автореферат диссертации по электронике, 05.27.05, диссертация на тему:Стабилизация микроклимата в корпусах ЭВС конструктивно-технологическими средствами

На правах рукописи

О

НАЛЬСКИЙ АЛЕКСЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

Стабилизация микроклимата в корпусах ЭВС конструктивно-технологическими средствами

Специальность 05.27,05 "Интегральные радиоэлектронные устройства"

Автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук

Москва-2000

Работа выполнена на кафедре "Микроэлектроника" в Московском

Государственном институте университете).

электронной техники (Техническом

Научный руководитель:

Официальные оппоненты:

Ведущая организация:

доктор технических наук, профессор Волков В. А.

доктор технических наук, профессор Неустроев С, А

Кандидат технических наук, с.н.с. Плаксин ГА ОАО "Ангстрем"

Защита состоится

2000 г. на заседании

диссертационного Совета Д 053.02.02 в Московском Государственном институте электронной техники (Техническом университете) Москва 103498, МИЭТ-ТУ.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке МИЭТ-ТУ.

Автореферат разослав'

2000г.

Учёный секретарь диссертационного совета

Д. т.н., профессор В А Волков

с/ у

. Общая характеристика работы

Дктуальность темы. Эксплуатационные параметры и надёжность электронных вычислительных средств (ЭВС), изготовляемых на основе бескорпусной элементной базы н герметизируемой в полые корпуса, в большой мере определяется составом внутрикорпусной парогазовой среды и динамикой её изменения в процессе хранения в эксплуатации аппаратуры.

Во внутрикорпусной среде обычно со временем повышаются концентрации паро» воды н других веществ, н это повышение может привести к достижению критических значений, соответствующих отказам изделий. Происходящие процессы связаны с наличием в корпусах достаточно широкой номенклатуры конструкционных материалов, прежде всего, полимерных материалов и полимер содержащих конструктивов (ПСК) на их основе, способных выделять летучие вещества различного химического состава: влагу, остаточные растворители, нетцюреагировавшив низкомолекулярные вещества, продукты деструкции. Во внутрикорпусной среде могут оказаться и летучие компоненты технологических материалов — растворителей, фоторезистов, флюсов и др., обладающих повышенной летучестью или низкой нагревостойкостыо.

Существенное значение имеет качественный состав летучих веществ, выделяемых ш конструкционных материалов при эксплуатации изделия, он определяется газовыделениями ПСК, входящих в его состав. Выделяющиеся летучие вещества, конденсируясь на элементах конструкций, могут инициировать развитие коррозионных процессов, повышать токи утечки между различными функциональными элементами и вызывать другие процессы.

Эксплуатация ЭВС в условиях, допускающих конденсацию отдельных компонентов внутрикорпусной парогазовой среды, может быть обеспечен при решении ряда актуальных научно-технических задач, посвященных обоснованию выбора параметров для характеристики блоков, их конетрукторско-технологической проработке, разработке методов анализа и расчета количественных и качественных характеристик внутрикорпусной пзрогамвой среды, поддержания стабильного состава этой среды с минимальным содержанием агрессивных компонентов в ней.

Цель работы заключается в поиске и исследовании эффективных конструкторско-техко логических решений и приёмов, которые позволил» бы обеспечить стабилизацию микроклимата в корпусах ЭВС и тем самым повысил» надёжность её работы. В связи с этим в работе ставились следующие задачи:

1. Изучение свойств материалов, используемых в производстве ЭВС, с целью выявления генераторов летучих веществ (ГЛВ).

2. Выявление роли конструкционных и вспомогательных полимерных материалов и их растворов, а также ПСК на их основе, как ГЛВ.

3. Разработка механизма физических явлений с целью минимизации массы и состава летучих веществ при термообработке ПСК.

4. Разработка пакета программ и методик га технологической переработке и исследованию полимерных материалов и ПСК.

5. Разработка конструктивно-технологических средств по стабилизации микроклимата в корпусах ЭВС нео1раниченной конструктивной и функциональной сложности

Научная новизна,

1. Методически поставленная проблема рассматривается как внутренняя сторона сложной проблемы герметшации ЭВС в полых корпусах.

2. Рассмотрением процессов структурирования полимеров и ПСК обоснованы оптимальные режимы их термообработки до максимальной степени отверждения, и, как следствие, до максимального улучшения их свойств.

3. С .' помощью совместных масс-спектрометрических, г азохромато графических и гравиметрических исследований скорректированы существующие режимы термообработки наиболее употребимых в электронной промышленности материалов.

4. Подтверждена согласованность между расчетным и экспериментальным значениями удаления из материалов и ПСК масс летучих веществ для достижения требуемой температуры точки росы Tf по влаге.

5. Расчётным путём определены массы закладываемых в; корпуса влагопоглотителей и геттеров, гарантирующих достижение в корпусах требуемой температуры точки росы Тр. .

. Общая характеристика работы

Дктуальность темы. Эксплуатационные параметры и надёжность электронных вычислительных средств (ЭВС), изготовляемых на основе бескорпусной элементной базы и герметизируемой в полые корпуса, в большой мере определяется составом внугрикорпусной парогазовой среды и динамикой её изменения в процессе хранения и эксплуатации аппаратуры.

Во внугрикорпусной среде обычно со временем повышаются концешрации паров воды и других веществ, и это повышение может привести к достижению критических значений, соответствующих отказам изделий. Происходящие процессы связаны с наличием в корпусах достаточно широкой номенклатуры конструкционных материалов, прежде всего, полимерных материалов и поллмерсодержащих конструктивов (ПСК) на их основе, способных выделять летучие вещества различного химического состава: влагу, остаточные растворители, ¡»прореагировавшие ншкомолекулярные вещества, продукты деструкции. Во внугрикорпусной среде могут оказаться и летучие компоненты технологических материалов - растворителей, фоторезистов, флюсов и др., обладающих повышенной летучестью или низкой яагревостонхостыо.

Существенное значение имеет качественный состав летучих веществ, выделяемых из конструкционных материалов при эксплуатации изделия, он определяется газовыделениями ПСК, входящих в его состав. Выделяющиеся летучие вещества, конденсируясь на элементах конструкций, могут инициировать развитие коррозионных процессов, повышать токи утечки между различными функциональными элементами и вызывать .другие процессы

Эксплуатация ЭВС в условиях, допускающих конденсацию отдельных компонентов внугрикорпусной парогазовой среды, может быть обеспечен при решении ряда актуальных научно-технических задач, посвященных обоснованию выбора параметров для характеристики блоков, их конструкторско-технологической проработке, разработке методов анллша и расчета количественных и качественных характеристик внугрикорпусной парогашвой среды, поддержания стабильного состава этой среды с минимальным содержанием агрессивных компонентов в ней

Цель работы заключается в поиске и исследовании эффективных конструкторско-технологических решений и приёмов, которые позволили бы обеспечить стабилизацию микроклимата в корпусах ЭВС и тем самым повысить надёжность её работы. В связи с этим в работе ставились следующие задачи:

1. Изучение свойств материалов, используемых в производстве ЭВС, с целью выявления генераторов летучих веществ (ГЛВ).

2. Выявление роли конструкционных и вспомогательных полимерных материалов и их растворов, а также ПСК на их основе, как ГЛВ.

3. Разработка механизма физических явлений с целью минимизации массы и состава летучих веществ при термообработке ПСК.

4. Разработка шкета программ и методик го технологической переработке и исследованию полимерных материалов и ПСК.

5. Разработка конструктивно-технологических средств по стабилизации микроклимата в корпусах ЭВС неограниченной конструктивной и функциональной сложности

Научная новизна.

1. Методически поставленная проблема рассматривается как внутренняя сторона сложной проблемы герметизации ЭВС в полых корпусах.

2. Рассмотрением процессов структурирования полимеров. и ПСК обоснованы оптимальные режимы их термообработки до максимальной степени отверждения, и, как следствие, до максимального улучшения их свойств.

3. С ' помощью совместных масс-спектрометр ических, газохромаго графических и гравиметрических. исследований скорректированы существующие режимы термообработки наиболее употребимых в электронной промышленности материалов.

4. Подтверждена согласованность между расчетным и экспериментальным значениями удаления из материалов и ПСК масс летучих веществ для достижения требуемой температуры точки росы Тр по влаге.

5. Расчётным путём определены массы закладываемых в корпуса влагопоглопггелей и геттеров, гарарпирующих достижение в корпусах требуемой температуры точки росы ТР.

ГГрактическая ценность.

1, Разработан алгоритм расчёт» добавок растворителей в их смесь то мере истрею« ивдиввдуальных растворителей и повышения вязкости в процессе применения рабочих растворов.

2. Разработан пакет программ и методик по технологической переработке и исследованию полимерных материалов и ПСК.

3. Рассчитаны массы закладываемых в корпуса влагопопкптггелей и геттеров, необходимых для поддержания заданной влажности в герметичных корпусах (блоках) ЭВС при наличии внутренних ГЛВ.

4, Даны рекомендации по организации высокоэффективных участков сборки и герметизации современных и перспективных ЭВС з полых корпусах.

Речдаанвз ряудьтятоа рс^от

Реалгоация этих мер гриводиг к стабилизации микроклимата в полых корпусах современных н перспективных ЭВС, увеличению выхода годных и увеличению надёжности изделий микроэлектроники.'

Апробация результатов работы. Основные положения работы докладывались и обсуждались на следующих научно-технических конференциях:

• Всероссийская межвузовская научно - техническая конференция студентов н аспирантов "Микроэлектроника и информатика - 98". М.: МИЭТ, 1998.

- Всероссийская - межвузовская научно - техническая конференция студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика - 99". М.: М11ЭТ, 1999.

- Седьмая всероссийская иежаузоиская научно - техническая конференция студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика - 2000". М.: МИЭТ, 2000.

• 3-я Меэкаународная научно-техническая конференция "Электроника и информатика - XXI век". М.: МГИЭТ, 2000.

Публикации, По материалам диссертации опубликовано: 2 статьи и 4 тезисов докладов.

Структура и объем пзботы, Диссертационная работ» состоит ш введения, кати ГЛ8'1. .<- .лечения, списка л!ггерггуры ш 135 наименований и 14 приложеннн

Работа изложена ж 181 странице основного текста, содержащего 24 таблицы и 71 рисунок

Краткое содержание работы

Во введении обоснована актуальность темы диссертации, сформулированы цель и задачи работы, юложены основные научные и практические результаты, выносимые на защиту.

В первой главе рассмотрены проблемы производства и герметизации изделии ЭВС в полых корпусах и показано, что существенными проблемами при разработке изделий микроэлектроники в герметичных корпусах являются борьба с коррозией плёночных и соединительных проводников и влияние компонентов парогазовой среды га параметры и стабильность активных и пассивных элементов и компонентов ЭВС, функционирующих в герметичном объёме. Д ля предотвращения коррозии и сбаспечения стабильной работы элементов и компонентов изделий в полых корпусах необходимо конгролиропать содержание паров воды и других агрессивных компонентов, снижать их до безопасных концентраций и поддерживать стабильный состав внугрихорпусной парогазовой среды Тем самым будут обеспечены качество и надёжность герметичных микроэлектронных изделий с полым внутренним объёмом. Конденсацию летучих веществ во внутр«корпусном объеме можно исключить следующими способами:

- выбором материалов ПСК;

- обеспечением необходимой глубины термообработки ПСК;

- использованием иагревосгойких материалов к 125°С);

- • использованием газопоглотителей (геттеров), поглощающих летучие

вещества.

Следует учитывать, что пары воды, всегда присутствующие в ПСК, остаточные растворители, большинство коррозионно-активных веществ имеют высокие значен™ критической температуры Т^ (таблица 1). Поэтому, наибольшее практическое значение имеют три последних способа снижения концентрации летучих веществ в корпусах, в то же время первый из указанных способов позволяет регулировать массу и состав летучих продуктов и так же используется.

Таблица 1. Классификация характерных компонентов парогазовой среды по значениям температуры Т

Температура Т^ ,°С Ниже -60°С -60 + +125-С Выше +Ш°С

Характерные компоненты внутрикорпусной парогазовой среды.. М2,02, Нг, Не, Аг, СО, N0, СШ С02, N02, С2Н4, СзНб, СэНз, С} Н30,С1а, ЗОз.Шз, все широко применяемые органические растворители

Поскольку все ПСК содержат в своём объёме влагу, был рассмотрен массообмен во внутрнкорпусной среде герметичных блоков на примере влагообмена. Показано, что кинетика десорбщш влаги ш сорбционда-ёмких материалов зависит от их влагосодержания.

Влагообмен ПСК в герметичном блоке с окружающей внутрикорпусной средой характеризуется следующими особенностями: конструктивы содержат разные массы полимерных составляющих, имеющих различные влагоёмкости, влагосодержаниэ конструктивов соответствует относительным влажнастям от О до 65%, влагообмен протекает в условиях отсутствия потока га внешней среды и осуществляется в замкнутой среде ограниченной ёмкости. Перенос пара от поверхности конструктива в объём парогазовой внутрикорпусной среды происходит за счёт конвективной диффузии. Плотность потока игра, мигрирующего через диффузионный пограничный слой, определяется законом нассоотдачис

где Р - коэффициент шссоотдачи, усреднённый по поверхности, 8 -площадь поверхности полимера; (Са~Са) — движущая сипа в газовой фазе, представляющая собой градиент концентрации влаги возле поверхности полимер: и в объёме.

Реальные ПСК представляют собой напряжённые композиционные системы, для которых характерно наличие млкрокапилляров в полимерной матрице (рис. 1). При относительной влажности <? = 65% все капилляры с радиусом г < Ю'7 см будут эт!» н« водой, а з 6сл»е кр^ных капиллярах элага Судет нд*од!ш>с* в

жидком и парообразном состоянии. Общее изменение влаго содержания <1т,а в таких конструктивах в процессе влагоотдачи будет равно изменению <Ы,„ в результате переноса влаги и шменения (1т",п за счёт фазового превращения жидкости в пар, т. е.

¿¡т =а'лг' +Ап"

вп вп т . (Ьп

В случае нестационарного процесса влагопереноса, когда ——ф О,

й

вводится коэффициент фазового превращения жидкости в пар:

г/

Фп

Я - в"

вп

который изменяется от 0 до I в зависимости от соотношения масс влаги ¿т',а н «1т"ю.

Для конструктивов с очень малым влаго содержанием, соответствующим V» —>■ 0, коэффициент р -> I. В таких условиях будет иметь место перенос жидкости в малых капиллярах и водяного тара, дифференциальное уравнение влагопереноса в изотермических условиях примет вид:

Эи - 5т

+/3--52-

Э/ • «» н 81 В состоянии термодинамического равновесия потенциал влагопереноса

должен быть одинаковым во всех частях тела или системы тел. Потенциалом

переноса парообразной влаги во влажном воздухе является химический

потенциал ц, который зависит от парциального давления пара Р и температуры:

= ——,

Н

где Рн - давление насыщенного водяного пара.

В области гигроскопического состояния условием равновесного состояния системы может служить влагосодержание каждого конструктива, соответствующее давлению паров воды в равновесном состоянии.

Известно и применяется большое число разнообразных принципов измереши влаялости: конденсационные, психрометрические, сорбционные, кулоно метрические и др. Рассмотрен ряд датчиков, реалюовашгых на этих принципа*, которме имеют свои достоинства и недостатки и в соответствии с

ними предпочтительные облает применения, описаны их конструкция и пркншты работы.

А)

Б)0<Р5 1; 0<ч>5100%

■-■у/"/;//////'////////

'////////////////////д

Рис. 1. Модель напряжённого композиционного материала во влажном (А) и гигроскопическом (Б) состояниях с михрокапиллярами в мне конпкга с твёрдым телом;

1 - влага, растворённая в полимере; 2 - капиллярная влага; 3 - частица стеклянного, кварцевого и т. д. порошка (пластмассы, компаунды, эмали); 4 -стекловолокно, вывод и т. д. (печатные платы, пластмассы); стрелками обозначен поток десорбируемой влаги

Эффективным способом снижения концентрации паров воды к других агрессивных компонентов парогазовой внутрикорпусной среды герметичных изделий микроэлектроники является использование влагопоглотнгелей, а эффективным средством контроля состава и стабильности свойств этой среды -масс-спектрометр ический метод.

Во »торой главе проведено исследование термостабильности характерных полимерных материалов герметичных блоков, осуществлённое с использование и

гравиметрической методики, которое позволило получить данные, позволяющий рассчитать количество выделившихся из материалов и ПСК летучих продуктов при повышенных температурах с учбтом их конструктивных особенностей и времени выдержки при повышенной температуре.

Исследованы параметры, характеризующие процесс газовыделения при повышенных температурах большой группы полимерных материалов, являющихся основными в конструкциях герметизируемых блоков ЭВС: стеклотекстолита, полюшндной плёнки, компаундов Виксинг «Победа» и КЭЗ, СИЭЛ, клеев ВК-9, КВК-68 и др.

Одним из наиболее важных параметров является геометрический параметр испарения (ГПИ) ¡5уД, определяющий скорость испарения летучих веществ в среду объемом V -» оо ив ПСК, он рассчитывается как частное от деления свободной поверхности испарения Ба т объём полимерной части ПСК Уп:

При наличии в корпусе нескольких ПСК интенсивность заполнения его внутреннего объёма веществами, выделяемыми из ПСК, определяется суммарным ГПИ корпуса:

s - 1 . £ scei уд* у2к.к Ы1КШ '

Vr "

где кг ™ ¡f^— относительный объём газовой среды в корпусе, Vr — объём

газовой среды корпуса, Кщ — относительный объём i-oro полимерного

материала, Sa«i— площадь свободной поверхности испарения i-oro полимерного

материала, о — число различных полимерных ма териалов в корпусе.

При построении экспериментальных кривых, характеризующих

зависимости потерь масс от времени выдержки при определённой температуре,

учтено влияние го величины этих потерь параметра Sw газовьщелякнцих

материалов. Результатами анализа полученных данных явились следующие: .

1. Проведено сравнение термо стабильности клеев ВК-9 и К-400,

отвержденных по различным режимам (табд. 2).

2. Составлены таблица, в которую сведены данные по потерям масс исследованными материалами с учётом значения параметра $уд при различных температурах (табл. 3).

3. Проанализированы особенности процессов газовыделения и газопоглощения полимерами при воздействии на них циклических температурных нагрузок.

Таблица 2. Результаты исследования потерь масс образцами клея ВК-9,

отверждёнными в различных -температурных режимах, при Т = 150° С.

Технологический режкм отвержденш кле« Поверхность испарения 10" и1 Параметр Syai М Врем* сгабклвшцли At час m Am

Т-20°С,Д(-24часа 1950 1,23 90 3,335 1.71

Т ™ 20" С, Д1" 1 час; Т»70»С.Д«-1час 2140 1,56 122 0,34 1,59

Т " 20" С, Д1 ■ 24 часа Т- 70°С, Д1«3,5часа Т -100° С, Д( =2 часа 822 10,8 90 0,605 7365

Т»20оС,Д»= 1 час Т-70°С,Д1-2,5чага Т- 100"С,Д1-2,5 часа 2142 1,57 97 0.22 1,0271

Таблица 3. Сравнительные результаты исследования термостойкости

полимерных материалов при различных температурах.

п/п Материал, полученный » наилучшей режиме Температура испытании Т, °с Поверхность испарения образно». Время стабнлшацнн At, час ДтЛп, % Лг.Ут* SHcn'lo'.u1

1 ВК-9 175 1074 • 10* 13» 0,89 6,236

150 2142 * Ю-1 97 0,22 1,027

125 1020 • 10* 60 0,08 0,780

85 1043 * 10** 84 0,06 0,066

2. К-400 175 953,47* 10* 30 2,76 29,053

150 953,47 * 1С 13 1,80 18,879

125 990,05 • 10* 60 1,20 12,120

85 972 * 10* 130 1,23 12,654

3. КВК-68 175 1519,7» 10* 10» 1,84 12,107

150 1378 » 10* 108 | 1.61 11,680

125 1421 • 10* 220 2,7 19, WO

85 894 ♦ 10* 135 1.2S 14,317

4. ЭП-91 175 371 * 10* 120 1,24 33,420

150 379 * 10* 80 1,03 27,170

125 .185 • 10* 70 0,86 22.338

85 388 * 10* 220 0,52 13,402

Все ПСК целесообразно подразделить на три группы по параметру

- ^.д > 20,0 мм"1 - ПСК с открытой (развитой) поверхностью испарения летучих веществ (свободные плёнки, герметизирующие покрытия);

- 1,5 мм"1 < !>уд < 20,0 мм'1 - ПСК с частично закрытой поверхностью испарения летучих веществ (печатные платы с навесными компонентами, гибкие шлейфы к т.д);

- БуД < 1,5 мм"1 - ПСК с закрытой поверхностью испарения летучих веществ (клеевые соединения, печатные платы с плотно расположенными компонентами).

В процессе термообработки полимера идёт его отверждение (структурирование) за счёт реакции входящих в него молекул. Этот процесс продолжается до определённого момента, когда молекулы, в силу малой подвижности, уже не могут покинуть полимер и выделиться в окружающую среду. Число таких молекул (необратимых) в полимере составляет 2 - 5 %. Полимер при этом имеет наилучшие параметры Др1, Дб], Л^ 5] (для времени (рис. 2). Любое нарушение технологического процесса (снижение температуры, уменьшение времени термообработки, излишнее число изделий в термошкафу, или, например, его проведение в течение времени ^ < <1), неизбежно ведёт к ухудшению его параметров и содержанию "обратимых" подвижных молекул (Дрз, Дез, Д1£ 62). Эти молекулы - потенциальные "загрязнители" объёма корпуса, поэтому необходимо строго соблюдать установленные режимы термообработки.

На основании вышесказанного определены оптимальные режимы термообработки клеев ВК-9, К-400, КВК-68, обеспечивающие наиболее полное их отверждение. Прочность клеевых соединений, подвергнутых термообработке по, этим новым режимам, возросла ь 1,5 2,5 раза по сравнению с прочностью соединений, полученных с отверждением клеев по режимам, рекомендованным соответствующими ОСТами, а количество продуктов газовцяеяения для новых режимов оказалось меньше, чем для известных. , -

Полученные результаты, наряду с данными по определению оптимальных . режимов сушки и отверждения полимеров, иогут быть использованы технологами

при отработке оптимальных технологических процессов, обеспечивающих минимальные массы выделяемых летучих веществ в герметичных блоках.

Использованные для контроля свойств клеевых соединений термоэлектрический и гравиметрический методы позволили охарактеризовать качество образцов исследованных материалов, обработанных по различным температурным режимам, дифференцировав их по глубине отверждения (которая для клея ВК-9 характеризуется степенью сшивания эпоксидных циклов (групп)).

от времени термообработки Ъ где

Др, Да, 6 - полимер содержит обратимые и необратимые компоненты; Дрь Леи Дtg 5( - полимер содержит необратимые компоненты; Ар:, Деь 5} - полимер содержит обратимые компоненты;

Наибольшей термостабильностью из исследованных материалов обладают ГЙПК 23-12 и КЭЗ (потеря Массы А т/т -0,35 + 0,4 % при 125 ° С), наименьшей , — материал 154-167 (Дт/т » 2 % при 125 • С).

В третьей главе проведены исследования с помощью масс-спектрометра и построение для него градуировочных характеристик, что позволяет анализировать качественный и количественный вклад полимерных материалов герметичного блока в изменение микроклимата внугрикорпусной среды, определяющей надёжность блоков ЭВС. Контроль точности получаемых экспериментальных данных может быть осуществлён путём периодических пересъёмок грядуировочных характеристик.

Одним ш способов уменьшения выделения паров воды можно считать правильный выбор режимов отверждения полимерных материалов, так как их влагосодержание, как подтверждают результаты экспериментов, зависит от режимов термообработки и будет тем меньше, чем глубже структурирование, т. е. более полное отверждение.

Режимы отверждения влияют на коэффициенты растворимости влаги в полимерах, на влагозащитные свойства полимеров и на начальную влажность во внугрикорпусной среде герметизируемых изделий ЭВС, что подтверждается результатами хромато графического исследования газовыделений и ИК-спеетрами клеев, отверждённых по различным режимам. Анализ материалов блока с помощью описанного масс-спектрометр ического метода позволяет выбрать их оптимальное соотношение в блоке и, тем самым, повысить качество и надёжность выпускаемых изделий.

Установлено, "по клеи с наполнителями сорбируют больше влаги, чем клеи без наполнителей вследствие более пористой их структуры. С ростом температуры разница во влагосодержании продуктов газовыделения клеев с наполнителями и без них несколько снижается, но различие сохраняется. Полученные экспериментальные данные позволяют сделать вывод о более высоком влагосодержании эластичных кремнийорганических каучуков по сравнению с в ллтосо держа пнем жёстких, более плотных эпоксидных смол, а также о предпочтительности использования герметика КЭЗ по сравнению с компаундом Виксшгг - «Победа».

Разработаны методики определения влатосодержания полимерных материалов и расчёта равновесного влагосодержаиия внугрикорпусной среды герметизируемых изделий, которые позволяют определить массу влаги, закладываемую внутрь корпуса при его сборке, монтаже и герметизации, и

разработать специальные меры по её удалению с помощью специальных хонструкторско-технологических приёмов и поддержанию заданной низкой концентрации в процессе эксплуатации устройства.

Равновесное давление Рвжр п&ров воды в корпусе, заполненном сухим газом, рассчитывается по формуле:

К'Уп-Р*? . „ м

Р „_:_^_сс_ и =_

' игр * » ,/

Масса влаги, закладываемая в корпус рассчитывается по формуле: «о -Гл*1ь'Р9

где Ущ - обь«м ¡-ого ПСК; Уп - объём всех ПСК; Ьщ - коэффициент растворимости влаги ¡-ого ПСК; Ь*п - интегральный коэффициент растворимости; Рхр — давление паров воды при котором хранились ПСК; Ьг - коэффициент растворимости газовой среды в корпусе (Ьг » 9,87 * 10'7 г.^см3 * мм.рт.ст.)); Уг -парогазовый объём корпуса.

Проанализированы характерные растворители и содержащие их растворы полимеров (эмали, лаки), с помощью масс-спектрометра исследоганы качественные составы нх газовыделений и проведена идентификация полученных масс-спектров. Экспериментально определены относительные летучести ацетона, толуола и этилового спирта, с учётом которых возможно выполнение расчётов по определению потерь массы и корректировка режимов термообработки полимер содержащих конструктивов, в составы которых входят эти растворители: Разработанная расчётная методика внесения необходимых добавок масс ингредиентов в смеси растворителей подтверждена экспериментально с помощью масс-спектрометрических исследований газовыделеннй. Введение расчётных количеств добавок позволяет с достаточно высокой точностью 5 %) сохранять первоначальный состав смеси растворителей. Добавки рассчитывались по формуле:

7=1

где п\ - потеря массы 1-м растворителем, в, следовательно, значение необходимой добавки, гр.; ш,- потеря массы смесью растворителей, тр.; X, -мольная доля 1-го растворителя в смеси; Н, - относительная летучесть 1-го растворителя.

Измерения вязкости раствора показали, что вязкость распора по мере испарения растворителей смеси увеличивается, но после введения расчётного количества добавок в раствор полимеров возвращается к исходному значению. Периодическая корректировка состава растворов полимеров, содержащих смеси растворителей, базирующаяся на учёте летучестей отдельных растворителей смеси, практически удобна и легко реализуема. Использование разработанной программы расчёта добавок целесообразно для экспрессного (оперативного) расчёта и внесения добавок отдельных растворителей.

В четвёртой главе экспериментально установлено влияние состава газовых сред на параметры функционирующих в этих средах полупроводниковых приборов. Сделан вывод что стабильность параметров бсскорпусньос полупроводниковых приборов может бьггь обеспечена за счёт использования защитных полимерных покрытий и (или) за счёт исключения из состава парогазовой среды агрессивных компонентов, отрицательно влияющих на их работоспособность. Нестабильность параметров и отказы полупроводниковых приборов, связанные с протеканием электрофизических процессов в . герметизирующем покрытии могут быть вызваны электрическим шунтированием р-п перехода герметизирующим покрытием и влиянием поляризационных зарядов, накапливающихся в защитном герметизирующем слое у границы его раздела с оксидом кремния в месте выхода на поверхность р-п перехода. Учитывая соотношение р герметикой н обратно-смещённых р-ц переходов, шунтирование последних маловероятно.

Проведённые исследования влияния летучих продуктов газовыделенн* . полимерных материалов: клея К-400, компаунда КЭЗ й герметика СИЭЛ на параметры незащищённых и защищенных покрытиями ЛКС, ЛД и ПФО полупроводниковых приборов позволили сделать вывод о том, что все исследуемые приборы выдержали термоэлектрическое старение в течение— 1200 часов.

> »

Наиболее сильное влияние, выражающееся в увеличении обратного тока и уменьшении напряжения пробоя и,, р-п переходов, на незащищённые покрытиями структуры оказывают продукты газовьщеления клея К-400, у защищенных покрытиями приборов зафиксировано увеличение и^, наиболее сильное у защищенных ПФО, меньшее - у приборов защищенных ЛСК и ещё меньше - у защищенных ЛД. Наличие в камере продуктов газовыделеняя материала СИЭЛ также приводит к увеличению и^, наиболее сильному у приборов защищенных ЛСК и боле« слабому - у защищенных ЛД и ПФО. Наиболее неблагоприятное воздействие на параметры полупроводниковых приборов оказывают продукты газовыделения КЭЗ. У приборов защищенных ЛКС и ПФО наблюдалось уменьшение и,,,, а у защищенных ЛД - 1Ц практически не изменилось. Таким образом, различный состав продуктов газовьщеления полимерных материалов К-400, СИЭЛ и КЭЗ приводит к дифференцированным результатам их воздействия на параметры полупроводниковых приборов. Увеличение 1Ц р-п переходов, покрытых полимерными материалами, по сравнению о незащищёнными приборами, свидетельствует о наличии зарядов в покрытиях, влияющих на механизмы возникновения пробоя.

Исследована зависимость напряжения отсечки и^с от времени I после электр отермотреннровки (ЭТТ) МДП-траюисторов, показавшая, тго основное влияние на параметр и„ оказывает краевое электрическое пгше - в промежутках затвор-исток я затвор-сток, а не поперечное (относительно канала). Зависимость иотс0) обусловлена взаимодействием составляющих электрических полей подзатворного диэлектрика и герметизирующего покрытия. Физические основы полученных результатов связаны с релаксационной поляризацией даолектриков.

Оценка коррозионной стойкости металлической разводки в условиях термо-и термоэлектрического старения приборов, незащищённых и защнщОтгых полимерными покрытиями показала наличие следов коррозии у е«ч исследованных образцов. Наиболее слабо коррозия проявилась на прибор-,к, защищенных ПФО, наиболее сильно - у защищенных ЛД Сравнение разли ч и результатов термо- и термоэлектрического старения приборов позволяет счуп^г ., что коррозия под зашитыми покрытиями проходит слабо. Наиболее сильно ш, I проявляется в местах присутствия напряжения и зависит от его велич;нл>1.

В пятой главе экспериментально подтверждены теоретические основы мишшшации температуры точки росы Тр во внутренних объёмах герметичных блоков, нашедшие практическое подтверждение в экспериментальных БКТР. Выбрана система параметров для характеристики блоков с котролируемой температурой Тр.

Доказана возможность контроля влажности в герметичных блоках ЭВС с помощью конденсационных и сорбционных дискретных датчиков. Конструкция конденсационного плёночного датчика влажности представляет собой плёночные проводники, нанесённые на подложку т сютлла с внешними проволочными выводами.

Проведена классификация технологических веществ и летучих продуктов деструкции, использованных в ЭВС матер шло в по значениям критической температуры Т^, (см. рис. 3), установлен порядок расчётно-экспериментального определения остаточных влаги и растворителей в полимер содержащих конструктивах по значениям температуры точки росы Тр в блоках ЭВС. Составлены рекомендации по составу полимерных материалов в блоках ЭВС и технологическим процессам их переработки с учётом требований го значениям температуры Тр остаточных влага и растворителей

Получены сравнительные характеристики адсорбционной способности влагопоглотигелей из различных материалов в диапазоне температур 25 ... 125°С. Адсорбционная способность (в % или г/100 г), т. е. количество воды, которое может поглотить 100 г. адсорбента при определённой температуре, существенно зависит от давления поглощаемых паров воды. Проведённые исследования показали пригодность использования промышленных адсорбентов для регулирования содержания паров воды во внугрикорпусной среде герметичных блоков. Как видно из таблицы 4, наилучшей поглощающей способностью по воде к при низких и при высоких давлениях паров воды в корпусе обладают цеолиты НаХиНаА.

Для поддержания внутри герметичного блока в процессе его эксплуатации температуры точки росы в пределах Тр < -60° С перспективно использование двух приёмов: предварительной низкотемпературной термообработки (при Т« 70° С) ПСК и »ведение расчётного ¡..-л.лоства адсорбента. Сот-гание оСюих указагагак

приёмов позволяет учесть различные факторы, обусловливающие нестабильность состава внутрикорпусной среды и надёжно поддерживать температуру точки росы по влаге в пределах Тр $ -60° С.

Таблица 4. Адсорбционная способность а (в г/100 г) промышленных адсорбентов по шрам воды при Т = 20° С.

Адсорбент Парциальное давление паров воды Па (мм. рт. ст.)

0,133 (10э) 1,33 (Ю4) 13,3(10') 133(10")

Цеолит 3,5 9,0 18,0 20,0

Цеолит ЫаА 3,2 6,0 15,0 18,0

Цеолит СаА 4,0 9,0 14,0 16,0

Окись алюминия 1,5 2,0 3,0 5,0

Сияикагель 0,2 0,4 1Д 7,0

мелкопористый

Исследования адсорбционной способности цеолитов по парам растворителей позволили получить данные, показывающие её зависимость от диаметра входного окна цеолитов. Показано, что адсорбция осуществляется поверхностью и объёмом (в поры). Наилучшей адсорбирующей способностью обладает цеолит КаХ, имеющий диаметр входного окна 9 А, который хорошо сорбирует толуол, ацетон и этиловый спирт. Наиболее заметно поверхностная адсорбция выражена для спирта, что, по-видимому, определяется полярным характером его молекул.

Проведённые исследования показали пригодность цеолитов для регулирования содержания во внутрикорпусной парогазовой среде, как паров воды, так и паров растворителей, наилучшим образом сорбирует пары растворителей цеолит КаХ. Вместе с тем, многие растворители хорошо сорбируются активированным углём, использование которого, в герметичных блоках ограничено его хрупкостью.

Показано, что на участке сборки и герметизации должны регламентироваться масса одновременно загружаемых в термошкаф изделий (или их количество Ы), которая зависит от вида использованных растворителей (молекулярной массы ц и давления Р„ насыщенных паров), объёма термошкафа и температуры сушки. При удалении растворителей с поверхности изделий несла их очистки и обезжиривания число загружаемых изделий должно составлять:

Р V н и

N <,---

т ЯГ Р

где Шр — масса растворителя на поверхности изделии.

500 400

300 200 100 0

. Составляющие рабочей Пары остаточных растворителей Летучие продукты деструкции в газообразной среды I рабочей среде. рабочей среде.

Группа 1 Группа 2 ГруплаЗ

Рис. 3. Критические температуры газообразных составляющих рабочей среды корпусов ц потенциально возможных парообразных и газообразных примесей, выделяемых вспомогательными и основными органическими ьитсрилламя

Основные результаты работы I. Показано, что стабилизация микроклимата в корпусах ЭВС является сложной и шкиофакторной задачей, требующей комплексного подхода для её решения.

-112. Сформулированы основные проблемы при разработке герметичных ЭВС, содержащих внутренние газовые полости: правильный подбор полимерных материалов и элементов конструкция, определение состава ПСК и технология их обработки, в том числе термообработки (отверждения), идентификация продуктов газовыделений ПСК с определением количественных и качественных характеристик процесса газовыделеиия, минимизация или исключение негативного влияния продуктов газовыделения ПСК на параметры элементов и компонентов ЭВС, коррозионную стойкость межэлементной разводки, регулирование и стабилизация количественного и качественного состава внутрикорпусной среды герметичных блоков и повышение эксплуатационной надёжности ЭВС.

3. В результате выполнения данной работы удалось найти приемлемые решения по перечисленным в п. 2 проблемам: установлен состав характерных полимерных материалов блоков ЭВС, являющихся генераторами водяных паров и других летучих веществ, проанализирован с помощью современных методов исследования - масс-спектрометрии, ИК-спектроскопии, газовой хроматографии и гравиметрии количественный и качественный состав их газовыделекий, разработаны методики исследования и выполнены необходимые работы по определению влагосодержания ПСК, входящих в состав блока, разработаны методики снижения равновесного влаго содержания внутрикорпусной парогазовой среды до заданного значения температуры точки росы Тр.

4. Исследование влияния продуктов газовыделения ПСК га параметры активных элементов и коррозионную стойкость межэлеменгной разводки позволили дать конкретные рекомендации по применению исследованных ПСК и обеспечить

. стабильность параметров элементов и коррозионной стойкости межэлеменгной разводки.

5. Разработанные методики исследований и испытаний материалов, конструктивов и блоков в совокупности обеспечивают получение и поддержание стабильными в течение длительного времени температуры точки росы Тр в блоках ЭВС и параметров самих блоков, а следовательно оптимизировать процесс сборки, монтажа и герметизации ЭВС.

-226. Проведённый анализ принципов измерения и конструкций датчиков влажности, полученные результаты экспериментов доказали возможность контроля влажности в герметичных блоках с помощью конденсацшитых и сорбционйых дискретных датчиков. Использованные методы исследования пригодны для измерения температуры Тр многокомпонентных парогазовых смесей и контроля влаго- и газовыделений из инструкционных материалов и ПСК, входящих в конструкции блоков герметичных ЭВС.

7. С помощью разработанных методик определения влаго содержания полимерных материалов и расчёта равновесного влагосодержания внугрикорпусной среды герметизируемых изделий можно определять массу влаги, закладываемую внутрь корпуса при его сборке, монтаже и герметизации, и применять меры по её удалению с помощью специальных конелфукторехо-технологических приёмов.

8. Исследования показали пригодность использования цеолитов для регулирования содержания во внугрикорпусной парогазовой среде как паров »оды, так и паров растворителей. Исследования адсорбционной способности цеолитов по парам растворителей позволили получить данные, показывающие её зависимость от диаметра входного окна цеолитов. Показано, что адсорбция осуществляется поверхностью и объёмом.

9. Использование ЭВМ ц>и выполнении расчётов и обработан результатов измерений позволило увеличить надёжность полученных данных, облегчило их систематизацию и обработку результатов измерений и испытаний.

Публикации

1. НальскиЙ А. А., Волков В А Регулирование микроклимата в корпусах ЭВС конструктивно - технологическими средствами. "Микроэлектроника и информатика - 98". Всероссийская межвузовская научно • техническая конференция студентов и аспирантов. Тезисы докладов. Ч. 1. М.: МИЭТ, 1998, с. 57. .

2. Нальский А.А., Симонов Б.М. Исследование возможностей стабилизации составов растворов полимеров для полимерсодержящих конструктивов. "Микроэлектроника и информатика - 99". Всероссийская межвузовская научно

-212. Сформулированы основные проблемы при разработке герметичных ЭВС, содержащих внутренние газовые полости: правильный подбор полимерных материалов и элементов конструкции, определение состава ПСК и технология их обработки, в том числе термообработки (отверждения), идентификация продуктов газовыделений ПСК с определением количественных и качественных характеристик процесса газовыделения, минимизация или исключение негативного влияния продуктов газовыделения ПСК на параметры элементов и компонентов ЭВС, коррозионную стойкость межэлементной разводки, регулирование и стабилизация количественного и качественного состава внутрикорпусной среды герметичных блоков и повышение эксплуатационной надёжности ЭВС.

3. В результате выполнения данной работы удалось найти приемлемые решения по перечисленным в а 2 проблемам: установлен состав характерных полимерных материалов блоков ЭВС, являющихся генераторами водяных паров и других летучих веществ, проанализирован с помощью современных методов исследования - масс-спектрометрии, ИК-спектроскопии, газовой хроматографии и гравиметрии количественный и качественный состав их газовыделений, разработаны методики исследования и выполнены необходимые работы то определению влаго содержания ПСК, входящих в состав блока, разработаны методики снижения равновесного влаго со держания внутрикорпусной парогазовой среды до заданного значения температуры точки росыТр,

4. Исследование влияния продуктов газовыделения ПСК на параметры активных элементов и коррозионную стойкость меяолеменгной разводки позволили дать конкретные рекомендации по применению исследованных ПСК и обеспечить

. . стабильность параметров элементов и коррозионной стойкости межэлементной разводки.

5. Разработанные методики исследований и испытаний материалов, конструктивов и блоков в совокупности обеспечивают получение и поддержание стабильными в течение длительного времени температуры точки росы Тр в блоках ЭВС н параметров самих блоков, а следовательно оптимтаировать процесс сборки, монтажа и герметизации ЭВС. .

6. Проведённый анализ принципов измерения и конструкций датчиков влажности, полученные результаты экспериментов доказали возможность контроля влажности в герметичных блоках с помощью конденсационных н сорбционйых дискретных датчиков. Использованные методы исследования пригодны для измерения температуры Тр многокомпонентных парогазовых смесей и контроля в даго- и газовыделекий из конструкционных материалов и ПСК, входящих в конструкции блоков герметичных ЭВС.

7. С помощью разработанных методик определения в ла госодер жя ник полимерных материалов и расчёта равновесного в лаго содержания внутрихорпусной среды герметизируемых изделий можно определять массу влаги, закладываемую внутрь корпуса при его сборке, монтаже и герметизации, и применять меры ш её удалению с помощью специальных конструкторско-технологическнх приёмов.

8. Исследования показали пригодность использования цеолитов для регулирования содержания во внутрикорпусной парогазовой среде как паров воды, так и паров растворителей. Исследования адсорбционной способности цеолитов по парам растворителей позволили получить данные, показывающие её зависимость от диаметре входного окна цеолитов. Показано, что адсорбция осуществляется поверхностью и объёмом.

9. Использование ЭВМ при выполнении расчётов и обработки результатов измерений позволило увеличить надёжность полученных данных, облегчило их систематизацию и обработку результатов измерений и испытаний

Публикации

1. Налъский А.А., Волков В.А. Регулирование микроклимата в корпусах ЭВС конструктивно - технологическими средствами "Микроэлектроника и информатика - 98". Всероссийская межвузовская научно • техническая конференция студентов и аспирантов. Тезисы докладов. Ч. I. М.: МИЭТ, 1998, с. 57. .

2. Нальский А.А., Симонов Б.М. Исследование возможностей стабилизации составов растворов полимеров для полимсрсодержащих конструктивов. "Микроэлектроника и информатика - 99". Всероссийская межвузовская научно

»

-23- техническая конференция студентов и аспирантов. Тезисы докладов. М.: МИЭТ, 1999, с. 69.

3. Симонов Б.М., Волков В.А., Нальский А.А Исследование возможностей стабилизации температуры точки росы ш влаге" внутрикорпусной среды герметичных блоков МЭА. - М.: МИЭТ, Известия ВУЗов. Электроника., №2, 2000, с. 53-56.

4. Симонов Б.М., Волков В.А., Нальский A.A. Исследование динамики изменения состава растворов полимеров в микроэлектронных устройствах - М.: МИЭТ, Известия ВУЗов. Электроника., Jfe3,2000, с. 16-19.

5. Нальский A.A., Симонов Б.М. Исследование влияния клеевых покрытий на коррозионную стойкость пленочных элементов микросборок. "Микроэлектроника и . информатика - 2000". Седьмая всероссийская межвузовская научно - техническая конференция студентов и аспирантов. Тезисы докладов. М.: МИЭТ, 2000, с, 33

6. Нальский A.A., Симонов Б.М. Исследование поглощения паров растворителей цеолитами. "Электроника и информатика - XXI век". 3-я Международная научно-техническая конференция. М.: МГИЭТ, 2000.

Подписано в печать Заказ Тираж Обгем<!3 Отпечатано в типографии МИЭТ_,

- техническая конференция студентов и «спирантов. Тезисы докладов. М.: МИЭТ, 1999, е. 69.

3. Симонов Б.М., Волков В.А., Нальский A.A. Исследование возможностей стабилизации температуры точки роем го влаге' вяутрикорпусной среды герметичных блоков МЭА. - М.: МИЭТ, Извести* ВУЗов. Электроника., №2, 2000, с. 53-56.

4. Симонов Б.М., Волков В.А, Нальский A.A. Исследование динамики изменения состава растворов полимеров а микрозле стройных устройствах • М.: МИЭТ, Известия ВУЗов. Электроника., №3,2000, с. 16-19.

5. Нальский A.A., Симонов Б.М. Исследование влияния клеевых покрытий га коррозионную стойкость пленочных элементов микросборок. "Микроэлектроника и . информатика - 2000". Седьмая всероссийская межвузовская научно - техническая конференция студентов и аспирантов. Тезисы докладов. М.: МИЭТ, 2000, с. 53

6. Нальский A.A., Симонов Б.М. Исследование поглощения паров растворителей цеолитами "Электроника и информатика - XXI вех". 3-я Международная научно-техническая конференция. М.; МГИЭТ, 2000,

Подписано в печать Заказ Тираж ?0 Объем/?3

Отпечатано в типографии МИЭТ

Введение.

1. Современное состояние и перспективы производства микроэлектронных изделий в полых корпусах.

1.1. Проблемы производства изделий микроэлектроники в полых корпусах.

1.2. Массообмен во внутрикорпусной среде герметичных блоков.

1.3. Механизм антикоррозионной защиты элементов и стабилизация параметров компонентов ЭВС.

1.4. Контроль и стабилизация параметров внутрикорпусной парогазовой среды изделий микроэлектроники.

1.5. Выводы.

2. Исследования свойств характерных полимерных материалов герметичных блоков, определяющих их функционирование в герметичных объёмах.

2.1. Общая характеристика материалов, применяемых в производстве ЭВС.

2.2. Исследуемые полимерные материалы, их свойства ирежимы обработки.

2.3. Формирование эксплуатационных свойств ПСК.

2.4. Исследование процессов теплового старения полимерных материалов.

2.5. Выводы.

3. Исследование процессов газовыделения и анализ влагосодержания основных

ГЛВ ЭВС.

3.1. Масс-спектрометрический анализ газовых проб.

3.2. Особенности программы расчёта на ЭВМ градуировочных характеристик масс-спектрометра.

3.3. Исследование газовыделений полимеров и оценка влагосо держания основных ГЛВ герметизируемых блоков с помощью масс-спектрометра МСХ-6.

3.4. Хроматографические исследования.

3.5. Исследование клеев ВК-9 и К-400 методом ИК спектроскопии.

3.6. Анализ типовых конструкций ЭВС и расчёт влагосодержания типового блока.

3.7. Анализ составов растворителей и исследование их газовыделений.

3.8. Исследование динамики изменения состава растворов полимеров, используемых в ЭВС, и возможностей его стабилизации.

3.9. Расчёт необходимых добавок индивидуальных растворителей с целью поддержания постоянным состава раствора полимера на основе их смеси.

3.10. Вывода.

4. Исследование влияния газовых сред на активные и пассивные элементы, функционирующие в герметичных объёмах.

4.1. Основные виды отказов полупроводниковых приборов, защищенных полимерными материалами.

4.2. Исследование влияния защитных покрытий из эмали ЭП-91 и лака АД-9103 на стабильность характеристик полупроводниковых приборов.

4.3. Определение влияния полимерных защитных материалов на стабильность характеристик р-n переходов во времени.

4.4. Определение влияния продуктов газовыделения полимерных материалов на параметры защищенных и незащищённых бескорпусных полупроводниковых структур.

4.5. Исследование влияния защитных покрытий из полимерных материалов на стабильность параметров полевых МДП-транзисторов.

4.6. Влияние защитных покрытий и продуктов газовыделения полимерных материалов на коррозионную стойкость металлической разводки п/п приборов.

4.7. Выводы.

5. Разработка экспериментальных блоков с контролируемой температурой точки росы (БКТР).

5.1. Общая характеристика экспериментальных БКТР.

5.2. Требования к измерительным приборам, их характеристика и особенности функционирования.

5.3. Выбор материалов и технологических процессов их переработки для снижения равновесного влагосодержания в герметичных блоках.

5.4. Исследование возможностей стабилизации температуры точки росы по влаге внутрикорпустой среды герметичных блоков ЭВС.

5.5. Исследование поглощения паров растворителей цеолитами.

5.6. Выводы.

Эксплуатационные параметры и надёжность электронных вычислительных средств (ЭВС), изготовляемых на основе бескорпусной элементной базы и герметизируемой в полые корпуса, в большой мере определяется составом внутрикорпусной парогазовой среды и динамикой её изменения в процессе хранения и эксплуатации аппаратуры.

Во внутрикорпусной среде обычно со временем повышается концентрация паров воды и других веществ, и это повышение может привести к достижению критических значений концентрации, соответствующим отказам изделий. Происходящие процессы связаны с наличием в корпусах достаточно широкой номенклатуры конструкционных материалов, прежде всего, полимерных материалов и полимеросодержащих конструктивов (ПСК) на их основе, способных выделять летучие вещества различного химического состава: влагу, остаточные растворители, продукты деструкции.

Во внутрикорпусной среде могут оказаться и летучие компоненты технологических материалов - растворителей, фоторезистов, флюсов и др., обладающих повышенной летучестью или низкой нагревостойкостью. Поэтому конструкторам и технологам в максимально возможной степени следует удалять эти вещества до герметизации аппаратуры.

Существенное значение имеет качественный состав летучих веществ, выделяемых из конструкционных материалов при эксплуатации изделия, он определяется газовыделениями ПСК, входящих в его состав. Выделяющиеся летучие вещества, конденсируясь на элементах конструкций, могут инициировать развитие коррозионных процессов, повышать токи утечки между различными функциональными элементами и вызывать другие процессы. Конденсацию летучих веществ на поверхностях элементов конструкции можно предотвратить, применив следующие основные конструктивно-технологические приёмы: используя в конструкции материалы, выделяющие летучие вещества с критической температурой Ткр ниже минимальной рабочей температуры блока, например Т^ < -60° С;

- 6— проводя термообработку ПСК до такой степени, чтобы оставшаяся масса летучих веществ, по значениям температуры Ткр, не удовлетворяющих предыдущему требованию, не была бы способна образовывать конденсат при минимальной рабочей температуре блока; используя материалы нагревостойкостью не ниже класса В (Трутах < 125° С) с целью снижения массы летучих продуктов деструкции в процессе эксплуатации; используя адсорбенты (геттеры), поглощающие летучие вещества по мере их выделения из ПСК в процессе эксплуатации изделия.

Указанные приёмы необходимо отработать и конкретизировать для современных ЭВС с учётом особенностей её конструкции, используемых материалов и технологии их переработки Необходим поиск эффективных конструкторско-технологических решений и приёмов, которые позволили бы обеспечить стабилизацию микроклимата в корпусах ЭВС и тем самым повысить надёжность её работы.

5.6. Выводы.

1. Экспериментально подтверждены теоретические основы минимизации температуры точки росы Тр во внутренних объёмах герметичных блоков, нашедшие практическое подтверждение в экспериментальных БКТР. Выбрана система параметров для характеристики блоков с контролируемой температурой Тр.

2. Доказана возможность контроля влажности в герметичных блоках ЭВС с помощью конденсационных и сорбционных дискретных датчиков. На основе кварцевого мультиметра МК-1 разработан экспериментальный стенд для контроля влажности в блоках и калибровке датчиков в единицах температуры точки росы Тр. разработанный стенд пригоден также для измерения Тр многокомпонентных смесей и контроля влаго- и газовыделения из конструкционных материалов и ПСК.

3. Проведена классификация технологических веществ и летучих продуктов деструкции, использованных в ЭВС материалов по значениям критической температуры Т^, установлен порядок расчётно-экспериментального определения остаточных влаги и растворителей в полимер содержащих конструктивах по значениям температуры точки росы Тр в блоках ЭВС. Составлены рекомендации по составу полимерных материалов в блоках ЭВС и технологическим процессам их переработки с учётом требований по значениям температуры Тр остаточных влаги и растворителей.

4. Получены сравнительные характеристики адсорбционной способности влагопоглотителей из различных материалов в диапазоне температур 25 . 125° С. Проведённые исследования показали пригодность использования промышленных адсорбентов для регулирования содержания паров воды во внутрикорпусной среде герметичных блоков, наиболее перспективными для этого являются цеолиты NaA и NaX.

5. Для поддержания внутри герметичного блока в процессе его эксплуатации температуры точки росы в пределах Тр < -60° С перспективно использование двух приёмов: предварительной низкотемпературной

Заключение.

Анализ результатов проведённых в данной работе исследований позволяет сделать следующие выводы:

1. Стабилизация микроклимата в корпусах ЭВС является сложной и многофакторной задачей, требующей комплексного подхода для её решения.

2. Основными проблемами при разработке герметичных ЭВС, содержащей внутренние газовые полости, являются следующие: правильный подбор материалов и элементов конструкции, определение состава полимеросодержащих конструктивов (ПСК) и технология их обработки, в том числе термообработки (отверждения), идентификация продуктов газовыделений ПСК с определением количественных и качественных характеристик процесса газовыделения, минимизация или исключение негативного влияния продуктов газовыделения ПСК на параметры элементов и компонентов ЭВС, коррозионную стойкость межэлементной разводки, регулирование и стабилизация количественного и качественного состава внутрикорпусной среды герметичных блоков и повышение эксплуатационной надёжности ЭВС.

3. В результате выполнения данной работы удалось найти приемлемые решения по перечисленным в п. 2 проблемам: установлен состав характерных полимерных материалов блоков ЭВС, являющихся генераторами водяных паров и других летучих веществ, проанализирован с помощью современных методов исследования — масс-спектрометрии, ИК-спектроскопии, газовой хроматографии количественный и качественный состав их газовыделений, разработаны методики исследования и выполнены необходимые работы по определению влагосодержания ПСК, входящих в состав блока, разработаны методики снижения равновесного влагосодержания внутрикорпусной парогазовой среды до заданного значения температуры точки росы Тр.

4. Исследование влияния продуктов газовыделения ПСК на параметры активных элементов и коррозионную стойкость межэлементной разводки позволили дать конкретные рекомендации по применению исследованных ПСК и обеспечить стабильности параметров и коррозионной стойкости межэлементной разводки

5. Разработанные методики исследований и испытаний материалов, конструктивов и блоков в совокупности обеспечивают получение и поддержание в течение длительного времени температуры точки росы Тр в блоках ЭВС и оптимизировать процесс сборки, монтажа и герметизации ЭВС.

6. Проведённый анализ принципов измерения и конструкций датчиков влажности, полученные результаты экспериментов доказали возможность контроля влажности в герметичных блоках с помощью конденсационных и сорбционных дискретных датчиков. Разработанный стенд на основе мультиметра «МК-1» пригоден для измерения температуры Тр многокомпонентных парогазовых смесей и контроля влаго- и газовыделений из конструкционных материалов и ПСК, входящих в конструкции блоков герметичных ЭВС.

- 1717. Использование ЭВМ при выполнении расчётов и обработки результатов измерений позволило увеличить надёжность полученных данных, облегчило их систематизацию и обработку результатов измерений и испытаний

1. Конструирование аппаратуры на БИС и СБИС/ Под ред. Б.Ф. Высоцкого, В.Н. Сретенского. - М.: Радио и связь, 1989, 272 с.

2. Горошков Б.И. Радиоэлектронные устройства: Справочник. М.: Радио и связь, 1984, 400 с.

3. Заковряшин А.И. Конструирование радиоэлектронной аппаратуры с учётом особенностей эксплуатации. М.: Радио и связь, 1988, 120 с.

4. Кейджян Г.А. Основы обеспечения качества микроэлектронной аппаратуры. М.: Радио и связь, 1991, 231 с.

5. Яшин A.A. Конструирование микроблоков с общей герметизацией. М.: Радио и связь, 1985, 100 с.

6. Гуськов Г.Я., Блинов Г.А., Газаров A.A. Монтаж микроэлектронной аппаратуры. -М.: Радио и связь, 1986.

7. Коледов ДА., Ильина Э.М. Микроэлектронная аппаратура. М.: Высшая школа, 1987, 128 с.

8. Ануфриев А.Н., Ходос Ю.А. Испытания на герметичность пластмассовых корпусов. Электронная промышленность, №4, 1991, 30-32.

9. Стандарт МЭК 749-Ш, 5В Испытания на воздействие влажного тепла.

10. Т. Wada е. a. Study of acceleration on factor on moisture resistance test of plastic encapsulated semiconductor devices. Microelectronic and reliability, 1988, kol. 28, №5, p.p. 813-820.

11. Чернышов A.A., Крутоверцев С.А., Бутурлин А.И. Контроль влажности в корпусах интегральных схем. Зарубежная электронная техника, 1987, №2 (309), 3-63.

12. Волков В.А. Сборка и герметизация микроэлектронных устройств. М.: Радио и связь, 1983.

13. Горлов М.И. Конструкционные методы повышения надёжности интегральных микросхем. Воронеж: МИГ, 1995, 60 с.

14. Бережной В.П., Дубицкий Л.Г. Выявление причин отказов РЭА. М.: Радио и связь, 1983.

15. Баринов П.Е., Торопов Ю.А. Применение масс-спектрального метода контроля компонентов газовой среды подкорпусного объёма микроэлектронных приборов. -Электронная промышленность, №1, 1996, 27.

16. Баринов П.Е., Торопов Ю.А. Применение масс-спектрального метода для контроля компонентов газовой среды подкорпусного объёма электронных приборов. -Электронная промышленность, №4, 1996, 71-74.

17. Воженин И.Н., Блинов Г.А., Коледов Л.А. и др. Микроэлектронная аппаратура на бескорпусных интегральных микросхемах. М.: Радио и связь, 1985.

18. Ксёнз С.П. Диагностика и ремонтопригодность радиоэлектронных средств. М.: Радио и связь, 1989, 248 с.

19. Kapp Д. Диагностика и ремонт аппаратуры радиосвязи и радиовещания. М.: Мир, 1991, 399 с.

20. Повышение конкурентоспособности радиоэлектронной аппаратуры: Опыт, результаты, проблемы/ под ред. Л.И. Волгина. Таллинн: Валгиус, 1988, 261 с.

21. Лигвинский И.В. Обеспечение безотказности микроэлектронной аппаратуры на этапе производства. Минск: Беларусь, 1989, 191 с.

22. Волков В.А. Современные проблемы сборки и герметизации микроэлектронных устройств. Электронная промышленность, №2, 1990, 11-13.

23. Джоветт Ч.Э. Производство надёжных электронных устройств/ Под ред. A.A. Васенкова. М.: Сов. радио, 1975.

24. Волков В.А., Прозоровский Б.С., Воронова Н.И. Исследование влияния эксплуатационных факторов на работоспособность полупроводниковых приборов, защищенных полимерами Материалы радиоэлектроники, труды МИРЭА, №74, 1975, 123-131.

25. Roxnewaig A. Solid state technology. №3, 1982, p. 91.

26. Subsurface imaging of Ш V materials/ Technical report: thermal - wave jnc., January, California, USA, 1983.

27. Родзял П. Технология герметизации элементов РЭА. М.: Радио и связь, 1981.

28. Михайлов М.М. Влагопроницаемосгь органических диэлектриков. М.: Энергоиздат, 1980.

29. Вайтулевич Е.А., Гавриленко H.A., Ерёмина НО., Жданова Т.В., Изаак Т.Н., Мокроусов Г.М., Музыка A.A., Смагин В.П., Юрченко В.И Расширениефункциональных возможностей полимерных материалов. Электронная промышленность, №1-2, 1998, 74-79.

30. Липатов Ю.С. Физико-химические основы наполнения полимеров. М.: Химия, 1991, 260 с.

31. Сотников B.C. и др. Физико-химические основы оптимизации параметров герметизации Обзоры по электронной технике, №4, 1987.

32. Гусев В.А., Стахов В.В., Шевченко Н.В. О влиянии метода и режима герметизации на надёжность ИС. В сб. "Диэлектрики и полупроводники", Киев, 1982, 57-61.

33. Уэстон Дж Техника сверхвысокого вакуума. М.: Мир, 1968.

34. Закиров Р.Г. Проблемы герметизации в микроэлектронном производстве. В сб. материалов семинара "Прогрессивные способы микросварки и пайки в электронике и приборостроении", М.: МДНТП, 1996, 13-18.

35. Weiss A.D. The art of package sealing. Semiconductor international, vol. 5, №11, 1982, pp. 99-108.

36. Тареев Б.М. и др. Герметизация полимерными материалами в радиоэлектронике. -М.: Энергия, 1974.

37. Шмуйлович С.М., Константинова Е.И., Лазарис А.Л. Изучение газовыделений ПВХ смол. - Пластмассы, №7, 1981, 42.

38. Справочник химика /под ред. Б.П. Никольского, т.т. 1,2 М.: Химия, 1966.

39. Иванов В.И. и др. Масс-спектрометрический и газохроматографический анализ газовыделений и водных вытяжек из ПВХ материалов. - Пластмассы, №7, 1981, 42.

40. Катин B.C., Стадник A.A., Чернышев A.A. Герметизация микросхем в металлокерамические корпуса. Электронная промышленность, №4, 1991, 41-45.

41. Semiconductor international, vol. 7, №11,1984, p. 157 (рекламное сообщение).

42. Мадорский С. Термическое разложение органических полимеров. М.: Мир, 1967.

43. Орлова О.В., Фомичёва Т.Н. Технология лаков и красок. М.: Химия, 1990, 384 с.

44. Павлов H.H. Старение пластмасс в естественных и искусственных условиях. М.: Химия, 1982.

45. Дринберг С .А., Ицко Э.Ф. Растворители для лакокрасочных материалов. Л.: Химия, 1980, 160 с.

46. Полыциков Г.А., Головина Л.Г. Радиотехнические пластмассы и смазочные материалы в производстве ИЭТ и РЭА. Электронная промышленность, №3, 1992, 48-51.

47. АлесковскийВ.Б. Стехиометрия и синтез твёрдых соединений. Л., 1976.

48. Петрова В.З., Гребенькова В.И., Часовникова Е.В. Особенности характера спекания порошковых стеклокристаллических композиционных материалов. Известия ВУЗов, Электроника, 1997, 20-23.

49. Волосянко В.Д, Демочко Ю.А. Коррозионные отказы интегральных микросхем. -Обзоры по электронной технике, серия "Управление качеством, стандартизация, метрология, испытания", №5 (1461), 1989, 52.

50. Безрадетский А.В., Ерошенко Р.А, Воловенко Н.А., Кобзарь С.В., Кочан А.Д. Оптимизация режимов работы системы обеспечения инертной среды при герметизации ИС. Электронная промышленность, №7, 1991, 42-45.

51. Малков А.А., Малыгин А.А., Кольцов С.И. и др. Стабилизация внутренней газовой среды приборов типа ПТ-1В. ПГБТАБиА, №2, 1984, 50-52.

52. Волков В.А., Котунов Ю.Е. Полимерные материалы, применяемые для защиты резисторов тонкоплёночных ГИС. Электронная техника, серия 6 "Материалы", №7, 1978, 90-105.

53. Малыгин А.А., Шевченко Г.К., Лушкина Т.Л., Зорин Б.Л. Материалы сорбенты для стабилизации внутренней газовой среды микросборок. - Электронная промышленность, №3, 1992, 51-54.

54. Изаак Т.И., Мокроусов Г.М. Чувствительный полимерный элемент для датчиков влажности различных сред на основе поликрилатной композиции. Деп в ВИНИТИ №1030-В-98 от 06.04.1998, 12 с.

55. Папков С.П. Физико-химические основы переработки растворов полимеров. М.: Химия, 1971.

56. Кардашов ДА., Петрова А.П. Полимерные клеи. М.: Химия, 1983.

57. Фистуль В.И. Физика и химия твёрдого тела: в 2-х т.т. М.: Металлургия, 1995, т. 1 - 480 е., т. 2 - 320 с.

58. Лыков А.В. Теория сушки. М.: Энергия, 1968.

59. Каунельсон А.А. и др. Электронная теория конденсированных сред. М.: изд. МГУ, 1990, 238 с.

60. Михайлов М.М. Влагопроницаемость органических диэлектриков. М. - Л.: ГЭИ, 1960.

61. Хофман Р. Строение твёрдых тел и поверхностей: взгляд химика-теоретика. М.: Мир, 1990, 215 с.

62. Муштаев В.И., Ульянов В.М., Тимонин А.С. Сушка в условиях пневмотранспорта.- М.: Химия, 1984.

63. Экштайн В. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твёрдого тела/ под ред. Е.С. Машкова. М.: Мир, 1995, 319 с.

64. Павлов П.В., Хохлов А.Ф. Физика твёрдого тела. Нижний Новгород, изд. Ниж. Гос. Университета им. Лобачевского НИ., 1993, 490 с.

65. Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции М.: Наука, 1987, 432 с.

66. Моррисон С. Химическая физика поверхности твёрдого тела/ Под ред. В.В. Волькенштейна. М.: Мир, 1980.

67. Маделунг О. Физика твёрдого тела: локализованные состояния/ Под ред. В.М. Аграновича. М.: Наука, 1985, 184 с.

68. Боонстра А. Поверхностные свойства германия и кремния/ Под ред. В.Б. Сандамирского. М.: Мир, 1970.

69. Киселев В.Ф., Крылов О.В. Адсорбционные процессы на поверхности полупроводников и диэлектриков. М.: Наука, 1978.

70. Поуп М., Свенберг Ч. Электронные процессы в органических кристаллах: в 2-х т.т.- М.: Мир, 1985.

71. Зимон А.Д. Адгезия плёнок и покрытий М.: Химия, 1977.

72. Берлин А.А., БасинВ.П. Основы адгезии полимеров. М.: Химия, 1969.

73. Швед П.И. Защита полупроводниковых приборов полимерами Минск: Вышейшая школа, 1979.

74. Морозов B.C., Гладких П.А., Яковлев Ю.А., Беляев И.А., Биренберг И.И., Сальников М.А., Баранова Г.А. Глубокая осушка газов адсорбционным методом. -Электронная промышленность, №4, 1991, 76-78.

75. Комплекс приборов и методов для экспресс определения органических примесей в воде и водных растворах. Материалы к 4-ой научно-технической конференции "Достижения и перспективы технологии микроэлектроники в ЧПП", М.: МИЭТ, 1992, 18 с.

76. Закиров Р.Г., Банецкий В.В. Герметизация микросхем контактной шовной сваркой в инертной среде. Электронная техника, серия VII "ТОПО", №4, 1987, 33-34.

77. Вейцман Э.В., Венбрин В.Д. Технологическая подготовка производства радиоэлектронной аппаратуры. М.: Радио и связь, 1989, 127 с.

78. Малков A.A., Малыгин A.A., Кольцов С.И. и др. Усовершенствование технологии осушки и газонаполнения приборов типа ГГГ-1В. ПТБТАПиА, №2, 1984, 18-20.

79. Воронова Н.И. и др. Совместимость применяемых материалов и надёжность гибридных микросхем. Электронная техника, серия 8 "Управление качеством и стандартизация", №5, 1972, 92-97.

80. Фельц А. Аморфные и стеклообразные неорганические твёрдые тела/ под ред. И.В. Тананаева. М.: Мир, 1986, 558 с.

81. Колотырхин Я.М. Электрохимические аспекты коррозии металлов. Защита металлов, №6, 1976.

82. Вальская М.Ф., Фёдорова K.M., Бердникова Г.В. Анализ результатов испытаний изделий электронной техники на коррозионную стойкость. Электронная техника, серия 8, №6(92), 1981.

83. Черемской П.Г., Слезов В.В., Бетехин В.И. Поры в твёрдом теле. М.: Энергоатомиздат, 1990, 375 с.

84. Кремков М.В. Корпускулярная низкоэнергетическая диагностика поверхности твёрдого тела. Ташкент, 1986, 164 с.

85. Назарова Г.С., Миловзорова Г.И., Швындина Г.И. Микромеханизмы коррозионного повреждения элементов полупроводниковых структур. Электронная техника, серия 8, вып. 1(106), 1984.

86. Вальская М.Ф., Веселова С.С., Павлова Г.Г. Проверка возможности применения ингибиторов коррозии для защиты алюминиевой разводки. Электронная техника, серия 8, вып. 1(106), 1984.

87. Теверовский A.A., Коваленко A.A., Епифанов ИИ, Сотников С.А. Исследование свойств клеевых материалов, применяемых для приклейки кристаллов микросхем. -Электронная техника, серия 8, вып. 2(107), 1984.

88. Busse G. Physical acoustics. kol. 13, 1988, p. 403.

89. Mandelis A. Photoacoustic and thermal wave phenomena in semiconductors. - North-Holland, 1987.

90. Булах Г.Н., Бурбело P.M., Гуляев A.JL, Кучеров И .Я. Лазерный фотоакустический микроскоп для неразрушающего контроля в технологии микроэлектроники. Тем. сборник "Акустические и фотоакустические методы исследования вещества", Киев,1986, 31-32.

91. Терентьев П.Б. Масс-спектрометрия в органической химии. М.: Высшая школа, 1979.

92. Никитин В.А., Стебунов В.П Сверхвысокочастотный влагомер. А.С. СССР №898850, от 14.09.1981.

93. Берлинер М.А. Измерение влажности. М.: Энергия, 1973.

94. Беюарь В.К. Техника СВЧ влагометрин - М.: Высшая школа, 1974.

95. Кудрявцев Н.Н., Мазяр О.А., Сухов А.М. УФН, т. 163, №6, 1993, 75-93.

96. Бутурлин А.И., Крутоверцев С.А., Чистяков Ю.Д Интегральные первичные преобразователи влажности. Электронная промышленность, №6(144), 1985, 15-17.

97. Крутоверцев С.А., Геда Г.В. Сенсоры влажности на основе тонких оксидных плёнок. Тезисы докладов конференции, серия 5, Радиодетали и компоненты, №1(268), электронные датчики, 1987, 55.

98. Коростелев П.П. Лабораторные приборы технического анализа. М.: Металлургия,1987, 288 с.

99. Коммутационные устройства радиоэлектронной аппаратуры/ Под ред. ГЛ. Рыбина.- М.: Радио и связь, 1985, 264 с.104.3акупный А.И., Фельдман Л С., Рогаль В.Ф. Контроль герметичности конструкций.- Киев: Техника, 1976.

100. Юб.Морозов B.C., Гладких П.А., Яковлев Ю.А., Беляев И.А., Биренберг И.И., Сальников М.А., Баранова Г.А. Глубокая осушка газов адсорбционным методом. -Электронная промышленность, №4, 1991, 76-78.

101. Волчкевич А.И., Енисеев С.А., Ястребов Г.А. Геттерная ловушка насос. -Электронная промышленность, №4, 1992, 52-53.

102. Программы поэтапного внедрения в производство интегральных микросхем новых требований ОТУ, СОТУ на предприятиях микроэлектроники ОСТ 1120.9903-86.

103. Бегунов A.A. Теоретические средства и технические основы гигрометрии. М.: Издат. стандартов, 1988.

104. НО.Кельцев Н.В. Основы адсорбционной техники М.: Химия, 1976.

105. Kubarev Yu. V., Chemik V.N. Source of intensive oxygen plasma flows of low energy for technological applications. 24-th inter electr. propulsion conf. summary, M., 1995, pp. 280-281.

106. Кубарев Ю.В., Черник B.H, Похунков A.A., Росинский С.Е., Тарасов В.М. Радиочастотный масс-спектрометрический метод диагностики потоков заряженных и нейтральных частиц. Известия ВУЗов, Электроника, №1-2, 1996, 77-81.

107. Корн Г., Корн Т. Справочник по высшей математике. М.: Наука, 1980.

108. Богословский В.Н. Кондиционирование воздуха и холодоснабжение. М.: Стройиздат, 1985. - 67 с.

109. Волков С.И, Григорошвили Ю. Е., Полянова Е.В. Моделирование коррозионных отказов ИС. Электронная техника, серия 8, №4(90), 1981.

110. Пб.Волосянко В.Д Пути повышения коррозионной устойчивости ИС. Электронная промышленность, №4(100), 1981.

111. Коледов JLA., Симонов Б.М., Мельников А.М., Волков В.А. Оценка влагосодержания полимерных материалов, характерных для герметичных блоков микроэлектронной аппаратуры. Электронная техника, серия 10 "МЭУ", №3(81), 1990,48-51.

112. Автоматизация и механизация сборки и монтажа узлов на печатных платах /под ред. В.Г. Журавского. М.: Радио и связь, 1988.

113. Преснухин JI.H. Конструирование электронных вычислительных машин. М.: Высшая школа, 1986.

114. Другов Ю.С., Берёзкин В.Г. Газохроматографический анализ загрязнённого воздуха. М.: Химия, 1981.

115. Натансон Э.М., Ульберг З.Р. Коллоидные металлы и металлополимеры. Киев: Наукова думка, 1971.

116. Долин П. А. Справочник по технике безопасности М.: Энергоатомиздат, 1984.

117. Краткий справочник физико-химических величин /под ред. А.А. Равделя. JI: Химия, 1983.

118. Симонов Б.М., Волков В.А., Нальский А.А. Исследование динамики изменения состава растворов полимеров в микроэлектронных устройствах. Известия ВУЗов. Электроника, №3, 2000, с. 16-19.

119. Физика отказов. Материалы П всесоюзного совещания, М.: Наука, 1979.

120. Арабей С.А. и др. Многоканальный прибор для измерения параметров технологических сред. Электронная промышленность, №11(128), 1983, 42-43.

121. Коледов В.А., Шигулин В.А., Бирюков В.А. Модернизация кварцевого мультиметра "Электроника МК-Г'. Тезисы докладов 2-ой научно-технической конференции "Чистота и микроклимат - 88", М.: МИЭТ, 1988, 136-137.

122. Левшина Е.С., Новицкий П.В. Электрические измерения физических величин. Л.: Энергоатомиздат, 1983.

123. Неустроев С.А. Массообменные процессы в твёрдой фазе: Учебное пособие. М.: МИЭТ, 1980.

124. Неустроев С.А. Массообменные процессы: Учебное пособие. М.: МИЭТ, 1981.

125. Симонов Б.М., Волков В.А., Нальский А.А. Исследование возможностей стабилизации температуры точки росы по влаге внутрикорпусной среды1. Методикаисследования кинетики отверждения полимерных покрытий термоэлектрическим методом11. Цель

126. Измерение сопротивления датчика проводится при различных выбираемых исследователем температурных режимах. Для этого датчик с исследуемым полимером помещается в термошкаф, нагретый до заданной температуры.

127. Рис. П 1.2. Пример типовой зависимости К от температуры Т и времени 1 1.5. Обработка результатов испытаний

128. Результаты измерений заносятся в таблицу последующей формы. Форма для заполнения таблицы:1 (час) Т(°С) К-покр

129. Научный руководитель: Д^^^ВА Волков Исполнитель: „. А.А. Нальскийопределения прочности клеевых соединений21. Назначение методики.

130. Методика предназначена для определения прочности склейки стеклянных пластин различными клеями с целью проверки адгезии клеев к стеклу.

131. Оборудование, приспособления, материалы.