/г.

На • Рис. 2 изображены фрагменты топограмм, полученные в разных•угловых положениях кристалла. Характеристическая толщина т0 в этом случае составляет т0^1зоб/иа. Таким образом, представленные фрагменты отражают переходную область между тенью и ди${ акцией Френеля. Характеристический период в данной геометрии составляет о^э.зцт. Особенностью полученных топограмм является тенденция к расщеплению изображения на периодические фрагменты, ¿двинутые друг относительно друга на п/а. На Рис 3(а,ь) представлены чнсленина расчеты изображе-««!!»?,• демонстрирующие случаи с г>>1^ и р-'г1и соотй» '•сч<®йно.

Анализ дифракции сферической волны с перйощчоскс» м ду-ляцйей волнового фронта показывает, что при толщинах кристалла ^т^ т1»'ГЛ/2Л()е1п20в, ь-расстояние до точечного монохроматического источника, .происходит фокусировка дифракционных порядков решетки в точках

- 8 -

Рис. 4. Схема эксперимента: с1~сг коллииирующие дели; Н- моно-яроматор с асимметричным срезок ь=1/37; о-клииовидный криса лл; Р-фотопластинка.

1250-1

I I I I | I I I I | I I г 11 г I I I I I 100 200 300 400 ' поверхность (икц)

Рис. 5. Профиль интенсивности в фокальной плоскости, полученный фотометрирозанием изображения линзы. Ширина фокусного пятна Д=18.5|ш.

- 9 -

V •wivli*/7- 1]Я/2} ' WD '

выходной noi ор.чностн .кристалла. Полученный эффект аналогичен фокусироя-.е дифракционных порядков решетки в фокальной плоскости ли! 1ы.

Если же периодическую решетку замелить на структуру аналогичную зонным пластинкам в классической оптике, то ыожг) получить дифракционно» ¡Фокусировку блоховских волн в однокристальной охомя. Конфигурация бон в этом случае определяется расположением нул-гй функции Бесселл нулевого порядка

J0(j^- v42-x2ctg*j0B). Длл экспериментального подтверждения этого эффекта (5щ.а изготовлена золотая зонная линза с толщиной эолового покрытия tAu=i. полной апертурой л=1С8цт,

количеством зон ;,=23 п шириной последней зоны 6»i.4|ira.

Экснерииент проводился в двухгрястальной параллельной схеме на рентгеновской установке с вращающимся анодом "Rota-flex" ки-201'ЬН. О^цая схема эксперимента приведена на Рис. 4. В качестве монохроьатора использовался кристалл si с резко асимметричным отражением (220) Ь=у,/э'0й37. Расчетная глубина фокусировки для излучения сика составила т-isi/jr. Ка Рис. 5 показан профиль распределения интенсивности в фокальной плоскости линзы,.полученный с помощью фотометрических измерений. Ширина фокусного пятна на половине высоты Asie.sfzm. Соотношение иахсимахьнсй интенсивности г фокусе к минимальной интенсивности .внутри апертуры линзы составляет несколько порядков, При этом, отношение интенсивности в фокусе к интенсивности отрагенкого пучка вне апертуры лшка составляет ХкаЛ <пгК2,г' Полученная зонная структура может эффективно работать в г.ебслыгск интервале длин волн, меняя при этом фо-«усную, глубину. Это свойство может быть использовано для создания микрозонда с плавающим. фокусом для исследования l.orefl слабых деформаций, поскольку чувствительность фокусировки к искажениям кристаллической решетки очень велика.

В четвертой главе' диссертации проводится анализ интерференционных явг ний, возникаетг'х при дифракции рентгёновско-

- Ю -

а)

А

Ь)

Рис.6. Схематичное изображение дк^ракдаинт-и: геометрий: а) тип Л; bj тип о.

- г

Рис. 7. Схенг р-ссперимента: е-источник излучения; с ~с2 колли-миругшие щели; м-ыонохроматор с асимметричным срезом; х-образец; р-фотопластинка.

рекциолньк полос в дифракционной геометрии А. Параметр отклонения 1)=_2-5. период полос саз.7дш в плоскости регистрации.

- 1% -

го излучения на многогранных н многсхристальныя структурах.

Дифракция рентгеновски:: лучей на многогранных кристаллах, определении^ конфигурациях профиля поверхности, может сопровождаться интерференцией отраженных во-н, соответствующих различным дифракционным геометриям (или граничным условиям). На Рис. Б схематично пзобрагены два профиля, исследованные в диссертации. Области интерференции соответствуют участкам вс (тип А) и со (тип 5) выходной поверхности. В дифракционной геометрии Л период интерференционных полос в плосковолновом приближении иозно представить в виде 0=»27Г/|К30! , где

К*

" ЗсозО 2еоэЯ I 1

2собО^ 2СОБОв

зс1=с(х1х_1)1/'3, 7)=(0в-0)з1п20в/5:1. с ростом параметра отклонения период полос уменьшается и стремится к нулю, В окрестности точного брэгговского положения существует точка

в , ото рой интерференционные полосы пропадают, а период равен' бесконечности.

В дифракционной.геометрии В с ростом параметра отклонения период полос становится постоянным .

оо=2п/|Лк| , Дк=-кхо/2со<ге0 ■ .

В точном бр:тговса.см положении, при условии фи, яожно наблюдать полну о кодуияцн» отраженной интенсивности, связанную с сильной Брэгг-Брэгг дифракцией.

Эксперимент проводился в двухкристальной параллельной схеме, представленной в общем виде на Рис. 7. В дифракционной геометрии А в качестве ионохроматора использовало- кристалл 31 с резко асимметричным отражением (220) ь~.3 7; образец сил изготовлен е. виде прямоугольного края методом анизотропного травления, э!. На Рис. 8 приводится одна из топограмм для углового положения. 7}=-2.1з. Период и характер поведения интерференционных полос соответствуют сделанным аналитическим оценкам,

, В дифракционной геометрии Б в качестве монохроматора

- 13 -

Рис. Э. Экспериментальные топограммы рельефа с периодом й=бо¡на. высотой Н«10(ла и соответствующие им денснтограммы для угловы: положений кристалла т): -З.Зб; Ь) -6.72; с) о

- 14 -

1.00 -I

-1.0

И ■ V ' )

-0.5 0.0

0.5

отклонение (угл.с"..)

Рис.10. Расчетная кривая качания Лауэ-микроинтерферометра для отражения 81 (422); Л-0.56&; ^-/^-Дзвгдп;-« »«Оря.

1.00

-1—1—Г—1—I—I I I | I—!—Г—I—1 -6 -4 -2 О

отклонение (угл.сек.)

?ис. 11. Расчетная кривая прохождения двухблочаого Брэгг-мик-, ройнтерферометра для отрагакия "1 (з:з); Л=1.Е4Я;

- 15 -

использовался кристалл si с асимметричным отражением (333) Ь=12; образец был изготовлен в виде прямоугольного профиля методами фотолитографии к ионно-плазменного травления. На Рис. 9 показаны топограммы и соответствующие им дек-итограммы, полученные в различных угловых положениях кристалла. Для данной высоты Еыступа можно было наблюдать лишь первые полпериода интерференционной картины, которая особенно контрастно проявляется при отклонениях кристалла (Рис.9ь,с).

Эффект прелс шения рентгеновской волнг при входе и выходе из кристаллической среды может оказывать существенное влияние на функции прохождения и отражения структуры, состоящей из N одинаковых кристаллов, жестко закрепленных друг относительно друга и разделенных воздушным промежутком. Анализ дифракции в reo. этрии Лауэ на микроинтерферометре (МИ) показывает, что для периодического набора кристаллов при определенных толщинах блоков происходит существенное сжатие кривой качания МИ. ьсли то;..и1ны блоков t^«^, а суммарная толщина ^=Л0/2, то кривая качания МИ состоит из периодического набора узких максимумов с углозым интервалом Ajf-Ag/t , где t^-; асстояние между блоками. Если же толщина блоков tQ-A0±Д, где Д=А0/2Н, то кривая качания при t^^ имеет лишь нулевой максимум с полушириной 6ai/2N (РисЛО). Полученный резонансный эффект может сыть с успехом испсльзован в оптике сверхжесткого рентгеновского излучения (E>20keV) для угловой коллимации рентгеновских пучков.

В геометрии Брэгга анализ двухблочного МИ показывает, что при малых толщинах ристаллов функция прохождения полностью аналогична функции интерферометре Фабри-Перо. Если же to~Iex" *го фактически на функцию прохождения отдельного о'гокг накладываются интерференционные максимумы, угловое расстояние между которыми можно оценить как Aq^irL^tj, где t.^L^, tj-расстояниз между блоками (Рис.11).

- 16 -

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Проведен анализ характеристик основных технологических операций микроструктурирования и реализованы те: юлогические процессы изготовления рентгенооптических структур трех типов: амплитудно-фазовые еаски, кристаллы с профилированной поверхностью, многоблочнче кристаллические решетки.

2. В приближении лучевой оптики получены критерии разделения кристалла на дифракционные зоны и рассмотрены характерные особенности .формирования Фурье - изображения решетки в них: аналог эффекта Тальбота и саморепродукция изображения в приб-лиьшш плоской волны; фокусировка дифракционных порядков ре-шитхи в приближении сферической волны. Проделаны численные расчеты изображений.

3. Экспериментально получены дифракционные изобр,- кеипя ->рио-дической реыетки на кристалле э! в плосковолноеом приближении.

4. ВперЕиэ экспериментально реализована дифракционная фокуси--ровка блохо:гских волн зонной пластинкой. Пре пложена схема микрозонда для исследования кристаллов со слабыми полями деформация. '

5. 3 плоскор.опновом приближении получены выражения, описывающие интерференционные полосы в дифракционных геометриях Лауэ-Брэгг и Брэгг-Лауэ-Брэгг.

6. Впервые экспериментально наблюдалась интерференция рентгеновских лучей б дифракционных геометрия;: Лау:.'-15р:ит и Брэгг-Лауз-Брэгг.

7. Разработана програкна численного расчета тосбрл-;енй'1 при дифракции рентгеновского иэлучени'' на пройипировлшюИ поверхности в геометрии Брэгга.

3. Проанализирована дифракция рентгеновских лучой па много-блочпьк: микроинтер'^ерометрах в геометриях Лауз и Бр^п а. Показано, что:

в гоомотркя Лауэ при толщинах блоков позпикает

резонансны;! эффект, заключающийся'в существенном сул1!!'!!! кри-

17

•вой качания микроинтерферокетра в центральной области углов ДО угловой ЮфИНЫ Дт)31/2И;

предложено использовать полученный эффект в оптике сверхжесткого рентгеновского излучения <E£2QkeV) для угловой - коллимации расходящейся рентгеновской волны;

в геометрии Брэгга функция прохождения двухблочного ышс-роинтерферометра имеет узкие дифракционные максимумы, угловая ширина которых обратно пропорциональна толщине отдельного блока.

Основнье результаты диссертации опубликованы в следующих работах:

1. Аристов Б.В., Басов В.А., Куюкчян A.B., Снигирев A.A., Суворов A.D. Лауэ-микроинтерферометрия. // В кн.: Тезисы докладов Всесоюзной конференции "Динамическое рассеяние рентге-• новских лучей в кристаллах с динаутческими и статическими искажениями", Мегри, 1988. с. 68.

2. Аристов В. В., Куюмчян А. В., Кузнецов С. 11., Снигирев А. А., Суворов A.D. Динамические эффекты дифракции рентгеновских лучей на микроинтер$ерометрах в геометрии Лауэ. // В «.н.: Тезисы докладов IV Всесоюзного совещания по когерентному взаимодействию излучения с вещество v. Цосква, 1988. с. 102.

3. Аристов В. В., Басов D. А., Снигирев А. А., Суворов A. D. Локальная рентгеновск** топография. //В кн.: Тезисы докладов и Всесоюзного сешязарй "Микролитогпафия",. Черноголовка, 1988. с. 142.

4. Аристов В.В., Снигирев A.A., Суворов A.D. Формирование топографического контрасга на ийкроинтеоферометре. // Письма в ЖТФ 1990, т. 16, в. 4, с. 80-83.

5. Snlgirev A.A.«Suvorov A.Vu., Ishikawa Т., Izurai К., Kikuta В. Л plane have diffraction on an amplitude-phase Laue luicro-interferoraater. // Jpn.J.Appl.Phye. 1992, v.31, N.7a, p.L8S7-LB99»

6. . Onigirev A.A., Suvorov A.Yu. Kicrointerferoneter for the hard X-ray range.// Rev.Sci.Instrum. 1992, v.63, M.l, p.1204-1205.

- 18 -