автореферат диссертации по электронике, 05.27.01, диссертация на тему:Разработка методов расчета и исследование электроакустических преобразователей на основе пленочных пьезоэлектриков

Р Г 6 О Д п^аВ32 р^СГП1СИ

- 5 ЙЮН 1995

Ганенков Николай Анатольевич

РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ РАСЧЕТА И ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОАКУСТИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ПЛЕНОЧНЫХ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИКОВ

Специальность:05.27.01 - Твердотельная электроника,

микроэлектроника

.АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Санкт-Петербург - 1995

*

Работа выполнена в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете им. В.И. Ульянова /Ленина/

Научный руководитель -кандидат технических наук доцент Закржевский В.И.

Официальные оппоненты -доктор технических наук профессор Яковлев Л.А. кандидат-физико-математических наук Кузьмин Ю.И.

Ведущая организация - НИИ "Гириконд".

Защита состоится " 1995 год а в часов на

заседании диссертационного совета К 063,36.10 Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета им. В.И.Ульянова /Ленина/ по адресу: 197376, Санкт-Петербург, ул. Проф.Попова,5.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке университета.

Автореферат разослан " 1995 г.

Ученый секретарь диссертационного совета

Окунев Ю.Т.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы'.

Усовершенствование технологии производства пьезоэлектрических материалов позволяет в настоящее время получать пленочные полимерные льезоматэриалы на основе поливинилиденфторидз (ПВДФ) и толстопленочные материалы на основе твердых растворов ЦТС, что резко расширило возможности применения пьезоэлектриков в электроакустических преобразователях (как приемниках, так и излучателях) звукового частотного диапазона. Использование таких преобразователей наряду с электретными в телефонии, во многих промышленных приборах и установках позволяет отказаться от изделий с обмотками и высоким содержанием цветных металлов.

Таьсие преобразователи в ряде случаев могут конкурировать и .с устройствами на основе электретных материалов, так как при использовании последних практически невозможно создание преобразователей, работающих одновременно в режимах"приема и излучения и, кроме того, при работе в режиме излучения на них требуется: подавать довольно высокое электрическое напряжение.

'Создание высококачественных преобразователей на основе пьезоматериалов требует разработки метода их предварительного детального расчета,, тогда как в настоящее время во многих случаях отсутствуют методики, позволяющие произвести разработку таких преобразователей и ЕЫбор их конструкции, соответствующий максимальной эффективности их работы в необходимом диапазоне частот.

Цель работы.

Разработка методов расчета электроакустических преобразователей на основе пленочных пьезоэлектриков, предназначенных для работы в качестве приемников и излучателей акустических сигналов, и исследование на основе разработанных методов характеристик таких преобразователей.

Исходя из вышесказанного, конкретные задачи настоящей работы состояли в следующем:

-разработка методов расчета электроакустических преоС-разо-

вателей на основе пленки ПВДФ, пригодных для работы в качестве приемников, и излучателей;

-создание гаке^а программного обеспечения на основе разработанных методов и исследование характеристик преобразователей с пьезополимерной мембраной в зависимости от размеров колебательной системы;

-выработка рекомендаций по выбору конструкции таких пре-•образователей и параметров колебательной системы, обеспечивающих максимальную чувствительность в -заданном рабочем диапазоне частот;

-разработка методов расчета преобразователей - излучателей на основе толстопленочной пьезокерамики, способных эффективно работать в низкочастотном звуковом диапазоне;

-создание программных продуктов для расчета преобразователя на основе пьезокерамики, исследование и анализ зависимостей чувствительности и частоты первого резонанса пленочных керамических электроакустических преобразобателей от механических свойств материалов, входящих в колебательную систему и геометрических размеров системы;

-создание рекомендаций по разработке преобразователёй на основе толстопленочной керамики с целью достижения наибольшей чувствительности в рабочем диапазоне частот; анализ перспектив применения таких преобразователей в технике связи в качестве головного телефона

Научная новизна работы.

1. Разработаны методы расчета микрофона и излучателя на основе пьезополимерной пледки с куполообразной опорой мембраны. Проведены исследования чувствительности и резонансной частоты таких преобразователей в зависимости от геометрических размеров системы.

2. Получены характеристики зависимости чувствительности и первой резонансной частоты для преобразователей со штыревой опорой мембраны от геометрических размеров колебательной системы и механических характеристик материалов, в нее входящих, в расширенном диапазоне варьируемых параметров.

3. Разработана методика расчета излучателей на основе толстопленочнйй пьезоэлектрической кераншш, выполненных по схеме пассивно-активного биморфа. Проведены комплексные теоретические исследования зависимостей чувствительности таких преобразователей в широком диапазоне частот и первой резонансной частоты от геометрических параметров биморфов и параметров материалов, входящих в колебательную систему, при различных условиях закрепления колебательной системы и при неоднородной поляризованное™ активной пластины.

Практическая значимость работы.

1. Создан пакет прикладных программ для расчета электроакустических преобразователей на основе пьезополимеров и толстопленочной пьезокерамики на основе разработанных методик, что позволяет при конструировании подобрать параметры материалов, входящих в колебательную систему, и ее геометрические размеры, обеспечивающие наибольшую чувствительность, за кратчайшее время.

'2. Проанализированы Характеристики преобразователей в зависимости от параметров колебательных систем,

3. Выработаны, практические рекомендации по подбору параметров биморфных преобразователей при их конструировании.

Практическая реализация;

Результаты работы использовались:

1. Для базовой конструкции пьезоэлектрического зуммера для телефонных аппаратов,, выпуск которых начинается АО "Милкор" (Санкт-Петербург) (акт- о внедрении представлен в приложении к диссертации).

2. В учебном процессе кафедры Диэлектриков и полупроводников. Разработанные методы легли в основу курсового проектирования и цикла лабораторных работ по дисциплине "Применение активных диэлектриков в электронике".

Научные положения, выносимые на защиту.

1. Представление электроакустического преобразователя на

основе пьезополимерной пленки с куполообразной опорой мембраны в виде ансамбля концентрических элементов, имеющих форму мембраны со штыревой'опорой, позволяет рассчитать частотную характеристику такого преобразователя в широком диапазоне частот.

2. Преобразователь на основе пассивно-активного Симорфа можно представить как : систему центрально-симметричных .элементов, условия на границах которых определяются из анализа силовых взаимодействий, что позволяет определить значения его чувствительности с высокой точностью, в том числе и при частотах .выше первого резонанса.

Апробация работы.

Основные результаты докладывались и обсуждались на:

1. Российской научно-технической конференция по физике диэлектриков с международным участием "Диалектрики - 93я, С-Пе-тербург, 22-24 мая 1993 г.

2. Международной научно-техническая конференция "Электрическая релаксация в высокоомных материалах" С.Петербург, 3-7 октября 1994 г.

3. Конференциях профессорско-преподавательского состава СПбГЭТУ в 1992 - 1995 гг.

Публикации по работе.

По теме диссертации опубликовано 5 печатных работ (из них 1 учебное пособие, 2 статьи и 2 доклада на конференциях).

Структура и объем работы.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, ■ списка литературы, включающего 14? наименований, и приложения. Основная часть работы изложена на 153 страницах • машинописного' текста. Работа содержит 43 рисунка и 5 таблиц.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обосновывается актуальность темы диссертации, сформулированы научные положения, выносимые на защиту, дается

краткий обзор результатов, полученных автором.'

Первая глава посвящена разработке методов расчета электри акустических преобразователей на основе пьезополимерной пленки.

Рассматривается теория пьезоэлектричества в ПВДФ, приводятся сведения об основных электрических и механических параметрах этого материала. Обосновывается перспективность применения ПВДФ в электромеханических, в частности, в электроакустических преобразователях. Отмечается,, что в связи со своими электромеханическими свойствами ПВДФ может бнть наиболее перспективен для создания, преобразователей приемного типа.

На основе анализа литературных источников приводятся данные по электромеханическим, в частности электроакустическим, преобразователям ' на основе ПВДФ; рассматриваются основные конструкции преобразователей - с мягкой полимерной опорой, жесткими штыревой и куполообразной опорами мембраны.

• Рассматривается методика расчета преобразователей (приемников -и излучателей) со штыревой опорой мембраны. Уравнение колебаний искривленной мембраны может быть выведено путем использования криволинейных координат, где метрический тензор привязан к форме мембраны.

При опоре на.жесткий штырь статические отклонения пленки (рио.1) приближенно могут могут быть описаны следующим выраяе-йием: Т7СТ= (го/1п(Ь/а))>1п(Ь/г) = С»1п(Ь/г), где Ь и а - радиусы мембраны и штыря соответственно, Ъ - высота штыря, г - те-Текущий радиус (рисг1).

Рис.1. Колебательная система ПЕДФ-преобразователя со штыревой опорой мембраны -

Уравнение колебаний имеет вид:

й2т) ' 1 йт] 2 С2 рЬ С2

+---^ + — —— т) = В ,

йг2 г йт А С2 Т г2

о

ЭР1''2

где В = — (( + С /аг) - возбуадащая сила в случае работы

То

преобразователя в качестве микрофона, имеющая в своей основе

йЕ С3и

звуковое давление; В = — -_ ° „ - возбувдащая сила в

Т0 г (1Г+ С )

случае работы в режиме излучателя, имещая пьезоэлектрическую природу, г) - смещение при колебаниях, То - натяжение мембраны, р - плотность материала мембраны, И - толщина мембраны, со = = 2тсГ - круговая частота, г - текущий радиус,Ро- амплитуда зёу-кового давления, О - амплитуда электрического напряжения, прикладываемого к мембране.

Смещения мембраны при колебаниях ' могут быть найдены из решения этих дифференциальных уравнений при наложении граничных условий, отражающих закрепление мембраны по радиусу основания штыря и по периметру. При этом хороший результат дает метод прогонки.

Чувствительность микрофона Б = и/Ро может быть определена путем подстановки величины изменения площади мембраны в результате колебаний в уравнения пьезоэффекта. Чувствительность телефона Б = Рзв/ио при нагружении на замкнутый объем определяется как изменение этого оъема в результате колебаний при приложении к устройству1 единичного напряжения.

На основании полученных соотношений проведены теоретические исследования зависимости чувствительности и первой резонансной частоты микрофонов и излучателей (телефонов) от различных параметров колебательной системы. Частотная характеристика микрофона на основе ПВДФ сравнивается с частотной характеристикой электретного микрофона, рассчитанной по стандартной методике. Отмечается, ч<о несмотря на более низкие акустические показатели пьезополимерных микрофонов по сравнению с электретными, они, в силу своей простоты, могут применяться в изделиях невы-

сокого класса сложности.

Приводится методика расчета пьезополимерных преобразователей с жесткой куполообразной опорой мембраны, основанная на представлении мембраны в виде ансамбля центрально-симметричных элементов, колебания каждого из которых могут быть определены как колебания мембраны со штыревой опорой. В этом случае для микрофонной конструкции может быть определено изменение площади мембраны в целом и, таким образом, рассчитана чувствительность. При расчете конструкции, предназначенной для работы в качестве телефона, проводится интегрирование смещений по каждой из частей и определяется избыточное давление в объеме, на который нагружен преобразователь.

Преобразователь с куполообразной опорой мембраны представляет больший интерес с точки зрения практического применения, чем преобразователь со штыревой опорой, так как механическая стабильность мембраны в нем выше, и, что особенно важно, при одинаковых частотных диапазонах (совпадении частоты первого резонанса) и основных геометрических размеров (радиусов мемб-' > ран) преобразователь с куполообразной опорой требует значительно меньшего натяжения полимерной мембраны, что положительно сказывается на временной стабильности характеристик преобразователя.

Приводится частотная характеристика чувствительности (ЧХЧ) макетного образца преобразователя, выполненного на основе пленки Ф-2МЭ. Отмечается достаточная близость расчетной и экс--периментальной характеристик.

Во второй главе•приведены данные го электретным материалам и электроакустическим преобразователям на их основе. Указывается, что процесс получения электризованной ПВДФ-пленки и элект-ретных полимерных пленок основывается на близких технологических операциях.

Приводится методика расчета электретного цреобразователя приемного типа (микрофона), которая явилась основой для сопоставительного анализа частотных характеристик чувствительности электретного микрофона и микрофона на основе пьезополимерной пленки,

Отмечается, что на'сегодняшний день электретные микрофоны обладают наиболее высокими акустическими параметрами, однако в аилу достаточно высокой сложности их конструкции стоимость этих устройств довольно высока.

В третьей главе приведены сведения о свойствах пьезоэлектрической керамики - ее механических и электрических параметрах. По.сравнению с пьезополимерами керамика обладает значительно более высокой жесткостью' и пьезомодулем, но ее высокая диэлектрическая проницаемость приводит в результате к более низкому, чем у ПВДФ, значению пьезочувствительности.

Анализируются существующие методы электризации пьезокера-мики и измерения ее пьезоэлектрического модуля.

В частности, при анализе методов электризации отмечается, что при производстве биморфных преобразователей целесообразно применять электризацию в постоянном поле и совмещать ее с креплением активной пластины к подложке.

Отмечено, что электромеханические свойства (высокое значение пьезомодуля и т.д.) пьезоэлектрической керамики делают ее более перспективным материалом для использования в электроакустических преобразователях излучатеяьного типа, чем пьезополи-меры.

В четвертой * главе приводятся материалы по расчету пьезо-керамических преобразователей на основе толстопленочной пьезо-керамики. •

Рассмотрены известные на сегодняшний день методы расчета преобразователей-ла основе толстопленочной пьезокерамики. Преобразователь на основе пьезокерамики построен на основе пас-оивно-активного биморфа (рис.2).

Сущность метода расчета состоит в определении.чувствительности в дорезонансной области на основе рассмотрения статических смещений при приложении электрического напряжения и первой резонансной частоты путем сведения системы с распределенными параметрами к системе с сосредоточенными параметрами. Такая упрощенная модель является' препятствием для анализа работы преобразователя в широком диапазоне частот, в той числе и при частотах, больших первой резонансной частоты. Кромв того, при-

веденные данные относятся только к жесткой заделке биморфа по краю активной пластины, в то время как возможность анализировать работу преобразова?еля' при других услових закрепления представляет большой интерес.

Для анализа работы преобразователя, рассматриваемого как система с распределенными параметрами* необходима разработка новой, более универсальной методики, позволяющей проводить расЧет таких преооразователей в широком диапазоне частот и при различных условиях закрепления.-

В связи с этим предлагается 'новая методика расчета би-морфйого преобразователя, основанная на представлении колебательной системы в виде совокупности центрально-симметричных элементов и описании ее системой дифференциальных уравнений Связь между элементами устанавливается нй основе анализа силового взаимодействия на их границах.

Система имеет вид.'

.' (Л2- при 0<г<Ь

(А2- к4)? = 0 При Ь « г ^ а ,

где отклонение диафрагмы в центральной (биморфной) части;

отклонение пассивной пластины;а и Ь- радиусы пассивной и активной пластини к - волновые числа биморфной части и пассивной пластины:

к4= РЛ * РА ^ к4= РЛ ^ * в*1+ в*г Бг

[Ег^/3(1-ц|)](1 ¡С + |Сг) Бг = Ееь|/12(1-|х|) , с - (1 - сфг)/(1 + ар) ,

а2 1 а

Л = ' а = Е</Ег ' Р = ь1/Ьг '

где оькруговая частота (=2тс!), Е,- модуль Кита материала активной пластины, Е^ - модуль Юнга материала пассивной пластины, у^и ц2- коэффициенты Пуассоны материалов активной и пассивной пластин соответственно,р1и р2- плотности активной и пассивной пластин соответствен^.

/

1 ^ а

и1 а ь НТК

У//////////У,У///////////////^^^^

//7 3

7Л,~

/

N а ь

Рис.2. Пассивно-активный биморфный элемент; 1 - активная пластина, 2 - пассивная пластина, 3 - элементы крепления; а) жесткое закрепление по периметру; ¿5) опора по периметру; в) жесткое закрепление в центре

2

Граничные • условия: При г = а:

Жесткое закрепление пассивной пластины по краю: ? = 0; -— = 0. Опора по краю: £ = 0 ; М = 0. Свободный край: ? - 0 ; М = 0.

' К* ^

При г = Ъ: Ё = е ;• —*= — ., • . * дг дг

Р - перерезывающие силы,

М = М + М — изгибающие моменты, * ~ /

аде ад?

где - я

»- - -.>1Щ чвМлм - ,

м = -Б2(цгде+ (1 - М^] •

мт= [Б^иг«13-1ив/2(1 - Ц1)]»(а(1.+ Р)/(1 + ар)]. ' дЁ,

цр,и г = с: £ = 0 ; — = 0.

дг

Определив смещения шйстин при колебаниях, несложно получить чувствительность биморфного излучателя при нагрузке на замкнутый объем':

5=2015(р;/рт1п)|=201е( ^ Ж%[ {|ф(г)гйгф(г)гйг]/рт1т), |и=1В о о ь

где Р0- нормальное атмосферное давление, У0 - объем измери-

тельной камеры прибора "искусственное ухо", К - адиабатический ■ показатель (=1,4),р~ - звуковое давление, р т1й условно принятый уровень.минимального звукового давления, воспринимаемый человеческим ухом (=2'Ю"5Па), и - амплитуда приложенного к преобразователю напряжения.

; Как показывают исследования, свойства колебательной систе-мысильно зависят от условий закрепления. При жестком закреплении и при опоре по краям зависимость чувствительности от соотношения. ,радиусов активной и пассивной пластин имеет максимум; при жестком закреплении максимум достигается при соотношении, а/Ъ= 0,75, при опоре по краям - а/Ь= 0,9. Это объясняется тем, что при превышении указанного значения изгиб краев препятствует изгибу центральной части пластины. При центральном креплении имеет максимум зависимость резонансной частоты от того же параметра. Такое поведение колебательной системы может ¡быть объяснено тем, что краевые части в этом случае вносят, больший вклад в эффективную массу, чем в эффективную жесткость.. Графики зависимостей чувствительности и частоты первого резонанса преобразователя при различных условиях закрепления биморфа представлены на рис.З 'а,б. *>

Рис. 3. Зависимости чувствительности (а) и первой резонансной частоты (б) биморфных преобразователей при различных условиях закрепления.На рис. 1 - жесткое крепление по периметру, 2 -опора по периметру, 3 - жесткое крепление в центре.

При увеличении толщины как активной, так и пассивной пластины наблюдается рост первой резонансной частоты при одновременном падении чувствительнЬсти, так как при этом рост эффективной жесткости превышает рост эффективной массы. Кроме того, с ростом толщины активной пластины напряженность электрического поля в ней уменьшается при приложении напряжения с постоянной амплитудой.

Для увеличения чувствительности преобразователя можно использовать активную пластину с неоднородной поляризацией, либо с неоднородной электрической нагрузкой. В этом случае радиусы активной и пассивной пластин совпадают. В работе рассматривались конструкции преобразователей с неоднородно-поляризованной активной пластиной при жесткой заделке и опоре по краям. Радиус смены направления поляризации, отвечающий максимальной чувствительности преобразователя, составляет при жесткой заделке по краям - 0,75b, при опоре по краям - 0,9Ь.

Эти соотношения также определяются оптимальной формой изгиба пластины.,Сопоставление результатов эксперимента и расчета показало их хорошее соответствие. Как показывает анализ, на основе'пьезокерамического биморфа может быть создан преобразователь, соответствующий по уровню звукового давления и частот-лого диапазона требованиям для использования в технике связи в качестве головного телефона. Частотная характеристика чувствительности такого преобразователя представлена на рис. 4.

Характеристика приведена для преобразователя с * радиусов биморфа b = 1,7 см, то есть преобразователь соответствует по размерам электромагнитным и электродинамическим телефонам, применяющимся ныне в телефонных аппаратах. Здесь использована активная пластина из пьезокерамики марки ЦТСНВ-1 толщиной 150 мкм, пассивная пластина из пермаллоя, толщиной 100 мкм. Способ закрепления - жесткая заделка по краю.

Корпус преобразователя может в большой степени влиять на форму ЧХЧ. "В первом приближении корпус может быть представлен как резонатор Гельмгольца. Наложение его частотной характеристики на ЧХЧ биморфной пластины дает возможность учета вдияния корпуса на поведение системы в целом. В работе приведены ЧХЧ

Рис. 4, ЧХЧ Биморфного преобразователя

преобразователя с учетом влияния конструктивного оформления.

В заключении приведены основные вывода по диссертационной работе, отмечены преимущества разработанных методов расчета электрошустичэскизГ преобразователей на основе пленочных пьезо-электркков. ; - .

В приложении представлены тексты программ для расчетов ЧХЧ электретного микрофона, микрофонов и телефонов на основе ГЮДФ с штыревой 'и куполообразной опорами мембраны и биморфного излучателя при режиме ёго работы в качестве телефона (нагружении на замкнуты^ объем).

ЗАКЛЮЧЕНИЕ ■ '

В итоге проделанной работы получены следующие основные результаты:

'1. Создано программное обеспечение для расчетов электро-' акустических преобразователей (микрофонов и телефонов) на основе ПВДФ о штыревой опорой при помощи которого расширен диапазон данных по этим преобразователям.

2. Разработан метод расчета преобразователей на основе 1ВДФ с куполообразной опорой мембраны. Показано, что при такой

конструкщш требуется меньшее натяжение пьезошюнки, нежели в преобразователях с штыревой опорой при равных частотах первого резонанса.

3. Разработан метод расчета преобразователей -излучателей на основе толстопленочной пьезокерамики в широком диапазоне частот.

4. На основе разработанного метода при помощи созданного программного ооеспечешя исследованы в широких масштабах зависимости чувствительности и первой резонансной частоты от механических параметров и размеров колебательной системы.

5. Выработаны практические рекомендации по оптимальной разработке биморфных преобразователей,'

6. Показано, что при использовании неоднородной поляризации или неоднородном электрическом нагружении активной пластины возможно повышение чувствительности излучателя.Выработаны рекомендации по выбору радиусов смены" полярности поляризации или электрического напряжения, при которых чувствительность, максимальна

Т. Экспериментально показано, что параметры макетных образцов излучателей на основе ПВДФ с штыревой опорой мембраны и биморфов на основе пьезокерамики соответствуют расчетной модели.

СПИСОК ОПУБЛИКОВАННЫХ РАБОТ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

1. Ганенков H.A., Закржевский В.И. Микрофон на основе пъезополймерной пленки //Перспективные материалы длйБэлекгрони-ники нового поколения. Сб. науч. трудов СПбГЭТУ. - СПб, 1993. -С.66 - 69.- (Известия СПбГЭГУ, Вып. 457).

2. Ганенков H.A., Закржевский В.И. Пьезокерамичэский электроакустический преобразователь-излучатель звуковых частот // Материалы и элементы нового поколения электроники и oIito-электроники. Сб. науч. трудов СПбГЭТУ. - СПб. 1994. - С.50 -54.- (Известия СПбГЭТУ, Вып-. 471).

3. Ганенков H.A.,Закржевский В.И., Колдунов 0.И., Пщелко Н.С. Электроакустические преобразователи звукового диапазона на OCHOB& активных диэлектриков // Российская научно-техничес-

«ая конференция до физике диэлектриков с мевдународвнм участием «Диэлектрики - 93" С,Петербург, 22-?4 мая 1993 г. - Тезисы докладов, Частью, 0. 158 - 161,

4.Гаданков Н,Д,, Горохов А,в., Закрлевокий в.И. Оптическая рентгеновская спектроскопия сополимера поливдншшдевфторвда и тэтрафторэтилевд // Международная научно-техническая конференция "Электрическая релаксация в вдсокоощых материалах" С,Петербург, 3-7 октября 1994 г.-Тезцсы двкладов,0-Пб, Образование, 1994, С, 43-44.

5. Теория и расчет электромеханических преобразователей на активах диэлектриках. Учебное пособие / Счет; Н.А.Ганенков, В.И.Закржевского, Н.О.Пщежо; С:-Бб:ГЭТУ, 1994 . 43 с.

Подписано в печать 17.05,95 Формат 60*84 1/16. Офсетная печать Печ.л. 1,0; уч.-изд. л, 1,0Т Тираж 100 экз. Заказ N 75

Ротапринт МГП "Полисом" 197376, Санкт-Петербург, ул. Проф. Попова,5