автореферат диссертации по приборостроению, метрологии и информационно-измерительным приборам и системам, 05.11.07, диссертация на тему:Трехмерный контроль геометрических параметров дистанционирующих решеток ядерных реакторов на основе дифракционных оптических элементов

На правах рукописи

ГЦ

Завьялов Петр Сергеевич

ТРЕХМЕРНЫЙ КОНТРОЛЬ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ДИСТАНЦИОНИРУЮЩИХ РЕШЕТОК ЯДЕРНЫХ РЕАКТОРОВ НА ОСНОВЕ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ

05.11.07 - оптические и оптико-электронные приборы и комплексы

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

2 6 МАЙ 2011

Новосибирск - 2011

4848147

Работа выполнена в Учреждении Российской академии наук Конструкторско-технологическом институте научного приборостроения СО РАН, г. Новосибирск

Научный руководитель

профессор,

доктор технических наук Чугуй Юрий Васильевич.

Официальные оппоненты: профессор,

доктор технических наук Гужов Владимир Иванович

профессор,

доктор технических наук Тихомиров Александр Алексеевич

Ведущая организация:

Учреждение Российской академии наук Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск

Защита состоится «7» июня 2011 года в 14 часов на заседании диссертационного совета Д 212.173.08 в Новосибирском государственном техническом университете (630092, г. Новосибирск, пр. К.Маркса, 20).

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Новосибирского государственного технического университета.

Автореферат разослан « » мая 2011 года.

Ученый секретарь диссертационного совета кандидат технических наук, доцент

Полубинский В.Л.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность работы. В ближайшие 20 лет в связи с исчерпанием ресурсов невозобновляемых энергоносителей прогнозируется существенное повышение роли атомной энергетики. Достижение высоких эксплуатационных и надёжностных характеристик ядерных реакторов в течение предусмотренных регламентом топливных циклов обеспечивается путем поддержания на соответствующем уровне технологий производства их тепловыделяющих сборок (TBC). В частности, это достигается за счет контроля геометрических параметров компонентов TBC, к которым предъявляются все более жесткие требования. Сборки отечественных реакторов ВВЭР-1000 и ВВЭР-440 (см. рис. 1а) имеют гексагональную форму и содержат несколько сотен тепловыделяющих элементов (ТВЭЛ) (диаметром порядка 9 мм и длиной от 2,5 до 4 м), 10-15 дистанционирующих решеток (ДР), расположенных через 250 мм, и несущий каркас. Решётка (рис. 16) выполнена в виде сотовой структуры, в ячейках которой помещаются ТВЭЛы. С помощью ДР задается требуемое дистанционное расположение пучка ТВЭЛ в поперечном и продольном сечениях, что крайне важно для обеспечения необходимого теплового режима функционирования TBC. При отклонении положения ТВЭЛов от номинального возникают их локальные перегревы, которые приводят к выходу из строя всей TBC. Локальные перегревы появляются также в местах дефектов поверхности ТВЭЛов, образующихся, например, при сборке кассет с использованием дистанционирующих решеток, не удовлетворяющим допускам по геометрическим размерам. В связи с этим 100% трехмерному (3D) контролю подлежат ячейки и направляющие каналы дистанционирующих решеток, расстояния между их соседними ячейками и размеры «под ключ», характеризующие габариты TBC. Эта операция должна выполняться в темпе технологического конвейера (производительность контроля около 5 изделий в час).

В настоящее время контроль геометрических параметров дистанционирующих решеток на отечественных предприятиях осуществляется как контактным способом с использованием калибров и координатно-измерительных машин (КИМ), так и бесконтактным с использованием оптических средств на основе структурного освещения. За рубежом для этих целей используют КИМ в режиме выборочного контроля. Однако, контактный контроль калиброванными цилиндрами и шариками не даёт всей требуемой информации о геометрии решеток и в значительной степени зависит от человеческого фактора. Применение же КИМ, оснащённых контактными датчиками, связано с большими временными затратами (например, при контроле ДР лишь в одном сечении по высоте требуется более четырех часов).

Более перспективными для решения задачи 3D контроля дистанционирующих решеток являются бесконтактные оптико-электронные средства с использованием структурного освещения. Примером может служить созданная в КТИ НП СО РАН (2000 г.) лазерная измерительная машина, предназначенная для размерного контроля шестигранных дистанционирующих решёток с микрометрическим разрешением. Она имеет производительность в

Направляющие каналы

Пучок ТВЭЛ

Дистанционирующие решётки

а)

б) в)

Рис. 1. Внешний вид тепловыделяющей сборки для реактора ВВЭР-1000 (а) и шестигранной дистанционирующей решетки (б). Сечение решетки и её контролируемые геометрические параметры (в).

300 раз выше, чем у существующих КИМ, благодаря выбору в качестве зондирующего поля матрицы лучей, освещающих контролируемую поверхность ячейки ДР.

В настоящее время существенно расширилась номенклатура выпускаемых шестигранных решёток. При этом заметно возросли требования к точности измерения параметров ДР вследствие улучшения технологии их изготовления. Так, допустимая погрешность измерения диаметров ячеек решёток снизилась с ±0,03 до 0,01 мм. Более того, в связи с выходом российских предприятий на мировой рынок началось производство TBC западного типа с квадратными ДР. Так как созданная ранее система не удовлетворяет существующим требованиям по погрешности измерения и предназначена для контроля только некоторых из существующих типов российских ДР, то актуальными являются работы по созданию других, более совершенных методов контроля.

Новые измерительные возможности открываются при использовании для зондирования ячеек кольцевого структурного освещения. Такой тип освещения в виде одинарного светового кольца апробирован нами при контроле размеров сквозных цилиндрических отверстий в одном поперечном сечении. Однако в этом случае для измерения отверстия по всей длине световое кольцо необходимо перемещать относительно контролируемого объекта, что приводит к усложнению измерительной системы и значительным временным затратам. Увеличение быстродействия можно достичь путем освещения внутренней поверхности 3D объекта мультикольцевым световым зондом, который может быть создан на основе дифракционного оптического элемента (ДОЭ). Этот элемент позволяет формировать с высокой точностью зондирующее световое поле (с отклонением волнового фронта от заданного в доли длины волны),

структура которого оптимально согласуется с конфигурацией объекта контроля. Применительно к контролю решёток разработка такого метода требует проведения комплекса исследований как по расчёту и синтезу мультикольцевых фокусаторов с требуемыми характеристиками, так и по разработке объектива для преобразования 30 структурных изображений элементов дистанционирующих решёток в 20 проекции с последующей их регистрацией и обработкой.

Целыо настоящей диссертации является исследование и разработка на основе дифракционных оптических элементов нового бесконтактного метода 30 контроля геометрических параметров дистанционирующих решеток широкой номенклатуры, создание образца измерительной системы и его испытания.

Задачи исследований:

1. Разработка мультикольцевого оптико-электронного метода для измерения геометрических параметров шестигранных (российских) и квадратных (зарубежных) дистанционирующих решеток.

2. Разработка способов расчета и методик экспериментальных исследований характеристик дифракционных мультикольцевых фокусаторов (МКФ), формирующих структурное освещения контролируемых элементов (ячеек, отверстий под канал, обода) дистанционирующих решеток в виде ряда световых колец(10 - 20 шт.) равного диаметра (порядка 10 мм), расположенных вдоль оси с шагом 0.5 - 1 мм.

3. Проектирование специализированного объектива для геометрических преобразований 30 структурных изображений элементов дистанционирующих решеток (диаметром 9 - 15 мм и длиной 5-16 мм) в их плоские проекции, разработка оптической схемы, реализующей предложенный метод, и ее компьютерное моделирование.

4. Разработка и экспериментальная проверка методов обработки структурных изображений контролируемых поверхностей дистанционирующих решеток широкой номенклатуры для определения с высокой точностью (погрешность менее 0.01 мм) и быстродействием (5 изделий в час) их геометрических характеристик.

5. Экспериментальные исследования предложенного метода контроля дистанционирующих решеток, разработка на его основе системы 30 контроля решеток и её испытания.

Методы исследований. При выполнении работы использовались методы геометрической и волновой оптики, теория преобразования и обработки сигналов, а также компьютерное моделирование и физический эксперимент.

Научная новизна. Новыми результатами работы являются:

1. Метод ЗО контроля геометрических параметров дистанционирующих решёток путем их многоканального зондирования (по глубине) последовательностью световых колец и восприятия изображений объективом для контроля отверстий (патент РФ №2334944), который в отличие от известных позволяет измерять геометрические параметры дистанционирующих

решеток широкой номенклатуры (как шестигранные, так и квадратные), а также контролировать сквозные отверстия различной конфигурации.

2. Способы расчёта мультикольцевых фокусаторов для формирования последовательности световых зондирующих колец с малой шириной (50 - 100 мкм) с использованием итерационной процедуры минимизации неравномерности интенсивностей световых колец (до 1 %).

3. Рассчитанный и созданный впервые специализированный объектив (для контроля отверстий), позволяющий определенным образом осуществлять геометрические преобразования ЗО структурированных (в виде полос) изображений элементов дистанционирующих решёток в их 2Б проекции.

4. Методы обработки двумерных проекций ЗБ структурных изображений контролируемых объектов с учётом неоднородных отражающих свойств их поверхностей и спекл-шумов, обеспечивающие с высокой точностью и быстродействием определение координат центров полос. Разработанные методы вычисления геометрических параметров элементов дистанционирующих решёток позволяют, как установлено экспериментально, определять диаметры ячеек и положение их центров с погрешностями не более 5 и 12 мкм соответственно.

Основные положения, выносимые на защиту:

1. Разработанный мультикольцевой метод позволяет производить бесконтактные измерения геометрических параметров существующей номенклатуры ДР российского и западного типов с микрометрическим разрешением путем их многоканального зондирования по глубине световыми кольцами, генерируемыми дифракционными оптическими элементами, с последующим преобразованием объективом для контроля отверстий ЗЭ структурных изображений элементов ДР в их Ю проекции.

2. Разработанные способы расчета мультикольцевых фокусаторов и существующие средства формирования волновых фронтов с помощью лазерных генераторов изображений кругового типа позволяют создать дифракционные оптические элементы, формирующие одновременно до 20 световых колец шириной 50 - 100 мкм при уровне неравномерности их интенсивности менее 1 %.

3. Рассчитанный специализированный объектив (для контроля отверстий) путем преднамеренного введения в определенном соотношении астигматизма, кривизны поля и дисторсии обеспечивает преобразование протяженных по глубине элементов дистанционирующих решеток в их плоские проекции с радиальным разделением сечений объекта на изображении.

4. Разработанный оптико-электронный метод контроля ДР с использованием мультикольцевых фокусаторов, специализированного объектива для контроля отверстий, а также комплекса программно-аппаратных средств для обработки изображений и вычисления геометрических параметров элементов ДР позволяет, как установлено экспериментально, определять диаметры ячеек и положение их центров с погрешностями не более 5 и 12 мкм соответственно.

Личный вклад. В работе использованы результаты, полученные лично автором или при его непосредственном творческом участии в проведении теоретических и экспериментальных исследований. Автором предложен метод синтеза мультикольцевых фокусаторов для формирования зондирующего освещения, рассчитан объектив для геометрических преобразований 3D структурных изображений элементов решеток. Он являлся ответственным исполнителем работ по разработке системы контроля ДР «Решетка-Н».

Практическая ценность и реализация результатов. Предложенный мультикольцевой метод контроля, способ расчета мультикольцевых фокусаторов, метод расчета объектива для формирования плоских проекций протяженных отверстий, а также методы обработки структурных изображений составляют арсенал новых средств для создания сптико-электронных приборов размерного ЗО-контроля изделий с отверстиями различной конфигурации, которые могут найти применение в авиационной, машиностроительной, оптико-механической и других отраслях промышленности.

Результаты работы использованы при проведении НИР, а затем ОКР «Универсальная оптико-электронная система для контроля геометрических параметров дистанционирующих решёток» в интересах ОАО «НЗХК» и концерна «ТВЭЛ». Разработанная система «Решетка-Н» находится в опытной эксплуатации в ОАО «НЗХК» с января 2009 г.

Апробация работы. Результаты диссертации докладывались на следующих международных и отечественных конференциях и семинарах: VIII Международная конференция «Актуальные проблемы электронного приборостроения», г. Новосибирск, 2006 г.; «Measurement 2007», Smolenice Castle, Slovakia, May 20-24,2007; The Eighth International Conference "Correlation Optics", Chernivtsi, Ukraine, September 11-14, 2007; 5th International Symposium on Instrumentation Science and Technology, Shenyang, China, Sep. 15 - 18, 2008; ISMTII-2009, The 9th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, 29 June - 2 July 2009, Saint-Petersburg; Symposium Nanometrology PTB Braunschweig - TDI SIE Novosibirsk, PTB, Braunschweig, 21.04.-23.04.2009.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 16 научных работ, в том числе в двух патентах РФ, 4 научных статьях (в рецензируемых журналах из списка ВАК), 10 статей в материалах международных конференций.

Структура и объем диссертации. Работа включает введение, шесть глав, заключение, список литературы из 37 наименований и приложение. Диссертация изложена на 138 страницах и содержит 62 рисунка и 16 таблиц.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введение изложено современное состояние исследований по контролю ДР контактными и бесконтактными оптико-электронными средствами. Показана актуальность задачи разработки нового метода контроля. Сформулированы цель и задачи настоящей диссертационной работы.

В первой главе приведен обзор существующих бесконтактных оптико-электронных методов контроля отверстий, включая визуальные,

интерференционные, триангуляционные, а также методы на основе структурного освещения. Представлены оптические схемы систем, реализующих указанные методы.

Показано, что в наибольшей степени для решения задачи контроля геометрических параметров дистанционирующих решеток подходит метод на основе структурного освещения, так как он позволяет измерять форму ЗБ-объектов. Описан метод контроля цилиндрических отверстий с использованием дифракционных оптических элементов (ДОЭ). Он основан на формировании освещенного участка в виде кольца на внутренней цилиндрической поверхности изделия, приёме и обработке изображения этого участка (рис. 2).

Излучение от лазера 1 расширяется коллиматором 2 и модулируется дифракционным оптическим элементом 3, который формирует на внутренней поверхности изделия 4 кольцевую метку. Наблюдение метки производится с помощью конического зеркала 5 и камеры 6. В компьютере 7 производится обработка изображений. Устройство 8 обеспечивает перемещение детали

параллельно оси

оптической системы. Метод позволяет

контролировать не только диаметр отверстия, но и непрямолинейность его оси, отклонение формы отверстия, а также Однако, он предусматривает светового кольца, что

Рис. 2. Иллюстрация метода контроля отверстий на основе дифракционного фокусатора в кольцо.

качество его внутренней поверхности, механическое перемещение объекта относительно существенно ограничивает быстродействие метода.

В данной главе также описан метод с использованием многоточечного структурного освещения и созданная на его основе (в КТИ НП СО РАН) лазерная измерительная машина «Решетка-2000» для контроля геометрических параметров решеток реакторов типа ВВЭР-1000. Зондирующее структурное освещение задается в виде матрицы лазерных пучков, которые сформированы с помощью дифракционных элементов. Существенно, что для контроля ячеек дистанционирующих решеток требуется наличие трех освещающих матриц лазерных пучков (по числу выступов - «пуклевок» в ячейке), что реализуется с помощью трёх каналов измерительной головки. Лазерная измерительная машина прошла полный цикл испытаний на ОАО «НЗХК» и с 2002 г. находится в опытной эксплуатации.

Однако, такой измерительный комплекс является узкоспециализированным: он предназначен для контроля решеток лишь с трехпуклевочными ячейками отечественных реакторов. Положенный в её основу метод измерений не может быть применим для контроля ячеек квадратных решеток, имеющих 4 пуклевки, расположенных под 90°. Трудности возникают даже при контроле шестигранных решеток, так как для измерения отверстий под канал и обода решетки её необходимо поворачивать на 60°, что

требует больших временных затрат (несколько минут). От этих недостатков свободен метод структурного освещения на основе многоканального зондирования ячеек ДР (по глубине) последовательностью световых колец. Благодаря осевой симметрии зондирующего поля значительно расширяется класс контролируемых решеток.

Во второй главе детально изложена задача контроля геометрических параметров дистанционирующих решеток, описаны конструкции различных решеток, представлены требования к их контролю. Изложена суть метода контроля дистанционирующих решеток на основе мультикольцевых фокусаторов (рис. 3).

2,

•У} V

я,-...

Я„;... : гх ' Л1,

—

'ч .. "Ж' ... .

Рис. 3. Иллюстрация метода контроля ДР на основе мультикольцевого фокусатора: 1 - МКФ; 2 - контролируемая ячейка; 3 - световые кольца; 4 - объектив для контроля отверстий; 5 - камера; 6 - изображение ячейки; Кщт и Кцшх ' минимальный и максимальный радиусы изображения; Дг - шаг колец.

Обеспечение универсальности метода контроля и требуемых метрологических характеристик измерительной системы достигается путем структурного освещения объекта волновым фронтом в виде набора колец (мультикольцевое освещение), формируемого специально рассчитанным ДОЭ в виде мультикольцевого фокусатора (МКФ). Этот элемент фокусирует падающее на него лазерное излучение в систему колец равного диаметра, расположенных вдоль оси X ячейки с некоторым шагом Дг, что при соответствующей фоторегистрации и обработке данных позволяет получить ЗБ-модель ячейки. При таком структурном освещении не имеет принципиального значения количество и расположение выпуклостей (пуклёвок) ячейки, фиксирующих ТВЭЛ. Другими словами, структура освещающего (зондирующего) поля указанного вида позволяет проводить измерения профиля внутренней поверхности ячейки одновременно во многих ее сечениях (по глубине) без необходимости механического перемещения её во время измерения. Более того, в этом случае отпадает необходимость во вращении решетки (в сравнении с методом многоточечного структурного освещения), что позволяет достичь более высокого быстродействия.

Для измерения геометрических параметров всех ячеек и габаритных размеров решетки используется сканирующий двухкоординатный стол (на рисунке не показан) для её перемещения в плоскости, перпендикулярной оптической оси системы.

Освещенная поверхность ячейки проецируется на фотоприёмную матрицу камеры с помощью объектива для контроля отверстий, который формирует плоское изображение структурно освещенной ячейки (или другого элемента ДР), и таким образом позволяет наблюдать структурные изображения элементов решеток. Благодаря большой кривизне поля и дисторсии объектив фокусирует различные сечения по глубине в плоскость фотоприемника. При этом, чем ближе к объективу сечение гп объекта (1 <п< /V), тем больше радиус его изображения /?„ (г/-»Л/,.. .,?„—>•/?„,.где ц < г„ преобразования, выполняемого объективом, можно описать образом:

К =/об(*п)

Предлагаемый метод ЗБ контроля дистанционирующих

Д/

< Суть следующим

(1)

решеток на

основе мультикольцевого структурного освещения открывает возможность существенного расширения класса контролируемых изделий. Более того, таким методом можно контролировать наряду с существующими и перспективные типы ДР (находящиеся в стадии разработки) путем синтеза соответствующего мультикольцевого фокусатора. Таким образом, применительно к существующей номенклатуре дистанционирующих решеток предложенный метод контроля является универсальным.

В главе также проведен габаритный расчет оптической системы (рис. 4), реализующей предложенный метод, и рассчитаны ее оптимальные параметры путем решения системы уравнений относительно а и Да:

1 1

А? ^^дифр

—>

Рис. 4. К расчету параметров оптической системы.

^геом =Аг

18(а

Д*

-Дог/2) tg{a+^al2) Л

Дг 2

(2)

дифр

sm(a)■tg(Aa/2)

где а - угол падения лучей на поверхность, Да - угловая апертура освещающего пучка, Д/ - смещение пятна, Дг - шаг колец МКФ, Я - длина волны, А.чдифр - дифракционная ширина колец, Д5геа„ - геометрическая ширина колец, Дг - диапазон измерений.

Первое уравнение вытекает из условия обеспечения необходимого диапазона измерений Дг, а второе - из условия обеспечения требуемой ширины световых колец А$дифр. Решая систему уравнений (2), можно найти оптимальные параметры структурного освещения а и Да, при которых

достигается максимальная чувствительность измерений в необходимом диапазоне Лг. Так, при выборе значений параметров: Аг = 0,5 мм, Дг/2,

Аздифр = 0,1 мм, Дг = 0,5 мм, оптимальный угол получается равным а= 17,2°, а угловая ширина пучка - Да- 2,5°.

Третья глава посвящена проектированию мутьтикольцевых фокусаторов для контроля ДР. Предложенный автором метод их расчета предусматривает использование для генерации N световых колец всей поверхности ДОЭ. В этом случае элемент работает подобно голограмме (рис. 5). Функция пропускания такого элемента имеет следующий вид:

"(/>) = ехр[/£л/(я + /о)2 + (/о + ' • Дг)2 ]• Рты <Р 5Ртах (3)

¿=0

где У, - относительные интенсивности световых колец, г» - радиус колец, /о - фокусное расстояние МКФ, Лг - шаг колец, к = 2я/1 - волновое число.

В работе показано, что для контроля существующей номенклатуры отечественных и зарубежных ДР достаточно использовать 4 типа дифракционных элементов, параметры которых приведены в Таблице.

Обозначение Число колец, N Шаг колец, Дг, мм Диаметр колец, 2 г0, мм Фокусное расстояние, f0, мм

ДОЭ №1 16 1 9,0 80

ДОЭ №2 12 0,5 9,0 84,5

ДОЭ №3 16 1 9,4 80

ДОЭ №4 12 0,5 9,4 84,5

Предложен алгоритм расчета светового поля, формируемого МКФ, на основе численного решения интеграла Френеля - Кирхгофа в полярной системе координат (рис. 6):

£(л-,^,г) = ]0 \Hb(p)h{p,<p,r,y/,z)-p-dpd(p (4)

Pmin

где Е(г, у, z) - световое поле, формируемое МКФ, Нь(р) - функция пропускания МКФ в бинарном виде, Xj = p-cos(tp), у/ = p-sin(cp), х2 = r-cos(yj), уг = rsin(ys), h(p, <р, г, у/, z) - импульсный отклик свободного пространства:

Г 1 у„ ?г 0) 1 II 11 II 1 \

Лп <— — Рит.г -к- V ; &>> У. у> ^ 2 —у

Рис. 6. К расчету поля, формируемого мультикольцевым фокусатором.

В результате анализа вычисленного поля (4) установлено, что вследствие ограниченности апертуры МКФ и бинаризации его функции пропускания (3), интенсивности световых колец отличаются от заданных на 20 - 50 %. Поэтому автором был предложен итерационный способ снижения неравномерности интенсивности световых колец путем внесения добавочных коэффициентов ДЛ (рис. 7):

П(р) = • ехр[д,/(р + г0)2 + (/о + / • Дг)Т|, рт,„ <р <

(6)

I

■ч

Алгоритм построен в предположении, что снижения неравномерности интенсивностей можно достичь путем подбора добавочных коэффициентов ДУ,

так, чтобы на выходе алгоритма расчета дифракционной

структуры МКФ пики полученного распределения интенсивности имели

необходимые значения.

Показано, что предложенный итерационный способ

позволяет снизить

неравномерность интенсивностей световых колец до уровня ¿1-1%.

Итерационным способом рассчитаны четыре типа МКФ, которые были изготовлены в амплитудном бинарном

исполнении с использованием

Рис. 7. Итерационный способ расчета МКФ с минимизацией неравномерности интенсивностей световых колец.

круговой лазерной записывающей системы О^З-ЗООС/М (технология прямой лазерной записи на плёнках хрома).

В четвертой главе представлены результаты разработки и создания специального объектива для формирования плоского изображения контролируемых протяженных по глубине поверхностей.

Суть преобразования, выполняемого таким объективом, поясняется на рис. 8а. Объектив сконструирован таким образом, что он проецирует цилиндрическую поверхность отверстия диаметром Эт в плоскость фотоприемной матрицы. Иными словами, он отображает продольный отрезок АВ (с координатами г, и г?) в поперечный отрезок А 'В' (с радиальными координатами Я, и /?2).

Вх.зрачок

Рис. 8. Особенности проецирования внутренней поверхности отверстия специализированным объективом (а) и тонкой линзой (б).

Для сравнения отметим, что в случае идеальной тонкой линзы (рис. 86) продольный отрезок АВ проецируется в наклонный отрезок Л В', причем при отображении цилиндрической поверхности её изображение будет конической поверхностью. При этом угол конуса будет увеличиваться при уменьшении линейного увеличения. А это означает, что кривизна изображения при уменьшении фокусного расстояния ^ тонкой линзы снижается. Таким образом, тонкую линзу (или обычный объектив) можно использовать для формирования изображения отверстия диаметром Ок при условии, что F << Д,ч, т.е. для контроля больших отверстий (диаметром 100 мм с выше). В случае же контроля дистанционирующих решеток использовать данный способ проецирования не представляется возможным, так как при диаметре ячеек От ~ 9 м м объектив с фокусным расстоянием V « Д,,, будет создавать изображение столь малого размера, что его невозможно будет зарегистрировать с приемлемым разрешением современными фотоприемными матрицами, размер которых порядка 5-15 мм. Увеличение такого объектива должно быть около 1 \

Рис. 9. Работа объектива для контроля отверстий в обратном ходе лучей.

Поэтому нами предложен другой подход решения этой задачи, заключающийся в проектировании объектива, который исправляет кривизну конического изображения отверстия и создает плоское изображение цилиндрического отверстия.

/'=50 мм

Сагит. МПФ Диффр предел Тангенц. МПФ

О 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50

Пространственная частота, пиний/мм Рис. 10. Оптическая схема разработанного объектива для метода контроля ДР (а) и его модуляционная передаточная функция (МПФ) (б).

Принцип действия такого объектива нетрудно понять, если рассмотреть его работу в обратном ходе лучей (рис. 9). В этом случае на входе имеется обычный плоский предмет, изображение которого (слева от объектива) получается сильно искривленным. При разработке такого объектива, в отличие от стандартного, значительно увеличивалась кривизна изображения, причем до такой степени, чтобы участок кривой изображения А'В' лежал как можно ближе к поверхности отверстия (ячейки).

Такой объектив был рассчитан с помощью программного обеспечения ветлах. Он состоит из трёх линз и обычного фотообъектива с фокусным расстоянием 50 мм (рис. 10а). Рассчитанный объектив, обладая большим астигматизмом (рис. 106), имеет высокое разрешение в тангенциальном направлении (около 45 линий/мм), близкое к дифракционному пределу и низкое в сагиттальном (8 линий/мм). Он был изготовлен и применен в системе для контроля геометрических параметров ДР «Решетка-Н».

Пятая глава посвящена разработке методов обработки структурных изображений и вычисления геометрических параметров элементов ДР. При обработке изображений обеспечивается достаточно точное и однозначное определение (идентификация) координат полос в условиях зашумленности изображений (спекл-шум. внешняя засветка) и неоднородности освещения.

Рис. 11. Обработанные изображения полос при структурном освещении различных элементов решеток: а) обода решетки (МКФ №1 с шагом полос Дг = I мм), б) пуклевки ячейки шестигранной решетки (МКФ №2 с &г = 0.5 мм).

Идентификация полос основана на методе радиального сканирования изображения из центра, соответствующего положению оптической оси, с некоторым шагом по углу Дер. При таком сканировании регистрируется распределение интенсивности /(/?) в виде N пиков. Основная задача состоит в правильной идентификации пиков и нахождении их координат. Для этого при расчете МКФ в освещающее поле введен признак («маркер»), в виде пропуска одной полосы (с индексом N12), позволяющий при обработке изображений правильно пронумеровать полосы.

Разработанный автором алгоритм идентификации полос предусматривает сначала определение корреляционным методом пропуска полос, затем предварительное определение положение пиков и их нумерация и. наконец. -точное вычисление центров методом центра масс. Результаты работы алгоритма в виде обработанных изображений представлены на рис. 11. Видно, что исходные изображения, подлежащие обработке, действительно, имеют большую шумовую составляющую. Вычисленные полосы обозначены ярко-зелеными точками, а отфильтрованные точки - синим цветом.

В главе также представлены разработанные автором алгоритмы для калибровки оптической системы по цилиндрическим калибрам, для обработки изображений юстировочных колец, а также для вычисления геометрии ячеек, отверстий под канал и обода решетки. Представлены разработанные методы визуализации информации о результатах измерения ДР для наглядного представления результатов контроля как всей решетки в целом, так и её отдельных элементов.

В шестой главе приведены результаты экспериментальных исследований разработанного автором метода контроля ДР, приведено описание

а)

б)

разработанной системы «Решетка-Н» и результаты её производственных испытаний.

На рис. 12 приведена фотография созданной для ОАО «НЗХК» системы «Решетка-Н». Она включает два стола: лабораторный, на котором расположен оптико-электронный блок, и стол оператора с компьютером. Конструктивно оптико-электронный блок состоит из массивного основания, на котором расположены двухкоординатный стол и арочная опора. В арку встроен узел осветителя и револьверный механизм с набором МКФ.

Контролируемая ДР жестко ШЩ фиксируется в специальной оправе.

здрям Фотоприемная часть с объективом

расположена внутри основания. Для точного определения перемещений стола по координатам X и У предусмотрены два датчика перемещений. Управление системой осуществляется посредством

контроллера. Обработка информации производится компьютером.

Рис. 12. Оптико-электронная система расположенным на рабочем столе

«Решетка-Н» для контроля геометрии ДР

оператора.

Для исследования метрологических характеристик системы «Решетка-Н» были разработаны 4 стандартных образца (СО) для различных типов решеток. Они представляют собой образцы дистанционирующих решеток, отобранных из стандартной продукции и выдержанных после изготовления некоторое время (около шести месяцев) для снятия напряжений в конструкции. Затем СО измерялись с помощью координатно-измерительной машины. Для измерения выбирались 4 близлежащие ячейки и одно отверстие под канал.

В результате измерений геометрических параметров СО разработанной системой установлены следующие погрешности измерений:

• погрешность измерения диаметров ячеек шестигранных ДР...........±5.3 мкм:

• погрешность измерения положения центров ячеек......................±12 мкм:

• погрешность измерения расстояния между противоположными пуклевками ячеек квадратной ДР...........................................................±8,8 мкм:

• погрешность измерения диаметра отверстия под канал шестигранной ДР...................................................................................± 16 мкм:

• погрешность измерения расстояния между противоположными стенками отверстия под канал квадратной ДР........................................±24 мкм.

В 2008 г. в ОАО «НЗХК» проведены производственные испытания системы. Программа испытаний предусматривала измерение решеток серии TBC-А и ТВС-2 для реакторов ВВЭР-1000 и сравнении результатов контроля системы с результатами контроля ОТК. Всего за время испытаний измерено более 100 решеток. Время измерения одной ДР составляло 11-15 мин. в зависимости от «дефектности» решетки. Решетки, прошедшие операцию

предварительной механической обработки, как правило, контролировались быстрее (11-12 мин.).

В результате проведенных экспериментальных исследований и производственных испытаний разработанной системы контроля ДР «Решетка-Н» установлено, что полученные погрешности измерений не превышают допустимые. Стабильность измерений подтверждена большим объёмом проконтролированных решеток, результаты измерений системы согласуются с результатами контроля с помощью штатных контактных средств. «Решетка-Н» позволяет контролировать геометрические параметры ДР тепловыделяющих отечественных сборок ТВС-А, ТВС-2, УТВС, ТВС-440, а также зарубежных сборок Р\¥1*. Проведенные исследования и полученные результаты подтверждают правильность расчетов и теоретических оценок, приведенных в диссертации.

В заключении сформулированы основные результаты диссертации.

В диссертации решена задача разработки и создания оптико-электронной системы контроля геометрических параметров дистанционирующих решёток ядерных реакторов широкой номенклатуры.

1. Исследован предложенный автором новый метод бесконтактного 30 контроля геометрии дистанционирующих решеток на основе дифракционных оптических элементов - мультикольцевых фокусаторов, формирующих структурное освещение в виде последовательности световых колец. Теоретически и экспериментально показано, что метод позволяет контролировать как шестигранные (российские), так и квадратные (зарубежные) дистанционирующие решетки.

2. Предложен и разработан на основе численного решения интеграла Френеля - Кирхгофа способ расчета МКФ в виде наложенных расходящихся торических полей. Показано, что такие фокусаторы с диаметром 45 мм могут генерировать до 20 узких световых колец равного диаметра с шириной 50- 100 мкм и шагом по глубине в пределах 0,5 -1 мм.

3. Предложен итерационный способ расчета МКФ с оптимизацией интенсивностей световых колец, обеспечивающий значительное снижение отклонения интенсивностей световых колец от заданных. Показано, что путем подбора уровней интенсивности колец эти отклонения можно уменьшить с 20-40% до 1% и менее.

4. Рассчитан и изготовлен на ГУП «Новосибирский приборостроительный завод» объектив для контроля отверстий, осуществляющий геометрические преобразования протяженных по глубине структурных изображений элементов дистанционирующих решёток в их плоские проекции. Такой объектив, в отличие от известных, имеет большую кривизну поля в пространстве объектов, которая достигается за счет большого астигматизма. Показано, что благодаря увеличенным аберрациям объектив формирует плоское изображение внутренних поверхностей отверстий в широком диапазоне их диаметров £> (8 - 100 мм) и длин £ < (1 ^ 2)х£> с пространственным разрешением в радиальном и сагиттальном направлениях 45 и 8 линий/мм соответственно.

5. Рассчитана зависимость интенсивности изображения кольца от его положения вдоль оптической оси, которая использовалась при расчете мультикольцевых фокусаторов. Показано, что выбором интенсивностей световых колец по определенному закону достигается значительное (на порядок) снижение неравномерности интенсивности их изображений.

6. Разработаны методы обработки изображений с учетом спекл-шумов и неоднородностей контролируемой поверхности, методы вычисления геометрических параметров элементов ДР исходя из их структурных изображений, а также методики юстировки и калибровки оптической системы. Экспериментально показано, что они позволяют определять диаметры ячеек и положение их центров с погрешностями не более 5 и 12 мкм соответственно.

7. В результате расчета МКФ для контроля существующей номенклатуры шестигранных и квадратных решеток установлено, что для решения поставленной задачи достаточно использовать 4 мультикольцевых фокусатора. Оптические характеристики МКФ, изготовленных в амплитудном бинарном исполнении, соответствуют расчетным.

8. На основе предложенного метода при непосредственном участии автора разработана и создана «Универсальная оптико-электронная система для контроля геометрических параметров дистанционирующих решёток» («Решетка-Н»). В результате производственных испытаний системы установлены следующие метрологические характеристики:

• погрешность измерения диаметров ячеек шестигранных ДР.............±5,3 мкм;

• погрешность измерения положения центров ячеек......................±12 мкм;

• погрешность измерения расстояния между противоположными пуклевками ячеек квадратной ДР...........................................................±8,8 мкм;

• погрешность измерения диаметра отверстия под канал шестигранной ДР................................................................±16 мкм;

• погрешность измерения расстояния между противоположными стенками отверстия под канал квадратной ДР........................................±24 мкм.

• время измерения одной ДР................................................11-15 мин.

Полученные характеристики полностью удовлетворяют требованиям, предъявляемым к системе контроля геометрических параметров дистанционирующих решеток.

9. Разработанная система с января 2009 г. находится в эксплуатации в ОАО «НЗХК», г. Новосибирск. За это время системой проконтролировано несколько тысяч дистанционирующих решеток. Эксплуатация системы «Решетка-Н» позволила, используя методы статистического регулирования, стабилизировать технологический процесс изготовления ДР и уменьшить количество доработок в изделиях, и соответственно повысить рентабельность производства.

Список основных работ, опубликованных автором по теме диссертации:

1. Inspection of geometrical parameters of through holes by a diffractive focuser / P.S. Zavyalov at al.// Proceedings of the Third International Symposium on Instrumentation Science and Technology «ISIST'2004», August 18-22,2004, Held in

Xi'an, China in 3 vol. / Ed. by prof. Tan Jiu-bin, prof. Wen Xian-fang. - Harbin: Harbin Institute of Technology Press, 2004. - Vol. 2. - P. 2-1016 - 2-1021. [Контроль геометрических параметров сквозных отверстий с помощью дифракционных фокусаторов]

2. Inspection of holes parameters using a ring diffractive focuser / P. Zavyalov at al.// Photonics in Measurement: [Proc.], 23-24 June 2004, Frankfurt. - Diisselldorf: VDI Verlag GmbH, 2004. - P. 433-443. [Контроль параметров отверстий с помощью дифракционных кольцевых фокусаторов]

3. Пат. 2245516 Российская Федерация, МПК G 01 С 11/30. Устройство контроля отверстий деталей [Текст] / Ю. В. Чугуй, Л. В. Финогенов, П. С. Завьялов, В. Г. Никитин, А. Р. Саметов ; опубл. 10.10.2004, Бюл. № 3.

4. 3D laser inspection of fuel assembly grid spacers for nuclear reactors based on diffraction optical elements / L.V. Finogenov, Yu.A Lemeshko, P.S. Zav'yalov, and Yu V Chugui // Measurement science and technology. - 2007. - Vol. 18. - № 6. - P. 1779-1785. [3D контроль дистанционирующих решеток тепловыделяющих сборок ядерных реакторов на базе дифракционных оптических элементов]

5. Finogenov L.V. Multiple-Ring Structured Light Method for Inspection of Fuel Assembly Grid Spacers for Nuclear Reactors / L.V. Finogenov, Yu.A. Lemeshko, P.S. Zav'yalov // Measurement 2007: Proceedings of the 6th International Conference on Measurement, Smolenice Castle, Slovakia, May 20-24, 2007. - P. 314-317. [Мультикольцевой метод структурного освещения для контроля дистанционирующих решеток тепловыделяющих сборок ядерных реакторов]

6. Трехмерный контроль дистанционирующих решеток тепловыделяющих сборок атомных реакторов на основе дифракционных оптических элементов [Текст] / П.С Завьялов, Ю.А. Лемешко, Л.В. Финогенов, Ю.В. Чугуй // Автометрия. - 2008. - Т.44, № 2. - С. 23-31.

7. Application of diffractive optical elements for inspection of complicated through holes / P. S. Zavyalov at al. // Proceedings of the 5th International Symposium on Instrumentation Science and Technology, Shenyang, China, Sept. 15 -18, 2008. - P. 744-753. [Применение дифракционных оптических элементов для контроля сквозных отверстий сложной формы]

8. Пат. 2334944 Российская Федерация, МПК G01B 11/24. Устройство контроля дистанционирующих решеток / П. С. Завьялов, М. Г. Зарубин, Ю. К. Карлов, П. И. Лаврешок, В. И. Ладыгин, Ю. А. Лемешко, Л. В. Финогенов, А. В. Чиннов, Ю.В. Чугуй В. П. Юношев; опубл. 27.09.2008, Бюл. № 27.

9. Using the Diffractive Optics for 3D Inspection of Nuclear Reactor Fuel Assembly Grid Spacers / L.V. Finogenov, Yu.A. Lemeshko, P.S. Zav'yalov // Measurement Science Review. 2008. — Vol. 8. Section 3, No. 3. - P. 71-77. [Использование дифракционной оптики для 3D контроля дистанционирующих решеток тепловыделяющих сборок атомных реакторов]

10. -3D Inspection of Fuel Assembly Components / A.V.Beloborodov, Y.V.Chugui, A.A.Guschina, Y.A.Lemeshko, L.V.Finogenov, P.S.Zav'yalov // Key Engineering Materials: Measurement Technology and Intelligent instrument IX. -2010. - Vol. 437. - P. 155-159. [3D контроль компонентов тепловыделяющих сборок]

Подписано в печать 05.05.2011. Формат 60x84/16. Гарнитура Тайме. Усл.печ.л. 0,9.

_Тираж 100 экз. Зак. 24._

Отпечатано в типографии ОАО «НИИсистем» Новосибирск-58, ул. Русская,39. т. 333-37-39.

Введение

1 Обзор оптико-электронных методов контроля отверстий

1.1 Телевизионные (визуальные) методы контроля

1.2 Интерференционные методы контроля

1.3 Триангуляционные методы контроля

1.4 Перфлектометрический метод контроля

1.5 Метод измерения на основе структурного освещения

1.5.1 Метод контроля отверстий на основе дифракционного фокусатора в кольцо

1.5.2 Метод многоточечного структурного освещения и лазерная измерительная машина на его основе

2 Метод контроля дистанционирующих решеток на основе мультикольцевых фокусаторов

2.1 Дистанционирующие решетки TBC и технические требования к

2.2 Суть метода контроля дистанционирующих решеток (ДР) на основе мультикольцевого фокусатора

2.3 Выбор и расчет параметров оптической системы для контроля

3 Разработка дифракционных мультикольцевых фокусаторов

3.1 Выбор способа расчета мультикольцевых фокусаторов (МКФ)

3.2 Габаритный расчет мультикольцевых фокусаторов

3.3 Расчет дифракционной структуры МКФ

3.4 Юстировка МКФ с помощью дополнительных котировочных дифракционных элементов

3.5 Изготовление и тестирование мультикольцевых фокусаторов

4 Расчет объектива для контроля отверстий 57 4.1 Теоретические основы расчета объектива для контроля отверстий

4.2 Расчет объектива на основе программного обеспечения Zemax

4.3 Анализ изображающих свойств рассчитанного объектива

4.4 Характеристики изготовленного объектива

4.5 Моделирование разработанной оптической системы

5 Методы обработки изображений и вычисления геометрических параметров ДР

5.1 Методы обработки информации при измерении геометрических параметров ДР

5.2 Идентификация полос структурного освещения на изображении

5.3 Сортировка и фильтрация данных радиального сканирования

5.4 Калибровка МКФ с помощью цилиндрического отверстия

5.5 Обработка изображений котировочных колец

5.6 Вычисление геометрических параметров ячеек

5.7 Вычисление геометрических параметров отверстий под канал и обода ДР

5.8 Графическое представление результатов измерения ДР

6 Экспериментальные исследования

6.1 Оптико-электронная система для контроля геометрических параметров дистанционирующих решёток» («Решётка-Н»)

6.2 Эксперименты по измерению ячеек

6.3 Измерение стандартных образцов решеток

6.4 Производственные испытания системы «Решетка-Н» 125 Заключение 129 Список литературы 132 Приложение

Актуальность работы. В ближайшие 20 лет в связи с исчерпанием ресурсов невозобновляемых энергоносителей прогнозируется существенное повышение роли атомной энергетики. Достижение высоких эксплуатационных и надёжностных характеристик ядерных реакторов в течение предусмотренных регламентом топливных циклов обеспечивается путем поддержания на соответствующем уровне технологий производства их тепловыделяющих сборок (TBC). В частности, это достигается за счет контроля геометрических параметров компонентов TBC, к которым предъявляются все более жесткие требования. Сборки отечественных реакторов ВВЭР-1000 и ВВЭР-440 имеют гексагональную форму и содержат несколько сотен тепловыделяющих элементов (ТВЭЛ) (диаметром порядка 9 мм и длиной от 2,5 до 4 м), 10 - 15 дистанционирующих решеток (ДР), расположенных через 250 мм, и несущий каркас. Решётка выполнена в виде сотовой структуры, в ячейках которой помещаются ТВЭЛы. С помощью ДР задается требуемое дистанционное расположение пучка ТВЭЛ в поперечном и продольном сечениях, что крайне важно для обеспечения необходимого теплового режима функционирования TBC. При отклонении положения ТВЭЛов от номинального возникают их локальные перегревы, которые приводят к выходу из строя всей TBC. Локальные перегревы появляются также в местах дефектов поверхности ТВЭЛов, образующихся, например, при сборке кассет с использованием дистанционирующих решеток, не удовлетворяющим допускам по геометрическим размерам. В связи с этим 100% трехмерному (3D) контролю подлежат ячейки и направляющие каналы дистанционирующих решеток, расстояния между их соседними ячейками и размеры «под ключ», характеризующие габариты TBC. Эта операция должна выполняться в темпе технологического конвейера (производительность контроля около 5 изделий в час).

В настоящее время контроль геометрических параметров дистанционирующих решеток на отечественных предприятиях осуществляется как контактным способом с использованием калибров и координатно-измерительных машин (КИМ), так и бесконтактным с использованием оптических средств на основе структурного освещения. За рубежом для этих целей используют КИМ в режиме выборочного контроля. Однако, контактный контроль калиброванными цилиндрами и шариками не даёт всей требуемой информации о геометрии решеток и в значительной степени зависит от человеческого фактора. Применение же КИМ, оснащённых контактными датчиками, связано с большими временными затратами (например, при контроле ДР лишь в одном сечении по высоте требуется более четырех часов).

Более перспективными для решения задачи 3D контроля дистанционирующих решеток являются бесконтактные оптико-электронные средства с использованием структурного освещения. Примером может служить созданная в КТИ НП СО РАН (2000 г.) лазерная измерительная машина, предназначенная для размерного контроля шестигранных дистанционирующих решёток с микрометрическим разрешением. Она имеет производительность в 300 раз выше, чем у существующих КИМ, благодаря выбору в качестве зондирующего поля матрицы лучей, освещающих контролируемую поверхность ячейки ДР.

В настоящее время существенно расширилась номенклатура выпускаемых шестигранных решёток. При этом заметно возросли требования к точности измерения параметров ДР вследствие улучшения технологии их изготовления. Так, допустимая погрешность измерения диаметров ячеек решёток снизилась с ±0,03 до 0,01 мм. Более того, в связи с выходом российских предприятий на мировой рынок началось производство TBC западного типа с квадратными ДР. Так как созданная ранее система не удовлетворяет существующим требованиям по погрешности измерения и предназначена для контроля только некоторых из существующих типов российских ДР, то актуальными являются работы по созданию других, более совершенных методов контроля.

Новые измерительные возможности открываются при использовании для зондирования ячеек кольцевого структурного освещения. Такой тип освещения в виде одинарного светового кольца апробирован нами* при контроле размеров сквозных цилиндрических отверстий в одном поперечном сечении. Однако в этом случае для измерения отверстия по всей длине световое кольцо необходимо перемещать относительно контролируемого объекта, что приводит к усложнению измерительной системы и значительным временным затратам. Увеличение быстродействия можно достичь путем освещения внутренней поверхности ЗБ объекта мультикольцевым световым зондом, который может быть создан на основе дифракционного оптического элемента (ДОЭ). Этот элемент позволяет формировать с высокой точностью зондирующее световое поле (с отклонением волнового фронта от заданного в доли длины волны), структура которого оптимально согласуется с конфигурацией объекта контроля. Применительно к контролю решёток разработка такого метода требует проведения комплекса исследований как по расчёту и синтезу мультикольцевых фокусаторов с требуемыми характеристиками, так и по разработке объектива для преобразования ЗО структурных изображений элементов дистанционирующих решёток в 21) проекции с последующей их регистрацией и обработкой.

Целью настоящей диссертации является исследование и разработка на основе дифракционных оптических элементов нового бесконтактного метода ЗО контроля геометрических параметров дистанционирующих решеток широкой номенклатуры, создание образца измерительной системы и его испытания.

Задачи исследований:

1. Разработка мультикольцевого оптико-электронного метода для измерения геометрических параметров шестигранных (российских) и квадратных (зарубежных) дистанционирующих решеток.

2. Разработка способов расчета и методик экспериментальных исследований характеристик дифракционных мультикольцевых фокусаторов (МКФ), формирующих структурное освещения контролируемых элементов (ячеек, отверстий под канал, обода) дистанционирующих решеток в виде ряда световых колец(10 — 20 шт.) равного диаметра (порядка 10 мм), расположенных вдоль оси с шагом 0,5 - 1 мм.

3. Проектирование специализированного объектива для геометрических преобразований ЗЭ структурных изображений элементов дистанционирующих решеток (диаметром 9-15 мм и длиной 5-16 мм) в их плоские проекции, разработка оптической схемы, реализующей предложенный.метод, и ее компьютерное моделирование.

4. Разработка и экспериментальная проверка методов обработки структурных изображений контролируемых поверхностей дистанционирующих решеток широкой номенклатуры для определения с высокой точностью (погрешность менее 0,01 мм) и быстродействием (5 изделий в час) их геометрических характеристик.

5. Экспериментальные исследования предложенного метода контроля дистанционирующих решеток, разработка на его основе1 системы ЗБ контроля решеток и её испытания.

Методы исследований. При выполнении работы использовались методы геометрической и волновой оптики, теория преобразования и обработки сигналов, а также компьютерное моделирование и физический эксперимент.

Научная новизна; Новыми результатами работы являются:

1. Метод ЗБ контроля геометрических параметров дистанционирующих решёток путем их многоканального зондирования (по глубине) последовательностью световых колец и восприятия изображений объективом для контроля отверстий (патент РФ №2334944), который в отличие от - известных позволяет измерять геометрические параметры дистанционирующих решеток широкой номенклатуры (как шестигранные, так и квадратные), а также контролировать сквозные отверстия различной конфигурации;

2. Способы расчёта мультикольцевых фокусаторов для формирования-последовательности световых зондирующих колец с малой; шириной (50 - 100 мкм) с использованием итерационной процедуры минимизации неравномерности интенсивностей световых колец (до 1 %).

3. Рассчитанный и созданный впервые специализированный объектив (для контроля отверстий), позволяющий определенным образом осуществлять геометрические преобразования ЗП структурированных (в виде полос) изображений элементов дистанционирующих решёток в их 20 проекции.

4. Методы обработки двумерных проекций ЗП структурных изображений контролируемых объектов с учётом неоднородных отражающих свойств их поверхностей и спекл-шумов, обеспечивающие с высокой: точностью и быстродействием определение координат центров полос: Разработанные методы вычисления геометрических параметров* элементов дистанционирующих решёток позволяют, как установлено: экспериментально,, определять диаметры ячеек и положение их центров с погрешностями не более 5 и 12 мкм соответственно. .

Основные положения, выносимые на защиту:

1. Разработанный- мультикольцевой метод позволяет производить бесконтактные измерения геометрических параметров существующей номенклатуры ДР" российского и западного типов , с микрометрическим^ разрешением путем их многоканального зондирования по глубине световыми кольцами, генерируемыми дифракционными оптическими элементами, с последующим преобразованием объективом для- контроля отверстий ЗБ структурных; изображений элементов ДР в их 2Э проекции.

2. Разработанные способы расчета- мультикольцевых фокусаторов и-существующие средства формирования волновых фронтов с помощью лазерньгх; генераторов; изображений кругового типа позволяют создать дифракционные оптические элементы, формирующие одновременно до 20 световых колец шириной 50 - 100 мкм при уровне неравномерности их интенсивности ¡менее 1 %.

3. Рассчитанный специализированный объектив (для контроля отверстий) путем преднамеренного введения в определенном соотношении! астигматизма, кривизны поля и дисторсии обеспечивает преобразование протяженных по глубине элементов дистанционирующих решеток в их плоские проекции с радиальным разделением сечений объекта на изображении.

4: Разработанный оптико-электронный метод контроля ДР с использованием мультикольцевых фокусаторов, специализированного» объектива для контроля отверстий, а также комплекса программно-аппаратных средств для обработки изображений и вычисления) геометрических параметров элементов; ДР' позволяет, как: установлено экспериментально^ определять диаметры ячеек и положение их центров, с погрешностями не,более 5 и 12 мкм соответственно:

Личный вклад.- В работе использованы результаты, полученные лично автором; или; при его непосредственном« творческом участии в проведении: теоретических и. экспериментальных: исследований. Автором предложен метод синтеза! мультикольцевых фокусаторов для1 формирования зондирующего освещения, рассчитан объектив для геометрических преобразований ЗБ структурных изображений элементов решеток. Он являлся« ответственным исполнителем работ по разработке системы контроля ДР «Решетка-Н».

Практическая ценность и реализация результатов. Предложенный мультикольцевой метод контроля, способ расчета; мультикольцевых фокусаторов;, метод расчета объектива для формирования плоских: проекций протяженных: отверстий, а также методы обработки структурных изображений^ составляют арсенал новых средств для создания сптико-электронных . приборов размерного ЗО-контроля: изделий с отверстиями« различной конфигурации, которые могут найти применение в авиационной, машиностроительной, оптико-механической и других отраслях промышленности.

Результаты работы использованы при проведении НИР, а затем ОКР «Универсальная оптико-электронная система для контроля геометрических параметров дистанционирующих решёток» в интересах ОАО «НЗХК» и концерна «ТВЭЛ». Разработанная система «Решетка-Н» находится в опытной эксплуатации в ОАО «НЗХК» с января 2009 г.

Апробация работы. Результаты диссертации докладывались на следующих международных и отечественных конференциях и семинарах: VIII Международная конференция «Актуальные проблемы электронного приборостроения», г. Новосибирск, 2006 г.; «Measurement 2007», Smolenice Castle, Slovakia, May 20-24, 2007; The Eighth International Conference "Correlation Optics", Chernivtsi, Ukraine, September 11-14, 2007; 5th International Symposium on Instrumentation Science and Technology, Shenyang, China, Sep. 15 - 18, 2008; ISMTII-2009, The 9th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, 29 June - 2 July 2009, Saint-Petersburg; Symposium Nanometrology PTB Braunschweig -TDI SIE Novosibirsk, PTB, Braunschweig, 21.04. - 23.04.2009.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 16 научных работ, в том числе в- двух патентах РФ, 4 научных статьях (в рецензируемых журналах из списка ВАК), 10 статей в материалах международных конференций.

Структура и объем диссертации. Работа включает введение, шесть глав, заключение, список литературы из 37 наименований и приложение. Диссертация изложена на 138 страницах и содержит 62 рисунка и 16 таблиц.

Заключение

В настоящей работе решена задача разработки, создания и внедрения системы контроля геометрических параметров дистанционирующих решёток.

В работе представлен предложенный автором новый мультикольцевой метод ЗБ контроля геометрии дистанционирующих решеток на основе дифракционных оптических элементов, формирующих структурное освещение в виде последовательности световых колец (мультикольцевые фокусаторы). Теоретически и экспериментально показано, что метод позволяет контролировать как отечественные шестигранные дистанционирующие решетки, так квадратные решетки западного типа.

Предложен способ синтеза мультикольцевых фокусаторов (МКФ) для метода контроля ДР, заключающийся в синтезе ДОЭ-голограммы, который всей своей поверхностью генерирует N световых колец равного диаметра с определенным шагом вдоль оси. Автором предложены и разработаны способ расчета дифракционной структуры таких МКФ, способ расчета формируемого распределения интенсивности световых колец на основе численного решения интеграла Френеля - Кирхгофа и процедура минимизации ошибок интенсивностей световых колец, позволяющий уменьшить такие ошибки с 20 - 50 % до величин менее 1%. Изготовлены с помощью Круговой лазерной записывающей системы СЬ\\^8-300С/М четыре типа МКФ, позволяющие контролировать существующую номенклатуру дистанционирующих решеток.

Автором рассчитан с использованием программы 2ЕМАХ и изготовлен специализированный объектив (для контроля отверстий) для геометрических преобразований протяженных по глубине структурированных изображений элементов дистанционирующих решёток в их плоские аналоги. Благодаря увеличенным аберрациям (астигматизм, кривизна поля и дисторсия) объектив формирует плоское изображение внутренних поверхностей отверстий в широком диапазоне их диаметров И (8 - 100 мм) и длин Ь < (1 2)х£>. Представлен метод расчета такого объектива с помощью ПО ZEMAX, проанализированы его изображающие свойства. Показано, что характерным свойством такого объектива является большая кривизна поля в пространстве объектов, которая достигается за счет большого астигматизма. Вследствие этого объектив имеет лучшее разрешение в радиальном направлении (около 45 линий/мм), чем в сагиттальном (около 8 линий/мм), и поэтому оптимально подходит применим для формирования изображения полос структурного освещения. Проведено моделирование разработанной оптической системы в среде 2ЕМАХ, в процессе которого рассчитана, зависимость интенсивности изображений кольца от его положения вдоль оптической оси, которая использовалась при расчете мультикольцевых фокусаторов. Показано, что выбором интенсивностей световых колец по определенному закону достигается значительное (на порядок) снижение неравномерности интенсивности их изображений.

Разработаны методы обработки изображений, позволяющие с;высокой точностью и быстродействием определять координаты полос структурного освещения на регистрируемом изображении, и работающие при наличии ряда мешающих факторов (спекл-шум, неоднородности контролируемой поверхности). Созданы методы вычисления геометрических параметров элементов ДР исходя из их структурных изображений, а также методы юстировки и калибровки оптической системы, позволяющие экспериментально определять диаметры ячеек и положение их центров с погрешностями не более 5 и 12 мкм соответственно.

Разработано программное обеспечение системы «Решетка-Н», позволяющее наглядно представить результаты контроля всей решетки в виде набора диаграмм, а также детальную информацию для каждого отдельного элемента ДР (ячейки, ОПК, обод).

Проведены экспериментальные исследования, производственные испытания и метрологическая аттестация разработанной системы контроля ДР «Решетка-Н». Получены следующие погрешности измерений:

• погрешность измерения диаметров шестигранных ячеек - 0,0053 мм,

• погрешность измерения положения центров ячеек - 0,012 мм,

• погрешность измерения расстояния между противоположными пуклями ячеек квадратной ДР - 0,0088 мм,

• погрешность измерения диаметра отверстия под канал шестигранной ДР-0,016 мм;

• погрешность измерения расстояния между противоположными стенками отверстия под канал квадратной ДР — 0,024 мм;

• время измерения одной ДР - 11 - 15 мин.

Полученные характеристики полностью удовлетворяют требованиям, предъявляемым к системе контроля геометрических параметров дистанционирующих решеток.

Стабильность измерений подтверждена большим объёмом измеренных изделий, хорошим соответствием с результатами контроля контактными, метрологически аттестованными, средствами. Система «Решетка-Н» способна контролировать геометрические параметры ДР всех требуемых типов. Проведенные исследования и полученные результаты доказали верность расчетов и теоретических оценок, выполненных автором в процессе разработки нового метода контроля ДР.

Разработанная система с января 2009 г. находится в эксплуатации в ОАО «НЗХК», г. Новосибирск. За это время системой проконтролировано несколько тысяч дистанционирующих решеток. Эксплуатация системы «Решетка-Н» позволила, используя методы статистического регулирования, стабилизировать технологический процесс изготовления ДР и уменьшить количество доработок в изделиях, и соответственно повысить рентабельность производства.

1. От первой в мире АЭС к атомной энергетике XXI века: Сборник тезисов, докладов и сообщений 10-й Ежегодной Конференции Ядерного Общества России, 28 июня - 2 июля 1999 г. Москва, издательство Rity «ФЭН».

2. JSC TVEL Nuclear fuel for power and research reactors. Russian business agency. Moscow, 2001.

3. VVER nuclear fuel production, JSC Novosibirsk Chemical Concentrates Plant (NCCP). Novosibirsk, 2001.

4. О. И. Битюцкий, В. В. Вертопрахов, А. А. Гущина и др. Трехмерный бесконтактный контроль геометрических параметров дистанционирующих решеток ядерных реакторов // Автометрия. 2003. Т. 39. - № 5. - С. 4 - 18.

5. Пат. 2334944 Российская Федерация. Устройство контроля дистанционирующих решеток Текст. / П. С. Завьялов, М. Г. Зарубин,

6. Ю. К. Карлов, П. И. Лавренюк, В. И. Ладыгин, Ю. А. Лемешко, Л. В. Финогенов, А. В. Чиннов, Ю.В. Чугуй В. П. Юношев; от 27.09.2008.

7. Хацевич Т.Н., Михайлов И.О. Эндоскопы: Учеб. пособие: -Новосибирск: СГГА, 2002. 196 с.

8. Описание изобретения к авторскому свидетельству СССР № 2030866. Устройство для автоматического обнаружения дефектов на внутренних поверхностях труб. М. М. Русинов, Э. М. Лившиц и Д. М. Румянцев. Опубл. 17.03.1976.

9. Описание изобретения к авторскому свидетельству СССР № 934219. Устройство для контроля качества обработки отверстий деталей. А. Н. Кузнецов. Опубл. 30.11.1980.

10. Описание изобретения к авторскому свидетельству СССР № 3222588. Устройство для контроля качества поверхности цилиндрических отверстий. В. М. Суминов, А. А. Гребнев, Е.И. Гребнюк, Г. Р. Кречман и А. В. Уваров. -Опубл. 25.06.82.

11. В. А. Веснина. Оптико-механические методы и приборы для измерения внутренних размеров деталей. // Оптико-механическая промышленность, 1974. № 6. - С. 55 - 63.

12. И. И. Духопел, Т. В. Симоненко. Метод непосредственного контроля прямолинейности образующей цилиндрических поверхностей. // Оптико-механическая промышленность, 1973, № 7. - С. 3 - 6.

13. Битюцкий О.И., Вертопрахов В. В., Ладыгин В. И., Пастушенко А. И., Плотников С.В., Чугуй Ю. В., Юношев С. П. Оптико-электронная система бесконтактного контроля геометрических параметров полых цилиндров. // Автометрия. 1996, - №6. - С. 69 - 74.

14. А. Г. Иванов, Измерительные приборы в машиностроении, М.: Издательство стандартов, 1981 г.

15. Логачева Л. Н. // Измерительная техника. — 1965. №2.

16. Т. Peng and S.K. Gupta. Model and algorithms for point cloud construction using digital projection patterns. ASME Journal of Computing and Information Science in Engineering. 2007. 7(4): 372-381.

17. A Practical Structured Light Acquisition System forPoint-Based Geometry and Texture / F. Sadlo, T. Weyrich, R. Peikert, M. Gross. // Proceedings of the Eurographics Symposium on Point-Based Graphics. 2005.

18. Compressive structured light for recovering inhomogeneous participating media / Jinwei Gu, Shree Nayar, Eitan Grinspun, Peter Belhumeur, and Ravi Ramamoorthi // 10th European Conference on Computer Vision, ECCV 2008; Marseille; 12 -18 October 2008.

19. H. Dammann, E.G. Churin, V.P. Koronkevich, V.P. Korolkov et al, "Polar coordinate laser pattern generator for fabrication of diffractive optical elements with arbitrary structure", Appl. Opt., 1999. 38, pp. 1295 - 1301,.

20. H. M. Синев, Б. Б. Батуров, Экономика атомной энергетики. М.: Эрергоатомиздат, 1984. - С. 302.

21. Трехмерный контроль дистанционирующих решеток тепловыделяющих сборок атомных реакторов на основе дифракционных оптических элементов / П. С. Завьялов, Ю. А. Лемешко, Л. В. Финогенов, Ю. В. Чугуй // «Автометрия». 2008. Т. 44. - № 2. - С. 23 - 31.

22. Application of diffractive optical elements for inspection of complicated through holes. Yu V Chugui // Proceedings of the 5th International Symposium on1.strumentation Science and Technology, Shenyang, China, Sep. 15 18, 2008. -P. 744-753.

23. Yu.A Lemeshko, L. V. Finogenov, P.S. Zav'yalov Using the Diffractive Optics for 3D Inspection of Nuclear Reactor Fuel Assembly Grid Spacers. Measurement science REVIEW. 2008, V.8. - Section 3. - No.3. - P. 74 - 77.

24. A. V. Beloborodov, Yu. V. Chugui, L. V. Finogenov, A. A. Guschina, Yu. A. Lemeshko, P. S. Zavyalov. 3D Inspection of Fuel Assembly Components. Key Engineering Materials, Vol. 437 (2010), pp. 155 159.

25. Дифракционная компьютерная оптика. / Под ред. В. А. Сойфера. Физматлит, 2007. С. 105 114.

26. Дифракционная компьютерная оптика. / Под ред. В. А. Сойфера. Физматлит, 2007. С. 175 191.

27. Слюсарев Г. Г. Расчет оптических систем. JL: Машиностроение, 1975. -С. 584-588.

28. А. В. Самохвалов. Проблемы оптического контроля. Новосибирск, Наука 1990 г. стр. 40 - 114.

29. В. В. Сотников. Обработка сигналов в лазерных триангуляционных измерителях геометрических параметров движущихся объектов. // Автометрия. -2009. № 6. - С. 52 - 60.

30. Плотников С. В. Сравнение методов обработки сигналов в триангуляционных измерительных системах. // Автометрия. 1995 г. - № 6. -С. 58-63.