автореферат диссертации по электронике, 05.27.06, диссертация на тему:Исследование и разработка барьерных пленок с толщинами до 100 А на входе микроканальных пластин для электровакуумных приборов 3-го поколения

московский государственный илстютт эт зсгронини и математики / технический университет/

Кройчук Кирилл Львович

ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА БАРЬЕРНЫХ ПЛЕНОК С ТОЛ1Б^НЛ.Ш ДО 100 А НА ВХОДЕ МИКРОКАШЬНЫХ ПЛАСТИН ДЛЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ 3-ГО

автореферат' диссертационной работы па соискание ученой степени кандидата технических ;;аук

Москва 1УУЗ г.

Для служебного пользования экз Л.^..

ПОКОЛЕНИЯ

Специальность 05.27.06 "Материалы для электронной техники"

Работа выполнялась в московской Государственной институте электроники и математики ( Технический университет )

Научный руководитель: д.т.н. Черкасов А.С.

Официальные оппоненты: Сигов Александр Сергеевич, д.ф-м.н.. завкафедрой физики конденсированных сред МИРЗА, Быковский Алексей Юрьевич, к.ф-н.н. научный сотрудник ФИАН.

Зацита диссертации состоится - 199-^г. в

'час. на заседании диссертационного Совета Д~063680б в Иосков-ском Государственном институте Электроники и Математики по адресу: 109026, г. Москва. Б. Вузовский пер. 3/12.

С диссертационной работой микно ознакомиться в библиотеке ЫГИЭ и М.

Автореферат разослан

^ -'Л- 1993г.

Ученый секретарь дисс. Совета /^Ь//^/]

. . /2уков Б.К./

Целью работы является разработка материалов для барьерных пленок, используемых г> усилительных узлах микроканальных ЗВП и проведение оптимизации БП по составу, толщине, дефектности и другим параметрам с целью улучиения характеристик ЭВП, в первуп) очередь значительного удлинения срока службы при сохранении усилительных и шумовых характеристик на достаточном для эксплуатации уровне,

Для достивения поставленной цели в работе.следует разрешить следующие основные задачи:

- выработать критерии, позволяющие проводить выбор материалов и оптимизацию характеристик барьерных пленок;

- провести исследования материалов БП с целью установления взаимосвязи стехиометрических характеристик с электронной и ионной прозрачностью пленок и по результатам выполнить оптимизацию параметров БП;

- разработать универсальный технологический процесс нанесения барьерных пленок на вход МКП, обеспечивающий выполнение широкого комплекса требований, предъявляемых к БП в ЭВП; в результате на входе МКП доланы быть получены бездефектные БП с оптимизированными составом и толщиной, обладающие необходимой механической прочностью, устойчивостью к технологическим обработкам и " обеспечивающие возможность при минимальном ухудшении усилительных и шумовых свойств ЗВП получить максимальное возможное сниаение ионной обратной связи в готовых приборах.

Научная нови,зна диссертационной работы состоит в выработке на основе комплексного подхода к разработке усилительных узлов для иикроканальных ЭВП 3-го поколения критериев, которым доляны удовлетворять указанные узлы для успешного применения, в определении направлений исследований, выборе материалов БП, проведении оптимизации их характеристик и разработке' оригинального технологического процесса создания узлов для ЗВП. В рамках решения поставленной задачи были выполнены исследования широкого спектра материалов для барьерных пленок с толщинами до 100 й с учетом возыояностей регулирования их стехиометрического состава БП, установлена взаимосвязь меяду параметрами пленок: составом, распределением элементов по профилю и толщиной с одной стороны и электронной и иогной прозрачностью - с другой, произведена оптимизация усилительных узлов БП-НКП, разработан оригинальный технологический процесс изготовления таких узлов и выполнены испытания в составе электровакуумных приборов.

Для создания и оптимизации характеристик системы БП-МКП

проанализировано влияние барьерных пленок различных материалов и технологии их изготовления на ряд ппдессов в ЭВП и в первую очередь - на распространение электронного потока на входе ККП и обусловленную этим усилительную эффективность системы БП-Ш, на ионную прозрачность пленок, определяющую скорость деградации фотокатода и срок службы прибора в целом; разработаны методики измерений, позволяющие, эффективное проведение подобных исследований.

Г учетом различных факторов, влияющих на работу прибора, и результатов проведенных исследований осуществлена оптимизация характеристик барьерных пленок, и разработан оригинальный технологический процесс изготовления усилительного узла ЭВП, включающего НКП с БП на входе, отвечающий критериям, предъявляемым к различным типам микроканальных ЭБП, й нашедший в настоящее время применение в приборостроении.

Практическая ценность работы заключается:

- в выработка универсальных критериев, которым дол«ны отвечать материал! и другие параметры барьерных пленок для их успещнрго применения в составе электровакуумных приборов, в проведении оптимизаций параметров плено! и разработке на этой основе технологического процесса нанесения БП на вход НКП, позволяющего значительно увеличить срок слуаСы ВВП за счет ,сни«еиия интенсивности ионной бомбардировки фотокатода. С учетом высокой цены'современных ЗВП, в первую очередь ЭВП 3-го поколения в настоящее время эта задача является крайне актуальной:

- в проведении комплексных исследований стехиометрического состава и распределения элементов по профилю в случае пленок с толщинами до 100 0 и установлении взаимосвязи параметров пленок с их влиянием на распространение электронного и ионного потоков в электровакуумных приборах:

- в использовании результатов проведенных исследований электронной и ионной проницаемости барьерных пленок и технологических аспектов их применения, а такще особенностей работы системы БП-МКП как усилительного элемента в приборе. Это позволяет проводить коррекцию параметров разрабатываемых пленок в зависимости от типов приборов и особенностей задач, рещаемых барьерными пленками в них:

- в апробации ряда методик исследований, разработанных в диссертационной работе:

- в подробном исследовании различных этапов технологического процесса создания БП,что моют быть использовано при рещении ряда

проблем электровакуумного приборостроения (в частности, это относится к вопросам влияния различных технологических обработок на материалы БП. очистке поверхности МКП. к созданию бездефектных органических пленок, использованию вторичноэмиссионных слоев и т.д.). Результаты исследований, методики измерений и отдельные этапы технологического процесса в 'методологическом плане являются инвариантными по отношению к рассматриваемому вопросу и объекту исследований и могут найти применение при решении широкого круга вопросов проектирования и создания вакуумных приборов в промышленном производстве.

Работа' состоит из 5 глав с введением и заключением.

Первая глава посвящена анализу современного состояния вопроса. В ней рассмотрены причины, обусловивиие необходимость применения БП в ЭВП и предъявляемые к ним требования, оценено влияние барьерных пленок различных материалов на характеристики приборов и слояности, возникающие в ходе разработки,-рассмотрены литературные данные по барьерным пленкам из различных материалов (их применение, технология получения, возмовности теоретического моделирования их работы), выработаны направления исследования материалов для БП и основные критерии их оптимизации, подтверядена актуальность прстановки задачи оптимизации усилительных узлов БП-МКП для развития современных ЭВП.

В результате проведенного анализа литературных источников установлено, что основной задачей, решаемой в электровакуумном приборостроении за счет нанесения на вход МКП тонких барьерных пленок, является защита фотокатода от воздействия ионной бомбардировки, приводящей как к быстрой деградации его чувствительности и, следовательно, - к сокращении срока слуабы приборов в целом, так и к ухудшению его частотно-контрастных характеристик. Такие пленки могут быть использованы и для улучшения оптических параметров приборов за счет устранения влияния слабознергетичных рас-сеяннных электронов и прямопролетного пятна в изобраяеннии.

Исходя из этого, разработанный усилительный узел БП-МКП дол-яен отвечать двум противоречивым приборным критериям. С одной стороны, быть максимально непрозрачным для ионов (это подразумевает стремление к увеличении толщины пленок и снижению их проницаемости), а с другой - ' барьерная пленка долана быть максимально прозрачной для информационного электронного потока с оотокода. и коэффициент усиления все!1! системы при ее нанесении долкен снимайся незначительно. Згь предпояаг-;-

ет тенденцию к уменьшению толщины пленки и обуславливает необходимость решения задачи оптимизации ее стехиометрического состава. Кроме того должны обеспечиваться удовлетворительные механические.адгезионные и эксплуатационные свойства БП. Наличие такого комплекса требований обусловило необходимость проведения работы по оптимизации характеристик барьерных пленок в первую очередь в направлении выбора материалов и разработки технологии их изготовления с целью создания усилительного узла с приемлемыми с приборной точки зрения характеристиками.

Проанализированы особенности барьерных пленок различных материалов, основные недостатки технологии изготовления БП, сложности математического моделирования работы системы БП-НКП. В случае использования пленок с толщинами до 100Й, выработаны критерии, выбора материалов для них и пути их оптимизации, и на этой основе сформулированы основные направления исследований.

Вторая глава посвящена анализу существующих и разработке новых необходимых для исследования БП методик измерений. В ней приводятся методики измерений электронной прозрачности барьерных пленок, их адгезии к поверхности МКП. дефектности и др. Значительное внимание улелено в этой главе исследованиям материалов барьерных пленок методами OSE- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и особенностям анализа стехиометрического состава таких пленок по профилю при предельно низких толщинах (до 100 fl).

Для оценки влияния барьерных пленок на усилительные свойства системы БП-ЫКП была использована методика, предусматривающая сравнение коэффициентов усиления (или электронных токов на выходе пластины) участков с исследуемой пленкой и .участков без нее одной и той же МКП при одинаковых режимах электронного возбуждения (энергии первичных электронов - Е., плотности входного электронного тока^,) и напряжения пи^ния МКП - ( имКп ).

Исследования электронной проницаемости БП и вторичной электронной эмиссии "на прострел" проводились традиционными методами путем разделения и анализа с помощь^, электростатической коллекторной системы электронного потока на выходе пленки при ее облучении электронами с регулируемыми параметрами ( Е6. ).

Йдгезия БП к поверхности МКП оценивалась по величине усилия в граммах необходимому для отрыва пленки от площадки размером 1X1 мм*.

Дефектность БП в ходе 'работ определялась как путем подсчета с помощью микроскопа количества дефектов на фиксированных площадках с последующим усреднением, так и по электронному изображению при облуче-

нии входа МИП низкоэнергетическими электронами (с энергией до ЮОэВ). В этом случае, например, разрывы в БП наблюдаются в виде светя- ■ щихся точек на темном фоне.

Для исследования состава барьерных пл.нок были использованы вакуумные методы OSE-профилирования, а для более точного разделения химических соединений и определения их концентраций - метод послойной рентгеновской фотоэлектронной спетроскопии (РФС).

При ОЯЕ-исследованиях для оценки концентрации элементов в пленке использовался метод коэффициентов элементной чувствительности:

с •

I.

где Ci- концентрация элемента,

Si- коэффициент элементной чувствительности 1-того элемента (табулированная величина, получаемая в предположении ее независимости от окруяения атомов 1-того элемента).

JL- ичтенсивность соответствующего ОЖЕ-пика. При РФС - анализе для более точных количественных расчётов концентрации была применена методика, учитывающая экранизирующее влияние поверхностных пленок на образце, а расчет концентрации производился с учетом табулированного параметра ASF (Atomic Sensitivity Factor), характеризующего исследуемый материал и равного: .--

jisf-ia'

где сечение ионизации атома (молекулы) вещества,

с!'- глубина выхода.

Разделение химических соединений при этом'проводилось по. величине т.н. химического сдвига, обуславленного неэквивалентностью в пленке атомов одного и того «е вещества, что связано, например, с различиями в их молекулярном окруяении, в местоположении и' т.д.. Физическая причина химического сдвига иллюстрируется моделью зарядного потенциала:

где энергия связи данного остного уровня,

£?°- соответствующая эму невозбужденная энергия, р. - заряд атома, ¿А. - суммарный потенциал , обуславливаемый точечными зарядами на'окрукающих атомах и по существу определяющий величину рассматриваемого химического сдвига.

Треп л глава посвящена исследованию влияния материалов БП на электронную прозрачность БП и оптимизации на этой базе системы БП-МКП как электронного усилителя. Основное внимание уделено роли стехиометрического состава барьерных слоев, их толщины и способа создания, а также проблеме оптимизации материалов БП и путей технологического регулирования стехиометрического состава БП.

Анализ проведенных исследований позволяет сделать вывод, что так как возможность увеличения эффективности регистрации системы БП-МКП за счет снижения толщины пленок весьма ограничена, основное внимание при разработке должно быть уделено вопросам оптимизации состава барьерных пленок, за счет чего обеспечивались бы высокие усилительные характеристики при энергиях первичных электронов до 1КэВ, характерных для ЭВП 3-го поколения. С этой целью проведено комплексное исследование стехиометрических характеристик барьерных пленок различных материалов.

Изучены стехиометрические характеристики барьерных пленок из различных материалов с толщинами до 100 А, распределении элементов по профилю пленок, их изменения при обработке, устойчивость при эксплуатации.

В результате получены энергетические зависимости эффективности регистрации, для БП различных материалов выделено влияние на усилени! процессов вторичной эл ктронной эмиссии "на прострел" и рассеяния эЛ1 г" ронов на выходе пленки. Установлена взаимосвязь стехиометрических параметров БП и эффективности регистрации системы БП-МКП, полученные езультаты сопоставлены с результатами других исследователей и теоретическими работами. а

Установлено, что при использовании на входе ЫКП алюминиевых барьерных пленок не удается достичь высокой эффективности регистрации в рассматриваемом диапазоне. Кроме того, электронная , прозрачность То;<их пленок быстро снимается и с уменьшением Е0 : при Ев= О.бКэВ эффективность регистрации не превышает 0,2-0,25 даже для ультратонких пленок (с1=40 А).

- 11 -

Несколько лучшими характеристиками особенно при низких энергиях первичных электронов обладают сапфировые барьерные пленки ( £ достигает 0,6 при Е„ = 0,6 КэВ для (1 = 40 А). Однако в рассматриваемом энергетическом диапазоне их эффективность еще явно недостаточна. Это справедливо и для пленок, полученных на основе МеО. Системы БП-МКП с барьерными пленками из фторида магния, напротив, обладают хорошими усилительными характеристиками: при их использовании удается достичь превышения эффективности регистрации МКП с БП над уровнем МКП без пленки на входе. Однако при всей привлекательности пленок из с точки зрения электронного усиления, их применение в ЭВП проблематично вследствие наблюдавшейся быстрой деградации свойств при контакте с атмосферным воздухом и при термообработках.

Наиболее привлекательными с точки зрения электронной прозрачности и обеспечения максимальной усилительной эффективности системы БП-МКП оказались кварцевые БП. Однако при использовании таких пленок наблюдалось заметное влияние на эффективность регистрации их стехиометрического состава, который в свою очередь может регулироваться при создании барьерного слоя. При этом максимальной эффективностью обладали БП, в составе которых наблюдалась наивысшая относительная концентрация Наибольшее значение наблюдалось в тонких барьерных пленках, полученных испарением и 5Ю в вакууме и в атмосфере кислорода, причем в-ходе последующих термообрабоюк эта величина только возрастала. Такие пленки обладали удовлетворитель ними термомеханическими свойствами, эффективность регистрации МКП с кварцевыми барьерными пленками на входе достигала 0,9. Кроме того, у кварцевых пленок при меньших, чем 1 КэВ величинах Е„. наблюдались более высокие значения 2 по сравнению с алюминиевыми БП или п.ненками А1г0, МеО той а'е толщины. При энергиях первичных электронов Е.=0,7 КэВ составляла не менее 0,7 при толщинах пленок 40...45 А и 0,6...0,65 - при толщинах 70 А.

Это достаточно важные характеристики БП, так как разработчики ряда типов ЭВП, в частности, бипланарных Э0П 3-го поколения, стремятся снижать напряженность электрического поля в зазоре между ФК и входом МКП и следовательно уменьшить Е. .

Вышесказанное позволяет сделать вывод об оптимальности использования кварцевых пленок в качестве защитных в составе ЗВП, работающих при низких (до 1 КэВ) энергиях первичных электронов.

Установлено, что за счет оптимизации материалов и толщин БП ниини при использовании кварцевых пленок поддерживать усилительную эффективность узлов БП-НКП, например, в случае пимланарных ЗВП 3-го поколения на уровне не хуже 85-90Х уровня МКГ1 без барьерной пленки на входе. (Указанный результат получен для стандартных МКП, без использования дополнительных вторично-эмиссионных покрытий.) Выработан подход к выбору параметров пленки в зависимости от энергий первичных электронов в конкретных типах

звп.

Четвертая глава рассматривает проблему оптимизации БП с точки зрения обеспечения требований минимизации ионных потоков из МКП на фотокатод и увеличения за счет этого срока службы электровакуумного прибора в целом. Проанализирован как сам процесс проникновения ионов через пленку так и факторы, оказывающие влияние на его интенсивность. Приведены зависимости величин ионных потоков для БП из различных материалов от их толщин, дефектности, режимов работы МКП и выявлена связь ионной проницаемости пленок, сроков службы ОЗС-ФК и электровакуумных приборов в целом. Определено, что величина игнного потока через БП определяется в первую очередь ее толщиной и дефектностью (наличием разрывов), а выход положительных ионов из каналов в направлении ФК осуществляется путем диффузии через тонкую барьерную пленку или через разрывы в ней. Установлено, что при использовании кварцевых барьерных пленок с толщинами не менее 70 А и количеством дефектов не более 100 с размерами до 25 мкм на поле пластины (254 мм* что составляет 0,000001% площади), достигается подавление ионного тока в 70-100 раз. За счет такого снижения интенсивности ионной бомбардировки фотокатода становится возможным значительное увеличение сроков службы ЗВП. в частности для ЗОП 3-го поколения до 1000 часов работы.

В этой же главе описана оригинальная установка для измерения онных токов из МКП, позволяющая при исследованиях достоверно моделировать условия работы реальных. ЗВП.

Пятая глава посвящена технологическому процессу создания БП из вобранных материалов оптимизираванными по результатам проведенных исследований свойствами. Поэтапно описан процесс нанесения БП на вход МКП. Приведены результаты по механической прочности готовых барьерных пленок, их адгезии устойчивости к обработкам и стабильности параметров материалов при эксплуатации.

Нстледована нирокая группа вторичноэмиссионных материалов для и."пользования при энергиях Е<1КэВ и рассмотрен« возможности

улучшения усилительных характеристик за счет их нанесения ■ на входную часть каналов МКП, определено влияние состава, толщин, глубины запыления на усилительную эффективность узлов, а такте параметры барьерных пленок (дефектность, механическую прочность при термообработках, наличие углеродных загрязнений и т.д.) путем приме нения этих слоев.

В выводах к главе описан предложенный соискателем технологический процесс:

1. МКП предварительно прогревается в вакууме при температуре 340*С в течении 15...20 ч.

2. МКП обрабатывается в ВЧ плазме в течение 3...3.5 мин. в атмосфере аргона с добавками кислорода до 102*по объему.

3. На вход МКП напыляется слой МеО так, чтобы толщина на входном торце составляла 1000...1500Д, а в каналы материал наносится на глубину запыления контактного слоя.

, 4. Методом флотации в 2 этапа на металлической рамке формируется трехслойная нитроцеллюлозная пленка, имеющая минимизированное количество дефектов.

5. Такая пленка осаждается на поверхность МКП созданием незначительного вакуума с противоположной стороны пластины.

6. На пленку напыляется слой моноксида кремния толщиной 60А... 80А (для ЭВП 3-го поколения). Процесс проводится при Т=140... 160 С и уровне остаточного вакуума не хуже 2.10 торр.

7. Промежуточная пленка удаляется прогревом на воздухе при Т-320... 340еС.

Полученные по разработанной технологии БП на входе МКП имеют удовлетворяюцув технологическим требованиям адгезию к поверхности (не хуже 60 г/ммг), достаточную механическую прочность и устойчивость к прогревам с температурами до 360°С. Число дефектов после обработок в готовом приборе не превышает 300, на поле прибора (254 мм1) (в лучших образцах - менее 50) и не увеличивается при эксплуатации. В ходе испытаний приборы с такими пленками сохраняли свои параметры в условиях непрерывной работы в течение 1000 ч. Равномерность пленки и усилительные харпыг ристики системы БП-МКП соответствуют предъявляемым к приборам требованиям. В этой же главе рассмотрены некоторые вопросы использования.разработанных усилительных узлов БП-МКП в составе реальных ЗВП, их влияние на усилительные, оптические и шумовые характеристики приборов, на основание чего дана оценка соответмиил полученных узлов критериям, сформулированным в начале предлагаемой

работы.

Исследования и практическая реализация результатов • проводилась в Научно-исследовательском институте Электронных приборов (НПО МЭ/13) в рамках ряда работ, связанных с разработкой и изготовлением новых типов ЗВП в^ период с 1984 по 1992 г. Результаты диссертационной работы нашли применение в технологии изготовления бипланарных электроннооптических преобразователей.

Научные и практические результаты диссертационной работы отражены в 9 опубликованных работах, в том числе в 5 защищенных ниторских свидетельствах СССР.

Основные положения диссертационной работы докладывались на научно-техническом семинаре по использованию волоконнооптических элементов в приборостроении (Сухуми 1986 г.) и на Всесоюзной научно-технической конференции молодых ученых (Севастополь 1988 г.).

ВЫВОДЫ

- на основе комплексных исследований материалов барьерных пленок определена взаимосвязь стехиометрических параметров барьерных пленок и их влияние на распространение электронных потоков. Выявлен эффект улучшения характеристик пленок за счет регулирования стехиометрического состава. В результате показано, что эффективность регистрации МКП с оптимизированными пленками на входе может быть доведена до 90-952;

- выработаны рекомендации по подбору материалов барьерных пленок, для широкого диапазона энергий первичных электронов. Установлено, что при экспонировании барьерных пленок на входе МКП электронами с энергиями до 1 КэВ наилучшими характеристиками с точки зрения электронной прозрачности обладают кварцевые барьерные пленки;

- разработано оборудование и проведены исследования ионной прозрачности барьерных пленок. Установлено, что в микроканальных ЗВП проникновение положительных ионов из каналов МКП через барьерную пленку происходит путем диффузии и через разрывы, при этом в случае алюминиевых, кварцевых и сапфировых барьерных пленок эффективность ионного подавления практически одинакова и определяется их дефектностью и толщиной;

- разработаны барьерные пленки на входе МКП для усилительных узлов микроканальных ЭВП 3-го-поколения, выполнена их оптимизация по составу, дефектности, толцине и ряду других парапет-

пив. В результате при снижении эффективности регистрации полеченных узлов БП-МКП не более, чем на 10-152 о: уровня МКП беь плннки на входа удалось достичь подавление ионного тока в 70-100 раз. Это позволило довести срок службы ЭВП до 1000 часов:

- l цельп улучшения параметров усилительных узлов БП-МКП разработаны и успешно опробованы вторичМоэмиссионные слои на входной части каналов МКП. Установлено, что за счет повышения эффективности использования' в усилительном процессе вторичных и рассеянных на большие углы электронов можно в 1,5-2,0 раза величить усилительную эффективность систем БП-МКП:

- разработана технология создания оптимизированных узлов, решающая вопросы снижения дефектности БП, улучшения нх

адгезии к поверхности МКП и термомеханических свойств, применения вторичноэмиссионных материалов на входе каналов МКП в комплексе с барьерными пленками. В' результате получены практически бездефектные барьерные пленки с адгезией к поверхности МКП не хуже 60 г/мм. выдерживающие все обработки при изготовлении приборов, а также достигнуто превышение усилительной эффективности узлов БП-МКП над уровнем МКП без пленки;

- проведено опробирование усилительных узлов полученных по разработанной технологии в составе ЭВП, в том числе электронно-оптических преобразователей 3-го поколения. В результате показано, что за счет использования разработанных оптимизированных усилительных узлов БП-МКП можно при сохранении усилительных и шумовых характеристик приборов значительно удлинить сроки их эксплуатации. Это, учитывая высокую стоимость приборов такого класса, позволяет получить экономический эффект около 450 тыс. риб. в ценах середины,1990 г. при использовании одного прибора.

На защиту выносятся следующие основные вопросы:

1. Результаты исследований ионной проницаемости барьерных пленок различных материалов.

2. Полученные завйсимости электронной прозрачности барьерных пленой ит их толщин, оптимизация системы БП-МКП как электронного усилителя..

3. Разработанный технологический процесс создания барьерных пленок толщинми ди ЮОн на входе микроканальных пластин.

- 1 и -

Список работ, опубликованных по теме диссертации.

1. Пегучев В.П.. Кройчук Н.Л.. Подгорнова Л.И., Шаманов А. А., Барьерные пленки на никроканальных пластинах; обзор по материалам зарубеиной печати за 1970-1985 гг. - И. ЦНИИ Информации, 1986 ( ЗВТ. вып. 6 (46))

.: Бегучев В.П., Кройчук К. Л., Подгорнова Л.И., Шаманов А.А.. ЗТ; сер 4. Электронные и газоразрядные прибоы. вып. 1.(120). 1988. с. 62-65

1 Кройчук К.Л. и др., ОМП, 1989. N 12, с. 6-8

4. Кройчук К.Л. и др.. АС СССР N 1355034. заявл. 04.06.1986

5. Кройчук К.П., Шаманов А.А., АС СССР N 302710. заявл. 29. 12. 1988

6. Кройчук К.Л. и др., АС СССР N 321113. заявл. 12.04.1989

7. Кройчук К.Л. и др., АС СССР N 326020, заявл. 08.01.1990

В. Кройчук К.Л. и др. ОМП, N 8. 1991, с. 26-28

'I. Кройчук К.Л. и др.. АС СССР N 331316, заявл. 17.08.89