автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.03, диссертация на тему:Электронные блоки для интегральных акселерометров прямого измерения и компенсационного типа

ВВЕДЕНИЕ

1. ОБЗОР СУЩЕСТВУЮЩИХ МЕТОДОВ И УСТРОЙСТВ ДЛЯ 11 ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ.

1.1. Физические эффекты, применяемые для измерения перемеще- 11 ния.

1.2. Обзор методов измерения угловых перемещений и их произвол

Выводы.

2. РАЗРАБОТКА ЭЛЕКТРОННЫХ БЛОКОВ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬ- 33 НЫХ ДАТЧИКОВ.

2.1. Генераторный емкостный датчик перемещений.

2.2. Емкостный преобразователь перемещений.

2.3. Синхронный детектор в составе емкостного преобразователя 47 перемещений.

2.4. Магнитоэлектрический преобразователь силы (момента).

Выводы.

3. АНАЛИЗ СВОЙСТВ КОМПОНЕНТОВ ЭЛЕКТРОННОГО 64 БЛОКА И МЕТОДИКА ВЕРОЯТНОСТНОЙ ОЦЕНКИ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ.

3.1. О фильтрующих свойствах синхронной модуляции - демодуля- 64 ции.

3.2. Вероятностная оценка погрешностей электронных схем на 74 примере интегрального акселерометра.

3.3. Анализ применимости фильтров низких частот в микроэлектромеханических системах.

Выводы.

4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОН- 84 НЫХ БЛОКОВ.

4.1. Методика компьютерной обработки результатов испытаний 84 интегральных акселерометров.

4.2. Результаты экспериментальных исследований.

Выводы.

Список принятых обозначений.

Актуальность работы. Актуальность выбранной темы подтверждается современным потоком информации в области интегрального приборостроения. С марта 2002 года микросистемная техника объявлена приказом Президента РФ критической технологией. В мире, а в том числе и в России, существуют специальные журналы, например, Sensor Letters (США), Микросистемная техника (Россия), Датчики и системы (Россия), в которых постоянно публикуются новейшие разработки и способы производства интегральных датчиков для различных областей техники. Из современных публикаций следует, что спрос на датчики постоянно растет. При этом прослеживается тенденция замещения традиционных датчиков интегральными на базе микроэлектромеханических систем. В то же время возрастают требования к точности датчиков.

В настоящее время микроэлектромеханические структуры широко применяются в навигационных и управляющих системах всех типов транспортных средств: автомобилях, самолетах, вертолетах, космических ДА, а также на кораблях, подводных лодках и различных боеприпасах: ракетах, торпедах и т.д. Существуют также системы подземной навигации для исследования профиля скважин при буровых работах - гироскопические и магнитные инклинометры, выполненные в виде микроэлектромеханических систем и реализующие инерциальный принцип счисления пути и координат места.

На современном этапе развития конструкций летательных аппаратов, инклинометров и боеприпасов проявилась тенденция микроминиатюризации конструкций отдельных компонентов таких систем, в частности приборов первичной информации - датчиков линейных ускорений (ДЛУ, акселерометров), датчиков угловых скоростей (ДУС, двухстепенных гироскопов) и датчиков угловых координат (трехстепенных гироскопов), при сохранении и дальнейшем увеличении их точности, надежности, временной стабильности и снижении энергопотребления. Причем, если для гироскопических приборов эта тенденция едва прослеживается и имеет поисковый характер, то акселерометры успешно поддаются миниатюризации на протяжении последних 20-и лет как в нашей стране, так и за рубежом. Происходит это в основном благодаря интегральным технологиям, заимствованным из микроэлектроники (фото- и рентгенолитография, изотропное и анизотропное травление, ионная имплантация, эпитаксия и т.д.), а чувствительные элементы (ЧЭ) самих датчиков изготавливаются из кремния или кварца групповым способом. Из зарубежных разработчиков наиболее известны разработчики в области микросистемных приборов навигации в настоящее время являются фирма Analog Devices (Doscher J., США), Scientific Honeyweller (Askc. V.H., США), LITEF GmbH (ФРГ). Перечислим отечественные фирмы разрабатывающие микросистемные датчики: Арзамасское НПП "ТЕМП-АВИА" (к.т.н. Былинкин С.Ф.), Зеленоградский НИИЭТ (д.т.н. Тимошенков С.П.), Пензенский НИИ-ФИ (д.т.н. Мокров Е.А.), МВТУ (д.т.н., профессор Коновалов С.Ф.) Тульский ГТУ (д.т.н., профессор Распопов В.Я.), и пр. Сервисная электроника датчиков первичной информации увеличивает степень своей интеграции, и на данный момент обозначился переход от гибридных интегральных схем (ГИС) со многими активными и пассивными компонентами на керамической подложке к специальным большим интегральным схемам (спецБИС) на одном кремниевом кристалле, имеющем источник опорного напряжения, генератор для измерительной схемы, фазочувствительный выпрямитель, измерительный усилитель с корректирующим устройством и усилитель мощности.

По принципу действия все акселерометры можно разделить на приборы прямого измерения и компенсационные: чувствительный элемент первых непосредственно передает информацию о входной величине на вторичный преобразователь, и при этом все погрешности измерительного тракта присутствуют в выходном сигнале датчика, а вторые частично или полностью (с интегратором в контуре - астатизм первого порядка) уравновешивают измеряемую величину с помощью главной отрицательной обратной связи (ГООС), т.е. реализуют силовую разгрузку ЧЭ с помощью выходного сигнала, подаваемого на элемент компенсации. В последнем случае точность прибора зависит в основном от элемента компенсации - датчика силы или момента обратной связи. Поэтому к их электронному блоку не предъявляют каких либо особых требований. В приборах прямого измерения, напротив, точность зависит от всех узлов, что приводит к усложнению схемотехники таких конструкций. Таким образом проблема улучшения характеристик (точности, технологичности, массогабаритных показателей) электронных блоков для приборов прямого измерения все еще актуальна.

Несмотря на перекрестную чувствительность, наиболее широко применяемыми ДЛУ в современных навигационных и управляющих системах для всех видов JTA по прежнему остаются традиционные маятниковые акселерометры компенсационного типа с камневыми виброопорами или упругим подвесом инерционной массы. Причем последние имеют существенные преимущества, поскольку у них отсутствует порог чувствительности в традиционном понимании, который можно было бы измерить, а минимальное значение измеряемого ускорения определяется в момент превышения выходным сигналом прибора уровня "шума" сервисной электроники.

Традиционные электронные блоки не подходят для микросистемной техники по многим характеристикам: по массо-габаритным, уровням сигналов, по степени влияния измерительного процесса на результаты измерений. Поэтому необходимо проводить исследования и разработки новых электронных блоков для микросистемных акселерометров. Диссертация выполнялась согласно плана основных научных работ Арзамасского филиала НГТУ по проблеме "Разработка и исследование интегральных датчиков первичной информации".

Цель работы. Целью диссертационной работы является разработка и исследование электронных компонентов с улучшенными метрологическими характеристиками для интегральных датчиков ускорений прямого измерения и компенсационного типа.

Задачи диссертационной работы:

1. Разработка электронных преобразователей и их узлов, встраиваемых в интегральные акселерометры, с целью микроминиатюризации датчиков с одновременным повышением точности.

2. Экспериментальные исследования характеристик электронных блоков в составе интегральных акселерометров для практического подтверждения результатов диссертации.

Объект исследования. Объектом исследования являются: электронные и микроэлектромеханические узлы интегральных акселерометров.

Методы исследования. При решении поставленных задач использованы методы математического моделирования, теории систем автоматического управления, физический эксперимент, синтез конструктивных решений и методы схемотехники.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Разработаны генераторный емкостный датчик микроперемещений, отличающийся от известных снижением погрешности, за счет введения дополнительных цепей, компенсирующих влияние входных емкостей логического элемента и алгоритма обработки, и дифференциальный емкостный датчик перемещения, отличающийся введением непрерывной электрической отрицательной обратной связи для уменьшения тяжения подвижного электрода.

2. Предложены адаптированные для использования в интегральных датчиках синхронный детектор с коммутируемым конденсатором, отличающийся от известных тем, что можно применить емкости малого номинала и не требуется применение фильтра низких частот, и синхронный детектор, не содержащий емкостей, отличающийся повышенной точностью.

3. Предложен магнитоэлектрический преобразователь силы, в отличие от известных адаптированный для интегрального исполнения без применения моточных работ возвращающей обмотки.

4. Предложены методики и программы обработки экспериментальных данных для исследования статической характеристики акселерометров, впервые позволившие получить на основе измерений погрешности: нуля, крутизны, нелинейности, погрешности установки базы и погрешности от поперечных воздействий в диапазоне температур.

5. Новизна полученных результатов подтверждается патентами РФ на изобретение № 2218575,2272297,2272298. Практическая ценность работы:

1. Результаты теоретических и экспериментальных исследований в виде рекомендаций и расчетных соотношений для проектирования и построения электронных блоков интегральных акселерометров.

2. Разработки электронных блоков для встраивания в интегральные акселерометры серийного изготовления.

3. Методики определения характеристик интегральных акселерометров, в составе которых применены разработанные электронные блоки, позволяют получить основные метрологические параметры приборов.

Реализация в промышленности. Сведения о внедрении результатов диссертационной работы приведены в приложении 5.

Апробация работы. Диссертация и отдельные ее разделы обсуждались и получили положительную оценку на следующих конференциях и совещаниях:

• На региональной научно-технической конференции "Наука - производству", Н. Новгород, 1998 г.

• На международной молодежной научной конференции "XXV гагаринские чтения", Москва, 1999 г.

• На Всероссийской научно-технической конференции "Методы и средства измерения физических величин", Н. Новгород, 2000 г.

• На Всероссийской научно-технической конференции "Информационные системы и технологии", Н. Новгород, 2002 г.

• На расширенном заседании кафедры "Авиационные приборы и устройства" Арзамасского филиала НГТУ в 2003 г.

• На расширенном заседании кафедры "Авиационные приборы и устройства" Арзамасского филиала НГТУ в 2004 г.

Публикации. По результатам выполненных исследований опубликовано 16 работ, из них 5 статей, 7 - тезисов докладов на научно-технических конференциях, 3 - патента на изобретение, 1 - методические указания к лабораторным работам.

Объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, четырех приложений, списка литературы и содержит 147 страниц машинописного текста: иллюстраций - 61 (рисунки, схемы, графики), таблиц - 9, список литературы - 76 наименований.

Выводы:

1. Разработана математическая модель статической характеристики, методика обработки экспериментальных данных при нормальных условиях и соответствующая программа для реализации ее на компьютере, что позволило получить расширенную информацию по погрешностям: установки базы и влиянию перекрестных ускорений, а также нелинейностей высших порядков.

2. Разработана методика обработки экспериментальных данных температурной характеристики и соответствующая программа для реализации ее на компьютере, позволившая автоматизировать нахождение температурных коэффициентов смещения нуля и коэффициента крутизны.

3. Разработаны и изготовлены макеты для осуществления экспериментальных исследований их характеристик.

4. Проведены экспериментальные исследования статической характеристики при нормальных условиях и температурной характеристики преобразователя перемещений и его узлов, результаты которых дали близкое совпадение с характеристиками известных устройств (приложение 4).

Список принятых обозначений g - величина ускорения свободного падения;

Ушах ~ Диапазон измеряемых линейных ускорений; ти - длительность импульса; cj,c2 - рабочие емкости датчика угла; h0 - начальный зазор между обкладками; h - зазор между обкладками; аи, Ьи, см- длина, ширина и толщина маятника; ап»К > сп ~ длина, ширина и толщина упругого подвеса; 8 - диэлектрическая проницаемость среды;

1 "7 е0 =8,854-10" Ф/м - диэлектрическая постоянная; s - площадь обкладок емкости; W[s) - передаточная функция; s = d/dt - оператор Лапласа;

4 - логарифмический декремент затухания (относительный коэффициент демпфирования);

Дб - погрешность базирования (неортогональность измерительной оси и базовой плоскости); с - среднеквадратическое отклонение; /вых - выходной ток прибора; UBbK- выходное напряжение прибора; rh - сопротивление нагрузки; Uпт- напряжение питания; Uоа- опорное напряжение; сос - собственная частота колебаний упругой системы; со - частота вынужденных колебаний;

Vo - скорость перемещения подвижного узла; S - площадь в плане подвижного узла; а - угловая скорость подвижного узла; цм - расстояние от точки качания маятника до центра давления; Т - кинетическая энергия чувствительного элемента (ЧЭ); m - масса ЧЭ;

Jcz - момент инерции ЧЭ относительно центральной оси; Vc - у- линейная скорость ЧЭ; о = ф - угловая скорость ЧЭ; G - линейная жесткость подвеса; Gy - угловая жесткость подвеса;

Км = mljGy - статический коэффициент передачи маятникового ЧЭ; (осм = jJaz - собственная частота маятникового ЧЭ; Я - напряженность поля; ам- температурный коэффициент изменений магнитной индукции слоя; AT- диапазон изменения температуры; а0, аш - температурные коэффициенты магнитной индукции слоев; аг, ав - соответственно температурные коэффициенты сопротивления возвращающей обмотки и магнитной индукции зазора; Рк удельное сопротивление кремния;

Е\ и Ei~ модули упругости первого и второго слоев (монокремния и металла); m - масса подвижного узла;

К- крутизна выходной характеристики (масштабный коэффициент); Кп (п - 2,3,4.) - коэффициенты нелинейностей; Кф Куг - коэффициенты перекрестных связей; 8К - относительная ошибка смещения нулевого уровня;

Umx - выходное напряжение при действии максимального ускорения; ЬК[~ относительная ошибка крутизны характеристики;

KT =Umax/amax - теоретическое значение крутизны характеристики;

5- относительная ошибка квадратичной нелинейности;

8к - относительная ошибка кубической нелинейности; t/(0) - выходное напряжение при нулевой частоте; t - текущее время.

Заключение

1. Разработаны генераторный датчик перемещения для интегрального акселерометра, с повышенной на порядок точностью измерений посредством применения ключевой схемы, переключающей времязадающий резистор, и дополнительных емкостей на входе триггера, и дифференциальный емкостный датчик перемещения с непрерывной электрической обратной связью, в котором повышена точность измерений за счет снижения влияния электростатического тяжения.

2. Разработаны адаптированные для использования в интегральных датчиках синхронный детектор с коммутируемым конденсатором, отличающийся от известных тем, что используемые емкости имеют малый номинал и не требуется применения фильтра низких частот, и оригинальный синхронный детектор, не содержащий емкостей, отличающийся повышенной точностью.

3. Разработан магнитоэлектрический преобразователь силы (момента) для применения в интегральных акселерометрах компенсационного типа с подвесами без металлизированных дорожек, что в конечном итоге повысило точность при одновременном упрощении технологии изготовления ЧЭ.

4. Разработаны методики и программы обработки экспериментальных данных для исследования статической и температурной характеристик акселерометров, впервые позволившие получить на основе измерений погрешности нуля, крутизны, нелинейности, погрешности базы установки и погрешности от поперечных воздействий при заданных температурах.

1. Аш, Ж. Датчики измерительных систем Текст. / Аш Ж. и др. -М.: Мир, 1992. -Кн. 1.-480 с.-Кн. 2.-420 с.

2. Вавилов, В.Д. Интегральные датчики Текст. : учебник для приборостроительных ВУЗов/ Вавилов В.Д. Н. Нов.: НГТУ, 2002. -500 с.

3. Вавилов, И.В. Разработка и исследования микросистемных акселерометров Текст. / Вавилов И.В., Былинкин С.Ф. // Микросистемная техника. 2003 - № 6.

4. Вавилов, И.В. Современное состояние разработок интегральных датчиков Текст. / Вавилов И.В., Долгов А.Н., Поздяев В.И. // Прогрессивные технологии в машино и приборостроении: сборник статей - Н.Новгород, - 2002 - С. 364-374.

5. Гутников, B.C. Тенденции развития электронных измерительных преобразователей для датчиков Текст. / Гутников B.C. //ПСУ 1990. -№ 10. - С. 32-35.

6. Измерение электрических и неэлектрических величин Текст.: Учеб. пособие для вузов / Под общ. ред. Н.Н. Евтихиева. М.: Энергоатомиздат, 1990. - 352 е.: ил.

7. Кунце, Х.И. Методы физических измерений Текст. / Кунце Х.И. -М.: Мир, 1989.-214 с.

8. Левшина, Е.С. Электрические измерения физических величин (Измерительные преобразователи) Текст. / Левшина Е.С., Новицкий П.В: Учеб. пособие для вузов. -Л.: Энергоатомиздат, 1983. -320 с.

9. Осипович, Л.А. Датчики физических величин Текст. / Осипович Л.А. -М.: Машиностроение, 1979.-159 с.

10. Проектирование датчиков для измерения механических величин Текст. /Под ред. Е.П. Осадчего. -М.: Машиностроение, 1979. -480 с.

11. Разработка интегральных кремниевых микродатчиков за рубежом. Текст.: Обзор по материалам зарубежной печати. /Составители: А.А. Андреев, Н. Г. Патрушева.-ГОНТИ, 1991.

12. Распопов, В.Я. Микромеханические приборы Текст. / Распопов В.Я. Тула, 2004. -474 с.

13. Спектор, С.А. Электрические измерения физических величин Текст. / Спек-тор С.А. —Л.: Энергоатомиздат, 1987. -320 с.

14. Тиль, Р. Электрические измерения неэлектрических величин Текст. / Тиль Р.; Пер. с нем. -М.: Энергоатомиздат, 1987. 192 е.: ил.

15. Электрические измерения неэлектрических величин Текст. /Под ред. П.В. Новицкого. —Л.: Энергия, 1975.-576с.

16. Ваганов, В.И. Интегральные тензопреобразователи Текст. / Ваганов В.И. -М.: Энергоатомиздат, 1983. -136 с.

17. Ленк, А. Электромеханические системы Текст. / Ленк А. -М.: Мир, 1978. -284 с.

18. Стучебников, В.М. Полупроводниковые интегральные тензорезисторные преобразователи механических величин Текст. / Стучебников В.М. //Измерения, контроль, автоматизация. 1983. - № 1. - С. 30-42.

19. Тимошенков, С.П. Технология формирования структур «кремний на изоляторе» Текст. : Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук / Тимошенков С.П. Москва, 2004.

20. Мокров, Е.А. Акселерометры НИИ физических измерений элементы микросистемотехники Текст. / Мокров Е. А., Папко А.А. //МСТ. - 2002. - № 1. - С. 3-9.

21. Petersen, Kurt Е. Silicon as a Mechanical Material Текст. / Petersen Kurt E. //IEEE. 1982. - VI.70. - № 5. - P. 420-457.

22. Солимар, Л. Лекции по электрическим свойствам материалов Текст. / Со-лимар Л., Уолш Д. -М.: Мир, 1991.-502 с.

23. Мельников, В.Е. Электромеханические преобразователи на базе кварцевого стекла Текст. / Мельников В.Е. -М.: Машиностроение, 1984. -159 с.

24. Милехин, А.Г. Радиотехнические схемы на полевых транзисторах Текст. / Милехин А.Г. М.: Энергия, 1976.

25. Теоретическое исследование матрицы с холодным катодом для использования в микропреобразователях механических величин Текст. // Контрольно-измерительная техника: Экспресс-информация. Москва: ВИНИТИ. 1993, №17, С. 27-32.

26. Doscher, J. Accelerometer Design and Applications Текст. / Doscher J. Analog Devices. 1998.

27. Wilner, L.B. A h igh performance, variable capacitance accelerometer Текст. / Wilner L.B. //IEEE Trans. Instrum. And Contr. Sist.

28. Датчик перемещения Текст.: A.c. 1377572 (СССР)/Вавилов В.Д., Поздяев В.И. Опубл. 15.07.1988, Бюл. № 8.

29. Устройство для измерения перемещений Текст. : А.с. 1774710 (СССР) /Вавилов В.Д. и др. Опубл. 08.07.1992, Бюл. № 2.

30. Акселерометр ATI 104. Технические условия Текст. : ИФДЖ. 402139. 008 ТУ, 1996.

31. Акселерометр капиллярный АК5-15. Технические условия Текст. : 6Ш2. 781. 077 ТУ, 1984.

32. Вавилов, В.Д. Схемотехника интегральных датчиков Текст.: Учеб. пособие / Вавилов В.Д. Нижегород. гос. техн. ун-т. - Н. Новгород, 1999 - 78 с.

33. Гутников, B.C. Измерительная система для емкостных датчиков Текст. /Гутников B.C. и др. //ПСУ. 1991. - № 5. - С. 24-26.

34. Долгов, А.Н. Емкостной датчик уровня топлива Текст. / Долгов А.Н. //Технологии в машино- и приборостроении на рубеже XXI века: Сборник статей по материалам Всероссийской научно-технической конференции. Нижний Новгород: НГТУ, 2000 - С. 213-215.

35. Распопов, В.Я. Датчики уровня систем управления железнодорожных машин Текст. / Распопов В.Я., Иванов Ю.В. Тула: ТулГУ, 2000. - с. 174.

36. Устройство для измерения угловой скорости Текст. : А.с. 1013855 (СССР) /Вавилов В.Д., Поздяев В.И. Опубл. 23.04.1983, Бюл. № 15.

37. Вавилов, В.Д. Конструирование интегральных датчиков Текст. : Учеб. пособие / Вавилов В.Д., Поздяев В.И. -М.: Изд-во МАИ, 1993. -68 с.

38. Устройство для измерения микроперемещений Текст.: Пат. № 2272297 Рос. Федерация / Вавилов В. Д., Долгов А. Н., Вавилов И. В. ; №2004128664/28 ; заявл. 27.09.2004 ; опубл. 27.03.2006; Бюл. №9.

39. Емкостный преобразователь перемещений Текст.: Пат. № 2272298 Рос. Федерация / Вавилов В. Д., Долгов А. Н., Вавилов И. В. ; №2004128663/28 ; заявл. 27.09.2004 ; опубл. 20.03.2006; Бюл. №8.

40. Askc., V.H. An Integrated Silicon Accelerometer Текст. / Askc. V.H. //Scientific Honeyweller- 1987. V. 1. - P. 53-58.

41. B-290 "TRIAD". Three Axis Accelerometer. Текст. / Рекламный лист фирмы LITEF GmbH (ФРГ)- 1996.

42. Разработка унифицированного ряда низкочастотных полупроводниковых линейных акселерометров Текст. / Любезнов А.Н., Куличков А.В., Игошин Д.В., Кот Л.И. //Датчики на основе технологии микроэлектроники: Материалы конференции. -М.: МДНТП, 1986. С. 32-35.

43. Распопов, В.Я. Математическое моделирование акселерометра прямого измерения с монокристаллическим маятником Текст. / Распопов В.Я. // Датчики и системы -2000 № 3 - с. 22-26.

44. Компенсационный маятниковый акселерометр Текст. : А.с. 1217094 (СССР). /Беликов Л.В., Вавилов В.Д., Поздяев В.И. Опубл. 08.11.1985, Бюл. №12.

45. Датчик акселерометра ДА-11. Технические условия Текст. : 6Д2. 329. 023 ТУ, 1977.

46. Коновалов, С.Ф. Теория виброустойчивости акселерометров Текст. / Коновалов С.Ф. -М.: Машиностроение, 1991.-270 с.

47. Линейные сервоакселерометры Q-Flex: QA-1000, QA-1100 Текст. / Перевод № 732; Источник: проспект фирмы Sundstrand Data Control; Переводчик Под-колзина Т. В.; Под ред. Перожка Я. Л. Арзамас: ОНТИ ОКБ "ТЕМП", 1981.

48. Скалой, А.И. Принципы построения цифровых компенсационных акселерометров Текст. / Скал он А.И. //Измерения, контроль, автоматизация 1984. - № 1. -С. 43-51.

49. Вавилов, В.Д. Оптимизация характеристик интегральных датчиков Текст. / Вавилов В.Д. //Известия вузов. Приборостроение. - 1997. - № 5. - С. 53-56.

50. Вавилов, В.Д. Математические модели интегральных датчиков информации Текст.: Тез. докл. / Вавилов В.Д., Поздяев В.И. //Методы и средства измерений физических величин: Регион, научно-техн. конф. -И. Новгород, 1996. С. 33.

51. Долгов, А.Н. Разработка емкостного датчика перемещения для интегральных датчиков. Текст. / Долгов А.Н. //Прогрессивные технологии в машино- и приборостроении: Сборник статей Н. Новгород -Арзамас: НГТУ-АГПИ. -2001,-С. 300-302.

52. Волков, Н.В. Проектирование измерительных устройств и оптимизация их характеристик Текст.: Учеб. пособие / Волков Н.В., Гущин О.Г., Поздяев В.И. -НГТУ: Н. Новгород, 1996. -80 с.

53. Поздяев, В.И. Оптимизация параметров механической системы интегральных акселерометров Текст./ Поздяев В.И. //Известия вузов. Приборостроение. - 1997.-№ 5. - С. 56-60.

54. Горошков, Б.И. Элементы радиоэлектронных устройств Текст.: Справочник. / Горошков Б.И. -М.: Радио и связь, 1988. Стр. 97, рис. 6.16.

55. Гутников, В. С. Интегральная электроника в измерительных устройствах Текст. / Гутников В. С. 2-е изд., перераб. и доп.— Л.: Энергоатомиздат. Ле-нингр. Отд-ие, 1988.

56. Вениаминов, В.Н. Микросхемы и их применение Текст. : Справ, пособие / Вениаминов В.Н., Лебедев О.Н., Мирошниченко А.И. 3-е изд. перераб. и доп. -М.: Радио и связь, 1989. - 240с.: ил.

57. Магнитоэлектричиский преобразователь силы Текст. : Пат. № 2218575 Рос. Федерация / Былинкин С. Ф., Вавилов В. Д., Миронов С. Г., Долгов А. Н. ; -№2002111047 ; заявл. 24.04.2002 ; опубл. 10.12.2003; Бюл. №34.

58. Браславский, Д.А. Авиационные приборы и автоматы Текст. / Браславский Д.А., Логунов С.С., Пельпор Д.С. М.: Машиностроение, 1978 г.

59. Браславский, Д.А. Точность измерительных устройств Текст. / Браславский Д.А., Петров В.В. М.: Машиностроение, 1976. -312 с.

60. Гусев, В.Г. Электроника Текст.: Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / Гусев В.Г., Гусев Ю.М. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высш. шк., 1991.

61. Хоровиц, П. Искусство схемотехники Текст. / Хоровиц П., Хилл У. М.: Мир, т.1,1983.-598с.

62. Шило, B.JI. Линейные интегральные схемы в радиоэлектронной аппаратуре Текст. / Шило В.Л. -М.: Сов. радио, 1979. -368с.

63. Вавилов, В.Д. Применение микропроцессоров в информационных системах Текст.: Учеб. пособие / Вавилов В.Д. -М.: Изд-во МАИ, 1988. -46 с.

64. Гутников, B.C. Частотно-временные преобразователи в схемах измерения физических величин Текст. / Гутников B.C. и др. //ПСУ. 1989. - № 9. - С. 15-17.

65. Вавилов, И.В. Оценка температурной погрешности нулевого сигнала интегрального акселерометра Текст. / Вавилов И.В., Поздяев В.И. //Прогрессивные технологии в машино и приборостроении: Сборник статей - Н.Новгород, 2002 -С. 386-390.

66. Вавилов, В.Д. Разработка и исследование измерительных приборов на интегральных принципах Текст.: Диссертация на соискание учёной степени доктора технических наук / Вавилов В.Д. Н. Новгород.: НГТУ, 1997.

67. Былинкин, С. Ф. Интегральный акселерометр компенсационного типа Текст.: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук / Былинкин С. Ф. Тула, 2002.