автореферат диссертации по машиностроению и машиноведению, 05.02.01, диссертация на тему:Технология получения и процессы перемагничивания пленочных магнитов из сплава системы Nd-Fe-B

ГЛАВА 1. ПЛЕНОЧНЫЕ МАГНИТЫ СПЛАВА Nd-Fe-B (ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР)

1.1. Применение постоянных пленочных магнитов в микроэлектромеханических системах

1.2. Классификация пленочных магнитов

1.2.1. Пленочные магниты на основе редкоземельного и 3d-nepe-ходного металлов

1.2.2. Пленочные магниты на базе переходных металлов

1.2.3. Ферритовые пленки

1.2.4. Композитные магнитные пленки

1.3. Преимущества пленочных магнитов из сплава Nd-Fe-B

1.4. Кристаллическая структура соединения Nd2Fei4B и фазовый состав в системе Nd-Fe-B

1.5. Природа высококоэрцитивного состояния в массивных магнитах сплава Nd-Fe-B.

1.5.1. Влияние фазового состава на магнитные свойства

1.5.2. Температурное поведение магнитных свойств

1.5.3. Процессы перемагничивания постоянных магнитов

1.6. Общие факторы, влияющие на формирование структуры и кристаллической текстуры в пленках при напылении

1.7. Влияние режима напыления на магнитные свойства и кристаллическую структуру пленок сплава Nd-Fe-B

1.8. Влияние режима термического отжига аморфных пленок на формирование магнитных свойств

1.9. Влияние материала подложки на свойства и текстуру пленок

Развитие приборостроения, электронной техники, средств коммуникации требуют увеличения компактности изделий. Одним из путей миниатюризации приборов и создания микроприборов нового поколения является переход к технологии создания пленочных магнитов и их систем.

Разработка технологии получения магнитных пленок неплоской конфигурации позволит использовать пленки в принципиально новых приборах микроэлектроники и другой техники.

Практическое использование пленок зависит от наличия как можно более полной информации о режимах получения магнитных свойств, кристаллической текстуре, закономерности изменения магнитных свойств в области низких температур и распределении магнитного поля над пленкой, а также детально разработанной технологии получения высоких значений коэрцитивной силы. В настоящее время литературные сведения по получению перечисленных выше свойств отсутствуют или являются неполными.

На международных конференциях по новым материалам, в том числе и магнитных, подчеркивается определяющая роль новейших технологий, наиболее перспективной из которых является ионно-плазменное напыление пленочных магнитов на основе сплава Nd-Fe-B с относительно большими скоростями 10-30 мкм/ч путем распыления сплава мишени ионами аргона. Эффективное использование дорогостоящих РЗМ-материалов лучше всего реализуется на практике при их напылении.

Отличительная черта магнитных пленок сплава Nd-Fe-B - наличие кристаллической текстуры, перпендикулярной плоскости пленок. Более высокое значение коэрцитивной силы пленочных магнитов по сравнению с заявленным в патенте от 2000 года [1], равного 880 кА/м (11 кЭ), можно получить методом ионно-плазменного напыления.

В ряде работ [2; 3] показано, что определяющим фактором в образовании кристаллической текстуры с осью (100), перпендикулярной плоскости пленки, является температура подложки при напылении. Однако открытыми остаются вопросы о механизмах формирования кристаллической структуры из аморфного состояния после процесса напыления и о природе влияния последующей температурной обработки.

Важным в понимании формирования магнитных характеристик пленок является исследование условий возникновения кристаллической текстуры пленок и ее однородности, так как именно однородность текстуры обеспечивает высокое значение остаточной индукции материала.

С точки зрения физических свойств, пленочные магниты — особый объект с максимальным влиянием размагничивающего фактора формы, который препятствует возникновению значительных магнитных потоков в направлении, перпендикулярном плоскости пленки.

На защиту выносятся следующие основные результаты и положения:

- закономерности влияния режимов напыления на кристаллическую структуру и магнитные свойства пленок;

- закономерности влияния температуры и длительности отжига пленок на процесс кристаллизации из аморфного состояния и на их магнитные свойства;

- способ получения высокой коэрцитивной силы в режиме короткого низкотемпературного отжига аморфных пленок;

- роль материала подложки в получении кристаллической текстуры и магнитных свойств пленок;

- закономерность распределения магнитных свойств пленок от их расположения на подложке;

- способ формирования магнитных пленок, имеющих конфигурацию тел вращения;

- закономерности формирования высококоэрцитивного состояния в пленках;

- совместное влияние степени кристаллической текстуры и спин-ориентационного перехода на гистерезисные свойства пленочных магнитов;

- топография магнитного поля вокруг пленок различной конфигурации;

- применение пленочных магнитов в микроприборах.

выводы

1. В результате исследования влияния температуры подложки при ионно-плазменным напылении аморфных и кристаллических пленок со скоростью 20 мкм/ч установлена температура начала кристаллизации Ткрист = 520 °С.

2. Анализ изученных режимов отжига показал, что кристаллические пленки на основе сплава Nd-Fe-B достигают высоких значений коэрцитивной силы в процессе впервые примененного короткого отжига аморфных пленок, напыленных при температуре в интервале 320 - 370 °С. Отжиг заключается в нагреве пленок до температуры 530 - 550 °С и выдержке менее 1 минуты с последующим охлаждением.

3. Установлено, что текстура, которая возникает в пленках во время их кристаллизации, обусловлена влиянием температуры подложки при напылении и материалом из которого она сделана. Наилучшие результаты по формированию кристаллической текстуры вдоль нормали к плоскости пленки получены при осаждении на подложки из никеля, молибдена и гематита: Ir/I(30 кЭ) = 92 % при намагничивании в поле 2400 кА/м (30 кЭ). Лучший результат по созданию высокого коэрцитивного состояния в бестекстурных пленках получен на медной подложке, при этом коэрцитивная сила составила 2400 к А/м (30 кЭ).

4. Напылением пленок на сферические и цилиндрические подложки диаметром 3-5 мм, впервые реализована возможность создания радиальной кристаллической текстуры. При подобранных технологических режимах формирования высокого коэрцитивного состояния были созданы полуцилиндрические и полусферические магнитотвердые пленки, Не которых имеет значения до 2000 к А/м (25 кЭ) в направлении текстуры.

5. Получены доказательства того, что лимитирующим звеном в процессе перемагничивания текстурованных пленок на основе соединения Nd-Fe-B является образование зародышей обратной намагниченности. В отличие пленок от спеченных магнитов на основе сплава Nd-Fe-B большая часть зерен уже в малых магнитных полях переходит в однодоменное состояние и сохраняет его при всех дальнейших изменениях поля.

6. В пленочных и в спеченных магнитах на основе соединения Nd2Fei4B спинориентационный переход от анизотропии типа "легкая ось" к анизотропии типа "конус легких осей", имеющий место при значениях температуры примерно 130 К, приводит к снижению остаточной намагниченности и намагниченности в максимальном использованном магнитном поле для случая идеальной текстуры. При несовершенстве кристаллической текстуры намагниченность в максимальном используемом поле растет, а остаточная намагниченность уменьшается с ростом степени разориентировки кристаллитов. "Прогиб" на кривых размагничивания возникает только тогда, когда кроме спинориентационного перехода в материале имеет место значительное несовершенство кристаллической текстуры. Значения коэрцитивной силы магнитных пленок при температуре 4,2 К возрастают до 4400 кА/м (55 кЭ).

7. Показана возможность использования магнитотвердых перпендикулярно текстурованных пленок в новых приборах, работающих по принципу электромагнитного взаимодействия. Предложены три полезные модели: плоский магнитопленочный двигатель, картотечный носитель информации и рекламный мультипликатор управляемый магнитосенсорами.

1. Araki Т., Tani Y., Ikeda H., Okabe М. Thin film magnet and production method thereof — Patent № US00RE36517E, reissued: Jan. 18, 2000.

2. Векшин Б. С., Капитанов Б. А., Корнилов Н. В., Линецкий Я. Л., Соколовский С. Е., Цветков В. Ю. — А.С. № SU1705892, 15.01.92.

3. Корнилов Н. В., Линецкий Я. Л. Текстура и намагниченность напыленных постоянных магнитов Nd-Fe-B. — Известия вузов, Черн.мет., № 5, 1993, с. 42 45.

4. Sagawa М., Fujimuza S., Yamamoto Н., Tagawa N. New material for permanent magnets on a base of Nd and Fe. — J. Appl. Phys. vol. 55, № 6, March 1984, pp. 2083 2087 .

5. Cadieu F. J., Cheung T. D., Wickramasekara L. Magnetic properties of sputtered Nd-Fe-B films. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 54 57, 1986, pp. 535 - 536.

6. Cadieu F. J., Cheung T.D., Wickramasekara L., Kamprath N. High iHc perpendicular anisotropy Nd-Fe-B sputtered films. — IEEE Trans. Magn., vol. 22, № 5, Sept. 1986, pp. 752 754.

7. Cadieu F. J., Cheung T. D., Wickramasekara L., Kamprath N., Hegde H., Liu N. C. The magnetic properties of high iHc Sm-Co, Nd-Fe-B, and Sm-Ti-Fe films crystallized from amorphous deposits. — J. Appl. Phys., vol. 62, 1987, pp. 3866 -3868.

8. Tsai J. L., Huang E. Y., Chin T. S., Chen S. K. Magnetic properties and interaction effect in sputtered Nd2Fei4B films. — IEEE Trans. Magn., vol. 33, № 5, Sept. 1997, pp. 3646 3648.

9. Terazawa K., Serrona L., Okuda Т., Adachi N., Sakamoto I., Nakanishi A. Nd-Fe-B thin films of high coercivity prepared by post-annealing. — Proc. of the sixteenth int. workshop on REM magn. and their appl. 2000, pp. 393 401.

10. Homburg H., Sinnemann Th., Methfessel S., Rosenberg M., Gu B.X. Sputtered Nd-Fe-B films of high coercivity. — J. Magn. Magn. Mat., vol.83, 1990, pp. 231 -233.

11. Linetsky Ya. L., Kornilov N. V. Structure and magnetic properties of sputtered Nd-Fe-B alloys. — JMEREG, vol. 4, № 2, April 1995, pp. 188 195.

12. Aylesworth K. D., Zhao Z. R., Sellmyer D. J. Growth and control of the microstructure and magnetic properties of sputtered Nd2Fei4B films and multilayers. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 82, 1989, c. 48 56.

13. Shima Т., Kamegawa A., Aoyagi E., Hayasaka Y., Fujimori H. Magnetic properties and structure of Nd-Fe-B thin films with Cr and Ti underlayers. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 177 181, 1998, pp. 911 - 912.

14. Steyaert S., Le Breton J. M., Parhofer S., Kuhrt C., Teillet J. A Mossbauer investigation of sputtered Nd-Fe-B thin films and Nd-Fe-B/Fe/Nd-Fe-B trilayers. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 196 197, 1998, pp. 48 - 50.

15. Panagiotopoulos I., Nicolaides G. K., Psycharis V., Niarchos D. The effect of shape anisotropy on the spin reorientation in Nd2Fei4B films. — J. Alloys and Сотр., vol. 205, 1994, pp. 45 47.

16. Kapitanov V. A., Kornilov N. V., Linetsky Ya. L., Tsvetkov V. Yu. Sputtered permanent Nd-Fe-B magnets. — J. Magn. Magn. Mat., vol.127, 1993, pp. 289 -297.

17. Векшин Б. С., Капитанов Б. А., Корнилов Н. В., Линецкий Я. JL, Райгородский В. М., Цветков В. Ю. Напыленные постоянные магниты. — Электроника., № 11, 1989, с. 18 20.

18. Nakanishi A., Ueda М., Okuda Т., Mizutani N., Nishiyama J., Motokawa M., Wang Z., Adachi N., Ohsato H. Compositional and structural study of RF-sputtered Nd-Fe-B thin film. — J. Magn. Magn. Mat., 196 197, 1999, pp. 295 - 296.

19. Mapps D. J., Chandrasekhar R., Grady К. O., Cambridge J., Long A. P., Doole R. Magnetic properties of Nd-Fe-B thin films on platinum underlayers. — IEEE Trans. Magn., vol. 33, № 5, Sept. 1997, pp. 3007 3009.

20. Lemke H., Muller S., Goddenhenrich Т., Heiden C. Influence of preparation conditions on the properties of sputtered Nd-Fe-B films. — Phys. Stat. Sol. (a) 150,1995, pp. 723-731.

21. Yamashita S., Yamasaki J., Ikeda M., Iwabuchi N. Anisotropic Nd-Fe-B thin film magnets for milli-size motor. — J. Appl. Phys., vol. 70. 1991, pp. 6627 -6629.

22. Chin T. S. Permanent magnet films for applications in microelectromechanical systems. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 209, 2000, pp. 75 79.

23. Madou M. Fundamentals of Micro fabrication. — CRC Press, Boca Raton, FL, 1997.

24. Rogge B. Microfabrication Technology. — Proc. Actuators, 1996, p.l 12.

25. Petersen К. E. Dynamic micromechanics on silicon: techniques and devices. — IEEE Trans. Elect. Dev. ED-25 (10), 1978, pp. 1241 1250.

26. Hosaka H. Electromagnetic microrelays: concepts and fundamental characteristics. — Sensors and Actuators, A 40,1994, pp. 41 47.

27. Yanagisawa K., Tago A., Ohkubo Т., Kuwano H. Magnetic micro-actuators. — Proc. IEEE MEMS Workshop'91, Nara, Japan, 1991, pp. 120 124.

28. Wagner В., Benecke W., Engelmann G., Simon J. Microactuators with moving magnets for linear, torsional or multiaxial motion. — Sensors and Actuators (a), 32,1992, pp. 598 603.

29. Nagaoka S. Micro-magnetic alloy tubes for swiching and splicing single-mode fibers. — Proc. IEEE (MEMS) Workshop'91, Nara, Japan, 1991, pp. 86 90.

30. Капитанов Б. А., Корнилов H. В., Линецкий Я. Л., Соколовский С. Е., Цветков В. Ю. Способ изготовления магнитных систем. — А.С. № 1817605, 26 сент. 1990 г.

31. Body С., Reyne G., Meunier G., Quandt E., Seemann K. Application of Magnetostrictive thin films for Microdevices. — IEEE Trans. Magn., vol. 33, № 2, March 1997, pp. 2163 2166.

32. Quandt E., Gerbach В., Seemann K. Preparation and application of magnetostrictive thin film. — J. Appl. Phys. vol. 76, № 10, 1994, pp. 7000 -7002.

33. Quandt E., Seemann K. Fabrication of giant magnetostrictive thin film actuators. — Proc. IEEE MEMS'95, Amsterdam NL., 1995, pp. 273 277.

34. Honda Т., Arai К. I., Yamazuchi M. Fabrication of magnetostrictive actuators using rare-earth Tb-Sm.-Fe thin films. — J. Appl. Phys. vol. 76, № 10, 1994, pp. 6994 6999.

35. Miyamoto Y., Watanabe K., Nakagawa S., Naoe M. MR Characteristics of Ni8.Fei9/Cu multilayers deposited by Kr sputtering with Ar Ion bombardment on interfaces. — IEEE Trans. Magn., vol.33, № 5, Sept. 1997, pp. 3523 -3525.

36. Uenishi Y., Yasuda К., Hara S. Precise stiffness measurements system for micromechanical structures, Int. — J. Jpn. Soc. Precision Eng., vol. 26, № 2, 1992, pp.160 161.

37. Pearce D. H., Hooley A. Button T. W. On piezoelectric super-helix actuators. — Sens. Act., vol. 100, № 2 — 3, 1 Sept. 2002, pp. 281 286.

38. Sakata M. An electrostatic microactuator for electro-mechanical relay, Proc. IEEE (MEMS) Workshop'89, Salt Lake City, UT, USA, 1989, pp. 149-151.

39. Lee H. -S., Leung С. H., Shi J., Chang S. -C. Electrostatically actuated copper-blade microrelays, — Sens. Act., vol. 100, № 1, 15 Aug. 2002, pp. 105 113.

40. Abadie J., Chaillet N. Lexcellent C. An integrated shape memory alloy micro-actuator controlled by thermoelectric effect, Sens. Act., vol.99, № 3, June 2002, pp. 229 336.

41. Yamazumi S. Film magnet motor. — Japanese patent application, № 03201240, filled 15.07.91.

42. Toshikazu F., Toshihiro K. Hall element — European patent application, № 87106157.8, filled 28.04.87.

43. Glenn M. Encapsulated hall effect device. — US patent, № 4,188,605; issued on Feb. 12, 1980.

44. Bajorek. С. H., Thompson D. A. Magnetoresistance converters on permanent magnets. — IEEE Trans. Magn. 11, 1975, pp.1209 1211.

45. Liakopoulos Т. M., Zhang W., Ahn С. H. Micromachined thick permanent magnet arrays on silicon wafers. — IEEE Trans. Magn., 32, № 5, Sept. 1996, pp.5154-5156.

46. Hatta S. I., Shiono Т., Adachi H., Wasa K. Magnetic Properties of PtMnSb sputtered films — Jpn. J. Appl. Phys. Lett., Part 2, 26, 1987, pp. 2082 2084.

47. Klopzig M. The linear electromagnet actuator. — Proceedings of the sixth int. conf. on new actuators, Bremen, Germany, 1998, pp. 548 550.

48. Hedge H., Jen S.U., Chen K., Cadieu F.J. Film Sm-Co permanent magnets for the biasing of thin permalloy strips. — J. Appl. Phys., vol. 73, 1993, pp. 5926 5928.

49. Levy M., Scarmozzio R., Osgood R.M., Wolfe R., Cadieu F.J., Hedge H., Gutierrez C.J., Prinz G.A. Permanent magnet film magneto-optic waveguide isolatior. — J. Appl. Phys. vol. 75, 1994, pp. 6286 6288.

50. Levy M., Osgood R.M., Hedge H., Cadieu F.J., Wolfe R., Fratello V.J. Sm-Co film magneto-optic waveguide isolatior. — IEEE Photonics Tech.Lett. 8, 1996, pp. 903 905.

51. Kato H., Nomura Т., Ishizone M., Kubota H., Miyazaki Т., Motokawa M. Magnetic properties of c-axis oriented SmFe^AFe nanocomposite films. — J. Appl. Phys., vol. 87, № 9, May 2000, pp. 6125 6127.

52. Cadieu F. J., Hegde H., Navarathna A., Rani R., and Chen K. High energy product ThMn^ Sm-Fe-T and Sm-Fe permanent magnets synthesized as oriented sputtered films. — Appl. Phys. Lett., vol. 59, 1991, pp. 875 877.

53. Stadelmaier H.H., Cadieu F.J., Liu N.C. Fe-Ti-Rare-earth compounds with the tetragonal Mn^Th structure type. — Mater. Lett., vol. 6, № 3, Dec. 1987, pp. 80-81.

54. Okada M., Kojima A., Yamagishi K., Homma M. High coercivity in melt-spun SmFe10(Ti,M)2 ribbons (M = V/Cr/Mn/Mo). — IEEE Trans.Magn. 26, 1990, pp. 1376 1378.

55. Pinkerton F. E., Van Wingerden D. J. Magnetic hardening of SmFei0V2 by melt-spinning. — IEEE Trans.Magn. 25, 1989, pp. 3306 3308.

56. Strzeszewski J.,Yang Y. Z., Singleton E. W., Hadjipanayis G. C. High coercivity in Sm(FeT)12 type magnets. — IEEE Trans. Magn. 25, 1989, pp. 3309-3311.

57. Zhang L. Y., Boltich E. В., Sinha V.K., Wallace W.E. Structure and magnetism of the RTiFen compounds (R = Gd, Tb, Dy, Ho and Er). — IEEE Trans. Magn., 25, 1989, pp. 3303 3305.

58. Hu Bo-Ping, Li Hong-Shuo, Coey J. M. D. Relationship between ThMn^ and Th2Ni17 structure types in the YFenxTix alloy series. — J. Appl. Phys., vol. 67, 1990, pp. 4838-4840.

59. Coey J. M. D., Sun H., Hurley D. P. F. Intrinsic magnetic properties of new rare-earth iron intermetallic series. — J. Magn. Magn. Mat., 1991, vol. 101, pp. 310-316.

60. Никитин С. А., Терешина И. С., Вебецкий В. Н., Саламова А. А. Влияние водорода и азота на магнитные свойства соединений RFenTi1. — Металлы, 2001, № 1, с. 86-89.

61. Chen Li., Li Chen., Cadieu С. F., Theodoropoulos Т., Cadieu F. J. Nanophase dispersed SmCo films with high remanence and corrosion resistance. — vol.87, № 9, May 2000, pp. 6128 6130.

62. Pirich R. G., Shore В., Larson D. J. Thermally controlled sputtering of high anisotropy magnetic material. — US patent, № 4,484,995; issued on Nov. 27,1984.

63. Линецкий Я. JI. и Сало И. П. Термическая обработка и магнитный гистерезис напыленных сплавов Sm-Co. — Изв. Акад. Наук СССР, Мет., №6, 1988, с. 141 -145.

64. Сало И. П., Ягодкин Ю. Д., Котунов В. В. О высокой остаточной намагниченности напыленных пленок Sm2Coi7. — Изв. вузов, Черн. мет.1985, №3, с. 155 156.

65. Сало И. П., Котунов В. В., Лившиц Б. Г. Фазовые превращения при отжиге напыленных пленок Sm2Coi7. — Электронная техника. Материалы, 1985, № 4, с. 73 -75.

66. Котунов В. В., Нам Б. П., Лившиц Б. Г. Изотропные пленочные магниты Sm2(Co,Fe)i7, полученные из аморфного состояния. — Изв. вузов. Черн. мет., 1982, №3, с. 91 -93.

67. Котунов В.В., Нам Б.П., Лившиц Б.Г. Изотропные пленочные магниты Sm2(Co,Fe,Mn)17, полученные из аморфного состояния. — Изв. вузов. Черн. Металлургия. 1982, № 7, с. 105 108.

68. Herget С., Domazer Н. -G. Methods for production of rare earth-3d metal alloys with partcular emphasis on the cobalt alloys. — Goldschmidt informiert, 1975, vol. 5, №35, pp. 3-5.

69. Aly S. H., Cheung T. D., Wickramasekara L., Cadieu F. J. Directly sputter synthesized high-energy product Sm-Co based ferromagnetic films. — J. Appl. Phys. vol. 57, 1985, pp. 2147 2154.

70. Cadieu F. High coercive force and large magnetic moment in magnetic films with special anisotropies. —J. Appl. Phys., vol. 61, 1987, pp. 4105 4107.

71. Jiang H., O'Shea J.M. Coersivity and its temperature dependence in Nd-Fe-B thin films with Cr, Mo, Ti, or Та buffer layers. — J. Appl. Phys., vol.87, № 9, 2000, pp. 6131-6133.

72. Castaldi L., Davies H.A., Gibbs M. R. J. Growth and characterization of NdFeB thin films. — J. Magn. Magn. Mat., part 2, vol. 242 245, April 2002, pp.1284 - 1286.

73. Navarathna A., Hegde H., Rani R., Chen K., Cadieu FJ. The Magnetic Properties of Oriented High Anisotropy Nd(Fe,Co,Mo)i2Nx Samples. — IEEE Tran. Magn. 29,1993, pp. 2812 2814.

74. Shindo M., Ishizone M., Sakuma A., Kato H., Miyazaki T. Exchange-spring behavior in sputter-deposited a-Fe/Nd-Fe-B multilayer magnets. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 161, 1996, LI L5.

75. Fullerton E.E., Jian J.S., Sowers C.H., Pearson J.E., Bader S.D. Structure and magnetic properties of exchange-spring Sm-Co/Co superlattices. — Appl. Phys. Lett., vol. 72, № 3, Jan. 1998, pp. 380 382.

76. Вапнэ Г. M. Тонкослойные магнитотвердые материалы для миниатюрных постоянных магнитов. — Обзоры по электронной технике, Сер.6. Материалы, вып. 6, (1382), 1988, с. 1 72.

77. Никитин С. А., Терешина И. С., Вебецкий В. Н., Саламова А. А. Магнитная анизотропия YFenTi и его гидрида. — ФТТ, 1998, т. 40, № 2, с. 285 289.

78. Nikitin S. A., Tereshina I. S., Skourskij Yu. et al. Intrinsic magnetic properties hydrides and nitrides of RFenTi compounds. — Proc. Moscow Intern. Sympos. Magnetism devoted to the memory of E.I. Kodorskii (20 24 June). Part 1, 1999, pp.376-379.

79. Никитин С. А., Терешина И. С., Панкратов Н. Ю., Терешина Е. А., Скурский Ю. В., Скоков К. П., Пастушенков Ю. Г. Магнитная анизотропия и магнитострикция монокристалла интерметаллического соединения Lu2Fei7. — ФТТ, т.43, вып.9, 2001, с. 1651 1657.

80. O'Shea M.J., Jiang Н., Perera P., Hamdeh H.H. Magnetic properties of thin film and granular Dy5oFe5o as a function of size. — J. Appl. Phys., Vol.87, № 9, 2000, pp. 6137-6139.

81. Kobayashi K., Ohmura M., Yoshida Y., Sagawa M. The origin of the enhancement of magnetic properties in Sm2Fei7Nx (0 < x < 3). — J. Magn. Magn. Mat., vol. 247, № 1, May 2002, pp. 42 54.

82. Сало И. П. Структура и магнитные свойства напыленных пленок Sm-Co. — Дисс. . кандидата физ.-мат. наук, МИСиС, Москва, 1985, -194 с.

83. Корнилов Н. В. Закономерности формирования структуры и магнитных свойств при напылении магнитно-анизотропных пленок на основе сплава Nd-Fe-B. — Дисс. . кандидата физ.-мат. наук, МИСиС, Москва, 1993, -215 с.

84. Cadieu F. J. Systematica of permanent film texturing and the limits of film synthesized 1-12 and 2-17 iron based rare earth transition metal permanent systems. — CISTI and partners,1998, pp. 344 346.

85. Niarchos D., Kalogirou O., Psycharis V., Panayotopoulos J., Saettas L. Nitrogen absorbtion in bulk and thin films of RFei2-xTx-type compounds — J. All. and Сотр. 222, 1995, pp. 44 48.

86. Wang D., Sellmyer D.J., Panagiotopoulos I., Niarchos D. Magnetic propertiesof Nd(Fe,Ti).2 and Nd(Fe,Ti)i2Nx films of perpendicular texture. — J. Appl. Phys., vol. 75, № 10, May 1994, pp. 6232 6234.

87. Yang Y. C., Pan Q., Zhang X. D., Yang J., Zhang M. N. Ge S. L. Formation and characteristics of hard magnetic materials Pr(Mo,Fe)12Nx. — Appl. Phys. Lett., vol. 61, № 22, Nov. 1992, pp. 2723 2725.

88. Chin T. S., Wang К. H., Lin С. H. High coercivity Fe-Cr-Co thin films by vacuum evaporation. — Jpn. J. Appl. Phys. vol.30, № 8, August 1991, pp.1692 -1695.

89. Almasi-Kashi M., Grundy P. J., Jones G. A., Nadgaran H. Zhao X. The magnetic and microstructural properties of sputter-deposited and annealed CoCrPtNb thin films. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 248, № 2, July 2002, pp. 190- 199.

90. Piatt C. L., Wierman K. W., Svedberg E. В., Klemmer T. J., Howard J. K., David J. Smith Structural and magnetic properties of CoCrPt perpendicular media grown on different buffer layers. — J. Magn. Magn. Mat., vol.247, № 2, pp. 153 158.

91. Kuo P. C., Huang J. H., Shen S. C., Jou J. H. Microstructural and magnetic studies of Mn-Al thin films. — J. Appl. Phys., vol. 81, №8, April 1997, pp.5621 5623.

92. Stavroyiannis S., Panagiotopoulos I., Niarchos D., Christodoulides J. A., Hadjipanayis G. C. CoPt/Ag nanocomposites for high density recording media. — Appl. Phys. Lett, vol.73, № 23, Dec. 1998, pp. 3453 3455.

93. Hashimoto S., Ochiai Y., Co/Pt and Co/Pd multilayers as magneto-optical recording materials. J. Magn. Magn. Mat., vol. 88, № 1 2, July 1997, pp. 211 -226.

94. Liu J. P., Lou C. P., Liu Y., Sellmyer D. J. High energy products in rapidlyannealed nanoscale Fe/Pt multilayers. — Appl. Phys. Lett. 72, 1998, pp. 483 -485.

95. Coffey K. R., Parker M. A., Howard J. K. High anisotropy Ll0 thin films for longitudinal recording. — IEEE Trans. Magn., vol. 27, 1991, pp. 3588 3590.

96. Daniil M., Farber P. A., Okumura H., Hadjipanayis G. C., Weller D. FePt/BN granular films for high-density recording media. J. Magn. Magn. Mat., vol. 246, № 1-2, April 2002, pp. 297 302.

97. Y. K. Takahashi, M. Ohnuma and K. Hono. Effect of Cu on the structure and magnetic properties of FePt sputtered film. — J. Magn. Magn. Mat., vol.246, № 1-2, April 2002, pp. 259 265.

98. Van Landuyt J., Van Tendeloo G. Van Den Broek J., Donker-sloot H. Permanent magnetism and microstructure x-AlMn(C). — J. Magn. Magn. Mat., 15-18, Jan. March 1980, pp. 1451 - 1452.

99. Kuo P. C., Yao Y. D., Huang J. H., Chen С. H. Fabrication and magnetic properties of manganase-aluminium permanent magnets. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 115, № 2 and 3, Sept. 1992, pp. 183 186.

100. Huang J. H., Kuo P. C. Influence of carbon on the phase transformation kinetics and magnetic properties of Mn-Al alloys. — Mater. Sci. Eng., vol. B22, № 2 and 3,1994, pp. 256 260.

101. Morisako A., Matsumoto M., Naoe M. Sputtered Mn-Al-Cu films for magnetic recording media. — IEEE Trans. Magn., vol. MAG-23, № 5, Sept. 1987, pp. 2470-2472.

102. Morisako A., Matsumoto M., Naoe M. Synthesis of ferromagnetic phase of Mn-Al films by sputtering. — J. Appl. Phys., vol. 61, № 8, April 1987, pp. 4281 -4283.

103. Shen J. X., Kirby R. D., Sellmyer D. J. The structure and magneto-optic properties of Mn-Al-based thin films. — J. Appl. Phys., vol. 67, № 9, May 1990, pp. 4929 4931.

104. Morisako A., Kohshiro N., Matsumoto M., Naoe M. Crystal structure and magnetic properties of Mn-Al-Ni films prepared by sputtering. — J. Appl. Phys., vol. 67, № 9, May 1990, pp. 5655 5657.

105. Matsumoto M., Morisako A., Ohshima J. Properties of ferromagnetic MnAl thin films with additives. — J. Appl. Phys., vol. 69, № 8, April 1991, pp. 5172 -5174.

106. Feng J., Matsushita N., Watanabe K., Nakagawa S., Naoe M. A1 substituted Ba ferrite films with high coercivity and excellent squarneness for low noise perpendicular recording layer. — J. Appl. Phys., vol. 85, 1999, pp. 6139 -6141.

107. Zhuang Z., Rao M., Laughlin D. E., Kryder M.H. The effect of Pt interlayers on the magnetic and structural properties of perpendicularly oriented barium ferrite media. — J. Appl. Phys., vol.85, № 8, April 1999, pp. 6142 6143.

108. Kerschl P., Grossinger R., Kussbach C., Sato-Turtelli R., Miiller К. H., Schultz L. Magnetic properties of nanocrystalline barium ferrite at high temperatures. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 242 245, April 2002, pp.1468 -1470.

109. Cadieu F. J., Chen K. Non-epitaxial sputter synthesis of aligned strontium hexalerite, Sr06(Fe03) films. — J. Appl. Phys., vol. 75, 1994, pp. 6640 6642.

110. Shah P., Sohma M., Kawaguchi K., Yamaguchi I. Growth conditions, structural and magnetic properties of М/Ре304/1 (M=A1, Ag and 1=А120з, MgO) multilayers. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 247, May 2002, № 1, pp. 1 -5.

111. Chang W. D., Chin T. S. Coercivity of Y-(Feo,74Mno,i5CoCUi)203 thin films by dc reactive magnetron sputtering. — Appl. Surface Sci. 92, 1996, pp. 475 -479.

112. Abe M., Tamaura Y. Film permanent magnets of (Fe,M)304 alloy. — J. Appl. Phys. 55,1984, pp.2614 2616.

113. Mazhar U., Abbas R., Abbas T. The effect of Zn substitution on microstructure and magnetic properties of Cui.vZnvFe204 ferrite. J. Magn. Magn. Mat., vol. 246, № 1-2, April 2002, pp.110 114.

114. Постоянные магниты (справочник под редакцией Пятина Ю.С.), 1980, -486 с.

115. Morisako A., Matsumoto М., Naoe М. Ba-ferrite thin films rigid disk for high density perpendicular magnetic recording. — IEEE Trans.Magn. 22, 1986, pp. 1146-1148.

116. Noma K., Matsushita N., Nakagawa S., Naoe M. Ba ferrite films with large saturation magnetization and high coercivity prepared by low temperature sputter deposition. — J. Appl. Phys., vol.79, № 8, April 1996, pp. 5970 5973.

117. Sui X., Kryder M. H., Wong B. Y., Laughlin D. E. Microstructural origin of the perpendicular anisotropy in M-type barium hexaferrite thin films deposited by rf magnetron sputtering. — IEEE Trans. Magn., vol. 29, № 6, Nov. 1993, pp. 3751 3753.

118. Hoshi Y., Kubota Y. Control of orientation and crystallite size of barium ferrite thin films in sputter deposition. — IEEE Trans.Magn. 31, 1995, pp. 2782-2785.

119. Hoshi Y., Kubota Y., Ikawa H. Preparation of c-axis-oriented barium ferrite thin films with small crystallite size. — J. Appl. Phys., vol.81, April 1997, pp. 4677 4679.

120. Lagorce L. K., Allen M. G. Polymeric magnets and their application. — Proceedings of the IEEE (MEMS). 1996, pp. 85 87.

121. Райгородский В. M., Линецкий Я. Л., Соколовский С. Е., Цветков В. Я. Структура и магнитные свойства напыленных сплавов Nd-Fe-B-Si. — Изв. вузов. Черная металлургия. № 9, 1990, с.56 58.

122. Parhofer S., Gieres G., Wecker J., Schultz L. Growth characteristics and magnetic properties of sputtered Nd-Fe-B thin films. — J. Magn. Magn. Mat., 163, 1996, pp. 32-38.

123. Parhofer S. M., Wecker J., Gieres G., Schultz L. Remanence enhancement due to exchange coupling in multilayers of hard- and softmagnetic phases. — IEEE Trans. Magn. vol.32, № 5, Sept. 1996, pp. 4437 4439.

124. Herbst J. F., Croat J. J., Yelon W. B. Structural and magnetic properties of Nd2Fe,4B. —J. Appl. Phys., vol. 57, 1985, pp. 4086 4090.

125. Ray A. E., The crystal structures of the rare-earth compounds of the form R2Ni 17, R2Con and R2Fei7. — J. Less. Common Metals, vol. 11, 1966, pp. 204 -208.

126. Bushow К. H. J., Van noort H. M., De Mooij D. B. Magnetic and structural properties of Nd2Fei4B, Th2Fe!4B, Nd2Co,4B and related materials. — J. Less. Common Metals, vol. 109, 1985, pp. 79 91.

127. Christodoulau C. N., Boltich E. В., Massalski Т. B. Spin reorientation effect on magnetization application to Nd2Fe14B. — J. Magn. Magn. Mat., vol.81, 1989, pp. 209-220.

128. Otani Y., Mijajima H., Chikazumi S. Demagnetization process and magnetic seeds for R-Fe-B permanent magnets. — IEEE Trans. Magn., vol. MAG-23, № 5, Sept. 1987, pp. 2527 2529.

129. Miyajima H., Otani Y., Chikazumi S., Hirosawa S., Sagawa M. Giant magnetic anisotropy and spin orientation in a single phase Nd-Fe-B magnet. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 54 57, 1986, pp. 587 - 588.

130. Heisz S., Hilsher G., Kirchmayer H., Harada H., Kumagaya M., Tokunaga M. The effect of the spin reorientation upon the demagnetization curves of Nd-Fe-B magnets. — IEEE Trans. Magn., vol.23, 1987, pp. 3110 3112.

131. Otani Y., Miyajima H., Chikazumi S., Herosawa J., Sagawa M. Effect of surface conditions on coercivities for Nd-Fe-B magnets. — J. Physique, vol.49, C8, № 12, Dec. 1988, pp. C8-641 C8-643.

132. Otani Y., Coey J.M.D., Barbara В., Miyajima H., Chikazumi J., Uehara M. Anomalous demagnetization process at very low temperature in Nd-Fe-B magnets. — J. Appl. Phys., vol. 67, № 9, May 1990, pp. 4619-4621.

133. Ayuyan A. G., Lileev A. S., Steiner W., Reissner M. Low temperature magnetization reversal processes in permanent magnets based on R2Fei4B. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 157/158, 1996, pp. 373 375.

134. Аюян А. Г., Лилеев А. С., Малютина E. С. Влияние спин-ориентационного перехода и степени кристаллической текстуры на гистерезисные характеристики спеченных магнитов Nd2Fei4B. — Изв. вузов Черн. Мет., № 3, 1998, с. 43 46.

135. Spada F., Abache С., Oesterreicher Н. Crystallographic and magnetic properties of rare-earth-transition metal compounds based on boron. — J. Less. Common Metals, vol. 99, 1984, pp. L21 L24.

136. Чабан Н.Ф., Кузьма Ю.Б., Билонижко H.C. и др. Тройные системы (Nd, Sm, Gd) Fe - В. — Доклады АН УССР, сер. А. т. 10, 1979, с. 875 - 877.

137. Stadelmaier Н.Н., Elmasry N.A., Lu N.C., Cheung S.F. The metallurgy of iron neodimium - boron permanent magnet system. — Mater. Lett., vol. 2. 1984, pp. 411-415.

138. Bushow К. H. J., De Mooij D. В., Van Noort H. M. The Fe rich isotermal section of Nd-Fe-B at 900 °C. — Philips J.Res. vol.40, 1985, pp. 227 - 238.

139. Кекало И. Б., Менушенков В. П. Быстрозакаленные магнитно-твердые материалы системы Nd-Fe-B. Курс лекций (МИСиС), пособие № 1163, Москва 2000,-117с.

140. Keavney D. J., Fullerton E. E., Pearson J. E., Bader S. D. Magnetic properties of c-axis textured Nd2Fei4B thin films. — IEEE Trans. Magn., vol.32, №> 5, Sept. 1996, pp. 4440 4442.

141. Bushow К. H. J., De Mooij D. В., Daams J. L. C., Van Noort H. M. Phase relationship, magnetic and crystallographic properties of Nd-Fe-B alloys. — J. Less. Common Metals, vol. 115, 1986, pp. 357 366.

142. Крапошин В. С, Линецкий Я. J1. Физический свойства металлов и сплавов в аморфном состоянии. — Итоги науки и техники, сер. Металловедение и термическая обработка, т. 16, 1982, с. 3 68.

143. Givord D., Tenand P., Moreau J. M. Modulation of the iron tetrahedra driven by interaction with R atoms in R1+iFe4B4 compounds. — J. Less Common Metals, vol.115, 1986, pp. L7 L10.

144. Givord D., Tenand P., Moreau J.M. Refiniment of the crystal structure of Rnt;Fe4B4 compounds (RQ= Nd, Gd). — J. Less. Common Metals, vol.123, 1986, pp. 109-116.

145. Bezinge A., Braun H. F., Muller J., Yvon K. Tetragonal rare earth R iron borides, R|+cFe4B4 (e ~ 0,1), with incommensurate rare-earth and iron substructures. — Sol. State Comm., vol.55, № 2, 1985, pp. 131 - 135.

146. Sagawa M., Hirosawa S., Yamamoto H. Nd-Fe-B permanent magnet materials. — J. Appl. Phys., vol.26, № 6,1987, pp. 785 800.

147. Bushow К. H. J., De Mooij D. В., Van Noort H. M. Properties of metas -table ternary compounds and amorphous alloys in the Nd-Fe-B system. — J. Less. Common Metals, vol. 125,1986, pp. 135 146.

148. Desterreicher K., Oesterreicher H. On the phase NdFe4B4 and its implication in the magnetic hardening of Nd2Fe14B permanent magnets. — J. Less. Common Metals, vol. 104, 1984, pp. L19 L21.

149. Braun H. F., Pelizonne M., Yvon K., Proc. Int. Conf. Transition Metal Compound., Grenoble, vol. 2B, June. 1982, pp.11 18.

150. Oesterreicher K., Oesterreicher H., Structure and magnetic properties of Nd2Fe14B H2J. — Phys. State. Sol. (a), vol.85, 1984, pp. K61 K64.

151. Rupp В., Reshik A., Shaltiel D. Phase relations and hydrogen absorption of neodimium iron - (boron) alloys. J. Mater. Science., vol.23, 1988, pp. 2133 -2141.

152. Cannon J. F., Robertson D. L., Hall H. T. Synthesis of lantanide iron Lavesw phases at high pressure and temperatures. — Mater. Res. Bull., vol. 7, 1972, pp. 5-11.

153. Hadjipanayis G. C., Hazelton R. C., Lawless K. R. New iron-rare-earth based permanent magnet materials. — Appl. Phys. Lett., vol.43, № 8, 1983, pp. 797 799.

154. Fidler J. On the role of the Nd-rich phases in sintered Nd-Fe-B magnets. — IEEE Trans. Magn., vol. MAG-23, № 5, 1987, pp. 2106 2108.

155. Durst K. D., Kronmuller H. The coercive field of sintered and melt-spun NdFeB magnets. — J. Magn. Magn. Mat., vol.68, 1987, pp. 63 75.

156. Crossinger R., Krewenka R., Fibber R., et al. The hard magnetic properties of sintered Nd-Fe-B permanent magnets. — J. Less Common Metals, vol.118, 1986, pp. 167-172.

157. Hadjipanayis G. C., Keem A. Domain wall pinning versus nucleation of reversed domains in R-Fe-B magnets. — J. Appl. Phys., vol. 63, № 8, 1988, pp. 3310-3315.

158. Hadjipanays G. C., Lawless K. R., Dickerson R. C. Magnetic hardening in iron-neodimium-boron permanent magnets. — J. Appl. Phys., vol.57, № 8, 1985, pp. 4097-4099.

159. Sagawa M., Fujimura S., Yamamoto H. et al. Permanent magnet materials based on the rare-earth iron boron tetragonal compounds. — IEEE Trans. Magn., vol. MAG-20, 1984, pp. 1584 1588.

160. Hatta S., Mizoguchi T. Hard magnetic properties of Nd-Fe-B alloys crystallized from amorphous phase. — Jap. J. Appl. Phys., vol.27, № 4, 1988, pp. 597-601.

161. Gu B.-X., Methfessel S., Zhai H.R. Magnetic properties and structures of NdxFe93-xB7 alloys. — J. Physique coll., C.8, vol.49, № 12, 1988, pp. 613 -614.

162. Higara K., Hirabayashi M., Sagawa M. et al. High resolution electron microscopy of grain boundaries in sintered Fe77Ndi5B8 permanent magnet by high-resolution electron microscopy. — Jap. J. Appl. Phys. vol.24, № 1, 1985, pp. L30-L32.

163. Higara K., Hirabayashi M., Sagawa M. et al. A study of microstructures of grain bounderies in sintered Fe77Ndl5B8 permanent magnet by high-resolution electron microscopy. — Jap. J. Appl. Phys. vol.24, № 6, 1985, pp. 699-703.

164. Schrey P. ТЕМ studies of sintered Nd-Fe-B magnets. — IEEE Trans. Magn., vol. MAG-22, № 5, 1986, pp. 913 -915.

165. El-Masry N. A., Stadelmaier H. H. Nanometer particles in the integranular microstructure of Fe-Nd-B permanent magnets. — Mater. Lett., vol. 3, № 9 and 10, July 1985, pp. 405 408.

166. Piramanayagam S. N., Matsumoto M., Morisako A., Takei S. Synthesis of Nd-Fe-B thin films with high coercive force by cosputtering. — IEEE trans, magn. vol.33, № 5, Sept. 1997, pp. 3643 3645.

167. Aylesworth K. D., Sellmyer D. J., Hadjipanayis G. C. The structural and magnetic properties of Pr2Fei4B and Nd2Fe14B cosputtered with Та. — J. Magn. Magn. Mat., vol.98, 1991, pp. 65 68.

168. Ramesh R., Chen J. K., Thomas G. On the grain-boundary phase in iron rare-earth boron magnets. — J. Appl. Phys., vol.61, №8, 1987, pp. 2993 -2998.

169. Fidler J., Knoch K.G. Electron microscopy of Nd-Fe-B based magnets. — J. Magn. Magn. Mater., vol.80, 1989, pp. 48 56.

170. Takunaga M., Tobise M., Meguro N. et al. Microstructure of R-Fe-B sintered magnet. — IEEE Trans. Magn., vol. MAG-22, № 5, 1986, pp. 904 -909.

171. Ramesh R. A microstructure based magnetization reversal model in sintered Fe-Nd-B magnets (Part I). — J. Appl. Phys., vol.68, № 11, 1990, pp. 5767 -5771.

172. Ramesh R. Effect of post sintering treatments (Part II). — J. Appl. Phys. vol.68, № 11, 1990, pp. 5772 5777.

173. Fidler J., Knoch K.G., Kronmuller H. et al. Analytical ТЕМ study of Al-doped, "two-phase" Nd-Fe-B sintered magnets. — J. Mater. Res., vol.4, № 4, 1989, pp. 806 814.

174. Chang W. C., Chin T. S., Liu K. S. The dissolution kinetics of free iron in Nd-Fe-B permanent magnet alloys. — J. Magn. Magn. Mat., vol.80, 1989, pp. 352 -358.

175. Weizhong Т., Shouzeng Z., Ran W. et al. Correlation between Nd2Fe.4B grain bounaries and annealing effects in coercivity of Nd-Fe-B magnets. — J. de Physique., C.8, vol.49, № 12, 1988, pp. 635 636.

176. Fidler J., Skalicky P. Metallurgical factors determining the coercivity of Nd-Fe-B magnets. — Mikrochim Acta., vol.1, 1987, pp.115 124.

177. Mishra R. K., Lee R. W. Microstructure, domain walls and magnetization reversal in hot-pressed Nd-Fe-B magnets. — Appl. Phys. Lett., vol.48, 1986, pp. 733 -735.

178. Durst K. D., Kronmuller H. Determination of intrinsic magnetic material parameters of Nd2Fei4B from magnetic measurements of sintered Nd15Fe77B8 magnets. —J. Magn. Magn. Mat., 1986. V.59. № 1. pp. 86 94.

179. Лилеев А. С., Мельников С. А. Определение лимитирующего звена процесса перемагничивания постоянных магнитов из высокоанизотропных сплавов РЗМ. — Электротехника, № 9, 1991, с. 26 31.

180. Лилеев А. С. Микромагнетизм высокоанизотропных промышленных сплавов для постоянных магнитов. — Научные школы МИСиС. М.\ МИСиС, 1997, pp. 425 429.

181. Becker J. J. Reversal mechanism in coper modified cobalt-rare-earths. — IEEE Trans. Magn., vol. MAG-12, № 6, 1976, c. 965 967.

182. Gabay A. M., Lileev A. S., Menushenkov V.P. Histeresis Behavior of Nucleation-controlled Magnets. — Phys.Rev., 1996, vol.18, part.2, pp. 1 31.

183. Herzer C., Fernegel W., Adler F. On the theory of nucleation fields in uniaxial ferromagnets. — J. Magn. Magn. Mat., vol.58, № 1 and 2, March 1986, pp. 48-54.

184. Лилеев А. С., Мельников С. А., Менушенков В. П., Сеин В.А. Гистерезисные свойства и механизм перемагничивания сплавов. — Изв. акад. наук, сер. Металлы, № 5, 1988, с. 165 168.

185. Lileev A. S., Tyagunov Ye. V., Bachinskiy Yu. В. Remagnetization processes in hard magnetic films on the Nd-Fe-B base. — Proc. 154h Int. Workshop on Rare Earth Magnets (Dresden), 1998, pp. 1035 1043.

186. Thornton J. A. The microstructure of sputter-deposited coatings. — J. Vac. Sci. Techno 1., vol. A4, № 6, Nov./Dec. 1986, pp.3059 3065.

187. Crovenor C. R. M., Hentzell H. T. G., Smith D. A. The development of grain structure during grouth of metallic films. — Acta metall., vol. 32, № 5, 1984, pp. 773-781.

188. Singh R. N. Metallurgical properties of thin conducting films. — VLSI Electronics: Microstruct. Sci., vol.15, 1987, pp. 41 100.

189. Мовчан Б. А., Демчишин А. В. Исследование структуры и свойств толстых вакуумных конденсатов никеля, титана, вольфрама, окиси алюминия и двуокиси циркония. — Физика металлов и материаловедение, т. 28, 1969, с. 653 661.

190. Zhang С., Liu R., Feng G. A study on SmCo5 and Smo^Mo^Co amorphous films. — IEEE Trans. Magn., vol.16, № 5, 1980, pp. 1215 1217.

191. Иевлев В. M., Трусов Л. И., Холмянский В. А. Структурные превращения в тонких пленках. — М.: Металлургия, 1982, 248 с.

192. Мэтьюз Дж. У. Физика тонких пленок. — М.: Мир, т. 4, 1970, с. 167 — 227.

193. Bosland P., Danroc J., Gillet R., Lowbard L. Effects of neutrol gas incorporation in molybdenum coatings produced by magnetron sputtering. — Thin Solid Films, vol. 166, 1988, pp. 309 316.

194. Лилеев А. С., Парилов А. А., Блатов В. Г. Свойства магнитотвердых пленок сплава Nd-Fe-B. — Физика металлов и металловедение, vol. 92, №5, 2001, с. 66-70.

195. Lileev A. S., Parilov A. A., Blatov V. G. Properties of hard magnetic Nd-Fe-B alloy films. — Phizika metallov i materialovedenie, vol. 92, № 5, 2001, pp. 486-489.

196. Lileev A. S., Parilov A. A., Blatov V. G. Influence of technological parameters on properties of hard magnetic Nd-Fe-B alloy films. — J. Magn. Magn. Mat., vol. 242 245, April 2002, pp. 1300 - 1303.

197. Лилеев А. С., Парилов А. А., Лилеева Ю. Я., Малютина E.H., Steiner W., Reissner M. Спинориентационный переход в пленочных и спеченных магнитах из соединения Nd2Fe14B. — Известия вузов., Матер, электр. техн., №2, 2002, с. 43-47.

198. Лилеев А. С., Парилов А. А. Магнитотвердые пленки сплава Nd-Fe-B для их применения в микроприборах. — Приборы, № 6, 2001, с. 35 38.

199. Лилеев А. С., Парилов А. А. Магнитотвердые пленки сплава Nd-Fe-B как основа новых электронных приборов. — Приборы, № 12, 2001, с. 32 -34.