автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.03, диссертация на тему:Разработка микросистемного акселерометра

Введение.

Глава 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ МИКРОСИСТЕМНЫХ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ

1.1. Обзор и анализ микросистемных чувствительных элементов датчиков ускорений.

1.2. Особенности построения интегральных маятниковых подвесов из кремния.

1.3. Особенности газодинамического демпфирования микромеханических маятников акселерометров.

1.4. Особенности построения математических моделей маятнико- 35 вых чувствительных элементов

Выводы.

Глава 2. РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ

МИКРОСИСТЕМНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА.

2.1. Оценка числа степеней свободы маятника микросистемного акселерометра.

2.2. Исследование характеристик чувствительного элемента микросистемного акселерометра.

2.3. Математическое описание чувствительного элемента как динамической системы.

2.4. Разработка электрической схемы микросистемного акселерометра.

2.5. Разработка структурной схемы и полной передаточной функция микросистемного акселерометра.

Выводы.

Глава 3. ОЦЕНКА ПОГРЕШНОСТЕЙ МИКРОСИСТЕМНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА И ВЫБОР ПУТЕЙ ДЛЯ ИХ СНИЖЕНИЯ.

3.1. Расчет погрешности статической характеристики интегрального маятника.

3.2. Выбор оптимального соотношения между размерами отдельных элементов акселерометра и их температурными коэффициентами .:.

3.3. Определение добротности интегральных чувствительных элементов.

3.4. Соотношение жесткостей "электрической пружины" и механического подвеса.

3.5 Разработка противоударного демпфера для микросистемных акселерометров.

3.6. Расчет погрешности микросистемного акселерометра от поперечных составляющих ускорений.

3.7. Оценка величины пульсаций в выходном сигнале акселерометра.

3.8. Оценка продольной устойчивости упругих подвесов интегральных маятников акселерометров.

3.9. Оптимизация газодинамического демпфирования подвижного узла. 95 *

Выводы.

Глава 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ МИКРОСИСТЕМНЫХ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ.

4.1. Описание объекта экспериментальных исследований.

4.2. Описание испытательных установок для экспериментальных исследований микросистемных акселерометров.

4.3. Методика определения погрешностей статической характеристики интегрального акселерометра по экспериментальным данным.

4.4. Экспериментальные исследования жесткости упругих подвесов

4.5. Температурные испытания микросистемных акселерометров

4.6. Экспериментальные исследования динамических характеристик микросистемных акселерометров

Выводы.

Последнее десятилетие 20-го века в приборостроении ознаменовалось появлением нового направления микроэлектромеханических систем (МЭМС), объединивших несколько технических областей: от микроинструмента до микросамолетов. Главным в этом направлении является применение микроэлектронной технологии, адаптированной на производство сложных интегрированных устройств и систем. Достойное место в МЭМС заняли интегральные датчики первичной информации. Собственно под интегральным датчиком понимается законченный прибор для измерения той или иной физической величины, включающий в свой состав микромеханический чувствительный элемент и электронный преобразователь механических воздействий в стандартный электрический сигнал.

Стимулирующим фактором развития интегральных датчиков служит нарастающая потребность в информации в различных управляемых технических системах. Основу МЭМС составляет концепция от "датчика к системе", формулировка сущности которой может быть представлена в виде следующих направлений:

• разработка, исследование и создание интегрированных датчиков прямого измерения, объединяющих первичный чувствительный элемент и вторичный электронный преобразователь, при условии их исполнения в рамках единого технологического процесса

• разработка, исследование и создание интегрированных компенсационных датчиков, объединяющих первичный чувствительный элемент, вторичный электронный преобразователь и преобразователь обратной связи для управления чувствительным элементом, при условии их исполнения в рамках единого технологического процесса

• разработка, исследование и создание интегрированных датчиков, с вычислительными возможностями, например, включающими в себя многофакторность измерений, аналого-цифровое и цифро-аналоговое преобразования, адаптацию к оптимальным условиям, выполнением контрольно-диагностических функций и др., при условии их исполнения в рамках единого технологического процесса

• разработка, исследование и создание беспроводных интегрированных датчиков с малым потреблением электроэнергии и обладающих свойствами первых трех групп.

Проведенные исследования показали, что параметры акселерометра нельзя повысить с помощью традиционных подходов. Тем не менее, повысить точность измерения интегральных акселерометров более чем на порядок при незначительном усложнении электронной схемы возможно введением в цепь отрицательной обратной связи электростатического силового преобразователя.

Актуальность работы. Характерной чертой мирового развития информационных технологий конца XX и начала XXI века является выделение интегрально образующихся (комплексных) технологий, к которым относятся и технологии микромеханических систем. Как в нашей стране, так и за рубежом наблюдается устойчивый рост интереса к разработкам интегральных датчиков, что связано с возможностью эффективного решения с их помощью ряда задач контроля и управления. С 30 марта 2002 года в России микросистемная техника официально объявлена критической технологией. В перечне критических технологий, утвержденном Президентом России, формулировка определена следующим образом: "Сверхминиатюрные механизмы, приборы, машины с ранее не достижимыми массогабаритами, энергетическими показателями и функциональными параметрами, создаваемые интегрально-групповыми экономически эффективными процессами микро- и нанотехно-логии." Возможности измерительных систем, таких как инерциальные навигационные системы (ИНС), инклинометры, курсовертикали и т. д., всегда определялись характеристиками первичных преобразователей. Существующие конструкции интегральных датчиков ускорений не удовлетворяют современным требованиям из-за высокого уровня трудоемкости изготовления, а также временной нестабильности метрологических характеристик и малого ресурса.

Данная работа проводилась в соответствии с тематикой научных исследований предприятия Арзамасского НПП "ТЕМП-АВИА", а также планом основных научных работ Арзамасского политехнического института (филиала НГТУ) по проблеме "Разработка и исследование интегральных датчиков первичной информации".

Цель работы. Целью диссертации является исследование и разработка нового микросистемного датчика ускорений и его узлов, а также построение математических моделей датчика и расчетных соотношений для теоретического определения его статических, динамических и точностных характеристик.

Задачи диссертационной работы:

1. Исследование структуры нового микросистемного акселерометра и его составляющих механических и электрических узлов с использованием полупроводниковых материалов и микромашинной технологии.

2. Разработка математических моделей датчика для анализа на стадиях НИР и ОКР всех характеристик микросистемного акселерометра: статической, амплитудно-частотной, фазо-частотной, переходной, точностной и характеристик его отдельных узлов.

3. Проведение экспериментальных исследований статических и динамических характеристик новых микросистемных датчиков ускорений, результаты которых позволяют судить о точности и преимуществах интегральных конструкций перед традиционными не интегральными.

4. Сравнение экспериментальных и теоретических результатов диссертации.

Объект исследования. Объектом исследования являются следующие устройства:

• Кремниевые маятниковые чувствительные элементы.

• Емкостные преобразователи перемещений в электрический сигнал.

• Устройства для испытаний линейных акселерометров.

• Микроэлектронные преобразователи и узлы, встраиваемые в интегральные датчики ускорений.

Методы исследования. При решении поставленных задач использованы методы математического и компьютерного моделирования характеристик акселерометра, натурный эксперимент, методы теоретической механики, теории упругости и автоматического управления.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Исслед ована структура и разработан новый чувствительный элемент (патент РФ № 2231795) имеющий в два раза меньшую погрешность измерения, чем аналоги и разработана математическая модель нового микросистемного акселерометра с уточнением влияния характеристик составляющих элементов, в результате чего расчетные данные совпали с экспериментальными.

2. Разработан оригинальный емкостный преобразователь (патенты: № 2231796 и № 2272298). Получены теоретические соотношения для расчетов микроэлектронных преобразователей, предназначенных для совместной работы с микромеханическими ЧЭ, что дало разработчикам новый эффективный инструмент проектирования.

3. Проведены экспериментальные исследования и компьютерное моделирование статических и динамических характеристик микросистемных акселерометров на макетах и на готовых изделиях и сравнены с теоретическими результатами, что подтвердило адекватность теоретических положений.

Практическая ценность работы:

1. Теоретические решения доведены до практического использования в расчетах характеристик, в оптимизации параметров разрабатываемых интетральных датчиков ускорений и явились основой разработки схем и конструкций, защищенных патентами РФ.

2. Результаты теоретических и экспериментальных исследований в виде рекомендаций и расчетных соотношений для определения важнейших характеристик датчиков использованы для проектирования и построения интегральных датчиков ускорений типа ATI 105 и ATI 112 на диапазоны от 0,5 g до 50 g.

3. Разработанные методики определения статических характеристик интегральных датчиков ускорений и их погрешностей с помощью испытательного оборудования позволяют получить основные метрологические параметры приборов.

4. Результаты диссертационной работы внедрены в серийно выпускаемые изделия АНПП "ТЕМП-АВИА" и в учебный процесс в Арзамасском филиале НГТУ на кафедре "Авиационные приборы и устройства" по специальностям 190300 и 190900.

Реализация в промышленности. Сведения о внедрении результатов диссертационной работы приведены в приложении 4.

Апробация работы. Диссертация и отдельные ее разделы обсуждались и получили положительную оценку на следующих конференциях и совещаниях:

• На региональной научно-технической конференции "Методы и средства измерений физических величин", Н. Новгород, 1997, 1998, 2002, 2003 г.

• На Всероссийских научных конференциях «Прогрессивные технологии в машино- и приборостроении». 2002, 2003, 2004 г.

• На расширенном заседании кафедры "Авиационные приборы и устройства" Арзамасского филиала НГТУ в 1998, 2000, 2001, 2002, 2003 и 2004 г.г.

Публикации. По результатам выполненных исследований опубликовано 17 работ, из них 13 статей и четыре патента на изобретения.

Объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, приложения, списка литературы, списка принятых обозначений и со

Выводы:

1. Разработана поворотная установка, дополняющая испытательную центрифугу и позволяющая расширить возможности центрифуги, посредством отклонения оси чувствительности акселерометра от вектора задаваемого ускорения.

2. Проведены экспериментальные исследования статических характеристик микросистемных акселерометров по определению основных видов погрешностей на разработанной установке: погрешности нуля, крутизны, квадратичной и кубической нелинейностей, погрешности базы и погрешно

125 сти от перекрестных ускорений. Максимальное значение любой из перечисленных погрешностей не превосходит одного процента от диапазона измерений. Это доказывает техническую эффективность разработок.

3. Выполнены температурные испытания микросистемных акселерометров в диапазоне -60 °С.+85 °С, которые показали независимость характеристики акселерометров в этом диапазоне температур.

4. Проведены испытания упругих подвесов с целью проверки адекватности расчетных формул: для прямоугольного и эллиптического сечений. Установлено, что для подвесов при травлении в плоскости 100 при реализации подвесов с толщинами 5-50 мкм необходимо рекомендовать расчетные формулы для эллиптической формы как наиболее точно совпадающие с экспериментальными результатами.

5. Проведены экспериментальные исследования динамических характеристик микросистемных акселерометров. Установлено, что все экспериментальные данные соответствуют разработанной передаточной функции. Полученная теоретически полная передаточная функция пятого порядка является избыточной, тем не менее, в полосе пропускания близко совпадает с экспериментом.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Исследована структура и разработан оригинальный маятниковый ЧЭ и определена его передаточная функция для построения микросистемного акселерометра, в котором снижены влияния температурных напряжений от мест крепления за счет снижения площади контакта с корпусом.

2. Разработана и экспериментально проверена электрическая схема для микросистемного акселерометра с использованием емкостного преобразователя перемещений с непрерывной обратной связью, которая позволила совместно с чувствительным элементом обеспечить лучшую точность (1 %) по сравнению с прототипом (2 %).

3. Разработана математическая модель микросистемного акселерометра в виде передаточной функции пятого порядка, включающая механический подвижный узел (четыре порядка) и электронный блок (один порядок), в которой определены теоретически все параметры в виде аналитических зависимостей от физических и конструктивных величин, что дало возможность эффективно применять компьютерное моделирование.

4. Исследована статическая точность микросистемных акселерометров посредством сравнения соотношения между жесткостью "электрической пружины" и механической жесткостью упругого подвеса. В результате установлено/ что при меньших затратах для акселерометров прямого измерения может быть получена точность, эквивалентная точности компенсационного акселерометра с электростатической обратной связью.

5. Разработаны математические соотношения для оценки погрешностей от влияния изменений физических и конструктивных параметров и проведены экспериментальные исследования статических и динамических характеристик, подтвердившие адекватность теоретических положений, что позволило проектировать оптимальные конструкции микросистемных акселерометров.

6. Внедрены в практику проектирования расчеты: жесткостей упругих подвесов, абсолютных коэффициентов газодинамического демпфирования, расчеты упругих подвесов на продольную устойчивость и элементов электрической схемы, в результате чего снизились сроки разработок.

Перечень принятых обозначений g - величина ускорения свободного падения; Л » jy " проекции измеряемого ускорения;

Утах - диапазон измеряемых линейных ускорений; ти - длительность импульса;

С|, С2 - рабочие емкости датчика угла; h0 - начальный зазор между обкладками; h - зазор между обкладками; ам, Ьм, см - длина, ширина и толщина маятника; ап,Ьп,сп - длина, ширина и толщина упругого подвеса; е - диэлектрическая проницаемость среды; е0 = 8,854-Ю-12 Ф/м - диэлектрическая постоянная;

S - площадь обкладок емкости;

JV(s) - передаточная функция; s = d/dt - оператор Лапласа;

4 - логарифмический декремент затухания (относительный коэффициент демпфирования);

Дб - погрешность базирования (неортогональность измерительной оси и базовой плоскости); ст - среднеквадратическое отклонение; /вых - выходной ток прибора; £/ВЬ1Х - выходное напряжение прибора; RH - сопротивление нагрузки; Unm - напряжение питания;

Uon - опорное напряжение; /потр - потребляемый ток; г| - безразмерный коэффициент потерь, определяемый физическими и конструктивными особенностями подвеса; сос - собственная частота колебаний упругой системы; со - частота вынужденных колебаний; Vo - скорость перемещения подвижного узла; v - вектор скорости газа в координатных осях х, у, z\ р - статическое давление в точках потока; р - плотность газа; р. - динамическая вязкость газа; S - площадь в плане подвижного узла; Mi= ^д Аш - момент демпфирующей силы; а - угловая скорость подвижного узла; цм - расстояние от точки качания маятника до центра давления; Т - кинетическая энергия чувствительного элемента (ЧЭ); m - масса ЧЭ;

Jcz - момент инерции ЧЭ относительно центральной оси; Vc=y- линейная скорость ЧЭ; со = ф - угловая скорость ЧЭ;

- линейный абсолютный коэффициент газодинамического демпфирования; Кду - угловой абсолютный коэффициент газодинамического демпфирования; G - линейная жесткость подвеса; Gy - угловая жесткость подвеса;

Км = mljGy - статический коэффициент передачи маятникового ЧЭ; coCM = ^Gy jJaz - собственная частота маятникового ЧЭ;

В - магнитная индукция в зазоре; п - число витков;

I - длина одного витка; Н- напряженность поля; ам - температурный коэффициент изменений магнитной индукции слоя; ДТ- диапазон изменения температуры; ссо, аш - температурные коэффициенты магнитной индукции слоев; аг, ав - соответственно температурные коэффициенты сопротивления возвращающей обмотки и магнитной индукции зазора; 1Х, /г - расстояние от осей симметрии ЧЭ х, z до точки А\ lex, Icz - расстояние от центра масс ЧЭ до осей х, z; m - масса ЧЭ; h^ - толщина слоя металлизации при нормальных условиях; h"p- толщина слоя кремния при нормальных условиях; h" - толщина слоя окисла (стекла) при нормальных условиях; А - амплитуда колебаний подвижного узла; рк - удельное сопротивление кремния;

Е\ иЕ2-модули упругости первого и второго слоев (монокремния и металла); m - масса подвижного узла;

К - крутизна выходной характеристики (масштабный коэффициент); К„{п = 2,3,4.) - коэффициенты нелинейностей; Кху, Kyz - коэффициенты перекрестных связей;

- относительная ошибка смещения нулевого уровня;

Umax - выходное напряжение при действии максимального ускорения;

- относительная ошибка крутизны характеристики;

Kj =^тах/йшах " теоретическое значение крутизны характеристики; относительная ошибка квадратичной нелинейности; относительная ошибка кубической нелинейности; U(0) - выходное напряжение при нулевой частоте; - текущее время; fr- частота генератора, питающего емкостный мост.

1. Фрайден, Дж. Современные датчики / Дж. Фрайден. -М.: Техносфера, 2005. 590 с.

2. Petersen, Kurt Е. Silicon as a Mechanical Material/ Kurt E. Petersen. IEEE. 1982. VI.70. № 5. P. 420-457.

3. Allan, R. New applications open up for silicon sensors: a special report / R. Allan. Electronics. 1980. V. 53. № 24. P.l 13-122.

4. A.c. 1 306326 (СССР). Компенсационный акселерометр / В .Д. Вавилов, В.И. Поздяев; Опубл. 22.12.1986. Бюл. № 3.

5. А.с. 1774710 (СССР). Устройство для измерения перемещений / В.Д. Вавилов и др.; Опубл. 08.07.1992. Бюл. № 2.

6. Askc, V.H. An Integrated Silicon Accelerometer/ V.H. Askc. Scientific Hon-eyweller. 1987. V. l.P. 53-58.

7. A.c. 1013855 (СССР). Устройство для измерения угловой скорости / В.Д Вавилов, В.И Поздяев; Опубл. 23.04.1983. Бюл. № 15.

8. В-290 "TRIAD". Three Axis Accelerometer. Рекламный лист фирмы LITEF GmbH (ФРГ), 1996.

9. Вавилов, В.Д. Конструирование интегральных датчиков: учеб. пособие/ В.Д. Вавилов, В.И. Поздяев. -М.: Изд-во МАИ, 1993. -68 с.

10. Нашиф, А. Демпфирование колебаний/ А Нашиф, Д. Джоунс, Д. Хен-дерсон. -М.: Мир, 1988. -448 с.

11. Поздяев, В.И. Исследование интегральных акселерометров / В.И. Поздяев. Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Санкт-Петербург. 1994.

12. Вавилов, И.В. Современное состояние разработок интегральных датчиков / И.В. Вавилов, В.И Поздяев, А.Н. Долгов // межвуз. сб. науч. ст. "Прогрессивные технологии в машино и приборостроении", Н.Новгород, 2002, С. 364374

13. Левшина, Е.С. Электрические измерения физических величин: учеб. пособие для вузов/ Е.С. Левшина, П.В. Новицкий -Л.: Энергоатомиздат, 1983. -320 с.

14. Аш, Ж. Датчики измерительных систем/ Ж. Аш/ -М.: Мир, 1992. Кн. 1. 480 с. Кн. 2. 420 с.

15. Разработка унифицированного ряда низкочастотных полупроводниковых линейных акселерометров/ А.Н. Любезнов, А.В. Куличков, Д.В. Игошин, Л.И. Кот //Датчики на основе технологии микроэлектроники: Материалы конференции. -М.: МДНТП, 1986. С. 32-35.

16. Ленк, А. Электромеханические системы/А. Ленк. -М.: Мир, 1978. -284 с.

17. Линейные сервоакселерометры Q-Flex: QA-1000, QA-1100. Перевод № 732. Источник: проспект фирмы Sundstrand Data Control. Переводчик Подколзина Т. В. Под ред. Перожка Я. Л. Арзамас: ОНТИ ОКБ "ТЕМП", 1981.

18. Метальников, В.В. Низкочастотные линейные компенсационные акселерометры/В.В. Метальников//ПСУ. 1990. №10. С. 21-23.

19. Мерриэм, К. Теория оптимизации и расчет систем управления с обратной связью/ К. Мерриэм.-М.: Мир, 1967. -550 с.

20. Doscher, J. Accelerometer Design and Applications/ J. Doscher. Analog Devices. 1998.

21. Вавилов, И.В. Разработка и исследования микросистемных акселерометров / И.В. Вавилов, С.Ф. Былинкин // Микросистемная техника, № 6, 2003.

22. Вавилов, И.В. Математическая модель маятника интегрального акселерометра / И.В. Вавилов // межвуз. сб. науч. ст. "Прогрессивные технологии в машино и приборостроении". -Н. Новгород, 2004, С. 244-250

23. Вавилов, И.В. О закреплении чувствительных элементов вибродатчиков / И.В. Вавилов, В.И. Поздяев, С.Ф. Былинкин // межвуз. сб. науч. ст. "Прогрессивные технологии в машино и приборостроении", Н.Новгород, 2002, С. 379-383

24. Вавилов, И.В. Оценка температурной погрешности нулевого сигнала интегрального акселерометра / И.В. Вавилов, В.И. Поздяев //межвуз. сб. науч. ст. "Прогрессивные технологии в машино и приборостроении", Н.Новгород, 2002, С. 386-390

25. Вавилов, И.В. Оценка числа степеней свободы маятника интегрального акселерометра / И.В. Вавилов // межвуз. сб. науч. ст. "Прогрессивные технологии в машино и приборостроении", Н.Новгород, 2003, С. 307-309.

26. Вавилов, И.В. Оценка соотношения жесткостей «электрической пружины» и механического подвеса в интегральных акселерометрах / И.В. Вавилов // межвуз. сб. науч. ст. "Прогрессивные технологии в машино и приборостроении", Н.Новгород, 2003, С. 310-315.

27. Вавилов, И.В. Продольная устойчивость упругих подвесов интегральных маятниковых акселерометров / И.В. Вавилов, В.И. Поздяев // межвуз. сб. науч. ст. "Прогрессивные технологии в машино и приборостроении", Н.Новгород, 2003, С. 315-318.

28. Патент РФ № 2231794. Чувствительный элемент интегрального акселерометра / И.В. Вавилов, С.Ф. Былинкин; Опубл. 27. 06. 2004. Бюл. № 18.

29. Патент РФ № 2231795. Интегральный акселерометр / И.В. Вавилов, С.Ф Былинкин; Опубл. 27. 06. 2004. Бюл. № 18.

30. Акселерометр ATI 104. Технические условия. ИФДЖ. 402139. 008 ТУ, 1996.

31. Акселерометр капиллярный АК5-15. Технические условия. 6Ш2. 781. 077 ТУ, 1984.

32. Мокров, Е.А. Особенности динамической градуировки в компенсационных акселерометрах на двойных центрифугах / Е.А. Мокров, А.А. Папко //ПСУ. 1990. № 10. С. 29-30.

33. Мокров, Е.А., Папко А.А. Акселерометры НИИ физических измерений элементы микросистемотехники / Е.А. Мокров, А.А. Папко //МСТ. 2002. № 1. С. 3-9.

34. Былинкин, С. Ф. Интегральный акселерометр компенсационного типа. Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук / С. Ф. Былинкин. Тула. 2002.

35. Датчик акселерометра ДА-11. Технические условия. 6Д2. 329. 023 ТУ, 1977.

36. Зотов, С.А. Динамика и расчет акселерометра с монокристаллическим маятником. Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук / С.А. Зотов/ Тула. 2002.

37. Косогоров, В.М. Технология диффузионной сварки полупроводников вых чувствительных элементов в электрическом поле / В.М. Косогоров // ПСУ. 1991. №4. С. 41 -42.

38. Канищева, Г.А. Получение выпуклых и вогнутых поверхностей посредством анизотропного травления кремния ориентации (100) / Г.А. Канищева // Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектроника. 1978. Вып. 5. С. 77-82.

39. Карантиров, Н.Ф. Качество микрорельефа при анизотропном травлении кремниевых пластин ориентации (100) / Н.Ф. Карантиров //Электронная техника. Сер. 6. Вып. 10. 1979. С. 68-74.

40. Козин, С.А. Размерное травление кремния при изготовлении интегральных чувствительных элементов преобразователей механических величин / С.А. Козин//ПСУ. 1990. № 10. С. 42-43.

41. Обухов, В.И. Технология интегральных измерительных преобразователей / В.И. Обухов. НГТУ. Н. Новгород, 1994. -150 с.

42. Осипович, JI.A. Датчики физических величин / JI.A. Осипович. -М.: Машиностроение, 1979. -159 с.

43. Проектирование датчиков для измерения механических величин /Под ред. Е.П. Осадчего. -М: Машиностроение, 1979. -480 с.

44. А.с. 1107063 (СССР). Акселерометр / В.Д. Вавилов, В.И. Поздяев, А.Н. Ванюгин.; Опубл. 07.08.1984. Бюл. № 29.

45. А.с. 1217094 (СССР). Компенсационный маятниковый акселерометр / JI.B. Беликов, В.Д. Вавилов, В.И. Поздяев; Опубл. 08.11.1985. Бюл. № 12.

46. Вавилов, И.В. Определение математических моделей интегральных датчиков по экспериментальным данным / И.В. Вавилов, В.И. Поздяев // Сборник статей "Методы и средства измерений физических величин", Н.Новгород, 1997, С. 71-72.

47. Браславский, Д.А. Точность измерительных устройств/ Д.А. Браслав-ский, В.В. Петров // М.: Машиностроение, 1976. -312 с.

48. Вавилов, В.Д. Об аэродинамическом демпфировании чувствительных элементов интегральных акселерометров / В.Д. Вавилов, В.И. Поздяев, В.Н. Шеянов // Труды НИТИ. 1986. Вып. 2(30). С. 89-93.

49. Бердников, А.Е. Предокислительная обработка кремниевых пластин / А.Е. Бердников // ПСУ. 1989. № 8. С. 39.

50. Вавилов, В.Д. Математические модели интегральных датчиков информации / В.Д. Вавилов, В.И Поздяев // Тез. докл. "Методы и средства измерений физических величин". -Н. Новгород, 1996. С. 33.

51. Ваганов, В.И. Интегральные тензопреобразователи / В.И. Ваганов. -М.: Энергоатомиздат, 1983. -136 с.

52. Волков, Н.В. Проектирование измерительных устройств и оптимизация их характеристик: учеб. пособие / Н.В. Волков, О.Г. Гущин, В.И. Поздяев. НГТУ. Н. Новгород, 1996. -80 с.

53. Вавилов, В.Д. Применение микропроцессоров в информационных системах: учеб. пособие / В.Д. Вавилов. -М.: Изд-во МАИ, 1988. -46 с.

54. Вавилов, В.Д. Оптимизация характеристик интегральных датчиков / В.Д. Вавилов // Известия вузов. Приборостроение. 1997. № 5. С. 53-56.

55. Вавилов, В.Д. Интегральные датчики / В.Д. Вавилов. Изд-во НГТУ, 2003, 504 с.

56. Возьмилова, J1.H. Травление сквозных отверстий в пластинах кремния / J1.H. Возьмилова, М.М. Бердиченко // Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы. 1980. Вып. 2. С. 102-107.

57. Вишнева, Т.И. Применение анизотропного травления полупроводников в технологии микроэлектроники / Т.И. Вишнева // Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники. МИЭТ. М. 1976. Вып. 24. С. 169-174.

58. Гордиенко, М.М. Термокомпрессионная оснастка для диффузионной сварки чувствительных элементов / Гордиенко М.М. // ПСУ. 1991. № 4. С. 4243.

59. Гутников, B.C. Измерительная система для емкостных датчиков / B.G Гутников // ПСУ. 1991. № 5. С. 24-26.

60. Гутников, B.C. Частотно-временные преобразователи в схемах измерения физических величин / B.C. Гутников // ПСУ. 1989. № 9. С. 15-17.

61. Гутников, B.C. Тенденции развития электронных измерительных преобразователей для датчиков / Гутников B.C. / /ПСУ. 1990. № 10. С. 32-35.

62. Коновалов, С.Ф. Теория виброустойчивости акселерометров / С.Ф. Коновалов. -М.: Машиностроение, 1991. -270 с.

63. Мусин, Р.А. Соединение металлов с керамическими материалами / Р.А. Мусин, Г.В. Конюшков. -М.: Машиностроение, 1991. -224 с.

64. Вавилов, И.В. Разработка микросистемного акселерометра с преобразователем перемещений на полевом эффекте / Вавилов И.В // межвуз. сб. науч. ст. "Прогрессивные технологии в машино и приборостроении". -Н. Новгород: НГТУ, 2004, С. 250-255.

65. Вавилов, И.В. Моделирование характеристик микросистемного акселерометра. / Вавилов И.В // межвуз. сб. науч. ст."Прогрессивные технологии в машино и приборостроении". -Н. Новгород: НГТУ, 2004, С. 256-263.

66. Михайлов, П.Г. Неразъемные соединения в микромеханических системах / П.Г. Михайлов //МСТ. 2003. №2. С. 5-10.

67. Разработка интегральных кремниевых микродатчиков за рубежом. Обзор по материалам зарубежной печати. Составители: А.А. Андреев, Н. Г. Патрушева. ГОНТИ, 1991.

68. Скалон, А.И. Принципы построения цифровых компенсационных акселерометров / А.И. Скалон // Измерения, контроль, автоматизация. 1984. № 1. С. 43-51.

69. Стоффель, И.М. Технологии производства датчиков XXI века / И.М. Стоффель // ПСУ. 1991. № 1. С. 23-24.

70. Солимар, JL Лекции по электрическим свойствам материалов / Л. Со-лимар, Д. Уолш. -М.: Мир, 1991. -502 с.

71. Спектор, С.А. Электрические измерения физических величин / С.А. Спектор. -Л.: Энергоатомиздат, 1987. -320 с.

72. Стучебников, В.М. Полупроводниковые интегральные тензорезис-торные преобразователи механических величин / В.М. Стучебников // Измерения, контроль, автоматизация. 1983. № 1. С. 30-42.

73. Состояние разработок и применение акселерометров для ИНС за рубежом. Техническая справка. Составители: В. Н. Шеянов, Н. Г. Патрушева. Под ред. М. А. Мирошникова. ГОНТИ, 1990.

74. Талерчик, Б.А. Интегральные полупроводниковые датчики / Б.А. Та-лерчик, А.О. Олеск // ПСУ. 1986. № 6. С. 12-13.

75. Тимошенков, С.П. Технология формирования структур «кремний на изоляторе». Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук / С.П. Тимошенков. Москва. 2004.

76. Распопов, В.Я. Математическое моделирование акселерометра прямого измерения с монокристаллическим маятником / В.Я. Распопов // Датчики и системы. 2000, № 3, с. 22-26.

77. Распопов, В.Я. Микромеханические приборы / В.Я. Распопов Тула. 2004. -474 с.

78. Wilner, L.B. A high performance, variable capacitance accelerometer / L.B. Wilner. // IEEE Trans. Instrum. And Meas.", 1988, 37, № 4, 569-571.

79. Патент РФ № 2272297. Устройство для измерения микроперемещений / В.Д. Вавилов, И.В. Вавилов, А.Н. Долгов; Опубл. 27.03.2006, Бюл. №9,

80. Патент № 2272298. Емкостный преобразователь перемещений / В.Д. Вавилов, И.В. Вавилов, А.Н. Долгов; Опубл. 20.03.2006., Бюл. №8,