автореферат диссертации по электронике, 05.27.02, диссертация на тему:Совершенствование процесса диффузионного соединения в вакууме биметаллических крупногабаритных узлов электровакуумных приборов

Введение

1. Состояние вопросов технологии производства, схем и оборудования для изготовления биметаллических узлов в твердом состоянии.

1.1 Описание объектов исследований

1.1.1 Биметаллические аноды (коллекторы) электровакуумных и газоразрядных приборов

1.1.2 Перфорированные слоистые конструкции (ПСК)

1.1.3 Обоснование необходимости корректировки параметров режима

ДС биметаллических узлов

1.1.4 Выбор способа нагрева при ДС биметаллических изделий

1.2 Основные технологические процессы изготовления биметаллических узлов.

1.2.1 Способы соединения разнородных металлов в твердом состоянии

1.3 Соединение металлических материалов пайкой твердыми припоями

1.3.1 Пайка меди и ее сплавов

1.3.2 Пайка нержавеющих и жаропрочных сталей

1.3.3 Пайка молибдена

1.4 Технологические процессы диффузионного соединения при изготовлении узлов из меди и молибдена

1.5 Технологические процессы диффузионного соединения при изготовлении узлов из нержавеющих сталей

1.6 Дополнительные интенсифицирующие факторы процесса диффузионного соединения

1.6.1 Использование вибрационных ультразвуковых колебаний

1.6.2 Ударное приложение давления

1.6.3 Использование электрических и магнитных полей

1.6.4 Низкотемпературная диффузионная сварка электрическим взрывом проводников 47 Выводы

2. Теоретическое и экспериментальное обоснование интенсификации процессов взаимодействия взаимнонерастворимых металлов при циклическом приложении давления в вакууме

2.1 Анализ механизма диффузионного соединения металлов

2.2 Обоснование интенсификации процессов соединения металлов по большой площади контакта при циклическом приложении давления

2.3 Разработка расчетных моделей для определения активации поверхности меди, никеля и молибдена

2.4 Разработка моделей для расчета прочности, деформации и прогнозирования качества диффузионных соединений на основе методов математического планирования экспериментов

2.4.1 Регрессионная модель прочности образцов

2.4.2 Регрессионная модель деформации образцов 99 Выводы

3 Методика экспериментальных исследований, оборудование, технологическая оснастка

3.1 Методика исследований

3.1.1 Обоснование схемы вакуумно-термической обработки биметаллических узлов

3.1.2 Испытания на механическую прочность образцов медно-молибденовых анодов

3.1.3 Методика определения равномерности деформации образцов при

3.1.4 Методика определения прочности соединений, полученных ДС

3.1.5 Методика металлографического анализа медно-молибденовых анодов

3.2 Экспериментальное оборудование

3.2.1 Описание экспериментального оборудования для ДС ПСК и медно-молибденовых анодов при индукционном способе нагрева

3.2.2 Описание экспериментального оборудования для ДС ПСК и медно-молибденовых анодов при радиационном способе нагрева

3.2.3 Описание технологической оснастки 119 Выводы

4. Экспериментальные исследования ДС биметаллических узлов электровакуумных приборов

4.1 Повышение качества медно-молибденовых анодов МГЛ при сборке ДС в вакууме

4.1.1 Технологический процесс изготовления анодов МГЛ ДС в вакууме

4.2 Расчет температурных полей в технологической оснастке для диффузионного соединения крупногабаритных биметаллических медно-молибденовых узлов электровакуумных приборов

4.3 Повышение качества ПСК при сборке диффузионной сваркой в вакууме

4.3.1 Технологический процесс изготовления ПСК диффузионной сваркой в вакууме

4.3.2 Изготовление опытной партии образцов ПСК различных типов

4.4 Результаты металлографического анализа медно-молибденовых анодов

Выводы

5. Практическое внедрение результатов работы

5.1 Внедрение в производство установки диффузионной сварки 40СП.306 с радиационным нагревом

5.2 Разработка рекомендаций к проектированию установки диф фузио иной сварки ДСВ

5.3 Применение диффузионного соединения для изготовления узлов электровакуумных приборов в производственных условиях

5.4 Рекомендации по конструированию и расчет на механическую прочность технологической оснастки 171 Выводы 173 Заключение 175 Список литературы 178 Приложения

Особое место среди изделий электронной техники занимают мощные электровакуумные и газоразрядные приборы сверхвысокочастотного диапазона. Российская электронная промышленность выпускает все типы электровакуумных и газоразрядных приборов, которые по своим выходным параметрам не уступают лучшим зарубежным аналогам [30, 70, 106, 109].

Хотя полупроводниковая и лазерная электроника интенсивно развивается, применение мощных высокочастотных (ВЧ) и сверхвысокочасготных (СВЧ) электровакуумных приборов (ЭВП) не только не потеряло свою актуальность, но и нашло широкое применение в радио и телепередатчиках, радиолокационных станциях (PJ1C) и других объектах военной, авиационно-космической и производственной сферах деятельности. Особенно важно то, что ЭВП имеют более низкую стоимость по сравнению с приборами вышеуказанных классов. Однако в условиях рыночной экономики предъявляются требования к повышению качества и снижению трудоемкости изготовления ЭВП, повышаются требования к стабильности в работе, долговечности и надежности [24]. Так, в мощных генераторных лампах (МГЛ) при отборе электронно-ионных токов на аноды и коллекторы наблюдаются случаи высоковольтных пробоев и нарушения структур материалов анодов и коллекторов, что приводит к выходу приборов из строя. Именно отказы мощных крупногабаритных приборов составляют значительный процент отказов радиоэлектронной аппаратуры.

Большой вклад в теорию и конструирование ЭВП внесли выдающиеся отечественные и зарубежные ученые (И.А. Бонч-Бруевич, Н.Д. Папалески, П.Л. Капица, М.М. Богословский, Н.Д. Девятков, B.C. Лукошков, С.А. Зусманов-ский, Л.А. Вайнштейн, Дж. Пирс, Дж. Роу, Р. Компфнер, Л. Бриллуэн, В.Ф. Коваленко, И.В. Лебедев, В.А. Солнцев, С.И. Бычков, В.И. Калинин, Н.М Советов, Э.А. Гельвич, Ю.А. Кацман, С.Д. Гвоздовер, В.П. Сазонов, А.П. Федосеев, Д.И. Трубецков, М.А. Фурсаев, Я.А. Старец, Д.М.Петров и мн. др.) [113]

Совокупность теоретического, конструкторского, технологического и эксплуатационного направлений работ позволяет повысить надежность и долговечность ЭВП. В области улучшения технологии изготовления узлов ЭВП наиболее важными являются работы по созданию новых и совершенствованию традиционных технологических процессов. Значительные успехи в этом направлении достигнуты благодаря работам ученых и специалистов электронной промышленности, вузов, НИИ, РАН (Н.Д. Девяткова, С.И. Реброва , Н.В. Че-репнина, В.Ф. Коваленко, В.Н. Батыгина, В.П. Марина, Б.Ч. Дюбуа, А.К. Михалева, Б.В. Павлова, B.C. Прилуцкого, В.Б. Байбурина, Б.Ф. Чугунова, Н.Ф. Казакова, Г.В. Конюшкова, Р.А. Мусина, В.А. Бачина, Э.С.Каракозова, И.И. Метелкина, В.И. Воронина и мн. др.)

Важнейшими узлами МГЛ и тиратронов являются аноды (коллекторы), воспринимающие тепловую нагрузку при электронно-ионной бомбардировке. При изготовлении этих элементов из меди под воздействием электронно-ионной бомбардировке, несмотря на интенсивное охлаждение, температура нагрева достигает 500-600°С. При этом отдельные участки элементов могут нагреваться до более высоких температур, при которых происходит расплавление меди. В нагретых элементах наблюдаются значительные механические напряжения, так как градиент температур по толщине элементов достигает 550.600 С.

Для предотвращения разрушения анодов (коллекторов) из меди под воздействием электронно-ионной бомбардировки предусмотрено покрытие (плакирование) этих элементов листовым молибденом толщиной 0,1.0,3 мм. В настоящее время плакирование производится пайкой медно-серебряным припоем ПСр72, стоимость технологии высокая в связи с применением дорогостоящего припоя. С другой стороны, имеет место отслоение покрытия при электронно-ионной бомбардировке за счет механических напряжений и перегрева.

Аноды (коллекторы) электровакуумных и газоразрядных приборов имеют обычно большую площадь - 9. 13 тыс. мм . Это создает определенные трудности в осуществлении процесса их изготовления.

Другим важным элементом с большой площадью контакта являются перфорированные слоистые конструкции (ПСК), применяющиеся в летательных аппаратах для получения мелкорассеянных газовых потоков. ПСК представляют собой набор 3.7 пластин толщиной 0,1.0,3 мм, из нержавеющей стали 12Х18Н10Т с частично перекрывающимися отверстиями, образующими сквозные лабиринтные каналы. ПСК работают при перепадах давлений до 5- 105Па, температуре до 600°С и градиенте температур между пластинами до 200°С. До настоящего времени соединение пластин ПСК производилось пайкой в вакууме припоем ПСр72, однако положительных результатов достигнуто не было: при расплавлении припоя происходит частичное или полное заплавление отверстий. Кроме того, при нагреве до температуры пайки (около 800°С) происходят структурные превращения в нержавеющей стали, также затрудняющие процесс пайки. В связи с высоким содержанием хрома поверхность нержавеющих сталей покрыта химически устойчивой оксидной пленкой. Эта пленка не удаляется флюсами и не смачивается большинством припоев. Восстановление или сублимация оксидных пленок происходит при температуре более 1200°С и в атмосфере осушенного водорода. После длительных технологических нагревов в интервале температур 550.700°С нержавеющие стали склонны к межкристаллической и точечной коррозии. При этих температурах происходит распад аустенита и образование карбидов хрома по границам зерен. В результате содержание хрома в твердом растворе аустенита около границ зерен оказывается меньше 13 процентов, что приводит к изменению физико-механических свойств материала.

В настоящее время не имеется сведений о соединении крупногабаритных биметаллических композиций, в том числе из взаимнонерастворимых металлов. Поэтому этот вопрос требует проведения систематического комплекса исследований.

Работа выполнялась в соответствии с планами ГКНТ при Совете Министров СССР в области сварочной науки и техники в 1984-1988 гг. и Программой: «Научные исследования высшей школы по приоритетным направлениям науки и техники» - подпрограмма 201, раздел 201.07, проект - «Разработка физико-технологических основ теории, технологических моделей и оборудования диффузионной сварки металлов и неметаллов со специальными свойствами за счет активирования процесса при уменьшенных давлениях и температурах» в 2001-2002 гг.

В связи с вышеизложенным целью настоящей диссертационной работы является совершенствование технологических процессов изготовления крупногабаритных биметаллических узлов электровакуумных и газоразрядных приборов в вакууме за счет диффузионного соединения с циклическим приложением давления, оптимизация режимов диффузионного соединения и разработка требований к конструкции технологического оборудования и оснастки.

Для достижения этой цели необходимо решить следующие задачи:

- исследовать возможность изготовления крупногабаритных биметаллических узлов диффузионной сваркой в вакууме;

- разработать принципы совершенствования технологического процесса путем применения циклического приложения давления при вакуумно-термическом соединении крупногабаритных биметаллических анодных и коллекторных узлов электровакуумных и газоразрядных приборов при индукционном и радиационном нагреве;

- разработать модели процесса, позволяющие учитывать комплексное воздействие качественных и количественных параметров диффузионного соединения, дополнительную активацию процессов взаимодействия металлов в контакте и прогнозировать оптимальные параметры режима соединения;

- исследовать кинетику взаимодействия соединяемых металлов друг с другом в вакуумной среде;

- разработать способ приложения усилия к соединяемым узлам ЭВП за счет атмосферного давления воздуха;

- исследовать тепловой процесс нагрева с целью анализа возможности равномерного распределения температуры по большой площади контакта;

- разработать рекомендации к изготовлению технологической оснастки и оборудования для изготовления крупногабаритных биметаллических узлов электровакуумных приборов при диффузионном соединении;

- исследовать возможность применения разработанных технологических процессов и рекомендаций для изготовления ПСК;

- внедрить разработанные технологические процессы и оборудование в производство мощных электровакуумных приборов.

Методы исследований. В работе использованы методы оптимизации параметров режима диффузионного соединения (ДС) в вакууме биметаллических узлов ЭВП, методы испытания узлов на механическую прочность, термоцикличность, методы компьютерного моделирования, металлографический анализ.

На защиту выносятся следующие научные положения:

1. При соединении крупногабаритных узлов электровакуумных приборов с большой контактной поверхностью (до 15000 мм ) применение циклического приложения давления и растворимых прослоев интенсифицирует развитие физического контакта между поверхностями за счет того, что при каждом новом цикле нагружения вновь наблюдается период активной пластической деформации в контактной зоне, дополнительная активация поверхности и диффузионное растворение прослоя, что приводит к уменьшению температуры получения качественных соединений меди с молибденом до 820.850°С и деформации до 5 процентов.

2. Предварительное покрытие молибденовых поверхностей никелем позволяет улучшить качество плакирования медных анодов МГЛ и тиратронов тонколистовым (0,1.0,3 мм) молибденом, тем самым повышает стойкость узлов к воздействию электронно-ионной бомбардировки и исключает необходимость применения дорогостоящих припоев.

3. Создание контактного усилия за счет работы атмосферного давления в механизме нагружения [6] обеспечивает возможность соединения биметаллических узлов с площадью контактирующей поверхности до 15000 мм и уменьшает энергозатраты.

4. Применение циклической нагрузки и самоустанавливающейся технологической оснастки позволяет получать качественные соединения по большой поверхности узлов в условиях индукционного нагрева.

5. Диффузионное соединение является эффективным и единственным способом изготовления перфорированных слоистых конструкций, обеспечивает сохранение сквозных лабиринтных каналов и необходимую термостойкость ПСК.

Научная новизна

Циклическое приложение давления при соединении деталей по большой поверхности активирует физический контакт и развитие объемного взаимодействия поверхностей при диффузионном соединении металлов через промежуточную прослойку никеля.

Предложен новый способ создания сварочных усилий за счет давления атмосферного воздуха в механизме приложения сварочных усилий сжатия. [6].

Разработаны модели процесса, позволяющие учитывать комплексное воздействие качественных и количественных параметров диффузионного соединения, дополнительную активацию процессов взаимодействия металлов в контакте и прогнозировать оптимальные параметры режима соединения.

Исследованиями распределения температуры в объёме самоустанавливающейся технологической оснастки установлено, что в центре технологической оснастки температура на 50.70°С ниже, чем в периферийной зоне. Несмотря на это, циклическое приложение усилия обеспечивает равномерную деформацию поверхностей в условиях нестационарного индукционного нагрева, исключает возможность перегрева оснастки, большие деформации и расплавление медных деталей.

Соединение взаимнонерастворимых металлов через прослойку никеля и циклическом приложении усилия приводит к растворению прослоя и обеспечивает качественное термостойкое соединение с малыми деформациями.

Разработаны модели, учитывающие комплексное воздействие качественных факторов (скорость приложения давления, время и температура выдержки, число циклов нагружения, скорость нагрева и охлаждения) и количественных (величину давления и деформации), позволяющие рассчитать технологические параметры диффузионного соединения материалов по большой контактной поверхности, обеспечившие получение качественных биметаллических узлов медно-молибденовых анодов мощных генераторных ламп и перфорированных слоистых конструкций летательных аппаратов из нержавеющей стали.

Практическая ценность

Результаты работы могут быть использованы промышленными предприятиями электронной промышленности при изготовлении крупногабаритных биметаллических узлов электровакуумных и газоразрядных приборов из меди, молибдена, нержавеющих сталей. Разработанный технологический процесс диффузионной сварки в вакууме с циклическим приложением усилия сварки способствует улучшению выходных параметров медно-молибденовых анодов: улучшается равномерность молибденового покрытия и адгезия меди с молибденом. Повышается стойкость анодов при электронно-ионной бомбардировке и перегревах за счет исключения отслоения молибденового покрытия, повышается процент выхода годных изделий.

Применение самоустанавливающейся технологической оснастки обеспечивает равномерную деформацию образцов по всей контактирующей площади.

Регрессионные модели прочности и деформации образцов позволяют оценить точность экспериментальных результатов и прогнозировать выходные параметры узлов при заданных параметрах технологического процесса ДС: температура, время, удельное давление сварки, вакуум.

Реализация работы в промышленности

13

Разработана промышленная установка для диффузионной сварки 40СП.306 с радиационным нагревом, использование которой на ФГУП НЛП «Контакт» обеспечило внедрение в промышленное производство технологии диффузионной сварки анодов с циклическим приложением усилия сварки.

Внедрение приведенных в работе результатов дает возможность достичь высокого качества и эксплуатационной надежности биметаллических узлов мощных генераторных ламп, тиратронов, ПСК из меди, молибдена, нержавеющей стали.

Результаты работы использованы промышленными предприятиями г. Саратова при производстве крупногабаритных биметаллических узлов электровакуумных и газоразрядных приборов.

ВЫВОДЫ

Приведены результаты внедрения в производство технологических процессов и оборудования. Изготовлены опытные партии медно-молибденовых анодов и ПСК на серийной установке УДС-2 с индукционным нагревом и на разработанной и внедренной в производство установке диффузионной сварки 40СП.306 с радиационным нагревом. В качестве механизма сварочного давления в установке 40СП.306 применено устройство а.с. 1508465 СССР, в котором усилие обеспечивается за счет перепада давлений атмосферного воздуха, что приводит к снижению энергозатрат при эксплуатации установки. Радиационный ленточный молибденовый нагреватель, примененный в установке 40СП.306, обеспечивает наибольшую степень теплоотдачи на изделие. Безмасляные средства откачки на базе турбомолекулярного насоса ТМН 1500 позволяют добиться предельного остаточного давления в рабочей камере 1.3 • 10"4Па.

Разработаны рекомендации по конструированию установки диффузионной сварки ДСВ-901 с инфракрасным нагревом и вакуумно-пневматическим устройством для создания сварочного усилия.

Разработаны технические требования и конструкция самоустанавливающейся технологической оснастки, обеспечивающей равномерную деформацию поверхностей образцов при диффузионном соединении с циклическим прило

174 жением усилия сварки, исключающая перегрев деталей и их большие деформации.

Разработаны рекомендации по обработке деталей технологической оснастки, предотвращающие их сварку с образцами.

Произведен расчет допускаемого усилия, прикладываемого к технологической оснастке при температуре 1000°С, исключающего деформацию деталей оснастки.

По схеме технологического процесса с циклическим приложением давления проведено изготовление крупногабаритных серийных узлов ЭВП: корпусов, сеток, диафрагм. Изготовленные узлы удовлетворяют техническим условиям производства.

Ill проведении технологического процесса. Механизм так же исключает приложение сварочного усилия на образцах в начальный период что обеспечивает приложение усилия сварки от 0 до 2- 104Н.

7. Диффузионное соединение является эффективным и единственным способом изготовления ПСК. При вакуумно-термической обработке ПСК с приложением циклического давления и использованием самоцентрирующейся технологической оснастки обеспечивается равномерная деформация поверхностей и сохранение сквозных лабиринтных каналов. Обработанные по данной технологии ПСК обладают необходимой прочностью и термостойкостью.

8. Разработанная и внедренная в производство установка диффузионной сварки 40СП.306 с ленточным радиационным нагревателем и рабочей зоной диаметром 300 мм и высотой 600 мм позволяет использовать ее при изготовлении крупногабаритных узлов ЭВП. На установке 40СП.306 изготовлены крупногабаритные узлы ЭВП - анод, диафрагма, сетка, корпус, а так же металлокерамические узлы. Изготовленные серийные узлы ЭВП полностью соответствуют техническим условиям.

9. Разработаны рекомендации по конструированию новой установки диффузионной сварки ДСВ-901 с инфракрасным нагревом и электромеханическим устройством для создания сварочного усилия

177 проведении технологического процесса. Механизм так же исключает приложение сварочного усилия на образцах в начальный период что обеспечивает приложение усилия сварки от 0 до 2- 104Н.

7. Диффузионное соединение является эффективным и единственным способом изготовления ПСК. При вакуумно-термической обработке ПСК с приложением циклического давления и использованием самоцентрирующейся технологической оснастки обеспечивается равномерная деформация поверхностей и сохранение сквозных лабиринтных каналов. Обработанные по данной технологии ПСК обладают необходимой прочностью и термостойкостью.

8. Разработанная и внедренная в производство установка диффузионной сварки 40СП.306 с ленточным радиационным нагревателем и рабочей зоной диаметром 300 мм и высотой 600 мм позволяет использовать ее при изготовлении крупногабаритных узлов ЭВП. На установке 40СП.306 изготовлены крупногабаритные узлы ЭВП - анод, диафрагма, сетка, корпус, а так же металлокерамические узлы. Изготовленные серийные узлы ЭВП полностью соответствуют техническим условиям.

9. Разработаны рекомендации по конструированию новой установки диффузионной сварки ДСВ-901 с инфракрасным нагревом и электромеханическим устройством для создания сварочного усилия

177 проведении технологического процесса. Механизм так же исключает приложение сварочного усилия на образцах в начальный период что обеспечивает приложение усилия сварки от 0 до 2- 104Н.

7. Диффузионное соединение является эффективным и единственным способом изготовления ПСК. При вакуумно-термической обработке ПСК с приложением циклического давления и использованием самоцентрирующейся технологической оснастки обеспечивается равномерная деформация поверхностей и сохранение сквозных лабиринтных каналов. Обработанные по данной технологии ПСК обладают необходимой прочностью и термостойкостью.

8. Разработанная и внедренная в производство установка диффузионной сварки 40СП.306 с ленточным радиационным нагревателем и рабочей зоной диаметром 300 мм и высотой 600 мм позволяет использовать ее при изготовлении крупногабаритных узлов ЭВП. На установке 40СП.306 изготовлены крупногабаритные узлы ЭВП - анод, диафрагма, сетка, корпус, а так же металлокерамические узлы. Изготовленные серийные узлы ЭВП полностью соответствуют техническим условиям.

9. Разработаны рекомендации по конструированию новой установки диффузионной сварки ДСВ-901 с инфракрасным нагревом и электромеханическим устройством для создания сварочного усилия

1. Алехин В. П., Мазур А. И., Шоршоров М. X. О характере объемного взаимодействия в процессе образования соединения при ультразвуковой сварке алюминия с кремнием / Сварочное производство. 1973. № 10. С. 3-5.

2. Алов А. А. Основы теории процессов сварки и пайки. М., Машгиз, 1964.

3. А.с. 679359 СССР Способ диффузионной сварки слоистых конструкций Воронежский политехнический институт/ 1979

4. А.с. 884913 СССР / Способ диффузионной сварки / В.Г. Уланов и др.(СССР)1981.

5. А.с. 156403 СССР. Способ диффузионной сварки / Н.Ф. Казаков. (СССР)1961.

6. А.с. 1508465 СССР. Устройство для сдавливания деталей при диффузионнойсварке / А .Я. Зоркин, Г.В. Конюшков, А.И. Коблов, Ю.В. Мазанов, Ю.А. Люкшин. (СССР)-4с. илл.

7. Атом вакансионное состояние в кристаллах / В.Е. Панин, В.Е. Егорушкин,

8. Ю.А. Хан, Т.Ф. Елсукова //Изв. Вузов. Физика. 1982. №12. С. 5-29.

9. Бачин В.А. Диффузионная сварка стекла и керамики с металлами. М.: Машиностроение, 1986.-184 с.

10. Бачин В.А., Квасницкий В.Ф. и др Теория, технология и оборудование диффузионной сварки. М.: Машиностроение, 1991, 145 с.

11. Беляев Н.М. , Рядно А.А., Методы теории теплопроводности Учеб. Пособие для вузов. В 2-х частях. 4. 2. - М.: Высш. школа, 1982. - 304 с.

12. Биметаллические соединения/К.Г. Чарухина, С.А. Голованенко, В.А. Мас-терова, Н.Ф. Казанков. М.: Металлургия, 1970. - 280 с.

13. Бокштеин С. 3. Диффузия и структура металлов. М.: Металлургия, 1973.208с.

14. Большаков М. В., Овсянкин В. П., Чепухин С. И. Сварка трением в вакууме тугоплавких и жаропрочных сплавов. Автоматическая сварка, 1971, №6, с. 71-72.

15. Бродский В.З., Бродский JL И., Голикова Т.И., Никитина Е.П., Панченко Л.А. Таблица планов эксперимента для факторных и полиномиальных моделей. -М.: «Металлургия». 1982. 752 с.

16. Бугаков В. 3. Диффузия в металлах и сплавах. Л.: Гостехиздат, Ленингр. отд-ние, 1949. 212 с.

17. Вензовский М.В., Олейников А.А. Исследование диффузионных соединений некоторых разнородных металлов методом микрорентгеноспектрально-го анализа.- «Сварочное производство», 1967, № 5,с. 16-19.

18. Вензовский И.В., Худышев А.Ф. Диффузионное соединение некоторых разнородных металлов и сплавов, применяемых в электронных приборах. В кн.: Диффузионное соединение в вакууме. М., ПНИЛДСВ. 1968, с.40-46.

19. Взаимодействие между ниобием и нержавеющей сталью при ударной сварке с промежуточной прослойкой / Г, К. Харченко, Т. В. Шевчук, А. И. Игнатенко и др. Автомагическая сварка, 1977, № 8, с.4-6.

20. Влияние температуры нагрева на процесс образования интерметаллидов при магнитно-импульсной сварке / В. А. Чудаков, К. К. Хренов, Ю. А. Сергеева и др. Сварочное производство, 1980, №9, с.16-18.

21. Влияние толщины мягкой прослойки при диффузионной сварке на прочность соединения / Р. А. Мусин, В. Н. Анциферов, Ю. А. Белых, Я. В. Ля-мин, А. Н. Соколову / Автоматическая сварка. 1979. № 7. С. 47-49.

22. Вугман С. М., Волков В. И. Галогенные лампы накаливания. М.: Энергия, 1980. 136 с.

23. Галлагер Р. Метод конечных элементов.: Основы. / пер. с англ. Под ред. Н.В. Банчука- М.: Мир. 1984. 428 с.

24. Гельман А.С. Основы сварки давлением М.; Машиностроение, 1970.-С.

25. Германов Н.А. Совещание по проблемам экономики электровакуумных приборов. Электросвязь. -1984, .№12. с57.

26. Герцрикен С. Д., Дехтяр И. Я. Диффузия в металлах и сплавах в твердой фазе. М.: Физматгиз, 1960. 564 с.

27. Гладков А.С. и др. Металлы и сплавы для электровакуумных приборов М., «Энергия», 1969.

28. Губин А.И." Пайка нержавеющих сталей и жаропрочных сплавов. М., Машиностроение, 1964.

29. Гуляев А.И. Технология точечной и рельефной сварки. М.: Машиностроение, 1978. - 24с.

30. Дерибас А.А. Физика упрочнения и сварки взрывом. Новосибирск: Наука, 1972,188 с.

31. Дешман С. Научные основы вакуумной техники. М.: Мир, 1964. 715 с.

32. Дине Дж.„ Винйард Дж. Радиационные эффекты в твердых телах. М.; Мир, 1960. -244 с.

33. Дионисьев И. Г. Механические свойства сварных соединений при электронно-лучевой сварке разнородных сталей. В кн.: Повышение качества и эффективности сельхозмашин. Ростов-на-Дону: РИСХМ, 977,с.86— 91.

34. Диффузионная сварка в вакууме металлов, сплавов и неметаллических материалов. Тезисы докладов У11 Всесоюзной научно-технической конференции, 1968г. : М., 1970. 363с.

35. Диффузионная сварка материалов: справочник/Под ред. Н.Ф. Казакова. -М.: Машиностроение, 1981.-271 с.

36. Долгов Ю.С. Оборудование и технология пайки. М., изд-во НТО Машпром, 1962.

37. Дрейпер Н., Смит Г. Прикладной регрессионный анализ. Пер с англ.-М.: Статистика, 1973. 391 е., ил.

38. Есенберлин Р. Е. Пайка металлов. JL, Машгиз, 1959.

39. Ефимов B.C. и др. Изготовление металлических узлов ГРП способом диффузионной сварки.- «Труды конференций по электронной технике. Газоразрядные приборы». МЭП, 1970, № 2, с. 147.

40. Залкин В. М. Теоретические вопросы холодной сварки металлов давлением / Сварочное производство. 1982. № 11. С. 41-72.

41. Заявка 2414975 Франция / Способ соединения диффузионной пайкойдеталей из нержавеющей стали или сверхсплава. / «8МЕОМА», 1979.

42. Зворыкин Д. Б., Александрова А. Т., Байкальцев Б. П. Отражательные печи инфракрасного нагрева. М.: Машиностроение, 1985. 176 с.

43. Зворыкин Д. Б., Прохоров Ю. И. Применение лучистого инфракрасного нагрева в электронной промышленности. М.: Энергия, 1980. 175 с.

44. Зенкевич О. Метод конечных элементов в технике. М.: Мир, 1975. 543 с.

45. Земзин В. Н. Сварные соединения разнородных сталей. JL: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1966.232 с.

46. Иванова B.C. Самоорганизация диссипативных структур в металлах и субструктурное упрочнение // Субструктурное упрочнение металлов и дифракционные методы исследования. Киев: Наукова думка, 1985. С. 7-8.

47. Казаков Н.Ф. Диффузионная сварка материалов. М.: Машиностроение,1976,312с.

48. Казаков Н.Ф. Жуков В.В. Оборудование диффузионной сварки. М.: Полиграфист, 1973. 101с.

49. Каракозов Э. С., Сапрыгин В. Д. Холодная сварка труб. М.: Металлургия, 1978. 176с.

50. Каракозов Э. С. Соединение металлов в твердой фазе. М.; Металлургия, 1976. 262 с.

51. Карслоу Г., Егер К. Теплопроводность твердых тел. М.: Наука, 1964. 487 с.

52. Качанов Л. М. Теория ползучести. М.: Физматгиз, 1960. 455 с.

53. Коблов А. И. Установка для диффузионной сварка / Открытия, изобретения. 1987. № 19. С. 63.

54. Коваленко А. Термоупругость. Киев: Вища школа, 1975. 216 с.

55. Коновалов Е. Г., Ремизовский Э. И. Влияние вибрации ультразвуковой частоты на характеристики ползучести алюминиевого сплава / Применение ультразвуковых колебаний в машиностроении. Минск: Наука и техника, 1964. С. 41-46.

56. Конюшков Г. В., Казаков Н. Ф., Жуков С. А. О механизме диффузионной сварки металлов в сверхвысоком вакууме при пониженных температурах / Электронная техника. 1970. Сер. 10. Вып. 2. С. 3-16

57. Конюшков Г. В., Копылов Ю. Н. Диффузионная сварка в электронике. М.: Энергия, 1974. 168с.

58. Конюшков Г.В., Кочармин С.П., Маринченко А.П., Гузев Н.В., Мазанов Ю.В. Установка диффузионной сварки в вакууме ДСВ-901 // Автоматическая сварка, 1989.-№ 6. С.77

59. Конюшков Г. В., Мусин Р. А., Казаков Н. Ф. Эффективность различных средств создания вакуума при диффузионной сварке // Автоматическая сварка. 1973. № 12. С. 29-33.

60. Конюшков Г. В., Мягков А. А., Зеленов Г. Ф. Установка для диффузионной сварки // Сварочное производство. 1972. № 12. С. 55.

61. Котельников Д. И. Сварка давлением в тлеющем разряде. М.: Металлургия, 1981.116с.

62. Кочергин К.А. Контактная сварка. Д.: Машиностроение, 1987. 240 с.

63. Кочергин К. А. Энергетика свариваемых контактов // Научные труды ЛГШ № 395. Качество и прочность сварных и паяных соединений. Д., 1983. С. 28 -30.

64. Красулин Ю. Л. Взаимодействие металла с полупроводником в твердой фазе. М.: Наука, 1971.120 с.

65. Красулин Ю. Д., Мостяев В. А. Диффузия в условиях соединения материалов давлением с подогревом. Физика и химия обработки материалов, 1974,1Г№ 4, с. 124-127.

66. Красулин Ю.Н., Назаров Г.В. Микросварка давлением. М.: Металлургия, 1976. 160с.

67. Кубашевский О., Олкокк С. Б. Металлургическая термохимия: Пер. с англ. М.: Металлургия, 1982. 392 с.

68. Кузьмина В.Г., Савин В.В. О перспективах разработки и производства ЭВП СВЧ. Зарубежная радиоэлектроника. 1978. №10 с 98-117.

69. Лариков Л. Н., Рябов В. Р., Фальченко В. М. Диффузионные процессы в твердой фазе при сварке. М.: Машиностроение, 1975. 192 с.

70. Л ашкоН.Ф.,Лашко, АвакянС.В. Пайка металлов. М., Машгиз, 1959.

71. Лоцманов С. Н. и др. Современные достижения и задачи в области пайки металлов и других материалов. В сб. «Пайка металлов в производстве и перспективы ее развития». М., МДНТП, 1962

72. С.Н. Лоцманов И.Е. Петрунин Пайка металлов. М.: Машиностроение, 1966,с. 162-173.

73. Лямин Я. В., Мусин Р. А., Иванов В. Н. О напряженном состояниисварных соединений разнородных материалов, полученных диффузионной сваркой / Автоматическая сварка. 1986. № 9. С. 13-17.

74. Лясников В. Н., Украинский В. С., Богатырев Г. Ф. Плазменное напыление покрытий в производстве изделий электронной техники. Изд-во Саратовского ун-та, 1985. 200 с.

75. Мазанов Ю.В. Конюшков Г.В. Воронин В.И. Диффузионная сварка в вакууме с циклическим изменением параметров режима // Девятая научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» Судак 2002. С. 364-367.

76. Мазур А. И., Алехин В. П., Шоршоров М. X. Процессы сварки и пайки в производстве полупроводниковых приборов. М.: Радио и связь, 1981.224с.

77. Мазурин О. В. Отжиг спаев стекла с металлом. Л.: Энергия, 1980. 140 с.

78. Мамонов В. В., Патрашев В. А., Мазанов Ю. В. Установка диффузионной сварки // Диффузионное соединение металлов и неметаллических материалов М.:ПНИЛДСВ, 1984.

79. Мацуда Факухиса. Возможности сварки разнородных металлов. Киндзо-ку, 1974, т. 44 №6, с. 24-30.

80. Мериин Б. В., Слиозберг С. К. Об оценке качества соединений разнородных металлов, полученных при сварке давлением. Сварочное производство, 1969, № 3, с. 24-25.

81. Метелкин И.И, Макаркин А.Я., Павлова М.А. Сварка керамических материалов с металлами. Сварочное производство, 1967, №7, с. 10-12.

82. Микронеоднородность соединений жаростойкой стали с перлитной при сварке трением // В. Н. Кальянов, В. А. Перлов, Г. Н. Гордань и др. Автоматическая сварка, 1977, № 12, с. 58-60.

83. Микросварка давлением / А.А. Россошинский, В.Д. Табелев, В.А. Либерга и др. Киев: Техника, 1971. 152 с.

84. Мозжухин Е. И. Термодинамическая оценка взаимодействия дисперсных включений тугоплавких окислов с твердыми металлами / Высокотемпературные атериалы. М.: Металлургия, 1968. С. 79-105.

85. Мусин Р. А. О природе активных центров при диффузионной сварке разнородных материалов // Достижения и перспективы развития диффузионной сварки. М.: МДНТП, 1987. С. 10-14.

86. Мусин Р.А., Конюшков Г.В. Соединение металлов с керамическими материалами. М: Машиностроение, 1991. -224 с.

87. Налимов В.В. Теория эксперимента. М.: Наука, 1971. - 207с.

88. Некрасова Н.М., Кацевич Л.С., Евтюкова И.П. Промышленные электротермические установки. М.-Л. «Госэнергоиздат». 1961.

89. Новиков И. И. Дефекты кристаллического строения металлов. М.:1. Металлургия, 1983. 232 с.

90. Окисление металлов. Теоретические основы / Под ред. Бенара Ж. Т. 1. М.: Металлургия, 1967. 499 с.

91. О механизме образования соединений при сварке и пайке // Г. Д. Никифоров, В. В. Дьяченко, Б. Д. Орлов и др. Сварочное производство, 1967, № 12, .с. 4-7.

92. Особенности образования соединений разнородных металлов при сварке / давлением / Г. К. Харченко, Т. В. Шевчук, А. И. Игнатенко и др. Автоматическая сварка, 1978, № 10, с. 5-7.

93. Панин В. Е., Лихачев В. А., Гриняев Ю. В. Структурные уровни деформации твердых тел. Новосибирск: Наука, 1985. 230 с.

94. Патент 1146919 Великобритания / Сварка давлением / «European Atomic Energy Communitu», 1966

95. Патент 4089456 США / Способ диффузионной сварки с регулируемым давлением и сборочное приспособление, применяемое при этом способе / «United Technologies Corporation» / 1978

96. Петров Г. Д. Неоднородность металла сварных соединений Л.:Судпромгиз, Ленингр. отд-ние, 1963. 206 с.

97. Пипко А. П., Плисковский В. Я., Пенчко Е. А. Конструирование и расчетвакуумных систем. М.: Энергия, 1979. 504 с.

98. Попов В.Ф. и др. Диффузионная сварка некоторых узлов электровакуумного прибора.- В кн.: Диффузионное соединение в вакууме. М., ПНИЛДСВ, 1968, с. 128-131.

99. Пригожин И, Гленсфдорф П. Термодинамическая теория структуры, устойчивости и флуктуаций. М.: Мир, 1973, 280 с.

100. Прокофьев В. Д. мощные генераторные лампы для радиовещания, радиосвязи и телевидения. Электросвязь.-1982-№5 .-с 17-19.

101. Рабкин Д. М., Рябов В. Р., Гуревич С. М. Сварка разнородных металлов. Киев: Техника, 1976. 208 с.

102. Работное Ю. Н. Механика деформируемого твердого тела. М.: Наука, 1979. 744 с.

103. Ребров С.И., Сазонов В.П. Оценка перспектив развития различных направлений высокочастотной электроники. Электронная техника, cepl.-1982.-№12.-с 5-17.

104. Рыбакова Л.М., Куксёнова Л.И., Босов С. В. Рентгенографический метод в исследовании структурных изменений в тонком поверхностном слое металла при трении / Заводская лаборатория. 1973. №3. С. 293.

105. Сахацкий Г.П. Технология сварки металлов в холодном состоянии. Киев: Наукова думка, 1979, 296с.

106. Сегерленд Л. Применение метода конечных элементов. М.: Мир . 1979.

107. Семенов А.С., Бартоломей Р.Ф., Смирнов А.А., Байбурин В.Б. Повышение эффективности электровакуумного производства / Под ред. проф. В.Б.Байбурина. Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 2000. - 104 е.: ил.

108. Смитлз К. Д. Металлы: Справочник. М.: Мир, 1978.- 350 с.

109. Смоленский С.Ю., Гуляев А. И., Сварка трением прецизионного сплава 40ХНЮ-ВИ со сталью 12Х18ШОТ.- Сварочное производство, л. 1981, №4.с. 15-16.

110. Справочник по пайке, склейке и резке металлов и пластмасс / Под ред. А. Поймана, Е. Рихтера. М.: Металлургия, 1980, 464 с.

111. Суганеев Ю. С., Шоршоров М. X., Якутович М. В. К механизму сварки разнородных материалов в твердом состоянии // физика и химия об обработке материалов. 1970. № 4. С. 99-106.

112. Таблицы планов эксперимента для факторных полиномиальных моделей // Бродский В.З. и др. М: Металлургия, 1982, 752 с.

113. Теория, технология и оборудование диффузионной сварки/В.А. Бачйн, В.Ф. Квасницкий,.-. Д.И. Котельников и др. -М.: Машиностроение, 1991. -352 с.

114. Теория, технология и оборудование диффузионной сварки / Бачин В.А., Квасницкий В.Ф., Котельников Д.И., и др. М.: Машиностроение, 1991. -100с.

115. Теплопередача: Учебник для вузов / В.П. Исаченко, В.А. Осипова, А.С. Суномел.- 4-е изд.- М.: Энергоиздат, 1981.- 416 с.

116. Упит Г. П., Варченя С. А., Маник Я. Е. Холодная сварка полупроводников с металлом-Автоматическая сварка. 1975. № 5. С. 22-25.

117. Ушакова С.Е., Рожкова А.А. Соединение вольфрама и молибдена с медью диффузионной сваркой «Автоматическая сварка», 1968, № 6, с. 73-74. 3. Федоров В.В. Теория оптимального эксперимента. М.: Наука, 1971. 312 с, ил.189

118. Харченко Г.К., Игнатенко А.И. Новый способ сварки давлением // Достижения и перспективы развития диффузионной сварки. Общество «Знание» РСФСР, 1987. С. 97-100.

119. Хренов К.К., Чудаков В.А. Получение сварных соединений при магнитно-импульсной сварке цилиндрических деталей. сварочное производство, 1978, №8, с. 13-14.

120. Эллиот Р.П. Структуры двойных сплавов. М.: Металлургия, 1970. - т. 1. -456 с. 1 T.2.-472 с.190