автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.07, диссертация на тему:Высокоточные призменные модули для оптико-электронных приборов и комплексов

09-5 1874

/и

С

■Г

На правах рукописи

Потелов Владимир Васильевич

ВЫСОКОТОЧНЫЕ ПРИЗМЕННЫЕ МОДУЛИ ДЛЯ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ И КОМПЛЕКСОВ

Специальность: 05.11.07 - Оптические и оптико-электронные приборы

и комплексы

АВТОРЕФЕРАТ

диссертация кз соискание учёной степени доктора технических наук

Москва 2009

Работа выполнена на предприятии ФНПЦ ОАО «Красногорский завод им. С.А. Зверева».

Официальные оппоненты:

- доктор технических наук С.Н. Бездидько

- доктор технических наук P.M. Алеев

- доктор технических наук В, А. Прядеин

Ведущая организация

Защита состоится

ФГУП «НПО «Оптика» (г. Москва) У 2009 г. в^Ч, часов

на заседании диссертационного совета Д.409.003.01. в ФГУП НИИ «Полюс» им. М. Ф. Стельмаха» по адресу:! 17342, г. Москва, ул. Введенского, д.З.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке института. Автореферат разослан " /ф " j)( 2009 г.

Учёный секретарь диссертационного совета

Ю.А. Кротов

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

А кг у ¡1 .ч ь н о ст ь работы. Проблема создания оптико-электронных систем для изделий с высокоточной пространственной ориентацией, в частности, для дистанционного зондирования Земли из космоса, передачи азимута систем прицеливания для оперативно-тактических ракетных комплексов и бронетанковых видов вооружений, во многом зависит от успешного решения конструкторских и технологических задач, связанных с изготовлением и применением высокоточных оптических призменных и спектроделительных модулей. В последнее время изделия вышеуказанного класса приобрели особую актуальность.

Дистанционное зондирование Земли из космоса - один из основных методов изучения окружающей среды и контроля её состояния, например, при решении многих задач геологии, в том числе при поисках месторождений полезных ископаемых и подземных вод, в лесном и сельском хозяйстве, океанологии и океанографии, при выборе местности под строительство и т.д. Непрерывно увеличивается его роль при решении экологических задач и в чрезвычайных ситуациях. По данным NASA годовая экономия от эксплуатации спутников для изучения природных ресурсов Земли составляет сотни миллиардов долларов. В настоящее время для решения основных информационных задач дистанционного зондирования Земли необходимо одновременное наблюдение в нескольких спектральных диапазонах. На Международном симпозиуме IGARSS-2002 было отмечено, что в разработке систем XXI века для дистанционного зондирования Земли наблюдается тенденция перехода от односпектральных систем к комплексным многоспектральным.

Наряду с уже достигнутыми предельными пространственными информационными характеристиками (полоса захвата, пространственное разрешение, точность фотограмметрической привязки) современная аппаратура должна обеспечивать высокие радиометрические характеристики и высокое спектральное разрешение. Поэтому, кроме основного традиционного элемента оптической системы - объектива, важной составной частью современной аппаратуры становится модуль диспергирующего устройства, так как именно он осуществляет разложение излучения сложного спектрального состава в спектр.

Среди известных диспергирующих устройств (дисперсионные призмы, дифракционные решётки, светофильтры, фурье-интерферометры и др.) для космической аппаратуры дистанционного наблюдения и топографической аппаратуры существенные преимущества имеют призменные спектроделительные устройства на основе интерференционных фильтров, обеспечивающие:

- возможность апертурного спектрального деления входного излучения на несколько (3 - б) спектральных каналов, что позволяет

одновременно регистрировать один и тот же сюжет в нескольких спектральных диапазонах при идентичных условиях съёмки, повышая тем самым достоверность радиометрической информации;

- возможность формирования резких границ спектрального канала и минимального отношения сигнал/фон, что уменьшает радиометрические погрешности и существенно для ПЗС-приёмников;

- возможность аппаратного фотограмметрического совмещения «пиксел в пиксел» изображений в спектральных каналах, что повышает точность фотограмметрической привязки информации;

- возможность спектрального деления в сходящихся световых пучках, что упрощает оптическую схему и снижает массогабаритные характеристики космической аппаратуры.

Реализация указанных преимуществ может быть достигнута лишь с помощью высокоточных призменных и спектроделительных модулей, путём разработки и промышленного освоения современных технологий изготовления прецизионных призм, неравнотолщинных интерференционных фильтров, сборки и юстировки призменных оптических блоков.

Цель диссертационной работы заключалась в создании теоретических основ и промышленного освоения изготовления прецизионных призменных модулей для их использования в принципиально новых оптических и оптико-электронных приборах и комплексах.

Для достижения поставленной цели были решены следующие

задачи:

1. Проанализированы существующие типовые конструкции прецизионных призменных модулей в оптико-электронных приборах и комплексах.

2. Разработаны теоретические основы и проведены исследовательские работы по разработке методов изготовления оптических элементов и оптических покрытий для использования в прецизионных призменных сборках, с максимально высокими точностными параметрами.

3. Проведены теоретические и экспериментальные исследования в области технологий сборки высокоточных призменных модулей методами глубокого оптического контакта и оптических клеевых соединений с целью обеспечения предельной точности позиционирования оптических элементов.

4. Исследованы закономерности и технологические факторы повышения прочностных и светотехнических параметров соединений оптических поверхностей методом глубокого оптического контакта.

5. Разработаны, комплексно исследованы методы очистки оптических поверхностей перед нанесением оптических покрытий, двуокиси кремния (ЭЮ2) для создания глубокого оптического контакта.

6. Разработана математическая модель оптимальной пористости плёнки БЮг с целью повышения прочностных характеристик оптических сборок.

7. Исследованы и усовершенствованы физико-механические характеристики оптических и конструкционных марок клея, используемых для прецизионной сборки призменных модулей.

8. Внедрена промышленная конструкторско-технологическая концепция изготовления высокоточных призменных модулей, изготовлены, аттестованы опытные и серийные образцы для серийно выпускаемых и перспективных изделий с высокой пространственной ориентацией.

Достоверность н обоснованность результатов проведенных исследований определялись проверкой экспериментальных и серийно изготовленных образцов оптических сборок, а также проведением оптических и эксплуатационных испытаний оптических и оптико-электронных приборов и комплексов; сравнением результатов теоретических расчетов с результатами масштабных экспериментальных работ.

На защиту выносятся следующие положения:

1. Проведённый комплекс теоретических и экспериментальных исследований и разработок в области создания высокоточных призменных модулей позволяет повысить выходные оптические и светотехнические параметры оптико-электронных комплексов для дистанционного зондирования Земли (пространственное разрешение, точность фотограмметрической привязки), точность передачи азимута для систем прицеливания оперативно-тактических ракетных комплексов и бронетанковых видов вооружений на 25-50%.

2. Разработанная комплексная методика расчёта и изготовления особо сложных спектроделительных покрытий для призменных модулей позволила создать принципиально новый тип оптических и оптико-электронных приборов и комплексов гиперспектральной аппаратуры дистанционного зондирования Земли.

3. Предложенные методы очистки оптических поверхностей обеспечивают повышение степени адгезии на 25-30% в случаях нанесения оптических покрытий, глубокого оптического контакта, клеевых соединений.

4. Вакуумный метод нанесения плёнки БЮг и глубокого оптического контакта обеспечивает высокую степень воспроизводимости технологического процесса глубокого оптического контакта и повышенные эксплуатационные характеристики оптических модулей (предельная прочностная нагрузка на оптические сборки не менее 500 кг/см ).

5. Конструкторско-технологическая концепция процесса склеивания оптических элементов с высоким градиентом коэффициентов линейного температурного расширения (в пределах 20-25х10'7оС"1) обеспечивает выполнение всех необходимых эксплуатационных параметров, предъявляемых к оптическим призменным модулям в составе оптико-электронных комплексов специального назначения.

6. Впервые разработанные математические модели расчёта и оптимизации пористости конструкционной плёнки БЮг обеспечивают повышение прочностных характеристик оптических сборок, изготовленных методом глубокого оптического контакта на 25-30%.

7. Результаты проведённых комплексных исследований физико-механических характеристик оптических и конструкционных марок клея позволили оптимизировать технологические факторы, влияющие на повышение выходных точностных и эксплуатационных характеристик призменных сборок, повысить стабильность и воспроизводимость технологических процессов.

Научная новизна. В диссертационной работе впервые выполнен комплекс теоретических, эксплуатационных и производственных исследований, позволивший разработать принципиально новую концепцию создания конструкции и изготовления высокоточных призменных сборок для оптических и оптико-электронных систем и комплексов с улучшенными оптическими, весогабаритными и эксплуатационными характеристиками.

В работе впервые:

- предложена конструкторско-технологическая концепция создания высокоточных призменных модулей и на её базе выработаны основные принципы изготовления как отдельных оптических элементов, так и высокоточных призменных модулей с повышенными точностными и эксплуатационными характеристиками для оптико-электронных приборов и комплексов;

- выполнены теоретические и экспериментальные исследования поверхностных явлений при нанесении плёнки 8Ю2 пиролитическим и вакуумным методами с целью разработки основ промышленной технологии изготовления высокоточных оптических элементов и особо сложных оптических покрытий;

- разработана комплексная методика изготовления металлостеклянных прецизионных призменных модулей, включая спектроделительные, с целью создания уникальных по своим оптическим и эксплуатационным параметрам многоспектральных оптических и оптико-электронных приборов и комплексов;

- разработаны теоретические основы конструирования и изготовления высокоточных призменных модулей для оптико-электронных приборов и комплексов специального назначения с высоким пространственным разрешением, не имеющих мировых аналогов.

Практическая значимость и реализация результатов работы:

1. Разработана высокопроизводительная комплексная технологическая методика изготовления прецизионных призменных модулей, состоящая из целого ряда принципиально новых технических решений,

в частности;

- впервые разработана и внедрена конегрукторско-технологическая концепция прецизионной обработки оптических элементов, обеспечивающая предельные по точности геометрические параметры, минимальную шероховатость оптических поверхностей (в пределах 5 А);

- разработана и внедрена уникальная методика оптимизации и изготовления особо сложных, работающих одновременно в нескольких спектральных диапазонах и со сложным спектральным профилем, оптических покрытии, для изготовления отдельных оптических элементов для высокоточных оптико-электронных приборов и комплексов;

- разработана и внедрена в серийное производство технология глубокого оптического контакта с использованием вакуумных и ипролитических методов с целью обеспечения прецизионной сборки призменных узлов с предельной точностью позиционирования элементов в пределах 0,1 угловой секунды;

- отработан и внедрен в производство способ изготовления высокоточных металлостеклянных призменных сборок, уточнены физико-механические параметры конструкционных марок клея.

2. Выполнение конструкторских и эксплуатационных работ по модернизации существующего технологического, метрологического, испытательного оборудования для решения задач, связанных с диссертацией, позволило резко повысить уровень стабильности и воспроизводимости технологических процессов, используемых для изготовления прецизионных оптических элементов и сборок.

3. Использование промышленной концепции изготовления прецизионных призменных модулей позволило изготовить широкую гамму оптико-электронных приборов и комплексов, не имеющих аналогов в мире.

Апробация работы и публикации:

Основные результаты работы докладывались на всероссийских и международных конференциях и семинарах.

в Всероссийская научно-техническая конференция «Опыт

разработки и внедрения автоматических манипуляторов и технологических комплексов с их использованием». Москва, 1985 г.

® VI Всероссийский семинар «Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики». Москва, 28-30 мая 2003г.

• XI Международная конференция «Оптика лазеров - 2003». С,- Петербург, июль 2003г.

• IV Межведомственная научно-практическая конференция «Информационные оптико-электронные технологии в военном деле (Оптика для обороны и безопасности-2004)»; г. Сосновый Бор Ленинградской области, 28-29 января 2004г.

• XVIII Международная научно-техническая конференция по фотоэлектронике и приборам ночного видения. Москва, 25-28 мая 2004г.

® VI Международная конференция «Прикладная оптика».

С.-Петербург, октябрь 2004г.

• VII Всероссийский семинар «Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики». Москва, 25-28 мая 2005г.

® 1 Международный форум «Оптика -2006». Москва, 29-30

сентября 2005г.

« XIX Международная научно-техническая конференция по

фотоэлектронике и приборам ночного видения. Москва, 23-25 мая 2006г.

® XI Международная научно-техническая конференция

«Наукоемкие химические технологии - 2006». Самара, 16-20 октября 2006г.

в Научно-техническая конференция. «Направления и проблемы

развития ракетно-космической обороны». ОАО МАК "Вымпел", Москва, 14 декабря 2006г.

о XIII конференция «Высокочпстые вещества и материалы.

Получение, анализ, применение». Нижний Новгород, май 2007 г.

• Третий международный форум «Оптика». Научно-практическая конференция по фотоэлектронике и приборам ночного видения. Москва, май 2008 г.

• XX Международная научно-техническая конференция по фотоэлектронике и приборам ночного видения. Москва, май 2008 г.

• Международная конференция «Поляризационная оптика -2008». Москва, 2008 г.

• Российская конференция по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники. Новосибирск, 2008 г.

Всего автором диссертации опубликовано 119 работ, в том числе по материалам диссертации - 85 печатных работ, приведенных в списке литературы в конце автореферата, - из них 31 - в рецензируемых журналах, рекомендованных ВАК.

Личный вклад автора

Диссертация написана по материалам исследовательских и экспериментальных работ, выполненных лично автором, при его непосредственном участии или под его руководством. Автором выполнены исследования, определившие положения и методики.

Структура и объем диссертации

Работа состоит из введения, пяти глав, заключения, приложения и списка литературы из 281 наименования. Текст изложен на 254 страницах и сопровождается рисунками. Общий объем диссертации составляет 283 страницы.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ Во введении показана актуальность проведенных исследований, сформулирована цель работы, определены научная новизна и практическая ценность полученных результатов, изложены защищаемые положения.

В первой главе рассмотрены современные тенденции использования прецизионных призмснных и спектроделительных модулей в гиперспсктральной аппаратуре для дистанционного зондирования Земли, передачи азимута систем прицеливания для оперативно-тактических ракетных комплексов, а также особенности применения вышеуказанных сборок в изделиях с высокой пространственной ориентацией.

Реализация предельных точностных и светотехнических выходных параметров призменных и спектроделительных модулей может быть достигнута лишь путём разработки и промышленного освоения современных технологии изготовления прецизионных призм особо сложных оптических покрытий со сложным спектральным профилем, работающих одновременно в различных спектральных диапазонах, сборки и юстировки призменных оптических блоков с предельной точностью.

Типовые конструкторско-техпологические требования приведены в таблице 1.

Таблица 1

Типовые конструкторско-техпологические требования к высокоточному спектроделительному модулю

Требование Погрешность изготовления Погрешность контроля

Погрешность изготовления оптических поверхностей призм, Ы, ЛЫ 0,2 0,1

Пирамндальность призм, угл. с 10 1

Погрешность взаимного углового положения призм, угл. с 5 1

Клииовидность призмениого блока, угл. с 30 1

Погрешность взаимного линейного положения призм, мм 0,05 0,003

Погрешность воздушного промежутка, мм 0,01 0,001

Интегральное отношение фон/сигнал по уровню 0,5 в области спектра от 0,4 до 1,1 мкм в каждом канале, % 8 2

Коэффициент пропускания фона, % <0,2 од

Погрешность совмещения центров выходных окон каналов, мкм 0,05 0,01

Важнейшим дополнительным требованием к спектроделительному модулю, применяемому в космической аппаратуре, является требование сохранности его оптотехнических параметров после механических, тепловых, климатических воздействий на этапах хранения, транспортировки, выведения на заданную орбиту, а также сохранить неизменность его конструктивных и оптотехнических параметров в процессе эксплуатации. Допустимое изменение параметров спектроделительного модуля должно быть на порядок меньше технологических погрешностей после воздействий:

- переменных температур в диапазоне ±60°С,

- механических ударов до длительностью до 2 мс,

- виброускорений в диапазоне от 10 до 20 ООО Гц,

-линейных ускорений до 1

- повышенной влажности до 95%.

Спектроделительный модуль должен также сохранять свои параметры в течение 5 лет при эксплуатационных воздействиях:

- невесомости,

- температур в диапазоне 0-20°С,

- вакуума до 10'5 мм рт. ст.,

- специальных воздействий, соответствующих орбите заданной

высоты.

Рис.1. Прецизионный метаплостеклянный призменный модуль для изделия

1Т142

Вторая глава посвящена современному состоянию разработок в области технологий изготовления прецизионных оптических элементов и особо сложных оптических покрытий.

Рассмотрены основные методы изготовления оптических элементов с предельными точностными характеристиками по плоскостности, по угловым параметрам, по чистоте и шероховатости обработки оптических поверхностей, а также методы контроля вышеуказанных параметров.

Предельные светотехнические характеристики призменных модулей напрямую зависят не только от степени однородности и прозрачности оптических сред, но и от минимизации степени шероховатости рабочих поверхностей оптических элементов.

В работе приведены комплексные теоретические и экспериментальные исследования в области достижения оптических рабочих поверхностей с шероховатостью на уровне зА.

Промышленное изготовление высококачественных многофункциональных оптических и оптико-электронных систем и элементов различного назначения во многом зависит от уровня технологий нанесения оптических покрытий.

Проблематичным является возможность достижения низких значений отражения, особенно в тех случаях, когда область низкого отражения должна находиться на небольшом расстоянии (по длине волны) от области высокого отражения.

Достижение вышеуказанных требований, используя традиционную технологию нанесения тонкослойных диэлектрических покрытий, крайне затруднительно. В настоящее время, в результате проведения фундаментальных теоретических и практических исследований в области синтеза оптических покрытий, разработана промышленная технология изготовления оптических элементов с особо сложными высококачественными покрытиями.

В частности разработана и экспериментально апробирована конструкция покрытия спектроделительного модуля для дистанционного зондирования Земли из космоса. Конструкция покрытия представляет 27-слойнуга систему из слоев гпБ (п=2,3) и М§Р2 (п=1,38), нанесённую на пластину из стекла К8: 0,53611, 0,662Ц 1.000Н, 0/797Ц 0,79511, 0.946Ц 0.905Н, 0.838Ц 0,89061-1, 0.924Ц 0.893Н, 0.870Ц 0,89711, 0,916Ц 0.897Н, 0.870Ц 0,893Н, 0.924Ц 0.890Н, 0.838Ц 0.904Н, 0.946Ц 0.795Н, 0.798Ц 1,000Н, О.ббЗЦ 0,53611.

•от бм"* ' .....в» " та ' ' 1ссо ' " 'то ' '"иии

'А'ауйал^Ш.пп

Рис.2. Спектральная кривая для спектроделительного покрытия

В заключительной части главы исследованы поляризационные эффекты, возникающие в спектроделительном модуле, в зависимости от различных типов оптических покрытий, а также влияние вышеуказанных явлений на выходные параметры прецизионных спектроделительных призменных модулей.

Третья глава посвящена теоретическим и экспериментальным исследованиям в области технологий сборки высокоточных призменных модулей методами глубокого оптического контакта и оптических клеевых соединений.

Качество оптического соединения оценивается по нескольким критериям:

- обеспечение предельной точности соединения;

- наличие остаточных внутренних напряжений;

- механическая прочность;

- степень рассеяния, поглощения излучения;

- термическая и химическая устойчивость.

Соединение с применением оптических марок клея является надёжным, технологичным, экономичным. Но, наряду с явными преимуществами клеевого соединения, толщина клеевого слоя является относительно большой (от 50 до 200 мкм) и неоднородной. В этих оптически толстых слоях имеет место рассеяние и поглощение излучения. Эти соединения не выдерживают мощное оптическое излучение, не являются термически и химически устойчивыми. Этими причинами и объясняется большая актуальность в проведении комплекса теоретических и

экспериментальных работ в области технологии прецизионного соединения оптических компонентов без использования оптических марок клея.

Создание глубокого оптического контакта - процесс сварки оптических элементов, в результате которого получается точное соединение без использования оптических марок клея. Зона оптического контакта оптически прозрачна, свободна от внутренних напряжений с несущественными потерями на рассеяние и поглощение, химически и термически устойчива. Выполнение работ по совершенствованию технологии глубокого оптического контакта обеспечило такой сильный контакт, который сопоставим с прочностью монолита (при механическом разъединении -разрыв по стеклу, а не по поверхности соединения). Как следствие, выполняются все требования по выходным оптическим характеристикам, по эксплуатации и надёжности призменных сборок.

Основные параметры соединения методом глубокого оптического контакта:

- термостойкость 400°С (при соединении стеклооднородных марок), 1000°С (при соединении кварцевого стекла), 650°С (при соединении комбинации материалов кварцевое стекло - ситалл);

- холодостойкость не ниже -90°С (для деталей из однородных материалов);

- предельная оптическая точность позиционирования элементов -О, I угл. сек.

Сущность глубокого оптического контакта методом пиролиза заключается в следующем: тонкие наноразмерные слои оксида кремния наносят на поверхности оптических элементов из паровой фазы тетрахлорида кремния пли тетраметаксиксилана для создания возможности соединения поверхностей без использования дополнительных склеивающих реагентов.

Основным требованием к наносимому слою является однородность поверхности по наличию гетерогенных примесей - включений.

Важное значение имеет подготовка поверхности оптических элементов перед осаждением ЗЮ2.

Экспериментально подтверждена приоритетность использования спирта - изопропанола в части обеспечения максимальной очистки поверхностей от масел и других органических примесей.

Хорошие результаты по очистке поверхностей были также получены при использовании парожидкостной обработки поверхностей этанолом и изопропанолом, с содержанием влаги на уровне не более 1,2% масс.

Принципиальное значение имеет степень очистки тетрахлорида кремния или тетраметаксиксилана. Оптимальное содержание примесей ряда металлов, использованных при осаждении образцов тетрахлорида кремния, не превышало п. 10"г> — 10"8 % масс. Концентрация углеродсодержащих примесей

типа метилтрихлорсилаиа в очищенных образцах тетрахлорида кремния составляла 1,10"' % масс.

Проведены работы по изучению влияния зависимости качества получаемых слоев от изменения соотношения газов, пропускаемых через барботеры с реагентами, а также от изменения температуры барботеров.

Для получения тонких слоёв оксида кремния, для создания глубоких оптических контактов полученный результат является очень важным, поскольку наличие ОН-групп на поверхности способствует хорошей адгезии на ней слоя, образующегося при гидролизе оксида кремния.

С точки зрения технологичности, пиролитический метод нанесения плёнок оксида кремния является нестабильным, поскольку во многом зависит от влияния атмосферных факторов: температуры окружающей среды, атмосферного давления, скорости перемещения воздушных масс и т.д.

С целыо повышения стабильности и надёжности процесса нанесения на поверхность оптического элемента диоксида кремния проведён комплекс теоретических и экспериментальных работ по разработке технологий нанесения диоксида кремния вакуумным методом. Выполнены работы по оптимизации технологических факторов, влияющих на однородность, адгезионную прочность плёнки, а также проведены работы по выполнению технологической операции - «спекание» в вакуумной камере. Итогом вышеуказанной работы является улучшение стабильности технологического процесса глубокого оптического контакта, повышение прочностных и оптических характеристик оптических сборок.

Разработаны математические модели оптимизации пористости конструкционной пленки БЮг, а также формирования равнотолщинного слоя на поверхности крупногабаритных оптических элементов.

Четвертая глава посвящена исследованию физико-механических характеристик оптических и конструкционных марок клея, используемых для прецизионной сборки призменных модулей, а также технологическим особенностям изготовления прецизионных металлических элементов из титановых сплавов.

Проведена экспериментальная работа по уточнению прочностных характеристик оптических марок клея ОК-72ФТ5 и ОК-72ФТ15 и конструкционных марок клея ВК-27 и К-300-61 с подслоем КЛТ-300. В работе представлены механические свойства клеевых соединений при низкой, нормальной и повышенной температурах, виброустойчивость и деформационные свойства вышеуказанных марок клея. Полученные данные по исследованию физико-механических характеристик марок клея показали, что клеевые соединения обладают высокой вибро- и длительной прочностью, стабильностью механических свойств в атмосферной среде при воздействии повышенных температур, тропико- и водостойкостью.

Разработаны математические модели прочностных параметров металлостеклянных призменных сборок.

Эксплуатационные свойства металлостекпянных соединений прилагаются в таблицах 2-5.

Таблица 2

Механические свойства клееных соединений на клее ВК-27 при ншкои, нормальной н повышенной температурах

Наименование своИстн Склеиваемые материалы Температура испытания, °С

-60 20 80

Прочность при слшне, Tu МПа Д16 зашкуренный 22,0 24,5 9,0

Д16 ДТ Анодное оксидирование в хромовой кислоте (Ли.Оке.Хром) 22,0 24,8 10,7

Д16 ЛТ Анодирование в серной кислоте 14,0 23,5 9,0

О'Г-4 дробленый 26,0 27,0 9,5

ЗОХГСЛ дробленый 26,0 27,5 10,0

ЗОХГСА-кадмированпе - 28,5 6,4

1 1 [точность при отрыве, <уат МПа Д1б АТ Лп.Окс.Хром 45,0 38,0 9,5

ЗОХГСЛ дробленый 50,0 37,5 6,5

Прочность при неравномерном отрыве, Sor МПа Д16 АТ зашкуренный 3,2 4,4 1,6

Д!б АТ Ан.Окс.Хром 3,5 4,5 2,2

Таблица 3

Вибростойкость при сдвиге r=amin/<jrailI=0,l; f=2000 цикл/мин _Склеиваемые материалы Д16 АТ Ан.Окс.Хром_

Температура испытания, °С Максимальное напряжение цикла, МПа Число циклов до разрушения

20 12,5 104

10,0 105

7,5 106

6,5 107

80 4,6 104

3,5 105

2,4 106

1,5 107

г - коэффициент ассиметрии цикла; f- частота вибрации.

Таблица 4

Деформационные свойства клея ВК-27

Характеристики в условиях равномерного сдвига при температуре испытания 20°С

Прочность МПа 2,70

Модуль сдвига, МПа 270-540

Относительное удлинение, % 50-125

Таблица 5

Изменение прочности при сдвиге клеевых соединений на образцах _из сплавов Д16 АТ Лн.Окс.Хром и ОТ-4_

Склеиваемые материалы Прочность при сдвиге,тп МПа, при температуре испытания, °С

-60 20 80

Алюминиевый сплав Д16 АТ Лн.Окс.Хром 25,8 12,5 6,0

Титановый сплав ОТ-4 24,0 15,0 6,5

В главе 5 представлены конкретные примеры практического применения комплексной технологии изготовления высокоточных оптических призменных модулей для оптико-электронных комплексов О'ГРК бронетанковых и авиационных образцов ВВСТ (изделие 1Т142 для 9К720, 'Г05-С для объекта 195), имеющих важное государственное значение.

Рис.3. Прецизионные призменные модули для изделия 1Т142 (9К720), изготовленные по технологиям глубокого оптического контакта и клеевых соединений

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

Впервые проведен комплекс теоретических, экспериментальных и производственных исследований, направленных на усовершенствование применяемых основных и вспомогательных материалов, методов изготовления отдельных оптических компонентов, а также высокоточных призменных и спектроделительных модулей. Применение вышеуказанных оптических сборок в составе оптико-электронных приборов и комплексов для различных видов вооружений, производимых ФНПЦ ОАО «Красногорский завод им. С.А. Зверева», обеспечило существенное улучшение точностных, оптических, весогабаритных характеристик, снижение себестоимости их изготовления, тем самым решив важную научную и государственную задачу.

1. Предложен, теоретически обоснован, экспериментально проверен и подготовлен для промышленного изготовления номенклатурный ряд прецизионных призменных и спектроделительных модулей для оптических и оптико-электронных приборов и комплексов нового поколения.

2. Предложена комплексная технология изготовления высокоточных призменных элементов с минимальной шероховатостью оптических поверхностей (в пределах 5 А), а также изготовления особо сложных спектроделительных покрытий, работающих одновременно в нескольких спектральных диапазонах, со сложным профилем спектральной кривой.

3. Выявлены, обобщены технологические факторы, влияющие на качество оптических поверхностей в процессе полирования. Разработана теоретическая модель полирования высокоточных оптических поверхностей с точностью Ы/ЛЫ не более 1/0,1 и шероховатостью в пределах 5 А.

4. Разработана комплексная технология изготовления особо сложных призменных оптических модулей с использованием глубокого оптического контакта методами пиролиза и нанесения плёнки БЮг с применением вакуумной техники. Вышеуказанная технология обеспечила повышение прочностных и оптических характеристик, а также повысила стабильность технологии глубокого оптического контакта.

5. Разработана, экспериментально апробирована методика обеспечения равномерного по толщине и плотности конструкционного слоя БЮ2 для крупногабаритных оптических подложек вакуумным методом.

6. Выявлены, обобщены, оптимизированы факторы, влияющие на прочностные параметры оптических сборок, изготовленных методом глубокого оптического контакта.

7. Экспериментально определены методы глубокой очистки ЧКХ, полученных после синтеза тетрахлорида кремния от примесей кремнийорганических соединений, алкилхлорсиланов, хлорированных углеводородов.

8. Определены методы и химические реагенты для глубокой очистки оптических поверхностей перед нанесением покрытий и конструкционных слоев 8Ю2.

9. Определена эффективность использования высокоточных оптических спектроделительных модулей в оптико-электронных комплексах для гиперспектрального зондирования Земли.

10. На основе изложенных в диссертации материалов разработаны, испытаны и серийно выпускаются прецизионные призменные модули с повышенными массогабаритными и оптическими характеристиками.

11. Работа по теме диссертации имеет уникальное значение в части создания серийно выпускаемых высокоточных оптических элементов и сборок для оптико-электронных приборов и комплексов с предельными оптическими характеристиками.

Основные результаты диссертации опубликованы в следующих

работах:

1. A.c. № 205966 от 27 июля 1984 г. На специальную тему / В.В. Потелов, В.А. Ржеутский, Б.А. Ермаков, И.Ф. Балашов, М.В. Возницкий.

2. Потелов В.В. Принципы создания и проблемы внедрения гибких автоматизированных производств // Вопросы оборонной техники. -М. : 1985. - Серия 3. - Выпуск 6 (183). -С. 44-49.

3. Потелов В.В. Опыт внедрения и проблемы эксплуатации промышленных роботов в гибких автоматизированных производствах // Тез. докл. Всероссийской научно-технической конф. «Опыт разработки и внедрения автоматизированных манипуляторов и технологических комплексов с их использованием». - М. : 1985. - С.75.

4. A.c. № 223866 от 26 марта 1985 г. На специальную тему / В.В. Потелов, A.C. Воронцов, Е.П. Карасёв, JI.H. Левин, A.A. Мутовкин, Д.И, Павлов, В.Н. Филатов, И.В. Шемшурин.

5. A.c. № 223813 от 1 августа 1985 г. На специальную тему / В.В. Потелов, JI.H. Преснухин, В.А. Бархоткин, 10.А. Тарасов, О.Н. Зимарин, В.В. Петров, Л.П. Миронов, Н.М. Евстюхин.

6. A.c. № 1164788. Аналоговое запоминающее устройство / Л.Н. Преспухин, Б.И. Швецкий, Л.А. Дубинский, В.А. Берхоткин, В.В. Вернер, E.H. Бажанов, И .Я. Козырь, 10.В. Савченко, A.A. Мутовкин, В.В. Потелов, Ш.Э. Алимбек // Открытия. Изобретения: Официальный бюллетень. - 1985. -№24. - С. 227.

7. Потелов В.В., Тонышев H.A. Гибкие производственные системы и особенности организации производства. // Строительные и дорожные машины. -1986-№9. - С. 37-41.

8. Потелов В.В., Тонышев H.A.. Совершенствование системы обновления основных фондов в машиностроении // Строительные и дорожные машины.-1986.-№11.-С. 21-24.

9. Потелов В.В. Выбор экономически оправданных компонентов гибкой автоматизации // Вопросы оборонной техники. - М. : 1987. - Серия 3. -Выпуск 10 (197).-С. 43-51.

10. Потелов В.В. Повышение эффективности диалоговых систем управления // Вопросы оборонной техники. - М. : 1988. - Серия 3. - Выпуск 1 (209).- С. 44-48.

11. Потелов В.В. Анализ эффективности функционирования механообрабатывающих производств, работающих в различных условиях организации производственных процессов // Вопросы оборонной техники. -М. : 1988.-Серия2.-Выпуск5 (201).-С. 13-20.

12. Патент № 1593713. Устройство для электростатического нанесения волокон на изделия / Н.В. Никифорова, E.H. Бершев, Н.Ф. Перепеченко, Е.Г. Подорозшок, М.В. Калашников, А.П. Сорокин,

В.В. Потелов, В.Я. Гомолка, А.П. Афонцев // Открытия. Изобретения: Официальный бюллетень. - 1990. -№35. - С. 27.

13. Патент № 1715560. Способ отделочной обработки деталей и устройство для его осуществления / А.П. Сергиев, АЛ. Гришин, В.В. Потелов, В.А. Жидков // Изобретения: Официальный бюллетень. - 1992. -№8. - С.32.

14. Патент №1742375 (РФ). Дозатор к установке для электрофлокирования. / Е.Г. Поборозшок, П.М. Панкратов, И.Р. Перепечко, В.В. Потелов и др. // Открытия. Изобретения: Официальный бюллетень,- 1992. - №23. - С.31.

15. Заварзин В.И., Полухии В.А., Потелов В.В. Методические указания по учебно-технологической подготовке студентов оптико-механического отраслевого факультета специальности «Оптические приборы и системы» - М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1993. - 20 с.

16. Заварзин В.И., Полухии В.А., Потелов В.В. Методические указания по непрерывной научно-производственной практике студентов оптико-механического отраслевого факультета специальности «Оптические приборы и системы» - М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1993. - 26 с.

17. Патент № 2016669. Вибропередающий элемент /

A.П. Сергиев, В,В. Потелов, Г.И. Кузьменко, В.А. Жидков // Изобретения: Официальный бюллетень. - 1994. -- №8. - С.33.

18. Патент №2065192 (РФ). Одиолинзоный объектив с градиентным слоем./ В.И. Казаков, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник, Г.А. Точкина // Изобретения: Официальный бюллетень - 1996.-№22.

19. Патент №2078468 (РФ). Способ коррекции оптической системы. / В.Г. Крючков, В.В. Некрасов, В.Е. Ефремов, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник//Изобретения: Официальный бюллетень.- 1997,-№27.

20. Патент №2078467 (РФ). Способ получения коррекционных слоев на оптическом элементе. / В.Г. Крючков, В.В. Потелоп, Н.П. Заказнов, Б.Н. Сеник // Изобретения: Официальный бюллетень,- 1997. -№12.

21. Крючков В.Г., Потелов В.В., Сеник Б.Н.. Вакуумная асферизация высокоточных оптических элементов инфракрасной оптики // Тез. докл. VI Всероссийского семинара «Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики» (Москва, 28-30 мая 2003 г.). -М. :2003.-С.42-43.

22. Гоев А.И., Крючков В.Г., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Основы технологии формирования градиентно-асферических линз вакуумным методом // Тез. докл. VI Всероссийского семинара «Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики» (Москва, 28-30 мая 2003 г.). -M. : 2003.-С.48.

23. Гоев А.И., Заварзин В.И,, Полухии В.А., Потелов

B.В. Решение пространственных юстировочных задач: Учебное пособие. - М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003.-31 с.

24. Гоев А.И., Заварзин В.И., Петров В.А., Потелов В.В. Сборка и юстировка оптико-электронных приборов: Учебное пособие - М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003. - 80 с.

25. Архипов С.А., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Особенности технологии изготовления высокоточных оптических призменных узлов и спектроделительных модулей для изделий с высокой пространственной ориентацией // Оптический журнал. - 2004. - Т. 71. - №12. - С. 11-13.

26. Потелов В.В., Сеник Б.Н. Асферизация высокоточных оптических элементов методом вакуумного напыления // Оптический журнал. - 2004. -Т.71. -№12. - С. 14-19.

27. Вельский А.Б., Вилепский A.B., Потелов В.В., Сеник Б.Н. и др. Применение акустооптического спектрофотометра в технологии изготовления оптических покрытий // Приборы.-2004-№ 10. - С. 42-45.

28. Крючков В.Г., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Вакуумная асферизация высокоточных оптических элементов инфракрасной техники // Прикладная физика. - 2004. -№1. - С. 85-88.

29. Гоев А.И., Князева H.A., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Особенности формообразования крупногабаритных полимерных оптических элементов средней точности // Сб. трудов VI Международной конференции «Прикладная оптика». Том 2,-СПб. : 2004,-С. 137-147.

30. Krjuchkov V.G., Potelov V.V., Senik B.N. Vacuum aspherization of high-precise optical elements of IR facilities // Proceeding of SP1E (USA). -2004. - V.5398. — P.86.

31. Гоев А.И., Князева H.A., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Современные тенденции в промышленной технологии изготовления полимерных оптических элементов для приборов ночного видения // Тез. докл. XVIII Международной конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения (Москва, 22-28 мая 2004). - М.: 2004. - С.50.

32. Гаврищук Е.М., Потелов В.В., Сеник Б.Н., Тимофеев О.В. Влияние условий полирования на качество обработки оптических поверхностей элементов из селенида цинка для изделий, работающих в ИК-диапазоне // Тез. докл. XVIII Международной конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения (Москва, 22-28 мая 2004). - М. : 2004. - С.54.

33. Гоев А.И., Потелов В.В. и др. Проблемные вопросы адаптации технологического вакуумного оборудования к решению текущих и перспективных задач по изготовлению оптических элементов // VI Международная конференция «Прикладная оптика» (СПб, 18-22 октября 2004): сб. трудов. - СПб. : 2004. - Т.4. - С.63-65.

34. Архипов С.А., Лысый Б.Г., Потелов В.В., Сеник Б.Н., Чередниченко О.Б. Комплексная технология изготовления оптических покрытий со сложным спектральным профилем // Оптический журнал. - 2005. -Т. 72,-№4.-С. 66-70.

35. Гоев А.И., Князева H.A., П отелов Б.В., Сеник Б.Н. Современные тенденции в промышленной технологии изготовления полимерных оптических элементов для приборов ночного видения // Прикладная физика. -2005,-№2,-С. 102-107.

36. Гаврищук E.H., Тимофеев О.В., По- гелов В.В., Сеник Б.Н. Влияние условий полирования па качество обработки оптических поверхностен элементов из селеиида цинка для изделий, работающих в ИК— диапазоне И Прикладная физика. -2005. - №5. С. 107-111.

37. Goev A.I., Knyazeva N.A., Potelov V.V., Senik B.N. Modern (rends in industrial technology of fabricating polimeric optical components for night vision devices // Proceeding of SP1E (USA). - 2005. - V.5834. - P. 370-376.

38. Гоев A.M., Князева H.A., Потел ob В.В., Сеник Б.Н. Особенности формообразования крупногабаритных полимерных оптических элементов средней точности // Сборник трудов Международной академии "Контеиант": Формообразование оптических поверхностей. - М. : 2005. -С. 115-126.

39. Гоев А.И., Потел о в В.В., Савельев A.B., Сеник Б.Н. Формообразование высокоточных оптических поверхностей на стадии полирования // Сборник трудов Международной академии "Контеиант": Формообразование оп тических поверхностей. - М. : 2005. - С. 126-151.

40. Гоев A.M., Потелов В.В., Приваленко В.М., Сеник Б.Н., 'Гихонравов A.B., Чередниченко О.Б. Проблемы, вопросы адаптации технологического оборудования к решению текущих и перспективных задач но изготовлению оптических элементов // Тез. докл. VII Всероссийского семинара «Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики» (Москва, 25-27 мая 2005 г.). - М. : 2005. - С.49.

41. Гоев А.И., Крючков В.Г., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Особенности получения новых расчётных показателей преломления в оптических слоях при нанесении в вакууме // Тез. докл. VII Всероссийского семинара «Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики» (Москва, 25-27 мая 2005 г.). - М. : 2005. - С.63-64.

42. Гоев А.И., Казаков В.И., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Применение градиентно-асферических элементов в оптических системах // Тез. докл. VII Всероссийского семинара «Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики» (Москва, 25-27 мая 2005 г.). - М. : 2005.-С.64.

43. Гоев А.И., Крючков В.Г., Потелов В.В., Сеник Б.Н., Чередниченко О.Б. Применение акустооптических спектрофотометров для изготовления градиентных оптических элементов особо сложных оптических покрытий // Тез. докл. VII Всероссийского семинара «Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики» (Москва, 25-27 мая 2005 г.). - М. : 2005. - С.75.

44. Гоев А.И., Потелов В.В., Сеник Б.Н. и др. Проблемные вопросы адаптации технологического вакуумного оборудования к решению текущих и перспективных задач по изготовлению оптических покрытий и нетрадиционных оптических элементов // Прикладная физика. - 2006. - №3. -С. 93-95.

45. Гоев А.И., Крючков В.Г., Потелов В.В., Сеник Б.Н., Герасюк

A.К. Основы технологии формирования градиентно-асферических слоев вакуумным методом // Прикладная физика. -2006. - №4. - С. 131-135.

46. Гоев A.M., Казаков В.И., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Применение градиентно-асферических элементов в оптических системах // Прикладная физика.-2006. - №6. - С. 144-146.

47. Несмелов Е.А., Потелов В.В., Сеник Б.Н., Сухачев А.Б. Очистка поверхностей перед нанесением покрытия // Прикладная физика. -2006,-№6.-С. 146-148.

48. Здор С.Е., Колинько В.И., Потелов В.В. О базовом наземном космическом средстве контроля космического пространства // НТЦ Информтехника: Оборонная техника. - М. : 2006. -№9. - С. 83-91.

49. Сеник Б.Н., Гринберг Е.Е., Жаданов В.Б., Баранов К.В., Сырычко В.В., Потелов В.В. Исследование получения тонких слоев оксида кремния на поверхности кварца // Вестник Международной академии системных исследований. - М.: 2006. - С.56-62.

50. Потелов В.В., Сеник Б.Н., Вельский А.Б., Сухачев А.Б. Анализ точностных параметров стабилизации оптической оси оптико-электронной системы // Тез. докл. научно-технической конф. «Направления и проблемы развития ракетно-космической обороны»: Москва, ОАО МАК «Вымпел». - 2006.

51. Потелов В.В., Сеник Б.Н. Технологические особенности изготовления высокоточных оптических призменных модулей для изделий с высокой пространственной ориентацией // Тез. докл. научно-технической конференции «Направления и проблемы развития ракетно-космической обороны»: Москва, ОАО МАК «Вымпел». -2006.

52. Потелов В.В., Сеник Б.Н. Вакуумные методы нанесения оптических покрытий, используемые для изготовления оперативно-тактических ракетных комплексов // Тез. докл. научно-технической конференции «Направления и проблемы развития ракетно-космической обороны»: ОАО МАК «Вымпел». -2006.

53. Волочек М.Ф., Герасюк А.К., Гоев А.И., Кириленко В.В., Потелов В.В., Сеник Б.Н, Разработка гиперспектральной оптической среды для изделий специальной техники // Тез. докл. XIX Международной научно-технической конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения (Москва, 23-26 мая 2006). - М.: 2006. - С. 74.

54. Васильева И.Ф., Герасюк А.К., Гоев А.И., Кириленко

B.В., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Высококачественные оптические покрытия для

видимой и ближней ИК-областей спектра, созданные на базе новых пленкообразующих материалов - титапата гадолиния и тптаната лютеция // Тез. докл. XIX Международной научно-технической конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения (Москва, 23-26 мая 2006). - М. : 2006.-С. 75.

55. Герасюк Л.К., Гоев Л.И., Горелик Б.Д., Потел о в В.П., Сепнк Б.П., Скляров С.П. Применение технологии вакуумной асферизации для изготовления тепловизиониого объектива // Тез. докл. XIX Международной научно-технической кош]), по фотоэлектроиике и приборам ночного видения (Москва, 23-26 мая 2006).-М. : 2006.-С. 76.

56. Герасюк А.К., Гоев А.И., Гринберг Е.Е., Потелов В.В., Сенпк Б.И. Исследование технологических факторов, влияющих на качество тонких плёнок диоксида кремния (Si02) с целыо повышения эксплуатационных характеристик оптических сборок, изготовленных методом глубокого оптического контакта // Тез. докл. XIX Международной научно-технической конф. по фотоэлектроиике и приборам ночного видения (Москва, 23-26 мая 2006). - М. : 2006. - С. 77.

57. Васильева И.Ф., Герасюк А.К., Гоев А.И., Кириленко В,В., Потелов В.В., Сеиик Б.И. Применение новых плёнкообразующих материалов - цнрконата гадолиния и цнрконата лютеция для получения высококачественных оптических покрытий // Тез. докл. XIX Международной научно-технической конф. по фотоэлектроиике и приборам ночного видения (Москва, 23-26 мая 2006). - М. : 2006. - С. 78.

58. Гоев А.И., Потелов В.В., Сеиик Б.Н. и др. Применение акуетооптнческих спектрофотометров для изготовления градиентных оптических элементов и особо сложных оптических покрытий // Прикладная физика,- 2007. -№!.- С, 146-151.

59. Гоев А.И., Крючков В.Г., Потелов В.В., Сеник Б.И., Герасюк А.К. Особенности получения новых расчетных показателей преломления в оптических слоях при их нанесении в вакууме // Прикладная физика. -2007. -№1, - С. 152-154.

60. Герасюк А.К., Гоев А.И., Горелик Б.Д., Потелов В.В., Сеник Б.П., Скляров С.П. Применение технологии вакуумной асферизации для изготовления тепловизиониого объектива // Прикладная физика. - 2007. - №2. -С. 119-121.

61. Васильева И.Ф., Герасюк А.К., Гоев А.И., Кириленко В.В., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Высококачественные оптические покрытия для видимой и ближней ИК-областей спектра, созданные на базе новых плёнкообразующих материалов - титаиата гадолиния и титапата лютеция // Прикладная физика. - 2007. - №5. - С. 91-98.

62. Васильева И.Ф., Герасюк А.К., Гоев А.И., Потелов В.В. и др. Применение новых плёнкообразующих материалов - цнрконата гадолиния и

циркоиата лютеция для получения высококачественных оптических покрытий // Прикладная физика. - 2007. - №5. - С. 134-140.

63. Волочек М.Ф., Герасюк А.К., Гоев А.И., Горелик Б.Д., Потелов В.В., Сеник Б.П. Разработка гиперспектральной оптической среды для изделий специальной техники // Прикладная физика. - 2007. -№6. - С. 142-143.

64. Васильева И.Ф., Герасюк А.К., Гоев Л.И., Кириленко В.В., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Применение новых плёнкообразующих материалов цирконата лютеция для получения высококачественных оптических покрытий // Оптический журнал. -2007. -№10.-С. 79-84.

65. Потелов В.В., Сеник Б.П. Градиентные просветляющие покрытия для гиперспектральных оптических кристаллов // Тез. докл. XIII конференции «Высокочистые вещества и материалы. Получение, анализ, применение» (11. Новгород, 28-31 мая 2007 г.) - Н. Новгород :2007. - С. 217221.

66. Бажанов Ю.В., Мейтин В.А., Потелов В.В., Скляров С.Н. Вопросы разработки оптических схем многоканальных оптико-электронных обзорно-прицельных систем //Тез. докл. научно-практической конф. «Оптика XXI век: огггика, фото пика и оптоинформатика в науке и технике» в рамках II 1-го Международного форума «0птика-2007» (Москва, 23-26 октября 2007). -M. : 2007.-С.14.

67. Потелов В.В., Сеник Б.Н.. Современные типы защитных просветляющих оптических покрытий для мультиспектральных оптических систем //Тез. докл. научно-практической конф. «Оптика XXI век: оптика, фотоника и оптоинформатика в науке и технике» в рамках Ш-го Международного форума «0птика-2007» (Москва, 23-26 октября 2007). - М. : 2007.-С.16.

68. Сеник Б.Н., Гринберг Е.Е., Жаданов В.Б., Баранов К.В., Потелов В.В., Сырычко В.В., Стрельникова И.Е. Возможности улучшения технологии получения тонких слоев диоксида кремния на кварце // Сб. научных трудов «Успехи в химии и химической технологии» - 2007. -T. XX. -№3. - С.98-101.

69. Патент РФ №2358672 от 6.09.07. Устройство для обработки углублений сферической формы /В.В. Потелов, В.Е. Гузман, Ю.В. Харьков. Уведомление о регистрации заявки №200713347 от 06.09.2007. Роспатент.

70. Герасюк А.К., Гоев А.И., Гринберг Е.Е., Потелов В.В., Сеник Б.Н. Исследование технологических факторов, влияющих на качество тонких плёнок диоксида кремния (Si02), с целью повышения эксплуатационных характеристик оптических сборок, изготовленных методом глубокого оптического контакта//Прикладная физика.-2008. - №1. - С. 106-110.

71. Гринберг Е.Е., Потелов В.В. и др. Технологические вопросы получения высокоточных веществ для золь-гель и пиролитических методов синтеза // Физика и химия стекла. -2008,- Т.34. - №4. - С. 16-20.

72. Потел о в В.В., Сеник Б.Н. Исследование технологических возможностей создания многоспектральных ИК-приборов // Тез. докл. XX Международной научно-технической конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения -ФГУП «НПО «Орион». -М. : 2008. - С. 23.

73. Потел ов В.В., Сеник Б.И. Разработка и исследование оптических систем для двухспектральных тепловизионных приборов // Тез. докл. конф. «Фотоника-2008» - Российское совещание по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники. - Новосибирск : 2008. -С. 13.

74. Потел о и В.В., Сеник Б.Н. Исследование поляризационных эффектов в случае оптического спектроделительного модуля // Тез. докл. Международной конф. «Поляризационная оптика - 2008». - М.: 2008. - С.38.

75. Потело в В.В., Сеник Б.Н. Разработка и исследование оптических систем для двухспектральных 'тепловизионных приборов (3,0 -5,0 мкм, 8,0 - 12,5 мкм) // Тез. докл. па IV Международно]"! научно-технической конф. «Современные телевизионные технологии. Состояние и направление развития». - М. : 15-16 окт. 2008. - С.7.

76. Потелов В.В. Оптические призменные спектроделительные модули для изделий с высокой пространственной ориентацией // Прикладная физика. —2010.—№1 (в печати).

77. Потелов В.В. Исследование возможностей повышения прочностных характеристик оптических склеенных сборок с высоким градиентом коэффициентов линейного температурного расширения // Оптический журнал.. -2009 - №6. - С.68-69.

78. Потелов В.В. Исследование эксплуатационных свойств конструкционных клеев для прецизионной сборки оптических призменных модулей // С текло и керамика. -2009-№5. - С.35-36.

79. Потелов В.В. Получение тонких слоев диоксида кремния на кварце // Стекло и керамика. -2009-№2. -С.9-12.

80. Сеник Б.Н., Вельский А.Б., Потелов В.В. Новые тенденции в оптических технологиях, применяемых для повышения выходных параметров оптических и оптико-электронных систем // Оптический журнал. -2009,-№8. - С.5-13.

81. Потелов В.В. Получение особо чистых химических материалов для процессов химического, плазмохимического и гидролитического осаждения тонких оксидных слоев // Оптический журнал. -2009 - №8. - С.36-40-

82. Потелов В.В. Совершенствование технологии сборки высококачественных призменных модулей методом глубокого оптического контакта // Оптический журнал. -2009 - №8. - С.41-45.

83. Сеник Б.Н., Сельский А.Б., Потелов В.В. Новые технологии, применяемые для повышения выходных параметров оптических и оптико-

электронных систем в оптико-электронном приборостроении // Сборник МАК, г. Красногорск. - 2009. - № 1. - С.39-50.

84. Потелов В.В. Модели формирования равнотолщинного слоя с заданными показателем преломления и распределением толщины rio поверхности оптической детали при термическом испарении диэлектриков в вакууме Сборник МАК, г. Красногорск. - 2009. - № 1. - С.51 -56.

85. Потелов В.В. Особенности обработки различных марок оптического стекла при изготовлении призменных модулей // Стекло и керамика.-2009,-№9. С. 17-20.

Подписано н печать 01.09.09 г. Тип. ОАО КМЗ Зак. 3ак.2009.08-1326 Тираж 100 экз.

2008157087

ВВЕДЕНИЕ.

Глава 1. Современные тенденции использования прецизионных оптических призменных модулей.

Глава 2. Особенности изготовления оптических элементов и покрытий для призменных модулей.

2.1. Экспериментальные исследования процессов скоростного шлифования и полирования оптических элементов из стекла.

2.2. Исследование технологических процессов изготовления прецизионных поверхностей оптических деталей из кристаллов.

2.3.Теоретические и экспериментальные исследования шероховатости оптических поверхностей, полученных механическим методом и способы оценки степени шероховатости.

2.4. Современные вакуумные методы изготовления особо сложных отражающих, просветляющих, спектроделительных покрытий.

2.5. Особенности получения новых расчетных показателей преломления в оптических слоях при их нанесении в вакууме.

2.6. Экспериментальные исследования поляризационных эффектов, возникающих в процессе разработки и изготовления спектроделительных призменных кубиков.

2.7. Синтез новых пленкообразующих материалов - титанатов и цирконатов гадолиния и лютеция для разработки и внедрения высококачественных оптических покрытий для видимой и ближней РЖ областей спектра с предельными светотехническими параметрами.

Глава 3. Теоретические и экспериментальные исследования в области технологий сборки высокоточных призменных модулей методами глубокого оптического контакта и оптических клеевых соединений.

3.1. Сущность метода глубокого оптического контакта.

3.2. Технологические особенности глубокого оптического контакта с применением пиролитических методов осаждения диоксида кремния на оптические подложки.

3.3. Исследование возможности улучшения технологии глубокого оптического контакта с использованием высокочистых соединений.

3.4. Вакуумные методы нанесения конструкционного слоя S1O2.

3.5. Теоретические исследования по оптимизации пористости пленки S1O2.

3.6. Методы очистки оптических поверхностей перед нанесением плёнки S1O2 и глубокого оптического контакта.

Глава 4. Инновационные технологии сборки металлостеклянных призменных модулей с использованием клеевых соединений.

4.1. Технологические особенности изготовления прецизионных металлических элементов из титановых сплавов.

4.2. Теоретическое и экспериментальное обоснование оптимальной шероховатости оптических и механических поверхностей элементов под склеивание, соотношения коэффициентов линейного температурного расширения.

4.3 Особенности использования конструкционных марок клея в случае прецизионных сборок металлостеклянных конструкций. Математическое моделирование прочностных параметров прецизионных металлостеклянных призменных сборок.

4.4. Закономерности влияющих технологических факторов на выходные оптические и экспериментальные параметры металлостеклянных сборок.

4.5. Программно-методический комплекс для анализа характеристик напряженпо-деформированного состояния клеевого соединения в призменных модулях.

Глава 5. Практическое применение комплексной технологии изготовления высокоточных оптических призменных модулей.

Проблема создания оптико-электронных систем и комплексов, в частности, для дистанционного зондирования Земли из космоса, передачи азимута систем прицеливания для оперативно-тактических ракетных комплексов и бронетанковых видов вооружений, во многом зависит от успешного решения конструкторских и технологических задач, связанных с изготовлением и применением высокоточных оптических призменных узлов и спектроделительных модулей. В последнее время изделия вышеуказанного класса приобрели особую актуальность [1,2].

Дистанционное зондирование Земли из космоса - один из основных методов изучения окружающей среды и контроля её состояния, например, при решении многих задач геологии, в том числе при поисках месторождений полезных ископаемых и подземных вод, в лесном и сельском хозяйстве, океанологии и океанографии, при выборе местности под строительство и т.д. Непрерывно увеличивается его роль при решении экологических задач и в чрезвычайных ситуациях. По данным NASA годовая экономия от эксплуатации спутников для изучения природных ресурсов Земли составляет сотни миллиардов долларов. В настоящее время для решения основных информационных задач дистанционного зондирования Земли необходимо одновременное наблюдение в нескольких спектральных диапазонах. На Международном симпозиуме IGARSS-2002 было отмечено, что в разработке систем XXI века для дистанционного зондирования Земли наблюдается тенденция перехода от односпек-тральных систем к комплексным многоспектральным.

Наряду с уже достигнутыми предельными пространственными информационными характеристиками (полоса захвата, пространственное разрешение, точность фотограмметрической привязки) современная аппаратура должна обеспечивать высокие радиометрические характеристики и высокое спектральное разрешение. Поэтому, кроме основного традиционного элемента оптической системы — объектива, важной составной частью современной аппаратуры становится модуль диспергирующего устройства, так как именно он осуществляет разложение излучения сложного спектрального состава в спектр.

Важной отличительной особенностью оптических приборов и комплексов сегодняшнего дня от оптических и оптико-электронных и комплексов, созданных в XX веке, является расширение функциональных возможностей, минимизация массогабаритных параметров, достижение предельных точностных и светотехнических характеристик, цифровая обработка оптических сигналов, расширение рабочих спектральных диапазонов, создание принципиально новых приборов и комплексов, работающих на новых физических принципах [3, 4, 5].

Реализация указанных преимуществ может быть достигнута лишь в высокоточных оптических призменных сборках спектроделительных модулей путём разработки и промышленного освоения современных технологий изготовления прецизионных призм, неравпотолщинных интерференционных фильтров, сборки и юстировки призменных оптических блоков с высокоточной пространственной ориентацией.

Важнейшим технологическим этапом изготовления прецизионных призменных модулей является сборка методом склеивания оптическими клеями или методом оптической сварки (глубокого оптического контакта). Принципиальное отличие между этими двумя методами заключается в том, что метод склеивания не обеспечивает необходимые точностные параметры прецизионных призменных сборок как в нормальных условиях, так и в процессе жестких эксплуатационных нагрузок.

Совершенствование технологии глубокого оптического контакта является единственным правильным решением для обеспечения изготовления высокоточных призменных модулей, работающих в условиях жестких эксплуатационных нагрузок для изделий с высоким пространственным разрешением, гарантирующим стабильность используемых технологий по всем переделам, повышение выхода годных оптических элементов, соответствующих требованиям конструкторской документации.

Создание глубокого оптического контакта — процесс сварки оптических элементов, в результате которого получается точное соединение без использования оптических марок клея. Зона оптического контакта оптически прозрачна, свободна от внутренних напряжений с несущественными потерями на рассеяние и поглощение, химически и термически устойчива. Выполнение работ по совершенствованию технологии глубокого оптического контакта обеспечивает такой сильный контакт, который сопоставим с прочностью монолита (при механическом разъединении - разрыв по стеклу, а не по поверхности соединения). Как следствие, выполняются все требования по выходным оптическим характеристикам, по эксплуатации и надёжности призменных сборок.

Основные параметры соединения методом глубокого оптического контакта: термостойкость 400°С (при соединении стекол однородных марок), 1000°С (при соединении кварцевого стекла), 650°С (при соединении комбинации материалов кварцевое стекло - ситалл); холодостойкость, не ниже -90°С (для деталей из однородных материалов); предельная оптическая точность позиционирования элементов -0,1 угл. сек.

Сущность глубокого оптического контакта методом гидролиза заключается в следующем: тонкие наноразмерные слои оксида кремния наносят на поверхности оптических элементов из паровой фазы тетрахлорида кремния или тетраметаксиксилана для создания возможности соединения поверхностей без использования дополнительных склеивающих реагентов.Основным требованием к наносимому слою является однородность поверхности по наличию гетерогенных примесей - включений. Важное значение имеет подготовка поверхности оптических элементов перед осаждением 8102

Отличительная функциональная характеристика нанотехнологического продукта заключается в следующем: прецизионная точность изготовления оптических элементов под ГОК по плоскостности в пределах 20 нм и шероховатости в пределах 10 А; идеальная очистка оптических поверхностей при нанесении плёнки БЮг и ГОК; высокая точность нанесения наноструктурированного слоя 8Юг толщиной 140 нм и погрешностью 5 нм; высокая однородность наноструктурированного слоя 8Юг с заданной пористостью, исключающая наличие гетерогенных примесей; предельная оптическая точность позиционирования элементов до 0,1 угл. сек.

Цель диссертационной работы заключалась в создании теоретических основ и промышленного освоения изготовления прецизионных призменных модулей для их использования в принципиально новых оптических и оптико-электронных приборах и комплексах.

Для достижения поставленной цели были решены следующие задачи:

1. Проанализированы существующие типовые конструкции прецизионных призменных модулей в оптико-электронных приборах и комплексах.

2. Разработаны теоретические основы и проведены исследовательские работы по разработке методов изготовления оптических элементов и оптических покрытий для использования в прецизионных призменных сборках, с максимально высокими точностными параметрами.

3. Проведены теоретические и экспериментальные исследования в области технологий сборки высокоточных призменных модулей методами глубокого оптического контакта и оптических клеевых соединений с целыо обеспечения предельной точности позиционирования оптических элементов.

4. Исследованы закономерности и технологические факторы повышения прочностных и светотехнических параметров соединений оптических поверхностей методом глубокого оптического контакта.

5. Разработаны, комплексно исследованы методы очистки оптических поверхностей перед нанесением оптических покрытий, двуокиси кремния (ЭЮг) для создания глубокого оптического контакта.

6. Разработана математическая модель оптимальной пористости плёнки ЭЮг с целью повышения прочностных характеристик оптических сборок.

7. Исследованы и усовершенствованы физико-механические характеристики оптических и конструкционных марок клея, используемых для прецизионной сборки призменных модулей.

8. Внедрена промышленная конструкторско-технологическая концепция изготовления высокоточных призменных модулей, изготовлены, аттестованы опытные и серийные образцы для серийно выпускаемых и перспективных изделий с высокой пространственной ориентацией.

Достоверность и обоснованность результатов проведенных исследований определялись проверкой экспериментальных и серийно изготовленных образцов оптических сборок, а также проведением оптических и эксплуатационных испытаний оптических и оптико-электронных приборов и комплексов; сравнением результатов теоретических расчетов с результатами масштабных экспериментальных работ.

На защиту выносятся следующие положения:

1. Проведённый комплекс теоретических и экспериментальных исследований и разработок в области создания высокоточных призменных модулей позволяет повысить выходные оптические и светотехнические параметры оптико-электронных комплексов для дистанционного зондирования Земли (пространственное разрешение, точность фотограмметрической привязки), для систем прицеливания оперативно-тактических ракетных комплексов и бронетанковых видов вооружений.

2. Разработанная комплексная методика расчёта и изготовления особо сложных спектроделительных покрытий для призменных модулей позволила создать принципиально новый тип оптических и оптико-электронных приборов и комплексов гиперспектральпой аппаратуры дистанционного зондирования Земли.

3. Предложенные методы очистки оптических поверхностей обеспечивают повышение степени адгезии на 25-30% в случаях нанесения оптических покрытий, глубокого оптического контакта, клеевых соединений.

4. Вакуумный метод нанесения плёнки БЮг и глубокого оптического контакта обеспечивает высокую степень воспроизводимости технологического процесса глубокого оптического контакта и повышенные эксплуатационные характеристики оптических модулей (предельная прочностная нагрузка на оп

-л тические сборки не менее 300 кг/см ).

5. Конструкторско-технологическая концепция процесса склеивания оптических элементов с высоким градиентом коэффициентов линейного температурного расширения (в пределах 20-25х10"7оС"1) обеспечивает выполнение всех необходимых эксплуатационных параметров, предъявляемых к оптическим призменным модулям в составе оптико-электронных комплексов специального назначения.

6. Впервые разработанные математические модели расчёта и оптимизации пористости конструкционной плёнки 8102 обеспечивают повышение прочностных характеристик оптических сборок, изготовленных методом глубокого оптического контакта, на 25-30%.

7. Результаты проведённых комплексных исследований физико-механических характеристик оптических и конструкционных марок клея позволили оптимизировать технологические факторы, влияющие на повышение выходных точностных и эксплуатационных характеристик призменных сборок, повысить стабильность и воспроизводимость технологических процессов.

Научная новизна. В диссертационной работе впервые выполнен комплекс теоретических, эксплуатационных и производственных исследований, позволивший разработать принципиально новую концепцию создания конструкции и изготовления высокоточных призменных сборок для оптических и оптикоэлектронных систем и комплексов с улучшенными оптическими, весогабарит-ными и эксплуатационными характеристиками.

В работе впервые:

1. Предложена конструкторско-технологическая концепция создания высокоточных призменных модулей и на её базе выработаны основные принципы изготовления как отдельных оптических элементов, так и высокоточных призменных модулей с повышенными точностными и эксплуатационными характеристиками для оптико-электронных приборов и комплексов.

2. Выполнены теоретические и экспериментальные исследования поверхностных явлений при нанесении плёнки 8Ю2 гидролизным и вакуумным методами с целью разработки основ промышленной технологии изготовления высокоточных оптических элементов и особо сложных оптических покрытий.

3. Разработана комплексная методика изготовления металлостеклянных прецизионных призменных модулей, включая спектроделительные, с целью создания уникальных по своим оптическим и эксплуатационным параметрам многоспектральных оптических и оптико-электронных приборов и комплексов.

4. Разработаны теоретические основы конструирования и изготовления высокоточных призменных модулей для оптико-электронных приборов и комплексов специального назначения с высоким пространственным разрешением, не имеющих мировых аналогов.

Практическая значимость и реализация результатов работы:

1. Разработана высокопроизводительная комплексная технологическая методика изготовления прецизионных призменных модулей, состоящая из целого ряда принципиально новых технических решений, в частности: впервые разработана и внедрена конструкторско-технологическая концепция прецизионной обработки оптических элементов, обеспечивающая предельные по точности геометрические параметры, минимальную шероховатость оптических поверхностей (в пределах 5 А); разработана и внедрена уникальная методика оптимизации и изготовления особо сложных, работающих одновременно в нескольких спектральных диапазонах и со сложным спектральным профилем, оптических покрытий, для изготовления отдельных оптических элементов для высокоточных оптико-электронных приборов и комплексов; разработана и внедрена в серийное производство технология глубокого оптического контакта с использованием вакуумных и гидролизных методов, с целью обеспечения прецизионной сборки призменных узлов с предельной точностью позиционирования элементов в пределах 0,1 угловой секунды; отработан и внедрен в производство способ изготовления высокоточных металлостеклянных призменных сборок, уточнены физико-механические параметры конструкционных марок клея.

2. Выполнение конструкторских и эксплуатационных работ по модернизации существующего технологического, метрологического, испытательного оборудования для решения задач, связанных с диссертацией, позволило резко повысить уровень стабильности и воспроизводимости технологических процессов, используемых для изготовления прецизионных оптических элементов и сборок.

3. Использование промышленной концепции изготовления прецизионных призменных модулей позволило изготовить широкую гамму оптико-электронных приборов и комплексов с высокой пространственной ориентацией, не имеющих аналогов в мире.

Апробация работы и публикации:

Основные результаты работы докладывались на всероссийских и международных конференциях и семинарах.

• Всероссийская научно-техническая конференция «Опыт разработки и внедрения автоматических манипуляторов и технологических комплексов с их использованием». Москва, 1985 г.

• VI Всероссийский семинар «Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики». Москва, 28-30 мая 2003г.

• XI Международная конференция «Оптика лазеров» - 2003 С.- Петербург, июль 2003г.

• IV Межведомственная научно-практическая конференция «Информационные оптико-электронные технологии в военном деле. (Оптика для обороны и безопасности -2004)» г. Сосновый Бор Ленинградской области, 28-29 января 2004г.

• XVIII Международная научно-техническая конференция по фотоэлектронике и приборам ночного видения. Москва, 25-28 мая 2004г.

• VI Международная конференция «Прикладная оптика». С.-Петербург, октябрь 2004г.

• VII Всероссийский семинар «Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики». Москва 25-28 мая 2005г.

• I Международный форум «Оптика -2006». Москва, 29-30 сентября 2005г.

• XIX Международная научно-техническая конференция по фотоэлектронике и приборам ночного видения. Москва, 23-25 мая 2006г.

• XI Международная научно-техническая конференция «Наукоемкие химические технологии - 2006». Самара, 16-20 октября 2006г.

• Научно-техническая конференция «Направления и проблемы развития ракетно-космической обороны». ОАО МАК "Вымпел", Москва, 14 декабря 2006г.

• XIII конференция «Высокочистые вещества и материалы. Получение, анализ, применение». Нижний Новгород, май 2007 г.

• Третий международный форум «Оптика. Научно-практическая конференция по фотоэлектронике и приборам ночного видения». Москва, май 2008 г.

• XX Международная научно-техническая конференция по фотоэлектронике и приборам ночного видения. Москва, май 2008 г.

• Международная конференция «Поляризационная оптика - 2008». Москва, 2008 г.

• Российская конференция по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники. Новосибирск, 2008 г.

Всего автором диссертации опубликовано 119 работ, в том числе по материалам диссертации - 85 печатных работ, приведенных в списке литературы в автореферате, - из них 31 - в рецензируемых журналах, рекомендованных ВАК.

Личный вклад автора

Диссертация написана по материалам исследовательских и экспериментальных работ, выполненных лично автором, при его непосредственном участии или под его руководством. Автором выполнены исследования, определившие положения и методики.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Впервые проведен комплекс теоретических, экспериментальных и производственных исследований, направленных на усовершенствование применяемых основных и вспомогательных материалов, методов изготовления отдельных оптических компонентов, а также высокоточных призменных и спектроде-лительных модулей. Применение вышеуказанных оптических сборок в составе оптико-электронных приборов и комплексов для различных видов вооружений, производимых ФНПЦ ОАО «Красногорский завод им. С.А. Зверева», обеспечило существенное улучшение точностных, оптических, весогабаритных характеристик, снижение себестоимости их изготовления, тем самым решив важную научную и государственную задачу.

1. Предложен, теоретически обоснован, экспериментально проверен и подготовлен для промышленного изготовления номенклатурный ряд прецизионных призменных и спектроделительных модулей для оптических и оптико-электронных приборов и комплексов нового поколения.

2. Предложена комплексная технология изготовления высокоточных призменных элементов с минимальной шероховатостью оптических поверхностей (в пределах 5 А), а также изготовления особо сложных спектроделительных покрытий, работающих одновременно в нескольких спектральных диапазонах, со сложным профилем спектральной кривой.

3. Выявлены, обобщены технологические факторы, влияющие на качество оптических поверхностей в процессе полирования. Разработана теоретическая модель полирования высокоточных оптических поверхностей с точностью Ы/АИ не более 1/0,1 и шероховатостью в пределах 5 А.

4. Разработана комплексная технология изготовления особо сложных призменных оптических модулей с использованием глубокого оптического контакта методами гидролиза и нанесения плёнки ЭЮз с применением вакуумной техники. Вышеуказанная технология обеспечила повышение прочностных и оптических характеристик, а также повысила стабильность технологии глубокого оптического контакта.

5. Разработана, экспериментально апробирована методика обеспечения равномерного по толщине и плотности конструкционного слоя 8Ю2 для крупногабаритных оптических подложек вакуумным методом.

6. Выявлены, обобщены, оптимизированы факторы, влияющие на прочностные параметры оптических сборок, изготовленных методом глубокого оптического контакта.

7. Экспериментально определены методы глубокой очистки ЧКХ, полученных после синтеза тетрахлорида кремния от примесей кремнийорганиче-ских соединений, алкилхлорсиланов, хлорированных углеводородов.

8. Определены методы и химические реагенты для глубокой очистки оптических поверхностей перед нанесением покрытий и конструкционных слоёв БЮг.

9. Определена эффективность использования высокоточных оптических спектроделительных модулей в оптико-электронных комплексах для гиперспектрального зондирования Земли.

10.На основе изложенных в диссертации материалов разработаны, испытаны и серийно выпускаются прецизионные призменные модули с повышенными массогабаритными и оптическими характеристиками.

11 .Работа по теме диссертации имеет уникальное значение в части создания серийно выпускаемых высокоточных оптических элементов и сборок для оптико-электронных приборов и комплексов с предельными оптическими характеристиками.

1. Потелов, В.В. Анализ точностных параметров стабилизации оптической оси оптико-электронной системы / В.В. Потелов, Б.Н. Сеник, А.Б. Вельский,

2. A.Б. Сухачев // Научно-техн. конф. «Направления и проблемы развития ракетно-космической обороны»: тез. докл. -М. : ОАО МАК «Вымпел», 2006.

3. Патент №2065192 (РФ). Однолинзовый объектив с градиентным слоем./

4. B.И. Казаков, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник, Г.А. Точкина // Изобретения: Официальный бюллетень — 1996. -№22.

5. Патент №2078468 (РФ). Способ коррекции оптической системы. / В.Г. Крючков, В.В. Некрасов, В.Е. Ефремов, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник // Изобретения: Официальный бюллетень 1997. - №27.

6. Патент №2078467 (РФ). Способ получения коррекциопных слоев на оптическом элементе. / В.Г. Крючков, В.В. Потелов, Н.П. Заказнов, Б.Н. Сеник // Изобретения: Официальный бюллетень — 1997. -№12.

7. Слюсарев Г. Г. Методы расчета оптических систем / Г.Г. Слюсарев — JL: Машиностроение, 1969. — С.305.

8. Максутов Д. Д. Изготовление и исследование астрономической оптики / Д. Д. Максутов М.: Наука, 1984. - С. 243.

9. Погарев Г. В. Юстировка оптических приборов / Г. В. Погарев — Л.: Машиностроение, 1968. -С. 107.

10. Кальберг И.В. Элементы теории и практики расчетной юстировки кварцевых спектрографов. : автореф. дисс.канд техн. наук. 1952.

11. Чуриловский В.Н. Теория оптических приборов. — М. : Машиностроение, 1965.-564 с.

12. Шабалов А.Л. Оптические и диэлектрические свойства аморфных пленок 8ЮХ / А.Л. Шабалов, М.С. Фельдман // Неорганические материалы. 1989. - Т. 25.-№9.-С. 1491-1494.

13. Применение аку сто оптических спектрофотометров для изготовления градиентных оптических элементов и особо сложных оптических покрытий / А.И. Гоев, В.В. Потелов , Б.Н. Сеник и др. // Прикладная физика. 2007. — №1. -С. 146-151.

14. Здор, С.Е. О базовом наземном космическом средстве контроля космического пространства / С.Е. Здор, В.И. Колинько, В.В. Потелов // НТЦ Информ-техника : Оборонная техника. М. - 2006. - №9. - С. 83-91.

15. Применение технологии вакуумной асферизации для изготовления теп-ловизионного объектива / А.К. Герасюк, А.И. Гоев, Б.Д. Горелик, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник, С.Н. Скляров // Прикладная физика. 2007. - №2. - С. 119-121.

16. Гайнутдинов И. С. Интерференционные покрытия для оптического приборостроения / И. С. Гайнутдинов, Е. А. Несмелов, И. Б. Хайбуллин. Казань : «ФЭН», 2002. - С. 4.

17. Розенберг Г.В. Оптика тонкослойных покрытий / Г.В. Розенберг. М. : Физматгиз, 1958. - 570 с.

18. Снопко В. Н. Поляризационные характеристики оптического излучения и методы их измерения / В. Н. Снопко. Минск : Наука и техника, 1992. - С. 126.

19. Елисеев C.B. Геодезические инструменты и приборы /C.B. Елисеев. — М.: Недра, 1973.-256 с.

20. Плотников B.C. Геодезические приборы /B.C. Плотников М. : Недра, 1987.-396 с.

21. Подобед В.В. Фундаментальная астрометрия /В.В. Подобед М. : Наука, 1968.-452 с.

22. Блажко С.Н. Курс практической астрономрга / С.Н. Блажко М. : Недра, 1979.-432 с.

23. Мейтин В.А. Детерминированная модель угломерного прибора и его погрешности / В.А. Мейтин // Оптический журнал. 1994. - №7. - С. 60 - 62.

24. Власов Б.И. Устройство для автоколлимационного осуществления оси вращения трубы в любых азимутах / Б.И. Власов // Новая техника в астрономии. 1970. - Вып. З.-С. 157-161.

25. Латыев С.М. Компенсация погрешностей в оптических приборах / С.М. Латыев — Л. : Машиностроение, 1985. 248 с.

26. Усов B.C. Исследование и синтез оптических систем приборов для высокоточных измерений : дис.докт. техн. наук / B.C. Усов. М. : МИИГАиК. -1974.-248 с.

27. Артамонов П.П. Юстировка оптических измерительных приборов / П.П. Артамонов. М. : Оборонгиз, 1939.

28. Бардин А.Н. Сборка и юстировка оптических приборов / А.Н. Бардин. — М. : Высшая школа, 1968.

29. Грейм И.А. Оптические отсчетные системы в приборостроении и машиностроении / И.А. Грейм. М.-Л. : Машгиз, 1963.

30. Деревенко Н.К. Расчет ошибок угловых зеркал / Н.К. Деревенко // Оптико-механическое приборостроение. -М. : Оборонгиз, 1955 : (МВТУ. Вып.57).

31. Лебедев И.В. О влиянии установки отражательных призм и систем плоских зеркал на смещение и поворот изображения в оптических приборах : авто-реф. дисс. .канд. техн. наук / И.В. Лебедев. Л : ГОИ, 1951.

32. Маталин A.A. Конструкторские и технологические базы / A.A. Маталин. 3-е изд. - М.-Л. : Машиностроение, 1965.

33. Михайлов Е.А. Основные направления совершенствования технологии сборки точных приборов / Е.А. Михайлов // Прогрессивная технология приборостроения- Вып. 2 : Совершенствование технологии сборки приборов. М.: Машгиз, 1953.

34. Поверка оптико-механических приборов для измерения длин и углов : сб. инструкций. -М. : Стандартгиз, 1961.

35. Колосов М.П. Оптика адаптивных угломеров / М.П. Колосов М. : ООО СКАН-1.-1997.-212 с.

36. Мейтин В.А. Разработка квазиндеальных оптических угломерных приборов на основе применения способа разделения функций / В.А. Мейтин // Материалы VI междунар. конф. «Прикладная оптика -2004» : сб. трудов. — СПб., 2004.-Т1.-С. 7-11.

37. Мейтин В.А. Разработка оптических угломерных приборов с недетерминированной геометрией несущих конструкций / В.А. Мейтин // Оптический журнал. 2007. - Т.74. - №12. - С. 10-14.

38. Мейтин В.А. Исследование и разработка зеркально-призменных систем для высокоточных устройств коллинеарного переноса : автореф. канд. техн. наук / В.А. Мейтин. М. : МИИГАиК, 1982. - 22с.

39. Соколова Т.И. Объективы микроскопов, их сборка и испытание : автореф. дисс.канд. техн. наук / Т.И. Соколова. Л. : ГОИ, 1950.

40. Федосеев Д.Н. Проектирование технологических процессов сборки приборов / Д.Н. Федосеев. М. - Л. : Машгиз, 1963. - 288 с.

41. Яриновская А.Л. Кинофотообъективы и качество изображения / А.Л. Яриновская. -М. : Искусство, 1965.

42. Бардин А.Н. Сборка и юстировка оптических приборов / А.Н. Бардин. — М. : Высшая школа, 1968. 328 с.

43. Гришин Б.С. Юстировка геодезических приборов / Б.С. Гришин. М. :1. Геодезиздат, 1962. 182 с.

44. Волосов Д.С. Фотографическая оптика М. : Искусство, 1971. 670 с.

45. Эрвайс А.В. Юстировка и ремонт оптико-механических приборов / А.В. Эрвайс. М. : Машгиз, 1958.-460 с.

46. Применение новых плёнкообразующих материалов цирконата гадолиния и цирконата лютеция для получения высококачественных оптических покрытий / И.Ф. Васильева, А.К. Герасюк, А.И. Гоев, В.В. Потелов и др. // Прикладная физика. - 2007. - №5. - С. 134-140.

47. Разработка гиперспектральной оптической среды для изделий специальной техники / М.Ф. Волочек, А.К. Герасюк, А.И. Гоев, Б.Д. Горелик, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник // Прикладная физика. 2007. -№6. - С. 142-143.

48. Применение новых плёнкообразующих материалов цирконата лютеция для получения высококачественных оптических покрытий / И.Ф. Васильева, А.К. Герасюк, А.И. Гоев, В.В. Кириленко, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник // Оптический журнал. 2007. - № 10. - С. 79-84.

49. Фундаментальные и поисковые исследования по созданию новых пленкообразующих материалов на основе сложных оксидов и фторидов металлов для вакуумного напыления : отчет о НИР / НТЦ «Спектр» РАН и АИН РФ. -М., 2003.-302 с.

50. Особенности формообразования крупногабаритных полимерных оптических элементов средней точности / А.И. Гоев, H.A. Князева, В.В. Потелов, Б.Н.

51. Сеник // VI Междунар. конф. «Прикладная оптика» : сб. трудов.- СПб., 2004— Том 2.-С. 137-147.

52. Modern trends in industrial technology of fabricating polimeric optical components for night vision devices / A.I. Goev, N.A. Knyazeva, V.V. Potelov, B.N. Senile // Proceeding of SPIE (USA). 2005. - V.5834. - P. 370-376.

53. Хусу А. П. Шероховатость поверхностей. Теоретико-вероятностный подход / А. П. Хусу, Ю. Г. Виттенберг, В. А. Пальмов. М.: Наука, 1975. - 343 с.

54. Бушуев, В.А. Эволюция корреляции межслойных шероховатостей в процессе формирования многослойных структур. / В.А. Бушуев, В.В. Козак // Письма в ЖТФ. 1996. - Т. 22. - Вып. 19. - С. 29-33.

55. Дистлер Г.И. Информационные свойства твердых и жидких граничных слоев / Г.И. Дистлер // Поверхностные силы в тонких пленках и устойчивость коллоидов. М. :Наука, 1974. - С. 273-285.

56. Харрисон У. Электронная структура и свойства твердых тел / У. Харри-сон. -М.: Мир, 1983.-Т. 1.-381 е. Т.2.-332 с.

57. Носков М.М. Оптические и магнитооптические свойства металлов. / М. М. Носков. Свердловск, 1983.

58. Маш И.Д. Исследование оптических свойств и электронных характеристик некоторых переходных металлов / И.Д.Маш // Труды ФИАН. 1975 -Т. 82.-С. 3-71.

59. Филлипс Дж. Оптические спектры твердых тел / Дж. Филлипс. М.: Мир, 1968.

60. Мосс Т. Оптические свойства полупроводников / Т. Мосс. М.: Мир, 1961.

61. Панков Ж. Оптические процессы в полупроводниках / Ж. Панков. — М.: Мир, 1973.

62. Цидильковский И. М. Электроны и дырки в полупроводниках / И. М. Цидильковский. -М.: Наука, 1972.

63. Борец А.Н. Оптико-рефрактометрические соотношения для изотропных неметаллических веществ и «край шероховатости» оптических элементов / А.Н. Борец // Физ. электроника. Львов : Вища школа, 1981. - С. 86-93.

64. Электронная теория неупорядоченных полупроводников / В.Л. Бонч-Бруевич, и др. М.: Наука, 1987.

65. Друмеллер К. Методика испарения моноокиси кремния / Л. Друмеллер // Современная вакуумная техника. М. : Мир, 1963. - С. 350-358.

66. Hubner К. Chemical Bond and Related Properties of SÍO2. VII. Structure and Electronic Properties of the SiOx Region of SÍ-SÍO2 Interfaces / K. Hubner // Phys. Stat. sol.(a). 1980. - V.61. - №2. - P. 665-673.

67. Ching W.Y. Theory of amorphous Si02 and SiOx / W.Y. Ching // Phys. Rev. B. 1982. - V.26 -Nol2. - P.6610-6642.

68. Особенности обработки оптических элементов из селенида цинка / Г.Г. Девятых, И.А. Коршунов, Г.Л. Мурский, А.И. Сучков // Высокочистые вещества. 1994. -№4. - С. 74-79.

69. Куклева З.А. Оптические элементы из сульфида и селенида цинка / З.А. Куклева, В.Т. Кожухова, Г.П. Тихомиров // Оптико-механическая промышленность. 1982. - №5. - С. 35-38.

70. Крючков В.Г. Вакуумные методы получения градиентных оптических пленок / В.Г. Крючков, Б.Н. Сеник. // Обзор №5536. — М. : НТЦ «Информтех-ника», 1992.

71. Захарьевский, А.H. Интерферометры / А.Н. Захарьевский. М. : Оборон-гиз, 1952.

72. Иванов А.Г. Основные принципы юстировки измерительных приборов /

73. A.Г. Иванов // Взаимозаменяемость и технические измерения в машиностроении : межвузовский сб. №3. — М. : Машгиз, 1961.

74. Тудоровский А.И. Теория оптических приборов. 4.1. / А.И. Тудоровский. -М.-Л. : АН СССР, 1948.

75. Гукайло М.Я. Основные принципы конструирования оптических кон-трольно-юстировочных приборов / М.Я. Гукайло. — Киев : Машгиз, 1959. 128 с.

76. Кулагин C.B. Киносъемочная и кинопроекционная аппаратура / C.B. Кулагин. М. : Высшая школа, 1967. - 236 с.

77. Расчет и конструирование оптико-механических приборов / Плотников

78. B.C. и др. М. : Машиностроение, 1972. — 256 с.

79. Русинов М.М. Юстировка оптических приборов / М.М. Русинов. — М. : Недра, 1969.-328 с.

80. Сухопаров С.А. Сборка и юстировка морских оптических дальномеров /

81. C.А. Сухопаров. М. : Оборонгиз, 1961. - 180 с.

82. Тудоровский А.И. Теория оптических приборов. 4.II. / А.И. Тудоровский. М. : АН СССР, 1952, 568 с.

83. Турыгин И.А. Прикладная оптика / И.А. Турыгин. М. : Машиностроение, 1966.-432 с.

84. Формообразование высокоточных оптических поверхностей на стадии полирования / А.И. Гоев, В.В. Потелов, A.B. Савельев, Б.Н. Сеник // Формообразование оптических поверхностей : сб. трудов Международной академии «Контенант».- М., 2005. С. 126-151.

85. Потелов В.В. Исследование технологических возможностей создания многоспектральных ИК-приборов / В.В. Потелов, Б.Н. Сеник // XX Международная научно-техн. конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения : тез. докл.—М.: ФГУП «НПО «Орион», 2008.

86. Современные тенденции в промышленной технологии изготовления полимерных оптических элементов для приборов ночного видения / А.И. Гоев, H.A. Князева, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник // Прикладная физика. 2005.- №2.— С. 102-107.

87. Борисов А.Н. Зеркала с малыми потерями и управляемой фазовой анизотропией : автореф. дис. канд. техн. наук/ А.Н. Борисов. СПб., 1995. - 25 с.

88. Кизеветтер Д.В. Статистические характеристики микрорельефа поверхности стекол при абразивной обработке / Д.В. Кизеветтер, М.Я. Литвак, В.И. Малюгин // ОМП. 1989. - №6. - С.33-36.

89. Гардинер K.B. Стохастические методы в естественных науках. / К.В. Гардинер. М. : Мир, 1986. - 526 с.

90. Климович Б.В. Компьютерное моделирование процесса планаризации тонкопленочных покрытий при магнетронном осаждении на поверхности с микрорельефом / Б.В. Климович // Поверхность. Физика, химия, механика. — 1994. №1. - С.36-44.

91. Винокуров В.М. Исследование процесса полировки стекла / В.М. Винокуров. М. : Машиностроение, 1967. - 196 с.

92. Цеснек JI.C. Механика и микрофизика истирания поверхностей / JI.C. Цеснек. М. : Машиностроение, 1979. - 263 с.

93. Попов B.JI. Динамическая модель формирования поверхностного слоя при трении / B.JI. Попов, H.H. Сошнянина // Изв. вузов ; Физика. 1993. - №12. -С. 27-29.

94. Потелов В.В. Особенности обработки различных марок оптического стекла при изготовлении призменных модулей /В.В. Потелов // Стекло и керамика. -2009.- №9. С. 17-20.

95. Винокуров В.М. Структура разрушенного слоя / В.М. Винокуров, A.JI. Ардамацкий, JT.B. Попов // Формообразование оптических поверхностей : сб. статей под ред. К.Г. Куманина. М. : Оборонгиз, 1962. - С. 7-66.

96. Куманин К.Г. Несколько замечаний о строении поверхности полировальников / К.Г. Куманин // ОМП. 1957. -№3. - С.38.

97. Куманин К.Г. Механическая шлофовка поверхностей. Пять теорем Деве / К.Г. Куманин // ОМП. 1937. - №2. - С 16; №5. - С 7; №6. - С. 6.

98. Михнев P.A. Основные прототипы создания станков для обработки оптических деталей по управляемым процессам формообразования / P.A. Михнев // ОМП. 1971. - № 7. - С. 53.

99. Семибратов М.Н. Создание управляемых процессов шлифовки и полировки оптических поверхностей / М.П. Семибратов // ОМП. 1958. - № 9. — С. 37.

100. Семибратов М.Н. Технология оптических деталей / М.П. Семибратов, В.Г. Зубаков и др. -М. : Машиностроение, 1978. 257 с.

101. Технология обработки оптических деталей ; под ред. М.Н. Семибратова. М. : Машиностроение, 1975. - 207 с.

102. Ходаков Г.С. Физические основы тонкого шлифования стекла алмазным инструментом : обзор / Г. С. Ходаков, В.П. Коровкин, В.М. Альтшуллер // ОМП. 1980. - № 9. - С. 46.

103. Apsden R. Computer assisted optical surfacing / R. Apsden, R. McDonough, F.R. Nitchie Appl. Opt. - 1972. - V. 11. - № 11. - P.2739.

104. James Т.Е. Measurement Techniques used in the optics workshop / Т.Е. James. Appl. Opt. - 1966. - V. 5. - № 5. - P.695.

105. Сергеев О.А. Интенсивность износа и сила трения при абразивном диспергировании / О.А. Сергеев, M.IT. Голованова // Формообразование оптических поверхностей : сб. статей под ред. К.Г. Куманина. М. : Оборонгиз, 1962. -С. 69-87.

106. Кузнецов С.М. Основные представления о классическом процессе формообразования / С.М. Кузнецов, Л.И. Шевелькова, О.А. Сергеев // Формообразование оптических поверхностей : сб. статей под ред. К.Г. Куманина. М. : Оборонгиз, 1962.-С. 131-165.

107. Кузнецов С.М. Стабилизированный процесс формообразования плоской поверхности / С.М. Кузнецов, Л.И. Шевелькова // Формообразование оптических поверхностей : сб. статей под ред. К.Г. Куманина. — М. : Оборонгиз, 1962. -С. 195-214.

108. Беннет Джин М. Шероховатость поверхности и рассеяние / Джин М. Беннет, Маттсон Ларе. — Вашингтон : Оптическое общество Америки, 1993.

109. Bennett J.M. Surface profiling with optical and mechanical instruments / J.M. Bennett, T.C. Bristow, K. Arackellian and J.C. Wyant // presented at the Workshop on Optical Fabrication and Testing, October 21-23. 1986. Seattle, Washington -P. IV-ThB4.

110. Comparison of optical and mechanical measurements of surface finish / E.L. Church, J.C. Dainty, D.M. Gale and P.Z. Takacs. // Optical Testing and Metrology II; ed. C.P. Grover, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 954. 1989. - P. 189-199.

111. Church E.L. Instrumental effects in surface finish measurement / E.L. Church, P.Z. Takacs /Surface Measurement and Characterization ; ed. J.M. Bennett, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1009. 1989. - P. 46-55.

112. Крагельский И.В. Основы расчетов на трение и износ / И.В. Крагельский, М.Н. Добычин, B.C. Комбалов. М. : Машиностроение, 1977. - 526 с.

113. Бубис И.Я. Справочник технолога-оптика / И.Я. Бубис, В.А. Вейденбах и др. JT. : Машиностроение, 1983. - 414с.

114. Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов / А.И. Татаренков, K.JI. Енишерлова, Т.Ф. Русак, В.Н. Гриднев. ~ М. : Энергия, 1987.-65с.

115. Бочкин О.И. Механическая обработка полупроводниковых материалов / О.И. Бочкин, В.А. Брук, С .IT. Никифорова-Денисова. — М. : Высшая школа, 1983.- 110 с.

116. Степанов В.А. Прочность и релаксационные явления в твердых телах / В.А. Степанов Н.И. Песчанская. СПб. : Наука, 1984.

117. Формообразование оптических поверхностей : сб. статей под ред. проф. К.Г. Куманина. -М.: Оборонгиз, 1962. С. 41-43.

118. Концевой Ю.А. Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур / Ю.А. Концевой, Ю.М. Литвинов, Э.А. Фаттахов. М. : Радио и связь, 1982.

119. Определение параметров нарушенного слоя и степени загрязненности полированной поверхности прозрачных материалов / А.Г. Афанасьева, О.Ф. Гавриленко, Н.П. Матшина, Е.А. Несмелов // Оптика и спектроскопия. — 1990. — Т.69. -Вып.5. — С. 1145-1150.

120. Пассивация поверхностей щелочно-галоидных кристаллов высокотемпературным отжигом. / О.Ф. Гавриленко, A.A. Гужов, Е.А. Несмелов, P.C. Сабиров // Поверхность. Физика, химия, механика. 1990. — №9. - С. 129-134.

121. Кучин A.A. Оптические приборы для измерения шероховатости поверхности / A.A. Кучин, К.А. Обрадович. J1. : Машиностроение, 1981. - 198 с.

122. Беннет Х.Е. Прецизионные измерения в оптике тонких пленок / Х.Е. Беннет, Дж.М. Беннет // Физика тонких пленок : в 10 т.; под ред. Г.Хасса и Р.Э. Туна-М. : Мир, 1970.-Т. 4. -С.7-122.(см. 74)

123. Топорец A.C. Оптика шероховатой поверхности / A.C. Топорец. — JI. : Машиностроение, 1988.- 191 с.

124. Пшеницын В.И. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях / В .И. Пшеницын, М.И. Абаев, Н.Ю. Лызлов. Л.: Химия. - 1986. - 152 с.

125. Ландау Л.Д. Теория упругости / Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. М.: Наука, 1965.

126. Панин В.Е. Структурные уровни пластической деформации и разрушения / В.Е. Панин, Ю.В. Гриняев, В.И. Данилов и др. Новосибирск : Наука, 1990.

127. Васидзу К. Вариационные методы в теории упругости и пластичности / К. Васидзу. М. : Мир, 1987. - 542 с.

128. Григорович В.К. Твердость и микротвердость металлов / В.К. Григорович. -М. : Наука, 1976.

129. Кляцкин В.И. Стохастические уравнения и волны в слх^-—^стайно-неоднородных средах / В.И. Кляцкин. М. : Наука, 1980.

130. Кащеев В.Н. Процессы в зоне фрикционного контакта металло:в= / В Н Кащеев. -М. : Машиностроение, 1978.

131. Авт. свид. №872959 (СССР). Фотометрический способ определес^^-д^ вы соты шероховатостей поверхности оптически прозрачных плоских ^алей / Е.А. Несмелов, Р.К. Мухаммедов, А.Г. Афанасьева, Н.П. Матшина.

132. Танащук Н.П. Оптические свойства шероховатых noBepxHOCTei^azr и учет подповерхностного рассеяния : автореф. дис.канд. физ.-мат. наук / ЗЕЕ^-^ц.п -ра нащук. СПб., 1981.

133. Иванов А.П. Распространение света в плотноупакованных дистипгсерсион-ных средах / А.П. Иванов, В.А. Лойко, В.П. Дик. — Минск : Наука и: —Техника 1988.

134. Шустер Л.Ш. Адгезионное взаимодействие режущего инструме^^^^--^ с Qg рабатываемым материалом / Л.Ш. Шустер. — М. : Машиностроение, 19 ёг-^ 3

135. Писаренко Г.С. Уравнения и краевые задачи пластичности и полщтгз;учести / Г.С. Писаренко, М.С. Можаровский. Киев : Наукова думка, 1981.

136. Соси Л. К теории отражения и пропускания света тонким неодьз^: сзродным диэлектрическим слоем / Л. Соси, П. Кард // Известия АН ЭССР. 19 — Т 17 -№1.-С.41 -48.

137. Pincus М.А. A closed solution of certain programming problems I/ Operation Research. 1968.

138. Старков B.K. Дислокационные представления о резании метал"311г1;ов / g ^ Старков. М. : Машиностроение, 1979.

139. Шермергор Т.Д. Теория упругости микронеоднородиых cr^z> / ТД Шермергор. -М. : Наука, 1977.

140. Гайнутдинов И.С. Интерференционные покрытия оптическое приборостроения / И.С. Гайнутдинов, Е.А. Несмелов, И.Б. Хайбуллиьзи Казаньизд-во ФЭН, 2002. 591 с.

141. Комплексная технология изготовления оптических покрытий со сложным спектральным профилем / С.А. Архипов, Б.Г. Лысый, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник, О.Б. Чередниченко // Оптический журнал. 2005. — Т. 72. — №4. — С. 66-70.

142. Применение акустооптического спектрофотометра в технологии изготовления оптических покрытий / А.Б. Вельский, A.B. Виленский, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник и др. // Приборы.- 2004.- № 10. С. 42-45.

143. Применение акустооптического спектрофотометра в технологии изготовления оптических покрытий лазерных зеркал / А.Б. Вельский, A.B. Виленский, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник и др. // XI Международная конференция «Оптика лазеров-2003». — СПб, 2003.

144. Скоростной акустооптический спектрофотометр AOS-3S для контроля изготовления оптических покрытий / С. М. Копылов и др. // Лазерные новости. 1995.-Вып. 4.-С. 3—4.

145. Dobrowolski J.A. Numerical methods for optical thin films / J. A. Dobrowolski // Optics and Photonics News. 1997. - № 6. - P/25-33.

146. Tikhonravov A.V. Design of Optical Coatings / A.V. Tikhonravov ; red. N. Kaiser and H.K. Pulker // Optical Interference Coating. Springer-Verlag, 2003. — P81-104.

147. Tikhonravov A.V. Application of the needle optimization technique to ~~tlie design of optical coatings / A.V. Tikhonravov, M.K. Trubetskov, G.DeBell Л.^ Appl

148. Opt. 1966. - V. 35. - P. 5493-5508.

149. Furman S. Basics of Optics of Multilayer System / S. Furman, A.V. vov // Edition Frontiers. Gif-sur-Yvette, 1992. - 242 p.

150. Key role of the coating total optical thickness in solving design PrCte=^~tz>lems / A.V. Tikhonravov, M.K. Trubetskov, T.V. Amotchkina, M.A. Kokarev // Pro gpjg- 2004. V. 5250. - P. 312-321.

151. Dobrowolski J.A. Optical thin film synthesis program based on ^ Fourier transforms / J.A. Dobrowolski, D. Lowe // Appl. Opt. 1978. V. ^ 7 p 3039-3050.

152. Tikhonravov A.V. Discrete Fourier-transform approach to inhomc^s> .^reneous layer synthesis / A.V. Tikhonravov, B.T. Sullivan, M.V. Borisova // АррЩ q ^ 1993.-V. 33.-P. 5142-5150.

153. Tikhonravov A.V. Some theoretical aspects on thin films optics and ^tlieir ap plications / A.V. Tikhonravov // Appl. Opt. 1993. - V. 32. - P. 5417-5426.

154. Свешников А.Г. Нелокальный метод оптимизации многослойн: ческих систем / А.Г. Свешников, А.В. Тихонравов, М.К. Трубецков // тическое моделирование. 1995. — Т. 7. — № 8. - С. 105 - 127.

155. Тихонов А.Н. Методы оптимизации второго порядка в задача>^ синтеза многослойных покрытий / А.Н. Тихонов, А.В. Тихонравов, М.К. Тру~^^ецков ц Ж. выч. мат и мат. физ. 1993. - Т. 33. - С. 1339 - 1352.

156. Несмелов Е.А. Свойства зеркал : аналитический обзор № 2723^ д смелов, Э.Р. Митропольский, Г.М. Карпюк. Казань, 1980. - 140 с.

157. Сеник Б. Н. Технологические процессы изготовления точных хг-^радиент ных и асферических элементов : дис. . канд. техн. наук : 05.11.07 / Сеник1. М., 2002.-230 с.

158. Особенности получения новых расчетных показателей преломления в оптических слоях при их нанесении в вакууме / А.И. Гоев, В.Г. Крючков, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник, А.К. Герасюк // Прикладная физика. 2007. —№1. — С. 152-154.

159. Потелов В.В. Исследование поляризационных эффектов в случае оптического спектроделительного модуля / В.В. Потелов, Б.Н. Сеник // Междунар. конф. «Поляризационная оптика 2008» : тез. докл. - М., 2008. - С. 38.

160. Риттер Э. Пленочные диэлектрические материалы для оптических покрытий / Э. Риттер // Физика тонких пленок : в 10 т.; под ред. Г.Хасса и Р.Э. Туна М. : Мир, 1978. - Т. 8. - С. 60-70.

161. Максутов Д.Д. Оптические плоскости, их исследование и изготовление / Д.Д. Максутов. СПб. : Редиздат ВООМПа, 1934. - 88с.

162. Максутов Д.Д. Метод наклонных пучков для исследования формы плоскостей и цилиндров. / Д.Д. Максутов // ЖОМП. 1939. - №5. - С.6.

163. Гайнутдинов, И.С. Широкополосный светоделитель / И.С. Гайнутдинов, Е.А. Несмелов, P.C. Сабиров, Р.Г. Сафин // Оптический журнал 1999. — №5. -С.11 - 13.

164. Рожнов Г.В. Рассеяние электромагнитных волн статически неровными поверхностями / Г.В. Рожнов // ЖЭТФ. 1988. - Т 94. - Вып. 2. - С. 50 - 62.

165. Панасенко Б.В. Расчет оптических постоянных тонких пленок с учетом шероховатости поверхности и ширины спектра зондирующего излучения / Б.В. Панасенко, А.Г. Гусев, И.С. Гайнутдинов, Е.А. Несмелов, Р.Б. Тагиров // ЖПС. 1980.-Т. 32.-Вып. 4.-С. 681 -683.

166. Несмелов Е.А. Влияние структуры слоев интерференционного покрытия на его оптические свойства / Е.А. Несмелов, А.Н. Борисов, A.C. Никитин, И.С. Гайнутдинов // Оптический журнал. 1996. - Вып. 11. - С. 29 - 32.

167. Яковлев П.П. Проектирование интерференционных покрытий / П.П. Яковлев, Б.Б. Мешков. М. : Машиностроение, 1987. - 192 с.

168. Dobrowolski J. A. Comparison of the Fourier transform and flip-flop synthesis methods / J.A. Dobrowolski // Appl. Opt. 1986. - V. 25. - № 12. - P. 1966-1972.

169. Марков Ю.Н. Метод синтеза ахроматических просветляющих и светоделительных покрытий / Ю.Н. Марков, Е.А. Несмелов, И.С. Гайнутдинов // Оптика и спектроскопия. 1979. - Т. 46. - Вып. 1. - С. 158 — 161.

170. Несмелов Е.А. Исследование оптических свойств многослойных интерференционных светоделителей автореф. дисс.канд. физ—мат. наук / Е.А. Несмелов. Минск, 1969. - 17 с.

171. Свешников А.Г. Синтез оптических покрытий при наклонном падении света / А.Г. Свешников, A.B. Тихонравов, С.А. Яншин // ЖВМ и МФ. 1983. -Т. 23. -№ 4. - С. 929-935.

172. Никитин A.C. Синтез неполяризующих интерференционных покрытий автореф. дисс.канд. физ-мат. наук / A.C. Никитин. — Казань, 1990.

173. Крючков В.Г. Вакуумная асферизация высокоточных оптических элементов инфракрасной техники / В.Г. Крючков, В.В. Потелов, Б.Н. Сеник // Прикладная физика. 2004. - № 1. - С. 85 - 88.

174. ОСТ 3-6783-93. Детали оптические. Требования к типовым технологическим процессам соединения методом глубокого оптического контакта.

175. Нанотехнология в ближайшем десятилетии. — М. : Мир, 2002. -292 с.

176. Элементоорганические соединения в электронике / Г.А. Разуваев, Б.Г. Грибов, Г.А. Домрачев, Б.А.Саламатин. М.: Наука, 1970. - 480 с.

177. Потелов, В.В. Получение особо чистых химических материалов для процессов химического, плазмохимического и пиролитического осаждения тонких оксидных слоев / В.В. Потелов // Оптический журнал. -2009.- №8. С.36-40.

178. Беляков A.B. Методы получения неорганических неметаллических нано-частиц / A.B. Беляков. — М.: РХТУ им.Менделеева,2003 80 с.

179. Хананашвили, JLM. Технология элементоорганических мономеров и полимеров; 2-е изд., перераб. / JI.M. Хананашвили, К.А. Андрианов. М. : Химия, 1983г.-416с., ил.

180. Методы элементоорганической химии / ред. А.Н.Несмеянова. М. : Наука, 1968 г.

181. Физико-химические свойства тетраметоксисилана / В.П. Колганов, В.О.Усаковский, Е.Е. Гринберг и др. // Электронная техника : сер. Материалы. -№5(178).- 1983.-С. 72-73.

182. Колганов В.П. Глубокая очистка тетраметоксисилана : диссканд.хим.наук / Колганов В.П. М : ИРЕА, 1985. - 146 с.

183. Ефремов A.A. Физико-химические основы глубокой очистки хлоридов, гидридов и металлооганических соединений : дисс.докт. хим. наук / A.A. Ефремов. Горький : ИХВВ АН СССР, 1983 г.

184. Практикум по физической химии / С.В.Горбачева. 3-е изд., перераб. и доп. - М. : Высш.школа, 1974. - 496 с.

185. Некрасов Б.В. Основы общей химии : в 2 т / Б.В. Некрасов.- 3-е изд., ис-правл. и доп. М. : Химия, 1973.

186. Кэй Дж. Таблицы физических и химических постоянных / Дж. Кэй Т.Лэби. М. : Изд. физ.-мат. литературы, 1962 г. — 246 с.

187. Донцов А.П. Давление паров гомологов элементоорганических соединений / А.П. Донцов, С.С. Сергеев, Е.Е. Гринберг // Высокочистые вещества. — 1993.-№3. С.115- 118.

188. Трохин В.Е. Получение особо чистых триметилалкоксисиланов для микроэлектроники: дисс. . .канд. хим. наук / В.Е. Трохин. М.: ИРЕА, 1993 г. — 190 с.

189. Рябцева М.В. Глубокая очистка некоторых летучих соединений TTT-V групп периодической системы ( на примере кремнийорганических соединений и алкоголятов металлов, дисс. канд. хим. наук / М.В. Рябцева. — М.: ИРЕА, 2003 г.-106 с.

190. Методы получения особо чистых неорганических веществ / Б.Д.Степин и др. М.: Химия, 1969. - 480с.: ил.

191. Девятых Г.Г. Выставка-коллекция высокочистых веществ / Г.Г. Девятых. М.: Наука, 2004г. - 354 е.: ил.

192. Зельвенский Я.Д. Ректификация разбавленных растворов / Я.Д. Зельвен-ский. Л.: Химия, 1974. -216 с.

193. Горшков В.И. Ионный обмен в противоточных колоннах / В.И. Горшков, М.С. Сафонов, Н.М. Воскресенский. М.: Наука, 1981. - 224 е.: ил.

194. Романков П.Г. Непрерывная адсорбция паров и газов / П.Г. Романков,

195. B.Н. Лепилин. Л.: Химия. - 228 е.: ил.

196. Захарьевский М.С. Кинетика и катализ / М.С. Захарьевский. Л. : Изд. Ленинградского ун-та, 1968. - 314 е.: ил.

197. Синтез многофункциональной ХТС производства КЭОС особой чистоты : отчет о НИР : 7.1-1-86/90 / МХТИ им. Менделеева. М. - 75 с.

198. Курдюмов Г.М. К вопросу о методике работы с агрессивными веществами особой чистоты : труды ИРЕА / Г.М. Курдюмов, В.А. Молочко. М., 1970. -Т. 32.-С. 393-396.

199. Адсорбционная очистка тетраэтоксисилана / А.Г. Блюм и др. // Высокочистые вещества. -1989. №4. - С. 112-117.

200. Киселев A.B. Проблемы кинетики и катализа. T.V. Методы получения катализаторов / A.B. Киселев. М.: Изд. АН СССР, 1948. - 230 с.

201. Плазмохимическое осаждение пленок двуокиси кремния / А.Д. Сулимин,

202. C.А. Неустроев, A.C. Морозова и др. // Химия высоких энергий. — 1973. Т. VII.-С. 202-205.

203. Зинченко В.Ф. Научные основы прогнозирования и создания пленкообразующих материалов для интерференционной оптики / В.Ф. Зинченко // Оптический журнал. 2006. - Т. 73. - №12. - С. 72 - 77.

204. Исследование некоторых свойств системы, получаемой плазмохимиче-ским осаждением двуокиси кремния / А.Д Сулимин, Л.П. Осташкина, С.А. Неустроев и др. // Физика и химия обработки материалов. 1975. - №5. - С. 57-60.

205. Исследование получения тонких слоев оксида кремния на поверхности кварца / Б.Н. Сеник, Е.Е. Гринберг, В.Б. Жаданов, К.В. Баранов, В.В. Сырычко, В.В. Потелов // Вестник Международной академии системных исследований. — М. : 2006. С.56-62.

206. Потелов В.В. Совершенствование технологии сборки высококачественных призменных модулей методом глубокого оптического контакта /В.В. Потелов // Оптический журнал. -2009 №8. - С.41-45.

207. Шабалов A.JI. Оптические и диэлектрические свойства аморфных плёнок Si02 / А.Л.Шабалов, Л.С. Фельдман // Неорганические материалы. — 1989. — Т.25. -№9. С. 1491-1494.

208. Васильев А.Б. Дисперсия показателя преломления и возможность высокой прозрачности диэлектриков / А.Б. Васильев, Л.Д. Кисловский // Оптика и спектроскопия. 1978. - Т. 45. - №4. - С. 797 - 799.

209. Wemple S.H. Refractive-index behavior of amorphous semiconductors and glasses / S.H. Wemple // Phys. Rev. B. 1973. - V 7. - №8. - P. 3767-3777.

210. Крылова Т.Н. Оптические покрытия / Т.Н. Крылова. СПб. : Машиностроение, 1973. - 244 с.

211. Суйковская Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных пленок / Н.В. Суйковская. — СПб. : Химия, 1971. 199 с.

212. Шиллер, 3. Электронно-лучевая технология / 3. Шиллер, У. Гайзиг, 3. Панцер. М. : Энергия, 1980. - 528 с.

213. Современная вакуумная техника : сб. / ред. К. Друмеллер. М. : Мир, 1963.-С. 350-358.

214. Пленкообразующие материалы для новых задач современной оптики / Е.П. Галькевич, Г.И. Кочерба, В.И. Недоступ, А.А. Ранцев // Оптический журнал. 2006. - Т. 73. - № 12. - С. 82-83.

215. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем / В.Н. Черняев. М. : Энергия, 1977. - 375 с.

216. Сиддол Г. Пленочная микроэлектроника / Г. Сиддол ; ред. JI. Холлэнд. — М. : Мир, 1968.-С 17-83.

217. Дударь С.С. Исследование законов формирования нанокристаллов хела-тов лантанидов в водных растворах с помощью люминесцентного метода / С.С. Дударь, Е.Б. Свешникова, В.Л. Ермолаев // Оптический журнал. 2006 - Т. 72. -№ 2. -С. 9-16.

218. Zuther G. Dispersion of the refractive index and chemical composition of SiOx films / G. Zuther, K. Hubner, E.Rogmann // Thin Solid Films. 1979. - V. 61. -№3.-P.391-395.

219. Третьяков Ю.Д. Химия нестехиометрических окислов / Ю.Д. Третьяков. М. : изд. МГУ, 1974. - 364 с.

220. Холланд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме / Л. Холланд. — М. : Гос-энергоиздат, 1965.-С. 525-581.

221. Palik E.D. Transmittance and reflectance of a thin absorbing film on a thick substrate / E.D. Palik, N. Ginsburg R.T. Holm // Applied Optics. 1978. - V.17. -№21.-P. 3345-3347.

222. Heitman W. Properties of evaporated Si02, SiOxNy and ТЮ2 films / W. Heitman // Applied Optics. 1971. - V. 10. - №12. - P. 2685-2689.

223. Справочник технолога-оптика // под ред С.М. Кузнецова, М.А. Окатова. СПб. : Машиностроение, 1983. - С.307.

224. Балагуров А .Я. Сопоставление показателей преломления и ИК—спектров пленок двуокиси кремния, полученных различными методами / А.Я. Балагуров, В.П. Пелипас, В.Н. Петров, Б.В. Симонов // ОМП. 1979. - №2. - С. 10-38.

225. Физико-химические свойства окислов : справочник / под ред. В.Г. Сам-сонова. М. : Металлургиздат, 1978. - С. 471.

226. Золотарев В.М. Оптические постоянные природных и технических сред / В.М. Золотарев, В.Н. Морозов, Е.В. Смирнова. СПб. : Химия, 1984. - С. 113.

227. Карякин Ю.В. Чистые химические вещества / Ю.В. Карякин, И.И. Ангелов. М. : Химия, 1974. - 407 с.

228. Краснов М.Л. Интегральные уравнения / М.Л. Краснов, А.И. Киселев, Г.И. Макаренко. М : Наука, 1976.

229. Разработка технологии и создание новых клеев и клеевых соединений для производства и сборки высокоточных приборов и систем / НИР «Градация». Красногорск, 2004.

230. Потелов В.В. Гибкие производственные системы и особенности организации производства. / В.В. Потелов, H.A. Топшиев // Строительные и дорожные машины. -1986.-№9. С. 37-41.

231. Потелов В.В. Повышение эффективности диалоговых систем управления / В.В. Потелов // Вопросы оборонной техники. М. : 1988. - Серия 3. - Выпуск 1 (209). - С. 44-48.

232. Потелов В.В. Анализ эффективности функционирования механообраба-тывающих производств, работающих в различных условиях организации производственных процессов / B.B. Потелов II Вопросы оборонной техники. — М. : 1988.-Серия 2.-Выпуск 5 (201).-С. 13-20.

233. Потелов В.В. Совершенствование системы обновления основных фондов в машиностроении /В.В. Потелов, H.A. Топшиев // Строительные и дорожные машины.-1986.-№11.-С. 21-24.

234. Потелов В.В. Принципы создания и проблемы внедрения гибких автоматизированных производств /В.В. Потелов // Вопросы оборонной техники. М. : 1985. - Серия 3. - Выпуск 6 (183). - С. 44-49.

235. Потелов В.В. Выбор экономически оправданных компонентов гибкой автоматизации / В.В. Потелов // Вопросы оборонной техники. М. : 1987. - Серия 3. -Выпуск 10 (197). - С. 43-51.

236. Потелов В.В. Исследование эксплуатационных свойств конструкционных клеев для прецизионной сборки оптических призменных модулей /В.В. Потелов // Стекло и керамика. -2009.-№5. С.35-36.

237. Сеник Б.Н. Новые тенденции в оптических технологиях, применяемых для повышения выходных параметров оптических и оптико-электронных систем / Б.Н. Сеник, А.Б. Вельский, В.В. Потелов // Оптический журнал. -2009-№8. С.5-13.

238. Справочник по авиационным материалам. Ч. 2. Цветные сплавы. — М: Машиностроение, 1966.-С. 182.

239. Подготовка поверхностей под склеивание I Л.И. Аниховская, Т.Г. Павловская и др. // Клеи, герметики, технологии. 2008. - №7. - С 32-35.

240. Влияние подготовки поверхности сплава АБМ-1 на свойства клеевых соединений / Л.И. Аниховская, B.C. Каськов и др. // Клеи, герметики, технологии. -2008.-№11.-С 11-13.

241. Немировский Б.А. Влияние подготовки металлической поверхности на прочность клеевых соединений / Б.А. Немировский, А.Д. Еселев // Клеи, герметики, технологии. — 2009. №6. - С 29-31.

242. Патент № 1715560. Способ отделочной обработки деталей и устройство для его осуществления / А.П. Сергиев, А.Л. Гришин, В.В. Потелов, В.А. Жидков // Изобретения: Официальный бюллетень. — 1992. — №8. С.32.

243. Патент № 2016669. Вибропередающий элемент / А.П. Сергиев, В.В. Потелов, Г.И. Кузьменко, В.А. Жидков // Изобретения: Официальный бюллетень. 1994. -№8. -С.ЗЗ.

244. Потелов В.В. Исследование возможностей повышения прочностных характеристик оптических склеенных сборок с высоким градиентом коэффициентов линейного температурного расширения / В.В. Потелов И Оптический журнал. -2009,- №6. С.68-69.

245. Лопухина E.H. Оптические клеи и области их применения в приборостроении / E.H. Лопухина, H.A. Гордеева // Клеи. Герметики. Технологии. -2008.-№2.-С. 20-22.

246. Гладких С.Н. Клеевые, заливочные и герметизирующие материалы разработки ОАО «Композит» / С.Н. Гладких // Клеи, герметики, технологии. -2007.-№8.-С. 6-16.

247. Авдонина H.A. Быстроотверждающийся эпоксидный клей ВК-93 холодного отверждения / И.А. Авдонина, Н.Ф. Лукина // Клеи, герметики, технологии. 2009.-№3. - С 17.

248. Баурова Н.И. Имитационное моделирование напряженно-деформированного состояния клеевого соединения / Н.И. Баурова // Клеи, герметики, технологии. 2008. - №8. - С. 28-31.

249. Моделирование упругого поведения кремнийорганических герметиков при больших деформациях / О.В. Татарников, М.Ю. Русин и др. // Клеи, герметики, технологии. 2008. — №9. - С. 20-23.

250. Турусов P.A. Метод контактного слоя в адгезионной механике / P.A. Турусов, Л.И. Маневич. // Клеи, герметики, технологии. 2009. - №6. —С 2-11.

251. Иванов A.B. Прочность оптических стекол / A.B. Иванов. М., 1995г. — 230 с.

252. Кучейко А. Япония создала крупнейшую систему космической разведки / А. Кучейко // Новости космонавтики. — 2007. — №4. — С. 34-37.

253. Соболев, И. Инфракрасный «Свет» и его попутчики / И. Соболев // Новости космонавтики. — 2006. — №4. С. 6-9.

254. Афанасьев И. Самарский «Ресурс-ДК» / И. Афанасьев // Новости космонавтики. -2003. -Т. 13. -№10.- С. 47.

255. Шаров П. Современные проблемы ДЗЗ из космоса / П. Шаров // Новости космонавтики. 2005. — № 1. - С.21.

256. Гоев А.И. Решение пространственных юстировочных задач: учебное пособие./ А.И. Гоев, В.И. Заварзин, В.А. Полухин, В.В. Потелов М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003. - 31 с.

257. Гоев, А.И. Сборка и юстировка оптико-электронных приборов: Учебное пособие / А.И. Гоев, В.И. Заварзин, В.А. Петров, В.В. Потелов М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003. - 80 с.1. Эак.2009.08-1327-12